KR20130009648A

KR20130009648A - Ultraviolet irradiation device

Info

Publication number: KR20130009648A
Application number: KR1020120075514A
Authority: KR
Inventors: 요시노리 가나모리; 가즈야 하타세; 쓰요시 가타기리
Original assignee: 가부시키가이샤 지에스 유아사
Priority date: 2011-07-13
Filing date: 2012-07-11
Publication date: 2013-01-23
Also published as: JP2013034989A; TW201310497A; CN102881556A

Abstract

PURPOSE: An UV(Ultra-Violet) exposing apparatus is provided to simplify an external wire while simplifying an operation of exchanging some of UV ray lamps at the same time as a number of the UV ray lamps can be corresponded to a width of a work piece. CONSTITUTION: An UV(Ultra-Violet) exposing apparatus has a longitudinal direction of each UV ray lamp(5) parallel to one another. The longitudinal direction of each of the UV ray lamps is arranged parallel to a returning direction of a work piece(W). Or, the longitudinal direction of each of the UV ray lamps is arranged to form an acute angle with the returning direction of the work piece. The UV exposing apparatus has an UV exposing unit in which a plurality of UV ray lamps is unitized. The UV exposing apparatus includes a plurality of UV exposing units. The UV exposing unit is unitized by a feeding member that feeds power to the plurality of UV ray lamps. [Reference numerals] (AA) Width direction; (BB) Workpiece transfer direction

Description

UV irradiation device {ULTRAVIOLET IRRADIATION DEVICE}

본 발명은 자외선 조사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ultraviolet irradiation apparatus.

종래의 자외선 조사 장치는, 특허 문헌 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 자외선 램프를 그 길이 방향이 공작물의 반송 방향과 직교하도록 배치하고 있다. 이와 같이 종래의 자외선 조사 장치는, 자외선 램프의 길이 방향을 공작물의 반송 방향에 직교하여 배치함으로써, 공작물의 반송 방향에 직교하는 폭 방향에서의 자외선의 조사 분포가 균일하게 되도록 구성하고 있다.The conventional ultraviolet irradiation device arrange | positions a some ultraviolet lamp so that the longitudinal direction may orthogonally cross the workpiece conveyance direction, as shown in patent document 1. Thus, the conventional ultraviolet irradiation apparatus is comprised so that the irradiation distribution of the ultraviolet-ray in the width direction orthogonal to the conveyance direction of a workpiece | work may be made uniform by arrange | positioning the longitudinal direction of an ultraviolet lamp orthogonal to the conveyance direction of a workpiece | work.

그러나, 공작물의 거대화에 따라 공작물의 폭 방향도 커져, 자외선 램프의 방전관 길이를 길게 할 필요가 있다. 그러면, 방전관의 휨을 무시할 수 없게 되어, 조사 불균일을 초래할 뿐 아니라, 방전관과 공작물의 접촉이 발생하므로, 이들을 방지하기 위한 연구가 필요하게 된다.However, as the workpiece is enlarged, the width direction of the workpiece also increases, and it is necessary to lengthen the discharge tube length of the ultraviolet lamp. Then, the warpage of the discharge tube cannot be neglected, which causes irradiated nonuniformity, and the contact of the discharge tube with the workpiece occurs, so that a study for preventing them is required.

또, 상기 구성의 자외선 조사 장치에서는, 공작물에 맞추어 광량을 증가시키기 위해서는, 방전관의 단면적을 크게 하여 자외선의 조사 폭을 증가시키는 방법이 고려되지만, 그러면, 전원 장치를 대형화할 필요가 생겨 장치 비용 및 설치 공간의 관점에서 바람직하지 않다.Moreover, in the ultraviolet irradiation device of the said structure, in order to increase the light quantity according to a workpiece, the method of increasing the cross-sectional area of a discharge tube and increasing the irradiation range of an ultraviolet-ray is considered, but it becomes necessary to enlarge a power supply device, It is not preferable in view of the installation space.

그리고, 특허 문헌 2에 나타낸 바와 같이, 자외선 램프의 길이 방향을 공작물의 반송 방향에 평행하게 배치한 자외선 조사 장치가 고려되고 있다.And as shown in patent document 2, the ultraviolet irradiation device which arrange | positioned the longitudinal direction of the ultraviolet lamp parallel to the conveyance direction of a workpiece is considered.

그러나, 이 자외선 조사 장치에서는, 복수의 자외선 램프의 길이 방향을 공작물의 반송 방향에 평행하게 배치한 것뿐이며, 각 자외선 램프에 급전을 행하기 위한 배선이 복잡하게 되어, 고장난 방전관을 교환하는 작업이 번잡하게 된다는 문제가 있다.However, in this ultraviolet irradiation device, only the longitudinal direction of the several ultraviolet lamps was arrange | positioned in parallel with the conveyance direction of a workpiece | work, and the wiring for supplying power to each ultraviolet lamp becomes complicated, and the operation which replaces the failed discharge tube is difficult. There is a problem of being troublesome.

특허 문헌 1: 일본 공개특허공보 제2008-44176호Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-44176 특허 문헌 2: 일본 공개특허공보 평7-275775호Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-275775

따라서 본 발명은 공작물의 폭 치수에 맞추어 자외선 램프의 방전관 길이를 조절할 필요가 없고, 전력 절약화가 가능하며, 자외선 램프의 개수에 의해 공작물의 폭 치수에 대응 가능하게 하는 것을 소기 과제로 하는 것이다. 또, 일부의 자외선 램프의 교환 작업을 간단화할 수 있는 동시에, 외부 배선을 간략화하는 것을 본 발명의 다른 소기 과제로 하는 것이다.Therefore, this invention does not need to adjust the discharge tube length of an ultraviolet lamp according to the width dimension of a workpiece | work, it is possible to save power, and to make it possible to respond | correspond to the width dimension of a workpiece | work by the number of ultraviolet lamps is made into the objective. It is another object of the present invention to simplify the replacement of some ultraviolet lamps and simplify the external wiring.

즉, 본 발명에 따른 자외선 조사 장치는, 직관형(直管形)의 자외선 램프를 복수 포함하는 자외선 조사 장치로서, 각 자외선 램프의 길이 방향이 공작물 반송 방향과 평행하게 배치되고, 또는 공작물 반송 방향에 대하여 소정 각도로 경사지게 배치되어 있고, 복수의 자외선 램프가 유닛화된 자외선 조사 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.That is, the ultraviolet irradiation device which concerns on this invention is an ultraviolet irradiation device containing a plurality of linear tube ultraviolet lamps, The longitudinal direction of each ultraviolet lamp is arrange | positioned in parallel with a workpiece conveyance direction, or a workpiece conveyance direction It is disposed inclined at a predetermined angle with respect to, characterized in that it comprises an ultraviolet irradiation unit in which a plurality of ultraviolet lamps are unitized.

이와 같은 자외선 조사 장치이면, 복수의 자외선 램프를 공작물 반송 방향에 대하여 평행하게 배치 또는 경사지게 배치하고 있으므로, 공작물의 폭 치수가 대형화되어도 자외선 램프의 방전관 길이을 길게 하지 않고, 자외선 램프의 개수로 대응할 수 있다. 따라서, 자외선 램프의 방전관의 휨에 기인하는 각종 문제점을 해결할 수 있다. 또, 복수의 자외선 램프를 병렬 배치하고 있으므로, 각 자외선 램프의 조사 폭을 크게 할 필요가 없고, 자외선 조사 분포를 균일화할 수 있고, 전원 장치를 대형화할 필요도 없고, 전력 절약화가 가능하다.In such an ultraviolet irradiation device, since a plurality of ultraviolet lamps are arranged in parallel or inclined with respect to the workpiece conveyance direction, even if the width dimension of the workpiece is enlarged, it is possible to cope with the number of ultraviolet lamps without lengthening the discharge tube length of the ultraviolet lamp. . Therefore, various problems resulting from the bending of the discharge tube of the ultraviolet lamp can be solved. In addition, since the plurality of ultraviolet lamps are arranged in parallel, it is not necessary to increase the irradiation width of each ultraviolet lamp, to evenly distribute the ultraviolet irradiation, to increase the power supply device, and to save power.

또한, 복수의 자외선 램프를 공작물 반송 방향에 대하여 경사지게 배치한 경우에는, 평행하게 배치한 경우에 비해 더한층 자외선의 조사 분포를 균일화할 수 있다.Moreover, when the some ultraviolet lamp is arrange | positioned inclined with respect to the workpiece conveyance direction, the irradiation distribution of an ultraviolet-ray can be made uniform more compared with the case where it arrange | positioned in parallel.

게다가, 유닛화되어 있으므로, 일부의 자외선 램프를 고장 등에 의해 교환할 필요가 있는 경우에는, 그 고장난 자외선 램프를 포함하는 유닛만을 장치로부터 분리하고, 장치로부터 분리한 후의 유닛에서 고장난 자외선 램프를 교환하면 되므로, 작업성을 향상시킬 수 있다. 또한, 유닛화되어 있으므로, 유닛의 수, 종류 또는 크기를 변경함으로써, 공작물(W)의 폭 치수에 대한 유연하고 민첩한 대응이 가능해진다.In addition, since it is unitized, when some ultraviolet lamps need to be replaced by a failure or the like, only the unit including the broken ultraviolet lamp is removed from the apparatus, and the broken ultraviolet lamp is replaced by the unit after separating from the apparatus. Therefore, workability can be improved. Moreover, since it is unitized, flexible and agile correspondence with the width dimension of the workpiece | work W becomes possible by changing the number, type, or size of a unit.

여기서, 장치 구성을 간단화하기 위해서는, 각 자외선 램프의 길이 방향이 공작물 반송 방향과 평행이고, 복수의 자외선 램프를 공작물 반송 방향과 직교하는 방향으로 병렬 배치하는 것이 가장 바람직하다. 또, 공작물 반송 방향에 대하여 소정 각도로 경사지게 배치하는 경우에는, 0도～45도의 각도로 경사지게 배치하는 것이 바람직하다.Here, in order to simplify the apparatus configuration, it is most preferable that the longitudinal direction of each ultraviolet lamp is parallel to the workpiece conveyance direction, and the plurality of ultraviolet lamps are arranged in parallel in the direction orthogonal to the workpiece conveyance direction. Moreover, when arrange | positioning inclined at a predetermined angle with respect to a workpiece conveyance direction, it is preferable to arrange | position obliquely at the angle of 0 degree-45 degree.

상기 자외선 조사 유닛을 복수 가지는 자외선 조사 장치가 바람직하다.The ultraviolet irradiation device which has a plurality of said ultraviolet irradiation units is preferable.

이것이라면, 자외선 조사 유닛을 유닛의 수, 종류 또는 크기를 변경함으로써, 공작물의 폭 치수에 대해 유연하고 민첩한 대응이 가능해진다.If this is the case, by changing the number, type or size of the ultraviolet irradiation unit, a flexible and agile correspondence with respect to the width dimension of the workpiece becomes possible.

상기 자외선 조사 유닛이, 상기 복수의 자외선 램프에 급전하는 급전 부재에 의해 유닛화되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the said ultraviolet irradiation unit is unitized by the feeding member which feeds the said several ultraviolet lamps.

이것이라면, 급전 부재와는 별도로 유닛화하기 위한 부재를 사용하지 않아도 되므로, 부품 수를 가급적으로 감소시킬 수 있다.In this case, since the member for unitizing separately from the power feeding member is not required, the number of parts can be reduced as much as possible.

자외선 램프의 휨을 가급적으로 작게 하고 유닛의 기계적 강도를 크게 하는 동시에 유닛의 취급을 용이하게 하기 위해서는, 상기 급전 부재가 상기 복수의 자외선 램프의 일단 및 타단 각각을 지지하여 유닛화되는 것인 것이 바람직하다.In order to reduce the warpage of the ultraviolet lamp as much as possible and to increase the mechanical strength of the unit and to facilitate the handling of the unit, it is preferable that the power supply member be unitized by supporting each of one end and the other end of the plurality of ultraviolet lamps. .

상기 자외선 램프가 직관형의 방전관과 상기 방전관의 외면에 그 길이 방향을 따라 대향하여 설치된 한 쌍의 외부 전극을 가지고, 상기 급전 부재가, 상기 자외선 램프의 일단이 삽입되는 급전 소켓이 고정되어 상기 급전 소켓에 고전압을 인가하기 위한 제1 급전 부재와, 상기 자외선 램프의 타단이 삽입되는 급전 소켓이 고정되어 상기 급전 소켓을 접지 측에 접속하기 위한 제2 급전 부재를 포함하는 것이 바람직하다. 이와 같이 급전 부재를 고전압 인가용의 제1 급전 부재와 접지 접속용의 제2 급전 부재로 나눔으로써, 외부 배선을 더욱 간략화할 수 있다.The ultraviolet lamp has a straight tube-shaped discharge tube and a pair of external electrodes provided to face the outer surface of the discharge tube along its length direction, and the power feeding member is fixed to a feed socket into which one end of the ultraviolet lamp is inserted to feed the power. It is preferable to include a first feeding member for applying a high voltage to the socket, and a second feeding member for fixing the feeding socket into which the other end of the ultraviolet lamp is inserted to connect the feeding socket to the ground side. Thus, by dividing the power feeding member into the first power feeding member for high voltage application and the second power feeding member for ground connection, external wiring can be further simplified.

상기 제1 급전 부재 및 상기 제2 급전 부재의 각 자유단부는 이격되어 있고, 절연 부재를 통하여 서로 접속되어 있는 것이 바람직하다.Preferably, the free ends of the first feed member and the second feed member are spaced apart and connected to each other via an insulating member.

이것이라면, 고전압 인가용의 제1 급전 부재와 접지 접속용의 제2 급전 부재와의 절연을 확실히 할 수 있다.In this case, insulation between the first power supply member for high voltage application and the second power supply member for ground connection can be ensured.

상기 제1 급전 부재 및 상기 제2 급전 부재가, 평면에서 볼 때 대략 ㄷ자형을 이루는 것이 바람직하다.It is preferable that the said 1st power supply member and the said 2nd power supply member form substantially C shape in planar view.

이것이라면, 유닛의 기계적 강도를 크게 하는 동시에, 유닛의 취급을 용이하게 할 수 있다.This can increase the mechanical strength of the unit and facilitate the handling of the unit.

상기 급전 부재가, 평면에서 볼 때, 대략 직사각형 프레임형을 이루는 것인 것이 바람직하다.It is preferable that the said power feeding member forms a substantially rectangular frame shape in planar view.

상기 자외선 램프가, 직관형의 방전관과 상기 방전관의 외면에 설치된 한 쌍의 전극을 포함하는 자외선 램프이며, 적어도 서로 인접하는 2개의 자외선 램프가 상기 한 쌍의 전극 중 적어도 한쪽의 전극을 공유하고 있는 것이 바람직하다.The ultraviolet lamp is an ultraviolet lamp including a straight discharge tube and a pair of electrodes provided on an outer surface of the discharge tube, and at least two adjacent ultraviolet lamps share at least one of the pair of electrodes. It is preferable.

이와 같이 한쪽의 전극을 공유시킴으로써, 인접하는 자외선 램프의 거리를 가급적으로 작게 할 수 있고, 자외선의 조사 분포를 더욱 균일화시킬 수 있다.By sharing one electrode in this way, the distance between adjacent ultraviolet lamps can be made as small as possible, and the irradiation distribution of ultraviolet rays can be made more uniform.

상기 자외선 램프는, 유전체 방전 램프가 적합하다.As the ultraviolet lamp, a dielectric discharge lamp is suitable.

이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 공작물의 폭 치수에 맞추어 방전관 길이를 조절할 필요가 없고, 전력 절약화가 가능하며, 방전관의 개수에 의해 공작물의 폭 치수에 대응 가능하며, 일부의 방전관의 교환 작업을 간단화할 수 있는 동시에, 외부 배선을 간략화할 수 있다.According to the present invention configured as described above, it is not necessary to adjust the discharge tube length according to the width dimension of the workpiece, and power saving can be achieved, and it is possible to cope with the width dimension of the workpiece by the number of discharge tubes. In addition, the external wiring can be simplified.

도 1은 본 실시예의 자외선 조사 장치를 나타낸 평면도이다.
도 2는 동 실시예의 자외선 조사 유닛을 나타낸 평면도 및 정면도이다.
도 3은 동 실시예의 인접하는 유전체 배리어 방전 램프 유닛의 단면도이다.
도 4는 동 실시예의 램프 장착 시의 삽입 방향에서 본 급전 소켓을 나타낸 도면이다.
도 5는 동 실시예의 램프 장착 시의 급전 소켓을 전후 방향을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 변형 실시예의 자외선 조사 장치를 나타낸 평면도이다.
도 7은 변형 실시예의 자외선 조사 장치를 나타낸 평면도이다.
도 8은 변형 실시예의 자외선 램프의 구성을 나타낸 모식도이다.1 is a plan view of the ultraviolet irradiation device of the present embodiment.
2 is a plan view and a front view of the ultraviolet irradiation unit of the embodiment.
3 is a cross-sectional view of the adjacent dielectric barrier discharge lamp unit of the embodiment.
Fig. 4 is a view showing the power supply socket seen from the insertion direction when the lamp is mounted in the embodiment.
Fig. 5 is a sectional view of the power supply socket at the time of mounting the lamp of the embodiment, cut along the front and rear directions.
6 is a plan view of the ultraviolet irradiation device according to the modified embodiment.
7 is a plan view of the ultraviolet irradiation device of the modified embodiment.
8 is a schematic view showing the configuration of an ultraviolet lamp of the modification.

이하, 본 발명에 따른 자외선 조사 장치의 일 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, an embodiment of an ultraviolet irradiation device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

본 실시예에 따른 자외선 조사 장치(100)는, 반도체 기판 또는 유리 기판 등의 피처리물(W)(이하, 공작물(W)이라 함)에 자외선을 조사함으로써 이 공작물(W)의 표면에 부착된 유기물을 분해하여 이것을 제거함으로써, 공작물(W)를 세정하는 것이다. 이 자외선 조사 장치(100)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 공작물(W)을 소정 방향으로 반송하는 반송 기구(200)를 가지고 있고, 이 반송 기구(200)에 의해 반송되는 공작물(W)에 대하여 자외선을 조사하는 것이다.The ultraviolet irradiation apparatus 100 which concerns on a present Example adheres to the surface of this workpiece | work W by irradiating an ultraviolet-ray to the to-be-processed object W (henceforth a workpiece | work W), such as a semiconductor substrate or a glass substrate. The work W is cleaned by decomposing the removed organic matter and removing it. This ultraviolet irradiation apparatus 100 has the conveyance mechanism 200 which conveys the said workpiece | work W in the predetermined direction, as shown in FIG. 1, and the workpiece | work W conveyed by this conveyance mechanism 200 is carried out. It is to irradiate against ultraviolet rays.

그리고, 이 자외선 조사 장치(100)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 직관형의 자외선 램프(5)를 복수 개 가지는 것이며, 각 자외선 램프(5)의 길이 방향이 공작물 반송 방향과 평행하게 배치되는 동시에, 복수의 자외선 램프(5)를 급전 부재(3)에 의해 유닛화하여, 이 급전 부재(3)에 의해 복수의 자외선 램프(5)에 급전하는 것이다.And as shown in FIG. 1, this ultraviolet irradiation device 100 has a plurality of linear ultraviolet lamps 5, and the longitudinal direction of each ultraviolet lamp 5 is arrange | positioned in parallel with the workpiece conveyance direction. At the same time, the plurality of ultraviolet lamps 5 are unitized by the power feeding member 3, and the plurality of ultraviolet lamps 5 are fed to the plurality of ultraviolet lamps 5 by the power feeding member 3.

구체적으로 이 자외선 조사 장치(100)는, 복수 개(예를 들면, 10개)의 자외선 램프(5)를, 이들이 등간격이 되도록 급전 부재(3)에 의해 유닛화한 자외선 조사 유닛(10)을 복수 개 가진다(도 1 참조). 이들 복수의 자외선 조사 유닛(10)은, 각 자외선 유닛(10)을 구성하는 자외선 램프(5)의 길이 방향이 서로 평행하게, 공작물 반송 방향과 직교하는 폭 방향으로 인접하여 설치되어 있다.Specifically, the ultraviolet irradiation device 100 includes the ultraviolet irradiation unit 10 in which a plurality of (for example, ten) ultraviolet lamps 5 are unitized by the power feeding member 3 such that they are equally spaced apart. It has a plurality (see FIG. 1). These ultraviolet irradiation units 10 are provided adjacent to each other in the width direction orthogonal to the workpiece conveyance direction so that the longitudinal direction of the ultraviolet lamp 5 which comprises each ultraviolet unit 10 is mutually parallel.

각 자외선 조사 유닛(10)은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 복수의 자외선 램프 유닛(2)과, 이 복수의 자외선 램프 유닛(2)을 유닛화하여 급전을 행하는 급전 부재(3)를 구비하고 있다. 이 자외선 조사 유닛(10)은, 예를 들면, 각 자외선 램프(5)의 방전관 직경이 20mm인 경우에, 인접하는 자외선 램프(5)의 피치가 45mm 이하가 되도록 복수의 자외선 램프(5)를 지지하고 있다. 이로써, 각 자외선 램프(5)로부터 사출(射出)되는 자외선의 조사 분포가 서로 겹쳐짐으로써 공작물 표면 상에서의 자외선의 조사 분포가 평균화되어, 자외선 조사 유닛(10)으로부터 사출되는 자외선의 조사 분포가 균일화된다.As shown in FIG. 2, each ultraviolet irradiation unit 10 includes a plurality of ultraviolet lamp units 2 and a power feeding member 3 for feeding power by uniting the plurality of ultraviolet lamp units 2. have. The ultraviolet irradiation unit 10 uses the plurality of ultraviolet lamps 5 so that, for example, when the discharge tube diameter of each ultraviolet lamp 5 is 20 mm, the pitch of the adjacent ultraviolet lamps 5 becomes 45 mm or less. I support it. As a result, the irradiation distribution of the ultraviolet rays emitted from the respective ultraviolet lamps 5 overlap each other, whereby the irradiation distribution of the ultraviolet rays on the workpiece surface is averaged, and the irradiation distribution of the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet irradiation unit 10 is made uniform. do.

그리고, 급전 부재(3)는 복수의 자외선 램프 유닛(2)을 공작물 반송 방향에 직교하는 폭 방향으로 병렬시켜 일체화하는 것이며, 평면에서 볼 때 대략 ㄷ자형을 이루는 제1 급전 부재(3A) 및 제2 급전 부재(3B)를 가진다. 이들 제1 급전 부재(3A) 및 제2 급전 부재(3B)는, 알루미늄 합금, 스테인리스 등의 도전성 재료로 형성되어 있고, 각 자유단부가 절연 부재(4)를 통하여 서로 접속됨으로써 평면에서 볼 때 개략 직사각형 프레임형이 된다.The power feeding member 3 integrates the plurality of ultraviolet lamp units 2 in parallel in the width direction perpendicular to the workpiece conveyance direction, and integrates the first power feeding member 3A and the first feeding member having a substantially c-shape in plan view. It has the 2nd power feeding member 3B. These first feed members 3A and second feed members 3B are made of a conductive material such as aluminum alloy or stainless steel, and each of the free ends is connected to each other via the insulating member 4, so that they are outlined in plan view. It becomes a rectangular frame type.

제1 급전 부재(3A)는 교류 전압을 인가하는 전원 장치의 고전압 단자 측에 전기적으로 접속되는 동시에, 자외선 램프 유닛(2)의 한쪽의 급전 소켓(6A)이 나사 고정에 의해 전기적으로 접속된다. 한편, 제2 급전 부재(3B)는, 전원 장치의 접지 단자 측에 전기적으로 접속되는 동시에, 자외선 램프 유닛(2)의 다른 쪽의 급전 소켓(6B)이 나사 고정에 의해 전기적으로 접속된다. 이와 같이 제1 급전 부재(3A) 및 제2 급전 부재(3B)에 의해, 복수의 자외선 램프(5)의 일단 및 타단 각각을 지지하여 유닛화하는 구성으로 하여, 자외선 램프(5)의 휨을 가급적으로 작게 하고, 자외선 조사 유닛(10)의 기계적 강도를 크게 하는 동시에, 자외선 조사 유닛(10)의 취급을 용이하게 하고 있다.3 A of 1st power supply members are electrically connected to the high voltage terminal side of the power supply device which applies an alternating voltage, and 6 A of one power supply sockets of the ultraviolet lamp unit 2 are electrically connected by screwing. On the other hand, the 2nd power supply member 3B is electrically connected to the ground terminal side of a power supply device, and the other power supply socket 6B of the ultraviolet lamp unit 2 is electrically connected by screwing. Thus, the 1st power supply member 3A and the 2nd power supply member 3B are comprised so that each of the one end and the other end of the some ultraviolet lamp 5 may be unitized, and the curvature of the ultraviolet lamp 5 is possible as much as possible. It is made small, the mechanical strength of the ultraviolet irradiation unit 10 is increased, and the handling of the ultraviolet irradiation unit 10 is facilitated.

자외선 램프 유닛(2)은, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 직관형의 방전관(51) 및 이 방전관(51)의 길이 방향을 따라 대향하여 설치된 한 쌍의 외부 전극(52A, 52B)을 가지는 자외선 램프인 유전체 배리어 방전 램프(5)와 유전체 배리어 방전 램프(5)의 양단부가 삽입되는 한 쌍의 급전 소켓(6A, 6B)을 가진다.As shown in Figs. 3 and 4, the ultraviolet lamp unit 2 includes a straight discharge tube 51 and a pair of external electrodes 52A and 52B provided to face each other along the longitudinal direction of the discharge tube 51. The branch has a dielectric barrier discharge lamp 5 which is an ultraviolet lamp and a pair of power supply sockets 6A and 6B into which both ends of the dielectric barrier discharge lamp 5 are inserted.

방전관(51)은 합성 석영 유리제의 원통의 양단을 닫은 단면 원형상의 환관(丸管)이다. 또, 방전관(51)의 내부에 형성된 방전 공간에는 유전체 배리어 방전용 가스가 충전되어 있다. 그리고, 유전체 배리어 방전용 가스로서는, 크세논(Xe), 아르곤(Ar) 또는 크립톤(Kr) 등의 희가스, 또는 불소(F₂) 또는 염소(Cl₂) 등의 할로겐 가스 등을 사용할 수 있다. 유전체 배리어 방전 램프(5)는, 가스의 종류에 따라 상이한 파장(172nm, 222nm, 308nm 등)의 엑시머 광을 발광한다. 예를 들면, 유기 화합물을 분해하기 위해서는, 방전용 가스로서 크세논(Xe)을 사용하여, 172nm를 중심 파장으로 하는 엑시머 광을 발광하는 유전체 배리어 방전 램프(5)로 한다.The discharge tube 51 is a round tube of cross section circular shape which closed both ends of the cylinder made of synthetic quartz glass. The discharge space formed inside the discharge tube 51 is filled with a dielectric barrier discharge gas. As the dielectric barrier discharge gas, a rare gas such as xenon (Xe), argon (Ar) or krypton (Kr), or a halogen gas such as fluorine (F ₂ ) or chlorine (Cl ₂ ) can be used. The dielectric barrier discharge lamp 5 emits excimer light having a different wavelength (172 nm, 222 nm, 308 nm, etc.) depending on the type of gas. For example, in order to decompose an organic compound, the dielectric barrier discharge lamp 5 which emits excimer light which makes 172 nm a center wavelength uses xenon (Xe) as a gas for discharge.

한 쌍의 외부 전극(52A, 52B)은 방전관(21)과 대략 동등한 길이를 가지는 막형을 이루는 것이며, 방전관(21)을 전후 방향에서 사이에 둔 위치에 설치되어 있다. 이 외부 전극(52A, 52B)은, 알루미늄, 알루미늄 합금, 스테인리스 등의 도전성 재료로 형성되어 있고, 예를 들면, 도금, 용사(溶射), 증착 또는 스퍼터에 의해 방전관의 측면 주위면 상에 형성한 박막 전극이다. 그리고, 방전관(51)의 측면 주위벽의 한 쌍의 외부 전극(52A, 52B)의 사이부터 엑시머 광이 사출된다.The pair of external electrodes 52A and 52B have a film shape having a length substantially equal to that of the discharge tube 21, and are provided at positions sandwiching the discharge tube 21 in the front-rear direction. The external electrodes 52A and 52B are formed of a conductive material such as aluminum, an aluminum alloy, or stainless steel, and are formed on the side circumferential surface of the discharge tube by, for example, plating, thermal spraying, vapor deposition, or sputtering. Thin film electrode. The excimer light is emitted from the pair of external electrodes 52A and 52B on the side circumferential wall of the discharge tube 51.

그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 외부 전극(52A, 52B) 중 한쪽의 외부 전극(52A)이, 유전체 배리어 방전 램프(5)의 일단부에 장착되는 급전 소켓(6A)에 의해, 전원 장치의 고전압 단자 측에 전기적으로 접속되어 고전압 인가 측 전극이 되고, 한 쌍의 외부 전극(52A, 52B) 중 다른 쪽의 외부 전극(52B)이, 유전체 배리어 방전 램프(5)의 타단부에 장착되는 급전 소켓(6B)에 의해 전원 장치의 접지 단자 측에 전기적으로 접속되어 접지 측 전극이 된다. 그리고, 인접하는 유전체 배리어 방전 램프 사이의 방전을 방지하기 위해, 인접하는 유전체 배리어 방전 램프(5)의 고전압 인가 측 전극(52A)끼리 또는 접지 측 전극(52B)끼리를 마주보도록 배치하고 있다.As shown in FIG. 3, one of the pair of external electrodes 52A and 52B is connected to the power supply socket 6A mounted at one end of the dielectric barrier discharge lamp 5. It is electrically connected to the high voltage terminal side of the power supply device and becomes a high voltage application side electrode, and the other external electrode 52B of the pair of external electrodes 52A and 52B is connected to the other end of the dielectric barrier discharge lamp 5. It is electrically connected to the ground terminal side of a power supply device by the power supply socket 6B attached, and becomes a ground side electrode. In order to prevent discharge between adjacent dielectric barrier discharge lamps, the high voltage application side electrodes 52A or the ground side electrodes 52B of the adjacent dielectric barrier discharge lamps 5 are disposed to face each other.

한 쌍의 급전 소켓(6A, 6B)은, 유전체 배리어 방전 램프(5)를 유지하는 것이며, 도 3～도 5에 나타낸 바와 같이, 유전체 배리어 방전 램프(5)의 단부가 삽입되는 소켓부(61)와, 이 소켓부(61) 내에 설치되어 한 쌍의 외부 전극(52A, 52B)에 접촉하는 한 쌍의 접촉 단자(62A, 62B)를 가진다.The pair of power supply sockets 6A and 6B hold the dielectric barrier discharge lamp 5, and as shown in FIGS. 3 to 5, the socket portion 61 into which the ends of the dielectric barrier discharge lamp 5 are inserted. ) And a pair of contact terminals 62A and 62B provided in the socket portion 61 and in contact with the pair of external electrodes 52A and 52B.

소켓부(61)는, 예를 들면, 세라믹스 등의 절연성 재료로 형성된 대략 직육면체 형상을 이루는 것이며, 유전체 배리어 방전 램프(5)에 대향하는 전면(前面)에 유전체 배리어 방전 램프(5)의 단부를 수용하는 램프 수용부(611)을 가진다. 이 램프 수용부(611)는, 유전체 배리어 방전 램프(5)의 외형 형상에 대응한 단면 대략 원형상을 이루는 오목부이다. 그리고, 이 램프 수용부(611)의 내측 주위면에 있어서 상기 한 쌍의 접촉 단자(62A, 62B) 각각을 고정하기 위한 2개의 단자 고정부(612)가 서로 대향하여 형성되어 있다. 이 단자 고정부(612)는, 램프 수용부(611)의 내측 주위면을 정면에서 볼 때 대략 ㄷ자형으로 노치함으로써 형성된 오목부이다.The socket portion 61 has a substantially rectangular parallelepiped shape formed of an insulating material such as ceramics, for example, and the end portion of the dielectric barrier discharge lamp 5 is disposed on the front surface facing the dielectric barrier discharge lamp 5. It has a lamp accommodating part 611 which accommodates. This lamp accommodating part 611 is a concave part which forms substantially circular cross section corresponding to the external shape of the dielectric barrier discharge lamp 5. On the inner circumferential surface of the lamp housing portion 611, two terminal fixing portions 612 for fixing each of the pair of contact terminals 62A and 62B are formed to face each other. This terminal fixing part 612 is a recessed part formed by notching in the substantially C shape when the inner peripheral surface of the lamp accommodation part 611 is seen from a front.

한 쌍의 접촉 단자(62A, 62B)는, 소켓부(61)에 삽입된 유전체 배리어 방전 램프(5)의 단부에 있는 한 쌍의 외부 전극(52A, 52B)에 접촉하여 급전하는 것이다. 각 접촉 단자(62A, 62B)는 동일 형상을 이루는 것이며, 예를 들면, 스테인리스 등의 탄성을 가지는 도전성 박판을 대략 U자 형상에 절곡함으로써 형성되어 있다. 또, 각 접촉 단자(62A, 62B)는, 상기 2개의 단자 고정부(612)에 고정되어 한 쌍의 외부 전극(52A, 52B)에 대응하도록 대향 배치된다. 각 접촉 단자(62A, 62B)는 스프링 와셔(spring washer)(7)를 통하여 나사(8)에 의해 소켓부(61)에 고정된다.The pair of contact terminals 62A, 62B are in contact with and supplied with a pair of external electrodes 52A, 52B at the end of the dielectric barrier discharge lamp 5 inserted into the socket portion 61. Each of the contact terminals 62A and 62B has the same shape, and is formed by, for example, bending a conductive thin plate having elasticity such as stainless steel into a substantially U-shape. Moreover, each contact terminal 62A, 62B is fixed to the said two terminal fixing parts 612, and is arrange | positioned so as to correspond to a pair of external electrodes 52A, 52B. Each contact terminal 62A, 62B is fixed to the socket portion 61 by a screw 8 via a spring washer 7.

그리고, 나사(8)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 한쪽의 접촉 단자(62A)를 고정하는 것과 다른 쪽의 접촉 단자(62B)를 고정하는 것이 상이하다. 예를 들면, 접촉 단자(62A, 62B)가 급전 소켓(6A)의 것인 경우에는, 한쪽의 접촉 단자(62A)가 고전압 인가 측이며, 이 접촉 단자(62A)는 급전 부재(3A)에 나사 고정하기 위한 암나사 구멍이 형성된 나사(8A)에 의해 고정된다. 다른 쪽의 접촉 단자(62B)는 접지 측이며, 이 접촉 단자(62B)는 급전 부재(3B)에 전기적으로 접속되지 않으므로 통상의 나사(8B)에 의해 고정된다.And as shown in FIG. 5, the screw 8 differs from fixing 62 A of one contact terminals, and fixing 62 A of other contact terminals. For example, when the contact terminals 62A and 62B are the power supply sockets 6A, one contact terminal 62A is the high voltage application side, and this contact terminal 62A is screwed into the power supply member 3A. A female screw hole for fixing is fixed by the formed screw 8A. The other contact terminal 62B is the ground side, and since this contact terminal 62B is not electrically connected to the power supply member 3B, it is fixed by the normal screw 8B.

이와 같이 구성한 자외선 조사 장치(100)에서는, 반송 기구(200)에 의해 반송하는 공작물(W)의 폭 방향 치수에 맞추어 유전체 배리어 방전 램프(5)의 개수를 결정한다. 본 실시예에서는, 자외선 조사 유닛(10)의 유전체 배리어 방전 램프(5)의 개수가 정해져 있으므로, 공작물(W)의 폭 방향 치수에 맞추어 자외선 조사 유닛(10)의 유닛 수를 결정한다. 또, 자외선 조사 유닛(10)에 전력을 공급하는 전원 장치(도시하지 않음)는, 자외선 조사 유닛(10)마다 설치해도 되고, 복수의 자외선 조사 유닛(10)에 하나의 전원 장치로부터 전력을 공급하도록 해도 된다. 또, 하나의 자외선 조사 유닛(10)에 대하여 복수의 전원 장치를 설치해도 된다.In the ultraviolet irradiation device 100 configured as described above, the number of dielectric barrier discharge lamps 5 is determined in accordance with the widthwise dimension of the work W to be conveyed by the transport mechanism 200. In this embodiment, since the number of the dielectric barrier discharge lamps 5 of the ultraviolet irradiation unit 10 is determined, the number of units of the ultraviolet irradiation unit 10 is determined according to the width direction dimension of the workpiece | work W. As shown in FIG. Moreover, the power supply apparatus (not shown) which supplies electric power to the ultraviolet irradiation unit 10 may be provided for every ultraviolet irradiation unit 10, and supplies electric power to one of the several ultraviolet irradiation unit 10 from one power supply apparatus. You may do so. In addition, a plurality of power supply devices may be provided for one ultraviolet irradiation unit 10.

이와 같이 구성한 본 실시예에 따른 자외선 조사 장치(100)에 의하면, 복수의 유전체 배리어 방전 램프(5)를 공작물 반송 방향에 대하여 평행하게 배치하고 있으므로, 공작물(W)의 폭 치수가 대형화되어도 유전체 배리어 방전 램프(5)의 방전관 길이를 길게 하지 않고, 유전체 배리어 방전 램프(5)의 개수에 의해 대응할 수 있다. 따라서, 유전체 배리어 방전 램프(5)의 방전관(51)의 휨에 기인하는 각종 문제점을 해결할 수 있다. 또, 복수의 유전체 배리어 방전 램프(5)를 병렬 배치하고 있으므로, 각 유전체 배리어 방전 램프(5)의 조사 폭을 크게 할 필요가 없고, 전원 장치를 대형화할 필요도 없고, 전력 절약화가 가능하다. 또한, 급전 부재(3A, 3B)에 의해 복수의 유전체 배리어 방전 램프(5)를 유닛화하고, 급전 부재(3A, 3B)에 의해 복수의 유전체 배리어 방전 램프(5)에 급전을 행하고 있으므로, 급전 부재(3A, 3B)를 급전 허브로서 기능하게 할 수 있어 외부 배선을 간략화할 수 있다. 게다가, 유닛화하고 있으므로, 일부의 유전체 배리어 방전 램프(5)를 고장 등에 의해 교환할 필요가 있는 경우에는, 그 고장난 유전체 배리어 방전 램프(5)를 포함하는 자외선 조사 유닛(10)만을 자외선 조사 장치(100)로부터 분리하고, 분리한 후의 자외선 조사 유닛(10)에서 고장난 유전체 배리어 방전 램프(5)를 교환하면 되므로, 작업성을 향상시킬 수 있다. 또한, 유닛화하고 있으므로, 유닛(10)의 수, 종류 또는 크기를 변경함으로써, 공작물(W)의 폭 치수에 대해 유연하고 민첩한 대응이 가능해진다.According to the ultraviolet irradiation device 100 which concerns on this embodiment comprised in this way, since the several dielectric barrier discharge lamps 5 are arrange | positioned in parallel with respect to the workpiece conveyance direction, even if the width dimension of the workpiece | work W becomes large, the dielectric barrier It is possible to cope with the number of dielectric barrier discharge lamps 5 without lengthening the discharge tube length of the discharge lamps 5. Therefore, the various problems resulting from the curvature of the discharge tube 51 of the dielectric barrier discharge lamp 5 can be solved. In addition, since the plurality of dielectric barrier discharge lamps 5 are arranged in parallel, it is not necessary to increase the irradiation width of each dielectric barrier discharge lamp 5, and there is no need to enlarge the power supply device, and power saving can be achieved. In addition, since the plurality of dielectric barrier discharge lamps 5 are unitized by the feed members 3A and 3B, and the plurality of dielectric barrier discharge lamps 5 are fed by the feed members 3A and 3B, The members 3A and 3B can function as a power supply hub, and external wiring can be simplified. Moreover, since it is unitized, when some dielectric barrier discharge lamp 5 needs to be replaced by a fault etc., only the ultraviolet irradiation unit 10 containing the failed dielectric barrier discharge lamp 5 is an ultraviolet irradiation device. The dielectric barrier discharge lamp 5, which has been broken from the ultraviolet ray irradiation unit 10 after being separated from the 100 and then separated, needs to be replaced, so that workability can be improved. Moreover, since it is unitized, flexible and agile correspondence with the width dimension of the workpiece | work W becomes possible by changing the number, kind, or size of the unit 10. FIG.

그리고, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다.In addition, this invention is not limited to the said Example.

예를 들면, 상기 실시예에서는, 자외선 램프의 길이 방향을 공작물 반송 방향과 평행하게 배치하고 있지만, 그 외에, 도 6에 나타낸 바와 같이, 공작물 반송 방향에 대하여 예각을 이루는 각도로 경사지게 배치해도 된다. 이것이라면, 복수의 유전체 배리어 방전 램프(5)로부터 조사되는 자외선의 조사 분포를 더한층 균일화할 수 있다.For example, in the said Example, although the longitudinal direction of an ultraviolet lamp is arrange | positioned in parallel with the workpiece conveyance direction, in addition, as shown in FIG. 6, you may arrange | position obliquely at the angle which forms an acute angle with respect to a workpiece conveyance direction. If it is this, the irradiation distribution of the ultraviolet-ray irradiated from the some dielectric barrier discharge lamp 5 can be further uniformized.

또, 상기 실시예와 같이 1열 구성으로 하는 외에, 자외선 조사 유닛(10)을 공작물 반송 방향을 따라 복수 열 구성으로 해도 된다. 이와 같이, 자외선 조사 유닛(10)을 복수 열 구성으로 하는 것만으로, 공작물(W)에 조사하는 자외선의 적산(積算) 강도를 간단하게 증가시킬 수 있다. 복수 열 구성으로 하는 경우에는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 전열(前列)과 후열(後列)로 자외선 램프의 위치를 비켜 놓아 배치하는 것이 조사 분포를 균일화하는 관점에서 바람직하다. 구체적으로는, 전열의 자외선 램프 사이에 후열의 자외선 램프가 위치하도록 비켜 놓는 것이 고려된다. 즉 전열의 자외선 램프와 후열의 자외선 램프의 어긋남 폭은 자외선 램프의 피치폭의 반이다.In addition to the one-row configuration as in the above embodiment, the ultraviolet irradiation unit 10 may be configured in a plurality of rows in the workpiece conveyance direction. Thus, the integration intensity of the ultraviolet-ray irradiated to the workpiece | work W can be easily increased only by making the ultraviolet irradiation unit 10 into a multiple row structure. In the case of a plural-row configuration, as shown in Fig. 7, it is preferable to dispose the position of the ultraviolet lamp by heat transfer before and after heat from the viewpoint of uniformizing the irradiation distribution. Specifically, it is contemplated that the ultraviolet ray lamps of the after heat are positioned between the ultraviolet ray lamps of the heat transfer. That is, the shift | offset | difference width of the ultraviolet ray lamp of a front row heat | fever and the ultraviolet ray lamp of a post heat | fever is half the pitch width of an ultraviolet-ray lamp.

또한, 도 8 (A) 및 (B)에 나타낸 바와 같이, 자외선 조사 유닛(10) 내에서, 적어도 서로 인접하는 2개의 유전체 배리어 방전 램프(5)를, 한 쌍의 전극(52A, 52B) 중 적어도 한쪽의 전극을 공유하도록 구성해도 된다. 그리고, 도 8 (A)는 서로 인접하는 방전관(51)의 외부 전극(52A, 52B)를 공유하는 구성이며, 도 8 (B)는 복수의 방전관(51)을 한 쌍의 평판형을 이루는 외부 전극(52A, 52B) 사이에 끼우도록 설치함으로써 공유하는 구성이다. 도 8 (B)에서 방전관(51)의 아래쪽에 위치하는 외부 전극(52A)은 자외선을 공작물에 조사할 수 있도록 하기 위하여, 메시형을 이루는 것이다. 이와 같이 인접하는 유전체 배리어 방전 램프(5)로 외부 전극(52A, 52B)을 공유함으로써, 인접하는 방전관(51)의 간격을 작게 할 수 있고, 조사 분포를 더한층 균일화시킬 수 있다.In addition, as shown in Figs. 8A and 8B, in the ultraviolet irradiation unit 10, at least two dielectric barrier discharge lamps 5 adjacent to each other among the pair of electrodes 52A and 52B. You may comprise so that at least one electrode may be shared. 8A is a configuration in which the external electrodes 52A and 52B of the discharge tubes 51 adjacent to each other are shared, and FIG. 8B is an exterior forming a pair of flat plates of the plurality of discharge tubes 51. It is a structure shared by providing so that it may pinch | interpose between electrodes 52A and 52B. In FIG. 8B, the external electrode 52A positioned below the discharge tube 51 forms a mesh so that ultraviolet rays can be irradiated onto the workpiece. Thus, by sharing the external electrodes 52A and 52B with the adjacent dielectric barrier discharge lamps 5, the space | interval of the adjacent discharge tubes 51 can be made small and the irradiation distribution can be made even more uniform.

자외선 램프는 유전체 배리어 방전 램프 외에, 파장 185nm, 254nm 등의 저압 수은 램프라도 된다. 또, 램프 형상은, 단면 원형상의 환관 외에, 단면 직사각형을 이루는 각관(角管)이라도 되고, 이중관 구조인 것이라도 된다.The ultraviolet lamp may be a low pressure mercury lamp having a wavelength of 185 nm or 254 nm in addition to the dielectric barrier discharge lamp. Moreover, the lamp shape may be a square tube having a rectangular cross section, in addition to a circular tube having a circular cross section, or may have a double tube structure.

그외, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 범위에서 각종 변형이 가능함은 물론이다.In addition, this invention is not limited to the said Example, Of course, various deformation | transformation is possible for it in the range which does not deviate from the meaning.

100: 자외선 조사 장치 W: 공작물
10: 자외선 조사 유닛 3A: 제1 급전 부재
3B: 제2 급전 부재 4: 절연 부재
5: 유전체 배리어 방전 램프(자외선 램프)
51: 방전관 52A: 외부 전극
52B: 외부 전극 6A: 급전 소켓
6B: 급전 소켓 61: 소켓부
62A: 접촉 단자 62B: 접촉 단자100: ultraviolet irradiation device W: workpiece
10: ultraviolet irradiation unit 3A: first feeding member
3B: second feed member 4: insulation member
5: dielectric barrier discharge lamp (ultraviolet lamp)
51: discharge tube 52A: external electrode
52B: external electrode 6A: power supply socket
6B: Power supply socket 61: Socket portion
62A: contact terminal 62B: contact terminal

Claims

An ultraviolet irradiation device comprising a plurality of straight ultraviolet lamps,
The longitudinal direction of each ultraviolet lamp is arrange | positioned in parallel with the workpiece conveyance direction, or is inclined at the predetermined angle with respect to the workpiece conveyance direction,
An ultraviolet irradiation device, comprising: an ultraviolet irradiation unit in which the plurality of ultraviolet lamps are united.

The method of claim 1,
An ultraviolet irradiation device, comprising a plurality of the ultraviolet irradiation unit.

The method according to claim 1 or 2,
An ultraviolet irradiation device, wherein the ultraviolet irradiation unit is unitized by a feeding member that feeds the plurality of ultraviolet lamps.

The method of claim 3,
An ultraviolet irradiation device, wherein said power supply member supports each of one end and the other end of said plurality of ultraviolet lamps.

The method according to claim 3 or 4,
The ultraviolet lamp includes a straight tube discharge tube and a pair of external electrodes provided to face the outer surface of the discharge tube along its longitudinal direction,
The power supply member is fixed to a power supply socket into which one end of the ultraviolet lamp is inserted to supply a high voltage to the power supply socket, and a power supply socket to which the other end of the ultraviolet lamp is inserted to fix the power supply socket. The ultraviolet irradiation device containing the 2nd power feeding member for connecting to a ground side.

The method of claim 5,
The free end portions of the first feed member and the second feed member are spaced apart, and are connected to each other via an insulating member.

The method according to claim 5 or 6,
The said 1st power feeding member and the said 2nd power feeding member are ultraviolet-ray irradiation apparatus which forms a substantially U shape in planar view.

8. The method according to any one of claims 1 to 7,
The ultraviolet irradiation device, wherein the ultraviolet irradiation unit forms a substantially rectangular frame shape in plan view.

The method according to any one of claims 1 to 8,
The ultraviolet lamp includes a straight tube discharge tube and a pair of electrodes provided on an outer surface of the discharge tube, and at least two adjacent ultraviolet lamps share at least one of the pair of electrodes. Device.

10. The method according to any one of claims 1 to 9,
The ultraviolet irradiation device, wherein the ultraviolet lamp is a dielectric barrier discharge lamp.