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KR20210077093A - Manufacturing apparatus of panel for solar cell panel - Google Patents

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KR20210077093A
KR20210077093A KR1020190168164A KR20190168164A KR20210077093A KR 20210077093 A KR20210077093 A KR 20210077093A KR 1020190168164 A KR1020190168164 A KR 1020190168164A KR 20190168164 A KR20190168164 A KR 20190168164A KR 20210077093 A KR20210077093 A KR 20210077093A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
substrate support
solar cell
protection
protection unit
Prior art date
Application number
KR1020190168164A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
최우진
손창식
황동현
Original Assignee
신라대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 신라대학교 산학협력단 filed Critical 신라대학교 산학협력단
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Abstract

The present invention relates to a substrate manufacturing device for a solar cell. By providing an easy-to-attach protection unit (10) on the side and back of the substrate support, the peeling phenomenon is improved. The substrate manufacturing device for a solar cell can minimize the contact area between the substrate support and the protection unit (10) by bolting the protection unit (10) and inserting a cooling line, and prevent the temperature rise due to heat conduction. The substrate manufacturing device for a solar cell according to the present invention includes a substrate support (S), an exhaust port (50), and a protection unit (10).

Description

태양전지용 기판 제조 장치{MANUFACTURING APPARATUS OF PANEL FOR SOLAR CELL PANEL}Solar cell substrate manufacturing apparatus {MANUFACTURING APPARATUS OF PANEL FOR SOLAR CELL PANEL}

본 발명은 태양전지용 기판 제조 장치에 관한 것으로, 기판 지지대 측면과 배면에 탈부착이 용이한 보호부(10)를 마련하여 박리 현상을 개선하고, 상기 보호부(10)를 볼팅 체결하고 쿨링 라인을 삽입하여 기판 지지대와 상기 보호부(10) 사이의 접촉 면적을 최소화 하고 열전도에 의한 온도 상승을 방지할 수 있는 태양전지용 기판 제조 장치이다. The present invention relates to an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell, and to improve the peeling phenomenon by providing a protective part (10) that is easy to attach and detach on the side and back surfaces of the substrate support, bolting the protective part (10), and inserting a cooling line Thus, it is an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell that can minimize the contact area between the substrate support and the protection unit 10 and prevent temperature rise due to heat conduction.

기존 CVD나 ALD 등의 화학기상 증착법은 기체 상태의 반응 물질을 기판에 분사하여 화학반응을 통하여 박막을 형성하는 것으로, 기판의 온도 및 가스분사 장치와의 거리는 반응 속도와 균일도에 큰 영향을 미치는 중요한 요소가 된다. Conventional chemical vapor deposition methods such as CVD or ALD spray a gaseous reactant onto a substrate to form a thin film through a chemical reaction, and the temperature of the substrate and the distance from the gas injection device are important factors that greatly affect the reaction rate and uniformity. become an element

한편, 종래 CVD 공정 중 플라즈마를 사용하지 않고 별도의 클리닝(CLEANING) 공정이 없는 경우에는 기판의 온도와 거리를 조절하는 기판지지대(S)가 마련되고, 증착 공정 시 유지되는 온도와 반응 가스에 의해 노출되어 있는 기판지지대(S)의 측면 및 배면에 반응물의 증착 및 박리가 발생하여 쳄버 내부 오염에 따른 막질의 물성저하의 원이 된다. On the other hand, when there is no separate cleaning process without using plasma during the conventional CVD process, a substrate support S for controlling the temperature and distance of the substrate is provided, and the temperature and reaction gas maintained during the deposition process Deposition and exfoliation of reactants occur on the side and back surfaces of the exposed substrate support S, which causes deterioration of the film quality due to contamination inside the chamber.

또한, 가스 배기가 기판지지대(S)의 하부에 존재할 경우, 기판지지대(S)의 배면에 반응물의 증착 및 박리가 가속화되어 챔버 내부 및 기판지지대(S)의 오염으로 인해 사용 주기가 짧아져 생산성에 큰 영향을 미치는 문제점이 있다. In addition, when the gas exhaust is present under the substrate support (S), the deposition and peeling of the reactants on the back surface of the substrate support (S) is accelerated, and the use cycle is shortened due to contamination of the chamber and the substrate support (S), thereby reducing productivity. There are problems that have a major impact on

한국등록특허 제10-2001343호Korean Patent Registration No. 10-2001343

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판 지지대의 측면과 배면에 탈부착이 용이한 보호부(10)가 마련된 태양전지용 기판 제조 장치를 제공하는 것이다. The present invention has been devised in order to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell in which a protective part 10 for easy attachment and detachment is provided on the side and rear surfaces of a substrate support.

