Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR20160133724A - Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same - Google Patents

Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same Download PDF

Info

Publication number
KR20160133724A
KR20160133724A KR1020150066614A KR20150066614A KR20160133724A KR 20160133724 A KR20160133724 A KR 20160133724A KR 1020150066614 A KR1020150066614 A KR 1020150066614A KR 20150066614 A KR20150066614 A KR 20150066614A KR 20160133724 A KR20160133724 A KR 20160133724A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
meth
weight
acrylate
resin composition
copolymer
Prior art date
Application number
KR1020150066614A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102450387B1 (en
Inventor
채유진
송호석
김승근
Original Assignee
롬엔드하스전자재료코리아유한회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 filed Critical 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
Priority to KR1020150066614A priority Critical patent/KR102450387B1/en
Publication of KR20160133724A publication Critical patent/KR20160133724A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102450387B1 publication Critical patent/KR102450387B1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/075Silicon-containing compounds

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

The present invention relates to a photosensitive resin composition, and to an insulation film using the same. The photosensitive resin composition comprises: (A) a copolymer; (B) a photopolymerizable monomer having at least seven functional groups; (C) a photopolymerization initiator; and (D) a phenylamino-based silane compound. The photosensitive resin composition has excellent characteristics such as heat resistance, chemical resistance, and the like, and can provide a cured product exhibiting high halftone adhesive strength and remaining rate, thereby being useful to prepare an insulation film for a liquid crystal display device.

Description

네거티브형 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 절연막{NEGATIVE-TYPE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND INSULATING FILM USING SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a negative photosensitive resin composition and an insulating film using the negative photosensitive resin composition.

본 발명은 네거티브형 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 절연막에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고해상도의 패턴 현상성을 보일 뿐 아니라 높은 내열성 및 우수한 내화학성을 갖는 경화막을 형성할 수 있어 액정표시장치(liquid crystal display; LCD) 등의 디스플레이 소자의 절연막 형성에 유용하게 사용되는 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 제조된 절연막에 관한 것이다.
The present invention relates to a negative photosensitive resin composition and an insulating film using the negative photosensitive resin composition. More particularly, the present invention relates to a negative photosensitive resin composition and a method of manufacturing the same, ; LCD), and an insulating film made using the photosensitive resin composition.

액정표시장치나 유기발광소자 등 다양한 디스플레이 소자의 절연막의 제조에 포지티브(positive)형과 네거티브(negative)형 감광성 조성물이 사용된다.Positive and negative photosensitive compositions are used for the production of insulating films for various display devices such as liquid crystal display devices and organic light emitting devices.

알칼리 가용성 수지와 1,2-퀴논디아자이드 화합물을 포함하는 종래의 포지티브형 감광성 조성물은 노광 및 현상 후의 후경화(post-bake)시, 그리고 자외선과 같은 단파장 흡수시 열분해되어 착색현상을 일으키거나 불순물을 발생시켜 액정표시장치에서 잔상이 유발되는 문제가 있다.Conventional positive photosensitive compositions containing an alkali-soluble resin and a 1,2-quinonediazide compound are thermally decomposed upon post-bake after exposure and development and upon short wavelength absorption such as ultraviolet rays, There is a problem that a residual image is generated in the liquid crystal display device.

그러므로, 이러한 문제를 해결하기 위하여 열경화 후 높은 광투과도와 감도를 제공할 수 있는 네거티브형 감광성 조성물에 대한 연구가 지속되어 왔다. 이때 박막 트랜지스터(TFT, thin film transistor)형 액정표시장치 등의 디스플레이 소자에 있어서, TFT 회로를 보호하고 내열성, 내광성 등을 확보하기 위해 관능기를 포함하는 광중합성 모노머 및 접착증가제를 포함하는 감광성 수지 조성물이 유기절연막 용도로 제안되고 있다.Therefore, in order to solve such a problem, research on a negative photosensitive composition capable of providing high light transmittance and sensitivity after heat curing has been continued. At this time, in a display device such as a thin film transistor (TFT) type liquid crystal display device, in order to protect the TFT circuit and ensure heat resistance, light resistance, etc., a photosensitive resin containing a photopolymerizable monomer containing a functional group and an adhesion- Compositions have been proposed for use in organic insulating films.

이와 관련하여, 대한민국 공개공보 제2009-0114494호는 옥심계 개시제 및 밀착증가제로서 에폭시계 실란을 포함하는 감광성 수지 조성물에 대해서 개시하고 있으나, 형성된 유기절연막의 하프톤의 접착력에 대해서는 전혀 언급이 없다.In this regard, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2009-0114494 discloses a photosensitive resin composition containing an oxime-based initiator and an epoxy-based silane as an adhesion-increasing agent, but does not mention the halftone adhesive strength of the organic insulating film formed .

한편, 대한민국 특허공보 제0911076호는 저관능기를 포함하는 광중합성 모노머 및 밀착증가제로서 페닐아미노계 실란 화합물을 포함하는 감광성 수지 조성물을 개시하고 있으나, 이러한 감광성 수지 조성물로부터 얻어진 경화막은 경화도가 낮아 잔막율에 취약하다는 단점이 있다.
On the other hand, Korean Patent Publication No. 0911076 discloses a photosensitive resin composition comprising a photopolymerizable monomer containing a lower functional group and a phenylamino silane compound as an adhesion promoter, but the cured film obtained from such a photosensitive resin composition has a low degree of curing It is vulnerable to the membrane ratio.

대한민국 공개공보 제2009-0114494호Korean Laid-Open Publication No. 2009-0114494 대한민국 특허공보 제0911076호Korean Patent Publication No. 0911076

따라서, 본 발명의 목적은 7관능기 이상의 광중합성 모노머와 밀착증가제로서 페닐아미노계 실란 화합물을 함께 사용함으로써, 우수한 내열성 및 내화학성 등의 특성을 가지면서, 높은 하프톤의 접착력 및 잔막율을 나타내는 네거티브형 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 절연막을 제공하는 것이다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a resin composition which has excellent properties such as heat resistance and chemical resistance by using a photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups together with a phenylamino silane compound as an adhesion promoter, and exhibits a high halftone adhesive strength and a residual film ratio A negative photosensitive resin composition and an insulating film produced therefrom.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 In order to achieve the above object,

(A) 공중합체;(A) a copolymer;

(B) 7관능기 이상의 광중합성 모노머; (B) a photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups;

(C) 광중합 개시제; 및(C) a photopolymerization initiator; And

(D) 페닐아미노계 실란 화합물(D) a phenylamino-based silane compound

을 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.
The present invention provides a photosensitive resin composition comprising

본 발명의 감광성 수지 조성물은 하프톤 접착력이 개선되고, 우수한 상온 안정성, 내열성 및 내화학성 등의 특성을 가지면서 높은 잔막율을 나타내는 경화막을 제공할 수 있어 액정표시장치용 절연막의 제조에 유용하게 사용될 수 있다.
The photosensitive resin composition of the present invention can provide a cured film having improved half-tone adhesive strength, excellent room temperature stability, heat resistance, and chemical resistance and exhibiting a high residual film ratio and is useful for the production of insulating films for liquid crystal displays .

이하, 본 발명의 구성 성분에 대하여 구체적으로 설명한다.
Hereinafter, the constituent components of the present invention will be described in detail.

(A) 공중합체(알칼리 가용성 수지)
(A) Copolymer (alkali-soluble resin)

본 발명의 감광성 수지 조성물은 공중합체를 포함할 수 있으며, 상기 공중합체는 랜덤 공중합체일 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may include a copolymer, and the copolymer may be a random copolymer.

상기 공중합체는 (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위, 및 (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 포함할 수 있고, 선택적으로 (A-3) 상기 (A-1) 및 (A-2)와 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 추가로 포함할 수 있다. 상기 공중합체는 현상단계에서는 현상성을 구현하는 알칼리 가용성 수지이면서, 또한 코팅 후 도막을 형성하는 기저 역할 및 최종 패턴을 구현하는 구조물 역할을 할 수 있다.
The copolymer includes a structural unit derived from (A-1) an ethylenically unsaturated carboxylic acid, an ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, or a mixture thereof, and (A-2) a structural unit derived from an aromatic ring-containing ethylenically unsaturated compound (A-3) a structural unit derived from an ethylenically unsaturated compound different from (A-1) and (A-2) above. The copolymer may be an alkali-soluble resin that realizes developability in the development step, and may serve as a base for performing a base role of forming a coating film after coating and a final pattern.

(A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위
(A-1) a structural unit derived from an ethylenically unsaturated carboxylic acid, an ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, or a mixture thereof

본 발명에서 구성단위 (A-1)는 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되며, 상기 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물은 분자에 하나 이상의 카복실기가 있는 중합가능한 불포화 단량체로서, (메트)아크릴산, 크로톤산, 알파-클로로아크릴산 및 신남산 같은 불포화 모노카복실산; 말레인산, 말레인산 무수물, 푸마르산, 이타콘산, 이타콘산 무수물, 시트라콘산, 시트라콘산 무수물 및 메사콘산과 같은 불포화 디카복실산 및 이의 무수물; 3가 이상의 불포화 폴리카복실산 및 이의 무수물; 및 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]숙시네이트 및 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]프탈레이트와 같은 2가 이상의 폴리카복실산의 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스테르 중에서 선택되는 적어도 1종 이상일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이중에서 특히 현상성 측면에서 바람직하게는 (메트)아크릴산일 수 있다.In the present invention, the constituent unit (A-1) is derived from an ethylenically unsaturated carboxylic acid, an ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, or a mixture thereof, and the ethylenically unsaturated carboxylic acid, ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, (Meth) acrylic acid, crotonic acid, alpha-chloroacrylic acid and cinnamic acid; unsaturated monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, alpha-chloroacrylic acid and cinnamic acid; Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride and mesaconic acid, and anhydrides thereof; Unsaturated polycarboxylic acids of trivalent or more and their anhydrides; Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] acrylate of a dicarboxylic or higher polycarboxylic acid such as mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] succinate and mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] And esters. However, the present invention is not limited thereto. Among them, (meth) acrylic acid can be preferably used from the viewpoint of developability.

