KR20180099608A

KR20180099608A - Organic light emitting display

Info

Publication number: KR20180099608A
Application number: KR1020180101805A
Authority: KR
Inventors: 오재영
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2018-08-29
Filing date: 2018-08-29
Publication date: 2018-09-05
Also published as: KR102066100B1

Abstract

The present invention relates to an organic light emitting display device which can be thinned and lightweight. According to the present invention, an encapsulation unit of the organic light emitting display device having a touch sensor includes a plurality of inorganic encapsulation layers and at least one layer of an organic encapsulation layer disposed between the inorganic encapsulation layers. A plurality of touch electrodes respectively having an electrically independent magnetic capacitance are disposed on any one of the inorganic encapsulation layers and the organic encapsulation layer. Therefore, the thin and lightweight organic light emitting display device may be implemented.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an organic light-

본 발명은 유기 발광 표시 장치에 관한 것으로, 특히 박형화 및 경량화가 가능한 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display, and more particularly, to an organic light emitting display capable of being thinned and light.

터치 스크린은 표시장치 등의 화면에 나타난 지시 내용을 사람의 손 또는 물체로 선택하여 사용자의 명령을 입력할 수 있도록 한 입력장치이다. 즉, 터치 스크린은 사람의 손 또는 물체에 직접 접촉된 접촉위치를 전기적 신호로 변환하며, 접촉위치에서 선택된 지시 내용이 입력신호로 받아들여진다. 이와 같은 터치 스크린은 키보드 및 마우스와 같이 표시장치에 연결되어 동작하는 별도의 입력장치를 대체할 수 있기 때문에 그 이용범위가 점차 확장되고 있는 추세이다.The touch screen is an input device that allows a user to input a command by selecting an instruction displayed on a screen of a display device or the like as a human hand or an object. That is, the touch screen converts a touch position directly touching a human hand or an object into an electrical signal, and the instruction content selected at the touch position is accepted as an input signal. Such a touch screen can be replaced with a separate input device that is connected to a display device such as a keyboard and a mouse, and the use range thereof is gradually expanding.

이와 같은 터치 스크린은 일반적으로 액정 표시 패널 또는 유기 발광 표시 패널과 같은 표시 패널의 전면에 부착되는 경우가 많다. 이 경우, 터치 스크린이 별도로 제작되어 표시 패널의 전면에 부착되므로, 부착 공정의 추가로 공정이 복잡해지며 비용이 상승하는 문제점이 있다. 또한, 터치 스크린에 의해 표시 패널의 전체 두께가 증가되고, 증가된 두께로 인해 플렉서빌리티(flexibility) 및 투과도 확보가 어려워지는 문제점이 있다.Such a touch screen is generally attached to the front surface of a display panel such as a liquid crystal display panel or an organic light emitting display panel. In this case, since the touch screen is separately manufactured and attached to the front surface of the display panel, there is a problem that the process is complicated and the cost is increased in addition to the attaching process. Further, the entire thickness of the display panel is increased by the touch screen, and flexibility and transparency are difficult to secure due to the increased thickness.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 박형화 및 경량화가 가능한 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an organic light emitting display capable of being thinned and lightweight.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치의 봉지부는 다수의 무기 봉지층들과, 무기 봉지층들 사이에 배치되는 적어도 1층의 유기 봉지층을 포함하며, 각각이 전기적으로 독립된 자기 정전 용량을 가지는 다수의 터치 전극은 상기 무기 봉지층 및 유기 봉지층 중 어느 하나의 봉지층 상에 배치되므로, 박형화 및 경량화를 구현할 수 있다. In order to accomplish the above object, an encapsulating portion of an organic light emitting display having a touch sensor according to the present invention includes a plurality of inorganic encapsulating layers and at least one organic encapsulating layer disposed between the inorganic encapsulating layers, Since the plurality of electrically-independent self-capacitance touch electrodes are disposed on any one of the inorganic encapsulation layer and the organic encapsulation layer, thinning and weight reduction can be realized.

본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부 내에 포함된 제1 무기 봉지층, 제2 무기 봉지층 및 유기 봉지층 중 적어도 어느 하나 상에 터치 전극이 배치된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 종래 터치 스크린의 터치 절연층이 불필요하므로 구조 단순화 및 두께 감소로 경량 박형화가 가능해진다. 또한, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 플렉서빌리티를 확보할 수 있으며 투과도를 개선할 수 있다. 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 봉지부 내에 포함된 봉지층 상에 터치 전극들이 배치됨으로써 별도의 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다.In the organic light emitting diode display having the touch sensor according to the present invention, the touch electrode is disposed on at least one of the first inorganic encapsulation layer, the second inorganic encapsulation layer and the organic encapsulation layer included in the encapsulation part. Accordingly, since the organic light emitting display according to the present invention does not require a touch insulation layer of the conventional touch screen, it is possible to simplify the structure and reduce the thickness to be light and thin. In addition, the organic light emitting diode display according to the present invention can secure flexibility and improve the transmittance. In addition, in the organic light emitting diode display according to the present invention, since the touch electrodes are disposed on the sealing layer included in the sealing portion, a separate bonding process is unnecessary, thereby simplifying the process and reducing the cost.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1에서 선 "Ⅰ-Ⅰ'"를 따라 절취한 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 1 및 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도 및 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4에서 선 "Ⅱ-Ⅱ'"를 따라 절취한 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6a 내지 도 6d는 도 4 및 도 5에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도 및 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도 및 단면도이다.
도 8a 내지 도 8d는 도 7에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도들 및 단면도들이다.
도 9는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 제6 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.FIG. 1 is a plan view showing an organic light emitting display device having a touch sensor according to a first embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor cut along the line "I-I" in Fig.
FIGS. 3A and 3B are a plan view and a cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the organic light emitting display shown in FIGS. 1 and 2. FIG.
4 is a plan view showing an organic light emitting display device having a touch sensor according to a second embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor cut along the line "II-II" in Fig.
6A to 6D are a plan view and a cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the organic light emitting display shown in FIGS. 4 and 5. FIG.
7 is a plan view and a cross-sectional view illustrating an organic light emitting diode display device having a touch sensor according to a third embodiment of the present invention.
8A to 8D are plan views and sectional views for explaining a method of manufacturing the organic light emitting display shown in FIG.
9 is a cross-sectional view illustrating an OLED display device having a touch sensor according to a fourth embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view illustrating an OLED display device having a touch sensor according to a fifth embodiment of the present invention.
11 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to a sixth embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도 및 단면도이다.1 and 2 are a plan view and a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 다수의 서브 화소(SP)와, 다수의 서브 화소(SP)와 다대일로 대응하는 터치 전극(154)을 구비한다.The organic light emitting display device having the touch sensor shown in FIGS. 1 and 2 includes a plurality of sub pixels SP and a plurality of touch electrodes 154 corresponding to a plurality of sub pixels SP.

다수의 서브 화소(SP)는 매트릭스 형태로 배열되어 영상을 표시한다. 도 1에 도시된 바와 같이 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 서브 화소(SP)는 하나의 단위 화소를 구성되거나, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 서브 화소(SP)가 하나의 단위 화소로 구성된다.The plurality of sub-pixels SP are arranged in a matrix form to display an image. 1, red (R), green (G) and blue (B) subpixels SP constitute one unit pixel, or red (R), green And the white (W) sub-pixel SP is composed of one unit pixel.

