Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR102640243B1 - 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 oled 메탈 마스크제작용 픽업 이송장치 - Google Patents

동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 oled 메탈 마스크제작용 픽업 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102640243B1
KR102640243B1 KR1020230099402A KR20230099402A KR102640243B1 KR 102640243 B1 KR102640243 B1 KR 102640243B1 KR 1020230099402 A KR1020230099402 A KR 1020230099402A KR 20230099402 A KR20230099402 A KR 20230099402A KR 102640243 B1 KR102640243 B1 KR 102640243B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pick
transfer device
tension
shield
transfer
Prior art date
Application number
KR1020230099402A
Other languages
English (en)
Inventor
오정석
Original Assignee
(주)템스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)템스코 filed Critical (주)템스코
Priority to KR1020230099402A priority Critical patent/KR102640243B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102640243B1 publication Critical patent/KR102640243B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/92—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating electrostatic or magnetic grippers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치에 관한 것이다.
이에 본 발명의 기술적 요지는 메인 인장용접기와 서브 인장용접기 파트를 왕복 이송하면서 각각의 파트별 워크 존에 자동화 방식으로 자재(프레임 or 시트/ 프레임 & 시트)를 운반하거나 이송하도록 하는 것으로, 자재에 대한 '이송' 로딩/언로딩 시에는 로더 유니트(x축 구동부와 z축 구동부)를 이용하도록 하되, 자재의 '픽업' 로딩/언로딩 시에는 트랜스퍼 모듈을 이용하여 정밀한 운반성과 높은 작업성 및 개선된 생산성을 확보하도록 형성되고, 특히 트랜스퍼 모듈에는 마그넷 피커모듈과 사이드 헬프모듈이 구비되도록 하되, 마그넷 피커모듈은 간접식 자력 픽업 방식에 의한 픽업이 가능하도록 형성되어 자재의 표면 훼손이나 손상 없이 원활한 무빙을 보장하도록 함은 물론 사이드 헬프모듈은 동기식 커버플레이트(스윙 개폐형 트윈 슬라이딩 구조)가 구비되어 자재 보호 외 낙하방지 및 웨이브 발생 불량(마스크 프레임에 안착시 평탄면을 확보할 수 있도록 유도)을 방지하면서 신속하고 원활한 인장용접 작업이 수행될 수 있도록 보조하는 것을 특징으로 한다.

Description

동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치{Pick-up and transfer device for manufacturing shield-type OLED metal mask with synchronous opening and closing structure}
본 발명은 메인 인장용접기와 서브 인장용접기 파트를 왕복 이송하면서 각각의 파트별 워크 존에 자동화 방식으로 자재(프레임 or 시트/ 프레임 & 시트)를 운반하거나 이송하도록 하는 것으로, 자재에 대한 '이송' 로딩/언로딩 시에는 로더 유니트(x축 구동부와 z축 구동부)를 이용하도록 하되, 자재의 '픽업' 로딩/언로딩 시에는 트랜스퍼 모듈을 이용하여 정밀한 운반성과 높은 작업성 및 개선된 생산성을 확보하도록 형성되고, 특히 트랜스퍼 모듈에는 마그넷 피커모듈과 사이드 헬프모듈이 구비되도록 하되, 마그넷 피커모듈은 간접식 자력 픽업 방식에 의한 픽업이 가능하도록 형성되어 자재의 표면 훼손이나 손상 없이 원활한 무빙을 보장하도록 함은 물론 사이드 헬프모듈은 동기식 커버플레이트(스윙 개폐형 트윈 슬라이딩 구조)가 구비되어 자재 보호 외 낙하방지 및 웨이브 발생 불량(마스크 프레임에 안착시 평탄면을 확보할 수 있도록 유도)을 방지하면서 신속하고 원활한 인장용접 작업이 수행될 수 있도록 보조하는 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치에 관한 것이다.
대면적 원장 마스크를 제작하기 위한 방법으로 6세대급 사이즈의 패턴 마스크를 이어 붙여 원장 마스크로 제작한 뒤 인장기로 하여금 4면을 인장한 후 마스크 프레임에 용접 접합함으로서 일련의 대면적 증착 마스크를 제조하는 방안이 제안되어 있다.(대한민국 등록특허공보 제10-1891242호 참조)
이러한 선행특허에는 패턴 마스크(6세대급 사이즈)를 원장으로 만들기 위해 하나의 인장용접장비를 통해 작업을 수행하고 있는 것으로 기술되어 있으나 최근에는 두 대로 분할된 인장용접장비(메인+서브)를 통해 대면적 사이즈의 원장 마스크를 제작하는 것이 추세이다.
