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KR20200127559A - Method for supplying chemical - Google Patents

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KR20200127559A
KR20200127559A KR1020190051944A KR20190051944A KR20200127559A KR 20200127559 A KR20200127559 A KR 20200127559A KR 1020190051944 A KR1020190051944 A KR 1020190051944A KR 20190051944 A KR20190051944 A KR 20190051944A KR 20200127559 A KR20200127559 A KR 20200127559A
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South Korea
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drum
module
chemical
chemical supply
cap
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Application number
KR1020190051944A
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Korean (ko)
Inventor
김가용
최현탁
김도현
김소영
박상우
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삼성전자주식회사
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Publication date
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Abstract

케미컬 공급 방법이 제공된다. 케미컬 공급 방법은 비전 모듈, 캡 오픈 모듈 및 케미컬 공급 모듈이 설치된 저장부에 드럼을 로딩시키고, 비전 모듈을 이용하여 드럼에 형성된 바코드를 인식하고, 비전 모듈을 이용하여 드럼에 형성된 캡의 중심 좌표를 추출하고, 캡 오픈 모듈을 이용하여 캡을 오픈시키고, 비전 모듈을 이용하여 드럼에 형성된 케미컬 주입구의 중심 좌표를 추출하고, 케미컬 공급 모듈을 케미컬 주입구에 삽입하여 드럼에 저장된 케미컬을 펌핑부에 제공하는 것을 포함하되, 저장부 및 펌핑부는 하나의 케미컬 공급 장치의 내부에 배치된다.A chemical supply method is provided. The chemical supply method is to load the drum into the storage unit where the vision module, the cap open module and the chemical supply module are installed, recognize the barcode formed on the drum using the vision module, and determine the center coordinates of the cap formed on the drum using the vision module. Extract, open the cap using the cap open module, extract the center coordinates of the chemical injection port formed in the drum using the vision module, insert the chemical supply module into the chemical injection port, and provide the chemical stored in the drum to the pumping unit. Including that, the storage unit and the pumping unit are disposed inside one chemical supply device.

Description

케미컬 공급 방법{Method for supplying chemical}Chemical supply method{Method for supplying chemical}

본 발명은 케미컬 공급 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical supply method.

일반적으로 케미컬 드럼 용기는 반도체 공정용 각종 케미컬이나, 슬러리, 방사능 물질 등과 같이 인체에 유해한 물질을 담고 있으므로 취급 시 각별한 주의가 요구된다. 케미컬 드럼 용기에 저장된 원료를 사용하기 위해 드럼 용기를 생산라인의 유체공급설비에 연결하는 과정에서는 유해 화학물질이 인체에 노출되기가 쉬우므로 작업복을 철저히 착용해야 하고 케미컬 드럼 용기를 신속 정확하게 유체공급설비와 커플링하는 작업을 수행할 수 있어야 한다.In general, a chemical drum container contains various chemicals for semiconductor processing, as well as substances that are harmful to the human body such as slurries and radioactive substances, so special care is required when handling them. In the process of connecting the drum container to the fluid supply facility of the production line in order to use the raw material stored in the chemical drum container, it is easy to expose harmful chemicals to the human body. It should be able to perform the task of coupling with.

종래에는 작업자가 내화복을 입고 수동식 대차를 이용하여 유체공급설비의 정해진 공간에 케미컬 드럼 용기를 밀어 넣어서 로딩하는 방식이 널리 사용되었다. 케미컬 드럼 용기를 유체공급설비에 로딩한 후에는 수작업으로 케미컬 드럼 용기의 캡을 열고 커플러를 체결하여 유체공급설비와 연결한다. 그러나, 이러한 수작업은 안전사고의 발생 가능성이 높을 뿐만 아니라, 내화복 착용에 대한 유지보수 관리가 요구되고 생산성이 좋지 않은 문제가 있어 개선이 요구된다.Conventionally, a method in which an operator wears a fireproof suit and pushes a chemical drum container into a predetermined space of a fluid supply facility using a manual cart and loads it has been widely used. After loading the chemical drum container into the fluid supply facility, manually open the cap of the chemical drum container and fasten the coupler to connect it with the fluid supply facility. However, such manual work not only has a high possibility of safety accidents, but also requires maintenance and management for wearing fire-resistant clothing, and there is a problem of poor productivity, so improvement is required.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 반도체 제조 라인으로 공급되는 케미컬의 안정성을 향상시킨 케미컬 공급 방법을 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a chemical supply method with improved stability of the chemical supplied to a semiconductor manufacturing line.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 케미컬 공급 장치와 드럼 사이의 체결의 정확도를 향상시킨 케미컬 공급 방법을 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a chemical supply method in which the accuracy of fastening between the chemical supply device and the drum is improved.

본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 케미컬 공급 방법의 몇몇 실시예는, 비전 모듈, 캡 오픈 모듈 및 케미컬 공급 모듈이 설치된 저장부에 드럼을 로딩시키고, 비전 모듈을 이용하여 드럼에 형성된 바코드를 인식하고, 비전 모듈을 이용하여 드럼에 형성된 캡의 중심 좌표를 추출하고, 캡 오픈 모듈을 이용하여 캡을 오픈시키고, 비전 모듈을 이용하여 드럼에 형성된 케미컬 주입구의 중심 좌표를 추출하고, 케미컬 공급 모듈을 케미컬 주입구에 삽입하여 드럼에 저장된 케미컬을 펌핑부에 제공하는 것을 포함하되, 저장부 및 펌핑부는 하나의 케미컬 공급 장치의 내부에 배치된다.In some embodiments of the chemical supply method according to the technical idea of the present invention for solving the above problem, a drum is loaded in a storage unit in which a vision module, a cap open module, and a chemical supply module are installed, and formed on the drum using the vision module. Recognize the barcode, extract the center coordinates of the cap formed on the drum using a vision module, open the cap using the cap open module, extract the center coordinates of the chemical injection hole formed in the drum using the vision module, and Inserting the supply module into the chemical injection port to provide the chemical stored in the drum to the pumping unit, wherein the storage unit and the pumping unit are disposed inside one chemical supply device.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 케미컬 공급 방법의 다른 몇몇 실시예는, 비전 모듈, 캡 오픈 모듈 및 케미컬 공급 모듈이 설치된 저장부에 드럼을 로딩시키고, 비전 모듈을 이용하여 드럼에 형성된 캡의 중심 좌표를 추출하고, 캡 오픈 모듈을 이용하여 캡을 오픈시키고, 비전 모듈을 이용하여 드럼에 형성된 케미컬 주입구의 중심 좌표를 추출하고, 케미컬 공급 모듈을 케미컬 주입구에 삽입하여 드럼에 저장된 케미컬을 펌핑부에 제공하는 것을 포함하되, 드럼은 저장부의 하부에 배치된 턴 테이블 상으로 로딩되고, 턴 테이블을 이용하여 드럼을 회전시키고, 저장부 및 펌핑부는 하나의 케미컬 공급 장치의 내부에 배치된다.In some other embodiments of the chemical supply method according to the technical idea of the present invention for solving the above problem, a drum is loaded in a storage unit in which a vision module, a cap open module, and a chemical supply module are installed, and the drum is loaded with a vision module. Extract the center coordinates of the formed cap, open the cap using the cap open module, extract the center coordinates of the chemical inlet formed in the drum using the vision module, insert the chemical supply module into the chemical inlet, and store the chemical in the drum. Including providing a pumping unit, the drum is loaded onto a turntable disposed under the storage unit, the drum is rotated using the turntable, and the storage unit and the pumping unit are disposed inside one chemical supply device. .

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the present invention are included in the detailed description and drawings.

도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치에 사용되는 자동화 모듈을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치에 사용되는 턴 테이블을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치에 로딩되는 드럼을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.1 is a perspective view illustrating a chemical supply device according to some embodiments of the present invention.
2 is a front view illustrating a chemical supply device according to some embodiments of the present invention.
3 is a plan view illustrating a chemical supply device according to some embodiments of the present invention.
4 is a diagram for explaining an automation module used in a chemical supply device according to some embodiments of the present invention.
5 is a diagram illustrating a turn table used in a chemical supply device according to some embodiments of the present invention.
6 is a view for explaining a drum loaded in a chemical supply device according to some embodiments of the present invention.
7 is a flowchart sequentially illustrating a method of supplying chemicals according to some embodiments of the present invention.

이하에서, 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치를 설명한다.Hereinafter, a chemical supply device according to some embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 6.

도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치를 설명하기 위한 정면도이다. 도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치에 사용되는 자동화 모듈을 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치에 사용되는 턴 테이블을 설명하기 위한 도면이다. 도 6은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치에 로딩되는 드럼을 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view illustrating a chemical supply device according to some embodiments of the present invention. 2 is a front view illustrating a chemical supply device according to some embodiments of the present invention. 3 is a plan view illustrating a chemical supply device according to some embodiments of the present invention. 4 is a view for explaining an automation module used in a chemical supply device according to some embodiments of the present invention. 5 is a diagram illustrating a turn table used in a chemical supply device according to some embodiments of the present invention. 6 is a view for explaining a drum loaded in a chemical supply device according to some embodiments of the present invention.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 장치(10)는 제1 저장부(100), 제2 저장부(200), 펌핑부(300) 및 필터부(400)를 포함한다.1 to 6, a chemical supply device 10 according to some embodiments of the present invention includes a first storage unit 100, a second storage unit 200, a pumping unit 300, and a filter unit 400. ).

제1 저장부(100), 제2 저장부(200), 펌핑부(300) 및 필터부(400)는 모두 하나의 케미컬 공급 장치(10) 내부에 배치될 수 있다. 제1 저장부(100), 제2 저장부(200), 펌핑부(300) 및 필터부(400) 각각은 케미컬 공급 장치(10) 내부에서 서로 인접하게 배치될 수 있다.The first storage unit 100, the second storage unit 200, the pumping unit 300, and the filter unit 400 may all be disposed inside a single chemical supply device 10. Each of the first storage unit 100, the second storage unit 200, the pumping unit 300, and the filter unit 400 may be disposed adjacent to each other in the chemical supply device 10.

구체적으로, 제1 저장부(100) 및 제2 저장부(200) 각각은 펌핑부(300)와 제1 방향(DR1)으로 인접하게 배치될 수 있다. 제1 저장부(100)는 제2 저장부(200)와 제1 방향(DR1)과 다른 제2 방향(DR2)으로 인접하게 배치될 수 있다. 필터부(400)는 제2 저장부(200) 및 펌핑부(300) 각각과 제2 방향(DR2)으로 인접하게 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 필터부(400)는 펌핑부(300)와 제1 저장부(100) 및 제2 저장부(200) 사이에 배치될 수 있다.Specifically, each of the first storage unit 100 and the second storage unit 200 may be disposed adjacent to the pumping unit 300 in the first direction DR1. The first storage unit 100 may be disposed adjacent to the second storage unit 200 in a second direction DR2 different from the first direction DR1. The filter unit 400 may be disposed adjacent to each of the second storage unit 200 and the pumping unit 300 in the second direction DR2. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, the filter unit 400 may be disposed between the pumping unit 300 and the first storage unit 100 and the second storage unit 200.

도 1에는 케미컬 공급 장치(10)의 내부에 2개의 저장부에 배치되는 것으로 도시되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 케미컬 공급 장치(10)의 내부에 3개 이상의 저장부가 배치될 수 있다.In FIG. 1, although it is shown to be disposed in two storage units inside the chemical supply device 10, the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, three or more storage units may be disposed inside the chemical supply device 10.

제1 저장부(100)의 내부에 케미컬이 저장된 제1 드럼(20)이 로딩될 수 있다. 제1 저장부(100)는 제1 드럼(20)에 저장된 케미컬을 필터부(400)에 제공할 수 있다.The first drum 20 in which chemicals are stored may be loaded in the first storage unit 100. The first storage unit 100 may provide the chemical stored in the first drum 20 to the filter unit 400.

제1 저장부(100)의 내부에는 제1 자동화 모듈(110) 및 제1 턴 테이블(120)이 배치될 수 있다.A first automation module 110 and a first turn table 120 may be disposed inside the first storage unit 100.

제1 자동화 모듈(110)은 제1 드럼(20)에 저장된 케미컬의 종류를 확인하고, 제1 드럼(20)에 저장된 케미컬을 필터부(400)를 거쳐 펌핑부(300)에 제공할 수 있다.The first automation module 110 may check the type of chemical stored in the first drum 20 and provide the chemical stored in the first drum 20 to the pumping unit 300 through the filter unit 400. .

제1 자동화 모듈(110)은 제1 비전 모듈(111), 제1 캡 오픈 모듈(112), 제1 케미컬 공급 모듈(113), 제1 이송 모듈(114) 및 제1 가이드 레일(115)을 포함할 수 있다.The first automation module 110 includes a first vision module 111, a first cap open module 112, a first chemical supply module 113, a first transfer module 114, and a first guide rail 115. Can include.

제1 비전 모듈(111)은 제1 저장부(100)의 내부에 로딩되는 제1 드럼(20) 상에 배치될 수 있다. 제1 비전 모듈(111)은 제1 이송 모듈(114)에 연결될 수 있다.The first vision module 111 may be disposed on the first drum 20 loaded into the first storage unit 100. The first vision module 111 may be connected to the first transfer module 114.

제1 비전 모듈(111)은 제1 드럼(20)에 형성된 바코드(23)를 인식할 수 있다. 제1 비전 모듈(111)은 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)의 중심 좌표(21c)를 추출할 수 있다. 또한, 제1 비전 모듈(111)은 제1 드럼(20)에 형성된 케미컬 주입구(22)의 중심 좌표(22c)를 추출할 수 있다.The first vision module 111 may recognize the barcode 23 formed on the first drum 20. The first vision module 111 may extract the center coordinate 21c of the cap 21 formed on the first drum 20. Also, the first vision module 111 may extract the center coordinates 22c of the chemical injection hole 22 formed in the first drum 20.

제1 캡 오픈 모듈(112)은 제1 저장부(100)의 내부에 로딩되는 제1 드럼(20) 상에 배치될 수 있다. 제1 캡 오픈 모듈(112)은 제1 이송 모듈(114)에 연결될 수 있다. 제1 캡 오픈 모듈(112)은 제1 비전 모듈(111)과 제2 방향(DR2)으로 이격되어 배치될 수 있다.The first cap open module 112 may be disposed on the first drum 20 loaded into the first storage unit 100. The first cap open module 112 may be connected to the first transfer module 114. The first cap open module 112 may be disposed to be spaced apart from the first vision module 111 in the second direction DR2.

제1 캡 오픈 모듈(112)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 수직인 제3 방향(DR3)으로 하강하여 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)을 파지하여 오픈시킬 수 있다.The first cap open module 112 descends in the first direction DR1 and the third direction DR3 perpendicular to the second direction DR2 to hold the cap 21 formed on the first drum 20 and open it. I can make it.

제1 케미컬 공급 모듈(113)은 제1 저장부(100)의 내부에 로딩되는 제1 드럼(20) 상에 배치될 수 있다. 제1 케미컬 공급 모듈(113)은 제1 이송 모듈(114)에 연결될 수 있다. 제1 케미컬 공급 모듈(113)은 제1 캡 오픈 모듈(112)과 제2 방향(DR2)으로 이격되어 배치될 수 있다.The first chemical supply module 113 may be disposed on the first drum 20 loaded into the first storage unit 100. The first chemical supply module 113 may be connected to the first transfer module 114. The first chemical supply module 113 may be disposed to be spaced apart from the first cap open module 112 in the second direction DR2.

제1 비전 모듈(111), 제1 캡 오픈 모듈(112) 및 제1 케미컬 공급 모듈(113)은 제2 방향(DR2)으로 순차적으로 일렬로 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되지 않는다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 제1 비전 모듈(111), 제1 캡 오픈 모듈(112) 및 제1 케미컬 공급 모듈(113)이 제2 방향(DR2)으로 배치되는 순서는 다를 수 있다.The first vision module 111, the first cap open module 112, and the first chemical supply module 113 may be sequentially arranged in a row in the second direction DR2. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, the order in which the first vision module 111, the first cap open module 112, and the first chemical supply module 113 are arranged in the second direction DR2 may be different.

제1 케미컬 공급 모듈(113)은 제3 방향(DR3)으로 하강하여 제1 드럼(20)에 형성된 케미컬 주입구(22)에 삽입될 수 있다. 제1 케미컬 공급 모듈(113)은 제1 드럼(20)에 저장된 케미컬을 필터부(400)에 제공할 수 있다.The first chemical supply module 113 may descend in the third direction DR3 and may be inserted into the chemical injection hole 22 formed in the first drum 20. The first chemical supply module 113 may provide the chemical stored in the first drum 20 to the filter unit 400.

제1 이송 모듈(114)은 제1 비전 모듈(111), 제1 캡 오픈 모듈(112) 및 제1 케미컬 공급 모듈(113) 각각과 연결될 수 있다.The first transfer module 114 may be connected to each of the first vision module 111, the first cap open module 112, and the first chemical supply module 113.

제1 이송 모듈(114)은 제1 저장부(100) 내부에서 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 배치된 제1 가이드 레일(115)을 따라 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다.The first transfer module 114 may be moved in the second direction DR2 along the first guide rail 115 disposed to extend in the second direction DR2 inside the first storage unit 100.

제1 이송 모듈(114)이 제1 가이드 레일(115)을 따라 제2 방향(DR2)으로 이동됨으로써, 제1 비전 모듈(111), 제1 캡 오픈 모듈(112) 및 제1 케미컬 공급 모듈(113) 각각이 제1 드럼(20)의 캡(21), 케미컬 주입구(22) 및 바코드(23) 상의 원하는 위치에 정렬될 수 있다.By moving the first transfer module 114 along the first guide rail 115 in the second direction DR2, the first vision module 111, the first cap open module 112, and the first chemical supply module ( 113) Each may be aligned at a desired position on the cap 21, the chemical injection hole 22, and the barcode 23 of the first drum 20.

제1 턴 테이블(120)은 제1 저장부(100)의 하부에 배치될 수 있다. 제1 드럼(20)은 제1 저장부(100)의 내부의 제1 턴 테이블(120) 상으로 로딩될 수 있다.The first turn table 120 may be disposed under the first storage unit 100. The first drum 20 may be loaded onto the first turn table 120 inside the first storage unit 100.

제1 턴 테이블(120)은 회전 모듈(121), 롤러(122) 및 가이드 롤러(123)를 포함할 수 있다.The first turn table 120 may include a rotation module 121, a roller 122 and a guide roller 123.

회전 모듈(121)은 제1 턴 테이블(120)을 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이루어진 평면 상에서 회전시킬 수 있다. 제1 턴 테이블(120)은 회전 모듈(121)의 회전 구동을 이용하여 제1 턴 테이블(120) 상에 로딩된 제1 드럼(20)을 회전시킬 수 있다.The rotation module 121 may rotate the first turn table 120 on a plane formed in the first direction DR1 and the second direction DR2. The first turn table 120 may rotate the first drum 20 loaded on the first turn table 120 by using rotational driving of the rotation module 121.

회전 모듈(121)은 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21) 또는 바코드(23)가 제1 비전 모듈(111), 제1 캡 오픈 모듈(112) 및 제1 케미컬 공급 모듈(113) 중 어느 하나와 제3 방향(DR3)으로 정렬되도록 제1 드럼(20)을 회전시킬 수 있다.The rotation module 121 includes a cap 21 or a barcode 23 formed on the first drum 20 among the first vision module 111, the first cap open module 112, and the first chemical supply module 113. The first drum 20 may be rotated to be aligned with any one in the third direction DR3.

롤러(122)는 제1 드럼(20)의 하면에 동력을 전달하여 제1 드럼(20)을 제1 방향(DR1)으로 이동시켜 제1 턴 테이블(120) 상으로 로딩시킬 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 롤러(122)는 동력 전달 없이 제1 드럼(20)이 제1 방향(DR1)으로 로딩되는 것을 가이드 할 수 있다.The roller 122 may transmit power to the lower surface of the first drum 20 to move the first drum 20 in the first direction DR1 to be loaded onto the first turn table 120. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, the roller 122 may guide the loading of the first drum 20 in the first direction DR1 without transmitting power.

가이드 롤러(123)는 제1 턴 테이블(120)의 상면에 배치되어 제1 드럼(20)이 제1 방향(DR1)으로 로딩되는 것을 가이드 할 수 있다.The guide roller 123 may be disposed on the upper surface of the first turn table 120 to guide the first drum 20 to be loaded in the first direction DR1.

제2 저장부(200)의 내부에 케미컬이 저장된 제2 드럼(30)이 로딩될 수 있다. 제2 저장부(200)는 제2 드럼(30)에 저장된 케미컬을 필터부(400)에 제공할 수 있다.The second drum 30 in which chemicals are stored may be loaded in the second storage unit 200. The second storage unit 200 may provide chemicals stored in the second drum 30 to the filter unit 400.

제2 저장부(200)의 내부에는 제2 자동화 모듈(210) 및 제2 턴 테이블(220)이 배치될 수 있다.A second automation module 210 and a second turn table 220 may be disposed inside the second storage unit 200.

제2 자동화 모듈(210)은 제2 드럼(30)에 저장된 케미컬의 종류를 확인하고, 제2 드럼(30)에 저장된 케미컬을 필터부(400)를 거쳐 펌핑부(300)에 제공할 수 있다.The second automation module 210 may check the type of chemical stored in the second drum 30 and provide the chemical stored in the second drum 30 to the pumping unit 300 through the filter unit 400. .

제2 자동화 모듈(210)은 제2 비전 모듈(211), 제2 캡 오픈 모듈(212), 제2 케미컬 공급 모듈(213), 제2 이송 모듈(214) 및 제2 가이드 레일(215)을 포함할 수 있다.The second automation module 210 includes a second vision module 211, a second cap open module 212, a second chemical supply module 213, a second transfer module 214, and a second guide rail 215. Can include.

제2 자동화 모듈(210)의 구성 및 기능은 제1 자동화 모듈(110)과 동일할 수 있다. 구체적으로, 제2 비전 모듈(211), 제2 캡 오픈 모듈(212), 제2 케미컬 공급 모듈(213), 제2 이송 모듈(214) 및 제2 가이드 레일(215) 각각의 구성 및 기능은 제1 비전 모듈(111), 제1 캡 오픈 모듈(112), 제1 케미컬 공급 모듈(113), 제1 이송 모듈(114) 및 제1 가이드 레일(115) 각각의 구성 및 기능과 동일할 수 있다.The configuration and function of the second automation module 210 may be the same as the first automation module 110. Specifically, the configuration and function of each of the second vision module 211, the second cap open module 212, the second chemical supply module 213, the second transfer module 214 and the second guide rail 215 The configuration and function of the first vision module 111, the first cap open module 112, the first chemical supply module 113, the first transfer module 114, and the first guide rail 115 may be the same. have.

제2 턴 테이블(220)은 제2 저장부(200)의 하부에 배치될 수 있다. 제2 드럼(30)은 제2 저장부(200)의 내부의 제2 턴 테이블(220) 상으로 로딩될 수 있다. 제2 턴 테이블(220)의 구성 및 기능은 제1 턴 테이블(120)과 동일할 수 있다.The second turn table 220 may be disposed under the second storage unit 200. The second drum 30 may be loaded onto the second turn table 220 inside the second storage unit 200. The configuration and function of the second turn table 220 may be the same as that of the first turn table 120.

필터부(400)는 제1 저장부(100) 및 제2 저장부(200) 각각으로부터 케미컬을 제공받아 케미컬에 포함된 파티클(particle)을 제거할 수 있다. 필터부(400)는 파티클이 제거된 케미컬을 펌핑부(300)에 제공할 수 있다.The filter unit 400 may receive chemicals from each of the first storage unit 100 and the second storage unit 200 to remove particles included in the chemical. The filter unit 400 may provide a chemical from which particles are removed to the pumping unit 300.

펌핑부(300)는 필터부(400)로부터 제공받은 파티클이 제거된 케미컬을 반도체 제도 라인에 공급할 수 있다.The pumping unit 300 may supply a chemical from which particles have been removed, provided from the filter unit 400, to the semiconductor islanding line.

이하에서, 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 방법을 설명한다.Hereinafter, a chemical supply method according to some embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7.

도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.7 is a flowchart sequentially illustrating a method of supplying chemicals according to some embodiments of the present invention.

제1 저장부(100)에 의한 케미컬 공급 방법은 제2 저장부(200)에 의한 케미컬 공급 방법과 동일하다. 이하에서는, 제1 저장부(100)에 의한 케미컬 공급 방법을 설명하고, 제2 저장부(200)에 의한 케미컬 공급 방법은 생략한다.The chemical supply method by the first storage unit 100 is the same as the chemical supply method by the second storage unit 200. Hereinafter, a method of supplying chemicals by the first storage unit 100 will be described, and a method of supplying chemicals by the second storage unit 200 will be omitted.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 제1 저장부(100) 내부에 제1 드럼(20)이 로딩될 수 있다(S110).1 to 7, the first drum 20 may be loaded in the first storage unit 100 (S110 ).

구체적으로, 제1 드럼(20)은 제1 저장부(100)의 하부에 배치된 제1 턴 테이블(120) 상으로 로딩될 수 있다. 제1 드럼(20)은 제1 턴 테이블(120)에 배치된 롤러(122) 및 가이드 롤러(123)를 이용하여 제1 방향(DR1)으로 로딩될 수 있다.Specifically, the first drum 20 may be loaded onto the first turn table 120 disposed under the first storage unit 100. The first drum 20 may be loaded in the first direction DR1 using the roller 122 and the guide roller 123 disposed on the first turn table 120.

제1 비전 모듈(111)을 이용하여 제1 드럼(20)에 형성된 바코드(23)를 인식할 수 있다(S120).The barcode 23 formed on the first drum 20 may be recognized using the first vision module 111 (S120).

구체적으로, 제1 턴 테이블(120)을 회전시켜 제1 드럼(20)을 회전시킴으로써 제1 드럼(20)에 형성된 바코드(23)를 제1 비전 모듈(111)과 제3 방향(DR3)으로 정렬시킬 수 있다.Specifically, by rotating the first drum 20 by rotating the first turn table 120, the barcode 23 formed on the first drum 20 is transferred to the first vision module 111 and the third direction DR3. Can be aligned.

이어서, 제1 비전 모듈(111)이 제3 방향(DR3)으로 하강하여 제1 드럼(20)에 형성된 바코드(23)를 인식할 수 있다. 제1 비전 모듈(111)은 제1 드럼(20)에 형성된 바코드(23)를 인식한 후에 다시 상승할 수 있다. 이러한 과정을 통해, 케미컬이 오투입되는 것을 방지할 수 있다.Subsequently, the first vision module 111 may descend in the third direction DR3 to recognize the barcode 23 formed on the first drum 20. The first vision module 111 may rise again after recognizing the barcode 23 formed on the first drum 20. Through this process, it is possible to prevent the chemical from being incorrectly introduced.

제1 비전 모듈(111)을 이용하여 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)의 중심 좌표를 추출할 수 있다(S130).The center coordinates of the cap 21 formed on the first drum 20 may be extracted using the first vision module 111 (S130).

구체적으로, 제1 턴 테이블(120)을 회전시켜 제1 드럼(20)을 회전시킴으로써 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)을 제1 비전 모듈(111)과 제3 방향(DR3)으로 정렬시킬 수 있다.Specifically, the cap 21 formed on the first drum 20 by rotating the first drum 20 by rotating the first turn table 120 is moved to the first vision module 111 and the third direction DR3. Can be aligned.

이어서, 제1 비전 모듈(111)이 제3 방향(DR3)으로 하강하여 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)의 중심 좌표(21c)를 추출할 수 있다. 제1 비전 모듈(111)은 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)의 중심 좌표(21c)를 추출한 후에 다시 상승할 수 있다.Subsequently, the first vision module 111 may descend in the third direction DR3 to extract the center coordinate 21c of the cap 21 formed on the first drum 20. The first vision module 111 may rise again after extracting the center coordinate 21c of the cap 21 formed on the first drum 20.

제1 캡 오픈 모듈(112)을 이용하여 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)을 오픈시킬 수 있다(S140).The cap 21 formed on the first drum 20 may be opened using the first cap open module 112 (S140).

구체적으로, 제1 이송 모듈(114)을 제1 가이드 레일(115)을 따라 제2 방향(DR2)으로 이동시켜 제1 캡 오픈 모듈(112)을 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)과 제3 방향(DR3)으로 정렬시킬 수 있다.Specifically, the cap 21 formed on the first drum 20 by moving the first transfer module 114 in the second direction DR2 along the first guide rail 115 And the third direction DR3.

이어서, 제1 캡 오픈 모듈(112)이 제3 방향(DR3)으로 하강하여 제1 드럼(20)에 형성된 캡(21)을 오픈시킬 수 있다. 제1 캡 오픈 모듈(112)은 오픈된 캡(21)을 파지한 상태에서 다시 상승할 수 있다.Subsequently, the first cap open module 112 may descend in the third direction DR3 to open the cap 21 formed on the first drum 20. The first cap open module 112 may rise again while holding the open cap 21.

제1 비전 모듈(111)을 이용하여 제1 드럼(20)에 형성된 케미컬 주입구(22)의 중심 좌표(22c)를 추출할 수 있다(S150).The center coordinates 22c of the chemical injection hole 22 formed in the first drum 20 may be extracted using the first vision module 111 (S150).

구체적으로, 제1 이송 모듈(114)을 제1 가이드 레일(115)을 따라 제2 방향(DR2)으로 이동시켜 제1 비전 모듈(111)을 제1 드럼(20)에 형성된 케미컬 주입구(22)와 제3 방향(DR3)으로 정렬시킬 수 있다.Specifically, by moving the first transfer module 114 in the second direction DR2 along the first guide rail 115, the first vision module 111 is moved to the chemical injection port 22 formed in the first drum 20 And the third direction DR3.

이어서, 제1 비전 모듈(111)이 제3 방향(DR3)으로 하강하여 제1 드럼(20)에 형성된 케미컬 주입구(22)의 중심 좌표(22c)를 추출할 수 있다. 제1 비전 모듈(111)은 제1 드럼(20)에 형성된 케미컬 주입구(22)의 중심 좌표(22c)를 추출한 후에 다시 상승할 수 있다.Subsequently, the first vision module 111 may descend in the third direction DR3 to extract the center coordinate 22c of the chemical injection hole 22 formed in the first drum 20. The first vision module 111 may rise again after extracting the center coordinate 22c of the chemical injection port 22 formed in the first drum 20.

제1 케미컬 공급 모듈(113)을 이용하여 펌핑부(300)에 케미컬을 제공할 수 있다(S160).Chemicals may be provided to the pumping unit 300 using the first chemical supply module 113 (S160).

구체적으로, 제1 이송 모듈(114)을 제1 가이드 레일(115)을 따라 제2 방향(DR2)으로 이동시켜 제1 케미컬 공급 모듈(113)을 제1 드럼(20)에 형성된 케미컬 주입구(22)와 제3 방향(DR3)으로 정렬시킬 수 있다.Specifically, by moving the first transfer module 114 in the second direction DR2 along the first guide rail 115, the first chemical supply module 113 is moved to the chemical injection port 22 formed in the first drum 20. ) And the third direction DR3.

이어서, 제1 케미컬 공급 모듈(113)이 제3 방향(DR3)으로 하강하여 제1 드럼(20)에 형성된 케미컬 주입구(22)에 삽입될 수 있다. 제1 케미컬 공급 모듈(113)은 제1 드럼(20)의 내부에 저장된 케미컬을 필터부(400)를 거쳐 펌핑부(300)에 제공할 수 있다.Subsequently, the first chemical supply module 113 may descend in the third direction DR3 and may be inserted into the chemical injection hole 22 formed in the first drum 20. The first chemical supply module 113 may provide the chemical stored in the first drum 20 to the pumping unit 300 through the filter unit 400.

상술한 케미컬 공급 방법을 통해 제1 드럼(20)에 저장된 케미컬을 반도체 제조 라인에 공급할 수 있다.The chemical stored in the first drum 20 may be supplied to the semiconductor manufacturing line through the above-described chemical supply method.

본 발명의 몇몇 실시예에 따른 케미컬 공급 방법은 케미컬이 저장된 드럼을 자동으로 체결하여 반도체 제조 라인으로 안전하게 케미컬을 공급할 수 있다.In the method of supplying chemicals according to some embodiments of the present invention, a drum in which chemicals are stored can be automatically fastened to safely supply chemicals to a semiconductor manufacturing line.

또한, 드럼에 부착된 바코드를 이용하여 케미컬이 오투입되는 것을 방지할 수 있고, 필터부를 이용하여 케미컬에 포함된 파티클을 제거할 수 있다. 또한, 드럼에 형성된 캡 중심 좌표 및 케미컬 주입구의 중심 좌표를 추출하여 드럼과의 체결의 정확도를 향상시킬 수 있다.In addition, it is possible to prevent incorrect injection of chemicals by using a barcode attached to the drum, and to remove particles contained in the chemical by using a filter unit. In addition, it is possible to improve the accuracy of fastening with the drum by extracting the center coordinate of the cap formed on the drum and the center coordinate of the chemical injection port.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments according to the technical idea of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments, but may be manufactured in various different forms. Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting.

10: 케미컬 공급 장치 20: 제1 드럼
21: 캡 22: 케미컬 주입구
23: 바코드 100: 제1 저장부
110: 제1 자동화 모듈 111: 제1 비전 모듈
112: 제1 캡 오픈 모듈 113: 제1 케미컬 공급 모듈
114: 제1 이송 모듈 115: 제1 가이드 레일
120: 제1 턴 테이블 200: 제2 저장부
210: 제2 자동화 모듈 220: 제2 턴 테이블
300: 펌핑부 400: 필터부10: chemical supply device 20: first drum
21: cap 22: chemical inlet
23: barcode 100: first storage unit
110: first automation module 111: first vision module
112: first cap open module 113: first chemical supply module
114: first transfer module 115: first guide rail
120: first turn table 200: second storage unit
210: second automation module 220: second turn table
300: pumping unit 400: filter unit

Claims (10)

비전 모듈, 캡 오픈 모듈 및 케미컬 공급 모듈이 설치된 저장부에 드럼을 로딩시키고,
상기 비전 모듈을 이용하여 상기 드럼에 형성된 바코드를 인식하고,
상기 비전 모듈을 이용하여 상기 드럼에 형성된 캡의 중심 좌표를 추출하고,
상기 캡 오픈 모듈을 이용하여 상기 캡을 오픈시키고,
상기 비전 모듈을 이용하여 상기 드럼에 형성된 케미컬 주입구의 중심 좌표를 추출하고,
상기 케미컬 공급 모듈을 상기 케미컬 주입구에 삽입하여 상기 드럼에 저장된 케미컬을 펌핑부에 제공하는 것을 포함하되,
상기 저장부 및 상기 펌핑부는 하나의 케미컬 공급 장치의 내부에 배치되는 케미컬 공급 방법.The drum is loaded in the storage unit where the vision module, cap open module and chemical supply module are installed,
Recognizing the barcode formed on the drum using the vision module,
Extracting the center coordinates of the cap formed on the drum using the vision module,
Opening the cap using the cap open module,
Extracting the center coordinates of the chemical injection hole formed in the drum using the vision module,
Inserting the chemical supply module into the chemical injection port and providing the chemical stored in the drum to a pumping unit,
The storage unit and the pumping unit is a chemical supply method disposed inside one chemical supply device. 제 1항에 있어서,
상기 드럼은 상기 저장부의 하부에 배치된 턴 테이블 상으로 로딩되고,
상기 턴 테이블을 이용하여 상기 드럼을 회전시키는 케미컬 공급 방법.The method of claim 1,
The drum is loaded onto a turntable disposed under the storage unit,
Chemical supply method for rotating the drum using the turn table. 제 2항에 있어서,
상기 드럼을 상기 저장부 내부에 로딩시키는 것은,
상기 턴 테이블의 상면에 배치된 롤러를 이용하여 상기 드럼을 상기 턴 테이블 상으로 로딩시키는 것을 포함하는 케미컬 공급 방법.The method of claim 2,
Loading the drum into the storage unit,
A chemical supply method comprising loading the drum onto the turn table using a roller disposed on an upper surface of the turn table. 제 2항에 있어서,
상기 바코드를 인식하는 것은,
상기 턴 테이블을 회전시켜 상기 바코드를 상기 비전 모듈과 정렬시키는 것을 포함하는 케미컬 공급 방법.The method of claim 2,
Recognizing the barcode,
A chemical supply method comprising rotating the turn table to align the barcode with the vision module. 제 2항에 있어서,
상기 캡의 중심 좌표를 추출하는 것은,
상기 턴 테이블을 회전시켜 상기 캡을 상기 비전 모듈과 정렬시키는 것을 포함하는 케미컬 공급 방법.The method of claim 2,
Extracting the center coordinates of the cap,
And rotating the turn table to align the cap with the vision module. 제 2항에 있어서,
상기 캡을 오픈시키는 것은,
상기 캡 오픈 모듈을 이동시켜 상기 캡 오픈 모듈을 상기 캡과 정렬시키는 것을 포함하는 케미컬 공급 방법.The method of claim 2,
Opening the cap,
A chemical supply method comprising moving the cap open module to align the cap open module with the cap. 제 2항에 있어서,
상기 케미컬 주입구의 중심 좌표를 추출하는 것은,
상기 비전 모듈을 이동시켜 상기 비전 모듈을 상기 케미컬 주입구와 정렬시키는 것을 포함하는 케미컬 공급 방법.The method of claim 2,
Extracting the center coordinates of the chemical injection port,
A chemical supply method comprising moving the vision module to align the vision module with the chemical injection hole. 제 2항에 있어서,
상기 케미컬을 상기 펌핑부에 제공하는 것은,
상기 케미컬 공급 모듈을 이동시켜 상기 케미컬 공급 모듈을 상기 케미컬 주입구와 정렬시키는 것을 포함하는 케미컬 공급 방법.The method of claim 2,
Providing the chemical to the pumping unit,
A chemical supply method comprising moving the chemical supply module to align the chemical supply module with the chemical injection port. 비전 모듈, 캡 오픈 모듈 및 케미컬 공급 모듈이 설치된 저장부에 드럼을 로딩시키고,
상기 비전 모듈을 이용하여 상기 드럼에 형성된 캡의 중심 좌표를 추출하고,
상기 캡 오픈 모듈을 이용하여 상기 캡을 오픈시키고,
상기 비전 모듈을 이용하여 상기 드럼에 형성된 케미컬 주입구의 중심 좌표를 추출하고,
상기 케미컬 공급 모듈을 상기 케미컬 주입구에 삽입하여 상기 드럼에 저장된 케미컬을 펌핑부에 제공하는 것을 포함하되,
상기 드럼은 상기 저장부의 하부에 배치된 턴 테이블 상으로 로딩되고,
상기 턴 테이블을 이용하여 상기 드럼을 회전시키고,
상기 저장부 및 상기 펌핑부는 하나의 케미컬 공급 장치의 내부에 배치되는 케미컬 공급 방법.The drum is loaded in the storage unit where the vision module, cap open module and chemical supply module are installed,
Extracting the center coordinates of the cap formed on the drum using the vision module,
Opening the cap using the cap open module,
Extracting the center coordinates of the chemical injection hole formed in the drum using the vision module,
Inserting the chemical supply module into the chemical injection port and providing the chemical stored in the drum to a pumping unit,
The drum is loaded onto a turntable disposed under the storage unit,
Rotating the drum using the turn table,
The storage unit and the pumping unit is a chemical supply method disposed inside one chemical supply device. 제 9항에 있어서,
상기 드럼에 저장된 케미컬을 상기 펌핑부에 제공하는 것은,
상기 드럼에 저장된 케미컬을 상기 케미컬 공급 장치의 내부에 배치된 필터부에 제공하고,
상기 필터부를 이용하여 케미컬에 포함된 파티클(particle)을 제거하고,
파티클이 제거된 케미컬을 상기 펌핑부에 제공하는 것을 포함하는 케미컬 공급 방법.The method of claim 9,
Providing the chemical stored in the drum to the pumping unit,
Providing the chemical stored in the drum to a filter unit disposed inside the chemical supply device,
Remove particles contained in the chemical by using the filter unit,
A chemical supply method comprising providing a chemical from which particles have been removed to the pumping unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI852272B (en) * 2023-01-07 2024-08-11 帆宣系統科技股份有限公司 Chemical liquid supply equipment

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