KR20220149329A

KR20220149329A - 적어도 하나의 saw 센서를 이용한 온도 측정 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20220149329A
Application number: KR1020210056819A
Authority: KR
Inventors: 이경순; 이상진
Original assignee: 우리항행기술(주)
Priority date: 2021-04-30
Filing date: 2021-04-30
Publication date: 2022-11-08
Also published as: KR102633080B1

Abstract

본 발명은 적어도 하나의 SAW 센서를 이용한 온도 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 적어도 하나의 SAW(surface acoustic wave) 센서를 이용한 온도 측정 장치에 있어서, 설정된 주파수에 기반하여 신호를 생성하는 신호 발생부; 상기 생성된 신호의 송신 이후, 송신 모드에서 수신 모드로 전환하는 스위치; 상기 스위치가 상기 수신 모드로 전환된 이후, 상기 SAW 센서로 전송된 신호에 기반하여 상기 SAW 센서로부터의 반사 신호의 적어도 일부를 검출하는 신호 검출부; 상기 검출된 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 분석하여 공진 주파수를 획득하고, 상기 획득된 공진 주파수에 기반하여 온도를 측정하도록 설정된 프로세서를 포함할 수 있다.

Description

적어도 하나의 SAW 센서를 이용한 온도 측정 장치 및 방법{A TEMPERATURE ESTIMATING APPARATUS AND METHOD USING AT LEAST ONE SURFACE ACOUSTIC WAVE SENSOR}

본 발명은 적어도 하나의 SAW 센서를 이용한 온도 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 탄성체 표면을 통해 전파되는 음향파를 체적 탄성파(bulk acoustic wave, BAW), 탄성체 표면을 따라 전파되는 탄성파를 표면 탄성파(surface acoustic wave, SAW)가 있다.

표면 탄성파(SAW)는 외부 힘에 의해 고체 표면에서의 입자의 진동이 발생하여 진행되는 탄성파이며, 온도를 측정하는데 사용되며, 이러한 온도 센서를 SAW 센서라 한다.

SAW 센서는 별도의 전원을 필요로 하지 않고 무선으로 온도를 측정할 수 있어서 소형화를 위한 전자 소자에 사용되고 있다.

도 1은 종래 온도 측정 시스템을 나타낸 예시도이다.

도 1을 참조하면, 온도 측정 시스템(100)는 센서부(120)와 리더부(110)를 포함하여 구성된다.

상기 센서부(120)는 압전기판(121), 트랜스듀서(122), 반사판(125) 및 안테나(123)를 포함한다. 압전기판(121)은 주위의 온도에 따라 지연선(delay line, 124)이 팽창하거나 수축할 뿐만 아니라 압전기판의 물성에도 영향을 주어 표면 탄성파의 전파시간이 변하거나 공진 주파수가 변하게 되는데 이러한 특성들의 변화를 검출함으로써 온도를 측정할 수 있게 된다.

트랜스듀서(122)는 빗살전극으로 형성될 수 있고, 안테나(111)에서 수신된 신호에 의해 표면탄성파를 발생하게 한다. 반사판(125)은 트랜스듀서(122)에서 생성된 표면탄성파가 지연선(124)을 통과하여 지연선의 끝 부분에서 표면탄성파를 반사시켜 트랜스듀서(122)로 다시 전파시키는 역할을 한다.

리더부(110)에서 센서 구동신호가 안테나를 통하여 송신되면, 센서 구동신호가 센서부(120)의 트랜스듀서(122)에 입력된다. 트랜스듀서(122)에 입력된 고주파 신호에 의해 압전기판(121)이 진동하게 되고 이에 따라 압전기판(121)의 표면을 따라 전파하는 표면탄성파가 발생되어 지연선(124)을 전파하여 반사판(125)으로 전파된다.

이렇게 전파된 표면탄성파는 반사판(125)에서 반사되어 지연선(124)과 트랜스듀서(122)를 거쳐 센서부(120)의 안테나에 의해 다시 송신되며, 이 신호를 리더기(110)에서 수신한다. 리더기(110)를 통하여 수신된 신호는 주파수의 진폭이나 진동수와 같은 주파수 특성을 분석함으로써 피측정 설비의 온도를 계산할 수 있다.

이러한 종래 온도 측정 시스템에 관한 선행 기술은 특허문헌 1(한국등록특허공보 제10-964871)에 개시되어 있다. 그러나, 특허문헌 1은 반사파제거에 대한 내용을 개시하고 있지 않다.

또한, 종래에는 SAW 센서를 사용하는 위치가 LCD 고온 공정용 밀폐 챔버 내부에서 사용되기 때문에, 챔버의 크기에 따른 고유공진 주파수 모드 도는 반사파가 발생되어 특정한 주파수에서 공진된 무선 주파수 전력의 내부 맴돌이 현상이 심할 경우, 수 십 nS 동안 잔여전력 현상이 발생된다. 그리고, 잔여전력이 발생된 상태에서 SAW 센서에 의한 반사 전력 대부분은 시간적으로 잔여전력에 묻혀서 구분할 수 없게 되기 때문에, 공진 주파수를 정확히 획득할 수 없다.

따라서, SAW 센서에 대한 정확한 공진 주파수를 획득하여 온도를 측정할 필요성이 제기된다.

한국등록특허공보 제10-964871

종래에는 잔여전력이 발생된 상태에서 SAW 센서에 의한 반사 전력 대부분은 시간적으로 잔여전력에 묻혀서 구분할 수 없게 되기 때문에, 공진 주파수를 정확히 획득하지 못함에 따라 온도를 정확히 측정할 수 없었다.

따라서, 본 발명은 적어도 하나의 SAW 센서를 이용한 온도 측정 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 적어도 하나의 SAW(surface acoustic wave) 센서를 이용한 온도 측정 장치에 있어서, 설정된 주파수에 기반하여 신호를 생성하는 신호 발생부; 상기 생성된 신호의 송신 이후, 송신 모드에서 수신 모드로 전환하는 스위치; 상기 스위치가 상기 수신 모드로 전환된 이후, 상기 SAW 센서로 전송된 신호에 기반하여 상기 SAW 센서로부터의 반사 신호의 적어도 일부를 검출하는 신호 검출부; 상기 검출된 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 분석하여 공진 주파수를 획득하고, 상기 획득된 공진 주파수에 기반하여 온도를 측정하도록 설정된 프로세서를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명은 적어도 하나의 SAW 센서를 이용한 온도 측정 장치의 방법에 있어서, 설정된 주파수에 기반하여 신호를 생성하는 과정과, 상기 생성된 신호의 송신 이후, 스위치를 송신 모드에서 수신 모드로 전환하는 과정과, 상기 스위치가 상기 수신 모드로 전환된 이후, 상기 SAW 센서로 전송된 상기 신호에 기반하여 상기 SAW 센서로부터의 반사 신호의 적어도 일부를 검출하는 과정과, 상기 검출된 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 분석하여 공진 주파수를 획득하는 과정과, 상기 획득된 공진 주파수에 기반하여 온도를 측정하는 과정을 포함할 수 있다.

또한 본 발명은 적어도 하나의 SAW 센서를 이용한 온도 측정 시스템에 있어서, 적어도 하나의 SAW 센서; 및 설정된 주파수에 기반하여 신호를 생성하고, 상기 생성된 신호의 송신 이후, 상기 SAW 센서로 전송된 신호에 기반하여 상기 SAW 센서로부터의 반사 신호의 적어도 일부를 검출하고, 상기 검출된 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 분석하여 공진 주파수를 획득하고, 상기 획득된 공진 주파수에 기반하여 온도를 측정하도록 설정된 온도 측정 장치를 포함할 수 있다.

본 발명은 신호의 송신 이후, 스위치를 송신 모드에서 수신 모드로 전환한 이후, SAW 센서로 전송된 신호에 기반하여 상기 SAW 센서로부터의 반사 신호의 적어도 일부를 검출하고, 상기 검출된 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 분석하여 공진 주파수를 획득함으로써, 보다 정확한 온도를 측정할 수 있다.

또한, 본 발명은 온도를 측정한 이후, 신호가 송신되는 주파수가 상기 SAW 센서의 주파수 대역 이내인 경우, 스위치를 수신 모드에서 송신 모드로 전환함으로써, 초당 수백회의 신호를 전송할 수 있다.

또한, 본 발명은 스위치가 수신 모드에서 송신 모드로 전환되면, 설정된 주파수를 일정 주파수 단위로 쉬프팅하여 주파수를 재설정함으로써, 서로 다른 주파수에 대한 신호를 송신할 수 있고, 보다 정확한 공진 주파수를 획득할 수 있다.

또한, 본 발명은 일정 주파수 단위로 시프트하여 설정된 주파수를 통해 상기 신호를 후속하는 후속 신호를 상기 SAW 센서로 전송함으로써, 초당 수백회 이상의 온도를 측정할 수 있다.

또한, 본 발명은 설정된 주파수를 일정 주파수 단위로 지속적으로 쉬프팅하면서 신호의 전송 및 상기 신호에 기반한 반사 신호의 수신을 지속적으로 수행함으로써, 초당 수백회 이상의 온도를 측정할 수 있다.

또한, 본 발명은 반사 신호가 검출되기 시작하는 시점에 스위치를 송신 모드에서 수신 모드로 전환함으로써, 적응적으로 신호를 순차적으로 전송할 수 있다.

또한, 본 발명은 스위치가 송신 모드에서 수신 모드로의 전환이 완료되는 시점부터 반사 신호의 검출이 완료되는 시점에 해당되는 반사 신호의 적어도 일부를 검출함으로써, 잔여 전력이 소멸된 상태에서 반사 신호의 일부에 의한 정확한 온도를 측정할 수 있다.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.

도 1은 종래 온도 측정 시스템을 나타낸 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 시스템을 나타낸 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 장치의 동작을 나타낸 순서도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 장치의 타임 시퀀스를 나타낸 예시도이다.
도 5a는 종래 온도 측정 장치의 동작 시간을 나타낸 타임도이다.
도 5b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 장치의 동작 시간을 나타낸 타임도이다.
도 6a은 종래 신호의 전송에 기반하여 수신되는 반사 신호의 전력을 나타낸 결과이다.
도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 신호의 전송에 기반하여 수신되는 반사 신호의 전력을 나타낸 결과이다.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것으로, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 제1 구성요소는 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.

명세서 전체에서, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 각 구성요소는 단수일수도 있고 복수일 수도 있다.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B 를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 적어도 하나의 SAW(surface acoustic wave) 센서를 이용한 온도 측정 장치 및 방법을 설명하도록 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 시스템을 나타낸 예시도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 시스템(200)은 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213), 및 상기 적어도 하나의 SAW 센서(210)를 이용하여 온도를 측정하는 온도 측정 장치(220)를 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 온도 측정 장치(220)는 안테나(226), 스위치(225), 신호 발생부(223), 신호 검출부(224), 및 프로세서(222)를 포함할 수 있다. 그리고, 온도 측정 장치(220)는 표시 제어 장치(221)를 더 포함할 수 있다. 또는, 상기 표시 제어 장치(221)는 상기 온도 측정 장치(220)와 별개의 장치이며, 상기 온도 측정 장치(220)로부터 수신된 정보를 표시할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 SAW 센서(211, 213)는 밀폐된 공간(예: 챔버)에 부착되어 내부 온도를 감지할 수 있다.

도 2에 도시된 온도 측정 시스템(200)의 구성은 일 실시 예에 따른 것이고, 온도 측정 시스템(200)의 구성 요소들이 도 2에 도시된 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 일부 구성 요소가 부가, 변경 또는 삭제될 수 있다.

또한, 도 2에 도시된 온도 측정 장치(220)의 구성은 일 실시 예에 따른 것이고, 온도 측정 장치(220)의 구성 요소들이 도 2에 도시된 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 일부 구성 요소가 부가, 변경 또는 삭제될 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 온도 측정 장치(220)는 무선 주파수 펄스 신호를 1초당 수백회 이상 송수신할 수 있는 인터로게이터(interrogator) 하드웨어(미도시)를 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 표시 제어 장치(221)는 온도 센서(예: SAW 센서(211, 213))의 동작에 대한 다양한 데이터를 표시하거나, 온도 센서(예: SAW 센서(211, 213))의 동작을 제어하는 입력을 수신할 수 있다. 상기 표시 제어 장치(221)는 상기 프로세서(222)와 유선 또는 무선을 통해 데이터, 또는 신호를 송수신할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 신호 발생부(223)는 프로세서(222)에서 제어 신호를 수신하여 주파수를 발생 및 SAW 센서(211, 213)의 주파수 대역을 스캔할 수 있다. 상기 신호 발생부(223)는 프로세서(222)의 제어 하에, 설정된 주파수에 기반하여 신호를 생성할 수 있다. 예를 들면, SAW 센서(211, 213)의 주파수 대역이 419.3MHz-422.3MHz이고, 스텝이 4kHz인 경우, 상기 신호 발생부(223)는 419.3MHz에서 신호를 전송한 후, 4kHz 단위로 주파수(예: 419.3MHz)를 쉬프팅(419.7MHz)하여 신호를 다시 전송한다.

이와 같이, 상기 신호 발생부(223)는 422.3MHz가 될 때까지, 4kHz 단위로 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)로 전송할 신호를 생성할 수 있다. 상기 신호는 SAW 센서(211, 213)가 온도를 센싱하도록 제어하는 구동 신호일 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 신호 검출부(224)는 상기 SAW 센서(211, 213)에서 반사된 신호의 세기(예; 신호의 전력)를 검출하여 공진 주파수를 획득할 수 있다. 상기 신호 검출부(224)는 스위치(225)가 수신 모드로 전환된 이후, 상기 SAW 센서(211, 213)로 전송된 신호에 기반하여 상기 SAW 센서(211, 213)로부터의 반사 신호의 적어도 일부를 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 신호 검출부(224)는 상기 스위치가 송신 모드에서 수신 모드로 스위칭이 완료되는 시점에서의 반사 신호의 일부를 검출할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 스위치(225)는 안테나(226)가 신호 송신부(223) 또는 신호 검출부(224)에 연결되도록 스위칭할 수 있다. 예를 들면, 상기 스위치(225)는 송신 모드로 동작되는 경우, 상기 안테나(226)와 상기 신호 송신부(223)를 연결시키고, 수신 모드로 동작되는 경우, 상기 안테나(226)와 상기 신호 검출부(224)를 연결시킬 수 있다. 상기 스위치(225)는 신호를 전송하고자 하는 경우, 프로세서(222)의 제어 하에 송신 모드로 전환되고, 상기 신호가 전송된 이후 일정 시간(예: 0.5μS~2μS)이 지나면, 상기 송신 모드에서 수신 모드로 전환될 수 있다. 상기 스위치(225)는 신호의 전송에 기반하여, 상기 프로세서(222)가 반사 신호의 일부를 통해 온도가 측정되면, 프로세서(222)의 제어 하에 다시 상기 수신 모드에서 상기 송신 모드로 전환될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 안테나(226)는 신호를 무선으로 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)로 전송할 수 있다. 예를 들면, 상기 안테나(226)는 TDD(Time Division Duplexing) 방식을 통해 적어도 하나의 신호를 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)로 전송할 수 있다. 상기 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)는 1개에서 복수 개(예: 20개)의 SAW 센서를 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 소프트웨어를 구동하여 상기 프로세서(222)에 연결된 적어도 하나의 구성요소(예: 안테나(226), 스위치(225), 신호 발생부(223), 및 신호 검출부(224))를 유선 통신 또는 무선 통신에 기반하여 제어할 수 있다. 그리고, 상기 프로세서(222)는 상기 유선 통신 또는 상기 무선 통신에 기반하여 다양한 데이터 처리 및 연산을 수행할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 안테나(226), 스위치(225), 신호 발생부(223), 및 신호 검출부(224)등으로부터 수신된 명령 또는 데이터를 처리하고, 처리된 데이터를 표시 제어 장치(221)로 전송할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 SAW 센서(211, 213)의 공진 주파수를 획득 및 온도 변환을 위한 소프트웨어, 고온 챔버 내부의 고유 공진(eigenmode frequency) 또는 반사파 잔여 전력을 제거하는 알고리즘, 및 표시 제어 장치(221)의 GUI(graphic user interface) 등의 운영 소프트웨어가 기록될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 미리 결정된 주파수 단위(예: 4kHz) 단위로 신호 발생부(223)를 통해 신호를 생성하고, 생성된 신호를 안테나(226)를 통해 밀폐된 공간(예: 챔버)에 위치한 상기 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)로 전송할 수 있다. 상기 챔버는 LCD를 제조하는 과정에서 고온처리 공정을 담당하는 공간이다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 상기 신호가 송신된 후 일정 시간이 지나면, 상기 스위치(225)를 송신 모드에서 수신 모드로 전환시킬 수 있다. 상기 프로세서(222)는 상기 신호의 송신에 기반하여 SAW 센서(211, 213)으로부터 반사되는 반사 신호가 검출되기 시작하는 시점에 상기 스위치(225)를 송신 모드에서 수신 모드로 전환시킬 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 상기 스위치(225)가 송신 모드에서 수신 모드로의 전환이 완료되는 시점부터 상기 반사 신호의 검출이 완료되는 시점에 해당되는 반사 신호의 적어도 일부를 상기 신호 검출부(224)를 통해 검출할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 상기 신호의 전송에 기반하여 발생되는 잔여 전력이 소멸되는 시점부터 상기 반사 신호의 검출이 완료되는 시점에 해당되는 상기 반사 신호의 적어도 일부를 상기 신호 검출부(224)를 통해 검출할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 상기 검출된 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 분석하여 SAW 센서(211, 213)에 대한 공진 주파수를 획득하고, 상기 획득된 공진 주파수에 기반하여 온도(예: 챔버의 내부 온도)를 측정할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 RF 인터로게이터(미도시)에서 SAW 센서(211, 213)의 대역(예: 430/940/2400MHz)의 주파수를 100Hz~1000Hz의 속도로 SAW 센서의 채널 당 1000 내지 4000회 주파수를 변경해가며 신호의 송수신을 교번할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 매 송수신마다 측정된 반사 신호의 수신 전력을 분석하여 최대 공진 주파수를 획득하고, 아래 [수학식 1]을 통해 이에 해당되는 온도로 변환할 수 있다.

상기 [수학식 1]에서 resonance frequency는 공진 주파수이고, reference frequency는 기준 주파수이고, temp coefficient는 SAW 센서의 온도 변화량이고, offset temp는 보정 계수이다.

일반적으로 SAW 센서는 온도에 선형적인 변화로 알려져 있으나, 제조공정 상에 발생되는 도금 및 불순물 유입등에 의해 구간 별 비선형 변화가 발생될 수 있다. 따라서, 상기 프로세서(222)는 이러한 보정을 위해 구간보간방식을 사용하여 온도를 보정할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 적어도 하나의 신호의 송신에 기반하여 수신되는 적어도 하나의 반사 신호의 주파수에서 가장 큰 주파수를 상기 공진 주파수로 식별할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 상기 SAW 센서(211, 213)의 주파수 대역(예: 419.3MHz-422.3MHz) 이내에서, 상기 신호 발생부(223), 상기 스위치(225), 및 상기 신호 검출부(224)를 제어하여, 기 설정된 주파수(예: 419.3MHz )를 상기 일정 주파수(예: 4kHz) 단위로 지속적으로 쉬프팅하면서 신호의 전송 및 상기 신호에 기반한 반사 신호의 수신을 지속적으로 수행할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 상기 스위치(225)가 수신 모드에서 송신 모드로 전환되면, 상기 설정된 주파수를 일정 주파수 단위로 쉬프팅하여 주파수를 설정할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 프로세서(222)는 상기 일정 주파수 단위로 시프트하여 설정된 주파수를 통해 상기 신호(예: 제1 신호)를 후속하는 후속 신호(예: 제2 신호)를 상기 SAW 센서(211, 213)로 전송할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 온도 측정 장치(220)는 통신부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 프로세서(222)는 적어도 하나의 반사 신호의 일부에 기반하여 측정된 온도를 상기 통신부(미도시)를 통해 표시 제어 장치(221)로 실시간으로 전송할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)와 상기 온도 측정 장치(220)는 TDD(Time Division Duplexing)에 기반하여 무선 통신을 수행할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 장치의 동작을 나타낸 순서도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 장치의 타임 시퀀스를 나타낸 예시도이다.

이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 장치의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.

일 실시 예에 따르면, 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 설정된 주파수에 기반하여 신호를 스위치를 통해 SAW 센서로 전송할 수 있다(S310). 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 신호 발생부(223)를 통해 설정된 주파수(예: 419.3MHz)에서 신호를 적어도 하나의 SAW 센서로 전송할 수 있다. 그리고, 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 설정된 주파수(예: 419.3MHz)부터 주파수 대역(예: 422.3MHz)이 될 때까지, 4kHz 단위로 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)로 전송할 신호를 생성하고, 상기 생성된 신호를 스위치(225)를 통해 챔버 내의 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)로 전송할 수 있다.

도 4는 SAW 센서의 채널 대역을 스캔하면서, SAW 센서에서 공진된 반사 전력을 측정하여 최대 공진주파수를 획득하고, 이에 대응되는 온도로 변환시켜주는 과정을 나타낸다.

도 4를 참조하면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 제1 블록(411)에서 Tx PLL(Transmission Phase Locked Loop) 주파수 설정을 수행할 수 있다. 그리고, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 제2 블록(412)에서 Tx PLL LD(Locked Detector)를 확인한 후, 설정된 주파수가 확인되면, 제3 블록(413)에서 Tx PLL 출력을 인에이블(enable)할 수 있다. 상기 제3 블록(413) 동안에 신호는 전송될 수 있다.

그리고, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 제4 블록(414)에서 Tx PLL 출력을 디스에이블(disable)할 수 있다. 상기 제4 블록(414)에서는 신호의 전송이 일시적으로 중단될 수 있다.

도 3을 참조하면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 일정 시간이 지난 후, 스위치를 송신 모드에서 수신 모드로 전환할 수 있다(S312). 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 신호 발생부(223)를 통해 419.3MHz에서 422.3MHz가 될 때까지, 4kHz 단위로 생성되는 신호가 스위치(225)를 통해 챔버 내의 적어도 하나의 SAW 센서(211, 213)로 전송된 이후, 일정 시간이 지나면, 스위치를 송신 모드에서 수신 모드로 전환할 수 있다.

도 4를 참조하면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 제5 블록(415)에서 스위치를 송신 모드(예: Tx 모드)에서 수신 모드(예: Rx 모드)로 스위칭시킬 수 있다.

도 3을 참조하면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 스위치가 수신 모드로 전환된 이후, 상기 SAW 센서로부터 전송된 신호의 적어도 일부에 기반하여 상기 SAW 센서로부터 반사 신호를 검출할 수 있다(S314). 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222)) 상기 검출된 반사 신호의 전력 세기의 레벨을 식별할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 신호 검출부(224)를 통해 상기 SAW 센서(211, 213)에서 반사된 신호의 세기(예; 신호의 전력)를 검출할 수 있다. 스위치(225)가 수신 모드로 전환된 이후, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 SAW 센서(211, 213)로부터 전송된 신호에 기반하여 상기 SAW 센서(211, 213)로부터의 반사 신호의 적어도 일부를 상기 신호 검출부(224)를 통해 검출할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 적어도 하나의 신호의 전송에 기반하여 발생되는 각 신호에 대한 잔여 전력이 소멸되는 시점부터 반사 신호의 검출이 완료되는 시점에 해당되는 상기 반사 신호의 적어도 일부를 신호 검출부(224)를 통해 검출할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 반사 신호의 전력을 분석하여 공진 주파수를 획득할 수 있다(S316). 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 각각의 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 측정하여 해당 SAW 센서(211, 213)의 공진 주파수를 식별할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 획득된 공진 주파수에 기반하여 온도를 측정할 수 있다(S318). 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 각 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 분석하여 각 SAW 센서(211, 213)에 대한 공진 주파수를 각각 획득하고, 상기 획득된 공진 주파수에 기반하여 온도(예: 챔버의 내부 온도)를 측정할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 신호를 송신한 주파수가 상기 SAW 센서의 채널 대역 이내인지를 식별할 수 있다(S320). 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 SAW 센서(211, 213)의 주파수 대역(예: 419.3MHz-422.3MHz) 이내에서, 일정 주파수(예: 4kHz) 단위로 지속적으로 쉬프팅하면서 신호를 전송한다. 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 이러한 주파수 쉬프팅으로 인해, 신호를 전송하는 신호의 주파수가 상기 주파수 대역의 이내인지 또는 이내이지 않는지를 식별할 수 있다.

상기 과정들(S314, S316, S318, S320)은 도 4의 제6 블록(416)에서 수행된다.

일 실시 예에 따르면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 스위치를 수신 모드에서 송신 모드로 전환할 수 있다(S322). 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 프로세서(222)에 의해 온도가 측정되면, 다음 신호가 송신될 수 있도록 스위치를 수신 모드에서 송신 모드로 전환시킬 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 설정된 주파수를 일정 주파수만큼 쉬프팅하여 설정할 수 있다(S324). 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 상기 스위치(225)가 송신 모드로 전환되면, 상기 과정(S310)에서 설정된 주파수(예: 419.3MHz)를 일정 주파수(예: 4kHz) 만큼 쉬프팅(예: 419.7MHz)시킨다.

도 4를 참조하면, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 제7 블록(417)에서 스위치를 수신 모드(예: Rx 모드)에서 송신 모드(예: Tx 모드)로 스위칭시킬 수 있다. 그리고, 상기 온도 측정 장치(200)(예: 프로세서(222))는 다시 제1 블록(411)로 회귀하여 송신 주파수를 설정할 수 있다.

도 5a는 종래 온도 측정 장치의 동작 시간을 나타낸 타임도이다. 도 5b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 온도 측정 장치의 동작 시간을 나타낸 타임도이다.

도 5a를 참조하면, 종래에는 신호를 전송하는 시점(T1)에서 스위치를 송신 모드에서 수신 모드로 전환한다. 이러한 스위치가 전환되는 시간(T1에서 T2)(511)은 일정 시간(약: 0.1μS) 소요된다. 그리고, 스위치가 송신 모드에서 수신 모드로 전환된 이후(T2), 일정 시간(512)(예: 0.4μS) 이후의 시점(T4)부터 신호의 전송에 따른 반사 신호가 검출되기 시작한다. 상기 반사 신호는 T4에서 T5 시간 동안(515) 검출된다.

그리고, 상기 스위치가 송신 모드에서 수신 모드로 스위칭된 후(T2)부터 일정 시간(516)이 지난 후, 상기 스위치는 수신 모드에서 다시 송신 모드로 전환된다.

그런데, 종래에는 신호의 전송에 따른 잔여 전력은 신호가 전송된 이후, 일정 기간(T1에서 T3)(514) 동안 발생된다. 이러한 잔여 전력이 소멸되기 전에 일정 지점(예: T4)부터 일정 시점(T5)까지의 일정 시간 동안(515) 반사 신호에 대한 전력을 측정하기 때문에, 잔여 전력이 발생된 상태에서의 SAW 센서의 반사 전력 대부분은 시간적으로 잔여 전력에 묻혀서 구분할 수 없다. 따라서, 신호의 전력에 따른 정확한 공진 주파수를 획득하기 어려웠다.

이와 같이, 종래에는 신호를 전송한 이후, 신호 검출부에서 신호를 검출하는 기간에 반사파 여기전력과 SAW 반사 전력이 동시에 존재하기 때문에, 여기전력을 제거하지 않으면, SAW 반사 전력의 유무를 확인할 수 없게 된다.

이러한 종래 문제점을 해소하기 위해, 본 발명의 일 실시 예는 Tx PLL 출력 디스에이블(414) 시점(T1)을 앞으로 밀어서 반사파 여기전력 잔여기간(T3)가 송수신 스위치 전환(T2) 부근으로 이동시키는 경우, SAW 반사전력 역시 동일한 시간만큼 앞으로 당겨지게 됨으로써, SAW 반사전력 일부가 수신 검출 레벨 확인 구간에 남게되어 SAW 공진 주파수를 획득할 수 있다.

도 5b를 참조하면, 본 발명에서는 신호를 송신한 이후, 일정 시간(521)이 지난 후, 일정 구간(522)에서 스위치를 송신 모드에서 수신 모드로 스위칭하고, 스위칭 전환이 완료되는 시점(T2)에서 반사 신호의 일부에 대한 시간(T5) 동안에(525), 상기 반사 신호의 전력을 분석한다. 신호의 전송에 따른 잔여 전력은 신호가 전송된 이후, 일정 기간(T1에서 T2)(513) 동안 발생되기 때문에, 상기 잔여 전력이 소멸되는 시점(T2)에서 상기 반사 신호의 전력을 분석한다. 그리고, 스위치는 일정 시간 동안(514)에 송신 모드에서 수신 모드로 동작한다. 그리고, 스위칭의 완료 이후, 일정 시간(516)이 지난 후, 다시 스위치는 수신 모드에서 송신 모드로 스위칭한다.

도 6a은 종래 신호의 전송에 기반하여 수신되는 반사 신호의 전력을 나타낸 결과이다. 도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 신호의 전송에 기반하여 수신되는 반사 신호의 전력을 나타낸 결과이다.

도 6a를 참조하면, 종래에는 잔여 전력이 소멸되기 전에 반사 신호에 대한 전력을 측정하기 때문에, SAW 센서의 반사 전력 대부분은 시간적으로 잔여 전력에 묻히게 된다. 그리고, 반사 신호의 전력을 포함하는 잔여 전력은 일정 시간 동안(610) 유지되기 때문에 공진 주파수를 식별하기 어려운 문제점이 있었다.

그리고, 종래에는 SAW 센서를사용하는 위치가 LCD 고온공정용 밀폐 챔버 내부이기 때문에, 이러한 챔버의 크기에 따른 고유공진 주파수 모드 또는 반사파가 발생되어 특정한 주파수에서 공진된 무선 주파수 전력의 내부 맴돌이 현상이 심할 경우, 수 십 μS동안에 잔여전력 현상이 발생된다.

이와 같이, 잔여전력이 발생된 상태에서의 SAW 센서의 반사 전력 대부분은 시간적으로 잔여 전력에 묻혀서 구분할 수 없게 된다.

이러한 문제점을 해소하기 위해, 본 발명은 잔여 전력 제거를 위해 고속 DSP(digital signal processor) 기반의 송수신 스위칭하는 스위치와 송수신 스위칭 타이밍에 nS 단위로 스텝 가변 조정 및 SAW 센서의 전파 지연 분석 등을 조합하여 잔여전력을 제거하여 아래 도 6b와 같은 실험 결과를 얻었다.

도 6b를 참조하면, 본 발명은 잔여 전력이 소멸된 이후에 반사 신호의 일부의 전력을 이용하여 공진 주파수를 획득하기 때문에, 보다 정확한 공진 주파수(620)을 획득할 수 있다.

이상에서 상술한 각각의 순서도에서의 각 단계는 도시된 순서에 무관하게 동작될 수 있거나, 또는 동시에 수행될 수 있다. 또한, 본 발명의 적어도 하나의 구성 요소와, 상기 적어도 하나의 구성 요소에서 수행되는 적어도 하나의 동작은 하드웨어 및/또는 소프트웨어로 구현 가능할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.

210: 적어도 하나의 SAW 센서
220: 온도 측정 장치
221: 표시 제어 장치
222: 프로세서
223: 신호 발생부
224: 신호 검출부
225: 스위치
226: 안테나

Claims

적어도 하나의 SAW(surface acoustic wave) 센서를 이용한 온도 측정 장치에 있어서,
설정된 주파수에 기반하여 신호를 생성하는 신호 발생부;
상기 생성된 신호의 송신 이후, 송신 모드에서 수신 모드로 전환하는 스위치;
상기 스위치가 상기 수신 모드로 전환된 이후, 상기 SAW 센서로 전송된 신호에 기반하여 상기 SAW 센서로부터의 반사 신호의 적어도 일부를 검출하는 신호 검출부;
상기 검출된 반사 신호의 적어도 일부에 대한 전력을 분석하여 공진 주파수를 획득하고, 상기 획득된 공진 주파수에 기반하여 온도를 측정하도록 설정된 프로세서를 포함하는 온도 측정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 온도를 측정한 이후, 상기 신호가 송신되는 주파수가 상기 SAW 센서의 주파수 대역 이내인 경우, 상기 스위치를 상기 수신 모드에서 상기 송신 모드로 전환하도록 설정된 온도 측정 장치.
제2 항에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 스위치가 상기 수신 모드에서 상기 송신 모드로 전환되면, 상기 설정된 주파수를 일정 주파수 단위로 쉬프팅하여 주파수를 설정하는 온도 측정 장치.
제3 항에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 일정 주파수 단위로 시프트하여 설정된 주파수를 통해 상기 신호를 후속하는 후속 신호를 상기 SAW 센서로 전송하도록 설정된 온도 측정 장치.
제4 항에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 SAW 센서의 주파수 대역 이내에서, 상기 신호 발생부, 상기 스위치, 및 상기 신호 검출부를 제어하여, 상기 설정된 주파수를 상기 일정 주파수 단위로 지속적으로 쉬프팅하면서 신호의 전송 및 상기 신호에 기반한 반사 신호의 수신을 지속적으로 수행하도록 설정된 온도 측정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 생성된 신호가 송신되면, 일정 시간이 지난 후 상기 스위치를 상기 송신 모드에서 상기 수신 모드로 전환하도록 설정된 온도 측정 장치.
제6 항에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 반사 신호가 검출되기 시작하는 시점에 상기 스위치를 상기 송신 모드에서 상기 수신 모드로 전환하도록 설정된 온도 측정 장치.
제7 항에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 스위치가 상기 송신 모드에서 상기 수신 모드로의 전환이 완료되는 시점부터 상기 반사 신호의 검출이 완료되는 시점에 해당되는 상기 반사 신호의 적어도 일부를 상기 신호 검출부를 통해 검출하도록 설정된 온도 측정 장치.
제8 항에 있어서,
상기 프로세서는,
상기 신호의 전송에 기반하여 발생되는 잔여 전력이 소멸되는 시점부터 상기 반사 신호의 검출이 완료되는 시점에 해당되는 상기 반사 신호의 적어도 일부를 상기 신호 검출부를 통해 검출하도록 설정된 온도 측정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 프로세서는,
적어도 하나의 신호의 송신에 기반하여 수신되는 적어도 하나의 반사 신호의 주파수에서 가장 큰 주파수를 상기 공진 주파수로 식별하도록 설정된 온도 측정 장치.