KR20080035044A - The array substrate for liquid crystal display device - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 14
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 11
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 7
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 29
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 abstract description 10
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- -1 for example Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
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- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/1368—Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78606—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with supplementary region or layer in the thin film or in the insulated bulk substrate supporting it for controlling or increasing the safety of the device
- H01L29/78618—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with supplementary region or layer in the thin film or in the insulated bulk substrate supporting it for controlling or increasing the safety of the device characterised by the drain or the source properties, e.g. the doping structure, the composition, the sectional shape or the contact structure
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
Description
도 1은 일반적인 액정표시장치의 분해사시도.1 is an exploded perspective view of a general liquid crystal display device.
도 2 는 종래의 유기 박막트랜지스터를 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 하나의 화소영역을 도시한 평면도.2 is a plan view showing one pixel area of an array substrate for a liquid crystal display device including a conventional organic thin film transistor.
도 3은 본 발명에 따른 유기 반도체층을 갖는 유기 박막트랜지스터를 구비한 액정표시장치용 어레이 기판의 하나의 화소영역에 대한 평면도.3 is a plan view of one pixel region of an array substrate for a liquid crystal display device having an organic thin film transistor having an organic semiconductor layer according to the present invention;
도 4는 도 3의 A영역을 확대 도시한 도면.4 is an enlarged view of a region A of FIG. 3;
도 5는 도 3을 절단선 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.FIG. 5 is a cross-sectional view of a portion taken along the cutting line VV of FIG. 3. FIG.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
101 : (어레이)기판 105 : 데이터 배선 101: (array) substrate 105: data wiring
110 : 소스 전극 110a : 소스 전극의 제 1 부분110:
110b : 소스전극의 제 2 부분 113 : 드레인 전극110b: second portion of source electrode 113: drain electrode
113a : 드레인 전극의 제 1 부분 113b : 드레인 전극의 제 2 부분113a: first portion of the
116 : 화소전극 118 : 제 1 스토리지 전극116: pixel electrode 118: first storage electrode
120 : 유기 반도체층 130 : 게이트 전극120: organic semiconductor layer 130: gate electrode
138 : 게이트 콘택홀 145 : 게이트 배선138: gate contact hole 145: gate wiring
147 : 제 2 스토리지 전극 147: second storage electrode
B : 종래대비 줄어든 게이트 전극과 중첩되는 소스 및 드레인 전극부분B: source and drain electrode portions overlapping with the reduced gate electrodes
P : 화소영역 StgC : 스토리지 커패시터P: Pixel Area StgC: Storage Capacitor
Tr : 유기 박막트랜지스터 Tr: Organic Thin Film Transistor
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 유기 반도체 물질을 이용한 액정표시장치용 어레이 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to an array substrate for a liquid crystal display device using an organic semiconductor material.
근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 최근에는 특히 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)형 액정표시장치(TFT-LCD)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 대체하고 있다.In recent years, as the society enters the information age, the display field that processes and displays a large amount of information has been rapidly developed, and recently, the thin film transistor (Thin) having excellent performance of thinning, light weight, and low power consumption has recently been developed. Film Transistor (TFT) type liquid crystal display (TFT-LCD) has been developed to replace the existing cathode ray tube (CRT).
액정표시장치의 화상 구현원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하는 것으로, 주지된 바와 같이 액정은 분자구조가 가늘고 길며 배열에 방향성을 갖는 광학적 이방성과 전기장 내에 놓일 경우에 그 크기에 따라 분자배열 방향이 변 화되는 분극성질을 띤다. 이에 액정표시장치는 액정층을 사이에 두고 서로 마주보는 면으로 각각 화소전극과 공통전극이 형성된 어레이 기판(array substrate)과 컬러필터 기판(color filter substrate)을 합착시켜 구성된 액정패널을 필수적인 구성요소로 하며, 이들 전극 사이의 전기장 변화를 통해서 액정분자의 배열방향을 인위적으로 조절하고 이때 변화되는 빛의 투과율을 이용하여 여러 가지 화상을 표시하게 된다.The principle of image realization of a liquid crystal display device is to use the optical anisotropy and polarization property of the liquid crystal. As is well known, liquid crystal has a thin and long molecular structure and optical anisotropy having an orientation in an array, and when placed in an electric field, the orientation of the molecular array depends on its size. This change is polarized. The liquid crystal display is an essential component of a liquid crystal panel formed by bonding an array substrate and a color filter substrate formed with pixel electrodes and common electrodes facing each other with the liquid crystal layer interposed therebetween. In addition, the arrangement direction of the liquid crystal molecules is artificially adjusted by changing the electric field between these electrodes, and various images are displayed by using the light transmittance which is changed at this time.
최근에는 특히 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬 방식으로 배열하고 스위칭 소자를 각 화소에 배치시켜 독립적으로 제어하는 능동 행렬방식(active matrix type)이 해상도 및 동영상 구현능력에서 뛰어나 주목받고 있는데, 이 같은 스위칭 소자로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)를 사용한 것이 잘 알려진 TFT-LCD(Thin Firm Transistor Liquid Crystal Display device) 이다.Recently, the active matrix type, in which pixels, which are the basic units of image expression, are arranged in a matrix manner, and switching elements are arranged in each pixel, is controlled to have an excellent performance in terms of resolution and video performance. The thin film transistor (TFT) is a well-known TFT-LCD (Thin Firm Transistor Liquid Crystal Display device).
좀 더 자세히, 일반적인 액정표시장치의 분해사시도인 도 1에 나타낸 바와 같이 액정층(30)을 사이에 두고 어레이 기판(10)과 컬러필터 기판(20)이 대면 합착된 구성을 갖는데, 이중 하부의 어레이 기판(10)은 제 1 투명기판(12) 및 이의 상면으로 종횡 교차 배열되어 다수의 화소영역(P)을 정의하는 복수개의 게이트 배선(14)과 데이터 배선(16)을 포함하며, 이들 두 배선(14, 16)의 교차지점에는 박막 트랜지스터(T)가 구비되어 각 화소영역(P)에 마련된 화소전극(18)과 일대일 대응 접속되어 있다.In more detail, as shown in FIG. 1, which is an exploded perspective view of a general liquid crystal display device, the
또한 이와 마주보는 상부의 컬러필터 기판(20)은 제 2 투명기판(22) 및 이의 배면으로 상기 게이트 배선(14)과 데이터 배선(16) 그리고 박막 트랜지스터(T) 등 의 비표시영역을 가리도록 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자 형상의 블랙매트릭스(25)가 형성되어 있으며, 이들 격자 내부에서 각 화소영역(P)에 대응되게 순차적으로 반복 배열된 적, 녹, 청색 컬러필터층(26)이 형성되어 있으며, 상기 블랙매트릭스(25)와 적, 녹 ,청색 컬러필터층(26)의 전면에 걸쳐 투명한 공통전극(28)이 마련되어 있다.In addition, the upper
그리고 도면상에 명확하게 도시되지는 않았지만, 이들 두 기판(10, 20)은 그 사이로 개재된 액정층(30)의 누설을 방지하기 위하여 가장자리 따라 실링제 등으로 봉함(封函)된 상태에서 각 기판(10, 20)과 액정층(30)의 경계부분에는 액정의 분자배열 방향에 신뢰성을 부여하는 상, 하부 배향막이 개재되며, 각 기판(10, 20)의 적어도 하나의 외측면에는 편광판이 부착된다. Although not clearly shown in the drawings, these two
더불어 액정패널 배면으로는 백라이트(back-light)가 구비되어 빛을 공급하는 바, 게이트 배선(14)으로 박막트랜지스터(T)의 온(on)/오프(off) 신호가 순차적으로 스캔 인가되어 선택된 화소영역(P)의 화소전극(18)에 데이터배선(16)의 화상신호가 전달되면 이들 사이의 수직전계에 의해 그 사이의 액정분자가 구동되고, 이에 따른 빛의 투과율 변화로 여러 가지 화상을 표시할 수 있다.In addition, a backlight is provided on the back of the liquid crystal panel to supply light. The on / off signal of the thin film transistor T is sequentially scanned and applied to the
한편, 이 같은 액정표시장치에 있어 어레이 기판(10)과 컬러필터 기판(20)의 모체가 되는 제 1 및 제 2 절연기판(12, 22)은 전통적으로 유리 기판이 사용되었지만, 최근 들어 노트북이나 PDA(personal digital assistant)와 같은 소형의 휴대용 단말기가 널리 보급됨에 따라 이들에 적용 가능하도록 유리보다 가볍고 경량임과 동시에 유연한 특성을 지니고 있어 파손위험이 적은 플라스틱 기판을 이용한 액정 패널이 소개된 바 있다.Meanwhile, in the liquid crystal display device, glass substrates have been traditionally used for the first and second
하지만, 플라스틱 기판을 이용한 액정패널은 액정표시장치의 제조 특성상 특히 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 형성되는 어레이 기판의 제조에는 200℃ 이상의 고온을 필요로 하는 고온 공정이 많아 내열성 및 내화학성이 유리기판보다 떨어지는 플라스틱 기판으로 상기 어레이 기판을 제조하는 데에는 어려움이 있어, 컬러필터 기판만을 플라스틱 기판으로 제조하고 어레이 기판은 통상적인 유리 기판을 이용하여 액정표시장치를 제조하고 있는 실정이다. However, a liquid crystal panel using a plastic substrate has a high temperature process requiring a high temperature of 200 ° C. or higher, particularly in the manufacture of an array substrate on which a thin film transistor, which is a switching element, is formed. Therefore, heat resistance and chemical resistance are inferior to that of a glass substrate. It is difficult to manufacture the array substrate from a plastic substrate, and thus, only a color filter substrate is manufactured from a plastic substrate, and the array substrate is manufactured using a conventional glass substrate.
이러한 문제를 해결하고자 최근에는 유기 반도체물질을 이용하여 200℃ 이하의 저온 공정을 진행하여 박막트랜지스터를 형성하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판을 제조 하는 기술이 제안되었다.In order to solve this problem, a technique for manufacturing an array substrate, which is characterized by forming a thin film transistor by performing a low temperature process below 200 ° C. using an organic semiconductor material, has recently been proposed.
200℃ 이하의 저온 공정에서 반도체층을 포함하는 박막트랜지스터를 기판 상에 형성함에 있어서, 전극과 배선을 이루는 금속물질과 절연막과 보호층등의 형성은 저온 증착 또는 도포의 방법 등을 통해 형성하여도 상기 박막트랜지스터의 특성에 별 영향을 주지 않지만, 채널을 형성하는 반도체층은 일반적인 반도체 물질인 비정질 실리콘을 사용하여 저온 공정에 의해 형성하게 되면, 내구 구조가 치밀하지 못하여 전기 전도도 등의 중요 특성이 저하되는 문제가 발생한다. In forming a thin film transistor including a semiconductor layer on a substrate in a low temperature process of 200 ° C. or lower, the formation of a metal material, an insulating film, a protective layer, etc., which form an electrode and wiring, may be formed by a low temperature deposition or coating method. Although it does not affect the characteristics of the thin film transistor, the semiconductor layer forming the channel is formed by a low temperature process using amorphous silicon, which is a general semiconductor material, the durable structure is not dense and important characteristics such as electrical conductivity is reduced Problem occurs.
따라서, 이를 극복하고자 비정질 실리콘 등의 종래의 반도체 물질 대신 반도체 특성을 가진 유기 반도체물질을 이용하여 반도체층을 형성하는 것이 제안되고 있다. Therefore, in order to overcome this, it is proposed to form a semiconductor layer using an organic semiconductor material having semiconductor characteristics instead of a conventional semiconductor material such as amorphous silicon.
도 2 는 종래의 유기 반도체층을 갖는 유기 박막트랜지스터를 포함하는 액정 표시장치용 어레이 기판의 하나의 화소영역을 도시한 평면도이다. FIG. 2 is a plan view illustrating one pixel area of an array substrate for a liquid crystal display including an organic thin film transistor having a conventional organic semiconductor layer.
도시한 바와같이, 기판(41)상에 일방향으로 데이터 배선(45)이 연장 형성되어 있으며, 상기 데이터 배선(45)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(73)이 형성되어 있다.As shown in the drawing, the
또한 이들 두 배선(45, 73)이 교차하는 영역 부근에는 상기 데이터 배선(45)에서 분기하여 일정한 폭(w1)을 갖는 바(bar) 형태로 소스 전극(50)이 형성되어 있으며, 상기 소스 전극(50)과 이격하며 상기 소스 전극(50)과 동일한 폭(w1)을 갖는 바(bar) 형태로 드레인 전극(53)이 형성되어 있으며, 상기 동일한 폭(w1)을 갖는 바(bar) 형태의 소스 전극(50)과 드레인 전극(53)을 포함하여 상기 두 전극(50, 53)의 이격영역을 덮으며 상기 게이트 배선(73)과 연결된 게이트 전극(75)이 형성되어 있다.In addition, a
이때, 상기 게이트 전극(75) 하부에는 유기 반도체물질로 이루어진 유기 반도체층(60)과 게이트 절연막(미도시)이 형성되어 있으며, 또한 상기 드레인 전극(53)의 일끝단과 접촉하며 각 화소영역(P)별로 독립된 화소전극(57)이 형성되어 있다.In this case, an organic semiconductor layer 60 made of an organic semiconductor material and a gate insulating layer (not shown) are formed under the gate electrode 75, and contact each end of the
이때, 상기 화소전극(57)은 그 끝단 일부가 전단의 게이트 배선(73) 일부와 중첩 형성됨으로써 상기 중첩된 화소전극 및 게이트 배선이 각각 제 1, 2 스토리지 전극(58, 77)을 이루며, 이들 두 전극(58, 77) 사이에 형성된 보호층(미도시)과 더불어 스토리지 커패시터(StgC)를 형성하고 있다. In this case, the
하지만, 전술한 바와 같은 구조를 갖는 종래의 유기 반도체층을 갖는 액정표 시장치용 어레이 기판(41)에 있어서, 유기 반도체 물질 특히 액상의 유기반도체 물질을 이용하여 상온에서 도포 또는 코팅하여 상기 유기 반도체층(60)을 형성할 경우, 상기 유기 반도체층(60)의 특성 즉 이동도 등의 반도체 물질적 특성이 비정질 실리콘을 이용한 반도체층 대비 떨어지므로 상기 유기 반도체층(60) 내의 채널비(W/L, W는 채널의 폭, L은 채널의 길이)를 상대적으로 더욱 크게 형성해야 하는 특성에 의해 상기 유기 반도체층(60)과 중첩하는 소스 및 드레인 전극(50, 53)의 폭(w1)을 일반적인 비정질 실리콘의 반도체층을 갖는 어레이 기판의 소스 및 드레인 전극의 폭 대비 두껍게 형성하고 있다. However, in the
하지만, 이렇게 유기 반도체층(60)과 중첩하는 소스 및 드레인 전극(50, 53)의 폭(w1)을 두껍게 형성함으로써 채널비(W/L)를 향상시키게 되는 점은 있지만, 상기 유기 반도체층(60)은 패터닝을 위해 사용되는 포토레지스트를 제거하기 위한 스트립 액(stripper) 또는 식각액에 매우 취약한 바, 이를 단독으로 패터닝하지 못하고 그 상부로 형성되는 게이트 절연막(미도시)과 금속재질로 이루어지는 게이트 전극(75)과 함께 패터닝되어 형성됨으로써 상기 게이트 전극(75)과도 중첩되게 되며, 이 경우 상기 소스 및 드레인 전극(50, 53)이 종래의 비정질 실리콘을 이용한 어레이 기판 대비 상대적으로 상기 게이트 전극(75)과 중첩되는 면적이 증가하게 됨을 알 수 있다. However, the channel ratio W / L may be improved by forming a thick width w1 of the source and
하지만, 박막트랜지스터(Tr)가 형성되는 스위칭 영역 내에서 상기 게이트 전극(75)과 소스 및 드레인 전극(50, 53)이 중첩되는 면적이 증가할수록 기생용량(상기 게이트 전극(75)과 중첩하는 소스 및 드레인 전극(50, 53)에 의해 발생하는 커 패시턴스)이 증가하며, 특히 상기 게이트 전극(75)과 소스 및 드레인 전극(50, 53)간의 기생용량 증가로 인해 화소전극 변화량(ΔVp)이 증가함으로써 화상이 깜빡거리는 플리커(flicker)가 발생하는 문제가 야기되고 있다. However, as the area where the gate electrode 75 and the source and drain
본 발명은 유기 반도체층을 가지며, 그 채널비를 크게 하여 박막트랜지스터의 특성을 향상시키는 동시에 서로 중첩하는 게이트 전극과 소스 및 드레인 전극간의 기생용량의 증가는 최소화하여 플리커(flicker) 발생을 억제할 수 있는 액정표시장치용 어레이 기판을 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention has an organic semiconductor layer, and the channel ratio is increased to improve the characteristics of the thin film transistor and at the same time minimize the increase in the parasitic capacitance between the overlapping gate electrode and the source and drain electrodes to suppress the occurrence of flicker. It is an object of the present invention to provide an array substrate for a liquid crystal display device.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 따른 유기 반도체층을 구비한 액정표시장치용 어레이 기판은, 기판 상에 "T"자 형태로 형성된 소스 전극과; 상기 소스 전극과 동일한 층에 이격하며 형성되며, "T"자 형태로 형성된 드레인 전극과; 상기 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극의 서로 마주하는 부분 및 이들 두전극 사이의 이격된 영역 상에 형성된 유기 반도체층과; 상기 유기 반도체층 위에 형성된 게이트 절연막과; 상기 게이트 절연막 위에 형성된 게이트 전극을 포함한다. An array substrate for a liquid crystal display device having an organic semiconductor layer according to the present invention for achieving the above object comprises a source electrode formed in a "T" shape on the substrate; A drain electrode spaced apart from the same layer as the source electrode and formed in a “T” shape; An organic semiconductor layer formed on portions of the source and drain electrodes that are spaced apart from each other, and areas spaced between the two electrodes; A gate insulating film formed on the organic semiconductor layer; It includes a gate electrode formed on the gate insulating film.
이때, 상기 "T"자 형태의 소스 및 드레인 전극은, 각각 시계방향으로 90도 회전한 "T"자 형태와 반시계방향으로 90도 회전한 "T"자 형태를 갖는 것이 특징이며, 상기 소스 및 드레인 전극의 서로 마주하는 부분을 각각 제 1 부분 및 상기 제 1 부분에서 분기한 제 2 부분으로 정의할 때, 상기 소스 및 드레인 전극이 형성된 동일한 층에 상기 소스 전극의 상기 제 2 부분과 연결되며 형성된 데이터 배선과; 상기 기판상에 상기 드레인 전극의 제 2 부분과 접촉하며 형성된 화소전극과; 상기 데이터 배선과 교차하여 화소영역을 정의하며 상기 게이트 전극과 접촉하며 형성된 게이트 배선을 더욱 포함한다. 이때, 상기 게이트 전극 상부에는 상기 게이트 전극 일부를 노출시키는 게이트 콘택홀과 상기 화소전극을 노출시키며 형성된 제 1 보호층을 더욱 포함하며, 상기 게이트 배선은 상기 제 1 보호층 위에 형성되며 상기 게이트 콘택홀을 통해 상기 게이트 전극과 접촉하는 것이 특징이며, 상기 게이트 배선 상부에 형성된 제 2 보호층을 더욱 포함한다. At this time, the source and drain electrodes of the "T" shape is characterized in that each has a "T" shape rotated 90 degrees clockwise and a "T" shape rotated 90 degrees counterclockwise, respectively, And defining portions facing each other of the drain electrode as a first portion and a second portion branching from the first portion, respectively, and connected to the second portion of the source electrode on the same layer where the source and drain electrodes are formed. A formed data wiring; A pixel electrode formed on the substrate in contact with the second portion of the drain electrode; The semiconductor device may further include a gate line formed to intersect the data line to define a pixel area and contact the gate electrode. The gate electrode further includes a gate contact hole exposing a portion of the gate electrode and a first passivation layer exposing the pixel electrode, wherein the gate line is formed on the first passivation layer and is formed on the gate contact hole. It characterized in that the contact with the gate electrode through the, further comprises a second protective layer formed on the gate wiring.
또한, 상기 게이트 절연막과 그 상부에 위치한 게이트 전극은, 상기 게이트 절연막 하부에 위치한 상기 유기 반도체층과 동일한 형태를 이루는 것이 특징이며, 상기 게이트 배선과 상기 화소전극은 상기 제 1 보호층을 사이에 두고 그 일부가 중첩하도록 형성됨으로써 스토리지 커패시터를 형성한다. In addition, the gate insulating layer and the gate electrode disposed above the gate insulating layer may have the same shape as the organic semiconductor layer disposed below the gate insulating layer. The gate wiring and the pixel electrode may have the first protective layer therebetween. A portion thereof overlaps to form a storage capacitor.
또한, 상기 기판내에서 동일한 방향성을 갖는 제 1, 2 폭을 정의하고, 상기 소스 및 드레인 전극 각각의 제 1 부분의 폭을 제 1 폭, 제 2 부분의 폭을 제 2 폭이라 할 때, 상기 제 2 폭이 제 1 폭보다 큰 것이 특징이다.In addition, when the first and second widths having the same directivity are defined in the substrate, and the width of the first portion of each of the source and drain electrodes is defined as the first width and the width of the second portion is defined as the second width, The second width is larger than the first width.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 따른 유기 반도체층을 갖는 유기 박막트랜지스터를 구비한 액정표시장치용 어레이 기판의 하나의 화소영역에 대한 평면도이다. 3 is a plan view of one pixel area of an array substrate for a liquid crystal display device having an organic thin film transistor having an organic semiconductor layer according to the present invention.
도시한 바와 같이, 일방향으로 게이트 배선(145)이 연장하며 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(145)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하며 데이터 배선(105)이 형성되어 있다. As illustrated, the
또한, 상기 게이트 배선(145)과 데이터 배선(105)이 교차하는 부근에는 이들 두 배선(145, 105)과 각각 연결되며 스위칭 소자로서 유기 박막트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다. 이때, 상기 유기 박막트랜지스터(Tr)는 상기 게이트 배선(145)과 게이트 콘택홀(138)을 통해 접촉하며 형성된 게이트 전극(130)과, 유기 반도체층(120)(도면에 있어서는 상기 게이트 전극에 덮혀진 형태로 상기 게이트 전극과 동일한 패턴 형태로 상기 게이트 전극 하부에 형성됨)과, 상기 유기 반도체층(120)과 접촉하며 상기 데이터 배선(105)과 연결되며 마치 그 모양이 시계방향으로 90도 회전한 "T"자 형태를 갖는 소스 전극(110)과, 상기 유기 반도체층(120)과 접촉하며 상기 시계방향으로 90도 회전한 "T"자 형태를 갖는 소스 전극(110)과 마주하며 반시계 방향으로 90도 회전한 "T"자 형태를 갖는 드레인 전극(113)으로 구성되고 있는 것이 특징이다. 이때 설명의 편의를 위해 상기 소스 및 드레인 전극(110, 113)의 서로 마주하는 부분을 각각 제 1 부분(110a, 113a)이라 칭하고, 상기 제 1 부분(110a, 113a)에서 분기한 부분을 각각 제 2 부분(110b, 113b)이라 칭한다. In addition, adjacent to the intersection of the
이 경우, 상기 데이터 배선(105)과 연결되는 소스전극(110)에 있어서도 상기 데이터 배선(105)과 접촉하는 부분은 상기 소스 전극(110)의 제 2 부분(110b)이 되고 있음을 알 수 있다. In this case, it can be seen that also in the
또한, 상기 화소영역(P) 내에는 상기 유기 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전 극(113)을 이루는 구성요소 중 상기 소스 전극(110)과 마주하는 제 1 부분(113a)에서 분기한 제 2 부분(113b)의 일부와 접촉하며 화소전극(116)이 형성되어 있으며, 이때, 상기 화소전극(116)의 일 끝단은 상기 게이트 배선(145)(실제적으로는 전단의 게이트 배선)과 중첩하며 형성됨으로써 이들 서로 중첩하는 화소전극과 게이트 배선이 각각 제 1, 2 스토리지 전극(118, 147)을 이루며 스토리지 커패시터(StgC)를 형성하고 있다. In the pixel region P, a second part branched from the
전술한 구조를 갖는 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이 기판에 있어서 구조적으로 가장 특징적인 부분은 각각 시계방향과 반시계 방향으로 90도 회전한 "T"자 형태로 형성된 소스 및 드레인 전극(110, 113)에 있다. In the array substrate for a liquid crystal display device according to the present invention having the above-described structure, the most structurally significant portion is the source and drain
종래에 있어서는 소스 및 드레인 전극이 일관되게 동일한 폭을 가지며 바(bar) 형태로 형성됨으로써 채널비를 크게 하기 위해 상기 소스 및 드레인 전극의 폭을 크게 할 경우 게이트 전극과도 중첩되는 부분이 넓어지게 됨으로써 이들 중첩되는 전극에 의해 발생하는 커패시턴스인 기생용량이 선형적으로 증가하게 되었다.In the related art, the source and drain electrodes have the same width and are formed in a bar shape, and thus, when the width of the source and drain electrodes is increased in order to increase the channel ratio, the portion overlapping with the gate electrode becomes wider. The parasitic capacitance, which is the capacitance generated by these overlapping electrodes, has increased linearly.
하지만 본 발명의 경우, 소스 및 드레인 전극의 구조에 있어서 종래와 같은 바(bar) 형태가 아닌 각각 시계방향과 반시계 방향으로 회전한 "T"자 형태로 형성하여 채널의 너비를 결정하는 제 1 부분(110a, 113a)과, 데이터 배선(105) 및 화소전극(116)과 각각 연결되도록 상기 각 제 1 부분(110a, 113a)에서 분기한 형태로 형성된 제 2 부분(110b, 113b)으로 나누어 즉, 상기 소스 및 드레인 전극(110, 113)을 각각 2개의 부분으로 이원화하여 형성함으로써 채널비(W/L)를 크게 하기 위해 서로 마주하는 소스 및 드레인 전극 부분(제 1 부분)을 넓힌다 하더라도 채널의 폭(W)이 늘어나는 면적대비 상기 게이트 전극(130)과 중첩되는 부분이 늘어나는 면적은 종래에 비해 월등이 작은 값을 갖도록 한 것이 특징이다.However, in the present invention, in the structure of the source and drain electrodes, the width of the channel is determined by forming a “T” shape that is rotated clockwise and counterclockwise, respectively, rather than a bar shape. Divided into
여기서 게이트 전극과 소스 및 드레인 전극의 중첩하여 이들 중첩되는 전극 간 기생용량이 왜 표시품질에 영향을 끼치게 되는지에 대해 간단히 설명한다.Here, why the parasitic capacitance between the overlapping gate electrodes and the source and drain electrodes and the overlapping electrodes affect the display quality will be described briefly.
통상적으로 게이트 전압은 문턱전압(Vth : threshold voltage) 이상의 크기를 갖는 VGH와 문턱전압 이하의 크기를 갖는 VGL값을 갖는 펄스파 형태로 인가되며 VGH가 인가되는 경우, 유기 박막트랜지스터가 온(on) 상태로 되어 데이터 배선(105)을 통해 공급되는 데이터 신호 전압이 상기 유기 박막트랜지스터를 통해 화소전극으로 인가되며 이러한 시점에서 상기 게이트 전극에 인가되는 전압이 VGL가 되면, 소정시간(다음의 VGH가 인가 될 때까지의 시간)동안 현재 인가된 데이터 신호전압을 상기 화소전극이 유지해야 하나 상기 게이트 전압이 문턱전압 이하로 떨어지는 순간 소정양의 전압강하가 발생하게 된다. 이때, 상기 화소전극 내에서 이러한 전압강하로 인한 화소전압의 변화량을 ΔVp라 정의하고 있다.In general, the gate voltage has a V GH having a magnitude greater than or equal to a threshold voltage (Vth) and a V GL value having a magnitude less than or equal to a threshold voltage. When applied in the form of a pulse wave and V GH is applied, the organic thin film transistor is turned on and the data signal voltage supplied through the
이러한 화소전압 변화량 ΔVp를 수식으로 표현하면,When the pixel voltage change amount ΔVp is expressed by a formula,
---ⓛ --- ⓛ
로 표현될 수 있다. 이때, CLC는 액정의 정전용량이며, CST는 스토리지 커패 시터의 정전용량, Cgs(또는 Cgd)는 중첩된 게이트 전극과 소스 전극(또는 드레인 전극)간의 기생용량이다.It can be expressed as. At this time, C LC is the capacitance of the liquid crystal, C ST is the capacitance of the storage capacitor, C gs (or C gd ) is the parasitic capacitance between the overlapping gate electrode and the source electrode (or drain electrode).
이때 상기 수식 ⓛ을 살펴보면 게이트 전극과 소스 전극간의 기생용량 Cgs가 증가하면 할수록 ΔVp가 커지게 됨을 알 수 있다.In this case, it can be seen that as the parasitic capacitance C gs between the gate electrode and the source electrode increases, ΔVp increases.
한편, 액정표시장치에 있어서는 상기 화소전극 변화량 ΔVp가 커지게 되면, 액정표시장치 구동 시 액정 차징(charging)이 제대로 이루어지지 않게 됨으로써 화면이 부분적으로 깜빡이는 것처럼 느껴지는 플리커(flicker)가 발생하게 된다.On the other hand, in the liquid crystal display device, if the change amount of the pixel electrode ΔVp is large, flickering may be generated when the screen is partially flickered due to improper charging of the liquid crystal while driving the liquid crystal display device.
액정표시장치에 있어서 위치별 ΔVp의 분포가 균일하지 못하고 그 차이가 클 경우, VLC(액정층에 걸리는 전압) 또한 위치별로 차이가 나게 되므로 광 투과량의 위치별 불균일을 초래하여 결국 국부적 플리커(flicker) 악화등과 같은 화질 저하를 야기시키게 된다. 이 경우 위치별 ΔVp의 분포 불균일은 상기 ΔVp의 크기기 커지면 커질수록 더욱 증가하게 되는 바, 이로 인해 플리커(flicker) 발생이 증가하게 된다.In the liquid crystal display, if the distribution of ΔVp for each position is not uniform and the difference is large, the V LC (voltage applied to the liquid crystal layer) also differs for each position, resulting in non-uniformity of the light transmission and thus local flicker. ) Will cause deterioration of image quality. In this case, the distribution nonuniformity of the positional ΔVp increases as the size of the ΔVp increases, thereby increasing flicker.
하지만, 본 발명의 경우, 유기 반도체층(120)과 접촉하며 상기 유기 반도체층(120)과 동일한 형태를 갖는 게이트 전극(130)과 중첩되는 소스 및 드레인 전극(110, 113)은, 이들 두 전극(110, 113)이 서로 마주하는 부분(각 전극의 제 1 부분)의 면적(도면상에 있어서는 마주하는 부분의 길이)을 크게 하고자 각각 회전한 "T"자 형태의 소스 및 드레인 전극의 제 1 부분(110a, 113a)이 마주하도록 위치하고 있으며, 이들 제 1 부분(110a, 113a)에서 분기한 형태로 각각 상기 데이터 배 선(105)과 화소전극(116)과 연결되는 각 제 2 부분(110b, 113b)은 채널의 너비(W)의 증감에 관계없이 일정한 폭(w2)을 갖도록 형성되고 있다. 도면에 있어서는 채널이 너비(W)가 상기 소스 및 드레인 전극의 제 2 부분의 폭(w2) 보다 크게 형성됨을 보이고 있다(W > w2).However, in the present invention, the source and drain
따라서, 본 발명에 따른 유기 박막트랜지스터(Tr)를 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판(101)은, 상기 유기 반도체층(120)을 포함하는 유기 박막트랜지스터(Tr) 특성 상 채널의 폭(W)을 증가시키면서도 상기 유기 반도체층(120)과 동일한 형태를 갖는 게이트 전극(130)과의 중첩되는 부분의 면적 증가는 억제하는 구조가 되는 바, 채널 폭(W) 증가에 의한 채널비(W/L) 향상을 도모하면서 화소전극 변화량인 ΔVp의 증가는 억제하는 구조가 됨으로써 플리커(flicker) 발생을 최소화할 수 있는 것이 특징이다. Therefore, the liquid crystal
이때, 도 3의 A영역(스위칭 영역)을 확대 도시한 도 4를 참조하면, 도면에 있어서 점선 부분으로 나타낸 부분(B)은 종래와 본 발명에 있어 동일한 크기의 채널 폭(W)을 갖도록 형성하였을 경우, 본 발명의 소스 및 드레인 전극(110, 113) 대비 종래의 바(bar) 형태의 소스 및 드레인 전극의 게이트 전극과 더욱 중첩되는 영역을 나타낸 것이다. At this time, referring to FIG. 4, which is an enlarged view of the region A (switching region) of FIG. 3, the portion B indicated by the dotted line in the drawing is formed to have the same channel width W in the conventional and the present invention. In this case, the region of the source and drain
종래와 본 발명에 따른 어레이 기판에 있어 동일한 크기의 채널 폭을 갖도록 유기 박막트랜지스터를 형성했다고 가정했을 경우, 본 발명에 따른 유기 박막트랜지스터(Tr)를 갖는 액정표시장치용 어레이 기판(101)의 경우, 상기 점선으로 도시된 부분(B)의 면적만큼이, 동일한 폭으로 바(bar) 형태의 소스 및 드레인 전극을 갖는 종래의 유기 박막트랜지스터를 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판 대비 상기 게이트 전극(130)과 중첩되지 않게 되는 바, 상기 점선으로 도시된 부분(B)의 면적에 대한 기생용량(Cgs)의 크기가 줄어들게 됨으로써 최종적으로 ΔVp의 크기를 줄일 수 있게 됨을 알 수 있다.Assuming that the organic thin film transistor is formed to have the same channel width in the array substrate according to the prior art and the present invention, in the case of the
이후에는 본 발명에 따른 그 제 1 부분이 서로 마주하도록 각각 시계방향과 반시계방향으로 90도 회전한 "T"자 형태의 소스 및 드레인 전극을 갖는 유기 반도체층을 구비한 액정표시장치용 어레이 기판의 단면 구조에 대해 간단히 설명한다.Subsequently, an array substrate for a liquid crystal display device having an organic semiconductor layer having source and drain electrodes having a "T" shape rotated 90 degrees clockwise and counterclockwise, respectively, so that the first portion thereof faces each other. The cross-sectional structure of is briefly described.
도 5는 도 3을 절단선 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도이다. FIG. 5 is a cross-sectional view of a portion cut along the cutting line VV of FIG. 3.
도시한 바와 같이, 기판(101)상에 금속물질 예를들면 금(Au)으로 이루어진 데이터 배선(105)과, 상기 데이트 배선(105)과 동일한 금속물질로써 이루어지며 서로 이격하며 소스 및 드레인 전극(110, 113)이 형성되어 있다. 이때, 상기 소스 전극(110)은 그 제 2 부분(미도시)이 상기 데이터 배선(미도시)과 연결되며 형성되고 있다. As shown in the drawing, the
한편, 도면에서는 잘 나타나지 않았지만, 상기 소스 및 드레인 전극(110, 113)은 각각 시계방향과 반시계방향으로 90도 회전한 "T"자 형태를 함으로써 상기 소스 및 드레인 전극의 제 1 부분(미도시, 113a)이 서로 마주하는 형태로 서로 이격하여 형성된 것이 특징이다. On the other hand, although not shown in the drawings, the source and drain
다음, 상기 데이터 배선(미도시)과 각각 90도 회전한 "T"자 형태의 소스 및 드레인 전극(110, 113)과, 이들 구성요소 외부로 노출된 기판(101) 상에 투명 도전 성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로써 이루어지며, 상기 반시계방향으로 90도 회전한 "T"자 형태의 드레인 전극의 제 2 부분(113b) 즉 상기 드레인 전극의 제 1 부분(113a)에서 분기하여 형성된 부분 일부와 직접 접촉하며 각 화소영역(P)별로 패터닝 된 형태로 화소전극(116)이 형성되어 있다.Next, an example of a transparent conductive material on the source and drain
또한, 상기 서로 이격한 소스 및 드레인 전극(110, 113) 상부로 유기 반도체물질 예를들면 액상의 펜타신(pentacene) 또는 폴리사이오펜(polythiophene)으로 이루어진 유기 반도체층(120)이 형성되어 있으며, 상기 유기 반도체층(120) 상부로 상기 유기 반도체층(120)과 반응하지 않고 또한 영향을 끼치지 않는 유기 절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 PVA(poly vinyl alcohol)로 이루어진 게이트 절연막(125)이 형성되어 있다. In addition, an
또한, 상기 게이트 절연막(125) 위로는 제 2 금속물질 예를들면 몰리브덴(Mo)으로 이루어진 게이트 전극(130)이 형성되어 있다.In addition, a
이때, 상기 유기 반도체층(120) 상부에 형성된 상기 게이트 절연막(125)과 그 상부에 형성된 게이트 전극(130)은 상기 유기 반도체층(120)과 동일한 패턴 형태를 이루고 있는 것이 특징이며, 상기 기판면으로부터 순차 적층된 형태의 구성요소 즉, 각각 90도 회전한 "T"자 형태의 소스 및 드레인 전극(110, 113)과 유기 반도체층(120)과 게이트 절연막(125)과 게이트 전극(130)은 유기 박막트랜지스터(Tr)를 이루고 있다. In this case, the
다음, 상기 게이트 전극(130) 위로는 상기 게이트 전극(130) 일부를 노출시 키는 게이트 콘택홀(138)을 가지며, 상기 화소영역(P)내에 형성된 화소전극(116) 대부분을 노출시키며 유기 절연물질로 이루어진 보호층(135)이 형성되어 있으며, 상기 보호층(135) 위로 상기 게이트 콘택홀(138)을 통해 상기 게이트 전극(130)과 접촉하며, 상기 데이터 배선(미도시)과 교차하여 상기 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(145)이 형성되어 있다.Next, a
이때 상기 게이트 배선(145)은 상기 보호층(135) 하부에 위치한 화소전극(116)의 일끝단과 중첩하도록 형성됨으로써 이와 중첩하는 화소전극과 더불어 스토리지 커패시터(StgC)를 형성하고 있다. 즉, 상기 서로 중첩하는 게이트 배선과 화소전극 부분(118, 147)은, 상기 보호층(135)을 사이에 두고 그 하부에 위치한 중첩된 화소전극 부분을 제 1 스토리지 전극(118), 상기 보호층(135) 상부로 형성되며 중첩된 게이트 배선 부분을 제 2 스토리지 전극(147)으로 하며, 상기 제 1, 2 스토리지 전극(118, 147) 사이에 위치한 보호층(135)을 유전체층으로 하여 스토리지 커패시터(StgC)를 구성하고 있다. In this case, the
이때 도면에는 나타나지 않았으나, 상기 게이트 배선(145) 상부로 상기 게이트 배선(145)의 부식 방지 및 보호를 위해 제 2 보호층이 더욱 형성될 수도 있다.In this case, although not shown, a second protective layer may be further formed on the
본 발명에 의한 유기 반도체층과 이와 접촉하며 각각 90도 회전한 "T"자 형태의 소스 및 드레인 전극을 갖는 액정표시장치용 어레이 기판은 채널비가 큰 유기 박막트랜지스터를 형성하면서도 특성상 소스 및 드레인 전극이 게이트 전극과 중첩 되는 면적의 증가를 최소화하여 기생용량(Cgs)의 증가를 억제함으로써 플리커(flicker) 등의 발생에 의한 화질저하를 억제하는 효과가 있다. An array substrate for a liquid crystal display device having an organic semiconductor layer according to the present invention and a "T" shaped source and drain electrode which are rotated by 90 degrees, respectively, has an organic thin film transistor having a large channel ratio, By minimizing the increase of the area overlapping with the gate electrode and suppressing the increase of the parasitic capacitance Cgs, the image quality deterioration due to the occurrence of flicker is suppressed.
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060101128A KR101294693B1 (en) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | The array substrate for liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060101128A KR101294693B1 (en) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | The array substrate for liquid crystal display device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080035044A true KR20080035044A (en) | 2008-04-23 |
KR101294693B1 KR101294693B1 (en) | 2013-08-08 |
Family
ID=39574096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060101128A KR101294693B1 (en) | 2006-10-18 | 2006-10-18 | The array substrate for liquid crystal display device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101294693B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160078804A (en) * | 2014-12-24 | 2016-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | Display device |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000022156A (en) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Sanyo Electric Co Ltd | Thin-film transistor and array thereof |
JP2003309265A (en) | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Konica Minolta Holdings Inc | Organic thin-film transistor and method for manufacturing the organic thin-film transistor |
JP2004260121A (en) * | 2003-02-28 | 2004-09-16 | Hitachi Ltd | Organic semiconductor element and method for manufacturing the same, and display unit using the same |
-
2006
- 2006-10-18 KR KR1020060101128A patent/KR101294693B1/en active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160078804A (en) * | 2014-12-24 | 2016-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | Display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101294693B1 (en) | 2013-08-08 |
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