KR20070067961A - 액정표시패널 및 그 제조방법 - Google Patents
액정표시패널 및 그 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20070067961A KR20070067961A KR1020050129537A KR20050129537A KR20070067961A KR 20070067961 A KR20070067961 A KR 20070067961A KR 1020050129537 A KR1020050129537 A KR 1020050129537A KR 20050129537 A KR20050129537 A KR 20050129537A KR 20070067961 A KR20070067961 A KR 20070067961A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- color filter
- column spacer
- forming
- substrate
- thin film
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133519—Overcoatings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136222—Colour filters incorporated in the active matrix substrate
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
본 발명은 액정표시패널 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 패널 터치시 액정의 출렁임(Bruising)을 방지하고, 빛샘을 방지하여 표시품질을 향상시킬 수 있는 반투과형 액정표시패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
액정표시패널, 유기막, 오버코트
Description
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제 3실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 4실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 5실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제 6실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서 형성부분을 도시한 단면도이다.
<도면의 주요부분의 부호에 대한 설명>
1: 박막트랜지스터기판 110: 기판
120: 게이트배선 130: 유기절연막
140: 데이타배선 150: 화소전극
160: 반사전극 170: 게이트절연막
2: 칼라필터기판 210: 기판
220: 블랙매트릭스 230: 칼라필터
240: 오버코트 250: 공통전극
A: 컬럼스페이서가 형성되는 오버코트 영역
B: 컬럼스페이서가 중첩되는 유기절연막 영역
본 발명은 액정표시패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 패널 터치시 액정의 출렁임(Bruising)을 방지하여 표시품질을 향상시킬 수 있는 반투과형 액정표시패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
반투과형 액정표시패널의 각 서브화소는 반사영역과 투과영역으로 구분되며, 반사영역과 투과영역의 광경로차를 보상하기 위해 칼라필터 기판의 오버코트층이 패터닝되어 반사영역과 투과영역이 셀겝이 다른 이중 셀갭을 갖는다.
이러한 이중 셀갭구조에서 패널 터치시 액정의 출렁임(Brusing)의 원인은 패널 터치시 셀갭 형성 지지대 역할을 하는 컬럼스페이서 주위 액정의 출렁거림이 꼽히고 있다. 다시말해, 컬럼스페이서가 적층되는 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 위치에서의 구조가 액정의 출렁임에 큰 영향을 미친다고 알려져 있다.
종래의 이중셀갭 구조에서 컬럼스페이서는 미노광된 오버코트층 위에 형성되고 박막트랜지스터기판의 미노광 유기절연막과 접촉하여 칼라필터 기판과 박막트랜지스터 기판을 지지한다.
그런데, 컬럼스페이서가 표면 프로파일이 불안정한 오버코트의 끝부분에 형성됨에 따라 컬럼스페이서의 패터닝 상태도 불안정한 구조가 되어 칼라필터 기판을 안정적으로 지지할 수 없다. 이에 따라, 종래의 반투과형 액정표시패널은 패널 터치시 액정의 출렁임에 취약할 수 밖에 없다. 특히, 터치스크린 패널(Touch screen panel)의 경우에 액정의 출렁임은 표시품질에 중요한 영향을 미친다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 컬럼스페이서의 지지구조를 안정화시켜 패널 터치시 액정의 출렁임을 제거하여 빛샘을 방지하고 표시품질을 향상시킬 수 있는 액정표시패널 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 액정표시패널은 칼라필터가 형성된 칼라필터 기판과; 유기절연막이 형성되고 상기 칼라필터 기판과 액정을 사이에 두고 합착된 박막트랜지스터 기판과; 상기 칼라필터 기판과 상기 박막트랜지스터 기판 사이에 형성된 컬럼스페이서와; 상기 칼라필터 기판의 칼라필터위에 형 성되고 상기 컬럼스페이서가 위치하는 부분이 관통되거나 상대적으로 낮은 두께를 가지는 오버코트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또는, 상기 박막트랜지스터 기판상에 형성되고 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분이 관통되거나 상대적으로 낮은 두께를 가지는 유기절연막을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 컬럼스페이서가 위치하는 부분이 관통된 오버코트를 가지고, 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분이 관통되거나 상대적으로 낮은 두께의 유기절연막을 가지는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 컬럼스페이서가 위치하는 부분이 상대적으로 낮은 두께의 오버코트를 가지고, 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분이 관통되거나 상대적으로 낮은 두께의 유기절연막을 가지는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 유기절연막 및 오버코트에서 관통되거나 상대적으로 낮은 두께를 가지는 부분이 게이트배선 또는 데이타배선 상부에 형성되는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 따른 액정표시패널 제조방법은 기판 상에 칼라필터를 형성하는 단계; 칼라필터 위에 오버코트를 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 형성될 위치에 관통부 또는 상대적으로 낮은 두께부를 형성하는 단계; 상기 오버코트 관통부에 컬럼스페이서를 형성하는 칼라필터 기판을 형성하는 단계; 박막트랜지스터 기판을 형성하는 단계; 및 액정을 사이에 두고 칼라필터 기판과 박막트랜지스터 기판을 합착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 박막트랜지스터 기판 상에 유기절연막을 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 중첩될 위치에 관통부 또는 상대적으로 낮은 두께부를 형성하는 단계를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또는 기판 상에 칼라필터를 형성하는 단계; 칼라필터위에 오버코트를 형성하는 단계; 상기 오버코트에 컬럼스페이서를 형성하는 칼라필터 기판을 형성하는 단계; 박막트랜지스터 기판 상에 유기절연막을 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 중첩될 위치에 관통부 또는 상대적으로 낮은 두께부를 형성하는 단계; 액정을 사이에 두고 칼라필터 기판과 박막트랜지스터 기판을 합착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이때, 칼라필터 위에 오버코트를 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 형성될 위치에 관통부 또는 상대적으로 낮은 두께부를 형성하는 단계를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이하, 구체적인 구성 및 작용에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
반투과형 액정표시패널는 낮이나 밝은 곳에서는 백라이트를 켜지 않고도 태양광이나 조명등 외부광을 반사하여 액정화면을 볼 수 있고 어두운 곳에서만 백라이트를 켜서 광을 투과하여 액정화면을 볼 수 있도록 하여 전력소모를 크게 줄일 수 있기 때문에 휴대폰이나 PDA등의 휴대용 정보통신기기에 널리 쓰이고 있다.
반투과형 액정표시패널는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하는 장치이다.
본 발명에 따른 액정표시패널은 컬럼스페이서가 형성되는 부분의 오버코트 가 노광처리에 의해 전부 식각된 관통부를 형성하는 구조(S1), 상기 오버코트가 부분 노광처리에 의해 일부가 식각되어 상대적으로 낮은 두께를 형성하는 구조(S2), 컬럼스페이서가 중첩되는 부분의 유기절연막이 노광처리에 의해 전부 식각된 관통부를 형성하는 구조(S2) 및 상기 유기절연막이 부분 노광처리에 의해 일부가 식각되어 상대적으로 낮은 두께를 형성하는 구조(S4)중에 선택된 어느 하나의 구조로 형성되는 것을 특징으로 한다.
컬럼스페이서(4)가 형성되는 오버코트 영역(A) 또는 유기절연막 영역(B)중에 어느 하나의 영역만 전부 노광 또는 부분 노광을 통해 표면처리를 해주어도 컬럼스페이서(4)를 안정적으로 형성할 수 있어 액정의 출렁임 현상을 제거 할 수 있다.
그러나, 컬럼스페이서(4)가 형성되는 오버코트 영역(A)과 유기절연막 영역(B)을 모두 노광 또는 부분 노광에 의해 표면처리를 해준다면 컬럼스페이서(4)는 더욱 안정적으로 형성될 수 있으므로 액정의 출렁임을 제거하는 효과가 더욱 탁월해진다.
따라서, 컬럼스페이서(4)가 형성되는 오버코트(240)와 유기절연막(130)의 노광처리 또는 부분 노광처리를 혼합하여 조합이 가능한 4가지 구조(S1-S3, S1-S4, S2-S3, S2-S4)중에 하나의 구조로 형성하여 액정의 출렁임을 방지하는 효과를 배가 시킬 수 있다.
상기 컬럼스페이서(4)는 하부에서 BM(Black Matrix)역할을 담당할 수 있는 데이타배선 또는 게이트배선 상부에 형성될 수 있다.
이하, 구체적인 실시예를 통해 살펴보기로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서(4) 형성부분을 도시한 단면도이다. 도 1에 도시된 액정표시패널은 액정(3)을 사이에 두고 서로 대향하여 합착된 박막트랜지스터기판(1) 및 칼라필터기판(2)을 구비한다.
박막트랜지스터기판(1)에는 박막트랜지스터, 박막트랜지스터와 접속된 화소전극(150) 및 반사전극(160)이 기판 상에 형성된다.
또한, 박막 트랜지스터 기판(1)은 박막 트랜지스터와 화소 전극(150) 사이에 형성되어 박막 트랜지스터를 보호하는 유기 절연막을 더 포함한다.
박막 트랜지스터는 게이트배선(120)과 연결되는 게이트전극과, 데이터배선(140)과 연결되는 소스 전극과, 화소 전극(150)과 연결되는 드레인 전극을 구비한다. 이러한 박막 트랜지스터는 게이트배선(120)에 공급되는 스캔 신호에 응답하여 데이터 배선(140)에 공급되는 화소 신호를 화소 전극(150)에 공급한다. 유기 절연막(130)은 아크릴 등과 같은 감광성 유기물질이 이용된다.
화소전극(150)은 각 서브화소의 유기절연막 위에 형성되고 유기절연막을 관통하는 컨택홀을 통해 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접속된다.
반사전극은 각 서브화소에 반사영역을 형성하기 위해 반사영역의 화소전극(150) 상부에 증착된다. 이에 따라, 반사전극(160)은 화소전극(150)을 통해 박막트랜지스터로부터의 데이타 신호를 공급받는다.
유기절연막의 표면은 엠보싱 형태로 형성되고, 이로 인해 반사전극의 표면이 엠보싱 형태를 갖게하여 반사효율을 향상시킨다.
칼라필터기판(2)에는 빛샘 방지를 위한 블랙매트릭스(220), 칼라구현을 위한 칼라필터(230), 칼라필터를 보호하고 이중셀갭을 형성하기 위해 반사영역 상부에 형성되는 오버코트(Overcoat)(240), 화소전극(150)과 전계를 이루는 공통전극(250)이 형성된다.
이러한 칼라필터기판(2)과 박막트랜지스터기판(1) 사이에는 두 기판이 소정 간격인 셀갭(Cell Gap)을 유지하게 하기 위한 컬럼스페이서(column spacer)(4)가 형성된다.
도 1에 따른 제 1실시예에서는 컬럼스페이서(4)가 형성된 위치의 오버코트가 노광처리에 의해 관통부(A)를 가지는 구조이다.
이를 통해, 컬럼스페이서(4)가 오버코트(240)와 중첩되지 않기 때문에 안정된 구조를 형성할 수 있게 된다.
도 2는 본 발명의 제 2실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서(4) 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 2에 따른 제 2실시예에서는 컬럼스페이서(4)가 형성된 위치의 오버코트가 부분 노광처리에 의해 상대적으로 낮은 두께부(A)를 가지는 구조이다.
이를 통해, 컬럼스페이서(4)가 부분 노광으로 균일한 표면을 갖는 오버코트 위에 형성됨으로써, 컬럼스페이서(4) 역시 균일한 형상으로 형성되어 안정된 구조를 형성할 수 있게 된다.
도 3은 본 발명의 제 3실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 3에 따른 제 3실시예에서는 컬럼스페이서(4)가 형성된 위치의 오버코트가 노광처리에 의해 전부 식각된 관통부(A)를 가짐과 동시에 컬럼스페이서(4)와 중첩되는 위치의 유기절연막(130)이 노광처리에 의해 전부 식각된 관통부(B)를 동시에 가지는 구조이다.
이를 통해, 컬럼스페이서(4)가 오버코트(240)와 중첩되지 않을 뿐만 아니라, 유기절연막(130)과도 중첩되지 않기 때문에 보다 안정된 구조로 형성된다.
도 4는 본 발명의 제 4실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서(4) 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 4에 따른 제 4실시예에서는 컬럼스페이서(4)가 형성된 위치의 오버코트가 노광처리에 의해 전부 식각된 관통부(A)를 가짐과 동시에 컬럼스페이서(4)와 중첩되는 위치의 유기절연막(130)이 부분 노광처리에 의해 일부 식각되어 상대적으로 낮응 두께부(B)를 동시에 가지는 구조이다.
이를 통해, 컬럼스페이서(4)가 오버코트(240)와 중첩되지 않을 뿐만 아니라, 부분 노광으로 균일한 표면을 갖는 유기절연막(130) 상에 형성됨으로써, 컬럼스페이서(4)가 균일한 형상으로 형상되어 보다 안정된 구조를 형성한다.
도 5는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서(4) 형성부분을 도시한 단면도이고, 도 6은 본 발명의 제 6실시예에 따른 액정패널의 컬럼스페이서(4) 형성부분을 도시한 단면도이다.
도 5에 따른 제 5실시예는 도 3에 따른 제 3실시예와 동일한 구성이나 상기 컬럼스페이서(4)가 게이트배선(120) 상부에 형성된 것을 도시한 것이고, 도 6에 따 른 제 6실시예는 도 4에 따른 제 4실시예와 동일한 구성이나 상기 컬럼스페이서(4)가 게이트배선(120) 상부에 형성된 것을 도시한 것이다.
컬럼스페이서(4)는 칼라필터 기판의 BM(220)과 대향하는 트랜지스터 영역에 형성될 수 있으므로 게이트배선(120) 상부 또는 데이타배선(140) 상부에 형성될 수 있다.
상기 게이트배선(120) 또는 데이타배선(140)은 하부에서 광을 차단하는 BM역할을 수행하게 되며, 컬럼스페이서(4)가 게이트배선(120) 또는 데이타배선(140) 상부에 형성되면 하부의 게이트배선(120) 또는 데이타배선(140)이 받침대 역할을 담당하여 컬럼스페이서(4)가 보다 안정된 구조로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 액정표시패널의 제조방법에 대해 살펴보면, 기판(110)상에 게이트 금속을 증착(Depositon)하고, 포토리소그라피 및 식각공정(Photolithograpy)에 의해 금속을 패터닝하여 게이트배선(120)을 형성한다.
그 후, 게이트 절연막(170)을 증착하고, 비정질실리콘막(amorphous silicon layer)과 n+ 비정질실리콘막을 증착한 후, 포토리소그라피 및 식각공정에 의해 n+ 비정질실리콘막과 비정질실리콘막을 패터닝하여 액티브층과 오믹접촉층을 형성한다.
그 후, 오믹접촉층과 게이트 절연막 상에 데이타 금속을 증착하고 포토리소그라피 및 식각공정에 의해 데이타 금속을 패터닝하여 데이타배선(140)을 형성한다.
그 후, 데이타배선(140) 및 게이트 절연막(170) 상에 유기 절연막(130)을 형 성한 후, 부분 노광 공정에 의해 유기 절연막의 표면을 엠보싱 처리한 후 전부 노광으로 콘택홀을 형성한다.
이때, 본 발명의 핵심이 되는 컬럼스페이서(4)가 형성될 부분의 유기절연막을 전부 노광하여 전부가 식각된 관통부를 형성하거나, 부분 노광하여 일부가 식각된 상대적으로 낮은 두께부를 형성하게 된다.
엠보싱 처리는 난반사를 일으켜 정반사 성분을 억제하고 입사광의 산란 효율 및 반사 효율을 증가시킨다.
그 후, 유기 절연막(130) 상부에 투명도전물질을 증착하고 포토리소그라피 및 식각공정으로 패터닝하여 화소전극(150)을 형성한다. 다음, 화소전극 위에 반사율이 좋은 금속을 증착한 다음 포토리소그라피 및 식각공정으로 패터닝하여 반사영역의 화소전극(150)위에 반사전극(160)을 형성한다..
한편, 칼라필터 기판(2) 하부에 검은색의 금속 또는 유기물질을 적층한 후 노광공정에 의해 외부광 차단 및 박막트랜지스터의 광누설전류를 막기 위해 광을 차단할 수 있는 블랙매트릭스(220)를 형성하고, 블랙매트릭스(220) 패턴상에 RGB 칼라필터(230)를 각각 형성하고, 칼라필터(230)를 보호하기 위한 오버코트(240)를 형성한다.
그 후, 포토리소그라피 공정으로 투과영역을 전부 노광으로 식각해 낸다.
이때, 본 발명의 핵심이 되는 컬럼스페이서(4)가 형성되는 오버코트 영역을 전부 노광하여 전부 식각된 관통부를 형성하거나, 부분 노광하여 일부가 식각된 상대적으로 낮은 두께부를 형성하게 된다.
그 후, 오버코트 영역의 관통부 또는 상대적으로 낮은 두께부와 유기절연막의 관통부 또는 상대적으로 낮은 두께부 사이에 컬럼스페이서(4)를 형성하게 된다.
컬럼스페이서(4)는 칼라필터의 BM에 대향하는 트랜지스터기판 상에 형성될 수 있으며, 게이트배선(120) 또는 데이타배선(140) 상부에 위치할 수 있다. 따라서, 노광처리 되거나 부분 노광처리 되는 영역은 선택에 따라 게이트배선(120) 또는 데이타배선(140) 상부가 될 수 있다.
노광공정은 PR(Photoresist)을 도포하는 단계, 마스크를 통한 포토리소그라피 단계, 컬럼스페이서(4)와 맞닿는 오버코트 영역(A) 또는 유기절연막 영역(B)의 식각단계, PR의 스트립 단계를 거치게 된다.
상기와 같은 노광처리를 통해 컬럼스페이서(4)가 형성되는 오버코트 영역(A) 및/또는 미노광 유기절연막 영역(B)이 제거되어 컬럼스페이서(4)를 안정적으로 형성할 수 있다.
부분 노광처리는 리소그라피 단계에서 슬릿 마스크나 하프톤 마스크와 같은 회절 마스크를 사용한다는 점을 제외하고는 노광처리와 동일한 과정에 의해 행해진다. 부분 노광처리를 통해 컬럼스페이서(4)가 형성되는 오버코트 영역(A) 및/또는 미노광 유기절연막 영역(B)이 균일한 패턴의 상대적으로 낮은 두께부를 형성하게 된다.
부분 노광처리를 통해 패터닝 되는 두께를 조절할 수 있으며 슬릿 간격이 작으면 작을 수록 낮은 두께의 패터닝이 형성된다.
본 발명의 특징은 노광처리 또는 부분 노광처리를 통해 컬럼스페이서(4)가 형성되는 오버코트 영역(A) 및 유기절연막 영역(B)의 프로파일을 향상하는 점에 있으므로, 부분 노광처리시 형성되는 오버코트 영역(A) 및 유기절연막 영역(B)의 두께는 특정한 수치로 한정되지 않는다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시패널는 컬럼스페이서가 형성되는 오버코트와 유기절연막의 지지구조를 안정화 시켜 컬럼스페이서를 안정하게 형성할 수 있으며, 이로 인해 패널 터치시 액정의 출렁임을 제거하여 빛샘을 방지하고 표시 품질을 향상시킬 수 있는 탁월한 효과가 발생한다.
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 보호범위는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니며, 해당 기술분야의 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
Claims (18)
- 칼라필터가 형성된 칼라필터 기판과;유기절연막이 형성되고 상기 칼라필터 기판과 액정을 사이에 두고 합착된 박막트랜지스터 기판과;상기 칼라필터 기판과 상기 박막트랜지스터 기판 사이에 형성된 컬럼스페이서와;상기 칼라필터 기판의 칼라필터위에 형성되고 상기 컬럼스페이서가 위치하는 부분이 관통된 오버코트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 칼라필터가 형성된 칼라필터 기판과;유기절연막이 형성되고 상기 칼라필터 기판과 액정을 사이에 두고 합착된 박막트랜지스터 기판과;상기 칼라필터 기판과 상기 박막트랜지스터 기판 사이에 형성된 컬럼스페이서와;상기 칼라필터 기판의 칼라필터위에 형성되고 상기 컬럼스페이서가 형성된 부분의 두께가 상대적으로 작은 오버코트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 칼라필터가 형성된 칼라필터 기판과;상기 칼라필터 기판과 액정을 사이에 두고 합착된 박막트랜지스터 기판과;상기 칼라필터 기판과 상기 박막트랜지스터 기판 사이에 형성된 컬럼스페이서와;상기 박막트랜지스터 기판상에 형성되고 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분이 관통된 유기절연막을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 칼라필터가 형성된 칼라필터 기판과;상기 칼라필터 기판과 액정을 사이에 두고 합착된 박막트랜지스터 기판과;상기 칼라필터 기판과 상기 박막트랜지스터 기판 사이에 형성된 컬럼스페이서와;상기 박막트랜지스터 기판상에 형성되고 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분의 두께가 상대적으로 작은 유기절연막을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 제 1항에 있어서, 상기 유기절연막은 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분이 관통된 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 제 1항에 있어서, 상기 유기절연막은 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분의 두께가 상대적으로 작은 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 제 2항에 있어서, 상기 유기절연막은 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분이 관통된 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 제 2항에 있어서, 상기 유기절연막은 상기 컬럼스페이서가 중첩되는 부분의 두께가 상대적으로 작은 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 제 1항 내지 제 8항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 컬럼스페이서는 게이트배선 상부 또는 데이타배선 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
- 기판 상에 칼라필터를 형성하는 단계;칼라필터위에 오버코트를 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 형성될 위치에 관통부를 형성하는 단계;상기 오버코트 관통부에 컬럼스페이서를 형성하는 칼라필터 기판을 형성하는 단계;박막트랜지스터 기판을 형성하는 단계; 및액정을 사이에 두고 칼라필터 기판과 박막트랜지스터 기판을 합착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
- 기판 상에 칼라필터를 형성하는 단계;칼라필터위에 오버코트를 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 형성될 위치에 상대적으로 낮은 두께부를 형성하는 단계;상기 오버코트 관통부에 컬럼스페이서를 형성하는 칼라필터 기판을 형성하는 단계;박막트랜지스터 기판을 형성하는 단계; 및액정을 사이에 두고 칼라필터 기판과 박막트랜지스터 기판을 합착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
- 기판 상에 칼라필터를 형성하는 단계;칼라필터위에 오버코트를 형성하는 단계;상기 오버코트에 컬럼스페이서를 형성하는 칼라필터 기판을 형성하는 단계;박막트랜지스터 기판 상에 유기절연막을 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 중첩될 위치에 관통부를 형성하는 단계;액정을 사이에 두고 칼라필터 기판과 박막트랜지스터 기판을 합착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
- 기판 상에 칼라필터를 형성하는 단계;칼라필터위에 오버코트를 형성하는 단계;상기 오버코트에 컬럼스페이서를 형성하는 칼라필터 기판을 형성하는 단계;박막트랜지스터 기판 상에 유기절연막을 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서 가 중첩될 위치에 상대적으로 낮은 두께부를 형성하는 단계;액정을 사이에 두고 칼라필터 기판과 박막트랜지스터 기판을 합착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
- 제 10항에 있어서, 박막트랜지스터 기판 상에 유기절연막을 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 중첩될 위치에 관통부를 형성하는 단계를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
- 제 10항에 있어서, 박막트랜지스터 기판 상에 유기절연막을 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 중첩될 위치에 상대적으로 낮은 두께부를 형성하는 단계를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
- 제 11항에 있어서, 박막트랜지스터 기판 상에 유기절연막을 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 중첩될 위치에 관통부를 형성하는 단계를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
- 제 11항에 있어서, 박막트랜지스터 기판 상에 유기절연막을 형성하고 패터닝하여, 컬럼스페이서가 중첩될 위치에 상대적으로 낮은 두께부를 형성하는 단계를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
- 제 10항 내지 제 17항 중 어느 하나의 항에 있어서, 컬럼스페이서가 게이트 배선 상부 또는 데이타배선 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널 제조방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050129537A KR20070067961A (ko) | 2005-12-26 | 2005-12-26 | 액정표시패널 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050129537A KR20070067961A (ko) | 2005-12-26 | 2005-12-26 | 액정표시패널 및 그 제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070067961A true KR20070067961A (ko) | 2007-06-29 |
Family
ID=38366471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050129537A KR20070067961A (ko) | 2005-12-26 | 2005-12-26 | 액정표시패널 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20070067961A (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8259278B2 (en) | 2008-11-28 | 2012-09-04 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display |
US9638967B2 (en) | 2014-03-21 | 2017-05-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display |
-
2005
- 2005-12-26 KR KR1020050129537A patent/KR20070067961A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8259278B2 (en) | 2008-11-28 | 2012-09-04 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display |
US9638967B2 (en) | 2014-03-21 | 2017-05-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7876404B2 (en) | Transflective LCD device and fabrication method thereof | |
US20120094413A1 (en) | Liquid crystal display apparatus and method of manufacturing the same | |
JP4480599B2 (ja) | 反射板、その製造方法及び液晶表示装置 | |
CN107946318B (zh) | 一种阵列基板及其制作方法、显示面板 | |
JP4646018B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JP2000258802A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法 | |
KR100594926B1 (ko) | 표시 패널용 기판 제조 방법 | |
KR101274685B1 (ko) | 액정표시장치 | |
JP2004157148A (ja) | 液晶表示装置及び電子機器 | |
KR20070068771A (ko) | 반투과형 액정 표시 장치 및 그 제조방법 | |
KR20070067961A (ko) | 액정표시패널 및 그 제조방법 | |
CN114296282A (zh) | 阵列基板及制作方法、显示面板 | |
KR100957588B1 (ko) | 반투과형 액정표시장치 및 그 제조 방법 | |
JP5121488B2 (ja) | 液晶装置及び電子機器 | |
JP2003315788A (ja) | 半透過型液晶表示装置およびその製造方法 | |
JP4858081B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法 | |
KR20020076449A (ko) | 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법 | |
KR20080004898A (ko) | 반투과형 프린지 필드 스위칭 모드 액정표시장치의어레이기판 및 그 제조방법 | |
KR100655273B1 (ko) | 반사 투과 복합형 박막트랜지스터 액정표시장치의 화소전극 형성방법 및 이에 의해 이루어지는 박막트랜지스터 액정표시장치 | |
JP4528531B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
KR100692689B1 (ko) | 반투과형 액정표시장치 | |
JP2004109597A (ja) | 電気光学装置および電子機器 | |
KR100995581B1 (ko) | 컬러필터기판, 이를 갖는 액정표시장치 및 이의 제조방법 | |
JP2008304560A (ja) | 表示装置および表示装置用基板の製造方法 | |
JP2009122601A (ja) | 液晶装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |