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KR20230141559A - 메탈 마스크 및 그 제조 방법 - Google Patents

메탈 마스크 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR20230141559A
KR20230141559A KR1020230040236A KR20230040236A KR20230141559A KR 20230141559 A KR20230141559 A KR 20230141559A KR 1020230040236 A KR1020230040236 A KR 1020230040236A KR 20230040236 A KR20230040236 A KR 20230040236A KR 20230141559 A KR20230141559 A KR 20230141559A
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KR
South Korea
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height
area
metal mask
effective area
hole
Prior art date
Application number
KR1020230040236A
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English (en)
Inventor
유지 안자이
Original Assignee
다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
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Publication date
Application filed by 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 filed Critical 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
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Abstract

경계 부분에 있어서, 변형이나 파단이 발생하기 어려운 메탈 마스크 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
유효 영역과, 주위 영역과, 더미 영역을 갖는 메탈 마스크이며, 상기 유효 영역은, 제1 관통 구멍과 제1 톱부를 구비하고, 상기 제1 톱부는, 높이 H1을 갖고, 상기 주위 영역은, 상기 유효 영역의 주위에 위치하고, 상기 더미 영역은, 상기 유효 영역과 상기 주위 영역 사이에 위치하고, 상기 더미 영역은, 제2 톱부를 구비하고, 상기 제2 톱부는, 높이 H2를 갖고, 상기 높이 H2가, 상기 높이 H1보다 높은, 메탈 마스크.

Description

메탈 마스크 및 그 제조 방법{METAL MASK AND PRODUCTION METHOD THEREFOR}
본 개시는 메탈 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
유기 EL 표시 장치의 화소는 메탈 마스크를 사용하여 기판 상에 화소를 형성하는 재료를 증착에 의해 부착시킴으로써 형성된다. 그 때문에, 메탈 마스크의 성능 향상은 유기 EL 표시 장치의 화질의 향상에 있어서 중요하다.
예를 들어, 특허문헌 1에는, 고정밀도로 관통 구멍을 형성할 수 있는 메탈 마스크의 제조 방법이 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제2015-163734호 공보
메탈 마스크는, 예를 들어, 관통 구멍이 배치된 유효 영역과, 유효 영역의 주위에 위치하는 주위 영역을 갖는다. 이러한 메탈 마스크는, 프레임에 설치되어, 화소의 증착에 사용된다.
그런데, 에칭에 의해 유효 영역을 형성할 때, 유효 영역과 주위 영역의 경계 부분에 있어서 과도하게 에칭이 진행될 수 있다는 것을 알 수 있었다. 이와 같이 과도하게 에칭이 진행되면, 유효 영역과 주위 영역 사이의 경계 부분의 두께가 얇아진다. 그러면, 그 경계 부분이 변형되거나, 파단되거나 한다.
본 개시는, 상기 문제점에 비추어 이루어진 것으로, 변형이나 파단이 생기기 어려운 메탈 마스크 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크는, 유효 영역과, 주위 영역과, 더미 영역을 갖고, 유효 영역은, 제1 관통 구멍과 제1 톱부를 구비하고, 제1 톱부는, 높이 H1을 갖고, 주위 영역은, 유효 영역의 주위에 위치하고, 더미 영역은, 유효 영역과 주위 영역 사이에 위치하고, 더미 영역은, 제2 톱부를 구비하고, 제2 톱부는, 높이 H2를 갖고, 높이 H2가, 높이 H1보다 높다.
본 개시의 일 실시 형태에 따른 상기 메탈 마스크의 제조 방법은, 제1 면과, 제1 면의 반대 측에 위치하는 제2 면을 갖는 금속판을 준비하는 공정과, 금속판을 에칭함으로써 메탈 마스크를 형성하는 에칭 공정을 구비하고, 메탈 마스크는, 유효 영역과, 주위 영역과, 더미 영역을 갖고, 유효 영역은, 제1 관통 구멍과 제1 톱부를 구비하고, 제1 톱부는, 높이 H1을 갖고, 주위 영역은, 유효 영역의 주위에 위치하고, 더미 영역은, 유효 영역과 주위 영역 사이에 위치하고, 더미 영역은, 제2 톱부를 구비하고, 제2 톱부는, 높이 H2를 갖고, 높이 H2가, 높이 H1보다 높다.
본 개시의 적어도 하나의 실시 형태에서는, 경계 부분에 있어서, 변형이나 파단이 생기기 어려운 메탈 마스크 및 그 제조 방법을 제공한다.
도 1은 본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크를 구비한 메탈 마스크 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 개시의 일 실시 형태에 따른 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 4a는 본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크의 유효 영역을 제2 면 측에서 본 사시도이다.
도 4b는 본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크의 더미 영역을 제2 면 측에서 본 사시도이다.
도 5a는 본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크의 더미 영역의 양태를 나타내는 평면도이다.
도 5b는 본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크의 더미 영역의 양태를 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크의 유효 영역과 더미 영역을 제2 면 측에서 본 평면도이다.
도 7은 도 6의 IV-IV 선을 따른 단면도이다.
도 8은 도 6의 V-V 선을 따른 단면도이다.
도 9는 도 6의 VI-VI 선을 따른 단면도이다.
도 10은 메탈 마스크의 제조 방법의 일 예를 설명하기 위한 모식도이다.
도 11은 금속판 상에 레지스트막을 형성하는 공정의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 12는 레지스트막을 패터닝하는 공정의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 13은 제1 면 에칭 공정의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 14는 제2 면 에칭 공정의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 15는 제2 면 에칭 공정의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 16은 제2 면 에칭 공정의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 17은 비관통의 오목부를 갖는 더미 영역의 사시도이다.
도 18은 유기 EL 표시 장치의 증착층의 패턴의 일 예를 나타내는 평면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 개시의 일 실시 형태에 대하여 설명한다. 또한, 본 명세서에 첨부하는 도면에 있어서는, 도시와 이해의 용이성의 편의상, 적절히 축척 및 종횡의 치수비 등을, 실물의 그것들로부터 변경하여 과장하고 있는 경우가 있다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 본 명세서의 일 실시 형태에 있어서, 유기 EL 표시 장치를 제조할 때 유기 재료를 원하는 패턴으로 기판 상에 패터닝하기 위해 사용되는 메탈 마스크나 그 제조 방법에 관한 예를 들어 기재한다. 단, 이러한 적용에 한정되지는 않고, 다양한 용도로 사용되는 메탈 마스크에 대하여, 본 개시를 적용할 수 있다. 예를 들어, 가상 현실 소위 VR이나 확장 현실 소위 AR을 표현하기 위한 화상이나 영상을 표시 또는 투영하기 위한 장치를 제조하기 위해, 본 개시의 메탈 마스크를 사용해도 된다.
본 명세서 및/또는 본 도면에 있어서, 특별한 기재가 없는 한은, 다음과 같이 해석한다.
어떤 구성의 기초가 되는 물질을 의미하는 용어는, 호칭의 차이만으로 구별되지 않아도 된다. 예를 들어, 「기판」, 「기재」, 「판」, 「시트」, 또는 「필름」 등의 용어가, 상기 기재에 해당한다.
형상 및/또는 기하학적 조건을 의미하는 용어 및/또는 수치는, 엄밀한 의미에 얽매일 필요는 없고, 마찬가지의 기능을 기대해도 될 정도의 범위를 포함하는 것으로 해석해도 된다. 예를 들어, 「평행」 및/또는 「직교」 등이 상기의 용어에 해당한다. 또한, 「길이의 값」 및/또는 「각도의 값」 등이 상기의 수치에 해당한다.
어떤 구성이 다른 구성의 「상에」, 「하에」, 「상측에」, 「하측에」, 「상방에」, 또는 「하방에」 있다고 표현하는 경우에는, 어떤 구성이 다른 구성에 직접적으로 접해 있는 양태와, 어떤 구성과 다른 구성 사이에 다른 구성이 포함되어 있는 양태가 포함되어도 된다. 어떤 구성과 다른 구성 사이에 다른 구성이 포함되어 있는 양태란, 바꾸어 말하면, 어떤 구성이 다른 구성에 간접적으로 접해 있다고 표현해도 된다. 또한, 「상」, 「상측」, 또는 「상방」이라는 표현은, 「하」, 「하측」, 또는 「하방」이라는 표현과 교환 가능하다. 바꾸어 말하면, 상하 방향이 역전되어도 된다.
동일 부분 및/또는 마찬가지의 기능을 갖는 부분에, 동일한 부호 또는 유사한 부호를 붙일 때, 반복되는 기재는 생략하는 경우가 있다. 또한, 도면의 치수 비율은, 실제의 비율과는 다른 경우가 있다. 또한, 실시 형태의 구성의 일부가, 도면에서 생략되는 경우가 있다.
모순이 생기지 않는 범위에서, 실시 형태의 하나 이상의 형태와 변형예의 하나 이상의 형태를 조합해도 된다. 또한, 모순이 생기지 않는 범위에서, 실시 형태의 하나 이상의 형태끼리 조합해도 된다. 또한, 모순이 생기지 않는 범위에서, 변형예의 하나 이상의 형태끼리 조합해도 된다.
제조 방법 등의 방법에 관하여 복수의 공정을 개시하는 경우에, 개시되어 있는 공정의 사이에, 개시되어 있지 않은 기타의 공정이 실시되어도 된다. 또한, 모순이 생기지 않는 범위에서, 공정의 순서는, 한정되지는 않는다.
「내지」 및/또는 「-」이라는 기호에 의해 표현되는 수치 범위는, 「내지」 및/또는 「-」이라는 부호의 전후에 놓인 수치를 포함하고 있다. 예를 들어, 「34 내지 38질량%」라고 표현되는 수치 범위는, 「34질량% 이상 또한 38질량% 이하」라고 표현되는 수치 범위와 동일하다.
본 개시에 있어서 기재하는 수치에 대해서는, 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개와, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개를 조합함으로써, 수치 범위를 획정해도 된다. 이 외에, 특별히 언급하지 않아도, 복수의 상한의 후보값 중 임의의 2개를 조합함으로써 수치 범위를 획정해도 되고, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 2개를 조합함으로써 수치 범위를 획정해도 된다.
본 개시의 일 실시 형태에 대하여, 다음 단락 이후에 기재한다. 본 개시의 일 실시 형태는, 본 개시의 실시 형태의 일 예이다. 본 개시는, 본 개시의 일 실시 형태에만 한정하여 해석되지는 않는다.
본 개시의 제1 양태는,
유효 영역과, 주위 영역과, 더미 영역을 갖는 메탈 마스크이며,
상기 유효 영역은, 제1 관통 구멍과 제1 톱부를 구비하고,
상기 제1 톱부는, 높이 H1을 갖고,
상기 주위 영역은, 상기 유효 영역의 주위에 위치하고,
상기 더미 영역은, 상기 유효 영역과 상기 주위 영역 사이에 위치하고,
상기 더미 영역은, 제2 톱부를 구비하고,
상기 제2 톱부는, 높이 H2를 갖고,
상기 높이 H2가, 상기 높이 H1보다 높은, 메탈 마스크이다.
본 개시의 제2 양태는, 상술한 제1 양태에 따른 메탈 마스크에 있어서,
더미 영역이, 2열 이상 5열 이하의 제2 톱부를 갖는 범위와 동등한 영역이어도 된다.
본 개시의 제3 양태는, 상술한 제1 양태 또는 제2 양태에 따른 메탈 마스크에 있어서,
유효 영역으로부터 상기 주위 영역으로 상기 더미 영역을 횡단하는 동일 직선상에 있어서, 상기 주위 영역에 가까운 높이 H2가, 상기 유효 영역에 가까운 높이 H2보다 높아도 된다.
본 개시의 제4 양태는, 상술한 제1 양태 내지 제3 양태 중 어느 것에 따른 메탈 마스크에 있어서,
상기 높이 H2가, 상기 높이 H1에 대하여, 1.05배 이상 4.00배 이하여도 된다.
