KR910019270A - 단면발광형 el소자 어레이의 제작방법 - Google Patents
단면발광형 el소자 어레이의 제작방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도 및 제 2 도(a)∼(b)는 본 발명의 실시예를 도시하는 단면 발광형 EL소자 어레이의 제작공정도, 제 3 도는 이온밀링장치의 설명도.
Claims (2)
- 기판상에 도전층을 형성하고, 이 도전층을 에칭하여 각각 소정수의 단면발광형 EL소자와 도통하는 블록전극을 형성하고, 이들 블록전극상에 EL소자층과 상부 전극층을 순차적으로 적층형성하고, 이들 EL소자층과 상부 전극층을 패터닝하여 복수개의 단면발광형 EL소자를 분할형성하고, 이들 단면 발광형 EL소자를 포함하는 기판 전체면에 투광성을 가지는 보호막을 형성하고, 이 보호막을 에칭하여 상기 블록전극의 단부를 노출시킨 단자부와, 상기 단면발광형 EL소자의 상부전극층까지 도달한 콘택드홀을 형성하고, 이들 콘택트홀을 덮는 것처럼 도전층을 형성하고, 이 도전층을 에칭하여 각 블록의 소정의 단면 발광형 EL소자와 도통하는 공통전극을 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 단면 발광면 EL소자 어레이의 제작방법.
- 제 1 항에 있어서, 투광성을 가지는 보호막의 전체면에 감광성을 가지는 폴리이미드 수지막을 형성하고, 이 폴리이미드수지막을 에칭하여 단면 발광형 EL소자의 발광단면을 노출시키는 동시에 상기 블록전극까지 도달한 콘택트홀을 형성하고, 상기 폴리이미드 수지막을 열경화시켜서 절연층을 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 단면 발광형 EL 소자 어레이의 제작 방법.※ 참고사항 : 최초출원내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900004483A KR910019270A (ko) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 단면발광형 el소자 어레이의 제작방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900004483A KR910019270A (ko) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 단면발광형 el소자 어레이의 제작방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910019270A true KR910019270A (ko) | 1991-11-30 |
Family
ID=67470100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900004483A KR910019270A (ko) | 1990-04-02 | 1990-04-02 | 단면발광형 el소자 어레이의 제작방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR910019270A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7741135B2 (en) | 2005-03-30 | 2010-06-22 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Method of manufacturing light emitting display |
-
1990
- 1990-04-02 KR KR1019900004483A patent/KR910019270A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7741135B2 (en) | 2005-03-30 | 2010-06-22 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Method of manufacturing light emitting display |
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