KR20190073695A - Organic light emitting display device and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the same.
정보화 사회가 발전함에 따라 영상을 표시하기 위한 표시 장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 따라, 최근에는 액정 표시 장치(LCD: Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 장치(PDP: Plasma Display Panel), 유기 발광 표시 장치(OLED: Organic Light Emitting Display)와 같은 여러 가지 표시 장치가 활용되며, 특히 스마트 기기에도 다양하게 적용되고 있다.As the information society develops, there is a growing demand for display devices for displaying images. Accordingly, in recent years, various display devices such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting display (OLED) It is also applied to smart devices in various ways.
표시 장치들 중에서 유기 발광 표시 장치는 자체 발광형으로서, 액정 표시 장치(LCD)에 비해 시야각, 대조비 등이 우수하며, 별도의 백라이트가 필요하지 않아 경량 박형이 가능하며, 소비전력이 유리한 장점이 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 특히 제조비용이 저렴한 장점이 있다.Of the display devices, the organic light emitting display device is a self-emitting type, and has a better viewing angle and contrast ratio than a liquid crystal display device (LCD), does not require a separate backlight and is lightweight and thin, . In addition, the organic light emitting display device is capable of being driven by a DC low voltage, has a high response speed, and is particularly advantageous in manufacturing cost.
유기 발광 표시 장치는 전자(electron)를 주입하는 음극(cathode)과 정공(hole)을 주입하는 양극(anode) 사이에 발광층이 구비된 구조를 가지며, 음극에서 발생된 전자 및 양극에서 발생된 정공이 발광층 내부로 주입되면 주입된 전자 및 정공이 결합하여 액시톤(exciton)이 생성되고, 생성된 액시톤이 여기상태(excited state)에서 기저상태(ground state)로 떨어지면서 발광하는 원리를 이용한 표시 장치이다. 여기서, 음극은 공통 전극으로서, 발광층 상에 공통적으로 형성된다.The OLED display has a structure in which a light emitting layer is provided between a cathode for injecting electrons and an anode for injecting holes, and electrons generated from the cathode and holes generated from the anode When the injected electrons and holes are injected into the light emitting layer, an exciton is generated by the excited electrons and holes, and the generated excitons are emitted from the excited state to the ground state, to be. Here, the cathode is a common electrode and is formed commonly on the light emitting layer.
이러한 유기 발광 표시 장치가 스마트 기기에 적용되는 경우, 유기 발광 표시 장치의 일단에 카메라 홀(Camera Hole)이 형성될 수 있다. 유기 발광 표시 장치는 영상이 표시되는 표시영역과 영상이 표시되지 않는 비 표시영역을 포함한다. 이때, 공통층으로 형성되는 음극의 특성에 의해, 카메라 홀 부분에만 음극을 제거하는 것이 어려워, 카메라 홀은 비 표시영역에 형성되었다.When such an organic light emitting display device is applied to a smart device, a camera hole may be formed at one end of the organic light emitting display device. The organic light emitting display includes a display area in which an image is displayed and a non-display area in which no image is displayed. At this time, due to the characteristics of the negative electrode formed of the common layer, it is difficult to remove the negative electrode only in the camera hole portion, and the camera hole was formed in the non-display region.
그러나, 스마트 기기가 발전함에 따라, 비 표시영역이 감소하고 영상이 표시되는 표시영역이 증가하면서, 카메라 홀을 표시영역에 형성하는 유기 발광 표시 장치의 개발이 이루어지고 있다.However, as the smart device evolves, development of an organic light emitting display device in which a camera hole is formed in a display area while a non-display area is reduced and a display area in which an image is displayed is increased.
이와 같이 카메라 홀을 유기 발광 표시 장치의 표시영역에 형성하기 위해서, 음극이 형성된 영역을 레이저 커팅(laser cutting)하여 홀을 형성하는 경우, 음극의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생할 수 있다.In the case where holes are formed by laser cutting the region where the cathode is formed in order to form the camera hole in the display region of the organic light emitting display device, the cross section of the cathode may be exposed to the outside, thereby causing moisture permeation failure.
또한, 카메라 홀을 유기 발광 표시 장치의 표시영역에 형성하기 위해서, 카메라 홀 영역을 마스크(mask)로 가린 뒤에 음극을 형성하는 경우, 마스크를 고정하기 위해서 가려진 부분에 음극을 2회 증착 형성하게 되는데, 이때 음극의 두께가 불 균일해짐으로 화상 품질이 저하되는 문제점이 있다.Further, in order to form a camera hole in the display area of the organic light emitting display device, when a cathode is formed after covering the camera hole area with a mask, a negative electrode is formed twice in a portion obscured to fix the mask At this time, the thickness of the negative electrode becomes uneven and the image quality is deteriorated.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 투습 불량 및 화상 품질 저하를 방지할 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can prevent moisture permeation failure and image quality deterioration.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 화소들이 배치된 표시영역, 및 상기 표시영역을 둘러싸는 비 표시영역을 포함하는 제1 기판, 제1 기판 상에 배치된 제1 전극, 제1 전극 상에 배치된 유기 발광층, 및 유기 발광층 상에 배치된 제2 전극을 포함하고, 제1 기판은 일단에 관통 홀을 가지며, 제2 전극은 관통 홀의 내 측면까지 마련되는 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a display device including a first substrate including a display region in which pixels are disposed, and a non-display region surrounding the display region, a first electrode disposed on the first substrate, And a second electrode disposed on the organic light emitting layer, wherein the first substrate has a through hole at one end and the second electrode extends up to the inner side of the through hole, and an organic light emitting display device .
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 관통 홀을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극을 제1 기판의 표시영역 상에 전체적으로 형성함으로써, 제2 전극이 관통 홀의 내 측면까지 연장되어 마련되며, 제2 전극을 1회만 증착 형성함으로써, 제2 전극의 두께가 불 균일하여 발생하는 화상 품질 저하를 방지할 수 있으며 공정 증가 또한 방지할 수 있다.The organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention can form the second electrode entirely on the display area of the first substrate without covering the through hole with a mask so that the second electrode extends to the inner side surface of the through hole By forming the second electrode only once, the thickness of the second electrode can be prevented from being uneven to prevent the deterioration of the image quality and the process can be prevented from being increased.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 무기막이 관통 홀의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀의 내 측면에 마련된 제2 전극의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In addition, the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention includes the inorganic film extending to the inner surface of the through hole, thereby preventing the cross section of the second electrode provided on the inner surface of the through hole from being exposed to the outside, can do.
본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects obtained in the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description .
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 표시패널을 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 제1 기판을 보여주는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 일 측을 개략적으로 보여주는 단면도로서, 도 2의 I-I'의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 관통 홀을 보여주는 단면도로서, 도 3의 II-II'의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다.
도 7a 내지 도 7g는 본 발명의 일 실시예에 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.1 is an exploded perspective view of an OLED display according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating a display panel of an OLED display according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a plan view of the first substrate of FIG.
4 is a cross-sectional view schematically showing one side of a display panel according to an embodiment of the present invention, taken along line I-I 'of FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view of a through-hole of a display panel according to an embodiment of the present invention, taken along line II-II 'of FIG.
6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an OLED display according to an embodiment of the present invention.
7A to 7G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. The meaning of the terms described herein should be understood as follows.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제 1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. "적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다. "상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms. It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof. It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one. The term "on" means not only when a configuration is formed directly on top of another configuration, but also when a third configuration is interposed between these configurations.
이하에서는 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the organic light emitting diode display and the method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, like reference numerals are used to denote like elements throughout the drawings, even if they are shown on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view of an OLED display according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 표시패널(10), 편광판(20), 프레임(30), 및 커버부재(40)를 포함한다.Referring to FIG. 1, an OLED display includes a
상기 표시패널(10)은 제1 기판 및 제2 기판을 포함한다. 상기 제2 기판과 마주하는 상기 제1 기판의 일면 상에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 배치된다. 화소들은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 구조에 의해 정의되는 영역에 마련된다. 표시패널(10)에 대한 자세한 설명은 도 2 및 도 3에서 후술하기로 한다.The
상기 편광판(20)은 표시패널(10) 상에 배치된다. 편광판(20)은 표시패널(10)과 커버부재(40) 사이에 하나 이상 배치될 수 있으며, 생략될 수도 있다. 이러한 편광판(20)은 외광 반사 등으로 인하여 표시패널(10)에서 표시되는 영상의 시인성이 저하되는 것을 방지한다.The polarizing
상기 프레임(30)은 표시패널(10), 편광판(20), 및 커버부재(40)를 수납한다. 일 예에 따른 프레임(30)은 커버부재(40)의 바닥면을 지지하도록 내측벽에 단차가 마련될 수 있다.The
상기 커버부재(40)는 프레임(30)에 결합되어 프레임(30)과 함께 유기 발광 표시 장치의 외면을 구성한다. 커버부재(40)는 하면에 접착부재가 마련되어 하부의 구성과 결합될 수 있다. 일 예에 따른 커버부재(40)는 편광판(20)과 결합될 수 있다.The
커버부재(40)는 플라스틱 또는 유리(glass)일 수 있다. 일 예에 따른 커버부재(40)는 표시패널(10)에서 생성된 영상이 투과되는 투과영역(TA), 및 상기 투과영역(TA)의 외곽에서 영상이 투과되지 않는 비 투과영역(NTA)을 포함한다. 상기 투과영역(TA)은 표시패널(10)의 표시영역과 중첩되며, 상기 비 투과영역(NTA)은 표시패널(10)의 비 표시영역과 중첩될 수 있다. 투과영역(TA)에는 홀(CH)이 형성되는데, 일 예로 카메라 홀(Camera Hole)일 수 있다. 비 투과영역(NTA)에는 불투명한 패턴층이 형성될 수 있다.The
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 표시패널을 보여주는 사시도이고, 도 3은 도 2의 제1 기판을 보여주는 평면도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a display panel of an OLED display according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a plan view showing the first substrate of FIG. 2. Referring to FIG.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(10)은 게이트 구동부(11), 소스 드라이브 집적회로(integrated circuit, 이하 "IC"라 칭함)(12), 연성필름(13), 회로보드(14), 및 타이밍 제어부(15)를 포함한다.2 and 3, a
상기 표시패널(10)은 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)을 포함한다. 제2 기판(S2)은 봉지 기판일 수 있다. 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)은 플라스틱 또는 유리(glass)일 수 있다.The
상기 제2 기판(S2)과 마주보는 제1 기판(S1)의 일면 상에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성된다. 화소들은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 구조에 의해 정의되는 영역에 마련된다.remind Gate lines, data lines, and pixels are formed on one surface of the first substrate S1 facing the second substrate S2. The pixels are provided in an area defined by the intersection structure of the gate lines and the data lines.
화소들 각각은 박막 트랜지스터와 애노드 전극, 유기 발광층, 및 캐소드 전극을 구비하는 유기발광소자를 포함할 수 있다. 화소들 각각은 박막 트랜지스터를 이용하여 게이트 라인으로부터 게이트 신호가 입력되는 경우 데이터 라인의 데이터 전압에 따라 유기발광소자에 소정의 전류를 공급한다. 이로 인해, 화소들 각각의 유기발광소자는 소정의 전류에 따라 소정의 밝기로 발광할 수 있다. 화소들 각각의 구조에 대한 자세한 설명은 도 5에서 후술하기로 한다.Each of the pixels may include an organic light emitting element having a thin film transistor and an anode electrode, an organic light emitting layer, and a cathode electrode. Each of the pixels supplies a predetermined current to the organic light emitting element in accordance with the data voltage of the data line when the gate signal is inputted from the gate line by using the thin film transistor. Thus, the organic light emitting element of each of the pixels can emit light with a predetermined brightness according to a predetermined current. A detailed description of the structure of each of the pixels will be described later with reference to FIG.
표시패널(10)은 도 3과 같이 화소들이 형성되어 화상을 표시하는 표시영역(DA)과 화상을 표시하지 않는 비 표시영역(NDA)으로 구분될 수 있다. The
상기 표시영역(DA)에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 화상을 표시하는 표시영역(DA)을 증가시키기 위해서, 종래에 카메라 홀(Camera Hole)이 형성되었던 비 표시영역(NDA)까지 표시영역(DA)을 확장시킨다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 일 예로, 카메라 홀일 수 있는 관통 홀(CH)이 표시패널(10)의 표시영역(DA)에 형성된다. 상기 관통 홀(CH)에 대한 자세한 설명은 도 5에서 후술하기로 한다.In the display area DA, gate lines, data lines, and pixels may be formed. In order to increase the display area DA for displaying an image, the organic light emitting display according to an embodiment of the present invention includes a display area DA up to a non-display area NDA where a camera hole has been conventionally formed, . That is, in the organic light emitting display according to an embodiment of the present invention, a through hole CH that can be a camera hole is formed in the display area DA of the
상기 비 표시영역(NDA)에는 게이트 구동부(11)와 패드들이 형성될 수 있다. 상기
게이트 구동부(11)는 타이밍 제어부(15)로부터 입력되는 게이트 제어신호에 따라 게이트 라인들에 게이트 신호들을 공급한다. 게이트 구동부(11)는 표시패널(10)의 표시영역(DA)의 일측 또는 양측 바깥쪽의 비 표시영역(DA)에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성될 수 있다. 또는, 게이트 구동부(11)는 구동 칩으로 제작되어 연성필름에 실장되고 TAB(tape automated bonding) 방식으로 표시패널(10)의 표시영역(DA)의 일측 또는 양측 바깥쪽의 비 표시영역(NDA)에 부착될 수도 있다.A
상기
소스 드라이브 IC(12)는 타이밍 제어부(15)로부터 디지털 비디오 데이터와 소스 제어신호를 입력 받는다. 소스 드라이브 IC(12)는 소스 제어신호에 따라 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터전압들로 변환하여 데이터 라인들에 공급한다. 소스 드라이브 IC(12)가 구동 칩으로 제작되는 경우, COF(chip on film) 또는 COP(chip on plastic) 방식으로 연성필름(13)에 실장될 수 있다.remind
The source drive
표시패널(10)의 비 표시영역(NDA)에는 데이터 패드들과 같은 패드들이 형성될 수 있다. 연성필름(13)에는 패드들과 소스 드라이브 IC(12)를 연결하는 배선들, 패드들과 회로보드(14)의 배선들을 연결하는 배선들이 형성될 수 있다. 연성필름(13)은 이방성 도전 필름(anisotropic conducting film)을 이용하여 패드들 상에 부착되며, 이로 인해 패드들과 연성필름(13)의 배선들이 연결될 수 있다.Pads such as data pads may be formed in the non-display area NDA of the
상기
회로보드(14)는 연성필름(13)들에 부착될 수 있다. 회로보드(14)는 구동 칩들로 구현된 다수의 회로들이 실장될 수 있다. 예를 들어, 회로보드(14)에는 타이밍 제어부(15)가 실장될 수 있다. 회로보드(14)는 인쇄회로보드(printed circuit board) 또는 연성 인쇄회로보드(flexible printed circuit board)일 수 있다.remind
The
상기
타이밍 제어부(15)는 회로보드(14)의 케이블을 통해 외부의 시스템 보드로부터 디지털 비디오 데이터와 타이밍 신호를 입력 받는다. 타이밍 제어부(15)는 타이밍 신호에 기초하여 게이트 구동부(11)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호와 소스 드라이브 IC(12)들을 제어하기 위한 소스 제어신호를 발생한다. 타이밍 제어부(15)는 게이트 제어신호를 게이트 구동부(11)에 공급하고, 소스 제어신호를 소스 드라이브 IC(12)들에 공급한다.remind
The
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 일 측을 개략적으로 보여주는 단면도로서, 도 2의 I-I'의 단면도이다.4 is a cross-sectional view schematically showing one side of a display panel according to an embodiment of the present invention, taken along line I-I 'of FIG.
도 4를 참조하면, 표시패널(10)은 제1 기판(S1), 제2 기판(S2), 제1 및 제2 기판들(S1, S2) 사이에 배치된 박막 트랜지스터층(100), 유기발광소자층(200), 및 봉지층(300)을 포함할 수 있다.4, the
상기 제1 기판(S1)은 플라스틱 필름 또는 유리 기판일 수 있다.The first substrate S1 may be a plastic film or a glass substrate.
제1 기판(S1) 상에는 상기 박막 트랜지스터층(100)이 배치된다. 박막 트랜지스터층(100)은 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 박막 트랜지스터들을 포함할 수 있다. 박막 트랜지스터들 각각은 게이트 전극, 반도체층, 소스 및 드레인 전극들을 포함한다. 게이트 구동부가 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성되는 경우, 게이트 구동부는 박막 트랜지스터층(100)과 함께 형성될 수 있다. The thin
박막 트랜지스터층(100) 상에는 상기 유기발광소자층(200)이 배치된다. 유기발광소자층(200)은 애노드 전극, 유기 발광층, 캐소드 전극, 및 뱅크를 포함한다. 유기 발광층들 각각은 정공 수송층(hole transporting layer), 발광층(organic light emitting layer), 및 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 이 경우, 애노드 전극과 캐소드 전극에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 발광층으로 이동되며, 발광층에서 서로 결합하여 발광하게 된다. 유기발광소자층(200)이 배치된 영역에는 화소들이 마련되므로, 유기발광소자층(200)이 배치된 영역은 표시영역으로 정의될 수 있다. 표시영역의 주변 영역은 비 표시영역으로 정의될 수 있다. The organic light emitting
유기발광소자층(200) 상에는 상기 봉지층(300)이 배치된다. 봉지층(300)은 유기발광소자층(200)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다. 봉지층(300)은 적어도 하나의 유기막 및 무기막을 포함할 수 있다.The
이하에서는 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 대하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIG.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 관통 홀을 보여주는 단면도로서, 도 3의 II-II'의 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view of a through-hole of a display panel according to an embodiment of the present invention, taken along line II-II 'of FIG.
도 5를 참조하면, 제1 기판(S1)은 표시영역(DA)의 일단에 관통 홀(CH)을 가지며, 제1 기판(S1)의 관통 홀(CH)을 제외한 영역에, 박막 트랜지스터층(100), 유기발광소자층(200), 및 봉지층(300)이 형성된다.5, the first substrate S1 has a through hole CH at one end of the display area DA and a thin film transistor layer (not shown) is formed in a region except for the through hole CH of the
상기 박막 트랜지스터층(100)은 박막 트랜지스터(120)들, 게이트 절연막(130), 층간 절연막(140), 및 평탄화막(150) 을 포함한다.The thin
제1 기판(S1)의 일면 상에는 버퍼막(110)이 배치될 수 있다. 상기 버퍼막(110)은 투습에 취약한 제1 기판(S1)을 통해 침투하는 수분으로부터 박막 트랜지스터(120)들과 유기발광소자(210)들을 보호하기 위해 제1 기판(S1)의 일면 상에 배치된다. 제1 기판(S1)의 일면은 제2 기판(S2)과 마주보는 면일 수 있다. 버퍼막(110)은 교번하여 적층된 복수의 무기막들로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 버퍼막(110)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), SiON 중 하나 이상의 무기막이 교번하여 적층된 다중막으로 형성될 수 있다. 버퍼막(110)은 생략될 수 있다.A
버퍼막(110) 상에는 상기 박막 트랜지스터(120)가 배치된다. 박막 트랜지스터(120)는 액티브층(121), 게이트 전극(122), 소스 전극(123) 및 드레인 전극(124)을 포함한다. 도 6에서는 박막 트랜지스터(120)가 게이트 전극(122)이 액티브층(121)의 상부에 위치하는 상부 게이트(탑 게이트, top gate) 방식으로 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않음에 주의하여야 한다. 즉, 박막 트랜지스터(120)들은 게이트 전극(122)이 액티브층(121)의 하부에 위치하는 하부 게이트(보텀 게이트, bottom gate) 방식 또는 게이트 전극(122)이 액티브층(121)의 상부와 하부에 모두 위치하는 더블 게이트(double gate) 방식으로 형성될 수 있다.The
버퍼막(110) 상에는 상기 액티브층(121)이 배치된다. 액티브층(121)은 실리콘계 반도체 물질 또는 산화물계 반도체 물질로 형성될 수 있다. 버퍼막(110)과 액티브층(121) 사이에는 액티브층(121)으로 입사되는 외부광을 차단하기 위한 차광층이 배치될 수 있다.The
액티브층(121) 상에는 상기 게이트 절연막(130)이 배치될 수 있다. 게이트 절연막(130)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다.The
게이트 절연막(130) 상에는 상기 게이트 전극(122)과 게이트 라인이 배치될 수 있다. 게이트 전극(122)과 게이트 라인은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.The
게이트 전극(122)과 게이트 라인 상에는 상기 층간 절연막(140)이 배치될 수 있다. 층간 절연막(140)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다.The interlayer insulating
층간 절연막(140) 상에는 상기 소스 전극(123), 드레인 전극(124), 및 데이터 라인(125)이 배치될 수 있다. 소스 전극(123)과 드레인 전극(124) 각각은 게이트 절연막(130)과 층간 절연막(140)을 관통하는 콘택홀을 통해 액티브층(121)에 접속될 수 있다. 소스 전극(123), 드레인 전극(124), 및 데이터 라인(125)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.The
소스 전극(123), 드레인 전극(124), 및 데이터 라인(125) 상에는 박막 트랜지스터(120)를 절연하기 위한 보호막(미도시)이 배치될 수 있다. 보호막은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다. 보호막은 생략될 수 있다.A protective film (not shown) for insulating the
층간 절연막(140) 상에는 박막 트랜지스터(120)로 인한 단차를 평탄하게 하기 위한 상기 평탄화막(150)이 배치될 수 있다. 평탄화막(150)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다.The
박막 트랜지스터층(100) 상에는 상기 유기발광소자층(200)이 배치된다. 유기발광소자층(200)은 유기발광소자(210) 및 뱅크(220)를 포함한다.The organic light emitting
상기 유기발광소자(210)와 뱅크(220)는 박막 트랜지스터(120) 및 평탄화막(150) 상에 배치된다. 유기발광소자(210)는 제1 전극(211), 유기 발광층(212), 및 제2 전극(213)을 포함한다.The organic
상기
제1 전극(211)은 평탄화막(150) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극(211)은 평탄화막(150)을 관통하는 콘택홀을 통해 박막 트랜지스터(120)의 소스 전극(123)에 접속된다. 제1 전극(211)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), APC 합금, 및 APC 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/APC/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. APC 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu)의 합금이다.remind
The
상기 뱅크(220)는 평탄화막(150) 및 제1 전극(211) 상에 배치될 수 있다. 뱅크(220)는 화소들을 구획하기 위해 평탄화막(150) 상에서 제1 전극(211)의 가장자리를 덮도록 배치될 수 있다. 즉, 뱅크(220)는 화소들을 정의하는 화소 정의막으로서 역할을 한다. 뱅크(220)는 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다.The
제1 전극(211)과 뱅크(220) 상에는 상기 유기 발광층(212)이 배치된다. 유기 발광층(212)은 정공 수송층(hole transporting layer), 적어도 하나의 발광층(light emitting layer), 및 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 전극(211)과 제2 전극(213)에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 발광층으로 이동하게 되며, 발광층에서 서로 결합하여 발광하게 된다.The organic
유기 발광층(212)은 백색 광을 발광하는 백색 발광층으로 이루어질 수 있다. 이 경우, 유기 발광층(212)은 제1 전극(211)과 뱅크(220)를 덮도록 배치될 수 있다. 또한, 제2 기판(S2) 상에는 컬러 필터(미도시)가 배치될 수 있다.The organic
또는, 유기 발광층(212)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 또는 청색 광을 발광하는 청색 발광층으로 이루어질 수 있다. 이 경우, 유기 발광층(212)는 제1 전극(211)에 대응되는 영역에 배치될 수 있으며, 제2 기판(S2) 상에는 컬러 필터가 배치되지 않을 수 있다.Alternatively, the organic
상기 제2 전극(213)은 유기 발광층(212) 상에 배치된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 전극(213)은 유기 발광층(212) 상부에서 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련된다.The
종래에는 관통 홀을 유기 발광 표시 장치의 표시영역에 형성하기 위해서, 관통 홀 형성 영역을 마스크(mask)로 가린 뒤에 제2 전극을 제1 기판 상에 전체적으로 형성하고, 마스크를 고정하기 위해서 가려진 부분에 제2 전극을 다시 형성하였다. 즉, 종래의 유기 발광 표시 장치는 관통 홀이 형성된 주변 영역에 제2 전극을 2회 증착 형성하게 되는데, 공정 상 제2 전극을 1회 증착할 때와 2회 증착할 때에 영역이 겹치도록 형성된다. 따라서, 종래의 유기 발광 표시 장치는 제2 전극의 두께가 불 균일해져 화상 품질이 저하되는 문제점이 있었다.Conventionally, in order to form the through-holes in the display area of the organic light emitting display, the second electrode is formed entirely on the first substrate after covering the through-hole forming area with a mask, The second electrode was again formed. That is, in the conventional organic light emitting display device, the second electrode is formed twice in the peripheral region where the through hole is formed. In the process, the second electrode is overlapped with the first electrode when the first electrode is deposited once and the second electrode is deposited twice . Therefore, the conventional organic light emitting display device has a problem that the thickness of the second electrode becomes uneven and the image quality deteriorates.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 제1 기판(S1)의 일단에 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸는 홈을 형성한 뒤에, 관통 홀 형성 영역(CHA)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 형성한다. 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸는 홈 영역에서 제1 기판(S1)이 끊기게 되므로, 제2 전극(213) 또한 홈 영역에서 끊기게 된다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제2 전극(213)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성에 의해 홈 영역의 내 측면까지 연장되어 마련되며, 관통 홀 형성 영역(CHA)의 제1 기판(S1)을 제거하게 되면, 제2 전극(213)은 관통 홀(CH)의 내 측면까지 마련된다.In order to solve such a problem, the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention has a structure in which a groove surrounding the through hole forming region CHA is formed at one end of the first substrate S1, The
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 관통 홀 형성 영역(CHA)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 1회만 증착 형성함으로써, 제2 전극(213)의 두께가 불 균일하여 발생하는 화상 품질 저하를 방지할 수 있으며 공정 증가 또한 방지할 수 있다.As described above, the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention can be manufactured in the same manner as in the first embodiment except that the
한편, 유기 발광 표시 장치가 상부 발광(top emission) 구조로 형성되는 경우, 제2 전극(213)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 제2 전극(213) 상에는 캡핑층(capping layer)이 배치될 수 있다.Meanwhile, when the organic light emitting display device is formed as a top emission structure, the
유기발광소자층(200) 상에는 상기 봉지층(300)이 배치된다. 본 발명의 일 예에 따른 봉지층(300)은 봉지막(310), 및 댐(DAM)을 포함한다.The
상기 봉지막(310)은 제2 전극(213) 상에 배치되며, 유기발광소자층(200)을 덮도록 배치되어 유기 발광층(212)과 제2 전극(213)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이를 위해, 봉지막(310)은 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함할 수 있다. 예를 들어, 봉지막(310)은 제1 무기막(311), 유기막(312), 및 제2 무기막(313)를 포함할 수 있다.The sealing
제2 전극(213) 상에는 상기 제1 무기막(311)이 배치될 수 있다. 제1 무기막(311)은 제2 전극(213)을 덮도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 무기막(311)은 제2 전극(213) 및 뱅크(220)를 덮으며, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮는다. 제1 무기막(311)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성이 좋기 때문에, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장된 제2 전극(213)을 상부 및 측부를 덮도록 마련된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 무기막(311)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The first
제1 무기막(311)에서 발생할 수 있는 결함 및 단차를 보상하기 위해서, 제1 무기막(311) 상에는 상기 유기막(312)이 배치된다. 유기막(312)은 이물들(particles)이 제1 무기막(311)을 뚫고 유기 발광층(212)과 제2 전극(213)에 투입되는 것을 방지하며, 단차를 보상하기 위해서 충분한 두께로 형성될 수 있다. 유기막(312)은 잉크젯(inkjet) 공정을 통해서 액상 형태로 기판 상에 도포된 후 경화 공정을 거쳐 형성될 수 있다.The
유기막(312) 상에는 상기 제2 무기막(313)이 배치될 수 있다. 제2 무기막(313)은 유기막(312)을 덮도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 제2 무기막(313)은 유기막(312)을 덮으며, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 제1 무기막(311) 및 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮는다. 제2 무기막(313)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성이 좋기 때문에, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장된 제2 전극(213)을 상부 및 측부를 덮도록 마련된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제2 무기막(313)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The second
제2 무기막(313)은 하부에 배치되는 유기막(312)에 의해서 결함(defect) 또는 단차가 발생하지 않으며, 따라서 외부의 수분이 장치 내부로 투습되는 경로가 형성되지 않아 표시 장치(10)의 신뢰성 및 품질 저하되는 것을 방지할 수 있다. The second
제1 및 제2 무기막들(311, 313) 각각은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 유기막(312)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다.Each of the first and second
상기
댐(DAM)은 제1 기판(S1)의 표시영역(DA)에 배치되어 봉지막(310)을 구성하는 유기막(312)의 흐름을 차단한다. 보다 구체적으로, 댐(DAM)은 관통 홀(CH)의 외곽을 둘러싸도록 배치되어 봉지막(310)을 구성하는 유기막(312)의 흐름을 차단할 수 있다. 또한, 댐(DAM)은 유기막(312)의 측면에 배치되어 봉지막(310)을 구성하는 유기막(312)이 관통 홀(CH)로 침범하지 못하도록 유기막(312)의 흐름을 차단할 수 있다. 이를 통해, 댐(DAM)은 유기막(312)이 관통 홀(CH) 내부로 침범하는 것을 방지할 수 있다.remind
The dam DAM is disposed in the display area DA of the first substrate S1 to block the flow of the
이러한 본 발명의 일 예에 따른 댐(DAM)은 내부댐(ID) 및 외부댐(OD)을 포함할 수 있다.The dam (DAM) according to an exemplary embodiment of the present invention may include an internal dam (ID) and an external dam (OD).
상기 내부댐(ID)은 유기막(312)에 인접하여 배치되며, 봉지막(310)을 구성하는 유기막(312)의 흐름을 1차적으로 차단할 수 있다.The internal dam (ID) is disposed adjacent to the
상기 외부댐(OD)은 내부댐(ID)의 외곽을 둘러싸도록 배치되며, 내부댐(ID)과 서로 이격되어 나란히 배치된다. 이때, 외부댐(OD)과 내부댐(ID) 사이의 간격은 약 30~40um 정도로 매우 좁은 간격을 가질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 외부댐(OD)은 내부댐(ID)의 외곽으로 흘러 넘치는 유기막(312)을 2차적으로 차단할 수 있다. 본 발명의 일 예에 따른 댐(DAM)은 평탄화막(150), 뱅크(220), 및 스페이서를 형성할 때 동시에 형성될 수 있으며, 따라서 별도의 추가 공정 없이 형성될 수 있다.The external dam (OD) is disposed so as to surround the outer perimeter of the inner dam (ID), and is spaced apart from the inner dam (ID) and arranged side by side. At this time, the interval between the external dam (OD) and the internal dam (ID) is about 30 to 40 um, but the present invention is not limited thereto. The external dam (OD) can secondarily block the organic film (312) flowing over to the outside of the internal dam (ID). A dam (DAM) according to an exemplary embodiment of the present invention may be formed at the same time when forming the
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이고, 도 7a 내지 도 7g는 본 발명의 일 실시예에 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.FIG. 6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention. FIGS. 7A to 7G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 6 내지 도 7g에 도시된 단면도들은 전술한 도 5에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 관한 것으로, 동일한 구성에 대해 동일한 도면부호를 부여하였다. 이하에서는 도 6 및 도 7a 내지 도 7g를 결부하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명한다.The sectional views shown in FIGS. 6 to 7G relate to a method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 5, and the same reference numerals are given to the same components. Hereinafter, a method of manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6 and FIGS. 7A to 7G.
첫 번째로, 도 7a와 같이, 제1 기판(S1) 상에 박막 트랜지스터(120)를 형성한다. (S601)First, as shown in FIG. 7A, a
구체적으로 설명하면, 우선, 제1 기판(111) 상에 버퍼막(110)을 형성하고, 박막 트랜지스터(120)의 액티브층(121)을 형성한다. 보다 구체적으로, 스퍼터링법(Sputtering) 또는 MOCVD법(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 등을 이용하여 제1 기판(111) 상의 전면에 액티브 금속층을 형성한다. 그리고 나서, 포토 레지스트 패턴을 이용한 마스크 공정으로 액티브 금속층을 패터닝하여 액티브층(121)을 형성한다. 액티브층(121)은 실리콘계 반도체 물질 또는 산화물계 반도체 물질로 형성될 수 있다.More specifically, first, a
그런 다음, 액티브층(121) 상에 게이트 절연막(130)을 형성한다. 게이트 절연막(130)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다.Then, a
그런 다음, 게이트 절연막(130) 상에 박막 트랜지스터(120)의 게이트 전극(122) 및 게이트 라인을 형성한다. 구체적으로, 스퍼터링법 또는 MOCVD법 등을 이용하여 게이트 절연막(130) 상의 전면(全面)에 제1 금속층을 형성한다. 그 다음, 포토 레지스트 패턴을 이용한 마스크 공정으로 제1 금속층을 패터닝하여 게이트 전극(122) 및 게이트 라인을 형성한다. 게이트 전극(122) 및 게이트 라인은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.Then, the
그런 다음, 게이트 전극(122) 상에 층간 절연막(140)을 형성한다. 층간 절연막(140)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다.Then, an
그런 다음, 게이트 절연막(130)과 층간 절연막(140)을 관통하여 액티브층(121)을 노출시키는 컨택홀들과 층간 절연막(140)을 관통하여 게이트 라인을 노출시키는 컨택홀들을 형성한다.Contact holes are then formed through the
그런 다음, 층간 절연막(140) 상에 박막 트랜지스터(120)의 소스 및 드레인 전극들(123, 124)을 형성한다. 구체적으로, 스퍼터링법 또는 MOCVD법 등을 이용하여 층간 절연막(140) 상의 전면에 제2 금속층을 형성한다. 그 다음, 포토 레지스트 패턴을 이용한 마스크 공정으로 제2 금속층을 패터닝하여 소스 및 드레인 전극들(123, 124)을 형성한다. 소스 및 드레인 전극들(123, 124) 각각은 게이트 절연막(130)과 층간 절연막(140)을 관통하는 컨택홀을 통해 액티브층(121)에 접속될 수 있다. 소스 및 드레인 전극들(123, 124)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.Then, source and drain
두 번째로, 도 7b와 같이, 제1 기판(S1)의 일단에 관통 홀 형성 영역(CHA) 주변을 둘러싸는 홈(SH)을 형성한다. (S602)Secondly, as shown in FIG. 7B, a groove SH surrounding the periphery of the through-hole forming region CHA is formed at one end of the first substrate S1. (S602)
세 번째로, 도 7c와 같이, 박막 트랜지스터(120)와 전기적으로 연결되는 제1 전극(211)을 형성한다. (S603)Third, as shown in FIG. 7C, a
우선, 박막 트랜지스터(120)의 소스 및 드레인 전극들(123, 124) 상에 박막 트랜지스터(120)로 인한 단차를 평탄화하기 위한 평탄화막(150)을 형성한다. 평탄화막(150)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다.First, a
그런 다음, 평탄화막(150) 상에 평탄화막(150) 상에 유기발광소자(210)의 제1 전극(211)을 형성한다. 구체적으로, 스퍼터링법 또는 MOCVD법 등을 이용하여 평탄화막(150) 상의 전면에 제3 금속층을 형성한다. 그리고 나서, 포토 레지스트 패턴을 이용한 마스크 공정으로 제3 금속층을 패터닝하여 제1 전극(211)을 형성한다. 제1 전극(211)은 평탄화막(150)을 관통하는 컨택홀을 통해 박막 트랜지스터(120)의 소스 전극(213)에 접속될 수 있다. 제1 전극(211)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), APC 합금, 및 APC 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/APC/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다.Then, the
네 번째로, 도 7d와 같이, 제1 전극(211) 상에 유기 발광층(212)을 형성한다. (S604)Fourth, an organic
우선, 화소들을 구획하기 위해 평탄화막(150) 상에서 제1 전극(211)의 가장자리를 덮도록 뱅크(220)를 형성하고, 이와 함께 댐(DAM)을 형성한다. 이때, 댐(DAM)은 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸도록 형성된다. 댐(DAM) 및 뱅크(220) 각각은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다.First,
한편, 댐(DAM)이 뱅크(220)와 동시에 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 댐(DAM)은 평탄화막(150)과 동시에 형성될 수도 있다.However, the dam (DAM) may be formed at the same time as the
그런 다음, 제1 전극(211)과 뱅크(220) 상에 유기 발광층(212)을 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성한다.Then, the organic
네 번째로, 도 7e와 같이, 관통 홀 형성 영역(CHA) 및 유기 발광층(212) 상에 제2 전극(213)을 형성한다. (S605)Fourth, a
제2 전극(213)은 화소들에 공통적으로 형성되는 공통층일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 전극(213)은 유기 발광층(212) 상부에서 홈(SH)의 내 측면, 즉, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련된다.The
종래에는 관통 홀을 유기 발광 표시 장치의 표시영역에 형성하기 위해서, 관통 홀 형성 영역을 마스크(mask)로 가린 뒤에 제2 전극을 제1 기판 상에 전체적으로 형성하고, 마스크를 고정하기 위해서 가려진 부분에 제2 전극을 다시 형성하였다. 즉, 종래의 유기 발광 표시 장치는 관통 홀이 형성된 주변 영역에 제2 전극을 2회 증착 형성하게 되는데, 공정 상 제2 전극을 1회 증착할 때와 2회 증착할 때에 영역이 겹치도록 형성된다. 따라서, 종래의 유기 발광 표시 장치는 제2 전극의 두께가 불 균일해져 화상 품질이 저하되는 문제점이 있었다.Conventionally, in order to form the through-holes in the display area of the organic light emitting display, the second electrode is formed entirely on the first substrate after covering the through-hole forming area with a mask, The second electrode was again formed. That is, in the conventional organic light emitting display device, the second electrode is formed twice in the peripheral region where the through hole is formed. In the process, the second electrode is overlapped with the first electrode when the first electrode is deposited once and the second electrode is deposited twice . Therefore, the conventional organic light emitting display device has a problem that the thickness of the second electrode becomes uneven and the image quality deteriorates.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 제1 기판(S1)의 일단에 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸는 홈(SH)을 형성한 뒤에, 관통 홀 형성 영역(CHA)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 형성한다. 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸는 홈(SH) 영역에서 제1 기판(S1)이 끊기게 되므로, 제2 전극(213) 또한 홈 영역에서 끊기게 된다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제2 전극(213)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성에 의해 홈 영역의 내 측면까지 연장되어 마련되며, 관통 홀 형성 영역(CHA)의 제1 기판(S1)을 제거하게 되면, 제2 전극(213)은 관통 홀(CH)의 내 측면까지 마련된다.In order to solve such a problem, an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention includes a first substrate S1 formed with a groove SH surrounding a through hole forming region CHA at one end thereof, The
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 관통 홀 형성 영역(CHA)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 1회만 증착 형성함으로써, 제2 전극(213)의 두께가 불 균일하여 발생하는 화상 품질 저하를 방지할 수 있으며 공정 증가 또한 방지할 수 있다.As described above, the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention can be manufactured in the same manner as in the first embodiment except that the
제2 전극(213)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material)로 형성될 수 있다. 제2 전극(213)은 스퍼터링법과 같은 물리적 기상 증착법(physics vapor deposition)으로 형성될 수 있다. 제2 전극(213) 상에는 캡핑층(capping layer)이 형성될 수 있다.The
다섯 번째로, 도 7f와 같이, 제2 전극(213)을 덮는 봉지막(310)을 형성한다. (S606)Fifthly, as shown in FIG. 7F, a sealing
유기발광소자층(200) 상에 봉지층(300)을 형성한다. 구체적으로 설명하면, 유기발광소자층(200)을 덮도록 제1 무기막(311), 유기막(312), 및 제2 무기막(313)을 차례로 형성한다.An
우선, 평탄화막(150), 뱅크(220), 및 제2 전극(213)을 덮도록 제1 무기막(311)을 형성한다. 구체적으로, 제1 무기막(311)은 제2 전극(213) 및 뱅크(220)를 덮으며, 관통 홈(SH)의 내 측면까지 연장되어 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮는다. 제1 무기막(311)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성이 좋기 때문에, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장된 제2 전극(213)을 상부 및 측부를 덮도록 마련된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 무기막(311)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.First, the first
그런 다음, 제1 무기막(311) 상에 유기막(312)을 형성한다. 유기막(312)은 제1 무기막(311)을 덮도록 형성된다. 유기막(312)은 이물들(particles)이 제1 무기막(311)을 뚫고 유기 발광층(212)과 제2 전극(213)에 투입되는 것을 방지하기 위해 충분한 두께로 형성되는 것이 바람직하다.Then, an
그런 다음, 제2 무기막(313)은 유기막(312)을 덮도록 형성된다. 구체적으로, 제2 무기막(313)은 유기막(312)을 덮으며, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 제1 무기막(311) 및 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮는다. 제2 무기막(313)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성이 좋기 때문에, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장된 제2 전극(213)을 상부 및 측부를 덮도록 마련된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제2 무기막(313)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Then, the second
제1 및 제2 무기막들(311, 313) 각각은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘옥시나이트라이드, 알루미늄 산화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 유기막(312)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다.Each of the first and second
여섯 번째로, 도 7g와 같이, 관통 홀 형성 영역(CHA) 내에 제1 기판(S1)을 제거하여 관통 홀(CH)을 형성한다. (S607)Sixth, as shown in FIG. 7G, the first substrate S1 is removed in the through-hole forming region CHA to form a through-hole CH. (S607)
관통 홀 형성 영역(CHA)의 제1 기판(S1) 상에는 제2 전극(213), 제1 무기막(311), 및 제2 무기막(313)이 형성될 수 있다. 홈(SH) 안쪽에 형성된 제1 기판(S1)을 제거함으로써, 관통 홀 형성 영역(CHA) 내에 관통 홀(CH)을 형성한다.The
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 관통 홀(CH)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 형성함으로써, 제2 전극(213)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련되며, 제2 전극(213)을 1회만 증착 형성함으로써, 제2 전극(213)의 두께가 불 균일하여 발생하는 화상 품질 저하를 방지할 수 있으며 공정 증가 또한 방지할 수 있다.The organic light emitting diode display according to the embodiment of the present invention can form the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 및 제12 무기막(311, 313)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention includes the first and the twelfth
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that the present invention is not limited to those embodiments and various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of protection of the present invention should be construed according to the claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
10: 표시 패널
11: 게이트 구동부
12: 소스 드라이브 IC 13: 연성필름
14: 회로보드 15: 타이밍 제어부
S1: 제1 기판
S2: 제2 기판
20: 편광판 30: 프레임
40: 커버부재 100: 박막 트랜지스터층
110: 버퍼막 120: 박막 트랜지스터
121: 액티브층 122: 게이트 전극
123: 소스 전극 124: 드레인 전극
130: 게이트 절연막 140: 층간 절연막
150: 평탄화막
200: 유기발광소자층
210: 유기발광소자
211: 제1 전극
212: 유기 발광층
213: 제2 전극
220: 뱅크 300: 봉지층
310: 봉지막 311: 제1 무기막
312: 유기막 313: 제2 무기막
DAM: 댐 ID: 내부댐
OD: 외부댐 10: display panel 11: gate driver
12: Source drive IC 13: Flexible film
14: circuit board 15: timing control unit
S1: first substrate S2: second substrate
20: polarizer 30: frame
40: cover member 100: thin film transistor layer
110: buffer film 120: thin film transistor
121: active layer 122: gate electrode
123: source electrode 124: drain electrode
130: gate insulating film 140: interlayer insulating film
150: planarization film 200: organic light emitting element layer
210: organic light emitting device 211: first electrode
212: organic light emitting layer 213: second electrode
220: bank 300: sealing layer
310: sealing film 311: first inorganic film
312: organic film 313: second inorganic film
DAM: Dam ID: Internal dam
OD: External dam
Claims (10)
상기 제1 기판 상에 배치된 제1 전극;
상기 제1 전극 상에 배치된 유기 발광층; 및
상기 유기 발광층 상에 배치된 제2 전극을 포함하고,
상기 제1 기판은 일단에 관통 홀을 가지며, 상기 제2 전극은 상기 관통 홀의 내 측면까지 마련된 유기 발광 표시 장치.A first substrate including a display region in which pixels are arranged, and a non-display region surrounding the display region;
A first electrode disposed on the first substrate;
An organic light emitting layer disposed on the first electrode; And
And a second electrode disposed on the organic light emitting layer,
Wherein the first substrate has a through hole at one end thereof and the second electrode is provided up to an inner side surface of the through hole.
상기 관통 홀은 상기 제1 기판의 표시영역에 마련된 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
And the through hole is provided in a display region of the first substrate.
상기 제1 전극, 상기 유기 발광층, 및 상기 제2 전극을 덮는 봉지막을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
And a sealing film covering the first electrode, the organic light emitting layer, and the second electrode.
상기 봉지막은 제1 무기막, 상기 제1 무기막 상에 배치되는 유기막, 및 상기 유기막을 덮는 제2 무기막을 포함하며,
상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막은 상기 제2 전극의 상부 및 측부를 덮는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 3,
Wherein the sealing film comprises a first inorganic film, an organic film disposed on the first inorganic film, and a second inorganic film covering the organic film,
Wherein the first inorganic film and the second inorganic film cover the upper portion and the side portion of the second electrode.
상기 봉지막은 제1 무기막, 상기 제1 무기막 상에 배치되는 유기막, 및 상기 유기막을 덮는 제2 무기막을 포함하며,
상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막은 상기 관통 홀의 내 측면까지 마련된 유기 발광 표시 장치.The method of claim 3,
Wherein the sealing film comprises a first inorganic film, an organic film disposed on the first inorganic film, and a second inorganic film covering the organic film,
Wherein the first inorganic film and the second inorganic film are provided up to the inner side surface of the through hole.
상기 봉지막은 제1 무기막, 상기 제1 무기막 상에 배치되는 유기막, 및 상기 유기막을 덮는 제2 무기막을 포함하며,
상기 유기막 측면에 배치되며, 상기 관통 홀을 둘러싸는 댐을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.The method of claim 3,
Wherein the sealing film comprises a first inorganic film, an organic film disposed on the first inorganic film, and a second inorganic film covering the organic film,
And a dam disposed on a side of the organic film and surrounding the through hole.
상기 댐은 상기 제1 기판의 표시영역에 마련된 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 6,
Wherein the dam is provided in a display region of the first substrate.
상기 제1 기판의 일단에 관통 홀 형성 영역 주변을 둘러싸는 홈을 형성하는 단계;
상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제1 전극을 형성하는 단계;
상기 제1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계;
상기 관통 홀 형성 영역 및 상기 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계;
상기 제2 전극을 덮는 봉지막을 형성하는 단계; 및
상기 홈 안쪽의 상기 제1 기판을 제거하여 관통 홀을 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.Forming a thin film transistor on the first substrate;
Forming a groove surrounding one end of the through hole forming region at one end of the first substrate;
Forming a first electrode electrically connected to the thin film transistor;
Forming an organic light emitting layer on the first electrode;
Forming a second electrode on the through hole forming region and the organic light emitting layer;
Forming a sealing film covering the second electrode; And
And removing the first substrate inside the groove to form a through hole.
상기 제2 전극은 상기 관통 홀의 내 측면까지 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.9. The method of claim 8,
And the second electrode is formed to the inner surface of the through hole.
상기 봉지막은 제1 무기막, 상기 제1 무기막 상에 배치되는 유기막, 및 상기 유기막을 덮는 제2 무기막을 포함하며,
상기 관통 홀을 형성하는 단계 이전에,
상기 관통 홀 형성 영역의 제1 기판 상에는 상기 제2 전극, 상기 제1 무기막, 및 상기 제2 무기막이 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법9. The method of claim 8,
Wherein the sealing film comprises a first inorganic film, an organic film disposed on the first inorganic film, and a second inorganic film covering the organic film,
Before the step of forming the through-hole,
Wherein the second electrode, the first inorganic film, and the second inorganic film are formed on the first substrate of the through-hole forming region
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