KR20140041394A

KR20140041394A - 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법

Info

Publication number: KR20140041394A
Application number: KR1020137016195A
Authority: KR
Inventors: 미치노리 도모마츠; 유우지 오오타케; 도시유키 무라카미; 미노루 무라카미; 아키라 마에다
Original assignee: 파나소닉 주식회사
Priority date: 2011-07-25
Filing date: 2012-07-24
Publication date: 2014-04-04
Also published as: CN103260883A; CN103260883B; GB2506715A; US20130239830A1; DE112012003119T5; WO2013014925A1; GB201309855D0; US8950321B2; JP2013022895A

Abstract

본 발명의 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법에서는, 기판(10)을 사이에 끼워 클램핑하는 한 쌍의 클램핑 부재(9a)의 양단부에, 직사각형 프레임을 형성하는 마스크 지지 부재(9b)를 배치하고, 기판(10)을 스크린 마스크(12)의 하면에 접촉시킨 상태에서, 상기 마스크 지지 부재(9b)에 의해 스크린 마스크(12)를 아래쪽으로부터 지지한다. 이로써, 스크린 마스크(12)의 하방으로의 휨을 방지할 수 있고, 휨에 기인하여 일어나는 스크린 마스크(12) 상에의 페이스트의 퇴적을 방지함으로써, 유지 보수의 시간과 노력을 줄일 수 있다.

Description

스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법{SCREEN PRINTING DEVICE AND SCREEN PRINTING METHOD}

본 발명은, 기판에 크림 솔더 또는 도전성 페이스트 등의 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법에 관한 것이다.

전자 부품 실장 단계에 있어서, 스크린 인쇄는 기판에 크림 솔더 또는 도전성 페이스트 등의 페이스트를 인쇄하는 방법으로서 사용된다. 이 방법에서는, 기판이 아래에 세팅된 스크린 마스크 상에 페이스트를 공급하고, 스퀴지를 미끄럼 이동시키는 스퀴징 동작이 반복적으로 실행된다. 이러한 스퀴징 동작에서, 페이스트는 스퀴지의 진행 방향으로 긁어 모이게 되고, 스퀴지의 표면을 따라 서서히 외측으로 밀어내어진다. 기판의 폭치수를 넘어 이동한 페이스는, 이 범위에서는 스크린 마스크의 휨으로 인해 스퀴지에 의해 긁어 모이게 되지 않고 잔류하며, 스크린 마스크의 상면에 부착되며, 시간의 경과에 따라 건조, 경화 및 퇴적된다. 이와 같이 스크린 마스크 상에 페이스트가 퇴적하는 것에 기인한 낮은 인쇄 품질을 방지하기 위해, 스퀴징시에 페이스트가 인쇄폭을 넘어 범람하는 것을 방지하는 차단 부재를 마련하도록 구성된 스크린 인쇄 장치가 알려져 있다(특허문헌 1 참조).

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2003-220687호 공보

그러나, 전술한 특허문헌에 개시된 종래 기술에서는, 범람 방지용 차단 기구에 기인하여 다음과 같은 문제가 있다. 즉, 페이스트의 범람을 유효하게 차단하려면, 스크린 마스크와 차단 기구의 사이에서의 페이스트의 누출을 밀봉하기에 충분한 압박력으로 스크린 마스크를 누를 필요가 있다. 그러나, 차단 부재가 밀어붙여지는 부분에서 스크린 마스크의 하면은 프리 상태이므로, 충분한 압박력으로 차단 부재를 누를 때, 스크린 마스크에 휨이 발생하고, 이 휨으로 인해 스크린 마스크와 기판의 밀착성이 손상되며, 그 결과 정상 인쇄 품질이 악화된다. 스크린 마스크 상에 페이스트가 퇴적하는 것에 기인한 문제를 방지하고자 한다면, 퇴적을 가능한 많이 줄이기 위해, 스퀴지 또는 차단 부재를 탈거하고 이에 부착된 페이스트를 손으로 제거 및 청소하는 유지 보수 작업을 부득이 수행하여야 하므로, 시간과 노력을 저감하는 것이 요망된다.