본 개시의 제5 양태는, 상술한 제1 양태 내지 제4 양태 중 어느 것에 따른 메탈 마스크에 있어서, 상기 메탈 마스크가, 제1 면과, 해당 제1 면의 반대 측에 위치하는 제2 면을 갖고,
상기 더미 영역이, 제2 관통 구멍을 갖고,
상기 제1 관통 구멍이, 상기 제1 면 측에 제1 오목부와, 상기 제2 면 측에 제2 오목부와, 제1 접속부와, 제1 각도 θ1을 갖고,
상기 제1 접속부가, 상기 제1 오목부와 상기 제2 오목부가 접속되는 모서리부이며,
상기 제1 각도 θ1은, 상기 제1 접속부 중 상기 제1 톱부에 가장 가까운 부분 P1a와, 상기 제1 톱부 중 상기 제1 접속부에 가장 가까운 부분 P2a를 통과하는 직선 K1이 상기 메탈 마스크의 두께 방향 N에 대하여 이루는 각도이며,
상기 제2 관통 구멍이, 상기 제1 면 측에 제3 오목부와, 상기 제2 면 측에 제4 오목부와, 제2 접속부와, 제2 각도 θ2를 갖고,
상기 제2 접속부가, 상기 제3 오목부와 상기 제4 오목부가 접속되는 모서리부이며,
상기 제2 각도 θ2는, 상기 제2 접속부 중 상기 제2 톱부에 가장 가까운 부분 P1b와, 상기 제2 톱부 중 상기 제2 접속부에 가장 가까운 부분 P2b를 통과하는 직선 K2가 상기 메탈 마스크의 두께 방향 N에 대하여 이루는 각도이며,
상기 제2 각도 θ2가, 상기 제1 각도 θ1보다 작아도 된다.
본 개시의 제6 양태는, 상술한 제1 양태 내지 제5 양태 중 어느 것에 따른 메탈 마스크에 있어서,
상기 메탈 마스크가, 제1 면과, 상기 제1 면의 반대 측에 위치하는 제2 면을 갖고,
상기 더미 영역이, 제2 관통 구멍을 갖고,
상기 제1 관통 구멍이, 상기 제1 면 측에 제1 오목부와, 상기 제2 면 측에 제2 오목부와, 제1 접속부와, 높이 H3을 갖고,
상기 제1 접속부가, 상기 제1 오목부와 상기 제2 오목부가 접속되는 모서리부이며,
상기 높이 H3이, 상기 제1 면으로부터 상기 제1 접속부까지의 높이이며,
상기 제2 관통 구멍이, 상기 제1 면 측에 제3 오목부와, 상기 제2 면 측에 제4 오목부와, 제2 접속부와, 높이 H5를 갖고,
상기 제2 접속부가, 상기 제3 오목부와 상기 제4 오목부가 접속되는 모서리부이며,
상기 높이 H5가, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 접속부까지의 높이이며,
상기 높이 H5가, 상기 높이 H3보다 커도 된다.
본 개시의 제7 양태는, 상술한 제1 양태 내지 제6 양태 중 어느 것에 따른 메탈 마스크에 있어서,
상기 제1 관통 구멍이, 높이 H3과 높이 H4를 갖고,
상기 높이 H3이, 상기 제1 면으로부터 상기 제1 접속부까지의 높이이며,
상기 높이 H4가, 상기 제2 면으로부터 상기 제1 접속부까지의 높이이며,
상기 높이 H3이, 높이 H4보다 얕아도 된다.
본 개시의 제8 양태는, 상술한 제1 양태 내지 제7 양태 중 어느 것에 따른 메탈 마스크에 있어서,
더미 영역이, 에칭되지 않고 남은 톱부를 가져도 된다.
본 개시의 제9 양태는, 메탈 마스크의 제조 방법이며,
제1 면과, 상기 제1 면의 반대 측에 위치하는 제2 면을 갖는 금속판을 준비하는 공정과,
상기 금속판을 에칭함으로써 상기 메탈 마스크를 형성하는 에칭 공정을 구비하고,
상기 메탈 마스크는, 유효 영역과, 주위 영역과, 더미 영역을 갖고,
상기 유효 영역은, 제1 관통 구멍과 제1 톱부를 구비하고,
상기 제1 톱부는, 높이 H1을 갖고,
상기 주위 영역은, 상기 유효 영역의 주위에 위치하고,
상기 더미 영역은, 상기 유효 영역과 상기 주위 영역 사이에 위치하고,
상기 더미 영역은, 제2 톱부를 구비하고,
상기 제2 톱부는, 높이 H2를 갖고,
상기 높이 H2가, 상기 높이 H1보다 높은, 메탈 마스크의 제조 방법이다.
먼저, 메탈 마스크를 구비하는 증착 장치의 일 예에 대하여, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다. 여기서, 도 1은 본 개시의 일 실시 형태에 따른 메탈 마스크(20)를 구비한 메탈 마스크 장치(10)를 메탈 마스크(20)의 제1 면(20a) 측에서 본 평면도이며, 도 2는 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 각 메탈 마스크(20)는 일 방향으로 연장되는 대략 직사각 형상의 형상을 가져도 된다. 또한, 메탈 마스크 장치(10)는, 대략 직사각 형상의 금속판으로 이루어지는 복수의 메탈 마스크(20)와, 복수의 메탈 마스크(20)의 주연부에 설치된 프레임(15)을 구비해도 된다. 그리고, 복수의 메탈 마스크(20)는 메탈 마스크(20)의 길이 방향에 교차하는 폭 방향으로 나열되어도 된다. 또한, 각 메탈 마스크(20)는 메탈 마스크(20)의 길이 방향의 양단부에 있어서, 예를 들어 용접에 의해 프레임(15)에 고정되어도 된다.
메탈 마스크 장치(10)는 프레임(15)에 고정되고, 메탈 마스크(20)의 두께 방향에 있어서 메탈 마스크(20)에 부분적으로 겹치는 부재를 구비해도 된다. 그러한 부재의 예로서는, 특별히 한정되지는 않지만, 예를 들어 메탈 마스크(20)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어, 메탈 마스크(20)를 지지하는 부재, 인접하는 2개의 메탈 마스크 사이의 간극에 겹치는 부재 등을 들 수 있다.
이 메탈 마스크 장치(10)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판(92)에 대면하도록 하여 증착 장치(90) 내에 지지된다. 여기서, 기판(92)은 유리 기판 등의 메탈 마스크(20)가 증착 대상물이다. 도 2에 나타내는 바와 같이 하여 메탈 마스크 장치(10)가 증착 장치(90)에 수용된 경우, 기판(92)에 대면하는 메탈 마스크(20)의 면을 제1 면(20a)이라고 하고, 증착 재료(98)를 보유 지지한 도가니(94) 측에 위치하는 메탈 마스크(20)의 면을 제2 면(20b)이라고 한다.
증착 장치(90) 내에서는, 기판(92)의 도가니(94) 측의 면에 메탈 마스크(20)가 배치된다. 여기서, 메탈 마스크(20)와 기판(92)은, 자력에 의해 밀착되어도 된다.
증착 장치(90) 내에는, 메탈 마스크 장치(10)의 하방에, 증착 재료(98)를 수용하는 도가니(94)와, 도가니(94)를 가열하는 히터(96)가 배치되어도 된다. 여기서, 증착 재료(98)는 일 예로서, 유기 발광 재료여도 된다. 도가니(94) 내의 증착 재료(98)는 히터(96)로부터의 가열에 의해 기화 또는 승화된다. 기화 또는 승화된 증착 재료(98)는 메탈 마스크(20)의 제1 관통 구멍(25a)을 거쳐 기판(92)에 부착된다. 이에 의해, 메탈 마스크(20)의 제1 관통 구멍(25a)의 위치에 대응한 원하는 패턴으로, 증착 재료(98)가 기판(92)의 표면에 성막된다.
RGB 등의 화소에 따라 상이한 종류의 증착 재료를 증착하기를 원하는 경우에는, 유기 발광 재료의 색에 따라 상이한 메탈 마스크(20)를 사용하여, 증착 재료(98)를 기판(92)의 표면에 성막해도 된다. 예를 들어, 적색용의 유기 발광 재료, 녹색용의 유기 발광 재료 및 청색용의 유기 발광 재료를 차례로 기판(92)에 증착해도 된다. 또한, 제1 관통 구멍(25a)의 배열 방향(상술한 일 방향)을 따라 메탈 마스크(20)(메탈 마스크 장치(10))와 기판(92)을 조금씩 상대 이동시켜, 적색용의 유기 발광 재료, 녹색용의 유기 발광 재료 및 청색용의 유기 발광 재료를 차례로 증착해도 된다.
또한, 메탈 마스크 장치(10)의 프레임(15)은 직사각 형상의 메탈 마스크(20)의 주연부에 설치되어도 된다. 프레임(15)은 메탈 마스크(20)를 펴진 상태로 보유 지지한다. 메탈 마스크(20)와 프레임(15)은, 예를 들어 스폿 용접에 의해 서로에 대하여 고정되어도 된다.
도 1에는, 복수의 긴 메탈 마스크(20)가 프레임(15)에 설치된 예를 나타낸다. 또한, 프레임(15)과 대략 동형의 대판인 1매의 메탈 마스크(20)가 프레임(15)에 설치되어도 된다.
이하, 유기 EL 표시 장치용의 유기 발광 재료의 증착에 사용되는 메탈 마스크를 예로 하여, 본 개시의 메탈 마스크에 대하여 상세하게 설명한다. 그러나, 본 개시의 메탈 마스크의 용도는, 유기 EL 표시 장치용의 유기 발광 재료의 증착에 한정되지는 않고, 그 밖에, 가상 현실 소위 VR이나 확장 현실 소위 AR을 표현하기 위한 화상이나 영상을 표시 또는 투영하기 위한 장치를 제조하기 위해 사용할 수도 있다.
본 개시의 메탈 마스크는, 유효 영역과, 주위 영역과, 더미 영역을 갖고, 유효 영역은, 제1 관통 구멍과 제1 톱부를 구비하고, 제1 톱부는, 제1 높이 R1을 갖고, 주위 영역은, 유효 영역의 주위에 위치하고, 더미 영역은, 유효 영역과 주위 영역 사이에 위치하고, 더미 영역은, 제2 톱부를 구비하고, 제2 톱부는, 제2 높이 R1을 갖고, 제2 높이 R1이, 제1 높이 R1보다 높다.
도 3에, 본 개시의 일 실시 형태의 메탈 마스크(20)의 평면도를 나타낸다. 메탈 마스크(20)는 에칭에 의해 금속판(51)에 제1 관통 구멍(25a)을 형성하여 얻어져도 된다. 도 3에 도시되는 바와 같이, 메탈 마스크(20)는 제1 관통 구멍(25a)이 배치된 유효 영역(22)과, 유효 영역(22)의 주위에 위치하는 주위 영역(23)과, 유효 영역(22)과 주위 영역(23)의 경계의 적어도 일부에 위치하는 더미 영역(24)을 갖는다. 메탈 마스크(20)는 평면에서 보아 대략 직사각 형상의 윤곽을 가져도 된다.
제1 면으로부터 제2 면까지의 높이 T는, 바람직하게는 50㎛ 이하여도 되고, 40㎛ 이하여도 되고, 35㎛ 이하여도 되고, 30㎛ 이하여도 되고, 25㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이하여도 되고, 18㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이하여도 되고, 13㎛ 이하여도 된다. 높이 T를 작게 함으로써, 증착 공정에 있어서 증착 재료(98)가 제2 오목부(35a)의 제2 벽면(36a)에 부착되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 이와 같은, 기판에 대한 증착 재료의 부착이 관통 구멍의 벽면에 의해 저해되는 현상을, 섀도라고도 칭한다.
또한, 높이 T는, 바람직하게는 2㎛ 이상이어도 되고, 5㎛ 이상이어도 되고, 10㎛ 이상이어도 되고, 15㎛ 이상이어도 된다. 높이 T를 크게 함으로써, 메탈 마스크(20)의 강도가 더 향상되는 경향이 있다. 이것에 의해, 예를 들어 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 높이 T의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 또한, 높이 T는, 메탈 마스크(20) 중 제1 오목부(30a) 및 제2 오목부(35a)가 형성되어 있지 않은 부분의 두께이다. 바꿔 말하면, 높이 T는, 주위 영역(23)의 두께나, 메탈 마스크(20)의 금속판(51)의 두께와 동등한 두께여도 된다.
메탈 마스크(20)의 열팽창 계수는, 프레임(15)의 열팽창 계수나 기판(92)의 열팽창 계수와 동등한 값인 것이 바람직하다. 이에 의해, 고온 분위기 하에서 실시되는 증착 처리 동안에, 메탈 마스크(20), 프레임(15) 및 기판(92)의 치수 변화의 차이에 기인한 위치 어긋남의 발생을 억제할 수 있다. 그 때문에, 위치 어긋남에 기인하는, 기판(92) 상에 부착되는 증착 재료(98)의 치수 정밀도나 위치 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.
예를 들어, 기판(92)으로서 유리 기판이 사용되는 경우, 메탈 마스크(20) 및 프레임(15)의 주요한 재료로서, 니켈을 포함하는 철 합금을 사용해도 된다. 니켈을 포함하는 철 합금으로서는, 예를 들어 30질량% 이상 54질량% 이하의 니켈을 포함하는 철 합금을 들 수 있다. 이와 같은 철 합금으로서는, 보다 구체적으로는, 34질량% 이상 38질량% 이하의 니켈을 포함하는 인바재, 30질량% 이상 34질량% 이하의 니켈에 더하여 코발트를 더 포함하는 슈퍼 인바재, 48질량% 이상 54질량% 이하의 니켈을 포함하는 저열팽창 Fe-Ni계 도금 합금 등을 들 수 있다.
또한, 증착 처리 시에, 메탈 마스크(20), 프레임(15), 및 기판(92)의 온도가 고온에 도달하지 않는 경우에는, 메탈 마스크(20) 및 프레임(15)의 열팽창 계수를 기판(92)의 열팽창 계수와 동등한 값으로 할 필요는 특별히 없다. 이 경우, 메탈 마스크(20)를 구성하는 후술하는 금속판(51)의 재료로서, 상술한 니켈을 포함하는 철 합금에 더하여, 스테인리스 등의 크롬을 포함하는 철 합금, 니켈이나 니켈-코발트 합금 등을 들 수 있다.
메탈 마스크(20)는, 복수의 유효 영역(22)을 가져도 된다. 예를 들어, 도 3에 도시한 바와 같이, 메탈 마스크(20)는, 긴 쪽 방향과 평행인 일 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 일렬로 배치된 복수의 유효 영역(22)을 가져도 된다. 이와 같은 메탈 마스크(20)는, 소위 스틱상의 메탈 마스크라 불리는 경우도 있다. 이 경우, 도 1에 도시한 바와 같이, 메탈 마스크 장치(10)는, 그 긴 쪽 방향에 직교하는 폭 방향으로 배치되어 프레임(15)에 설치된 복수의 메탈 마스크(20)를 가져도 된다.
또한, 다른 예로서, 메탈 마스크(20)는, 메탈 마스크(20)의 한 변과 평행인 일 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 배치되는 복수의 유효 영역(22)을 갖고, 또한 상기 일 방향과 직교하는 다른 방향을 따라서 소정의 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 유효 영역(22)을 가져도 된다. 바꿔 말하면, 메탈 마스크(20)는, 유효 영역(22)의 열을 복수 가져도 된다. 이 경우, 메탈 마스크 장치(10)는, 프레임(15)에 가까운 크기의 메탈 마스크(20)가, 프레임(15)에 대하여 1매 설치되어도 된다.
유효 영역(22)은, 제1 관통 구멍(25a)과 제1 톱부(32a)를 구비한다. 유효 영역(22)은, 복수의 제1 관통 구멍(25a)과 복수의 제1 톱부(32a)를 가져도 된다. 여기서, 제1 톱부(32a)란, 평면 상에 있어서 높이의 극댓값이 되는 부분을 말한다. 제1 톱부(32a)는, 제2 면(20b) 측에 형성되어 있어도 된다. 유효 영역(22)은, 유기 발광 재료가 증착되어 화소를 형성하게 되는 기판(92) 상의 구역에 대면하고, 증착 시에 마스크로서 기능하는 영역이어도 된다.
하나의 유효 영역(22)은, 하나의 유기 EL 표시 장치(100)의 표시 영역에 대응하도록 구성되어도 된다. 이와 같은 메탈 마스크 장치(10)를 사용함으로써, 유기 EL 표시 장치의 다면 증착이 가능해진다. 또한, 하나의 유효 영역(22)은, 복수의 유기 EL 표시 장치의 표시 영역에 대응하도록 구성되어도 된다.
유효 영역(22)은, 평면에서 보아 대략 직사각 형상의 윤곽을 가져도 된다. 또한, 유효 영역(22)은, 기판(92)의 표시 영역의 형상에 따라서, 원 형상 등의 다양한 형상의 윤곽을 가져도 된다.
도 4a에, 본 개시의 일 실시 양태로서, 유효 영역(22)을 제2 면(20b) 측에서 본 사시도를 도시한다. 유효 영역(22)은, 에칭에 의해 형성된 제1 관통 구멍(25a)을 가져도 된다. 도 4a에 도시한 바와 같이, 각 유효 영역(22)에 형성된 복수의 제1 관통 구멍(25a)은, 소정의 패턴으로 배치되어 있다. 예를 들어, 제2 면(20b) 측에서 보았을 때, 제1 관통 구멍(25a)은, 서로 교차하는 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2를 따라서 각각 소정의 피치로 배치되어 있어도 된다. 또한, 제1 관통 구멍(25a)은, 복수의 제1 톱부(32a)를 포함하는 복수의 능선(33a)에 의해 둘러싸여도 된다. 인접하는 제2 오목부(35a)는, 능선(33a)에 의해 접속되어도 된다.
도 4a에 도시한 바와 같이, 능선(33a)은, 인접하는 제2 오목부(35a)의 제2 벽면(36a)이 합류하여 형성되는 경계를 말한다. 이 능선(33a)의 높이는 일정하지 않고, 물결치는 것처럼 변동되어도 된다. 또한, 능선(33a)의 높이는, 메탈 마스크(20)의 두께 방향에 있어서의 능선(33a)의 위치라고도 할 수 있다. 일반적인 경향으로서, 능선(33a)의 높이는, 제1 관통 구멍(25a)의 중심으로부터의 거리에 따라 변화되고, 거리가 길어질수록 높아진다.
또한, 제1 톱부(32a)는, 능선(33a) 중에서도 높이의 극댓값이 되는 부분을 말한다. 도 4a의 경우에는, 제1 톱부(32a)는 4개의 제1 관통 구멍(25a)에 의해 둘러싸여 있다. 제1 톱부(32a)는, 능선 중에서도, 제1 관통 구멍(25a)의 중심으로부터의 비교적 먼 위치에 위치한다.
제1 톱부(32a)의 높이 H1이 낮을수록, 후술하는 제1 각도 θ1이 커지기 쉽다. 제1 각도 θ1이 크면, 증착 재료(98)의 이용 효율이나 증착 정밀도가 더 향상되기 쉽다. 이와 같은 관점에서, 유효 영역(22)의 높이 H1은, 비교적 낮은 것이 바람직하다.
주위 영역(23)은, 유효 영역(22)의 주위에 위치하는 영역이며, 유효 영역(22)을 둘러싸도록 위치해도 된다. 주위 영역(23)은, 유효 영역(22)의 주위에 위치함으로써 유효 영역(22)을 지지하는 영역이다. 주위 영역(23)은, 증착 재료가 통과하기 위한 제1 관통 구멍(25a)을 갖지 않는다. 단, 다양한 목적으로부터, 주위 영역(23)에는, 증착 재료가 통과하는 것을 목적으로 하지 않는 관통 구멍이나, 하프 에칭 등에 의해 구성된 오목부가 형성되어도 된다.
주위 영역은, 메탈 마스크 중 프레임에 고정되는 단부를 가져도 된다. 도 1에 도시한 바와 같이, 긴 스틱상인 메탈 마스크(20)의 경우에는, 단부(17)는 길이 방향에 있어서의 양단에 위치해도 된다. 또한, 단부(17)는, U자상의 노치 등을 가져도 된다. 한편, 메탈 마스크가 프레임과 대략 동형의 대형인 경우에는, 단부는 메탈 마스크의 주연에 위치해도 된다. 또한, 단부는, 메탈 마스크를 프레임에 고정한 후, 그 일부가 절단되는 것이어도 된다.
본 개시의 일 실시 양태에 있어서, 단부(17)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 다른 주위 영역(23)과 일체적으로 구성되어도 되고, 다른 주위 영역과는 다른 부재에 의해 구성되어도 된다. 이 경우, 단부는, 예를 들어 용접에 의해 주위 영역의 다른 부분에 접합되어도 된다.
더미 영역(24)은, 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이에 위치하는 영역이다. 더미 영역(24)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이의 모두에 위치해도 된다. 또한, 더미 영역(24)은, 도 5a나 도 5b에 도시한 바와 같이, 대략 직사각 형상의 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이 중 적어도 하나의 변에 위치해도 된다. 예를 들어, 더미 영역(24)은, 도 5a에 도시한 바와 같이, 대략 직사각 형상의 유효 영역(22)과 주위 영역(23)의 경계 중 대향하는 2개의 변에 위치해도 된다. 또한, 도 5b에 도시한 바와 같이, 대략 직사각 형상의 유효 영역(22)과 주위 영역(23)의 경계의 하나의 변 중에서 하나 또는 복수의 더미 영역(24)이 형성되어도 된다.
또한, 도 3에 도시한 바와 같이 메탈 마스크(20)가 스틱 형상인 경우, 더미 영역(24)은, 유효 영역(22)과 주위 영역(23)의 경계 중, 길이 방향에 평행인 변에 위치해도 되고, 도 5a에 도시한 바와 같이 길이 방향과 직교하는 방향에 평행인 변에 위치해도 된다. 더미 영역(24)이 길이 방향과 직교하는 방향에 평행인 변에 위치함으로써, 메탈 마스크(20)가 프레임(15)에 설치되었을 때에 있어서도, 변형이나 파단이 억제되기 쉽다.
더미 영역(24)은, 제2 톱부(32b)를 갖는다. 여기서, 제2 톱부(32b)란, 평면 상에 있어서 높이의 극댓값이 되는 부분을 말한다. 이 극댓값에는, 에칭되지 않고 남아 있는 부분이 포함되어도 된다. 제2 톱부(32b)는, 제2 면(20b) 측에 형성되어 있어도 된다. 또한, 더미 영역(24)은, 제2 관통 구멍(25b)을 갖고 있어도 된다.
본 개시의 일 실시 양태에 있어서는, 제2 톱부(32b)의 높이 H2는, 높이 H1보다 높다. 이에 의해, 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이의 영역에 있어서, 메탈 마스크(20)의 강도를 담보하여, 변형이나 파단을 억제한다.
에칭에 의해 금속판(51)에 유효 영역(22)을 형성하고자 하는 경우에는, 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이에 있어서, 에칭이 과잉으로 진행되기 쉬운 경향이 있다. 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이란, 레지스트 패턴의 구멍이 있는 영역과 구멍이 없는 영역의 경계라고도 할 수 있다. 에칭이 과잉으로 진행되면, 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이의 영역에 있어서, 메탈 마스크(20)가 부분적으로 얇아져, 접속 강도가 저하될 수 있다. 그렇게 되면, 메탈 마스크(20)가 변형되기 쉬워지거나, 주위 영역(23)으로부터 유효 영역(22)이 파단되기 쉬워지거나 한다.
따라서, 본 개시의 일 실시 양태에 있어서는, 더미 영역(24)이 갖는 제2 톱부(32b)의 높이 H2가, 유효 영역(22)의 제1 톱부(32a)의 높이 H1보다 커지도록 구성한다. 이에 의해, 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이의 영역에 있어서, 메탈 마스크(20)의 강도를 담보하여, 변형이나 파단을 억제한다.
유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이에 위치하는 더미 영역(24)의 범위는, 제2 톱부(32b)의 열수로 나타내도 된다. 예를 들어, 더미 영역(24)은, 주위 영역(23) 측으로부터 세어 1열 이상의 제2 톱부(32b)를 갖는 범위와 동등한 영역이어도 되고, 2열 이상의 제2 톱부를 갖는 범위와 동등한 영역이어도 되고, 3열 이상의 제2 톱부(32b)를 갖는 범위와 동등한 영역이어도 된다. 또한, 더미 영역(24)은, 주위 영역(23) 측으로부터 세어 100열 이하의 제2 톱부(32b)를 갖는 범위와 동등한 영역이어도 되고, 50열 이하의 제2 톱부(32b)를 갖는 범위와 동등한 영역이어도 되고, 10열 이하의 제2 톱부를 갖는 범위와 동등한 영역이어도 되고, 5열 이하의 제2 톱부를 갖는 범위와 동등한 영역이어도 된다. 더미 영역의 범위는, 상술한 제2 톱부(32b)의 열수에 대하여, 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 이 복수 열의 제2 톱부(32b)의 열은, 유효 영역(22)과 주위 영역(23)의 경계와 대략 평행하게 연장되어도 된다.
예를 들어, 도 6에서는, 방향 D1에 있어서, 제2 톱부(32b)가 2열 나열되고, 방향 D2에 있어서, 제2 톱부(32b)가 1열 나열되어 있는 양태가 도시되어 있다. 또한, 더미 영역(24)의 범위는, 상기와 같이, 1열 이상의 제2 톱부(32b)를 갖는 범위와 동등한 영역 등이어도 된다. 여기서, 「동등한 영역」이란, 예를 들어 도 6에 있어서, 방향 D2에 있어서 제2 톱부(32b)가 1열 나열되어 있는 범위와 동등한 범위를 갖는 영역을 말한다.
더미 영역(24)은 제2 관통 구멍(25b)을 가져도 된다. 또한, 더미 영역(24)은 유효 영역(22)과는 달리, 더미 영역(24)에 존재하는 제2 관통 구멍(25b)을 통과하여 증착 물질이 기판(92)에 부착되었다고 해도, 그 증착 물질은 표시 장치의 발광 소자로서는 사용되지 않아도 된다.
도 4b에, 본 개시의 일 실시 양태로서, 더미 영역(24)을 제2 면(20b) 측에서 본 사시도를 도시한다. 도 4b에 도시한 바와 같이, 더미 영역(24)에는, 유효 영역(22)과 유사한 패턴으로 복수의 제2 관통 구멍(25b)이 배열되어도 된다. 더미 영역(24)에 있어서도, 제2 관통 구멍(25b)은 복수의 제2 톱부(32b)와 복수의 능선(33b)에 의해 둘러싸여도 된다. 또한, 제2 관통 구멍(25b)은, 인접하는 제2 톱부(32b)는 능선(33b)에 의해 접속되어도 된다.
제2 톱부(32b)는, 도 4b에 도시한 바와 같이, 평면에서 보아, 높이의 극댓값이 되는 부분, 또는, 에칭되지 않고 남아 있는 부분을 말한다. 도 4b의 경우에는, 제2 톱부(32b)는, 4개의 제2 관통 구멍(25b)에 의해 둘러싸여 있고, 각각의 제2 관통 구멍(25b)의 중심으로부터의 비교적 먼 위치에 제2 톱부(32b)가 위치한다.
또한, 도 4b에 도시한 바와 같이, 능선(33b)은, 인접하는 제4 오목부(35b)의 제4 벽면(36b)이 합류하여 형성되는 경계를 말한다. 이 능선(33b)의 높이는, 일정하지 않고, 물결치는 것처럼 변동되어도 된다. 또한, 능선(33b)의 높이는, 메탈 마스크의 두께 방향에 있어서의 능선(33b)의 위치라고도 할 수 있다. 일반적인 경향으로서, 능선(33b)의 높이는, 제2 관통 구멍(25b)의 중심으로부터의 거리에 따라서 변화되고, 거리가 길어질수록 높아진다.
제2 톱부(32b)의 높이 H2가 높을수록, 유효 영역(22)과 주위 영역(23) 사이의 접속 강도가 더 향상되기 때문에, 변형이나 파단을 억제할 수 있다.
유효 영역(22) 및 더미 영역(24)이 갖는 제2 관통 구멍(25b)의 일 예에 대하여, 도 6 내지 도 9를 주로 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 도 6은 메탈 마스크(20)의 유효 영역(22), 주위 영역(23) 및 더미 영역(24)을 제2 면(20b) 측에서 본 부분 평면도이다. 또한, 도 7은 도 6의 IV-IV 선을 따른 단면도이며, 도 8은 도 6의 V-V선을 따른 단면도이고, 도 9는 도 6의 VI-VI 선을 따른 단면도이다.
구체적으로는, 도 7 내지 도 8은, 제1 관통 구멍(25a) 사이의 능선(33a) 및 제2 관통 구멍(25b) 사이의 능선(33b)을 통과하는 방향으로 메탈 마스크(20)의 유효 영역(22), 주위 영역(23) 및 더미 영역(24)을 절단한 경우의 단면도이다. 또한, 도 9는 제1 관통 구멍(25a) 사이의 제1 톱부(32a) 및 제2 관통 구멍(25b) 사이의 제2 톱부(32b)를 통과하는 방향으로 메탈 마스크(20)의 유효 영역(22), 주위 영역(23) 및 더미 영역(24)을 절단한 경우의 단면도이다.
도 6에 도시한 바와 같이, 제1 관통 구멍(25a) 및 제2 관통 구멍(25b) 중 적어도 일부는, 서로 교차하는 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2를 따라서 각각 소정의 피치로 배치되어 있다. 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2는, 각각, 메탈 마스크(20)의 길이 방향 또는 폭 방향에 일치해도 되고, 메탈 마스크(20)의 길이 방향 또는 폭 방향에 대하여 경사져도 된다. 예를 들어, 제1 방향 D1은, 메탈 마스크(20)의 길이 방향에 대하여 45도로 경사져도 된다.
유효 영역(22)에 있어서의 제1 관통 구멍(25a) 및 더미 영역(24)에 있어서의 제2 관통 구멍(25b)의 피치는, 특별히 한정되지는 않는다. 예를 들어, 메탈 마스크(20)가 휴대 전화나 디지털 카메라 등의 디스플레이(2인치 이상 5인치 이하 정도)를 제작하기 위해 사용되는 경우, 제1 관통 구멍(25a) 및 제2 관통 구멍(25b)의 피치는, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2의 각각에 있어서, 28㎛ 이상 254㎛ 이하 정도여도 된다.
제1 관통 구멍(25a)은, 메탈 마스크(20)의 두께 방향으로 관통하고 있다. 도 6 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 제1 관통 구멍(25a)은, 제1 면(20a) 측에 형성된 제1 오목부(30a)와, 제2 면(20b) 측에 형성된 제2 오목부(35a)가 연통하여 형성되어도 된다. 금속판(51)의 에칭은 레지스트 패턴의 구멍으로부터 다양한 방향을 향하여 등방적으로 진행될 수 있다. 그 때문에, 메탈 마스크(20)의 두께 방향을 따른 각 위치에 있어서의 제1 오목부(30a)나 제2 오목부(35a)의 단면적은, 표면으로부터 두께 방향으로 진행됨에 따라서 점차 작아져 가는 형상이 된다.
제1 관통 구멍(25a)은, 제1 접속부(41a)와, 제1 각도 θ1과, 높이 H3을 가져도 된다. 여기서, 제1 접속부(41a)는, 제1 오목부(30a)와 제2 오목부(35a)가 접속되는 모서리부이다. 제1 접속부(41a)에서는, 제1 관통 구멍(25a)의 벽면이 넓어지는 방향이 불연속으로 변화된다. 본 개시의 일 실시 양태에 있어서는, 제1 접속부(41a)에 있어서, 평면에서 본 제1 관통 구멍(25a)의 개구 면적이 최소로 되어도 된다. 또한, 제1 접속부(41a) 이외의, 메탈 마스크(20)의 두께 방향의 위치에 있어서, 제1 관통 구멍(25a)의 개구 면적이 최소로 되어도 된다.
또한, 제1 각도 θ1은, 직선 K1이 메탈 마스크의 두께 방향 N에 대하여 이루는 각도이다. 여기서, 직선 K1은, 제1 접속부(41a) 중 제1 톱부(32a)에 가장 가까운 부분 P1a와, 제1 톱부(32a) 중 제1 접속부(41a)에 가장 가까운 부분 P2a를 통과하는 직선이다. 또한, 높이 H3은, 제1 면(20a)으로부터 제1 접속부(41a)까지의 높이이다.
또한, 여기서, 제1 오목부(30a)와 제2 오목부(35a)는, 그 깊이에 따라 구별해도 된다. 예를 들어, 도 7에 도시한 바와 같이, 제1 관통 구멍(25a)은, 높이 H3의 제1 오목부(30a)와 높이 H4의 제2 오목부(35a)를 가져도 된다. 여기서, 높이 H3은, 제1 면(20a)으로부터 제1 접속부(41a)까지의 높이이다. 또한, 높이 H4는, 제2 면(20b)으로부터 제1 접속부(41a)까지의 높이이다. 이때, 높이 H3은, 높이 H4보다 낮은 것이 바람직하다. 이와 같은 깊이 관계에 있는 제1 오목부(30a)를 갖는 면이 제1 면(20a)이며, 제2 오목부(35a)를 갖는 면이 제2 면(20b)인 것으로 해도 된다.
높이 H3과 높이 H4의 비(H4/H3)는, 바람직하게는 1.5 이상이어도 되고, 2.0 이상이어도 되고, 2.5 이상이어도 되고, 3.0 이상이어도 된다.
상기와 같이 비(H4/H3)를 크게 함으로써, 증착 물질의 이용 효율이나 증착 정밀도가 더 향상되는 경향이 있다. 또한, 비(H4/H3)를 작게 함으로써, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있는 경향이 있다. 또한, 비(H4/H3)의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다.
제1 오목부(30a)와 제2 오목부(35a)의 깊이의 관계는, 제1 오목부(30a)와 제2 오목부(35a)의 개구의 치수로 치환해도 된다. 예를 들어, 제1 오목부(30a)의 개구 치수는, 제2 오목부(35a)의 개구 치수보다 작아도 된다.
유효 영역(22)의 제1 면(20a) 측에 있어서, 인접하는 2개의 제1 관통 구멍(25a)은, 제1 면(20a)의 면 방향을 따라서 이격되어도 된다. 바꿔 말하면, 인접하는 2개의 제1 오목부(30a) 사이에 금속판(51)의 제1 면(51a)이 남아도 된다. 이와 같은 제1 관통 구멍(25a)은, 후술하는 제조 방법과 같이, 인접하는 2개의 제1 오목부(30a) 사이에 금속판(51)의 제1 면(51a)이 잔존하도록 금속판(51)을 에칭함으로써 형성되어도 된다. 또한, 금속판(51)의 제1 면(51a)은, 메탈 마스크(20)의 제1 면(20a)에 대응한다.
유효 영역(22)의 제2 면(20b) 측에 있어서, 인접하는 2개의 제1 관통 구멍(25a)의 제2 오목부(35a)가 접속되어도 된다. 바꿔 말하면, 인접하는 2개의 제2 오목부(35a) 사이에, 메탈 마스크(20)를 구성하는 금속판(51)의 제2 면(51b)이 남아 있지 않아도 된다. 이와 같은 제1 관통 구멍(25a)은, 후술하는 제조 방법과 같이, 인접하는 2개의 제2 오목부(35a) 사이에 금속판(51)의 제2 면(51b)이 잔존하지 않도록 금속판(51)을 에칭함으로써 형성되어도 된다. 또한, 금속판(51)의 제2 면(51b)은, 메탈 마스크(20)의 제2 면(20b)에 대응한다.
유효 영역(22)에 있어서의 제2 면(20b)에서는, 인접하는 2개의 제2 오목부(35a) 사이에 금속판(51)의 제2 면(51b)이 잔존하고 있지 않아도 된다. 또한, 유효 영역(22)에 있어서의 제2 면(20b)의 전반적으로, 금속판(51)의 제1 면(51a)이 잔존하고 있지 않아도 된다. 바꿔 말하면, 유효 영역(22)에 있어서의 제1 면(20a)에서는, 금속판(21)의 두께와 동일한 두께를 갖는 톱부가 존재하지 않아도 된다.
제2 관통 구멍(25b)은, 메탈 마스크(20)의 두께 방향으로 관통하고 있다. 도 6 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 제2 관통 구멍(25b)은, 제1 면(20a) 측에 형성된 제3 오목부(30b)와, 제2 면(20b) 측에 형성된 제4 오목부(35b)가 연통하여 형성되어도 된다. 금속판(51)의 에칭은 레지스트 패턴의 구멍으로부터 다양한 방향을 향하여 등방적으로 진행될 수 있다. 그 때문에, 메탈 마스크(20)의 두께 방향을 따른 각 위치에 있어서의 제3 오목부(30b)나 제4 오목부(35b)의 단면적은, 표면으로부터 두께 방향으로 진행됨에 따라서 점차 작아져 가는 형상이 된다.
제2 관통 구멍(25b)은, 제2 접속부(41b)와, 제2 각도 θ2를 가져도 된다. 여기서, 제2 접속부(41b)는, 제3 오목부(30b)와 제4 오목부(35b)가 접속되는 모서리부이다. 제2 접속부(41b)에서는, 제2 관통 구멍(25b)의 벽면이 넓어지는 방향이 불연속으로 변화된다. 본 개시의 일 실시 양태에 있어서는, 제2 접속부(41b)에 있어서, 평면에서 본 제2 관통 구멍(25b)의 개구 면적이 최소로 되어도 된다. 또한, 제2 접속부(41b) 이외의, 메탈 마스크(20)의 두께 방향의 위치에 있어서, 제2 관통 구멍(25b)의 개구 면적이 최소로 되어도 된다.
또한, 제2 각도 θ2는, 직선 K2가 메탈 마스크의 두께 방향 N에 대하여 이루는 각도이다. 여기서, 직선 K2는, 제2 접속부(41b) 중 제2 톱부(32b)에 가장 가까운 부분 P1b와, 제2 톱부(32b) 중 제2 접속부(41b)에 가장 가까운 부분 P2b를 통과하는 직선이다. 또한, 높이 H5는, 제1 면(20a)으로부터 제2 접속부(41b)까지의 높이이다.
또한, 여기서, 제3 오목부(30b)와 제4 오목부(35b)는, 그 깊이에 따라 구별 해도 된다. 예를 들어, 도 7에 도시하는 바와 같이, 제2 관통 구멍(25b)이, 높이 H5의 제3 오목부(30b)와 높이 H6의 제4 오목부(35b)를 갖는다. 여기서, 높이 H5는, 제1 면(20a)으로부터 제2 접속부(41b)까지의 높이이다. 또한, 높이 H6은, 제2 면(20b)으로부터 제2 접속부(41b)까지의 높이이다. 이때, 높이 H5는, 높이 H6보다 낮은 것이 바람직하다. 이러한 깊이 관계에 있는 제3 오목부(30b)를 갖는 면이 제1 면(20a)이고, 제4 오목부(35b)를 갖는 면이 제2 면(20b)이라고 해도 된다.
높이 H5와 높이 H6의 비(H6/H5)는, 바람직하게는 1.5 이상이어도 되고, 2.0 이상이어도 되고, 2.5 이상이어도 되고, 3.0 이상이어도 된다.
상기와 같이 비(H6/H5)를 작게 함으로써, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있는 경향이 있다. 또한, 비(H6/H5)의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다.
제3 오목부(30b)와 제4 오목부(35b)의 깊이의 관계는, 제3 오목부(30b)와 제4 오목부(35b)의 개구의 치수로 치환해도 된다. 예를 들어, 제3 오목부(30b)의 개구 치수는, 제4 오목부(35b)의 개구 치수보다 작아도 된다.
더미 영역(24)의 제1 면(20a) 측에 있어서, 인접하는 2개의 제2 관통 구멍(25b)은, 제1 면(20a)의 면 방향을 따라서 이격해도 된다. 바꾸어 말하면, 인접하는 2개의 제3 오목부(30b) 사이에 금속판(51)의 제1 면(51a)이 남아도 된다. 이러한 제2 관통 구멍(25b)은, 후술하는 제조 방법과 같이, 인접하는 2개의 제3 오목부(30b) 사이에 금속판(51)의 제1 면(51a)이 잔존하도록 금속판(51)을 에칭함으로써 형성되어도 된다. 또한, 금속판(51)의 제1 면(51a)은, 메탈 마스크(20)의 제1 면(20a)에 대응한다.
더미 영역(24)의 제2 면(20b) 측에 있어서, 인접하는 2개의 제2 관통 구멍(25b)의 제4 오목부(35b)가 접속되어도 된다. 바꾸어 말하면, 인접하는 2개의 제4 오목부(35b) 사이에, 메탈 마스크(20)를 구성하는 금속판(51)의 제2 면(51b)이 남아있지 않아도 된다. 이러한 제2 관통 구멍(25b)은, 후술하는 제조 방법과 같이, 인접하는 2개의 제4 오목부(35b) 사이에 금속판(51)의 제2 면(51b)이 잔존하지 않도록 금속판(51)을 에칭함으로써 형성되어도 된다. 또한, 금속판(51)의 제2 면(51b)은, 메탈 마스크(20)의 제2 면(20b)에 대응한다.
더미 영역(24)에 있어서의 제2 면(20b)에서는, 인접하는 2개의 제4 오목부(35b) 사이에 금속판(51)의 제2 면(51b)이 잔존해도 되고, 유효 영역(22)에 있어서의 제2 면(20b)의 전반적으로, 금속판(51)의 제2 면(51b)이 잔존해도 된다. 바꿔 말하면, 유효 영역(22)에 있어서의 제2 면(20b)에서는, 금속판(21)의 두께와 동일한 두께를 갖는 톱부가 존재해도 된다.
메탈 마스크(20)를 사용하는 증착 공정에 있어서, 증착 재료(98)는, 점차 개구 면적이 작아져 가는 제2 오목부(35a)를 통과하여 기판(92)에 부착한다. 증착 재료(98)의 일부는, 도가니(94)로부터 기판(92)을 향하여 기판(92)의 두께 방향 N을 따라 이동한다. 이때, 도 9에 있어서 화살표 F로 나타내는 바와 같이, 증착 재료(98)의 일부는, 기판(92)의 두께 방향 N에 대하여 경사진 방향으로 이동하기도 한다. 경사진 방향으로 이동하는 증착 재료(98)의 일부는, 관통 구멍(25)을 통하여 기판(92)에 도달하는 것보다도 전에, 제2 벽면(36a)에 도달하여 부착될 수 있다. 제2 벽면(36a)에 부착되는 증착 재료(98)의 비율이 높을수록, 증착 공정에서의 증착 재료(98)의 이용 효율이 저하된다.
증착 재료(98)의 이용 효율의 점에서는, 도 7 등에 도시하는 바와 같이, 인접하는 2개의 제2 오목부(35a)의 제2 벽면(36)이 제2 면(20b) 측에 있어서 합류하도록 구성하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 제1 관통 구멍(25a)의 대부분을 이루는 제2 벽면(36a)이 메탈 마스크의 두께 방향에 대하여 효과적으로 경사진다. 이에 의해, 증착 재료(98)의 이용 효율을 효과적으로 개선하면서 원하는 패턴으로의 증착을 안정되게 고정밀도로 실시할 수 있다.
이러한 관점에서, 유효 영역(22)의 제1 톱부(32a)의 높이 H1은 이하와 같이 구성하는 것이 바람직하다. 여기서, 제1 톱부(32a)란, 유효 영역(22)의 제2 면(20b) 측에 있어서 높이가 극댓값이 되는 부분을 말한다.
제1 톱부(32a)는, 도 3이나 도 5에 도시되는 바와 같이, 유효 영역(22)의 중앙 영역(22')에 위치하는 것이 바람직하다. 여기서, 중앙 영역(22')이란, 유효 영역(22)의 중앙 부분을 의미한다. 중앙 영역(22')은, 유효 영역(22) 중에서, 주위 영역(23)으로부터 소정의 거리 떨어진 영역이라고 할 수도 있다. 이러한 중앙 영역(22')은, 특별히 한정되지는 않지만, 예를 들어 주위 영역(23)으로부터 유효 영역(22)의 중심을 향해서, 제1 관통 구멍(25a)의 수가 150열 이상 내측의 범위여도 되고, 200열 이상 내측의 범위여도 되고, 300열 이상 내측의 범위여도 되고, 500열 이상 내측의 범위여도 된다. 관통 구멍의 수의 상한은 특별히 제한되지는 않고, 주위 영역(23)으로부터 유효 영역(22)의 중심을 향하여 소정 이상 이격된 거리이면 된다.
높이 H1은, 높이 T에 대하여, 바람직하게는 0.15배 이상이어도 되고, 0.20배 이상이어도 되고, 0.25배 이상이어도 되고, 0.30배 이상이어도 되고, 0.35배 이상이어도 되고, 0.40배 이상이어도 되고, 0.45배 이상이어도 된다.
높이 H1은, 바람직하게는 6㎛ 이상이어도 되고, 7㎛ 이상이어도 되고, 8㎛ 이상이어도 되고, 9㎛ 이상이어도 되고, 10㎛ 이상이어도 된다. 또한, 높이 H1은, 바람직하게는 16㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이하여도 되고, 14㎛ 이하여도 되고, 13㎛ 이하여도 되고, 12㎛ 이하여도 된다.
높이 H1을 상기 하한값 이상으로 함으로써, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 높이 H1을 상기 상한값 이하로 함으로써, 증착 재료(98)의 이용 효율이 더 향상되거나, 증착 정밀도가 더 향상되거나 하는 경향이 있다. 또한, 높이 H1의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다.
더미 영역(24)이 갖는 제2 톱부(32b)의 높이 H2는, 유효 영역(22)의 제1 톱부(32a)의 높이 H1보다 높다. 이에 의해, 더미 영역(24)에 있어서의 강도가 더 향상되고, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 더미 영역(24)에 배치되어도 되는 제2 톱부(32b)는, 도 16에 도시하는 바와 같이 에칭되지 않고 남은 톱부여도 된다. 바꿔 말하면, 더미 영역(24)에 있어서의 제2 면(20b)에서는, 인접하는 2개의 제4 오목부(35b) 사이에 금속판(51)의 제2 면(51b)이 잔존해도 된다. 제2 톱부(32b)가 남도록 메탈 마스크(20)를 제작함으로써, 더미 영역(24)에 있어서의 강도가 더 향상되고, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있다.
높이 H2는, 높이 H1에 대하여, 바람직하게는 1.05배 이상이어도 되고, 1.15배 이상이어도 되고, 1.25배 이상이어도 되고, 1.35배 이상이어도 되고, 1.45배 이상이어도 된다. 또한, 높이 H2는, 높이 H1에 대하여, 바람직하게는 4.25배 이하여도 되고, 4.00배 이하여도 되고, 3.75배 이하여도 되고, 3.50배 이하여도 되고, 3.25배 이하여도 된다. 또한, 높이 H1에 대한 높이 H2의 범위는, 상기 상한값 하한값의 임의의 조합이어도 되고, 예를 들어 1.05배 이상 4.25배 이하여도 되고, 1.05배 이상 4.00배 이하여도 되고, 1.15배 이상 3.75배 이하여도 되고, 1.25배 이상 3.50배 이하여도 되고, 1.35배 이상 3.25배 이하여도 되고, 1.45배 이상 3.25배 이하여도 된다. 높이 H2가 높이 H1에 대하여 1.05배 이상임으로써, 파단이나 함몰의 발생이 보다 억제되는 경향이 있다. 또한, 높이 H2가 높이 H1에 대하여 4.00배 이하임으로써, 주름의 발생이 보다 억제되는 경향이 있다.
높이 H2는, 높이 T에 대하여, 바람직하게는 0.40배 이상이어도 되고, 0.45배 이상이어도 되고, 0.50배 이상이어도 되고, 0.55배 이상이어도 되고, 0.60배 이상이어도 된다. 또한, 높이 H2는, 높이 T에 대하여, 바람직하게는 1.00배 이하여도 되고, 0.95배 이하여도 되고, 0.90배 이하여도 되고, 0.85배 이하여도 되고, 0.80배 이하여도 된다.
높이 H2는, 바람직하게는 8.0㎛ 이상이어도 되고, 10.0㎛ 이상이어도 되고, 11.0㎛ 이상이어도 되고, 12.0㎛ 이상이어도 되고, 13.0㎛ 이상이어도 된다. 또한, 높이 H2는, 바람직하게는 32.5㎛ 이하여도 되고, 30.0㎛ 이하여도 되고, 27.5㎛ 이하여도 되고, 25.0㎛ 이하여도 되고, 22.5㎛ 이하여도 된다.
상기와 같이 높이 H2를 크게 함으로써, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 높이 H2의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다.
또한, 유효 영역(22)으로부터 주위 영역(23)으로 더미 영역(24)을 횡단하는 동일 직선상에 있어서, 주위 영역(23)에 가까운 높이 H2가 유효 영역(22)에 가까운 높이 H2보다 높은 것이 바람직하다. 유효 영역(22)에 있어서의 제1 톱부와 더미 영역(24)에 있어서의 제2 톱부의 높이 변화가 크면, 그 높이 변화가 큰 부분에 국소적으로 응력이 집중할 가능성이 있다. 그러나, 이와 같이 더미 영역(24)에 있어서의 높이 H2가 주위 영역(23)을 향하여 서서히 높아지도록 구성함으로써, 국소적인 응력 집중을 보다 완화할 수 있다. 그 때문에, 유효 영역(22)의 변형이나 파단이 보다 억제된다.
높이 H1 및 높이 H2의 측정 방법에 대하여 설명한다. 먼저, 메탈 마스크(20)의 유효 영역(22)과 더미 영역(24)으로부터, 높이 H1 및 높이 H2를 측정하기 위한 샘플(20s)을 채취한다. 이어서, 제1 면(20a) 측으로부터 주사형 전자 현미경 등으로 관찰함으로써, 높이 H1 및 높이 H2를 측정할 수 있다. 또한 여기서, 높이 H1 및 높이 H2는 제1 면(20a)을 기점으로 하여 메탈 마스크의 두께 방향으로 측정한 높이이다. 그리고, 복수의 샘플(20s)에 대해서, 상술한 방법에 기초하여 높이 H1 및 높이 H2를 측정하고, 평균값을 산출한다. 이 평균값을, 높이 H1 및 높이 H2로서 사용한다.
제2 각도 θ2는, 제1 각도 θ1보다 작은 것이 바람직하다. 이에 의해, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있고, 또한, 증착 물질의 이용 효율이나 증착 정밀도가 더 향상되는 경향이 있다. 제1 각도 θ1은, 예를 들어 제2 면으로부터 에칭 등에 의해 제2 오목부(35a)를 형성할 때에 그 에칭양에 의해, 조정해도 된다.
제2 각도 θ2는, 제1 각도 θ1에 대하여, 바람직하게는 1.60배 이하여도 되고, 1.30배 이하여도 되고, 1.00배 이하여도 되고, 0.95배 이하여도 되고, 0.90배 이하여도 되고, 0.85배 이하여도 된다. 또한, 제2 각도 θ2는, 제1 각도 θ1에 대하여, 바람직하게는 0.30배 이상이어도 되고, 0.35배 이상이어도 되고, 0.40배 이상이어도 되고, 0.45배 이상이어도 되고, 0.50배 이상이어도 된다.
제1 각도 θ1은, 바람직하게는 30도 이상이어도 되고, 35도 이상이어도 되고, 40도 이상이어도 되고, 45도 이상이어도 되고, 50도 이상이어도 된다. 또한, 제1 각도 θ1은, 바람직하게는 80도 이하여도 되고, 75도 이하여도 되고, 70도 이하여도 되고, 65도 이하여도 되고, 60도 이하여도 된다.
제2 각도 θ2는, 바람직하게는 10도 이상이어도 되고, 15도 이상이어도 되고, 20도 이상이어도 되고, 25도 이상이어도 되고, 30도 이상이어도 되고, 35도 이상이어도 된다. 또한, 제2 각도 θ2는, 바람직하게는 70도 이하여도 되고, 60도 이하여도 되고, 55도 이하여도 되고, 50도 이하여도 된다.
상기와 같이 제1 각도 θ1 및 제2 각도 θ2를 설정함으로써, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있고, 또한, 증착 물질의 이용 효율이나 증착 정밀도가 더 향상되는 경향이 있다. 또한, 제1 각도 θ1 및 제2 각도 θ2에 관한 상기 수치 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중의 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다.
높이 H5는, 높이 H3보다 높은 것이 바람직하다. 이에 의해, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있고, 또한, 증착 물질의 이용 효율이나 증착 정밀도가 더 향상되는 경향이 있다. 높이 H5는, 예를 들어 제1 면(20a) 및 제2 면(20b)의 에칭양에 의해, 조정해도 된다.
높이 H5는, 높이 H3에 대하여, 바람직하게는 0.90배 이상이어도 되고, 1.00배 이상이어도 되고, 1.10배 이상이어도 되고, 1.20배 이상이어도 되고, 1.30배 이상이어도 된다.
높이 H3은, 높이 H5에 대하여, 바람직하게는 0.01배 이상이어도 되고, 0.05배 이상이어도 되고, 0.10배 이상이어도 되고, 0.15배 이상이어도 된다. 또한, 높이 H3은, 높이 H5에 대하여, 바람직하게는 1.10배 이하여도 되고, 1.00배 이하여도 되고, 0.95배 이하여도 되고, 0.90배 이하여도 되고, 0.85배 이하여도 되고, 0.80배 이하여도 되고, 0.75배 이하여도 되고, 0.70배 이하여도 되고, 0.65배 이하여도 되고, 0.60배 이하여도 된다. 또한, 높이 H5에 대한 높이 H3의 범위는, 상기 상한값 하한값의 임의의 조합이어도 되고, 예를 들어 0.01배 이상 0.95배 이하여도 되고, 0.05배 이상 0.90배 이하여도 되고, 0.10배 이상 0.85배 이하여도 되고, 0.10배 이상 0.80배 이하여도 되고, 0.10배 이상 0.75배 이하여도 된다. 높이 H5가 높이 H3에 비해 큰 것에 의해, 파단이나 함몰의 발생이 보다 억제되는 경향이 있다.
높이 H3은, 높이 H1에 대하여, 바람직하게는 0.10배 이상이어도 되고, 0.15배 이상이어도 되고, 0.20배 이상이어도 되고, 0.25배 이상이어도 된다. 또한, 높이 H3은, 높이 H1에 대하여, 바람직하게는 0.70배 이하여도 되고, 0.60배 이하여도 되고, 0.50배 이하여도 되고, 0.45배 이하여도 되고, 0.40배 이하여도 된다.
높이 H3은, 바람직하게는 0.1㎛ 이상이어도 되고, 0.3㎛ 이상이어도 되고, 0.5㎛ 이상이어도 되고, 0.7㎛ 이상이어도 되고, 1.0㎛ 이상이어도 된다. 또한, 높이 H3은, 바람직하게는 5.0㎛ 이하여도 되고, 4.7㎛ 이하여도 되고, 4.4㎛ 이하여도 되고, 4.1㎛ 이하여도 되고, 3.8㎛ 이하여도 되고, 3.5㎛ 이하여도 된다.
높이 H5는, 높이 H2에 대하여, 바람직하게는 0.05배 이상이어도 되고, 0.10배 이상이어도 되고, 0.15배 이상이어도 된다. 또한, 높이 H5는, 높이 H2에 대하여, 바람직하게는 0.70배 이하여도 되고, 0.60배 이하여도 되고, 0.50배 이하여도 되고, 0.45배 이하여도 되고, 0.40배 이하여도 되고, 0.35배 이하여도 된다.
높이 H5는, 바람직하게는 0.1㎛ 이상이어도 되고, 0.5㎛ 이상이어도 되고, 1.0㎛ 이상이어도 되고, 1.5㎛ 이상이어도 되고, 2.0㎛ 이상이어도 된다. 또한, 높이 H5는, 바람직하게는 12㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이하여도 되고, 8.0㎛ 이하여도 되고, 6.0㎛ 이하여도 된다.
상기와 같이 높이 H3 및 높이 H5를 설정함으로써, 유효 영역(22)이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있고, 또한, 증착 물질의 이용 효율이나 증착 정밀도가 더 향상되는 경향이 있다. 또한, 높이 H3 및 높이 H5에 관한 상기 수치 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다.
본 개시의 일 실시 형태에 관한 메탈 마스크의 제조 방법은, 제1 면(51a)과, 제1 면(51a)의 반대 측에 위치하는 제2 면(51b)을 갖는 금속판(51)을 준비하는 공정과, 금속판(51)을 에칭함으로써 메탈 마스크(20)를 형성하는 에칭 공정을 구비하고, 메탈 마스크(20)는, 유효 영역(22)과, 주위 영역(23)과, 더미 영역(24)을 갖고, 유효 영역(22)은, 제1 관통 구멍(25a)과 제1 톱부(32a)를 구비하고, 제1 톱부(32a)는, 높이 H1을 갖고, 주위 영역(23)은, 유효 영역(22)의 주위에 위치하고, 더미 영역(24)은, 유효 영역(22)와 주위 영역(23) 사이에 위치하고, 더미 영역(24)은, 제2 톱부(32b)를 구비하고, 제2 톱부(32b)는, 높이 H2를 갖고, 높이 H2가, 높이 H1보다 높다.
본 개시의 일 실시 형태에 관한 메탈 마스크(20)의 제조 방법에 대해서, 주로 도 10 내지 도 16을 참조하여 설명한다. 도 10은, 금속판(51)을 사용하여 메탈 마스크(20)를 제조하는 제조 장치(70)를 도시하는 도면이다. 먼저, 축 부재(52)에 감긴 금속판(51)을 포함하는 권회체(50)를 준비한다. 계속해서, 권회체(50)의 금속판(51)을 축 부재(52)로부터 권출하여, 금속판(51)을 도 10에 도시하는 레지스트막 형성 장치(71), 노광ㆍ현상 장치(72), 에칭 장치(73), 박막 장치(74) 및 분리 장치(75)에 순차 반송한다. 그 과정에 있어서 금속판(51)에 관통 구멍(25)이 형성되고, 또한 긴 금속판을 재단함으로써 매엽상의 금속판으로 이루어지는 메탈 마스크(20)를 얻을 수 있다.
또한, 도 10에 있어서는, 금속판(51)이 그 길이 방향으로 반송됨으로써 장치 사이를 이동하는 예가 도시되어 있지만, 이것에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 레지스트막 형성 장치(71)에 있어서 레지스트막이 마련된 금속판(51)을 축 부재(52)에 다시 권취한 후, 권회체의 상태의 금속판(51)을 노광ㆍ현상 장치(72)에 공급해도 된다. 또한, 노광ㆍ현상 장치(72)에 있어서 노광ㆍ현상 처리된 레지스트막이 마련된 상태의 금속판(51)을 축 부재(52)에 다시 권취한 후, 권회체의 상태의 금속판(51)을 에칭 장치(73)에 공급해도 된다. 또한, 에칭 장치(73)에 있어서 에칭된 금속판(51)을 축 부재(52)에 다시 권취한 후, 권회체의 상태의 금속판(51)을 박막 장치(74)에 공급해도 된다. 또한, 박막 장치(74)에 있어서 후술하는 수지(54) 등이 제거된 금속판(51)을 축 부재(52)에 다시 권취한 후, 권회체의 상태의 금속판(51)을 분리 장치(75)에 공급해도 된다.
레지스트막 형성 장치(71)는, 금속판(51)의 표면에 레지스트막을 형성한다. 또한, 노광ㆍ현상 장치(72)는, 레지스트막에 노광 처리 및 현상 처리를 실시함으로써, 레지스트막을 패터닝하여 레지스트 패턴을 형성한다. 에칭 장치(73)는, 레지스트 패턴을 마스크로 하여 금속판(51)을 에칭하여, 금속판(51)에 제1 관통 구멍(25a) 및 제2 관통 구멍(25b)을 형성한다. 박막 장치(74)는, 레지스트 패턴이나 후술하는 수지(54) 등의, 금속판(51) 중 에칭되지 않는 부분을 에칭액으로부터 보호하기 위하여 마련된 구성 요소를 박리시킨다. 분리 장치(75)는, 금속판(51) 중 1매분의 메탈 마스크(20)에 대응하는 제1 관통 구멍(25a) 및 제2 관통 구멍(25b)이 형성된 부분을 금속판(51)으로부터 분리하는 분리 공정을 실시한다. 이와 같이 하여, 메탈 마스크(20)를 얻을 수 있다.
본 개시의 일 실시 형태에 있어서는, 금속판(51)으로부터 복수매의 메탈 마스크(20)를 제작할 수 있도록, 다수의 유효 영역(22)을 형성한다. 바꾸어 말하면, 금속판(51)에 복수매의 메탈 마스크(20)를 할당한다. 예를 들어, 금속판(51)의 폭 방향에 복수의 유효 영역(22)이 나열되고, 또한, 금속판(51)의 길이 방향에 복수의 메탈 마스크(20)용의 유효 영역(22)이 나열되도록, 금속판(51)에 다수의 관통 구멍(25)을 형성해도 된다.
이하, 메탈 마스크(20)의 제조 방법의 각 공정에 대하여 상세하게 설명한다.
먼저, 축 부재(52)에 감긴 금속판(51)을 포함하는 권회체(50)를 준비한다. 원하는 두께를 갖는 금속판(51)을 제작하는 방법으로서는, 압연법, 도금 성막법 등을 채용할 수 있다.
계속해서, 레지스트막 형성 장치(71)를 사용하여, 권출 장치로부터 권출된 금속판(51)의 제1 면(51a) 상 및 제2 면(51b) 상에, 도 11에 도시한 바와 같이 레지스트막(53a, 53b)을 형성한다. 레지스트막(53a, 53b)은, 예를 들어, 아크릴계 광경화성 수지 등의 감광성 레지스트 재료를 포함하는 드라이 필름을 금속판(51)의 제1 면(51a) 상 및 제2 면(51b) 상에 첩부함으로써 형성해도 된다. 또한, 레지스트막(53a, 53b)은, 예를 들어, 감광성 레지스트 재료를 포함하는 도포액을 금속판(51)의 제1 면(51a) 상 및 제2 면(51b) 상에 도포하고, 도포액을 건조시킴으로써 형성해도 된다.
레지스트막(53a, 53b)은 네가티브형이어도 포지티브형이어도 되지만, 네가티브형이 바람직하게 사용된다.
레지스트막(53a, 53b)의 두께는, 예를 들어 15㎛ 이하이며, 10㎛ 이하여도 되고, 6㎛ 이하여도 되고, 4㎛ 이하여도 된다. 또한, 레지스트막(53a, 53b)의 두께는, 예를 들어 1㎛ 이상이며, 3㎛ 이상이어도 되고, 5㎛ 이상이어도 되고, 7㎛ 이상이어도 된다. 레지스트막(53a, 53b)의 두께의 범위는, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 1개와, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다.
계속해서, 노광ㆍ현상 장치(72)를 사용하여, 레지스트막(53a, 53b)을 노광 및 현상한다. 이에 의해, 도 12에 도시한 바와 같이, 금속판(51)의 제1 면(51a) 상에 제1 레지스트 패턴(53c)을 형성하고, 금속판(51)의 제2 면(51b) 상에 제2 레지스트 패턴(53d)을 형성할 수 있다. 예를 들어, 네가티브형의 레지스트막을 사용한 경우에는, 레지스트막 중 제거하고자 하는 영역에 광을 투과시키지 않도록 한 유리 건판을 레지스트막 상에 배치하고, 레지스트막을 유리 건판 너머로 노광하고, 또한 레지스트막을 현상하도록 해도 된다.
계속해서, 에칭 장치(73)를 사용하여, 제1 레지스트 패턴(53c), 제2 레지스트 패턴(53d)을 마스크로 하여 금속판(51)을 에칭함으로써 메탈 마스크(20)를 형성하는 에칭 공정을 실시한다. 에칭 공정은, 제1 면 에칭 공정 및 제2 면 에칭 공정을 포함해도 된다.
먼저, 도 13에 도시한 바와 같이, 제1 면 에칭 공정을 실시한다. 제1 면 에칭 공정에 있어서는, 금속판(51)의 제1 면(51a) 중 제1 레지스트 패턴(53c)에 의해 덮여 있지 않은 영역을, 제1 에칭액을 사용해서 에칭한다. 예를 들어, 제1 에칭액을, 반송되는 금속판(51)의 제1 면(51a)에 대면하는 측에 배치된 노즐로부터, 제1 레지스트 패턴(53c) 너머로 금속판(51)의 제1 면(51a)을 향하여 분사한다. 이때, 금속판(51)의 제2 면(51b)은, 제1 에칭액에 대한 내성을 갖는 필름 등에 의해 덮여도 된다.
제1 면 에칭 공정의 결과, 도 13에 도시한 바와 같이, 금속판(51) 중 제1 레지스트 패턴(53c)에 의해 덮여 있지 않은 영역에서, 제1 에칭액에 의한 침식이 진행된다. 이에 의해, 금속판(51)의 제1 면(51a)에 다수의 제1 오목부(30a) 및 제3 오목부(30b)가 형성된다. 제1 에칭액으로서는, 예를 들어 염화 제2철 용액 및 염산을 포함하는 것을 사용해도 된다.
다음으로, 도 14에 도시한 바와 같이, 제2 면 에칭 공정을 실시한다. 제2 면 에칭 공정에 있어서는, 금속판(51)의 제2 면(51b) 중 제2 레지스트 패턴(53d)에 의해 덮여 있지 않은 영역을, 제2 에칭액을 사용해서 에칭한다. 이에 의해, 금속판(51)의 제2 면(51b)에 제2 오목부(35a) 및 제4 오목부(35b)를 형성한다. 제2 면(51b)의 에칭은, 제1 오목부(30a)와 제2 오목부(35a)가 서로 통하여, 이에 의해 제1 관통 구멍(25a)가 형성되게 될 때까지 실시된다. 또한, 이때에, 제3 오목부(30b)와 제4 오목부(35b)가 서로 통하고, 이에 의해 제2 관통 구멍(25b)이 형성되어도 된다. 제2 에칭액으로서는, 상술한 제1 에칭액과 마찬가지로, 예를 들어 염화 제2철 용액 및 염산을 포함하는 것을 사용해도 된다. 또한, 제2 면(51b)의 에칭 시, 도 14에 도시한 바와 같이, 제2 에칭액에 대한 내성을 가진 수지(54)에 의해 제1 오목부(30)가 피복되어도 된다.
제2 면 에칭 공정에 있어서는, 도 15에 도시한 바와 같이, 인접하는 2개의 제2 오목부(35)가 접속될 때까지 에칭이 진행되어도 된다. 인접하는 2개의 제2 오목부(35a)가 접속된 개소에 있어서는, 인접하는 2개의 제2 오목부(35a)가 합류하여 능선(33)이 제1 레지스트 패턴(53c)으로부터 이격되어, 능선(33a)에 있어서 에칭에 의한 침식이 금속판(51)의 두께 방향으로도 진행된다. 이에 의해, 제2 레지스트 패턴(53d)이 금속판(51)으로부터 박리된다. 또한, 인접하는 2개의 제2 오목부(35)의 사이에 제2 면(51b)이 부분적으로 남아도 된다.
본 개시에 있어서는, 제2 면 에칭 공정에 있어서, 유효 영역(22)에 있어서는, 도 15에 도시한 바와 같이, 인접하는 2개의 제2 오목부(35a)가 접속되도록 에칭이 진행되도록 해도 된다. 또한, 더미 영역(24)에 있어서는, 도 14에 도시한 바와 같이, 인접하는 2개의 제2 오목부(35a)가 접속되지 않도록 에칭이 진행되도록 해도 되고, 도 15에 도시한 바와 같이, 인접하는 2개의 제2 오목부(35a)가 접속되도록 에칭이 진행되도록 해도 된다.
이에 의해, 용이하게 더미 영역(24)이 갖는 제2 톱부(32b)의 높이 H2를, 유효 영역(22)이 갖는 제1 톱부(32a)의 높이 H1보다 크게 생긴다. 또한, 도 16에 도시한 바와 같이, 제2 레지스트 패턴(53d)에 있어서의 구멍의 크기나 형상을 조정함으로써, 제2 면 에칭 공정에 있어서, 유효 영역(22)과 더미 영역(24)을 동시에 형성해도 된다.
다음으로, 본 실시 형태에 관한 메탈 마스크(20)를 사용하여 유기 EL 표시 장치를 제조하는 방법에 대해서, 도 2을 참조하면서 설명한다. 유기 EL 표시 장치는, 기판(92)과, 패턴상으로 마련된 증착 재료(98)를 포함하는 증착층을 적층한 상태로 구비해도 된다. 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은, 메탈 마스크(20)를 사용하여 기판(92) 등의 기판 상에 증착 재료(98)를 증착시키는 증착 공정을 구비한다.
증착 공정에 있어서는, 먼저, 메탈 마스크(20)가 기판에 대향하도록 메탈 마스크 장치(10)를 배치한다. 또한, 자석을 사용하여 메탈 마스크(20)를 기판(92)에 밀착시켜도 된다. 또한, 증착 장치(90)의 내부를 진공 분위기로 해도 된다. 이 상태에서, 증착 재료(98)를 증발시켜서 메탈 마스크(20)를 통해 기판(92)으로 비래시킴으로써, 메탈 마스크(20)의 관통 구멍(25)에 대응한 패턴으로 증착 재료(98)를 기판(92)에 부착시킬 수 있다.
또한, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은, 메탈 마스크(20)를 사용하여 기판(92) 등의 기판 상에 증착 재료(98)를 증착시키는 증착 공정 이외에도, 다양한 공정을 구비해도 된다. 예를 들어, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은, 기판에 제1 전극을 형성하는 공정을 구비해도 된다. 증착층은, 제1 전극 상에 형성된다. 또한, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은, 증착층 상에 제2 전극을 형성하는 공정을 구비해도 된다. 또한, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은, 기판(92)에 마련되어 있는 제1 전극, 증착층, 제2 전극을 밀봉하는 밀봉 공정을 구비해도 된다.
메탈 마스크(20)를 사용하여 기판(92) 등의 기판 상에 형성되는 증착층은, 상술한 발광층에는 한정되지는 않고, 그 밖의 층을 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 증착층은, 제1 전극측으로부터 순서대로 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층 등을 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 각 층에 대응하는 메탈 마스크(20)를 사용한 증착 공정이 각각 실시되어도 된다.
또한, 상술한 실시 형태에 대하여 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다. 이하, 필요에 따라서 도면을 참조하면서, 변형예에 대해서 설명한다. 이하의 설명 및 이하의 설명에서 사용하는 도면에서는, 상술한 실시 형태와 마찬가지로 구성될 수 있는 부분에 대해서, 상술한 실시 형태에 있어서의 대응하는 부분에 대하여 사용한 부호와 동일한 부호를 사용하는 것으로 하고, 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 상술한 실시 형태에 있어서 얻어지는 작용 효과가 변형예에 있어서도 얻어지는 것이 명확한 경우, 그 설명을 생략하는 경우도 있다.
(변형예)
제1 변형예로서, 더미 영역(24)은, 제2 관통 구멍(25b) 대신에, 하프 에칭 등에 의해 형성된 비관통의 오목부를 가져도 된다. 도 17에, 비관통의 오목부(25b')를 갖는 더미 영역(24)의 사시도를 도시한다.
제2 변형예로서, 제1 오목부(30)를 형성하는 공정 전에 제2 오목부(35)를 형성하는 공정을 행해도 되고, 제1 오목부(30)를 형성하는 공정 및 제2 오목부(35)를 형성하는 공정을 병행하여 행해도 된다.
제3 변형예로서, 레이저 조사기를 사용하여 제1 오목부(30) 또는 제2 오목부(35) 내에 레이저광을 조사함으로써, 제1 오목부(30) 또는 제2 오목부(35)의 내부로부터 금속판(51)의 다른 면까지 도달시켜서 관통 구멍을 형성해도 된다.
제4 변형예로서, 제1 관통 구멍(25a)의 형상은 원이나 타원이어도 되고, 그 밖의 다각형이어도 된다. 또한, 제1 관통 구멍(25a)의 배열도 격자상이어도 되고, 다이아몬드형 배열이어도 되고, 그 밖의 임의의 배열이어도 된다.
도 18에, 제1 관통 구멍(25a)의 배열의 다른 예를 도시한다. 도 18에 도시하는 배열은, 방향 D1과 평행한 장축(26)을 갖는 제1 관통 구멍(25a)과, 방향 D2와 평행한 장축(26)을 갖는 제1 관통 구멍(25a)을 갖는다.
[실시예]
이하, 본 개시를 실시예 및 비교예를 사용하여 보다 구체적으로 설명한다. 본 개시는, 이하의 실시예에 의해 하등 한정되는 것은 아니다.
(실시예)
상술한 메탈 마스크의 제조 방법에서, 금속판에 제1 오목부 및 제2 오목부를 형성하여, 제1 오목부 및 제2 오목부로 이루어지는 관통 구멍을 갖는 메탈 마스크를 제조하였다.
이 메탈 마스크에 있어서, 도 3에 도시한 바와 같이, 유효 영역의 주위에 더미 영역을 형성하였다. 그 때, 더미 영역이 갖는 제2 톱부의 높이 H2는, 유효 영역의 제1 톱부의 높이 H1보다 커지도록 하였다. 메탈 마스크의 원재료가 되는 금속판은, 인바재로 하였다.
(비교예)
더미 영역이 갖는 제2 톱부의 높이 H2를, 유효 영역의 제1 톱부의 높이 H1보다 작게 한 것 이외에는, 실시예와 마찬가지로 하여, 메탈 마스크를 얻었다.
(평가)
메탈 마스크 제조 공정으로부터, 메탈 마스크를 프레임에 가장(架張) 용접할 때까지, 메탈 마스크에 변형이나 파단이 발생했는지 여부를 눈으로 보아 확인하고, 그 결과를 표 1에 기재하였다. 또한, 메탈 마스크에 발생하는 변형으로서는, 주름이나 함몰이 보였다. 여기서, 「함몰」이란, 메탈 마스크 제조 공정으로부터 메탈 마스크를 프레임에 가장 용접할 때까지, 부분적으로 발생하는 경미한 오목하게 들어감이나 절곡을 말한다. 또한, 「파단」이란, 메탈 마스크 제조 공정으로부터 메탈 마스크를 프레임에 가장 용접할 때까지, 유효 영역 내, 또는 유효 영역과 주위 영역의 경계 등에 있어서, 메탈 마스크가 부분적으로 끊어져 버리는 것을 의미한다. 이들 변형이나 파단은, 모두 메탈 마스크의 강도가 부족한 경우나, 강도가 약한 개소에 응력이 집중했을 때에 발생할 수 있다.
Figure pat00001
표 1에 나타내는 바와 같이, 실시예의 메탈 마스크는 소정의 더미 영역을 가짐으로써 유효 영역과 주위 영역의 경계 부분의 강도가 더 향상되었다. 그 결과, 메탈 마스크 제조 공정으로부터, 메탈 마스크를 프레임에 가장 용접할 때까지에 있어서, 메탈 마스크로 변형이나 파단 등은 확인되지 않았다.
한편, 소정의 더미 영역을 갖지 않는 비교예에 있어서는, 메탈 마스크에 함몰이나 주름 등의 변형 외에, 파단 등이 발생하는 것을 알 수 있었다. 그 이유로서는, 소정의 더미 영역을 갖지 않는 비교예에 있어서는, 유효 영역과 주위 영역에 강도의 차가 있으므로, 유효 영역과 주위 영역의 경계 부분에 응력이 집중된 결과, 변형이나 파단이 발생한 것으로 생각된다. 단 이유는 이것에 한정되지는 않는다.
또한, 높이 H1에 대한 높이 H2가 1.05배 이상임으로써, 더미 영역에 있어서의 강도가 더 향상되고, 유효 영역이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 높이 H1에 대한 높이 H2가 4.00배 이하임으로써, 극단적으로 강도가 낮은 개소에 응력이 집중되는 것을 억제할 수 있어, 주름의 발생이 보다 억제되는 경향이 있다.
또한, 높이 H5가, 높이 H3보다 높음으로써, 더미 영역에 있어서의 강도가 더 향상되고, 유효 영역이 변형되거나 파단되거나 하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 높이 H3에 대하여, 높이 H5를 소정값 이하로 함으로써, 극단적으로 강도가 낮은 개소에 응력이 집중되는 것을 억제할 수 있어, 주름의 발생이 보다 억제되는 경향이 있다.
본 발명의 메탈 마스크는, 유기 EL 표시 장치의 제조에 사용하는 메탈 마스크 등으로서, 산업상 이용 가능성을 갖는다.
10: 메탈 마스크 장치
15: 프레임
17: 단부
20: 메탈 마스크
20a: 제1 면
20b: 제2 면
21: 금속판
22: 유효 영역
22': 중앙 영역
23: 주위 영역
24: 더미 영역
25: 관통 구멍
25a: 제1 관통 구멍
25b: 제2 관통 구멍
25b': 오목부
26: 장축
30: 제1 오목부
30a: 제1 오목부
30b: 제3 오목부
32a: 제1 톱부
32b: 제2 톱부
33: 능선
33a: 능선
33b: 능선
35: 제2 오목부
35a: 제2 오목부
35b: 제4 오목부
36: 제2 벽면
36a: 제2 벽면
36b: 제4 벽면
41a: 제1 접속부
41b: 제2 접속부
50: 권회체
51: 금속판
51a: 제1 면
51b: 제2 면
52: 축 부재
53a: 레지스트막
53b: 레지스트막
53c: 제1 레지스트 패턴
53d: 제2 레지스트 패턴
54: 수지
70: 제조 장치
71: 레지스트막 형성 장치
72: 노광ㆍ현상 장치
73: 에칭 장치
74: 박리 장치
75: 분리 장치
90: 증착 장치
92: 기판
96: 히터
98: 증착 재료
100: 유기 EL 표시 장치
D1: 제1 방향
D2: 제2 방향
K1: 직선
K2: 직선
N: 방향
θ1: 제1 각도
θ2: 제2 각도

Claims (9)

  1. 유효 영역과, 주위 영역과, 더미 영역을 갖는 메탈 마스크이며,
    상기 유효 영역은, 제1 관통 구멍과 제1 톱부를 구비하고,
    상기 제1 톱부는, 높이 H1을 갖고,
    상기 주위 영역은, 상기 유효 영역의 주위에 위치하고,
    상기 더미 영역은, 상기 유효 영역과 상기 주위 영역 사이에 위치하고,
    상기 더미 영역은, 제2 톱부를 구비하고,
    상기 제2 톱부는, 높이 H2를 갖고,
    상기 높이 H2가, 상기 높이 H1보다 높은,
    메탈 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 더미 영역이, 2열 이상 5열 이하의 상기 제2 톱부를 갖는 범위와 동등한 영역인, 메탈 마스크.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 유효 영역으로부터 상기 주위 영역으로 상기 더미 영역을 횡단하는 동일 직선상에 있어서,
    상기 유효 영역에 가까운 상기 높이 H2보다, 상기 주위 영역에 가까운 상기 높이 H2의 쪽이 높은, 메탈 마스크.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 높이 H2가, 상기 높이 H1에 대하여 1.05배 이상 4.00배 이하인, 메탈 마스크.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 메탈 마스크가, 제1 면과, 상기 제1 면의 반대 측에 위치하는 제2 면을 갖고,
    상기 더미 영역이, 제2 관통 구멍을 갖고,
    상기 제1 관통 구멍이, 상기 제1 면 측에 제1 오목부와, 상기 제2 면 측에 제2 오목부와, 제1 접속부와, 제1 각도 θ1을 갖고,
    상기 제1 접속부가, 상기 제1 오목부와 상기 제2 오목부가 접속되는 모서리부이며,
    상기 제1 각도 θ1은, 상기 제1 접속부 중 상기 제1 톱부에 가장 가까운 부분 P1a와, 상기 제1 톱부 중 상기 제1 접속부에 가장 가까운 부분 P2a를 통과하는 직선 K1이 상기 메탈 마스크의 두께 방향 N에 대하여 이루는 각도이며,
    상기 제2 관통 구멍이, 상기 제1 면 측에 제3 오목부와, 상기 제2 면 측에 제4 오목부와, 제2 접속부와, 제2 각도 θ2를 갖고,
    상기 제2 접속부가, 상기 제3 오목부와 상기 제4 오목부가 접속되는 모서리부이며,
    상기 제2 각도 θ2는, 상기 제2 접속부 중 상기 제2 톱부에 가장 가까운 부분 P1b와, 상기 제2 톱부 중 상기 제2 접속부에 가장 가까운 부분 P2b를 통과하는 직선 K2가 상기 메탈 마스크의 두께 방향 N에 대하여 이루는 각도이며,
    상기 제2 각도 θ2가, 상기 제1 각도 θ1보다 작은, 메탈 마스크.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 메탈 마스크가, 제1 면과, 상기 제1 면의 반대 측에 위치하는 제2 면을 갖고,
    상기 더미 영역이, 제2 관통 구멍을 갖고,
    상기 제1 관통 구멍이, 상기 제1 면 측에 제1 오목부와, 상기 제2 면 측에 제2 오목부와, 제1 접속부와, 높이 H3을 갖고,
    상기 제1 접속부가, 상기 제1 오목부와 상기 제2 오목부가 접속되는 모서리부이며,
    상기 높이 H3이, 상기 제1 면으로부터 상기 제1 접속부까지의 높이이며,
    상기 제2 관통 구멍이, 상기 제1 면 측에 제3 오목부와, 상기 제2 면 측에 제4 오목부와, 제2 접속부와, 높이 H5를 갖고,
    상기 제2 접속부가, 상기 제3 오목부와 상기 제4 오목부가 접속되는 모서리부이며,
    상기 높이 H5가, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 접속부까지의 높이이며,
    상기 높이 H5가, 상기 높이 H3보다 높은, 메탈 마스크.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제1 관통 구멍이, 높이 H3과 높이 H4를 갖고,
    상기 높이 H3이, 상기 제1 면으로부터 상기 제1 접속부까지의 높이이며,
    상기 높이 H4가, 상기 제2 면으로부터 상기 제1 접속부까지의 높이이며,
    상기 높이 H3이, 상기 높이 H4보다 낮은, 메탈 마스크.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 더미 영역이, 에칭되지 않고 남은 톱부를 갖는, 메탈 마스크.
  9. 메탈 마스크의 제조 방법이며,
    제1 면과, 상기 제1 면의 반대 측에 위치하는 제2 면을 갖는 금속판을 준비하는 공정과,
    상기 금속판을 에칭함으로써 상기 메탈 마스크를 형성하는 에칭 공정을 구비하고,
    상기 메탈 마스크는, 유효 영역과, 주위 영역과, 더미 영역을 갖고,
    상기 유효 영역은, 제1 관통 구멍과 제1 톱부를 구비하고,
    상기 제1 톱부는, 높이 H1을 갖고,
    상기 주위 영역은, 상기 유효 영역의 주위에 위치하고,
    상기 더미 영역은, 상기 유효 영역과 상기 주위 영역 사이에 위치하고,
    상기 더미 영역은, 제2 톱부를 구비하고,
    상기 제2 톱부는, 높이 H2를 갖고,
    상기 높이 H2가, 상기 높이 H1보다 높은,
    메탈 마스크의 제조 방법.
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