따라서, 두 대의 인장용접장비(메인 인장용접기+서브 인장용접기)를 경유하며 이송 로딩/언로딩 또는 픽업 로딩/언로딩을 수행하는 트랜스퍼 장비는 필히 요구된다.
이에 통상의 트랜스퍼 모듈(이송장치)은 단순히 3차원 이송로봇(x,y,z)에 진공 흡입장치 또는 마그네틱 픽업설비를 장착하여 픽업과 이송을 도모하게 되는데, 종래의 트랜스퍼 모듈은 상판 흡착 직접 밀착구조로 이루어져 자재(프레임과 시트)에 대한 표면 오염과 손상 및 훼손을 야기하게 되고, 흡착 불량시 자재가 아래로 추락하게 되면서 자재 자체는 물론 작업자가 다치거나 고가의 장비까지 파손되는 2차 안전 문제까지 대두되고 있는 실정이다.
1. 대한민국 등록특허공보 제10-0674882호(2007.01.22. 등록)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 메인 인장용접기와 서브 인장용접기 파트를 왕복 이송하면서 각각의 파트별 워크 존에 자동화 방식으로 자재(프레임 or 시트/ 프레임 & 시트)를 운반하거나 이송하도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 본 발명은 자재에 대한 '이송' 로딩/언로딩 시에는 로더 유니트(x축 구동부와 z축 구동부)를 이용하도록 하되, 자재의 '픽업' 로딩/언로딩 시에는 트랜스퍼 모듈을 이용하여 정밀한 운반성과 높은 작업성 및 개선된 생산성을 확보하도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 트랜스퍼 모듈에는 마그넷 피커모듈과 사이드 헬프모듈이 구비되도록 하되, 마그넷 피커모듈은 간접식 자력 픽업 방식에 의한 픽업이 가능하도록 형성되어 자재의 표면 훼손이나 손상 없이 원활한 무빙을 보장하도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
아울러, 본 발명의 사이드 헬프모듈은 동기식 커버플레이트(스윙 개폐형 트윈 슬라이딩 구조)가 구비되어 자재 보호 외 낙하방지 및 웨이브 발생 불량(마스크 프레임에 안착시 평탄면을 확보할 수 있도록 유도)을 방지하면서 신속하고 원활한 인장용접 작업이 수행될 수 있도록 보조하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 대차(10) 위에 준비된 자재(20: 프레임 or 시트/ 프레임 & 시트)를 메인 인장용접기(30)와 서브 인장용접기(40)에 이송 및 업다운시키도록 하되, x축 구동부(110)는 레일 구간 중 메인 인장용접기(30) 또는 서브 인장용접기(40) 위치에 따라 자재(20)를 왕복 이송(메인 인장용접기와 서브 인장용접기 파트로 각각 왕복 이송되면서 각각의 파트에서의 인장용접이 수행되도록 무빙)시키도록 형성되고, z축 구동부(120)는 자재(20)가 각 이송 지점에 도달하면 메인 인장용접기 또는 서브 인장용접기의 워크 존에 대하여 업다운시키도록 하는 로더 유니트(100)와; z축 구동부(120) 하측에 설치되어 마그네틱(219)을 통해 자재(20)를 픽업한 뒤 커버플레이트(228)로 하여금 자재(20) 밑면을 받쳐 목적한 이송 지점(메인 인장용접기와 서브 인장용접기의 워크 존)으로 이송시키도록 하는 트랜스퍼 모듈(200)이; 구성되어 이루어진다.
이에, 로더 유니트(100)의 x축 구동부(110)는 기둥 프레임(111) 중앙에 이송용 레일(112)이 형성되도록 하되, 레일(112)의 선로 상에는 로울러를 갖는 이송체(113)가 설치되도록 형성되고, 로더 유니트(100)의 z축 구동부(120)는 복수의 링크(121)가 조인트브라켓(122)에 대하여 십자 힌지(123)로 연결되어 승하강 업다운을 도모하도록 형성된다.
이때, 트랜스퍼 모듈(200)은 실린더(211)의 로드축(212)과 연결된 홀더블럭(213) 일측에 힌지구(214)가 형성되도록 하되, 힌지구(214)는 링크판(215)에 기립된 스윙리브(216)의 힌지공(217)과 축결합되도록 형성되고, 링크판(215)의 일측단에는 샤프트(218)가 형성되어 베어링에 의해 회동되도록 형성되며, 링크판(215)의 저면에는 마그네틱(219)이 원판 형태로 다수 배열된 피커패널(219-1)이 결합되도록 하되, 피커패널(219-1)의 저면에는 루프판(130)으로부터 절곡되어 하향 연장된 비자성체의 차폐패널(219-2)이 결합되도록 하는 마그넷 피커모듈(210)과; z축 구동부(120)의 하측에 베이스 멤브레인(221)이 결합되도록 하되, 베이스 멤브레인(221)의 저면에는 슬라이딩 레일(222)이 구비되도록 형성되고, 슬라이딩 레일(222)에는 무빙브라켓(223)이 장착되도록 하되, 무빙브라켓(223)의 저면에는 푸쉬실린더(224)의 로드(225) 인출 구동에 따라 복수의 커넥팅 로드(226)와 연동링크(227)가 회동하면서 커버플레이트(228)를 로드(225) 인출방향 또는 인입방향으로 슬라이딩 이송(높이편차가 발생되는 선회 또는 회전 운동하면서 상하 높이차로 인한 Z축 모션운동 기능 수행)시키도록 하는 사이드 헬프모듈(220)이; 구성되어 이루어진다.
또한, 커버플레이트(228)는 베이스 멤브레인(221)을 기준으로 양측으로 분할되어 하프 영역을 분담하면서 중앙 센터점을 향해 상호 동기식 진입 해제되도록 형성된다.
이에, 차폐패널(219-2)은 마그네틱(219) 원판과 대응되는 면상에 개별 수납홈(219-21)이 다수 형성되어 자재(20: 프레임이나 시트)와의 근접 거리가 최대한 가까운 거리가 될 수 있도록 하면서 자력과의 근접 거리를 확보할 수 있도록 형성된다.
이때, 마그네틱(219)은 영구자석이거나 전자석 중 어느 하나로 형성된 것이 바람직하다.
또한, 피커패널(219-1)과 링크판(215) 사이에는 텐션스프링(219-3)과 부싱(219-4) 및 샤프트(219-5)가 구비되어 자재(20; 프레임 또는 시트)에 대한 픽업 밀착시 완충기능이 부가(표면 훼손 방지)되도록 형성된다.
이에, 차폐패널(219-2)은 루프판(130)에 결합시 고정아암(219-22)에 의해 장착되도록 하되, 루프판(130)에 결합된 고정아암(219-22)의 상단부에는 텐션블록(219-6)을 기준으로 텐션스프링(219-3)과 부싱(219-4) 및 샤프트(219-5)가 하향 설치되어 자재(20; 프레임 또는 시트)에 대한 픽업 밀착시 완충기능이 부가(표면 훼손 방지)되도록 형성된다.
한편, 루프판(130)에는 면상 일측에 업다운슬라이더(140)가 결합되도록 하되, 업다운슬라이더(140)의 하단부에는 지게발을 갖는 픽업구(150)가 결합되어 자재 중 마스크 프레임 또는 마스크 시트가 부착된 마스크 프레임을 들어올려 이송시킬 수 있도록 형성된다.
이때, 업다운슬라이더(140)는 일측에 수직레일(141) 따라 사이드슬라이드(150)가 업다운될 수 있도록 하는 세로실린더(142)가 구비되고, 픽업구(150)는 이송구(151)가 수평레일(152)을 따라 좌우 전후진 할 수 있도록 가로실린더(153)가 구비된다.
이와 같이, 본 발명은 메인 인장용접기와 서브 인장용접기 파트를 왕복 이송하면서 각각의 파트별 워크 존에 자동화 방식으로 자재(프레임 or 시트/ 프레임 & 시트)를 운반하거나 이송하도록 하는 것으로, 자재에 대한 '이송' 로딩/언로딩 시에는 로더 유니트(x축 구동부와 z축 구동부)를 이용하도록 하되, 자재의 '픽업' 로딩/언로딩 시에는 트랜스퍼 모듈을 이용하여 정밀한 운반성과 높은 작업성 및 개선된 생산성을 확보하도록 하는 효과가 있다.
