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KR20080007836A - Substrate Cutting System and Method - Google Patents

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KR20080007836A
KR20080007836A KR1020060066998A KR20060066998A KR20080007836A KR 20080007836 A KR20080007836 A KR 20080007836A KR 1020060066998 A KR1020060066998 A KR 1020060066998A KR 20060066998 A KR20060066998 A KR 20060066998A KR 20080007836 A KR20080007836 A KR 20080007836A
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김용운
강판석
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주식회사 에스에프에이
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Abstract

기판 절단시스템 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 기판 절단시스템은, 상판과 하판이 합착되어 형성된 원기판에 대한 절단작업이 진행되되, 적어도 일 영역에서 상호 교차되어 각각 제1작업라인 및 제2작업라인을 형성하는 복수의 컨베이어(Conveyor); 제1작업라인을 형성하는 컨베이어 영역에 마련되며, 제1작업라인과 나란한 제1라인 Y축 방향 및 제1작업라인에 가로로 형성되는 제1라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 원기판의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 중간단계기판으로 형성하는 제1절단모듈; 제2작업라인을 형성하는 컨베이어 영역에 마련되며, 제2작업라인과 나란한 제2라인 Y축 방향 및 제2작업라인에 가로로 형성되는 제2라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 중간단계기판들의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 단위기판으로 형성하는 제2절단모듈; 및 복수의 컨베이어가 상호 교차하는 교차영역에 마련되어, 복수의 중간단계기판을 제2작업라인을 형성하는 컨베이어 영역으로 전달하는 전달부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, IC 드라이버 등이 실장될 기판의 패드 부분(Pad Portion)이 손상되는 것을 저지하면서도 기판에 대한 절단작업을 인라인화(In-Line)화 할 수 있어 택트 타임(Tact Time)을 줄일 수 있으며, 나아가 생산성을 향상시킬 수 있다.A substrate cutting system and method are disclosed. In the substrate cutting system of the present invention, a cutting operation is performed on a substrate formed by joining an upper plate and a lower plate, and a plurality of conveyors crossing each other in at least one region to form a first work line and a second work line, respectively. ); It is provided in the conveyor area forming the first working line, the first line in the Y axis direction parallel to the first working line and the first line X-axis direction formed horizontally on the first working line of the base substrate A first cutting module which forms a plurality of intermediate step substrates by forming and cutting predetermined scribe lines on upper and lower surfaces; It is provided in the conveyor area forming the second work line, the intermediate step substrate along any one of the direction of the second line Y axis parallel to the second work line and the second line X axis direction formed horizontally on the second work line A second cutting module which forms a plurality of unit substrates by forming and cutting a predetermined scribe line on upper and lower surfaces of the second substrate; And a transfer unit provided at an intersection area where the plurality of conveyors cross each other, and transferring the plurality of intermediate step substrates to the conveyor area forming the second work line. According to the present invention, it is possible to reduce the tact time by preventing in-line cutting of the substrate while preventing the pad portion of the substrate on which the IC driver or the like is to be damaged. Can further improve productivity.

Description

기판 절단시스템 및 그 방법{System and method for Scribing substrate}Substrate cutting system and its method {System and method for Scribing substrate}

도 1은 일반적인 LCD 기판(단위기판)에 대한 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a general LCD substrate (unit substrate).

도 2는 도 1의 단위기판을 형성하기 위한 대면적 원기판에 대한 평면도이다.FIG. 2 is a plan view of a large-area original substrate for forming the unit substrate of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단장치의 사시도이다.3 is a perspective view of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 평면도이다.4 is a plan view of FIG. 3.

도 5는 제1절단모듈 영역의 동작을 보인 도면이다.5 is a view illustrating an operation of the first cutting module region.

도 6은 제2절단모듈 영역의 동작을 보인 도면이다.6 is a view illustrating an operation of a second cutting module region.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단방법의 순서도이다.7 is a flow chart of a substrate cutting method according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1 : 원기판 3a~3d : 더미기판1: Original board 3a ~ 3d: Dummy board

5 : 중간단계기판 8 : 단위기판5: Intermediate board 8: Unit board

10a~10g : 벨트 컨베이어 12a,12b : 이격간격10a ~ 10g: Belt Conveyor 12a, 12b: Spacing

20 : 제1절단모듈 21 : 제1스크라이빙부20: first cutting module 21: first scribe unit

23 : 제1브레이킹부 25 : 제1상부 스크라이빙부23: first breaking portion 25: first upper scribing portion

28 : 제1하부 스크라이빙부 35 : 제1연결부28: first lower scribing portion 35: first connection portion

40 : 전달부 45 : 파지헤드40: transfer unit 45: gripping head

50 : 제2절단모듈 51 : 제2스크라이빙부50: second cutting module 51: second scribe unit

53 : 제2브레이킹부 55 : 제2상부 스크라이빙부53: second breaking portion 55: second upper scribing portion

58 : 제2하부 스크라이빙부 65 : 제21연결부58: second lower scribing portion 65: 21st connection portion

70a,70b : 배출부 80 : 분배기70a, 70b: outlet 80: distributor

84 : 트랜스 컨베이어 85 : 반전기84: trans conveyor 85: inverter

87 : 리버스 컨베이어 90 : 취출 컨베이어87: reverse conveyor 90: takeout conveyor

본 발명은, 기판 절단시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, IC 드라이버 등이 실장될 기판의 패드 부분(Pad Portion)이 손상되는 것을 저지하면서도 기판에 대한 절단작업을 인라인화(In-Line)화 할 수 있어 택트 타임(Tact Time)을 줄일 수 있으며, 나아가 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 절단시스템 및 그 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate cutting system and a method thereof, and more particularly, to cutting a substrate in a cutting operation while preventing the pad portion of the substrate on which the IC driver or the like is to be damaged. The present invention relates to a substrate cutting system and a method for reducing the tact time and further improving productivity.

기판(Substrate)은 반도체 기판을 포함하여 화상 표시장치로 사용되는 평판디스플레이(FPD, Flat Panel Display)를 포함한다. FPD 기판에는 LCD(Liquid Crystal Display) 기판, PDP(Plasma Display Panel) 기판 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판 등이 존재한다.The substrate includes a flat panel display (FPD) used as an image display device including a semiconductor substrate. FPD substrates include liquid crystal display (LCD) substrates, plasma display panel (PDP) substrates, and organic light emitting diodes (OLED) substrates.

이들 중에서, LCD 기판은 두 장의 글라스(Glass) 사이에 액정(Liquid Crystal)을 주입한 것을 말한다. LCD 기판은 응답속도가 느리고 상대적으로 고가라는 단점을 가지고 있기는 하지만, 반도체 공정에 의해 생산되기 때문에 해상도 면 에선 PDP 기판보다 유리한 특성을 가지고 있다. 따라서 최근에는 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 그리고 텔레비전 등의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.Among them, the LCD substrate refers to a liquid crystal (Liquid Crystal) is injected between the two glass (Glass). Although LCD substrates have the disadvantage of slow response speed and relatively high cost, LCD substrates have advantages over PDP substrates in terms of resolution because they are produced by semiconductor processes. Therefore, it is recently attracting attention as a next generation display device such as a mobile phone, a computer monitor, and a television.

이러한 LCD 기판에 대해 도 1 및 도 2를 참조하여 보다 자세하게 설명하면 다음과 같다.The LCD substrate will be described in more detail with reference to FIGS. 1 and 2 as follows.

도 1은 일반적인 LCD 기판(단위기판)에 대한 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 단위기판을 형성하기 위한 대면적 원기판에 대한 평면도이다.1 is a schematic perspective view of a general LCD substrate (unit substrate), Figure 2 is a plan view of a large area substrate for forming the unit substrate of FIG.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 도 1에 도시된 하나의 LCD 기판(이하에서는 단위기판(8)이라 함)은, 내부에 액정이 주입된 상태에서 상호 부분적으로 접면하여 합착되는 유리재질의 상판(8a, CF, Color Filter) 및 하판(8b, TFT, Thin Film Transistor)과, 상판(8a) 및 하판(8b)의 노출면에 각각 결합되어 해당 위치에서 광학적인 특성을 부여하는 상부 및 하부 편광판(Polarizer Film, 미도시)을 갖는다.As shown in these drawings, one LCD substrate (hereinafter referred to as unit substrate 8) shown in FIG. 1 is a glass top plate which is bonded by partially contacting each other in a state where liquid crystal is injected therein ( 8a, CF, Color Filter) and lower plate (8b, TFT, Thin Film Transistor), and upper and lower polarizers that are coupled to the exposed surface of the upper plate (8a) and the lower plate (8b), respectively, to impart optical characteristics at the corresponding positions ( Polarizer Film, not shown).

칼라의 화상을 형성하는 상판(8a)은 하판(8b)에 비해 그 면적이 작게 형성된다. 따라서 하판(8b)의 상면에는 상판(8a)이 중첩되지 않는 부분인, 패드 부분(P, Pad Portion)이 존재한다. 패드 부분(P)에는 단위기판(8)을 제어하는 수단으로서 IC 드라이버와, IC 드라이버를 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)에 연결하는 FPC(Flexible Printed Circuit) 등이 결합된다.The upper plate 8a forming the image of the color is formed smaller in area than the lower plate 8b. Therefore, a pad portion P (Pad Portion), which is a portion where the upper plate 8a does not overlap, is present on the upper surface of the lower plate 8b. The pad portion P is combined with an IC driver as a means for controlling the unit substrate 8, and a flexible printed circuit (FPC) for connecting the IC driver to a printed circuit board (PCB).

이러한 단위기판(8)은 보통, 도 2에 도시된 바와 같이, 상판(1a) 및 하판(1b)이 합착된 상태로 형성되고 그 면적이 거대한 대면적 원기판(1)을 수 내지 수십 등분으로 절단하여 도 1과 같은 형태의 단위기판(8)을 만든 후, Module공정에서 단위기판(8)의 패드 부분(P)에 IC 드라이버 등을 실장함으로써 하나의 완제품으 로 출시된다.As shown in FIG. 2, the unit substrate 8 is generally formed in a state where the upper plate 1a and the lower plate 1b are joined together, and the large-area original substrate 1 having a large area is divided into several tens of equal parts. After cutting to make the unit substrate 8 of the form as shown in Figure 1, by mounting the IC driver or the like on the pad portion (P) of the unit substrate 8 in the module process is released as a finished product.

따라서 기판을 제조하는 공정 중에는, 대면적 원기판(1)을 수 내지 수십 개의 단위기판(8)들로 절단(혹은 스크라이브)하기 위한 절단 공정이 포함된다.Therefore, the manufacturing process of the substrate includes a cutting process for cutting (or scribing) the large-area original substrate 1 into several to several tens of unit substrates 8.

특히, 도 2와 같은 하나의 원기판(1)을 절단하여 도 1과 같은 단위기판(8)으로 제조할 경우, 단위기판(8)의 상판(8a) 및 하판(8b) 면적이 상호 다르기 때문에, 원기판(1)의 상판(1a) 및 하판(1b)에 형성되어 절단되는 스크라이브 라인(Scribe Line) 역시, 상이할 수밖에 없으며, 이들은 정밀하게 제어될 필요가 있다. 참고로, 도 2에서 실선으로 도시된 대부분(일부 점선과 겹쳐서 나타나지 않기도 함)은 원기판(1)의 상판(1a)이 절단되는 위치를 나타내고, 점선으로 도시된 부분은 원기판(1)의 하판(1b)이 절단되는 위치를 나타낸다.In particular, when the one substrate 1 as shown in FIG. 2 is cut and manufactured as the unit board 8 as shown in FIG. The scribe line formed on the upper plate 1a and the lower plate 1b of the base plate 1 and cut is inevitably different, and these need to be precisely controlled. For reference, a portion (not shown overlapping with a dotted line) in the solid line in FIG. 2 indicates a position where the upper plate 1a of the base plate 1 is cut, and the portion shown by the dotted line is a portion of the base plate 1. The position at which the lower plate 1b is cut is shown.

원기판(1)에 대한 절단 공정은 별도의 시스템을 통해 행해지는데, 보통, 소위 스크라이버(Scriber) 혹은 스크라이브 장치(Scribe Apparatus)라고도 불리는 절단시스템을 통해 수행된다.The cutting process for the base plate 1 is carried out through a separate system, usually through a cutting system, also called a scriber or scribe device (Scribe Apparatus).

현재까지 알려진 절단시스템은, 원기판(1)을 지지하는 타입(Type)에 따라 크게, 스테이지 타입(Stage Type) 및 벨트 컨베이어 타입(Belt Conveyor Type)으로 나뉜다.Cutting systems known to date are largely divided into stage types and belt conveyor types according to the type supporting the base plate 1.

스테이지 타입은 더미기판(3a~3d)을 배출하는데 큰 문제가 없기 때문에 원기판(1)을 이송시켜 가면서 원하는 부분에 스크라이브 라인을 형성하고, 이를 토대로 순차적으로 완전하게 절단하여 복수의 단위기판(8)을 형성하는 구조를 갖는다.Since the stage type does not have a big problem in discharging the dummy substrates 3a to 3d, a scribe line is formed at a desired portion while transferring the original substrate 1, and based on this, the plurality of unit substrates 8 are completely cut in sequence. ) To form.

다만, 앞서도 기술한 바와 같이, 원기판(1)은 상호 합착된 상판(1a)과 하 판(1b)으로 이루어져 있으며, 단위기판(8)의 형성을 위해 원기판(1)의 상판(1a) 및 하판(1b)에 형성되어 절단되는 스크라이브 라인이 각기 다르기 때문에, 스테이지 타입이 적용된 절단시스템에서는 원기판(1)의 상판(1a) 및 하판(1b) 중 어느 하나를 절단시킨 다음에, 상판(1a) 및 하판(1b) 중 다른 하나를 절단시키기 위하여 원기판(1)을 통째로 180도 반전시키기(뒤집기) 위한 수단이 더 요구되며, 따라서 절단시스템의 높이가 커질 수밖에 없는 문제점이 있다.However, as described above, the base plate 1 is composed of the upper plate (1a) and the lower plate (1b) bonded to each other, the upper plate (1a) of the base plate 1 for the formation of the unit substrate (8) Since the scribe lines formed and cut on the lower plate 1b are different from each other, in the cutting system to which the stage type is applied, any one of the upper plate 1a and the lower plate 1b of the base plate 1 is cut and then the upper plate ( Means are further required for inverting (turning) the original substrate 1 by 180 degrees in order to cut the other one of the 1a) and the lower plate 1b, so that the height of the cutting system is inevitably increased.

이에 반해, 벨트 컨베이어 타입은 택트 타임(Tact Time)이 짧은 장점은 있으나, 그 구조상 대면적 원기판(1)에서 잘려 나간 기판(이하, 더미기판(3a~3d, Dummy Substrate)이라 함)을 바로 배출할 수 없다. 더미기판(3a~3d)이란 도 2에서 해칭되지 않은 부분을 가리킨다.In contrast, the belt conveyor type has a short tact time, but due to its structure, a substrate cut out from the large-area original substrate 1 (hereinafter, referred to as a dummy substrate (3a-3d, Dummy Substrate)) is directly used. It cannot be discharged. The dummy substrates 3a to 3d refer to portions not hatched in FIG. 2.

따라서 벨트 컨베이어 타입이 적용된 절단시스템에서는, 원기판(1)을 완전하게 절단하지 않고 우선 반만 절단한 후, 가열과 냉각 공정을 거쳐 크랙(Crack)을 진전시켜 가면서 최종적으로 원기판(1)을 절단하여 복수의 단위기판(8)을 형성하는 방식을 취하고 있다.Therefore, in the cutting system to which the belt conveyor type is applied, the first substrate is not cut completely but only half is cut first, and then the original substrate 1 is finally cut while advancing a crack through heating and cooling processes. In this way, a plurality of unit substrates 8 are formed.

그런데, 이러한 벨트 컨베이어 타입이 적용된 절단시스템에 있어서는, 전술한 바와 같이, 원기판(1)을 완전하게 절단하지 않고 우선 반만 절단한 후에 가열과 냉각 공정을 거쳐 크랙(Crack)을 진전시켜 가면서 최종적으로 원기판(1)을 절단하고 있으므로, 더미기판(3a~3d)이 대면적 원기판(1)으로부터 떨어지지 않고 붙어 있는 상태로 계속 이송되어 가열과 냉각 공정 이후에 완전 절단되어야 하나 이송 중에 미리 절단되는 현상이 발생하여 원기판(1)의 이송 중에 IC 드라이버 등이 실장 될 단위기판(8)의 패드 부분(P)이 손상될 우려가 높은 문제점이 있다.By the way, in the cutting system to which the belt conveyor type is applied, as described above, the base plate 1 is not cut completely, but only half is cut first and then the crack is advanced through the heating and cooling process. Since the base substrate 1 is being cut, the dummy substrates 3a to 3d are continuously transported in a state of being attached to each other without falling off from the large-area original substrate 1, and must be completely cut after the heating and cooling process, but are cut in advance. The phenomenon occurs and there is a high possibility that the pad portion P of the unit substrate 8 on which the IC driver or the like will be mounted is damaged during the transfer of the base substrate 1.

본 발명의 목적은, IC 드라이버 등이 실장될 기판의 패드 부분(Pad Portion)이 손상되는 것을 저지하면서도 기판에 대한 절단작업을 인라인화(In-Line)화 할 수 있어 택트 타임(Tact Time)을 줄일 수 있으며, 나아가 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 절단시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to prevent the damage to the pad portion of the substrate on which the IC driver or the like is to be damaged while cutting the substrate in-line, thereby reducing the tact time. It is possible to provide a substrate cutting system and a method thereof, which can reduce and further improve productivity.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 상판과 하판이 합착되어 형성된 원기판에 대한 절단작업이 진행되되, 적어도 일 영역에서 상호 교차되어 각각 제1작업라인 및 제2작업라인을 형성하는 복수의 컨베이어(Conveyor); 상기 제1작업라인을 형성하는 컨베이어 영역에 마련되며, 상기 제1작업라인과 나란한 제1라인 Y축 방향 및 상기 제1작업라인에 가로로 형성되는 제1라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 상기 원기판의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 중간단계기판으로 형성하는 제1절단모듈; 상기 제2작업라인을 형성하는 컨베이어 영역에 마련되며, 상기 제2작업라인과 나란한 제2라인 Y축 방향 및 상기 제2작업라인에 가로로 형성되는 제2라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 상기 중간단계기판들의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 단위기판으로 형성하는 제2절단모듈; 및 상기 복수의 컨베이어가 상호 교차하는 교차영역에 마련되어, 상기 복수의 중간단계기판을 상기 제2작업라인을 형성하는 컨베이어 영역으로 전달하는 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, the cutting operation for the base plate formed by joining the upper plate and the lower plate is in progress, a plurality of conveyors that cross each other in at least one region to form a first work line and a second work line ( Conveyor); It is provided in the conveyor area to form the first work line, along the direction of any one of the first line Y-axis direction parallel to the first work line and the first line X-axis direction formed horizontally on the first work line A first cutting module which forms a plurality of intermediate step substrates by forming and cutting predetermined scribe lines on upper and lower surfaces of the original substrate; A second line Y-axis direction parallel to the second work line and a second line X-axis direction formed horizontally on the second work line; A second cutting module which forms a plurality of unit substrates by forming and cutting a predetermined scribe line on upper and lower surfaces of the intermediate stage substrates; And a transfer unit provided at an intersection area where the plurality of conveyors cross each other, and transferring the plurality of intermediate step substrates to the conveyor area forming the second work line.

여기서, 상기 컨베이어는 벨트 컨베이어(Belt Conveyor)일 수 있으며, 상기 제1절단모듈은 상기 제1라인 X축 방향을 따라 상기 원기판을 절단하여 상기 복수의 중간단계기판으로 형성하고, 상기 제2절단모듈은 상기 제2라인 X축 방향을 따라 상기 복수의 중간단계기판을 절단하여 상기 복수의 단위기판으로 형성할 수 있다.Here, the conveyor may be a belt conveyor (Belt Conveyor), the first cutting module is formed of the plurality of intermediate stage substrate by cutting the substrate along the X-axis direction of the first line, the second cutting The module may cut the plurality of intermediate stage substrates along the X-axis direction of the second line to form the plurality of unit substrates.

상기 전달부는, 상기 제1작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어 영역에서 절단된 상기 중간단계기판들을 직선운동시켜 상기 제2작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어 영역으로 전달할 수 있다.The transfer unit may linearly move the intermediate step substrates cut in the belt conveyor area forming the first work line to transfer the belt to the belt conveyor area forming the second work line.

상기 제1절단모듈은, 상기 제1작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어 영역에 형성된 제1이격간격에서 상기 원기판의 상하면에 상기 제1라인 X축 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이빙부; 및 상기 제1스크라이빙부에 인접하게 설치되며, 상기 원기판을 가열 및 냉각하여 상기 제1라인 X축 방향의 스크라이브 라인을 따라 상기 원기판을 절단하여 상기 복수의 중간단계기판으로 형성하는 제1브레이킹부를 포함할 수 있다.The first cutting module may include a first scribing unit which forms a scribe line along the X-axis direction of the first line at upper and lower surfaces of the substrate at first intervals formed in a belt conveyor region forming the first work line. ; And a first unit installed adjacent to the first scribing unit, the substrate being heated and cooled to cut the substrate along a scribe line in the X-axis direction of the first line to form the plurality of intermediate step substrates. It may include a breaking part.

상기 제1스크라이빙부는, 상기 제1이격간격에서 상기 벨트 컨베이어의 상부영역에 마련되어 상기 원기판의 상판에 상기 제1라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 형성하는 제1상부 스크라이빙부; 및 상기 제1이격간격에서 상기 벨트 컨베이어의 하부영역에 마련되어 상기 원기판의 하판에 상기 제1라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 형성하는 제1하부 스크라이빙부를 포함할 수 있다.The first scribing unit may include: a first upper scribing unit provided in an upper region of the belt conveyor at the first interval to form an upper scribe line in the X-axis direction of the first line on the upper plate of the original substrate; And a first lower scribing unit provided in the lower region of the belt conveyor at the first interval to form a lower scribe line in the X-axis direction of the first line on the lower plate of the original substrate.

상기 제1상부 스크라이빙부는, 상기 제1라인 X축 방향을 따라 고정된 제1상 부 가로축; 및 상기 제1상부 가로축의 일측에 결합되고, 상기 벨트 컨베이어에 지지되어 이동하는 상기 원기판의 상판에 상기 상부 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제1상부 가로축에서 상대적으로 이동가능한 적어도 하나의 제1상부 스크라이버(Scriber)를 포함할 수 있다.The first upper scribing unit may include a first upper horizontal axis fixed along the X-axis direction of the first line; And at least one first upper portion coupled to one side of the first upper horizontal axis, the upper scribe line being formed on the upper plate of the base plate supported and moving on the belt conveyor, and relatively movable on the first upper horizontal axis. It may include a scriber.

상기 제1하부 스크라이빙부는, 상기 제1상부 가로축의 하부에 위치하고, 상기 제1라인 X축 방향을 따라 고정된 제1하부 가로축; 및 상기 제1하부 가로축의 일측에 결합되고, 상기 벨트 컨베이어에 지지되어 이동하는 상기 원기판의 하판에 상기 하부 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제1하부 가로축에서 상대적으로 이동가능한 적어도 하나의 제1하부 스크라이버(Scriber)를 포함할 수 있다.The first lower scribing unit may include: a first lower horizontal axis positioned below the first upper horizontal axis and fixed along an X-axis direction of the first line; And at least one first lower portion coupled to one side of the first lower horizontal axis to form the lower scribe line on a lower plate of the base plate supported and moving on the belt conveyor, wherein the lower scribe line is relatively movable on the first lower horizontal axis. It may include a scriber.

상기 제1상부 및 제1하부 가로축은 소정의 제1연결부에 의해 상호 연결될 수 있다.The first upper part and the first lower horizontal axis may be connected to each other by a predetermined first connection part.

상기 제2절단모듈은, 상기 제2작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어 영역에 형성된 제2이격간격에서 상기 중간단계기판의 상하면에 상기 제2라인 X축 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙부; 및 상기 제2스크라이빙부에 인접하게 설치되며, 상기 중간단계기판을 가열 및 냉각하여 상기 제2라인 X축 방향의 스크라이브 라인을 따라 상기 중간단계기판을 절단하여 상기 복수의 단위기판으로 형성하는 제2브레이킹부를 포함할 수 있다.The second cutting module may include a scribe line forming a scribe line along the X-axis direction of the second line on the upper and lower surfaces of the intermediate step substrate at a second interval formed in the belt conveyor area forming the second work line. Ice sheet; And forming the plurality of unit substrates by cutting the intermediate stage substrate along the scribe line in the X-axis direction by heating and cooling the intermediate stage substrate to be adjacent to the second scribing unit. It may include two breaking parts.

상기 제2스크라이빙부는, 상기 제2이격간격에서 상기 벨트 컨베이어의 상부영역에 마련되어 상기 중간단계기판의 상판에 상기 제2라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 형성하는 제2상부 스크라이빙부; 및 상기 제2이격간격에서 상기 벨 트 컨베이어의 하부영역에 마련되어 상기 중간단계기판의 하판에 상기 제2라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 형성하는 제2하부 스크라이빙부를 포함할 수 있다.The second scribing unit may include: a second upper scribing unit provided in an upper region of the belt conveyor at the second interval to form an upper scribe line in the X-axis direction of the second line on the upper plate of the intermediate step substrate; And a second lower scribing unit provided in the lower region of the belt conveyor at the second interval to form a lower scribe line in the X-axis direction of the second line on the lower plate of the intermediate stage substrate.

상기 제2상부 스크라이빙부는, 상기 제2라인 X축 방향을 따라 고정된 제2상부 가로축; 및 상기 제2상부 가로축의 일측에 결합되고, 상기 벨트 컨베이어에 지지되어 이동하는 상기 중간단계기판의 상판에 상기 상부 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제2상부 가로축에서 상대적으로 이동가능한 적어도 하나의 제2상부 스크라이버(Scriber)를 포함할 수 있다.The second upper scribing unit may include: a second upper horizontal axis fixed along the X-axis direction of the second line; And an upper scribe line coupled to one side of the second upper horizontal axis, the upper scribe line formed on the upper plate of the intermediate step substrate supported and moving on the belt conveyor, wherein the second upper horizontal axial line is relatively movable on the second upper horizontal axis. It may include an upper scriber.

상기 제2하부 스크라이빙부는, 상기 제2상부 가로축의 하부에 위치하고, 상기 제2라인 X축 방향을 따라 고정된 제2하부 가로축; 및 상기 제2하부 가로축의 일측에 결합되고, 상기 벨트 컨베이어에 지지되어 이동하는 상기 중간단계기판의 하판에 상기 하부 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제2하부 가로축에서 상대적으로 이동가능한 적어도 하나의 제2하부 스크라이버(Scriber)를 포함할 수 있다.The second lower scribing unit may include a second lower horizontal axis positioned below the second upper horizontal axis and fixed along an X-axis direction of the second line; And at least one second scribe line coupled to one side of the second lower horizontal axis, the lower scribe line being formed on a lower plate of the intermediate step substrate supported and moving on the belt conveyor, and relatively movable on the second lower horizontal axis. It may include a lower scriber.

상기 제2상부 및 제2하부 가로축은 소정의 제2연결부에 의해 상호 연결될 수 있다.The second upper portion and the second lower horizontal axis may be connected to each other by a predetermined second connection portion.

상기 제2절단모듈이 위치하는 벨트 컨베이어는 상기 제2라인 X축 방향을 따라 상호 분할될 수 있으며, 상기 전달부는 상기 중간단계기판을 하나씩 파지하여 분할된 상기 벨트 컨베이어로 하나씩 전달할 수 있다.The belt conveyor in which the second cutting module is located may be divided into each other along the X-axis direction of the second line, and the transfer unit may transfer one by one to the divided belt conveyor by holding the intermediate stage board one by one.

상기 전달부는, 상기 제1작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어들의 양측에 배치되되 상기 교차영역에 걸치도록 마련되는 한 쌍의 제1레일부; 양단이 상기 한 쌍의 제1레일부에 각각 결합되어 상기 제1레일부를 따라 이동가능한 이동바아; 및 상 기 이동바아의 길이방향을 따라 이동가능하도록 상기 이동바아에 결합되어 상기 중간단계기판을 하나씩 파지하여 분할된 상기 벨트 컨베이어로 하나씩 전달하는 파지헤드를 포함할 수 있다.The transfer unit may include a pair of first rail parts disposed on both sides of the belt conveyors forming the first work line and provided to cover the crossing area; A moving bar having both ends coupled to the pair of first rail portions, the movable bars being movable along the first rail portion; And a gripping head coupled to the moving bar so as to be movable along the longitudinal direction of the moving bar, and holding the intermediate stage board one by one to transfer to the divided belt conveyor one by one.

상기 제1 및 제2절단모듈들의 하부영역에 각각 마련되어 상기 원기판 또는 상기 중간단계기판에서 잘려 나간 더미기판(Dummy Substrate)을 배출하는 배출부를 더 포함할 수 있다.Each of the first and second cutting modules may further include a discharge part for discharging a dummy substrate cut off from the substrate or the intermediate step substrate, respectively.

상기 배출부는 해당 위치에서 상기 제1 및 제2절단모듈에 대해 각각 접근 및 이격 가능하다.The discharge portion is accessible and spaced apart from the first and second cutting modules, respectively, at the corresponding position.

상기 배출부에는 상기 더미기판 및 더미부를 파쇄하는 파쇄부가 더 마련될 수 있다.The discharge part may further include a crushing part for crushing the dummy substrate and the dummy part.

상기 제2작업라인을 따라 상기 제2절단모듈의 후방에 배치되어 절단작업이 완료된 상기 단위기판들을 트랜스 컨베이어에 하나씩 대응되게 분배하는 분배기를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a distributor disposed at the rear of the second cutting module along the second work line and distributing the unit substrates corresponding to one by one to the trans conveyor.

상기 분배기는, 상기 트랜스 컨베이어의 양측에 상기 제2작업라인을 따라 배치된 한 쌍의 제2레일부; 및 상기 한 쌍의 제2레일부를 따라 이동가능하고, 상기 한 쌍의 제2레일부에 대해 상대 회전가능하도록 상기 한 쌍의 제2레일부에 각각 결합되어 절단작업이 완료된 상기 단위기판들을 흡착하는 분배헤드를 포함할 수 있다.The distributor may include a pair of second rail parts disposed along the second work line on both sides of the trans conveyor; And coupled to the pair of second rails to move relative to the pair of second rails and to rotate relative to the pair of second rails, respectively, to absorb the unit substrates of which the cutting operation is completed. It may include a dispensing head.

상기 트랜스 컨베이어로 분배된 단위기판의 상하면 위치를 반전시키는 반전기를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include an inverter for reversing the upper and lower positions of the unit substrates distributed by the trans conveyor.

상기 반전기는, 반전축; 및 상기 반전축을 기초로 반전가능하고, 상기 단위기판이 내부로 삽입될 수 있도록 상기 단위기판의 상하면을 흡착하는 한 쌍의 리버스 컨베이어(Reverse Conveyor)를 포함할 수 있다.The inverter, the inverting axis; And a pair of reverse conveyors that are invertible based on the inversion axis and adsorb the upper and lower surfaces of the unit substrate so that the unit substrate can be inserted therein.

상기 반전기에 의해 반전 완료된 단위기판이 로딩되어 취출되는 취출 컨베이어를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a take-out conveyor in which the unit substrate inverted by the inverter is loaded and taken out.

상기 제1작업라인으로 최초에 반입되는 상기 원기판의 상판 및 하판은 각각, 티에프티(TFT, Thin Film Transistor) 및 칼라 필터(CF, Color Filter)일 수 있으며, 상기 취출 컨베이어에 의해 취출시 반전될 수 있다.The upper and lower plates of the substrate initially introduced into the first work line may be TFTs and thin film transistors, respectively, and are inverted when taken out by the take-out conveyor. Can be.

상기 기판은, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어느 하나의 평판디스플레이(FPD, Flat Panel Display)일 수 있다.The substrate may be a flat panel display (FPD) of any one of a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode (OLED).

한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, a) 상판과 하판이 합착되어 형성된 절단작업 대상의 원기판을 소정의 제1작업라인으로 반입시키는 단계; b) 상기 제1작업라인과 나란한 제1라인 Y축 방향 및 상기 제1작업라인에 가로로 형성되는 제1라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 상기 원기판의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 중간단계기판으로 형성하는 단계; c) 상기 b) 단계에서 형성된 상기 복수의 중간단계기판을 상기 제1작업라인에 교차하는 제2작업라인으로 전달하는 단계; 및 d) 상기 제2작업라인과 나란한 제2라인 Y축 방향 및 상기 제2작업라인에 가로로 형성되는 제2라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 상기 중간단계기판들의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 단위기판으로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단방법에 의해서도 달성된다.On the other hand, according to the present invention, a) a step of bringing the base plate of the cutting operation target formed by the upper plate and the lower plate is joined to a predetermined first work line; b) a predetermined scribe line (Scribe) on the upper and lower surfaces of the substrate along one of the first line Y-axis direction parallel to the first work line and the first line X-axis direction formed horizontally on the first work line Forming a plurality of intermediate step substrates by cutting lines; c) transferring the plurality of intermediate step substrates formed in step b) to a second work line crossing the first work line; And d) a predetermined scribe line on the upper and lower surfaces of the intermediate step substrates in one of a second line Y-axis direction parallel to the second work line and a second line X-axis direction formed laterally on the second work line. It is also achieved by a substrate cutting method comprising the step of forming a plurality of unit substrates by forming and cutting (Scribe Line).

여기서, 상기 제1 및 제2작업라인은 복수의 벨트 컨베이어(Belt Conveyor)에 의해 형성될 수 있으며, 상기 b) 단계에서는 상기 제1라인 X축 방향을 따라 상기 원기판을 절단하여 상기 복수의 중간단계기판으로 형성하고, 상기 d) 단계에서는 상기 제2라인 X축 방향을 따라 상기 복수의 중간단계기판을 절단하여 상기 복수의 단위기판으로 형성할 수 있으며, 상기 c) 단계에서는 상기 제1작업라인 측에서 형성된 상기 중간단계기판들을 직선운동시켜 상기 제2작업라인 측으로 전달할 수 있다.Here, the first and the second working line may be formed by a plurality of belt conveyor (Belt Conveyor), in the step b) by cutting the substrate along the X-axis direction of the first line by cutting the plurality of intermediate And forming a plurality of unit substrates by cutting the plurality of intermediate stage substrates along the X-axis direction of the second line in the step d), and in the step c), the first work line. The intermediate step substrates formed at the side may be linearly transferred to the second work line.

상기 c) 단계에서는 상기 중간단계기판을 직선운동시켜 상기 제1작업라인에서 상기 제2작업라인으로 전달할 수 있다.In step c), the intermediate step substrate may be linearly transferred to the second work line from the first work line.

e) 상기 c) 단계 후에, 상기 단위기판의 상하면 위치를 반전시키는 단계; 및 f) 상하면 위치가 반전된 상기 단위기판을 취출시키는 단계를 더 포함할 수 있다.e) inverting the upper and lower positions of the unit substrate after step c); And f) taking out the unit substrate having the upper and lower positions reversed.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

참고로, 이하에서 설명될 기판이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 FPD(Flat Panel Display) 기판을 가리키나, 설명의 편의를 위해 이들을 구분하지 않고 기판이라 하기로 한다.For reference, the substrate to be described below refers to a flat panel display (FPD) substrate including a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), organic light emitting diodes (OLED), and the like, for convenience of description. For the sake of brevity, these are referred to as substrates.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단장치의 사시도이고, 도 4는 도 3의 평면도이며, 도 5는 제1절단모듈 영역의 동작을 보인 도면이고, 도 6은 제2절단모듈 영역의 동작을 보인 도면이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단방법의 순서도이다.3 is a perspective view of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a plan view of Figure 3, Figure 5 is a view showing the operation of the first cutting module region, Figure 6 is a second cutting module region 7 is a flowchart illustrating a substrate cutting method according to an embodiment of the present invention.

이들 도면을 참조하되, 주로 도 3 및 도 4를 참조할 때, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단장치는, 원기판(1)에 대한 절단작업이 진행되되 상호 교차되는 제1 및 제2작업라인을 형성하는 복수의 벨트 컨베이어(10a~10g, Belt Conveyor)와, 제1작업라인 측에 마련되어 원기판(1)을 3개의 중간단계기판(5)으로 절단하는 제1절단모듈(20)과, 중간단계기판(5)을 제2작업라인 측으로 전달하는 전달부(40)와, 제2작업라인 측에 마련되어 중간단계기판(5)을 복수의 단위기판(8)들로 절단하는 제2절단모듈(50)을 구비한다.Referring to these drawings, mainly referring to Figures 3 and 4, the substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention, the first and second cross cutting operation of the substrate 1 is in progress A plurality of belt conveyors (10a ~ 10g, Belt Conveyor) forming a work line, and the first cutting module 20 is provided on the side of the first work line for cutting the base substrate 1 into three intermediate stage substrate (5) And a transfer part 40 for transmitting the intermediate step substrate 5 to the second work line side, and a second portion provided at the second work line side for cutting the intermediate step substrate 5 into a plurality of unit substrates 8. The cutting module 50 is provided.

또한 본 실시예의 기판 절단장치는, 제1 및 제2절단모듈(20,50)의 하부영역에 위치하는 배출부(70a,70b), 그리고 제2절단모듈(50)의 후방에 마련되는 분배기(80), 트랜스 컨베이어(84), 반전기(85) 및 취출 컨베이어(90)를 더 구비한다.In addition, the substrate cutting device of the present embodiment, the discharge unit (70a, 70b) located in the lower region of the first and second cutting module (20, 50), and the distributor provided in the rear of the second cutting module ( 80), a trans conveyor 84, a reversing machine 85 and a take-out conveyor 90 are further provided.

이러한 구성들을 통해, 제1작업라인으로 반입된 도 2의 원기판(1)은 제1절단모듈(20)에 의해 도 2의 중간단계기판(5)으로 절단된 후, 다시 제2절단모듈(50)에서 도 1의 단위기판(8)으로 절단 형성된 다음, 취출 컨베이어(90)로 취출되는 일련 의 작업이 진행된다.Through these configurations, the substrate 1 of FIG. 2 carried into the first work line is cut into the intermediate stage substrate 5 of FIG. 2 by the first cutting module 20, and then the second cutting module ( 50 is formed by cutting the unit substrate 8 of FIG.

따라서 원기판(1)에 대한 인라인화(In-Line)를 구축할 수 있으므로 택트 타임(Tact Time)을 줄일 수 있으며, 나아가 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 것이다. 특히, 본 실시예의 기판 절단시스템에 의하면, IC 드라이버 등이 실장될 단위기판(8)의 패드 부분(P, Pad Portion, 도 1 참조)이 손상되는 것을 저지하면서도 원기판(1)을 수 내지 수십 개의 단위기판(8)으로 절단 형성할 수 있게 된다.Therefore, since the in-line of the substrate 1 can be constructed, the tact time can be reduced, and further, the productivity can be improved. In particular, according to the substrate cutting system of the present embodiment, the base substrate 1 may be several to several tens while preventing the pad portion (P, Pad Portion, see FIG. 1) of the unit substrate 8 on which the IC driver or the like is to be damaged. It is possible to form a cut into two unit substrate (8).

설명에 앞서, 도 2에 도시된 원기판(1) 및 중간단계기판(5), 도 1에 도시된 단위기판(8), 그리고 절단 방향 혹은 벨트 컨베이어(10a~10g)의 이동 방향 등에 대해 부연한다.Prior to the description, the original substrate 1 and the intermediate substrate 5 shown in FIG. 2, the unit substrate 8 shown in FIG. 1, and the cutting direction or the moving direction of the belt conveyors 10a to 10g, etc. do.

도 2에 도시된 원기판(1)은 도 1에 도시된 단위기판(8)을 형성하기 위한 모체이다. 따라서 본 실시예에서는 도 2에 도시된 원기판(1)에서 해칭된 12개의 부분이 도 1에 도시된 단위기판(8) 하나씩을 나타낸다. 또한 앞서도 기술한 바와 같이, 도 2에서 아직 단위기판(8)으로 절단되지 않은 상태로 Y축 방향을 따라 줄지어 있는 4개의 단위기판(8) 묶음을 중간단계기판(5)이라 한다.The base substrate 1 shown in FIG. 2 is a matrix for forming the unit substrate 8 shown in FIG. Therefore, in this embodiment, twelve parts hatched from the original substrate 1 shown in FIG. 2 represent one unit substrate 8 shown in FIG. In addition, as described above, a bundle of four unit substrates 8 arranged along the Y-axis direction without being cut into the unit substrate 8 in FIG. 2 is referred to as an intermediate stage substrate 5.

도 2를 참조할 때, 단위기판(8)은 총 12개이고, 중간단계기판(5)은 3개이며, 해칭이 없는 나머지 부분들은 배출부(70a,70b)로 배출되는 더미기판(3a~3d)들을 나타낸다. 참고로, 도 5 및 도 6을 참조하면, 다른 더미기판(3a~3d)들과 함께 잘려 나가는 엔드(End) 더미부가 더 존재하는데, 이들에 대해서는 편의상 참조부호를 생략하기로 한다.Referring to FIG. 2, the total number of unit boards 8 is 12, the middle step boards 5 are three, and the remaining parts without hatching are dummy boards 3a to 3d discharged to the discharge parts 70a and 70b. ) For reference, referring to FIGS. 5 and 6, an end dummy part which is cut out together with the other dummy substrates 3a to 3d is further present. For convenience, reference numerals will be omitted.

원기판(1)은 단위기판(8)과 마찬가지로 두 장의 유리(Glass)가 합착된 상 판(1a) 및 하판(1b)으로 이루어져 있다.Like the unit substrate 8, the base substrate 1 is composed of an upper plate 1a and a lower plate 1b on which two sheets of glass are bonded.

보통, 최종적으로 취출 컨베이어(90)에 놓인 단위기판(8)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 칼라 필터(CF, Color Filter)인 상판(8a)이 상측을 향하고, 티에프티(TFT, Thin Film Transistor)인 하판(8b)이 하측을 향한 다음에, 후공정으로 취출된다.Usually, in the unit substrate 8 finally placed on the take-out conveyor 90, as shown in FIG. 1, the top plate 8a, which is a color filter CF, faces upward, and the TFT, Thin The lower plate 8b, which is a film transistor, is directed downward, and then taken out in a later step.

하지만, 절단 공정 전에 원기판(1)은 단위기판(8)과는 반대로 뒤집어진 상태에서 제1 및 제2작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어(10a~10g)들로 반입되어 작업된다. 즉, 티에프티(TFT, Thin Film Transistor)인 상판(1a)이 상측을 향하고, 칼라 필터(CF, Color Filter)인 하판(1b)이 하측을 향하도록 배치된 상태에서 반입되어 일련의 절단작업이 진행된다. 또한 중간단계기판(5) 역시, 원기판(1)과 마찬가지로 배치된다.However, before the cutting process, the original substrate 1 is carried into the belt conveyors 10a to 10g forming the first and second working lines in an inverted state as opposed to the unit substrate 8. That is, the upper plate 1a, which is a TFT (thin film transistor), is brought upward, and the lower plate 1b, which is a color filter (CF, Color Filter), is brought in a state where it is disposed to face downward, thereby performing a series of cutting operations. Proceed. In addition, the intermediate stage substrate 5 is also arranged similarly to the original substrate 1.

그리고 본 실시예에서는, 도 2에 도시된 하나의 원기판(1)이 절단 시스템을 거쳐서 3개의 중간단계기판(5)으로 절단 형성된 후, 다시 12개의 단위기판(8)으로 절단되는 예를 도시하고 있다.In this embodiment, one substrate 1 shown in FIG. 2 is cut into three intermediate stage substrates 5 through a cutting system, and then cut into 12 unit substrates 8. Doing.

이 때, 절단 방향 혹은 벨트 컨베이어(10a~10g)의 이동 방향과 관련하여, 제1 내지 제3벨트 컨베이어(10a~10c)가 줄지어 있는 방향을 제1라인 Y축 방향, 제1라인 Y축 방향에 가로방향을 제1라인 X축 방향이라 한다. 그리고 제4 및 제6벨트 컨베이어(10d,10f), 제5 및 제7벨트 컨베이어(10e,10g)가 줄지어 있는 방향을 제2라인 Y축 방향, 제2라인 Y축 방향에 가로방향을 제2라인 X축 방향이라 하여 설명하기로 한다.At this time, in relation to the cutting direction or the moving direction of the belt conveyors 10a to 10g, the direction in which the first to third belt conveyors 10a to 10c are lined up in the first line Y axis direction and the first line Y axis The horizontal direction in the direction is referred to as the first line X-axis direction. Then, the direction in which the fourth and sixth belt conveyors 10d and 10f and the fifth and seventh belt conveyors 10e and 10g are lined is arranged in the horizontal direction in the second line Y axis direction and the second line Y axis direction. It will be described as a two-line X-axis direction.

그러면, 이하에서는 기판 절단장치에 갖춰진 각 구성들에 대해 순차적으로 설명하도록 한다.Then, hereinafter, the respective components provided in the substrate cutting device will be described sequentially.

벨트 컨베이어(10a~10g)는 원기판(1)에 대한 절단작업의 제1 및 제2작업라인을 이루는 부분이다. 원기판(1), 중간단계기판(5) 및 단위기판(8)들이 손상되지 않고 이송될 수 있기 때문에 스테이지 등에 비해 사용되기에 좋다. 이러한 벨트 컨베이어(10a~10g)들의 이동은 리니어 모션(Linear Motion) 등에 의해 정밀하게 제어될 수 있다.The belt conveyors 10a-10g are the parts which comprise the 1st and 2nd working line of the cutting | disconnection work with respect to the base board 1. As shown in FIG. Since the base substrate 1, the intermediate stage substrate 5 and the unit substrate 8 can be transported without being damaged, they are suitable for use compared to stages and the like. The movement of the belt conveyors 10a to 10g may be precisely controlled by linear motion or the like.

앞서도 기술한 바와 같이, 벨트 컨베이어(10a~10g)는 교차영역을 기점으로 하여 제1작업라인과 제2작업라인이 상호 교차되어 있다.As described above, in the belt conveyors 10a to 10g, the first work line and the second work line intersect with each other based on the intersection area.

제1작업라인을 형성하는 제1 내지 제3벨트 컨베이어(10a~10c)는 원기판(1)을 중간단계기판(5)으로 절단하는데 관여하고, 제2작업라인을 형성하는 제4 내지 제7벨트 컨베이어(10d~10g)는 중간단계기판(5)을 단위기판(8)으로 절단하는데 관여한다.The first to third belt conveyors 10a to 10c forming the first work line are involved in cutting the original substrate 1 into the intermediate step substrate 5 and the fourth to seventh to form the second work line. The belt conveyors 10d to 10g are involved in cutting the intermediate stage substrate 5 into the unit substrate 8.

보다 구체적으로 설명하면, 제1벨트 컨베이어(10a)는 최초에 원기판(1)이 로딩되는 부분이고, 제2 및 제3벨트 컨베이어(10b,10c)는 제1절단모듈(20)과 함께 원기판(1)을 중간단계기판(5)으로 절단 형성시키는 부분이다. 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)는 중간단계기판(5)이 각각 하나씩 배치되어 이송되는 부분이고, 제6 및 제7벨트 컨베이어(10f,10g)는 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)와 제2절단모듈(50) 간의 상호 동작에 의해 중간단계기판(5)이 단위기판(8)으로 절단 형성되는 부분이다.More specifically, the first belt conveyor 10a is a portion in which the original substrate 1 is initially loaded, and the second and third belt conveyors 10b and 10c are circled together with the first cutting module 20. The substrate 1 is cut and formed into an intermediate stage substrate 5. The fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e are portions in which the intermediate stage substrate 5 is disposed and transported one by one, and the sixth and seventh belt conveyors 10f and 10g are the fourth and fifth belt conveyors ( The intermediate step substrate 5 is cut into the unit substrate 8 by the mutual operation between the 10d and 10e and the second cutting module 50.

제1 내지 제7벨트 컨베이어(10a~10g)들 사이사이에는 소정의 이격간격이 형성된다. 이격간격들은 해당 위치에서 절단작업을 수행하거나 기판(1,5,8)들이 원활하게 이동될 수 있도록 한다.A predetermined gap is formed between the first to seventh belt conveyors 10a to 10g. Spacing intervals allow the cutting operations or the substrates 1, 5 and 8 to be moved smoothly at the corresponding positions.

본 실시예의 경우, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 이격간격이 형성되는데, 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1절단모듈(20)이 위치하는 제2 및 제3벨트 컨베이어(10b,10c) 사이의 이견간격을 제1이격간격(12a)이라 하고, 제2절단모듈(50)이 위치하는 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)와 제6 및 제7벨트 컨베이어(10f,10g) 사이의 이격간격을 제2이격간격(12b)이라 하여 설명하기로 한다.In the present embodiment, as shown in Figure 3, a plurality of separation intervals are formed, in the following for the convenience of the description, the second and third belt conveyor (10b, 10c) where the first cutting module 20 is located The gap between the gaps is called the first gap 12a, and the fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e and the sixth and seventh belt conveyors 10f and 10g in which the second cutting module 50 is located. The spacing between them will be described as a second spacing 12b.

본 실시예에서 제1작업라인을 형성하는 제1 내지 제3벨트 컨베이어(10a~10c)들은 해당 위치에서 정지하거나 혹은, 제1라인 Y축 방향으로 구동된다. 그리고 제2작업라인을 형성하는 제4 내지 제7벨트 컨베이어(10d~10g) 역시, 해당 위치에서 정지하거나 혹은, 제2라인 Y축 방향으로 구동된다.In the present embodiment, the first to third belt conveyors 10a to 10c forming the first work line stop at a corresponding position or are driven in the direction of the first line Y axis. The fourth to seventh belt conveyors 10d to 10g forming the second work line also stop at the corresponding positions or are driven in the second line Y-axis direction.

제1절단모듈(20)은 원기판(1)을 중간단계기판(5)으로 절단하는 구성이며, 제1작업라인의 제1이격간격(12a) 영역에 설치되어 있다.The first cutting module 20 is configured to cut the substrate 1 into the intermediate stage substrate 5, and is installed in the first spacing interval 12a of the first work line.

이러한 제1절단모듈(20)은, 제1이격간격(12a)에서 원기판(1)의 상하면에 제1라인 X축 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이빙부(21, 도 5 참조)와, 제1스크라이빙부(21)의 전방에 설치되며, 원기판(1)을 가열 및 냉각하여 제1라인 X축 방향의 스크라이브 라인을 따라 원기판(1)을 절단하여 복수의 중간단계기판(5)으로 형성하는 제1브레이킹부(23)를 구비한다.The first cutting module 20 may refer to the first scribing unit 21 (FIG. 5) forming a scribe line along the X-axis direction of the first line on the upper and lower surfaces of the substrate 1 at the first spacing 12a. And a front side of the first scribing unit 21, and the substrate 1 is heated and cooled to cut the substrate 1 along the scribe line in the X-axis direction of the first line, thereby cutting a plurality of intermediate steps. The first breaking part 23 formed of the board | substrate 5 is provided.

제1스크라이빙부(21)는, 다시, 제1이격간격(12a)에서 제2 및 제3벨트 컨베이 어(12b,12c)의 상부영역에 마련되어 원기판(1)의 상판(1a)에 제1라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 형성하는 제1상부 스크라이빙부(25)와, 제1이격간격(12a)에서 제2 및 제3벨트 컨베이어(12b,12c)의 하부영역에 마련되어 원기판(1)의 하판(1b)에 제1라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 형성하는 제1하부 스크라이빙부(28)를 포함한다.The first scribing unit 21 is again provided in the upper regions of the second and third belt conveyors 12b and 12c at the first spacing 12a to the upper plate 1a of the base substrate 1. The first upper scribing portion 25 forming the upper scribe line in the one-line X-axis direction and the lower substrate of the second and third belt conveyors 12b and 12c at the first spacing 12a. A first lower scribing portion 28 forming a lower scribe line in the first line X-axis direction on the lower plate 1b of (1).

우선, 제1상부 스크라이빙부(25)는, 제1라인 X축 방향을 따라 고정된 제1상부 가로축(26)과, 제1상부 가로축(26)의 일측에 결합된 복수개의 제1상부 스크라이버(27, Scriber)를 구비한다.First, the first upper scribing unit 25 includes a first upper horizontal axis 26 fixed along the first line X-axis direction, and a plurality of first upper scrabs coupled to one side of the first upper horizontal axis 26. A driver 27 (Scriber) is provided.

제1상부 스크라이빙부(25)에 근접하게 위치한 제2 및 제3벨트 컨베이어(10b,10c)가 제1라인 Y축 방향으로 이동될 수 있는데 반해, 제1상부 가로축(26)은 해당 위치에서 고정되고 제1상부 가로축(26)에 결합된 제1상부 스크라이버(27)만이 X축 방향으로 이동된다.Whereas the second and third belt conveyors 10b, 10c located close to the first upper scribing portion 25 can be moved in the direction of the first line Y axis, the first upper horizontal axis 26 is Only the first upper scriber 27 fixed and coupled to the first upper horizontal axis 26 is moved in the X-axis direction.

이러한 제1상부 가로축(26)의 타측에는 제1라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 관찰하는 제1상부 라인 관찰부(미도시)가 더 마련될 수 있다. 제1상부 라인 관찰부에 의해 관찰된 영상에 기초한 제어를 통해서 제1상부 가로축(26) 상의 제1상부 스크라이버(27)의 위치가 결정될 수 있다.On the other side of the first upper horizontal axis 26, a first upper line observer (not shown) for observing the upper scribe line in the X-axis direction of the first line may be further provided. The position of the first upper scriber 27 on the first upper horizontal axis 26 may be determined through control based on the image observed by the first upper line observer.

제1상부 스크라이버(27)는 제1상부 가로축(26)에 결합된 제1상부 홀더(27a)와, 제2 및 제3벨트 컨베이어(10b,10c)에 지지되어 이동하는 원기판(1)의 상판(1a)에 제1라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 형성하는 제1상부 커터(17b)를 구비한다. 이 때, 제1상부 홀더(27a)는 제1상부 가로축(26)에서 상대적으로 이동가능 하게 결합된다.The first upper scriber 27 includes a first upper holder 27a coupled to the first upper horizontal axis 26 and a base plate 1 supported and moved by the second and third belt conveyors 10b and 10c. The first upper cutter 17b which forms the upper scribe line of the 1st line X-axis direction in the upper board 1a of the said is provided. At this time, the first upper holder 27a is relatively movable on the first upper horizontal axis 26.

다음으로, 제1하부 스크라이빙부(28)는, 제1상부 가로축(26)의 하부에 위치하고 제1라인 X축 방향을 따라 고정된 제1하부 가로축(29)과, 제1하부 가로축(29)의 일측에 결합된 복수개의 제1하부 스크라이버(30, Scriber)를 구비한다.Next, the first lower scribing unit 28 includes a first lower horizontal axis 29 and a first lower horizontal axis 29 positioned below the first upper horizontal axis 26 and fixed along the first line X-axis direction. A plurality of first lower scribers (30, Scriber) coupled to one side of the).

제1하부 스크라이빙부(28)에 근접하게 위치한 제2 및 제3벨트 컨베이어(10b,10c)가 제1라인 X축 방향으로 이동될 수 있는데 반해, 제1하부 가로축(29)은 해당 위치에서 고정되고 제1하부 가로축(29)에 결합된 제1하부 스크라이버(30)만이 X축 방향으로 이동된다.Whereas the second and third belt conveyors 10b, 10c located proximate to the first lower scribing portion 28 may be moved in the direction of the first line X axis, the first lower horizontal axis 29 may Only the first lower scriber 30 fixed and coupled to the first lower horizontal axis 29 is moved in the X-axis direction.

이러한 제1하부 가로축(29)의 타측에는 제1라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 관찰하는 제1하부 라인 관찰부(미도시)가 더 마련될 수 있다. 제1하부 라인 관찰부에 의해 관찰된 영상에 기초한 제어를 통해서 제1하부 가로축(29) 상의 제1하부 스크라이버(30)의 위치가 결정될 수 있다.On the other side of the first lower horizontal axis 29, a first lower line observer (not shown) for observing the lower scribe line in the first line X-axis direction may be further provided. The position of the first lower scriber 30 on the first lower horizontal axis 29 may be determined through control based on the image observed by the first lower line observer.

제1하부 스크라이버(30)는 제1하부 가로축(29)에 결합된 제1하부 홀더(30a)와, 제2 및 제3벨트 컨베이어(10b,10c)에 지지되어 이동하는 원기판(1)의 하판(1b)에 제1라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 형성하는 제1하부 커터(30b)를 구비한다. 이 때, 제1하부 홀더(30a)는 제1하부 가로축(29)에서 상대적으로 이동가능하게 결합된다.The first lower scriber 30 includes a first lower holder 30a coupled to the first lower horizontal axis 29 and a base plate 1 supported and moved by the second and third belt conveyors 10b and 10c. The first lower cutter 30b which forms the lower scribe line of the 1st line X-axis direction in the lower board 1b of this is provided. At this time, the first lower holder 30a is relatively movable on the first lower horizontal axis 29.

이러한 제1스크라이빙부(21)의 동작에 기초하여, 도 2에 도시된 원기판(1)의 상하판(1a,1b)에 제1라인 X축 방향의 상부 및 하부 스크라이브 라인을 형성시키고자 할 경우, 제1상부 및 제1하부 가로축(26,29)에서 위치고정된 제1상부 및 제1하 부 스크라이버(27,30)에 대해 제2 및 제3벨트 컨베이어(10b,10c)가 이동되면서 진행된다. 이 때, 제1상부 및 제1하부 가로축(26,29)은 제1연결부(35)에 의해 상호 연결되어 있다.Based on the operation of the first scribe unit 21, to form upper and lower scribe lines in the X-axis direction of the first line on the upper and lower plates (1a, 1b) of the original substrate 1 shown in FIG. In this case, the second and third belt conveyors 10b and 10c may be applied to the first upper and first lower scribers 27 and 30 positioned on the first upper and first lower horizontal axes 26 and 29. It progresses as it moves. At this time, the first upper portion and the first lower horizontal axes 26 and 29 are connected to each other by the first connecting portion 35.

한편, 원기판(1)이 해당 스크라이브 라인을 따라 절단되어 3개의 중간단계기판(5)으로 형성되기 위해서는 원기판(1)을 절단하는 수단이 필요하다. 이는 제1브레이킹부(23)가 담당한다. 제1브레이킹부(23)는 제1스크라이빙부(21)의 후방에 위치해도 좋으나, 본 실시예의 경우 제1스크라이빙부(21)의 전방에 위치하고 있다.On the other hand, in order for the base substrate 1 to be cut along the scribe line and formed into three intermediate step substrates 5, a means for cutting the base substrate 1 is required. The first breaking part 23 is in charge of this. The first breaking part 23 may be located behind the first scribing part 21, but in the present exemplary embodiment, the first breaking part 23 is located in front of the first scribing part 21.

제1브레이킹부(23)는 제1스크라이빙부(21)에 의해 그 상판(1a) 및 하판(1b)에 각각 제1라인 X축 방향의 상부 및 하부 스크라이브 라인이 형성될 위치의 원기판(1)을 가열 후 해당 스크라이브 라인을 따라 스크라이브 라인의 형성과 동시에 냉각 공기를 분사하여 원기판(1)을 절단하는 역할을 한다.The first breaking portion 23 is formed by the first scribing portion 21 on the upper plate 1a and the lower plate 1b, respectively, where the upper and lower scribe lines in the X-axis direction of the first line are to be formed ( After heating 1), the scribe line is formed along the corresponding scribe line and serves to cut the substrate 1 by spraying cooling air.

참고로, 스크라이브 라인을 따라 원기판(1)을 절단하기 위해서는 스크라이브 라인 영역으로 압력을 가하거나 혹은 스크라이브 라인이 형성된 부분을 가열한 다음 급속히 냉각하는 방식을 통하여 취성 재료의 열응력을 이용하여 원기판(1)을 절단해야 한다.For reference, in order to cut the substrate 1 along the scribe line, pressure is applied to the scribe line region, or a portion of the substrate is formed by using a thermal stress of the brittle material by heating and rapidly cooling a portion where the scribe line is formed. (1) must be cut.

따라서 원기판(1)에 압력을 가하거나 혹은 원기판(1)을 가열 및 냉각하는 수단이 요구되는데, 이에 대한 역할을 제1브레이킹부(23)가 담당하고 있는 것이다. 본 실시예에서는 제1브레이킹부(23)가 원기판(1)을 가열 및 냉각하는 방식을 이용하여 취성 재료의 열응력을 이용하여 원기판(1)을 절단하고 있지만, 전자의 압력 가압 방식을 적용하여도 좋다. 이러한 경우라면 제1브레이킹부(23) 대신 압축공기 분사부를 설치하면 된다.Therefore, a means for applying pressure to the base plate 1 or for heating and cooling the base plate 1 is required, and the first breaking part 23 is responsible for this. In the present embodiment, the first breaking part 23 cuts the base plate 1 by using the thermal stress of the brittle material by the method of heating and cooling the base plate 1, You may apply. In this case, the compressed air injection unit may be installed instead of the first breaking unit 23.

이에 따라, 제1절단모듈(20) 영역으로 향한 원기판(1)은 도 5와 같은 동작이 진행되는 제1스크라이빙부(21)와 제1브레이킹부(23)의 상호 동작에 기초하여, 3개의 중간단계기판(5)으로 절단 형성될 수 있게 된다. 이러한 과정에서, 더미기판(3a,3b)과 엔드(End) 더미부가 발생하는데, 이는 낙하하여 후술하는 바와 같이, 배출부(70a)로 배출된다.Accordingly, the substrate 1 facing the area of the first cutting module 20 is based on the mutual operation of the first scribing unit 21 and the first breaking unit 23 in which the operation as shown in FIG. 5 proceeds. It can be cut into three intermediate stage substrate (5). In this process, dummy substrates 3a and 3b and end dummy parts are generated, which fall and are discharged to the discharge part 70a as described below.

제1절단모듈(20)에 의해 절단된 3개의 중간단계기판(5)은 제3벨트 컨베이어(10c) 상에 위치하는데, 이는 그 후방의 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 하나씩 전달되어야 한다. 따라서 제3벨트 컨베이어(10c) 상에 위치하는 3개의 중간단계기판(5)을 하나씩 그에 해당하는 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 전달하는 역할이 요구되는데, 이는 전달부(40)가 담당한다.The three intermediate stage substrates 5 cut by the first cutting module 20 are located on the third belt conveyor 10c, one by one to the fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e at the rear thereof. Must be communicated. Therefore, it is required to transfer the three intermediate stage substrates 5 located on the third belt conveyor 10c to the corresponding fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e one by one, which is a transmission unit 40. ) Is in charge.

전달부(40)는, 제1작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어(10a~10c)들의 양측에 배치되되 교차영역에 걸치도록 마련되는 한 쌍의 제1레일부(41)와, 양단이 한 쌍의 제1레일부(41)에 각각 결합되어 제1레일부(41)를 따라 이동가능한 이동바아(43)와, 이동바아(43)의 길이방향을 따라 이동가능하도록 이동바아(43)에 결합되어 중간단계기판(5)을 하나씩 파지하여 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 하나씩 전달하는 파지헤드(45)를 구비한다.The transmission part 40 includes a pair of first rail parts 41 disposed on both sides of the belt conveyors 10a to 10c forming the first work line and provided to span the cross region, and a pair of both ends thereof. Coupled to the first rail portion 41, the movable bar 43 is movable along the first rail portion 41, and coupled to the movable bar 43 to be movable along the longitudinal direction of the movable bar 43. It is provided with a holding head 45 for holding the intermediate stage substrate (5) one by one to transfer to the fourth and fifth belt conveyor (10d, 10e) one by one.

이 때, 파지헤드(45)는 이동바아(43)를 따라 직선운동하면서, 제3벨트 컨베이어(10c) 상에 위치하는 3개의 중간단계기판(5)을 하나씩 파지하여 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 옮긴다. 결국, 전달부(40)에 의해 제3벨트 컨베이어(10c) 에서 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 옮겨지는 중간단계기판(5)은 직선운동을 하게 된다.At this time, the holding head 45 is a linear movement along the moving bar 43, while holding the three intermediate stage substrate (5) located on the third belt conveyor (10c) one by one to the fourth and fifth belt conveyor Move to (10d, 10e). As a result, the intermediate stage substrate 5 transferred from the third belt conveyor 10c to the fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e by the transfer unit 40 is in a linear motion.

이처럼 중간단계기판(5)이 직선운동을 하면서 해당 위치로 옮겨질 경우, 중간단계기판(5)을 회전시키기 위한 기구물이 갖춰질 필요가 없기 때문에 구조가 간단해질 뿐만 아니라 중간단계기판(5)을 옮기는데 발생가능한 오류를 최대한 저지할 수 있게 된다.As such, when the intermediate stage substrate 5 is moved to a corresponding position while performing a linear movement, the structure is not only simple because the mechanism for rotating the intermediate stage substrate 5 is required, and the intermediate stage substrate 5 is moved. This can prevent as much error as possible.

한편, 제2절단모듈(50)은 중간단계기판(5)을 단위기판(5)으로 절단하는 구성이며, 제2작업라인 측에 형성된 제2이격간격(12b) 영역에 설치되어 있다. 이러한 제2절단모듈(50)은 전술한 제1절단모듈(20)과 실질적으로 거의 동일한 구성을 갖는데 이에 대해 설명하도록 한다.On the other hand, the second cutting module 50 is configured to cut the intermediate stage substrate 5 into the unit substrate 5, it is provided in the second spacing interval (12b) region formed on the second work line side. The second cutting module 50 has substantially the same configuration as the above-described first cutting module 20 will be described.

제2절단모듈(50)은, 제2이격간격(12b)에서 중간단계기판(5)의 상하면에 제2라인 X축 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙부(51, 도 6 참조)와, 제2스크라이빙부(51)의 전방에 설치되며, 중간단계기판(5)을 가열 및 냉각하여 제2라인 X축 방향의 스크라이브 라인을 따라 중간단계기판(5)을 절단하여 복수의 단위기판(8)으로 형성하는 제2브레이킹부(53)를 구비한다.The second cutting module 50 may refer to the second scribing unit 51 (see FIG. 6) which forms a scribe line along the X-axis direction of the second line on the upper and lower surfaces of the intermediate stage substrate 5 at the second separation interval 12b. And the second scribing unit 51, and the intermediate stage substrate 5 is heated and cooled to cut the intermediate stage substrate 5 along the scribe line in the X-axis direction of the second line. A second breaking part 53 formed of the unit substrate 8 is provided.

제2스크라이빙부(51)는, 다시, 제2이격간격(12b)에서 해당 벨트 컨베이어(12d~12g)들의 상부영역에 마련되어 중간단계기판(5)의 상판(미도시)에 제2라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 형성하는 제2상부 스크라이빙부(55)와, 제2이격간격(12b)에서 해당 벨트 컨베이어(12d~12g)들의 하부영역에 마련되어 중간단계기판(5)의 하판(미도시)에 제2라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 형성하는 제2하부 스크라이빙부(58)를 포함한다.The second scribing unit 51 is again provided in the upper region of the belt conveyors 12d to 12g at the second spacing 12b and on the upper plate (not shown) of the intermediate stage substrate 5. The second upper scribing portion 55 forming the upper scribe line in the axial direction, and the lower plate of the intermediate step substrate 5 is provided in the lower region of the belt conveyors 12d to 12g at the second spacing 12b. And a second lower scribing unit 58 forming a lower scribe line in the X-axis direction of the second line.

우선, 제2상부 스크라이빙부(55)는, 제1라인 X축 방향을 따라 고정된 제2상부 가로축(56)과, 제2상부 가로축(56)의 일측에 결합된 복수개의 제2상부 스크라이버(57, Scriber)를 구비한다.First, the second upper scribing unit 55 includes a second upper horizontal axis 56 fixed along the X-axis direction of the first line, and a plurality of second upper scrabs coupled to one side of the second upper horizontal axis 56. A driver 57 (Scriber) is provided.

제2상부 스크라이빙부(55)에 근접하게 위치한 해당 벨트 컨베이어(12d~12g)들이 제2라인 Y축 방향으로 이동될 수 있는데 반해, 제2상부 가로축(56)은 해당 위치에서 고정되고 제2상부 가로축(56)에 결합된 제2상부 스크라이버(57)만이 이동된다.Corresponding belt conveyors 12d-12g positioned close to the second upper scribing portion 55 can be moved in the direction of the second line Y axis, whereas the second upper horizontal axis 56 is fixed at the corresponding position and the second Only the second upper scriber 57 coupled to the upper horizontal axis 56 is moved.

이러한 제2상부 가로축(56)의 타측에는 제2라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 관찰하는 제2상부 라인 관찰부(미도시)가 더 마련될 수 있다. 제2상부 라인 관찰부에 의해 관찰된 영상에 기초한 제어를 통해서 제2상부 가로축(56) 상의 제2상부 스크라이버(57)의 위치가 결정될 수 있다.A second upper line observer (not shown) for observing the upper scribe line in the X-axis direction of the second line may be further provided on the other side of the second upper horizontal axis 56. The position of the second upper scriber 57 on the second upper horizontal axis 56 may be determined through control based on the image observed by the second upper line observer.

제2상부 스크라이버(57)는 제2상부 가로축(56)에 결합된 제2상부 홀더(57a)와, 해당 벨트 컨베이어(12d~12g)들에 지지되어 이동하는 중간단계기판(5)의 상판에 제2라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 형성하는 제2상부 커터(57b)를 구비한다. 이 때, 제2상부 홀더(57a)는 제2상부 가로축(56)에서 상대적으로 이동가능하게 결합된다.The second upper scriber 57 is a second upper holder 57a coupled to the second upper horizontal axis 56 and an upper plate of the intermediate step substrate 5 supported and moved by the belt conveyors 12d to 12g. The second upper cutter 57b which forms the upper scribe line of a 2nd line X-axis direction at the back is provided. At this time, the second upper holder 57a is relatively movable on the second upper horizontal axis 56.

다음으로, 제2하부 스크라이빙부(58)는, 제2상부 가로축(29)의 하부에 위치하고 제2라인 X축 방향을 따라 고정된 제2하부 가로축(59)과, 제2하부 가로축(59)의 일측에 결합된 복수개의 제2하부 스크라이버(60, Scriber)를 구비한다.Next, the second lower scribing unit 58 includes a second lower horizontal axis 59 positioned below the second upper horizontal axis 29 and fixed along the X-axis direction of the second line, and a second lower horizontal axis 59. A plurality of second lower scribers (60, Scriber) coupled to one side of the) is provided.

제2하부 스크라이빙부(58)에 근접하게 위치한 해당 벨트 컨베이어(12d~12g)들이 제2라인 Y축 방향으로 이동될 수 있는데 반해, 제2하부 가로축(59)은 해당 위치에서 고정되고 제2하부 가로축(59)에 결합된 제2하부 스크라이버(60)만이 X축 방향으로 이동된다.Corresponding belt conveyors 12d-12g located in close proximity to the second lower scribing portion 58 can be moved in the direction of the second line Y axis, whereas the second lower horizontal axis 59 is fixed at that position and the second Only the second lower scriber 60 coupled to the lower horizontal axis 59 is moved in the X-axis direction.

이러한 제2하부 가로축(59)의 타측에는 제2라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 관찰하는 제2하부 라인 관찰부(미도시)가 더 마련될 수 있다. 제2하부 라인 관찰부에 의해 관찰된 영하에 기초한 제어를 통해서 제2하부 가로축(59) 상의 제2하부 스크라이버(60)의 위치가 결정될 수 있다.A second lower line observer (not shown) for observing the lower scribe line in the X-axis direction of the second line may be further provided on the other side of the second lower horizontal axis 59. The position of the second lower scriber 60 on the second lower horizontal axis 59 may be determined through subzero-based control observed by the second lower line observer.

제2하부 스크라이버(60)는 제2하부 가로축(59)에 결합된 제2하부 홀더(60a)와, 해당 벨트 컨베이어(12d~12g)들에 지지되어 이동하는 중간단계기판(5)의 하판에 제2라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 형성하는 제2하부 커터(60b)를 구비한다. 이 때, 제2하부 홀더(60a)는 제2하부 가로축(59)에서 상대적으로 이동가능하게 결합된다.The second lower scriber 60 has a second lower holder 60a coupled to the second lower horizontal axis 59 and a lower plate of the intermediate stage substrate 5 supported and moved by the belt conveyors 12d to 12g. And a second lower cutter 60b for forming a lower scribe line in the second line X-axis direction. At this time, the second lower holder 60a is relatively movable on the second lower horizontal axis 59.

이러한 제2스크라이빙부(51)의 동작에 기초하여, 도 2에 도시된 중간단계기판(5)의 상하판에 제2라인 X축 방향의 상부 및 하부 스크라이브 라인을 형성시키고자 할 경우, 제2상부 및 제2하부 가로축(56,59)에서 위치고정된 제2상부 및 제2하부 스크라이버(57,60)에 대해 해당 벨트 컨베이어(12d~12g)들이 이동되면서 진행된다. 이 때, 제2상부 및 제2하부 가로축(56,59)은 제2연결부(65)에 의해 상호 연결되어 있다.Based on the operation of the second scribing unit 51, to form upper and lower scribe lines in the X-axis direction of the second line on the upper and lower plates of the intermediate step substrate 5 shown in FIG. The belt conveyors 12d to 12g are moved with respect to the second upper and second lower scribers 57 and 60 positioned on the second upper and second lower horizontal axes 56 and 59. At this time, the second upper portion and the second lower horizontal axes 56 and 59 are connected to each other by the second connecting portion 65.

한편, 중간단계기판(5)들이 해당 스크라이브 라인을 따라 절단되어 복수의 단위기판(8)으로 형성되기 위해서는 중간단계기판(5)을 절단하는 수단이 필요하다. 이는 제2브레이킹부(53)가 담당한다. 제2브레이킹부(53)는 제2스크라이빙부(51)의 후방에 위치해도 좋으나, 본 실시예의 경우 제2스크라이빙부(51)의 전방에 위치하고 있다. 이러한 제2브레이킹부(53)의 동작은 앞서 설명한 제1브레이킹부(23)와 동일하므로 제1브레이킹부(23)의 설명을 참조하기로 한다.Meanwhile, in order to form the plurality of unit substrates 8 by cutting the intermediate stage substrates 5 along the corresponding scribe lines, a means for cutting the intermediate stage substrate 5 is required. The second breaking unit 53 is in charge of this. The second breaking unit 53 may be located behind the second scribing unit 51, but in the present embodiment, is located in front of the second scribing unit 51. Since the operation of the second breaking unit 53 is the same as the first breaking unit 23 described above, the description of the first breaking unit 23 will be referred to.

이에 따라, 제2절단모듈(50) 영역으로 향한 중간단계기판(5)은 도 6과 같은 동작이 진행되는 제2스크라이빙부(51)와 제2브레이킹부(53)의 상호 동작에 기초하여, 복수의 단위기판(8)으로 절단 형성될 수 있게 된다. 즉, 본 실시예의 경우, 하나의 중간단계기판(5)에서 총 4개의 단위기판(8)이 절단 형성된다. 이러한 과정에서, 더미기판(3c,3d)과 엔드(End) 더미부가 발생하는데, 이는 낙하하여 후술하는 바와 같이, 배출부(70b)로 배출된다.Accordingly, the intermediate stage substrate 5 facing the region of the second cutting module 50 is based on the mutual operation of the second scribing unit 51 and the second breaking unit 53, which are operated as shown in FIG. 6. It is possible to cut and form a plurality of unit substrates (8). That is, in the present embodiment, a total of four unit substrates 8 are cut off from one intermediate stage substrate 5. In this process, dummy substrates 3c and 3d and end dummy parts are generated, which fall and are discharged to the discharge part 70b as described below.

한편, 앞서 기술한 제1절단모듈(20) 영역에서 원기판(1)으로부터 잘린 더미기판(3a,3b) 및 엔드(End) 더미부, 그리고 제2절단모듈(50) 영역에서 중간단계기판(5)으로부터 잘린 더미기판(3c,3d)과 엔드(End) 더미부는 자중, 혹은 별도의 제거 수단 등에 의해 하방으로 낙하하게 된다. 이렇게 낙하하는 더미기판(3a~3d)들과 엔드(End) 더미부가 흩어지지 않고 한 곳으로 배출될 수 있도록 배출부(70a,70b)가 마련된다.Meanwhile, the dummy substrates 3a and 3b and the end dummy parts cut from the original substrate 1 in the above-described first cutting module 20 region, and the intermediate step substrate (in the second cutting module 50 region). The dummy substrates 3c and 3d and the end dummy portions cut from 5) fall downward by their own weight or by separate removal means or the like. The dropping substrates 70a and 70b are provided to be discharged to one place without scattering the dummy substrates 3a to 3d and the end dummy part.

본 실시예에서, 배출부(70a,70b)는 앞서도 기술한 바와 같이, 제1 및 제2절단모듈(20,50)의 하부영역에 각각 마련되어 해당 위치에서 낙하하는 더미기판(3a~3d)들과 엔드(End) 더미부를 배출시킨다. 낙하하는 더미기판(3a~3d)들과 엔 드(End) 더미부가 흩어지지 않도록 배출부(70a,70b)는 그 입구가 크고 후단으로 갈수록 부피가 점진적으로 작아지는 호퍼 형상을 이룬다.In the present embodiment, as described above, the discharge parts 70a and 70b are provided in the lower regions of the first and second cutting modules 20 and 50, respectively, and the dummy substrates 3a to 3d falling at the corresponding positions. And end dummy. The discharge parts 70a and 70b form a hopper shape in which the inlet part is large and the volume gradually decreases toward the rear end so that the dummy substrates 3a to 3d and the end dummy part are not scattered.

이러한 배출부(70a,70b)는 그 효율을 위해, 제1 및 제2절단모듈(20,50)에 대해 접근 및 이격 가능하게 마련된다. 이러한 구조는 실린더나, 혹은 모터와 볼스크루 등의 조합에 의해 쉽게 구현할 수 있다.These discharge parts 70a and 70b are provided to be accessible and spaced apart from the first and second cutting modules 20 and 50 for their efficiency. Such a structure can be easily realized by a cylinder or a combination of a motor and a ball screw.

또한 잘려 나간 더미기판(3a~3d)들과 엔드(End) 더미부는 모두가 일정한 길이와 면적을 가지므로 잘게 부셔서 재사용하기 위해, 배출부(70a,70b)들에는 더미기판(3a~3d)들과 엔드(End) 더미부를 파쇄하는 파쇄부(72a,72b)가 더 마련될 수 있다.In addition, since the dummy boards 3a to 3d and the end dummy parts which are cut out have a certain length and an area, the dummy boards 3a to 3d are disposed on the discharge parts 70a and 70b to be crushed and reused. Crushing parts 72a and 72b may be further provided to crush the piles and the end dummy parts.

제6 및 제7벨트 컨베이어(10f,10g)의 후방에는, 각각 제6 및 제7벨트 컨베이어(10f,10g)와 동일한 라인을 이루는 트랜스 컨베이어(84)가 마련되어 있으며, 트랜스 컨베이어(84)의 주변에는 분배기(80)가 구비되어 있다.At the rear of the sixth and seventh belt conveyors 10f and 10g, a transformer conveyor 84 forming the same line as the sixth and seventh belt conveyors 10f and 10g, respectively, is provided. The distributor 80 is provided.

분배기(80)는 절단작업이 완료된 복수의 단위기판(8)들을 트랜스 컨베이어(84)에 하나씩 대응되게 분배하는 역할을 한다. 즉, 최종적으로 생산되는 단위기판(8)들은 후공정에서 하나씩 개별적으로 관리되기 때문에, 분배기(80)가 제6 및 제7벨트 컨베이어(10f,10g)에 놓인 단위기판(8)을 트랜스 컨베이어(84)에 하나씩 옮겨놓는 역할을 한다.The dispenser 80 distributes the plurality of unit substrates 8, each of which has been cut, to the trans conveyor 84 one by one. That is, since the unit substrates 8 finally produced are individually managed one by one in a later process, the distributor unit 80 transfers the unit substrates 8 placed on the sixth and seventh belt conveyors 10f and 10g. 84) one by one.

이러한 분배기(80)는, 트랜스 컨베이어(84)의 양측에 제2작업라인을 따라 배치된 한 쌍의 제2레일부(81)와, 한 쌍의 제2레일부(81)를 따라 이동가능하고, 한 쌍의 제2레일부(81)에 대해 상대 회전가능하도록 한 쌍의 제2레일부(81)에 각각 결 합되어 절단작업이 완료된 단위기판(8)들 흡착하는 분배헤드(82)를 포함한다.The distributor 80 is movable along a pair of second rail portions 81 and a pair of second rail portions 81 disposed along the second work line on both sides of the trans conveyor 84. And a distribution head 82 which is coupled to the pair of second rail portions 81 so as to be relatively rotatable with respect to the pair of second rail portions 81 and adsorbs the unit substrates 8 which have been cut. Include.

만일, 본 실시예의 절단 시스템에, 하나의 트랜스 컨베이어(84)가 구비된다면, 분배기(80)의 분배헤드(82) 역시 한 개 마련되면 족하다. 하지만, 본 실시예의 경우에는 생산성 향상을 위해, 2개의 트랜스 컨베이어(84)를 마련하고 있으므로, 분배헤드(82) 역시, 두 개 마련된다. 이들의 개수는 설계상 조정될 수 있다.If the cutting system of this embodiment is provided with one trans conveyor 84, it is sufficient that one distribution head 82 of the distributor 80 is also provided. However, in the case of this embodiment, since two trans conveyors 84 are provided for productivity improvement, two distribution heads 82 are also provided. Their number can be adjusted by design.

한편, 애초에, 원기판(1)은 티에프티(TFT, Thin Film Transistor)인 상판(1a)이 상측을 향하고, 칼라 필터(CF, Color Filter)인 하판(1b)이 하측을 향하도록 배치된 상태에서 3개의 중간단계기판(5)으로 절단된 후에 단위기판(8)으로 형성되었기 때문에, 최종적으로 트랜스 컨베이어(84)에 놓인 단위기판(8)들을 보면, 칼라 필터(CF, Color Filter)인 상판(8a)이 하측을 향하고, 티에프티(TFT, Thin Film Transistor)인 하판(8b)이 상측을 향한다.On the other hand, in the beginning, the base plate 1 is a state in which the top plate 1a, which is a TFT (thin film transistor), is disposed upward, and the bottom plate 1b, which is a color filter CF, is downward. Since it was formed into a unit substrate 8 after being cut into three intermediate stage substrates 5, the unit substrates 8 finally placed on the trans conveyor 84, a top plate which is a color filter (CF) 8a faces downward, and a lower plate 8b, which is a TFT (thin film transistor), faces upward.

하지만, 공정 관리를 위해, 최종적으로 생산되는 단위기판(8)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 칼라 필터(CF, Color Filter)인 상판(8a)이 상측을 향하고, 티에프티(TFT, Thin Film Transistor)인 하판(8b)이 하측을 향해야 한다.However, for the process control, the unit substrate 8 finally produced, as shown in Figure 1, the top plate 8a, which is a color filter (CF, Color Filter) is facing upward, TFT, Thin (TFT, Thin) The lower plate 8b, which is a film transistor, should face downward.

이를 위해, 트랜스 컨베이어(84)의 후방에는 단위기판(8)의 상하면 위치를 반전시키는 반전기(85)가 더 마련된다.To this end, a reverser 85 is further provided at the rear of the trans conveyor 84 to reverse the upper and lower positions of the unit substrate 8.

반전기(85)는 반전축(86)과, 반전축(86)을 기초로 반전가능하고, 단위기판(8)이 내부로 삽입될 수 있도록 단위기판(8)의 상하면을 흡착하는 한 쌍의 리버스 컨베이어(87, Reverse Conveyor)를 구비한다.The inverter 85 is inverted based on the inverted shaft 86 and the inverted shaft 86, and a pair of upper and lower surfaces of the unit substrate 8 so that the unit substrate 8 can be inserted therein. Reverse Conveyor (87) is provided.

이에, 트랜스 컨베이어(84)에 놓인 단위기판(8)이 한 쌍의 리버스 컨베이 어(87)들 사이에 삽입된 후, 한 쌍의 리버스 컨베이어(87)들이 반전축(86)을 축으로 하여 180도 반전되면 단위기판(8)은 그 상하면 위치가 쉽게 바뀔 수 있게 된다. 즉, 원하는 바와 같이, 단위기판(8)은 칼라 필터(CF, Color Filter)인 상판(8a)이 상측을 향하고, 티에프티(TFT, Thin Film Transistor)인 하판(8b)이 하측을 향하도록 배치된다.Accordingly, after the unit substrate 8 placed on the trans conveyor 84 is inserted between the pair of reverse conveyors 87, the pair of reverse conveyors 87 are rotated 180 on the inverted shaft 86. If it is also reversed, the position of the unit substrate 8 can be easily changed. That is, as desired, the unit substrate 8 is disposed so that the top plate 8a, which is a color filter CF, faces upward, and the bottom plate 8b, TFT, which is a thin film transistor, faces downward. do.

이러한 반전기(85)의 후방에는 반전기(85)를 통해 상하면의 위치가 반전된 최종의 단위기판(8)이 로딩되어 후공정으로 취출되는 취출 컨베이어(90)가 마련되어 있다. 취출 컨베이어(90) 역시, 트랜스 컨베이어(84)와 동일한 축선 상에, 같은 개수로 마련된다.At the rear of the inverter 85 is provided a take-out conveyor 90 in which the final unit substrate 8 whose top and bottom positions are reversed through the inverter 85 is loaded and taken out in a later process. The take-out conveyor 90 is also provided in the same number on the same axis as the transformer conveyor 84.

이러한 구성을 갖는 기판 절단시스템을 이용하여 원기판(1)을 3개의 중간단계기판(5)으로 절단한 후, 이어서 총 12개의 단위기판(8)으로 절단 형성시키는 방법에 대해 도 3 및 도 4, 그리고 도 7을 참조하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.A method of cutting the original substrate 1 into three intermediate stage substrates 5 using a substrate cutting system having such a configuration, and then cutting and forming the total 12 unit substrates 8 into FIGS. 3 and 4. And briefly described with reference to Figure 7 as follows.

우선, 원기판(1)이 제1벨트 컨베이어로(10a)로 반입되면(S11), 제1벨트 컨베이어로(10a)의 이동에 의해, 원기판(1)은 제2 및 제3벨트 컨베이어로(10b,10c)로 향한다. 그런 연후에, 제2 및 제3벨트 컨베이어로(10b,10c) 사이의 이격간격(12a)에 위치한 제1절단모듈(20)에 의해 원기판(1)의 상판(1a) 및 하판(1b)에는 각각 제1라인 X축 방향의 상부 및 하부 스크라이브 라인이 형성되어 절단된다(S12).First, when the base plate 1 is carried in the 1st belt conveyor path 10a (S11), by the movement of the 1st belt conveyor path 10a, the base board 1 is moved to the 2nd and 3rd belt conveyor. Head to 10b and 10c. After that, the upper plate 1a and the lower plate 1b of the base plate 1 by the first cutting module 20 positioned at the separation interval 12a between the second and third belt conveyor paths 10b and 10c. The upper and lower scribe lines in the X-axis direction of the first line are formed and cut at S12.

즉, 제1절단모듈(20) 영역으로 향한 원기판(1)은 도 5와 같은 동작이 진행되는 제1스크라이빙부(21)와, 제1브레이킹부(23)의 상호 동작에 기초하여, 3개의 중간단계기판(5)으로 절단 형성될 수 있게 된다. 이러한 과정에서, 더미기판(3a,3b) 과 엔드(End) 더미부가 발생하는데, 이는 낙하하여 배출부(70a)로 배출된다.That is, the substrate 1 facing the area of the first cutting module 20 is based on the mutual operation of the first scribing unit 21 and the first breaking unit 23 in which the operation as shown in FIG. 5 proceeds. It can be cut into three intermediate stage substrate (5). In this process, the dummy substrates 3a and 3b and the end dummy part are generated, which falls and is discharged to the discharge part 70a.

다음, 제3벨트 컨베이어(10c) 상에 놓인 3개의 중간단계기판(5)은 전달부(40)에 의해 하나씩 파지된 후, 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 전달된다(S13). 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 전달된 중간단계기판(5)의 길이방향은 제2라인 Y축 방향이다.Next, the three intermediate stage substrates 5 placed on the third belt conveyor 10c are gripped by the transfer unit 40 one by one, and then transferred to the fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e (S13). ). The longitudinal direction of the intermediate stage substrate 5 transferred to the fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e is the second line Y-axis direction.

중간단계기판(5)이 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 전달된 후, 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)를 따라 제2절단모듈(50)로 향하면, 제2절단모듈(50)의 동작에 의해 중간단계기판(5)의 상하판에는 각각 제2라인 X축 방향의 상부 및 하부 스크라이브 라인이 형성되어 절단된다(S14).After the intermediate stage substrate 5 is transferred to the fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e, the intermediate stage substrate 5 is directed toward the second cutting module 50 along the fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e. The upper and lower scribe lines in the X-axis direction of the second line are formed on the upper and lower plates of the intermediate step substrate 5 by the operation of the cutting module 50, and are cut (S14).

즉, 제2절단모듈(50) 영역으로 향한 중간단계기판(5)은 도 6과 같은 동작이 진행되는 제2스크라이빙부(51)와, 제2브레이킹부(53)의 상호 동작에 기초하여, 각각 복수개의 단위기판(8)으로 절단 형성될 수 있게 된다. 이러한 과정에서, 더미기판(3c,3d)과 엔드(End) 더미부가 발생하는데, 이는 낙하하여 배출부(70b)로 배출된다.That is, the intermediate stage substrate 5 facing the region of the second cutting module 50 may be based on the mutual operation of the second scribing unit 51 and the second breaking unit 53, which are operated as shown in FIG. 6. Each of the plurality of unit substrates 8 may be cut and formed. In this process, the dummy substrates 3c and 3d and the end dummy part are generated, which falls and is discharged to the discharge part 70b.

그런 다음, 제2절단모듈(50)에 의해 단위기판(8)으로 절단 형성되어 제6 및 제7벨트 컨베이어(10f,10g)에 놓인 단위기판(8)은 각각 트랜스 컨베이어(84)로 옮겨진다. 이후, 트랜스 컨베이어(84)에 놓인 단위기판(8)이 한 쌍의 리버스 컨베이어(87)들 사이에 삽입되고, 이어서 한 쌍의 리버스 컨베이어(87)들이 반전축(86)을 축으로 하여 180도 반전됨으로써, 단위기판(8)은 그 상하면의 위치가 바뀌게 된다(S15).Then, the unit substrate 8 cut and formed into the unit substrate 8 by the second cutting module 50 and placed on the sixth and seventh belt conveyors 10f and 10g is transferred to the trans conveyor 84, respectively. . Thereafter, the unit substrate 8 placed on the trans conveyor 84 is inserted between the pair of reverse conveyors 87, and then the pair of reverse conveyors 87 are rotated 180 degrees around the inversion shaft 86. By reversing, the position of the upper and lower surfaces of the unit substrate 8 is changed (S15).

이처럼 반전기(85)를 통해 상하면의 위치가 반전된 최종의 단위기판(8)이 취출 컨베이어(90)에 로딩된 상태로 후공정으로 취출될 수 있게 된다(S16).Thus, the final unit substrate 8 having the upper and lower positions reversed through the inverter 85 may be taken out in a post process while being loaded on the takeout conveyor 90 (S16).

이와 같이, 본 실시예에 의하면, IC 드라이버 등이 실장될 단위기판(8)의 패드 부분(P)이 손상되는 것을 저지하면서도 원기판(1)에 대한 절단작업을 인라인화(In-Line)화 할 수 있어 택트 타임(Tact Time)을 줄일 수 있으며, 나아가 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.As described above, according to the present embodiment, the cutting operation on the original substrate 1 is inlined while preventing the pad portion P of the unit substrate 8 on which the IC driver or the like is mounted from being damaged. This can reduce the tact time and further increase productivity.

전술한 실시예에서는 하나의 원기판(1)을 3개의 중간단계기판(5)으로 절단 형성한 후, 다시 3개의 중간단계기판(5)들을 각각 4개씩 절단하여 총 12개의 단위기판(8)을 형성하는 것에 관해 설명하였다. 하지만, 이의 개수는 하나의 실시예에 불과한 바, 원기판(1)으로부터 절단 형성되는 중간단계기판(5)의 개수, 그리고 중간단계기판(5)으로부터 절단 형성되는 단위기판(8)들의 개수는 설계상 적절하게 조절될 수 있는 것이다.In the above-described embodiment, a single substrate 1 is cut into three intermediate stage substrates 5, and then three intermediate stage substrates 5 are cut into four, respectively, for a total of 12 unit substrates 8. It was described to form a. However, the number thereof is only one embodiment, and the number of intermediate stage substrates 5 formed from the base substrate 1 and the number of unit substrates 8 formed from the intermediate stage substrate 5 are It can be properly adjusted in design.

전술한 실시예에서는, 제1절단모듈(20)이 원기판(1)을 제1라인 X축 방향으로 절단하고 있지만, 제1절단모듈(20)이 원기판(1)을 제1라인 Y축 방향으로 절단할 수도 있다. 이러한 경우라면, 전달부(40)가 원기판(1)에서 중간단계기판(미도시)을 파지한 상태에서 회전하여 제4 및 제5벨트 컨베이어(10d,10e)로 옮기면 된다.In the above-described embodiment, although the first cutting module 20 cuts the substrate 1 in the first line X-axis direction, the first cutting module 20 cuts the substrate 1 in the first line Y-axis. You can also cut in the direction. In this case, the transfer unit 40 may be rotated while holding the intermediate stage substrate (not shown) in the base plate 1 and transferred to the fourth and fifth belt conveyors 10d and 10e.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, IC 드라이버 등이 실장될 기판의 패드 부분(Pad Portion)이 손상되는 것을 저지하면서도 기판에 대한 절단작업을 인라인화(In-Line)화 할 수 있어 택트 타임(Tact Time)을 줄일 수 있으며, 나아가 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the cutting operation on the substrate can be in-lined while preventing the pad portion of the substrate on which the IC driver or the like is mounted from being damaged. Tact time can be reduced and productivity can be improved further.

Claims (29)

상판과 하판이 합착되어 형성된 원기판에 대한 절단작업이 진행되되, 적어도 일 영역에서 상호 교차되어 각각 제1작업라인 및 제2작업라인을 형성하는 복수의 컨베이어(Conveyor);A plurality of conveyors for cutting the original substrate formed by bonding the upper plate and the lower plate to each other, wherein at least one area crosses each other to form a first work line and a second work line; 상기 제1작업라인을 형성하는 컨베이어 영역에 마련되며, 상기 제1작업라인과 나란한 제1라인 Y축 방향 및 상기 제1작업라인에 가로로 형성되는 제1라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 상기 원기판의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 중간단계기판으로 형성하는 제1절단모듈;It is provided in the conveyor area to form the first work line, along the direction of any one of the first line Y-axis direction parallel to the first work line and the first line X-axis direction formed horizontally on the first work line A first cutting module which forms a plurality of intermediate step substrates by forming and cutting predetermined scribe lines on upper and lower surfaces of the original substrate; 상기 제2작업라인을 형성하는 컨베이어 영역에 마련되며, 상기 제2작업라인과 나란한 제2라인 Y축 방향 및 상기 제2작업라인에 가로로 형성되는 제2라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 상기 중간단계기판들의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 단위기판으로 형성하는 제2절단모듈; 및A second line Y-axis direction parallel to the second work line and a second line X-axis direction formed horizontally on the second work line; A second cutting module which forms a plurality of unit substrates by forming and cutting a predetermined scribe line on upper and lower surfaces of the intermediate stage substrates; And 상기 복수의 컨베이어가 상호 교차하는 교차영역에 마련되어, 상기 복수의 중간단계기판을 상기 제2작업라인을 형성하는 컨베이어 영역으로 전달하는 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a transfer unit provided at an intersection area where the plurality of conveyors cross each other, and transferring the plurality of intermediate step substrates to a conveyor area forming the second work line. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컨베이어는 벨트 컨베이어(Belt Conveyor)이며,The conveyor is a belt conveyor (Belt Conveyor), 상기 제1절단모듈은 상기 제1라인 X축 방향을 따라 상기 원기판을 절단하여 상기 복수의 중간단계기판으로 형성하고, 상기 제2절단모듈은 상기 제2라인 X축 방향을 따라 상기 복수의 중간단계기판을 절단하여 상기 복수의 단위기판으로 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.The first cutting module cuts the substrate along the first line X-axis direction to form the plurality of intermediate step substrates, and the second cutting module includes the plurality of intermediate parts along the second line X-axis direction. Cutting a step substrate to form a plurality of unit substrate substrate cutting system. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 전달부는, 상기 제1작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어 영역에서 절단된 상기 중간단계기판들을 직선운동시켜 상기 제2작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어 영역으로 전달하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.The transfer unit is a substrate cutting system, characterized in that for transferring the intermediate step substrate cut in the belt conveyor area forming the first work line to the belt conveyor area forming the second work line by linear movement. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1절단모듈은,The first cutting module, 상기 제1작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어 영역에 형성된 제1이격간격에서 상기 원기판의 상하면에 상기 제1라인 X축 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이빙부; 및A first scribing unit for forming a scribe line along the X-axis direction of the first line on the upper and lower surfaces of the substrate at first intervals formed in the belt conveyor area forming the first work line; And 상기 제1스크라이빙부에 인접하게 설치되며, 상기 원기판을 가열 및 냉각하여 상기 제1라인 X축 방향의 스크라이브 라인을 따라 상기 원기판을 절단하여 상기 복수의 중간단계기판으로 형성하는 제1브레이킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.A first breaker disposed adjacent to the first scribing unit, the first breaker forming the plurality of intermediate step substrates by cutting the substrate along a scribe line in the X-axis direction by heating and cooling the substrate; Substrate cutting system comprising a portion. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제1스크라이빙부는,The first scribe unit, 상기 제1이격간격에서 상기 벨트 컨베이어의 상부영역에 마련되어 상기 원기판의 상판에 상기 제1라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 형성하는 제1상부 스크라이빙부; 및A first upper scribing unit provided in the upper region of the belt conveyor at the first interval to form an upper scribe line in the X-axis direction of the first line on the upper plate of the base substrate; And 상기 제1이격간격에서 상기 벨트 컨베이어의 하부영역에 마련되어 상기 원기판의 하판에 상기 제1라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 형성하는 제1하부 스크라이빙부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a first lower scribing unit provided in the lower region of the belt conveyor at the first interval to form a lower scribe line in the X-axis direction of the first line on the lower plate of the original substrate. . 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1상부 스크라이빙부는,The first upper scribing unit, 상기 제1라인 X축 방향을 따라 고정된 제1상부 가로축; 및A first upper horizontal axis fixed along the X-axis direction of the first line; And 상기 제1상부 가로축의 일측에 결합되고, 상기 벨트 컨베이어에 지지되어 이동하는 상기 원기판의 상판에 상기 상부 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제1상부 가로축에서 상대적으로 이동가능한 적어도 하나의 제1상부 스크라이버(Scriber)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.At least one first upper screed coupled to one side of the first upper horizontal axis, the upper scribe line being formed on an upper plate of the base plate supported and moving on the belt conveyor, and relatively movable on the first upper horizontal axis Substrate cutting system comprising a driver (Scriber). 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제1하부 스크라이빙부는,The first lower scribing unit, 상기 제1상부 가로축의 하부에 위치하고, 상기 제1라인 X축 방향을 따라 고정된 제1하부 가로축; 및A first lower horizontal axis positioned below the first upper horizontal axis and fixed along an X-axis direction of the first line; And 상기 제1하부 가로축의 일측에 결합되고, 상기 벨트 컨베이어에 지지되어 이동하는 상기 원기판의 하판에 상기 하부 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제1하부 가로축에서 상대적으로 이동가능한 적어도 하나의 제1하부 스크라이버(Scriber)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.At least one first lower screen coupled to one side of the first lower horizontal axis, the lower scribe line being formed on a lower plate of the base plate supported and moving on the belt conveyor, and relatively movable on the first lower horizontal axis. Substrate cutting system comprising a driver (Scriber). 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1상부 및 제1하부 가로축은 소정의 제1연결부에 의해 상호 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And the first upper portion and the first lower horizontal axis are interconnected by a predetermined first connection portion. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제2절단모듈은,The second cutting module, 상기 제2작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어 영역에 형성된 제2이격간격에서 상기 중간단계기판의 상하면에 상기 제2라인 X축 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙부; 및A second scribing unit forming a scribe line along the X-axis direction of the second line on the upper and lower surfaces of the intermediate step substrate at second intervals formed in the belt conveyor region forming the second work line; And 상기 제2스크라이빙부에 인접하게 설치되며, 상기 중간단계기판을 가열 및 냉각하여 상기 제2라인 X축 방향의 스크라이브 라인을 따라 상기 중간단계기판을 절단하여 상기 복수의 단위기판으로 형성하는 제2브레이킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.A second substrate disposed adjacent to the second scribing unit, the intermediate stage substrate being heated and cooled to cut the intermediate stage substrate along a scribe line in the X-axis direction of the second line to form the plurality of unit substrates; Substrate cutting system comprising a breaking portion. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제2스크라이빙부는,The second scribe unit, 상기 제2이격간격에서 상기 벨트 컨베이어의 상부영역에 마련되어 상기 중간단계기판의 상판에 상기 제2라인 X축 방향의 상부 스크라이브 라인을 형성하는 제2상부 스크라이빙부; 및A second upper scribing unit provided in an upper region of the belt conveyor at the second interval to form an upper scribe line in the X-axis direction of the second line on the upper plate of the intermediate step substrate; And 상기 제2이격간격에서 상기 벨트 컨베이어의 하부영역에 마련되어 상기 중간단계기판의 하판에 상기 제2라인 X축 방향의 하부 스크라이브 라인을 형성하는 제2하부 스크라이빙부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a second lower scribing unit provided in the lower region of the belt conveyor at the second interval to form a lower scribe line in the X-axis direction of the second line on the lower plate of the intermediate stage substrate. system. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 제2상부 스크라이빙부는,The second upper scribing unit, 상기 제2라인 X축 방향을 따라 고정된 제2상부 가로축; 및A second upper horizontal axis fixed along the X-axis direction of the second line; And 상기 제2상부 가로축의 일측에 결합되고, 상기 벨트 컨베이어에 지지되어 이동하는 상기 중간단계기판의 상판에 상기 상부 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제2상부 가로축에서 상대적으로 이동가능한 적어도 하나의 제2상부 스크라이버(Scriber)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.At least one second upper portion coupled to one side of the second upper horizontal axis, the upper scribe line being formed on the upper plate of the intermediate step substrate supported and moving on the belt conveyor, and relatively movable on the second upper horizontal axis Substrate cutting system comprising a scriber (Scriber). 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제2하부 스크라이빙부는,The second lower scribing unit, 상기 제2상부 가로축의 하부에 위치하고, 상기 제2라인 X축 방향을 따라 고정된 제2하부 가로축; 및A second lower horizontal axis positioned below the second upper horizontal axis and fixed along the X-axis direction of the second line; And 상기 제2하부 가로축의 일측에 결합되고, 상기 벨트 컨베이어에 지지되어 이동하는 상기 중간단계기판의 하판에 상기 하부 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제2하부 가로축에서 상대적으로 이동가능한 적어도 하나의 제2하부 스크라이버(Scriber)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.At least one second lower portion coupled to one side of the second lower horizontal axis, the lower scribe line being formed on a lower plate of the intermediate step substrate supported and moving on the belt conveyor, and relatively movable on the second lower horizontal axis Substrate cutting system comprising a scriber (Scriber). 제12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제2상부 및 제2하부 가로축은 소정의 제2연결부에 의해 상호 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And the second upper and second lower horizontal axes are interconnected by a predetermined second connecting portion. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제2절단모듈이 위치하는 벨트 컨베이어는 상기 제2라인 X축 방향을 따라 상호 분할되어 있으며,The belt conveyor where the second cutting module is located is divided with each other along the X-axis direction of the second line. 상기 전달부는 상기 중간단계기판을 하나씩 파지하여 분할된 상기 벨트 컨베이어로 하나씩 전달하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.The transfer unit is a substrate cutting system, characterized in that for holding the intermediate step board one by one transfer to the divided belt conveyor. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 전달부는,The delivery unit, 상기 제1작업라인을 형성하는 벨트 컨베이어들의 양측에 배치되되 상기 교차 영역에 걸치도록 마련되는 한 쌍의 제1레일부;A pair of first rail parts disposed on both sides of the belt conveyors forming the first work line, the pair of first rail parts being provided to span the crossing area; 양단이 상기 한 쌍의 제1레일부에 각각 결합되어 상기 제1레일부를 따라 이동가능한 이동바아; 및A moving bar having both ends coupled to the pair of first rail portions, respectively, and movable along the first rail portion; And 상기 이동바아의 길이방향을 따라 이동가능하도록 상기 이동바아에 결합되어 상기 중간단계기판을 하나씩 파지하여 분할된 상기 벨트 컨베이어로 하나씩 전달하는 파지헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a holding head coupled to the moving bar so as to be movable along the longitudinal direction of the moving bar, and holding the intermediate stage board one by one to transfer the belt head to the divided belt conveyor one by one. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1 및 제2절단모듈들의 하부영역에 각각 마련되어 상기 원기판 또는 상기 중간단계기판에서 잘려 나간 더미기판(Dummy Substrate)을 배출하는 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a discharge unit provided in the lower regions of the first and second cutting modules, respectively, and discharging a dummy substrate cut off from the substrate or the intermediate stage substrate. 제16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 배출부는 해당 위치에서 상기 제1 및 제2절단모듈에 대해 각각 접근 및 이격 가능한 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And the discharge part is accessible and spaced apart from the first and second cutting modules, respectively, at a corresponding position. 제17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 배출부에는 상기 더미기판 및 더미부를 파쇄하는 파쇄부가 더 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a shredding part for crushing the dummy substrate and the dummy part in the discharge part. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2작업라인을 따라 상기 제2절단모듈의 후방에 배치되어 절단작업이 완료된 상기 단위기판들을 트랜스 컨베이어에 하나씩 대응되게 분배하는 분배기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a distributor arranged at a rear side of the second cutting module along the second working line and distributing the unit substrates corresponding to one by one to the trans conveyor, in which the cutting operation is completed. 제19항에 있어서,The method of claim 19, 상기 분배기는,The distributor, 상기 트랜스 컨베이어의 양측에 상기 제2작업라인을 따라 배치된 한 쌍의 제2레일부; 및A pair of second rail parts disposed along the second work line on both sides of the trans conveyor; And 상기 한 쌍의 제2레일부를 따라 이동가능하고, 상기 한 쌍의 제2레일부에 대해 상대 회전가능하도록 상기 한 쌍의 제2레일부에 각각 결합되어 절단작업이 완료된 상기 단위기판들을 흡착하는 분배헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.A distribution which is movable along the pair of second rail portions and is respectively coupled to the pair of second rail portions so as to be rotatable relative to the pair of second rail portions to adsorb the unit substrates on which the cutting operation is completed. A substrate cutting system comprising a head. 제20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 트랜스 컨베이어로 분배된 단위기판의 상하면 위치를 반전시키는 반전기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a reverser for reversing the upper and lower positions of the unit substrates distributed by the trans conveyor. 제21항에 있어서,The method of claim 21, 상기 반전기는,The inverter, 반전축; 및Inverted axis; And 상기 반전축을 기초로 반전가능하고, 상기 단위기판이 내부로 삽입될 수 있도록 상기 단위기판의 상하면을 흡착하는 한 쌍의 리버스 컨베이어(Reverse Conveyor)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.And a pair of reverse conveyors that are reversible based on the inverted shaft and adsorb the upper and lower surfaces of the unit substrate so that the unit substrate can be inserted therein. 제22항에 있어서,The method of claim 22, 상기 반전기에 의해 반전 완료된 단위기판이 로딩되어 취출되는 취출 컨베이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.Substrate cutting system, characterized in that further comprising a take-out conveyor is loaded by taking out the inverted unit substrate by the inverter. 제23항에 있어서,The method of claim 23, wherein 상기 제1작업라인으로 최초에 반입되는 상기 원기판의 상판 및 하판은 각각, 티에프티(TFT, Thin Film Transistor) 및 칼라 필터(CF, Color Filter)이며,The upper and lower plates of the original substrate first brought into the first work line are TFT, thin film transistor, and color filter, respectively. 상기 취출 컨베이어에 의해 취출시 반전되는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.Substrate cutting system, characterized in that the reversed when taken out by the take-out conveyor. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판은, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어느 하나의 평판디스플레이(FPD, Flat Panel Display)인 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.The substrate is a substrate cutting system, characterized in that the flat panel display (FPD) of any one of a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP) and organic light emitting diodes (OLED). a) 상판과 하판이 합착되어 형성된 절단작업 대상의 원기판을 소정의 제1작업라인으로 반입시키는 단계;a) bringing into the predetermined first work line a base substrate to be cut, formed by joining the upper and lower plates; b) 상기 제1작업라인과 나란한 제1라인 Y축 방향 및 상기 제1작업라인에 가로로 형성되는 제1라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 상기 원기판의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 중간단계기판으로 형성하는 단계;b) a predetermined scribe line (Scribe) on the upper and lower surfaces of the substrate along one of the first line Y-axis direction parallel to the first work line and the first line X-axis direction formed horizontally on the first work line Forming a plurality of intermediate step substrates by cutting lines; c) 상기 b) 단계에서 형성된 상기 복수의 중간단계기판을 상기 제1작업라인에 교차하는 제2작업라인으로 전달하는 단계; 및c) transferring the plurality of intermediate step substrates formed in step b) to a second work line crossing the first work line; And d) 상기 제2작업라인과 나란한 제2라인 Y축 방향 및 상기 제2작업라인에 가로로 형성되는 제2라인 X축 방향 중 어느 한 방향을 따라 상기 중간단계기판들의 상하면에 소정의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하여 절단함으로써 복수의 단위기판으로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단방법.d) a predetermined scribe line on the upper and lower surfaces of the intermediate step substrates in one of a second line Y-axis direction parallel to the second work line and a second line X-axis direction formed laterally on the second work line; Forming a plurality of unit substrates by forming and cutting a scribble line. 제26항에 있어서,The method of claim 26, 상기 제1 및 제2작업라인은 복수의 벨트 컨베이어(Belt Conveyor)에 의해 형성되며,The first and second work lines are formed by a plurality of belt conveyors, 상기 b) 단계에서는 상기 제1라인 X축 방향을 따라 상기 원기판을 절단하여 상기 복수의 중간단계기판으로 형성하고, 상기 d) 단계에서는 상기 제2라인 X축 방향을 따라 상기 복수의 중간단계기판을 절단하여 상기 복수의 단위기판으로 형성하며,In step b), the substrate is cut along the first line X-axis direction to form the plurality of intermediate step substrates. In step d), the plurality of intermediate step substrates are arranged along the second line X-axis direction. Cutting to form a plurality of unit substrates, 상기 c) 단계에서는 상기 제1작업라인 측에서 형성된 상기 중간단계기판들을 직선운동시켜 상기 제2작업라인 측으로 전달하는 것을 특징으로 하는 기판 절단방법.In the step c), the intermediate step substrate formed on the first work line side by linear movement to the second cutting line, characterized in that for transferring to the side. 제26항에 있어서,The method of claim 26, 상기 c) 단계에서는 상기 중간단계기판을 직선운동시켜 상기 제1작업라인에서 상기 제2작업라인으로 전달하는 것을 특징으로 하는 기판 절단방법.In the step c), the intermediate substrate is linearly moved substrate transfer method, characterized in that for transferring from the first work line to the second work line. 제26항에 있어서,The method of claim 26, e) 상기 c) 단계 후에, 상기 단위기판의 상하면 위치를 반전시키는 단계; 및e) inverting the upper and lower positions of the unit substrate after step c); And f) 상하면 위치가 반전된 상기 단위기판을 취출시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단방법.and f) taking out the unit substrate having its upper and lower positions reversed.
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