상기 (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위의 함량은 랜덤 공중합체를 구성하는 구성단위의 총 몰수에 대하여 5 내지 98 몰%일 수 있고, 양호한 현상성을 유지하기 위하여 바람직하게는 15 내지 50 몰%일 수 있다.The content of the constituent units derived from the (A-1) ethylenically unsaturated carboxylic acid, the ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, or the mixture thereof may be from 5 to 98 mol% based on the total molar amount of the constituent units constituting the random copolymer , And preferably 15 to 50 mol% in order to maintain good developability.

본 발명에서, (메트)아크릴은 아크릴 및/또는 메타크릴을, 그리고 (메트)아크릴레이트는 아크릴레이트 및/또는 메타크릴레이트를 지칭한다.
In the present invention, (meth) acryl refers to acrylic and / or methacrylic, and (meth) acrylate refers to acrylate and / or methacrylate.

(A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위
(A-2) a structural unit derived from an aromatic ring-containing ethylenic unsaturated compound

본 발명에서 구성단위 (A-2)는 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되며, 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물은 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 페녹시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 트리브로모페닐(메트)아크릴레이트; 스티렌; 메틸스티렌, 디메틸스티렌, 트리메틸스티렌, 에틸스티렌, 디에틸스티렌, 트리에틸스티렌, 프로필스티렌, 부틸스티렌, 헥실스티렌, 헵틸스티렌, 옥틸스티렌과 같은 알킬 치환기를 갖는 스티렌; 플루오로스티렌, 클로로스티렌, 브로모스티렌, 요오드스티렌과 같은 할로겐을 갖는 스티렌; 메톡시스티렌, 에톡시스티렌, 프로폭시스티렌과 같은 알콕시 치환기를 갖는 스티렌; p-히드록시-α-메틸스티렌, 아세틸스티렌; 및 비닐톨루엔, 디비닐벤젠, 비닐페놀, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, 및 p-비닐벤질글리시딜에테르로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 1종 이상일 수 있고, 특히 중합성 측면에서 바람직하게는 스티렌계 화합물일 수 있다.In the present invention, the structural unit (A-2) is derived from an aromatic ring-containing ethylenically unsaturated compound, and the aromatic ring-containing ethylenically unsaturated compound is derived from phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, p-nonylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, p-nonylphenoxypolypropylene glycol (meth) acrylate, tribromophenyl (meth) Rate; Styrene; Styrene having alkyl substituents such as methylstyrene, dimethylstyrene, trimethylstyrene, ethylstyrene, diethylstyrene, triethylstyrene, propylstyrene, butylstyrene, hexylstyrene, heptylstyrene and octylstyrene; Styrene having a halogen such as fluorostyrene, chlorostyrene, bromostyrene, and iodostyrene; Styrene having an alkoxy substituent such as methoxystyrene, ethoxystyrene, propoxystyrene; p-hydroxy-a-methyl styrene, acetyl styrene; And vinyl toluene, divinylbenzene, vinylphenol, o-vinylbenzylmethylether, m-vinylbenzylmethylether, p-vinylbenzylmethylether, o-vinylbenzylglycidylether, m-vinylbenzylglycidylether, And p-vinylbenzyl glycidyl ether. In view of polymerizability, it may preferably be a styrene compound.

상기 (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위의 함량은 랜덤 공중합체를 구성하는 구성단위의 총 몰수에 대하여 2 내지 95 몰%일 수 있고, 내화학성 측면에서 바람직하게는 10 내지 60 몰%일 수 있다.The content of the constituent unit derived from the aromatic ring-containing ethylenically unsaturated compound (A-2) may be from 2 to 95 mol% based on the total molar amount of the constituent unit constituting the random copolymer, 10 to 60 mol%.

본 발명의 랜덤 공중합체는 추가로 구성단위 (A-3)으로서 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 포함할 수 있다.
The random copolymer of the present invention may further comprise a constitutional unit derived from an ethylenically unsaturated compound different from (A-1) and (A-2) as the constitutional unit (A-3).

(A-3) 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위
(A-3) a structural unit derived from an ethylenically unsaturated compound which is different from (A-1) and (A-2)

본 발명에서 구성단위 (A-3)은 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되며, 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물은 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 에틸헥실(메트)아크릴레이트, 테트라히드로퍼프릴(메트)아크릴레이트, 히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-클로로프로필(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 글리세롤(메트)아크릴레이트, 메틸 α-히드록시메틸아크릴레이트, 에틸 α-히드록시메틸아크릴레이트, 프로필 α-히드록시메틸아크릴레이트, 부틸 α-히드록시메틸아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 3-메톡시부틸(메트)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 폴리(에틸렌글리콜)메틸에테르(메트)아크릴레이트, 테트라플루오로프로필(메트)아크릴레이트, 1,1,1,3,3,3-헥사플루오로이소프로필(메트)아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸(메트)아크릴레이트, 헵타데카플루오로데실(메트)아크릴레이트, 이소보닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 글리시딜(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메트)아크릴레이트, 4,5-에폭시펜틸(메트)아크릴레이트, 5,6-에폭시헥실(메트)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메트)아크릴레이트, 2,3-에폭시시클로펜틸(메트)아크릴레이트, 및 3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트를 포함하는 불포화 카복실산 에스테르류; N-비닐피롤리돈, N-비닐카바졸 및 N-비닐모폴린과 같은 N-비닐을 포함하는 N-비닐 삼차아민류; 비닐메틸에테르 및 비닐에틸에테르를 포함하는 불포화 에테르류; 4-히드록시부틸아크릴레이트글리시딜에테르, 알릴글리시딜에테르 및 2-메틸알릴글리시딜에테르와 같은 에폭시기를 포함하는 불포화 에테르류; 및 N-페닐말레이미드, N-(4-클로로페닐)말레이미드, N-(4-히드록시페닐)말레이미드 및 N-시클로헥실말레이미드를 포함하는 불포화 이미드류로 이루어진 그룹 중에서 선택되는 적어도 1종 이상일 수 있고, 특히, 공중합성 및 절연막의 강도 향상 측면에서 에폭시기를 포함하는 에틸렌성 불포화 화합물일 수 있으며, 바람직하게는 글리시딜(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸아크릴레이트글리시딜에테르 및 3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트일 수 있다. 내화학성 및 잔막율 특성의 측면에서 보다 바람직하게는, 3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트일 수 있다.
In the present invention, the structural unit (A-3) is derived from an ethylenically unsaturated compound different from the above (A-1) and (A-2), and the ethylenic unsaturation (Meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, isobutyl (Meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, methyl? -Hydroxymethylacrylate, ethyl? -Hydroxymethylacrylate, propyl? -Hydroxy (meth) acrylate, Butylmethyl acrylate, butyl? -Hydroxymethyl (Meth) acrylate, methoxytriethyleneglycol (meth) acrylate, methoxytripropylene (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (Meth) acrylate, tetrafluoropropyl (meth) acrylate, 1,1,1,3,3,3-hexafluoroisopropyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, octafluoropentyl (meth) acrylate, heptadecafluorodecyl , Dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) Pentyl (meth) acrylate, 5,6 (Meth) acrylate, 3-epoxycyclopentyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxycyclohexyl (meth) Unsaturated carboxylic acid esters; N-vinyl tertiary amines including N-vinyl, such as N-vinylpyrrolidone, N-vinylcarbazole and N-vinylmorpholine; Unsaturated ethers including vinyl methyl ether and vinyl ethyl ether; Unsaturated ethers including an epoxy group such as 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether, allyl glycidyl ether and 2-methylallyl glycidyl ether; And unsaturated imides comprising N-phenylmaleimide, N- (4-chlorophenyl) maleimide, N- (4-hydroxyphenyl) maleimide and N-cyclohexylmaleimide. And may be an ethylenically unsaturated compound containing an epoxy group in view of improvement of copolymerization and strength of the insulating film, and is preferably an ethylenically unsaturated compound containing glycidyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl Ether and 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate. From the viewpoint of the chemical resistance and the retentivity, it is more preferable to use 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate.

상기 (A-3), 즉 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위의 함량은 랜덤 공중합체를 구성하는 구성단위의 총 몰수에 대하여 0 내지 75 몰%, 바람직하게는 10 내지 65 몰%일 수 있다. 상기 범위에서 조성물의 저장안정성이 유지되고, 잔막율이 향상된다.
The content of the constituent unit derived from the ethylenically unsaturated compound different from the above (A-3), that is, the (A-1) and (A-2) is preferably 0 to 75 Mol%, preferably 10 to 65 mol%. Within this range, the storage stability of the composition is maintained and the retention rate is improved.

상기 공중합체(A)는 예를 들면, (메트)아크릴산/스티렌 공중합체, (메트)아크릴산/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/4-히드록시부틸아크릴레이트글리시딜에테르 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트/3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/4-히드록시부틸아크릴레이트글리시딜에테르/3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/메틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트/N-시클로헥실말레이미드 공중합체, (메트)아크릴산/스티렌/n-부틸(메트)아크릴레이트/글리시딜메타크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, 또는 이들의 혼합물 등을 들 수 있다. 상기 공중합체는 감광성 수지 조성물에 적어도 1종 이상 함유될 수 있다.The copolymer (A) may be, for example, (meth) acrylic acid / styrene copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / styrene / methyl (Meth) acrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / glycidyl methacrylate copolymer, (meth) acrylic acid / styrene / methyl (meth) acrylate / 3,4-epoxycyclohexyl (Meth) acrylic acid / styrene / methyl (meth) acrylate / glycidyl methacrylate copolymer, (meth) acrylic acid / styrene / methyl (meth) acrylate / 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether copolymer, (Meth) acrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether / 3,4-epoxycyclohexyl (Meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / (Meth) acrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / glycidyl methacrylate / N-cyclohexyl methacrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (Meth) acrylic acid / styrene / n-butyl (meth) acrylate / glycidyl methacrylate / N-phenylmaleimide copolymer, or a mixture thereof. The copolymer may be contained in the photosensitive resin composition at least in one kind or more.

상기 공중합체(A)의 함량은 잔부량의 용매를 제외한 감광성 수지 조성물 전체 중량에 대하여 0.5 내지 75 중량%이고, 바람직하게는 5 내지 65 중량%이다. 상기 범위이면 현상후의 패턴 현상이 양호하고, 잔막율 및 내화학성 등의 특성이 향상된다. 겔투과 크로마토그래피(GPC; 테트라히드로퓨란을 용출 용매로 함)로 측정한 상기 랜덤 공중합체(A)의 폴리스티렌 환산의 중량평균분자량(Mw)은 500 내지 50,000, 바람직하게는 3,000 내지 30,000이다. 상기의 범위일 때, 기판과의 밀착성이 우수하고 물리적, 화학적 물성이 좋으며, 점도가 적절하다.
The content of the copolymer (A) is 0.5 to 75% by weight, preferably 5 to 65% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition excluding the remaining amount of the solvent. Within this range, pattern development after development is favorable, and properties such as residual film ratio and chemical resistance are improved. The weight average molecular weight (Mw) of the random copolymer (A) measured by gel permeation chromatography (GPC; tetrahydrofuran as an elution solvent) in terms of polystyrene is 500 to 50,000, preferably 3,000 to 30,000. When it is in the above range, it has good adhesion with the substrate, has good physical and chemical properties, and has a suitable viscosity.

(B) 7관능기 이상의 광중합성 모노머
(B) a photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups

본 발명의 감광성 수지 조성물은 7관능기 이상의 광중합성 모노머를 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may contain a photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups.

상기 광중합성 모노머는 광중합 개시제의 작용으로 중합될 수 있는 화합물로서, 적어도 1개의 에틸렌성 불포화기를 가지는 아크릴산 또는 메타크릴산의 다관능 에스테르 화합물일 수 있으며, 내화학성 측면에서 바람직하게는 7관능기 이상의 다관능성 화합물일 수 있다.The photopolymerizable monomer is a compound which can be polymerized by the action of a photopolymerization initiator and may be a polyfunctional ester compound of acrylic acid or methacrylic acid having at least one ethylenic unsaturated group. Functional compound.

상기 7관능기 이상의 광중합성 모노머는 하기 화학식 1의 구조를 갖는다: The photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups has a structure represented by the following Formula 1:

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 식에서, X는 각각 독립적으로 수소 또는 메틸기이고;Wherein each X is independently hydrogen or a methyl group;

Y는 OH기, 아크릴옥시기 또는 메타크릴옥시기이고, Y is an OH group, an acryloxy group or a methacryloxy group,

n은 1 내지 4의 정수이다.n is an integer of 1 to 4;

상기 7관능기 이상의 광중합성 모노머로는 트리펜타에리트리톨헵타(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨옥타(메트)아크릴레이트, 테트라펜타에리트리톨노나(메트)아크릴레이트, 테트라펜타에리트리톨데카(메트)아크릴레이트, 펜타펜타에리트리톨운데카(메트)아크릴레이트 및 펜타펜타에리트리톨도데카(메트)아크릴레이트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있고, 시판품으로서는 V-802: 트리펜타에리트리톨헵타아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨옥타아크릴레이트 등의 혼합물(오사카 유끼 가가꾸고교사제)을 들 수 있다.Examples of the photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups include tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, tetrapentaerythritol nona (meth) acrylate, tetrapentaerythritol decane (meth) Acrylate, pentapentaerythritol undeca (meth) acrylate, and pentapentaerythritol dodeca (meth) acrylate. Commercially available products include V-802: tripentaerythritol Heptaacrylate, tripentaerythritol octaacrylate and the like (manufactured by Osaka Yukigai Kogyo Co., Ltd.).

상기 7관능기 이상의 광중합성 모노머(B)는 용매를 제외한 고형분을 기준으로, 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 1 내지 100 중량부, 바람직하게는 10 내지 80 중량부의 양으로 사용될 수 있다. 상기 함량 범위 내에서, 고감도이면서 우수한 패턴 형성 및 도막 특성을 얻을 수 있다. The photopolymerizable monomer (B) having 7 or more functional groups may be used in an amount of 1 to 100 parts by weight, preferably 10 to 80 parts by weight, based on 100 parts by weight of the copolymer (A) based on the solid content excluding the solvent. Within this content range, high sensitivity and excellent pattern formation and coating film characteristics can be obtained.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기 7관능기 이상의 광중합성 모노머에 더하여, 기타 광중합성 모노머를 추가로 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention may further comprise other photopolymerizable monomer in addition to the photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups.

상기 기타 광중합성 모노머는 적어도 1개의 에틸렌성 불포화기를 가지는 아크릴산 또는 메타크릴산의 단관능 또는 다관능 에스테르 화합물로서 7관능기 미만의 광중합성 모노머일 수 있다. 또한, 이외에도 기타 광중합성 모노머로서, 직쇄 알킬렌기 및 지환식 구조를 갖고 2개 이상의 이소시아네이트기를 갖는 화합물과, 분자 내에 1개 이상의 히드록실기를 갖고 3개, 4개 또는 5개의 아크릴로일옥시기 및/또는 메타크릴로일옥시기를 갖는 화합물을 반응시켜 얻어지는 다관능 우레탄아크릴레이트 화합물 등을 들 수 있다.The other photopolymerizable monomer is a monofunctional or polyfunctional ester compound of acrylic acid or methacrylic acid having at least one ethylenic unsaturated group and may be a photopolymerizable monomer having less than 7 functional groups. In addition, as other photopolymerizable monomer, a compound having two or more isocyanate groups and having a straight chain alkylene group and an alicyclic structure, a compound having at least one hydroxyl group in the molecule and three, four or five acryloyloxy groups and And / or a compound having a methacryloyloxy group, and the like.

상기 기타 광중합성 모노머로는 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 글리세린트리(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트와 숙신산의 모노에스테르화물, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트와 숙신산의 모노에스테르화물, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트헥사메틸렌디이소시아네이트(펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 헥사메틸렌디이소시아네이트의 반응물), 비스페놀 A 에폭시아크릴레이트, 및 에틸렌글리콜모노메틸에테르아크릴레이트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.Examples of the other photopolymerizable monomer include ethyleneglycol di (meth) acrylate, propyleneglycol di (meth) acrylate, diethyleneglycol di (meth) acrylate, triethyleneglycol di (meth) acrylate, (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, Acrylate, monoesters of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and succinic acid, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, Acrylate, pentaerythritol triacrylate, hexamethylene diisocyanate (a reaction product of pentaerythritol triacrylate and hexamethylene diisocyanate), bisphenol A epoxy acrylate, and ethylene glycol monomethyl ether acrylate. More than one species may be used, but is not limited thereto.

상기 기타 광중합성 모노머는 용매를 제외한 고형분을 기준으로, 상기 화학식 1의 7관능기 이상의 광중합성 모노머(B) 100 중량부에 대하여 1 내지 200 중량부, 바람직하게는 5 내지 150 중량부의 양으로 사용될 수 있다. 상기 함량 범위 내에서, 우수한 컨택홀 형상을 얻을 수 있다.
The other photopolymerizable monomer may be used in an amount of 1 to 200 parts by weight, preferably 5 to 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the photopolymerizable monomer (B) having 7 or more functional groups of the formula (1) have. Within the above content range, excellent contact hole shapes can be obtained.

(C) 광중합 개시제
(C) a photopolymerization initiator

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 광중합 개시제를 포함한다. 상기 광중합 개시제는 가시광선, 자외선, 심자외선(deep-ultraviolet radiation) 등에 의하여 경화될 수 있는 단량체들의 중합 반응을 개시하는 역할을 한다. 상기 광중합 개시제는 라디칼 개시제일 수 있고, 그 종류는 특별히 한정되지 않으나 아세토페논계, 벤조페논계, 벤조인계 및 벤조일계, 크산톤계, 옥심계, 트리아진계, 할로메틸옥사디아졸계 및 로핀다이머계 광중합 개시제로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 1종 이상이 사용될 수 있다. The photosensitive resin composition according to the present invention includes a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator serves to initiate polymerization of monomers that can be cured by visible light, ultraviolet light, deep ultraviolet radiation, or the like. The photopolymerization initiator may be a radical initiator, and the kind thereof is not particularly limited, and examples thereof include acetophenone, benzophenone, benzoin and benzoyl, xanthone, oxime, triazine, halomethyloxadiazole, And a photopolymerization initiator may be used.

