KR20140118042A - Light emitting diode and lighting device employing the same - Google Patents
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Abstract
발광 다이오드 및 그것을 채택하는 발광 소자가 개시된다. 이 발광 다이오드는, 제1면, 제2면 및 측면을 갖는 육방정계 결정구조의 투명 기판; 투명 기판의 제1면 상에 위치하는 제1 도전형 반도체층; 제1 도전형 반도체층 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층; 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 위치하는 활성층; 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 전극; 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 전극; 제1 전극 상에 위치하는 제1 범프; 및 제2 전극 상에 위치하는 제2 범프를 포함하고, 투명 기판은 두 개의 예각 및 두 개의 둔각을 포함하는 평행사변형 형상을 갖는다. 평행사변형 형상을 갖는 기판을 채택함으로써 제조 공정 동안 성장 기판의 크랙 발생에 의해 발광 다이오드 수율이 감소하는 것을 방지할 수 있다.A light emitting diode and a light emitting element employing the same are disclosed. The light emitting diode includes: a transparent substrate having a hexagonal crystal structure having a first surface, a second surface, and a side surface; A first conductive semiconductor layer positioned on a first surface of the transparent substrate; A second conductivity type semiconductor layer located on the first conductivity type semiconductor layer; An active layer located between the first conductivity type semiconductor layer and the second conductivity type semiconductor layer; A first electrode electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer; A second electrode electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer; A first bump positioned on the first electrode; And a second bump on the second electrode, wherein the transparent substrate has a parallelogram shape including two acute angles and two obtuse angles. By adopting a substrate having a parallelogram shape, it is possible to prevent the reduction of the yield of the light emitting diode due to the cracking of the growth substrate during the manufacturing process.
Description
본 발명은 발광 다이오드 및 발광 소자에 관한 것으로, 특히, 플립칩형 발광 다이오드 및 그것을 채택한 발광 소자에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting diode and a light emitting device, and more particularly to a flip chip type light emitting diode and a light emitting device employing the same.
질화갈륨(GaN) 계열의 발광 다이오드가 개발된 이래, GaN 계열의 LED는 현재 천연색 LED 표시소자, LED 교통 신호기, 백라이트 유닛, 조명 장치 등 다양한 응용에 사용되고 있다.BACKGROUND ART GaN-based LEDs have been used in a variety of applications such as color LED display devices, LED traffic signals, backlight units, and lighting devices since gallium nitride (GaN) -based LEDs have been developed.
질화갈륨 계열의 발광 다이오드는 일반적으로 사파이어와 같은 기판 상에 에피층들을 성장시키어 형성되며, n형 반도체층, p형 반도체층 및 이들 사이에 개재된 활성층을 포함한다. 한편, n형 반도체층 상에 n-전극이 형성되고, p형 반도체층 상에 p-전극이 형성된다. 발광 다이오드는 전극들을 통해 외부 전원에 전기적으로 연결되어 구동된다. 이때, 전류는 p-전극에서 상기 반도체층들을 거쳐 n-전극으로 흐른다.The gallium nitride series light emitting diode is generally formed by growing epitaxial layers on a substrate such as sapphire, and includes an n-type semiconductor layer, a p-type semiconductor layer, and an active layer interposed therebetween. On the other hand, an n-electrode is formed on the n-type semiconductor layer, and a p-electrode is formed on the p-type semiconductor layer. The light emitting diode is electrically connected to the external power source through the electrodes and driven. At this time, a current flows from the p-electrode to the n-electrode through the semiconductor layers.
한편, p-전극에 의한 광 손실을 방지하고 방열 효율을 높이기 위해 플립칩형의 발광 다이오드가 사용되고 있다. 수평형 구조의 발광 다이오드는 사파이어 기판과 같은 성장 기판을 통해 열을 전달해야 하므로, 방열 효율이 낮다. 이에 반해, 플립칩형의 발광 다이오드는 전극 패드들을 통해 열을 전달하므로, 방열 효율이 높다. 또한, 플립칩형의 발광 다이오드는 성장 기판을 통해 광을 외부로 방출하기 때문에 에피층을 통해 광을 외부로 방출하는 수평형 구조의 발광 다이오드에 비해 p-전극에 의한 광 손실을 줄일 수 있다. 특히, 심자외선 발광 다이오드와 같이 높은 에너지의 광을 방출하는 발광 다이오드는 p형 반도체층에 의한 광 손실이 발생하기 때문에, 플립칩형의 구조를 채택하게 된다.On the other hand, a flip-chip type light emitting diode is used in order to prevent light loss by the p-electrode and increase the heat radiation efficiency. Since the light emitting diode having a horizontal structure has to transmit heat through a growth substrate such as a sapphire substrate, the heat dissipation efficiency is low. On the other hand, the flip chip type light emitting diodes transmit heat through the electrode pads, and thus heat radiation efficiency is high. In addition, since the flip chip type light emitting diode emits light to the outside through the growth substrate, light loss due to the p-electrode can be reduced as compared with a light emitting diode having a horizontal structure that emits light to the outside through the epi layer. Particularly, a light emitting diode that emits light of a high energy such as a deep ultraviolet light emitting diode generates a light loss due to a p-type semiconductor layer, and thus adopts a flip chip type structure.
발광 다이오드에서 전류 집중(current crowding) 효과를 감소시키고 또한 플립칩 패키징에 적합한 형상을 갖는 발광 다이오드가 미국특허 US7,928,451호에 "SHAPED CONTACT LAYER FOR LIGHT EMITTING HETEROSTRUCTURE"라는 명칭으로 Bilenko 등에 의해 개시된바 있다.A light emitting diode having a current crowding effect reduced in a light emitting diode and having a shape suitable for flip chip packaging has been disclosed by Bilenko et al. In US Pat. No. 7,928,451 entitled "SHAPED CONTACT LAYER FOR LIGHT EMITTING HETEROSTRUCTURE" .
도 1은 종래의 플립칩형의 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view for explaining a conventional flip chip type light emitting diode.
도 1을 참조하면, 상기 발광 다이오드는 기판(11), n형 반도체층(13), p형 반도체층(17), 활성층, n-전극(19), p-전극(20), n-범프(30a) 및 p-범프(30b)를 포함한다.1, the light emitting diode includes a
기판(11)은 대략 직사각형 형상을 갖는다. 기판(11)은 질화갈륨계 반도체층을 성장시키기 위한 성장 기판으로서 예컨대 사파이어 기판일 수 있다. 한편, p형 반도체층(17)은 콘택층으로서 n형 반도체층(13)의 일부 영역 상에 위치하며, H 형상을 갖는다. 또한, p형 반도체층(17)은 중앙 영역의 양측에서 내측으로 만입된 형상을 갖는다.The
n-전극(19)은 n형 반도체층(13)에 오믹 콘택하며, p-전극(20)은 p형 반도체층(17)의 형상을 따라 p형 반도체층(17)상에 오믹 콘택한다. 한편, n-범프(30a)가 p형 반도체층(17)과 평행하게 기판(11)의 일측 가장자리를 따라 n-전극(19) 상에 위치한다. 또한, p-범프(30b)가 p-전극(20) 상에 위치한다. p-범프(30b)는 p-전극(20)의 형상과 유사한 형상을 갖는다.The n-
종래 기술은 p형 반도체층(17)을 H 형상으로 함으로써 높은 전류밀도 조건에서 우수한 광 출력 특성을 나타낼 수 있다. 그러나, 종래 기술은 직사각형 형상을 채택하기 때문에, 성장 기판을 직사각형 형상으로 브레이킹하게 된다. 이때, 사파이어 기판과 같이 육방정계의 결정 구조를 갖는 성장 기판은, 도 2에 도시한 바와 같이, 브레이킹 방향에 대해 경사진 방향을 따라 크랙이 쉽게 발생하며, 따라서 발광 다이오드 수율이 떨어진다. 특히, 사파이어 기판이 약 150㎛ 이상으로 두꺼워짐에 따라, 크랙 발생은 더욱 현저하게 된다. The prior art can exhibit excellent light output characteristics under a high current density condition by making the p-type semiconductor layer 17 H-shaped. However, since the conventional technique employs a rectangular shape, the growth substrate is broken into a rectangular shape. At this time, a growth substrate having a hexagonal crystal structure like a sapphire substrate easily cracks along the inclined direction with respect to the breaking direction, as shown in Fig. 2, and thus the yield of the light emitting diode is lowered. Particularly, as the sapphire substrate is thickened to about 150 mu m or more, cracks are more conspicuous.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 전류를 용이하게 분산시킬 수 있으며, 또한, 플립칩 패키징에 적합한 발광 다이오드 및 그것을 갖는 발광 소자를 제공하는 것이다. A problem to be solved by the present invention is to provide a light emitting diode which can easily disperse a current and is suitable for flip chip packaging and a light emitting element having the same.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 성장 기판의 크랙 발생에 의해 수율이 감소하는 것을 방지할 수 있는 발광 다이오드 및 그것을 갖는 발광 소자를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a light emitting diode and a light emitting device having the same that can prevent a yield from being reduced due to cracks in a growth substrate.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 개선된 광 출력 특성을 나타내는 발광 다이오드 및 발광 소자를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a light emitting diode and a light emitting device exhibiting improved light output characteristics.
본 발명의 일 태양에 따른 발광 다이오드는, 제1면, 제2면 및 상기 제1면과 제2면을 연결하는 측면을 갖는 육방정계 결정구조의 투명 기판; 상기 투명 기판의 제1면 상에 위치하는 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 위치하는 활성층; 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 전극; 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 전극; 상기 제1 전극 상에 위치하는 제1 범프; 및 상기 제2 전극 상에 위치하는 제2 범프를 포함하고, 상기 투명 기판은 두 개의 예각 및 두 개의 둔각을 포함하는 평행사변형 형상을 갖는다.A light emitting diode according to one aspect of the present invention includes: a transparent substrate of a hexagonal crystal structure having a first side, a second side, and a side connecting the first side and the second side; A first conductive semiconductor layer located on a first surface of the transparent substrate; A second conductive semiconductor layer disposed on the first conductive semiconductor layer; An active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer; A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer; A second electrode electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer; A first bump positioned on the first electrode; And a second bump disposed on the second electrode, wherein the transparent substrate has a parallelogram shape including two acute angles and two obtuse angles.
상기 육방정계 결정 구조의 투명 기판은 특정 결정면을 따라 크랙이 발생하기 쉽다. 투명 기판이 직사각형 형상을 갖도록 웨이퍼를 브레이킹하여 발광 다이오드를 제조하는 경우, 웨이퍼 상에서 브레이킹 면에 경사진 방향으로 크랙이 발생하며, 이에 따라 발광 다이오드 불량이 발생한다. 이에 반해, 상기 육방정계 결정 구조의 투명 기판이 평행사변형 형상을 갖기 때문에, 웨이퍼 상에서 크랙이 발생하기 쉬운 면을 따라 브레이킹할 수 있으며, 따라서 크랙에 의한 발광 다이오드 불량 발생을 방지할 수 있다.The transparent substrate having the hexagonal crystal structure tends to be cracked along a specific crystal plane. When a light emitting diode is manufactured by braking a wafer so that the transparent substrate has a rectangular shape, a crack is generated in an oblique direction on the breaking surface on the wafer, thereby causing a failure of the light emitting diode. On the other hand, since the transparent substrate of the hexagonal crystal structure has a parallelogram shape, it is possible to break along the surface on which cracks tend to occur on the wafer, thereby preventing occurrence of defective light emitting diodes due to cracks.
나아가, 상기 예각 근처에서 방출되는 광이 증가하기 때문에, 발광 다이오드의 광 추출 효율이 향상된다. Furthermore, since the light emitted near the acute angle increases, the light extraction efficiency of the light emitting diode is improved.
상기 투명 기판은 사파이어 기판이고, 150㎛ 내지 400㎛ 범위 내의 두께를 가질 수 있다.The transparent substrate is a sapphire substrate and may have a thickness in the range of 150 mu m to 400 mu m.
상기 투명 기판은 마름모 형상일 수 있다. 또한, 상기 투명 기판의 측면들은 m면 군으로 이루어질 수 있다. 육방정계의 결정구조를 갖는 투명 기판은 m면 군을 따라 크랙이 발생되기 쉬우므로, m면 군을 따라 웨이퍼를 브레이킹함으로써 크랙에 의한 제품 불량 발생을 방지할 수 있다.The transparent substrate may have a rhombic shape. In addition, the side surfaces of the transparent substrate may be formed of an m-plane group. Since the transparent substrate having the hexagonal crystal structure is likely to generate cracks along the m plane group, it is possible to prevent the occurrence of product defects due to cracks by braking the wafer along the m plane group.
또한, 상기 제2 전극은 상기 활성층에서 생성된 광을 반사시키는 반사층을 포함할 수 있다.In addition, the second electrode may include a reflective layer for reflecting light generated in the active layer.
한편, 한편, 상기 제1 전극은 상기 제2 도전형 반도체층을 둘러쌀 수 있으며, 나아가, 상기 제1 전극은 상기 제2 도전형 반도체층으로부터 균일하게 이격될 수 있다.Meanwhile, the first electrode may surround the second conductivity type semiconductor layer, and further, the first electrode may be uniformly spaced from the second conductivity type semiconductor layer.
몇몇 실시예들에 있어서, 상기 제1 범프는 하나의 예각 근처에 위치하고, 상기 제2 도전형 반도체층은 두 개의 둔각과 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치할 수 있다. 또한, 상기 제2 범프는 상기 제2 도전형 반도체층의 상부 영역 내에서 상기 두 개의 둔각과 상기 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치할 수 있다.In some embodiments, the first bump is located near one acute angle, and the second conductivity type semiconductor layer can be located near two acute angles and another acute angle. In addition, the second bump may be located in the upper region of the second conductivity type semiconductor layer near the two obtuse angles and the other acute angle.
이에 따라, 상기 제2 범프를 상대적으로 넓은 영역에 형성할 수 있어, 플립칩 패키징에 적합하며, 또한 전류 분산 성능을 향상시킬 수 있다.As a result, the second bumps can be formed in a relatively large area, which is suitable for flip chip packaging and can improve the current dispersion performance.
상기 제2 전극은 제2 도전형 반도체층의 대부분의 영역을 덮으며, 상기 제2 범프는 상기 제2 전극의 형상을 따라 제2 전극의 가장자리로부터 대체로 동일한 거리만큼 이격되어 내측에 위치한다. 이에 따라, 전류 집중을 방지할 수 있다.The second electrode covers most of the region of the second conductive type semiconductor layer and the second bump is located inwardly of the second electrode along the shape of the second electrode, being spaced substantially the same distance from the edge of the second electrode. Thus, current concentration can be prevented.
나아가, 상기 제2 도전형 반도체층은 상기 두 개의 예각을 잇는 대각선 방향으로 만입된 만입부를 가질 수 있으며, 상기 제1 전극은 상기 만입부 내로 침입할 수 있다.Furthermore, the second conductive type semiconductor layer may have a diagonal indentation connecting the two acute angles, and the first electrode may penetrate into the indentation.
몇몇 실시예들에 있어서, 상기 제1 범프는 하나의 둔각 근처에 위치하고, 상기 제2 도전형 반도체층은 두 개의 예각과 다른 하나의 둔각 근처에 걸쳐서 위치하며, 상기 제2 범프는 상기 제2 도전형 반도체층의 상부 영역 내에서 상기 두 개의 예각과 상기 다른 하나의 둔각 근처에 걸쳐서 위치할 수 있다.In some embodiments, the first bump is located near one obtuse angle, and the second conductivity type semiconductor layer is located over two acute angles and another obtuse angle, and the second bump is located near the second conductivity -Type semiconductor layer over the two acute angles and the other one of the obtuse angles.
한편, 상기 제2 도전형 반도체층과 상기 제1 전극 사이의 상기 제1 도전형 반도체층 표면에 요철이 형성될 수 있다. 상기 요철에 의해 제1 도전형 반도체층의 표면을 따라 전류가 흐르는 것을 방지함으로써 전류를 분산시킬 수 있다.On the other hand, irregularities may be formed on the surface of the first conductivity type semiconductor layer between the second conductivity type semiconductor layer and the first electrode. The current can be dispersed by preventing the current from flowing along the surface of the first conductivity type semiconductor layer by the unevenness.
본 발명의 또 다른 태양에 따른 발광 소자는, 제1면, 제2면 및 상기 제1면과 제2면을 연결하는 측면을 갖는 육방정계 결정구조의 투명 기판; 상기 투명 기판의 제1면 상에 위치하는 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 위치하는 활성층; 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 전극; 상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 전극; 상기 제1 전극 상에 위치하는 제1 범프; 상기 제2 전극 상에 위치하는 제2 범프; 및 상면에 회로 패턴을 갖는 마운트 기판을 포함한다. 나아가, 상기 투명 기판은 두 개의 예각 및 두 개의 둔각을 포함하는 평행사변형 형상을 가지며, 상기 제1 범프 및 제2 범프는 상기 회로 패턴에 본딩된다.A light emitting device according to another aspect of the present invention includes: a transparent substrate having a hexagonal crystal structure having a first surface, a second surface, and a side surface connecting the first surface and the second surface; A first conductive semiconductor layer located on a first surface of the transparent substrate; A second conductive semiconductor layer disposed on the first conductive semiconductor layer; An active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer; A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer; A second electrode electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer; A first bump positioned on the first electrode; A second bump positioned on the second electrode; And a mount substrate having a circuit pattern on its upper surface. Further, the transparent substrate has a parallelogram shape including two acute angles and two obtuse angles, and the first bumps and the second bumps are bonded to the circuit pattern.
또한, 상기 투명 기판은 마름모 형상일 수 있다. 또한, 상기 투명 기판의 측면들은 m면 군으로 이루어질 수 있다. Further, the transparent substrate may be in a rhombic shape. In addition, the side surfaces of the transparent substrate may be formed of an m-plane group.
상기 제1 전극은 상기 제2 도전형 반도체층을 둘러쌀 수 있으며, 또한, 상기 제1 전극은 상기 제2 도전형 반도체층으로부터 균일하게 이격될 수 있다.The first electrode may surround the second conductive type semiconductor layer, and the first electrode may be uniformly spaced from the second conductive type semiconductor layer.
몇몇 실시예들에 있어서, 상기 제1 범프는 하나의 예각 근처에 위치하고, 상기 제2 도전형 반도체층은 두 개의 둔각과 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치하며, 상기 제2 범프는 상기 제2 도전형 반도체층의 상부 영역 내에서 상기 두 개의 둔각과 상기 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치할 수 있다.In some embodiments, the first bump is located near one acute angle, and the second conductive semiconductor layer is located near two acute angles and another acute angle, -Type semiconductor layer may be located within the upper region of the first semiconductor layer and near the two obtuse angles and the other acute angle.
나아가, 상기 제2 도전형 반도체층은 상기 두 개의 예각을 잇는 대각선 방향으로 만입된 만입부를 가질 수 있으며, 상기 제1 전극은 상기 만입부 내로 침입할 수 있다.Furthermore, the second conductive type semiconductor layer may have a diagonal indentation connecting the two acute angles, and the first electrode may penetrate into the indentation.
몇몇 실시예들에 있어서, 상기 제1 범프는 하나의 둔각 근처에 위치하고, 상기 제2 도전형 반도체층은 두 개의 예각과 다른 하나의 둔각 근처에 걸쳐서 위치하며, 상기 제2 범프는 상기 제2 도전형 반도체층의 상부 영역 내에서 상기 두 개의 예각과 상기 다른 하나의 둔각 근처에 걸쳐서 위치할 수 있다.In some embodiments, the first bump is located near one obtuse angle, and the second conductivity type semiconductor layer is located over two acute angles and another obtuse angle, and the second bump is located near the second conductivity -Type semiconductor layer over the two acute angles and the other one of the obtuse angles.
한편, 상기 마운트 기판은 AlN 기판일 수 있다.Meanwhile, the mount substrate may be an AlN substrate.
본 발명의 실시예들에 따르면, 평행사변형 형상을 갖는 기판을 채택함으로써 제조 공정 동안 성장 기판의 크랙 발생에 의해 발광 다이오드 수율이 감소하는 것을 방지할 수 있다. 나아가, 평행사변형 및 마름모 형상에 적합한 반도체층 구조, 전극 구조 및 범프 구조를 제공함으로써 전류를 용이하게 분산시킬 수 있으며 플립칩 패키징에 적합한 발광 다이오드 및 발광 소자를 제공할 수 있다. 또한, 두 개의 예각을 갖는 투명 기판을 채택함으로써, 개선된 광 출력 특성을 나타내는 발광 다이오드 및 발광 소자를 제공할 수 있다.According to embodiments of the present invention, adoption of a substrate having a parallelogram shape can prevent a decrease in light emitting diode yield due to cracking of the growth substrate during the manufacturing process. Furthermore, by providing a semiconductor layer structure, an electrode structure and a bump structure suitable for a parallelogram and a rhombus shape, it is possible to provide a light emitting diode and a light emitting device which can easily disperse current and are suitable for flip chip packaging. Further, by adopting a transparent substrate having two acute angles, a light emitting diode and a light emitting device exhibiting improved light output characteristics can be provided.
도 1은 종래의 플립칩형 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 종래의 플립칩형 발광 다이오드를 제조하는 동안 발생하는 크랙을 보여주기 위한 광학 사진이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플립칩형 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 발명의 일 실시예에 따른 플립칩형 발광 다이오드를 설명하기 위해 도 3의 절취선 A-A를 따라 취해진 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 발광 다이오드의 브레이킹 면을 설명하기 위한 웨이퍼의 평면도이다.1 is a schematic plan view for explaining a conventional flip chip type light emitting diode.
Fig. 2 is an optical photograph showing a crack occurring during the manufacture of a conventional flip chip type light emitting diode.
3 is a schematic plan view illustrating a flip chip type light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
4 is a schematic cross-sectional view taken along the cutting line AA of FIG. 3 for explaining a flip-chip type light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic plan view illustrating a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
7 is a plan view of a wafer for explaining a breaking surface of a light emitting diode according to embodiments of the present invention.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are provided by way of example so that those skilled in the art can fully understand the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the width, length, thickness, etc. of components may be exaggerated for convenience. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플립칩형 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 3의 절취선 A-A를 따라 취해진 단면도이다.3 is a schematic plan view illustrating a flip chip type light emitting diode according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the cut line A-A of FIG.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 발광 다이오드는 기판(51), 제1 도전형 반도체층(53), 활성층(55), 제2 도전형 반도체층(57), 제1 전극(59), 제2 전극(60), 제1 범프(70a), 제2 범프(70b) 및 절연층(71)을 포함할 수 있다.3 and 4, the light emitting diode includes a
상기 기판(51)은 육방정계의 결정 구조를 갖는 기판으로서, 질화갈륨계 에피층들을 성장시키기 위한 성장기판, 예컨대 사파이어, 탄화실리콘, 질화갈륨 기판일 수 있다. 특히, 심자외선 발광 다이오드를 제공하기 위해 상기 기판(51)은 사파이어 기판일 수 있다. 상기 기판(51)은 제1면, 제2면 및 측면을 포함한다. 상기 제1면은 반도체층들이 성장되는 면이며, 제2면은 활성층(25)에서 생성된 광이 외부로 방출되는 면이다. 측면은 제1면과 제2면을 연결한다. 기판(51)의 측면은 제1면 및 제2면에 수직한 면일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 경사진 면을 포함할 수도 있다.The
또한, 기판(51)은 두 개의 예각과 두 개의 둔각을 갖는 평행사변형 형상, 특히 마름모 형상을 가질 수 있다. 기판(51)이 예각을 갖기 때문에, 예각부를 통한 광의 추출 효율이 향상된다.Further, the
한편, 본 실시예에 있어서, 기판(51)의 두께는 100㎛를 초과할 수 있으며, 특히 150㎛ 내지 400㎛ 범위 내의 값을 가질 수 있다. 기판(51)이 두꺼울수록 광의 추출 효율이 향상된다.On the other hand, in the present embodiment, the thickness of the
한편, 상기 기판(51)의 측면은 브레이킹 면을 포함하며, 상기 브레이킹 면은 m면 군으로 이루어질 수 있다.On the other hand, the side surface of the
제1 도전형 반도체층(53)은 기판(51)의 제1면 상에 위치한다. 제1 도전형 반도체층(53)은 기판(51)의 제1면 전면을 덮을 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(51)의 가장자리를 따라 제1면이 노출되도록 제1 도전형 반도체층(53)이 기판(51)의 상부영역 내에 한정되어 위치할 수도 있다.The first conductive
제2 도전형 반도체층(57)은 제1 도전형 반도체층(53)의 일 영역 상부에 위치하며, 제1 도전형 반도체층(53)과 제2 도전형 반도체층(57) 사이에 활성층(55)이 위치한다.The second conductivity
제2 도전형 반도체층(57)은 하나의 예각에서 떨어져서 두 개의 둔각과 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치할 수 있다. 제2 도전형 반도체층(57)은 상기 다른 하나의 예각 근처에서 두 개의 둔각으로 연장하는 형상, 예컨대, 입구가 좁은 C자 형상을 가질 수 있다. 또한, 제2 도전형 반도체층(57)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 기판(51)의 중앙 영역에 만입부를 가질 수 있다. 상기 만입부는 두 개의 예각을 잇는 대각선 방향으로 만입된다. 상기 만입부에 의해 대각선 방향의 제2 도전형 반도체층의 폭을 감소시킬 수 있어 발광 다이오드의 전류 분산 성능이 개선된다.The second conductivity
한편, 제1 전극(59)은 제2 도전형 반도체층(57) 주위를 둘러쌀 수 있다. 도 3에 있어서, 제1 전극(59)이 제2 도전형 반도체층(57)의 주위 전체를 둘러싸는 것으로 도시하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 전극(59)은 제1 범프(70a)가 위치한 곳으로부터 제2 도전형 반도체층(57)의 양측으로 연장하여 제2 도전형 반도체층(57)의 약 50% 이상을 둘러쌀 수 있다. 또한, 제1 전극(59)은 제2 도전형 반도체층(57)의 만입부에 침입하도록 형성된다.On the other hand, the
상기 제1 전극(59)은 또한, 제2 도전형 반도체층(57)으로부터 균일하게 이격되어 위치할 수 있다. 이에 따라, 전류가 집중되는 것을 방지할 수 있다. 나아가, 상기 제1 전극(59)과 상기 제2 도전형 반도체층(57) 사이의 제1 도전형 반도체층(53) 표면에 요철(도시하지 않음)이 형성될 수 있다. 상기 요철에 의해 제2 도전형 반도체층(53)의 표면을 따라 전류가 흐르는 것을 방지할 수 있어 전류를 더욱 분산시킬 수 있다.The
한편, 제2 전극(60)은 제2 도전형 반도체층(57) 상에 위치하여 제2 도전형 반도체층(57)에 전기적으로 연결된다. 제2 전극(60)은 반사층(61)과 장벽층(63)을 포함할 수 있다. 반사층(61)은 Al 또는 Al 합금을 포함할 수 있으며, 예컨대 Ni/Au/Al을 포함할 수 있다. 장벽층(63)은 또한 Ni을 포함할 수 있으며, 다층 구조의 금속층으로 형성될 수 있다.The
제1 범프(70a)는 제1 전극(59) 상에 위치한다. 제1 범프(70a)는 하나의 예각 근처에 가깝게 배치되며, 제2 도전형 반도체층(57)으로부터 떨어져서 위치한다. 즉, 제1 범프(70a)는 상기 하나의 예각 근처에 치우쳐 위치한다.The
제2 범프(70b)는 제2 전극(60) 상에 위치한다. 제2 범프(70b)는 상기 다른 하나의 예각과 두 개의 둔각 근처에 걸쳐서 위치할 수 있으며, 제2 전극(60)의 가장자리로부터 동일한 거리만큼 떨어져 제2 전극(60)의 내측에 위치할 수 있다.And the
상기 제1 범프(70a) 및 제2 범프(70b)는 동일한 금속 재료로 형성될 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 범프(70a, 70b)는 다층 구조로 형성될 수 있으며, 예컨대 접착층, 확산방지층 및 본딩층을 포함할 수 있다. 상기 접착층은 예를 들어, Ti, Cr 또는 Ni을 포함할 수 있으며, 확산방지층은 Cr, Ni, Ti, W, TiW, Mo, Pt 또는 이들의 복합층으로 형성될 수 있고, 본딩층은 Au 또는 AuSn을 포함할 수 있다.The
한편, 제1 범프(70a)로부터 두 개의 둔각 근처에 위치하는 제2 도전형 반도체층(57) 또는 제2 범프(70b)까지의 거리는 실질적으로 서로 동일할 수 있다. 나아가, 제2 도전형 반도체층(57), 제1 전극(59), 제2 전극(60), 제1 범프(70a) 및 제2 범프(70b)는 두 개의 예각을 연결하는 선(예컨대 A-A 선)에 대해 대칭 구조를 가질 수 있다.On the other hand, the distances from the
한편, 절연층(71)이 제1 범프(70a) 및 제2 범프(70b)를 제외하고, 상기 제1 도전형 반도체층(53), 활성층(55), 제2 도전형 반도체층(57), 제1 전극(59) 및 제2 전극(60)을 덮어 보호한다. 절연층(71)은 실리콘 산화막이나 실리콘 질화막의 단일층으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다중층으로 형성될 수 있다. 나아가, 상기 절연층(71)은 굴절률이 서로 다른 산화물층들을 적층한 분포 브래그 반사기로 형성될 수도 있다. 따라서, 제1 전극(59)과 제2 도전형 반도체층(57) 사이의 영역에서 광을 반사시킬 수 있어, 발광 다이오드의 광 추출 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.The insulating
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 상기 발광 소자는 앞서 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 발광 다이오드 및 마운트 기판(81)을 포함한다. 마운트 기판(81)은 상면에 패드들(80a, 80b)을 포함하는 회로 패턴을 갖는다.Referring to FIG. 5, the light emitting device includes the light emitting diode and the
상기 발광 다이오드는 앞에서 설명한 바와 같으므로 여기서 상세한 설명은 생략한다. 한편, 마운트 기판(81)은 예를 들어 AlN와 같은 세라믹 기판일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 종류의 인쇄회로기판일 수 있다. Since the light emitting diode is as described above, a detailed description thereof will be omitted. The
한편, 상기 패드들(80a, 80b)은 제1 범프(70a) 및 제2 범프(70b)의 형상에 대응하도록 형성되며, 상기 패드들(80a, 80b) 상에 제1 범프(70a) 및 제2 범프(70b)가 각각 본딩된다.The
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.6 is a schematic plan view illustrating a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 앞서 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 발광 다이오드와 대체로 유사하나, 제1 범프(70a)가 하나의 둔각 근처에 치우쳐 배치된 것에 차이가 있으며, 이에 따라, 제2 도전현 반도체층(57)이 다른 하나의 둔각과 두 개의 예각에 걸쳐서 위치하며, 입구가 큰 C자 형상을 가질 수 있다.Referring to FIG. 6, the
또한, 상기 제2 도전형 반도체층(57), 제1 전극(59), 제2 전극(60), 제1 범프(70a) 및 제2 범프(70b)는 두 개의 둔각을 연결하는 대각선에 대해 대칭 구조를 가질 수 있다.The second
도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 발광 다이오드의 브레이킹 면을 설명하기 위한 웨이퍼의 평면도이다. 플랫 존이 a면인 육방정계 결정 구조를 갖는 사파이어 기판을 예를 들어 설명한다. 여기서, 기판의 수직 방향이 c축이고, a[11-20]축 및 m[1-100]축을 화살표로 표시하였다.7 is a plan view of a wafer for explaining a breaking surface of a light emitting diode according to embodiments of the present invention. A sapphire substrate having a hexagonal crystal structure in which the flat zone is a plane will be described as an example. Here, the vertical direction of the substrate is the c-axis, and a [11-20] and m [1-100] axes are indicated by arrows.
도 7의 (a) 및 (b)를 참조하면, 웨이퍼 상의 점선으로 표시한 부분은 네 개의 브레이킹 면에 의해 형성된 발광 다이오드의 평면 형상을 나타낸다. 도 7(a)에 도시한 바와 같이, 이러한 평면 형상은 a축 방향에 평행한 스크라이빙 라인들과, a축 방향에 대해 시계 방향으로 60도 기울어진 각도의 스크라이빙 라인들을 형성한 후, 이를 브레이킹함으로써 형성될 수 있다. 또한, 도 7(b)에 도시한 바와 같이, a축 방향에 대해 시계 방향으로 60도 기울어진 각도의 스크라이빙 라인들 및 a축 방향에 대해 반시계 방향으로 60도 기울어진 각도의 스크라이빙 라인들을 형성한 후, 이를 브레이킹함으로써 형성될 수도 있다. 이때, 도 7(a) 및 (b)의 각각의 브레이킹 면은 m면 군으로 이루어진다. 상기 발광 다이오드의 형상은 또한 네 변의 길이가 동일한 마름모 형상일 수 있다.7 (a) and 7 (b), the dotted line on the wafer shows the planar shape of the light emitting diode formed by the four braking surfaces. As shown in Fig. 7 (a), such a planar shape is obtained by forming scribing lines parallel to the a-axis direction and scribing lines at angles inclined by 60 degrees in the clockwise direction with respect to the a-axis direction , And braking it. As shown in Fig. 7 (b), the scribing lines at an angle inclined by 60 degrees clockwise with respect to the a axis direction and the scribe lines inclined by 60 degrees counterclockwise with respect to the a axis direction May be formed by forming ice lines and then braking them. At this time, each of the breaking surfaces in Figs. 7 (a) and 7 (b) is made up of an m-plane group. The shape of the light emitting diode may also be a rhombic shape having the same length on four sides.
도 7(a) 또는 (b)에 도시한 바와 같이 브레이킹 면을 특정 결정 방향을 따라 형성함으로써 크랙에 의해 발광 다이오드가 파괴되는 것을 방지할 수 있다.It is possible to prevent the light emitting diode from being broken by the cracks by forming the breaking surface along the specific crystal direction as shown in Fig. 7 (a) or (b).
이상에서 다양한 실시예들에 대해 설명하였지만, 본 발명은 이들 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않으면서 다양한 변형이 가능하다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.
Claims (20)
상기 투명 기판의 제1면 상에 위치하는 제1 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 위치하는 활성층;
상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 전극;
상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 전극;
상기 제1 전극 상에 위치하는 제1 범프; 및
상기 제2 전극 상에 위치하는 제2 범프를 포함하고,
상기 투명 기판은 두 개의 예각 및 두 개의 둔각을 포함하는 평행사변형 형상을 갖는 발광 다이오드.A transparent substrate of a hexagonal crystal structure having a first surface, a second surface, and a side surface connecting the first surface and the second surface;
A first conductive semiconductor layer located on a first surface of the transparent substrate;
A second conductive semiconductor layer disposed on the first conductive semiconductor layer;
An active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer;
A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer;
A second electrode electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer;
A first bump positioned on the first electrode; And
And a second bump located on the second electrode,
Wherein the transparent substrate has a parallelogram shape including two acute angles and two obtuse angles.
상기 투명 기판은 사파이어 기판이고, 150㎛ 내지 400㎛ 범위 내의 두께를 갖는 발광 다이오드.The method according to claim 1,
Wherein the transparent substrate is a sapphire substrate and has a thickness within a range of 150 mu m to 400 mu m.
상기 투명 기판은 마름모 형상인 발광 다이오드.The method according to claim 1,
Wherein the transparent substrate is a rhombic shape.
상기 투명 기판의 측면들은 m면 군으로 이루어진 발광 다이오드.The method according to claim 1,
And the side surfaces of the transparent substrate are m-plane groups.
상기 제1 전극은 상기 제2 도전형 반도체층을 둘러싸는 발광 다이오드.The method according to claim 1,
And the first electrode surrounds the second conductive type semiconductor layer.
상기 제1 전극은 상기 제2 도전형 반도체층으로부터 균일하게 이격된 발광 다이오드. The method of claim 6,
Wherein the first electrode is uniformly spaced from the second conductive type semiconductor layer.
상기 제1 범프는 하나의 예각 근처에 위치하고,
상기 제2 도전형 반도체층은 두 개의 둔각과 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치하며,
상기 제2 범프는 상기 제2 도전형 반도체층의 상부 영역 내에서 상기 두 개의 둔각과 상기 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치하는 발광 다이오드.The method of claim 6,
The first bump being located near one acute angle,
Wherein the second conductivity type semiconductor layer is located near two obtuse angles and another acute angle,
Wherein the second bump is located near the two obtuse angles and the other acute angle in the upper region of the second conductivity type semiconductor layer.
상기 제2 도전형 반도체층은 상기 두 개의 예각을 잇는 대각선 방향으로 만입된 만입부를 갖고,
상기 제1 전극은 상기 만입부 내로 침입하는 발광 다이오드.The method of claim 6,
Wherein the second conductivity type semiconductor layer has a diagonal recessed indentation connecting the two acute angles,
Wherein the first electrode penetrates into the depressed portion.
상기 제1 범프는 하나의 둔각 근처에 위치하고,
상기 제2 도전형 반도체층은 두 개의 예각과 다른 하나의 둔각 근처에 걸쳐서 위치하며,
상기 제2 범프는 상기 제2 도전형 반도체층의 상부 영역 내에서 상기 두 개의 예각과 상기 다른 하나의 둔각 근처에 걸쳐서 위치하는 발광 다이오드.The method of claim 6,
The first bump being located near one obtuse angle,
The second conductivity type semiconductor layer is positioned over two acute angles and another obtuse angle,
Wherein the second bump is located in the upper region of the second conductive semiconductor layer over the two acute angles and the other one of the obtuse angles.
상기 제2 도전형 반도체층과 상기 제1 전극 사이의 상기 제1 도전형 반도체층 표면에 요철이 형성된 발광 다이오드.The method according to claim 1,
And a surface of the first conductivity type semiconductor layer between the second conductivity type semiconductor layer and the first electrode.
상기 투명 기판의 제1면 상에 위치하는 제1 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 위치하는 활성층;
상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제1 전극;
상기 제2 도전형 반도체층에 전기적으로 접속된 제2 전극;
상기 제1 전극 상에 위치하는 제1 범프;
상기 제2 전극 상에 위치하는 제2 범프; 및
상면에 회로 패턴을 갖는 마운트 기판을 포함하고,
상기 투명 기판은 두 개의 예각 및 두 개의 둔각을 포함하는 평행사변형 형상을 갖고,
상기 제1 범프 및 제2 범프는 상기 회로 패턴에 본딩된 발광 소자.A transparent substrate of a hexagonal crystal structure having a first surface, a second surface, and a side surface connecting the first surface and the second surface;
A first conductive semiconductor layer located on a first surface of the transparent substrate;
A second conductive semiconductor layer disposed on the first conductive semiconductor layer;
An active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer;
A first electrode electrically connected to the first conductive semiconductor layer;
A second electrode electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer;
A first bump positioned on the first electrode;
A second bump positioned on the second electrode; And
And a mount substrate having a circuit pattern on its upper surface,
Wherein the transparent substrate has a parallelogram shape including two acute angles and two obtuse angles,
Wherein the first bump and the second bump are bonded to the circuit pattern.
상기 투명 기판은 마름모 형상을 갖는 발광 소자.The method of claim 12,
Wherein the transparent substrate has a rhombic shape.
상기 투명 기판의 측면들은 m면 군으로 이루어진 발광 소자.The method of claim 12,
And the side surfaces of the transparent substrate are m-plane groups.
상기 제1 전극은 상기 제2 도전형 반도체층을 둘러싸는 발광 소자.The method of claim 12,
Wherein the first electrode surrounds the second conductive type semiconductor layer.
상기 제1 전극은 상기 제2 도전형 반도체층으로부터 균일하게 이격된 발광 소자. 16. The method of claim 15,
Wherein the first electrode is uniformly spaced from the second conductive type semiconductor layer.
상기 제1 범프는 하나의 예각 근처에 위치하고,
상기 제2 도전형 반도체층은 두 개의 둔각과 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치하며,
상기 제2 범프는 상기 제2 도전형 반도체층의 상부 영역 내에서 상기 두 개의 둔각과 상기 다른 하나의 예각 근처에 걸쳐서 위치하는 발광 소자.16. The method of claim 15,
The first bump being located near one acute angle,
Wherein the second conductivity type semiconductor layer is located near two obtuse angles and another acute angle,
Wherein the second bump is located near the two obtuse angles and the other acute angle in the upper region of the second conductivity type semiconductor layer.
상기 제2 도전형 반도체층은 상기 두 개의 예각을 잇는 대각선 방향으로 만입된 만입부를 갖고,
상기 제1 전극은 상기 만입부 내로 침입하는 발광 소자.18. The method of claim 17,
Wherein the second conductivity type semiconductor layer has a diagonal recessed indentation connecting the two acute angles,
Wherein the first electrode penetrates into the indentation.
상기 제1 범프는 하나의 둔각 근처에 위치하고,
상기 제2 도전형 반도체층은 두 개의 예각과 다른 하나의 둔각 근처에 걸쳐서 위치하며,
상기 제2 범프는 상기 제2 도전형 반도체층의 상부 영역 내에서 상기 두 개의 예각과 상기 다른 하나의 둔각 근처에 걸쳐서 위치하는 발광 소자.16. The method of claim 15,
The first bump being located near one obtuse angle,
The second conductivity type semiconductor layer is positioned over two acute angles and another obtuse angle,
Wherein the second bump is located in the upper region of the second conductivity type semiconductor layer over the two acute angles and the other one of the obtuse angle.
상기 마운트 기판은 AlN 기판인 발광 소자.The method of claim 12,
Wherein the mount substrate is an AlN substrate.
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JP2016181674A (en) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 旭化成株式会社 | Semiconductor light-emitting device and apparatus including the same |
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PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20130328 |
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PG1501 | Laying open of application | ||
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