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KR20190052533A - Substrate supporting and transferring apparatus, method of supporting and transferring substrate, and manufacturing method of display apparatus using the same - Google Patents

Substrate supporting and transferring apparatus, method of supporting and transferring substrate, and manufacturing method of display apparatus using the same Download PDF

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KR20190052533A
KR20190052533A KR1020170148288A KR20170148288A KR20190052533A KR 20190052533 A KR20190052533 A KR 20190052533A KR 1020170148288 A KR1020170148288 A KR 1020170148288A KR 20170148288 A KR20170148288 A KR 20170148288A KR 20190052533 A KR20190052533 A KR 20190052533A
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KR
South Korea
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wedge block
substrate
shuttle
lower wedge
chuck
Prior art date
Application number
KR1020170148288A
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Korean (ko)
Inventor
홍상준
박상현
Original Assignee
삼성전자주식회사
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Publication date
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Priority to CN201811230150.6A priority patent/CN109748105A/en
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Abstract

A substrate support and transfer apparatus includes a shuttle, a lower wedge block, an upper wedge block and a chuck. The shuttle can be moved in an x-direction and a y-direction vertical to the x-direction. The lower wedge block is provided on the shuttle and includes a lower surface in parallel with the upper surface of the shuttle and an upper surface inclined with respect to the lower surface. The upper wedge block is provided on the lower wedge block and includes a lower surface in parallel with the upper surface of the lower wedge block and an upper surface in parallel with the upper surface of the shuttle. The chuck is provided on the upper wedge block and supports a substrate.

Description

기판 지지 및 이송 장치, 기판 지지 및 이송 방법 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법{SUBSTRATE SUPPORTING AND TRANSFERRING APPARATUS, METHOD OF SUPPORTING AND TRANSFERRING SUBSTRATE, AND MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY APPARATUS USING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate supporting and conveying device, a substrate supporting and conveying method, and a manufacturing method of a display device using the same,

본 발명은 기판 지지 및 이송 장치, 및 기판 지지 및 이송 방법에 관한 것이다. 보다 자세하게, 본 발명은 기판을 지지하고 원하는 위치로 이송할 수 있는 기판 지지 및 이송 장치, 및 상기 기판 지지 및 이송 장치를 이용한 기판 지지 및 이송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate support and transfer apparatus, and a substrate support and transfer method. More particularly, the present invention relates to a substrate support and transfer device capable of supporting and transporting a substrate to a desired location, and a substrate support and transfer method using the substrate support and transfer device.

일반적으로 표시 패널을 지지하고 이송하는 기판 지지 및 이송 장치는 상기 표시 패널을 지지하기 위한 척(chuck)과 상기 표시 패널을 지지하는 척을 이동시키기 위한 이동 수단을 포함한다. In general, a substrate supporting and conveying apparatus for supporting and conveying a display panel includes a chuck for supporting the display panel and a moving means for moving a chuck for supporting the display panel.

종래의 상기 기판 지지 및 이송 장치는 상기 표시 패널을 견고히 고정하면서도, 원하는 위치로 이송시켜야 하는데, 상기 이동 수단이 복잡하게 구성되어, 상기 표시 패널을 견고하게 지지하지 못하는 문제가 있었다.Conventionally, the above-mentioned substrate supporting and conveying device must transfer the display panel to a desired position while firmly fixing the display panel. However, the moving means is complicated and the display panel can not be firmly supported.

본 발명의 일 과제는 다양한 크기 및 두께의 기판들을 지지하고 이송하는 기판 지지 및 이송 장치를 제공하는 데 있다.An aspect of the present invention is to provide a substrate support and transfer apparatus for supporting and transferring substrates of various sizes and thicknesses.

본 발명의 다른 과제는 다양한 크기 및 두께의 기판들을 지지하고 이송하는 기판 지지 및 이송 방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a substrate supporting and transferring method for supporting and transferring substrates of various sizes and thicknesses.

본 발명의 또 다른 과제는 상기 기판 지지 및 이송 장치를 이용하는 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 데 있다.It is still another object of the present invention to provide a method of manufacturing a display device using the substrate supporting and transferring device.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀, 하부 웨지 블록, 상부 웨지 블록 및 척을 포함한다. 상기 셔틀은 x 방향 및 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 이동 가능하다. 상기 하부 웨지 블록은 상기 셔틀 상에 배치되고, 상기 셔틀의 상면과 평행한 하면 및 상기 하면에 대해 경사진 상면을 포함한다. 상기 상부 웨지 블록은 상기 하부 웨지 블록 상에 배치되고, 상기 하부 웨지 블록의 상기 상면과 평행한 하면 및 상기 셔틀의 상면과 평행한 상면을 포함한다. 상기 척은 상기 상부 웨지 블록 상에 배치되고, 기판을 지지한다. According to exemplary embodiments of the present invention, a substrate supporting and transferring apparatus includes a shuttle, a lower wedge block, an upper wedge block, and a chuck. The shuttle is movable in the x direction and in the y direction perpendicular to the x direction. The lower wedge block is disposed on the shuttle and includes a lower surface parallel to the upper surface of the shuttle and an upper surface inclined relative to the lower surface. The upper wedge block is disposed on the lower wedge block and includes a lower surface parallel to the upper surface of the lower wedge block and an upper surface parallel to the upper surface of the shuttle. The chuck is disposed on the upper wedge block and supports the substrate.

상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 지지 및 이송 방법에 있어서, 제1 두께를 갖는 제1 기판을 로딩 하기 위해, 기판 지지 및 이송 장치의 척을 x 방향, 상기 x 방향과 수직한 y 방향 또는 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 z 방향으로 이동하거나, 상기 x 방향 및 상기 y 방향이 이루는 xy 평면 상에서 회전 시킨다. 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척 상에 상기 제1 기판을 로딩(loading)한다. 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척을 x 방향, y 방향 및 z 방향으로 이동하거나, xy 평면 상에서 회전 시켜, 상기 제1 기판을 필요로 하는 공정을 수행하기 위한 공정 위치로 이송한다. 상기 제1 기판을 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척으로부터 이격시켜 상기 제1 기판을 언로딩(unloading)한다. 제2 두께를 갖는 제2 기판을 로딩 하기 위해, 기판 지지 및 이송 장치의 척을 상기 x 방향, 상기 y 방향 또는 상기 z 방향으로 이동하거나, 상기 xy 평면 상에서 회전 시킨다. 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척 상에 상기 제2 기판을 로딩한다. 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척을 x 방향, y 방향 및 z 방향으로 이동하거나, xy 평면 상에서 회전 시켜, 상기 제2 기판을 필요로 하는 공정을 수행하기 위한 공정 위치로 이송한다. 상기 제2 기판을 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척으로부터 이격시켜 상기 제2 기판을 언로딩한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of supporting and transporting a substrate, the method comprising: moving the chuck of the substrate supporting and transferring device in the x direction, in the y direction perpendicular to the x direction or in the z direction perpendicular to the x direction and the y direction, or on the xy plane formed by the x direction and the y direction. And the first substrate is loaded on the chuck of the substrate supporting and transferring device. The chuck of the substrate support and transfer device is moved in the x, y and z directions or rotated on the xy plane to transfer the first substrate to a process position for performing the required process. The first substrate is unloaded from the chuck of the substrate supporting and transferring device by unloading the first substrate. To load a second substrate having a second thickness, a chuck of the substrate support and transfer device is moved in the x direction, the y direction or the z direction, or rotated on the xy plane. And the second substrate is loaded onto the chuck of the substrate supporting and transferring device. The chuck of the substrate support and transfer device is moved in the x-, y- and z-direction, or rotated on the xy-plane to transfer the second substrate to a process position for performing the required process. The second substrate is separated from the chuck of the substrate supporting and transferring device to unload the second substrate.

상기 본 발명의 또 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 표시 장치를 제조 하기 위한 기판을 준비하고, 상기 기판 상에 포토레지스트 층을 형성한다. 상기 포토 레지스트 층이 형성된 기판을 기판 지지 및 이송 장치를 이용하여 노광 위치로 이동시키는 기판 지지 및 이송한다. 상기 포토 레지스트 층이 형성된 상기 기판에 대해 후속 공정을 진행하여 상기 표시 장치를 제조한다. 상기 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀, 하부 웨지 블록, 상부 웨지 블록 및 척을 포함한다. 상기 셔틀은 x 방향 및 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 이동 가능하다. 상기 하부 웨지 블록은 상기 셔틀 상에 배치되고, 상기 셔틀의 상면과 평행한 하면 및 상기 하면에 대해 경사진 상면을 포함한다. 상기 상부 웨지 블록은 상기 하부 웨지 블록 상에 배치되고, 상기 하부 웨지 블록의 상기 상면과 평행한 하면 및 상기 셔틀의 상면과 평행한 상면을 포함한다. 상기 척은 상기 상부 웨지 블록 상에 배치되고, 기판을 지지한다. According to still another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a display device, comprising: preparing a substrate for manufacturing a display device; and forming a photoresist layer on the substrate. And the substrate on which the photoresist layer is formed is moved to the exposure position using a substrate supporting and transferring device. The display device is manufactured by performing a subsequent process on the substrate on which the photoresist layer is formed. The substrate support and transfer apparatus includes a shuttle, a lower wedge block, an upper wedge block, and a chuck. The shuttle is movable in the x direction and in the y direction perpendicular to the x direction. The lower wedge block is disposed on the shuttle and includes a lower surface parallel to the upper surface of the shuttle and an upper surface inclined relative to the lower surface. The upper wedge block is disposed on the lower wedge block and includes a lower surface parallel to the upper surface of the lower wedge block and an upper surface parallel to the upper surface of the shuttle. The chuck is disposed on the upper wedge block and supports the substrate.

예시적인 실시예들에 따른 기판 지지 및 이송 장치 및 기판 지지 및 이송 방법에 있어서, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀, 상기 셔틀 상에 배치되는 하부 웨지 블록, 상기 하부 웨지 블록 상에 배치되는 상부 웨지 블록, 및 상기 상부 웨지 블록 상에 배치되고 기판을 지지하는 척을 포함한다. 상기 셔틀이 x 방향 및 y 방향으로 이동하고, 상기 상부 웨지 블록이 상기 x 방향으로 이동하고, 상기 하부 웨지 블록이 xy 평면 상에서 회전 이동하여, 상기 척을 원하는 위치로 이동시킬 수 있으므로, 다양한 두께의 기판들을 처리할 수 있다. A substrate support and transfer device and a substrate support and transfer method in accordance with exemplary embodiments, the substrate support and transfer device comprising a shuttle, a lower wedge block disposed on the shuttle, a lower wedge block disposed on the lower wedge block, Block, and a chuck disposed on the upper wedge block and supporting the substrate. The shuttle moves in the x and y directions and the upper wedge block moves in the x direction and the lower wedge block rotates on the xy plane to move the chuck to a desired position, Substrates can be processed.

또한, 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 구조들의 무게 중심이 z 방향으로 더 낮은 위치에 위치하므로, 상기 척의 이동에도 불구하고 안정적으로 기판 지지할 수 있다. 이에 따라 공정 효율 향상될 수 있다. In addition, since the center of gravity of the structures of the substrate supporting and transferring apparatus is located at a lower position in the z direction, the substrate can be stably supported despite the movement of the chuck. Thus, the process efficiency can be improved.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and may be variously expanded without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 지지 및 이송 장치를 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1의 I-I'선을 절단한 상기 기판 지지 및 이송 장치의 셔틀, 하부 웨지(wedge) 블록, 상부 웨지 블록, 및 척의 단면도이다.
도 3은 도 1의 II-II'선을 절단한 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 셔틀, 상기 하부 웨지 블록, 상기 상부 웨지 블록, 및 리프팅 유닛의 단면도이다.
도 4는 도 1의 III-III'선을 절단한 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 셔틀, 상기 하부 웨지 블록, 상기 상부 웨지 블록, 상기 척 및 상기 리프팅 유닛의 단면도이다.
도 5a, 5b 및 5c는 도 1의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 상부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다.
도 6a, 6b, 6c 및 6d는 도 1의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 하부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들 및 평면도이다.
도 7은 도 1의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 리프팅 유닛의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 8a 및 도 8b는 도 7의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 리프팅 유닛의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다.
도 9a, 9b 및 9c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 및 이송 장치의 상부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다.
도 10a, 10b 및 10c는 도 9a 내지 9c의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 하부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다.
도 11a, 11b 및 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 및 이송 장치의 상부 웨지 블록 및 하부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 및 이송 방법을 나타낸 순서도이다.
도 13은 도 12의 기판 지지 및 이송 방법의 제1 사전 정렬 단계를 나타낸 순서도이다.
도 14는 도 13의 상부 웨지 블록 이동 단계를 나타낸 순서도이다.
도 15는 도 13의 하부 웨지 블록 회전 단계를 나타낸 순서도이다.
도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 1 is a plan view of a substrate support and transfer apparatus in accordance with exemplary embodiments.
2 is a cross-sectional view of a shuttle, a lower wedge block, an upper wedge block, and a chuck of the substrate support and transfer device cut along line I-I 'of Fig.
3 is a cross-sectional view of the shuttle, the lower wedge block, the upper wedge block, and the lifting unit of the substrate support and transfer device cut along the line II-II 'in Fig.
4 is a cross-sectional view of the shuttle, the lower wedge block, the upper wedge block, the chuck, and the lifting unit of the substrate supporting and conveying device cut along line III-III 'of FIG.
Figures 5A, 5B and 5C are cross-sectional views illustrating the operation of the upper wedge block of the substrate support and transfer device of Figure 1;
Figures 6a, 6b, 6c and 6d are cross-sectional views and plan views illustrating the operation of the lower wedge block of the substrate support and transfer apparatus of Figure 1;
Fig. 7 is a perspective view showing a part of the lifting unit of the substrate supporting and conveying apparatus of Fig. 1;
Figures 8A and 8B are cross-sectional views illustrating the operation of the lifting unit of the substrate support and transfer apparatus of Figure 7;
Figures 9a, 9b and 9c are cross-sectional views illustrating the operation of the upper wedge block of the substrate support and transfer apparatus in accordance with an embodiment of the present invention.
Figures 10A, 10B and 10C are cross-sectional views illustrating the operation of the lower wedge block of the transfer and substrate support of Figures 9A-9C.
11A, 11B and 11C are cross-sectional views illustrating the operation of the upper wedge block and the lower wedge block of the substrate support and transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
12 is a flowchart illustrating a method of supporting and transferring a substrate according to an embodiment of the present invention.
Figure 13 is a flow chart illustrating a first pre-alignment step of the substrate support and transfer method of Figure 12;
14 is a flowchart showing the upper wedge block moving step of Fig.
15 is a flowchart showing the lower wedge block rotating step of Fig.
16 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 지지 및 이송 장치를 나타낸 평면도이다. 도 2는 도 1의 I-I'선을 절단한 상기 기판 지지 및 이송 장치의 셔틀, 하부 웨지(wedge) 블록, 상부 웨지 블록, 및 척의 단면도이다. 도 3은 도 1의 II-II'선을 절단한 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 셔틀, 상기 하부 웨지 블록, 상기 상부 웨지 블록, 및 리프팅 유닛의 단면도이다. 도 4는 도 1의 III-III'선을 절단한 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 셔틀, 상기 하부 웨지 블록, 상기 상부 웨지 블록, 상기 척 및 상기 리프팅 유닛의 단면도이다. 1 is a plan view of a substrate support and transfer apparatus in accordance with exemplary embodiments. 2 is a cross-sectional view of a shuttle, a lower wedge block, an upper wedge block, and a chuck of the substrate support and transfer device cut along line I-I 'of Fig. 3 is a cross-sectional view of the shuttle, the lower wedge block, the upper wedge block, and the lifting unit of the substrate support and transfer device cut along the line II-II 'in Fig. 4 is a cross-sectional view of the shuttle, the lower wedge block, the upper wedge block, the chuck, and the lifting unit of the substrate supporting and conveying device cut along line III-III 'of FIG.

도 1 내지 4를 참조하면, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 x축 이동 유닛(20), y축 이동 유닛(30), 셔틀(100), 하부 웨지 블록(200), 상부 웨지 블록(300), 척(400), 회전 유닛(500) 및 리프팅 유닛(600)을 포함할 수 있다. 1 to 4, the substrate supporting and transferring device includes an x-axis moving unit 20, a y-axis moving unit 30, a shuttle 100, a lower wedge block 200, an upper wedge block 300, A chuck 400, a rotating unit 500, and a lifting unit 600.

상기 셔틀(100)은 상기 x축 이동 유닛(20)과 연결되고, 상기 x축 이동 유닛(20)은 상기 y축 이동 유닛(30)과 연결될 수 있다. 상기 셔틀(100)은 상기 x축 이동 유닛(20) 및 상기 y축 이동 유닛(30)에 의해 x 방향(x) 및 상기 x 방향(x)과 수직한 y 방향(y)이 이루는 xy평면 상에서 이동할 수 있다. The shuttle 100 may be connected to the x-axis moving unit 20 and the x-axis moving unit 20 may be connected to the y-axis moving unit 30. [ The shuttle 100 is mounted on the xy plane formed by the x-axis moving unit 20 and the y-axis moving unit 30 in the x direction (x) and the y direction (y) perpendicular to the x direction (x) Can be moved.

상기 하부 웨지 블록(200)은 상기 셔틀(100) 상에 배치될 수 있다. 상기 하부 웨지 블록(200)의 하면은 상기 셔틀(100)의 상면과 평행하고, 상기 하부 웨지 블록(200)의 상면은 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 하면에 대해 경사지며, 이에 따라 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 x 방향(x) 및 상기 y 방향(y)과 수직한 z 방향(z)과 평행하게 절단한 단면(도 2의 단면 참조)은 쐐기 모양일 수 있다. The lower wedge block 200 may be disposed on the shuttle 100. The lower surface of the lower wedge block 200 is parallel to the upper surface of the shuttle 100 and the upper surface of the lower wedge block 200 is inclined with respect to the lower surface of the lower wedge block 200, The cross section (see the section of FIG. 2) cut parallel to the z direction (z) perpendicular to the x direction (x) and the y direction (y) of the wedge block 200 may be a wedge shape.

상기 하부 웨지 블록(200)에는 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 하면에서 상기 셔틀 방향으로 압축 공기를 분사하거나, 반대로 공기를 흡입(진공)하는 하부 분사 흡입 수단이 형성될 수 있다. 이에 따라 상기 하부 웨지 블록(200)은 상기 셔틀(100)에 대해 부상(浮上)하여 이동하거나, 상기 셔틀(100)에 접하여 고정될 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 도 5a 내지 5c에서 후술한다. The lower wedge block 200 may be provided with a lower jet sucking means for jetting compressed air from the lower surface of the lower wedge block 200 in the shuttle direction or vice versa. Accordingly, the lower wedge block 200 may float or move relative to the shuttle 100, or may be fixed in contact with the shuttle 100. A detailed description thereof will be described later with reference to Figs. 5A to 5C.

상기 상부 웨지 블록(300)은 상기 하부 웨지 블록(200) 상에 배치될 수 있다. 상기 상부 웨지 블록(300)의 하면은 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 상면과 평행하고, 상기 상부 웨지 블록(200)의 상면은 상기 상부 웨지 블록(200)의 상기 하면에 대해 경사지고 상기 셔틀(100)의 상기 상면과 평행하며, 이에 따라 상기 상부 웨지 블록(200)의 상기 z 방향(z)과 평행하게 절단한 단면(도 2의 단면 참조)은 쐐기 모양일 수 있다. The upper wedge block 300 may be disposed on the lower wedge block 200. The lower surface of the upper wedge block 200 is parallel to the upper surface of the lower wedge block 200 and the upper surface of the upper wedge block 200 is inclined with respect to the lower surface of the upper wedge block 200, (See the section of FIG. 2) that is parallel to the upper surface of the upper wedge block 100 and thus parallel to the z-direction (z) of the upper wedge block 200 may be wedge-shaped.

상기 상부 웨지 블록(300)에는 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 하면에서 상기 하부 웨지 블록(200) 방향으로 압축 공기를 분사하거나, 반대로 공기를 흡입(진공)하는 상부 분사 흡입 수단이 형성될 수 있다. 이에 따라 상기 상부 웨지 블록(300)은 상기 하부 웨지 블록(200)에 대해 부상(浮上)하여 이동하거나, 상기 하부 웨지 블록(200)에 접하여 고정될 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 도 6a 내지 6d에서 후술한다. The upper wedge block 300 may be provided with an upper injection sucking means for injecting compressed air from the lower surface of the upper wedge block 300 toward the lower wedge block 200 or vice versa, have. Accordingly, the upper wedge block 300 may float or move relative to the lower wedge block 200, or may be fixed in contact with the lower wedge block 200. A detailed description thereof will be described later with reference to Figs. 6A to 6D.

상기 상부 웨지 블록(300)은 상기 하부 웨지 블록(200)에 대해 일 방향으로만 상대 운동이 가능하며, 도면상에서 상기 x 방향(x)으로만 서로 상대 운동이 가능하고, 상기 y 방향(y)으로는 서로 상대 운동하지 못하도록 설치될 수 있다. 예를 들면, 상기 상부 웨지 블록(300)과 상기 하부 웨지 블록(200)이 접하는 부분에 상기 x 방향(x)으로 연장되어, 상기 상부 웨지 블록(300)과 상기 하부 웨지 블록(200)이 상기 x 방향(x)으로만 이동 가능하도록 가이드 하는 가이드부(미도시)가 형성될 수 있다. 이때, 상기 가이드부는 상기 상부 웨지 블록(300)과 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 z 방향(z)의 상대 운동은 제약하지 않도록 구성되어야 한다. (도 5a, 5b, 6a 및 6b 등 참조)The upper wedge block 300 is relatively movable in only one direction with respect to the lower wedge block 200. The upper wedge block 300 is movable relative to the lower wedge block 200 only in the x direction x, So that they can not be moved relative to each other. For example, the upper wedge block 300 and the lower wedge block 200 may extend in the x-direction (x) at a portion where the upper wedge block 300 contacts the lower wedge block 200, (not shown) for guiding to move only in the x-direction (x) may be formed. At this time, the guide portion should be configured not to restrict the relative movement of the upper wedge block 300 and the lower wedge block 200 in the z direction (z). (See Figs. 5A, 5B, 6A and 6B, etc.)

상기 상부 웨지 블록(300)이 상기 하부 웨지 블록(200)에 대해 상대 운동함에 따라, 상기 척(400)의 상기 z 방향(z)의 위치가 이동할 수 있다. 또한, 상기 하부 웨지 블록(200)은 상기 셔틀(100)에 대해 상기 xy 평면 상에서 소정각도 회전할 수 있다(도 6c 참조). 이에 따라, 기판(10)을 지지 하는 상기 척(400)은 상기 x 방향(x), 상기 y 방향(y), 상기 z 방향(z) 및 상기 xy 평면 상에서 소정각도 회전이 가능하므로, 상기 기판(10)을 지지하고 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. As the upper wedge block 300 moves relative to the lower wedge block 200, the position of the chuck 400 in the z direction (z) can move. Further, the lower wedge block 200 may rotate at a predetermined angle in the xy plane with respect to the shuttle 100 (see Fig. 6C). Accordingly, the chuck 400 supporting the substrate 10 can rotate at a predetermined angle in the x direction (x), the y direction (y), the z direction (z) and the xy plane, (10) can be supported and moved to a desired position.

상기 척(400)은 상기 상부 웨지 블록(300) 상에 배치될 수 있다. 상기 척(400)은 상기 기판 지지 및 이송 장치에 의해 지지 및 이송되는 기판(10)을 고정하기 위한 것으로, 알려진 다양한 종류의 척(chuck)이 사용될 수 있다. 예를 들면, 진공척(vacuum chuck), 정전척(electrostatic chuck), 다공성 척(porous chuck) 등이 사용될 수 있다. The chuck 400 may be disposed on the upper wedge block 300. The chuck 400 is for fixing the substrate 10 supported and transferred by the substrate supporting and transferring device, and various kinds of known chucks may be used. For example, a vacuum chuck, an electrostatic chuck, a porous chuck, or the like may be used.

상기 척(400)은 서로 이격되는 복수의 부분으로 나누어져 배치될 수 있다. (도1 참조) 이는 상기 리프팅 유닛(600)이 배치되기 위한 공간을 위한 것으로, 상기 하부 웨지 블록(200), 상기 상부 웨지 블록(300) 및 상기 척(400)이 상기 xy 평면상에서 회전하여(도 6c 참조), 상기 리프팅 유닛(600)이 고정되는 상기 셔틀(100)에 대한 상대적인 위치가 변동되더라도 상기 척(400)과 상기 리프팅 유닛(600)의 간섭이 발생하지 않기 위함이며, 따라서 상기 척(400)의 복수의 부분들은 충분한 간격으로 서로 이격되도록 형성될 수 있다. The chuck 400 may be divided into a plurality of parts spaced apart from each other. The lower wedge block 200, the upper wedge block 300 and the chuck 400 are rotated on the xy plane (see FIG. 1) 6C), interference between the chuck 400 and the lifting unit 600 does not occur even if the relative position of the lifting unit 600 relative to the shuttle 100 is changed, The plurality of portions of the substrate 400 may be formed to be spaced apart from each other at sufficient intervals.

상기 척(400) 상에는 기판(10)이 안착될 수 있다. 이에 따라 상기 기판 지지 및 이송 유닛이 상기 기판(10)을 지지하고 원하는 위치로 이송 시킬 수 있다. 상기 기판(10)은 표시 장치의 제조 사용되는 표시 기판일 수 있다. 이때, 상기 기판(10)이 작업 대상에 따라 다양한 두께를 가질 수 있다. 본 실시에에 따르면, 상기 하부 웨지 블록(200)과 상기 상부 웨지 블록(300)의 상대적인 위치 이동에 따라, 상기 척(400)의 상기 z 방향(z)의 위치, 즉 상기 척의 높이가 변화될 수 있으므로, 상기 기판(10)의 두께가 변화 하더라도 상기 기판(10)을 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. The substrate 10 may be seated on the chuck 400. So that the substrate support and transfer unit can support and transport the substrate 10 to a desired location. The substrate 10 may be a display substrate in which the display device is manufactured and used. At this time, the substrate 10 may have various thicknesses depending on the work subject. According to the present embodiment, the position of the chuck 400 in the z direction (z), i.e., the height of the chuck is changed in accordance with the relative positional movement of the lower wedge block 200 and the upper wedge block 300 The substrate 10 can be moved to a desired position even if the thickness of the substrate 10 is changed.

상기 회전 유닛(500)은 상기 하부 웨지 블록(200)을 상기 셔틀(100) 상에서 상기 xy 평면에 대해 소정각도 회전 시킬 수 있도록 한다. 상기 회전 유닛(500)은 상기 하부 웨지 블록(200)의 제1 측면(도 1에서 좌측면)에 배치되는 제1 회전 유닛(510), 상기 제1 측면과 접하는 제2 측면(도 1에서 하측면)에 배치되는 제2 회전 유닛(520) 및 제3 회전 유닛(530)을 포함할 수 있다. 각각의 상기 제1 내지 제3 회전 유닛(510, 520, 530)들은 보이스 코일 모터(voice coil motor)일 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 도 6c에서 후술한다. The rotation unit 500 allows the lower wedge block 200 to be rotated on the shuttle 100 by a predetermined angle relative to the xy plane. The rotating unit 500 includes a first rotating unit 510 disposed on a first side surface (left side surface in FIG. 1) of the lower wedge block 200, a second side surface contacting the first side surface A second rotating unit 520 and a third rotating unit 530 disposed on the side of the first rotating unit 530. Each of the first to third rotating units 510, 520, and 530 may be a voice coil motor. A detailed description thereof will be described later with reference to FIG. 6C.

상기 리프팅 유닛(600)은 상기 기판(10)을 상기 척(400)으로부터 분리 또는 안착 시킬 수 있다. 상기 리프팅 유닛(600)은 리프팅 부(610) 및 리프팅 구동부(620)를 포함할 수 있다. 상기 리프팅 구동부(620)는 상기 셔틀(100) 상에 설치되고, 상기 리프팅 부(610)를 상기 z 방향(z)으로 이동시킬 수 있다. 상기 리프팅 부(610)는 상기 x 방향(x)으로 연장되는 바(bar) 형상으로, 상기 척(400)의 상기 복수의 부분들 사이에 배치되어, 상기 리프팅 부(610)가 상승함에 따라, 상기 기판(10)이 상기 척(400)으로부터 이격될 수 있다. 상기 리프팅 부(610)는 상기 척(400)의 상기 복수의 부분들이 이격된 부분들에 대응하여 복수개가 배치될 수 있다. 상기 리프팅 유닛(600)에 대한 자세한 설명은 도 7, 8a 및 8b 에서 후술한다. The lifting unit 600 may separate or seat the substrate 10 from the chuck 400. The lifting unit 600 may include a lifting unit 610 and a lifting drive unit 620. The lifting drive unit 620 is installed on the shuttle 100 and can move the lifting unit 610 in the z direction z. The lifting unit 610 is disposed between the plurality of portions of the chuck 400 in the shape of a bar extending in the x direction x, The substrate 10 may be spaced from the chuck 400. [ A plurality of lifting portions 610 may be disposed corresponding to the spaced portions of the plurality of portions of the chuck 400. A detailed description of the lifting unit 600 will be given later in FIGS. 7, 8A and 8B.

본 실시예에 따르면, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 상기 기판(10)을 지지하는 상기 척(400)을 상기 x 방향(x) 상기 y 방향(y) 및 상기 z 방향(z)을 따라 이동하거나, 상기 척(400)을 상기 xy 평면 상에서 상기 소정각도 회전이 가능하므로, 다양한 크기 및 두께의 기판을 지지하고 원하는 위치로 이동 시킬 수 있다. According to the present embodiment, the substrate supporting and transferring device may move the chuck 400 supporting the substrate 10 in the x direction (x) along the y direction (y) and the z direction (z) , The chuck 400 can be rotated at the predetermined angle on the xy plane, so that substrates of various sizes and thickness can be supported and moved to a desired position.

특히, 처리해야 하는 상기 기판(10)의 크기 및 두께가 다양한 경우, 예를 들면, 모델 마다 다른 스펙을 갖는 표시 장치용 표시 패널등의 경우, 상기 기판 지지 및 이송 장치의 하드웨어적 변경 없이도, 상기 척(400)의 위치를 적절하게 변경하여 대응할 수 있다. Particularly, when the size and thickness of the substrate 10 to be processed are various, for example, in the case of a display panel or the like for a display device having different specifications for each model, The position of the chuck 400 can be appropriately changed and coped with.

한편, 종래의 기판 지지 및 이송 장치는 xy 평면 상에서 이동 가능한 셔틀 상부에 z 방향으로 척을 이동시킬 수 있는 리프터 등을 설치하여야 상기 척의 3차원 적인 이동이 가능하였다. 이러한 경우, 상기 리프터 등의 구조에 의해 상기 셔틀만 존재하는 경우에 비해 상기 셔틀 및 상기 리프터를 포함하는 구조의 무게 중심이 더 높아지고, 이에 따라 상기 셔틀이 이동할 때, 이송되는 기판이 안정적으로 지지되지 못하는 문제가 있다. Meanwhile, in the conventional substrate supporting and transferring apparatus, a lifter or the like capable of moving the chuck in the z direction is provided on the upper part of the shuttle which can move on the xy plane, so that the chuck can be moved in three dimensions. In this case, due to the structure of the lifter or the like, the center of gravity of the structure including the shuttle and the lifter is higher as compared with the case where only the shuttle is present, and thus the substrate to be transported is not stably supported There is a problem that can not be done.

반면, 상기 종래의 기판 지지 및 이송 장치 대비, 본 발명에 따른 상기 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀 상부의 구조들, 즉 하부 웨지 블록, 상부 웨지 블록 및 척을 포함하는 구조의 무게 중심이 z 방향으로 더 낮은 위치에 위치하므로, 상기 셔틀의 xy 평면상에서의 이동에도 불구하고 안정적으로 기판 지지할 수 있다. 이에 따라 공정 효율 향상될 수 있다. On the other hand, compared to the conventional substrate supporting and transferring apparatus, the substrate supporting and transferring apparatus according to the present invention has a structure in which the center of gravity of the structure including the upper part of the shuttle, that is, the lower wedge block, the upper wedge block, So that the substrate can be stably supported despite the movement of the shuttle on the xy plane. Thus, the process efficiency can be improved.

특히, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 웨이퍼 대비 대형이며 다양한 크기와 두께를 갖는 복수의 표시 장치용 표시 패널들을 지지하고 이송하는데 적합할 수 있다. In particular, the substrate support and transfer apparatus may be suitable for supporting and transporting display panels for a plurality of display apparatuses having a large size and a variety of sizes and thicknesses compared with wafers.

도 5a, 5b 및 5c는 도 1의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 상부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다. Figures 5A, 5B and 5C are cross-sectional views illustrating the operation of the upper wedge block of the substrate support and transfer device of Figure 1;

도 5a 내지 5c를 참조하면, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 x축 이동 유닛, y축 이동 유닛, 셔틀(100), 하부 웨지 블록(200), 상부 웨지 블록(300), 척(400), 회전 유닛 및 리프팅 유닛을 포함할 수 있다. 상기 척(400)의 z 방향(z)의 위치를 조정하기 위해서, 상기 상부 웨지 블록(300)을 이동 시킬 수 있다. 5A through 5C, the substrate supporting and transferring apparatus includes an x-axis moving unit, a y-axis moving unit, a shuttle 100, a lower wedge block 200, an upper wedge block 300, a chuck 400, Unit and a lifting unit. The upper wedge block 300 can be moved to adjust the position of the chuck 400 in the z direction z.

도 5a를 다시 참조하면, 상기 상부 웨지 블록(300)은 제2 관(310) 및 상기 제2 관(310)과 연결되고 상기 상부 웨지 블록(300)의 하면(304)에 형성되는 복수의 제2 홀들(312)을 포함할 수 있다. 상기 제2 관(310)에는 압축 공기 제공 수단(미도시) 및 진공 제공 수단(미도시)이 연결될 수 있다. 상기 압축 공기 제공 수단에서 압축 공기를 상기 제2 관(310)에 제공하면, 상기 압축 공기가 상기 제2 관(310)을 통해 상기 제2 홀들(312)로 분사될 수 있다. 이에 따라, 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 하면(304)에서 상기 하부 웨지 블록(200)의 상면(202)으로 압축 공기를 분사할 수 있으며, 상기 상부 웨지 블록(300) 및 상기 상부 웨지 블록(300)의 상면(302) 상에 배치된 상기 척(400)은 상기 하부 웨지 블록(200)에 대해 부상(浮上)할 수 있다. 5A, the upper wedge block 300 includes a second tube 310 and a plurality of second tubes 310 connected to the second tube 310 and formed in a lower surface 304 of the upper wedge block 300 2 < / RTI > Compressed air providing means (not shown) and vacuum providing means (not shown) may be connected to the second tube 310. When compressed air is supplied to the second pipe 310 from the compressed air providing means, the compressed air can be injected into the second holes 312 through the second pipe 310. The upper wedge block 300 and the upper wedge block 300 can spray compressed air from the lower surface 304 of the upper wedge block 300 to the upper surface 202 of the lower wedge block 200, The chuck 400 disposed on the upper surface 302 of the lower wedge block 300 may float against the lower wedge block 200.

도 5b를 다시 참조하면, 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 제2 홀들(312)이 상기 압축 공기를 분사하는 동안, 상기 상부 웨지 블록(300)이 x 방향(x)과 평행하게 이동하여, 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 z 방향 (z)의 위치가 변경될 수 있다. 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 하면(304)과 상기 하부 웨지 블록(200)의 상면(202)은 상기 x 방향(x)과 y 방향(도 1의 y 참조)이 이루는 xy 평면에 대해 경사지게 형성되어 있으므로, 상기 상부 웨지 블록(300)이 상기 x 방향(x)과 평행하게 이동하는 동안, 상기 상부 웨지 블록(300)은 상기 z 방향(z)으로의 위치가 변화한다. 이에 따라, 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 상면(302) 상에 배치되는 상기 척(400)의 상기 z 방향(z)으로의 위치를 변경시킬 수 있다. 5B, while the second holes 312 of the upper wedge block 300 inject the compressed air, the upper wedge block 300 moves parallel to the x-direction (x) The position of the upper wedge block 300 in the z direction (z) can be changed. The lower surface 304 of the upper wedge block 300 and the upper surface 202 of the lower wedge block 200 are inclined with respect to the xy plane formed by the x direction (x) and the y direction (see y in FIG. 1) The upper wedge block 300 changes its position in the z direction (z) while the upper wedge block 300 moves in parallel with the x direction (x). Thus, the position of the chuck 400 disposed on the upper surface 302 of the upper wedge block 300 in the z direction (z) can be changed.

이때, 상기 상부 웨지 블록(300)은 상기 x 방향(x)과 평행한 방향으로만 이동 가능하고, 상기 y 방향(y)으로는 이동 하지 못하도록 가이드부(미도시)에 의해 가이드될 수 있다. 상기 가이드부는 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 y 방향(y)으로의 이동을 제한하고, 상기 x 방향(x) 및 상기 z 방향(z) 방향으로의 이동은 제한하지 않도록 구비될 수 있다. 또한, 도면 상에 도시하지 않았으나, 상기 상부 웨지 블록(300)을 이동시키기 위한 이동 수단이 더 형성될 수 있다. At this time, the upper wedge block 300 can be moved only in a direction parallel to the x direction (x), and can be guided by a guide portion (not shown) so as not to move in the y direction (y). The guide portion may be provided to restrict movement of the upper wedge block 300 in the y-direction (y) and not to restrict movement in the x-direction (x) and the z-direction (z). Further, although not shown in the drawing, a moving means for moving the upper wedge block 300 may further be formed.

도 5c를 다시 참조하면, 상기 상부 웨지 블록(300)이 이동하여, 상기 척(400)의 상기 z 방향(z)으로의 위치가 원하는 위치에 도달하는 경우, 상기 상부 웨지 블록(300)을 상기 하부 웨지 블록(200) 상에 고정시킬 수 있다. 상기 진공 제공 수단에서 진공을 발생하면, 상기 진공 제공 수단에 연결된 상기 제2 관(310)을 통해 상기 제2 홀들(312)에 진공이 제공된다. 이에 따라 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 하면(304)과 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 상면(202) 사이에 흡입력이 발생하여, 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 하면(304)과 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 상면(202)이 서로 접착된다. 이에 따라, 상기 상부 웨지 블록(300)을 상기 하부 웨지 블록(200) 상에 고정할 수 있다. 5C, when the upper wedge block 300 moves and the position of the chuck 400 in the z direction (z) reaches a desired position, the upper wedge block 300 And can be fixed on the lower wedge block 200. When a vacuum is generated in the vacuum providing means, vacuum is provided to the second holes 312 through the second tube 310 connected to the vacuum providing means. A suction force is generated between the lower surface 304 of the upper wedge block 300 and the upper surface 202 of the lower wedge block 200 so that the lower surface of the lower surface 304 of the upper wedge block 300 The upper surface 202 of the lower wedge block 200 is bonded to one another. Accordingly, the upper wedge block 300 can be fixed on the lower wedge block 200.

본 실시예에서는 상기 압축 공기와 상기 진공이 상기 제2 관(310) 및 상기 제2 홀들(312)을 통해 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 하면(304)에 제공되었으나, 이에 한정되지 않는다. 예를들면, 상기 압축 공기와 상기 진공이 별도로 형성된 관들과 홀들에 의해 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 하면(304)에 제공될 수 도 있다. In the present embodiment, the compressed air and the vacuum are provided to the lower surface 304 of the upper wedge block 300 through the second tube 310 and the second holes 312, but are not limited thereto. For example, the compressed air and the vacuum may be provided to the lower surface 304 of the upper wedge block 300 by means of tubes and holes formed separately.

도 6a, 6b, 6c 및 6d는 도 1의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 하부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들 및 평면도이다. Figures 6a, 6b, 6c and 6d are cross-sectional views and plan views illustrating the operation of the lower wedge block of the substrate support and transfer apparatus of Figure 1;

도 6a 내지 6d를 참조하면, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 x축 이동 유닛, y축 이동 유닛, 셔틀(100), 하부 웨지 블록(200), 상부 웨지 블록(300), 척(400), 회전 유닛 및 리프팅 유닛을 포함할 수 있다. 상기 척(400)의 xy 평면 상의 각도를 조정하기 위해서, 상기 하부 웨지 블록(200)을 상기 셔틀(100) 상에서 회전 이동 시킬 수 있다. 6A to 6D, the substrate support and transfer apparatus includes an x-axis moving unit, a y-axis moving unit, a shuttle 100, a lower wedge block 200, an upper wedge block 300, a chuck 400, Unit and a lifting unit. The lower wedge block 200 may be rotated on the shuttle 100 to adjust the angle of the chuck 400 on the xy plane.

도 6a를 다시 참조하면, 상기 하부 웨지 블록(200)은 제1 관(210) 및 상기 제1 관(210)과 연결되고 상기 하부 웨지 블록(200)의 하면(204)에 형성되는 복수의 제1 홀들(212)을 포함할 수 있다. 상기 제1 관(210)에는 압축 공기 제공 수단(미도시) 및 진공 제공 수단(미도시)이 연결될 수 있다. 상기 압축 공기 제공 수단에서 압축 공기를 상기 제1 관(210)에 제공하면, 상기 압축 공기가 상기 제1 관(210)을 통해 상기 제1 홀들(212)로 분사될 수 있다. 이에 따라, 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 하면(204)에서 상기 셔틀(100)의 상면(102)으로 압축 공기를 분사할 수 있으며, 상기 하부 웨지 블록(200), 상기 상부 웨지 블록(300) 및 상기 척(400)은 상기 셔틀(100)에 대해 부상(浮上)할 수 있다. 6A, the lower wedge block 200 includes a first tube 210 and a plurality of first tubes 210 connected to the first tube 210 and formed on a lower surface 204 of the lower wedge block 200 1 < / RTI > The first tube 210 may be connected to a compressed air supply unit (not shown) and a vacuum supply unit (not shown). When compressed air is supplied to the first pipe 210 from the compressed air providing means, the compressed air can be injected into the first holes 212 through the first pipe 210. The lower wedge block 200 can spray compressed air from the lower surface 204 of the lower wedge block 200 to the upper surface 102 of the shuttle 100 and the lower wedge block 200, And the chuck 400 may float with respect to the shuttle 100.

도 6b 및 6c를 다시 참조하면, 상기 회전 유닛은 제1 회전 유닛(510), 제2 회전 유닛(520) 및 제3 회전 유닛(530)을 포함할 수 있다. 상기 회전 유닛은 상기 하부 웨지 블록(200)이 상기 셔틀(100)에 대해 부상한 상태에서 상기 하부 웨지 블록(200)을 상기 x 방향(x) 및 상기 y 방향(y)이 이루는 xy 평면 상에서 회전 시키기 위한 구성일 수 있다. 예를 들면, 각각의 상기 제1 내지 제3 회전 유닛(510, 520, 530)들은 보이스 코일 모터(voice coil motor)일 수 있다. 상기 제1 회전 유닛(510)은 상기 y 방향(y)으로 상기 셔틀(100)에 대해 상기 하부 웨지 블록(200)을 이동시킬 수 있다. 상기 제2 회전 유닛(520)은 상기 x 방향(x)으로 상기 셔틀(100)에 대해 상기 하부 웨지 블록(200)을 이동시킬 수 있다. 상기 제3 회전 유닛(530)은 상기 y 방향(y)으로 상기 셔틀(100)에 대해 상기 하부 웨지 블록(200)을 이동시킬 수 있다. Referring again to FIGS. 6B and 6C, the rotating unit may include a first rotating unit 510, a second rotating unit 520, and a third rotating unit 530. The rotation unit rotates the lower wedge block 200 on the xy plane formed by the x direction x and the y direction y in a state where the lower wedge block 200 floats against the shuttle 100, . ≪ / RTI > For example, each of the first to third rotating units 510, 520, 530 may be a voice coil motor. The first rotation unit 510 may move the lower wedge block 200 relative to the shuttle 100 in the y direction y. The second rotation unit 520 may move the lower wedge block 200 with respect to the shuttle 100 in the x direction (x). The third rotating unit 530 may move the lower wedge block 200 relative to the shuttle 100 in the y direction y.

상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 제1 홀들(212)이 상기 압축 공기를 분사하는 동안, 상기 제1 내지 제3 회전 유닛들(510, 520, 530)을 적절히 작동시켜, 상기 하부 웨지 블록(200)을 상기 셔틀(100)에 대해 상기 xy 평면 상에서 회전 시킬 수 있다. 상기 하부 웨지 블록(200)이 회전 가능한 정도는 상기 기판 지지 및 이송 장치의 다른 구성들(예를 들면, 리프팅 유닛 (600)) 과의 간섭을 고려하여, 결정될 수 있다. 상기 척(400)에 고정되는 기판은 상기 xy 평면 상에서 소정 각도 이하로만 회전 이동하여 미세 정렬할 필요가 있으므로, 상기 제1 내지 제3 회전 유닛들(510, 520, 530)에 의해 상기 하부 웨지 블록(200)이 회전 가능한 정도로 충분히 커버될 수 있다. The first to third rotary units 510, 520, 530 are properly operated while the first holes 212 of the lower wedge block 200 inject the compressed air, so that the lower wedge block 200 on the xy plane with respect to the shuttle 100. The degree to which the lower wedge block 200 is rotatable can be determined in view of interference with other configurations of the substrate support and transfer device (e.g., the lifting unit 600). Since the substrate fixed to the chuck 400 needs to be slightly aligned and rotated only by a predetermined angle or less on the xy plane, the first to third rotation units 510, 520, (200) can be sufficiently covered to be rotatable.

도시하지 않았으나, 상기 상부 웨지 블록(300)과 상기 하부 웨지 블록(200) 사이에서처럼, 상기 하부 웨지 블록(200)과 상기 셔틀(100) 사이에도 상기 하부 웨지 블록(200)의 회전 이동을 가이드하는 가이드부가 더 형성될 수 있다. Although not shown, the lower wedge block 200 and the shuttle 100 also guide the rotational movement of the lower wedge block 200, such as between the upper wedge block 300 and the lower wedge block 200 A guide portion may be further formed.

도 6d를 다시 참조하면, 상기 하부 웨지 블록(200)이 회전하여, 상기 척(400)의 상기 xy 평면 상에서의 회전 위치가 원하는 위치에 도달하는 경우, 상기 상부 하지 블록(200)을 상기 셔틀(100) 상에 고정시킬 수 있다. 상기 진공 제공 수단에서 진공을 발생하면, 상기 진공 제공 수단에 연결된 상기 제1 관(210)을 통해 상기 제1 홀들(212)에 진공이 제공된다. 이에 따라 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 하면(204)과 상기 셔틀(100)의 상기 상면(102) 사이에 흡입력이 발생하여, 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 하면(204)과 상기 셔틀(100)의 상기 상면(102)이 서로 접착된다. 이에 따라, 상기 하부 웨지 블록(200)을 상기 셔틀(100) 상에 고정할 수 있다. 6D, when the lower wedge block 200 rotates and the rotational position of the chuck 400 on the xy plane reaches a desired position, the upper notch block 200 is moved to the shuttle 100). When a vacuum is generated in the vacuum providing means, a vacuum is provided to the first holes 212 through the first tube 210 connected to the vacuum providing means. A suction force is generated between the lower surface 204 of the lower wedge block 200 and the upper surface 102 of the shuttle 100 so that the lower surface of the lower surface of the lower wedge block 200, The upper surface 102 of the substrate 100 is bonded to each other. Accordingly, the lower wedge block 200 can be fixed on the shuttle 100.

본 실시예에서는 상기 압축 공기와 상기 진공이 상기 제1 관(210) 및 상기 제1 홀들(212)을 통해 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 하면(204)에 제공되었으나, 이에 한정되지 않는다. 예를들면, 상기 압축 공기와 상기 진공이 별도로 형성된 관들과 홀들에 의해 상기 하부 웨지 블록(200)의 상기 하면(204)에 제공될 수 도 있다. In the present embodiment, the compressed air and the vacuum are provided to the lower surface 204 of the lower wedge block 200 through the first pipe 210 and the first holes 212, but are not limited thereto. For example, the compressed air and the vacuum may be provided to the lower surface 204 of the lower wedge block 200 by separately formed tubes and holes.

본 실시예에 따르면, 상기 셔틀(100)의 상기 x 방향(x) 및 y 방향 이동, 상기 하부 웨지 블록(200)의 회전 이동, 상기 상부 웨지 블록(300)의 이동에 따라, 상기 척(400)을 상기 x 방향(x), 상기 y 방향 및 상기 z 방향(z)을 따라 이동 및 상기 xy 평면 상에서의 회전 이동이 가능하다. 이에 따라 상기 기판 지지 및 이송 장치는 피처리 대상인 기판을 지지 및 원하는 위치로의 이동이 가능하고, 다양한 두께를 갖는 복수의 기판들을 처리하는 경우에도, 상기 기판 지지 및 이송 장치를 이용하여 용이하게 처리가 가능하다. According to the present embodiment, in accordance with the movement of the shuttle 100 in the x direction (x) and the y direction, the rotational movement of the lower wedge block 200, and the movement of the upper wedge block 300, ) Along the x direction (x), the y direction and the z direction (z), and the rotational movement on the xy plane. Accordingly, the substrate supporting and transferring apparatus can easily support the substrate to be processed and move it to a desired position, and even when processing a plurality of substrates having various thicknesses, the substrate supporting and transferring apparatus can be easily processed Is possible.

또한, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀(100) 상부의 구조들, 즉 하부 웨지 블록(200), 상부 웨지 블록(300) 및 척(400)을 포함하는 구조의 무게 중심이 z 방향으로 더 낮은 위치에 위치하므로, 상기 셔틀(100)의 xy 평면상에서의 이동에도 불구하고 안정적으로 기판 지지할 수 있다. 이에 따라 공정 효율 향상될 수 있다. In addition, the substrate support and transfer device may also be configured such that the center of gravity of the structure on top of the shuttle 100, i.e., the structure including the lower wedge block 200, the upper wedge block 300 and the chuck 400, So that the substrate can be stably supported despite the movement of the shuttle 100 on the xy plane. Thus, the process efficiency can be improved.

도 7은 도 1의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 리프팅 유닛의 일부를 나타낸 사시도이다. 도 8a 및 도 8b는 도 7의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 리프팅 유닛의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다. Fig. 7 is a perspective view showing a part of the lifting unit of the substrate supporting and conveying apparatus of Fig. 1; Figures 8A and 8B are cross-sectional views illustrating the operation of the lifting unit of the substrate support and transfer apparatus of Figure 7;

도 7, 8a 및 8b를 참조하면, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀(100), 하부 웨지 블록(200), 상부 웨지 블록(300), 척(400) 및 리프팅 유닛(600)을 포함할 수 있다. 상기 리프팅 유닛(600)은 리프팅 부(610) 및 리프팅 구동부(620)를 포함할 수 있다. 7, 8A and 8B, the substrate support and transfer device may include a shuttle 100, a lower wedge block 200, an upper wedge block 300, a chuck 400 and a lifting unit 600 have. The lifting unit 600 may include a lifting unit 610 and a lifting drive unit 620.

상기 리프팅 부(610)는 x 방향(x)으로 연장되며, 상기 x 방향과 수직한 y 방향(y)으로 복수개가 배치될 수 있다. 상기 리프팅 부(610)는 상기 상부 웨지 블록(300)의 상면 상에 형성되는 트렌치부(320) 내에 배치될 수 있다. 이에 따라 상기 리프팅 부(610)는 상기 척(400)의 상면 보다 상기 x 방향(x) 및 상기 y 방향(y)과 수직한 z 방향(z)으로 더 낮은 위치에 위치할 수 있다. The lifting unit 610 may extend in the x direction (x), and a plurality of lifting units 610 may be disposed in the y direction (y) perpendicular to the x direction. The lifting portion 610 may be disposed in the trench portion 320 formed on the upper surface of the upper wedge block 300. The lifting unit 610 may be positioned at a lower position in the z direction (z) perpendicular to the x direction (x) and the y direction (y) than the upper surface of the chuck 400.

상기 리프팅 구동부(620)는 상기 리프팅 부(610)를 상기 z 방향(z)으로 이동 시킬 수 있다. 상기 리프팅 구동부(620)에 의해 상기 리프팅 부(610)가 상기 z 방향(z)으로 이동하면, 상기 척(400) 상에 배치되는 기판(10)이 상기 리프팅 부(610)에 의해 들어 올려지며, 이에 따라 상기 기판(10)을 상기 척(400)으로부터 언로딩(un-loading) 할 수 있다. 이와 반대로 상기 리프팅 구동부(620)를 구동하여 상기 기판(10)을 상기 척(400) 상에 로딩(loading) 할 수도 있다. 상기 리프팅 구동부(620)는 상기 셔틀(100)의 상면(102) 상에 배치될 수 있다. 한편, 상기 하부 웨지 블록(200), 상기 상부 웨지 블록(300) 및 상기 척(400)이 상기 셔틀(100) 상에서 xy 평면에 대해 회전 이동 가능하여야 하므로, 상기 상부 웨지 블록(300)의 상기 트렌치부(320)는 상기 y 방향(y)으로 상기 리프팅 부(610)의 크기 대비, 충분한 넓이를 가질 수 있다. The lifting drive unit 620 may move the lifting unit 610 in the z direction (z). When the lifting unit 610 moves in the z direction z by the lifting drive unit 620, the substrate 10 placed on the chuck 400 is lifted by the lifting unit 610 , So that the substrate 10 can be un-loaded from the chuck 400. Alternatively, the substrate 10 may be loaded on the chuck 400 by driving the lifting driver 620. The lifting drive 620 may be disposed on the upper surface 102 of the shuttle 100. Since the lower wedge block 200, the upper wedge block 300 and the chuck 400 must be rotatable with respect to the xy plane on the shuttle 100, the trenches 300 of the upper wedge block 300, The portion 320 may have a sufficient width in the y direction y with respect to the size of the lifting portion 610.

도 9a, 9b 및 9c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 및 이송 장치의 상부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다. Figures 9a, 9b and 9c are cross-sectional views illustrating the operation of the upper wedge block of the substrate support and transfer apparatus in accordance with an embodiment of the present invention.

도 9a 내지 9c를 참조하면, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 제1 관(1210), 제1 홀(1212), 제2 관(1220) 및 제2 홀(1222)이 모두 하부 웨지 블록(1200)에 형성되는 것을 제외하고, 도 1 내지 4의 기판 지지 및 이송 장치와 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서 반복되는 설명은 생략한다. 9A through 9C, the substrate supporting and transferring device includes a first pipe 1210, a first hole 1212, a second pipe 1220, and a second hole 1222 both formed in the lower wedge block 1200, May be substantially the same as the substrate support and transfer apparatus of Figs. Therefore, repeated explanation is omitted.

상기 기판 지지 및 이송 장치는 x축 이동 유닛, y축 이동 유닛, 셔틀(100), 하부 웨지 블록(1200), 상부 웨지 블록(1300), 척(400), 회전 유닛 및 리프팅 유닛을 포함할 수 있다. The substrate support and transfer apparatus may include an x-axis moving unit, a y-axis moving unit, a shuttle 100, a lower wedge block 1200, an upper wedge block 1300, a chuck 400, a rotating unit and a lifting unit have.

도 9a를 다시 참조하면, 상기 하부 웨지 블록(1200)은 제2 관(1220) 및 상기 제2 관(1220)과 연결되고 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상면(1202)에 형성되는 복수의 제2 홀들(1222)을 포함할 수 있다. 상기 제2 관(1220)에는 압축 공기 제공 수단(미도시) 및 진공 제공 수단(미도시)이 연결될 수 있다. 상기 압축 공기 제공 수단에서 압축 공기를 상기 제2 관(1220)에 제공하면, 상기 압축 공기가 상기 제2 관(1220)을 통해 상기 제2 홀들(1222)로 분사될 수 있다. 이에 따라, 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 상면(1204)에서 상기 상부 웨지 블록(1300)의 하면(1304)으로 압축 공기를 분사할 수 있으며, 상기 상부 웨지 블록(300) 및 상기 상부 웨지 블록(300)의 상면(302) 상에 배치된 상기 척(400)은 상기 하부 웨지 블록(200)에 대해 부상(浮上)할 수 있다. 9A, the lower wedge block 1200 includes a second tube 1220 and a plurality of second tubes 1220 connected to the second tube 1220 and formed on an upper surface 1202 of the lower wedge block 1200. [ 2 < / RTI > Compressed air providing means (not shown) and vacuum providing means (not shown) may be connected to the second tube 1220. When compressed air is supplied to the second pipe 1220 by the compressed air providing means, the compressed air may be injected into the second holes 1222 through the second pipe 1220. The upper wedge block 1200 and the upper wedge block 1200 can spray compressed air to the lower surface 1304 of the upper wedge block 1300 from the upper surface 1204 of the lower wedge block 1200, The chuck 400 disposed on the upper surface 302 of the lower wedge block 300 may float against the lower wedge block 200.

도 9b를 다시 참조하면, 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 제2 홀들(1222)이 상기 압축 공기를 분사하는 동안, 상기 상부 웨지 블록(1300)이 x 방향(x)과 평행하게 이동하여, 상기 상부 웨지 블록(1300)의 상기 z 방향 (z)의 위치가 변경될 수 있다. 상기 상부 웨지 블록(1300)의 상기 하면(304)과 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상면(1202)은 xy 평면에 대해 경사지게 형성되어 있으므로, 상기 상부 웨지 블록(1300)이 상기 x 방향(x)과 평행하게 이동하는 동안, 상기 상부 웨지 블록(1300)은 상기 z 방향(z)으로의 위치가 변화한다. 이에 따라, 상기 상부 웨지 블록(1300)의 상기 상면(1302) 상에 배치되는 상기 척(400)의 상기 z 방향(z)으로의 위치를 변경시킬 수 있다. 9B, while the second holes 1222 of the lower wedge block 1200 inject the compressed air, the upper wedge block 1300 moves parallel to the x-direction (x) The position of the upper wedge block 1300 in the z direction (z) can be changed. The lower surface of the upper wedge block 1300 and the upper surface 1202 of the lower wedge block 1200 are inclined with respect to the xy plane so that the upper wedge block 1300 is positioned in the x- The upper wedge block 1300 changes its position in the z direction (z). Accordingly, the position of the chuck 400 disposed on the upper surface 1302 of the upper wedge block 1300 in the z direction (z) can be changed.

이때, 상기 상부 웨지 블록(1300)은 상기 x 방향(x)과 평행한 방향으로만 이동 가능하고, 상기 y 방향(y)으로는 이동 하지 못하도록 가이드부(미도시)에 의해 가이드될 수 있다. 상기 가이드부는 상기 상부 웨지 블록(1300)의 상기 y 방향(y)으로의 이동을 제한하고, 상기 x 방향(x) 및 상기 z 방향(z) 방향으로의 이동은 제한하지 않도록 구비될 수 있다. 또한, 도면 상에 도시하지는 않았으나, 상기 상부 웨지 블록(1300)을 이동시키기 위한 이동 수단이 더 형성될 수 있다.At this time, the upper wedge block 1300 can be moved only in a direction parallel to the x direction (x), and can be guided by a guide portion (not shown) so as not to move in the y direction (y). The guide portion may be provided to restrict movement of the upper wedge block 1300 in the y-direction (y) and not to restrict movement in the x-direction (x) and the z-direction (z). Further, although not shown in the drawing, a moving means for moving the upper wedge block 1300 may be further formed.

도 9c를 다시 참조하면, 상기 상부 웨지 블록(1300)이 이동하여, 상기 척(400)의 상기 z 방향(z)으로의 위치가 원하는 위치에 도달하는 경우, 상기 상부 웨지 블록(1300)을 상기 하부 웨지 블록(1200) 상에 고정시킬 수 있다. 상기 진공 제공 수단에서 진공을 발생하면, 상기 진공 제공 수단에 연결된 상기 제2 관(1220)을 통해 상기 제2 홀들(1222)에 진공이 제공된다. 이에 따라 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 상면(1202)과 상기 상부 웨지 블록(1300)의 상기 하면(1304) 사이에 흡입력이 발생하여, 상기 상부 웨지 블록(1300)의 상기 하면(1304)과 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 상면(1202)이 서로 접착된다. 이에 따라, 상기 상부 웨지 블록(1300)을 상기 하부 웨지 블록(1200) 상에 고정할 수 있다. 9C, when the upper wedge block 1300 moves and the position of the chuck 400 in the z direction (z) reaches a desired position, the upper wedge block 1300 is moved And can be fixed on the lower wedge block 1200. When a vacuum is generated in the vacuum providing means, a vacuum is provided to the second holes 1222 through the second tube 1220 connected to the vacuum providing means. A suction force is generated between the upper surface 1202 of the lower wedge block 1200 and the lower surface 1304 of the upper wedge block 1300 and the lower surface 1304 of the upper wedge block 1200 The upper surface 1202 of the lower wedge block 1200 is bonded to one another. Accordingly, the upper wedge block 1300 can be fixed on the lower wedge block 1200.

본 실시예에서는 상기 압축 공기와 상기 진공이 상기 제2 관(1220) 및 상기 제2 홀들(1222)을 통해 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 상면(1202)에 제공되었으나, 이에 한정되지 않는다. 예를들면, 상기 압축 공기와 상기 진공이 별도로 형성된 관들과 홀들에 의해 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 상면(1202)에 제공될 수 도 있다. In the present embodiment, the compressed air and the vacuum are provided to the upper surface 1202 of the lower wedge block 1200 through the second pipe 1220 and the second holes 1222, but are not limited thereto. For example, the compressed air and the vacuum may be provided to the upper surface 1202 of the lower wedge block 1200 by way of tubes and holes formed separately.

도 10a, 10b 및 10c는 도 9a 내지 9c의 상기 기판 지지 및 이송 장치의 하부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다. Figures 10A, 10B and 10C are cross-sectional views illustrating the operation of the lower wedge block of the transfer and substrate support of Figures 9A-9C.

도 10a 내지 10c를 참조하면, 상기 척(400)의 xy 평면 상의 각도를 조정하기 위해서, 상기 하부 웨지 블록(200)을 상기 셔틀(100) 상에서 회전 이동 시킬 수 있다. 10A to 10C, the lower wedge block 200 may be rotated on the shuttle 100 to adjust the angle of the chuck 400 on the xy plane.

도 10a를 다시 참조하면, 상기 하부 웨지 블록(1200)은 제1 관(1210) 및 상기 제1 관(1210)과 연결되고 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 하면(1204)에 형성되는 복수의 제1 홀들(1212)을 포함할 수 있다. 상기 제1 관(1210)에는 상기 압축 공기 제공 수단 및 상기 진공 제공 수단이 연결될 수 있다. 상기 압축 공기 제공 수단에서 압축 공기를 상기 제1 관(1210)에 제공하면, 상기 압축 공기가 상기 제1 관(1210)을 통해 상기 제1 홀들(1212)로 분사될 수 있다. 이에 따라, 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 하면(1204)에서 상기 셔틀(100)의 상면(102)으로 압축 공기를 분사할 수 있으며, 상기 하부 웨지 블록(1200), 상기 상부 웨지 블록(1300) 및 상기 척(400)은 상기 셔틀(100)에 대해 부상(浮上)할 수 있다. 10A, the lower wedge block 1200 includes a first tube 1210 and a plurality of first tubes 1210 connected to the first tube 1210 and formed on the lower surface 1204 of the lower wedge block 1200 And may include first holes 1212. The compressed air supply means and the vacuum supply means may be connected to the first pipe 1210. The compressed air can be injected into the first holes 1212 through the first pipe 1210 by supplying compressed air to the first pipe 1210 in the compressed air providing means. The lower wedge block 1200 can spray compressed air from the lower surface 1204 of the lower wedge block 1200 to the upper surface 102 of the shuttle 100 and the lower wedge block 1200, And the chuck 400 may float with respect to the shuttle 100.

도 10b를 다시 참조하면, 상기 회전 유닛은 상기 하부 웨지 블록(1200)이 상기 셔틀(100)에 대해 부상한 상태에서 상기 하부 웨지 블록(1200)을 xy 평면 상에서 회전 시키기 위한 구성일 수 있다. Referring back to FIG. 10B, the rotating unit may be configured to rotate the lower wedge block 1200 on the xy plane with the lower wedge block 1200 floating against the shuttle 100.

상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 제1 홀들(1212)이 상기 압축 공기를 분사하는 동안, 상기 회전 유닛은 상기 하부 웨지 블록(1200)을 상기 셔틀(100)에 대해 상기 xy 평면 상에서 회전 시킬 수 있다. While the first holes 1212 of the lower wedge block 1200 inject the compressed air, the rotating unit may rotate the lower wedge block 1200 on the xy plane with respect to the shuttle 100 have.

도시하지 않았으나, 상기 상부 웨지 블록(300)과 상기 하부 웨지 블록(1200) 사이에서처럼, 상기 하부 웨지 블록(1200)과 상기 셔틀(100) 사이에도 상기 하부 웨지 블록(1200)의 회전 이동을 가이드하는 가이드부가 더 형성될 수 있다. Although not shown, the lower wedge block 1200 and the shuttle 100 also guide the rotational movement of the lower wedge block 1200, such as between the upper wedge block 300 and the lower wedge block 1200 A guide portion may be further formed.

도 10c를 다시 참조하면, 상기 하부 웨지 블록(1200)이 회전하여, 상기 척(400)의 상기 xy 평면 상에서의 회전 위치가 원하는 위치에 도달하는 경우, 상기 상부 하지 블록(1200)을 상기 셔틀(100) 상에 고정시킬 수 있다. 상기 진공 제공 수단에서 진공을 발생하면, 상기 진공 제공 수단에 연결된 상기 제1 관(1210)을 통해 상기 제1 홀들(1212)에 진공이 제공된다. 이에 따라 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 하면(1204)과 상기 셔틀(100)의 상기 상면(102) 사이에 흡입력이 발생하여, 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 하면(1204)과 상기 셔틀(100)의 상기 상면(102)이 서로 접착된다. 이에 따라, 상기 하부 웨지 블록(1200)을 상기 셔틀(100) 상에 고정할 수 있다. Referring again to FIG. 10C, when the lower wedge block 1200 rotates and the rotational position of the chuck 400 on the xy plane reaches a desired position, the upper notch block 1200 is moved to the shuttle 100). When a vacuum is generated in the vacuum providing means, a vacuum is provided to the first holes 1212 through the first tube 1210 connected to the vacuum providing means. A suction force is generated between the lower surface 1204 of the lower wedge block 1200 and the upper surface 102 of the shuttle 100 so that the lower surface 1204 of the lower wedge block 1200, The upper surface 102 of the substrate 100 is bonded to each other. Accordingly, the lower wedge block 1200 can be fixed on the shuttle 100.

도 9a 내지 10c의 상기 기판 지지 및 이송 장치는 도 1 내지 5c의 기판 이송 장치와 달리, 상기 하부 웨지 블록(1200)에 상기 제1 홀들(1212) 및 제2 홀들(1222)이 모두 형성되므로, 더 단순한 구조를 가질 수 있다. 9A to 10C, since the first and second holes 1212 and 1222 are formed in the lower wedge block 1200, unlike the substrate transfer apparatuses of FIGS. 1 to 5C, It can have a simpler structure.

도 11a, 11b 및 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 및 이송 장치의 상부 웨지 블록 및 하부 웨지 블록의 작동을 나타내기 위한 단면도들이다. 11A, 11B and 11C are cross-sectional views illustrating the operation of the upper wedge block and the lower wedge block of the substrate support and transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 11a 내지 11c를 참조하면, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 상부 웨지 블록(2300)과 하부 웨지 블록(2200)이 동시에 작동하는 것을 제외하고, 도 9a 내지 9d 및 도 10a 내지 10c의 기판 지지 및 이송 장치와 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서 반복되는 설명은 생략한다. 11A-11C, the substrate support and transfer apparatus is similar to that of FIGS. 9A-9D and 10A-10C except that the upper and lower wedge blocks 2300 and 2200 operate simultaneously. May be substantially the same as the device. Therefore, repeated explanation is omitted.

상기 기판 지지 및 이송 장치는 x축 이동 유닛, y축 이동 유닛, 셔틀(100), 하부 웨지 블록(2200), 상부 웨지 블록(2300), 척(400), 회전 유닛 및 리프팅 유닛을 포함할 수 있다. The substrate support and transfer apparatus may include an x-axis moving unit, a y-axis moving unit, a shuttle 100, a lower wedge block 2200, an upper wedge block 2300, a chuck 400, a rotating unit, and a lifting unit have.

상기 하부 웨지 블록(2200)은 제1 관(2210), 상기 제1 관(2210)과 연결되고 상기 하부 웨지 블록(1200)의 상기 하면(1204)에 형성되는 복수의 제1 홀들(2212) 및 상기 제1 관(2210)과 연결되고 상기 하부 웨지 블록(2200)의 상면(2202)에 형성되는 복수의 제2 홀들(1222)을 포함할 수 있다. 상기 제2 관(1220)에는 압축 공기 제공 수단(미도시) 및 진공 제공 수단(미도시)이 연결될 수 있다. The lower wedge block 2200 includes a first pipe 2210, a plurality of first holes 2212 connected to the first pipe 2210 and formed on the lower surface 1204 of the lower wedge block 1200, And a plurality of second holes 1222 connected to the first tube 2210 and formed on an upper surface 2202 of the lower wedge block 2200. Compressed air providing means (not shown) and vacuum providing means (not shown) may be connected to the second tube 1220.

도 11a를 다시 참조하면, 상기 압축 공기 제공 수단에서 압축 공기를 상기 제1 관(2210)에 제공하면, 상기 압축 공기가 상기 제1 관(2210)을 통해 상기 제1 홀들(2212) 및 상기 제2 홀들(2222)로 분사될 수 있다. 이에 따라, 상기 하부 웨지 블록(2200)의 상기 하면(2204)에서 상기 셔틀(100)의 상면(102)으로 압축 공기를 분사하고, 상기 하부 웨지 블록(2200)의 상기 상면(2204)에서 상기 상부 웨지 블록(2300)의 하면(2304)으로 압축 공기를 분사할 수 있으며, 상기 하부 웨지 블록(1200)은 상기 셔틀(100)에 대해 부상(浮上)하고, 상기 상부 웨지 블록(2300) 및 상기 상부 웨지 블록(2300) 상에 배치된 상기 척(400)은 상기 하부 웨지 블록(2200)에 대해 부상(浮上)할 수 있다. 11A, when compressed air is supplied to the first pipe 2210 from the compressed air providing means, the compressed air is supplied to the first holes 2212 and the second holes 2212 through the first pipe 2210, 2 holes 2222. In this way, The lower wedge block 2200 may spray compressed air to the upper surface 102 of the shuttle 100 from the lower surface 2204 of the lower wedge block 2200 so that the upper surface 2204 of the lower wedge block 2200, The lower wedge block 1200 floats against the shuttle 100 and the upper wedge block 2300 and the upper end of the upper wedge block 2300, The chuck 400 disposed on the wedge block 2300 can float against the lower wedge block 2200. [

도 11b를 다시 참조하면, 상기 하부 웨지 블록(2200)의 상기 제1 홀들(2212) 및 상기 제2 홀들(2222)이 상기 압축 공기를 분사하는 동안, 상기 상부 웨지 블록(1300)이 x 방향(x)과 평행하게 이동하여, 상기 상부 웨지 블록(1300)의 상기 z 방향 (z)의 위치가 변경될 수 있다. 이와 동시에, 상기 회전 유닛은 상기 하부 웨지 블록(2200)을 상기 셔틀(100)에 대해 상기 xy 평면 상에서 회전 시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 상부 웨지 블록(2300)의 상기 상면 상에 배치되는 상기 척(400)의 상기 z 방향(z)으로의 위치 및 상기 xy 평면 상에서의 각도를 변경시킬 수 있다. 11B, while the first holes 2212 and the second holes 2222 of the lower wedge block 2200 inject the compressed air, the upper wedge block 1300 moves in the x direction ( x, so that the position of the upper wedge block 1300 in the z direction (z) can be changed. At the same time, the rotating unit may rotate the lower wedge block 2200 on the xy plane with respect to the shuttle 100. [ Thus, the position in the z direction (z) of the chuck 400 disposed on the upper surface of the upper wedge block 2300 and the angle on the xy plane can be changed.

도 11c를 다시 참조하면, 상기 상부 웨지 블록(2300)이 이동하고, 상기 하부 웨지 블록(2200)이 회전 이동하여, 상기 척(400)의 상기 z 방향(z)으로의 위치 및 상기 xy 평면 상에서의 각도가 원하는 위치에 도달하는 경우, 상기 상부 웨지 블록(2300)을 상기 하부 웨지 블록(2200) 상에 고정시키고, 상기 하부 웨지 블록(220)을 상기 셔틀(100) 상에 고정시킬 수 있다. 상기 진공 제공 수단에서 진공을 발생하면, 상기 진공 제공 수단에 연결된 상기 제1 관(2210)을 통해 상기 제1 홀들(2212) 및 상기 제2 홀들(2222)에 진공이 제공된다. 이에 따라 상기 하부 웨지 블록(2200)의 상기 상면(2202)과 상기 상부 웨지 블록(2300)의 상기 하면(2304) 사이 및 상기 하부 웨지 블록(2200)의 상기 하면(2204)과 상기 셔틀(100)의 상기 상면(102) 사이에 흡입력이 발생하여, 상기 상부 웨지 블록(2300)의 상기 하면(2304)과 상기 하부 웨지 블록(2200)의 상기 상면(2202)이 서로 접착되고, 상기 하부 웨지 블록(2200)의 상기 하면(2204)과 상기 셔틀(100)의 상기 상면(102)이 서로 접착 된다. 이에 따라, 상기 상부 웨지 블록(2300) 및 상기 하부 웨지 블록(2200)을 고정할 수 있다. 11C, the upper wedge block 2300 moves and the lower wedge block 2200 rotates to move the position of the chuck 400 in the z direction (z) and on the xy plane The upper wedge block 2300 may be fixed on the lower wedge block 2200 and the lower wedge block 220 may be fixed on the shuttle 100 when the angle of the lower wedge block 2300 reaches the desired position. When a vacuum is generated in the vacuum providing means, a vacuum is provided to the first holes 2212 and the second holes 2222 through the first tube 2210 connected to the vacuum providing means. The upper surface 2202 of the lower wedge block 2200 and the lower surface 2304 of the upper wedge block 2300 and between the lower surface 2204 of the lower wedge block 2200 and the lower surface of the shuttle 100, A suction force is generated between the upper surface 102 of the lower wedge block 2200 and the lower surface 2302 of the upper wedge block 2300 and the upper surface 2202 of the lower wedge block 2200 are bonded to each other, 2200 and the upper surface 102 of the shuttle 100 are bonded to each other. Accordingly, the upper wedge block 2300 and the lower wedge block 2200 can be fixed.

본 실시예에서는, 상기 상부 웨지 블록(2300)의 이동과 상기 하부 웨지 블록(2200)의 회전 이동이 동시에 이루어지고, 상기 압축 공기 및 상기 진공이 하나의 관인 상기 제1 과(2210)을 통해 이루어지므로, 상기 기판 지지 및 이송 장치의 구조가 간단해지고, 공정 효율 향상될 수 있다. In this embodiment, the movement of the upper wedge block 2300 and the rotation of the lower wedge block 2200 are simultaneously performed, and the compressed air and the vacuum are transmitted through the first section 2210 The structure of the substrate supporting and transferring device is simplified, and the process efficiency can be improved.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 및 이송 방법을 나타낸 순서도이다. 도 13은 도 12의 기판 지지 및 이송 방법의 제1 사전 정렬 단계를 나타낸 순서도이다. 도 14는 도 13의 상부 웨지 블록 이동 단계를 나타낸 순서도이다. 도 15는 도 13의 하부 웨지 블록 회전 단계를 나타낸 순서도이다. 12 is a flowchart illustrating a method of supporting and transferring a substrate according to an embodiment of the present invention. Figure 13 is a flow chart illustrating a first pre-alignment step of the substrate support and transfer method of Figure 12; 14 is a flowchart showing the upper wedge block moving step of Fig. 15 is a flowchart showing the lower wedge block rotating step of Fig.

도 12 내지 15를 참조하면, 상기 기판 지지 및 이송 방법은 제1 사전 정렬 단계(S100), 제1 기판 로딩 단계(S200), 제1 기판 지지 및 이송 단계(S300), 제1 기판 언로딩 단계(S400), 제2 사전 정렬 단계(S500), 제2 기판 로딩 단계(S600), 제2 기판 지지 및 이송 단계(S700) 및 제2 기판 언로딩 단계(S800)를 포함할 수 있다. 12 to 15, the substrate supporting and transferring method includes a first pre-aligning step (S100), a first substrate loading step (S200), a first substrate supporting and transferring step (S300), a first substrate unloading step (S400), a second pre-alignment step (S500), a second substrate loading step (S600), a second substrate support and transfer step (S700), and a second substrate unloading step (S800).

상기 제1 사전 정렬 단계(S100)에서는, 제1 두께를 갖는 제1 기판을 로딩 하기 위해, 기판 지지 및 이송 장치의 척을 x 방향, 상기 x 방향과 수직한 y 방향 또는 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 z 방향으로 이동하거나, 상기 x 방향 및 상기 y 방향이 이루는 xy 평면 상에서 회전 시킬 수 있다. In the first pre-aligning step (SlOO), the substrate support and the chuck of the transfer device are moved in the x direction, in the y direction perpendicular to the x direction, or in the x direction and the y Direction or in an xy plane formed by the x direction and the y direction.

상기 제1 기판 로딩 단계(S200)에서는, 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척 상에 상기 제1 기판을 로딩(loading)할 수 있다. In the first substrate loading step (S200), the first substrate may be loaded on the chuck of the substrate supporting and transferring device.

상기 제1 기판 지지 및 이송 단계(S300)에서는, 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척을 x 방향, y 방향 및 z 방향으로 이동하거나, xy 평면 상에서 회전 시켜, 상기 제1 기판을 필요로 하는 공정을 수행하기 위한 공정 위치로 이송할 수 있다. In the first substrate holding and transferring step (S300), the chuck of the substrate supporting and transferring device is moved in the x direction, the y direction and the z direction, or rotated on the xy plane, To the process location for performing the process.

상기 제1 기판 언로딩 단계(S400)에서는, 상기 제1 기판을 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척으로부터 이격시켜 상기 제1 기판을 언로딩(unloading)할 수 있다. In the first substrate unloading step (S400), the first substrate may be unloaded from the chuck of the substrate supporting and transferring device by unloading the first substrate.

상기 제2 사전 정렬 단계(S500)에서는, 제2 두께를 갖는 제2 기판을 로딩 하기 위해, 기판 지지 및 이송 장치의 척을 상기 x 방향, 상기 y 방향 또는 상기 z 방향으로 이동하거나, 상기 xy 평면 상에서 회전 시킬 수 있다. In the second pre-aligning step (S500), a chuck of the substrate supporting and transferring device is moved in the x direction, the y direction or the z direction to load the second substrate having the second thickness, Lt; / RTI >

상기 제2 기판 로딩 단계(S600)에서는, 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척 상에 상기 제2 기판을 로딩할 수 있다. In the second substrate loading step (S600), the second substrate may be loaded on the chuck of the substrate supporting and transferring device.

상기 제2 기판 지지 및 이송 단계(S700)에서는, 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척을 x 방향, y 방향 및 z 방향으로 이동하거나, xy 평면 상에서 회전 시켜, 상기 제2 기판을 필요로 하는 공정을 수행하기 위한 공정 위치로 이송할 수 있다. In the second substrate holding and transferring step S700, the chuck of the substrate supporting and transferring device is moved in the x direction, the y direction and the z direction, or rotated on the xy plane, To the process location for performing the process.

상기 제2 기판 언로딩 단계(S800)에서는, 상기 제2 기판을 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척으로부터 이격시켜 상기 제2 기판을 언로딩할 수 있다. In the second substrate unloading step (S800), the second substrate may be unloaded from the chuck of the substrate supporting and transferring device by unloading the second substrate.

상기 제 1 사전 정렬 단계, 상기 제1 기판 지지 및 이송 단계, 상기 제2 사전 정렬 단계 및 상기 제2 기판 지지 및 이송 단계는 각각 다음과 같은 단계에 의해 진행될 수 있다. 상기 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀, 상기 셔틀 상에 배치되는 하부 웨지 블록, 상기 하부 웨지 블록 상에 배치되는 상부 웨지 블록, 및 상기 상부 웨지 블록 상에 배치되는 상기 척을 포함할 수 있다. 상기 x 방향 또는 상기 y 방향을 따라 셔틀을 이동시키는 셔틀이 이동될 수 있다. 상기 상부 웨지 블록을 상기 x 방향으로 이동시켜, 상기 척의 상기 z 방향의 위치를 변경시킬 수 있다. 상기 하부 웨지 블록을 상기 셔틀 상에서 상기 xy 평면 상에서 회전 이동 시킬 수 있다. The first pre-alignment step, the first substrate support and transfer step, the second pre-alignment step, and the second substrate support and transfer step may be performed by the following steps, respectively. The substrate support and transfer device may include a shuttle, a lower wedge block disposed on the shuttle, an upper wedge block disposed on the lower wedge block, and a chuck disposed on the upper wedge block. The shuttle for moving the shuttle along the x direction or the y direction can be moved. The upper wedge block can be moved in the x direction to change the position of the chuck in the z direction. The lower wedge block may be rotationally moved on the xy plane on the shuttle.

또한, 상기 상부 웨지 블록 이동 단계는 상기 상부 웨지 블록과 상기 하부 웨지 블록 사이에 압축 공기를 제공하는 압축 공기 제공 단계, 상기 상부 웨지 블록을 이동시켜, 상기 척의 상기 z 방향 위치를 변경시키는 이동 단계, 및 상기 상부 웨지 블록과 상기 하부 웨지 블록 사이에 진공을 제공하여 상기 상부 웨지 블록과 상기 하부 웨지 블록을 서로 접착시키는 진공 제공 단계를 포함할 수 있다. The upper wedge block moving step may also include a compressed air providing step to provide compressed air between the upper wedge block and the lower wedge block, a moving step of moving the upper wedge block to change the z- And providing a vacuum between the upper wedge block and the lower wedge block to bond the upper wedge block and the lower wedge block to each other.

또한, 상기 하부 웨지 블록 이동 단계는, 상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이에 압축 공기를 제공하는 압축 공기 제공 단계, 상기 하부 웨지 블록을 회전 이동시켜, 상기 척의 상기 xy 평면 상에서의 각도를 변경시키는 이동 단계, 및 상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이에 진공을 제공하여 상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀을 서로 접착시키는 진공 제공 단계를 포함할 수 있다. The lower wedge block moving step may include a compressed air providing step to provide compressed air between the lower wedge block and the shuttle, a step of rotating the lower wedge block to move the chuck in the xy plane, And providing a vacuum between the lower wedge block and the shuttle to adhere the lower wedge block and the shuttle to each other.

본 실시예에 따르면, 상기 기판 지지 및 이송 방법은 다양한 크기 및 두께의 기판들을 지지하고 원하는 위치로 이동 시킬 수 있다. 이에 따라 공정 효율 향상될 수 있다. According to the present embodiment, the substrate support and transfer method can support substrates of various sizes and thicknesses and move them to a desired position. Thus, the process efficiency can be improved.

도 16는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 16 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention.

도 16을 참조하면, 상기 표시 장치의 제조 방법은 기판 준비 단계(S10), 기판 지지 및 이송 단계(S20) 및 표시 장치 완성 단계(S30)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 16, the manufacturing method of the display device may include a substrate preparation step (S10), a substrate support and transfer step (S20), and a display device completion step (S30).

상기 기판 준비 단계(S10)에서는 표시 장치를 제조 하기 위한 기판을 준비하고, 상기 기판 상에 포토레지스트 층을 형성할 수 있다. In the substrate preparation step (S10), a substrate for manufacturing a display device may be prepared, and a photoresist layer may be formed on the substrate.

상기 기판 지지 및 이송 단계(S20)에서는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 지지 및 이송 장치를 이용하여, 상기 기판을 노광 장치의 노광 공정을 위한 위치로 이동 시킬 수 있다. In the substrate support and transfer step (S20), the substrate can be moved to a position for an exposure process of the exposure apparatus, using the substrate support and transfer apparatus according to embodiments of the present invention.

상기 표시 장치 완성 단계(S30)에서는 상기 포토 레지스트 층이 형성된 상기 기판에 대해 후속 공정을 진행하여 상기 표시 장치를 제조할 수 있다. 상기 기판이 상기 기판 지지 및 이송 단계(S20)에 의해 정위치에 위치하면, 노광기를 이용하여 상기 기판 상의 포토레지스트 층을 노광하고, 이후 후속 공정들을 진행하여 상기 표시 장치를 제조할 수 있다. In the display device completing step (S30), the substrate on which the photoresist layer is formed may be subjected to a subsequent process to manufacture the display device. When the substrate is positioned in the correct position by the substrate supporting and transferring step S20, the photoresist layer on the substrate is exposed using an exposure machine, and then the subsequent steps are performed to manufacture the display device.

예시적인 실시예들에 따른 기판 지지 및 이송 장치 및 기판 지지 및 이송 방법에 있어서, 상기 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀, 상기 셔틀 상에 배치되는 하부 웨지 블록, 상기 하부 웨지 블록 상에 배치되는 상부 웨지 블록, 및 상기 상부 웨지 블록 상에 배치되고 기판을 지지하는 척을 포함한다. 상기 셔틀이 x 방향 및 y 방향으로 이동하고, 상기 상부 웨지 블록이 상기 x 방향으로 이동하고, 상기 하부 웨지 블록이 xy 평면 상에서 회전 이동하여, 상기 척을 원하는 위치로 이동시킬 수 있으므로, 다양한 두께의 기판들을 처리할 수 있다. A substrate support and transfer device and a substrate support and transfer method in accordance with exemplary embodiments, the substrate support and transfer device comprising a shuttle, a lower wedge block disposed on the shuttle, a lower wedge block disposed on the lower wedge block, Block, and a chuck disposed on the upper wedge block and supporting the substrate. The shuttle moves in the x and y directions and the upper wedge block moves in the x direction and the lower wedge block rotates on the xy plane to move the chuck to a desired position, Substrates can be processed.

또한, 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 구조들의 무게 중심이 z 방향으로 더 낮은 위치에 위치하므로, 상기 척의 이동에도 불구하고 안정적으로 기판 지지할 수 있다. 이에 따라 공정 효율 향상될 수 있다. In addition, since the center of gravity of the structures of the substrate supporting and transferring apparatus is located at a lower position in the z direction, the substrate can be stably supported despite the movement of the chuck. Thus, the process efficiency can be improved.

이상에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the following claims. It can be understood that it is possible.

20: x 축 이동 유닛 30: y 축 이동 유닛
100: 셔틀 200: 하부 웨지 블록
210: 제1 관 212: 제1 홀
300: 상부 웨지 블록 310: 제2 관
312: 제2 홀 400: 척
500: 회전 유닛 600: 리프팅 유닛20: x-axis moving unit 30: y-axis moving unit
100: Shuttle 200: Lower wedge block
210: first tube 212: first hole
300: upper wedge block 310: second tube
312: second hole 400: chuck
500: rotating unit 600: lifting unit

Claims (20)

x 방향 및 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 이동 가능한 셔틀;
상기 셔틀 상에 배치되고, 상기 셔틀의 상면과 평행한 하면 및 상기 하면에 대해 경사진 상면을 포함하는 하부 웨지 블록;
상기 하부 웨지 블록 상에 배치되고, 상기 하부 웨지 블록의 상기 상면과 평행한 하면 및 상기 셔틀의 상면과 평행한 상면을 포함하는 상부 웨지 블록; 및
상기 상부 웨지 블록 상에 배치되고, 기판을 지지하는 척을 포함하는 기판 지지 및 이송 장치.a shuttle movable in the x direction and the y direction perpendicular to the x direction;
A lower wedge block disposed on the shuttle, the lower wedge block including a lower surface parallel to an upper surface of the shuttle and an upper surface tilted relative to the lower surface;
An upper wedge block disposed on the lower wedge block, the upper wedge block including a lower surface parallel to the upper surface of the lower wedge block and an upper surface parallel to an upper surface of the shuttle; And
And a chuck disposed on the upper wedge block for supporting the substrate. 제1 항에 있어서,
상기 하부 웨지 블록과 상기 상부 웨지 블록 사이에 압축 공기를 분사하거나, 공기를 흡입하는 상부 분사 흡입 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 장치. The method according to claim 1,
Further comprising upper spray suction means for spraying compressed air or sucking air between said lower wedge block and said upper wedge block. 제2 항에 있어서,
상기 상부 분사 흡입 수단은 상기 상부 웨지 블록의 상기 하면 상에 형성되고 상기 하부 웨지 블록의 상기 상면에 상기 압축 공기를 분사하거나 공기를 흡입하는 복수의 제2 홀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 장치.3. The method of claim 2,
Characterized in that the upper spray suction means comprises a plurality of second holes formed on the lower surface of the upper wedge block and spraying the compressed air or sucking air on the upper surface of the lower wedge block Conveying device. 제3 항에 있어서,
상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이에 압축 공기를 분사하거나, 공기를 흡입하는 하부 분사 흡입 수단을 더 포함하고,
상기 하부 분사 흡입 수단은 상기 하부 웨지 블록의 상기 하면 상에 형성되고, 상기 셔틀의 상기 상면에 상기 압축 공기를 분사하거나 공기를 흡입하는 복수의 제1 홀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 장치.The method of claim 3,
Further comprising a lower jet sucking means for jetting compressed air or sucking air between the lower wedge block and the shuttle,
Wherein the lower injection suction means is formed on the lower surface of the lower wedge block and includes a plurality of first holes for spraying the compressed air or sucking air on the upper surface of the shuttle, Device. 제2 항에 있어서,
상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이에 압축 공기를 분사하거나, 공기를 흡입하는 하부 분사 흡입 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 장치.3. The method of claim 2,
Further comprising a lower jet sucking means for jetting compressed air or sucking air between said lower wedge block and said shuttle. 제5 항에 있어서,
상기 상부 분사 흡입 수단 및 상기 하부 분사 흡입 수단은 상기 하부 웨지 블록에 형성되는 제1 관 및 상기 제1 관에 연결되는 복수의 제1 홀들 및 복수의 제2 홀들을 포함하고,
상기 제1 홀들은 상기 하부 웨지 블록의 상기 하면 상에 형성되고, 상기 제2 홀들은 상기 하부 웨지 블록의 상기 상면 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 장치. 6. The method of claim 5,
The upper injection suction means and the lower injection suction means include a first pipe formed in the lower wedge block and a plurality of first holes and a plurality of second holes connected to the first pipe,
Wherein the first holes are formed on the lower surface of the lower wedge block and the second holes are formed on the upper surface of the lower wedge block. 제5 항에 있어서,
상기 하부 웨지 블록을 상기 셔틀에 대해 상기 x 방향 및 상기 y 방향이 이루는 xy 평명 상에서 회전 시키는 회전 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 장치.6. The method of claim 5,
Further comprising a rotation unit for rotating the lower wedge block on an xy plane defined by the x direction and the y direction with respect to the shuttle. 제2 항에 있어서,
상기 상부 웨지 블록을 상기 x 방향과 평행하게 이동하여, 상기 상부 웨지 블록의 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 상기 z 방향의 위치가 변경되도록 하는 이동 수단; 및
상기 상부 웨지 블록이 상기 x 방향과 평행한 방향으로만 이동 가능하고, 상기 y 방향으로는 이동 하지 못하도록 가이드 하는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 장치.3. The method of claim 2,
Moving means for moving the upper wedge block in parallel with the x direction to change a position in the z direction perpendicular to the x direction and the y direction of the upper wedge block; And
Further comprising: a guide portion for guiding the upper wedge block to move only in a direction parallel to the x direction and not to move in the y direction. 제1 항에 있어서,
상기 척 상에 기판을 로딩(loading) 및 언로딩(unloading) 하기 위한 리프팅 부 및 상기 리프팅 부를 이동 시키고 상기 셔틀 상에 배치되는 리프팅 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 장치. The method according to claim 1,
Further comprising: a lifting portion for loading and unloading a substrate on the chuck; and a lifting driver for moving the lifting portion and disposed on the shuttle. 제1 두께를 갖는 제1 기판을 로딩 하기 위해, 기판 지지 및 이송 장치의 척을 x 방향, 상기 x 방향과 수직한 y 방향 또는 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 z 방향으로 이동하거나, 상기 x 방향 및 상기 y 방향이 이루는 xy 평면 상에서 회전 시키는 제 1 사전 정렬 단계;
상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척 상에 상기 제1 기판을 로딩(loading)하는 제1 기판 로딩 단계;
상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척을 x 방향, y 방향 및 z 방향으로 이동하거나, xy 평면 상에서 회전 시켜, 상기 제1 기판을 필요로 하는 공정을 수행하기 위한 공정 위치로 이송하는 제1 기판 지지 및 이송 단계;
상기 제1 기판을 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척으로부터 이격시켜 상기 제1 기판을 언로딩(unloading)하는 제1 기판 언로딩 단계;
제2 두께를 갖는 제2 기판을 로딩 하기 위해, 기판 지지 및 이송 장치의 척을 상기 x 방향, 상기 y 방향 또는 상기 z 방향으로 이동하거나, 상기 xy 평면 상에서 회전 시키는 제2 사전 정렬 단계;
상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척 상에 상기 제2 기판을 로딩하는 제2 기판 로딩 단계;
상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척을 x 방향, y 방향 및 z 방향으로 이동하거나, xy 평면 상에서 회전 시켜, 상기 제2 기판을 필요로 하는 공정을 수행하기 위한 공정 위치로 이송하는 제2 기판 지지 및 이송 단계; 및
상기 제2 기판을 상기 기판 지지 및 이송 장치의 상기 척으로부터 이격시켜 상기 제2 기판을 언로딩하는 제2 기판 언로딩 단계를 포함하는 기판 지지 및 이송 방법. Moving the chuck of the substrate supporting and transferring device in the x direction, the y direction perpendicular to the x direction, or the z direction perpendicular to the x direction and the y direction to load the first substrate having the first thickness, a first pre-aligning step of rotating on the xy plane formed by the x direction and the y direction;
A first substrate loading step of loading the first substrate on the chuck of the substrate supporting and transferring device;
A first substrate support for transferring the chuck of the substrate support and transfer device in a x direction, a y direction and a z direction, or on a xy plane to transfer the first substrate to a process location for performing a required process, And a transfer step;
A first substrate unloading step of unloading the first substrate by separating the first substrate from the chuck of the substrate supporting and transferring device;
A second pre-aligning step of moving the chuck of the substrate support and transfer device in the x direction, the y direction or the z direction, or rotating the chuck on the xy plane to load a second substrate having a second thickness;
A second substrate loading step of loading the second substrate onto the chuck of the substrate supporting and transferring device;
A second substrate support for transferring the chuck of the substrate support and transfer device in x-direction, y-direction and z-direction, or on a xy-plane to transfer the second substrate to a process position for performing the required process, And a transfer step; And
And a second substrate unloading step of unloading the second substrate by spacing the second substrate away from the chuck of the substrate supporting and transferring device. 제10 항에 있어서,
상기 기판 지지 및 이송 장치는 셔틀, 상기 셔틀 상에 배치되는 하부 웨지 블록, 상기 하부 웨지 블록 상에 배치되는 상부 웨지 블록, 및 상기 상부 웨지 블록 상에 배치되는 상기 척을 포함하고,
상기 제 1 사전 정렬 단계, 상기 제1 기판 지지 및 이송 단계, 상기 제2 사전 정렬 단계 및 상기 제2 기판 지지 및 이송 단계는 각각,
상기 x 방향 또는 상기 y 방향을 따라 상기 셔틀을 이동시키는 셔틀 이동 단계;
상기 상부 웨지 블록을 상기 x 방향으로 이동시켜, 상기 척의 상기 z 방향의 위치를 변경시키는 상부 웨지 블록 이동 단계; 및
상기 하부 웨지 블록을 상기 셔틀 상에서 상기 xy 평면 상에서 회전 이동 시키는 하부 웨지 블록 회전 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 방법. 11. The method of claim 10,
The substrate support and transfer apparatus includes a shuttle, a lower wedge block disposed on the shuttle, an upper wedge block disposed on the lower wedge block, and a chuck disposed on the upper wedge block,
The first pre-alignment step, the first substrate support and transfer step, the second pre-alignment step, and the second substrate support and transfer step, respectively,
A shuttle moving step of moving the shuttle along the x direction or the y direction;
An upper wedge block moving step of moving the upper wedge block in the x direction to change a position of the chuck in the z direction; And
And a lower wedge block rotating step for rotationally moving the lower wedge block on the xy plane on the shuttle. 제11 항에 있어서,
상기 상부 웨지 블록 이동 단계는,
상기 상부 웨지 블록과 상기 하부 웨지 블록 사이에 압축 공기를 제공하는 압축 공기 제공 단계;
상기 상부 웨지 블록을 이동시켜, 상기 척의 상기 z 방향 위치를 변경시키는 이동 단계; 및
상기 상부 웨지 블록과 상기 하부 웨지 블록 사이에 진공을 제공하여 상기 상부 웨지 블록과 상기 하부 웨지 블록을 서로 접착시키는 진공 제공 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 방법. 12. The method of claim 11,
Wherein the upper wedge block moving step comprises:
Providing compressed air between the upper wedge block and the lower wedge block;
Moving the upper wedge block to change the z-direction position of the chuck; And
And providing a vacuum between the upper wedge block and the lower wedge block to adhere the upper wedge block and the lower wedge block to each other. 제11 항에 있어서,
상기 하부 웨지 블록 이동 단계는,
상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이에 압축 공기를 제공하는 압축 공기 제공 단계;
상기 하부 웨지 블록을 회전 이동시켜, 상기 척의 상기 xy 평면 상에서의 각도를 변경시키는 이동 단계; 및
상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이에 진공을 제공하여 상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀을 서로 접착시키는 진공 제공 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 방법. 12. The method of claim 11,
The lower wedge block moving step includes:
Providing compressed air between the lower wedge block and the shuttle;
A moving step of rotating the lower wedge block to change an angle of the chuck on the xy plane; And
And providing a vacuum between the lower wedge block and the shuttle to adhere the lower wedge block and the shuttle to each other. 제11 항에 있어서,
상기 상부 웨지 블록 이동 단계 및 상기 하부 웨지 블록 회전 단계는 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 방법. 12. The method of claim 11,
Wherein the upper wedge block moving step and the lower wedge block rotating step are simultaneously performed. 제10 항에 있어서,
상기 기판 지지 및 이송 장치는
x 방향 및 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 이동 가능한 셔틀;
상기 셔틀 상에 배치되고, 상기 셔틀의 상면과 평행한 하면 및 상기 하면에 대해 경사진 상면을 포함하는 하부 웨지 블록;
상기 하부 웨지 블록 상에 배치되고, 상기 하부 웨지 블록의 상기 상면과 평행한 하면 및 상기 셔틀의 상면과 평행한 상면을 포함하는 상부 웨지 블록; 및
상기 상부 웨지 블록 상에 배치되는 상기 척을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 방법. 11. The method of claim 10,
The substrate support and transfer device
a shuttle movable in the x direction and the y direction perpendicular to the x direction;
A lower wedge block disposed on the shuttle, the lower wedge block including a lower surface parallel to an upper surface of the shuttle and an upper surface tilted relative to the lower surface;
An upper wedge block disposed on the lower wedge block, the upper wedge block including a lower surface parallel to the upper surface of the lower wedge block and an upper surface parallel to an upper surface of the shuttle; And
And a chuck disposed on the upper wedge block. 제15 항에 있어서,
상기 기판 지지 및 이송 장치는 상기 하부 웨지 블록과 상기 상부 웨지 블록 사이 또는 상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이에 압축 공기를 분사하거나, 공기를 흡입하는 분사 흡입 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 방법. 16. The method of claim 15,
Characterized in that the substrate support and transfer device further comprises jet sucking means for jetting compressed air or for sucking air between the lower wedge block and the upper wedge block or between the lower wedge block and the shuttle. And a transfer method. 제16 항에 있어서,
상기 상부 웨지 블록 이동 단계에서는,
상기 상부 웨지 블록과 상기 하부 웨지 블록 사이에 상기 압축 공기를 분사하여 상기 상부 웨지 블록을 부상(浮上)시키고,
부상된 상기 상부 웨지 블록을 상기 하부 웨지 블록의 경사진 상기 상면을 따라 이동시켜, 상기 척의 상기 z 방향 위치를 변경시키고,
상기 상부 웨지 블록과 상기 하부 웨지 블록 사이의 공기를 흡입하여, 상기 상부 웨지 블록을 상기 하부 웨지 블록에 고정시키는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 방법. 17. The method of claim 16,
In the upper wedge block moving step,
The upper wedge block is floated by spraying the compressed air between the upper wedge block and the lower wedge block,
Moving the floated upper wedge block along the inclined upper surface of the lower wedge block to change the z-direction position of the chuck,
And sucking air between the upper wedge block and the lower wedge block to secure the upper wedge block to the lower wedge block. 제17 항에 있어서,
상기 기판 지지 및 이송 장치는 상기 하부 웨지 블록을 상기 셔틀에 대해 상기 xy 평명 상에서 회전 시키는 회전 유닛을 더 포함하고,
상기 하부 웨지 블록 회전 단계에서는,
상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이에 상기 압축 공기를 분사하여 상기 하부 웨지 블록을 부상(浮上)시키고,
부상된 상기 하부 웨지 블록을 상기 셔틀 상에서 상기 xy 평면 상에서 회전 이동 시키고,
상기 하부 웨지 블록과 상기 셔틀 사이의 공기를 흡입하여, 상기 하부 웨지 블록을 상기 셔틀에 고정시키는 것을 특징으로 하는 기판 지지 및 이송 방법. 18. The method of claim 17,
Wherein the substrate support and transfer device further comprises a rotation unit for rotating the lower wedge block on the xy plane relative to the shuttle,
In the lower wedge block rotating step,
The compressed air is injected between the lower wedge block and the shuttle to float the lower wedge block,
The lower wedge block floated on the shuttle on the xy plane,
And sucking air between the lower wedge block and the shuttle to secure the lower wedge block to the shuttle. 표시 장치를 제조 하기 위한 기판을 준비하고, 상기 기판 상에 포토레지스트 층을 형성하는 기판 준비 단계;
상기 포토 레지스트 층이 형성된 기판을 기판 지지 및 이송 장치를 이용하여 노광 위치로 이동시키는 기판 지지 및 이송 단계; 및
상기 포토 레지스트 층이 형성된 상기 기판에 대해 후속 공정을 진행하여 상기 표시 장치를 제조하는 표시 장치 완성 단계를 포함하고,
상기 기판 지지 및 이송 장치는,
x 방향 및 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 이동 가능한 셔틀;
상기 셔틀 상에 배치되고, 상기 셔틀의 상면과 평행한 하면 및 상기 하면에 대해 경사진 상면을 포함하는 하부 웨지 블록;
상기 하부 웨지 블록 상에 배치되고, 상기 하부 웨지 블록의 상기 상면과 평행한 하면 및 상기 셔틀의 상면과 평행한 상면을 포함하는 상부 웨지 블록; 및
상기 상부 웨지 블록 상에 배치되고, 상기 기판을 지지하는 척을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법. A substrate preparation step of preparing a substrate for manufacturing a display device and forming a photoresist layer on the substrate;
A substrate supporting and transferring step of transferring the substrate having the photoresist layer formed thereon to an exposure position using a substrate supporting and transferring device; And
And a display device completing step of manufacturing the display device by performing a subsequent process on the substrate on which the photoresist layer is formed,
The substrate supporting and transferring device comprises:
a shuttle movable in the x direction and the y direction perpendicular to the x direction;
A lower wedge block disposed on the shuttle, the lower wedge block including a lower surface parallel to an upper surface of the shuttle and an upper surface tilted relative to the lower surface;
An upper wedge block disposed on the lower wedge block, the upper wedge block including a lower surface parallel to the upper surface of the lower wedge block and an upper surface parallel to an upper surface of the shuttle; And
And a chuck that is disposed on the upper wedge block and supports the substrate. 제19 항에 있어서,
상기 기판 지지 및 이송 단계는
상기 x 방향 또는 상기 y 방향을 따라 셔틀을 이동시키는 셔틀 이동 단계;
상기 상부 웨지 블록을 상기 x 방향으로 이동시켜, 상기 척의 상기 z 방향의 위치를 변경시키는 상부 웨지 블록 이동 단계; 및
상기 하부 웨지 블록을 상기 셔틀 상에서 상기 xy 평면 상에서 회전 이동 시키는 하부 웨지 블록 회전 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
20. The method of claim 19,
The substrate support and transfer step
A shuttle moving step for moving the shuttle along the x direction or the y direction;
An upper wedge block moving step of moving the upper wedge block in the x direction to change a position of the chuck in the z direction; And
And rotating the lower wedge block on the xy plane on the shuttle.
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