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KR20230167863A - Needle unit for electrical property inspection apparatus - Google Patents

Needle unit for electrical property inspection apparatus Download PDF

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KR20230167863A
KR20230167863A KR1020220068014A KR20220068014A KR20230167863A KR 20230167863 A KR20230167863 A KR 20230167863A KR 1020220068014 A KR1020220068014 A KR 1020220068014A KR 20220068014 A KR20220068014 A KR 20220068014A KR 20230167863 A KR20230167863 A KR 20230167863A
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KR
South Korea
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body portion
needle unit
contact
inspection device
cross
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Application number
KR1020220068014A
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Korean (ko)
Inventor
위성연
신상훈
정다운
김동준
Original Assignee
윌테크놀러지(주)
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Publication date
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Abstract

본 발명은 전기적 특성 검사장치용 니들유닛에 관한 것으로서, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 공정을 통해 제조되어 다각 단면을 갖는 몸체부와, 상기 몸체부의 하단부로부터 하방으로 연장형성되고, 상기 몸체부의 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성되는 팁부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛을 제공한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 제조가 용이하면서도 전체 길이를 단축시킬 수 있고, 니들간 협피치를 형성하여 하나의 접촉단자에 복수의 니들을 접촉시켜 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 특징이 있다.The present invention relates to a needle unit for an electrical property inspection device, which is manufactured through a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) process and includes a body portion having a multiangular cross-section, the needle unit extending downward from the lower end of the body portion, and the cross-sectional area of the body portion being larger than that of the body portion. A needle unit for an electrical properties inspection device is provided, which includes a tip portion formed to have a small cross-sectional area.
According to the present invention as described above, the overall length can be shortened while being easy to manufacture, and inspection reliability can be greatly improved by forming a narrow pitch between the needles and contacting a plurality of needles to one contact terminal.

Description

전기적 특성 검사장치용 니들유닛{Needle unit for electrical property inspection apparatus}Needle unit for electrical property inspection apparatus}

본 발명은 전기적 특성 검사장치용 니들유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조가 용이하면서도 전체 길이를 단축시킬 수 있고, 니들간 협피치를 형성하여 하나의 단자에 복수의 니들을 접촉시켜 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a needle unit for an electrical property inspection device. More specifically, it relates to a needle unit for an electrical property inspection device. More specifically, it is easy to manufacture and can shorten the overall length, and improves inspection reliability by forming a narrow pitch between the needles to bring a plurality of needles into contact with one terminal. This relates to a needle unit for an electrical properties inspection device that can be greatly improved.

일반적으로 회로기판이나 반도체는 제조가 완료된 후 검사대상물에 전기적 신호를 인가하고, 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호를 통해 검사대상물의 불량여부를 판별하는 검사공정이 실시되고 있다.In general, after the manufacturing of a circuit board or semiconductor is completed, an inspection process is performed to apply an electrical signal to the inspection object and determine whether the inspection object is defective through a signal checked from the applied electrical signal.

이러한 검사공정에는 그 대상물에 따라 웨이퍼를 구성하고 있는 칩을 검사하는 프로브 카드나 회로기판을 검사하기 위한 PCB 검사장치가 주로 사용되고 있다.In this inspection process, depending on the object, a probe card for inspecting the chips that make up the wafer or a PCB inspection device for inspecting the circuit board are mainly used.

일예로, 검사대상물인 PCB는 상부에 반도체 칩이 패키징되기 위한 범프 또는 패드 형태의 접촉 단자가 형성되고, 하부에는 반도체 패키지가 전자 기기의 메인보드에 다시 연결되기 위한 범프 또는 패드 형태의 접촉 단자가 형성되는데, 이를 검사하기 위한 PCB 검사장치는 PCB 상하면에 형성된 접촉단자에 동시 접촉하기 위해서 상부 검사장치 및 하부 검사장치를 한 벌로 구성한다.For example, the PCB, which is an inspection object, has contact terminals in the form of bumps or pads at the top for packaging semiconductor chips, and contact terminals in the form of bumps or pads at the bottom for reconnecting the semiconductor package to the main board of the electronic device. The PCB inspection device for inspecting this consists of an upper inspection device and a lower inspection device in order to simultaneously contact the contact terminals formed on the upper and lower surfaces of the PCB.

이러한, 종래의 PCB 검사장치는 상하부 검사장치가 각각 PCB 상하면에 형성된 접촉단자에 접촉되어 PCB 내에 전기적 신호를 인가시키고 이로부터 발생되는 PCB 회로의 전기적 특성을 체크함으로써 검사대상물의 불량유무를 확인하고 있다. In this conventional PCB inspection device, the upper and lower inspection devices each contact contact terminals formed on the upper and lower surfaces of the PCB to apply an electrical signal to the PCB and check the electrical characteristics of the PCB circuit generated from this to check for defects in the inspection object. .

그리고, 종래의 PCB 검사장치는 검사대상물에 직접 접촉하여 전기적 신호를 인가하거나 PCB로부터 체크되는 신호를 전달하기 위해 프로브 헤드를 구비하고 있으며, 종래 PCB 검사장치의 프로브 헤드는 PCB의 접촉단자에 접촉하기 위한 접촉수단으로 와이어 프로브를 사용하고 있다.In addition, the conventional PCB inspection device is equipped with a probe head to directly contact the inspection object to apply an electrical signal or transmit a signal to be checked from the PCB, and the probe head of the conventional PCB inspection device is in contact with the contact terminal of the PCB. A wire probe is used as a contact means for this purpose.

이렇게 와이어 프로브를 사용하는 종래의 PCB 검사장치용 프로브 헤드(100)를 살펴보면, 도1에서 보는 바와 같이 일측에 다수의 삽입공(111)이 형성된 복수개의 가이드플레이트(110)와, 복수개의 가이드플레이트(110) 삽입공(111)에 삽입되어 수직배치되는 다수의 와이어부재(120)를 포함하여 구성된다.Looking at the probe head 100 for a conventional PCB inspection device using a wire probe, as shown in Figure 1, a plurality of guide plates 110 with a plurality of insertion holes 111 formed on one side, and a plurality of guide plates (110) It is configured to include a plurality of wire members 120 that are inserted into the insertion hole 111 and arranged vertically.

여기서, 와이어부재(120)의 하단부는 PCB 표면 상에 고집적화된 전극 배열에 대응할 수 있도록 좁은 간격으로 배치되며, 상단부는 공간변환기에 용이하게 접촉시킬 수 있도록 그 간격을 확장시켜 배치하게 되는데, 이와 같이 와이어부재(120)를 배치하기 위해 복수개의 가이드플레이트(110) 중 하단부에 배치되는 가이드플레이트(110)의 삽입공(111)은 그 간격을 좁게 형성하고, 상부에 배치되는 가이드플레이트(110)의 삽입공(111)은 그 간격을 확장시켜 형성하게 된다.Here, the lower part of the wire member 120 is arranged at narrow intervals to correspond to the highly integrated electrode array on the PCB surface, and the upper part is arranged with the gap expanded so that it can easily contact the space converter. In order to place the wire member 120, the insertion hole 111 of the guide plate 110 disposed at the lower part of the plurality of guide plates 110 has a narrow spacing, and the insertion hole 111 of the guide plate 110 disposed at the upper portion is narrowed. The insertion hole 111 is formed by expanding the gap.

또한, 그 중간에 배치되는 가이드플레이트(110)는 다수의 와이어부재(120) 간격이 하단부에서 상단부로 점차 벌어질 수 있도록 삽입공(111)의 간격이 점차 넓어지도록 형성된다.In addition, the guide plate 110 disposed in the middle is formed so that the spacing between the insertion holes 111 is gradually widened so that the spacing between the plurality of wire members 120 can gradually widen from the lower end to the upper end.

이와 같이 종래의 PCB 검사장치용 프로브 헤드(100)는 와이어부재(120)를 배치하기 위해 복수의 가이드부재가 사용될 뿐 아니라 복수의 가이드부재가 사용되는 만큼 와이어부재(120)의 길이가 길어지게 되어 전기적 특성이 저하될 뿐 아니라 와이어부재(120) 간 길이가 상이하여 와이어부재(120)의 구동 특성에 편차가 발생하며, 이에 따라 전기적 특성을 균일하게 확보하기 어려운 문제점이 있었다.In this way, the probe head 100 for a conventional PCB inspection device not only uses a plurality of guide members to arrange the wire member 120, but also the length of the wire member 120 becomes longer as a plurality of guide members are used. Not only are the electrical characteristics deteriorated, but the lengths between the wire members 120 are different, causing deviations in the driving characteristics of the wire members 120, which makes it difficult to ensure uniform electrical characteristics.

