Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR20230077649A - 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치 - Google Patents

유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20230077649A
KR20230077649A KR1020220146889A KR20220146889A KR20230077649A KR 20230077649 A KR20230077649 A KR 20230077649A KR 1020220146889 A KR1020220146889 A KR 1020220146889A KR 20220146889 A KR20220146889 A KR 20220146889A KR 20230077649 A KR20230077649 A KR 20230077649A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flow path
fluid control
flow
vertical
valve seat
Prior art date
Application number
KR1020220146889A
Other languages
English (en)
Inventor
가즈야 샤쿠도
유야 가와이
Original Assignee
가부시키가이샤 호리바 에스텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 호리바 에스텍 filed Critical 가부시키가이샤 호리바 에스텍
Publication of KR20230077649A publication Critical patent/KR20230077649A/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/04—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members
    • F16K3/06—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members in the form of closure plates arranged between supply and discharge passages
    • F16K3/08—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members in the form of closure plates arranged between supply and discharge passages with circular plates rotatable around their centres
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/52—Means for additional adjustment of the rate of flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/16—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid with a mechanism, other than pulling-or pushing-rod, between fluid motor and closure member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
    • F16K1/42—Valve seats
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
    • F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
    • F16K11/04—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/32—Means for additional adjustment of the rate of flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • F16K37/005—Electrical or magnetic means for measuring fluid parameters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/005—Valves
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/004—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by piezoelectric means
    • F16K31/007—Piezoelectric stacks
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K41/00—Spindle sealings
    • F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Lift Valve (AREA)
  • Flow Control (AREA)

Abstract

본 발명은 대유량화하면서 응답성을 향상시키는 것으로, 밸브 시트면(31s)을 가지는 오리피스(31)로서, 밸브 시트면(31s) 및 밸브 시트면(31s)에 대향하는 대향면(31t)에 개구되는 세로 유로부(VR)(VR1)와, 밸브 시트면(31s) 및 대향면(31t)의 사이의 외측 둘레면(31o)에 개구되고, 세로 유로부(VR)(VR1)와 교차하는 가로 유로부(HR)를 가지고, 세로 유로부(VR)(VR1)는 가로 유로부(HR)와의 교차부(X)로부터 대향면(31t)측이 간격을 두고 분기되어 있다.

Description

유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치{FLUID CONTROL VALVE AND FLUID CONTROL APPARATUS}
본 발명은 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치에 관한 것이다.
종래의 유체 제어 밸브로서는, 특허 문헌 1에 나타내는 것처럼, 예를 들면 매스 플로우 컨트롤러에 이용되는 제어 밸브가 있다. 이 제어 밸브는, 유입구 및 유출구를 가지는 밸브 캐비티와, 이 밸브 캐비티 내에 배치되고, 복수의 연직 유로를 가지고 있고, 그 저면(底面)이 유입구에 대향하고 있는 포핏(밸브체)과, 밸브 캐비티 내에서 포핏 및 유출구의 사이에 배치되는 오리피스를 구비하고 있다. 여기서, 밸브 캐비티의 저면에 유입구가 형성되어 있고, 밸브 캐비티의 내측 둘레면에 유출구가 형성되어 있다.
여기서, 오리피스는 대유량화를 가능하게 하기 위해서, 저면(밸브 시트면)으로부터 상면까지 연장되는 복수의 연직 유로와, 오리피스의 외측 둘레면에 개구되는 복수의 수평 유로가 형성되어 있고, 수평 유로의 각각은, 오리피스의 연직 유로 중 적어도 1개와 교차하고 있다. 그리고, 포핏이 오리피스의 저면(밸브 시트면)으로부터 떨어지는 것에 의해, 가스가 오리피스의 저면으로부터 연직 유로를 통과하여 상승하고, 그 후, 수평 유로를 통과하거나, 또는, 오리피스의 상면에 형성된 표면 유로를 따라서 수평 방향으로 진행하여, 유출구로 흐른다.
그렇지만, 상기의 구성에서는, 연직 유로를 상승한 가스는 수평 유로로 유입하기 어려워, 그대로 수평 유로를 횡단하여 오리피스의 상면으로 흐르기 쉬워져 버려, 유량의 응답성이 나빠질 우려가 있다.
특허 문헌 1: 일본 특표 2021－514042호 공보
이에, 본 발명은 상술한 것 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 대유량화하면서 유량의 응답성을 향상시키는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.
즉, 본 발명에 따른 유체 제어 밸브는, 밸브 시트면을 가지는 오리피스와, 상기 밸브 시트면에 착좌(着座)하는 착좌면을 가지는 밸브체와, 상기 밸브체를 구동하는 구동부와, 상기 오리피스 및 상기 밸브체를 수용하는 수용 오목부가 형성된 유로 블록을 구비하고, 상기 오리피스는, 상기 밸브 시트면 및 상기 밸브 시트면에 대향하는 대향면에 개구되는 세로 유로부와, 상기 밸브 시트면 및 상기 대향면의 사이의 외측 둘레면에 개구되고, 상기 세로 유로부와 교차하는 가로 유로부를 가지고, 상기 세로 유로부는, 상기 가로 유로부와의 교차부로부터 상기 대향면측이 간격을 두고 분기되어 있는 것을 특징으로 한다.
이러한 유체 제어 밸브이면, 가로 유로부 및 세로 유로부가 서로 교차하는 구성이므로, 세로 구멍만 있는 경우에 비해 대유량화가 가능해진다. 또, 세로 유로부가 가로 유로부와의 교차부로부터 대향면측에 있어서 간격을 두고 분기되어 있으므로, 그것들 분기 유로의 사이에 가로 유로부의 내벽면이 존재하게 된다. 그 결과, 세로 유로부를 상승한 유체는, 분기 유로의 사이에 있는 가로 유로부의 내벽면에 부딪혀, 가로 유로부로 유입되기 쉬워져, 유량의 응답성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 대유량화하면서 유량 응답성을 향상시킬 수 있다. 그 외, 세로 유로부가 가로 유로부와의 교차부로부터 분기되어 있으므로, 대향면으로부터 유출되는 유체의 분포를 균일화할 수 있다.
세로 유로부의 구체적인 실시 양태로서는, 상기 세로 유로부는, 상기 교차부보다도 상기 대향면측에 2개의 분기 유로를 가지고 있고, 상기 2개의 분기 유로의 중심축은, 상기 가로 유로부의 중심축에 대해서 어긋나 있는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 평면에서 볼 때, 가로 유로부의 중심축에 직교하는 방향으로 2개의 분기 유로가 배치된 구성이 된다.
세로 유로부로 유입되는 유량을 크게 하여 가로 유로부로 유입되기 쉽게 하기 위해서는, 상기 세로 유로부에 있어서의 상기 교차부보다도 상기 밸브 시트면측의 개구폭은, 상기 가로 유로부의 유로 지름보다도 큰 것이 바람직하다.
본 발명의 유체 제어 밸브를 이용하여 보다 한층 더 대유량화를 도모하기 위해서는, 상기 세로 유로부를 복수 가지고 있고, 상기 가로 유로부를 복수 가지고 있는 것이 바람직하다.
모든 세로 유로부를 가로 유로부에 교차시키는 구성에서는, 가로 유로부의 개수에 의해 세로 유로부의 개수가 제약되어 버려, 보다 한층 더 대유량화를 실현할 수 없다. 이 문제를 바람직하게 해결하여 대유량화를 도모하기 위해서는, 복수의 상기 세로 유로부 중 적어도 하나는, 상기 가로 유로부와는 교차하지 않는 것인 것이 바람직하다.
세로 유로부를 흘러 대향면으로부터 유출된 유체를, 가로 유로부를 흘러 외측 둘레면으로부터 유출된 유체에 합류시키기 위해서는, 상기 대향면에는, 상기 세로 유로부의 개구로부터 지름 방향 외측을 향해 절결(切欠)된 절결부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 유체 제어 밸브에서는, 오리피스의 중앙부에 밸브체를 구동하는 구동부의 플런저가 삽입되는 구성이 된다. 이 구성에 있어서의 구체적인 실시 양태로서는, 복수의 상기 세로 유로부가 원주 상에 형성되어 있고, 상기 원주의 중앙부에 상기 밸브 시트면 및 상기 대향면에 개구되는 중앙 유로부가 형성되어 있는 것을 생각할 수 있다. 여기서, 중앙 유로부에 플런저가 삽입되는 구성이 된다.
이 구성에 있어서, 상기 중앙 유로부는 상기 밸브 시트면측으로부터 상기 대향면을 향함에 따라 유로가 연속적으로 확경(擴徑)되는 것인 것이 바람직하다. 이 구성이면, 중앙 유로부를 흐르는 유체의 압손(壓損)을 저감시킬 수 있어, 한층 더 대유량화가 가능해진다.
상기 수용 오목부의 저면에는, 상류측 유로가 접속되어 있고, 상기 수용 오목부의 내측 둘레면에는, 하류측 유로가 접속되어 있고, 상기 수용 오목부의 내측 둘레면에는, 상기 가로 유로부의 개구에 대응하여 고리모양 오목부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성이면, 수용 오목부의 내측 둘레면에 형성된 고리모양 오목부에 의해 가로 유로부로부터 유출된 유체의 유로를 크게 할 수 있어, 압손을 저감시켜 대유량화가 가능해진다.
상기의 유체 제어 밸브를 구비한 유체 제어 장치도 본 발명의 일 양태이다. 구체적으로 이 유체 제어 장치는, 상기의 유체 제어 밸브와, 유로의 유량을 측정하는 유량 계측부와, 상기 유량 계측부에서 측정되는 측정값에 기초하여, 상기 유체 제어 밸브를 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 본 발명에 의하면, 세로 유로부가 가로 유로부와의 교차부로부터 대향면측에 있어서 간격을 두고 분기되어 있으므로, 대유량화하면서 응답성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 유체 제어 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2는 동 실시 형태의 유체 제어 밸브의 오리피스 및 밸브체를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 3은 동 실시 형태의 오리피스의 사시도이다.
도 4는 동 실시 형태의 오리피스의 평면도이다.
도 5는 동 실시 형태의 오리피스의 저면도이다.
도 6은 동 실시 형태의 오리피스의 평면도, 및, A－A선 단면도이다.
도 7은 동 실시 형태의 오리피스의 평면도, 및, B－B선 단면도이다.
도 8은 동 실시 형태의 오리피스의 평면도, 및, C－C선 단면도이다.
도 9는 동 실시 형태의 오리피스의 평면도, 및, D－D선 단면도이다.
도 10은 변형 실시 형태에 따른 유체 제어 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
이하에, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 유체 제어 장치에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 모든 도면에 대해서도, 알기 쉽게 하기 위해서, 적절히 생략하거나 또는 과장하여 모식적으로 그려져 있다. 동일한 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 부여하고 설명을 적절히 생략한다.
＜장치 구성＞
본 실시 형태의 유체 제어 장치(100)는, 이른바 매스 플로우 컨트롤러로서, 예를 들면 반도체 제조 프로세스를 행하는 챔버에 공급되는 가스의 유량을 제어하기 위해서 이용되는 것이다. 또한, 유체 제어 장치(100)는 가스뿐만이 아니라, 액체를 제어하는 것이어도 된다.
구체적으로 유체 제어 장치(100)는, 도 1에 나타내는 것처럼, 내부에 유로(R)가 형성된 유로 블록(2)과, 유로(R)의 가스를 제어하기 위한 유체 제어 밸브(3)와, 유로(R)의 유량을 측정하는 유량 계측부(4)와, 유량 계측부(4)에서 측정되는 측정값에 기초하여, 유체 제어 밸브(3)를 제어하는 제어부(5)를 구비하고 있다.
유로 블록(2)은 유체 제어 밸브(3)가 장착되는 수용 오목부(21)가 형성되어 있다. 이 수용 오목부(21)는 유로 블록(2)의 일면(도 1에서는 상면)에 형성되어 있다. 또, 수용 오목부(21)의 저면에는, 상류측 유로(R1)가 접속되어 있고, 수용 오목부(21)의 내측 둘레면에는, 하류측 유로(R2)가 접속되어 있다. 즉, 유로 블록(2)에 형성된 유로(R)는, 수용 오목부(21)에 의해서, 상류측 유로(R1) 및 하류측 유로(R2)로 분단되어 있다.
또한, 상류측 유로(R1)의 상류단에는, 가스의 도입 포트(도시하지 않음)가 마련되어 있고, 하류측 유로(R2)의 하류단에는, 가스의 도출 포트(도시하지 않음)가 마련되어 있다.
유체 제어 밸브(3)는, 이른바 노멀 클로즈의 피에조 밸브이며, 인가되는 전압에 의해서 그 개도가 제어된다. 또한, 유체 제어 밸브(3)는, 이른바 노멀 오픈의 것이어도 된다.
구체적으로 유체 제어 밸브(3)는, 도 1 및 도 2에 나타내는 것처럼, 밸브 시트면(31s)을 가지는 오리피스(밸브 시트 부재)(31)와, 밸브 시트면(31s)에 착좌하는 착좌면(32s)을 가지는 밸브체(32)와, 밸브체(32)를 구동하는 구동부(33)를 구비하고 있다.
오리피스(31)는 수용 오목부(21)에 수용되는 것이다. 여기서, 오리피스(31)는 밸브 시트면(31s)이 수용 오목부(21)의 저면을 향하도록 수용 오목부(21)에 수용된다. 이 오리피스(31)에는, 밸브 시트면(31s)에 유입구가 형성됨과 아울러, 해당 유입구에 연통하는 내부 유로(31R)가 형성되어 있다. 또한, 오리피스(31)의 상세는, 후술한다.
밸브체(32)는 수용 오목부(21)의 내부에 있어서 이동 가능하게 마련되어 있다. 이 밸브체(32)는, 수용 오목부(21)의 내부에 있어서, 오리피스(31)의 밸브 시트면(31s)과 수용 오목부(21)의 저면과의 사이에 마련되어 있다.
구체적으로 밸브체(32)는, 상면에 착좌면(32s)을 가지고 있고, 착좌면(32s)에는 유출구가 형성됨과 아울러, 해당 유출구에 연통하는 내부 유로(32R)가 형성되어 있다. 또한, 착좌면(32s)의 유출구와 밸브 시트면(31s)의 유입구는, 밸브 시트면(31s)에 착좌면(32s)이 착좌된 상태에서, 서로 겹치지 않는 위치에 형성되어 있다.
또, 밸브체(32)는 수용 오목부(21)의 내부에 있어서 지지 부재(34)에 의해 이동 가능하게 지지되어 있다. 이 지지 부재(34)는 수용 오목부(21)에 수용되는 둥근고리 모양의 지지 베이스(341)와, 해당 지지 베이스(341)의 내부에 마련되어, 밸브체(32)를 지지하는 판스프링 등의 탄성체(342)를 가지고 있다. 이것에 의해, 밸브체(32)는 탄성체(342)에 의해서 지지 베이스(341)의 내부에 지지되게 된다. 또한, 지지 베이스(341) 및 탄성체(342)는 모든 가스가 유통 가능하게 구성되어 있다. 또, 지지 베이스(341)의 둥근고리 모양의 상면에는, 오리피스(31)의 하면이 밀착되고, 밸브체(32)를 수용함과 아울러 상류측 유로(R1)에 연통하는 밸브실(S1)이 형성된다.
구동부(33)는, 예를 들면, 피에조 소자를 복수매 적층하여 형성되는 피에조 스택(331)과, 해당 피에조 스택(331)의 신장에 의해 변위하는 플런저 기구(332)를 구비하고 있다.
피에조 스택(331)은 케이싱(333) 내에 수용되어 있고, 그 선단부가 플런저 기구(332)에 접속되어 있다. 본 실시 형태의 플런저 기구(332)는, 다이어프램 부재(332a)와, 해당 다이어프램 부재(332a)를 매개로 밸브체(32)의 상면을 압압(押壓)하는 압압 부재(332b)를 가지고 있다. 이 플런저 기구(332)는 오리피스(31)의 중앙 유로부(CR)를 삽입 관통하여 밸브체(32)의 상면에 접촉한다.
그리고, 피에조 스택(331)에 소정의 전압이 인가되면 피에조 스택(331)이 신장되어, 플런저 기구(332)가 밸브체(32)를 밸브 열림 방향으로 가압하고, 인가된 전압에 따른 거리만큼 밸브 시트면(31s)이 착좌면(32s)으로부터 이간(離間)되어 열린 상태가 된다. 그리고, 이 간극을 통해서 상류측 유로(R1)와 하류측 유로(R2)가 연통한다. 한편, 피에조 스택(331)에 전압을 인가하지 않는 노멀 상태에 있어서는, 지지 부재(34)의 탄성체(342)의 탄성력에 의해서, 밸브체(32)가 닫힌 상태가 된다.
유량 계측부(4)는 압력식의 것이며, 유로(R)에 마련된 층류 소자(41)와, 층류 소자(41)의 상류측의 압력을 측정할 수 있도록 마련된 제1 압력 센서(42)와, 층류 소자(41)의 하류측의 압력을 측정할 수 있도록 마련된 제2 압력 센서(43)와, 제1 압력 센서(42)와 제2 압력 센서(43)에서 측정된 제1 압력, 제2 압력에 기초하여 유로(R)를 흐르는 유체의 유량을 산출하는 유량 산출부(44)를 가지고 있다. 이 유량 계측부(4)는, 유로(R)에 있어서, 유체 제어 밸브(3)의 상류측 또는 하류측에 마련된다. 또한, 유체 저항(41)으로서 층류 소자 대신에 음속 노즐 등을 이용해도 상관없다.
제어부(5)는 유량 계측부(4)에서 측정되는 측정 유량에 기초하여, 유체 제어 밸브(3)를 제어하는 것이다. 이 제어부(5)는 CPU, 메모리, A/D 컨버터, D/A 컨버터, 각종 입출력 수단을 구비한 컴퓨터이며, 메모리에 격납되어 있는 유체 제어 프로그램이 실행되어, CPU 및 주변기기가 협동하는 것에 의해서, 유체 제어 밸브(3)를 제어한다.
제어부(5)는 외부로부터 입력되는 지령 유량과, 유량 계측부(4)에서 측정되는 측정 유량에 기초하여 유체 제어 밸브(3)의 개도를 제어한다. 구체적으로 제어부(5)는 지령 유량과 측정 유량의 편차가 작아지도록 유체 제어 밸브(3)의 개도를 제어한다. 본 실시 형태의 제어부(5)는, 지령 유량과 측정 유량의 편차에 대해서 PID 연산을 행하고, 그 결과에 따른 지령 전압을 구동부(33)의 구동 회로에 대해서 출력한다. 구동 회로는 입력된 지령 전압에 대응하는 전압을 피에조 스택(331)에 대해서 인가한다.
＜오리피스(31)의 구체적 구성＞
그리고, 본 실시 형태의 오리피스(31)는, 대유량화를 가능하게 함과 아울러 유량의 응답성을 향상시키기 위한 구성을 가지고 있다.
구체적으로 오리피스(31)는, 도 2~도 9에 나타내는 것처럼, 개략 원반(原盤) 모양을 이루는 것이고, 내부 유로(31R)로서, 밸브 시트면(31s) 및 밸브 시트면(31s)에 대향하는 대향면(31t)에 개구되는 복수의 세로 유로부(VR)(VR1, VR2)와, 밸브 시트면(31s) 및 대향면(31t)의 사이의 외측 둘레면(31o)에 개구되어, 세로 유로부(VR)와 교차하는 복수의 가로 유로부(HR)를 가지고 있다.
본 실시 형태의 오리피스(31)에는, 복수의 세로 유로부(VR)(VR1, VR2)가 원주 상에 형성되어 있고(도 3 및 도 4 참조), 해당 원주의 중앙부에 밸브 시트면(31s) 및 대향면(31t)에 개구되는 중앙 유로부(CR)가 형성되어 있다(도 6~도 8 등 참조). 이 중앙 유로부(CR)는, 구동부(33)를 구성하는 플런저 기구(332)가 삽입 관통되는 유로이다(도 2 참조). 이 중앙 유로부(CR)는 밸브 시트면(31s)측으로부터 대향면(31t)을 향함에 따라 유로가 연속적으로 확경되는 것이다. 이 구성에 의해, 중앙 유로부(CR)를 흐르는 가스의 압손을 저감시킬 수 있어, 대유량화를 가능하게 하고 있다.
복수의 가로 유로부(HR)는, 도 3, 도 6~도 8에 나타내는 것처럼, 오리피스(31)의 외측 둘레면(31o)에 개구됨과 아울러, 중앙 유로부(CR)를 형성하는 내측 둘레면(31i)에도 개구되어 있다. 본 실시 형태에서는, 4개의 가로 유로부(HR)가 방사 모양으로 형성되어 있다(도 4, 도 5 참조). 각 가로 유로부(HR)는 직선 모양을 이루는 것이며, 유로 단면이 원 형상을 이루는 것이다(도 6 등 참조).
그리고, 복수의 세로 유로부(VR)는, 도 3~도 5 등에 나타내는 것처럼, 가로 유로부(HR)와 교차하여 연통하는 제1 세로 유로부(VR1)와, 가로 유로부(HR)와는 교차하지 않는 제2 세로 유로부(VR2)를 가지고 있다. 또한, 제2 세로 유로부(VR2)는 서로 인접하는 가로 유로부(HR)의 사이에 형성되어 있고, 분기하지 않는 유로이다(도 8 참조).
구체적으로 제1 세로 유로부(VR1)는, 도 9에 나타내는 것처럼, 가로 유로부(HR)와의 교차부(X)로부터 대향면(31t)측이 간격을 두고 2개의 분기 유로(VR11, VR12)로 분기되어 있다. 즉, 제1 세로 유로부(VR1)는 가로 유로부(HR)와의 교차부(X)로부터 밸브 시트면(31s)측은 1개의 유로이며, 가로 유로부(HR)와의 교차부(X)로부터 대향면(31t)측은 2개의 유로이다.
여기서, 2개의 분기 유로(VR11, VR12)의 중심축(C11, C12)은, 가로 유로부(HR)의 중심축(C2)에 대해서 어긋나 있다. 즉, 평면에서 볼 때, 가로 유로부(HR)의 중심축(C2)에 직교하는 방향으로 2개의 분기 유로(VR11, VR12)가 늘어서서 배치된 구성이 된다. 또한, 2개의 분기 유로(VR11, VR12)의 중심축(C11, C12)은 서로 평행이다. 이 구성에 의해, 2개의 분기 유로(VR11, VR12)의 사이에는, 가로 유로부(HR)를 구성하는 내벽면(31k)이 존재하게 되고, 해당 내벽면(31k)에 의해 2개의 분기 유로(VR11, VR12)가 나누어지는 구성이 된다. 또, 세로 유로부(VR1)를 분기시키는 것에 의해서, 오리피스(31)의 기계적 강도를 유지할 수 있다.
또, 제1 세로 유로부(VR1)에 있어서의 교차부(X)보다도 밸브 시트면(31s)측의 개구폭(유로폭)은, 가로 유로부(HR)의 유로 지름보다도 큰 구성으로 되어 있다(도 9 참조). 이 구성에 의해, 제1 세로 유로부(VR1)로 유입되는 가스의 유량을 크게 하여, 가스가 가로 유로부(HR)로 유입되기 쉽게 하고 있다. 또한, 상기의 밸브 시트면(31s)측의 개구폭(유로폭)은, 2개의 분기 유로(VR11, VR12)의 내벽면에 있어서 가장 떨어진 위치의 거리이다.
본 실시 형태에서는, 도 5에 나타내는 것처럼, 오리피스(31)의 밸브 시트면(31s)에, 원주 상에 배치된 복수의 세로 유로부(VR)(VR1, VR2)를 따라서 형성된 고리모양 홈(31M)이 형성되어 있다. 이 고리모양 홈(31M)에 의해서, 복수의 세로 유로부(VR)(VR1, VR2)가 서로 연통하는 구성으로 되어 있으며, 이 고리모양 홈(31M)에 의해서 세로 유로부(VR)(VR1, VR2)의 일부가 구성된다. 즉, 고리모양 홈(31M)의 밸브 시트면(31s)측의 개구가 밸브 시트면(31s)에 형성된 유입구가 된다. 이 구성에 의해, 밸브 시트면(31s)에 형성되는 내부 유로(31R)의 유입구가 커져, 대유량화가 가능해진다.
또, 오리피스(31)의 대향면(31t)에는, 도 3 및 도 4 등에 나타내는 것처럼, 세로 유로부(VR)의 개구로부터 지름 방향 외측을 향해 절결된 절결부(31K)가 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 가로 유로부(HR)와는 교차하지 않는 제2 세로 유로부(VR2)의 개구에 대응하여 형성되어 있다. 세로 유로부(VR) 및 중앙 유로부(CR)를 흘러 대향면(31t)으로부터 유출된 가스는, 절결부(31K)를 거쳐, 오리피스(31)의 외측 둘레면(31o)측으로 유입되고, 수용 오목부(21)의 내측 둘레면에 접속된 하류측 유로(R2)로 유입된다. 이 절결부(31K)에 의해, 제1, 제2 세로 유로부(VR1, VR2)를 흘러 대향면(31t)으로부터 유출된 가스를, 가로 유로부(HR)를 흘러 외측 둘레면(31o)으로부터 유출된 가스에 합류시키기 쉬워진다.
여기서, 수용 오목부(21)의 내측 둘레면에는, 도 2에 나타내는 것처럼, 가로 유로부(HR)의 개구에 대응하여 고리모양 오목부(21M)가 형성되어 있다. 이 구성이면, 수용 오목부(21)의 내측 둘레면에 형성된 고리모양 오목부(21M)에 의해 가로 유로부(HR)로부터 유출된 가스의 유로를 크게 할 수 있어, 압손을 저감시켜 대유량화가 가능해진다. 그 외, 도 3 등에 나타내는 것처럼, 오리피스(31)의 외측 둘레면(31o)에도, 전체 둘레에 걸쳐 오목부(31N)가 형성되어 있다. 오목부(31N)에는, 절결부(31K)가 연통하고 있다. 이 오목부(31N)의 저면은, 가로 유로부(HR)가 개구되어 있다. 이 오목부(31N)에 의해, 수용 오목부(21)의 고리모양 오목부(21M)와의 사이의 유로가 더 커져, 압손을 저감시켜 대유량화가 가능해진다.
다음에, 오리피스(31)의 제조 방법의 일례를 설명한다.
우선, 원반 모양을 이루는 모재(母材)의 중앙부에 중앙 유로부(CR)를 절삭 가공 등의 기계 가공에 의해 형성한다. 또, 모재의 외측 둘레면(31o) 및 중앙 유로부(CR)의 내측 둘레면(31i)에 개구되도록 복수의 가로 유로부(HR)를 절삭 가공 등의 기계 가공에 의해 형성한다.
다음에, 모재의 밸브 시트면(31s)이 되는 면에 고리모양 홈(31M)을 절삭 가공 등의 기계 가공에 의해 형성한다. 여기서, 고리모양 홈(31M)의 깊이는, 가로 유로부(HR)에 연통하는 깊이이다. 이 고리모양 홈(31M)에 의해, 제1 세로 유로부(VR1) 및 제2 세로 유로부(VR2)의 일부가 구성된다.
또, 모재의 대향면(31t)이 되는 면으로부터, 가로 유로부(HR)의 중심축(C2)을 사이에 둔 양측으로부터 제1 세로 유로부(VR1)의 2개의 분기 유로(VR11, VR12)를 절삭 가공 등의 기계 가공에 의해 형성한다. 이 분기 유로(VR11, VR12)는 가로 유로부(HR)에 연통하도록 형성된다.
또한, 모재의 대향면(31t)이 되는 면으로부터, 가로 유로부(HR)와 교차하지 않는 위치에 제2 세로 유로부(VR2)를 절삭 가공 등의 기계 가공에 의해 형성한다. 이 제2 세로 유로부(VR2)는 고리모양 홈(31M)에 연통하도록 형성된다. 그 외, 상술한 오리피스(31)의 그 외의 구성도 절삭 가공 등의 기계 가공에 의해 형성한다. 이것에 의해, 오리피스(31)가 제조된다.
＜본 실시 형태의 효과＞
이와 같이 구성한 유체 제어 장치(100)이면, 가로 유로부(HR) 및 제1 세로 유로부(VR1)가 서로 교차하는 구성이므로, 대유량화가 가능해진다. 또, 세로 유로부(VR)가 가로 유로부(HR)와의 교차부(X)로부터 대향면(31t)측에 있어서 간격을 두고 분기되어 있으므로, 이러한 분기 유로(VR11, VR12)의 사이에 가로 유로부(HR)를 형성하는 내벽면(31k)이 존재하게 된다. 그 결과, 제1 세로 유로부(VR1)를 상승한 가스는, 분기 유로(VR11, VR12)의 사이에 있는 가로 유로부(HR)를 형성하는 내벽면(31k)에 부딪혀, 가로 유로부(HR)로 유입되기 쉬워져, 유량의 응답성을 향상시킬 수 있다. 또, 제1 세로 유로부(VR1)의 유입구를 크게 하는 것에 의해, 대유량화도 가능해진다. 따라서, 본 실시 형태이면, 대유량화하면서 유량 응답성을 향상시킬 수 있다. 그 외, 세로 유로부(VR)가 가로 유로부(HR)와의 교차부(X)로부터 분기되어 있으므로, 대향면(31t)으로부터 유출되는 가스의 분포를 균일화할 수 있다. 특히 본 실시 형태에서는, 제1 세로 유로부(VR1)의 2개 분기 유로(VR11, VR12)의 유출구와, 제2 세로 유로부(VR2)의 유출구가 원주 상에 형성되어 있으므로, 대향면(31t)으로부터 유출되는 가스의 분포를 보다 한층 균일화할 수 있다.
＜그 외의 실시 형태＞
예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 세로 유로부(VR)에 있어서 가로 유로부(HR)에 교차하지 않는 것이 있었지만, 모든 세로 유로부(VR)가 가로 유로부(HR)와 교차하는 구성으로 해도 된다.
또, 상기 실시 형태에서는, 가로 유로부(HR)에 교차한 세로 유로부(VR)의 모두가 교차부(X)로부터 분기되는 구성이었지만, 가로 유로부(HR)에 교차한 세로 유로부(VR)의 일부는 교차부(X)로부터 분기되지 않는 구성으로 해도 된다.
또한, 가로 유로부(HR)의 개수는, 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 1~3개 여도 되고, 5개 이상이어도 된다.
게다가, 상기 실시 형태의 오리피스(31)는, 유입구가 1개인 원주 상에 형성된 예였지만, 유입구가 동심원 모양으로 배치된 복수의 원주 상에 형성된 것이어도 된다.
상기 실시 형태의 유량 계측부(4)는 압력식의 것이었지만, 열식의 것이어도 된다. 구체적으로 열식의 유량 계측부(4)는, 도 10에 나타내는 것처럼, 유로(R)에 마련된 분류 소자(저항 소자)(45)와, 분류 소자(45)의 상류측으로부터 분기하고, 해당 분류 소자(45)의 하류측에 합류하는 세관(細管)(46)과, 세관(46)에 감기고, 각각 일정 온도로 유지되도록 전압이 인가되는 2개의 전열 코일(47)과, 각 전열 코일(47)에 인가되는 전압차를 검출하여 유로(R)를 흐르는 가스의 유량을 산출하는 유량 산출부(48)를 가지고 있다. 이 유량 계측부(4)는, 유로(R)에 있어서, 유체 제어 밸브(3)의 상류측 또는 하류측에 마련된다. 또한, 유량 계측부에 있어서의 유량 계측 원리는, 상기에 한정되지 않고 어떠한 방식이어도 된다.
그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에 있어서 다양한 실시 형태의 변형이나 조합을 행해도 상관없다.
100 ···유체 제어 장치
2 ···유로 블록
21 ···수용 오목부
R1 ···상류측 유로
R2 ···하류측 유로
21M ···고리모양 오목부
3 ···유체 제어 밸브
31 ···오리피스
31s ···밸브 시트면
31t ···대향면
CR ···중앙 유로부
VR ···세로 유로부
VR1 ···제1 세로 유로부
VR2 ···제2 세로 유로부
HR ···가로 유로부
X ···교차부
VR11 ···분기 유로
VR12 ···분기 유로
C11 ···분기 유로의 중심축
C12 ···분기 유로의 중심축
C2 ···가로 유로부의 중심축
31K ···절결부
32s ···착좌면
32 ···밸브체
33 ···구동부

Claims (9)

  1. 밸브 시트면을 가지는 오리피스와,
    상기 밸브 시트면에 착좌(着座)하는 착좌면을 가지는 밸브체와,
    상기 밸브체를 구동하는 구동부와,
    상기 오리피스 및 상기 밸브체를 수용하는 수용 오목부가 형성된 유로 블록을 구비하고,
    상기 오리피스는,
    상기 밸브 시트면 및 상기 밸브 시트면에 대향하는 대향면에 개구되는 세로 유로부와,
    상기 밸브 시트면 및 상기 대향면의 사이의 외측 둘레면에 개구되고, 상기 세로 유로부와 교차하는 가로 유로부를 가지고,
    상기 세로 유로부는, 상기 가로 유로부와의 교차부로부터 상기 대향면측이 간격을 두고 분기되어 있는, 유체 제어 밸브.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 세로 유로부는, 상기 교차부보다도 상기 대향면측에 2개의 분기 유로를 가지고 있고,
    상기 2개의 분기 유로의 중심축은, 상기 가로 유로부의 중심축에 대해서 어긋나 있는, 유체 제어 밸브.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 세로 유로부에 있어서의 상기 교차부보다도 상기 밸브 시트면측의 개구폭은, 상기 가로 유로부의 유로 지름보다도 큰, 유체 제어 밸브.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세로 유로부를 복수 가지고 있고,
    상기 가로 유로부를 복수 가지고 있는, 유체 제어 밸브.
  5. 청구항 4에 있어서,
    복수의 상기 세로 유로부 중 적어도 하나는, 상기 가로 유로부와는 교차하지 않는 것인, 유체 제어 밸브.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 대향면에는, 상기 세로 유로부의 개구로부터 지름 방향 외측을 향해 절결(切欠)된 절결부가 형성되어 있는, 유체 제어 밸브.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 세로 유로부가 원주 상에 형성되어 있고, 상기 원주의 중앙부에 상기 밸브 시트면 및 상기 대향면에 개구되는 중앙 유로부가 형성되어 있고,
    상기 중앙 유로부는, 상기 밸브 시트면측으로부터 상기 대향면을 향함에 따라 유로가 연속적으로 확경(擴徑)되는 것인, 유체 제어 밸브.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수용 오목부의 저면에는, 상류측 유로가 접속되어 있고, 상기 수용 오목부의 내측 둘레면에는, 하류측 유로가 접속되어 있고,
    상기 수용 오목부의 내측 둘레면에는, 상기 가로 유로부의 개구에 대응하여 고리모양 오목부가 형성되어 있는, 유체 제어 밸브.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 유체 제어 밸브와,
    유로의 유량을 측정하는 유량 계측부와,
    상기 유량 계측부에서 측정되는 측정값에 기초하여, 상기 유체 제어 밸브를 제어하는 제어부를 구비하는, 유체 제어 장치.
KR1020220146889A 2021-11-25 2022-11-07 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치 KR20230077649A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021191109A JP2023077714A (ja) 2021-11-25 2021-11-25 流体制御バルブ及び流体制御装置
JPJP-P-2021-191109 2021-11-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230077649A true KR20230077649A (ko) 2023-06-01

Family

ID=86384506

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220146889A KR20230077649A (ko) 2021-11-25 2022-11-07 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11982371B2 (ko)
JP (1) JP2023077714A (ko)
KR (1) KR20230077649A (ko)
CN (1) CN116164122A (ko)

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8844901B2 (en) * 2009-03-27 2014-09-30 Horiba Stec, Co., Ltd. Flow control valve
JP5735331B2 (ja) * 2011-04-08 2015-06-17 株式会社堀場エステック 流体制御弁
JP5947505B2 (ja) * 2011-08-30 2016-07-06 株式会社堀場エステック 流体制御弁
JP6027395B2 (ja) * 2012-10-29 2016-11-16 株式会社堀場エステック 流体制御装置
JP6081800B2 (ja) * 2013-01-07 2017-02-15 株式会社堀場エステック 流体制御弁及びマスフローコントローラ
JP6141663B2 (ja) * 2013-03-27 2017-06-07 株式会社堀場エステック 流体制御弁
US10480670B2 (en) * 2016-04-07 2019-11-19 Horiba Stec, Co., Ltd. Valve element and fluid control valve
US10852752B2 (en) * 2018-02-26 2020-12-01 Hitachi Metals, Ltd. High flow low pressure control valve
JP2020089037A (ja) * 2018-11-22 2020-06-04 株式会社堀場エステック ピエゾアクチュエータ、流体制御バルブ、及び、流体制御装置
JP2022083102A (ja) * 2020-11-24 2022-06-03 株式会社堀場エステック 流体制御装置、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム
JP2022110705A (ja) * 2021-01-19 2022-07-29 株式会社堀場エステック 流体制御弁、流体制御装置、弁体、及び弁体の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023077714A (ja) 2023-06-06
CN116164122A (zh) 2023-05-26
US11982371B2 (en) 2024-05-14
US20230160493A1 (en) 2023-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10114385B2 (en) Fluid control valve
US8844901B2 (en) Flow control valve
JPS5830568A (ja) 定流量弁
KR102054146B1 (ko) 유량 제어장치
JP4071104B2 (ja) 可変圧調整フロー制御装置
CN109716257B (zh) 流量比率控制装置、存储有流量比率控制装置用程序的程序存储介质及流量比率控制方法
JPWO2018021277A1 (ja) オリフィス内蔵弁および圧力式流量制御装置
KR20120115110A (ko) 유체 제어 밸브
JPH02118205A (ja) 流体の流れ安定化装置、質量流量計及び質量流量制御装置
EP3586047B1 (en) Fluid control valve having discrete flow channels arranged to equalize the velocity of fluid at the perimeter of the valve port
JPWO2018070464A1 (ja) 流体制御装置
KR20230077649A (ko) 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치
WO2009014783A2 (en) Ratio controller/flow splitter
JP7569791B2 (ja) 流量制御弁又は流量制御装置
JP5833403B2 (ja) 流体機構及び該流体機構を構成する支持部材
WO2023233934A1 (ja) 流体制御弁、流体制御装置、及び、オリフィスの製造方法
JP5669583B2 (ja) 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート
KR20200135367A (ko) 유량 제어 장치
JP2020034135A (ja) ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置
JP7352947B2 (ja) バルブ装置及び分流システム
JP2769734B2 (ja) 質量流量計の弁構造
KR20240026083A (ko) 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치
KR20220063270A (ko) 밸브
JP2024077140A (ja) 流量制御弁および流量制御装置
KR20220054213A (ko) 유량 비율 제어 장치, 유량 비율 제어 장치용 제어 프로그램을 격납한 기록 매체, 및 유량 비율 제어 장치의 제어 방법