KR20160122910A - 반도체 소자 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 일 실시예들에 따른 반도체 소자를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3a, 3b, 3c 및 3d는 각각 도 2의 I-I'선, II-II'선 III-III'선, 및 IV-IV'선에 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 소자를 설명하기 위한 것으로, 도 2의 I-I'선에 따른 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 소자를 설명하기 위한 것으로, 각각 도 2의 I-I'선 및 III-III'선에 따른 단면도이다.
도 6a 내지 도 14a, 도 6b 내지 도 14b, 도 6c 내지 도 14c, 도 10d 내지 도 14d는 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 소자의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 15는 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 소자를 포함하는 전자 시스템의 블록도이다.
도 16은 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 소자를 포함하는 전자 장치의 구성을 보여주는 블록도이다.
도 17은 본 발명의 실시예들에 따른 SRAM 셀의 등가 회로도이다.
도 18 내지 도 20은 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 소자를 포함하는 멀티미디어 장치의 예들을 나타낸 도면들이다.
Claims (20)
- 그의 상부에 활성 패턴을 갖는 기판; 및
상기 활성 패턴을 가로지르며, 상기 활성 패턴을 제1 영역 및 제2 영역으로 양분하는 분리 구조체를 포함하되,
상기 분리 구조체는, 상기 제1 및 제2 영역들 사이에 정의된 리세스 영역을 채우는 제1 절연 패턴을 포함하고,
상기 제1 절연 패턴은 오목한(concave) 상면을 갖는 반도체 소자.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 절연 패턴의 상면의 중앙은, 상기 제1 절연 패턴의 상면의 양 가장자리들보다 더 낮은 반도체 소자.
- 제1항에 있어서,
상기 분리 구조체는 상기 제1 절연 패턴을 덮는 제2 절연 패턴을 더 포함하는 반도체 소자.
- 제3항에 있어서,
상기 제2 절연 패턴의 상부의 폭은, 상기 제1 절연 패턴의 폭보다 더 큰 반도체 소자.
- 제3항에 있어서,
평면적 관점에서, 상기 제1 및 제2 절연 패턴들은 라인 형태를 갖는 반도체 소자.
- 제3항에 있어서,
상기 기판 상에, 상기 활성 패턴을 덮는 층간 절연막을 더 포함하되,
상기 제2 절연 패턴의 상면은 상기 층간 절연막의 상면과 공면을 이루는 반도체 소자.
- 제6항에 있어서,
상기 제2 절연 패턴과 상기 층간 절연막은 동일한 물질을 포함하는 반도체 소자.
- 제3항에 있어서,
상기 분리 구조체와 인접하며, 상기 제1 및 제2 영역들과 각각 전기적으로 접속하는 콘택들을 더 포함하되,
상기 콘택들은 상기 제2 절연 패턴의 양 가장자리들을 관통하는 반도체 소자.
- 제1항에 있어서,
상기 기판에, 상기 활성 패턴을 정의하는 소자 분리막을 더 포함하고,
상기 제1 절연 패턴은 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라 상기 소자 분리막 상으로 연장되는 반도체 소자.
- 제9항에 있어서,
상기 활성 패턴의 상부는 상기 소자 분리막 상으로 돌출되고,
상기 리세스 영역의 바닥면은 상기 소자 분리막의 상면보다 더 낮은 반도체 소자.
- 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 영역들을 각각 가로지르는 제1 및 제2 게이트 전극들을 더 포함하되,
상기 분리 구조체는 상기 제1 및 제2 게이트 전극들 사이에서 이들과 평행하게 연장되는 반도체 소자.
- 제11항에 있어서,
각각의 상기 제1 및 제2 게이트 전극들의 양 측에 제공되는 소스/드레인 영역들을 더 포함하되,
상기 제1 절연 패턴은, 그와 인접하는 상기 제1 영역의 소스/드레인 영역과 그와 인접하는 상기 제2 영역의 소스/드레인 영역 사이에 개재된 반도체 소자.
- 제11항에 있어서,
상기 제1 절연 패턴의 상면은, 상기 제1 및 제2 게이트 전극들의 상면들보다 낮고, 상기 활성 패턴의 상면보다 높은 반도체 소자.
- 제11항에 있어서,
각각의 상기 제1 및 제2 게이트 전극들의 양 측벽들 상에 제공된 게이트 스페이서들; 및
상기 게이트 전극과 상기 게이트 스페이서들 사이, 및 상기 게이트 전극과 상기 활성 패턴 사이에 개재된 게이트 유전막을 더 포함하고,
상기 게이트 스페이서들 및 상기 게이트 유전막은 상기 게이트 전극을 따라 연장되는 반도체 소자.
- 제1항에 있어서,
상기 분리 구조체는 상기 제1 절연 패턴의 양 측벽들을 덮는 스페이서들을 더 포함하고,
상기 제1 절연 패턴의 상면의 중앙은, 상기 스페이서들의 상면들보다 더 낮은 반도체 소자.
- 제15항에 있어서,
상기 제1 및 제2 영역들 사이의 상기 제1 절연 패턴의 바닥면은 상기 스페이서들의 바닥면들보다 더 낮은 반도체 소자.
- 제1항에 있어서,
상기 분리 구조체는 상기 제1 절연 패턴을 덮는 도전 패턴을 더 포함하는 반도체 소자.
- 제17항에 있어서,
상기 활성 패턴은 복수로 제공되고,
적어도 하나의 상기 활성 패턴을 가로지르는 제3 게이트 전극을 더 포함하되,
상기 제3 게이트 전극은 상기 분리 구조체와 일 방향으로 정렬되며, 상기 일 방향은 상기 제3 게이트 전극 및 상기 분리 구조체의 연장 방향이고,
상기 도전 패턴의 일 말단은 상기 제3 게이트 전극의 일 말단과 연결되는 반도체 소자.
- 기판 상부의 활성 패턴들을 가로지르는 게이트 전극들; 및
한 쌍의 상기 게이트 전극들 사이에서 상기 활성 패턴들을 가로지르는 분리 구조체를 포함하되,
상기 분리 구조체는, 상기 활성 패턴들을 뚫고 상기 기판의 바닥면을 향해 연장되는 제1 절연 패턴을 포함하고,
상기 제1 절연 패턴의 상면은, 상기 게이트 전극들의 상면들보다 낮고, 상기 활성 패턴들의 상면들보다 높은 반도체 소자.
- 제19항에 있어서,
상기 분리 구조체는 상기 제1 절연 패턴을 덮는 제2 절연 패턴을 더 포함하고,
상기 제2 절연 패턴의 상부의 폭은, 상기 제1 절연 패턴의 폭보다 더 큰 반도체 소자.
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