KR20160037699A - Emissions quantity adjustable air blower unit - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 에어 블로워 유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 순환기체를 과급하여 기체를 송풍시키되, 순환기체의 과급량을 조절하여 기체의 신속히 송풍시키고, 필요로하는 송풍량 및 속도를 조절할 수 있어 호환성은 물론, 작업효율을 향상시킬 수 있는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛에 관한 것이다.
The present invention relates to an air blower unit, and more particularly, to an air blower unit capable of blowing a gas by supercharging a circulating gas, adjusting a supercharge amount of the circulating gas to quickly blow gas, Of course, the present invention relates to an emission controllable air blower unit capable of improving working efficiency.
일반적으로, 에어 블러워는 외부 기체를 내부로 유입시키도록 송풍되거나 내부 기체를 외부로 배출시키도록 송풍시키는 것이다.Generally, the air blast is blown to blow the outside gas into the inside or blow out the inside gas to the outside.
이러한 에어 블러워는 팬을 회전시켜 송풍시키는 것으로, 장기사용 시, 모터에 고열이 발생되고, 스파크 등이 발생되는 안전에 문제점이 있었다.Such an air blur is caused by rotating the fan to blow air, and there is a problem in safety that a high temperature is generated in the motor and sparks are generated in a long-term use.
이에, 등록실용신안 제 20-0172668호에 개진된 바와 같이, 흡, 배기장치는 좌단 곡면으로부터 나팔형 배출공이 형성되고, 중간 외주연에 나사부를 가진 원통형체와 좌단 곡면을 가진 원통형 외체를 결합하여 공압실과 화살표 방향으로 압축공기가 분출되어 이젝팅 현상으로 흡, 배기시키게 된다.Thus, as disclosed in Registration Utility Model No. 20-0172668, the intake and exhaust device has a trumpet-type exhaust hole formed from a curved surface at the left end, and a cylindrical body having a threaded portion at the intermediate outer periphery and a cylindrical outer body having a left- Compressed air is ejected in the direction of the arrow and the pneumatic compartment and is sucked and exhausted by the ejection phenomenon.
그러나 이 흡, 배기장치는 공압실의 분출구가 압축공기가 공압실로 공급되는 부분보다 흡기관 방향에 위치되어 압축공기 분출방향이 원통형체의 배출공보다 흡기관으로 분출되어 흡기관으로 흡입되는 공기를 오히려 방해하여 배압이 발생되는 문제점이 있다.However, this suction / exhaust device is designed such that the air outlet port of the pneumatic chamber is positioned in the direction of the intake pipe as compared with the portion where the compressed air is supplied to the pneumatic chamber, and the direction of the compressed air is ejected into the intake pipe rather than the discharge hole of the cylindrical body, There is a problem that the back pressure is generated due to interference.
특히, 흡기관을 고정너트를 이용하여 원형통체에 고정시키는데, 압축공기에 의한 압력이나 외부로부터 전달되는 충격에 의해 고정이 해제되어 발생되는 공압이 불안정하여 순환량이 불규칙한 문제점이 있다.Particularly, the intake tube is fixed to the circular cylinder by using a fixing nut. The air cylinder is unstable due to the pressure of the compressed air or the shock which is transmitted from the outside, resulting in irregular circulation amount.
이를 해소하기 위해, 흡기관과 고정너트, 원통형체를 용접 등으로 밀폐 및 고정시키고 있으나, 운행 중, 조건에 따라 압력을 조절하지 못해 손실이 발생될 수 있으며, 해당 조건에 맞는 압력을 발생시키는 다른 흡, 배기장치로 교체설치해야 되는 불편함이 있었다.
In order to solve this problem, the intake tube, the fixing nut and the cylindrical body are sealed and fixed by welding or the like. However, during operation, the pressure can not be controlled due to the condition, There was an inconvenience in that it had to be replaced and replaced with a suction / exhaust device.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 유입관과 배출관 사이에 과급공간부를 형성시키고, 과급공간부를 배출공간부에 연통시키는 과급공이 형성되도록 유입관의 타단이 배출관의 일단과 일정 간격 이격되어 결합시키는 결합수단, 및 과급공간부의 공간 사이즈를 조절하여 과급공을 통해 배출공간부로 배출되는 순환기체의 량을 조절하기 위한 조절수단,을 구성하여 과급되는 순환기체에 의해 유입관을 통해 기체가 유입되어 배출관으로 신속하게 배출되고, 순화기체의 과급량을 조절하여 유입관과 배출관을 통해 송풍량을 조절할 수 있어 호환성은 물론, 작업효율을 향상시킬 수 있는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛을 제공하는 것이 목적이다.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a vacuum cleaner having a supercharging space, And a control means for controlling the amount of the circulating gas discharged to the discharge space portion through the supercharging ball by adjusting the space size of the supercharging space portion, The air blower unit is capable of controlling the amount of air blown through the inflow pipe and the discharge pipe by adjusting the supercharge amount of the purifying gas, thereby improving the working efficiency as well as the compatibility with the air blower unit The purpose is to provide.
