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KR20200115187A - Soft magnetic alloy powder, electronic component and manufacturing method therof - Google Patents

Soft magnetic alloy powder, electronic component and manufacturing method therof Download PDF

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KR20200115187A
KR20200115187A KR1020200033049A KR20200033049A KR20200115187A KR 20200115187 A KR20200115187 A KR 20200115187A KR 1020200033049 A KR1020200033049 A KR 1020200033049A KR 20200033049 A KR20200033049 A KR 20200033049A KR 20200115187 A KR20200115187 A KR 20200115187A
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KR
South Korea
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soft magnetic
alloy powder
magnetic alloy
electronic component
powder
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KR1020200033049A
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Inventor
히사야 고바야시
신고 하야시
야스시 기노
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신토고교 가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

Provided are soft magnetic alloy powder capable of downsizing electronic components and enabling use in a high temperature environment, and further an electronic component. The soft magnetic alloy powder contains Si and Al in an amount of satisfying a relationship of Si >= 2 wt%, Al >= 1 wt%, and Si+Al <= 12 wt%. The remainder is Fe and inevitable impurities. Electronic components such as a powder core, an electromagnetic wave-absorbing shield, or an electromagnetic wave absorber can be obtained using the soft magnetic alloy powder.

Description

연자성 합금 분말, 전자 부품 및 그 제조 방법{SOFT MAGNETIC ALLOY POWDER, ELECTRONIC COMPONENT AND MANUFACTURING METHOD THEROF}Soft magnetic alloy powder, electronic component, and manufacturing method thereof {SOFT MAGNETIC ALLOY POWDER, ELECTRONIC COMPONENT AND MANUFACTURING METHOD THEROF}

본 발명은 연자성 합금 분말, 전자 부품 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a soft magnetic alloy powder, an electronic component, and a method of manufacturing the same.

최근 전원 회로에서 사용되는 파워 인덕터로서는 소형화·저배화(低背化)의 요구로부터 대전류·고주파수로 사용할 수 있는 연자성 재료가 요구되고 있다. 종래 인덕터의 주재료로서 산화물인 페라이트계 재료가 사용되어 왔지만 포화 자화가 낮기 때문에 소형화에는 불리하다. 그래서, 최근에는 포화 자화가 높고 소형·저배화에 유리한 합금계 재료를 사용한 메탈 인덕터가 급증하고 있다. 메탈 인덕터에는 철을 주재료로 한 연자성 합금 분말이 이용되고 연자성 합금 분말과 수지를 혼합하여 압축 성형한 압분 자심 등이 알려져 있다.As power inductors used in power supply circuits in recent years, soft magnetic materials that can be used at high currents and high frequencies have been demanded from the demand for miniaturization and reduction in power. Conventionally, a ferritic material, which is an oxide, has been used as the main material of the inductor, but it is disadvantageous for miniaturization because of low saturation magnetization. Therefore, in recent years, the number of metal inductors using alloy-based materials having high saturation magnetization and advantageous for miniaturization and reduction in size has increased rapidly. As a metal inductor, a soft magnetic alloy powder made of iron as a main material is used, and a powdered magnetic core formed by compression molding by mixing a soft magnetic alloy powder and a resin is known.

에너지 문제에 대한 관심이 높아지는 가운데 자동차의 전동화나 일렉트로닉스의 전력 절약화가 추진되고 있고, 보다 소형화가 가능하며 에너지 손실이 적은 압분 자심이 요구되고 있다. 구체적으로 일례를 들면 자동차에서의 높은 환경 성능이나 운전 성능을 실현하기 위한 제어의 고도화에 대응하기 위해 모터나 솔레노이드 등의 액추에이터에 ECU(Electronic Control Unit)를 실장하는 「기전 일체화」에 동반하여 보다 고온 환경인 엔진 룸 등에 ECU를 설치하고자 한다는 요구가 높아지고 있고, 보다 고온 환경에서 사용 가능한 ECU용의 압분 자심이 요구되고 있다.Amid increasing interest in energy issues, electrification of automobiles and power savings in electronics are being promoted, and a compact core with less energy loss is required. Specifically, for example, in order to cope with the advanced control for realizing high environmental performance and driving performance in automobiles, higher temperatures are accompanied by ``mechanism integration'' that mounts ECUs (Electronic Control Units) on actuators such as motors and solenoids. There is a growing demand to install an ECU in the engine room, which is an environment, and there is a demand for a powder core for ECU that can be used in a higher temperature environment.

기존의 연자성 합금 분말을 이용한 압분 자심 등의 전자 부품은 온도의 상승과 함께 코어 손실이 증대하는 것, 사용시에서의 코어 손실에 의한 발열에 의해 코어 자체의 온도가 상승하는 것이 알려져 있다. 이 온도 상승에 의해 코어 손실이 증대하여 발열이 커지고, 이를 반복함으로써 열 폭주를 일으키는 경우가 있다. 이 때문에 고온 영역에서의 철손(鐵損, core loss)의 온도 특성을 개선하는 것이 검토되어 있다. 예를 들어 특허문헌 1에는 특정의 조성을 갖는 Fe-Si-Al계 합금 분말을 가압 성형하여 얻어진 성형체에 열처리를 행하는 것, 특허문헌 2에는 특정의 조성을 갖는 Fe-Si-Al계 합금 분말의 표면에 절연 피막을 형성한 연자성 합금 분말이 기재되어 있다. 그러나, Fe-Si-Al계 합금 분말은 딱딱하고 소성 변형성이 부족하기 때문에 고밀도 성형이 곤란하며, 전자 부품의 소형화에 유리한 높은 포화 자속 밀도를 얻는 것이 곤란하였다.It is known that in conventional electronic components such as a powdered magnetic core using soft magnetic alloy powder, the core loss increases as the temperature rises, and the temperature of the core itself increases due to heat generated by the core loss during use. Due to this temperature increase, core loss increases and heat generation increases, and thermal runaway may occur by repeating this. For this reason, it has been studied to improve the temperature characteristics of core loss in a high temperature region. For example, in Patent Document 1, heat treatment is performed on a molded article obtained by press-molding an Fe-Si-Al alloy powder having a specific composition, and Patent Document 2 discloses that the surface of an Fe-Si-Al alloy powder having a specific composition is applied. A soft magnetic alloy powder formed with an insulating film is described. However, since the Fe-Si-Al alloy powder is hard and lacks plastic deformability, high-density molding is difficult, and it is difficult to obtain a high saturation magnetic flux density advantageous for miniaturization of electronic parts.

특허문헌 1: 국제공개공보 2011/016207호Patent Document 1: International Publication No. 2011/016207 특허문헌 2: 일본공개특허 2012-9825호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2012-9825

본 발명은 전자 부품을 소형화할 수 있고, 또한 고온 환경에서의 사용을 가능하게 하는 연자성 합금 분말을 제공하는 것, 나아가 전자 부품을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a soft magnetic alloy powder capable of miniaturizing an electronic component and enabling use in a high temperature environment, and further to provide an electronic component.

본 발명자들은 여러 가지 연구를 행한 결과, 높은 포화 자속 밀도 및 음의 철손 온도 특성을 갖는 Fe-Si-Al계 합금의 조성을 발견하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다.As a result of conducting various studies, the present inventors have found a composition of an Fe-Si-Al alloy having a high saturation magnetic flux density and negative iron loss temperature characteristics, and have come to complete the present invention.

즉, 본 발명은 Si≥2중량%, Al≥1중량% 및 Si+Al≤12중량%의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물인 연자성 합금 분말이다.That is, the present invention contains Si and Al in an amount satisfying the relationship of Si≥2% by weight, Al≥1% by weight and Si+Al≤12% by weight, and the balance is Fe and inevitable impurities soft magnetic alloy powder to be.

본 발명의 일 태양에 의하면 25℃ 내지 120℃에서 음의 철손 온도 특성을 갖는, 상기 연자성 합금 분말이 제공된다.According to an aspect of the present invention, the soft magnetic alloy powder is provided having a negative iron loss temperature characteristic at 25°C to 120°C.

본 발명의 일 태양에 의하면 Si≥3.5중량%, Al≥2.5중량% 및 Si+Al≤12중량%의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함하는, 상기 연자성 합금 분말이 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided the soft magnetic alloy powder containing Si and Al in an amount satisfying the relationship of Si≥3.5% by weight, Al≥2.5% by weight, and Si+Al≤12% by weight.

본 발명의 일 태양에 의하면 120℃ 내지 150℃에서 음의 철손 온도 특성을 갖는, 상기 연자성 합금 분말이 제공된다.According to an aspect of the present invention, the soft magnetic alloy powder is provided having a negative iron loss temperature characteristic at 120°C to 150°C.

본 발명의 일 태양에 의하면 입경(D50)이 1~50μm인, 상기 연자성 합금 분말이 제공된다.According to an aspect of the present invention, the soft magnetic alloy powder having a particle diameter (D50) of 1 to 50 μm is provided.

본 발명의 일 태양에 의하면 상기 연자성 합금 분말을 포함하는 전자 부품이 제공된다.According to an aspect of the present invention, an electronic component including the soft magnetic alloy powder is provided.

본 발명의 일 태양에 의하면 압분 자심, 전자파 흡수 실드 또는 전자파 흡수체인, 상기 전자 부품이 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided the electronic component, which is a powdered magnetic core, an electromagnetic wave absorbing shield, or an electromagnetic wave absorber.

본 발명의 일 태양에 의하면 상기 연자성 합금 분말의 표면에 피막을 형성하여 조립(造粒) 분말을 얻는 공정, 조립 분말을 가압 성형하여 성형체를 얻는 공정 및 성형체를 550℃ 내지 950℃의 온도로 열처리하는 공정을 포함하는 전자 부품의 제조 방법이 제공된다.According to an aspect of the present invention, a step of forming a film on the surface of the soft magnetic alloy powder to obtain a granulated powder, a step of pressing the granulated powder to obtain a molded body, and a molded body at a temperature of 550°C to 950°C. A method of manufacturing an electronic component including a step of performing heat treatment is provided.

본 발명의 일 태양에 의하면 상기 연자성 합금 분말의 표면에 피막을 형성하여 조립 분말을 얻는 공정, 조립 분말을 사출 성형하여 성형체를 얻는 공정 및 성형체를 550℃ 내지 950℃의 온도로 열처리하는 공정을 포함하는 전자 부품의 제조 방법이 제공된다.According to one aspect of the present invention, a step of forming a film on the surface of the soft magnetic alloy powder to obtain a granulated powder, a step of obtaining a molded body by injection molding the granulated powder, and a heat treatment of the molded body at a temperature of 550°C to 950°C are provided. A method of manufacturing an electronic component to be included is provided.

본 발명은 전자 부품을 소형화할 수 있고, 또한 고온 환경에서의 사용을 가능하게 하는 연자성 합금 분말을 제공할 수 있다.The present invention can downsize electronic components and also provide a soft magnetic alloy powder that enables use in a high temperature environment.

이하, 본 발명의 일 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 본 발명은 이하의 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위에서 적절히 변경을 가하여 실시할 수 있다. 또, 이하의 설명에서 「A~B」는 「A 이상 B 이하」를 의미한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail. The present invention is not limited to the following embodiments, and can be carried out with appropriate changes within the range not impairing the effects of the present invention. In addition, in the following description, "A to B" means "A or more and B or less."

본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말은 Si≥2중량%, Al≥1중량% 및 Si+Al≤12중량%의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물이다. 본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말은 바람직하게는 Si≥3.5중량%, Al≥2.5중량% 및 Si+Al≤12중량%의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함한다. 상기의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함함으로써 연자성 합금 분말의 포화 자속 밀도(Bs) 및 투자율이 향상된다. 이 효과에 의해 본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말은 전자 부품의 소형화에 유리하다.The soft magnetic alloy powder according to this embodiment contains Si and Al in an amount satisfying the relationship of Si≥2% by weight, Al≥1% by weight, and Si+Al≤12% by weight, and the balance is Fe and inevitable impurities. to be. The soft magnetic alloy powder according to the present embodiment preferably contains Si and Al in an amount satisfying the relationship of Si≥3.5% by weight, Al≥2.5% by weight, and Si+Al≤12% by weight. By including Si and Al in an amount satisfying the above relationship, the saturation magnetic flux density (Bs) and permeability of the soft magnetic alloy powder are improved. Due to this effect, the soft magnetic alloy powder according to the present embodiment is advantageous for miniaturization of electronic components.

<그 밖의 원소><Other elements>

본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말은 불가피적 불순물로서 N, S, O 등의 원소를 목적으로 하는 특성에 영향을 주지 않을 정도로 포함할 수 있다.The soft magnetic alloy powder according to the present embodiment may contain elements such as N, S, O, etc. as unavoidable impurities to an extent that does not affect target properties.

나아가 상기의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물인 연자성 합금 분말은 25℃ 내지 120℃에서 음의 철손 온도 특성을 가진다. Si≥3.5중량%, Al≥2.5중량% 및 Si+Al≤12중량%의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함하는 본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말은 추가로 120℃ 내지 150℃에서도 음의 철손 온도 특성을 가진다.Further, the soft magnetic alloy powder containing positive Si and Al that satisfies the above relationship, the balance being Fe and inevitable impurities, has a negative iron loss temperature characteristic at 25°C to 120°C. The soft magnetic alloy powder according to the present embodiment containing Si and Al in an amount satisfying the relationship of Si≥3.5% by weight, Al≥2.5% by weight, and Si+Al≤12% by weight is further added at 120°C to 150°C. It has a negative iron loss temperature characteristic.

[음의 철손 온도 특성][Negative iron loss temperature characteristics]

음의 철손 온도 특성이란 연자성 합금 분말의 철손이 온도에 대해 음의 계수를 갖는, 즉 연자성 합금 분말의 철손이 온도의 상승과 함께 저하되는 특성을 의미한다. 음의 철손 온도 특성을 갖는 본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말은 온도의 상승과 함께 코어 손실이 저하되기 때문에 사용시에서의 코어 손실에 의한 발열에 의한 코어 자체의 온도의 상승이 억제되고, 종래 곤란하였던 고온 환경하에서 사용되는 압분 자심 등의 전자 부품의 재료로서 적합한 특성을 가지고 있다. 본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말이 음의 철손 온도 특성을 갖는 것은 조성에 따라 결정되는 자왜 상수가 양의 값을 갖는 것에 의한 것으로 생각된다.The negative iron loss temperature characteristic refers to a characteristic in which the iron loss of the soft magnetic alloy powder has a negative coefficient with respect to temperature, that is, the iron loss of the soft magnetic alloy powder decreases with an increase in temperature. In the soft magnetic alloy powder according to the present embodiment having negative iron loss temperature characteristics, since the core loss decreases with the increase in temperature, the increase in the temperature of the core itself due to heat generation due to the core loss during use is suppressed. It has properties suitable as a material for electronic components such as a powder core used in a high-temperature environment. It is believed that the reason why the soft magnetic alloy powder according to the present embodiment has a negative iron loss temperature characteristic is that the magnetostriction constant determined according to the composition has a positive value.

본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말은 입경(D50)이 1~50μm인 것이 바람직하다. 「입경」이란 메디안 지름: D50을 의미하고, 종래 공지의 방법, 예를 들어 레이저 회절·산란법에 의해 측정되는 것이다. 상술한 연자성 합금 분말의 포화 자속 밀도(Bs), 투자율 및 음의 철손 온도 특성에 관한 효과는 폭넓은 입경을 갖는 연자성 합금 분말에서 얻어지는데, 입경(D50)이 1~50μm, 바람직하게는 2~40μm, 보다 바람직하게는 2.5~35μm, 더욱 바람직하게는 3~30μm임으로써 특히 높은 효과를 얻을 수 있다.It is preferable that the soft magnetic alloy powder according to the present embodiment has a particle diameter (D50) of 1 to 50 μm. The "particle diameter" means a median diameter: D50, and is measured by a conventionally known method, for example, a laser diffraction/scattering method. The effect on the saturation magnetic flux density (Bs), permeability, and negative iron loss temperature characteristics of the soft magnetic alloy powder described above is obtained from the soft magnetic alloy powder having a wide particle diameter, and the particle diameter (D50) is 1 to 50 μm, preferably It is 2 to 40 μm, more preferably 2.5 to 35 μm, still more preferably 3 to 30 μm, so that a particularly high effect can be obtained.