또한, 본 발명의 목적은 기판 지지대와 보호부(10) 사이에 단열제가 마련되어 박리 현상이 개선된 태양전지용 기판 제조 장치를 제공하는 것이다. In addition, an object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell in which a peeling phenomenon is improved by providing an insulating material between the substrate support and the protection unit 10 .

또한, 본 발명의 목적은 태양전지용 기판의 온도를 일정하게 유지하여 고온 공정에 의한 기판 지지대의 변형을 막을 수 있는 태양전지용 기판 제조 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell capable of preventing deformation of a substrate support due to a high-temperature process by maintaining a constant temperature of the substrate for a solar cell.

또한, 본 발명의 목적은 기판 지지대의 하부가 반응가스에 노출되지 않도록 마련되어 기판 지지대의 증착 오염을 방지할 수 있는 태양전지용 기판 제조 장치를 제공할 수 있다. In addition, it is an object of the present invention to provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell that is provided so that the lower portion of the substrate support is not exposed to the reactive gas to prevent deposition contamination of the substrate support.

발명이 해결하고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be solved by the invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the description below. will be able

본 발명에 따른 태양전지 기판 제조 장치는,A solar cell substrate manufacturing apparatus according to the present invention,

태양전지용 기판에 박막을 형성하는 가스분사장치가 마련되는 기판지지대(S); a substrate support (S) provided with a gas injection device for forming a thin film on a solar cell substrate;

상기 기판지지대(S) 하단에 마련되어 가스가 배기되는 배기구(50);an exhaust port (50) provided at the bottom of the substrate support (S) through which gas is exhausted;

상기 기판지지대(S)의 하단에서 상기 가스가 배기되는 표면에서 상기 기판지지대(S)의 측면을 포함하는 가장자리를 감싸는 보호부(10);a protection part (10) surrounding an edge including a side surface of the substrate supporter (S) on the surface from which the gas is exhausted from the lower end of the substrate supporter (S);

상기 기판지지대(S)의 상단과 수평하게 마련되는 제3보호부(13);a third protection unit 13 provided horizontally with the upper end of the substrate support S;

상기 제3보호부(13)에서 연장되어 수직하게 마련되고 상기 기판지지대(S)에서 이격되는 제2보호부(12); 및a second protection unit (12) extending from the third protection unit (13) and provided vertically and spaced apart from the substrate support (S); and

상기 제2보후부에서 연장되어 수직하게 마련되어 상기 제3보호부(13)과 평행하게 마련되는 제1보호부(11);로 구성되고,Consisting of; a first protection part (11) which extends from the second reinforcement part and is provided vertically and is provided in parallel with the third protection part (13);

상기 기판지지대(S)와 상기 보호부(10)를 연결하도록 다수개로 마련되는 볼팅부(30);a plurality of bolting units 30 provided to connect the substrate support S and the protection unit 10;

상기 보호부(10) 외주면에 다수개로 마련되어 냉각수가 이동되는 쿨링부(20);a plurality of cooling units 20 provided on the outer circumferential surface of the protection unit 10 to move the cooling water;

상기 보호부(10)와 상기 기판지지대(S)의 이격된 사이 공간에 마련되어 상기 기판지지대(S)를 단열하는 단열재(40);a heat insulator 40 provided in a space between the protection unit 10 and the substrate support S, to insulate the substrate support S;

상기 배기구(50)는 가로축에서 상기 기판지지대(S)와 쳄버(51) 사이와 세로축에서 상기 쳄버(51) 하단면과 상단면 사이에 마련되는 것을 특징으로 한다. The exhaust port 50 is characterized in that it is provided between the substrate support (S) and the chamber 51 on the horizontal axis and between the lower surface and the upper surface of the chamber 51 on the vertical axis.

상기 과제의 해결 수단에 의해, 본 발명은 기판 지지대의 측면과 배면에 탈부착이 용이한 보호부(10)가 마련된 태양전지용 기판 제조 장치를 제공할 수 있다. By means of solving the above problems, the present invention can provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell in which a detachable protective part 10 is provided on the side surface and the rear surface of the substrate supporter.