상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 내부에 유입공간부를 갖고, 기체가 유입되기 위한 유입관, 상기 유입공간부와 연통되는 배출공간부를 갖고, 상기 유입관으로 유입된 기체가 배출되기 위한 배출관, 상기 유입관과 배출관을 연결시키되, 유입관과 배출관 사이에 과급공간부를 형성시키고, 상기 과급공간부를 상기 배출공간부에 연통시키는 과급공이 형성되도록 상기 유입관의 타단이 상기 배출관의 일단과 일정 간격 이격되어 결합시키는 결합수단, 및 상기 과급공간부의 공간 사이즈를 조절하여 상기 과급공을 통해 배출공간부로 배출되는 순환기체의 량을 조절하기 위한 조절수단,을 포함하고, 상기 과급공간부로 순환기체를 공급시키면 상기 과급공으로 통해 배출공간부로 배출됨에 따라 압력이 발생되어 상기 유입관의 유입공간부로 기체가 유입되어 공급된 순환기체와 함께 배출되고, 상기 조절수단에 의해 순환기체의 배출량을 조절하여 상기 유입관으로 유입되어 배출관으로 배출되는 기체 배출량을 설정하고자 하는 배출량으로 조절한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an exhaust gas purifying apparatus including an inlet pipe having an inlet space therein, an inlet pipe for introducing gas, a discharge space communicating with the inlet space, a discharge pipe for discharging gas introduced into the inlet pipe, The other end of the inflow pipe is spaced apart from the one end of the discharge pipe by a predetermined distance so as to form a charge space between the inflow pipe and the discharge pipe and to form a charge hole communicating the charge space with the discharge space part, And adjusting means for controlling the amount of the circulating gas discharged to the discharge space portion through the supercharging ball by adjusting the space size of the supercharging space portion. When the circulating gas is supplied to the supercharging space portion, Pressure is generated as it is discharged to the discharge space part through the supercharger so that the gas can flow into the inflow space part of the inflow pipe Is being discharged with the gas supply cycle, which regulates the emission by controlling the discharge amount of the circulating gas by the control means is introduced into the inlet pipe to set up a gas emissions discharged into the discharge pipe.
바람직하게, 상기 유입관의 유입공간부는, 단면적이 가장 적은 유입협소부, 상기 유입협소부를 기준으로, 일단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사진 제1유입공간부, 및 상기 유입협소부를 기준으로, 타단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사진 제2유입공간부,를 포함하고, 상기 유입협소부는 일단보다 타단과 더 인접하도록 위치되며, 상기 제2유입공간부의 면 기울기는 제1유입공간부의 면 기울기보다 완만하게 형성된다.Preferably, the inflow space portion of the inflow tube includes an inflow narrowing portion having the smallest cross-sectional area, a first inflow space portion whose surface is inclined so that the cross-sectional area gradually increases toward the one end with reference to the inflow narrowing portion, Wherein the inlet narrow portion is located so as to be closer to the other end than the one end, and the surface inclination of the second inlet space portion is smaller than that of the second inlet portion, 1 < / RTI > inlet space.
그리고 상기 배출관의 배출공간부는, 단면적이 가장 적은 배출협소부, 상기 배출협소부를 기준으로, 일단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되되, 유선형으로 형성된 제1배출공간부, 및 상기 배출협소부를 기준으로, 타단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사진 제2배출공간부,를 포함한다.The discharge space of the discharge pipe has a discharge narrowing part having the smallest sectional area, a first discharge space part formed in a streamlined shape with a gradually increasing sectional area toward the one end with reference to the discharge narrowing part, And a second discharge space portion whose surface is inclined so that the cross-sectional area gradually increases toward the other end.
또한, 상기 배출협소부의 단면적은 유입협소부의 단면적보다 적게 형성된다.In addition, the sectional area of the discharge narrow portion is formed to be smaller than the sectional area of the inlet narrow portion.
그리고 상기 결합수단은, 상기 유입관의 외주면을 따라 돌출형성된 유입결합블럭, 상기 유입결합블럭의 외주면을 따라 형성된 유입나사산, 상기 유입결합블럭의 외측을 감싸되, 상기 유입관과의 사이에 상기 과급공간부를 형성하도록 상기 배출관에 연장형성된 배출결합관, 및 상기 유입나사산에 대응되도록 상기 배출결합관의 내주면을 따라 형성된 배출나사산,을 포함한다.The coupling means may include an inlet coupling block protruding along the outer circumferential surface of the inlet pipe, an inlet thread formed along an outer circumferential surface of the inlet coupling block, an outer circumferential wall surrounding the inlet coupling block, And a discharge thread formed along the inner circumferential surface of the discharge coupling tube so as to correspond to the inflow thread.
또한, 상기 배출결합관에는 상기 과급공간부로 순환기체를 공급하기 위한 과급공급공이 형성되고, 상기 과급공간부의 단면적은 상기 과급공급공이 형성된 일단부에서 상기 유입관의 중심축을 기준으로 반대편 타단부로 갈수록 점진적으로 감소되도록 형성된다.Further, the discharge coupling pipe is provided with a supercharging supply hole for supplying a circulating gas to the supercharging space, and the cross-sectional area of the supercharging space is gradually increased from one end of the supercharging supply hole to the opposite end of the inflow pipe, And is formed to gradually decrease.
그리고 상기 조절수단은, 상기 과급공간부에 위치되는 튜브, 및 상기 튜브의 내부 압력을 조절하여 팽창 또는 수축시킴에 따라 상기 과급공간부의 사이즈를 조절하기 위한 펌프,를 포함한다.The adjusting means includes a tube disposed in the supercharging space and a pump for controlling the size of the supercharging space according to expansion or contraction of the tube by adjusting the inner pressure of the tube.
또한, 상기 조절수단은, 상기 과급공간부에 위치되는 조절블럭, 상기 유입결합블럭에 다수 개 형성되되, 각 내주면을 따라 나사산이 형성된 조절공, 상기 조절공에 체결되는 조절볼트, 및 상기 조절블럭을 조절볼트와 연결시키되, 상기 조절블럭을 조절볼트 방향으로 밀착시키기 위한 조절스프링,을 포함하고, 상기 조절볼트를 과급공간부의 과급공 방향으로 이동시킬 경우, 상기 조절블럭을 과급공 방향으로 이동되어 상기 과급공간부의 사이즈를 축소시키고, 상기 조절볼트를 과급공 반대 방향으로 이동시킬 경우, 상기 조절블럭을 이동시켜 과급공간부의 사이즈를 증가시키되, 상기 조절스프링에 의해 조절블럭이 조절볼트 방향으로 밀착된다.The control means may include a control block positioned in the boost space, a plurality of control holes formed in the inlet coupling block and having threads formed along the inner circumferential surface thereof, an adjustment bolt coupled to the control hole, And an adjusting spring for connecting the adjusting bolt with the adjusting bolt in a direction of the adjusting bolt. When the adjusting bolt is moved in the direction of the overloading space of the boosting space part, When the adjustment bolt is moved in the direction opposite to the supercharging ball, the size of the supercharging space is increased by moving the adjusting block, and the adjusting block is brought into close contact with the adjusting bolt in the direction of the adjusting bolt .
그리고 상기 유입공간부 또는 배출공간부 중 어느 하나에 가이드부가 더 구비되고, 상기 가이드부는 원추형의 몸체가 등간격의 다수 날개에 의해 상기 유입관 또는 배출관에 고정된다.Further, a guide part is further provided in any one of the inflow space and the discharge space part, and the guide part is fixed to the inflow pipe or the discharge pipe by a plurality of equally spaced wings of a conical body.
또한, 상기 유입공간부와 배출공간부 및 과급공간부의 각 내면에 불소수지 코팅층이 형성된다.Further, a fluororesin coating layer is formed on the inner surfaces of the inflow space, the discharge space, and the boost space.
그리고 상기 에어 블로워 유닛을 가열시키기 위한 가열부가 더 구비된다.Further, a heating unit for heating the air blower unit is further provided.
또한, 상기 가열부는 상기 조절수단에 구비된다.In addition, the heating unit is provided in the adjusting means.
그리고 상기 가열부는 상기 유입관과 배출관의 외주를 따라 구비된다.
The heating unit is provided along the outer circumference of the inflow pipe and the discharge pipe.
상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛에 의하면, 과급되는 순환기체에 의해 압력차가 발생되어 유입관을 통해 기체가 유입되어 배출관으로 신속하게 배출되고, 순화기체의 과급량을 조절하여 유입관과 배출관을 통해 송풍량을 조절할 수 있어 호환성은 물론, 작업효율을 향상시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.
As described above, according to the air-blower unit of the present invention, the pressure difference is generated by the circulating gas to be supercharged, the gas is introduced through the inflow pipe and is quickly discharged to the discharge pipe, and the supercharge amount of the purifying gas is controlled So that the amount of blowing air can be adjusted through the inflow pipe and the discharge pipe, which is a very useful and effective invention that can improve not only the compatibility but also the working efficiency.
도 1은 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛을 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛의 사용상태를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛에 의한 기체 유선 분포를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛에 의한 압력 분포를 도시한 도면이며,
도 5는 본 발명에 따른 결합수단을 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에 따른 과급공간부의 다른 실시 예를 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에 따른 조절수단을 도시한 도면이고,
도 8은 본 발명에 따른 조절수단의 다른 실시 예를 도시한 도면이며,
도 9는 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛에 가이드부가 더 구비된 상태를 도시한 도면이고,
도 10은 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛에 가열부가 더 구비된 상태를 도시한 도면이며,
도 11은 본 발명에 따른 가열부의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.1 is a view showing an air blower unit according to the present invention,
2 is a view showing the use state of the air blower unit according to the present invention,
3 is a view showing a distribution of gas flow by the air blower unit according to the present invention,
4 is a view showing the pressure distribution by the air blower unit according to the present invention,
Figure 5 is a view showing a coupling means according to the present invention,
6 is a view showing another embodiment of the boost space unit according to the present invention,
Figure 7 is a view showing the adjusting means according to the present invention,
8 is a view showing another embodiment of the adjusting means according to the present invention,
9 is a view showing a state in which a guide portion is further provided in the air blower unit according to the present invention,
10 is a view showing a state in which a heating unit is further provided in the air blower unit according to the present invention,
11 is a view showing another embodiment of the heating unit according to the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
또한, 본 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고 단지 예시로 제시된 것이며, 그 기술적 요지를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.It should be noted that the present invention is not limited to the scope of the present invention but is only illustrative and various modifications are possible within the scope of the present invention.
도 1은 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛의 사용상태를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛에 의한 기체 유선 분포를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛에 의한 압력 분포를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 결합수단을 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 과급공간부의 다른 실시 예를 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 조절수단을 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 조절수단의 다른 실시 예를 도시한 도면이며, 도 9는 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛에 가이드부가 더 구비된 상태를 도시한 도면이고, 도 10은 본 발명에 따른 에어 블로워 유닛에 가열부가 더 구비된 상태를 도시한 도면이며, 도 11은 본 발명에 따른 가열부의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a view showing an air blower unit according to the present invention, FIG. 2 is a view showing the use state of the air blower unit according to the present invention, and FIG. FIG. 4 is a view showing a pressure distribution by the air blower unit according to the present invention, FIG. 5 is a view showing a coupling means according to the present invention, and FIG. 6 is a cross- Fig. 7 is a view showing the adjusting means according to the present invention, Fig. 8 is a view showing another embodiment of the adjusting means according to the present invention, and Fig. 9 is a view showing another embodiment of the present invention FIG. 10 is a view showing a state in which a heating unit is further provided in the air blower unit according to the present invention, and FIG. 11 is a view showing a state in which the heating unit Fig.
도면에서 도시한 바와 같이, 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛(10)은 유입관(100)과 배출관(200), 결합수단(300) 및 조절수단(400)으로 구성된다.As shown in the figure, the air-
유입관(100)은 내부에 유입공간부(110)를 갖고, 기체가 유입되기 위해 구비된다.The
그리고 배출관(200)은 유입공간부(110)와 연통되는 배출공간부(210)를 갖고, 유입관(100)으로 유입된 기체가 배출되기 위해 구비된다.The
결합수단(300)은 유입관(100)과 배출관(200)을 연결시키되, 유입관(100)과 배출관(200) 사이에 과급공간부(302)를 형성시키게 된다.The coupling means 300 connects the
여기서, 과급공간부(302)를 배출공간부(210)에 연통시키는 과급공(304)이 형성되도록 유입관(100)의 타단이 배출관(200)의 일단과 일정 간격 이격되어 결합시키게 된다.The other end of the
또한 조절수단(400)은 과급공간부(302)의 공간 사이즈를 조절하여 과급공(304)을 통해 배출공간부(210)로 배출되는 순환기체의 량을 조절하기 위해 구비된다.The adjusting means 400 is provided to adjust the amount of the circulating gas discharged to the
이러한 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛(10)의 작동상태를 살펴보면, 도 2 내지 도 4에서 도시한 바와 같이, 과급공간부(302)로 순환기체를 공급시키면 과급공(304)으로 통해 배출공간부(210)로 배출됨에 따라 압력이 발생되어 유입관(100)의 유입공간부(110)로 기체가 유입되어 공급된 순환기체와 함께 배출된다.As shown in FIGS. 2 to 4, when the circulating gas is supplied to the
도 3은 에어 블로워 유닛(10)에 의한 기체 및 순환기체의 유선 분포를 도시한 것이고, 도 4는 에어 블로워 유닛(10)에 의한 기체 및 순환기체의 압력 분포를 도시한 것이다.FIG. 3 shows the distribution of the air flow of the gas and the circulating gas by the
여기서, 조절수단(400)에 의해 순환기체의 배출량을 조절하여 유입관(100)으로 유입되어 배출관(200)으로 배출되는 기체 배출량을 설정하고자 하는 배출량으로 조절할 수 있는 것이다.The
이를 위한, 유입관(100)의 유입공간부(110)는 유입협소부(112)와 제1유입공간부(114) 및 제2유입공간부(116)로 구성된다.The
유입협소부(112)는 단면적이 가장 적은 부분이고, 제1유입공간부(114)는 유입협소부(112)를 기준으로, 일단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사지게 형성된다.The
그리고 제2유입공간부(116)는 유입협소부(112)를 기준으로, 타단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사지게 형성된다.The second
여기서, 유입협소부(112)는 일단보다 타단과 더 인접하도록 위치되며, 제2유입공간부(116)의 면 기울기는 제1유입공간부(114)의 면 기울기보다 완만하게 형성된다.Here, the
또한 배출관(200)의 배출공간부(210)는 배출협소부(212)와 제1배출공간부(214) 및 제2배출공간부(216)로 구성된다.The
배출협소부(212)는 단면적이 가장 적은 부분이며, 제1배출공간부(214)는 배출협소부(212)를 기준으로, 일단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되되, 유선형으로 형성된다.The first
그리고 제2배출공간부(216)는 배출협소부(212)를 기준으로, 타단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사지게 형성된다.The
여기서, 배출협소부(212)의 단면적은 유입협소부(112)의 단면적보다 적게 형성된다.Here, the sectional area of the discharge
그리고 결합수단(300)은 도 5에서 도시한 바와 같이, 유입결합블럭(310)과 유입나사산(320), 배출결합관(330) 및 배출나사산(340)으로 구성된다.The coupling means 300 comprises an
유입결합블럭(310)은 유입관(100)의 외주면을 따라 돌출형성되고, 유입나사산(320)은 유입결합블럭(310)의 외주면을 따라 형성된다.The
또한 배출결합관(330)은 유입결합블럭(310)의 외측을 감싸되, 유입관(100)과의 사이에 과급공간부(302)를 형성하도록 배출관(200)에 연장형성된다.The
배출나사산(340)은 유입나사산(320)에 대응되도록 배출결합관(330)의 내주면을 따라 형성된다.The
이때, 과급공(304)이 형성된 과급공간부(302)의 단부를 따라 다수의 가이드턱(350)이 더 형성되어 순환기체를 과급공(304)을 통해 유입공간부(110) 또는 배출공간부(210)로 더욱 용이하게 공급하게 된다.A plurality of
이러한 가이드턱(350)은 유입관(100) 또는 배출관(200)의 중심축과 평행하게 형성되거나 또는 일측방향으로 경사지거나 또는 일측방향으로 호형상으로 형성될 수도 있다.The
또한 배출결합관(330)에는 과급공간부(302)로 순환기체를 공급하기 위한 과급공급공(306)이 형성된다.Further, the
그리고 도 6에서 도시한 바와 같이, 과급공간부(302)의 단면적은 과급공급공(306)이 형성된 일단부(302a)에서 유입관(100)의 중심축을 기준으로 반대편 타단부(302b)로 갈수록 점진적으로 감소되도록 형성된다.6, the cross-sectional area of the
이러한 과급공간부(302)를 도 6에서 다시 설명하면, 유입관(100)의 중심축을 기준으로, 일단부(302a)는 상단부이고, 타단부(302b)는 하단부이다.6, one
이는 일 실시 예이며, 경우에 따라 일단부(302a)와 타단부(302b)의 위치는 변경됨이 당연하다.This is an embodiment, and it is natural that the positions of the one
그리고 조절수단(400)은 도 7에서 도시한 바와 같이, 튜브(410)와 펌프(420)로 구성된다.The adjusting means 400 comprises a
튜브(410)는 과급공간부(302)에 위치되어 수축 및 팽창되고, 펌프(420)는 튜브(410)의 내부 압력을 조절하여 튜브(410)를 팽창 또는 수축시킴에 따라 과급공간부(302)의 사이즈를 조절하게 된다.The
한편, 도 8에서 도시한 바와 같이, 다른 실시 예의 조절수단(400')은 조절블럭(410')과 조절공(420'), 조절볼트(430') 및 조절스프링(440')으로 구성된다.8, the adjusting means 400 'of the other embodiment is composed of the adjusting block 410' and the adjusting hole 420 ', the adjusting bolt 430' and the adjusting spring 440 ' .
조절블럭(410')은 과급공간부(302)에 위치되고, 조절공(420')은 유입결합블럭(310)에 다수 개 형성되되, 각 내주면을 따라 나사산이 형성된다.The control block 410 'is located in the
그리고 조절볼트(430')는 조절공(420')에 체결되며, 조절스프링(440')은 조절블럭(410')을 조절볼트(430')와 연결시키되, 조절블럭(410')을 조절볼트(430') 방향으로 밀착시키기 위해 구비된다.The adjusting bolt 430 'is fastened to the adjusting hole 420' and the adjusting spring 440 'connects the adjusting block 410' to the adjusting bolt 430 ' In the direction of the bolt 430 '.
이러한 다른 실시 예의 조절수단(400')의 작동상태를 살펴보면, 조절볼트(430')를 과급공간부(302)의 과급공(304) 방향으로 이동시킬 경우, 조절블럭(410')을 과급공(304) 방향으로 이동되어 과급공간부(302)의 사이즈를 축소시키게 된다.When the adjusting bolt 430 'is moved in the direction of the boosting
반대로, 조절볼트(430')는 과급공 반대 방향으로 이동시킬 경우, 조절블럭(410')을 이동시켜 과급공간부(302)의 사이즈를 증가시키되, 조절스프링(440')에 의해 조절블럭(410')이 조절볼트(430') 방향으로 밀착된다.On the contrary, when the adjustment bolt 430 'moves in the direction opposite to the boosting direction, the adjustment block 410' is moved to increase the size of the
그리고 도 9에서 도시한 바와 같이, 유입공간부(110) 또는 배출공간부(210) 중 어느 하나에 가이드부(500)가 더 구비된다.As shown in FIG. 9, the
이 가이드부(500)는 원추형의 몸체(510)가 등간격의 다수 날개(520)에 의해 유입관(100) 또는 배출관(200)에 고정된다.The
여기서, 다수의 날개(520)는 유입관(100) 또는 배출관(200)의 중심축과 평행하게 형성되거나 또는 일측방향으로 경사지거나 또는 일측방향으로 호형상으로 형성될 수도 있다.Here, the plurality of
또한 유입공간부(110)와 배출공간부(210) 및 과급공간부(302)의 각 내면에 불소수지 코팅층이 형성된다.Further, a fluororesin coating layer is formed on the inner surfaces of the
이러한 불소수지 코팅층은 각 공간부의 내면 마찰력을 최소화시킴에 따라 배압을 제거하여 기체를 신속하게 송풍시킬 수 있다.The fluororesin coating layer minimizes the frictional force on the inner surface of each space part, thereby removing the back pressure and blowing the gas quickly.
그리고 에어 블로워 유닛(10)을 가열시키기 위한 가열부(600)가 더 구비된다.Further, a
이 가열부(600)는 조절수단(400)에 구비되거나 유입관(100)과 배출관(200)의 외주를 따라 구비된다.The
먼저, 조절수단(400)에 구비되는 가열부(600)는 도 10에서 도시한 바와 같이, 조절수단(400)에 구비되어 에어 블로워 유닛(10)을 가열시키게 된다.First, as shown in FIG. 10, the
이 가열부(600)는 주로 과급공(304)에 인접한 과급공간부(302)와 유입관(100)의 제2유입공간부(116) 및 배출관(200)의 제2배출공간부(216)를 가열시켜 각 공간부의 내면에 미세입자들이 흡착되는 것을 방지 및 최소화시킬 수 있다.The
한편, 도 11에서 도시한 바와 같이, 가열부(600)의 다른 실시 예로, 유입관(100)과 배출관(200)의 외주를 따라 구비 해당 공간부를 가열시키게 된다.11, the space portion is heated along the outer periphery of the
이러한 가열부(600)에 의해 유입공간부(110)와 배출공간부(210)를 가열시켜 미세입자들이 흡착되는 것을 방지 및 최소화시킬 수 있다.The
이와 같은, 가열부(600)는 인가되는 전원에 의해 발열되는 것으로, 일 실시 예로, 실리콘러버히터를 사용할 수도 있다.The
이러한 에어 블로워 유닛(10)은 반도체 공정이나 엘씨디 공정에 사용될 수 있는 것으로, 챔버 내부 기체를 신속하게 배출시킴에 따라, 종래 반도체 공정이나 엘씨디 공정에서 사용되던 송풍팬이 부식되는 것을 해소하고, 공정상 발생되는 미세물질이 부착되는 것을 방지하게 된다.
The
10 : 에어 블로워 유닛
100 : 유입관
200 : 배출관
300 : 결합수단
302 : 과급공간부
304 : 과급공
306 : 과급공급공
350 : 가이드턱
400, 400' : 조절수단
500 : 가이드부
600 : 가열부10: Air blower unit 100: Inflow pipe
200: discharge pipe 300: engaging means
302: Charging space 304: Charger
306: Supercharging supply hole 350: Guide chin
400, 400 ': adjusting means 500: guide portion
600: heating section
Claims (10)
상기 유입공간부와 연통되는 배출공간부를 갖고, 상기 유입관으로 유입된 기체가 배출되기 위한 배출관;
상기 유입관과 배출관을 연결시키되, 유입관과 배출관 사이에 과급공간부를 형성시키고, 상기 과급공간부를 상기 배출공간부에 연통시키는 과급공이 형성되도록 상기 유입관의 타단이 상기 배출관의 일단과 일정 간격 이격되어 결합시키는 결합수단; 및
상기 과급공간부의 공간 사이즈를 조절하여 상기 과급공을 통해 배출공간부로 배출되는 순환기체의 량을 조절하기 위한 조절수단;을 포함하고,
상기 과급공간부로 순환기체를 공급시키면 상기 과급공으로 통해 배출공간부로 배출됨에 따라 압력이 발생되어 상기 유입관의 유입공간부로 기체가 유입되어 공급된 순환기체와 함께 배출되고,
상기 조절수단에 의해 순환기체의 배출량을 조절하여 상기 유입관으로 유입되어 배출관으로 배출되는 기체 배출량을 설정하고자 하는 배출량으로 조절하는 것을 특징으로 하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
An inflow pipe having an inflow space portion therein for inflowing gas;
A discharge pipe having a discharge space portion communicating with the inflow space portion and discharging the gas introduced into the inflow pipe;
The other end of the inflow pipe is spaced apart from the other end of the inflow pipe by a predetermined distance so as to form a supercharging space between the inflow pipe and the discharge pipe, A coupling means for coupling the coupling members; And
And adjusting means for controlling the amount of the circulating gas discharged to the discharge space portion through the supercharging ball by adjusting the space size of the supercharging space portion,
When the circulating gas is supplied to the supercharging space portion, pressure is generated as it is discharged to the discharge space portion through the supercharging ball, and the gas is introduced into the inflow space portion of the inflow pipe and discharged together with the supplied circulating gas.
Wherein the regulating means adjusts the discharge amount of the circulating gas to regulate the amount of exhaust gas flowing into the inflow pipe and discharged to the discharge pipe to a desired amount to be set.
단면적이 가장 적은 유입협소부;
상기 유입협소부를 기준으로, 일단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사진 제1유입공간부; 및
상기 유입협소부를 기준으로, 타단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사진 제2유입공간부;를 포함하고,
상기 유입협소부는 일단보다 타단과 더 인접하도록 위치되며, 상기 제2유입공간부의 면 기울기는 제1유입공간부의 면 기울기보다 완만하게 형성되는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
The inflow pipe according to claim 1,
An inlet narrowest section having the smallest sectional area;
A first inflow space part whose surface is inclined so that the cross-sectional area gradually increases toward the one end with reference to the inflow narrowing part; And
And a second inflow space part whose inclined surface is gradually increased in cross section toward the other end with reference to the inflow narrowing part,
Wherein the inlet narrow portion is positioned closer to the other end than the one end, and the surface inclination of the second inlet portion is formed to be gentler than the surface inclination of the first inlet portion.
단면적이 가장 적은 배출협소부;
상기 배출협소부를 기준으로, 일단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되되, 유선형으로 형성된 제1배출공간부; 및
상기 배출협소부를 기준으로, 타단으로 갈수록 단면적이 점진적으로 증가되도록 면이 경사진 제2배출공간부;를 포함하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
The discharge tube according to claim 2,
A discharge narrowing portion having the smallest cross-sectional area;
A first discharge space part formed in a streamline shape, the sectional area being gradually increased toward the one end with reference to the discharge narrow part; And
And a second exhaust space portion whose inclination is inclined so that the cross-sectional area gradually increases toward the other end with reference to the exhaust narrow portion.
상기 배출협소부의 단면적은 유입협소부의 단면적보다 적게 형성되는 것을 특징으로 하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
The method of claim 3,
Wherein a cross-sectional area of the exhaust narrower portion is formed to be smaller than a cross-sectional area of the inlet narrow portion.
상기 유입관의 외주면을 따라 돌출형성된 유입결합블럭;
상기 유입결합블럭의 외주면을 따라 형성된 유입나사산;
상기 유입결합블럭의 외측을 감싸되, 상기 유입관과의 사이에 상기 과급공간부를 형성하도록 상기 배출관에 연장형성된 배출결합관; 및
상기 유입나사산에 대응되도록 상기 배출결합관의 내주면을 따라 형성된 배출나사산;을 포함하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
2. The apparatus according to claim 1,
An inlet coupling block protruding along an outer circumferential surface of the inlet pipe;
An inflow thread formed along an outer circumferential surface of the inlet coupling block;
A discharge coupling pipe extending from the discharge pipe to surround the outside of the inflow coupling block and forming the boost space between the inflow pipe and the inflow pipe; And
And a discharge thread formed along an inner circumferential surface of the discharge coupling tube to correspond to the inflow thread.
상기 배출결합관에는 상기 과급공간부로 순환기체를 공급하기 위한 과급공급공이 형성되고,
상기 과급공간부의 단면적은 상기 과급공급공이 형성된 일단부에서 상기 유입관의 중심축을 기준으로 반대편 타단부로 갈수록 점진적으로 감소되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
6. The method of claim 5,
Wherein the discharge coupling pipe is provided with a supercharging supply hole for supplying a circulating gas to the supercharging space portion,
Wherein the cross-sectional area of the supercharging space portion is gradually decreased from one end of the supercharging supply hole toward the other opposite end of the inflow pipe relative to the central axis of the inflow pipe.
상기 과급공간부에 위치되는 튜브; 및
상기 튜브의 내부 압력을 조절하여 팽창 또는 수축시킴에 따라 상기 과급공간부의 사이즈를 조절하기 위한 펌프;를 포함하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
2. The apparatus of claim 1,
A tube positioned in the boost space section; And
And a pump for adjusting the size of the boost space part by adjusting the internal pressure of the tube to expand or contract the internal space of the tube.
상기 과급공간부에 위치되는 조절블럭;
상기 유입결합블럭에 다수 개 형성되되, 각 내주면을 따라 나사산이 형성된 조절공;
상기 조절공에 체결되는 조절볼트; 및
상기 조절블럭을 조절볼트와 연결시키되, 상기 조절블럭을 조절볼트 방향으로 밀착시키기 위한 조절스프링;을 포함하고,
상기 조절볼트를 과급공간부의 과급공 방향으로 이동시킬 경우, 상기 조절블럭을 과급공 방향으로 이동되어 상기 과급공간부의 사이즈를 축소시키고,
상기 조절볼트를 과급공 반대 방향으로 이동시킬 경우, 상기 조절블럭을 이동시켜 과급공간부의 사이즈를 증가시키되, 상기 조절스프링에 의해 조절블럭이 조절볼트 방향으로 밀착되는 것을 특징으로 하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
2. The apparatus of claim 1,
An adjustment block located in the boost space part;
A plurality of inlet holes formed in the inlet coupling block and having threads formed along the inner circumferences thereof;
An adjusting bolt fastened to the adjusting hole; And
And an adjusting spring for connecting the adjusting block with the adjusting bolt and closely contacting the adjusting block in the direction of the adjusting bolt,
Wherein when the adjusting bolt is moved in the direction of the boosting space of the boosting space portion, the adjustment block is moved in the boosting hole direction to reduce the size of the boosting space portion,
Characterized in that when the adjusting bolt is moved in the direction opposite to the supercharging ball, the adjusting block is moved so as to increase the size of the supercharging space, and the adjusting block is brought into close contact with the adjusting bolt in the direction of the adjusting bolt unit.
상기 유입공간부와 배출공간부 및 과급공간부의 각 내면에 불소수지 코팅층이 형성되는 것을 특징으로 하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.
The method according to claim 1,
Wherein a fluororesin coating layer is formed on each of the inflow space, the discharge space, and the heating space.
상기 에어 블로워 유닛을 가열시키기 위한 가열부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 배출량 조절 가능한 에어 블로워 유닛.The method according to claim 1,
Further comprising a heating unit for heating the air blower unit.
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