KR20020085485A - 웨이퍼 엘리베이터의 조립방법 및 조립기구 - Google Patents

Abstract

웨이퍼 엘리베이터를 조립하는 방법과 기구가 개시되어 있다. 상기 조립 기구는 원형 막대 형상을 가지는 제1 몸체, 상기 제1 몸체의 일측단부에 구비되고, 상기 제1 몸체의 직경보다 큰 직경을 가지는 제2 몸체를 포함한다. 웨이퍼 엘리베이터의 실 플레이트에 구비되는 구동 샤프트 구멍을 중심으로 상기 구동 샤프트 구멍의 주변부에 구비되는 다수개의 기준 구멍에 상기 제1 몸체를 각각 삽입하고, 상기 기준 구멍의 직경보다 큰 직경을 가지고, 상기 기준 구멍과 각각 대응하도록 상기 드라이브 캡의 외주면에 구비되는 원형 홈의 내주면과 상기 제2 몸체의 외주면이 면접하도록 하여 상기 웨이퍼 엘리베이터의 구동 샤프트의 중심축을 정렬한다. 따라서 상기 구동 샤프트를 항상 일정하게 조립할 수 있음에 따라 정비에 소요되는 시간을 절감하고, 상기 구동 샤프트의 중심축 정렬 불량으로 인한 웨이퍼 파손을 방지할 수 있다.

Description

웨이퍼 엘리베이터의 조립 방법 및 조립 기구{Method and Tool for Assembly of Wafer Elevator}

본 발명은 웨이퍼 엘리베이터의 조립 기구와 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 웨이퍼 엘리베이터의 구동 샤프트를 조립하는 기구와 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 장치의 제조는 단결정의 실리콘 웨이퍼 상에 다층막을 원하는 회로 패턴에 따라 형성하여 소기의 반도체 장치를 얻는 과정으로서, 증착 공정, 포토리소그라피 공정, 산화 공정, 식각 공정, 이온 주입 공정 및 금속 배선 공정 등의 일련의 공정이 각 단계에 따라 수행되어 진다. 상기 일련의 공정을 수행하기 위해서는 각각의 공정을 수행하기 위한 장치로 웨이퍼를 이송시켜야 한다.

상기 공정들 중에서 고진공의 챔버 내에서 웨이퍼 상에 공정이 수행되는 경우에는 상기 공정이 수행되는 메인 챔버(Main chamber)내로 상기 웨이퍼를 바로 이송하는 것이 아니라, 로드락 챔버(Load Lack chamber)를 통해 상기 웨이퍼를 공정 챔버로 이송한다. 그 이유는, 상기 공정을 수행하기 위해서는 메인 챔버가 안정적으로 고진공 상태를 유지하여야 하기 때문이다. 즉, 로드락 챔버에 웨이퍼를 로딩한 다음 상기 로드락 챔버를 진공 상태로 형성하고, 소정의 진공이 설정되면 상기 로드락 챔버의 일측에 구비되고, 상기 메인 챔버와 상기 로드락 챔버를 개폐시키는 슬릿(slit)을 통해 상기 웨이퍼를 메인 챔버로 이송시켜 상기 메인 챔버가 갖는 고진공의 분위기를 계속 유지한다. 상기 고진공의 챔버 내에서 수행되는 반도체 공정은 건식 식각, 이온 주입, 화학 기상 증착 등이 포함된다.

상기 로드락 챔버는, 다수매의 웨이퍼를 수용하고, 상기 웨이퍼들 중에서 선택적으로 상기 메인 챔버에 이송되어야 하기 때문에 상기 웨이퍼들을 상기 로드락 챔버 내에서 상하 구동시키기 위한 엘리베이터(Elevator)가 구비되어야 한다.

상기 웨이퍼에 막 형성 및 식각 공정에 사용되는 엘리베이터의 일 예는 미합중국 특허 제5,217,501호(Fuse, et al)에 개시되어 있고, 상기 웨이퍼들이 수용되는 카세트의 수평 상태를 안정적으로 유지하는 엘리베이터의 일 예는 대한민국 등록 특허 제0161624호(신동진 외 3명)에 개시되어 있다. 또한, 상기 카세트의 수평 상태를 육안으로 확인할 수 있는 엘리베이터의 일 예가 대한민국 특허 공개 제1998-016861호(이채영)에 개시되어 있다.

도 1은 종래의 엘리베이터를 설명하기 위한 개략도이다.

도 1를 참조하면, 상기 저장 엘리베이터는 다수매의 웨이퍼가 삽입되는 카세트, 상기 카세트와 결합되는 샤프트, 상기 샤프트를 구동시키는 구동부 및 상기 샤프트와 상기 로드락 챔버를 연결하는 연결 부재를 구비한다. 따라서 상기 구동부에 의해 상기 샤프트에 결합된 카세트가 상기 챔버 내에서 상하 구동을 수행한다. 상기 카세트와 상기 샤프트는 장비의 점검이나, 이상 발생에 의한 정비, 소모품 교체등을 수행할 때 이들의 결합을 분리시키고 재조립하는 과정을 거쳐야 한다. 도면에서는 상기 로드락 챔버에 연결되는 연결 부재만을 도시하였다.

상기 연결 부재는 실 플레이트(10)와 드라이브 캡(20)을 구비한다. 상기 실 플레이트(10)는 상기 샤프트(30)가 관통되는 구멍을 구비하고, 상기 챔버와 인접되는 일측면에 형성되는 상기 구멍의 주변부에 상기 구멍의 중심과 동일한 중심을 가지는 오링 홈을 구비하고, 상기 오링 홈에 오링(40)을 구비하여 상기 로드락 챔버의 하부에 밀착된다. 상기 구멍은 상기 챔버와 인접되는 일측면에 형성되는 제1 구멍의 직경이 타측면에 형성되는 제2 구멍의 직경보다 작게 형성되어 2단으로 천공된다. 또한 상기 타측면에는 상기 타측면에 형성되는 제2 구멍의 주변부에 상기 제2 구멍의 중심과 동일하고, 직경이 더 큰 피치원상에 등간격으로 다수개의 탭이 형성된다.

상기 드라이브 캡(20)은 상기 실 플레이트(10)의 제2 구멍으로 삽입되는 제1 몸체와 상기 제1 몸체의 단면적보다 크게 형성되어 상기 실 플레이트의 제2 구멍이 형성되는 타측면에 접촉하는 제2 몸체를 구비하는 원형 플레이트 형상을 가진다. 상기 제2 몸체에는 상기 실 플레이트에 구비되는 다수개의 탭과 대응하는 나사 구멍을 구비한다. 상기 제2 몸체의 나사 구멍을 통해 나사가 삽입되고, 상기 실 플레이트(10)에 구비되는 탭에 상기 나사가 체결됨으로서 상기 드라이브 캡(20)이 상기 실 플레이트(10)에 조립된다. 상기 드라이브 캡(20)의 제1 몸체에 인접하는 제2 몸체의 일측면에는 상기 제1 몸체의 직경보다 큰 오링 홈이 구비되고, 상기 오링 홈에 오링(50)이 장착되어 상기 실 플레이트(10)의 타측면과 면접하는 제2 몸체의 일측면 사이에 밀봉이 제공된다.

또한, 상기 드라이브 캡(20)은 상기 제1 몸체에서 제2 몸체의 중앙부를 관통하는 구멍을 구비한다. 상기 드라이브 캡(20)의 중앙부를 관통하는 구멍은 제1 몸체의 구멍의 직경이 제2 몸체의 구멍의 직경보다 크게 형성되도록 2단으로 천공되고, 상기 제1 몸체의 구멍에는 상기 로드락 챔버의 내부와 외부를 밀봉하는 패킹(60)이 설치된다. 또한 상기 제1 몸체에는 외주면과 내주면을 관통하는 구멍이 형성된다. 상기 패킹(60)의 내주면이 상기 구동 샤프트의 외주면과 미끄럼 접촉되고, 상기 구동 샤프트가 상하 구동된다.

이때, 상기 실 플레이트(10)의 제2 구멍의 직경은 상기 드라이브 캡(20)의 제1 몸체의 직경보다 크게 형성되어 상기 드라이브 캡(20)의 제1 몸체가 상기 실 플레이트(10)의 제2 구멍으로 삽입되어 나사에 의해 체결될 때 상기 제 2 구멍과 제1 몸체 사이에는 일정 공간(70)이 형성된다. 상기 실 플레이트(10)의 제2 구멍의 내주면에는 압축 공기의 공급을 위해 외부와 연결되는 구멍(80)이 구비되고, 상기 구멍(80)을 통해 상기 공간(70)으로 압축 공기가 공급되고, 상기 압축 공기는 상기 드라이브 캡(20)의 제1 몸체의 외주면과 내주면을 관통하는 구멍을 통해 상기 패킹(60)에 작용하여 상기 패킹(60)이 상기 샤프트(30)로 밀착되도록 한다.

간단하게 설명하면, 상기 실 플레이트(10)에 상기 드라이브 캡(20)이 설치되고, 상기 실 플레이트(10)가 상기 로드락 챔버의 하부에 밀착된다. 상기 샤프트(30)는 상기 드라이브 캡(20)과 실 플레이트(10) 및 상기 로드락 챔버를 관통하여 설치되고, 상기 로드락 챔버 내부에서 상기 샤프트(30)의 일측단부와 상기카세트의 하부가 결합된다.

상기 저장 엘리베이터의 정비를 위해 부품들을 분해하여 정비 후 다시 조립하는 과정에서 상기 실 플레이트(10)의 제2 구멍과 상기 드라이브 캡(20)의 제1 몸체 사이에 형성되는 공간(70)과 상기 드라이브 캡(20)의 나사 구멍과 조립용 나사의 간극으로 인하여 상기 샤프트(30)의 중심축이 한 쪽으로 치우치게 되는 현상이 발생한다.

상기와 같이 샤프트의 중심축이 한 쪽으로 치우치게 되면, 상기 카세트에 구비되는 슬롯(Slot)이 정위치에 위치하지 못하게 된다. 이에 따라 상기 웨이퍼를 상기 슬롯에 삽입시키면 상기 웨이퍼는 상기 슬롯에 충돌하게 되고, 상기 웨이퍼 상에는 스크레치(scratch)등과 같은 불량이 발생하게 되고, 상기 웨이퍼에서 발생되는 파티클로 인해 카세트 내부의 전체 웨이퍼들이 오염될 수 있다.

따라서, 상기 샤프트의 중심을 조절하여 조립하여야 하며 이에 따른 시간적인 손실이 발생한다. 그리고 상기 엘리베이터의 조립을 수행할 때 상기 샤프트의 중심축을 정렬하기 위한 기준이 되는 위치가 설정되어 있지 않기 때문에, 상기 샤프트를 항상 일정하게 조립하는 것이 용이하지 않다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 상기 엘리베이터를 상기 로드락 챔버에 조립할 때 샤프트의 중심축을 일정하게 정렬하기 위한 조립 방법과 조립 기구를 제공하는데 있다.

도 1은 종래의 엘리베이터를 설명하기 위한 개략도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조립 기구를 이용하여 로드락 챔버에 엘리베이터가 장착된 상태를 설명하기 위한 개략도이다.

도 3은 도 2에 도시한 실 플레이트를 설명하기 위한 사시도이다.

도 4는 도 3에 도시한 A′-A″를 절단한 단면도이다.

도 5는 도 2에 도시한 드라이브 캡을 설명하기 위한 사시도이다.

도 6은 도 5에 도시한 B′-B″를 절단한 단면도이다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 조립 기구를 설명하기 위한 사시도이다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 조립 기구를 이용하여 실 플레이트와 드라이브 캡이 조립되는 상태를 설명하기 위한 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10, 220 : 실 플레이트 20, 230 : 드라이브 캡

30, 210 : 구동 샤프트 40, 50 : 오링

60, 316 : 패킹 100 : 로드락 챔버

110 : 웨이퍼 카세트 200 : 엘리베이터

240 : 구동 모터 250 : 리드 스크류

300, 312 : 샤프트 구멍 302, 322 : 오링 홈

304, 318 : 나사 구멍 306 : 탭

310 : 연결 부재 400 : 조립 기구

420 : 나사

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 원형 막대 형상의 제1 몸체와 상기 제1 몸체의 일측단부에 구비되고, 상기 제1 몸체의 직경보다 큰 원형 막대 형상의 제2 몸체를 구비하여 웨이퍼 엘리베이터의 구동 샤프트의 중심축을 정렬시키는 조립 기구를 이용하여 상기 웨이퍼 엘리베이터를 조립하는 방법을 제공한다.

상기 웨이퍼 엘리베이터는 구동 샤프트, 실 플레이트, 드라이브 캡 및 상기 구동 샤프트를 구동하는 구동부를 구비한다.

상기 드라이브 캡은 원통형상의 제1 몸체와 상기 제1 몸체의 일측단부에 연결되고, 상기 제1 몸체의 직경보다 큰 직경을 가지는 제2 몸체를 구비한다. 상기 제1 몸체와 제2 몸체의 중앙부를 관통하는 구멍이 구비되고, 상기 구멍에 웨이퍼 카세트를 상하 구동하는 상기 엘리베이터의 구동 샤프트가 설치된다. 상기 제1 몸체의 일측단부에 형성되는 구멍의 직경이 상기 제1 몸체의 일측단부에 대향하는 제2 몸체의 일측 단부에 형성되는 구멍의 직경보다 크게 형성된다.

상기 실 플레이트는 상기 구동 샤프트가 설치되는 구멍을 구비하고, 로드락 챔버의 하부에 부착된다. 상기 로드락 챔버와 인접하는 일측면에 형성되는 상기 구동 샤프트가 설치되는 구멍의 직경이 타측면에 형성되는 직경보다 작게 형성된다. 상기 실 플레이트의 타측면에 형성된 상기 구멍으로 상기 드라이브 캡의 제1 몸체를 삽입하여 밀착시킨다.

상기 드라이브 캡의 제2 몸체의 외주면에 등간격으로 형성되고 상기 드라이브 캡의 중심축과 평행한 중심축을 가지는 다수개의 원형 홈과 상기 원형 홈과 대응되도록 상기 실 플레이트에 구비되는 구멍을 일치시킨다.

상기 실 플레이트에 구비되는 다수개의 구멍의 직경과 동일한 직경을 가지는 원형 막대 형상의 제1 몸체와 상기 제1 몸체의 일측면에 제공되고, 상기 드라이브 캡의 타측단부의 외주면에 구비되는 다수개의 원형 홈의 직경과 동일한 직경을 가지는 제2 몸체를 구비하는 조립 기구의 상기 제1 몸체를 상기 실 플레이트의 다수개의 구멍에 각각 삽입하고, 상기 제2 몸체의 외주면이 상기 드라이브 캡의 제2 몸체의 외주면에 구비되는 다수개의 원형 홈의 내주면과 면접하도록 하여 상기 실 플레이트와 상기 드라이브 캡의 중심축을 정렬시킨다.

상기 드라이브 캡과 인접하는 상기 실 플레이트의 타측면에 구비되는 상기 구동 샤프트 구멍의 중심과 동일한 중심을 가지고, 상기 구동 샤프트 구멍의 직경보다 큰 피치원상에서 등간격으로 구비되는 다수개의 탭과 상기 탭과 대응하도록 구비된 상기 드라이브 캡의 나사 구멍에 나사를 삽입하여 상기 탭에 체결함으로서 상기 드라이브 캡을 상기 실 플레이트에 체결한다.

상기 드라이브 캡과 상기 실 플레이트를 관통하여 상기 구동 샤프트를 설치함으로서 상기 구동 샤프트의 중심축을 항상 일정하게 조립할 수 있다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조립 기구를 이용하여 로드락 챔버에 엘리베이터가 장착된 상태를 설명하기 위한 개략도이다.

도 2를 참조하면, 반도체 장치 제조를 위한 장비에 구비되는 로드락 챔버(100)가 도시되어 있다. 상기 로드락 챔버(100)의 하부에는 상기 로드락 챔버내부에 구비되는 웨이퍼 카세트(110)를 구동하기 위한 엘리베이터(200)가 구비된다. 상기 로드락 챔버(100)의 하부는 상기 엘리베이터(200)의 구동 샤프트(210)가 관통되는 구멍이 구비된다. 상기 구멍과 연결되는 구멍을 구비하고, 상기 로드락 챔버의 하부에 부착되는 실 플레이트(220)가 구비된다. 상기 실 플레이트(220)의 하부에는 상기 실 플레이트(220)의 구멍과 연결되고, 상기 구동 샤프트(210)를 지지하는 원형의 드라이브 캡(230)이 설치된다. 상기 로드락 챔버(100)의 하부와 실 플레이트(220) 및 상기 드라이브 캡(230)을 관통하여 구동 샤프트(210)가 설치된다. 상기 구동 샤프트(210)의 상부는 상기 로드락 챔버(100) 내부에 위치되고, 상기 구동 샤프트(210)의 상부가 상기 카세트(110)의 하부에 고정된다.

한편, 상기 구동 샤프트(210)를 구동하기 위한 구동 모터(240)가 상기 로드락 챔버(100)의 하부에서 상기 구동 샤프트(210)의 측면에 구비되고, 상기 모터(240)의 출력축은 리드 스크류(250)와 연결된다.

상기 구동 샤프트(210)의 하부에는 상기 리드 스크류(250)와 연결하기 위한 연결 부재(도시되지 않음)가 설치되고, 상기 구동 모터(240)의 회전력이 상기 연결 부재에 의해 직선 구동력으로 변환되어 상기 구동 샤프트(210)로 전달된다. 따라서 상기 구동 샤프트(210)는 상하 구동하게 되고, 상기 구동 샤프트(210)의 상부에 연결되는 상기 카세트(110)가 상하로 구동된다.

도 3은 도 2에 도시한 실 플레이트를 설명하기 위한 사시도이다.

도 4는 도 3에 도시한 A′-A″를 절단한 단면도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 실 플레이트(220)는 사각의 형상을 가지고,상·하부면을 관통하는 샤프트 구멍(300)이 형성되어 있다. 상기 샤프트 구멍은 하부면에 형성되는 제1 샤프트 구멍(300a)의 직경이 상부면에 형성되는 제2 샤프트 구멍(300b)의 직경보다 크게 형성되도록 2단으로 천공되어 있다. 또한 상기 상부면에 형성된 제2 샤프트 구멍(300b)과 동일한 중심을 가지고, 상기 제2 샤프트 구멍(300b)의 직경보다 큰 직경을 가지는 홈(302)이 형성된다. 상기 실 플레이트(220)의 상부면은 상기 로드락 챔버의 하부면에 부착되고, 상기 홈(302)에 오링이 장착되어 상기 로드락 챔버 내부와 외부를 밀봉한다. 또한, 상기 실 플레이트(220)의 샤프트 구멍(300)의 중심과 동일한 중심을 가지고, 상기 오링 홈(302)의 직경보다 큰 직경을 가지는 피치원상에 등간격으로 다수개의 나사 구멍(304)이 상·하부면을 관통하여 형성되어 있다.

한편, 상기 실 플레이트(220)의 하부면에는 상기 샤프트 구멍(300)과 동일한 중심을 가지고, 상기 제1 샤프트 구멍(300a)의 직경보다 크고, 상기 나사 구멍(304)의 피치원의 직경보다 작은 직경을 가지는 피치원상에 상기 나사 구멍과 간섭되지 않도록 등간격으로 다수개의 탭(306)이 형성되어 있다.

또한 상기 제1 샤프트 구멍(300a)의 내주면에서 상기 실 플레이트(220)의 측면을 관통하는 압축 공기 구멍(308)이 형성되어 있고, 상기 실 플레이트(220)의 측면의 압축 공기 구멍(308)에는 압축 공기 라인과 연결하기 위한 연결 부재(310)가 설치된다.

도 5는 도 2에 도시한 드라이브 캡을 설명하기 위한 사시도이다.

도 6은 도 5에 도시한 B′-B″를 절단한 단면도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 드라이브 캡(230)은 상기 실 플레이트(220)의 제1 샤프트 구멍(300a)으로 삽입되는 제1 몸체(230a)와 상기 실 플레이트(220)에 형성된 나사 구멍(304)의 피치원과 동일한 직경을 가지고, 상기 실 플레이트(220)의 하부면에 면접하는 제2 몸체(230b)를 구비한다.

상기 제1 몸체(230a)의 직경은 상기 실 플레이트(220)의 제1 샤프트 구멍(300a)의 직경보다 작은 직경을 가진다. 또한, 상기 제1 몸체(230a)와 제2 몸체(230b)를 관통하는 샤프트 구멍(312)이 형성되어 있다. 상기 드라이브 캡(230)의 샤프트 구멍(312)은 제1 몸체(230a)에 형성되는 제1 샤프트 구멍(312a)의 직경이 제2 몸체(230b)에 형성되는 제2 샤프트 구멍(312b)의 직경보다 크게 형성되도록 2단으로 천공된다. 그리고, 상기 제1 몸체(230a)의 외주면과 내주면을 관통하는 구멍(314)이 형성된다. 또한, 상기 드라이브 캡(230)의 제1 샤프트 구멍(312a)에는 구동 샤프트(210)의 외주면과 미끄럼 접촉하는 패킹(316)이 장착되고, 상기 패킹(316)은 상기 로드락 챔버(100)의 내부와 외부를 밀봉한다.

상기 제2 몸체(230b)에는 상기 실 플레이트(220)에 구비되는 다수개의 탭(306)과 대응하는 나사 구멍(318)이 구비되고, 상기 실 플레이트(220)에 구비되는 다수개의 나사 구멍(304)에 대응하는 홈(320)이 외주면에 구비된다. 상기 제2 몸체(230b)의 외주면에 구비되는 홈(320)의 직경은 상기 실 플레이트(220)에 구비되는 다수개의 나사구멍(304)의 직경보다 크게 형성된다. 또한 상기 실 플레이트(220)와 면접하는 상기 제2 몸체(230b)의 일측면에는 상기 제1 몸체(230a)의 직경보다 크고 상기 제2 몸체(230b)에 구비되는 나사 구멍(318)의 피치원의 직경보다 작은 오링 홈(322)이 구비되고, 상기 오링 홈(322)에 오링이 장착되어 상기 실 플레이트(220)와 드라이브 캡(230) 사이를 밀봉한다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 조립 기구를 설명하기 위한 사시도이다.

도 7를 참조하면, 상기 조립 기구(400)는 상기 실 플레이트(220)에 구비되는 나사 구멍(304)의 직경에 상당하는 직경을 가지는 제1 몸체(400a)와 상기 드라이브 캡(230)의 제2 몸체(230b)의 외주면에 구비되는 홈(320)의 직경에 상당하는 직경을 가지는 제2 몸체(400b)로 구성된다. 상기 조립 기구(400)의 제1 몸체(400a)의 직경은 5.6mm이고, 길이는 17mm이다. 상기 조립 기구(400)의 제1 몸체(400a)와 인접하지 않는 상기 조립 기구(400)의 제2 몸체(400b)의 일측단부에는 손잡이부(410)가 구비되고, 상기 손잡이부(410)의 직경은 11.2mm이고, 길이는 20mm이다. 상기 손잡이부(410)에는 파지가 용이하도록 너얼링 가공이 되어 있다. 상기 조립 기구(400)의 제2 몸체(400b)의 직경은 상기 손잡이부(410)와 동일한 11.2mm이고, 길이는 상기 손잡이부(410)의 길이를 포함하여 50mm이다. 상기 조립 기구(400)의 크기는 상기 실 플레이트와 드라이브 캡의 크기를 고려하여 바람직한 크기로 설정된 것이다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 조립 기구를 이용하여 실 플레이트와 드라이브 캡이 조립되는 상태를 설명하기 위한 사시도이다.

도 8를 참조하면, 상기 실 플레이트(220)에 구비되는 샤프트 구멍(300)과 상기 드라이브 캡(230)에 구비되는 샤프트 구멍(312)이 연결되도록 상기 실 플레이트(220)의 제1 샤프트 구멍(300a)에 상기 드라이브 캡(230)의 제1 몸체(230a)를 삽입한다. 상기 실 플레이트(220)에 구비되는 나사 구멍(304)의 중심축과 상기 드라이브 캡(230)의 제2 몸체(230b)의 외주면에 구비되는 홈(320)의 중심축이 일치하도록하고, 상기 조립 기구(400)의 제1 몸체(400a)를 상기 실 플레이트(220)의 나사 구멍(304)에 삽입하고, 상기 조립 기구(400)의 제2 몸체(400b)를 상기 드라이브 캡(230)의 제2 몸체(230b)의 외주면에 구비된 홈(320)에 삽입하여 상기 제2 몸체(400b)의 외주면이 상기 홈(320)의 내주면에 면접하도록 하여 상기 드라이브 캡(230)의 샤프트 구멍(312)의 위치를 고정한다.

그 다음, 상기 드라이브 캡(230)의 제2 몸체(230b)에 구비되는 나사 구멍(318)과 대응되는 상기 실 플레이트(220)에 구비되는 탭(306)에 나사(420)를 삽입하여 상기 실 플레이트(220)와 드라이브 캡(230)을 체결하고, 상기 구동 샤프트(210)를 상기 드라이브 캡(230)의 제2 몸체(230b)와 제1 몸체(230a)에 장착된 패킹(316) 및 상기 실 플레이트(220)를 관통하여 설치한다.

상기 실 플레이트(220)에 구비되는 압축 공기 구멍(308)을 통하여 압축 공기가 상기 실 플레이트(220)의 제1 샤프트 구멍(300a)과 상기 드라이브 캡(230)의 제1 몸체(230a)의 외주면으로 한정되는 공간으로 공급되고, 상기 압축 공기의 압축력이 상기 드라이브 캡(230)의 제1 몸체(230a)의 외주면과 내주면을 관통하는 구멍(314)을 통해 상기 패킹(316)의 외주면에 작용된다. 상기 압축 공기에 의해 상기 패킹(316)의 내주면이 상기 구동 샤프트(210)의 외주면에 밀착되고, 상기 패킹(316)은 상기 로드락 챔버의 내부와 외부를 밀봉한다.

따라서 상기 조립 기구에 의해 상기 드라이브 캡이 구속되어 있는 상태에서 나사를 체결하기 때문에 상기 드라이브 캡의 샤프트 구멍과 상기 실 플레이트의 샤프트 구멍의 중심이 정확하게 정렬되고, 이에 따라 상기 구동 샤프트의 중심축이 항상 일정한 위치에 정확하게 정렬된다.

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 상기 조립 기구는 로드락 챔버의 엘리베이터의 정비를 위해 분해 후 재조립할 때 상기 구동 샤프트의 중심축의 정렬을 항상 일정하게 정렬할 수 있도록 하고, 상기 구동 샤프트의 중심축을 정확하게 그리고 용이하게 정렬할 수 있도록 한다.

또한, 상기와 같은 조립 기구를 사용하여 상기 엘리베이터의 구동 샤프트를 조립함으로서 상기 구동 샤프트의 정렬 불량으로 인한 웨이퍼의 파손과 상기 구동 샤프트의 정렬에 소요되는 시간을 절감하여 제품 수율 향상과 장비의 가동률을 증가시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (3)

1. 웨이퍼 카세트를 상하 구동하는 엘리베이터의 구동 샤프트가 설치되는 구멍을 구비하는 상기 엘리베이터의 실 플레이트와 드라이브 캡을 밀착시키고, 상기 구멍의 중심축을 일치시키는 단계;

   상기 실 플레이트에 구비되는 구동 샤프트 구멍의 주변 부위에 상기 구동 샤프트 구멍을 중심으로 형성되는 다수개의 기준 구멍과 상기 기준 구멍과 대응하도록 상기 드라이브 캡의 외주면에 구비되고, 상기 기준 구멍의 직경보다 큰 직경을 가지는 다수개의 원형 홈의 중심축을 일치시키는 단계;

   원형 막대 형상을 갖는 제1 몸체와 상기 제1 몸체의 일측 단부에 구비되고, 상기 제1 몸체의 직경보다 큰 직경을 가지는 제2 몸체를 구비하는 조립 기구의 상기 제1 몸체를 상기 실 플레이트의 기준 구멍에 삽입하고, 상기 제2 몸체의 외주면과 상기 드라이브 캡의 원형 홈의 내주면이 면접하도록 하여 상기 실 플레이트와 상기 드라이브 캡의 구동 샤프트 구멍을 정렬하고, 나사로서 상기 실 플레이트와 드라이브 캡을 조립하는 단계; 및

   상기 드라이브 캡과 실 플레이트를 관통하여 상기 구동 샤프트를 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 엘리베이터의 조립 방법.
2. 원형 막대 형상을 갖는 제1 몸체; 및

   상기 제1몸체의 일측 단부에 구비되고, 상기 제1몸체의 직경보다 큰 직경을갖는 제2 몸체를 포함하고,

   웨이퍼 엘리베이터의 실 플레이트에 구비되는 구동 샤프트 구멍을 중심으로 상기 구동 샤프트 구멍의 주변 부위에 형성되는 다수개의 기준 구멍에 상기 제1 몸체를 각각 삽입하고, 상기 기준 구멍의 직경보다 큰 직경을 가지고, 상기 기준 구멍과 각각 대응하도록 드라이브 캡의 외주면에 구비되는 원형 홈의 내주면과 상기 제2 몸체의 외주면이 면접하도록 하여 상기 웨이퍼 엘리베이터의 구동 샤프트의 중심축을 정렬하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 엘리베이터의 조립 기구.
3. 제2항에 있어서, 상기 제1 몸체와 인접하는 상기 제2 몸체의 일측 단부에 대향하는 타측 단부의 외주면에 너얼링 가공된 손잡이부를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 엘리베이터의 조립 기구.