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KR20130054975A - Method and apparatus for constrolling reflectance and manufacturing the same - Google Patents

Method and apparatus for constrolling reflectance and manufacturing the same Download PDF

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KR20130054975A
KR20130054975A KR1020130048552A KR20130048552A KR20130054975A KR 20130054975 A KR20130054975 A KR 20130054975A KR 1020130048552 A KR1020130048552 A KR 1020130048552A KR 20130048552 A KR20130048552 A KR 20130048552A KR 20130054975 A KR20130054975 A KR 20130054975A
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reflector
reflectivity
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Korean (ko)
Inventor
주재현
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주식회사 나노브릭
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    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60RVEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B60R1/00Optical viewing arrangements; Real-time viewing arrangements for drivers or passengers using optical image capturing systems, e.g. cameras or video systems specially adapted for use in or on vehicles
    • B60R1/02Rear-view mirror arrangements
    • B60R1/08Rear-view mirror arrangements involving special optical features, e.g. avoiding blind spots, e.g. convex mirrors; Side-by-side associations of rear-view and other mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/165Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on translational movement of particles in a fluid under the influence of an applied field
    • G02F1/166Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on translational movement of particles in a fluid under the influence of an applied field characterised by the electro-optical or magneto-optical effect
    • G02F1/167Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on translational movement of particles in a fluid under the influence of an applied field characterised by the electro-optical or magneto-optical effect by electrophoresis

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Abstract

본 발명에 따르면, 반사도 조절 장치 및 그 제조 방법이 제공된다.According to the present invention, a reflectance adjusting device and a method of manufacturing the same are provided.

Description

반사도 조절 방법, 장치 및 그 제조 방법{METHOD AND APPARATUS FOR CONSTROLLING REFLECTANCE AND MANUFACTURING THE SAME}Reflectivity control method, apparatus and manufacturing method therefor {METHOD AND APPARATUS FOR CONSTROLLING REFLECTANCE AND MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 반사도 조절 방법, 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for adjusting reflectivity, an apparatus, and a method for manufacturing the same.

자동차의 사이드 미러(Side Mirror)나 리어 뷰 미러(Real View Mirror)에는 입사되는 조명의 세기나 주변 밝기에 따라 반사도가 자동으로 조절되는(오토 디밍, Auto Dimming) 장치가 적용되고 있고, 이에 따라 후방의 조명으로부터 운전자의 시야가 보호될 수 있게 된다.In the side mirror or the rear view mirror of the vehicle, a reflector is automatically adjusted according to the intensity of the incident light or the ambient brightness (auto dimming). The driver's field of vision can be protected from the lighting.

종래의 오토 디밍(Auto dimming) 장치로는 EC(electro chromic) 물질이 이용하는 장치가 가장 많이 사용되고 있으나, 이러한 종래의 자동 디밍 장치는 동작 속도가 느리다는 단점을 가지고 있다.Conventional auto dimming (Auto dimming) is the most widely used device using an electro chromic (EC) material, but the conventional automatic dimming device has a disadvantage that the operating speed is slow.

본 발명은 반사도 조절 방법, 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a reflectance adjusting method, an apparatus, and a manufacturing method thereof.

본 발명에 따른 반사도 조절 방법은, 동일 부호의 전하로 대전된 입자들이 분산된 용액이 반사판을 포함하는 하부 전극과 패터닝된 상부 전극 사이에 충진된 상태에서, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극에 소정의 전압을 인가하여 상기 입자들의 위치를 조절함으로써 상기 반사판에 의하여 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절하는 것을 특징으로 한다.In the reflectance control method according to the present invention, a solution in which particles charged with charge of the same sign are dispersed is filled between a lower electrode including a reflector and a patterned upper electrode, and the lower electrode and the upper electrode have a predetermined value. By applying a voltage to adjust the position of the particles is characterized in that for controlling the reflectivity of the external irradiation light reflected by the reflector.