또한, 본 발명은 기판 지지대와 보호부(10) 사이에 단열제가 마련되어 박리 현상이 개선된 태양전지용 기판 제조 장치를 제공할 수 있다. In addition, the present invention may provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell in which a peeling phenomenon is improved by providing an insulating material between the substrate support and the protection unit 10 .

또한, 본 발명은 태양전지용 기판의 온도를 일정하게 유지하여 고온 공정에 의한 기판 지지대의 변형을 막을 수 있는 태양전지용 기판 제조 장치를 제공할 수 있다. In addition, the present invention can provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell capable of preventing deformation of the substrate support due to a high-temperature process by maintaining a constant temperature of the substrate for a solar cell.

또한, 본 발명은 기판 지지대의 외측에 모서리마다 배기구(50)가 마련되어 기판 지지대 상부 중앙에 형성되는 플라즈마에 의해 대전된 입자가 기판 상면을 지나면서 증착되고 난 후 배기구(50)를 따라 배기되어 기판의 상면에 균일하게 증착될 수 있고, 기판 지지대의 하부면에는 배기되지 않아 코팅에 의한 오염 현상을 줄일 수 있는 효과가 있다. In addition, in the present invention, exhaust ports 50 are provided at each corner on the outside of the substrate support, and particles charged by plasma formed in the upper center of the substrate support are deposited while passing the upper surface of the substrate, and then are exhausted along the exhaust port 50 to the substrate. It can be uniformly deposited on the upper surface of the substrate, and it is not exhausted on the lower surface of the substrate support, thereby reducing contamination by coating.

또한, 본 발명은 태양전지용 기판 제조장치의 코팅 증착 및 박리를 막아 챔버 내부 및 기판 지지대의 오염을 막을 수 있고 사용 수명을 향상시킬 수 있다. In addition, the present invention can prevent contamination of the chamber interior and substrate support by preventing coating deposition and peeling of the substrate manufacturing apparatus for solar cells, and can improve service life.

도 1은 종래 기술인 태양전지 기판 제조 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예로, 보호부(10)가 마련된 태양전지 기판 제조 장치이다.
도 3은 본 발명의 일실시예로, 보호부(10)와 볼팅부(30)가 마련된 태양전지 기판 제조 장치이다.
도 4는 본 발명의 일실시예로, 보호부(10), 쿨링부(20) 및 볼팅부(30)가 마련된 태양전지 기판 제조 장치이다.
도 5는 본 발명의 일실시예로, 보호부(10), 쿨링부(20), 볼팅부(30) 및 단열재(40)가 마련된 태양전지 기판 제조 장치이다.
도 6은 도 3에서 보호부(10)를 구체적으로 나타낸 태양전지 기판 제조 장치이다.
도 7은 도 3에서 배기구(50)의 위치를 구체적으로 나타낸 내양전지 기판 제조 장치이다.
도 8은 종래 태양전지 기판 제조 장치를 사용했을 때 기판지지대(S)가 오염되는 현상을 나타낸 사진이다. 1 is a view showing a conventional solar cell substrate manufacturing apparatus.
FIG. 2 is an apparatus for manufacturing a solar cell substrate provided with a protection unit 10 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an apparatus for manufacturing a solar cell substrate in which a protection unit 10 and a bolting unit 30 are provided according to an embodiment of the present invention.
4 is an apparatus for manufacturing a solar cell substrate provided with a protection unit 10 , a cooling unit 20 , and a bolting unit 30 according to an embodiment of the present invention.
5 is an apparatus for manufacturing a solar cell substrate provided with a protection unit 10 , a cooling unit 20 , a bolting unit 30 , and a heat insulating material 40 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an apparatus for manufacturing a solar cell substrate specifically illustrating the protection unit 10 in FIG. 3 .
FIG. 7 is an apparatus for manufacturing a battery-resistant battery substrate in detail showing the location of the exhaust port 50 in FIG. 3 .
8 is a photograph showing a phenomenon in which the substrate support (S) is contaminated when a conventional solar cell substrate manufacturing apparatus is used.

본 명세서에서 사용되는 용어에 대해 간략히 설명하고, 본 발명에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.Terms used in this specification will be briefly described, and the present invention will be described in detail.