따라서, 본 발명의 목적은, 스크린 마스크 상에 페이스트가 퇴적하는 것을 방지함으로써, 유지 보수의 시간과 노력을 감소시킬 수 있는, 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 스크린 인쇄 장치는, 패턴 구멍이 마련된 스크린 마스크에 대하여 기판을 접촉시킴으로써 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 장치로서, 상류측으로부터 제1 방향으로 반입된 상기 기판을, 한 쌍의 클램핑 부재에 의해, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 사이에 끼워 클램핑한 상태에서, 수평 방향 및 상하 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써, 소정 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정부; 상기 페이스트가 공급되며 상기 기판이 아래쪽으로부터 접촉하는 스크린 마스크 상에서, 스퀴지를 상기 제2 방향으로 미끄럼 이동시킴으로써, 상기 패턴 구멍을 통해 상기 기판에 상기 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄부; 및 상기 한 쌍의 클램핑 부재의 상기 제1 방향에서의 양단부에 상기 제2 방향으로 배치되어 상기 한 쌍의 클램핑 부재와 함께 직사각형 프레임을 형성하고, 상기 기판이 상기 스크린 마스크의 하면에 접촉한 상태에서 스크린 마스크를 아래쪽으로부터 지지하는 마스크 지지 부재를 포함한다.

본 발명의 스크린 인쇄 방법은, 패턴 구멍이 마련된 스크린 마스크에 대하여 기판을 접촉시킴으로써 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 방법으로서, 상류측으로부터 제1 방향으로 반입된 상기 기판을, 한 쌍의 클램핑 부재에 의해, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 사이에 끼워 클램핑한 상태에서, 수평 방향 및 상하 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써, 소정 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 단계; 및 상기 페이스트가 공급되며 상기 기판이 아래쪽으로부터 접촉하는 스크린 마스크 상에서, 스퀴지를 상기 제2 방향으로 미끄럼 이동시킴으로써, 상기 패턴 구멍을 통해 상기 기판에 상기 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 단계를 포함하고, 상기 스크린 인쇄 단계에서는, 상기 한 쌍의 클램핑 부재의 상기 제1 방향에서의 양단부에 상기 제2 방향으로 배치되어 상기 한 쌍의 클램핑 부재와 함께 직사각형 프레임을 형성하는 마스크 지지 부재에 의해, 상기 스크린 마스크가 아래쪽으로부터 지지되는 것이다.

본 발명에 따르면, 기판을 사이에 끼워 클램핑하는 한 쌍의 클램핑 부재의 양단부에, 상기 한 쌍의 클램핑 부재와 함께 직사각형 프레임을 형성하는 마스크 지지 부재를 배치하고, 기판을 스크린 마스크의 하면에 접촉시킨 상태에서, 상기 마스크 지지 부재에 의해 스크린 마스크를 아래쪽으로부터 지지한다. 이에 의해, 스크린 마스크의 하방으로의 휨을 방지할 수 있고, 휨에 기인하여 일어나는 스크린 마스크 상에의 페이스트의 퇴적을 방지함으로써, 유지 보수의 시간과 노력을 줄일 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치의 측면도.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치의 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치의 평면도.
도 4의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치의 동작 설명도.
도 5의 (a) 및 (b)는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 스크린 인쇄 장치의 동작 설명도.

이어서, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태를 설명한다. 우선 도 1, 도 2 및 도 3을 참조하여, 스크린 인쇄 장치의 구성을 설명한다. 도 1에 있어서, 스크린 인쇄 장치는, 기판 위치 결정부(1) 위에 스크린 인쇄부(11)를 배치함으로써 구성되어 있다. 기판 위치 결정부(1)는, Y축 테이블(2), X축 테이블(3) 및 θ축 테이블(4)을 적층하고, 그 위에 제1 Z축 테이블(5) 및 제2 Z축 테이블(6)을 더 조합함으로써 구성되어 있다.

제1 Z축 테이블(5)의 구성을 설명한다. θ축 테이블(4)의 상면에 마련된 수평한 베이스 플레이트(4a)의 위에는, 마찬가지로 수평한 베이스 플레이트(5a)가 승강 가이드 기구(도시 생략)에 의해 승강 가능하게 유지되어 있다. 베이스 플레이트(5a)는, 복수의 이송 나사(5c)가 벨트(5d)를 통하여 모터(5b)에 의해 회전 구동되도록 구성된 Z축 승강 기구에 의하여 승강된다.