상기 광중합 개시제의 구체적인 예로서, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴), 벤조일퍼옥사이드, 라우릴퍼옥사이드, t-부틸퍼옥시피발레이트, 1,1-비스(t-부틸퍼옥시)시클로헥산, p-디메틸아미노아세토페논, 2-벤질-2-(디메틸아미노)-1-[4-(4-모포리닐)페닐]-1-부탄온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 벤조페논, 벤조인프로필에테르, 디에틸티옥산톤, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-p-메톡시페닐-s-트리아진, 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥소디아졸, 9-페닐아크리딘, 3-메틸-5-아미노-((s-트리아진-2-일)아미노)-3-페닐쿠마린, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 이량체, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-(o-에톡시카르보닐)옥심, 1-[4-(페닐티오)페닐]-옥탄-1,2-디온-2-(o-벤조일옥심), o-벤조일-4'-(벤즈머캅토)벤조일-헥실-케톡심, 2,4,6-트리메틸페닐카르보닐-디페닐포스포닐옥사이드, 헥사플루오로포스포로-트리알킬페닐술포늄염, 2-머캅토벤즈이미다졸, 2,2'-벤조티아조릴디설파이드 및 이들의 혼합물을 들 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. Specific examples of the photopolymerization initiator include 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2'-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) Butylperoxypivalate, 1,1-bis (t-butylperoxy) cyclohexane, p-dimethylaminoacetophenone, 2-benzyl-2- (dimethylamino) -1 Phenyl-propan-1-one, benzyldimethyl ketal, benzophenone, benzoin propyl ether, di (2-hydroxy-2- (Trichloromethyl) -6-p-methoxyphenyl-s-triazine, 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxodiazole, 3-phenylcoumarin, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenyl-2- 2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -octane- 1,2-dione- 2- (o-benzoyloxime), o-benzoyl-4 '- (benzmercaptan ) Benzoyl-hexyl-ketoxime, 2,4,6-trimethylphenylcarbonyl-diphenylphosphonyloxide, hexafluorophosphorothio-trialkylphenylsulfonium salt, 2-mercaptobenzimidazole, 2,2'- Benzothiazolyl disulfide, and mixtures thereof, but are not limited thereto.

상기 옥심계 화합물은 옥심 구조를 포함하는 라디칼 개시제라면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들어 옥심 에스테르계 화합물일 수 있다.The oxime-based compound is not particularly limited as long as it is a radical initiator containing an oxime structure. For example, it may be an oxime ester-based compound.

상기 옥심계 화합물은 대한민국 공개특허공보 제2004-0007700호, 제2005-0084149호, 제2008-0083650호, 제2008-0080208호, 제2007-0044062호, 제2007-0091110호, 제2007-0044753호, 제2009-0009991호, 제2009-0093933호, 제2010-0097658호, 제2011-0059525호, 제2011-0091742호, 제2011-0026467호 및 제2011-0015683호, 및 국제특허공개 WO 2010/102502호 및 WO 2010/133077호에 기재된 옥심계 화합물 중의 1종 이상을 사용하는 것이 고감도의 측면에서 바람직하다. 이들의 상품명으로서는 OXE-01(BASF), OXE-02(BASF), N-1919(ADEKA), NCI-930(ADEKA), NCI-831(ADEKA) 등을 들 수 있다.The oxime-based compounds are disclosed in Korean Patent Publication Nos. 2004-0007700, 2005-0084149, 2008-0083650, 2008-0080208, 2007-0044062, 2007-0091110, 2007-0044753 , 2009-0093933, 2010-0097658, 2011-0059525, 2011-0091742, 2011-0026467 and 2011-0015683, and International Patent Publication WO 2010 / 102502 and WO 2010/133077, from the viewpoint of high sensitivity. Examples of these trade names include OXE-01 (BASF), OXE-02 (BASF), N-1919 (ADEKA), NCI-930 (ADEKA) and NCI-831 (ADEKA).

상기 광중합 개시제(C)는, 용매를 제외한 고형분을 기준으로, 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 1 내지 20 중량부, 바람직하게는 1 내지 15 중량부의 양으로 사용될 수 있다. 상기 함량 범위 내에서, 고감도이면서 보다 우수한 패턴 현상성 및 도막 특성을 얻을 수 있다.
The photopolymerization initiator (C) may be used in an amount of 1 to 20 parts by weight, preferably 1 to 15 parts by weight, based on 100 parts by weight of the copolymer (A) based on the solid content excluding the solvent. Within the above content range, high sensitivity and better pattern developability and coating film characteristics can be obtained.

(D) 페닐아미노계 실란 화합물
(D) a phenylamino-based silane compound

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 페닐아미노계 실란 화합물을 포함할 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention may contain a phenylamino silane compound.

상기 페닐아미노계 실란 화합물은 하기 화학식 2의 구조를 갖는다: The phenylamino-based silane compound has a structure represented by the following formula (2)

Figure pat00002
Figure pat00002

상기 식에서, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소, 또는 직쇄상, 분지상 또는 환상의 C1-6 알킬기이며, Wherein R 1 and R 2 are each independently hydrogen or a straight, branched or cyclic C 1-6 alkyl group,

R3, R4, 및 R5는 각각 독립적으로 C1-6 알콕시기 또는 C1-6 탄화수소기이고, R3, R4, 및 R5 중 적어도 하나는 알콕시기이며; R 3 , R 4 , and R 5 are each independently a C 1-6 alkoxy group or a C 1-6 hydrocarbon group, and at least one of R 3 , R 4 , and R 5 is an alkoxy group;

m은 1 내지 6의 정수이고;m is an integer from 1 to 6;

a는 1 내지 5의 정수이다.a is an integer of 1 to 5;

바람직하게는, 상기 화학식 2에서 R1 및 R2는 수소이고, a는 5이고, R3, R4, 및 R5는 각각 메톡시이고, m은 3이다. 즉, 상기 화학식 2의 화합물은 바람직하게는 N-페닐아미노프로필트리메톡시실란일 수 있다.Preferably, in the above formula (2), R 1 and R 2 are hydrogen, a is 5, R 3 , R 4 , and R 5 are each methoxy and m is 3. That is, the compound of Formula 2 is preferably N-phenylaminopropyltrimethoxysilane.

상기 화학식 2의 페닐아미노계 실란 화합물의 함량은 용매를 제외한 고형분을 기준으로, 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부, 바람직하게는 0.01 내지 1 중량부의 양으로 사용될 수 있다. 상기 함량 범위 내에서, 패턴의 유실을 막을 수 있고, 기판과의 높은 접착력 달성과 함께 하프톤 마진 및 높은 해상도 유지에 용이하며, 공정성 개선 효과가 있다. The content of the phenylamino silane compound of Formula 2 may be 0.001 to 5 parts by weight, preferably 0.01 to 1 part by weight, based on 100 parts by weight of the copolymer (A) based on the solid content excluding the solvent . Within the above content range, it is possible to prevent the loss of the pattern, achieve high adhesion with the substrate, easily maintain the halftone margin and high resolution, and improve the processability.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기 페닐아미노계 실란 화합물에 더하여, 기타 실란 커플링제를 추가로 포함할 수 있다. 이와 같은 실란 커플링제의 종류는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 카복실기, (메트)아크릴로일기, 이소시아네이트기, 아미노기, 머캅토기, 비닐기 및 에폭시기로 이루어진 그룹에서 선택되는 적어도 1종 이상의 반응성 그룹을 갖는 실란 커플링제를 사용할 수 있다. In addition to the phenylamino-based silane compound, the photosensitive resin composition of the present invention may further include other silane coupling agents. The kind of the silane coupling agent is not particularly limited, but includes, for example, at least one reactive group selected from the group consisting of a carboxyl group, a (meth) acryloyl group, an isocyanate group, an amino group, a mercapto group, a vinyl group and an epoxy group May be used.

기타 실란 커플링제의 구체적인 예로서, 트리메톡시실릴벤조산, γ-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐트리메톡시실란, γ-이소시아네이토프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란, γ-글리시독시프로필트리에톡시실란, β-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 또는 이들의 혼합물을 들 수 있으며, 바람직하게는 잔막율을 향상시키면서 기판과의 접착성이 좋은 γ-글리시독시프로필트리에톡시실란, γ-글리시독시프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다. 또한, 내화학성의 향상을 위해서 이소시아네이트기를 갖는 γ-이소시아네이토프로필트리에톡시실란(예: Shin-Etsu사의 KBE-9007)이 사용될 수도 있다.Specific examples of other silane coupling agents include trimethoxysilylbenzoic acid,? -Methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane,? -Isocyanatopropyltriethoxysilane, ? -glycidoxypropyltrimethoxysilane,? -glycidoxypropyltriethoxysilane,? - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, or a mixture thereof, and preferably Glycidoxypropyltriethoxysilane,? -Glycidoxypropyltrimethoxysilane and the like, which have good adhesion with the substrate while improving the residual film ratio. In order to improve the chemical resistance,? -Isocyanatopropyltriethoxysilane having an isocyanate group (e.g., KBE-9007 from Shin-Etsu) may be used.

상기 기타 실란 커플링제는 용매를 제외한 고형분을 기준으로, 상기 페닐아미노계 실란 화합물(D) 100 중량부에 대하여 1 내지 150 중량부, 바람직하게는 5 내지 100 중량부의 양으로 사용될 수 있다. 상기 함량 범위 내에서, 우수한 패턴 형상을 얻을 수 있다.
The other silane coupling agent may be used in an amount of 1 to 150 parts by weight, preferably 5 to 100 parts by weight, based on 100 parts by weight of the phenylamino silane compound (D) based on the solid content excluding the solvent. Within the above content range, an excellent pattern shape can be obtained.

(E) 기타 성분
(E) Other ingredients

본 발명은 감광성 수지 조성물의 특성을 개선하기 위하여 기타 성분들을 추가로 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 기타 성분들로는 (E-1) 계면활성제 또는 (E-2) 용매 등을 들 수 있다.
The present invention may further include other components for improving the properties of the photosensitive resin composition. For example, the other components include (E-1) a surfactant or (E-2) a solvent.

(E-1) 계면활성제
(E-1) Surfactant

본 발명의 감광성 수지 조성물은 필요에 따라, 코팅성 향상 및 결점 생성 방지 효과를 위해 계면활성제를 추가로 포함할 수 있다. The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a surfactant, if necessary, for improving coating properties and preventing defect formation.

상기 계면활성제의 종류는 특별히 한정되지 않으나, 바람직하게는 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제, 비이온계 계면활성제 및 그 밖의 계면활성제를 들 수 있다. The kind of the surfactant is not particularly limited, but a fluorine surfactant, a silicone surfactant, a nonionic surfactant and other surfactants are preferable.

상기 계면활성제의 예로서는 BM CHEMIE사의 BM-1000 및 BM-1100, 다이닛뽄잉크 가가꾸고교사의 메가팩 F-142 D, F-172, F-173, F-183, F-470, F-471, F-475, F-482 및 F-489, 스미또모 쓰리엠사의 플로라드 FC-135, FC-170 C, FC-430 및 FC-431, 아사히 가라스사의 서프론 S-112, S-113, S-131, S-141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105 및 SC-106, 신아끼따 가세이사의 에프톱 EF301, EF303 및 EF352, 도레이 실리콘사의 SH-28 PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57 및 DC-190, 다우코닝도레이 실리콘사의 DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH8400, FZ-2100, FZ-2110, FZ-2122, FZ-2222 및 FZ-2233, GE 도시바 실리콘사의 TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460 및 TSF-4452, BYK사의 BYK-333 등의 불소계 및 실리콘계 계면활성제; 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르 및 폴리옥시에틸렌올레일에테르와 같은 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르 및 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르와 같은 폴리옥시에틸렌아릴에테르류, 폴리옥시에틸렌디라우레이트 및 폴리옥시에틸렌디스테아레이트와 같은 폴리옥시에틸렌디알킬에스테르류 등의 비이온계 계면활성제; 오르가노실록산 폴리머 KP341(신에쓰 가가꾸고교사), (메트)아크릴산계 공중합체 폴리플로우 No. 57 및 95(교에이샤 유지 가가꾸고사) 등을 들 수 있다. Examples of the surfactant include BM-1000 and BM-1100 from BM CHEMIE, Megapac F-142D, F-172, F-173, F-183, F- F-475, F-482 and F-489 of Sumitomo 3M, Florad FC-135, FC-170C, FC-430 and FC-431 of Sumitomo 3M, Surflon S-112, S-141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105 and SC- SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57 and DC-190 of Dow Corning Toray Silicone Co., DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH8400, TSF-4400, TSF-4400, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460 and TSF-4452 of GE Toshiba Silicone Co., Ltd., FZ-2100, FZ-2110, FZ-2122, FZ- Fluorine-based and silicone-based surfactants such as BYK-333; Polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether and polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene aryl ethers such as polyoxyethylene octylphenyl ether and polyoxyethylene nonylphenyl ether Nonionic surfactants such as polyoxyethylene dialkyl esters such as polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate; Organosiloxane polymer KP341 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid-based copolymer polyflow No. 57 and 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.).

이들은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. These may be used alone or in combination of two or more.

이 중 분산성 측면에서 바람직하게는 BYK사의 BYK-333, 다우코닝도레이 실리콘사의 FZ-2100, FZ-2110, FZ-2122, FZ-2222가 사용될 수 있다.Of these, BYK-333 manufactured by BYK Corporation, FZ-2100, FZ-2110, FZ-2122 and FZ-2222 manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd. can be preferably used from the viewpoint of dispersibility.

상기 계면활성제(E-1)는, 용매를 제외한 고형분 기준으로, 상기 공중합체(A) 100 중량부에 대하여 0.001 내지 5 중량부, 바람직하게는 0.01 내지 1 중량부의 양으로 사용할 수 있다. 상기 범위 내일때 조성물의 코팅이 보다 원활해질 수 있다.
The surfactant (E-1) may be used in an amount of 0.001 to 5 parts by weight, preferably 0.01 to 1 part by weight, based on 100 parts by weight of the copolymer (A) based on the solid content excluding the solvent. Within this range, coating of the composition may be more smooth.

이 외에도, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 이의 물성을 해하지 않는 범위 내에서 산화방지제, 안정제, 라디칼 포착제 등의 기타 첨가제를 더 포함할 수 있다.
In addition, the photosensitive resin composition of the present invention may further contain other additives such as an antioxidant, a stabilizer, and a radical scavenger within the range not deteriorating the physical properties thereof.

(E-2) 용매
(E-2) Solvent

본 발명의 감광성 수지 조성물은 바람직하게는 상기한 성분들을 용매와 혼합한 액상 조성물로 제조될 수 있다. The photosensitive resin composition of the present invention may preferably be prepared from a liquid composition in which the above-mentioned components are mixed with a solvent.

상기 용매로는 전술한 감광성 수지 조성물 성분들과 상용성을 가지되 이들과 반응하지 않는 것으로서, 감광성 수지 조성물에 사용되는 공지의 용매이면 어느 것이나 사용 가능하다.The solvent is compatible with the above-mentioned photosensitive resin composition components, does not react with the above photosensitive resin composition components, and any known solvent used in the photosensitive resin composition can be used.

이러한 용매의 예로는 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 에틸렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류; 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노프로필에테르, 프로필렌글리콜모노부틸에테르 등의 프로필렌글리콜모노알킬에테르류; 프로필렌글리콜디메틸에테르, 프로필렌글리콜디에틸에테르, 프로필렌글리콜디프로필에테르, 프로필렌글리콜디부틸에테르 등의 프로필렌글리콜디알킬에테르류; 디프로필렌글리콜디메틸에테르 등의 디프로필렌글리콜디알킬에테르류; 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노부틸에테르아세테이트 등의 프로필렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류; 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브 등의 셀로솔브류; 부틸카르비톨 등의 카르비톨류; 락트산메틸, 락트산에틸, 락트산-n-프로필, 락트산이소프로필 등의 락트산 에스테르류; 아세트산에틸, 아세트산-n-프로필, 아세트산이소프로필, 아세트산-n-부틸, 아세트산이소부틸, 아세트산-n-아밀, 아세트산이소아밀, 프로피온산이소프로필, 프로피온산-n-부틸, 프로피온산이소부틸 등의 지방족 카복실산 에스테르류; 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸 등의 에스테르류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; 2-헵타논, 3-헵타논, 4-헵타논, 시클로헥사논 등의 케톤류; N-디메틸포름아미드, N-메틸아세트아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈 등의 아미드류; γ-부티로락톤 등의 락톤류; 및 이들의 혼합물을 들 수 있지만 이에 한정되지는 않는다. Examples of such a solvent include ethylene glycol monoalkyl ether acetates such as ethylene glycol monomethyl ether acetate and ethylene glycol monoethyl ether acetate; Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether and propylene glycol monobutyl ether; Propylene glycol dialkyl ethers such as propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol dipropyl ether and propylene glycol dibutyl ether; Dipropylene glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol dimethyl ether; Propylene glycol monoalkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate and propylene glycol monobutyl ether acetate; Cellosolve such as ethyl cellosolve and butyl cellosolve; Carbitols such as butyl carbitol; Lactic acid esters such as methyl lactate, ethyl lactate, n-propyl lactate and isopropyl lactate; Aliphatic alcohols such as ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, n-amyl acetate, isoamyl acetate, isopropyl myristate, isopropyl propionate, n-butyl propionate, Carboxylic acid esters; Esters such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl pyruvate and ethyl pyruvate; Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, and cyclohexanone; Amides such as N-dimethylformamide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone; lactones such as? -butyrolactone; And mixtures thereof.

상기 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.These solvents may be used alone or in combination of two or more.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서 상기 용매(E-2)의 함유량은 특별히 한정되지 않지만, 얻어지는 감광성 수지 조성물의 도포성, 안정성 등의 관점에서, 조성물 총 중량을 기준으로 고형분 함량이 5 내지 70 중량%, 바람직하게는 10 내지 55 중량%가 되도록 용매를 포함할 수 있다. 여기서, 고형분이란 조성물에서 용매를 제외한 나머지 성분을 의미한다.
In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of the solvent (E-2) is not particularly limited, but from the viewpoint of coatability, stability, and the like of the resulting photosensitive resin composition, a solid content of 5 to 70 wt% %, Preferably 10 to 55 wt%, based on the total weight of the composition. Here, the solid content means the remaining components in the composition except for the solvent.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 네거티브형 감광성 수지 조성물로서 사용될 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention can be used as a negative type photosensitive resin composition.

특히 상기 감광성 수지 조성물은 기재 위에 도포되고 경화되어 유기 절연막으로 제조될 수 있다.In particular, the photosensitive resin composition may be coated on a substrate and cured to form an organic insulating film.

상기 유기 절연막은 당 기술분야에 알려져 있는 방법에 의해 제조할 수 있고, 예컨대 실리콘 기판 위에 상기 감광성 수지 조성물을 스핀 코팅 방법에 의하여 도포하고, 60℃ 내지 130℃에서 60초 내지 130초간 예비경화(pre-bake)하여 용매를 제거한 후, 원하는 패턴이 형성된 포토마스크를 이용하여 노광하고, 현상액(예: 테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH) 용액)으로 현상함으로써 코팅층에 패턴을 형성할 수 있다. 상기 노광은 200㎚ 내지 450㎚의 파장대에서 10 내지 100 mJ/㎠의 노광량으로 조사하여 수행할 수 있다. 이후 패턴화된 코팅층을 10분 내지 5시간 동안 150℃ 내지 300℃에서 후경화(post-bake)시켜 목적하는 유기 절연막을 얻을 수 있다.The organic insulating layer can be formed by a method known in the art. For example, the photosensitive resin composition is coated on a silicon substrate by a spin coating method and pre-cured at 60 to 130 ° C for 60 to 130 seconds -bake) to remove the solvent, exposure is performed using a photomask in which a desired pattern is formed, and development is performed with a developer (for example, tetramethylammonium hydroxide (TMAH) solution) to form a pattern on the coating layer. The above exposure can be performed by irradiating light at an exposure amount of 10 to 100 mJ / cm 2 at a wavelength range of 200 nm to 450 nm. Thereafter, the patterned coating layer is post-baked at 150 ° C to 300 ° C for 10 minutes to 5 hours to obtain a desired organic insulating film.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 도막 형성시에 고평탄성을 가지면서 내열성, 내화학성, 경시 안정성, 해상도 및 잔막율도 우수하다.The photosensitive resin composition of the present invention has high flatness at the time of forming a coating film, and is excellent in heat resistance, chemical resistance, aging stability, resolution, and residual film ratio.

따라서, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 액정표시장치에 사용되는 유기 절연막 등의 재료, 특히 유기 절연막과 화이트 픽셀을 동시에 구현하는 용도로서 적합하며, 또는 그 외 다양한 분야의 전자부품의 재료로서도 유용하다.
Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention is suitable as a material for an organic insulating film or the like used in a liquid crystal display device, particularly, for simultaneously realizing an organic insulating film and a white pixel, or as a material for electronic parts in various other fields.

이하, 하기 실시예에 의하여 본 발명을 좀더 상세하게 설명하고자 한다. 단, 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것일 뿐 본 발명의 범위가 이들만으로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the following examples are intended to illustrate the present invention, but the scope of the present invention is not limited thereto.

하기 제조예에 기재된 중량평균분자량은 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의해 측정한 폴리스티렌 환산값이다.
The weight average molecular weight described in the following Production Examples is a polystyrene reduced value measured by gel permeation chromatography (GPC).

제조예 1: 공중합체의 제조Preparation Example 1: Preparation of Copolymer

냉각관 및 교반기를 구비한 플라스크에, 스티렌 38 몰%, 메틸메타크릴레이트 8 몰%, 메타크릴산 24 몰%, 글리시딜메타크릴레이트 30 몰%로 이루어진 단량체 혼합물 100 중량부를 첨가하고, 이어서 중합 개시제로서의 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트닐)를 3 중량부 첨가한 후, 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 100 중량부를 투입하였다. 여기에 질소 투입 후 서서히 교반하면서 용액의 온도를 70℃로 상승시키고 이 온도를 5시간 동안 유지하면서 중합 반응을 수행하여 중량평균분자량 7,500의 공중합체의 용액을 얻었다.
100 parts by weight of a monomer mixture composed of 38 mol% of styrene, 8 mol% of methyl methacrylate, 24 mol% of methacrylic acid, and 30 mol% of glycidyl methacrylate was added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, After adding 3 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) as a polymerization initiator, 100 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent was added. After the addition of nitrogen, the temperature of the solution was raised to 70 DEG C while being slowly stirred, and the polymerization reaction was carried out while maintaining the temperature for 5 hours to obtain a solution of a copolymer having a weight average molecular weight of 7,500.

실시예 1Example 1

고형분 함량기준으로, 제조예 1에서 합성한 공중합체(A) 100 중량부, 7관능기 이상의 광중합성 모노머인 V-802(제조사:오사카 유끼 가가꾸고교사제) 63 중량부, 광중합 개시제로서 Irgarcure OXE-01(바스프사) 6 중량부, 또 다른 광중합 개시제로서 Irgarcure OXE-02(바스프사) 1.2 중량부, 페닐아미노계 실란 화합물로서 N-페닐아미노프로필트리메톡시실란(XS1075, JNC사) 0.5중량부, 계면활성제로서 FZ-2122(다우코닝도레이 실리콘사제) 0.3중량부를 배합하고, 여기에 상기 성분들의 고형분 합계 함량이 25%가 되도록 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트(PGMEA)를 투입한 후, 쉐이커를 이용하여 2시간 동안 혼합하여 액상 형태인 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
, 100 parts by weight of the copolymer (A) synthesized in Production Example 1, 63 parts by weight of a photopolymerizable monomer V-802 having seven or more functional groups (manufactured by Osaka Yuzugaku Kogyo Co., Ltd.) as a solid content and Irgacure OXE-01 (BASF Corp.), 1.2 parts by weight of Irgarcure OXE-02 (BASF Corp.) as another photopolymerization initiator, 0.5 parts by weight of N-phenylaminopropyltrimethoxysilane (XS1075, JNC Corp.) And 0.3 parts by weight of FZ-2122 (manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.) as a surfactant. Propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA) was added thereto so that the total solid content of the components was 25% For a period of time to prepare a liquid photosensitive resin composition.

실시예 2 내지 6 및 비교예 1 내지 3Examples 2 to 6 and Comparative Examples 1 to 3

하기 표 1에 제시된 바와 같이 사용된 구성성분들의 종류 및 함량을 변화시킨 것을 제외하고는, 상기 실시예 1과 동일한 공정을 수행하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.The photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the kind and content of the components used were changed as shown in Table 1 below.

감광성 수지 조성물의 조성(중량부, 고형분 기준)Composition of photosensitive resin composition (parts by weight, based on solids) 구분division 공중합체Copolymer 광중합성 모노머Photopolymerizable monomer 광중합 개시제Photopolymerization initiator 실란 화합물Silane compound 계면활성제Surfactants 실시예 1Example 1 AA 100100 B-1B-1 6363 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-1D-1 0.50.5 E-1E-1 0.30.3 실시예 2Example 2 AA 100100 B-1B-1 6363 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-1D-1 0.20.2 E-1E-1 0.20.2 실시예 3Example 3 AA 100100 B-1B-1 37.837.8 B-2B-2 25.225.2 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-1D-1 0.20.2 E-1E-1 0.20.2 실시예 4Example 4 AA 100100 B-1B-1 25.225.2 B-2B-2 37.837.8 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-1D-1 0.20.2 E-1E-1 0.20.2 실시예 5Example 5 AA 100100 B-1B-1 37.837.8 B-3B-3 25.225.2 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-1D-1 0.20.2 E-1E-1 0.20.2 실시예 6Example 6 AA 100100 B-1B-1 25.225.2 B-3B-3 37.837.8 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-1D-1 0.20.2 E-1E-1 0.20.2 비교예 1Comparative Example 1 AA 100100 B-1B-1 6363 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-2D-2 0.20.2 E-1E-1 0.20.2 비교예 2Comparative Example 2 AA 100100 B-2B-2 6363 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-1D-1 0.20.2 E-1E-1 0.20.2 비교예 3Comparative Example 3 AA 100100 B-2B-2 6363 C-1C-1 66 C-2C-2 1.21.2 D-2D-2 0.20.2 E-1E-1 0.20.2

(B-1): 트리펜타에리트리톨헵타메타크릴레이트(V-802, 오사카 유끼 가가꾸고교사제) (B-1): tripentaerythritol heptamethacrylate (V-802, manufactured by Osaka Yuzen Chemical Industry Co., Ltd.)

(B-2): 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(KAYARAD DPHA, 닛뽄카야꾸사제)(B-2): dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

(B-3): 트리메틸로프로판트리아크릴레이트(TMPTA, 닛뽄카야꾸사제)(B-3): trimethylpropane triacrylate (TMPTA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

(C-1): Irgarcure OXE-01(바스프사) (C-1): Irgarcure OXE-01 (BASF)

(C-2): Irgarcure OXE-02(바스프사) (C-2): Irgarcure OXE-02 (BASF)

(D-1): N-페닐아미노프로필트리메톡시실란(XS1075, JNC사)(D-1): N-phenylaminopropyltrimethoxysilane (XS1075, JNC)

(D-2): γ-이소시아네이토프로필트리에톡시실란(KBE-9007, Shin-Etsu사)(D-2):? -Isocyanatopropyltriethoxysilane (KBE-9007, Shin-Etsu Co.)

(E-1): FZ-2122(다우코닝도레이 실리콘사제)
(E-1): FZ-2122 (manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.)

상기 실시예 1 내지 6 및 비교예 1 내지 3에서 제조된 감광성 수지 조성물로부터 막을 제조하여 그 경화막의 열경화 후 잔막율, 하프톤 접착력 특성, 상온 경시 안정성, 내열성 및 내화학성을 측정하여 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
Films were prepared from the photosensitive resin compositions prepared in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 3, and the residual film ratios, halftone adhesive strength characteristics, stability at room temperature stability, heat resistance and chemical resistance were measured after thermal curing of the cured films, The results are shown in Table 2 below.

[경화막의 제조][Preparation of cured film]

감광성 수지 조성물을 실리콘 기판 위에 스핀 코팅한 후 100℃의 온도를 유지한 고온플레이트 위에서 90초 동안 예비경화(pre-bake)하여 두께 3㎛의 건조막을 형성하였다. 이 막에 200nm에서 450nm의 파장을 내는 어라이너(aligner, 모델명 MA6)를 이용하여, 노광기준으로서 마스크를 사용하지 않고, 365nm 기준으로 하여 30mJ/㎠이 되도록 일정시간 노광하고, 2.38 중량% 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드 수용성 현상액으로 23℃에서 스프레이 노즐을 통해 100초 동안 현상하였다. 얻어진 노광막을 컨벡션 오븐에서 230℃에서 30분 동안 가열(후경화, post-bake)하여 경화막을 얻었다.
The photosensitive resin composition was spin-coated on a silicon substrate and pre-baked on a hot plate maintained at a temperature of 100 캜 for 90 seconds to form a dry film having a thickness of 3 탆. This film was subjected to exposure for a predetermined time so as to be 30 mJ / cm 2 on the basis of 365 nm without using a mask as an exposure standard using an aligner (model name MA6) having a wavelength of 200 nm to 450 nm, and 2.38 wt% tetramethyl Aqueous solution of ammonium hydroxide at 23 DEG C for 100 seconds through a spray nozzle. The resultant exposed film was heated in a convection oven at 230 DEG C for 30 minutes (post-bake) to obtain a cured film.

1. 잔막율(열경화 후) 평가1. Evaluation of residual film ratio (after heat curing)

상기 경화막 제조시 예비경화 후 및 후경화 후 각각의 막두께를 막두께 평가장비(상품명 Nanospec 6500)로 측정하여 하기 수학식 1에 따라 산출하였다. 잔막율(%) 값이 높을수록 잔막율이 우수하다고 할 수 있다.Each of the film thicknesses after the pre-curing and the post-curing processes in the production of the cured film was measured with a film thickness evaluating equipment (trade name: Nanospec 6500) and calculated according to the following equation (1). The higher the residual film ratio (%), the better the residual film ratio.

[수학식 1][Equation 1]

잔막율(%) = (후경화 후 막두께 / 예비경화 후 막두께) X 100(%) = (Film thickness after post-curing / film thickness after pre-curing) X 100

2. 하프톤 접착력 특성 평가2. Evaluation of Halftone Adhesion

상기 경화막 제조시, 10~100%까지 투과가능한 다양한 톤 마스크(multi tone mask)를 사용하고 30mJ/㎠ 대신에 10mJ/㎠이 되도록 노광하는 것을 제외하고는, 동일한 방식으로 경화막을 제조하여, 비접촉식 두께 측정기(상품명 SNU)를 이용하여 40% 투과영역 이하의 패턴의 두께를 측정하였다. 하프톤 접착력 특성은 40% 투과영역 이하의 패턴이 형성되었을때 우수하다고 할 수 있다.
A cured film was prepared in the same manner as above except that various tone masks capable of being 10 to 100% transmissive were used in the production of the cured film and exposure was performed at 10 mJ / cm 2 instead of 30 mJ / cm 2, The thickness of the pattern below 40% transmittance area was measured using a thickness gauge (trade name SNU). The halftone adhesive strength can be said to be excellent when a pattern having a transmittance of 40% or less is formed.

3. 상온 경시 안정성 평가3. Stability evaluation at room temperature

고형분 25%의 감광성 수지 조성물 10 g을 20 ㎖ 유리 바이알병에 넣고 40℃에서 오븐에 24 시간 동안 보관한 후, 점도의 상승 정도(%)를 점도측정 장치인 TV-22 회전식 점도계(TOKI SANGYO사)를 이용하여 측정하였다. 점도 측정 방법은 1㎖ 시료를 채취하여 점도 측정기에 담아 25℃의 온도로 안정화시킨 후에 점도 측정기의 스핀들에 걸리는 압력을 이용하였다. 측정된 점도를 하기 수학식 2에 따라 산출하였다. 점도 상승율(%)이 5% 이하이면 우수, 3% 이하이면 매우 우수하다고 할 수 있다.10 g of the photosensitive resin composition having a solid content of 25% was placed in a 20 ml glass vial bottle and stored in an oven for 24 hours at 40 ° C. The degree of increase in viscosity was measured using a TV-22 rotary viscometer (TOKI SANGYO ). In the viscosity measurement method, 1 ml sample was taken and stabilized at 25 ° C in a viscosity measuring instrument, and the pressure applied to the spindle of the viscosity measuring instrument was used. The measured viscosity was calculated according to the following equation (2). When the viscosity increase rate (%) is 5% or less, it is excellent and when it is 3% or less, it is excellent.

[수학식 2]&Quot; (2) "

점도 Viscosity 상승율Rate of increase (%)=[(40℃/24(%) = [(40 DEG C / 24 hrhr OvenOven 보관 후 점도-초기 점도)/(초기 점도)]  Viscosity after storage - initial viscosity) / (initial viscosity)] X100X100

4. 내열성 평가4. Evaluation of heat resistance

상기 경화막 제조시, 실리콘 기판 대신에 유리 기판을 사용하고 100초 대신에 70초 동안 현상하는 것을 제외하고는, 동일한 방식으로 경화막을 제조하였다. 상기 경화막을 칼로 긁어내어 5mg의 막을 열중량분석기(thermogravimetric analyzer)를 이용하여 상온에서 230℃까지 분당 10℃씩 상승시킨 후, 250℃에서 60분 동안 유지하면서 무게를 측정하여 하기 수학식 3에 따라 내열성(무게 감소율)을 산출하였다. 무게 감소율(%)이 낮을수록 내열성이 우수하다고 할 수 있다.A cured film was prepared in the same manner, except that a glass substrate was used instead of the silicon substrate and the substrate was developed for 70 seconds instead of 100 seconds in the production of the cured film. The cured film was scratched with a knife to raise the 5 mg film to a temperature of 230 ° C at a rate of 10 ° C per minute from a room temperature to a 230 ° C using a thermogravimetric analyzer, and the weight was measured while maintaining the temperature at 250 ° C for 60 minutes. Heat resistance (weight reduction rate) was calculated. The lower the weight reduction rate (%), the better the heat resistance.

[수학식 3]&Quot; (3) "

무게 감소율(%) = [(초기 25℃에서의 무게 - 250℃ 60분 유지 후 잔량 무게) / 초기 25℃에서의 무게] X 100Weight reduction rate (%) = [(Weight at initial 25 ° C - Weight after remaining at 250 ° C for 60 minutes) / Weight at initial 25 ° C] X 100

5. 내화학성 평가5. Chemical resistance evaluation

상기 경화막 제조시, 100초 대신에 70초 동안 현상하는 것을 제외하고는, 동일한 방식으로 경화막을 제조하여, 접촉식 막두께 측정기(alpha step)를 이용하여 두께를 측정하였다. 항온조에 NMP(N-methyl pyrrolidinone)를 비커에 담아 70℃가 되도록 한 후 경화막을 여기에 10분 동안 담근 후 동일한 방법으로 두께를 측정하였다. 이로부터 하기 수학식 4에 따라 내화학성 값을 계산하였다. 내화학성(%) 값이 낮을수록 우수하다고 할 수 있다.A cured film was prepared in the same manner, except that the cured film was developed for 70 seconds instead of 100 seconds, and the thickness was measured using a contact type alpha step. N-methyl pyrrolidinone (NMP) was placed in a thermostat in a beaker at 70 ° C, and the cured film was immersed in the beaker for 10 minutes. From this, the chemical resistance value was calculated according to the following equation (4). The lower the chemical resistance (%) value, the better.

[수학식 4]&Quot; (4) "

내화학성 (%) = [(Chemical resistance (%) = [( NMPNMP 담근 후 두께 -  Thickness after dipping - NMPNMP 담그기 전 두께) /  Thickness before soaking) / NMPNMP 담그기 전 두께] X 100 Thickness before immersion] X 100

상기에서 얻은 물성 특성 결과값(%)들을 하기 표 2의 범주에 따라 평가하여, 하기 표 3에 정리하였다.The physical property results (%) obtained above are evaluated according to the categories shown in Table 2 below and summarized in Table 3 below.

범주category 잔막율(%)Remaining film ratio (%) 하프톤 접착력 특성Halftone adhesion properties 상온 경시 안정성(%)Stability at room temperature (%) 내열성(%)Heat resistance (%) 내화학성(%)Chemical Resistance (%) 80%~100% 80% to 100% 10~40% 투과영역에서 패턴형성Pattern formation in 10 to 40% transmission area 0%~3%0% to 3% 0%~5%0% to 5% 0%~10%0% to 10% 75%~80%75% to 80% 20~40% 투과영역에서 패턴형성  Pattern formation in 20-40% transmission area 3%~5%3% to 5% 5%~15%5% to 15% 10%~20%10% to 20% ΔΔ 60%~75%60% to 75% 40% 투과영역에서 패턴형성Pattern formation in 40% transmission area 5%~10%5% to 10% 15%~25%15% to 25% 20%~30%20% to 30% XX 60% 미만Less than 60% 패턴박리Pattern exfoliation 10% 초과Greater than 10% 25% 초과Greater than 25% 30% 초과More than 30%

구분division 잔막율(%)Remaining film ratio (%) 하프톤 접착력 특성Halftone adhesion properties 상온 경시 안정성(%)Stability at room temperature (%) 내열성(%)Heat resistance (%) 내화학성(%)Chemical Resistance (%) 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 실시예 5Example 5 실시예 6Example 6 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 XX 비교예 3Comparative Example 3 XX

상기 표 3에서 보듯이, 본 발명의 범위에 속하는 실시예의 조성물들은 잔막율, 하프톤 접착력 특성, 상온 경시 안정성, 내열성 및 내화학성 측면에서 고루 우수하게 나타난 반면, 본 발명의 범위에 속하지 않는 비교예의 조성물들은 이들 중 어느 하나 이상의 결과가 저조하였다. 따라서, 본 발명의 조성물으로부터 얻어진 경화막은 액정표시장치의 절연막으로 유용하게 사용될 수 있음을 알 수 있다. As shown in Table 3, the compositions of the Examples belonging to the scope of the present invention are excellent in terms of residual film ratios, halftone adhesive strength characteristics, stability at room temperature, heat resistance and chemical resistance, while those of Comparative Examples The compositions were poor in at least one of these results. Therefore, it can be seen that the cured film obtained from the composition of the present invention can be usefully used as an insulating film of a liquid crystal display device.

Claims (8)

(A) 공중합체;
(B) 7관능기 이상의 광중합성 모노머;
(C) 광중합 개시제; 및
(D) 페닐아미노계 실란 화합물
을 포함하는 감광성 수지 조성물.
(A) a copolymer;
(B) a photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups;
(C) a photopolymerization initiator; And
(D) a phenylamino-based silane compound
.
제 1 항에 있어서,
상기 7관능기 이상의 광중합성 모노머가 하기 화학식 1의 화합물이고,
상기 페닐아미노계 실란 화합물이 하기 화학식 2의 화합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
[화학식 1]
Figure pat00003

상기 식에서, X는 각각 독립적으로 수소 또는 메틸기이고;
Y는 OH기, 아크릴옥시기 또는 메타크릴옥시기이고,
n은 1 내지 4의 정수이다.
[화학식 2]
Figure pat00004

상기 식에서, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소, 또는 직쇄상, 분지상 또는 환상의 C1-6 알킬기이며,
R3, R4, 및 R5는 각각 독립적으로 C1-6 알콕시기 또는 C1-6 탄화수소기이고, R3, R4, 및 R5 중 적어도 하나는 알콕시기이며;
m은 1 내지 6의 정수이고;
a는 1 내지 5의 정수이다.
The method according to claim 1,
Wherein the photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups is a compound represented by the following formula (1)
Wherein the phenylamino silane compound is a compound represented by the following formula (2).
[Chemical Formula 1]
Figure pat00003

Wherein each X is independently hydrogen or a methyl group;
Y is an OH group, an acryloxy group or a methacryloxy group,
n is an integer of 1 to 4;
(2)
Figure pat00004

Wherein R 1 and R 2 are each independently hydrogen or a straight, branched or cyclic C 1-6 alkyl group,
R 3 , R 4 , and R 5 are each independently a C 1-6 alkoxy group or a C 1-6 hydrocarbon group, and at least one of R 3 , R 4 , and R 5 is an alkoxy group;
m is an integer from 1 to 6;
a is an integer of 1 to 5;
제 2 항에 있어서,
상기 화학식 1의 7관능기 이상의 광중합성 모노머가 트리펜타에리트리톨헵타메타크릴레이트인 것을 특징으로 하는, 감광성 수지 조성물.
3. The method of claim 2,
Wherein the photopolymerizable monomer having 7 or more functional groups of Formula 1 is tripentaerythritol hepta methacrylate.
제 2 항에 있어서,
상기 화학식 2의 화합물이 N-페닐아미노프로필트리메톡시실란인 것을 특징으로 하는, 감광성 수지 조성물.
3. The method of claim 2,
Wherein the compound of Formula 2 is N-phenylaminopropyltrimethoxysilane.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 공중합체(A)가 (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위, 및 (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 포함하는 공중합체인 것을 특징으로 하는, 감광성 수지 조성물.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the copolymer (A) comprises a structural unit derived from (A-1) an ethylenically unsaturated carboxylic acid, an ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, or a mixture thereof, and (A-2) a constituent unit derived from an aromatic ring-containing ethylenically unsaturated compound Wherein the photopolymerizable compound is a copolymer comprising a unit represented by the following formula (1).
제 5 항에 있어서,
상기 공중합체(A)가 이 공중합체를 구성하는 구성단위의 총 몰수에 대하여 (A-1) 에틸렌성 불포화 카복실산, 에틸렌성 불포화 카복실산 무수물, 또는 이들의 혼합물로부터 유도되는 구성단위를 5 내지 98 몰% 포함하고, (A-2) 방향족환 함유 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 2 내지 95 몰% 포함하며, 추가로 (A-3) 상기 (A-1) 및 (A-2)와는 상이한 에틸렌성 불포화 화합물로부터 유도되는 구성단위를 0 내지 75 몰% 포함하는 것을 특징으로 하는, 감광성 수지 조성물.
6. The method of claim 5,
Wherein the copolymer (A) contains a constituent unit derived from an ethylenically unsaturated carboxylic acid (A-1), an ethylenically unsaturated carboxylic acid anhydride, or a mixture thereof, relative to the total moles of the constituent units constituting the copolymer, (A-2) an aromatic ring-containing ethylenically unsaturated compound in an amount of 2 to 95 mol%, and further (A-3) And 0 to 75 mol% of constitutional units derived from different ethylenically unsaturated compounds.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 광중합 개시제(C)가 옥심계 화합물인 것을 특징으로 하는, 감광성 수지 조성물.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the photopolymerization initiator (C) is a oxime-based compound.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물이 감광성 수지 조성물 전체 중량(고형분 함량 기준)에 대하여 상기 공중합체(A)를 0.5 내지 75 중량%의 양으로 포함하고,
상기 공중합체(A) 100 중량부(고형분 함량 기준)에 대하여, 상기 7관능기 이상의 광중합성 모노머(B) 1 내지 100 중량부, 상기 광중합성 개시제(C) 1 내지 20 중량부, 및 상기 페닐아미노계 실란 화합물(D) 0.001 내지 5 중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 감광성 수지 조성물.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the photosensitive resin composition contains the copolymer (A) in an amount of 0.5 to 75% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition (based on the solid content)
1 to 100 parts by weight of the photopolymerizable monomer (B) having 7 or more functional groups, 1 to 20 parts by weight of the photopolymerization initiator (C), and 1 to 20 parts by weight of the phenylamino (meth) acrylate based on 100 parts by weight (based on the solid content) , And 0.001 to 5 parts by weight of a silane compound (D).
KR1020150066614A 2015-05-13 2015-05-13 Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same KR102450387B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150066614A KR102450387B1 (en) 2015-05-13 2015-05-13 Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150066614A KR102450387B1 (en) 2015-05-13 2015-05-13 Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160133724A true KR20160133724A (en) 2016-11-23
KR102450387B1 KR102450387B1 (en) 2022-10-04

Family

ID=57541250

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150066614A KR102450387B1 (en) 2015-05-13 2015-05-13 Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102450387B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180086150A (en) * 2017-01-20 2018-07-30 동우 화인켐 주식회사 A photo sensitive resin composition, a color filter comprising a black metrics, a column spacer or black column spacer prepared by using the composition, and a display devide comprising the color filter

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000012118A (en) * 1998-07-31 2000-02-25 기타지마 요시토시 Photosensitive resin composition and colour filter
KR20080046560A (en) * 2006-11-22 2008-05-27 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition and spacer for liquid crystal panel
KR20090114494A (en) 2008-04-30 2009-11-04 주식회사 동진쎄미켐 Negative photosensitive resin composition
KR20140096423A (en) * 2013-01-25 2014-08-06 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Colored photosensitive resin composition with dual property for column spacer and black matrix
KR20140103372A (en) * 2013-02-15 2014-08-27 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Colored photosensitive resin composition and light shielding spacer prepared therefrom

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000012118A (en) * 1998-07-31 2000-02-25 기타지마 요시토시 Photosensitive resin composition and colour filter
KR20080046560A (en) * 2006-11-22 2008-05-27 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition and spacer for liquid crystal panel
KR100911076B1 (en) 2006-11-22 2009-08-06 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Photosensitive resin composition and spacer for liquid crystal panel
KR20090114494A (en) 2008-04-30 2009-11-04 주식회사 동진쎄미켐 Negative photosensitive resin composition
KR20140096423A (en) * 2013-01-25 2014-08-06 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Colored photosensitive resin composition with dual property for column spacer and black matrix
KR20140103372A (en) * 2013-02-15 2014-08-27 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 Colored photosensitive resin composition and light shielding spacer prepared therefrom

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180086150A (en) * 2017-01-20 2018-07-30 동우 화인켐 주식회사 A photo sensitive resin composition, a color filter comprising a black metrics, a column spacer or black column spacer prepared by using the composition, and a display devide comprising the color filter

Also Published As

Publication number Publication date
KR102450387B1 (en) 2022-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20150033793A (en) Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same
KR102235159B1 (en) Photosensitive resin composition, and insulating film and electric device using same
KR20160050827A (en) Photosensitive resin composition and insulating film using same
KR102360238B1 (en) Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same
KR20160059316A (en) Photosensitive resin composition and organic insulating film using same
KR102235156B1 (en) Negative-type photosensitive resin composition
KR102450387B1 (en) Negative-type photosensitive resin composition and insulating film using same
KR101807881B1 (en) Photosensitive resin composition and dielectric layer using same
KR102630893B1 (en) Photosensitive resin composition and cured film prepared therefrom
KR102508652B1 (en) Transparent photosensitive resin composition and organic insulating film using same
KR102207172B1 (en) Negative-type photosensitive resin composition
KR20140102347A (en) Photosensitive resin composition comprising an oxime ester photoinitiator and insulating film using the same
KR20170039560A (en) Photosensitive resin composition and organic insulating film using same
KR102493958B1 (en) Photosensitive resin composition and organic insulating film prepared therefrom
KR20170060902A (en) Photosensitive resin composition and organic insulating film using same
KR20160092774A (en) Photosensitive resin composition and organic insulating film using same
KR20160092793A (en) Photosensitive resin composition and insulating film using same
KR20150048307A (en) Photosensitive resin composition
KR20160058551A (en) Photosensitive resin composition and organic insulating film using same
KR20170065190A (en) Photosensitive resin composition and organic insulating film using same
KR20150127360A (en) Photosensitive resin composition and insulating film using same
KR20210061503A (en) Photosensitive resin composition and insulating layer prepared therefrom
KR20210061011A (en) Photosensitive resin composition and insulating layer prepared therefrom
KR20130104297A (en) Photosensitive resin composition and insulating film using the same
KR20180048021A (en) Photosensitive resin composition and organic insulating film prepared therefrom

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant