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KR20130006586A - Apparatus for determining the position of work - Google Patents

Apparatus for determining the position of work Download PDF

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KR20130006586A
KR20130006586A KR1020120156110A KR20120156110A KR20130006586A KR 20130006586 A KR20130006586 A KR 20130006586A KR 1020120156110 A KR1020120156110 A KR 1020120156110A KR 20120156110 A KR20120156110 A KR 20120156110A KR 20130006586 A KR20130006586 A KR 20130006586A
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workpiece
axis
driving
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tool
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KR1020120156110A
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도오루 이시이
히데아끼 쯔바끼다
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야마하 파인 테크 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A workpiece positioning device is provided to precisely match the position of workpieces and the position of a tool in an inspection and machining section by controlling the operation of driving parts. CONSTITUTION: A workpiece positioning device comprises a detector and a workpiece positioning device. The detector detects information on the position of an X-axis(X), the position of a Y-axis, and a rotational angle(Θ) around an axis vertical to an X-Y plane in a machining and inspection section(R). The positioning device comprises a pair of moving parts(62,63), a pair of driving parts(64), gripping parts(1,8), and a control part. The pair of driving parts drives the pair of the moving parts. The gripping parts are installed in the moving parts to grip workpieces. The control part controls the operation of the driving parts to match a tool and the workepices. [Reference numerals] (AA,BB) Z-axis movement; (CC,HH) X axis; (DD,GG) Y axis; (EE) X-axis movement; (FF) Y-axis movement; (II) Θ axis

Description

작업물 위치 결정 장치{APPARATUS FOR DETERMINING THE POSITION OF WORK}Workpiece positioning device {APPARATUS FOR DETERMINING THE POSITION OF WORK}

본 발명은 프린트 기판 등의 시트 형상 또는 필름 형상의 작업물을 가공 장치 또는 검사 장치 등의 소정 위치에 위치 결정하는 작업물 위치 결정 장치에 관한 것으로, 특히 일단 작업물을 가공 장치 또는 검사 장치의 작업면 상에 적재한 후, 작업물의 위치를 검출하고, 미리 정한 소정의 작업 위치에 다시 적재하는 작업물 위치 결정 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a workpiece positioning apparatus for positioning a sheet-like or film-like workpiece such as a printed board at a predetermined position such as a processing apparatus or an inspection apparatus. After loading on a surface, it relates to a workpiece positioning apparatus for detecting the position of the workpiece and stacking it again at a predetermined predetermined working position.

프린트 기판은, 펀칭 장치에 있어서 소정의 형상 패턴이 도려 내어지고, 또한 검사 장치에 있어서 프린트 기판의 도통이 검사된다. 이때, 장치 입구에 위치한 프린트 기판을 펀칭 영역 또는 검사 영역에 도입되고, 그 이차원 방향(X 방향 및 Y 방향)의 프린트 기판의 위치 및 X 방향 및 Y 방향에 수직인 축의 주위의 프린트 기판의 회전 방향의 위치를, 펀칭 영역 또는 검사 영역에 배치된 펀칭 유닛 또는 검사 유닛에 맞추어 위치 결정할 필요가 있다.In the printed circuit board, a predetermined shape pattern is cut out in the punching device, and the conduction of the printed board is checked in the inspection device. At this time, the printed board located at the entrance of the apparatus is introduced into the punching area or the inspection area, and the position of the printed board in its two-dimensional direction (X direction and Y direction) and the rotation direction of the printed board around the axis perpendicular to the X direction and Y direction It is necessary to position the position of the in accordance with the punching unit or the inspection unit arranged in the punching area or the inspection area.

이와 같은 종래 작업물의 위치 결정 장치로서는, 특허 문헌 1 내지 3에 개시된 것이 있다. 이들 특허 문헌 1 내지 3에 개시된 작업물의 위치 결정 장치에 있어서는, 작업물을 임의의 위치에서 위치 결정하는 경우, 작업물의 미리 설정된 2점 또는 4점의 위치를 파지부에 의해 면 접촉으로 파지하고, 상기 파지부를 X 방향, Y 방향 및 회전 방향으로 움직여 그 위치를 조정하고 있다.As the positioning device of such a conventional workpiece | work, there exist some which were disclosed by patent documents 1 -3. In the positioning device of the workpieces disclosed in these Patent Documents 1 to 3, when positioning the workpiece at an arbitrary position, the preset two or four positions of the workpiece are held in surface contact by the holding portion, The gripping portion is moved in the X, Y and rotation directions to adjust its position.

그러나, 상술한 종래 기술에 있어서는, 작업물의 미리 설정된 2점 또는 4점의 위치를 베이스에 접속된 파지부에 의해 면 접촉으로 파지하고, 상기 파지부를 포함하는 베이스부를 X 방향, Y 방향 및 회전 방향으로 움직여 그 위치를 조정하고 있으므로, 그 이동 기구의 구조가 복잡화되어 대형화된다. 이에 의해, 장치 비용이 상승한다. 또한, 다른 크기의 작업물을 파지하는 경우, 작업물 파지부의 순서의 변경이 필요하다.However, in the above-mentioned prior art, the position of the preset two or four points of the workpiece is gripped by surface contact by a gripper connected to the base, and the base portion including the gripper is in the X direction, the Y direction and the rotation. Since the position is adjusted by moving in the direction, the structure of the moving mechanism is complicated and enlarged. As a result, the device cost increases. In addition, when gripping workpieces of different sizes, it is necessary to change the order of the workpiece holding portions.

또한, 특허 문헌 4에 있어서는, 작업물을 작업 테이블을 따라 X축ㆍY축 방향으로 이동시키는 XㆍY축 이동 기구와, 작업물의 마크 센터링용의 촬상부와, 작업물의 마크를 센터링 위치에 일치하도록 XㆍY축 이동 기구를 보정 이동시키는 제어부를 구비한 펀칭 장치가 개시되어 있다. 또한, 특허 문헌 5에는, 작업물 상에 형성된 패턴을 촬영하는 촬영 수단과, 촬영된 화상을 표시하는 동시에 이 화상에 겹쳐 안내선을 표시하는 표시 수단과, 표시된 화상을 기억하는 기억 수단과, 기억된 화상으로부터 작업물 상의 대응하는 패턴의 위치 결정에 필요한 정보를 산출하는 산출 수단과, 기억된 화상과 산출된 정보를 기초로 하여 작업물 상의 대응하는 패턴을 위치 결정하는 위치 결정 수단을 갖는 작업물의 위치 결정 장치가 개시되어 있다. 특허 문헌 6에는, 테이블 상의 가요성 재료에 천공하는 천공 장치에 있어서, 광학 미러가 가동의 드릴과 가요성 재료 사이의 제1 위치에 위치하여, 가요성 재료의 표면 상의 정확한 천공 위치를 직접 관찰하고, 이 광학 미러가 가동 드릴의 경로로부터 이격된 제2 위치로 인입되고, 천공이 완료된 후에 제1 위치로 다시 위치하는 천공 장치가 개시되어 있다.Moreover, in patent document 4, the X-Y-axis movement mechanism which moves a workpiece | work in the X-axis and Y-axis direction along a work table, the imaging part for mark centering of a workpiece | work, and the mark of a workpiece | work correspond to the centering position. Disclosed is a punching device including a control unit for correcting and moving an X and Y axis moving mechanism. Further, Patent Document 5 includes photographing means for photographing a pattern formed on a workpiece, display means for displaying a photographed image and displaying guide lines superimposed on the image, storage means for storing the displayed image, and stored A position of the workpiece having calculation means for calculating information necessary for positioning of the corresponding pattern on the workpiece from the image, and positioning means for positioning the corresponding pattern on the workpiece based on the stored image and the calculated information A determination device is disclosed. In Patent Document 6, in a punching device for drilling into a flexible material on a table, an optical mirror is located at a first position between the movable drill and the flexible material, and directly observes the exact drilling position on the surface of the flexible material. A puncturing apparatus is disclosed in which the optical mirror is led to a second position spaced apart from the path of the movable drill, and is repositioned to the first position after the drilling is completed.

[특허 문헌 1] 일본 특허 제374125호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent No. 374125

[특허 문헌 2] 일본 특허 출원 공개 제2006-281432호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-281432

[특허 문헌 3] 일본 특허 제3420039호 공보[Patent Document 3] Japanese Patent No. 3420039

[특허 문헌 4] 일본 특허 제2851001호 공보[Patent Document 4] Japanese Patent No. 2851001

[특허 문헌 5] 일본 특허 출원 공개 제2003-14434호 공보[Patent Document 5] Japanese Patent Application Publication No. 2003-14434

[특허 문헌 6] 일본 특허 출원 공개 평7-148695호 공보[Patent Document 6] Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 7-148695

그러나, 종래 위치 결정 장치는 작업물의 X 방향 및 Y 방향의 위치만 위치 맞춤이 가능하기 때문에, 가공할 수 있는 형상이, 동그라미(丸) 형상에 한정되어 버린다는 난점이 있다. 즉, 종래 위치 결정 장치는 드릴 천공 또는 동그라미 형상의 펀치 천공의 가공 장치에밖에 적용할 수 없고, 이형 형상의 구멍 또는 패턴을 위치 맞춤하여 가공하는 것에는 적용할 수 없었다.However, the conventional positioning device has a difficulty in that only the positions in the X direction and the Y direction of the workpiece can be aligned, so that the shape that can be processed is limited to a circle shape. In other words, the conventional positioning device can only be applied to a drill drilling or a circular punch drilling processing device, but not to a process for aligning and processing a hole or a pattern having a release shape.

본 발명은 이러한 문제점에 비추어 이루어진 것이며, 프린트 기판 등의 시트 형상 또는 필름 형상 등의 작업물의 가공 장치 또는 검사 장치에 적용되고, 이형 형상의 구멍 및 패턴을 형성하는 가공 장치 및 이형 형상의 구멍 및 패턴이 형성된 작업물의 검사 장치에 적용할 수도 있는 작업물 위치 결정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of these problems, and is applied to a processing apparatus or inspection apparatus for a workpiece such as a sheet form or a film form such as a printed board, and a processing apparatus for forming a hole and a pattern of a release shape, and a hole and a pattern of a release shape. An object of the present invention is to provide a workpiece positioning apparatus which may be applied to the inspection apparatus of the formed workpiece.

본 발명에 관한 작업물 위치 결정 장치는, 가공 검사 영역에 있어서의 X축 위치 X 및 Y축 위치 Y 및 X-Y면에 수직인 축의 주위의 회전각(θ)에 관한 정보(X, Y, θ)를 공구와 상기 가공 검사 영역 상의 작업물에 대해 이들을 검출하는 검출 장치와, 상기 작업물의 위치 조정 장치를 갖고, 상기 위치 조정 장치는 한 쌍의 이동부와, 상기 이동부를 서로 직교하는 X 방향 및 Y 방향으로 구동하는 한 쌍의 구동부와, 상기 각 이동부에 설치되어 작업물을 파지하는 파지부와, 상기 공구의 (X, Y, θ) 정보와 상기 작업물의 (X, Y, θ) 정보가 일치하도록 상기 구동부를 구동 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 한다.The workpiece positioning apparatus according to the present invention includes information (X, Y, θ) about the rotation angle θ around an axis perpendicular to the X-axis position X and Y-axis position Y and XY plane in the machining inspection area. Has a detection device for detecting them with respect to a tool and a workpiece on the work inspection area, and a position adjusting device for the workpiece, the position adjusting device having a pair of moving parts and an X direction and a Y perpendicular to the moving parts. A pair of driving units for driving in the direction, a holding unit provided at each of the moving units to hold the workpiece, (X, Y, θ) information of the tool and (X, Y, θ) information of the workpiece And a control unit for controlling driving of the drive unit to coincide.

이 경우에, 상기 파지부는 작업물의 한쪽의 면에 접촉하여 이것을 지지하는 기부와, 상기 작업물의 다른 쪽의 면측에 설치되고 수평축을 통해 요동 가능한 갈고리 부재와, 이 갈고리 부재를 요동시키는 갈고리 구동부를 갖고, 상기 갈고리 부재는, 상기 갈고리 구동부에 의해 상기 기부를 향해 요동했을 때에 상기 기부와의 사이에서 상기 작업물을 점으로 파지하는 형상을 갖는 것이 바람직하다.In this case, the gripping portion has a base for contacting and supporting one side of the workpiece, a hook member installed on the other side of the workpiece and swingable through a horizontal axis, and a hook driving portion for swinging the hook member. It is preferable that the said claw member has a shape which grasps the said workpiece | work to a point between the said base and the said base when it rocked toward the said base by the said claw drive part.

또한, 상기 검출 장치는, 예를 들어 촬상 장치이다.In addition, the said detection apparatus is an imaging device, for example.

또한, 이 작업물 위치 결정 장치에 있어서, 예를 들어 상기 구동부는 Y 방향으로 연장하는 한 쌍의 평행한 Y 가이드와, 상기 Y 가이드를 따라 이동 가능한 Y 받침대와, 상기 Y 받침대를 왕복 구동하는 Y 구동 부재와, 상기 Y 받침대 상에 설치되고 X 방향으로 연장하는 X 가이드와, 상기 X 가이드를 따라 이동 가능한 X 받침대와, 상기 Y 받침대 상에 설치되고 상기 X 받침대를 왕복 구동하는 X 구동 부재를 갖고, 상기 X 받침대에 의해 상기 이동부가 구성되는 것이다.In addition, in this workpiece positioning apparatus, for example, the drive unit includes a pair of parallel Y guides extending in the Y direction, a Y pedestal movable along the Y guide, and a Y reciprocating drive the Y pedestal. A drive member, an X guide installed on the Y pedestal and extending in the X direction, an X pedestal movable along the X guide, and an X drive member provided on the Y pedestal and reciprocally driving the X pedestal; The moving part is constituted by the X pedestal.

상기 작업물은, 예를 들어 프린트 기판이다.The workpiece is, for example, a printed board.

본 발명에 따르면, 소형이고 또한 간소한 구조의 위치 조정 장치에 의해, 검사 가공 영역 상의 작업물의 X 방향 위치, Y 방향 위치 및 θ 방향 위치를 조정할 수 있으므로, 검사 가공 영역 상에 일단 적재된 작업물을 촬상 장치에 의해 촬영하여 그 (X, Y, θ) 정보를 취득하고, 이것을 공구의 (X, Y, θ) 정보와 비교하여 서로 일치하도록 구동부를 구동 제어함으로써, 검사 가공 영역 상에서 작업물의 위치(X, Y, θ)와 공구의 위치(X, Y, θ)를 고정밀도로 일치시킬 수 있다. 이로 인해, 고정밀도의 가공 또는 검사를 실시할 수 있다.According to the present invention, the work piece once loaded on the inspection machining area can be adjusted by the small and simple structure of the position adjustment device so that the X direction position, the Y direction position and the θ direction position of the workpiece on the inspection machining area can be adjusted. Of the workpiece on the inspection machining area by capturing the image with an imaging device and acquiring the (X, Y, θ) information, comparing this with the (X, Y, θ) information of the tool, and controlling the driving unit to coincide with each other. (X, Y, θ) and the position (X, Y, θ) of the tool can be matched with high precision. For this reason, high precision processing or inspection can be performed.

도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 작업물 위치 결정 장치의 전체를 도시하는 사시도.
도2는 동일하게 그 동작을 도시하는 사시도.
도3은 동일하게 그 동작을 도시하는 사시도.
도4는 동일하게 그 동작을 도시하는 사시도.
도5는 동일하게 그 동작을 도시하는 사시도.
도6은 본 발명의 실시 형태에 관한 작업물 파지 위치 결정 장치의 전체를 도시하는 평면도.
도7은 동일하게 그 정면도.
도8은 그 일부를 도시하는 사시도.
도9의 (a)는 파지부를 도시하는 정면도, 도9의 (b) 내지 도9의 (d)는 파지부의 동작을 도시하는 측면도.
1 is a perspective view showing the whole of a workpiece positioning apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view showing the operation in the same way.
3 is a perspective view showing the operation in the same manner.
4 is a perspective view showing the operation in the same manner.
5 is a perspective view showing the operation in the same manner.
Fig. 6 is a plan view showing the whole of the workpiece holding position determining device according to the embodiment of the present invention.
7 is a front view thereof in the same manner.
8 is a perspective view showing a part thereof;
Fig. 9A is a front view showing the gripper, and Figs. 9B-9D are side views showing the operation of the gripper.

우선, 본 발명의 개요에 대해 설명한다. 본 발명에 있어서는 필름 형상 등의 작업물을 한 쌍의 파지부가 2점에서 파지한다. 이 경우에, 파지부는, 기부와 작업물에 점 접촉하는 갈고리 부재와의 사이에서, 작업물을 점으로 파지하므로, 구동부가 이동부를 X 방향 및 Y 방향으로 구동함으로써, 작업물을 X 방향 및 Y 방향으로 위치 조정할 수 있는 동시에, 예를 들어 Y 방향의 이동량을 한 쌍의 구동부에서 서로 다르게 함으로써, 작업물을 그 면에 수직인 축의 주위로 회전시킬 수 있다. 이 경우에, 상기 갈고리 부재는 작업물을 점으로 파지하므로, 작업물이 필름 형상인 경우에, 작업물의 회전에 수반하여, 작업물에 주름 및 왜곡 등이 발생하는 일은 없다. 또한, 구동부는 이동부를 X 방향 및 Y 방향의 2방향으로 이동시키는 것만으로 좋고, 회전 구동할 필요는 없으므로 구동부가 간소화되어 소형화할 수 있다. 이와 같이 하여, 본 발명에 있어서는, 작업물의 위치 조정 장치가 간소한 구조이고, 작업물의 (X, Y, θ) 위치를 조정할 수 있다.First, the outline | summary of this invention is demonstrated. In this invention, a pair of holding | gripping tools hold | grip a workpiece | work, such as a film form, at two points. In this case, the gripping portion grips the workpiece to a point between the base and the hook member in point contact with the workpiece, so that the driving portion drives the moving portion in the X and Y directions, thereby driving the workpiece in the X and Y directions. The workpiece can be rotated around an axis perpendicular to the plane, while positioning in the direction, and by varying the amount of movement in the Y direction, for example, in the pair of drive units. In this case, since the hook member grips the workpiece with a dot, when the workpiece is in the form of a film, wrinkles, distortion, etc. do not occur in the workpiece with the rotation of the workpiece. In addition, the driving unit is only required to move the moving unit in two directions of the X direction and the Y direction, and there is no need to rotate the drive unit, so that the driving unit can be simplified and downsized. Thus, in this invention, the position adjustment apparatus of a workpiece | work is a simple structure, and can adjust the position (X, Y, (theta)) of a workpiece | work.

그리고, 본 발명에 있어서는, 촬상 장치가, 검사 가공 영역에 있어서의 가공 공구 또는 검사 공구 등의 공구를 촬영하여 그 (X, Y, θ) 정보를 취득하고, 또한 검사 가공 영역 상에 적재된 작업물을 촬영하여 그 (X, Y, θ) 정보를 취득하고, 제어부가 이들 공구의 (X, Y, θ) 정보와, 작업물의 (X, Y, θ) 정보가 일치하도록 구동부를 구동 제어한다. 이와 같이 하여, 검사 가공 영역에 일단 적재된 작업물의 위치가 미세 조정되고, X 방향 및 Y 방향에 한정되지 않고, θ 방향(회전 방향)으로도 미세 조정할 수 있으므로, 드릴 천공 또는 동그라미 형상의 펀치 천공의 가공 장치에 한정되지 않고, 이형 형상의 구멍 또는 패턴을 가공하는 가공 장치 및 검사 장치에도 작업물의 고정밀도 위치 맞춤에 적용할 수 있다.In the present invention, the imaging device photographs a tool such as a machining tool or an inspection tool in the inspection processing region, acquires (X, Y, θ) information, and is loaded on the inspection processing region. Photograph water to obtain the (X, Y, θ) information, and the control unit controls the driving unit so that the (X, Y, θ) information of these tools and the (X, Y, θ) information of the workpiece coincide. . In this way, the position of the workpiece once loaded in the inspection machining area is finely adjusted, and can be finely adjusted in the θ direction (rotation direction) as well as not limited to the X direction and the Y direction. It is not limited to the processing apparatus of this, It can apply to the high precision positioning of a workpiece also to the processing apparatus and inspection apparatus which process a hole or pattern of a mold release shape.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 첨부한 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 작업물 위치 결정 장치의 전체를 도시하는 사시도, 도2 내지 도5는 동일하게 그 동작을 도시하는 사시도, 도6은 본 발명의 실시 형태에 관한 작업물 위치 결정 장치의 위치 조정 장치의 전체를 도시하는 평면도, 도7은 동일하게 그 정면도, 도8은 그 일부를 도시하는 사시도, 도9의 (a)는 파지부를 도시하는 정면도, 도9의 (b) 내지 도9의 (d)는 파지부의 동작을 도시하는 측면도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described concretely with reference to attached drawing. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view showing the whole of a workpiece positioning apparatus according to an embodiment of the present invention, Figs. 2 to 5 are perspective views showing the same operation, Fig. 6 is a workpiece position according to an embodiment of the present invention. Fig. 7 is a front view showing the entire position adjusting device of the determination device, Fig. 8 is a perspective view showing a part thereof, and Fig. 9 (a) is a front view showing a gripping portion, Fig. 9 (b) to (d) are side views showing the operation of the gripping portion.

우선, 위치 조정 장치에 대해 설명한다. 도7에 도시한 바와 같이, 지지부(100) 상에 한 쌍의 구동부(101 및 102)가 설치되어 있다. 필름 형상 작업물로서의 FPC 기판(가요성 프린트 기판 : Flexible Printed Circuit)(도시하지 않음)의 펀칭 영역 또는 검사 영역으로의 도입 방향을 Y축으로 하고(도1 등 참조), 이 Y 축에 직교하는 방향을 X축으로 한다. 각 구동부(101, 102)에 있어서는, 베이스(20, 30)(도1) 상에, 그 길이 방향을 Y 방향에 평행하게 한 Y축 볼 나사(6, 13)가 그 중심축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지되어 있고, 이 Y축 볼 나사(6, 13)는 Y축 구동 모터(7A, 7B)에 의해 회전 구동되도록 되어 있다. 또한, 베이스(20, 30) 상에는 Y축 가이드(5, 12)가 그 길이 방향을 Y 방향에 평행하게 하여 설치되어 있고, 이 Y축 가이드(5, 12)로 안내되어, Y 받침대(21, 31)가 Y 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 되어 있다.First, the position adjusting device will be described. As shown in FIG. 7, a pair of drive parts 101 and 102 are provided on the support part 100. As shown in FIG. The direction of introduction of the FPC substrate (Flexible Printed Circuit) (not shown) into the punching region or the inspection region as the film-like workpiece is the Y axis (see Fig. 1, etc.), and is perpendicular to this Y axis. Set the direction as the X axis. In each of the driving units 101 and 102, Y-axis ball screws 6 and 13 whose lengths are parallel to the Y-direction are rotated about the center axis on the bases 20 and 30 (FIG. 1). The Y-axis ball screws 6 and 13 are rotatably driven by the Y-axis drive motors 7A and 7B. Moreover, on the bases 20 and 30, the Y-axis guides 5 and 12 are provided so that the longitudinal direction may be parallel to a Y direction, and are guided by these Y-axis guides 5 and 12, and the Y pedestal 21, 31) is capable of reciprocating in the Y direction.

이 Y 받침대(21, 31) 상에는, 그 길이 방향을 X 방향에 평행하게 하여 X축 볼 나사(3, 10)가 그 중심축을 중심으로 하여 회전 가능하게 지지되어 있고, 이 X축 볼 나사(3, 10)는 X축 구동 모터(4, 11)(도6)에 의해 회전 구동되도록 되어 있다. 또한, Y 받침대(21, 31) 상에는 X축 가이드(2, 9)가 그 길이 방향을 X 방향에 평행하게 하여 설치되어 있고, 이 X축 가이드(2, 9)로 안내되어, X 받침대(22, 32)가 X 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 되어 있다.On the Y pedestals 21 and 31, the X-axis ball screws 3 and 10 are rotatably supported about the central axis with the longitudinal direction thereof parallel to the X direction, and this X-axis ball screw 3 And 10 are rotationally driven by the X-axis drive motors 4 and 11 (Fig. 6). Further, on the Y pedestals 21 and 31, the X axis guides 2 and 9 are provided with their longitudinal directions parallel to the X direction, guided by the X axis guides 2 and 9, and the X pedestal 22 , 32) is capable of reciprocating in the X direction.

이 X 받침대(22, 32)는 구동부의 이동부로서 기능한다. 이 X 받침대(22, 32) 상에 각각 파지부(1, 8)가 설치되어 있다. 파지부(1, 8)는 X 받침대(22, 32)로부터 Y 방향의 전방으로 돌출하는 아암(40, 50)(도6, 8)을 갖고, 이 아암(40, 50)의 전단부에, 파지부의 갈고리 부재(41, 51)(도8)가 배치되어 있다. 또한, 도8에 도시하는 부호 15는 펀치용 금형, 부호 17은 다이용 금형이다.These X pedestals 22 and 32 function as moving parts of the drive unit. Holding parts 1 and 8 are provided on the X pedestals 22 and 32, respectively. The holding parts 1, 8 have arms 40, 50 (Figs. 6, 8) projecting forward from the X pedestals 22, 32 in the Y direction, and at the front end portions of the arms 40, 50, The grappling members 41 and 51 (FIG. 8) are arrange | positioned. In Fig. 8, reference numeral 15 denotes a punch die, and reference numeral 17 denotes a die die.

도9에 한쪽의 갈고리 부재(41)를 대표하여 도시한 바와 같이, 아암(40)의 하면이 전방으로 연장하여 기부(49)가 형성되어 있고, 이 기부(49)의 약간 후방의 아암(40)에 수평의 회전축(42)이 설치되어 있다. 이 회전축(42)을 중심으로 하여 갈고리 지지부(48)가 회전 가능하게 지지되어 있다. 갈고리 지지부(48)에는 갈고리 부재(41)가 고정되어 있다. 또한, 이 갈고리 지지부(48)의 측면에는 연결축(47)이 그 길이 방향을 수평으로 하여 돌출하고 있다. 피스톤(44)은 그 길이 방향을 Y 방향으로 하여 설치되어 있고, Y 방향으로 진출 후퇴할 수 있다. 이 피스톤(44)의 선단에는 하우징(45)이 고정되어 있고, 이 하우징(45)의 측면에는 수직 방향으로 연장하는 긴 구멍(46)이 형성되어 있다. 그리고, 이 긴 구멍(46) 내에 연결축(47)이 끼워 맞추어져 있고, 피스톤(44)이 진출하면 하우징(45)이 전방으로 이동하고, 긴 구멍(46) 내에 끼워 맞추어지는 연결축(47)을 전방으로 압박함으로써, 갈고리 부재(41)의 갈고리 지지부(48)가 도9의 (b) 내지 도9의 (c)에 도시한 바와 같이 전방 하방으로 회전한다. 반대로, 피스톤(44)이 후퇴함으로써, 갈고리 부재(41)의 갈고리 지지부(48)는 상방 후방으로 회전한다.As a representative of one hook member 41 is shown in Fig. 9, the lower surface of the arm 40 extends forward to form the base 49, and the arm 40 slightly rear of the base 49 is formed. ), A horizontal rotating shaft 42 is provided. The hook support part 48 is rotatably supported centering on this rotating shaft 42. The hook member 41 is fixed to the hook support part 48. Moreover, the connecting shaft 47 protrudes on the side surface of this claw support part 48 horizontally in the longitudinal direction. The piston 44 is provided with the longitudinal direction in the Y direction, and can move back and forth in the Y direction. A housing 45 is fixed to the tip of the piston 44, and an elongated hole 46 extending in the vertical direction is formed on the side surface of the housing 45. And the connecting shaft 47 is fitted in this long hole 46, When the piston 44 advances, the housing 45 will move forward, and the connecting shaft 47 will fit in the long hole 46. As shown in FIG. ), The hook support portion 48 of the hook member 41 rotates forward and downward as shown in Figs. 9B to 9C. On the contrary, when the piston 44 retreats, the hook support portion 48 of the hook member 41 rotates upward and backward.

갈고리 부재(41)는 원뿔 형상으로 형성되어 있고, 그 선단(43)은 FPC 기판과 점 접촉하도록, 표면적이 작은 것으로 되어 있다. 이 선단(43)은, 예를 들어 소정의 곡률 반경으로 만곡하는 반구 형상을 이루고, FPC 기판과의 접촉 면적은 FPC 기판을 천공해 버리지 않을 정도의 크기를 갖고, 또한 FPC 기판을 기부(49)와의 사이에서 확실하게 파지할 수 있는 크기이나, 선단(43)이 기부(49)와의 사이에서 FPC 기판을 파지한 상태에서, FPC 기판이 주름 및 왜곡을 발생하지 않고 회전할 수 있을 정도로 작은 것이 필요하다. 또한, 다른 쪽의 갈고리 부재(51)도 갈고리 부재(41)와 같은 구조를 갖는다.The hook member 41 is formed in a conical shape, and the front end 43 has a small surface area so as to point-contact with the FPC substrate. The tip 43 has, for example, a hemispherical shape that is curved at a predetermined radius of curvature, and the contact area with the FPC substrate is large enough not to perforate the FPC substrate, and the base 49 is supported by the FPC substrate. It must be small enough to hold the FPC substrate between the base portion 49 and the size that can be reliably gripped with the base member 43, and the FPC substrate can rotate without causing wrinkles and distortions. Do. The other hook member 51 also has the same structure as the hook member 41.

다음에, 가공 검사 공구 및 촬상 장치에 대해 설명한다. 도1에 도시한 바와 같이, 위치 조정 장치의 베이스(20, 30)의 Y 방향의 전방에 가공 검사 공구(60)가 배치되어 있고, 이 가공 검사 공구(60)의 상방에 촬상 장치의 카메라(61)가 배치되어 있다. 가공 검사 공구(60)에 있어서는, 예를 들어 펀칭 가공을 행하는 장치의 경우에는 다이스가 그 상면에 설치되어 있다. 촬상 장치에 있어서는, 구동부(64)가 가공 검사 공구(60)의 상방에 설치되어 있고, 이 구동부(64)의 하면에 X축 방향으로 이동 가능하게 X 이동부(63)가 설치되어 있다. 즉, X 이동부(63)는 구동부(64)로부터 수직 하강되어 있고, 적절한 구동 부재에 의해 X축 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 이 X 이동부(63)의 하면에는 Y축 방향으로 이동 가능하게 Y 이동부(62)가 설치되어 있다. 즉, Y 이동부(62)는 X 이동부(63)로부터 수직 하강되어 있고, 적절한 구동 부재에 의해 Y축 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 이 Y 이동부(62)의 선단에, 그 촬상 방향을 하방을 향해 카메라(61)가 설치되어 있다.Next, the process inspection tool and the imaging device will be described. As shown in FIG. 1, the machining inspection tool 60 is arrange | positioned in front of the Y direction of the base 20, 30 of a position adjustment apparatus, and the camera of an imaging device above this machining inspection tool 60 is carried out. 61 is arranged. In the process inspection tool 60, in the case of the apparatus which performs a punching process, the dice are provided in the upper surface, for example. In the imaging device, the drive part 64 is provided above the process inspection tool 60, and the X moving part 63 is provided in the lower surface of this drive part 64 so that a movement to an X-axis direction is possible. In other words, the X moving part 63 is vertically lowered from the driving part 64, and can move in the X axis direction by an appropriate driving member. And the lower surface of this X moving part 63 is provided with the Y moving part 62 so that a movement to a Y-axis direction is possible. That is, the Y moving part 62 is vertically descended from the X moving part 63, and can be moved to the Y-axis direction by the appropriate drive member. And the camera 61 is provided in the front-end | tip of this Y moving part 62 toward the imaging direction downward.

이 카메라(61)는, 도2에 도시한 바와 같이, X 이동부(63)의 X 방향의 이동 및 Y 이동부(62)의 Y 방향의 이동에 의해, 가공 검사 공구(60)의 상면의 가공 검사 영역(R) 내의 임의의 위치로 이동할 수 있고, 그 위치에 있어서의 다이스 등의 공구 형상을 촬영할 수 있다.As shown in Fig. 2, the camera 61 is moved by the X moving part 63 in the X direction and the Y moving part 62 in the Y direction. It can move to arbitrary positions in the process inspection area | region R, and can image | photograph the tool shape, such as dice in the position.

위치 조정 장치와, 가공 검사 공구(60) 사이에는, 예를 들어 테이블(도시하지 않음)이 설치되어 있고, 이 테이블 상에 FPC 등의 시트 형상 또는 필름 형상의 작업물(W)이 반송되어 온다. 이 테이블 상에 적재된 작업물(W)의 단부 모서리를 위치 조정 장치의 파지부(1, 8)가 파지한다.A table (not shown) is provided between the position adjustment device and the processing inspection tool 60, for example, and the workpiece | work W of sheet form or film form, such as FPC, is conveyed on this table. . The holding parts 1 and 8 of the positioning device hold the end edge of the work W stacked on the table.

또한, 도3 내지 도5에 도시한 바와 같이, 위치 조정 장치의 아암(40, 50)이 진출하여 파지부(1, 8)가 파지한 작업물(W)을 전방으로 이동시키면, 작업물(W)은 가공 검사 공구(60) 상에 일단 적재된다.3 to 5, when the arm 40, 50 of the position adjustment device advances and moves the workpiece W held by the grip portions 1, 8 to the front, the workpiece ( W) is once loaded onto the machining inspection tool 60.

제어부는, 카메라(61)가 공구를 촬영한 촬상 화상을 기초로 화상 처리하여 그 공구의 (X, Y, θ) 정보(위치, 기울기 정보)를 취득하고, 카메라(61)가 작업물을 촬영한 촬상 화상을 기초로 화상 처리하여 그 작업물의 (X, Y, θ) 정보(위치, 경사 정보)를 취득한다. 그리고, 제어부는 이 공구의 (X, Y, θ) 정보와 작업물의 (X, Y, θ) 정보가 일치하도록 위치 조정 장치의 X축 구동 모터(4, 11) 및 Y축 구동 모터(7A, 7B)를 구동한다.The control unit performs image processing based on the captured image of the camera 61 photographing the tool, acquires (X, Y, θ) information (position, inclination information) of the tool, and the camera 61 photographs the workpiece. Image processing is performed based on the captured image to obtain (X, Y, θ) information (position, inclination information) of the workpiece. Then, the controller controls the X-axis drive motors 4 and 11 and the Y-axis drive motors 7A, of the positioning device so that the (X, Y, θ) information of the tool and the (X, Y, θ) information of the workpiece coincide. Drive 7B).

또한, 작업물로서는, FPC 기판 등의 필름 형상 작업물에 한정되지 않고, 다양한 형상의 작업물에 대해 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 작업물은 유연한 재질인 것에 한정되지 않고, 강체(剛體)의 작업물에 대해 본 발명을 적용할 수도 있다. 강체의 경우에는, 본 발명과 같은 점으로 파지하는 파지부를 사용하지 않아도 주름 등의 문제가 발생하지 않으나, 본 발명은 작업물의 회전용의 구동부가 저비용이라는 효과를 발휘한다.In addition, as a workpiece | work, it is not limited to film-like workpieces, such as an FPC board | substrate, This invention is applicable to the workpiece | work of various shapes. In addition, the workpiece is not limited to a flexible material, and the present invention can also be applied to a rigid workpiece. In the case of a rigid body, problems such as wrinkles do not occur even when the gripping portion held by the same point as the present invention is used, but the present invention exhibits an effect that the driving portion for rotating the workpiece has a low cost.

다음에, 상술한 바와 같이 구성된 작업물 위치 결정 장치의 동작에 대해 설명한다. 우선, 테이블 상으로 반송되어 온 가요성 프린트 기판 등의 작업물(W)(도2, 도3 참조)은, 도1에 도시한 바와 같이 작업물(W)의 단부 모서리가 파지부(1, 8)의 기부(基部)(49) 상에 위치하도록 공급된다. 그리고, 피스톤(44)이 진출함으로써, 갈고리 부재(41)가 전방의 하방으로 요동하여, 작업물(W)을 갈고리 부재(41)의 선단(43)과 기부(49) 사이에서 파지한다. 계속해서, Y축 볼 나사(6, 13)를 모터(7A, 7B)에 의해 회전 구동하여, Y 받침대(21, 31)를 가공(펀칭) 영역 또는 검사 영역[가공 검사 영역(R)] 내에 인입하여, 가공 검사 영역(R) 내의 소정 위치에 위치시킨다.Next, the operation of the workpiece positioning apparatus configured as described above will be described. First, as for the workpiece | work W (refer FIG. 2, FIG. 3), such as a flexible printed board conveyed on the table, as shown in FIG. 1, the edge part of the workpiece | work W is a grip part 1, It is supplied to be located on the base 49 of 8). As the piston 44 advances, the hook member 41 swings forward and downward, and the workpiece W is gripped between the tip 43 and the base 49 of the hook member 41. Subsequently, the Y-axis ball screws 6 and 13 are rotationally driven by the motors 7A and 7B to drive the Y pedestals 21 and 31 into the machining (punching) region or the inspection region (process inspection region R). It pulls in and is located in the predetermined position in the process inspection area | region R. As shown in FIG.

이 작업물(W)이 가공 검사 공구(60) 상에 공급되기 전에, 예를 들어 도2에 도시한 바와 같이, 가공 검사 장치가 펀칭 장치인 경우에는, 카메라(61)는, 가공 검사 공구(60)로서의 다이스에 설치된 복수개의 펀칭 패턴(이형 형상) 중 1개를 촬상한다. 제어부는, 이 촬상 화상을 기초로 하여, 이 펀칭 패턴의 위치 X, Y 및 경사(θ)의 정보(X, Y, θ)를 취득한다.Before this workpiece | work W is supplied on the process inspection tool 60, for example, as shown in FIG. 2, when a process inspection apparatus is a punching apparatus, the camera 61 will be a process inspection tool ( One of the plurality of punching patterns (deformation shapes) provided in the dice | dies as 60) is imaged. The control unit acquires the information X, Y, θ of the position X, Y and the inclination θ of the punching pattern based on the captured image.

계속해서, 도3 및 도4에 도시한 바와 같이, 아암(40, 50)의 진출에 의해 파지부(1, 8)가 진출하여, 작업물(W)을 가공 검사 공구(60) 상에 일단 적재하면, 카메라(61)는, 가공 검사 공구(60)에 있어서의 촬상 펀칭 패턴에 대응하는 위치에 존재하는 작업물(W)의 펀칭 패턴을 촬상한다. 그와 같이 하면, 제어부는, 이 촬상 화상을 기초로 하여, 작업물(W)의 펀칭 패턴의 위치 X, Y 및 경사(θ)의 정보(X, Y, θ)를 취득한다. 그리고, 제어부는, 공구의 펀칭 패턴의 (X, Y, θ) 정보와, 작업물(W)의 펀칭 패턴의 (X, Y, θ) 정보를 비교하여, 양자가 합치하도록 위치 조정 장치의 X축 구동 모터(4, 11) 및 Y축 구동 모터(7A, 7B)를 구동한다.Subsequently, as shown in FIGS. 3 and 4, the grip parts 1 and 8 advance by the advance of the arms 40 and 50, and once the workpiece W is placed on the work inspection tool 60. When mounted, the camera 61 picks up the punching pattern of the workpiece | work W which exists in the position corresponding to the imaging punching pattern in the process inspection tool 60. By doing so, the control unit acquires the information X, Y, θ of the position X, Y and the inclination θ of the punching pattern of the workpiece W based on the captured image. The control unit compares the (X, Y, θ) information of the punching pattern of the tool with the (X, Y, θ) information of the punching pattern of the workpiece W, and compares the X of the position adjusting device so that the two coincide with each other. The axis drive motors 4 and 11 and the Y axis drive motors 7A and 7B are driven.

이때, 공구와 작업물의 (X, Y, θ) 정보가 일치하도록 X 받침대(22, 32)(이동부)를 X 방향 및 Y 방향으로 약간 이동시켜, X 방향 위치 및 Y 방향 위치를 조절하는 동시에, X 방향의 이동량과 Y 방향의 이동량을 다르게 함으로써, X 방향 및 Y 방향에 수직인 축(작업물의 표면에 수직인 축)의 주위로 작업물을 회전시켜 그 회전 방향의 위치도 조절한다.At this time, the X pedestal 22, 32 (moving part) is moved slightly in the X direction and the Y direction so that the (X, Y, θ) information of the tool and the workpiece coincide with each other, thereby adjusting the X direction position and the Y direction position. By varying the amount of movement in the X direction and the amount of movement in the Y direction, the workpiece is rotated around an axis perpendicular to the X direction and the Y direction (an axis perpendicular to the surface of the workpiece) to adjust the position of the rotation direction.

이 경우에, 본 실시 형태에 있어서는, 파지부가, 기부와 작업물에 점 접촉하는 갈고리 부재와의 사이에서, 작업물을 점으로 파지하므로, 구동부가 이동부를 X 방향 및 Y 방향으로 구동함으로써, 작업물을 X 방향 및 Y 방향으로 위치 조정할 수 있는 동시에, 예를 들어 Y 방향의 이동량을 한 쌍의 구동부에서 서로 다르게 함으로써, 작업물을 그 면에 수직인 축의 주위로 회전시킬 수 있다. 구동부는, 이동부를 X 방향 및 Y 방향의 2방향으로 이동시키는 것만으로 좋고, 회전 구동할 필요는 없기 때문에 구동부가 간소화되어 소형화할 수 있다. 또한, 갈고리 부재(41, 51)는 작업물을 점으로 파지하므로, 작업물이 필름 형상인 경우에, 작업물의 회전에 수반하여 작업물에 주름 및 왜곡 등이 발생하는 일은 없다.In this case, in the present embodiment, the gripping portion grips the workpiece to a point between the base and the hook member in point contact with the workpiece, so that the driving portion drives the moving portion in the X and Y directions, thereby The water can be positioned in the X direction and the Y direction, and the workpiece can be rotated around an axis perpendicular to the plane, for example, by varying the amount of movement in the Y direction on a pair of drive units. The drive unit is only required to move the moving unit in two directions of the X direction and the Y direction, and the drive unit does not need to be rotated, so the drive unit can be simplified and downsized. In addition, since the hook members 41 and 51 hold the workpiece as a dot, when the workpiece is in the form of a film, wrinkles, distortion, etc. do not occur in the workpiece with rotation of the workpiece.

그 후, 도5에 도시한 바와 같이, 상측의 가공 검사 공구를, 하측의 가공 검사 공구(60)에 겹쳐, 소정의 형상의 패턴을 펀칭에 의해 도려내거나, 또는 FPC의 도통 검사를 행한다. 이와 같이 하여, 본 실시 형태에 따르면, 작업물을 X 방향 및 Y 방향으로 위치 조정할 뿐만 아니라, 작업물을 θ 방향으로 회전시킬 수 있으므로, 펀칭 패턴이 원형이 아닌 이형 형상인 경우, 또는 U자형 등의 소정의 패턴 형상을 갖고 있는 경우에도, 작업물의 경사를 바꾸어, 양자의 패턴을 합치시킬 수 있으므로, 이형 형상 또는 패턴 형상의 구멍을 가공(천공)하는 경우에도, 본 실시 형태의 위치 결정 장치를 적용할 수 있다.Then, as shown in FIG. 5, the upper process inspection tool is superimposed on the lower process inspection tool 60, and the pattern of a predetermined shape is cut out by punching, or conduction test of FPC is performed. In this manner, according to the present embodiment, not only the work piece can be adjusted in the X and Y directions but also the work can be rotated in the θ direction, so that the punching pattern is a non-circular, non-circular shape, or U-shaped or the like. Even when it has a predetermined pattern shape, since the inclination of a workpiece | work can be changed and both patterns can be matched, even when processing (perforating) a shape of a mold shape or a pattern shape, the positioning apparatus of this embodiment Applicable

본 발명은 작업물 위치 결정 장치에 의해 작업물을 소정의 위치에 위치시켜, 펀칭 또는 전기 검사를 행하는 펀칭 장치 및 검사 장치 등에 유용하다.Industrial Applicability The present invention is useful for punching devices, inspection devices, and the like, which perform a punching or electrical inspection by placing a workpiece at a predetermined position by the workpiece positioning device.

1, 8 : 파지부
2, 9, 5, 12 : 가이드
3, 10, 6, 13 : 볼 나사
4, 11, 7A, 7B : 모터
20, 30 : 베이스
21, 31 : Y 받침대
22, 32 : X 받침대
40, 50 : 아암
41, 51 : 갈고리 부재
42 : 회전축
43 : 선단
44 : 피스톤
45 : 하우징
46 : 긴 구멍
47 : 연결축
48, 100 : 지지부
49 : 기부
60 : 가공 검사 공구
61 : 카메라
62 : Y 이동부
63 : X 이동부
64, 101, 102 : 구동부
1, 8: gripper
2, 9, 5, 12: guide
3, 10, 6, 13: ball screw
4, 11, 7A, 7B: motor
20, 30: base
21, 31: Y pedestal
22, 32: X pedestal
40, 50: arm
41, 51: no hook
42: axis of rotation
43: tip
44: piston
45: housing
46: long hole
47: connecting shaft
48, 100: support part
49: donation
60: machining inspection tool
61: camera
62: Y moving part
63: X moving part
64, 101, 102: drive unit

Claims (2)

가공 검사 영역에 있어서의 X축 위치 X 및 Y축 위치 Y 및 X-Y면에 수직인 축의 주위의 회전각(θ)에 관한 정보(X, Y, θ)를 공구와 상기 가공 검사 영역 상의 작업물에 대해 이들을 검출하는 검출 장치와, 상기 작업물의 위치 조정 장치를 갖고,
상기 위치 조정 장치는 한 쌍의 이동부와, 상기 이동부를 서로 직교하는 X 방향 및 Y 방향으로 구동하는 한 쌍의 구동부와, 상기 각 이동부에 설치되어 작업물을 파지하는 파지부와, 상기 공구의 (X, Y, θ) 정보와 상기 작업물의 (X, Y, θ) 정보가 일치하도록 상기 구동부를 구동 제어하는 제어부를 갖고,
한 쌍의 이동부의 각각의 이동량을 한 쌍의 구동부에서 다르게 함으로써, 작업물을 회전시키는 것을 특징으로 하는 작업물 위치 결정 장치.
X-axis position X and Y-axis position in the machining inspection area (X, Y, θ) about the rotation angle (θ) around the axis perpendicular to the Y and XY planes to the tool and the workpiece on the machining inspection area. It has a detection apparatus which detects these with respect to, and the position adjustment apparatus of the said workpiece | work,
The position adjusting device includes a pair of moving parts, a pair of driving parts for driving the moving parts in the X and Y directions orthogonal to each other, a holding part provided on each of the moving parts to grip a workpiece, and the tool. Has a control unit for driving control of the driving unit so that the (X, Y, θ) information of
A workpiece positioning apparatus characterized by rotating a workpiece by varying each movement amount of the pair of moving portions in the pair of driving portions.
가공 검사 영역에 있어서의 X축 위치 X 및 Y축 위치 Y 및 X-Y면에 수직인 축의 주위의 회전각(θ)에 관한 정보(X, Y, θ)를 공구와 상기 가공 검사 영역 상의 작업물에 대해 이들을 검출하는 검출 장치와, 상기 작업물의 위치 조정 장치를 갖고,
상기 위치 조정 장치는 한 쌍의 이동부와, 상기 이동부를 서로 직교하는 X 방향 및 Y 방향으로 구동하는 한 쌍의 구동부와, 상기 각 이동부에 설치되어 작업물을 파지하는 파지부와, 상기 공구의 (X, Y, θ) 정보와 상기 작업물의 (X, Y, θ) 정보가 일치하도록 상기 구동부를 구동 제어하는 제어부를 갖고,
상기 검출 장치는 촬상 장치이고,
상기 이동부는 가공 검사 영역에 작업물을 인입(引入)하여, 가공 검사 영역 내의 소정 위치에 작업물을 위치시키는 것을 특징으로 하는 작업물 위치 결정 장치.
X-axis position X and Y-axis position in the machining inspection area (X, Y, θ) about the rotation angle (θ) around the axis perpendicular to the Y and XY planes to the tool and the workpiece on the machining inspection area. It has a detection apparatus which detects these with respect to, and the position adjustment apparatus of the said workpiece | work,
The position adjusting device includes a pair of moving parts, a pair of driving parts for driving the moving parts in the X and Y directions orthogonal to each other, a holding part provided on each of the moving parts to grip a workpiece, and the tool. Has a control unit for driving control of the driving unit so that the (X, Y, θ) information of
The detection device is an imaging device,
And the moving unit draws the workpiece into the workpiece inspection region to position the workpiece at a predetermined position in the workpiece inspection region.
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