그리고, 본 발명에 따른 반사도 조절 방법은, 동일 부호의 전하로 대전된 입자들이 분산된 용액이 광투과성 물질로 이루어진 상부 전극과 반사판 위에 형성되는 특정 패턴의 절연체를 포함하는 하부 전극 사이에 충진된 상태에서, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극에 소정의 전압을 인가하여 상기 입자들의 위치를 조절함으로써 상기 반사판에 의해 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절하는 것을 특징으로 한다.In the reflectance control method according to the present invention, a solution in which particles charged with charge of the same sign are dispersed is filled between an upper electrode made of a light transmissive material and a lower electrode including a specific pattern of insulator formed on a reflecting plate. In this case, by applying a predetermined voltage to the lower electrode and the upper electrode to adjust the position of the particles, it characterized in that the reflectivity of the external irradiation light reflected by the reflector.

그리고, 본 발명에 따른 반사도 조절 방법은, 동일 부호의 전하로 대전된 입자들이 분산된 용액이 반사판을 포함하고 적어도 한 쌍의 전극 패턴을 포함하는 단위 소자 내에 충진된 상태에서, 상기 적어도 한 쌍의 전극 패턴에 소정의 전압을 인가하여 상기 입자들의 위치를 조절함으로써 상기 반사판에 의해 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절하는 것을 특징으로 한다.In addition, the reflectance control method according to the present invention, in a state in which a solution in which particles charged with charge of the same sign is dispersed is filled in a unit device including a reflector and at least a pair of electrode patterns, the at least one pair By applying a predetermined voltage to the electrode pattern to adjust the position of the particles is characterized in that for controlling the reflectivity of the external irradiation light reflected by the reflector.

본 발명에 의하면, 반사도 조절 방법, 장치 및 그 제조 방법을 제공할 수 있게 된다.According to the present invention, it is possible to provide a reflectance adjusting method, an apparatus, and a manufacturing method thereof.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사도 조절 소자의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사도 조절 소자의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 반사도 조절 소자의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 반사도 조절 장치의 격벽을 제조하는 과정을 예시적으로 나타내는 도면이다.
FIG. 1 is a diagram exemplarily illustrating a configuration of a reflectivity adjusting device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram exemplarily illustrating a configuration of a reflectivity adjusting device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
3 is a diagram exemplarily illustrating a configuration of a reflectivity adjusting device according to a third exemplary embodiment of the present invention.
4 to 6 are diagrams exemplarily illustrating a process of manufacturing a partition of a reflectivity control apparatus according to an embodiment of the present invention.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that show, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different, but need not be mutually exclusive. For example, certain features, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with an embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is to be limited only by the appended claims, along with the full scope of equivalents to which such claims are entitled, if properly explained. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions throughout the several views.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in order that those skilled in the art can easily carry out the present invention.

반사도 조절 장치(소자)의 구성Composition of reflectivity control device (element)

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사도 조절 소자의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.FIG. 1 is a diagram exemplarily illustrating a configuration of a reflectivity adjusting device according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사도 조절 소자는, 동일 부호의 전하로 대전된 입자들이 분산된 용액이 반사판 위에 형성된 하부 전극과 패터닝된 상부 전극에 충진된 상태에서, 하부 전극과 상부 전극에 소정의 전압을 인가하여 입자들의 위치를 조절함으로써(즉, 입자들이 패터닝된 상부 전극 쪽으로 집중되는 정도를 조절함으로써) 하부 전극에 포함되는 반사판에 의하여 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절할 수 있다.Referring to FIG. 1, the reflectance control device according to the first embodiment of the present invention includes a lower portion in a state in which a solution in which particles charged with charge of the same sign is dispersed is filled in a lower electrode formed on a reflector and a patterned upper electrode. Adjusting the position of the particles by applying a predetermined voltage to the electrode and the upper electrode (i.e., adjusting the degree of concentration of the particles toward the patterned upper electrode) to adjust the reflectivity of the external irradiation light reflected by the reflector included in the lower electrode. Can be.

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사도 조절 소자의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a diagram exemplarily illustrating a configuration of a reflectivity adjusting device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사도 조절 소자는, 동일 부호의 전하로 대전된 입자들이 분산된 용액이 광투과성 물질로 이루어진 상부 전극과 반사판 위에 형성되는 특정 패턴의 절연체(하부 전극의 상부에 형성됨)를 포함하는 하부 전극 사이에 충진된 상태에서, 하부 전극과 상부 전극에 소정의 전압을 인가하여 입자들의 위치를 조절함으로써(즉, 입자들이 특정 패턴의 절연체 사이로 집중되는 정도를 조절함으로써) 하부 전극의 반사판에 의해 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절할 수 있다.Referring to FIG. 2, the reflectance control device according to the second embodiment of the present invention includes a specific pattern of insulator formed on the reflecting plate and the upper electrode made of a light transmissive material in which particles charged with charge of the same sign are dispersed ( In the state filled between the lower electrode including the lower electrode, the predetermined position is applied to the lower electrode and the upper electrode to adjust the position of the particles (i.e., the degree of concentration of particles between the insulators in a specific pattern). By adjusting the reflectivity of the external irradiation light reflected by the reflector of the lower electrode can be adjusted.

도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 반사도 조절 소자의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.3 is a diagram exemplarily illustrating a configuration of a reflectivity adjusting device according to a third exemplary embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명을 제3 실시예에 따른 반사도 조절 소자는, 반사판 역할을 수행하는 하부 전극이 한 쌍의 패턴 전극(패턴 전극 1 및 2)으로 구성되도록 형성하고, 2개의 패턴 전극에 소정의 전압을 인가하여 입자의 이동을 조절함으로써 하부 전극에 포함되는 반사판에 의하여 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절할 수 있다. 또한, 본 발명의 제3 실시예에 따르면, 반사도 조절 소자의 하부에 반사판을 배치시키고 반사도 조절 소자의 상부에 한 쌍의 패턴전극을 배치시킴으로써 외부 조사광의 반사도를 조절할 수 있는 반사도 조절 장치를 구현할 수도 있다.Referring to FIG. 3, the reflectivity adjusting element according to the third embodiment of the present invention is formed such that a lower electrode serving as a reflecting plate is composed of a pair of pattern electrodes (pattern electrodes 1 and 2), and two pattern electrodes. By controlling the movement of the particles by applying a predetermined voltage, the reflectivity of the external irradiation light reflected by the reflector included in the lower electrode can be adjusted. In addition, according to the third embodiment of the present invention, a reflectance control device that can adjust the reflectivity of the external irradiation light by arranging a reflecting plate on the lower portion of the reflectivity adjusting element and a pair of pattern electrodes on the upper portion of the reflectivity adjusting element may be implemented. have.

소재의 구성Material composition

본 발명의 일 실시예에 따르면, 입자의 크기는 10nm~200nm 일 수 있다.According to one embodiment of the invention, the size of the particles may be 10nm ~ 200nm.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 입자는 탄소(Carbon)를 포함하는 검은색(Black color) 물질을 포함하거나, 산화티타늄(TiOx)을 포함하는 흰색(White color) 물질을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the particles may include a black color material including carbon or a white color material including titanium oxide (TiOx).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 입자는 그 자체로서 특정 컬러를 가질 수 있다.According to one embodiment of the invention, the particles may themselves have a particular color.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 입자가 분산되는 용매로는 광투과성 용매, 특정 컬러의 염료가 혼합된 컬러 용매가 사용될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, as the solvent in which the particles are dispersed, a light transmissive solvent, a color solvent in which a dye of a specific color is mixed may be used.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 외부 조사광을 반사시키는 반사판으로는 크롬(Cr), 니켈(Ni) 및 알루미늄(Al) 중 적어도 하나를 포함하는 막이 사용될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a film including at least one of chromium (Cr), nickel (Ni), and aluminum (Al) may be used as a reflecting plate for reflecting externally irradiated light.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 전극 표면에 질화규소(SiNx) 및 산화규소(SiOx) 중 적어도 하나가 포함된 절연체가 코팅될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, an insulator including at least one of silicon nitride (SiNx) and silicon oxide (SiOx) may be coated on the electrode surface.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상부 기판과 하부 기판 사이에 충진되는 용액(즉, 입자가 분산된 용액)은 절연성 매체로 이루어진 격벽으로 구획화되거나 광투과성 매질로 이루어진 캡슐로 캡슐화될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the solution filled between the upper substrate and the lower substrate (ie, a solution in which particles are dispersed) may be partitioned into a partition wall of an insulating medium or encapsulated into a capsule of a light transmissive medium.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상부 기판 및 하부 기판은 유연성 기판(flexible substrate)으로 구성될 수 있다.According to one embodiment of the invention, the upper substrate and the lower substrate may be composed of a flexible substrate (flexible substrate).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 전극 패턴이나 격벽은 리쏘그라피(Lithography) 기법, 프린팅 기법 등에 의하여 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the electrode pattern or the partition wall may be formed by lithography, printing, or the like.

쌍안정성Bistable

본 발명의 일 실시예에 따르면, 투과도 조절을 위해 인가되었던 구동 전압이 제거된 이후에도 구동 전압이 인가되었던 때의 투과도가 유지되는 특성(즉, 쌍안정성(Bi-stability))을 구현하기 위하여, 아래에 기술된 방법 중 적어도 하나의 방법을 이용하거나 조합할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in order to implement a characteristic (i.e., bi-stability) in which the transmittance is maintained even when the driving voltage is applied even after the driving voltage applied for adjusting the transmittance is removed. At least one of the methods described in the above may be used or combined.

구체적으로, 고밀도 입자에 저밀도 물질을 코팅함으로써 입자와 용매의 비중 차이를 최소화할 수 있다.Specifically, by coating a low density material on the high density particles, it is possible to minimize the difference in specific gravity of the particles and the solvent.

또한, 입자의 표면에 계면활성제, 전하부여제 등의 첨가제를 첨가하여 제타 전위의 절대값을 크게 할 수 있다. 또한, 입체 장애(Steric hindrance effect) 효과를 유발하여 분산도를 최대화할 수 있다.In addition, additives such as surfactants and charge-imparting agents can be added to the surface of the particles to increase the absolute value of the zeta potential. In addition, the dispersion can be maximized by inducing a steric hindrance effect.

또한, 소자에 일정 또는 가변 용량을 가지는 캐패시터를 별도로 장착하여 구동 전압이 인가될 때 캐패시터에 전하가 축전되도록 하고, 이로써 구동 전압이 차단된 이후에도 소자에 인가되고 있던 소정의 전압이 유지되도록 할 수 있다.In addition, a capacitor having a constant or variable capacitance may be separately installed in the device so that charge is stored in the capacitor when the driving voltage is applied, thereby maintaining a predetermined voltage applied to the device even after the driving voltage is cut off. .

또한, 소자에 포함되는 용액에 첨가되는 첨가제의 양을 조절하여 용액의 전기 전도도를 최소화할 수 있다.In addition, it is possible to minimize the electrical conductivity of the solution by adjusting the amount of additives added to the solution included in the device.

문턱 전압Threshold voltage

본 발명의 일 실시예에 따르면, 용액의 점도를 조절하는 방법, 입자의 표면전하를 조절하는 방법, 소정의 첨가제를 첨가하는 방법 등을 이용하여 입자가 구동되기(즉, 움직이기) 위한 최소의 전압인 문턱전압의 값을 조절할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the method of controlling the viscosity of the solution, the method of controlling the surface charge of the particles, the method of adding a predetermined additive, etc. The threshold voltage, which is a voltage, can be adjusted.

소자 구동Device drive

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 전극 및 제2 전극 사이의 소자에 전압을 인가하기 전에 기존에 인가되었던 전압으로 인해 축적되었던 전하를 효과적으로 제거하기 위해서, 새로운 전압을 인가하기 전에 단위 소자 내에 충전되어 있는 전하를 소정의 값으로 초기화(Reset)시킬 수 있다. 초기화를 위한 구체적인 방법으로서, 새로운 전압을 인가하기 전에 제1 전극(상부 투명 전극)과 제2 전극(하부 패턴 전극)을 전기적으로 단락(Short)시켜 방전(discharge)시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 새로운 전압을 인가하기 전에 투명 전극과 패턴 전극을 접지시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in order to effectively remove the charge accumulated due to the voltage applied before the voltage is applied to the device between the first electrode and the second electrode, in the unit device before applying a new voltage The charged charge can be reset to a predetermined value. As a specific method for initialization, before the new voltage is applied, the first electrode (upper transparent electrode) and the second electrode (lower pattern electrode) may be electrically shorted to discharge. In addition, according to an embodiment of the present invention, the transparent electrode and the pattern electrode may be grounded before applying a new voltage.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 새로운 전압을 인가하기 전에 소정의 시간 동안 투명 전극과 패턴 전극에 교류 전압을 인가함으로써 충전되었던 전하를 초기화할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the charged charge may be initialized by applying an alternating voltage to the transparent electrode and the pattern electrode for a predetermined time before applying a new voltage.

제작 공정Manufacturing process

본 발명의 일 실시예에 따르면, (i) 하부 전극으로서 Cr 등을 포함하는 메탈 전극을 전면에 형성하고, (ii) 메탈 전극 상측에 SiNx 등을 포함하는 제1 절연막을 상대적으로 얇게 형성하고, (iii) SiNx 등을 포함하는 얇은 절연막 위에 SiOx 등을 포함하는 제2 절연막을 상대적으로 두껍게 형성하고, (iv) 마스크(Mask)를 이용해 특정 영역(Site)의 SiOx를 에칭하여 하부 hole 패턴을 형성하고, (v) 포토레지스트(PR) 공정 등을 이용해 상부 전극과 하부 전극 사이의 스페이서(Spacer)를 형성하고, (vi) 상부 전극과 하부 전극 사이에 입자가 분산된 용액을 충진시킨 뒤, (vii) 광투과성 상부 전극을 씰링함으로써 반사도 조절 장치를 제작할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, (i) a metal electrode containing Cr or the like as a lower electrode is formed on the entire surface, and (ii) a relatively thin first insulating film containing SiNx or the like is formed on the metal electrode, (iii) forming a relatively thick second insulating film containing SiOx or the like on a thin insulating film containing SiNx, and (iv) etching a SiOx in a specific area using a mask to form a lower hole pattern. (V) forming a spacer between the upper electrode and the lower electrode using a photoresist (PR) process, etc., (vi) filling a solution in which particles are dispersed between the upper electrode and the lower electrode, vii) A reflectivity adjusting device can be manufactured by sealing a light transmissive upper electrode.

또한, 발명의 일 실시예에 따르면, (i) 하부 전극으로서 Cr 등을 포함하는 메탈 전극을 전면에 형성하고, (ii) 메탈 전극 상측에 SiNx 등을 포함하는 제1 절연막을 상대적으로 얇게 형성하고, (iii) 리소그래피 공정 등을 통해 메탈 전극을 패터닝하여 입자가 집합될 수 있는 영역(site)을 형성하고, (iv) 패터닝된 메탈 전극 사이에 입자가 분산된 용액을 충진시킨 뒤, (v) 광투과성 상부 전극을 씰링함으로써 반사도 조절 장치를 제작할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, (i) a metal electrode containing Cr or the like as a lower electrode is formed on the entire surface, and (ii) a relatively thin first insulating film including SiNx is formed on the metal electrode. (iii) patterning the metal electrode through a lithography process to form a site where particles can be collected, (iv) filling a solution in which particles are dispersed between the patterned metal electrode, and (v) By sealing the light transmissive upper electrode, a reflectivity adjusting device can be manufactured.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상부 전극과 하부 전극 사이의 갭 스페이서(Gap Spacer)를 다이렉트 프린팅(direct printing)방법을 이용하여 제작할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, a gap spacer between the upper electrode and the lower electrode may be manufactured by using a direct printing method.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 단차가 있는 갭 스페이서(Gap Spacer)와 하부 전극 패턴을 임프린트(imprint) 등의 방법을 이용하여 동시에 제작할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, a gap spacer with a step and a lower electrode pattern may be simultaneously manufactured using a method such as imprint.

격벽 제조 공정Bulkhead manufacturing process

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사도 조절 장치는 하부 기판(110), 제1 격벽(120), 제2 격벽(145), 상부 기판(130)이 포함할 수 있고, 하부 기판(110)과 상부 기판(130) 사이에는 자외선 경화성(UV Curable) 물질을 포함하는 표시 물질(140)이 충진되어 있을 수 있다. 여기서, 본 발명에 따른 표시 물질(140) 에는, 전기영동(electrophoresis) 물질, 전기습윤(electrowetting) 물질, 콜레스테릭(cholesteric) 액정 물질, 광결정(photonic crystal) 물질, 광간섭(optical interference) 물질 등이 포함될 수 있다. 이상에서 열거한 표시 물질은 그 자체로서는 모두 공지기술에 해당하기 때문에 본 명세서에는 이들의 동작원리에 관한 자세한 설명을 생략하기로 한다.According to an embodiment of the present invention, the reflectivity adjusting apparatus may include a lower substrate 110, a first partition wall 120, a second partition wall 145, and an upper substrate 130, and a lower substrate 110. The display material 140 including the UV curable material may be filled between the upper substrate 130. Herein, the display material 140 according to the present invention includes an electrophoresis material, an electrowetting material, a cholesteric liquid crystal material, a photonic crystal material, and an optical interference material. And the like. Since the display materials listed above are all known technologies per se, detailed descriptions of the principles of their operation will be omitted.

반사도 조절 장치의 제조 방법Manufacturing method of reflectivity control device

도 4 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 반사도 조절 장치의 격벽을 제조하는 과정을 예시적으로 나타내는 도면이다.4 to 6 are diagrams exemplarily illustrating a process of manufacturing a partition of a reflectivity control apparatus according to an embodiment of the present invention.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 하부 기판(110) 상에 행 방향 및 열 방향 중 어느 한 방향으로만 제1 격벽(120)을 형성할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 하부 기판(110) 상에 제1 격벽(120)을 형성시킴에 있어서 롤-투-롤(Roll-to-Roll) 공법이 사용될 수 있는데, 이에 따라 공정 효율을 향상시킬 수 있게 된다. 그리고, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 위와 같이 형성된 제1 격벽(120) 상에 상부 기판(130)을 결합할 수 있다.First, according to an embodiment of the present invention, the first partition wall 120 may be formed only in one of a row direction and a column direction on the lower substrate 110. According to an embodiment of the present invention, in forming the first partition wall 120 on the lower substrate 110, a roll-to-roll method may be used, thereby improving process efficiency. It can be improved. In addition, according to an embodiment of the present invention, the upper substrate 130 may be coupled onto the first partition wall 120 formed as described above.

다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 격벽(120)이 형성된 하부 기판(110)과 상부 기판(130) 사이에 자외선 경화성 물질을 포함하는 표시 물질(140)을 주입시킬 수 있다. 이때 사용될 수 있는 주입 방법으로는, 압력 차이에 의한 모세관 현상 등을 이용하는 방법이 사용될 수 있다. 다만, 본 발명에 따른 표시 물질(140)의 주입 방법이 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위 내에서 얼마든지 변경될 수 있음을 밝혀 둔다.Next, according to an exemplary embodiment, the display material 140 including the ultraviolet curable material may be injected between the lower substrate 110 and the upper substrate 130 on which the first partition wall 120 is formed. At this time, as the injection method that can be used, a method using a capillary phenomenon due to the pressure difference may be used. However, the method of injecting the display material 140 according to the present invention is not limited thereto, and may be changed as long as the object of the present invention can be achieved.

다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 격벽(120)이 형성된 하부 기판(110)과 상부 기판(130) 사이에 주입된 자외선 경화성 물질을 포함하는 표시 물질(140)에 대하여 자외선을 조사하되, 제2 격벽(145)이 형성될 영역에 대하여만 선택적으로 자외선을 조사할 수 있다. 구체적으로, 제2 격벽(145)이 형성될 영역은 앞서 제1 격벽(120)이 형성된 방향과 수직한 방향을 따라 설정될 수 있는데, 예를 들면, 제1 격벽(120)이 행 방향으로 형성되어 있으면 제2 격벽(145)이 형성될 영역은 열 방향으로 설정될 수 있고, 제1 격벽(120)이 열 방향으로 형성되어 있으면 제2 격벽(145)이 형성될 영역은 행 방향으로 설정될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따라 자외선 경화성 물질을 포함하는 표시 물질(140)에 대하여 선택적으로(즉, 제2 격벽(145)이 형성될 영역에 대하여만) 자외선을 조사하면, 자외선이 조사된 영역에 존재하는 자외선 경화성 물질이 경화될 수 있고 이에 따라 자외선이 조사된 영역이 제2 격벽(145)이 형성될 수 있게 된다. 이때, 자외선이 선택적으로 조사되도록 하기 위하여 마스크(150) 등이 활용될 수 있다.Next, according to an embodiment of the present invention, ultraviolet rays are emitted to the display material 140 including the ultraviolet curable material injected between the lower substrate 110 and the upper substrate 130 on which the first partition wall 120 is formed. Irradiation may be performed, but ultraviolet rays may be selectively irradiated only to a region where the second partition wall 145 is to be formed. Specifically, the region where the second partition wall 145 is to be formed may be set along a direction perpendicular to the direction in which the first partition wall 120 is formed. For example, the first partition wall 120 is formed in the row direction. If the first partition wall 145 is formed in the column direction, the region in which the second partition wall 145 is to be formed may be set in the row direction. Can be. According to the exemplary embodiment of the present invention, when the ultraviolet rays are selectively irradiated on the display material 140 including the ultraviolet curable material (ie, only for the region where the second partition wall 145 is to be formed), the ultraviolet rays are irradiated. The ultraviolet curable material present in the may be cured so that the second partition 145 may be formed in the region irradiated with ultraviolet rays. In this case, the mask 150 may be used to selectively irradiate ultraviolet rays.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 격벽(120)과 제2 격벽(145) 사이의 공간에 존재하는 표시 물질(140) 내에 남아 있는 자외선 경화성 물질을 제거하기 위하여 제1 격벽(120)과 제2 격벽(145) 사이의 영역에 대하여 소정의 세기의 자외선을 조사할 수 있으며, 이에 따라 남아 있는 자외선 경화성 물질이 부분적으로 경화되면서 제거될 수 있다.Meanwhile, according to an embodiment of the present invention, the first partition wall 120 is used to remove the ultraviolet curable material remaining in the display material 140 existing in the space between the first partition wall 120 and the second partition wall 145. UV light of a predetermined intensity may be irradiated to the region between the second partition 145 and the second partition 145, and thus, the remaining ultraviolet curable material may be partially cured and removed.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, UV Curing 방법으로 격벽을 형성하되 격벽이 Curing되는 조사량보다 적은 량을 조사하여 1차적으로 격벽을 형성한 후, 상판을 덮고 2차적으로 UV를 조사하여 격벽을 완성할 수 있다.On the other hand, according to an embodiment of the present invention, after forming the partition wall by UV Curing method, but irradiating an amount smaller than the irradiation amount of the partition wall to form the partition wall first, after covering the top plate and irradiated UV secondary partition wall Can be completed.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 격벽 상부에만 접착층을 형성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the adhesive layer may be formed only on the partition wall.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 격벽은 롤-투-롤 방법으로 제작하고, 상판 봉합(sealing) 공정은 단위 평판 공정으로 진행하는 것을 혼합하여 이용할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the partition wall may be manufactured by a roll-to-roll method, and the sealing of the upper plate may be used by mixing the advancing to the unit flat plate process.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 전극 재료를 이용하여 격벽을 형성할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a partition wall may be formed using an electrode material.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 격벽에 입자가 흡착되는 것을 방지하기 위하여 입자(혹은 고농도의 용액)을 먼저 격벽에 주입한 후, 용매는 나중에 추가로 주입할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, in order to prevent the particles from adsorbing on the partition walls, the particles (or high concentration solutions) are first injected into the partition walls, and then the solvent may be further injected later.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 UV Curable 물질 대신에 Thermal Curable 물질을 사용하여 UV 대신 열로 경화시켜 격벽을 형성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a thermal barrier may be formed by curing with heat instead of UV using a thermal curable material instead of the UV curable material.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 UV Curable 물질 대신에 시간이 지나면 경화되는 물질을 사용하여 일정 시간 후 격벽이 형성되도록 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, instead of the UV Curable material, a barrier may be formed after a predetermined time by using a material that is cured over time.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 격벽 물질과 하부 전극 패턴을 동시에 형성할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the barrier material and the lower electrode pattern may be simultaneously formed.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 격벽 물질로서 광투과 물질로 이루어진 광경화 물질, 열경화 물질 등이 사용될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a photocurable material, a thermosetting material, etc. made of a light transmitting material may be used as the barrier material.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명의 격벽 형성 방법을 투과도 조절 소자, 반사도 조절 소자, 컬러 조절 소자 등에 적용될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the barrier rib forming method of the present invention may be applied to a transmittance adjusting element, a reflectivity adjusting element, a color adjusting element, and the like.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, the present invention has been described by specific embodiments such as specific components and the like. For those skilled in the art, various modifications and variations are possible from these descriptions.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Accordingly, the spirit of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described, and all of the equivalents or equivalents of the claims, as well as the following claims, belong to the scope of the present invention .

110: 하부 기판
120: 제1 격벽
130: 상부 기판
140: 표시 물질
145: 제2 격벽
150: 마스크
110: lower substrate
120: first bulkhead
130: upper substrate
140: display material
145: second bulkhead
150: mask

Claims (3)

동일 부호의 전하로 대전된 입자들이 분산된 용액이 반사판을 포함하는 하부 전극과 패터닝된 상부 전극 사이에 충진된 상태에서, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극에 소정의 전압을 인가하여 상기 입자들의 위치를 조절함으로써 상기 반사판에 의하여 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절하는 것을 특징으로 하는 반사도 조절 방법.In a state where a solution in which particles charged with the same sign are dispersed is filled between a lower electrode including a reflecting plate and a patterned upper electrode, a predetermined voltage is applied to the lower electrode and the upper electrode to adjust the position of the particles. And adjusting the reflectivity of the external irradiated light reflected by the reflector. 동일 부호의 전하로 대전된 입자들이 분산된 용액이 광투과성 물질로 이루어진 상부 전극과 반사판 위에 형성되는 특정 패턴의 절연체를 포함하는 하부 전극 사이에 충진된 상태에서, 상기 하부 전극과 상기 상부 전극에 소정의 전압을 인가하여 상기 입자들의 위치를 조절함으로써 상기 반사판에 의해 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절하는 것을 특징으로 하는 반사도 조절 방법.A predetermined solution is formed on the lower electrode and the upper electrode in a state in which a solution in which charged particles having the same sign is dispersed is filled between an upper electrode made of a light transmissive material and a lower electrode including a specific pattern of insulator formed on a reflector. Reflectance of the external irradiation light reflected by the reflector by adjusting the position of the particles by applying a voltage of the reflectance control method. 동일 부호의 전하로 대전된 입자들이 분산된 용액이 반사판을 포함하고 적어도 한 쌍의 전극 패턴을 포함하는 단위 소자 내에 충진된 상태에서, 상기 적어도 한 쌍의 전극 패턴에 소정의 전압을 인가하여 상기 입자들의 위치를 조절함으로써 상기 반사판에 의해 반사되는 외부 조사광의 반사도를 조절하는 것을 특징으로 하는 반사도 조절 방법.In a state in which a solution in which particles charged with charge of the same sign are dispersed is filled in a unit element including a reflector and at least one pair of electrode patterns, a predetermined voltage is applied to the at least one pair of electrode patterns to form the particles. Reflectance of the external irradiated light reflected by the reflector by adjusting the position of the reflector.
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