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KR20220075009A - 검사 장치 - Google Patents

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KR20220075009A
KR20220075009A KR1020200160850A KR20200160850A KR20220075009A KR 20220075009 A KR20220075009 A KR 20220075009A KR 1020200160850 A KR1020200160850 A KR 1020200160850A KR 20200160850 A KR20200160850 A KR 20200160850A KR 20220075009 A KR20220075009 A KR 20220075009A
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KR
South Korea
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laser beams
inkjet head
intensity
laser
laser beam
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Application number
KR1020200160850A
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한정원
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

검사 장치는 적어도 하나의 출사 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기, 복수의 노즐들을 포함하는 잉크젯 헤드의 하부를 통과한 레이저 빔의 강도를 측정하는 광학 센서, 및 레이저 빔의 강도에 기초하여 잉크젯 헤드의 토출 동작을 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

검사 장치{INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 검사 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 잉크젯 헤드를 검사할 수 있는 검사 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치, 유기 발광 표시 장치, 퀀텀 나노 표시 장치 등과 같은 표시 장치를 제조하기 위해, 다양한 공정들이 수행된다. 상기 공정들 중 잉크젯 프린팅 공정은 잉크젯 헤드를 이용하여 기판 상에 패턴을 인쇄하는 공정이다. 상기 잉크젯 헤드는 복수의 노즐들을 포함하며, 상기 노즐들을 통해 상기 기판 상에 잉크를 토출한다. 그러나, 상기 잉크젯 헤드의 하부에 이물이 존재하는 경우, 상기 이물에 의해 상기 패턴이 정밀하게 인쇄되지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 잉크의 탄착 위치가 변경되거나 상기 잉크가 토출되지 않을 수 있다.
본 발명의 목적은 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.
다만, 본 발명의 목적은 상술한 목적으로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치는 적어도 하나의 출사 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기, 복수의 노즐들을 포함하는 잉크젯 헤드의 하부를 통과한 레이저 빔의 강도를 측정하는 광학 센서, 및 상기 레이저 빔의 상기 강도에 기초하여 상기 잉크젯 헤드의 토출 동작을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 출사 레이저 빔은 상기 노즐들의 하부들을 통과하는 제1 레이저 빔들 및 상기 노즐들 사이에 정의되는 공간들의 하부들을 통과하는 제2 레이저 빔들로 분할되고, 상기 레이저 빔은 상기 제1 레이저 빔들 및 상기 제2 레이저 빔들을 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 검사 장치는 상기 레이저 발생기와 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 출사 레이저 빔을 상기 제1 레이저 빔들 및 상기 제2 레이저 빔들로 분할하는 제1 광학 모듈, 상기 제1 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들 및 상기 제2 레이저 빔들의 간격을 조절하는 제2 광학 모듈, 및 상기 제2 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들이 서로 평행하도록 상기 제1 레이저 빔들의 경로들을 가이드하고, 상기 제2 레이저 빔들이 서로 평행하도록 상기 제2 레이저 빔들의 경로들을 가이드 하는 제3 광학 모듈을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 레이저 빔들은 상기 잉크젯 헤드의 하면과 평행하도록 상기 노즐들의 하부들을 통과하며, 상기 제2 레이저 빔들은 상기 잉크젯 헤드의 상기 하면과 평행하도록 상기 공간들의 하부들을 통과할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 검사 장치는 상기 레이저 발생기와 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들이 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부를 통과하도록 상기 제1 레이저 빔들의 경로들을 가이드 하는 제1 광 경로 변환 모듈 및 상기 잉크젯 헤드와 상기 광학 센서 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들이 상기 광학 센서로 입사하도록 상기 제1 레이저 빔들의 경로들을 가이드 하는 제2 광 경로 변환 모듈을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 광 경로 변환 모듈 및 상기 제2 광 경로 변환 모듈은 적어도 하나의 거울을 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 광학 센서는 상기 제1 레이저 빔들의 제1 강도들을 측정하고, 상기 제어부는 상기 제1 강도들 중 제1 기준 강도보다 작은 제3 강도를 결정하고, 상기 제3 강도를 갖는 상기 제3 레이저 빔과 대응하는 노즐의 토출 동작을 중단시킬 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 광학 센서는 상기 제2 레이저 빔들의 제2 강도들을 측정하고, 상기 제어부는 상기 제2 강도들 중 제2 기준 강도보다 작은 제4 강도를 결정하고, 상기 제4 강도를 갖는 상기 제4 레이저 빔과 대응하는 공간과 인접하는 노즐들의 토출 동작들을 중단시킬 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 출사 레이저 빔은 서로 일정한 간격을 갖는 제1 레이저 빔들로 분할되고, 상기 레이저 빔은 상기 제1 레이저 빔들을 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 검사 장치는 상기 레이저 발생기와 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 출사 레이저 빔을 상기 제1 레이저 빔들로 분할하는 제1 광학 모듈, 상기 제1 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들의 간격을 조절하는 제2 광학 모듈, 상기 제2 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들이 서로 평행하도록 상기 제1 레이저 빔들의 경로들을 가이드 하는 제3 광학 모듈, 및 상기 제3 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들을 제1 스캔 경로 또는 제2 스캔 경로로 가이드 하는 제4 광학 모듈을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔들은 상기 잉크젯 헤드의 하면과 평행하도록 상기 노즐들의 하부들을 통과할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제2 스캔 경로로 가이드 된 상기 제2 레이저 빔들은 상기 잉크젯 헤드의 하면과 평행하도록 상기 노즐들 사이에 정의되는 공간들의 하부들을 통과할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 광학 센서는 상기 제1 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔들의 제1 강도들을 측정하고, 상기 제어부는 상기 제1 강도들 중 제1 기준 강도보다 작은 제3 강도를 결정하고, 상기 제3 강도를 갖는 상기 제3 레이저 빔과 대응하는 노즐의 토출 동작을 중단시킬 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 광학 센서는 상기 제2 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔들의 제2 강도들을 측정하고, 상기 제어부는 상기 제2 강도들 중 제2 기준 강도보다 작은 제4 강도를 결정하고, 상기 제4 강도를 갖는 상기 제4 레이저 빔과 대응하는 공간과 인접하는 노즐들의 토출 동작들을 중단시킬 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 출사 레이저 빔은 상기 노즐들의 하부들을 통과하는 단일한 라인 레이저 빔으로 변환될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 광학 센서는 상기 라인 레이저 빔의 제1 강도들을 측정하고, 상기 제어부는 상기 제1 강도들 중 기준 강도보다 작은 제2 강도를 결정하고, 상기 제2 강도를 갖는 상기 라인 레이저 빔과 중첩하는 노즐의 토출 동작을 중단시킬 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부에 이물이 존재하는 경우, 상기 이물과 중첩하는 상기 레이저 빔의 상기 강도가 감소할 수 있다.
전술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치는 잉크젯 헤드의 하부를 통과하는 적어도 하나의 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기, 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부를 통과한 상기 레이저 빔의 강도를 측정하는 광학 센서 및 상기 레이저 빔의 상기 강도가 기준 강도보다 작은 경우, 측정기의 측정 동작을 중단시키는 제어부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 레이저 빔이 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부를 통과한 후, 상기 측정기가 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부를 통과할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 레이저 빔의 상기 강도가 상기 기준 강도보다 작은 경우, 상기 측정기는 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부로 통과하지 않을 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 검사 장치는 레이저 발생기, 광학 센서 및 제어부를 포함할 수 있다. 상기 검사 장치는 잉크젯 헤드가 토출 동작을 수행하는 동안 검사 동작을 수행할 수 있다. 상기 검사 동작은 상기 잉크젯 헤드의 하면과 평행하도록 상기 잉크젯 헤드의 하부를 통과하는 상기 레이저 빔의 강도에 기초하여 수행될 수 있다. 상기 검사 장치는 상기 레이저 빔의 상기 강도에 기초하여, 상기 잉크젯 헤드의 상기 하면에 이물이 존재하는지 여부 및 상기 이물의 위치를 실시간으로 검사할 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 헤드의 상기 하면에 상기 이물이 존재하는 경우, 상기 검사 장치는 상기 이물이 존재하는 노즐의 상기 토출 동작을 중단시킬 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상술한 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1의 검사 장치에 포함된 레이저 발생기, 제1 광학 모듈, 제2 광학 모듈 및 제3 광학 모듈을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1의 검사 장치에 포함된 광학 센서 어레이를 설명하기 위한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 5 및 도 6은 도 4의 검사 장치에 포함된 레이저 발생기, 제1 광학 모듈, 제2 광학 모듈, 제3 광학 모듈 및 거울을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 7 및 도 8은 도 4의 검사 장치에 포함된 광학 센서 어레이를 설명하기 위한 정면도들이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 10은 도 9의 검사 장치에 포함된 레이저 발생기, 제1 광학 모듈, 제2 광학 모듈 및 제3 광학 모듈을 설명하기 위한 평면도이다.
도 11은 도 9의 검사 장치에 포함된 광학 센서 어레이를 설명하기 위한 정면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 13은 도 12의 검사 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면 상의 동일한 구성 요소에 대하여는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1의 검사 장치에 포함된 레이저 발생기, 제1 광학 모듈, 제2 광학 모듈 및 제3 광학 모듈을 설명하기 위한 평면도이며, 도 3은 도 1의 검사 장치에 포함된 광학 센서 어레이를 설명하기 위한 정면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치(1000)는 레이저 발생기(100), 제1 광학 모듈(210), 제2 광학 모듈(220), 제3 광학 모듈(230), 제1 광 경로 변환 모듈(310), 제2 광 경로 변환 모듈(320), 광학 센서 어레이(400) 및 제어부(700)를 포함할 수 있다.
잉크젯 헤드(600)은 복수의 노즐들을 포함할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(600)의 토출 동작이 수행되면, 상기 잉크젯 헤드(600)는 제3 방향(D3)으로 이동될 수 있고, 상기 노즐들은 기판(SUB)을 향하여 잉크들을 각각 토출할 수 있다.
상기 토출 동작이 수행되는 동안, 상기 검사 장치(1000)의 검사 동작이 수행될 수 있다. 상기 검사 장치(1000)의 상기 검사 동작이 수행되면, 제1 레이저 빔들(LB1) 및 제2 레이저 빔들(LB2)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면과 평행하도록 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(600)의 상기 하부에 이물이 존재하는 경우, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 제1 강도들 및/또는 상기 제2 레이저 빔들(LB2)의 제2 강도들이 감소될 수 있다. 상기 검사 장치(1000)는 상기 제1 강도들 및 상기 제2 강도들에 기초하여, 상기 이물의 존재 여부를 실시간으로 검사할 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 레이저 발생기(100)는 적어도 하나의 출사 레이저 빔(ELB)을 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 출사 레이저 빔(ELB)은 고체 레이저(예를 들어, 루비 레이저, 유리 레이저, YAG 레이저(yttrium aluminum gamet laser), YLF 레이저(yttrium lithium fluoride laser) 등), 기체 레이저(예를 들어, 엑시머 레이저, 헬륨-네온 레이저 등), 펄스화된 레이저 등일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 레이저 발생기(100)는 단일의 상기 출사 레이저 빔(ELB)을 발생시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 레이저 발생기(100)는 복수의 출사 레이저 빔들을 발생시킬 수 있다. 이하에서는, 단일의 상기 출사 레이저 빔(ELB)을 발생시키는 상기 레이저 발생기(100)에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
상기 제1 광학 모듈(210)은 상기 레이저 발생기(100)와 상기 제2 광학 모듈(220) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 광학 모듈(210)은 상기 출사 레이저 빔(ELB)을 상기 제1 레이저 빔들(LB1) 및 상기 제2 레이저 빔들(LB2)로 분할할 수 있다. 또한, 상기 제1 레이저 빔들(LB1) 및 상기 제2 레이저 빔들(LB2)은 서로 다른 각도로 상기 제1 광학 모듈(210)을 통과할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 광학 모듈(210)은 회절 광학 소자(diffractive optical element) 및/또는 굴절 광학 소자(refractive optical element)를 포함하는 다중 빔 생성 모듈(multi beam generation module)일 수 있다.
상기 제2 광학 모듈(220)은 상기 제1 광학 모듈(210)과 상기 제3 광학 모듈(230) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제2 광학 모듈(220)은 상기 제1 레이저 빔들(LB1) 및 상기 제2 레이저 빔들(LB2)의 간격을 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 광학 모듈(220)은 복수의 렌즈들을 포함하는 광학 줌 모듈(optical zoom module)일 수 있다. 상기 제2 광학 모듈(220)은 상기 렌즈들을 이용하여 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 경로들 및 상기 제2 레이저 빔들(LB2)의 경로들을 가이드 할 수 있다.
상기 제3 광학 모듈(230)은 상기 제2 광학 모듈(220)과 상기 잉크젯 헤드(600) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제3 광학 모듈(230)은 상기 제1 레이저 빔들(LB1)이 서로 평행하도록 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 경로들을 가이드 할 수 있다. 또한, 상기 제3 광학 모듈(230)은 상기 제2 레이저 빔들(LB2)이 서로 평행하도록 상기 제2 레이저 빔들(LB2)의 경로들을 가이드 할 수 있다. 예를 들어, 상기 제3 광학 모듈(230)은 에프세타 렌즈(f-theta lens)일 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 제1 광 경로 변환 모듈(310)은 상기 제3 광학 모듈(230)과 상기 잉크젯 헤드(600) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 광 경로 모듈(310)은 상기 제1 레이저 빔들(LB1)이 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과하도록, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 경로들을 가이드 할 수 있다. 또한, 상기 제1 광 경로 모듈(310)은 상기 제2 레이저 빔들(LB2)이 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과하도록, 상기 제2 레이저 빔들(LB2)의 경로들을 가이드 할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 광 경로 모듈(310)은 제1 거울(311) 및 제2 거울(312)을 포함할 수 있다.
상기 제2 광 경로 변환 모듈(320)은 상기 잉크젯 헤드(600)와 상기 광학 센서 어레이(400) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제2 광 경로 모듈(320)은 상기 제1 레이저 빔들(LB1)이 상기 광학 센서 어레이(400)로 입사하도록, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 경로들을 가이드 할 수 있다. 또한, 상기 제1 광 경로 모듈(310)은 상기 제2 레이저 빔들(LB2)이 상기 광학 센서 어레이(400)로 입사하도록, 상기 제2 레이저 빔들(LB2)의 경로들을 가이드 할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 광 경로 모듈(320)은 제3 거울(321) 및 제4 거울(322)을 포함할 수 있다.
상기 기판(SUB)은 스테이지(STG) 상에 배치될 수 있다. 상기 스테이지(STG)에는 모터(511), 섀프트(shaft)(512) 및 마운트(513)가 형성될 수 있다. 상기 모터(511)는 상기 섀프트(512)를 구동시킬 수 있고, 상기 섀프트(512)는 상기 마운트(513)를 제2 방향(D2) 또는 상기 제2 방향(D2)과 반대되는 제4 방향(D4)으로 이동시킬 수 있다. 상기 마운트(513)는 상기 제2 거울(312)(또는, 상기 제3 거울(321))과 결합될 수 있다. 상기 모터(511), 상기 섀프트(512) 및 상기 마운트(513)는 상기 제2 거울(312)(또는, 상기 제3 거울(321)의 높이를 조절할 수 있다.
도 1 및 3을 참조하면, 상기 잉크젯 헤드(600)는 복수의 노즐들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 잉크젯 헤드(600)는 제1 노즐(610), 제2 노즐(630), 제3 노즐(650) 및 제4 노즐(670)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 노즐들 사이에는 복수의 공간들이 정의될 수 있다. 예를 들어, 상기 제3 노즐(650)과 인접하는 제1 공간(620)이 정의될 수 있고, 상기 제3 노즐(650)과 상기 제4 노즐(670) 사이에 제2 공간(640)이 정의될 수 있다.
상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면과 평행하도록 상기 노즐들의 하부들을 통과할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 제1 내지 제4 노즐들(610, 630, 650, 670)의 하부들을 통과할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 제3 방향(D3)과 반대되는 제1 방향(D1)으로 상기 노즐들의 하부들을 통과할 수 있다.
상기 제2 레이저 빔들(LB2)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 상기 하면과 평행하도록 상기 공간들의 하부들을 통과할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제2 레이저 빔들(LB2)은 상기 제1 및 제2 공간들(620, 640)들의 하부들을 통과할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 레이저 빔들(LB2)은 상기 제2 방향(D2)과 수직하는 제1 방향(D1)으로 상기 공간들의 하부들을 통과할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부에는 상기 이물이 존재할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제2 노즐(630)에는 상기 이물이 존재할 수 있다. 그에 따라, 상기 제1 레이저 빔들(LB1) 중 상기 제2 노즐(630)의 하부를 통과하는 제3 레이저 빔(LB1')이 정의될 수 있다. 또한, 상기 제2 공간(640)에는 상기 이물이 존재할 수 있다. 그에 따라, 상기 제2 레이저 빔들(LB2) 중 상기 제2 공간(640)의 하부를 통과하는 제4 레이저 빔(LB2')이 정의될 수 있다.
한편, 상기 이물은 상기 노즐들의 토출 동작을 방해하는 모든 구성들을 의미할 수 있다. 예를 들어, 상기 이물은 잔여 잉크, 먼지, 파티클 등 일 수 있다. 또한, 상기 이물은 상기 노즐들의 토출 동작을 방해하는 영역에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 노즐(630)에 존재하는 상기 이물은 상기 제2 노즐(630)로부터 돌출되도록 위치하거나, 상기 제2 노즐(630)의 내부에 위치할 수 있다.
상기 광학 센서 어레이(400)는 복수의 광학 센서들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 광학 센서 어레이(400)는 제1 광학 센서(410), 제2 광학 센서(430), 제3 광학 센서(420) 및 제4 광학 센서(440)를 포함할 수 있다. 상기 제1 내지 제4 광학 센서들(410, 430, 420, 440)은 상기 제1 내지 제4 광학 센서들(410, 430, 420, 440)로 입사하는 레이저 빔들의 강도들을 각각 측정할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 및 제2 광학 센서들(410, 430)은 상기 제1 및 제2 노즐들(610, 630)과 대응할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 및 제2 광학 센서들(410, 430) 각각은 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 제1 강도 및 상기 제3 레이저 빔(LB1')의 제3 강도를 측정할 수 있다. 이 경우, 상술한 바와 같이, 상기 제3 강도는 상기 제1 강도보다 작을 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제3 및 제4 광학 센서들(420, 440)은 상기 제1 및 제2 공간들(620, 640)과 대응할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제3 및 제4 광학 센서들(420, 440)은 상기 제2 레이저 빔(LB2)의 제2 강도 및 상기 제4 레이저 빔(LB2')의 제4 강도를 측정할 수 있다. 이 경우, 상술한 바와 같이, 상기 제4 강도는 상기 제2 강도보다 작을 수 있다.
상기 제어부(700)는 상기 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)의 강도들에 기초하여 상기 잉크젯 헤드(600)의 토출 동작을 제어할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제어부(700)는 상기 제1 강도들 중 제1 기준 강도보다 작은 상기 제3 강도를 결정할 수 있다. 또한, 상기 제어부(700)는 상기 제3 강도를 갖는 상기 제3 레이저 빔(LB1')과 대응하는 상기 제2 노즐(630)의 토출 동작을 중단시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 기준 강도는 공정 조건에 따라 설정될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제어부(700)는 상기 제2 강도들 중 제2 기준 강도보다 작은 상기 제4 강도를 결정할 수 있다. 또한, 상기 제어부(700)는 상기 제4 강도를 갖는 상기 제4 레이저 빔(LB2')과 대응하는 상기 제2 공간(640)과 인접하는 상기 제3 및 제4 노즐들(650, 670)의 토출 동작들을 중단시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 기준 강도는 공정 조건에 따라 설정될 수 있다.
또한, 상기 제어부(700)는 상기 잉크젯 헤드(600)의 토출 동작을 고려할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 노즐(610)에서 잉크가 토출되는 경우, 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 상기 제1 강도가 일시적으로 감소될 수 있다. 그에 따라, 상기 제1 강도가 상기 제1 기준 강도보다 일시적으로 작을 수 있다. 그러나, 상기 제어부(700)는 상기 제1 노즐(610)의 토출 동작을 고려할 수 있고, 상기 제1 노즐(610)에 상기 이물이 존재하지 않는 것으로 판단할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 5 및 도 6은 도 4의 검사 장치에 포함된 레이저 발생기, 제1 광학 모듈, 제2 광학 모듈, 제3 광학 모듈 및 거울을 설명하기 위한 평면도들이며, 도 7 및 도 8은 도 4의 검사 장치에 포함된 광학 센서 어레이를 설명하기 위한 정면도들이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치(1100)는 상기 레이저 발생기(100), 제1 광학 모듈(211), 제2 광학 모듈(221), 제3 광학 모듈(231), 제4 광학 모듈(300), 상기 광학 센서 어레이(400) 및 제어부(700)를 포함할 수 있다.
상기 잉크젯 헤드(600)은 상기 노즐들을 포함할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(600)의 토출 동작이 수행되면, 상기 잉크젯 헤드(600)는 상기 제3 방향(D3)으로 이동될 수 있고, 상기 노즐들은 상기 기판(SUB)을 향하여 잉크들을 각각 토출할 수 있다.
상기 토출 동작이 수행되는 동안, 상기 검사 장치(1100)의 검사 동작이 수행될 수 있다. 상기 검사 장치(1100)의 상기 검사 동작이 수행되면, 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면과 평행하도록 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(600)의 상기 하부에 이물이 존재하는 경우, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 강도들이 감소될 수 있다. 상기 검사 장치(1100)는 상기 강도들에 기초하여, 상기 이물의 존재 여부를 실시간으로 검사할 수 있다.
도 4, 5 및 6을 참조하면, 상기 레이저 발생기(100)는 적어도 하나의 출사 레이저 빔(ELB)을 발생시킬 수 있다. 상기 레이저 발생기(100)는 도 2를 참조하여 설명한 상기 레이저 발생기(100)와 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 제1 광학 모듈(211)은 상기 레이저 발생기(100)와 상기 제2 광학 모듈(221) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 광학 모듈(211)은 상기 출사 레이저 빔(ELB)을 상기 제1 레이저 빔들(LB1)로 분할할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 개수는 도 2를 참조하여 설명한 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 개수와 동일할 수 있다. 또한, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 서로 다른 각도로 상기 제1 광학 모듈(211)을 통과할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 광학 모듈(211)은 다중 빔 생성 모듈(multi beam generation module)일 수 있다.
상기 제2 광학 모듈(221)은 상기 제1 광학 모듈(211)과 상기 제3 광학 모듈(231) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제2 광학 모듈(221)은 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 간격을 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 광학 모듈(221)은 복수의 렌즈들을 포함하는 광학 줌 모듈(optical zoom module)일 수 있다.
상기 제3 광학 모듈(231)은 상기 제2 광학 모듈(221)과 상기 제4 광학 모듈(300) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제3 광학 모듈(231)은 상기 제1 레이저 빔들(LB1)이 서로 평행하도록 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 경로들을 가이드 할 수 있다. 예를 들어, 상기 제3 광학 모듈(231)은 에프세타 렌즈(f-theta lens)일 수 있다.
상기 제4 광학 모듈(300)은 상기 제3 광학 모듈(231)과 상기 잉크젯 헤드(600) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제4 광학 모듈(300)은 상기 제1 레이저 빔들(LB1)을 제1 스캔 경로 또는 제2 스캔 경로로 가이드 할 수 있다.
일 실시예에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제4 광학 모듈(301)은 회전할 수 있다. 상기 제4 광학 모듈(301)이 제1 각도를 가지는 경우, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 제1 스캔 경로로 가이드 될 수 있다. 또한, 상기 제4 광학 모듈(301)이 상기 제1 각도와 상이한 제2 각도를 가지는 경우, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 제2 스캔 경로로 가이드 될 수 있다.
다른 실시예에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제4 광학 모듈(302)은 평행 이동할 수 있다. 예를 들어, 상기 제4 광학 모듈(302)은 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제3 방향(D3)으로 평행 이동할 수 있다. 상기 제4 광학 모듈(302)이 제1 위치를 가지는 경우, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 제1 스캔 경로로 가이드 될 수 있다. 또한, 상기 제4 광학 모듈(302)이 제1 위치와 상이한 제2 위치를 가지는 경우, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 제2 스캔 경로로 가이드 될 수 있다. 또한, 상기 제4 광학 모듈(302)은 동일한 평면 상에서 상하 방향으로 평행 이동할 수도 있다.
다시 도 4를 참조하면, 상기 기판(SUB)은 상기 스테이지(STG) 상에 배치될 수 있다. 상기 스테이지(STG)에는 상기 모터(511), 상기 섀프트(512) 및 상기 마운트(513)가 형성될 수 있다. 상기 스테이지(STG), 상기 모터(511), 상기 섀프트(512), 및 상기 마운트(513)는 도 1을 참조하여 설명한 상기 스테이지(STG), 상기 모터(511), 상기 섀프트(512), 및 상기 마운트(513)와 실질적으로 동일할 수 있다.
도 4, 7, 및 8을 참조하면, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면과 평행하도록 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과할 수 있다. 또한, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 스캔 방식으로 상기 노즐들의 하부들 또는 상기 공간들의 하부들을 통과할 수 있다.
구체적으로, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제1 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 노즐들의 하부들을 통과할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 제1 내지 제4 노즐들(610, 630, 650, 670)의 하부들을 통과할 수 있다.
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제2 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 공간들의 상기 하부들을 통과할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 상기 제1 및 제2 공간들(620, 640)의 하부들을 통과할 수 있다.
상기 광학 센서 어레이(400)는 복수의 광학 센서들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 광학 센서 어레이(400)는 상기 제1 광학 센서(410), 상기 제2 광학 센서(430), 상기 제3 광학 센서(420) 및 상기 제4 광학 센서(440)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 및 제2 광학 센서들(410, 430)은 상기 제1 및 제2 노즐들(610, 630)과 각각 대응할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 및 제2 광학 센서들(410, 430) 각각은 상기 제1 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 제1 강도 및 상기 제3 레이저 빔(LB1')의 제3 강도를 측정할 수 있다. 이 경우, 상술한 바와 같이, 상기 제3 강도는 상기 제1 강도보다 작을 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제3 및 제4 광학 센서들(420, 440)은 상기 제1 및 제2 공간들(620, 640)과 각각 대응할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제3 및 제4 광학 센서들(420, 440)은 상기 제2 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 제2 강도 및 상기 제4 레이저 빔(LB1'')의 제4 강도를 측정할 수 있다. 이 경우, 상술한 바와 같이, 상기 제4 강도는 상기 제2 강도보다 작을 수 있다.
상기 제어부(710)는 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 강도들에 기초하여 상기 잉크젯 헤드(600)의 토출 동작을 제어할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제어부(710)는 상기 제1 강도들 중 제1 기준 강도보다 작은 상기 제3 강도를 결정할 수 있다. 또한, 상기 제어부(710)는 상기 제3 강도를 갖는 상기 제3 레이저 빔(LB1')과 대응하는 상기 제2 노즐(630)의 토출 동작을 중단시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 기준 강도는 공정 조건에 따라 설정될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제어부(710)는 상기 제2 강도들 중 제2 기준 강도보다 작은 상기 제4 강도를 결정할 수 있다. 또한, 상기 제어부(710)는 상기 제4 강도를 갖는 상기 제4 레이저 빔(LB1'')과 대응하는 상기 제2 공간(640)과 인접하는 상기 제3 및 제4 노즐들(650, 670)의 토출 동작들을 중단시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 기준 강도는 공정 조건에 따라 설정될 수 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 10은 도 9의 검사 장치에 포함된 레이저 발생기, 제1 광학 모듈, 제2 광학 모듈 및 제3 광학 모듈을 설명하기 위한 평면도이며, 도 11은 도 9의 검사 장치에 포함된 광학 센서 어레이를 설명하기 위한 정면도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사 장치(1200)는 상기 레이저 발생기(100), 제1 광학 모듈(212), 제2 광학 모듈(222), 제3 광학 모듈(232), 상기 제1 광 경로 변환 모듈(310), 상기 제2 광 경로 변환 모듈(320), 상기 광학 센서 어레이(400) 및 제어부(720)를 포함할 수 있다.
상기 잉크젯 헤드(600)은 상기 노즐들을 포함할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(600)의 토출 동작이 수행되면, 상기 잉크젯 헤드(600)는 상기 제3 방향(D3)으로 이동될 수 있고, 상기 노즐들은 상기 기판(SUB)을 향하여 잉크들을 각각 토출할 수 있다.
상기 토출 동작이 수행되는 동안, 상기 검사 장치(1200)의 검사 동작이 수행될 수 있다. 상기 검사 장치(1200)의 상기 검사 동작이 수행되면, 라인 레이저 빔(LLB)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면과 평행하도록 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(600)의 상기 하부에 이물이 존재하는 경우, 상기 라인 레이저 빔(LLB)의 강도가 부분적으로 감소될 수 있다. 상기 검사 장치(1200)는 상기 강도에 기초하여, 상기 이물의 존재 여부를 실시간으로 검사할 수 있다.
도 10을 참조하면, 상기 레이저 발생기(100)는 적어도 하나의 출사 레이저 빔(ELB)을 발생시킬 수 있다. 상기 레이저 발생기(100)는 도 2를 참조하여 설명한 상기 레이저 발생기(100)와 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 제1 광학 모듈(212)은 상기 레이저 발생기(100)와 상기 제2 광학 모듈(222) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 광학 모듈(212)은 상기 출사 레이저 빔(ELB)을 단일한 상기 라인 레이저 빔(LLB)로 분할할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 개수는 도 2를 참조하여 설명한 상기 제1 레이저 빔들(LB1)의 개수와 동일할 수 있다. 또한, 상기 제1 레이저 빔들(LB1)은 서로 다른 각도로 상기 제1 광학 모듈(211)을 통과할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 광학 모듈(212)은 라인 빔 생성기(line beam generator)일 수 있다.
상기 제2 광학 모듈(222)은 상기 제1 광학 모듈(212)과 상기 제3 광학 모듈(232) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제2 광학 모듈(222)은 상기 라인 레이저 빔(LLB)의 폭을 조절할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 광학 모듈(222)은 복수의 렌즈들을 포함하는 광학 줌 모듈(optical zoom module)일 수 있다.
상기 제3 광학 모듈(232)은 상기 제2 광학 모듈(222)과 상기 잉크젯 헤드(600) 사이에 위치할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제3 광학 모듈(232)은 상기 라인 레이저 빔(LLB)이 평행하게 진행되도록, 상기 라인 레이저 빔(LLB)을 가이드 할 수 있다. 예를 들어, 상기 제3 광학 모듈(232)은 에프세타 렌즈(f-theta lens)일 수 있다.
다시 도 9를 참조하면, 상기 제1 광 경로 변환 모듈(310) 및 상기 제2 광 경로 변환 모듈(320)은 도 1을 참조하여 설명한 상기 제1 광 경로 변환 모듈(310) 및 상기 제2 광 경로 변환 모듈(320)과 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 상기 스테이지(STG), 상기 모터(511), 상기 섀프트(512), 및 상기 마운트(513)는 도 1을 참조하여 설명한 상기 스테이지(STG), 상기 모터(511), 상기 섀프트(512), 및 상기 마운트(513)와 실질적으로 동일할 수 있다.
도 9 및 11을 참조하면, 상기 라인 레이저 빔(LLB)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면과 평행하도록 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 라인 레이저 빔(LLB)은 상기 노즐들의 하부들 및 상기 공간들의 하부들을 통과할 수 있다.
상기 광학 센서 어레이(400)는 복수의 광학 센서들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 광학 센서 어레이(400)는 상기 제1 광학 센서(410), 상기 제2 광학 센서(430), 상기 제3 광학 센서(420) 및 상기 제4 광학 센서(440)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 및 제2 광학 센서들(410, 430)은 상기 제1 및 제2 노즐들(610, 630)과 각각 대응할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 및 제2 광학 센서들(410, 430) 각각은 상기 제1 및 제2 노즐들(610, 630)의 하부들과 중첩하는 상기 라인 레이저 빔(LLB)의 제1 강도들을 각각 측정할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제3 및 제4 광학 센서들(420, 440)은 상기 제1 및 제2 공간들(620, 640)과 각각 대응할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제3 및 제4 광학 센서들(420, 440)은 상기 제1 및 제2 공간들(620, 640)의 하부들과 중첩하는 상기 라인 레이저 빔(LLB)의 제2 강도들을 각각 측정할 수 있다.
상기 제어부(720)는 상기 라인 레이저 빔(LLB)의 강도에 기초하여 상기 잉크젯 헤드(600)의 토출 동작을 제어할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제어부(720)는 상기 제1 강도들 중 제1 기준 강도보다 작은 상기 제3 강도를 결정할 수 있다. 또한, 상기 제어부(720)는 상기 제3 강도를 갖는 상기 라인 레이저 빔(LLB)과 중첩하는 상기 제2 노즐(630)의 토출 동작을 중단시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 기준 강도는 공정 조건에 따라 설정될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제어부(720)는 상기 제2 강도들 중 제2 기준 강도보다 작은 상기 제4 강도를 결정할 수 있다. 또한, 상기 제어부(720)는 상기 제4 강도를 갖는 상기 라인 레이저 빔(LLB)과 중첩하는 상기 제2 공간(640)과 인접하는 상기 제3 및 제4 노즐들(650, 670)의 토출 동작들을 중단시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 기준 강도는 공정 조건에 따라 설정될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 검사 장치(1000, 1100, 1200)는 잉크젯 헤드(600)가 토출 동작을 수행하는 동안 검사 동작을 수행할 수 있다. 상기 검사 동작은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면과 평행하도록 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과하는 레이저 빔의 강도에 기초하여 수행될 수 있다. 상기 검사 장치(1000, 1100, 1200)는 상기 레이저 빔의 상기 강도에 기초하여, 상기 잉크젯 헤드(600)의 상기 하면에 이물이 존재하는지 여부 및 이물의 위치를 실시간으로 검사할 수 있다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 13은 도 12의 검사 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 12 및 13을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사 장치(1300)는 제1 레이저 발생기(110), 제1 광학 센서(401), 제1 제어부(730), 제2 레이저 발생기(120), 제2 광학 센서(402) 및 제2 제어부(740)를 포함할 수 있다.
상기 잉크젯 헤드(600)가 상술한 토출 동작을 수행하기 이전에(또는, 상기 잉크젯 헤드(600)가 상기 토출 동작을 수행한 이후), 적어도 하나의 측정기는 측정 동작을 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 측정 동작은 상기 측정기가 상기 잉크젯 헤드(600)의 조건을 측정하는 동작을 의미할 수 있다. 상기 측정기는 제1 측정기(MS1), 제2 측정기(MS2) 및 제3 측정기(MS3)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면에 형성된 얼라인 표지의 위치를 측정할 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)은 상기 잉크젯 헤드(600)에 포함된 노즐들(610) 각각의 내부에 위치하는 잉크의 액면을 측정할 수 있다.
상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)이 상기 측정 동작을 수행하는 동안, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)은 상기 잉크젯 헤드(600)와 중첩할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)은 제2 방향(D2)으로 이동될 수 있다. 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)이 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과함에 따라, 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부에 이물이 존재하는 경우, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)이 손상될 수 있다. 예를 들어, 상기 이물이 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)로 침투하거나, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)과 충돌할 수 있다.
상기 측정 동작이 수행되기 전, 상기 검사 장치(1300)의 검사 동작이 수행될 수 있다. 상기 검사 장치(1300)의 상기 검사 동작이 수행되면, 제1 레이저 빔(LB1)은 상기 잉크젯 헤드(600)의 하면과 평행하도록 상기 잉크젯 헤드(600)의 하부를 통과할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(600)의 상기 하부에 이물이 존재하는 경우, 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 강도가 감소될 수 있다. 상기 검사 장치(1300)는 상기 강도에 기초하여, 상기 이물의 존재 여부를 실시간으로 검사할 수 있다.
상기 제1 레이저 발생기(110)는 적어도 하나의 상기 제1 레이저 빔(LB1)을 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 레이저 빔(LB1)은 고체 레이저(예를 들어, 루비 레이저, 유리 레이저, YAG 레이저(yttrium aluminum gamet laser), YLF 레이저(yttrium lithium fluoride laser) 등), 기체 레이저(예를 들어, 엑시머 레이저, 헬륨-네온 레이저 등), 펄스화된 레이저 등일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 레이저 발생기(110)는 단일의 상기 제1 레이저 빔(LB1)을 발생시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 제1 레이저 발생기(110)는 복수의 제1 레이저 빔들을 발생시킬 수 있다. 이하에서는, 단일의 상기 제1 레이저 빔(LB1)을 발생시키는 상기 제1 레이저 발생기(110)에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
상기 제1 광학 센서(401)는 상기 잉크젯 헤드(600)의 상기 하부를 통과한 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 상기 강도를 측정할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 광학 센서(401)는 단일의 광학 센서일 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 제1 광학 센서(401)는 복수의 광학 센서들을 포함하는 광학 센서 어레이 일 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 광학 센서(401)에 포함되는 광학 센서의 개수는 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 개수와 동일할 수 있다. 이하에서는, 상기 제1 광학 센서(401)가 단일의 광학 센서인 경우로 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니한다.
상기 제1 제어부(730)는 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 상기 강도에 기초하여 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)의 상기 측정 동작을 제어할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 제어부(730)는 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 상기 강도가 기준 강도보다 작은 경우, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)의 상기 측정 동작을 중단시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 레이저 빔(LB1)의 상기 강도가 기준 강도보다 작은 경우, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)는 상기 잉크젯 헤드(600)의 상기 하부로 통과하지 않을 수 있다.
예를 들어, 상기 잉크젯 헤드(600)는 제1 연결 부재(11)에 의해 겐트리(gantry)(21)와 연결될 수 있고, 상기 겐트리(21)는 상기 잉크젯 헤드(600)를 지지할 수 있다. 상기 제1 레이저 발생기(110), 상기 제1 광학 부재(401), 상기 제1 측정기(MS1), 상기 제2 측정기(MS2) 및 상기 제3 측정기(MS3)는 이동 부재(MV) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 레이저 발생기(110) 및 상기 제1 광학 부재(401)는 제2 연결 부재(12)에 의해 상기 이동 부재(MV) 상에 배치될 수 있고, 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)은 제4 연결 부재(14)에 의해 상기 이동 부재(MV) 상에 배치될 수 있다. 상기 이동 부재(MV)가 상기 제2 방향(D2)으로 이동됨에 따라, 상기 제1 레이저 발생기(110), 상기 제1 광학 부재(401), 상기 제1 측정기(MS1), 상기 제2 측정기(MS2) 및 상기 제3 측정기(MS3)는 상기 제2 방향(D2)으로 이동될 수 있다.
상기 제2 레이저 발생기(120)는 적어도 하나의 제2 레이저 빔(LB2)을 발생시킬 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제2 레이저 발생기(120)는 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)을 기준으로 상기 제1 레이저 발생기(110)와 대향할 수 있다.
상기 제2 광학 센서(402)는 상기 제2 레이저 빔(LB2)의 강도를 측정할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제2 레이저 발생기(120) 및 상기 제2 광학 센서(402)는 제3 연결 부재(13)에 의해 상기 이동 부재(MV) 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 광학 센서(402)는 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)을 기준으로 상기 제1 광학 센서(110)와 대향할 수 있다.
상기 제2 제어부(740)는 상기 제2 레이저 빔(LB2)의 상기 강도에 기초하여 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)의 상기 측정 동작을 제어할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 레이저 발생기(120), 상기 제2 광학 센서(402) 및 상기 제2 제어부(730)는 선택적인 구성들일 수 있다. 예를 들어, 상기 이동 부재(MV)가 상기 제2 방향(D2)과 반대되는 제4 방향(D4)으로 이동되고, 상기 잉크젯 헤드(600)가 상기 제1 내지 제3 측정기들(MS1, MS2, MS3)로부터 상기 제4 방향(D4)으로 배치되는 경우, 상기 검사 장치(1300)는 상기 제2 레이저 발생기(120), 상기 제2 광학 센서(402) 및 상기 제2 제어부(730)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 검사 장치(1300)에 포함되는 레이저 발생기, 광학 센서 및 제어부의 개수는 필요에 따라 설정될 수 있다.
상술한 바에서는, 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 것이다.
본 발명은 표시 장치 및 이를 포함하는 전자 기기에 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명은 고해상도 스마트폰, 휴대폰, 스마트패드, 스마트 워치, 태블릿 PC, 차량용 네비게이션 시스템, 텔레비전, 컴퓨터 모니터, 노트북 등에 적용될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1000, 1100, 1200, 1300 : 검사 장치
100 : 레이저 발생기 210, 211, 212 : 제1 광학 모듈
220, 221, 222 : 제2 광학 모듈 230, 231, 232 : 제3 광학 모듈
310 : 제1 광 경로 변환 모듈 320 : 제2 광 경로 변환 모듈
400 : 광학 센서 어레이 700, 710, 720 : 제어부
600 : 잉크젯 헤드 620, 640 : 공간
610, 630, 650, 670 : 제1 내지 제4 노즐
410, 430, 420, 440 : 제1 내지 제4 광학 센서
MS1, MS2, MS3 : 제1 내지 제3 측정기
ELB : 출사 레이저 빔 LB1 : 제1 레이저 빔들

Claims (20)

  1. 적어도 하나의 출사 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기;
    복수의 노즐들을 포함하는 잉크젯 헤드의 하부를 통과한 레이저 빔의 강도를 측정하는 광학 센서; 및
    상기 레이저 빔의 상기 강도에 기초하여 상기 잉크젯 헤드의 토출 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 출사 레이저 빔은
    상기 노즐들의 하부들을 통과하는 제1 레이저 빔들; 및
    상기 노즐들 사이에 정의되는 공간들의 하부들을 통과하는 제2 레이저 빔들로 분할되고,
    상기 레이저 빔은 상기 제1 레이저 빔들 및 상기 제2 레이저 빔들을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 레이저 발생기와 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 출사 레이저 빔을 상기 제1 레이저 빔들 및 상기 제2 레이저 빔들로 분할하는 제1 광학 모듈;
    상기 제1 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들 및 상기 제2 레이저 빔들의 간격을 조절하는 제2 광학 모듈; 및
    상기 제2 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들이 서로 평행하도록 상기 제1 레이저 빔들의 경로들을 가이드하고, 상기 제2 레이저 빔들이 서로 평행하도록 상기 제2 레이저 빔들의 경로들을 가이드 하는 제3 광학 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 제1 레이저 빔들은 상기 잉크젯 헤드의 하면과 평행하도록 상기 노즐들의 하부들을 통과하며,
    상기 제2 레이저 빔들은 상기 잉크젯 헤드의 상기 하면과 평행하도록 상기 공간들의 하부들을 통과하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 레이저 발생기와 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들이 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부를 통과하도록 상기 제1 레이저 빔들의 경로들을 가이드 하는 제1 광 경로 변환 모듈; 및
    상기 잉크젯 헤드와 상기 광학 센서 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들이 상기 광학 센서로 입사하도록 상기 제1 레이저 빔들의 경로들을 가이드 하는 제2 광 경로 변환 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 제1 광 경로 변환 모듈 및 상기 제2 광 경로 변환 모듈은 적어도 하나의 거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  7. 제2 항에 있어서, 상기 광학 센서는 상기 제1 레이저 빔들의 제1 강도들을 측정하고,
    상기 제어부는 상기 제1 강도들 중 제1 기준 강도보다 작은 제3 강도를 결정하고, 상기 제3 강도를 갖는 상기 제3 레이저 빔과 대응하는 노즐의 토출 동작을 중단시키는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  8. 제2 항에 있어서, 상기 광학 센서는 상기 제2 레이저 빔들의 제2 강도들을 측정하고,
    상기 제어부는 상기 제2 강도들 중 제2 기준 강도보다 작은 제4 강도를 결정하고, 상기 제4 강도를 갖는 상기 제4 레이저 빔과 대응하는 공간과 인접하는 노즐들의 토출 동작들을 중단시키는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  9. 제1 항에 있어서, 상기 출사 레이저 빔은 서로 일정한 간격을 갖는 제1 레이저 빔들로 분할되고,
    상기 레이저 빔은 상기 제1 레이저 빔들을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 레이저 발생기와 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 출사 레이저 빔을 상기 제1 레이저 빔들로 분할하는 제1 광학 모듈;
    상기 제1 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들의 간격을 조절하는 제2 광학 모듈;
    상기 제2 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들이 서로 평행하도록 상기 제1 레이저 빔들의 경로들을 가이드 하는 제3 광학 모듈; 및
    상기 제3 광학 모듈과 상기 잉크젯 헤드 사이에 위치하고, 상기 제1 레이저 빔들을 제1 스캔 경로 또는 제2 스캔 경로로 가이드 하는 제4 광학 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  11. 제10 항에 있어서, 상기 제1 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔들은 상기 잉크젯 헤드의 하면과 평행하도록 상기 노즐들의 하부들을 통과하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  12. 제10 항에 있어서, 상기 제2 스캔 경로로 가이드 된 상기 제2 레이저 빔들은 상기 잉크젯 헤드의 하면과 평행하도록 상기 노즐들 사이에 정의되는 공간들의 하부들을 통과하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  13. 제10 항에 있어서, 상기 광학 센서는 상기 제1 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔들의 제1 강도들을 측정하고,
    상기 제어부는 상기 제1 강도들 중 제1 기준 강도보다 작은 제3 강도를 결정하고, 상기 제3 강도를 갖는 상기 제3 레이저 빔과 대응하는 노즐의 토출 동작을 중단시키는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  14. 제10 항에 있어서, 상기 광학 센서는 상기 제2 스캔 경로로 가이드 된 상기 제1 레이저 빔들의 제2 강도들을 측정하고,
    상기 제어부는 상기 제2 강도들 중 제2 기준 강도보다 작은 제4 강도를 결정하고, 상기 제4 강도를 갖는 상기 제4 레이저 빔과 대응하는 공간과 인접하는 노즐들의 토출 동작들을 중단시키는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  15. 제1 항에 있어서, 상기 출사 레이저 빔은 상기 노즐들의 하부들을 통과하는 단일한 라인 레이저 빔으로 변환되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  16. 제15 항에 있어서, 상기 광학 센서는 상기 라인 레이저 빔의 제1 강도들을 측정하고,
    상기 제어부는 상기 제1 강도들 중 기준 강도보다 작은 제2 강도를 결정하고, 상기 제2 강도를 갖는 상기 라인 레이저 빔과 중첩하는 노즐의 토출 동작을 중단시키는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  17. 제1 항에 있어서, 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부에 이물이 존재하는 경우, 상기 이물과 중첩하는 상기 레이저 빔의 상기 강도가 감소하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  18. 잉크젯 헤드의 하부를 통과하는 적어도 하나의 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기;
    상기 잉크젯 헤드의 상기 하부를 통과한 상기 레이저 빔의 강도를 측정하는 광학 센서; 및
    상기 레이저 빔의 상기 강도가 기준 강도보다 작은 경우, 측정기의 측정 동작을 중단시키는 제어부를 포함하는 검사 장치.
  19. 제18 항에 있어서, 상기 레이저 빔이 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부를 통과한 후, 상기 측정기가 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부를 통과하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  20. 제19 항에 있어서, 상기 레이저 빔의 상기 강도가 상기 기준 강도보다 작은 경우, 상기 측정기는 상기 잉크젯 헤드의 상기 하부로 통과하지 않는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
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