각 서브 화소(SP)는 적어도 하나의 스위칭 박막 트랜지스터(도시하지 않음)와, 적어도 하나의 구동 박막트랜지스터(130)와, 발광 소자(120)와, 봉지부(140)를 구비한다. Each sub-pixel SP includes at least one switching thin film transistor (not shown), at least one driving thin film transistor 130, a light emitting element 120, and an encapsulating portion 140.

스위칭 박막트랜지스터 및 구동 박막트랜지스터(130) 각각은 플라스틱 또는 유리 재질의 하부 기판(111) 상에 형성된다.Each of the switching thin film transistor and the driving thin film transistor 130 is formed on a lower substrate 111 made of plastic or glass.

스위칭 박막트랜지스터는 게이트 라인(도시하지 않음) 및 데이터 라인(도시하지 않음)의 교차부에서 이들과 접속되며, 구동 박막트랜지스터(130)는 스위칭 박막트랜지스터 및 전원 라인(도시하지 않음)과 접속된다. The switching thin film transistor is connected to the gate thin film transistor at an intersection of a gate line (not shown) and a data line (not shown), and the driving thin film transistor 130 is connected to a switching thin film transistor and a power supply line (not shown).

구동 박막트랜지스터(130)는 도 2에 도시된 바와 같이 게이트 전극(132)과, 게이트 절연막(112)을 사이에 두고 게이트 전극(132)과 중첩되는 반도체층(134)과, 층간 절연막(114) 상에 형성되어 반도체층(134)과 접촉하는 소스 및 드레인 전극(136,138)을 구비한다. 2, the driving thin film transistor 130 includes a gate electrode 132, a semiconductor layer 134 which overlaps the gate electrode 132 with the gate insulating film 112 therebetween, an interlayer insulating film 114, And source and drain electrodes 136 and 138 formed on the semiconductor layer 134 and in contact with the semiconductor layer 134.

발광 소자(120)는 애노드 전극(122)과, 애노드 전극(122) 상에 형성되는 유기 발광층(124)과, 유기 발광층(124) 위에 형성된 캐소드 전극(126)을 구비한다.The light emitting device 120 includes an anode electrode 122, an organic light emitting layer 124 formed on the anode electrode 122, and a cathode electrode 126 formed on the organic light emitting layer 124.

애노드 전극(122)은 보호막(116)을 관통하는 화소 컨택홀을 통해 노출된 구동 박막트랜지스터(130)의 드레인 전극(138)과 전기적으로 접속된다. 유기 발광층(124)은 뱅크(128)에 의해 마련된 발광 영역의 애노드 전극(122) 상에 형성된다. 유기 발광층(124)은 애노드 전극(122) 상에 정공 관련층, 발광층, 전자 관련층 순으로 또는 역순으로 적층되어 형성된다. 캐소드 전극(126)은 유기 발광층(124)을 사이에 두고 애노드 전극(122)과 대향하도록 형성된다.The anode electrode 122 is electrically connected to the drain electrode 138 of the driving thin film transistor 130 exposed through the pixel contact hole passing through the protective film 116. The organic light emitting layer 124 is formed on the anode electrode 122 of the light emitting region provided by the bank 128. [ The organic light-emitting layer 124 is formed on the anode electrode 122 in the order of the hole-related layer, the light-emitting layer, the electron-related layer, or in the reverse order. The cathode electrode 126 is formed to face the anode electrode 122 with the organic light emitting layer 124 interposed therebetween.

봉지부(140)는 외부의 수분이나 산소에 취약한 발광 소자(120)로 외부의 수분이나 산소가 침투되는 것을 차단한다. 이를 위해, 봉지부(140)는 다수의 무기 봉지층들(142,146)과, 다수의 무기 봉지층들(142,146) 사이에 배치되는 유기 봉지층(144)을 구비하며, 무기 봉지층(146)이 최상층에 배치되도록 한다. 이 때, 봉지부(140)는 적어도 2층의 무기 봉지층(142,146)과 적어도 1층의 유기 봉지층(144)을 구비한다. 본 발명에서는 제1 및 제2 무기 봉지층들(142,146) 사이에 유기 봉지층(144)이 배치되는 봉지부(140)의 구조를 예로 들어 설명하기로 한다. The sealing part 140 blocks moisture or oxygen from penetrating into the light emitting device 120 which is vulnerable to external moisture or oxygen. The encapsulation 140 includes a plurality of inorganic encapsulation layers 142 and 146 and an organic encapsulation layer 144 disposed between the plurality of encapsulation layers 142 and 146, So as to be placed on the uppermost layer. At this time, the sealing portion 140 includes at least two inorganic sealing layers 142 and 146 and at least one organic sealing layer 144. In the present invention, the structure of the sealing portion 140 in which the organic sealing layer 144 is disposed between the first and second inorganic sealing layers 142 and 146 will be described as an example.

제1 무기 봉지층(142)은 발광 소자(120)와 가장 인접하도록 캐소드 전극(126)이 형성된 기판(111) 상에 형성된다. 이 제1 무기 봉지층(142)은 터치 패드(170)가 형성될 패드 영역을 노출시키도록 형성된다. 이러한 제1 무기 봉지층(142)은 질화실리콘(SiNx), 산화 실리콘(SiOx), 산화질화실리콘(SiON) 또는 산화 알루미늄(Al2O3)과 같은 저온 증착이 가능한 무기 절연 재질로 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 이에 따라, 제1 무기 봉지층(142)의 증착 공정시의 고온 분위기에 의해 유기 발광층(124)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.The first inorganic sealing layer 142 is formed on the substrate 111 on which the cathode electrode 126 is formed so as to be closest to the light emitting device 120. The first inorganic sealing layer 142 is formed to expose a pad region where the touch pad 170 is to be formed. The first inorganic encapsulation layer 142 is formed of an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiOx), silicon oxynitride (SiON), or aluminum oxide (Al2O3) do. As a result, the organic light emitting layer 124 can be prevented from being damaged by the high temperature atmosphere during the deposition process of the first inorganic encapsulation layer 142.

유기 봉지층(144)은 제1 무기 봉지층(142)보다 작은 면적으로 형성되어 제1 무기 봉지층(142)의 양끝단을 노출시키도록 형성된다. 이러한 유기 봉지층(144)은 유기 발광 표시 장치의 휘어짐에 따른 각 층들 간의 응력을 완화시키는 완충역할을 하며, 평탄화 성능을 강화한다. 이 유기 봉지층(144)은 아크릴 수지, 에폭시 수지, 폴리머수지(예를 들어, 폴리이미드 또는 폴리에틸렌) 또는 실리콘옥시카본(SiOC)과 같은 유기 절연 재질로 단층 또는 다층 구조로 형성된다. The organic encapsulation layer 144 is formed to have an area smaller than that of the first inorganic encapsulation layer 142 to expose both ends of the first inorganic encapsulation layer 142. The organic sealing layer 144 serves as a buffer for relieving the stress between the respective layers due to warping of the organic light emitting display device and enhances the planarization performance. The organic sealing layer 144 is formed of a single layer or a multi-layer structure of an organic insulating material such as an acrylic resin, an epoxy resin, a polymer resin (for example, polyimide or polyethylene) or silicon oxycarbide (SiOC).

제 2 무기 봉지층(146)은 유기 봉지층(144)이 형성된 기판(111) 상에 유기 봉지층(144) 및 제1 무기 봉지층(142) 각각의 상부면 및 측면을 덮도록 형성된다. 이에 따라, 제2 무기 봉지층(146)은 외부의 수분이나 산소가 제1 무기 봉지층(142) 및 유기 봉지층(144)으로 침투하는 것을 최소화하거나 차단한다. 이러한 제2 무기 봉지층(146)은 질화실리콘(SiNx), 산화 실리콘(SiOx), 산화질화실리콘(SiON) 또는 산화 알루미늄(Al2O3)과 같은 무기 절연 재질로 단층 또는 다층 구조로 형성된다.The second inorganic encapsulation layer 146 is formed on the substrate 111 on which the organic encapsulation layer 144 is formed to cover the top surface and side surfaces of the organic encapsulation layer 144 and the first inorganic encapsulation layer 142, Accordingly, the second inorganic encapsulating layer 146 minimizes or blocks external moisture or oxygen from penetrating into the first inorganic encapsulating layer 142 and the organic encapsulating layer 144. The second inorganic encapsulation layer 146 is an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiOx), silicon oxynitride (SiON), or aluminum oxide (Al2O3).

이러한 봉지부(140)의 제1 및 제2 무기 봉지층(142,146)과 유기 봉지층(144) 중 적어도 어느 한 층 상에는 다수의 터치 전극들(154)이 형성된다. 본 발명의 제1 실시 예에서는 봉지부(140)의 최상층인 제2 무기 봉지층(146) 상에 다수의 터치 전극들(154)이 배치되는 구조를 예로 들어 설명하기로 한다.A plurality of touch electrodes 154 are formed on at least one of the first and second inorganic encapsulation layers 142 and 146 and the organic encapsulation layer 144 of the encapsulation part 140. A structure in which a plurality of touch electrodes 154 are disposed on the second inorganic sealing layer 146, which is the uppermost layer of the sealing part 140, will be described as an example of the first embodiment of the present invention.

다수의 터치 전극들(154) 각각은 그 터치 전극들(154) 자체에 형성된 정전 용량을 포함하므로, 사용자의 터치에 의한 정전 용량 변화를 감지하는 자기 용량 방식의 터치 센서(Cs)로 이용된다. 이러한 터치 전극(154)을 이용하는 자기 용량 센싱 방법은 터치 패드(170)를 통해 공급되는 구동 신호가 라우팅 라인(156)을 통해 터치 전극(154)에 인가되면, 전하(Q)가 터치 센서(Cs)에 축적되다. 이 때, 사용자의 손가락이나 전도성 물체가 터치 전극(154)에 접촉되면, 자기 용량 센서(Cs)에 추가로 기생 용량(Cf)이 연결되어 커패시턴스 값이 변한다. 따라서, 손가락이 터치된 터치 센서(Cs)와 그렇지 않은 터치 센서(Cs) 간에 커패시턴스(Capaciance) 값이 달라져 터치 여부를 판단할 수 있다.Each of the plurality of touch electrodes 154 includes a capacitance formed on the touch electrodes 154 itself. Therefore, the touch sensor 154 is used as a capacitive touch sensor Cs for sensing a change in capacitance due to a user's touch. When the driving signal supplied through the touch pad 170 is applied to the touch electrode 154 through the routing line 156, the charge Q is applied to the touch sensor Cs ). At this time, when the finger or the conductive object of the user touches the touch electrode 154, the parasitic capacitance Cf is further connected to the capacitance sensor Cs to change the capacitance value. Accordingly, the capacitance value between the touch sensor Cs with the finger touched and the touch sensor Cs without the touch sensor Cs can be determined to determine whether the touch is made.

이를 위해, 다수의 터치 전극들(154)은 서로 교차하는 제1 및 제2 방향으로 분할되어 독립적으로 형성된다. 다수의 터치 전극들(154) 각각은 사용자의 터치 면적을 고려하여 다수개의 유기 발광 소자와 대응되는 크기로 형성된다. 예를 들어, 제1 방향의 8개의 발광 소자×제2 방향의 8개의 발광소자와 대응되는 하나의 터치 전극(172)이 하나의 터치 센서(Cs)를 이루게 된다. To this end, the plurality of touch electrodes 154 are independently formed in the first and second directions intersecting with each other. Each of the plurality of touch electrodes 154 is formed to have a size corresponding to that of the plurality of organic light emitting devices in consideration of the touch area of the user. For example, one touch sensor (Cs) forms one touch electrode (172) corresponding to eight light emitting elements in the first direction and eight light emitting elements in the second direction.

또한, 다수의 터치 전극들(154) 각각은 라우팅 라인(156) 및 터치 패드(170)를 통해 터치 드라이버(도시하지 않음)와 연결된다.Each of the plurality of touch electrodes 154 is connected to a touch driver (not shown) through the routing line 156 and the touch pad 170.

라우팅 라인들(156) 각각은 제1 및 제2 방향 중 어느 한 방향을 따라 형성되어 다수의 터치 전극들(154) 각각과 일대일로 접속된다. 라우팅 라인들(156) 중 다수의 터치 전극들(154) 사이에 위치하는 라우팅 라인들(156)은 뱅크(128)와 중첩되도록 배치되고, 최외곽 터치 전극들(154)의 일측 또는 타측에 위치하는 나머지 라우팅 라인들(156)은 베젤 영역에 배치된다. 이에 따라, 본 발명은 라우팅 라인들(156)에 의해 개구율이 손상되는 것을 방지할 수 있다.Each of the routing lines 156 is formed along one of the first and second directions and is connected to each of the plurality of touch electrodes 154 on a one-to-one basis. The routing lines 156 located between the plurality of touch electrodes 154 of the routing lines 156 are arranged to overlap with the banks 128 and are positioned on one side or the other side of the outermost touch electrodes 154. [ The remaining routing lines 156 are placed in the bezel region. Accordingly, the present invention can prevent the aperture ratio from being damaged by the routing lines 156. [

또한, 라우팅 라인(156)은 봉지부(140)의 최상층인 제2 무기 봉지층(146)의 상부면 및 측면 상에 배치된다. 이에 따라, 라우팅 라인(156)을 통해 외부의 산소나 수분이 침투하더라도 유기 봉지층(144)과 제1 및 제2 무기 봉지층(142,146)을 통해 산소나 수분이 차단됨으로써 유기 발광층(124)을 산소나 수분으로부터 보호할 수 있다.In addition, the routing line 156 is disposed on the top surface and side surfaces of the second inorganic encapsulation layer 146, which is the uppermost layer of the encapsulation part 140. Accordingly, even if oxygen or moisture permeates through the routing line 156, oxygen or moisture is blocked through the organic sealing layer 144 and the first and second inorganic sealing layers 142 and 146, It can be protected from oxygen and moisture.

터치 패드(170)는 라우팅 라인(156)과 마찬가지로 Ta, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강하고 전도성이 좋은 금속을 이용하여 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 예를 들어, 터치 패드(170)는 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 내식성 및 내산성이 강한 금속이 최상층에 배치된 다층 구조로 형성된다.Like the routing line 156, the touch pad 170 is formed of a single layer or a multi-layer structure using a metal having strong corrosion resistance and acid resistance such as Ta, Ti, Cu, and Mo and good conductivity. For example, the touch pad 170 is formed in a multi-layered structure in which a metal having high corrosion resistance and acid resistance, such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo, is disposed on the uppermost layer.

터치 패드(170)는 봉지부(140)에 의해 노출된 기판(111)의 패드 영역에 배치된다. 이러한 터치 패드(170)는 라우팅 라인(156)으로부터 신장되어 라우팅 라인(156)과 접속되므로, 라우팅 라인(156)을 통해 터치 전극(154)에 터치 신호를 공급한다. 또한, 터치 패드(170)는 터치 전극(154)에 의해서 센싱된 터치 신호를 라우팅 라인(156)을 통해 전달받으며, 터치 패드(170)와 접속된 터치 드라이버로 공급한다. 터치 드라이버는 사용자의 터치에 의해 변경된 커패시턴스의 변화를 센싱하여 사용자의 터치 여부 및 터치 위치를 검출한다.The touch pad 170 is disposed in a pad region of the substrate 111 exposed by the sealing portion 140. Since the touch pad 170 is extended from the routing line 156 and connected to the routing line 156, the touch pad 170 supplies the touch signal to the touch electrode 154 through the routing line 156. The touch pad 170 receives the touch signal sensed by the touch electrode 154 through the routing line 156 and supplies the sensed touch signal to the touch driver connected to the touch pad 170. The touch driver senses a change in capacitance that is changed by a user's touch and detects whether or not the user touches and touches the touch.

이와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 내의 제2 무기 봉지층(146) 상에 터치 전극(154)이 배치된다. 이 경우, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 별도의 터치 절연층이 불필요하므로 구조 단순화 및 경량 박형화가 가능해질 뿐만 아니라, 플렉서빌리티 및 투과도를 확보할 수 있다. 또한, 종래 터치 스크린은 접착제를 통해 유기 발광 표시 장치에 부착되는 반면에 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 별도의 접착제없이 봉지부(140) 내에 포함된 제2 무기 봉지층(146) 상에 터치 전극들(154)이 배치됨으로써 별도의 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다.As described above, in the organic light emitting display device having the touch sensor according to the first embodiment of the present invention, the touch electrode 154 is disposed on the second inorganic sealing layer 146 in the sealing portion 140. In this case, since the organic light emitting diode display according to the present invention does not require a separate touch insulation layer, it is possible to simplify the structure and reduce the weight and thickness, as well as to ensure flexibility and transparency. In addition, the conventional touch screen is attached to the organic light emitting display through an adhesive, whereas the organic light emitting display according to the present invention does not have a touch on the second inorganic sealing layer 146 included in the sealing part 140, By disposing the electrodes 154, a separate bonding step is not required, which simplifies the process and can reduce the cost.

도 3a 및 도 3b는 도 1 및 도 2에 도시된 터치 전극을 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도 및 단면도들이다.FIGS. 3A and 3B are a plan view and a cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the organic light emitting diode display device having the touch electrodes shown in FIGS. 1 and 2. FIG.

도 3a를 참조하면, 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터(130), 애노드 전극(122), 유기 발광층(124) 및 캐소드 전극(126)이 형성된 기판(111) 상에 제1 무기 봉지층(142), 유기 봉지층(144) 및 제2 무기 봉지층(146)이 순차적으로 형성되며, 제2 무기 봉지층(146) 상에 라우팅 라인(156) 및 터치 패드(170)가 형성된다.Referring to FIG. 3A, a first inorganic encapsulating layer 142, a second organic encapsulating layer 142, and a third organic encapsulating layer 142 are formed on a substrate 111 on which a switching transistor, a driving transistor 130, an anode electrode 122, an organic light emitting layer 124, and a cathode electrode 126 are formed. A sealing layer 144 and a second inorganic encapsulating layer 146 are sequentially formed on the second inorganic encapsulating layer 146. A routing line 156 and a touch pad 170 are formed on the second inorganic encapsulating layer 146. [

구체적으로, 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터(130), 애노드 전극(122), 유기 발광층(124) 및 캐소드 전극(126)이 형성된 기판(111) 상에 무기 절연 물질, 유기 절연 물질 및 무기 절연 물질이 메탈 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 순차적으로 적층됨으로써 제1 무기 봉지층(142)과 유기 봉지층(144) 및 제2 무기 봉지층(146)이 순차적으로 형성된다. 이 때, 제1 무기 봉지층(142) 및 유기 봉지층(144)과 제2 무기 봉지층(146)은 터치 패드(170)가 형성될 영역을 제외한 나머지 영역에 형성된다. Specifically, an inorganic insulating material, an organic insulating material, and an inorganic insulating material are formed on the substrate 111 on which the switching transistor, the driving transistor 130, the anode electrode 122, the organic light emitting layer 124, and the cathode electrode 126 are formed. The first inorganic encapsulating layer 142, the organic encapsulating layer 144, and the second inorganic encapsulating layer 146 are sequentially formed by depositing sequentially through a deposition process using a mask. At this time, the first inorganic encapsulation layer 142, the organic encapsulation layer 144, and the second inorganic encapsulation layer 146 are formed in regions other than the region where the touch pad 170 is to be formed.

그런 다음, 제2 무기 봉지층(146) 상에 제1 도전층이 전면 증착된 후, 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 제1 도전층이 패터닝됨으로써 라우팅 라인(156) 및 터치 패드(170)가 형성된다. 여기서, 제1 도전층은 Ta, Al, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강한 금속을 이용하여 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 예를 들어, 제1 도전층은 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다.Then, the first conductive layer is completely deposited on the second inorganic encapsulating layer 146, and then the first conductive layer is patterned by the photolithography process and the etching process, thereby forming the routing line 156 and the touch pad 170 do. Here, the first conductive layer is formed as a single layer or a multi-layer structure using a metal having high corrosion resistance and acid resistance such as Ta, Al, Ti, Cu, and Mo. For example, the first conductive layer is formed in a three-layer structure such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo.

도 3b를 참조하면, 라우팅 라인(156) 및 터치 패드(170)가 형성된 기판(111) 상에 터치 전극(154)이 형성된다. Referring to FIG. 3B, a touch electrode 154 is formed on a substrate 111 on which a routing line 156 and a touch pad 170 are formed.

구체적으로, 라우팅 라인(156) 및 터치 패드(170)가 형성된 기판(111) 상에 제2 도전층이 전면 증착된 후, 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 그 제2 도전층이 패터닝됨으로써 터치 전극(154)이 형성된다. 여기서, 제2 도전층으로는 ITO, IZO, IGZO 또는 ZnO와 같은 투명 도전층이 이용된다.Specifically, after the second conductive layer is completely deposited on the substrate 111 on which the routing line 156 and the touch pad 170 are formed, the second conductive layer is patterned by the photolithography process and the etching process, 154 are formed. Here, a transparent conductive layer such as ITO, IZO, IGZO or ZnO is used as the second conductive layer.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도이며, 도 5는 도 4에서 선"Ⅱ-Ⅱ'"를 따라 절취한 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.FIG. 4 is a plan view showing an organic light emitting display device having a touch sensor according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device taken along line II- .

도 4 및 도 5에 도시된 유기 발광 표시 장치는 도 1 및 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치와 대비하여 터치 전극(154)이 유기 봉지층(144) 상에 배치되고, 라우팅 라인(156)과 터치 패드(170) 사이에 라우팅 패드(176)가 배치되는 것을 제외하고는 동일한 구성 요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The organic light emitting display shown in FIGS. 4 and 5 is different from the organic light emitting display shown in FIGS. 1 and 2 in that the touch electrode 154 is disposed on the organic sealing layer 144, And a routing pad 176 is disposed between the touch pad 170 and the touch pad 170. Accordingly, detailed description of the same constituent elements will be omitted.

터치 전극(154), 라우팅 라인(156) 및 라우팅 패드(176)는 유기 봉지층(144) 상에 배치된다. The touch electrode 154, the routing line 156, and the routing pad 176 are disposed on the organic sealing layer 144.

라우팅 패드(176)는 라우팅 라인(156)과 터치 패드(170) 사이에 배치되어 라우팅 라인(156)과 터치 패드(170)를 전기적으로 연결한다. 이러한 라우팅 패드(176)는 라우팅 라인(156)으로부터 신장되므로, 라우팅 라인(156)과 동일 평면 상에 동일 재질로 형성된다. 이 라우팅 패드(176)는 제2 무기 봉지층(146)을 관통하는 패드 컨택홀(160)을 통해 노출된다.The routing pad 176 is disposed between the routing line 156 and the touch pad 170 to electrically connect the routing line 156 and the touch pad 170. Since the routing pad 176 is extended from the routing line 156, it is formed of the same material on the same plane as the routing line 156. The routing pad 176 is exposed through the pad contact hole 160 passing through the second inorganic encapsulation layer 146.

터치 패드(170)는 봉지부(140)에 의해 노출된 기판(111), 게이트 절연막(112) 및 층간 절연막(114) 중 적어도 어느 하나 상에, 라우팅 라인(156)과 동일 재질로 형성된다. 이 터치 패드(170)는 그 터치 패드(170)의 상부면 및 측면 중 적어도 어느 하나 상에 형성되는 패드 연결 전극(172)과 직접 접속된다. 이러한 패드 연결 전극(172)을 통해 터치 패드(170)는 패드 컨택홀(160)을 통해 노출된 라우팅 패드(176)와도 전기적으로 접속된다. The touch pad 170 is formed of the same material as the routing line 156 on at least one of the substrate 111, the gate insulating film 112 and the interlayer insulating film 114 exposed by the sealing portion 140. The touch pad 170 is directly connected to the pad connecting electrode 172 formed on at least one of the upper surface and the side surface of the touch pad 170. The touch pad 170 is also electrically connected to the routing pad 176 exposed through the pad contact hole 160 through the pad connection electrode 172.

특히, 패드 연결 전극(172)은 봉지부(140)의 최상층인 제2 무기 봉지층(146)의 상부면 및 측면 상에 배치된다. 이에 따라, 패드 연결 전극(172)을 통해 외부의 산소나 수분이 침투하더라도 유기 봉지층(144)과 제1 및 제2 무기 봉지층(142,146)을 통해 산소나 수분이 차단됨으로써 유기 발광층(124)을 산소나 수분으로부터 보호할 수 있다.Particularly, the pad connecting electrode 172 is disposed on the upper surface and the side surface of the second inorganic sealing layer 146, which is the uppermost layer of the sealing portion 140. Accordingly, even if oxygen or moisture permeates through the pad connection electrode 172, oxygen or moisture is blocked through the organic sealing layer 144 and the first and second inorganic sealing layers 142 and 146, Can be protected from oxygen and moisture.

여기서, 패드 연결 전극(172)은 ITO, IZO, IGZO 또는 ZnO계의 투명 전도성 산화물로 형성되거나, Ti, Ta 또는 Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강한 금속을 포함하는 단층 또는 다층 금속으로 형성된다. 예를 들어, 패드 연결 전극(172)은 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다.Here, the pad connecting electrode 172 is formed of a transparent conductive oxide such as ITO, IZO, IGZO, or ZnO, or a single layer or multilayer metal including a metal having high corrosion resistance and acid resistance such as Ti, Ta, or Mo. For example, the pad connecting electrode 172 is formed in a three-layer structure such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 내의 유기 봉지층(144) 상에 터치 전극(154)이 배치된다. 이 경우, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 별도의 터치 절연층이 불필요하므로 구조 단순화 및 경량 박형화가 가능해질 뿐만 아니라, 플렉서빌리티 및 투과도를 확보할 수 있다. 또한, 종래 터치 스크린은 접착제를 통해 유기 발광 표시 장치에 부착되는 반면에 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 별도의 접착제없이 봉지부(140) 내에 포함된 유기 봉지층(144) 상에 터치 전극들(154)이 배치됨으로써 별도의 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다. As described above, in the organic light emitting display device having the touch sensor according to the second embodiment of the present invention, the touch electrode 154 is disposed on the organic sealing layer 144 in the sealing portion 140. In this case, since the organic light emitting diode display according to the present invention does not require a separate touch insulation layer, it is possible to simplify the structure and reduce the weight and thickness, as well as to ensure flexibility and transparency. In addition, the conventional touch screen is attached to the organic light emitting display through an adhesive, whereas the organic light emitting display according to the present invention includes an organic sealing layer 144 included in the sealing part 140 without a separate adhesive, The separate bonding step is not required, and the process can be simplified and the cost can be reduced.

도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.6A to 6D are a plan view and a cross-sectional view for explaining a method of manufacturing an organic light emitting display having a touch sensor according to a second embodiment of the present invention.

도 6a를 참조하면, 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터(130), 애노드 전극(122), 유기 발광층(124) 및 캐소드 전극(126)이 형성된 기판(111) 상에 제1 무기 봉지층(142), 유기 봉지층(144)이 순차적으로 형성되고, 유기 봉지층(144) 상에 터치 패드(170), 라우팅 패드(176) 및 라우팅 라인(156)이 형성된다.Referring to FIG. 6A, a first inorganic encapsulating layer 142, a second organic encapsulating layer 142, and a third organic encapsulating layer 140 are formed on a substrate 111 on which a switching transistor, a driving transistor 130, an anode electrode 122, an organic light emitting layer 124, and a cathode electrode 126 are formed. An encapsulation layer 144 is sequentially formed and a touch pad 170, a routing pad 176 and a routing line 156 are formed on the organic encapsulation layer 144.

구체적으로, 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터, 애노드 전극(122), 유기 발광층(124) 및 캐소드 전극(126)이 형성된 기판(111) 상에 무기 절연 물질 및 유기 절연 물질이 메탈 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 순차적으로 적층됨으로써 제1 무기 봉지층(142)과 유기 봉지층(144)이 형성된다. 제1 무기 봉지층(142) 및 유기 봉지층(144)은 터치 패드(170)가 형성될 영역을 제외한 나머지 영역에 형성된다. 그런 다음, 유기 봉지층(144) 상에 제1 도전층이 전면 증착된 후, 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 제1 도전층이 패터닝됨으로써 터치 패드(170), 라우팅 패드(176) 및 라우팅 라인(156)이 형성된다. 여기서, 제1 도전층은 Ta, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강한 금속을 이용하여 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 예를 들어, 제1 도전층은 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다.Specifically, an inorganic insulating material and an organic insulating material are deposited on a substrate 111 on which a switching transistor, a driving transistor, an anode electrode 122, an organic light emitting layer 124, and a cathode electrode 126 are formed through a deposition process using a metal mask The first inorganic encapsulation layer 142 and the organic encapsulation layer 144 are formed. The first inorganic encapsulation layer 142 and the organic encapsulation layer 144 are formed in regions other than the region where the touch pad 170 is to be formed. The first conductive layer is then deposited on the organic sealing layer 144 and then patterned to form the touch pad 170, the routing pad 176, and the routing line 176 by patterning the first conductive layer by a photolithography process and an etching process 156 are formed. Here, the first conductive layer is formed as a single layer or a multi-layer structure using a metal having high corrosion resistance and acid resistance such as Ta, Ti, Cu, and Mo. For example, the first conductive layer is formed in a three-layer structure such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo.

도 6b를 참조하면, 터치 패드(170), 라우팅 패드(176) 및 라우팅 라인(156)이 형성된 기판(111) 상에 터치 전극(154)이 형성된다. Referring to FIG. 6B, a touch electrode 154 is formed on a substrate 111 on which a touch pad 170, a routing pad 176, and a routing line 156 are formed.

구체적으로, 터치 패드(170), 라우팅 패드(176) 및 라우팅 라인(156)이 형성된 기판(111) 상에 제2 도전층이 전면 증착된 후, 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 그 제2 도전층이 패터닝됨으로써 터치 전극(154)이 형성된다. 여기서, 제2 도전층으로는 ITO, IZO, IGZO 또는 ZnO계와 같은 투명 도전층이 이용된다. Specifically, after the second conductive layer is completely deposited on the substrate 111 on which the touch pad 170, the routing pad 176, and the routing line 156 are formed, the second conductive layer is formed by the photolithography process and the etching process, The touch electrode 154 is formed. Here, a transparent conductive layer such as ITO, IZO, IGZO or ZnO is used as the second conductive layer.

도 6c를 참조하면, 터치 전극(154)이 형성된 기판(111) 상에 패드 컨택홀(160)을 가지는 제2 무기 봉지층(146)이 형성된다.Referring to FIG. 6C, a second inorganic encapsulation layer 146 having a pad contact hole 160 is formed on a substrate 111 on which a touch electrode 154 is formed.

구체적으로, 터치 전극(154)이 형성된 기판(111) 상에 메탈 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 무기 절연 물질이 터치 패드(170)를 노출시키도록 증착됨으로써 제2 무기 봉지층(146)이 형성된다. 그런 다음, 제2 무기 봉지층(146)이 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 패터닝됨으로써 패드 컨택홀(160)이 형성된다. 패드 컨택홀(160)은 제2 무기 봉지층(146)을 관통하도록 형성되어 라우팅 패드(176)를 노출시킨다.Specifically, an inorganic insulating material is deposited on the substrate 111 on which the touch electrode 154 is formed by a deposition process using a metal mask to expose the touch pad 170, thereby forming a second inorganic sealing layer 146 . Then, the second inorganic encapsulating layer 146 is patterned through a photolithography process and an etching process, thereby forming a pad contact hole 160. The pad contact hole 160 is formed to penetrate through the second inorganic encapsulation layer 146 to expose the routing pad 176.

도 6d를 참조하면, 제2 무기 봉지층(146)이 형성된 기판(111) 상에 패드 연결 전극(172)이 형성된다.Referring to FIG. 6D, a pad connecting electrode 172 is formed on a substrate 111 on which a second inorganic sealing layer 146 is formed.

구체적으로, 제2 무기 봉지층(146)이 형성된 기판(111) 상에 제3 도전층이 전면 증착된 후, 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 제3 도전층이 패터닝됨으로써 패드 연결 전극(172)이 형성된다. 여기서, 패드 연결 전극(172)은 패드 컨택홀(160)을 통해 노출된 라우팅 패드(176)와 전기적으로 연결되며, 터치 패드(170)와 컨택홀없이 직접 접속된다. 여기서, 제3 도전층은 ITO, IZO, IGZO 또는 ZnO계의 투명 도전성 산화물 또는 Ta, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강한 금속을 이용하여 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 예를 들어, 제3 도전층은 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다.Specifically, after the third conductive layer is completely deposited on the substrate 111 on which the second inorganic sealing layer 146 is formed, the third conductive layer is patterned by the photolithography process and the etching process, thereby forming the pad connecting electrode 172 . The pad connection electrode 172 is electrically connected to the routing pad 176 exposed through the pad contact hole 160 and directly connected to the touch pad 170 without a contact hole. Here, the third conductive layer is formed as a single layer or a multilayer structure using a transparent conductive oxide such as ITO, IZO, IGZO, or ZnO, or a metal having high corrosion resistance and acid resistance such as Ta, Ti, Cu, For example, the third conductive layer is formed in a three-layer structure such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo.

도 7은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도 및 단면도이다.7 is a plan view and a cross-sectional view illustrating an organic light emitting diode display device having a touch sensor according to a third embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 도 4 및 도 5에 도시된 유기 발광 표시 장치와 대비하여 터치 전극(154), 라우팅 라인(156) 및 라우팅 패드(176)가 제1 무기 봉지층(142) 상에 배치되는 것을 제외하고는 동일한 구성 요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.7, the touch electrode 154, the routing line 156, and the routing pad 176 are formed on the first side of the organic light emitting display device, as compared with the organic light emitting display device shown in FIGS. 4 and 5, And has the same components except that it is disposed on the encapsulation layer 142. Accordingly, detailed description of the same constituent elements will be omitted.

터치 전극(154), 라우팅 라인(156) 및 라우팅 패드(176)는 제1 무기 봉지층(142) 상에 배치된다. The touch electrode 154, the routing line 156, and the routing pad 176 are disposed on the first inorganic encapsulation layer 142.

라우팅 패드(176)는 라우팅 라인(156)으로부터 신장되므로, 라우팅 라인(156)과 동일 평면 상에 동일 재질로 형성된다. 이 라우팅 패드(176)는 유기 봉지층(144) 및 제2 무기 봉지층(146)을 관통하는 패드 컨택홀(160)을 통해 노출된다.Since the routing pad 176 is extended from the routing line 156, it is formed of the same material on the same plane as the routing line 156. The routing pad 176 is exposed through a pad contact hole 160 passing through the organic encapsulation layer 144 and the second inorganic encapsulation layer 146.

이와 같이, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 내의 제1 무기 봉지층(142) 상에 터치 전극(154)이 배치된다. 이 경우, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 별도의 터치 절연층이 불필요하므로 구조 단순화 및 경량 박형화가 가능해질 뿐만 아니라, 플렉서빌리티 및 투과도를 확보할 수 있다. 또한, 종래 터치 스크린은 접착제를 통해 유기 발광 표시 장치에 부착되는 반면에 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 별도의 접착제없이 봉지부(140) 내에 포함된 제1 무기 봉지층(142) 상에 터치 전극들(154)이 배치됨으로써 별도의 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다.As described above, in the organic light emitting display device having the touch sensor according to the third embodiment of the present invention, the touch electrode 154 is disposed on the first inorganic sealing layer 142 in the sealing part 140. In this case, since the organic light emitting diode display according to the present invention does not require a separate touch insulation layer, it is possible to simplify the structure and reduce the weight and thickness, as well as to ensure flexibility and transparency. In addition, the conventional touch screen is attached to the organic light emitting display through an adhesive, whereas the organic light emitting display according to the present invention does not require a separate touch to touch on the first inorganic sealing layer 142 included in the sealing part 140 By disposing the electrodes 154, a separate bonding step is not required, which simplifies the process and can reduce the cost.

도 8a 내지 도 8d는 도 7에 도시된 터치 전극을 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도 및 단면도들이다.8A to 8D are a plan view and a cross-sectional view for explaining a method of manufacturing an organic light emitting display having the touch electrode shown in FIG.

도 8a를 참조하면, 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터(130), 애노드 전극(122), 유기 발광층(124) 및 캐소드 전극(126)이 형성된 기판(111) 상에 제1 무기 봉지층(142)이 형성되고, 그 제1 무기 봉지층(142) 상에 터치 패드(170), 라우팅 패드(176) 및 라우팅 라인(156)이 형성된다.8A, a first inorganic encapsulating layer 142 is formed on a substrate 111 on which a switching transistor, a driving transistor 130, an anode electrode 122, an organic light emitting layer 124, and a cathode electrode 126 are formed. And a touch pad 170, a routing pad 176, and a routing line 156 are formed on the first inorganic encapsulation layer 142.

구체적으로, 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터(130), 애노드 전극(122), 유기 발광층(124) 및 캐소드 전극(126)이 형성된 기판(111) 상에 무기 절연 물질이 메탈 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 적층됨으로써 제1 무기 봉지층(142)이 형성된다. 제1 무기 봉지층(142)은 터치 패드(170)가 형성될 영역을 제외한 나머지 영역에 형성된다. 그런 다음, 제1 무기 봉지층(142) 상에 제1 도전층이 전면 증착된 후, 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 제1 도전층이 패터닝됨으로써 터치 패드(170), 라우팅 패드(176) 및 라우팅 라인(156)이 형성된다. 여기서, 제1 도전층은 Al, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강한 금속을 이용하여 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 예를 들어, 제1 도전층은 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다.Specifically, an inorganic insulating material is deposited on the substrate 111 on which the switching transistor, the driving transistor 130, the anode electrode 122, the organic light emitting layer 124, and the cathode electrode 126 are formed through a deposition process using a metal mask. The first inorganic encapsulation layer 142 is formed. The first inorganic sealing layer 142 is formed in a region other than a region where the touch pad 170 is to be formed. After the first conductive layer is deposited on the first inorganic encapsulation layer 142, the first conductive layer is patterned by a photolithography process and an etching process to form the touch pad 170, the routing pad 176, A line 156 is formed. Here, the first conductive layer is formed of a single layer or a multi-layer structure using a metal having high corrosion resistance and acid resistance such as Al, Ti, Cu, and Mo. For example, the first conductive layer is formed in a three-layer structure such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo.

도 8b를 참조하면, 터치 패드(170), 라우팅 패드(176) 및 라우팅 라인(156)이 형성된 기판(111) 상에 터치 전극(154)이 형성된다. Referring to FIG. 8B, a touch electrode 154 is formed on a substrate 111 on which a touch pad 170, a routing pad 176, and a routing line 156 are formed.

구체적으로, 터치 패드(170), 라우팅 패드(176) 및 라우팅 라인(156)이 형성된 기판(111) 상에 제2 도전층이 전면 증착된 후, 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 그 제2 도전층이 패터닝됨으로써 터치 전극(154)이 형성된다. 여기서, 터치 전극(154)은 ITO, IZO, IGZO 또는 ZnO와 같은 투명 도전층으로 형성된다.Specifically, after the second conductive layer is completely deposited on the substrate 111 on which the touch pad 170, the routing pad 176, and the routing line 156 are formed, the second conductive layer is formed by the photolithography process and the etching process, The touch electrode 154 is formed. Here, the touch electrode 154 is formed of a transparent conductive layer such as ITO, IZO, IGZO, or ZnO.

도 8c를 참조하면, 터치 전극(154)이 형성된 기판(111) 상에 패드 컨택홀(160)을 가지는 유기 봉지층(144) 및 제2 무기 봉지층(146)이 형성된다.Referring to FIG. 8C, an organic sealing layer 144 and a second inorganic sealing layer 146 having a pad contact hole 160 are formed on a substrate 111 on which a touch electrode 154 is formed.

구체적으로, 터치 전극(154)이 형성된 기판(111) 상에 메탈 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 유기 절연 물질 및 무기 절연 물질이 터치 패드(170)를 노출시키도록 순차적으로 증착됨으로써 유기 봉지층(144) 및 제2 무기 봉지층(146)이 형성된다. 그런 다음, 유기 봉지층(144) 및 제2 무기 봉지층(146)이 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 패터닝됨으로써 패드 컨택홀(160)이 형성된다. 패드 컨택홀(160)은 유기 봉지층(144) 및 제2 무기 봉지층(146)을 관통하도록 형성되어 라우팅 패드(176)를 노출시킨다.Specifically, the organic insulating material and the inorganic insulating material are sequentially deposited on the substrate 111 on which the touch electrode 154 is formed by using a metal mask to expose the touch pad 170, thereby forming the organic sealing layer 144 And the second inorganic encapsulation layer 146 are formed. Then, the organic encapsulating layer 144 and the second inorganic encapsulating layer 146 are patterned through a photolithography process and an etching process, thereby forming a pad contact hole 160. The pad contact hole 160 is formed to penetrate the organic encapsulating layer 144 and the second inorganic encapsulating layer 146 to expose the routing pad 176.

도 8d를 참조하면, 패드 컨택홀(160)이 형성된 기판(111) 상에 패드 연결 전극(172)이 형성된다.Referring to FIG. 8D, a pad connecting electrode 172 is formed on a substrate 111 on which a pad contact hole 160 is formed.

구체적으로, 제2 무기 봉지층(146)이 형성된 기판(111) 상에 제3 도전층이 전면 증착된다. 여기서, 제3 도전층은 Al, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강한 금속을 이용하여 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 예를 들어, 제3 도전층은 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다. 그런 다음, 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 제3 도전층이 패터닝됨으로써 패드 연결 전극(172)이 형성된다. 여기서, 패드 연결 전극(172)은 패드 컨택홀(160)을 통해 노출된 라우팅 패드(176)와 전기적으로 연결되며, 터치 패드(170)와 컨택홀없이 직접 접속된다. Specifically, the third conductive layer is entirely deposited on the substrate 111 on which the second inorganic sealing layer 146 is formed. Here, the third conductive layer is formed of a single layer or a multi-layer structure using a metal having high corrosion resistance and acid resistance such as Al, Ti, Cu, and Mo. For example, the third conductive layer is formed in a three-layer structure such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo. Then, the third conductive layer is patterned by the photolithography process and the etching process, thereby forming the pad connecting electrode 172. The pad connection electrode 172 is electrically connected to the routing pad 176 exposed through the pad contact hole 160 and directly connected to the touch pad 170 without a contact hole.

한편, 본 발명의 제1 내지 제3 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 도전막으로 이루어진 라우팅 라인(156) 및 터치 패드(170)가 먼저 형성된 다음, 제2 도전막으로 이루어진 터치 전극(154)이 형성되는 구조를 예로 들어 설명하였지만, 이외에도 도 9에 도시된 바와 같이 제2 도전막으로 이루어진 터치 전극(154)이 먼저 형성된 다음, 제1 도전막으로 이루어진 라우팅 라인(156) 및 터치 패드(170)가 형성될 수도 있다. In the organic light emitting display according to the first to third embodiments of the present invention, the routing line 156 formed of the first conductive film and the touch pad 170 are formed first, and then the touch electrode The touch electrode 154 formed of the second conductive film is first formed as shown in FIG. 9, and then the routing line 156 formed of the first conductive film and the touch pad 154 formed of the first conductive film are formed. (170) may be formed.

또한, 본 발명의 제1 내지 제3 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 터치 전극(154)이 투명 도전막으로 형성되는 것을 예로 들어 설명하였지만, 이외에도 도 10에 도시된 바와 같이 터치 전극(154)이 투명 도전막(154b)과, 그 투명 도전막(154b)의 상부 또는 하부에 메쉬 형태로 형성된 메쉬 금속막(154a)으로 이루어질 수도 있다. 이외에도 터치 전극(154)은 투명 도전막(154b)없이 메쉬 금속막(154a)으로만 이루어질 수도 있다. 여기서, 메쉬 금속막(154a)은 투명 도전막(154b)보다 전도성이 좋아 터치 전극(154)을 저저항 전극으로 형성할 수 있다. 이에 따라, 터치 전극(154) 자체의 저항과 커패시턴스 감소되어 RC 시정수가 감소되어 터치 감도를 향상시킬 수 있다. 또한, 메쉬 금속막(154b)의 선폭이 매우 얇아 메쉬 금속막(154b)으로 인해 개구율 및 투과율이 저하되는 것을 방지할 수 있다In addition, although the touch electrode 154 of the organic light emitting display according to the first to third embodiments of the present invention is formed of a transparent conductive film, the touch electrode 154 may be formed as shown in FIG. 10, The transparent conductive film 154b and the mesh metal film 154a formed in the form of a mesh on the upper or lower portion of the transparent conductive film 154b. In addition, the touch electrode 154 may be formed only of the mesh metal film 154a without the transparent conductive film 154b. Here, the mesh metal film 154a is more conductive than the transparent conductive film 154b, and the touch electrode 154 can be formed as a low resistance electrode. Accordingly, the resistance and capacitance of the touch electrode 154 itself are reduced, and the RC time constant is reduced, thereby improving the touch sensitivity. In addition, since the line width of the mesh metal film 154b is extremely thin, it is possible to prevent the aperture ratio and the transmittance from being lowered due to the mesh metal film 154b

뿐만 아니라, 본 발명의 제1 내지 제3 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치에 포함된 터치 센서는 도 11에 도시된 바와 같이 보호 필름(190)을 통해 보호된다. 보호 필름(190)으로는 원편광판이 이용되거나 별도의 에폭시 또는 아크릴 재질의 단층 필름이 이용되거나, 오버코트층, 배리어층, 하드 코팅층 및 보호막을 포함하는 다층 필름이 이용된다. 이 보호 필름(190)은 증착 공정을 통해 봉지부(140) 상에 형성되거나, 보호 필름(190) 내에 형성된 접착층을 통해 봉지부(140) 상에 부착될 수도 있다. In addition, the touch sensor included in the organic light emitting display according to the first to third embodiments of the present invention is protected through the protective film 190 as shown in FIG. As the protective film 190, a circularly polarizing plate, a separate single-layer film of epoxy or acrylic material is used, or a multilayer film including an overcoat layer, a barrier layer, a hard coat layer and a protective film is used. The protective film 190 may be formed on the sealing portion 140 through a deposition process or may be adhered onto the sealing portion 140 through an adhesive layer formed in the protective film 190.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시 예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the present invention, and various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the specification of the present invention are not intended to limit the present invention. The scope of the present invention should be construed according to the following claims, and all the techniques within the scope of equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention.

142,144 : 무기 봉지층 146 : 유기 봉지층
154 : 터치 전극 156 : 라우팅 라인
170 : 터치 패드 176 : 라우팅 패드142, 144: inorganic encapsulating layer 146: organic encapsulating layer
154: touch electrode 156: routing line
170: touch pad 176: routing pad

Claims

A light emitting element disposed on the substrate;
An encapsulant disposed on the light emitting device;
A plurality of touch electrodes disposed on any one of the plurality of sealing layers included in the sealing portion and each having an electrically independent self-capacitance;
Wherein the touch electrode includes a mesh metal film in the form of a mesh.

The method according to claim 1,
A touch pad disposed on one of the plurality of insulating films positioned between the light emitting device and the substrate;
Further comprising a routing line for electrically connecting the touch electrode and the touch pad,
The bag
A plurality of inorganic encapsulation layers,
And at least one organic sealing layer disposed between the inorganic sealing layers.

3. The method of claim 2,
The touch electrode is disposed on the inorganic sealing layer located on the uppermost layer of the sealing portion,
Wherein the routing line is disposed on a side surface and an upper surface of the inorganic encapsulation layer located on the uppermost layer of the encapsulation portion.

3. The method of claim 2,
A routing pad disposed between the routing line and the touch pad;
A pad contact hole formed to penetrate at least one of the inorganic encapsulation layer and the organic encapsulation layer disposed on the routing pad;
And a pad connection electrode electrically connecting the routing pad and the touch pad exposed through the pad contact hole.

5. The method of claim 4,
Wherein the pad connection electrode is disposed on a side surface and an upper surface of the inorganic encapsulation layer located on the uppermost layer of the encapsulation portion.

6. The method of claim 5,
Wherein the touch electrode and the routing line are disposed on the organic sealing layer.

6. The method of claim 5,
Wherein the touch electrode and the routing line are disposed on the remaining encapsulation layer except for the inorganic encapsulation layer located on the uppermost layer of the encapsulation part.

8. The method according to any one of claims 3 to 7,
The touch pad and the routing line may be formed of a first conductive layer having a single layer or a multi-layer structure using Ta, Ti, Cu, or Mo,
The touch electrode is formed of a second conductive layer using a transparent conductive oxide of ITO, IZO, IGZO or ZnO,
Wherein the inorganic encapsulation layer is formed of SiNx, SiON, or SiOx,
Wherein the organic sealing layer is formed of an acrylic resin, an epoxy resin, or a polymer resin.

8. The method according to any one of claims 4 to 7,
Wherein the pad connection electrode is formed of a transparent conductive oxide of ITO, IZO, IGZO or ZnO or a single layer or a multi-layer structure of Ta, Ti, Cu or Mo.

The method according to claim 1,
The touch electrode
And a transparent conductive film disposed on the upper or lower portion of the mesh metal film.

3. The method of claim 2,
A thin film transistor connected to the light emitting element;
A gate insulating film disposed between the semiconductor layer of the thin film transistor and the gate electrode;
Further comprising an interlayer insulating film disposed between the semiconductor layer and source and drain electrodes of the thin film transistor,
And the touch pad is disposed on the interlayer insulating film.

3. The method of claim 2,
And a bank disposed between the anode electrodes of the light emitting device,
And the routing line located between the touch electrodes overlaps with the bank.