베이스 플레이트(5a)에는 수직 프레임(5e)이 세워져 있고, 수직 프레임(5e)의 상단부에는 기판 반송 기구(8)가 유지되어 있다. 기판 반송 기구(8)는 기판 반송 방향[X 방향(제1 방향), 또는 도 1에서의 지면(紙面)에 수직한 방향]에 평행하게 배치된 2개의 반송 레일을 포함하고, 이들 반송 레일에 의해 인쇄 대상 기판(10)의 양단부가 지지되어 반송된다. 제1 Z축 테이블(5)을 구동함으로써, 기판 반송 기구(8)에 의해 유지된 기판(10)은, 기판 반송 기구(8)와 함께 후술하는 스크린 인쇄부(11)에 대하여 승강될 수 있다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 반송 기구(8)는 상류측(도 2 및 도 3의 좌측) 및 하류측을 향해 연장되고, 상류측으로부터 반입된 기판(10)은 기판 반송 기구(8)에 의해 반송될 뿐만 아니라, 기판 위치 결정부(1)에 의해 위치 결정된다. 후술하는 스크린 인쇄부(11)에 의해 인쇄가 행해진 이후의 기판(10)은, 기판 반송 기구(8)에 의해 하류측으로 반출된다.

제2 Z축 테이블(6)의 구성을 설명한다. 기판 반송 기구(8)와 베이스 플레이트(5a)의 사이에는, 수평한 베이스 플레이트(6a)가 승강 가이드 기구(도시 생략)를 따라 승강 가능하게 배치되어 있다. 베이스 플레이트(6a)는, 복수의 이송 나사(6c)가 벨트(6d)를 통하여 모터(6b)에 의해 회전 구동되도록 구성된 Z축 승강 기구에 의하여 승강된다. 베이스 플레이트(6a)의 상면에는, 기판(10)을 유지하는 지지면이 상면에 마련된 기판 지지부(7)가 배치되어 있다.

제2 Z축 테이블(6)을 구동함으로써, 기판 지지부(7)는 기판 반송 기구(8) 상에 유지된 기판(10)에 대하여 승강된다. 기판 지지부(7)의 지지면이 기판(10)의 하면에 접촉할 때, 기판 지지부(7)는 기판(10)을 아래쪽으로부터 지지한다. 기판 반송 기구(8)의 상면에는 클램핑 기구(9)가 배치되어 있다. 클램핑 기구(9)는, 서로 좌우 대향되게 배치된 2개의 클램핑 부재(9a)를 포함하고, 한쪽 클램핑 부재(9a)가 구동 기구(17)에 의해 전후로 이동될 때, 기판(10)은 Y 방향(제2 방향)의 양측으로부터 클램핑되어 고정된다(도 3 참조).

즉, 기판 위치 결정부(1)는, 상류측으로부터 제1 방향으로 반입된 기판(10)을, 한 쌍의 클램핑 부재(9a)에 의해, 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로부터 사이에 끼워 클램핑한 상태에서, 수평 방향 및 상하 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써, 기판(10)을 스크린 인쇄부(11)의 인쇄 동작을 위한 소정 위치에 위치 결정한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 클램핑 부재(9a)의 X 방향의 양단부에는, 세장판(細長板) 형상의 마스크 지지 부재(9b)가 기판 반송 기구(8)의 프레임 부재 상에 각각 유지 및 배치되어 있다. 이들 마스크 지지 부재(9b)는 한 쌍의 클램핑 부재(9a)와 함께 기판(10)의 둘레에 직사각형 프레임을 형성하며, 클램핑 부재(9a)의 상면과 마스크 지지 부재(9b)의 상면의 높이 레벨이 동일하도록 세팅되어 있다. 기판(10)이 스크린 마스크(12)의 하면에 접촉할 때, 마스크 지지 부재(9b)는 클램핑 부재(9a)와 함께 스크린 마스크(12)를 아래쪽으로부터 지지한다.

이에 의해, 스퀴징시에 스크린 마스크(12)가 하방으로 휘는 것이 방지되며, 후술하는 바와 같이, 스크린 마스크(12)의 휨에 기인하여 스크린 마스크(12)의 상면에 크림 솔더(19)가 퇴적되는 등의 문제를 방지할 수 있다. 이를 목적으로, 마스크 지지 부재(9b)의 X 방향의 배치 위치는, 후술하는 바와 같이 스크린 인쇄부(11)에서의 스퀴지(16)의 폭 범위를 포함하는 위치에 설정된다. 또한, 마스크 지지 부재(9b)의 Y 방향의 치수는, 인쇄 대상인 최대폭 사이즈의 기판(10)이 클램핑 부재(9a)에 의해 클램핑된 상태에서, 전술한 직사각형 프레임이 형성되도록 하는 치수로 설정된다.

이어서, 기판 위치 결정부(1)의 위에 배치되는 스크린 인쇄부(11)를 설명한다. 도 1 및 도 2에 있어서, 마스크 프레임(12a)에는 스크린 마스크(12)가 펼쳐져 있고, 스크린 마스크(12)에는, 기판(10)에 인쇄되는 전극(10a)의 형상 및 위치(도 3 참조)에 대응하게 패턴 구멍(12b)이 마련되어 있다. 스퀴지 유닛(13)이 스크린 마스크(12) 위에 배치된다. 스퀴지 유닛(13)은, 스퀴지(16)를 승강시키는 스퀴지 승강 기구(15)가 수평한 플레이트(14) 상에 배치되어 구성되어 있다.

스퀴지 승강 기구(15)를 구동함으로써 스퀴지(16)가 승강되어, 페이스트인 크림 솔더(19)가 공급된 스크린 마스크(12)의 상면에 접촉한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 스퀴지(16)의 X 방향의 양단부에는, 차단 부재(18)가 각각 설치되어 있다. 차단 부재(18)는, 이하에 설명하는 스퀴징 동작에서의 스퀴지(16)의 폭 범위를 넘어 크림 솔더(19)가 범람하지 않도록 크림 솔더(19)를 차단하는 기능을 갖는다. 차단 부재(18)의 Y 방향의 위치는, 아래에 위치하는 마스크 지지 부재(9b)의 Y 방향의 위치에 거의 일치하게 마련되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 수직 프레임(25) 상에 배치된 브래킷(26) 상에는 가이드 레일(27)이 Y 방향으로 배치되어 있고, 이 가이드 레일(27)에 미끄럼 이동 가능하게 감합된 슬라이더(28)가 플레이트(14)의 양단부에 결합되어 있다. 이에 의해, 스퀴지 유닛(13)은 Y 방향으로 미끄럼 이동 가능하다. 플레이트(14)는, 너트(30), 이송 나사(29) 및 이송 나사(29)를 회전 구동하는 스퀴지 이동용 모터(도시 생략)를 포함하는 스퀴지 이동 수단에 의해 Y 방향으로 수평 이동된다. 이에 의해, 스퀴지(16)가 스크린 마스크(12)에 접촉한 상태에서 스퀴지(16)를 수평 이동시키는 스퀴징 동작이 실행된다.

이어서, 전술한 스크린 인쇄 장치에서 스크린 인쇄부(11)에 의해 실행되는 스크린 인쇄 방법을 설명한다. 우선, 기판 반송 기구(8)에 의해 상류측으로부터 X 방향으로 반입된 기판(10)을, 한 쌍의 클램핑 기구(9a)에 의해 Y 방향으로부터 사이에 끼워 클램핑한다. 이러한 상태에서, 기판 위치 결정부(1)를 구동하여 기판(10)을 스크린 인쇄부(11)에 대하여 수평 방향 및 상하 방향으로 상대 이동시킴으로써, 기판(10)은 스크린 인쇄부(11)의 소정의 인쇄 위치에 위치 결정된다(기판 위치 결정 단계).

이에 의해, 스퀴지 유닛(13)의 스퀴징시에, 기판(10)의 수평 위치가 고정된다. 이러한 상태에서, 크림 솔더(19)가 공급되며 기판(10)이 아래쪽으로 접촉하는 스크린 마스크(12) 상에서 스퀴지(16)를 Y 방향(제2 방향)으로 미끄럼 이동시킴으로써, 패턴 구멍(12b)을 통해 기판(10)에 크림 솔더(19)가 인쇄된다(인쇄 단계).

이어서, 도 4의 (a) 및 (b)를 참조로 하여, 전술한 인쇄 단계에 있어서 차단 부재(18) 및 마스크 지지 부재(9b)의 기능을 설명한다. 도 4의 (a)는, 스퀴지 유닛(13)에서 스퀴지 승강 기구(15)를 작동시켜 스퀴지(16)를 하강시킴으로써(화살표 a), 스퀴지(16)의 하단부를 스크린 마스크(12)에 접촉시킨 상태를 보여준다. 이때, 스퀴지(16)의 양단부에 설치된 차단 부재(18)는 스크린 마스크(12)를 사이에 두고 마스크 지지 부재(9b)의 상면 상에 위치한다. 스퀴징시에는, 스퀴지 승강 기구(15)에 의해 스퀴지(16)를 소정의 인쇄 압력으로 스크린 마스크(12)에 대하여 누르면서, Y 방향(지면에 수직한 방향)으로 왕복 이동시킨다. 스퀴징시에 크림 솔더(19)는, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 스퀴지(16)가 진행하는 스퀴징 방향 뿐만 아니라 스퀴지(16)의 폭 방향(X 방향)으로 서서히 이동하는 거동을 보인다(화살표 b). 이와 같이, 크림 솔더(19)가 폭 방향으로 이동하게 되더라도, 본 실시형태에 나타내어진 바와 같이, 크림 솔더(19)의 유동은 차단 부재(18)에 의해 차단되며, 스퀴지(16)의 폭을 넘어 확장되는 것이 방지된다.

이때의 차단 부재의 효과는, 스크린 마스크(12)의 상면(12c)에 대하여 밀어붙여진 차단 부재(18)의 하면(18a)의 밀봉력(F)에 따라 좌우된다. 본 실시형태에서는, 차단 부재(18)의 아래에 위치하는 스크린 마스크(12)의 하면이 마스크 지지 부재(9b)에 의해 지지되어 있으므로, 스퀴지 승강 기구(15)에 의해 스퀴지(16)에 충분한 압박력이 부여되더라도, 스크린 마스크(12)의 하방으로의 휨 또는 기판(10)의 변형이 일어나지 않으며, 충분한 밀봉력(F)을 확보할 수 있게 된다. 이에 의해, 크림 솔더(19)는 차단 부재(18)에 의해 확실하게 차단되고, 스크린 마스크(12)의 바닥측이 지지되어 있지 않아 휨이 쉽게 발생하는 영역에까지 퍼지는 일이 없다. 따라서, 스크린 마스크(12)의 휨에 기인하여 스크린 마스크(12)의 상면에 크림 솔더(19)가 퇴적되는 것에 기인하는 문제를 방지할 수 있다.

전술한 실시형태에서는, 차단 부재(18)를 스퀴지(16)의 양단부에 설치한 예가 나타내어져 있지만, 차단 부재(18)는 반드시 필요한 것은 아니다. 도 5의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 마스크 지지 부재(9b)만이 구비되어 있는 경우에도, 스크린 마스크(12)의 상면에 크림 솔더(19)가 퇴적되는 것에 기인하는 문제를 감소시킬 수 있다. 도 4의 (a)와 마찬가지로, 도 5의 (a)는, 스퀴지 유닛(13)에서 스퀴지 승강 기구(15)를 작동시켜 스퀴지(16)를 하강시킴으로써(화살표 c), 스퀴지(16)의 하단부를 스크린 마스크(12)에 접촉시킨 상태를 보여준다. 스퀴징시에는, 스퀴지 승강 기구(15)에 의해 스퀴지(16)를 소정의 인쇄 압력으로 스크린 마스크(12)에 대하여 누르면서, Y 방향(지면에 수직한 방향)으로 왕복 이동시킨다.

스퀴징시에, 스퀴지(16)의 인쇄 압력은 스크린 마스크(12)의 상면에 작용하지만, 본 실시형태에서는, 클램핑 부재(9a)와 함께 직사각형 프레임을 형성하는 형상을 가진 마스크 지지 부재(9b)가 스크린 마스크(12)의 하면을 지지한다. 여기서, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 스크린 마스크(12)의 하면에 있어서 마스크 지지 부재(9b)와 기판(10)의 사이에 비지지 영역(R)이 존재하지만, 스크린 마스크(12)는 마스크 지지 부재(9b) 및 기판(10)의 상면과 밀착해 있는 상태로 지지되어 있기 때문에, 비지지 영역(R)에서 발생되는 휨의 양(d)은 매우 작다. 따라서, 스크린 마스크(12)의 휨에 기인하는 크림 솔더(19)의 퇴적을 크게 감소시킬 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 실시형태에 나타내어진 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법에서는, 기판(10)을 사이에 끼워 클램핑하는 한 쌍의 클램핑 부재(9a)의 양단부에, 상기 한 쌍의 클램핑 부재(9a)와 함께 직사각형 프레임을 형성하는 마스크 지지 부재(9b)를 배치하고, 기판(10)을 스크린 마스크(12)의 하면에 접촉시킨 상태에서, 상기 마스크 지지 부재(9b)에 의해 스크린 마스크(12)를 아래쪽으로부터 지지한다.

이에 의해, 종래 기술에서의 문제, 예컨대 스퀴지에서의 차단 부재의 위치를 기판 사이즈에 따라 슬라이드시키는 방식에서 필요한 유지 보수 작업, 즉 사용에 의해 건조되어 부착된 페이스트를 제거 및 청소하기 위해 차단 부재를 탈거 및 취출하는 등, 시간과 노력을 요하는 번거로운 작업을 줄일 수 있다.

본 출원은 2011년 7월 25일자로 출원된 일본 특허 출원(특허 출원 제2011-161683호)에 기초하며, 이 특허 출원의 내용은 본원에 참조로 인용되어 있다.

산업상 이용가능성

본 발명의 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법은, 스크린 마스크 상에의 페이스트의 퇴적을 방지하여, 유지 보수의 시간과 노력을 줄일 수 있다고 하는 특징을 갖고, 크림 솔더 또는 도전성 페이스트 등의 페이스트를 기판에 인쇄하는 스크린 인쇄 분야에서 유용하다.

1: 기판 위치 결정부 8: 기판 반송 기구
9: 클램핑 기구 9a: 클램핑 부재
9b: 마스크 지지 부재 10: 기판
11: 스크린 인쇄부 12: 스크린 마스크
12b: 패턴 구멍 13: 스퀴징 유닛
16: 스퀴지 19: 크림 솔더

Claims

패턴 구멍이 마련된 스크린 마스크에 대하여 기판을 접촉시킴으로써 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 장치로서,
상류측으로부터 제1 방향으로 반입된 상기 기판을, 한 쌍의 클램핑 부재에 의해, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 사이에 끼워 클램핑한 상태에서, 수평 방향 및 상하 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써, 정해진 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정부;
상기 페이스트가 공급되며 상기 기판이 아래쪽으로부터 접촉하는 스크린 마스크 상에서, 스퀴지를 상기 제2 방향으로 미끄럼 이동시킴으로써, 상기 패턴 구멍을 통해 상기 기판에 상기 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄부; 및
상기 한 쌍의 클램핑 부재의 상기 제1 방향에서의 양단부에 상기 제2 방향으로 배치되어 상기 한 쌍의 클램핑 부재와 함께 직사각형 프레임을 형성하고, 상기 기판이 상기 스크린 마스크의 하면에 접촉한 상태에서 스크린 마스크를 아래쪽으로부터 지지하는 마스크 지지 부재
를 포함하는 스크린 인쇄 장치.
패턴 구멍이 마련된 스크린 마스크에 대하여 기판을 접촉시킴으로써 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 방법으로서,
상류측으로부터 제1 방향으로 반입된 상기 기판을, 한 쌍의 클램핑 부재에 의해, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 사이에 끼워 클램핑한 상태에서, 수평 방향 및 상하 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써, 정해진 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 단계; 및
상기 페이스트가 공급되며 상기 기판이 아래쪽으로부터 접촉하는 스크린 마스크 상에서, 스퀴지를 상기 제2 방향으로 미끄럼 이동시킴으로써, 상기 패턴 구멍을 통해 상기 기판에 상기 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 단계
를 포함하고, 상기 스크린 인쇄 단계에서는, 상기 한 쌍의 클램핑 부재의 상기 제1 방향에서의 양단부에 상기 제2 방향으로 배치되어 상기 한 쌍의 클램핑 부재와 함께 직사각형 프레임을 형성하는 마스크 지지 부재에 의해, 상기 스크린 마스크가 아래쪽으로부터 지지되는 것인 스크린 인쇄 방법.