본 발명에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어들을 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 판례, 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서 본 발명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌, 그 용어가 가지는 의미와 본 발명의 전반에 걸친 내용을 토대로 정의되어야 한다.The terms used in the present invention have been selected as currently widely used general terms as possible while considering the functions in the present invention, but these may vary depending on the intention or precedent of a person skilled in the art, the emergence of new technology, and the like. Therefore, the term used in the present invention should be defined based on the meaning of the term and the overall content of the present invention, rather than the name of a simple term.

명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다.In the entire specification, when a part “includes” a certain component, it means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated.

아래에서는 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art can easily carry out the embodiments of the present invention. However, the present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명에 대한 해결하고자 하는 과제, 과제의 해결 수단, 발명의 효과를 포함한 구체적인 사항들은 다음에 기재할 실시 예 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다.Specific details including the problem to be solved for the present invention, the means for solving the problem, and the effect of the invention are included in the embodiments and drawings to be described below. Advantages and features of the present invention, and a method for achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 도 2 내지 도 7에 나타난 바와 같이, 태양전지용 기판 제조 장치는 기판지지대(S), 보호부(10), 볼팅부(30), 쿨링부(20), 단열재(40) 및 배기구(50)로 구성된다. 2 to 7, the present invention is a substrate manufacturing apparatus for a solar cell, a substrate support (S), a protection unit (10), a bolting unit (30), a cooling unit (20), a heat insulator (40) and an exhaust port ( 50) consists of

상기 기판지지대(S)는 태양전지용 기판에 박막을 형성하는 가스분사장치가 마련되고 상기 기판을 지지한다. The substrate support S is provided with a gas injection device for forming a thin film on a solar cell substrate and supports the substrate.

도 1에 나타난 바와 같이 종래 기술의 경우 상기 기판지지대(S)의 하단에 배기구(50)가 마련되고 DEZ, H2O, H2S, B2H6등 유해 가스가 투입된다. 가 마련되어 상기 기판지지대(S)의 측면 및 배면에 반응물이 증착되고 박리 현상이 발생하여 챔버 내부 오염에 따른 막질의 물성 저하의 원인이 된다. 또한, 상기 배기구(50)가 상기 기판지지대(S)의 하부에 존재할 경우 반응물의 증착과 박리가 가속화되어 상기 기판지지대(S)의 오염으로 인해 생산성에 큰 영향을 미치게 된다. As shown in FIG. 1 , in the case of the prior art, an exhaust port 50 is provided at the lower end of the substrate support S, and harmful gases such as DEZ, H 2 O, H 2 S, B 2 H 6 are injected. is provided, reactants are deposited on the side and rear surfaces of the substrate support S, and a peeling phenomenon occurs, which causes deterioration of film quality due to contamination inside the chamber. In addition, when the exhaust port 50 is present in the lower portion of the substrate support (S), the deposition and peeling of the reactants are accelerated, thereby greatly affecting productivity due to contamination of the substrate support (S).

본 발명의 경우 상기 기판지지대(S)의 측면과 배면의 모서리 가장자리에 상기 보호부(10)가 마련되어 종래의 문제점을 해결할 수 있다. In the case of the present invention, the protection part 10 is provided on the edge of the side and the rear surface of the substrate supporter (S) to solve the conventional problems.

먼저, 상기 보호부(10)는 상기 기판지지대(S)의 하단에서 상기 가스가 배기되는 표면에서 상기 기판지지대(S)의 측면을 포함하는 가장자리를 감싸도록 마련된다. 상기 보호부(10)는 스테인레스 스틸 또는 알루미늄 재질로 구성되는 것이 바람직하다. First, the protection unit 10 is provided to surround the edge including the side surface of the substrate support (S) on the surface from which the gas is exhausted at the lower end of the substrate support (S). The protection part 10 is preferably made of stainless steel or aluminum.

상기 보호부(10)는, 도 2에 나타난 바와 같이, 상기 기판지지대(S)와 완전히 결합하여 배기구(50)에 의해 배기되는 가스로부터 상기 기판지지대(S)를 보호할 수 있다. 상기 보호부(10)는 상기 기판지지대(S)에서 언제든지 탈부착 가능하도록 마련되는 것이 바람직하나, 볼팅 체결할 수 있다. As shown in FIG. 2 , the protection unit 10 may be completely coupled to the substrate support S to protect the substrate support S from the gas exhausted by the exhaust port 50 . The protection part 10 is preferably provided to be detachable at any time from the substrate support S, but may be bolted.

보다 구체적으로, 도 2에 나타난 바와 같이, 상기 보호부(10)는 제1보호부(11) 및 제2보호부(12)로 구성된다. 상기 제1보호부(11)은 상기 기판지지대(S)의 하단에 나란하게 마련되고 상기 제2보호부(12)는 상기 제1보호부(11)에 수직 방향으로 연장되어 상기 기판지지대(S)의 측면에 나란하게 마련된다. 상기 제1보호부(11)은 제2보호부(12)의 길이에 2배 내지 2.5배의 길이로 마련되는 것이 바람직하다. 상기 제1보호부(11)의 길이가 2배 미만인 경우 상기 제1보호부(11)의 길이가 짧아져 상기 배기구(50)에 의한 가스로부터 보호되지 못할 우려가 있고, 상기 제1보호부(11)의 길이가 2.5배를 초과하는 경우 상기 기판지지대(S)를 지지하는 펌핑포트(P)에 부딪혀 상기 제1보호부(11)이 떨어질 우려가 있으므로 상기 조건으로 실시되는 것이 바람직하다. More specifically, as shown in FIG. 2 , the protection unit 10 includes a first protection unit 11 and a second protection unit 12 . The first protection part 11 is provided parallel to the lower end of the substrate support S, and the second protection part 12 extends in a vertical direction to the first protection part 11 to the substrate support S. ) side by side. It is preferable that the first protection part 11 is provided with a length of 2 to 2.5 times the length of the second protection part 12 . When the length of the first protection part 11 is less than twice, the length of the first protection part 11 is shortened and there is a risk that it cannot be protected from the gas by the exhaust port 50, and the first protection part ( When the length of 11) exceeds 2.5 times, it is preferable to carry out under the above conditions because there is a risk that the first protection unit 11 may fall by colliding with the pumping port P supporting the substrate support S.

또한, 도 3 및 도 6에 나타난 바와 같이, 상기 보호부(10)는 제3보호부(13) 및 보호결합부(14)가 추가로 구성될 수 있다. 도 2에 마련되는 상기 보호부(10)는 상기 기판지지대(S)와 완전 결합되므로 기판지지대(S)에서 발생하는 열이 순환되지 못하는 문제가 발생할 수 있으므로 선택적으로 도 3 및 도 6에 나타난 방식으로 마련될 수 있다. In addition, as shown in FIGS. 3 and 6 , the protective part 10 may further include a third protective part 13 and a protective coupling part 14 . Since the protection part 10 provided in FIG. 2 is completely coupled to the substrate support S, there may be a problem that the heat generated in the substrate support S cannot be circulated, so the method shown in FIGS. 3 and 6 is optional. can be provided as

상기 제3보호부(13)은 상기 기판지지대(S)에서 이격 설치되어 사이 공간을 마련하되 상기 기판지지대(S)의 상단과 수평하게 마련된다. 도 6에 나타난 바와 같이, 상기 기판지지대(S)에 상기 제1보호부(11)이 용이하게 결합하기 위해 상기 기판지지대(S)의 상단 말단이 단차로 구성되는 보호결합부(14)가 마련되고, 상기 보호결합부(14)에 상기 제1보호부(11)이 위치하도록 마련된다. The third protection part 13 is installed to be spaced apart from the substrate support S to provide a space therebetween, but is provided horizontally with the upper end of the substrate support S. As shown in FIG. 6 , in order to easily couple the first protective part 11 to the substrate support S, a protective coupling part 14 is provided in which the upper end of the substrate support S has a step difference. and the first protective part 11 is positioned on the protective coupling part 14 .

상기 제3보호부(13)이 마련된 경우 상기 제1보호부(11)은 상기 제3보호부(13)과 평행하게 마련하되 상기 기판지지대(S)에서 이격 되어 결합되고, 상기 제2보호부(12)는 상기 제1보호부(11)에서 연장되어 수직하게 마련되고 상기 기판지지대(S)에서 이격되도록 구성된다. 상기 제3보호부(13)은 상기 제2보호부(12)와 동일한 길이로 마련되는 것이 바람직한데, 상기 제3보호부(13)이 상기 제2보호부(12) 길이보다 짧은 경우 상기 제2보호부(12)와 상기 기판지지대(S) 사이의 이격 공간이 좁아져 공기 순환이 어렵거나 상기 이격 공간에 삽입되는 단열재(40)의 삽입이 어려울 수 있고, 상기 제3보호부(13)이 상기 제2보호부(12) 길이보다 긴 경우 상기 배기구(50)의 위치가 상기 기판지지대(S)에서 너무 멀어지게 되어 전체 태양전지용 기판 제조 장치의 크기가 증가할 우려가 있으므로 상기 조건으로 실시되는 것이 바람직하다. When the third protection unit 13 is provided, the first protection unit 11 is provided parallel to the third protection unit 13, but is spaced apart from the substrate support S, and is coupled, and the second protection unit 11 is provided. (12) is provided vertically extending from the first protection part (11) and is configured to be spaced apart from the substrate support (S). Preferably, the third protection part 13 is provided with the same length as the second protection part 12 . When the third protection part 13 is shorter than the second protection part 12 , the second protection part 12 . 2 Because the space between the protection part 12 and the substrate support S is narrowed, it may be difficult to circulate air or it may be difficult to insert the insulating material 40 inserted into the separation space, and the third protection part 13 If the length of the second protection part 12 is longer than the length of the exhaust port 50, the position of the exhaust port 50 becomes too far from the substrate support S, so that the size of the entire solar cell substrate manufacturing apparatus may increase. It is preferable to be

다음으로, 상기 볼팅부(30)는 상기 기판지지대(S)와 상기 보호부(10)를 연결하도록 다수개로 마련된다. 도 3에 나타난 바와 같이, 상기 볼팅부(30)는 상기 제3보호부(13)이 마련되어 상기 보호부(10)가 상기 기판지지대(S)와 이격된 경우 상기 보호부(10)를 결합하기 위한 것으로, 선택적으로 용이하게 결합 및 해체되도록 볼트와 나사에 의해 결합된다. Next, a plurality of the bolting units 30 are provided to connect the substrate support S and the protection unit 10 . As shown in FIG. 3 , the bolting part 30 is provided with the third protective part 13 to couple the protective part 10 when the protective part 10 is spaced apart from the substrate support S. For this purpose, it is selectively coupled by bolts and screws so as to be easily coupled and disassembled.

상기 볼팅부(30)는 상기 기판지지대(S)와 상기 보호부(10)의 접촉면적으로 최소화하기 위해 마련되는 것으로 열전도에 의한 상기 보호부(10)의 온도 상승을 방지하여 상기 보호부(10)의 수명을 연장할 수 있다. The bolting part 30 is provided to minimize the contact area between the substrate support S and the protective part 10, and prevents the temperature rise of the protective part 10 due to heat conduction to prevent the protective part 10 from increasing. ) can be extended.

다음으로, 상기 쿨링부(20)는 상기 보호부(10) 외주면에 다수개로 마련되어 냉각수를 이동한다. 도 4에 나타난 바와 같이, 상기 쿨링부(20)는 상기 보호부(10) 외주면에 PCW(Process Cooling Water) 라인을 삽입하여 고온 공정에서도 언제든지 상기 보호부(10)의 온도 상승을 방지할 수 있다. Next, the cooling unit 20 is provided in plurality on the outer peripheral surface of the protection unit 10 to move the cooling water. As shown in FIG. 4 , the cooling unit 20 inserts a PCW (Process Cooling Water) line into the outer peripheral surface of the protection unit 10 to prevent the temperature rise of the protection unit 10 at any time even in a high-temperature process. .

다음으로, 상기 단열재(40)는 상기 보호부(10)와 상기 기판지지대(S)의 이격된 사이 공간에 마련되어 상기 기판지지대(S)를 단열한다. 도 5에 나타난 바와 같이, 상기 제3보호부(13)이 마련된 경우 상기 단열재(40)는 상기 기판지지대(S)와 상기 보호부(10) 사이에 삽입된다. 상기 단열재(40)가 삽입되면 상기 쿨링부(20)와 함께 열전도도에 의한 상기 보호부(10)의 온도 상승을 방지할 수 있다. 상기 단열제는 세라믹 계열의 재질로 마련되는 것이 바람직하다. Next, the heat insulating material 40 is provided in a space between the protection part 10 and the substrate supporter (S) spaced apart to insulate the substrate supporter (S). As shown in FIG. 5 , when the third protection part 13 is provided, the heat insulating material 40 is inserted between the substrate support S and the protection part 10 . When the insulating material 40 is inserted, it is possible to prevent the temperature rise of the protection unit 10 due to thermal conductivity together with the cooling unit 20 . The heat insulator is preferably made of a ceramic-based material.

다음으로, 상기 배기구(50)는 상기 기판지지대(S)의 일측에 마련되어 가스가 배기되도록 마련된다. 도 7에 나타난 바와 같이, 상기 배기구(50)는 가로축에서 상기 기판지지대(S)와 쳄버(51) 사이와 세로축에서 상기 쳄버(51)의 하단면과 상단면 사이(P3)에 마련되는 것을 특징으로 한다. Next, the exhaust port 50 is provided on one side of the substrate support S to exhaust gas. As shown in FIG. 7 , the exhaust port 50 is provided between the substrate support S and the chamber 51 on the horizontal axis and between the bottom surface and the top surface of the chamber 51 on the vertical axis (P3). do it with

상기 샤워헤드(52)는 반응가스가 상기 챔버(51) 내부로 분사되도록 돕는다. The showerhead 52 helps the reaction gas to be injected into the chamber 51 .

도 1에 나타난 바와 같이, 종래의 경우 상기 기판지지대(S)의 하단에서 상기 중앙 펌핑포트(P) 사이(P1)에 마련되어, 도 8과 같이 상기 기판지지대(S)의 배면에 반응물의 증착 및 박리가 가속화되어 챔버 내부 및 기판지지대(S)의 오염으로 인해 사용 주기가 짧아져 생산성에 큰 영향을 미치는 문제점이 있다. As shown in FIG. 1, in the conventional case, it is provided between (P1) between the central pumping port (P) at the lower end of the substrate supporter (S), and depositing a reactant on the back surface of the substrate supporter (S) as shown in FIG. There is a problem in that the peeling is accelerated and the use cycle is shortened due to contamination of the chamber and the substrate support S, which greatly affects the productivity.

상기 배기구(50)는 가로축에서 상기 기판지지대(S)와 쳄버(51) 사이(P2)와 세로축에서 상기 쳄버(51) 하단면과 상단면 사이(P3)에 마련되어 상기 기판지지대(S) 하부가 상기 가스에 노출되지 않을 수 있다. The exhaust port 50 is provided between (P2) between the substrate supporter (S) and the chamber 51 on the horizontal axis (P2) and between the bottom surface and the upper surface of the chamber 51 on the vertical axis (P3) The substrate supporter (S) lower portion It may not be exposed to the gas.

상기 과제의 해결 수단에 의해, 본 발명은 기판 지지대의 측면과 배면에 탈부착이 용이한 보호부(10)가 마련된 태양전지용 기판 제조 장치를 제공할 수 있다. By means of solving the above problems, the present invention can provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell in which a detachable protective part 10 is provided on the side surface and the rear surface of the substrate supporter.

또한, 본 발명은 기판 지지대와 보호부(10) 사이에 단열제가 마련되어 박리 현상이 개선된 태양전지용 기판 제조 장치를 제공할 수 있다. In addition, the present invention may provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell in which a peeling phenomenon is improved by providing an insulating material between the substrate support and the protection unit 10 .

또한, 본 발명은 태양전지용 기판의 온도를 일정하게 유지하여 고온 공정에 의한 기판 지지대의 변형을 막을 수 있는 태양전지용 기판 제조 장치를 제공할 수 있다. In addition, the present invention can provide an apparatus for manufacturing a substrate for a solar cell capable of preventing deformation of the substrate support due to a high-temperature process by maintaining a constant temperature of the substrate for a solar cell.

또한, 본 발명은 기판 지지대의 외측에 모서리마다 배기구(50)가 마련되어 기판 지지대 상부 중앙에 형성되는 플라즈마에 의해 대전된 입자가 기판 상면을 지나면서 증착되고 난 후 배기구(50)를 따라 배기되어 기판의 상면에 균일하게 증착될 수 있고, 기판 지지대의 하부면에는 배기되지 않아 코팅에 의한 오염 현상을 줄일 수 있는 효과가 있다. In addition, in the present invention, exhaust ports 50 are provided at each corner on the outside of the substrate support, and particles charged by plasma formed in the upper center of the substrate support are deposited while passing the upper surface of the substrate, and then are exhausted along the exhaust port 50 to the substrate. It can be uniformly deposited on the upper surface of the substrate, and it is not exhausted on the lower surface of the substrate support, thereby reducing contamination by coating.

또한, 본 발명은 태양전지용 기판 제조장치의 코팅 증착 및 박리를 막아 챔버 내부 및 기판 지지대의 오염을 막을 수 있고 사용 수명을 향상시킬 수 있다. In addition, the present invention can prevent contamination of the chamber interior and substrate support by preventing coating deposition and peeling of the substrate manufacturing apparatus for solar cells, and can improve service life.

