KR20090060123A - Composite material composed of carbon material and resin and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
탄소 소재 본래의 특성을 충분히 발휘할 수 있는 탄소 소재와 수지로 이루어진 복합 재료 및 그 적합한 제조 방법을 제공한다.Provided are a composite material composed of a carbon material and a resin capable of sufficiently exhibiting the original properties of the carbon material, and a suitable manufacturing method thereof.
그래파이트 혹은 그래파이트 구조를 갖춘 탄소 소재와 수지로 이루어진 복합 재료로서, 상기 탄소 소재의 표면이 개질되고, 상기 수지와 탄소 소재가 화학적 혹은 물리적으로 결합되어 있는 것을 특징으로 한다. A composite material comprising a carbon material and a graphite having a graphite or graphite structure, wherein the surface of the carbon material is modified, and the resin and the carbon material are chemically or physically bonded.
Description
본 발명은 배선 기판의 코어부를 구성하는 프리프레그 등으로서 이용되는 탄소 소재와 수지로 이루어진 복합 재료 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a composite material composed of a carbon material and a resin used as a prepreg or the like constituting the core portion of a wiring board, and a manufacturing method thereof.
반도체 소자를 탑재하는 배선 기판에는 코어 기판의 코어부에 카본 파이버를 함유하는 제품이 있다. 코어부에 카본 파이버를 함유하는 코어 기판을 사용한 배선 기판은, 종래의 유리 에폭시로 이루어진 코어 기판을 사용한 배선 기판에 비하여 열팽창율이 낮으며, 반도체 소자와 열팽창계수를 매칭시킬 수 있고, 반도체 소자와 배선 기판 사이에서 발생하는 열응력을 억제할 수 있어, 신뢰성이 높은 배선 기판으로서 제공된다.There exists a product which contains carbon fiber in the core part of a core board | substrate in the wiring board which mounts a semiconductor element. The wiring board using the core substrate containing carbon fiber in the core part has a lower thermal expansion coefficient as compared with the wiring board using the core substrate made of glass epoxy of the prior art, and can match the semiconductor element and the coefficient of thermal expansion. The thermal stress generated between the wiring boards can be suppressed, so that it is provided as a highly reliable wiring board.
코어 기판의 카본 파이버를 함유하는 코어부는, 카본 파이버에 수지를 함침시켜 형성한 프리프레그를 복수 장 중첩시키고, 가열 및 가압하여 일체화함으로써 형성된다. 코어 기판은 이 코어부의 양면에 배선층을 적층함으로써 형성되고, 코어 기판의 양면에 빌드업 법 등에 의해 배선층을 형성하여 배선 기판으로 할 수 있다.The core portion containing the carbon fiber of the core substrate is formed by superimposing a plurality of prepregs formed by impregnating the resin into the carbon fiber, heating and pressurizing them to integrate them. A core board | substrate is formed by laminating | stacking a wiring layer on both surfaces of this core part, A wiring layer can be formed on both surfaces of a core board | substrate by a buildup method, etc., and it can be set as a wiring board.
특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 제2003-273482호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2003-273482
특허 문헌 2 : 일본 특허 공개 평성 제11-269362호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-269362
전술한 카본 파이버를 함유하는 코어부는 유리 에폭시 기판 등에 비하여 저열팽창율로 할 수 있는 것 이외에 고열전도율 및 고강도를 갖춘다고 하는 특성을 갖는다. 이 고열전도율 및 고강도라는 특성은 배선 기판을 구성하는 코어 기판의 특성으로서 유용하다.The core part containing the carbon fiber described above has a property of having high thermal conductivity and high strength in addition to being able to have a low thermal expansion coefficient as compared with a glass epoxy substrate or the like. This high thermal conductivity and high strength are useful as characteristics of the core substrate constituting the wiring board.
또한, 저열팽창율 및 고강도를 갖는 유기 재료에는 예컨대 아라미드 섬유가 있다.In addition, organic materials having low thermal expansion and high strength include, for example, aramid fibers.
그러나, 아라미드 섬유는 탄성율이 낮기 때문에 코어부에 사용하면 수지 기재의 열팽창력에 지배되어 버려 저열팽창율이라고 하는 특성을 발휘할 수 없다. 이것에 대하여, 카본 파이버는 고탄성율이기 때문에, 저열팽창율이라고 하는 본래의 특성을 발휘할 수 있고, 강도 및 열전도성에 대해서도 본래의 특성을 발휘할 수 있다고 하는 특징이 있다.However, since aramid fibers have a low elastic modulus, when used in the core portion, the aramid fibers are dominated by the thermal expansion force of the resin substrate and thus cannot exhibit the characteristics of low thermal expansion coefficient. On the other hand, since carbon fiber has a high modulus of elasticity, the carbon fiber can exhibit the original property of low thermal expansion rate, and can exhibit the original property also in strength and thermal conductivity.
그러나, 카본 파이버를 함유한 프리프레그로 코어부를 구성하는 경우와 같이, 수지 기재와 카본 파이버로 구성되는 수지 재료에 있어서, 카본 파이버 본래의 특성이 충분히 발휘되도록 하기 위해서는 카본 파이버와 수지 기재와의 밀착성이 문제가 된다.However, as in the case of constituting the core portion with a prepreg containing carbon fiber, in the resin material composed of the resin substrate and the carbon fiber, in order to sufficiently exhibit the intrinsic properties of the carbon fiber, the adhesion between the carbon fiber and the resin substrate This is a problem.
본 발명은 코어부에 카본 파이버를 함유하는 배선 기판을 형성하는 경우와 같이, 카본 파이버 등의 탄소 소재 본래의 특성을 발휘시킬 수 있는 탄소 소재와 수지로 이루어진 복합 재료 및 그 적합한 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a composite material made of a carbon material and a resin capable of exhibiting the original properties of a carbon material such as carbon fiber and the like, as in the case of forming a wiring board containing carbon fiber in the core portion, and a suitable manufacturing method thereof. For the purpose of
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서 다음 구성을 갖춘다.The present invention has the following configuration in order to achieve the above object.
즉, 그래파이트 혹은 그래파이트 구조를 갖춘 탄소 소재와 수지로 이루어진 복합 재료로서, 상기 탄소 소재의 표면이 개질되고, 상기 수지와 탄소 소재가 화학적 혹은 물리적으로 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.That is, a composite material composed of a carbon material and a resin having a graphite or graphite structure is characterized in that the surface of the carbon material is modified, and the resin and the carbon material are chemically or physically bonded.
또한, 개질 처리란, 탄소 소재와 수지의 화학적인 결합성을 향상시키기 위해서, 예컨대 탄소 소재에 강알칼리 처리를 행하여 탄소 소재의 표면에 활성기를 형성하는 방법, 혹은 탄소 소재에 플라즈마 처리나 이온빔 처리를 행하고, 탄소 소재의 표면에 요철을 형성하며, 앵커 작용을 이용하여 탄소 소재와 수지와의 결합성을 향상시키는 방법을 말한다.In addition, the modification treatment is a method of forming an active group on the surface of a carbon material by performing a strong alkali treatment on the carbon material, for example, in order to improve the chemical bonding between the carbon material and the resin, or performing a plasma treatment or ion beam treatment on the carbon material. , Forming irregularities on the surface of the carbon material, refers to a method of improving the bond between the carbon material and the resin using the anchor action.
상기 탄소 소재와 수지가 화학적으로 결합되어 있는 형태로서는, 상기 탄소 소재 표면의 탄소 원자와, 상기 수지의 분자가 화학적으로 결합되어 있는 것, 혹은, 상기 탄소 소재와 상기 수지가 상기 탄소 소재 표면의 탄소 원자와 화학적으로 결합한 유기 재료 혹은 무기 재료를 통해 결합되어 있는 것을 유효하게 이용할 수 있다.As a form in which the carbon material and the resin are chemically bonded, carbon atoms on the surface of the carbon material and molecules of the resin are chemically bonded, or the carbon material and the resin are carbon on the surface of the carbon material. What is bonded through the organic material or inorganic material which chemically couple | bonded with an atom can be utilized effectively.
또한, 탄소 소재로서 카본 파이버를 이용한 탄소 소재와 수지의 복합 재료는 저열팽창율 및 고강도를 갖는 점에서 특히 유용하다.Moreover, the composite material of the carbon material and resin which used the carbon fiber as a carbon material is especially useful at the point which has low thermal expansion coefficient and high strength.
또한, 탄소 소재와 수지의 복합 재료의 제조 방법으로서, 그래파이트 혹은 그래파이트 구조를 갖춘 탄소 소재의 표면에 수지와 화학적으로 결합하는 활성기 혹은 수지와 물리적으로 결합하는 부위를 형성하는 개질 처리를 행하는 공정과, 상기 개질 처리가 행해진 탄소 소재에 수지를 접촉시켜 탄소 소재와 수지와의 복합 재료를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, as a method for producing a composite material of a carbon material and a resin, a step of performing a reforming treatment of forming an active group chemically bonded to the resin or a site physically bonded to the resin on the surface of the carbon material having graphite or graphite structure; And a step of forming a composite material of the carbon material and the resin by bringing the resin into contact with the carbon material subjected to the modification treatment.
상기 개질 처리로서는, 탄소 소재에 강알칼리 처리를 행하는 방법, 탄소 소재에 플라즈마 처리를 행하는 방법을 유효하게 이용할 수 있다.As the modification treatment, a method of performing a strong alkali treatment on a carbon material and a method of performing a plasma treatment on the carbon material can be effectively used.
본 발명에 따른 탄소 소재와 수지로 이루어진 복합 재료는 탄소 소재에 개질 처리를 행함으로써 탄소 소재와 수지와의 결합성이 향상되고, 탄소 소재와 수지와의 계면에 있어서의 미끄럼을 억제함으로써, 탄소 소재 본래의 특성을 충분히 갖춘 복합 재료로서 제공할 수 있다.The composite material made of the carbon material and the resin according to the present invention improves the bond between the carbon material and the resin by performing a modification treatment on the carbon material, and suppresses the slip at the interface between the carbon material and the resin, thereby reducing the carbon material. It can provide as a composite material with sufficient original characteristics.
도 1은 카본 파이버에 수지를 함침시켜 형성한 프리프레그의 단면 구조를 도시한 전자현미경 사진이다. 도 1에 있어서, 좌우로 연장되는 섬유 부분은 카본 파이버의 길이 방향으로 평행한 단면을 나타내고, 작은 점이 집합되어 있는 부분은 카본 파이버의 길이 방향으로 수직인 단면을 나타낸다. 카본 파이버의 중간에 검게 표시되어 있는 부분은 수지 부분이다. 또한, 도면의 섬유 부분은 카본 파이버를 다수 가닥 모아서 다발형으로 형성되어 있다. 카본 파이버로 직포를 형성하는 경우는, 카본 파이버를 다수 가닥 모은 카본 파이버 다발을 사용하는 방법이 일반적이다.1 is an electron micrograph showing a cross-sectional structure of a prepreg formed by impregnating a resin into a carbon fiber. In FIG. 1, the fiber part extended to the left and right shows the cross section parallel to the longitudinal direction of a carbon fiber, and the part where small dots are gathered shows the cross section perpendicular | vertical to the longitudinal direction of a carbon fiber. The part marked black in the middle of a carbon fiber is a resin part. In addition, the fiber part of the figure is formed in bundle form by gathering many strands of carbon fiber. When forming a woven fabric from carbon fibers, a method of using carbon fiber bundles in which a large number of carbon fibers are collected is common.
도 1에 도시된 프리프레그는 카본 파이버 다발로 직포를 형성하고, 직포에 수지를 함침시켜 형성한 것으로, 인접한 카본 파이버 다발의 중간에 수지가 충전되어 있다.The prepreg shown in FIG. 1 is formed by forming a woven fabric with a carbon fiber bundle and impregnating the resin with the woven fabric, and the resin is filled in the middle of the adjacent carbon fiber bundles.
도 2는 카본 파이버로 이루어진 1가닥의 섬유(카본 파이버 다발)를 확대한 전자현미경 사진이다. 수지 섬유를 3000℃ 정도의 고온에서 소성하여 그래파이트화한 카본 파이버는 섬유의 외표면에 얕은 홈이 형성되는 정도이며, 섬유의 외표면은 매우 매끄럽다. 따라서, 카본 파이버로 이루어진 직포에 수지를 함침시켜 프리프레그를 작성한 경우, 카본 파이버와 수지는 언뜻 보기에 밀착되어 있어도, 카본 파이버와 수지와의 기계적인 결합은 약하여 실제로는 거의 밀착되어 있지 않은 상태가 된다. 또한, 그래파이트화한 카본 파이버는 화학적으로 안정되어 수지와 화학적으로 결합하는 일도 없다.FIG. 2 is an enlarged electron micrograph of one fiber (carbon fiber bundle) made of carbon fiber. FIG. Carbon fiber obtained by calcining the resin fibers at a high temperature of about 3000 ° C. is a grade in which shallow grooves are formed on the outer surface of the fiber, and the outer surface of the fiber is very smooth. Therefore, when a prepreg is made by impregnating a resin into a woven fabric made of carbon fiber, even though the carbon fiber and the resin are in close contact with each other at first glance, the mechanical bonding between the carbon fiber and the resin is weak, and in reality, the state is hardly close. do. In addition, the graphitized carbon fiber is chemically stable and does not bond chemically with the resin.
이 때문에, 예컨대 카본 파이버에 수지를 함침시켜 형성한 프리프레그를 복수 장, 가열 및 가압하여 일체로 형성한 코어부는 카본 파이버와 수지 사이의 미끄럼에 의해 카본 파이버가 본래 갖추고 있는 저열팽창율, 고강도라는 우수한 특성을 발휘할 수 없다.For this reason, for example, the core portion formed by integrally heating a plurality of prepregs formed by impregnating a resin into a carbon fiber, and heating and pressurizing is excellent in the low thermal expansion rate and high strength inherent in the carbon fiber by sliding between the carbon fiber and the resin. Can not exhibit characteristics.
본 발명의 탄소 소재와 수지로 이루어진 복합 재료의 제조 방법은 탄소 소재에 개질 처리를 행하여 탄소 소재와 수지와의 화학적인 결합 혹은 물리적인 결합을 향상시킴으로써, 복합 재료의 특성으로서 탄소 소재의 특성이 반영되도록 하는 것이다.In the method for producing a composite material composed of the carbon material and the resin of the present invention, the carbon material is modified to improve chemical or physical bonds between the carbon material and the resin, thereby reflecting the properties of the carbon material as characteristics of the composite material. It is to be possible.
예컨대, 탄소 소재로서의 그래파이트화한 카본 파이버에 대해서 살펴보면, 카본 파이버에 개질 처리를 행하여 카본 파이버와 수지를 화학적으로 결합하기 쉽 게 하거나 혹은 카본 파이버와 수지와의 물리적(기계적)인 결합력이 향상되도록 하는 것이다.For example, the graphitized carbon fiber as a carbon material is characterized in that the carbon fiber is modified to make it easier to chemically bond the carbon fiber and the resin or to improve the physical (mechanical) bonding force between the carbon fiber and the resin. will be.
도 3은 그래파이트화한 카본 파이버와 수지(R)가 화학적으로 결합하는 상태를 나타내고 있다. 이와 같이, 그래파이트화한 카본 파이버라도, 카본 파이버와 수지를 화학적으로 결합시킬 수 있으면, 카본 파이버와 수지와의 계면에 있어서의 미끄럼이 억제되고, 카본 파이버 자체가 갖추는 저열팽창율, 고강도라는 특성을 반영한 카본 파이버와 수지와의 복합 재료를 얻는 것이 가능하다.3 shows a state in which the graphitized carbon fiber and the resin (R) are chemically bonded. In this way, even in the case of graphite carbonized carbon, if the carbon fiber and the resin can be chemically bonded, the sliding at the interface between the carbon fiber and the resin is suppressed and reflects the characteristics of low thermal expansion coefficient and high strength of the carbon fiber itself. It is possible to obtain a composite material of carbon fiber and resin.
그리고, 이들 복합 재료를, 예컨대 배선 기판을 구성하는 코어재로서 사용함으로써, 배선 기판을 저열팽창율로 하여 배선 기판에 탑재하는 반도체 소자와의 열팽창계수를 매칭시킬 수 있고, 또한 배선 기판을 고강도로 함으로써, 배선 기판의 휨 등의 변형을 방지하여 배선 기판, 반도체 패키지, 반도체 장치 등의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.By using these composite materials as a core material constituting the wiring board, for example, the thermal expansion coefficient with the semiconductor element mounted on the wiring board can be matched with a low thermal expansion coefficient, and the wiring board is made high in strength. The deformation of the wiring board and the like can be prevented to improve the reliability of the wiring board, the semiconductor package, and the semiconductor device.
이하에서는, 탄소 소재의 예로서, 그래파이트화된 카본 파이버에 개질 처리를 행하는 구체적인 처리예를 나타낸다.Below, as an example of a carbon raw material, the specific processing example which performs a modification process on the graphitized carbon fiber is shown.
(강알칼리 처리)(Strong alkali treatment)
강알칼리 처리란, 그래파이트화한 카본 파이버에 강알칼리를 작용시켜, 카본 파이버의 표면에 활성기로서 수산기를 도입하는 처리이다.The strong alkali treatment is a process which makes strong alkali act on the graphitized carbon fiber, and introduce | transduces a hydroxyl group as an active group on the surface of a carbon fiber.
예로서, 1∼3몰 농도(mol/㎥)의 수산화나트륨, 수산화칼륨탄산암모늄 혹은 탄산수소암모늄 수용액 등의 무기 알칼리를 전해액으로서 사용하고, 카본 파이버 또는 카본 파이버 다발을 양극으로 하여 침지하며, 2볼트 정도의 전압을 인가하면 서 10분간 처리함으로써, 그래파이트화한 카본 파이버의 표면에 부분적으로 수산기를 도입할 수 있다.For example, inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide ammonium hydroxide, or ammonium bicarbonate aqueous solution of 1 to 3 molar concentrations (mol / m 3) are used as an electrolyte, and carbon fibers or bundles of carbon fibers are immersed as an anode, 2 By processing for 10 minutes while applying a voltage of about volts, a hydroxyl group can be partially introduced into the surface of the graphitized carbon fiber.
또한, 다른 방법으로서, 1∼3몰 농도(mol/㎥)의 황산 또는 질산 수용액을 전해액으로서 사용하고, 카본 파이버 또는 카본 파이버를 다발형으로 한 카본 파이버 다발을 양극으로 하여 침지하며, 2볼트 정도의 전압을 인가하면서 10분간 처리함으로써, 그래파이트화한 카본 파이버의 표면에 부분적으로 수산기를 도입할 수 있다.As another method, sulfuric acid or nitric acid aqueous solution having a concentration of 1 to 3 mol (mol / m 3) is used as an electrolyte solution, and carbon fiber bundles in which carbon fibers or carbon fibers are bundled are immersed as an anode, and about 2 volts. By treating for 10 minutes while applying a voltage of, a hydroxyl group can be partially introduced into the surface of the graphitized carbon fiber.
이들, 표면에 수산기가 도입된 카본 파이버에 수지를 접촉시키면, 수지와 수산기가 화학적으로 결합하여 카본 파이버와 수지와의 밀착성, 결합성을 향상시킬 수 있다.When the resin is brought into contact with a carbon fiber having a hydroxyl group introduced on the surface thereof, the resin and the hydroxyl group are chemically bonded to each other to improve adhesion and bonding between the carbon fiber and the resin.
(플라즈마 처리)(Plasma treatment)
그래파이트화한 카본 파이버 혹은 카본 파이버 다발을 챔버 내에 세팅하고, 감압 하에서 플라즈마 방전하는 방법, 챔버 내에 알코올류 혹은 알데히드류를 도입하여 플라즈마 방전하는 방법, 챔버 내를 이산화탄소 분위기로 하여 플라즈마 방전하는 방법에 의한 것이다. 플라즈마 방전은 실온으로부터 200℃ 정도의 온도 범위에서 행한다.A method of setting a graphite carbon fiber or a bundle of carbon fibers in a chamber and performing plasma discharge under reduced pressure, introducing plasma or alcohol by introducing alcohol or aldehydes into the chamber, or performing plasma discharge using a chamber in a carbon dioxide atmosphere. will be. Plasma discharge is performed in the temperature range of about 200 degreeC from room temperature.
이 플라즈마 처리에 의해 카본 파이버의 표면에 부분적으로 활성기로서 케톤기, 에테르기, 수산기를 도입할 수 있다.By this plasma treatment, a ketone group, an ether group, and a hydroxyl group can be partially introduced into the surface of the carbon fiber as an active group.
따라서, 카본 파이버에 플라즈마 처리를 행함으로써 카본 파이버와 수지를 화학적으로 결합시킬 수 있어 카본 파이버와 수지와의 밀착성, 결합력을 향상시킬 수 있다.Therefore, by performing a plasma treatment on the carbon fibers, the carbon fibers and the resin can be chemically bonded, and the adhesion and bonding strength between the carbon fibers and the resin can be improved.
(이온빔 처리)(Ion beam treatment)
이온 가속기(200 keV, 10 μA)를 이용하여 감압 하에서, 실온에서, 질소, 산소 등의 원자를, 플루언스율 1014/㎠∼1018/㎠로 하여 그래파이트화한 카본 파이버 혹은 카본 파이버 다발에 조사함으로써, 카본 파이버의 표면을 개질한다.By irradiating an atom such as nitrogen and oxygen at a room temperature under a reduced pressure using an ion accelerator (200 keV, 10 µA) to a graphitized carbon fiber or carbon fiber bundle at a fluence rate of 1014 / cm 2 to 1018 / cm 2 The surface of the carbon fiber is modified.
이온 조사 후, 카본 파이버의 표면은 원래의 탄소 원자만으로 이루어진 그래파이트 구조로부터, 부분적으로, 에테르기 C-O-C, 카르보닐기 C=O, 산소 라디칼이 결합한 탄소 C-O·, 아미노기 등이 부분적으로 형성된다. 산소 라디칼이 결합한 탄소 C-O·는 대기중으로 빼내었을 때에 수산기 C-OH가 되고, 카르보닐기와 마찬가지로 기재 수지의 전구체와 반응하여 화학적인 결합을 만들어 수지 기재와 반응성이 높은 구조가 형성된다. 개질한 카본 파이버는 수지를 함침시켜, 프린트 기판을 형성할 때의, 가열 적층시에 수지 기재 전구체와 반응하여 화학적으로 결합함으로써 높은 밀착력을 얻을 수 있다.After the ion irradiation, the surface of the carbon fiber is partially formed of a graphite structure composed of only the original carbon atoms, and partially forms an ether group C-O-C, a carbonyl group C = O, a carbon C-O-, an amino group bonded to an oxygen radical, and the like. When carbon C-O.to which oxygen radicals bond is taken out into the atmosphere, it becomes hydroxyl group C-OH, and reacts with the precursor of the base resin similarly to the carbonyl group to form a chemical bond to form a structure highly reactive with the resin base material. The modified carbon fiber can obtain high adhesion by impregnating the resin and reacting chemically with the resin substrate precursor during thermal lamination when forming a printed substrate.
(강알칼리를 이용한 인터컬레이션)(Intercalation using strong alkali)
그래파이트층간에 고온, 고압(예로서 300℃, 10기압)으로 리튬 이온, 칼륨 이온을 침입시켜, 상압으로 가열하고, 부분적으로 층박리시킴으로써 수지와의 물리적 밀착성을 개선한다. 또한, 강알칼리 이온을 함침한 후의 세정 프로세스로 일부, 수산기 C-OH가 형성되며, 이것은, 프린트 기판을 형성할 때의, 가열 적층시에 수지 기재 전구체와 반응하여 화학적으로 결합함으로써 높은 밀착력을 얻는다.Lithium ions and potassium ions are infiltrated between the graphite layers at high temperature and high pressure (for example, 300 DEG C and 10 atm), heated to normal pressure, and partially peeled off to improve physical adhesion to the resin. In addition, a hydroxyl group C-OH is formed in part by a washing process after impregnating strong alkali ions, which obtains high adhesion by chemically bonding with a resin substrate precursor during thermal lamination when forming a printed substrate.
(밀착력 시험)(Adhesion test)
전술한 강알칼리 처리, 플라즈마 처리, 이온빔 처리, 인터컬레이션 처리(혼 산 처리)를 행한 카본 섬유를 이용하여 직포(카본 섬유 직포)를 제작하고, 카본 섬유 직포에 수지 기재의 전구체를 함침시켜 카본 섬유 프리프레그를 제작하였다. 이 카본 섬유 프리프레그를 프레스 조건 1 MPa·200℃·120분에 의해 적층하고, 두께 1 ㎜의 판형 샘플을 제작하였다.A woven fabric (carbon fiber woven fabric) is produced using carbon fibers subjected to the above-described strong alkali treatment, plasma treatment, ion beam treatment, and intercalation treatment (mixed acid treatment), and the carbon fiber woven fabric is impregnated with a precursor of a resin substrate to carbon fibers. Prepreg was produced. This carbon fiber prepreg was laminated | stacked by press condition 1 MPa * 200 degreeC * 120 minutes, and the plate-shaped sample of thickness 1mm was produced.
밀착력 시험은 도 4에 도시된 바와 같이 직경 10 mm의 알루미늄제의 지그(6)에 샘플(5)을 사이에 끼워 접합시켜, 박리 강도를 측정함으로써 행하였다. 판체형 샘플(5)은 접착 수지(7)를 통해 지그(6)에 접합하였다.As shown in FIG. 4, the adhesion test was performed by sandwiching the
도 5에 밀착력 시험(인장 시험)을 행한 결과를 그래프로 나타내었다. 그래프 안에서, 무처리란, 카본 섬유에 전술한 강알칼리 처리나 플라즈마 처리를 전혀 행하지 않고 수지 기재의 전구체를 함침시켜 형성한 샘플에 대해서 시험한 결과이다. 이 무처리의 샘플과 상기 처리를 행한 샘플과의 밀착 강도를 비교하면, 상기 처리를 행한 샘플에 대해서 박리 강도가 크게 향상되는 것을 알 수 있다.The result of having performed the adhesion test (tension test) in FIG. 5 is shown graphically. In the graph, untreated is a result of testing a sample formed by impregnating a precursor of a resin substrate without performing any of the above-described strong alkali treatment or plasma treatment on carbon fibers. Comparing the adhesion strength between this untreated sample and the sample subjected to the above treatment, it can be seen that the peeling strength is greatly improved for the sample subjected to the above treatment.
또한, 샘플의 박리 상태를 관찰한 결과, 무처리의 샘플은 파단면이 카본 파이버의 표면과 수지와의 계면에서 생기고, 처리를 행한 샘플에 대해서는 수지의 내부에서 파단하고 있었다. 이것은 카본 파이버에 상기 처리를 행함으로써 카본 파이버와 수지가 화학 결합을 형성하고, 카본 파이버와 수지와의 밀착성이 향상된 결과에 따른 것이라고 생각된다.As a result of observing the peeling state of the sample, the untreated sample had a fracture surface at the interface between the surface of the carbon fiber and the resin, and the treated sample was broken within the resin. It is considered that this is because the carbon fiber and the resin form a chemical bond by performing the above treatment on the carbon fiber, and the adhesion between the carbon fiber and the resin is improved.
이 실험 결과는, 상기 처리를 행한 카본 섬유를 이용하여 형성한 기판은 배선 기판에 이용하는 기판으로서 충분한 강도를 갖추어 배선 기판용으로서 적합하게 이용할 수 있는 것을 나타내고 있다.This test result shows that the board | substrate formed using the carbon fiber which performed the said process has sufficient strength as a board | substrate used for a wiring board, and can use suitably for a wiring board.
(카본 파이버 수지 재료의 이용예)(Use example of carbon fiber resin material)
전술한, 수지와의 밀착성, 결합성을 향상시키는 처리를 행한 카본 파이버 섬유로 직포를 형성하거나 혹은 카본 파이버 섬유를 평행하게 정돈한 상태로, 예컨대 에폭시 수지에 함침시키고, 건조시켜 반경화의 B 스테이지 상태로 하여 프리프레그를 형성한다. 이 프리프레그를, 열팽창계수 혹은 강도 등을 감안하여 소정 장수 적층하고, 가열 및 가압하여 평판체로 함으로써, 배선 기판의 코어 부분의 구성재로서 사용할 수 있다.Forming a woven fabric from the carbon fiber fibers subjected to the above-described treatment to improve the adhesion and bonding with the resin, or impregnating the carbon fiber fibers in parallel, for example, impregnating with epoxy resin and drying the B stage of semi-curing The prepreg is formed in a state. The prepreg can be used as a constituent material of the core portion of the wiring board by laminating a predetermined longevity in consideration of the coefficient of thermal expansion, strength, or the like, heating and pressing to form a flat body.
도 6은 카본 파이버의 직포에 수지를 함침시켜 형성한 3장의 프리프레그(10a, 10b, 10c)를 코어부로 하는 배선 기판을 형성하는 예를 나타낸다.FIG. 6 shows an example of forming a wiring board having three
도 6A는 프리프레그(10a, 10b, 10c)와 코어부의 표면을 피복하는 필러가 들어 있는 프리프레그(12)를 정렬하여 배치한 상태이다. 이 상태로, 프리프레그(10a, 10b, 10c)와 프리프레그(12)를 가압 및 가열함으로써 카본 파이버를 함유하는 코어부(10)가 형성된다(도 6B). 카본 파이버에 미리 수지 기재와의 밀착성을 향상시키는 처리를 행하여 프리프레그(10a, 10b, 10c)를 형성함으로써, 코어부(10)는 카본 파이버 본래의 저열팽창율, 고강도라는 특성을 발휘하게 된다.FIG. 6A shows a state in which the
도 6C는 코어부(10)에 도통(導通) 스루홀을 관통시키기 위한 하공(下孔)(13)을 형성하고, 하공(13)에 전기적 절연성의 수지(14)를 충전하며, 수지(14)에 관통구멍을 형성하여 관통구멍의 내벽면에 도체층을 형성하는 공정, 관통구멍에 수지(17)를 충전하고, 코어부(10)의 표면에 도체층을 형성한 후, 코어부(10) 표면의 도체층을 패터닝하여 코어부(10)의 표면에 배선 패턴(18a)을 형성하여 코어 기판을 형성한 상태를 나타낸다. 관통구멍의 내측면에 형성된 도체층이 도통 스루홀(18b)이 된다.FIG. 6C shows a
이 코어 기판의 양면에, 빌드업 법 등에 의해 배선층을 형성함으로써 배선 기판을 얻을 수 있다.A wiring board can be obtained by forming a wiring layer on both surfaces of this core board by a buildup method or the like.
이렇게 해서 얻어진 배선 기판은 카본 파이버를 함유하는 코어부(10)가 카본 파이버와 수지 기재와의 밀착성이 향상됨으로써, 카본 파이버 자체의 저열팽창율, 고강도라는 특성을 충분히 갖춘 것이 되고, 배선 기판에 반도체 소자를 탑재하여 얻어지는 반도체 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 코어부가 고강도로 형성되기 때문에, 배선 기판을 박형화하여 소정의 필요한 강도를 갖춘 제품으로서 제공할 수 있다. 또한, 코어부의 열전도성이 양호하기 때문에, 열방산성이 우수한 반도체 장치로서 제공할 수 있다.The wiring board thus obtained has sufficient properties such as low thermal expansion coefficient and high strength of the carbon fiber itself because the
또한, 본 발명에 따른 탄소 소재와 수지로 이루어진 복합 재료는, 다층 배선 기판의 코어부에 사용할 수 있는 것 이외에 일반적인 프린트 배선 기판, 여러 가지 형태의 반도체 패키지, 패키지의 밀봉 부재, 반도체 웨이퍼의 평가용 기판, 전자기기용 방열 기판 등의 각종 전자기기에 이용할 수 있다.In addition, the composite material made of the carbon material and the resin according to the present invention can be used in the core portion of a multilayer wiring board, but also for evaluation of general printed wiring boards, various types of semiconductor packages, sealing members of packages, and semiconductor wafers. It can use for various electronic devices, such as a board | substrate and a heat radiating board for electronic devices.
도 1은 카본 파이버로 이루어진 섬유에 수지를 함침시킨 프리프레그의 단면 구조를 도시한 전자현미경 사진.1 is an electron micrograph showing a cross-sectional structure of a prepreg impregnated with resin in a fiber made of carbon fiber.
도 2는 카본 파이버의 구성을 도시한 전자현미경 사진.2 is an electron micrograph showing the configuration of the carbon fiber.
도 3은 카본 파이버와 수지가 화학 결합하는 상태를 도시한 설명도.3 is an explanatory diagram showing a state in which a carbon fiber and a resin are chemically bonded.
도 4는 밀착력 시험에 이용하는 지그의 구성을 도시한 설명도.4 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a jig used for an adhesion test.
도 5는 밀착력 시험의 결과를 도시한 그래프.5 is a graph showing the results of the adhesion test.
도 6은 카본 파이버를 함유하는 수지 재료를 배선 기판의 코어부에 사용하여 배선 기판을 형성하는 공정을 도시한 단면도.FIG. 6 is a cross-sectional view showing a step of forming a wiring board using a resin material containing carbon fibers at a core portion of the wiring board. FIG.
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Legal Events
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PA0201 | Request for examination | ||
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Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20100623 Patent event code: PE09021S01D |
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PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Final Notice of Reason for Refusal Patent event date: 20110224 Patent event code: PE09021S02D |
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PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20110511 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20110224 Comment text: Final Notice of Reason for Refusal Patent event code: PE06011S02I Patent event date: 20100623 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |