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KR20200072689A - 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리 - Google Patents

기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리 Download PDF

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KR20200072689A
KR20200072689A KR1020180160544A KR20180160544A KR20200072689A KR 20200072689 A KR20200072689 A KR 20200072689A KR 1020180160544 A KR1020180160544 A KR 1020180160544A KR 20180160544 A KR20180160544 A KR 20180160544A KR 20200072689 A KR20200072689 A KR 20200072689A
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KR
South Korea
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stage
distance
axis
load port
processing system
Prior art date
Application number
KR1020180160544A
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English (en)
Inventor
최정훈
박종오
김남수
김용원
Original Assignee
주식회사 원익아이피에스
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Publication date
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Abstract

본 발명은 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)의 로드 포트(Load port) 등의 반도체 장비에서 카세트를 정렬시킬 수 있는 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리에 관한 것으로서, 도어부가 형성된 지지 프레임; 상기 도어부 부근에 수평 결합되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 설치되고, 스테이지 구동부에 의해 구동되는 스테이지; 상기 스테이지에 설치되고, 웨이퍼 카세트의 하면을 지지하며, 리프트 핀 구동부에 의해 구동되는 복수개의 리프트 핀; 상기 도어부의 둘레를 따라 상기 지지 프레임에 설치되고, 상기 지지 프레임으로부터 상기 웨이퍼 카세트까지의 거리를 측정하는 복수개의 거리 측정 센서; 및 상기 거리 측정 센서들로부터 입력된 거리 정보를 이용하여 상기 지지 프레임으로부터 상기 웨이퍼 카세트까지의 거리가 설정값을 유지하도록 상기 스테이지 구동부 및 상기 리프트 핀 구동부를 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리{Load port assembly of substrate processing system}
본 발명은 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리에 관한 것으로서, 더 상세하게는 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)의 로드 포트(Load port) 등의 반도체 장비에서 카세트를 정렬시킬 수 있는 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는, 기판인 웨이퍼 상에 여러 가지 물질을 박막 형태로 증착하고 이를 패터닝하여 구현되는데, 이를 위하여 증착공정, 식각공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정이 요구된다.
이러한 단계를 수행하기 위하여 웨이퍼를 이송하는 장치가 널리 쓰이고 있다. 그 중 로드 포트(Load port)는 카세트에 담긴 웨이퍼를 반도체 이송장비의 일종인 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)에 공급하기 위하여 널리 사용되고 있다.
로드 포트에 고장이 발생하면 웨이퍼를 공급할 수 없는 상황이 발생해 생산 라인을 멈춰야 하며, 이런 상황이 발생되면 생산량에 막대한 피해를 입게 된다.
이를 방지하기 위하여 여분의 로드 포트를 구비 한 뒤 고장이 발생하면 바로 교체하여 생산 라인을 다시 가동시킬 수도 있다. 하지만 로드 포트를 장착하는 데도 상당한 시간이 발생한다는 문제점이 있다.
또한, 카세트를 로드 포트에 장착 할 때에는 카세트가 스테이지에 완벽히 밀착되어야 하며 카세트가 스테이지 상에서 기울어짐 없이 반드시 수평을 이루어야 원활하게 웨이퍼가 공급될 수 있다.
그러나, 종래의 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리는, 스테이지에 안착된 카세트를 정밀하게 정렬시킬 수가 없어서 원활한 웨이퍼 이송이 어려워지는 문제점이 있었다.
특히, 일반적으로 카세트를 이송 할 때는 작업자가 카세트를 손수 들어서 옮기거나 바퀴가 달린 대차를 이용하거나 이송 로봇 등을 이용하고 있어서 그 과정에서 카세트의 밑면이 마모되거나 손상되거나 오염되어 정렬이 어려워지는 문제점이 있었다.
또한, 개구 통합형 포드(Front Opening Unified Pod;FOUP)의 종류에 따라서도 레벨 위치가 달라지기 때문에 작업자는 매번 장비를 재설정해야 하는 불편함이 있었다.
결국, 종래에는 작업자가 매번 수작업으로 스테이지를 강제 정렬시켜야 번거로움이 있었고, 수작업에 의존하기 때문에 정밀한 정렬 작업이 불가능하여 얼라인 미스 에러(Align Miss Error)가 빈번하게 발생되는 등 많은 문제점들이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 복수개의 거리 센서를 이용하여 카세트의 틀어짐을 정확하게 센싱할 수 있고, 이를 토대로 카세트의 상태 또는 포트의 종류가 달라지더라도 리프트 핀을 승하강시키는 모터가 자동으로 카세트의 위치를 정렬시킬 수 있어서 정밀한 정렬 작업이 가능하고, 수작업을 자동화하여 작업의 균일도와 신뢰도를 향상시킬 수 있으며, 시간과 인력을 절감하여 설비의 가동율을 증대시켜서 장비의 생산성을 크게 향상시킬 수 있게 하는 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나, 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리가 제공된다. 상기 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리는, 도어부가 형성된 지지 프레임; 상기 도어부 부근에 수평 결합되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 설치되고, 스테이지 구동부에 의해 구동되는 스테이지; 상기 스테이지에 설치되고, 웨이퍼 카세트의 하면을 지지하며, 리프트 핀 구동부에 의해 구동되는 복수개의 리프트 핀; 상기 도어부의 둘레를 따라 상기 지지 프레임에 설치되고, 상기 지지 프레임으로부터 상기 웨이퍼 카세트까지의 거리를 측정하는 복수개의 거리 측정 센서; 및 상기 거리 측정 센서들로부터 입력된 거리 정보를 이용하여 상기 지지 프레임으로부터 상기 웨이퍼 카세트까지의 거리가 설정값을 유지하도록 상기 스테이지 구동부 및 상기 리프트 핀 구동부를 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.
상기 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리에서, 상기 제어부는, 상기 웨이퍼 카세트를 상기 리프트 핀들 상에 얼라인할 수 있도록 상기 스테이지 구동부를 이용하여 상기 스테이지를 상기 도어부를 기준으로 좌우 방향인 X축 및 상기 도어부를 기준으로 전후 방향인 Y축으로 구동시키고, 상기 거리 정보가 동일하도록 상기 리프트 핀 구동부를 구동시키며, 상기 웨이퍼 카세트와 상기 지지 프레임 사이의 거리가 설정값으로 유지되도록 상기 스테이지 구동부를 이용하여 상기 스테이지를 상기 Y축으로 구동시킬 수 있다.
상기 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리에서, 상기 리프트 핀은 상기 웨이퍼 카세트의 하면을 삼각 지지할 수 있도록 상기 스테이지에 삼각 배치되는 좌측 핀, 우측 핀, 및 전방 핀으로 이루어지고, 각각은 리프트 핀 승하강 모터에 의해 승하강되고, 상기 스테이지 구동부는, 상기 스테이지가 X축 레일을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있도록 상기 스테이지를 X축 방향으로 이동시키는 X축 모터가 설치되는 X축 프레임; 및 상기 X축 프레임이 Y축 레일을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있도록 상기 X축 프레임과 결합되고, 상기 X축 프레임을 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 모터가 설치되는 Y축 프레임;을 포함할 수 있다.
상기 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리에서, 상기 거리 측정 센서는, 상기 웨이퍼 카세트의 측면 4군데의 거리를 각각 측정할 수 있도록 상기 도어부의 둘레를 따라 상기 지지 프레임에 사각 배치되는 상부 좌측 센서, 상부 우측 센서, 하부 좌측 센서 및 하부 우측 센서일 수 있다.
상기 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리에서, 상기 제어부는, 상기 상부 좌측 센서 또는 상부 우측 센서에서 측정된 상부 거리가 상기 하부 좌측 센서 또는 하부 우측 센서에서 측정된 하부 거리 보다 크면 이를 전방으로 기울어진 것으로 판단하여 각 리프트 핀을 상승 또는 하강시키도록 상기 리프트 핀 구동부를 제어할 수 있다.
상기 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리에서, 상기 제어부는, 상기 상부 우측 센서 또는 하부 우측 센서에서 측정된 우측 거리가 상기 상부 좌측 센서 또는 하부 좌측 센서에서 측정된 좌측 거리와 동일하도록 1차적으로 상기 리프트 핀 구동부를 제어하고, 상기 웨이퍼 카세트와 상기 지지 프레임 사이의 거리가 설정값으로 유지되도록 2차적으로 상기 스테이지 구동부를 제어할 수 있다.
상기와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송에 따르면, 복수개의 거리 센서를 이용하여 카세트의 틀어짐을 정확하게 센싱할 수 있고, 이를 토대로 카세트의 상태 또는 포트의 종류가 달라지더라도 복수개의 리프트 핀을 승하강시키는 모터들이 자동으로 카세트의 위치를 정렬시킬 수 있어서 정밀한 정렬 작업이 가능하고, 수작업을 자동화하여 작업의 균일도와 신뢰도를 향상시킬 수 있으며, 시간과 인력을 절감하여 설비의 가동율을 증대시켜서 장비의 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리의 스테이지를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리의 얼라인 이전 상태를 나타내는 개념도이다.
도 4는 도 3의 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리의 얼라인 이후 상태를 나타내는 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리(100)를 나타내는 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1의 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리(100)의 스테이지(20)를 나타내는 사시도이다.
먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리(100)는, 도어부(D)가 형성된 지지 프레임(F)과, 상기 도어부(D) 부근에 수평 결합되는 베이스 플레이트(10)와, 상기 베이스 플레이트(10) 상에 설치되는 스테이지 구동부에 의해 구동되는 스테이지(20)와, 상기 스테이지(20)에 설치되고, 웨이퍼 카세트(C)의 하면(Ca)을 지지하며, 리프트 핀 구동부에 의해 구동되는 복수개의 리프트 핀(30)과, 상기 도어부(D)의 둘레를 따라 상기 지지 프레임(F)에 설치되고, 상기 지지 프레임(F)으로부터 상기 웨이퍼 카세트(C)까지의 거리를 측정하는 복수개의 거리 측정 센서(40) 및 상기 거리 측정 센서(40)들로부터 입력된 거리 정보를 이용하여 상기 지지 프레임(F)으로부터 상기 웨이퍼 카세트(C)까지의 거리가 설정값을 유지하도록 상기 스테이지 구동부 및 상기 리프트 핀 구동부를 제어하는 제어부(50)를 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로, 상기 제어부(50)는, 상기 웨이퍼 카세트(C)를 상기 리프트 핀(30)들 상에 얼라인할 수 있도록 상기 스테이지 구동부를 이용하여 상기 스테이지(20)를 상기 도어부(D)를 기준으로 좌우 방향인 X축 및 상기 도어부(D)를 기준으로 전후 방향인 Y축으로 구동시키고, 상기 거리 정보가 동일하도록 상기 리프트 핀 구동부를 구동시키며, 상기 웨이퍼 카세트(C)와 상기 지지 프레임(F) 사이의 거리가 설정값으로 유지되도록 상기 스테이지 구동부를 이용하여 상기 스테이지(20)를 상기 Y축으로 구동시킬 수 있다.
이러한, 상기 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리(100)는, 예컨대, 웨이퍼를 이송하는 장비의 일부로서, 상기 웨이퍼 카세트(C)에 담긴 웨이퍼를 반도체 이송장비의 일종인 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)의 로드 포트(Load port)에 적용될 수 있다.
그러나, 이러한 상기 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리(100)는 이에프이엠이나 로드 포트에만 국한되지 않는 것으로서, 카세트 스테이지나, 로드락 챔버나, 버퍼 챔버나, 트랜스퍼 챔버 등 매우 다양한 장소에 적용될 수 있다.
더욱 구체적으로, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 리프트 핀(30)은 상기 웨이퍼 카세트(C)의 하면(Ca)을 삼각 지지할 수 있도록 상기 스테이지(20)에 삼각 배치되는 3개의 핀들, 즉 좌측 핀(31), 우측 핀(32), 및 전방 핀(33)으로 이루어질 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 스테이지 구동부는, 상기 스테이지(20)가 X축 레일을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있도록 상기 스테이지를 X축 방향으로 이동시키는 X축 모터(M4)가 설치되는 X축 프레임(21) 및 상기 X축 프레임(21)이 Y축 레일을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있도록 상기 X축 프레임(21)과 결합되고, 상기 X축 프레임(21)을 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 모터(M5)가 설치되는 Y축 프레임(22)을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 좌측 핀(31)과 상기 우측 핀(32)의 높이 차이를 이용하여 상기 카세트(C)의 좌우 경사도를 정렬할 수 있고, 상기 전방 핀(33) 및 상기 좌측 핀(31)과 상기 우측 핀(32)의 높이 차이를 이용하여 상기 카세트(C)의 전후 경사도를 정렬할 수 있다.
그러나, 이러한 상기 리프트 핀(30)은 도면에 도시된 바와 같이, 3개에만 국한되지 않고, 4개나 그 이상 복수개의 리프트 핀(30)들이 적용될 수 있다.
또한, 이러한 상기 리프트 핀(30)들, 각각은 리프트 핀 승하강 모터(M1)(M2)(M3)에 의해 개별적으로 승하강될 수 있다.
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 거리 측정 센서(40)는, 상기 웨이퍼 카세트(C)의 측면(Cb) 4군데의 거리를 각각 측정할 수 있도록 상기 도어부(D)의 둘레를 따라 사각 배치되는 4개의 센서, 즉 상부 좌측 센서(41), 상부 우측 센서(42), 하부 좌측 센서(43) 및 하부 우측 센서(44)로 이루어질 수 있다.
이러한, 상기 거리 측정 센서(40)들은 각각 상기 카세트(C)의 상기 측면(Cb)과의 거리들을 비접촉 측정 방식 또는 접촉식 측정 방식으로 측정하는 것으로서, 초음파를 이용하거나 레이저광을 이용하거나 각종 전자기파의 반사나, 간섭이나 회절 등을 이용하여 거리를 측정하는 매우 다양한 형태의 거리 측정 센서들이 모두 적용될 수 있다.
그러나, 이러한 상기 거리 측정 센서(40)의 개수나 위치 등은 도면에 반드시 국한되지 않고, 적어도 2개 이상 복수개가 다양한 위치에 설치될 수 있다. 일반적으로 상기 거리 측정 센서(40)들의 설치 개수가 많으면 많을수록 거리 측정에 대한 정밀도가 향상될 수 있고, 이를 통해서 얼라인 정밀도 역시 향상될 수 있다.
또한, 도시하지 않았지만, 이러한 상기 거리 측정 센서(40)들은 상기 카세트(C)의 상기 측면(Cb)과의 거리만 측정하지 않고, 다른 측면들과의 거리를 측정하여 상기 카세트(C)의 틀어짐 정도를 보다 정확하게 판단할 수 있다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지(20)는, X축 이동 모터(M4), Y축 이동 모터(M5)에 의해 위치가 조정되는 XY스테이지일 수 있다.
여기서, 상기 제어부(50)는, 상기 상부 우측 센서(42) 또는 하부 우측 센서(44)에서 측정된 우측 거리가 상기 상부 좌측 센서(41) 또는 하부 좌측 센서(43)에서 측정된 좌측 거리와 동일하도록 1차적으로 상기 리프트 핀 구동부를 제어하고, 상기 웨이퍼 카세트와 상기 지지 프레임 사이의 거리가 설정값으로 유지되도록 2차적으로 상기 스테이지 구동부를 제어할 수 있다.
따라서, 상기 제어부(50)는 상술된 상기 리프트 핀 승하강 모터(M1)(M2)(M3)들을 제어하여 상기 리프트 핀(30)들의 높낮이를 개별적으로 조절할 수 있는 것은 물론이고, 상기 X축 이동 모터(M4), 상기 Y축 이동 모터(M5)를 제어하여 상기 스테이지(20)의 위치를 정렬시킬 수 있다.
이러한, 상기 모터들은 리니어 모터가 적용되거나 또는 모터의 회전 동력을 전후진 동력으로 변환하는 다양한 형태의 동력 전달 장치들이 모두 적용될 수 있다. 예컨대, 이러한 상기 동력 전달 장치는 각종 기어 박스나, 벨트/풀리 조합이나, 와이어/도르레 조합이나, 체인/스프로킷휠 조합이나, 로드/캠 조합이나, 링크 조합 등 매우 다양한 형태의 동력 전달 장치가 모두 적용될 수 있다.
이러한 상기 베이스 플레이트(10)는 이에프이엠(EFEM, Equipment Front End Module)에 설치되어 장비의 전면에 안착되는 상기 카세트(C)의 위치를 정렬시킬 수 있고, 이를 통해서 상기 카세트(C) 내부에 적재된 웨이퍼들의 공급을 원활하게 할 수 있다.
그러므로, 복수개의 상기 거리 측정 센서(40)들을 이용하여 상기 카세트(C)의 틀어짐을 정확하게 센싱할 수 있고, 이를 토대로 상기 카세트(C)의 상태 또는 포트의 종류가 달라지더라도 복수개의 상기 리프트 핀(30)들을 승하강시키는 모터들이 자동으로 상기 카세트(C)의 위치를 정렬시킬 수 있어서 정밀한 정렬 작업이 가능하고, 수작업을 자동화하여 작업의 균일도와 신뢰도를 향상시킬 수 있으며, 시간과 인력을 절감하여 설비의 가동율을 증대시켜서 장비의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
도 3은 도 1의 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리(100)의 얼라인 이전 상태를 나타내는 개념도이고, 도 4는 도 3의 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리(100)의 얼라인 이후 상태를 나타내는 개념도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리(100)의 작동 과정을 설명하면, 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상부 좌측 센서(41) 또는 상부 우측 센서(42)에서 측정된 상부 거리(L1)가 상기 하부 좌측 센서(43) 또는 하부 우측 센서(44)에서 측정된 하부 거리(L2) 보다 크면 상기 제어부(50)는 이를 전방으로 기울어진 것으로 판단할 수 있다.
이 때, 상기 제어부(50)는, 상기 리프트 핀 승하강 모터(M1)(M2)(M3)들 중 어느 하나 이상에 제어 신호를 인가하여 상기 카세트(C)를 정렬시킬 수 있다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제어부(50)는, 상기 상기 전방 핀(33)을 상승시키거나 또는 상기 좌측 핀(31) 및 상기 우측 핀(32)을 하강시키는 각도 제어 신호를 상기 리프트 핀 구동부에 인가하여 상기 상부 거리(L3)와 상기 하부 거리(L3)를 일치시킬 수 있다.
이 때, 상기 리프트 핀(30) 각각의 승하강 높이는 삼각 함수나 기타 미적분을 이용하여 정밀하게 제어될 수 있는 것으로서, 다양한 형태의 수식이나 피드백 정보가 활용될 수 있다.
이러한 정렬 과정은, 상기 카세트(C)의 전후 각도 틀어짐 판단시에만 적용되지 않는 것으로서, 상기 카세트(C)의 좌우 각도 틀어짐 판단시에도 동일한 원리로 적용될 수 있고, 상기 카세트(C)의 높이 불일치나, 틀어짐에도 동일한 원리로 적용되어 상기 카세트(C)의 모든 방향에서의 정렬이 가능하다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 베이스 플레이트
20: 스테이지
30: 리프트 핀
31: 좌측 핀
32: 우측 핀
33: 전방 핀
40: 거리 측정 센서
41: 상부 좌측 센서
42: 상부 우측 센서
43: 하부 좌측 센서
44: 하부 우측 센서
50: 제어부
100: 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리

Claims (6)

  1. 도어부가 형성된 지지 프레임;
    상기 도어부 부근에 수평 결합되는 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 상에 설치되고, 스테이지 구동부에 의해 구동되는 스테이지;
    상기 스테이지에 설치되고, 웨이퍼 카세트의 하면을 지지하며, 리프트 핀 구동부에 의해 구동되는 복수개의 리프트 핀;
    상기 도어부의 둘레를 따라 상기 지지 프레임에 설치되고, 상기 지지 프레임으로부터 상기 웨이퍼 카세트까지의 거리를 측정하는 복수개의 거리 측정 센서; 및
    상기 거리 측정 센서들로부터 입력된 거리 정보를 이용하여 상기 지지 프레임으로부터 상기 웨이퍼 카세트까지의 거리가 설정값을 유지하도록 상기 스테이지 구동부 및 상기 리프트 핀 구동부를 제어하는 제어부;
    를 포함하는, 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 웨이퍼 카세트를 상기 리프트 핀들 상에 얼라인할 수 있도록 상기 스테이지 구동부를 이용하여 상기 스테이지를 상기 도어부를 기준으로 좌우 방향인 X축 및 상기 도어부를 기준으로 전후 방향인 Y축으로 구동시키고, 상기 거리 정보가 동일하도록 상기 리프트 핀 구동부를 구동시키며, 상기 웨이퍼 카세트와 상기 지지 프레임 사이의 거리가 설정값으로 유지되도록 상기 스테이지 구동부를 이용하여 상기 스테이지를 상기 Y축으로 구동시키는, 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 리프트 핀은 상기 웨이퍼 카세트의 하면을 삼각 지지할 수 있도록 상기 스테이지에 삼각 배치되는 좌측 핀, 우측 핀, 및 전방 핀으로 이루어지고, 각각은 리프트 핀 승하강 모터에 의해 승하강되고,
    상기 스테이지 구동부는,
    상기 스테이지가 X축 레일을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있도록 상기 스테이지를 X축 방향으로 이동시키는 X축 모터가 설치되는 X축 프레임; 및
    상기 X축 프레임이 Y축 레일을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있도록 상기 X축 프레임과 결합되고, 상기 X축 프레임을 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 모터가 설치되는 Y축 프레임;
    을 포함하는, 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 거리 측정 센서는,
    상기 웨이퍼 카세트의 측면 4군데의 거리를 각각 측정할 수 있도록 상기 도어부의 둘레를 따라 상기 지지 프레임에 사각 배치되는 상부 좌측 센서, 상부 우측 센서, 하부 좌측 센서 및 하부 우측 센서인, 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 상부 좌측 센서 또는 상부 우측 센서에서 측정된 상부 거리가 상기 하부 좌측 센서 또는 하부 우측 센서에서 측정된 하부 거리 보다 크면 이를 전방으로 기울어진 것으로 판단하여 각 리프트 핀을 상승 또는 하강시키도록 상기 리프트 핀 구동부를 제어하는, 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 상부 우측 센서 또는 하부 우측 센서에서 측정된 우측 거리가 상기 상부 좌측 센서 또는 하부 좌측 센서에서 측정된 좌측 거리와 동일하도록 1차적으로 상기 리프트 핀 구동부를 제어하고, 상기 웨이퍼 카세트와 상기 지지 프레임 사이의 거리가 설정값으로 유지되도록 2차적으로 상기 스테이지 구동부를 제어하는, 기판 처리 시스템의 로드 포트 어셈블리.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023167732A1 (en) * 2022-03-02 2023-09-07 Applied Materials, Inc. Enclosure system with charging assembly
CN118366908A (zh) * 2024-04-28 2024-07-19 德沪涂膜设备(苏州)有限公司 一种晶硅对位装置以及涂膜设备

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