이와 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As such, those skilled in the art to which the present invention pertains will understand that the above-described technical configuration of the present invention may be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential characteristics of the present invention.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타나며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and the meaning and scope of the claims and their All changes or modifications derived from the concept of equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention.

S. 기판지지대
P. 펌핑포트
10. 보호부
11. 제1보호부
12. 제2보호부
13. 제3보호부
14. 보호결합부
20. 쿨링부
30. 볼팅부
40. 단열재
50. 배기구
51. 챔버
52. 샤워헤드S. Substrate support
P. Pumping port
10. Department of Protection
11. First Protection Division
12. Second Protection Division
13. Third Protection Division
14. Protective coupling
20. Cooling unit
30. Bolting part
40. Insulation
50. exhaust vent
51. Chamber
52. Showerhead

Claims (5)

태양전지용 기판에 박막을 형성하는 가스분사장치가 마련되는 기판지지대(S);
가스가 배기되는 배기구(50); 및
상기 기판지지대(S)의 하단에서 상기 가스가 배기되는 표면에서 상기 기판지지대(S)의 측면을 포함하는 가장자리를 감싸는 보호부(10);가 마련되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판 제조장치.
a substrate support (S) provided with a gas injection device for forming a thin film on a solar cell substrate;
an exhaust port 50 through which gas is exhausted; and
A substrate manufacturing apparatus for a solar cell, characterized in that at the lower end of the substrate support (S), a protective part (10) surrounding the edge including the side surface of the substrate support (S) on the surface from which the gas is exhausted.
 제 1항에 있어서,
상기 보호부(10)는 상기 기판지지대(S)에서 이격 설치되어 사이 공간을 마련하되,
상기 기판지지대(S)의 상단과 수평하게 마련되는 제3보호부(13);
상기 제3보호부(13)에서 연장되어 수직하게 마련되고 상기 기판지지대(S)에서 이격되는 제2보호부(12); 및
상기 제2보후부에서 연장되어 수직하게 마련되어 상기 제3보호부(13)과 평행하게 마련되는 제1보호부(11);로 구성되고,
상기 기판지지대(S)와 상기 보호부(10)를 연결하도록 다수개로 마련되는 볼팅부(30);가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판 제조장치.
The method of claim 1,
The protection part 10 is provided spaced apart from the substrate support (S) to provide a space therebetween,
a third protection part 13 provided horizontally with the upper end of the substrate supporter (S);
a second protection unit (12) extending from the third protection unit (13) and provided vertically and spaced apart from the substrate support unit (S); and
Consisting of; a first protection part (11) which extends from the second reinforcement part and is provided vertically and is provided in parallel with the third protection part (13);
The substrate manufacturing apparatus for a solar cell, characterized in that it further comprises; a plurality of bolting parts (30) provided to connect the substrate support (S) and the protection part (10).
 제 2항에 있어서,
상기 보호부(10) 외주면에 다수개로 마련되어 냉각수가 이동되는 쿨링부(20);가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판 제조장치.
3. The method of claim 2,
A solar cell substrate manufacturing apparatus, characterized in that it further comprises a plurality of cooling units (20) provided on the outer peripheral surface of the protection unit (10) to which the cooling water moves.
 제 2항에 있어서,
상기 보호부(10)와 상기 기판지지대(S)의 이격된 사이 공간에 마련되어 상기 기판지지대(S)를 단열하는 단열재(40);가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판 제조장치.
3. The method of claim 2,
A solar cell substrate manufacturing apparatus, characterized in that it further comprises a; provided in the space between the protection unit (10) and the substrate support (S) spaced apart to insulate the substrate support (S).
 제 1항에 있어서,
상기 배기구(50)는,
가로축에서 상기 기판지지대(S)와 쳄버(51) 사이와 세로축에서 상기 쳄버(51)의 하단면과 상단면 사이에 마련되는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판 제조장치.The method of claim 1,
The exhaust port 50 is
A substrate manufacturing apparatus for a solar cell, characterized in that provided between the substrate support (S) and the chamber (51) on the horizontal axis and between the lower surface and the upper surface of the chamber (51) on the vertical axis.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102001343B1 (en) 2018-09-13 2019-07-17 박준욱 Method of removing deposited film of porous supporter

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