KR20070080635A

KR20070080635A - Organic boat

Info

Publication number: KR20070080635A
Application number: KR1020060011929A
Authority: KR
Inventors: 안병철; 반태현
Original assignee: 주식회사 아바코
Priority date: 2006-02-08
Filing date: 2006-02-08
Publication date: 2007-08-13

Abstract

An organic material evaporating boat is provided to reduce the amount of an unnecessary evaporation of the organic material by evaporating the organic material corresponding to a thickness of a deposition film. An organic material evaporating boat(20) includes a rotatable body(21), a mounting unit(22), and a heater(30). The mounting unit is formed on the rotatable body. At least two organic cells(23,24) with various sizes and weights are mounted on the mounting unit. The heater heats up the organic cells. The heater selectively heats at least one of the organic cells which are mounted on the mounting unit.

Description

Organic Evaporation Boat {Organic boat}

도 1은 종래의 기판에 유기물을 증착하는 공정을 개략적으로 나타낸 것이다. 1 schematically shows a process of depositing an organic material on a conventional substrate.

도 2는 종래의 유기물증발 보트의 구조를 나타내는 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing the structure of a conventional organic matter evaporation boat.

도 3은 도 2에 도시된 유기물증발 보트의 작동상태를 나타내는 평면도이다.3 is a plan view showing an operating state of the organic matter evaporation boat shown in FIG.

도 4는 본 발명의 유기물증발 보트의 구조를 나타내는 평면도이다.4 is a plan view showing the structure of the organic matter evaporation boat of the present invention.

**도면 주요 부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

20 : 유기물증발보트 21 : 본체20: organic matter evaporation boat 21: the main body

22 : 장착부 23 : 호스트셀22: mounting portion 23: host cell

24 : 도펀트셀 30 : 히터24: dopant cell 30: heater

본 발명은 유기물증발 보트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 불필요하게 증발되는 유기물의 소비를 절감할 수 있고 또한 소정의 증착조건에 따라 정확한 증착막의 두께를 얻을 수 있는 유기물증발 보트에 관한 것이다. The present invention relates to an organic evaporation boat, and more particularly, to an organic evaporation boat that can reduce the consumption of organic matter that is unnecessarily evaporated, and can obtain an accurate thickness of a deposited film according to a predetermined deposition condition.

일반적으로 유기EL은 글래스기판상에 형성된 애노드ITO전극층과 캐소드금속전극층의 사이에 다층 유기물층 구조가 형성되는 바, 그 유기물층 구조는 정공의 주입을 위한 정공주입층과, 전자의 주입을 위한 전자주입층 및, 상기 정공주입층과 전자주입층의 사이에 개재되어 상기 정공과 전자의 결합에 의해 발광이 일어나는 유기발광층을 구비하여 구성된다. 통상적으로, 상기 유기EL소자의 제조를 위한 장치에는 유기물의 증발을 위한 유기물증발보트가 채용되는데, 상기 유기물증발보트는 열 전도도가 낮으면서도 열용량이 큰 세라믹이라든지 다른 재료의 도가니(Crucible)로 제작해서 온도의 급상승을 방지하면서 안정적으로 가열하도록 구성된다.In general, organic EL has a multilayer organic layer structure formed between an anode ITO electrode layer and a cathode metal electrode layer formed on a glass substrate. The organic layer structure includes a hole injection layer for injection of holes and an electron injection layer for injection of electrons. And an organic light emitting layer interposed between the hole injection layer and the electron injection layer to emit light by coupling the holes and the electrons. In general, an organic evaporation boat for evaporating organic materials is employed as a device for manufacturing the organic EL device. It is configured to stably heat while preventing a sudden rise in temperature.

도 1을 참조하여 종래의 유기물 증착공정을 설명한다. A conventional organic material deposition process will be described with reference to FIG. 1.

상기 도가니(200)의 내부에 유기물을 수용하고, 히터(300)로 가열하여 유기물을 증발 또는 승화시킨다. 이와 같이 기화된 유기물은 기판(S)에 증착되어 유기물 증착막이 형성되는 것이다. The organic material is accommodated in the crucible 200 and heated by the heater 300 to evaporate or sublime the organic material. The vaporized organic material is deposited on the substrate S to form an organic vapor deposition film.

도 2는 종래의 연속증착이 가능한 리볼빙식 도가니 장치(200)이다. 이를 참조하면, 회전이 가능한 원통형상의 본체(210)와, 상기 본체(210)의 상면부에 형성되고, 유기물 셀(400)을 장착할 수 있는 장착부(장착홀)(220)이 다수개 형성된다. 또한 상기 본체(210)의 내부에는 히터(미도시)가 구비되는데, 상기 히터는 히팅존(heating zone)에 위치하는 유기물 셀(400)을 가열하여 증발시키는 구성요소이다. 2 is a conventional revolving crucible apparatus 200 capable of continuous deposition. Referring to this, a cylindrical body 210 that can be rotated and a plurality of mounting parts (mounting holes) 220 formed on an upper surface of the main body 210 and to which the organic cell 400 is mounted are formed. . In addition, a heater (not shown) is provided inside the main body 210. The heater is a component that heats and evaporates the organic cell 400 located in a heating zone.

도 3을 참조하여 종래의 리볼빙식 도가니 장치의 작용을 설명한다. 히터(300)에 의해 히팅존에 위치한 유기물셀(400)을 가열하여 증발 또는 승화시켜 기판에 증착막을 형성한다. 또한 상기 히팅존에 있는 유기물셀(400)이 모두 소모되면, 상기 본체(210)를 회전함으로써 새로운 유기물셀을 히팅존에 위치시킨다. 이로써 연속적으로 증착공정을 수행할 수 있는 것이다. Referring to Figure 3 will be described the operation of the conventional revolving crucible apparatus. The organic material cell 400 located in the heating zone is heated by the heater 300 to be evaporated or sublimed to form a deposition film on the substrate. In addition, when the organic material cells 400 in the heating zone are exhausted, the new organic material cells are positioned in the heating zone by rotating the main body 210. This allows the deposition process to be performed continuously.

종래의 도가니 장치에 장착되는 유기물셀은 모두 동일한 크기 및 중량을 가지는 것이었다. 또한 소정의 증착조건에 따라 증착막의 두께를 얻기 위하여는 센서 및 콘트롤러에 의해 증착율을 제어하는 것이었다. 그러나 소정의 증착조건을 수행하기 위하여 불필요한 유기물을 증발시키므로 유기물의 소비가 많다는 문제점이 있었다. The organic material cells mounted in the conventional crucible apparatus were all the same size and weight. In addition, in order to obtain the thickness of the deposited film according to a predetermined deposition condition, the deposition rate was controlled by a sensor and a controller. However, there is a problem that the consumption of organic matter is high because evaporation of unnecessary organic matter to perform a predetermined deposition condition.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 불필요하게 증발되는 유기물의 소비를 절감할 수 있고 또한 소정의 증착조건에 따라 정확한 증착막의 두께를 얻을 수 있는 유기물증발 보트를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to reduce the consumption of organic matter that is unnecessarily evaporated and also to obtain an accurate vapor deposition film thickness according to a predetermined deposition conditions, the evaporation boat In providing.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 유기물증발 보트는 회전이 가능한 본체; 상기 본체에 형성되고, 다양한 크기 및 중량을 가지는 적어도 2 이상의 유기물 셀을 장착할 수 있는 장착부; 및 상기 유기물 셀을 가열하는 히터;를 포함하여 이루어진다. In order to solve the above technical problem, the organic matter evaporation boat according to the present invention is rotatable main body; A mounting part formed on the main body and capable of mounting at least two organic cells having various sizes and weights; And a heater for heating the organic cell.

또한 상기 히터는 상기 장착부에 장착된 유기물 셀들 중 적어도 하나 이상을 선택적으로 가열할 수 있는 것이 바람직하다. In addition, the heater is preferably capable of selectively heating at least one or more of the organic cells mounted in the mounting portion.

또한 상기 유기물 셀은 호스트 셀 또는 도펀트 셀 중 어느 하나이다. In addition, the organic cell is either a host cell or a dopant cell.

또한 상기 유기물 셀의 중량비는 0.1g ~ 0.5g 중량비의 범위인 것이 바람직하다. In addition, the weight ratio of the organic cell is preferably in the range of 0.1g ~ 0.5g weight ratio.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4에 도시된 바에 의하면, 유기물증발 보트(20)는 원통형상의 본체(21)가 회전 가능하게 형성된다. 상기 본체(21)의 상면부에는 유기물 셀(23,24)을 장착할 수 있는 홀 형상의 장착부(22)가 다수개 형성되어 있다. 특히 상기 장착부(22)는 다양한 크기 및 중량을 가지는 유기물 셀(23,24)을 장착할 수 있도록 다양한 크기(또는 부피)로 형성되어 있음을 알 수 있다. 또한 상기 본체(21)의 내부에는 장착된 유기물 셀(23,24)을 가열할 수 있는 히터(30)가 구비된다. 특히 상기 히터(30)는 상기 본체(21)의 회전에 의해 히팅존(heating zone)에 위치하는 유기물셀(23,24)만을 가열하도록 구성된다. 물론 이와 달리 각각의 장착부(22)의 가열을 제어할 수 있도록 구성될 수도 있다. As shown in FIG. 4, in the organic matter evaporation boat 20, a cylindrical body 21 is rotatably formed. The upper surface portion of the main body 21 is provided with a plurality of hole-shaped mounting portion 22 for mounting the organic cells (23, 24). In particular, it can be seen that the mounting portion 22 is formed in various sizes (or volumes) to mount the organic cells 23 and 24 having various sizes and weights. In addition, the inside of the main body 21 is provided with a heater 30 for heating the mounted organic cells (23, 24). In particular, the heater 30 is configured to heat only the organic cells 23 and 24 positioned in the heating zone by the rotation of the main body 21. Of course, it may alternatively be configured to control the heating of each mounting portion 22.

상기 장착부에 장착되는 유기물 셀은 다수개의 호스트셀(23)과 도펀트셀(24)이다. The organic cell mounted on the mounting part is a plurality of host cells 23 and dopant cells 24.

이하, 본 발명에 의한 유기물증발 보트의 작용을 설명한다. Hereinafter, the operation of the organic matter evaporation boat according to the present invention will be described.

상기 본체(21)에 다양한 중량을 가지는 호스트 셀(23) 및 도펀트 셀(24)이 장착되기 때문에, 소정의 증착조건에 필요한 중량의 호스트 셀(23) 또는 도펀트 셀(24)을 히팅존에 위치시켜 가열하여 증착한다. 따라서 필요한 양만큼의 셀만을 선 택적으로 가열하여 증발시키는 것이다. 즉, 증착조건에 필요한 양만 증발시키는 것이 가능하다. Since the host cell 23 and the dopant cell 24 having various weights are mounted on the main body 21, the host cell 23 or the dopant cell 24 having a weight required for a predetermined deposition condition is positioned in the heating zone. To be deposited by heating. Therefore, only the required amount of cells are selectively heated and evaporated. That is, it is possible to evaporate only the amount necessary for the deposition conditions.

예컨대 상기 본체의 중심에 인접한 상기 호스트셀(23)과 도펀트셀(24)의 중량을 0.1g으로 하고, 그 다음에 배치되는 상기 호스트셀(23)과 도펀트셀(24)의 중량을 0.15g으로 하며, 마지막으로 가장 외곽부분에 장착되는 상기 호스트셀(23)과 도펀트셀(24)의 중량을 0.2g으로 할 수 있는 것이다. For example, the weight of the host cell 23 and the dopant cell 24 adjacent to the center of the main body is 0.1g, and the weight of the host cell 23 and the dopant cell 24 disposed next is 0.15g. Finally, the weight of the host cell 23 and the dopant cell 24 mounted on the outermost part may be 0.2g.

또한, 이와 같이 다양한 중량을 가진 상기 호스트셀(23)과 도펀트셀(24)을 장착할 수 있는데, 이는 결국 필요한 두께의 증착막을 형성하기 위하여 필요한 유기물 증발량을 알 수 있다면, 별도의 센서나 콘트롤러에 의한 제어 없이 소정의 증착조건에 맞는 증착막을 형성하는 것이 매우 용이해진다. 여기서 필요한 증발량은 다수번의 실험을 통해 알 수 있는 것이다. 예를 들어 몇 Å의 두께를 얻기 위하여는 유기물 몇 g을 증발시켜야 하는지는 다수번의 실험을 통해 정확한 데이터값을 도출해낼 수 있는 것이다. In addition, the host cell 23 and the dopant cell 24 having various weights as described above may be mounted. If the amount of evaporation of organic matter necessary for forming a deposition film having a necessary thickness is known, it may be provided to a separate sensor or controller. It is very easy to form a deposition film that meets a predetermined deposition condition without control. The amount of evaporation required here can be known through a number of experiments. For example, how many grams of organic matter must be evaporated to obtain a thickness of several micrometers can be derived from a number of experiments.

이상의 본 발명은 상기에 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 고안의 취지와 범위에 포함된다.The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications and changes can be made by those skilled in the art, which are included in the spirit and scope of the present invention as defined in the appended claims.

본 발명에 따르면, 소정의 증착조건에 따라 증착막의 두께에 대응되는 유기물의 필요량만을 증발시키기 때문에 불필요하게 증발되는 유기물의 소비를 절감할 수 있다. According to the present invention, since only the required amount of organic material corresponding to the thickness of the deposited film is evaporated according to a predetermined deposition condition, consumption of organic materials that are unnecessarily evaporated can be reduced.

또한 다수번의 반복실험을 통해 데이터를 취득하면, 그에 따라 소정의 증착조건에 따라 정확한 증착막의 두께를 얻을 수 있다. In addition, when data is acquired through a plurality of repeated experiments, an accurate thickness of the deposited film can be obtained according to a predetermined deposition condition.

또한, 본 발명은 유기물 증착 조건에 따라 히터의 히팅을 분할하여 가열함으로써 열손실을 최소화하며 공정을 실시할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of minimizing the heat loss by performing the process by dividing the heating of the heater in accordance with the organic material deposition conditions.

그리고, 본 발명은 히터의 열전도도 제어가 용이하여 장비 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention is easy to control the thermal conductivity of the heater has the effect of increasing the equipment yield.

Claims

In organic vaporization boat,

Rotatable body;

A mounting part formed on the main body and capable of mounting at least two organic cells having various sizes and weights; And

An organic material evaporation boat comprising: a heater for heating the organic cell.

The method of claim 1,

And the heater is capable of selectively heating at least one or more of the organic cells mounted in the mounting portion.