나아가, 가이드부재에 형성된 삽입공(111)의 간격이 상이하여 이를 별도로 제조해야 하므로 제조단가가 높아지고, 와이어부재(120)를 가이드부재에 설치하고자 하는 경우 그 작업이 매우 번거롭고 상당한 시간을 요하는 문제가 있었다.Furthermore, since the spacing of the insertion holes 111 formed in the guide member is different and must be manufactured separately, the manufacturing cost increases, and when installing the wire member 120 to the guide member, the work is very cumbersome and requires a considerable amount of time. There was.

뿐만 아니라 최근 다양한 전기적 특성의 측정 구현 및 기존 대비 전기적 특성의 측정 신뢰도를 향상시키기 위해 하나의 접촉단자에 다수의 와이어부재(120)를 접촉하고자 하는 노력이 시도되고 있는데, 종래의 PCB 검사장치의 프로브헤드에 사용되는 와이어부재(120)의 경우 도전성 전선(121) 외면에 피복된 피복재(122)에 의해 와이어부재(120)간 협피치를 이루는데 한계가 있는 바 초소형화된 하나의 접촉단자에 두 개 이상의 와이어부재(120)를 접촉시키기 어려운 문제가 있었다.In addition, efforts have recently been made to contact multiple wire members 120 to a single contact terminal in order to implement measurement of various electrical characteristics and improve the reliability of measurement of electrical characteristics compared to existing methods. The probe of the conventional PCB inspection device is being attempted. In the case of the wire member 120 used in the head, there is a limit to achieving a narrow pitch between the wire members 120 due to the coating material 122 coated on the outer surface of the conductive wire 121, so two ultra-miniaturized contact terminals are used. There was a problem that it was difficult to contact more than one wire member 120.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 MEMS 공정을 통해 제조된 다각 단면을 갖는 니들로 종래의 와이어부재를 대체함으로써 제조가 용이하면서도 전체 길이를 단축시킬 수 있고, 니들간 협피치를 형성하여 하나의 접촉단자에 복수의 니들을 접촉시켜 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛을 제공함에 있다.The present invention was devised to solve the above problems, and the purpose of the present invention is to replace the conventional wire member with a needle having a polygonal cross-section manufactured through the MEMS process, so that the overall length can be shortened while being easy to manufacture. , to provide a needle unit for an electrical properties inspection device that can greatly improve inspection reliability by forming a narrow pitch between needles and contacting a plurality of needles to one contact terminal.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 전기적 특성을 검사하기 위해 검사대상물에 형성된 접촉단자에 접촉되는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛에 있어서, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 공정을 통해 제조되어 다각 단면을 갖는 몸체부와, 상기 몸체부의 하단부로부터 하방으로 연장형성되고, 상기 몸체부의 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성되는 팁부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛을 제공한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, in the needle unit for an electrical properties inspection device that contacts a contact terminal formed on an inspection object to inspect the electrical properties, a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) process is performed. Provided is a needle unit for an electrical property inspection device, comprising a body portion manufactured through a polygonal cross-section, a tip portion extending downward from the lower end of the body portion, and formed to have a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body portion. do.

그리고, 하나의 접촉단자에 접촉되는 복수의 니들유닛을 1조로 하되, 1조의 팁부는 상기 몸체부의 하단면 중 서로 근접하는 영역에 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a plurality of needle units in contact with one contact terminal are formed as a set, and the tip portions of the set are formed in an area close to each other among the bottom surfaces of the body portion.

또한, 상기 몸체부의 상단부로부터 상방으로 연장형성되고, 상기 몸체부의 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성되는 확장접촉부를 더 포함할 수 있다.In addition, it may further include an extended contact portion extending upward from the upper end of the body portion and formed to have a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body portion.

아울러, 검사대상물에 있는 하나의 접촉단자에 접촉되는 복수의 니들유닛을 1조로 하되, 1조의 확장접촉부는 상기 몸체부의 상단면 중 서로 멀어지는 영역에 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a plurality of needle units in contact with one contact terminal on the inspection object be formed as one set, and that the extended contact portion of the one set is formed in an area away from each other on the upper surface of the body portion.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 제조가 용이하면서도 전체 길이를 단축시킬 수 있고, 니들간 협피치를 형성하여 하나의 접촉단자에 복수의 니들을 접촉시켜 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 특징이 있다.According to the present invention as described above, the overall length can be shortened while being easy to manufacture, and inspection reliability can be greatly improved by forming a narrow pitch between the needles and contacting a plurality of needles to one contact terminal.

또한, 상단부에 형성된 확장접촉부를 통해 니들간 간격을 확장시킴으로써 공간변환기측 전극사이즈를 크게 형성할 수 있고, 이로 인해 전기적 특성을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.In addition, by expanding the gap between the needles through the expansion contact formed at the upper end, the size of the electrode on the space converter side can be increased, which has the effect of significantly improving the electrical characteristics.

도1은 종래의 PCB 검사장치를 도시한 도면,
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 PCB 검사장치의 니들블럭을 개략적으로 도시한 도면,
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 1조의 팁부를 도시한 사시도,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 1조의 확장접촉부를 도시한 사시도.1 is a diagram showing a conventional PCB inspection device;
Figure 2 is a diagram schematically showing a needle block of a PCB inspection device according to an embodiment of the present invention;
Figure 3 is a perspective view showing a set of tips according to an embodiment of the present invention;
Figure 4 is a perspective view showing a set of extended contact parts according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예 및 도면에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.The embodiments described in the present invention and the configurations shown in the drawings are only preferred embodiments of the present invention and do not express the entire technical idea of the present invention. Therefore, the scope of rights of the present invention is limited to the embodiments and drawings described in the text. It should not be construed as limited by. In other words, since the embodiments can be modified in various ways and can have various forms, the scope of rights of the present invention should be understood to include equivalents that can realize the technical idea. In addition, the purpose or effect presented in the present invention does not mean that a specific embodiment must include all or only such effects, so the scope of the present invention should not be understood as limited thereby.

여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.All terms used herein, unless otherwise defined, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the field to which the present invention pertains. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as consistent with the meaning in the context of the related technology, and cannot be interpreted as having an ideal or excessively formal meaning that is not clearly defined in the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. 참고적으로, 이하의 실시예에서는 PCB 검사장치의 니들유닛을 예시적으로 설명하기로 한다. 그러나, 이는 본 발명의 다양한 실시예 중 하나로서 예시한 것으로서, 본 발명이 이에 국한되지 않음은 물론이다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. For reference, in the following embodiments, the needle unit of the PCB inspection device will be described as an example. However, this is an illustration of one of various embodiments of the present invention, and the present invention is of course not limited thereto.

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 PCB 검사장치의 니들블럭을 개략적으로 도시한 도면이고, 도3은 본 발명의 일실시예에 따른 1조의 팁부를 도시한 사시도이며, 도4는 본 발명의 일실시예에 따른 1조의 확장접촉부를 도시한 사시도이다.Figure 2 is a diagram schematically showing a needle block of a PCB inspection device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view showing a set of tip portions according to an embodiment of the present invention, and Figure 4 is a diagram showing the needle block of the PCB inspection device according to an embodiment of the present invention. This is a perspective view showing one set of expansion contact parts according to an embodiment of.

도2에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 PCB 검사장치의 니들블럭(1)은 제1 가이드 플레이트(10)와, 제2 가이드 플레이트(20)와, 스페이서(30) 및 니들유닛(40)을 포함하여 구성된다.As shown in Figure 2, the needle block 1 of the PCB inspection device according to an embodiment of the present invention includes a first guide plate 10, a second guide plate 20, a spacer 30, and a needle unit ( 40).

제1 가이드 플레이트(10)는 일정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 복수개의 제1 삽입홀(11)이 미리 정해진 간격으로 형성되며, 후술하는 니들유닛(40)이 제1 삽입홀(11)에 삽입되어 니들유닛(40) 몸체부(41)의 상단부가 내면 일측에 지지된다.The first guide plate 10 is formed in the shape of a plate with a certain thickness, and a plurality of first insertion holes 11 are formed on one side at predetermined intervals, and a needle unit 40, which will be described later, is provided with the first insertion hole ( 11), the upper end of the body portion 41 of the needle unit 40 is supported on one side of the inner surface.

제2 가이드 플레이트(20)는 제1 가이드 플레이트(10)와 같이 일정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 복수개의 제2 삽입홀(21)이 미리 정해진 간격으로 형성되며, 제1 가이드 플레이트(10)의 하부에 제1 가이드 플레이트(10)와 이격 배치된다.The second guide plate 20 is formed in a plate shape with a certain thickness like the first guide plate 10, and has a plurality of second insertion holes 21 formed on one side at predetermined intervals, and the first guide plate 10 It is disposed in the lower part of (10) and spaced apart from the first guide plate (10).

그리고, 제2 가이드 플레이트(20)는 제2 삽입홀(21)에 니들유닛(40) 몸체부(41)의 하단부가 삽입되어 내면에 몸체부(41)의 하단부 외면 일측이 지지된다.In addition, the lower end of the body 41 of the needle unit 40 is inserted into the second guide plate 20 into the second insertion hole 21, and one side of the outer surface of the lower end of the body 41 is supported on the inner surface.

스페이서(30)는 대략 니들 유닛의 몸체부(41)에 상응하는 높이를 갖는 판재 형상으로 형성되고, 제1 가이드 플레이트(10)와 제2 가이드 플레이트(20)의 양측단부에 각각 개재되어 제1 가이드 플레이트(10)와 제2 가이드 플레이트(20)의 간격을 유지하는 역할을 한다.The spacer 30 is formed in the shape of a plate with a height approximately corresponding to the body portion 41 of the needle unit, and is disposed on both ends of the first guide plate 10 and the second guide plate 20, respectively, to form the first It serves to maintain the gap between the guide plate 10 and the second guide plate 20.

본 발명의 일실시예에 따른 니들유닛(40)은 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 공정으로 제조되는 것으로서, 상하방향으로 길이를 갖는 몸체부(41)와, 몸체부(41)의 하단부로부터 하방으로 연장형성되는 팁부(42) 및 몸체부(41)의 상단부로부터 상방으로 연장형성되는 확장접촉부(43)를 포함하여 구성된다.The needle unit 40 according to an embodiment of the present invention is manufactured through a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) process, and includes a body portion 41 having a length in the vertical direction, and a body portion 41 extending downward from the lower end of the body portion 41. It is configured to include an extended tip portion 42 and an extended contact portion 43 extending upward from the upper end of the body portion 41.

몸체부(41)는 일측이 일방향으로 일정각도 절곡형성되어 팁부(42)가 대상물에 접촉되는 경우 벤딩되는 벤딩방향이 결정되도록 하는 것이 바람직한데, 상하단부는 가상의 일직선상에 위치하는 것이 더욱 바람직하다. 이는 대응되는 위치에 형성된 제1 삽입홀(11)과 제2 삽입홀(21)에 몸체부(41)를 보다 용이하게 삽입할 수 있도록 하기 위함이다.It is preferable that one side of the body portion 41 is bent at a certain angle in one direction so that the bending direction in which the tip portion 42 is bent when it contacts an object is determined. It is more preferable that the upper and lower ends are located on a virtual straight line. . This is to enable the body portion 41 to be more easily inserted into the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 formed at corresponding positions.

팁부(42)는 위에서 설명한 바와 같이 몸체부(41)의 하단으로부터 하방으로 연장형성되는데, 몸체부(41)의 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성되며, 본 실시예에서 몸체부(41) 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성된다.As described above, the tip portion 42 extends downward from the bottom of the body portion 41 and is formed to have a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body portion 41. In this embodiment, the tip portion 42 is formed to have a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body portion 41. It is formed to have a cross-sectional area.

이렇게 팁부(42)가 몸체부(41)의 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성하는 이유는 하나의 대상물에 복수의 팁부(42)가 협피치를 이루면서 용이하게 접촉되도록 하면서도 몸체부(41)를 통해 전기적 특성을 유지할 수 있도록 하기 위함이다.The reason why the tip portion 42 is formed to have a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of the body portion 41 is to allow a plurality of tip portions 42 to easily contact one object at a narrow pitch, while also allowing electrical connection through the body portion 41. This is to ensure that the characteristics can be maintained.

그리고, 검사대상물 중 하나의 접촉단자에 2개 내지 4개의 니들유닛(40)들이 접촉될 수 있다. Additionally, two to four needle units 40 may be in contact with a contact terminal of one of the inspection objects.

일예로 도3에서는 본 실시예에서는 4개의 니들유닛(40)들을 1조로 하여 1조의 팁부(42)가 몸체부(41)의 하단면 일측 중 서로 근접한 위치에 형성되는 바 하나의 접촉단자에 대하여 4개의 팁부를 접촉시키거나 매우 근접하게 형성된 두 개의 접촉단자에 각각 2개의 팁부를 간섭없이 접촉시킬 수 있으면서도 전기적 특성을 크게 향상시킬 수 있다.For example, in Figure 3, in this embodiment, four needle units 40 are formed as a set, and a set of tip portions 42 are formed at positions close to each other on one side of the lower surface of the body portion 41 with respect to one contact terminal. It is possible to contact four tip parts or to contact two tip parts to two contact terminals formed very close to each other without interference, while greatly improving the electrical characteristics.

확장접촉부(43)는 몸체부(41)의 상단으로부터 상방으로 연장형성되는데, 팁부(42)와 같이 몸체부(41)의 단면적보다 작은 단면적을 갖도록 형성되며, 본 실시예에서는 확장접촉부(43) 역시 몸체부(41) 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성된다.The extended contact portion 43 extends upward from the top of the body portion 41 and, like the tip portion 42, is formed to have a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of the body portion 41. In this embodiment, the expanded contact portion 43 It is also formed to have a smaller cross-sectional area than the cross-sectional area of the body portion 41.

그리고, 하나의 접촉단자에 접촉되는 니들유닛(40)들, 본 실시예에서는 4개의 니들유닛(40)들을 1조로 하였을 때 1조의 확장접촉부(43)는 도4에서 보는 바와 같이 서로 멀어지는 위치에 형성된다.In addition, when the needle units 40 in contact with one contact terminal, in this embodiment, four needle units 40 are grouped into one set, the extended contact portions 43 of the one set are positioned away from each other as shown in Figure 4. is formed

팁부(42)와 달리 몸체부(41)의 상단면 중 1조의 확장접촉부(43)가 서로 멀어지는 위치에 형성되는 이유는 팁부(42)의 일정간격 확장시킴으로써 이에 접촉되는 공간변환기의 전극사이즈를 크게 형성하여 니들과 공간변환기를 보다 안정적으로 연결하고 이에 대한 전기적 특성을 크게 향상시킬 수 있다.Unlike the tip portion 42, the reason why one set of expansion contact portions 43 on the upper surface of the body portion 41 are formed at positions away from each other is to expand the tip portion 42 at a certain interval to increase the size of the electrode of the space converter in contact with it. By forming a more stable connection between the needle and the space transducer, the electrical characteristics can be greatly improved.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the scope of the appended claims will include such modifications or variations as fall within the gist of the present invention.

10 : 제1 가이드 플레이트 11 : 제1 삽입홀
20 : 제2 가이드 플레이트 21 : 제2 삽입홀
30 : 스페이서 40 : 니들유닛
41 : 몸체부 42 : 팁부
43 : 확장접촉부10: first guide plate 11: first insertion hole
20: second guide plate 21: second insertion hole
30: Spacer 40: Needle unit
41: body part 42: tip part
43: expansion contact part

Claims (4)

전기적 특성을 검사하기 위해 검사대상물의 접촉단자에 접촉되는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛에 있어서,
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 공정을 통해 제조되어 다각 단면을 갖는 몸체부와;
상기 몸체부의 하단부로부터 하방으로 연장형성되고, 상기 몸체부의 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성되는 팁부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛.
In the needle unit for an electrical properties inspection device that contacts the contact terminal of the inspection object to inspect the electrical properties,
A body portion manufactured through a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) process and having a multi-angled cross-section;
A needle unit for an electrical properties inspection device, comprising a tip portion extending downward from the lower end of the body portion and formed to have a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body portion.
 제1항에 있어서,
하나의 접촉단자에 접촉되는 복수의 니들유닛을 1조로 하되, 1조의 팁부는 상기 몸체부의 하단면 중 서로 근접하는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛.
According to paragraph 1,
A needle unit for an electrical characteristics inspection device, characterized in that a plurality of needle units in contact with one contact terminal are formed as a set, and the tip portion of the set is formed in an area close to each other on the lower surface of the body portion.
 제1항에 있어서,
상기 몸체부의 상단부로부터 상방으로 연장형성되고, 상기 몸체부의 단면적 보다 작은 단면적을 갖도록 형성되는 확장접촉부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛.
According to paragraph 1,
A needle unit for an electrical properties inspection device, characterized in that it further comprises an extended contact portion extending upward from the upper end of the body portion and formed to have a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body portion.
 제3항에 있어서,
하나의 접촉단자에 접촉되는 복수의 니들유닛을 1조로 하되, 1조의 확장접촉부는 상기 몸체부의 상단면 중 서로 멀어지는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 전기적 특성 검사장치용 니들유닛.According to paragraph 3,
A needle unit for an electrical characteristics inspection device, characterized in that a plurality of needle units in contact with one contact terminal are formed as a set, and the extended contact portion of the set is formed in an area away from each other on the upper surface of the body portion.
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