[제조 방법][Manufacturing method]

본 실시형태에 관한 연자성 합금 분말은 금속 분말의 제조 방법으로서 이하에 예시하는 종래 공지의 방법에 의해 제조할 수 있지만, 본 실시형태의 조성을 가지면 상술한 자기 특성을 가지기 때문에 제조 방법은 특별히 한정되지 않는다.The soft magnetic alloy powder according to the present embodiment can be produced by a conventionally known method exemplified below as a method for producing a metal powder, but the production method is not particularly limited because it has the above-described magnetic properties if it has the composition of this embodiment. Does not.

·아토마이즈법: 물 아토마이즈법, 가스 아토마이즈법, 원심력 아토마이즈법 등・Atomization method: Water atomization method, gas atomization method, centrifugal force atomization method, etc.

·기계적 프로세스법: 분쇄법, 기계적 합금화(mechanical alloying)법 등Mechanical process method: grinding method, mechanical alloying method, etc.

·멜트 스피닝법·Melt spinning method

·회전 전해법(REP법): 플라즈마 REP법 등·Rotation electrolysis (REP method): Plasma REP method, etc.

·화학적 프로세스법: 산화물 환원법, 염화물 환원법, 습식 야금 기술, 카보닐 반응법 등Chemical process method: oxide reduction method, chloride reduction method, wet metallurgy technology, carbonyl reaction method, etc.

위에 예시한 제조 방법 중에서 특히 아토마이즈법은 소직경이고 구형의 연자성 합금 분말을 대기압하에서 양산할 수 있다. 그 중에서도 물 아토마이즈법을 채용하면 저가로 제조할 수 있다.Among the manufacturing methods exemplified above, in particular, the atomization method is capable of mass-producing small-diameter and spherical soft magnetic alloy powder under atmospheric pressure. Among them, it can be manufactured at low cost by adopting the water atomization method.

물 아토마이즈법을 이용하여 연자성 합금 분말을 제조하는 경우, 원하는 조성으로 조정한 재료를 용해한 용탕에 대해 원하는 냉각 조건이나 입경이 되도록 파라미터를 설정한 고압의 물을 분무함으로써 용탕을 비산 및 응고시켜 분말을 얻을 수 있다. 그 후, 얻어진 분말을 건조, 분급하고, 필요에 따라 표면 처리를 행하여 목적으로 하는 연자성 합금 분말을 얻을 수 있다.In the case of producing soft magnetic alloy powder using the water atomization method, the molten metal is scattered and solidified by spraying high-pressure water with parameters set so that the desired cooling condition or particle diameter is applied to the molten metal in which the material adjusted to the desired composition is dissolved. You can get a powder. After that, the obtained powder is dried and classified, and if necessary, surface treatment is performed to obtain the target soft magnetic alloy powder.

본 실시형태에 관한 전자 부품은 상술한 연자성 합금 분말을 포함한다. 본 실시형태에 관한 전자 부품은 모터, 리액터, 트랜스 등 일반적으로 이용되고 있는 전자 부품뿐만 아니라 전자 밸브, 솔레노이드, 센서 등으로서 자동차 등의 수송기기 등 넓고 다양한 산업 분야에서 이용되는 전자 부품이다. 나아가 본 실시형태에 관한 전자 부품은 특정 주파수의 전자파를 흡수하는 목적으로 이용되는 전자파 흡수 실드나 전자파 흡수체이다.The electronic component according to the present embodiment contains the soft magnetic alloy powder described above. The electronic parts according to the present embodiment are not only electronic parts generally used such as motors, reactors, transformers, etc., but also electronic parts used in a wide variety of industrial fields such as transportation equipment such as automobiles as solenoid valves, solenoids, and sensors. Further, the electronic component according to the present embodiment is an electromagnetic wave absorption shield or electromagnetic wave absorber used for the purpose of absorbing electromagnetic waves of a specific frequency.

본 실시형태에 관한 전자 부품은 바람직하게는 압분 자심, 전자파 흡수 실드 또는 전자파 흡수체이다.The electronic component according to the present embodiment is preferably a powdered magnetic core, an electromagnetic wave absorbing shield, or an electromagnetic wave absorber.

본 실시형태에 관한 압분 자심, 전자파 흡수 실드 또는 전자파 흡수체는 상술한 연자성 합금 분말을 포함한다. 바람직하게는 본 실시형태에 관한 압분 자심은 절연성이나 성형 가공성을 부여하는 수지 등과 혼합되어 조립된 형태의 연자성 합금 분말을 포함한다. 바람직하게는 본 실시형태에 관한 전자파 흡수 실드는 연자성 합금 분말, 수지 및 잉크 등을 혼합하여 조제한 페이스트가 적어도 일부에 도포되어 있다. 바람직하게는 본 실시형태에 관한 전자파 흡수체는 연자성 합금 분말, 수지 및 고무 등을 혼합하여 원하는 두께로 성형 가공된 시트가 적어도 일부에 첩부되어 있다.The powdered magnetic core, electromagnetic wave absorbing shield, or electromagnetic wave absorber according to the present embodiment contains the soft magnetic alloy powder described above. Preferably, the green magnetic core according to the present embodiment contains a soft magnetic alloy powder in a granulated form mixed with a resin that imparts insulation or molding processability. Preferably, in the electromagnetic wave absorption shield according to the present embodiment, a paste prepared by mixing soft magnetic alloy powder, resin, ink, or the like is applied to at least a part of the paste. Preferably, in the electromagnetic wave absorber according to the present embodiment, a sheet formed by mixing soft magnetic alloy powder, resin, rubber, or the like to a desired thickness is affixed to at least a part of the sheet.

본 실시형태에 관한 전자 부품의 제조 방법은 상술한 연자성 합금 분말의 표면에 절연 피막을 형성하여 조립 분말을 얻는 공정, 조립 분말을 가압 성형하여 성형체를 얻는 공정 및 성형체를 550℃ 내지 950℃의 온도로 열처리하는 공정을 포함한다.The electronic component manufacturing method according to the present embodiment includes a step of forming an insulating film on the surface of the soft magnetic alloy powder described above to obtain a granulated powder, a step of pressing the granulated powder to obtain a molded article, and a molded article having a temperature of 550°C to 950°C. It includes a process of heat treatment at a temperature.

열처리하는 공정에서의 온도는 550℃ 내지 950℃, 바람직하게는 600℃ 내지 900℃로 하는 것이 바람직하다. 또한, 가열 시간은 30분 내지 2시간 정도로 하는 것이 바람직하다. 열처리 전의 성형체를 구성하는 연자성 합금 분말에는 가압 성형에 의해 투자율 저하, 철손의 요인 중 하나인 히스테리시스 손실 증대의 원인이 되는 변형이 도입되어 있고, 상기의 조건으로 성형체를 열처리함으로써 변형을 충분히 제거할 수 있다. 열처리는 질소 분위기 등의 비활성 가스 분위기 또는 감압 분위기에서 행하는 것이 바람직하다.The temperature in the heat treatment process is preferably 550°C to 950°C, preferably 600°C to 900°C. In addition, the heating time is preferably about 30 minutes to 2 hours. The soft magnetic alloy powder constituting the molded body before heat treatment has a deformation that causes a decrease in permeability and an increase in hysteresis loss, which is one of the factors of iron loss, due to pressure molding, and the deformation can be sufficiently removed by heat treating the molded body under the above conditions. I can. The heat treatment is preferably performed in an inert gas atmosphere such as a nitrogen atmosphere or a reduced pressure atmosphere.

본 실시형태에 관한 전자 부품의 제조 방법은 상술한 연자성 합금 분말의 표면에 절연 피막을 형성하여 조립 분말을 얻는 공정, 조립 분말을 사출 성형하여 성형체를 얻는 공정 및 성형체를 550℃ 내지 950℃의 온도로 열처리하는 공정을 포함한다.The electronic component manufacturing method according to the present embodiment includes a step of forming an insulating film on the surface of the soft magnetic alloy powder described above to obtain a granulated powder, a step of injection molding the granulated powder to obtain a molded article, and a molded article at 550°C to 950°C. It includes a process of heat treatment at a temperature.

열처리하는 공정에서의 온도는 550℃ 내지 950℃, 바람직하게는 600℃ 내지 900℃로 하는 것이 바람직하다. 또한, 가열 시간은 30분 내지 2시간 정도로 하는 것이 바람직하다. 사출 성형에 의해 고정밀도로 복잡한 형상으로 성형 가공할 수 있다.The temperature in the heat treatment process is preferably 550°C to 950°C, preferably 600°C to 900°C. In addition, the heating time is preferably about 30 minutes to 2 hours. By injection molding, it can be molded into a complex shape with high precision.

성형 가공 후에 필요에 따라 탈지, 열처리 등을 행하여 원하는 형상, 특성을 갖는 전자 부품을 얻을 수 있다.After the molding process, if necessary, degreasing, heat treatment, or the like is performed to obtain an electronic component having a desired shape and characteristics.

실시예Example

이하에 본 발명의 실시예를 나타낸다. 본 발명의 내용은 이들 실시예에 의해 한정하여 해석되는 것은 아니다.Examples of the present invention are shown below. The content of the present invention is not interpreted as being limited by these examples.

[연자성 합금 분말의 제조][Production of soft magnetic alloy powder]

표 1에 나타나는 각 조성으로 조정한 재료를 고주파 유도로에서 용해하고, 물 아토마이즈법을 이용하여 연자성 합금 분말을 얻었다. 물 아토마이즈법의 조건은 이하와 같다.The material adjusted to each composition shown in Table 1 was dissolved in a high-frequency induction furnace, and a soft magnetic alloy powder was obtained using a water atomization method. The conditions of the water atomization method are as follows.

<물 아토마이즈 조건><Water atomization conditions>

·수압: 100MPaWater pressure: 100 MPa

·수량: 100L/분·Quantity: 100L/min

·수온: 20℃·Water temperature: 20℃

·오리피스 지름: φ4mm·Orifice diameter: φ4mm

·용탕 온도: 1800℃·Melt temperature: 1800℃

얻어진 연자성 합금 분말을 진동 진공 건조기(VU-60: 추오카코키 제품)에 의해 건조시켰다. 건조 조건은 이하와 같다.The obtained soft magnetic alloy powder was dried with a vibration vacuum dryer (VU-60: manufactured by Chuokakoki). Drying conditions are as follows.

<건조 조건><Drying conditions>

·온도 100℃·Temperature 100℃

·압력 10kPa 이하Pressure 10 kPa or less

·시간 60분・Time 60 minutes

건조 후의 연자성 합금 분말의 조성에 대한 정량 분석을 ICP 발광 분석 장치〔SPS3500DD: 히타치 하이테크 사이언스 제품〕로 행하였다.Quantitative analysis of the composition of the soft magnetic alloy powder after drying was performed with an ICP emission analyzer [SPS3500DD: manufactured by Hitachi High-Tech Science].

건조 후의 연자성 합금 분말을 기류 분급 장치(터보 클래시파이어: 닛신 엔지니어링 제품)에 의해 분급하여 목적으로 하는 연자성 합금 분말을 얻었다. 얻어진 연자성 합금 분말의 입경(D50)은 습식 입도 분석 장치〔MT3300EX II: 마이크로트랙-벨 제품〕를 이용하여 측정하였다.The soft magnetic alloy powder after drying was classified by an air classifier (turbo classifier: manufactured by Nissin Engineering) to obtain the target soft magnetic alloy powder. The particle diameter (D50) of the obtained soft magnetic alloy powder was measured using a wet particle size analyzer [MT3300EX II: Microtrac-Bell product].

[시료의 제작][Preparation of sample]

상술한 바와 같이 제조한 각 연자성 합금 분말을 실리콘 수지 및 아크릴 수지와 혼합하여 조립 분말을 제조하였다. 연자성 합금 분말과 실리콘 수지 및 아크릴 수지의 배합량은 중량비로 연자성 합금 분말 : 실리콘 수지 : 아크릴 수지=98.5:0.5:1.0이었다.Each soft magnetic alloy powder prepared as described above was mixed with a silicone resin and an acrylic resin to prepare a granulated powder. The blending amount of the soft magnetic alloy powder, the silicone resin, and the acrylic resin was soft magnetic alloy powder: silicone resin: acrylic resin = 98.5:0.5:1.0 by weight.

각 조립 분말을 링형상으로 압분 성형(성형 압력: 980MPa)하여 압분 자심(외경: 15mm, 내경: 9mm, 두께: 3mm)을 제작하고, 표 1에 나타나는 코어 소성 온도로 열처리를 행하였다.Each granulated powder was compacted into a ring shape (molding pressure: 980 MPa) to prepare a compact magnetic core (outer diameter: 15 mm, inner diameter: 9 mm, thickness: 3 mm), and heat treatment was performed at the core firing temperature shown in Table 1.

각 압분 자심에 대해 이하의 평가를 행하였다.The following evaluation was performed about each green powder core.

[평가 항목][Evaluation items]

1. 코어 충전율1. Core filling rate

각 압분 자심의 중량과 외형 치수로부터 코어 충전율을 구하였다.The core filling rate was calculated from the weight and external dimensions of each green powder core.

2. 자기 특성2. Magnetic properties

2-1. 포화 자화2-1. Saturation magnetization

시료 진동형 자력계〔형번 VSM-C7-10A: 토에이 코교 주식회사 제품〕를 이용하여 각 압분 자심의 자화 곡선으로부터 포화 자화값(Bs)을 측정하였다.Using a sample vibration type magnetometer [model number VSM-C7-10A: manufactured by Toei Kogyo Co., Ltd.], the saturation magnetization value (Bs) was measured from the magnetization curve of the magnetic core of each green powder.

2-2. 투자율, 철손2-2. Permeability, iron loss

압분 자심에 선직경: 0.3mm의 구리선을 바이파일러 감기 한 토로이달 코어를 제작하여 평가 시료로 하였다. BH 애널라이저〔SY8258: 이와츠 계측 제품〕를 이용하여 측정 주파수: 100kHz, 최대 자속 밀도: 100mT의 조건으로 25℃ 내지 150℃의 온도 범위에서 투자율 및 철손을 측정하였다.A toroidal core in which a copper wire having a wire diameter: 0.3 mm was wound on a powdered magnetic core was manufactured as a test sample. Permeability and iron loss were measured in a temperature range of 25° C. to 150° C. under conditions of a measurement frequency: 100 kHz and a maximum magnetic flux density: 100 mT using a BH analyzer [SY8258: manufactured by Iwatsu Measurement].

[평가 결과][Evaluation results]

평가 결과를 표 1에 나타낸다.Table 1 shows the evaluation results.

표 1 중의 「소형화 기여」에서의 ◎, ○ 등의 기호는 포화 자화값(Bs)이 1.1T(테슬라) 미만인 경우가 ×, 1.1T(테슬라) 이상 1.4T(테슬라) 미만인 경우가 △, 1.4T(테슬라) 이상 1.6T(테슬라) 미만인 경우가 ○, 1.6T 이상인 경우가 ◎인 것을 의미한다.Symbols such as ◎ and ○ in ``contribution to miniaturization'' in Table 1 indicate △, 1.4 when the saturation magnetization value (Bs) is less than 1.1T (Tesla) and less than 1.1T (Tesla) and less than 1.4T (Tesla). A case of T (Tesla) or more and less than 1.6T (Tesla) is ○, and a case of 1.6T or more is ◎.

표 1 중의 「온도 특성」에서의 ◎, ○ 등의 기호는 온도 상승에 동반하여 철손이 상승한 경우가 ×, 25℃ 내지 120℃의 온도 영역에서 음의 철손 온도 특성을 가지지만 120℃를 초과한 온도 영역에서 철손이 상승한 경우가 △, 120℃ 내지 150℃의 온도 영역에서 음의 철손 온도 특성을 갖는 경우가 ○, 120℃ 내지 150℃의 온도 영역에서 음의 철손 온도 특성을 가지며, 또한 25℃와 150℃에서의 철손을 비교하여 20% 이상 철손이 저감된 경우가 ◎인 것을 의미한다.Symbols such as ◎ and ○ in "Temperature Characteristics" in Table 1 indicate that when the iron loss increases with temperature increase, it has negative iron loss temperature characteristics in the temperature range of 25℃ to 120℃, but exceeds 120℃. When the iron loss rises in the temperature range △, the case has negative iron loss temperature characteristics in the temperature range of 120°C to 150°C ○, the case has negative iron loss temperature characteristics in the temperature range 120°C to 150°C, and also 25°C It means that the case where the iron loss is reduced by 20% or more by comparing the iron loss at 150℃ is ◎.

표 1 중의 「자기 특성」에서의 ◎, ○ 등의 기호는Symbols such as ◎ and ○ in "magnetic properties" in Table 1 are

1) 25℃에서의 투자율이 60 이상 및1) The permeability at 25℃ is more than 60 and

2) 25℃에서의 철손이 800kw/㎥ 이하2) Iron loss at 25℃ below 800kw/㎥

의 조건 중 둘 다를 만족시키지 않는 경우가 ×, 어느 하나를 만족시키는 경우가 △, 둘 다를 만족시키는 경우가 ○이며,If neither of the conditions of is satisfied is ×, the case of satisfying either is △, and the case of satisfying both is ○,

1) 25℃에서의 투자율이 60 이상 및1) The permeability at 25℃ is more than 60 and

2) 25℃에서의 철손이 650kw/㎥ 이하2) Iron loss at 25℃ is less than 650kw/㎥

의 조건 둘 다를 만족시키는 경우가 ◎인 것을 의미한다.It means that the case of satisfying both of the conditions of is ◎.

Figure pat00001
Figure pat00001

표 1에 나타나는 바와 같이, 실시예에 관한 연자성 합금 분말을 이용한 압분 자심은 비교예에 관한 연자성 합금 분말(이른바 센더스트로서 알려진 기존의 Fe-Si-Al계 합금)을 이용한 압분 자심에 비해 놀랍게도 동일한 Fe-Si-Al계 합금 분말임에도 불구하고 높은 포화 자화값을 가지고 있고 코어 충전율도 향상되어 있다. 즉, 본 발명의 연자성 합금 분말은 고밀도 성형이 가능하고, 높은 포화 자속 밀도가 얻어지기 때문에 압분 자심의 소형화에 대해 우수한 특성을 가진다.As shown in Table 1, the powdered magnetic core using the soft magnetic alloy powder according to the Example was compared to the powdered magnetic core using the soft magnetic alloy powder (a conventional Fe-Si-Al alloy known as Sendust) according to the comparative example. Surprisingly, despite the same Fe-Si-Al alloy powder, it has a high saturation magnetization value and an improved core filling rate. That is, since the soft magnetic alloy powder of the present invention can be formed at high density and obtain a high saturation magnetic flux density, it has excellent characteristics for miniaturization of the powdered magnetic core.

나아가 실시예에 관한 연자성 합금 분말을 이용한 압분 자심은 놀랍게도 25℃ 내지 120℃의 온도 영역뿐만 아니라 120℃ 내지 150℃의 매우 높은 온도 영역에서도 음의 철손 온도 특성을 가진다. 즉, 본 발명의 연자성 합금 분말은 고온 환경하에서 사용 가능한 압분 자심의 재료 등으로서 우수한 특성을 가진다.Further, the powdered magnetic core using the soft magnetic alloy powder according to the embodiment surprisingly has a negative iron loss temperature characteristic not only in a temperature range of 25°C to 120°C, but also in a very high temperature range of 120°C to 150°C. That is, the soft magnetic alloy powder of the present invention has excellent properties as a material for a compact magnetic core that can be used in a high temperature environment.

표 1에 나타나는 바와 같이, 본 발명은 분말의 입경(D50)에 의존하지 않고 상술한 효과를 나타내고 있는 것을 알 수 있다.As shown in Table 1, it can be seen that the present invention exhibits the above-described effects without depending on the particle diameter (D50) of the powder.

이상과 같이 본 발명의 연자성 합금 분말은 압분 자심의 소형화 및 고온 환경에서의 사용을 가능하게 하는 우수한 특성을 갖는 것이다.As described above, the soft magnetic alloy powder of the present invention has excellent properties that allow the compact magnetic core to be compacted and used in a high temperature environment.

(변형예)(Modification example)

상기 실시예에서는 일 실시형태의 연자성 합금 분말을 이용한 전자 부품으로서 가압 성형에 의해 제조한 압분 자심을 예로 설명하였지만, 일 실시형태는 이 예시에 한정되지 않는다. 예를 들어 사출 성형에 의해 제조되는 전자 부품이다. 음의 철손 온도 특성을 갖는 본 발명의 연자성 합금 분말이 이용되고 있는 전자 부품이 고온 환경하에서 적합하게 사용 가능한 것은 상기 실시예의 결과에서도 명백하다.In the above examples, a powdered magnetic core manufactured by pressure molding as an electronic component using the soft magnetic alloy powder of one embodiment has been described as an example, but one embodiment is not limited to this example. For example, it is an electronic component manufactured by injection molding. It is also clear from the results of the above examples that the electronic component in which the soft magnetic alloy powder of the present invention having negative iron loss temperature characteristics is used can be suitably used in a high temperature environment.

일 실시형태의 전자 부품의 다른 예시로서 전자파 흡수 실드나 전자파 흡수체를 들 수 있다. 전자파 흡수 실드는 특정 주파수의 전자파를 커트하는 목적으로 이용되는 것으로, 예를 들어 휴대전화 등의 모바일 기기의 케이스 등에 설치된다. 전자파 흡수 실드는 자성 분말, 수지 및 잉크 등을 목적으로 하는 특성이 얻어지도록 조제, 혼합시켜 페이스트로 하고, 이 페이스트를 적응 개소에 도포함으로써 얻을 수 있다. 또, 페이스트를 제작할 때에는 자성 분말의 분산을 촉진하기 위해 진공 탈포를 행해도 된다.As another example of the electronic component of one embodiment, an electromagnetic wave absorbing shield and an electromagnetic wave absorber are mentioned. The electromagnetic wave absorption shield is used for the purpose of cutting electromagnetic waves of a specific frequency, and is installed, for example, in a case of a mobile device such as a mobile phone. The electromagnetic wave-absorbing shield can be obtained by preparing and mixing magnetic powder, resin, ink, and the like so as to obtain desired properties to form a paste, and then applying the paste to an adapted location. In addition, when producing a paste, vacuum defoaming may be performed in order to promote dispersion of the magnetic powder.

전자파 흡수체는 특정 주파수의 전자파를 커트하는 목적으로 이용되는 것으로, 예를 들어 ETC(전자 요금 징수 시스템)의 게이트나 EMC 시험 등에서 이용하는 전파 암실에서 사용되고 있다. 전자파 흡수체는 자성 분말, 수지 및 고무를 목적으로 하는 특성이 얻어지도록 조제, 혼합시켜 시트형상으로 성형하고, 이 시트를 적응 개소에 첩부함으로써 얻을 수 있다.The electromagnetic wave absorber is used for the purpose of cutting electromagnetic waves of a specific frequency, and is used, for example, in a radio wave darkroom used in a gate of an ETC (electronic toll collection system) or an EMC test. The electromagnetic wave absorber can be obtained by preparing and mixing magnetic powder, resin, and rubber so as to obtain desired properties, forming a sheet shape, and attaching this sheet to an adaptation site.

Claims (9)

Si≥2중량%, Al≥1중량% 및 Si+Al≤12중량%의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물인 연자성 합금 분말.A soft magnetic alloy powder containing Si and Al in an amount satisfying the relationship of Si≥2% by weight, Al≥1% by weight, and Si+Al≤12% by weight, the balance being Fe and unavoidable impurities. 청구항 1에 있어서,
25℃ 내지 120℃에서 음의 철손 온도 특성을 갖는 연자성 합금 분말.
The method according to claim 1,
Soft magnetic alloy powder having a negative iron loss temperature characteristic at 25 ℃ to 120 ℃.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
Si≥3.5중량%, Al≥2.5중량% 및 Si+Al≤12중량%의 관계를 만족시키는 양의 Si 및 Al을 포함하는 연자성 합금 분말.
The method according to claim 1 or 2,
A soft magnetic alloy powder containing Si and Al in an amount satisfying the relationship of Si≥3.5% by weight, Al≥2.5% by weight, and Si+Al≤12% by weight.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
120℃ 내지 150℃에서 음의 철손 온도 특성을 갖는 연자성 합금 분말.
The method according to any one of claims 1 to 3,
Soft magnetic alloy powder having a negative iron loss temperature characteristic at 120 ℃ to 150 ℃.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
입경(D50)이 1~50μm인 연자성 합금 분말.
The method according to any one of claims 1 to 4,
Soft magnetic alloy powder with a particle diameter (D50) of 1 to 50 μm.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 연자성 합금 분말을 포함하는 전자 부품.An electronic component containing the soft magnetic alloy powder according to any one of claims 1 to 5. 청구항 6에 있어서,
압분 자심, 전자파 흡수 실드 또는 전자파 흡수체인 전자 부품.
The method of claim 6,
Electronic components that are powdered magnetic cores, electromagnetic wave absorbing shields, or electromagnetic wave absorbers.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 연자성 합금 분말의 표면에 피막을 형성하여 조립 분말을 얻는 공정,
조립 분말을 가압 성형하여 성형체를 얻는 공정 및
성형체를 550℃ 내지 950℃의 온도로 열처리하는 공정을 포함하는 전자 부품의 제조 방법.
A step of forming a film on the surface of the soft magnetic alloy powder according to any one of claims 1 to 5 to obtain a granulated powder,
The process of obtaining a molded body by pressing the granulated powder and
An electronic component manufacturing method comprising a step of heat-treating the molded body at a temperature of 550°C to 950°C.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 연자성 합금 분말의 표면에 피막을 형성하여 조립 분말을 얻는 공정,
조립 분말을 사출 성형하여 성형체를 얻는 공정 및
성형체를 550℃ 내지 950℃의 온도로 열처리하는 공정을 포함하는 전자 부품의 제조 방법.
A step of forming a film on the surface of the soft magnetic alloy powder according to any one of claims 1 to 5 to obtain a granulated powder,
The process of obtaining a molded body by injection molding granulated powder and
An electronic component manufacturing method comprising a step of heat-treating the molded body at a temperature of 550°C to 950°C.
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