이러한 본 발명의 트랜스퍼 모듈에는 마그넷 피커모듈과 사이드 헬프모듈이 구비되도록 하되, 마그넷 피커모듈은 간접식 자력 픽업 방식에 의한 픽업이 가능하도록 형성되어 자재의 표면 훼손이나 손상 없이 원활한 무빙을 보장하도록 함은 물론 사이드 헬프모듈은 동기식 커버플레이트(스윙 개폐형 트윈 슬라이딩 구조)가 구비되어 자재 보호 외 낙하방지 및 웨이브 발생 불량(마스크 프레임에 안착시 평탄면을 확보할 수 있도록 유도)을 방지하면서 신속하고 원활한 인장용접 작업이 수행될 수 있도록 보조하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치를 나타낸 개략적 개념도,
도 2는 도 1의 A-A 측면도,
도 3은 본 발명에 따른 x축 구동부의 이송레일과 이송체를 나타낸 예시도,
도 4 내지 도 5는 본 발명에 따른 로더 유니트와 트랜스퍼 모듈을 나타낸 예시도,
도 6 내지 도 9는 본 발명에 따른 트랜스퍼 모듈 중 마그넷 피커모듈을 나타낸 예시도,
도 10 내지 도 13은 본 발명에 따른 트랜스퍼 모듈 중 사이드 헬프모듈을 나타낸 예시도이다.
다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.
먼저, 도 1 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명은 로더 유니트(100)와 트랜스퍼 모듈(200)로 크게 구성된다.
이에, 로더 유니트(100)는 대차(10) 위에 준비된 자재(20: 프레임 or 시트/ 프레임 & 시트)를 메인 인장용접기(30)와 서브 인장용접기(40)에 이송 및 업다운시키도록 형성된다.
이때, x축 구동부(110)는 레일 구간 중 메인 인장용접기(30) 또는 서브 인장용접기(40) 위치에 따라 자재(20)를 왕복 이송(메인 인장용접기와 서브 인장용접기 파트로 각각 왕복 이송되면서 각각의 파트에서의 인장용접이 수행되도록 무빙)시키도록 형성된다.
이에, z축 구동부(120)는 자재(20)가 각 이송 지점에 도달하면 메인 인장용접기 또는 서브 인장용접기의 워크 존에 대하여 업다운시키도록 형성된다.
이때, 로더 유니트(100)의 x축 구동부(110)는 기둥 프레임(111) 중앙에 이송용 레일(112)이 형성되도록 하되, 레일(112)의 선로 상에는 로울러를 갖는 이송체(113)가 설치되도록 형성된다.
또한, 로더 유니트(100)의 z축 구동부(120)는 복수의 링크(121)가 조인트브라켓(122)에 대하여 십자 힌지(123)로 연결되어 승하강 업다운을 도모하도록 형성된다.
한편, 트랜스퍼 모듈(200)은 z축 구동부(120) 하측에 설치되어 마그네틱(219)을 통해 자재(20)를 픽업한 뒤 커버플레이트(228)로 하여금 자재(20) 밑면을 받쳐 목적한 이송 지점(메인 인장용접기와 서브 인장용접기의 워크 존)으로 이송시키도록 형성된다.
이때, 트랜스퍼 모듈(200)은 마그넷 피커모듈(210)과 사이드 헬프모듈(220)로 크게 구성된다.
이에, 마그넷 피커모듈(210)은 실린더(211)의 로드축(212)과 연결된 홀더블럭(213) 일측에 힌지구(214)가 형성되도록 하되, 힌지구(214)는 링크판(215)에 기립된 스윙리브(216)의 힌지공(217)과 축결합되도록 형성된다.
이때, 링크판(215)의 일측단에는 샤프트(218)가 형성되어 베어링에 의해 회동되도록 형성되며, 링크판(215)의 저면에는 마그네틱(219)이 원판 형태로 다수 배열된 피커패널(219-1)이 결합되도록 형성된다.
이에, 피커패널(219-1)의 저면에는 루프판(130)으로부터 절곡되어 하향 연장된 비자성체의 차폐패널(219-2)이 결합되도록 형성된다.
또한, 사이드 헬프모듈(220)은 z축 구동부(120)의 하측에 베이스 멤브레인(221)이 결합되도록 하되, 베이스 멤브레인(221)의 저면에는 슬라이딩 레일(222)이 구비되도록 형성된다.
이때, 슬라이딩 레일(222)에는 무빙브라켓(223)이 장착되도록 하되, 무빙브라켓(223)의 저면에는 푸쉬실린더(224)의 로드(225) 인출 구동에 따라 복수의 커넥팅 로드(226)와 연동링크(227)가 회동하면서 커버플레이트(228)를 로드(225) 인출방향 또는 인입방향으로 슬라이딩 이송(높이편차가 발생되는 선회 또는 회전 운동하면서 상하 높이차로 인한 Z축 모션운동 기능 수행)시키도록 하는 구성되어 이루어진다.
이러한, 커버플레이트(228)는 베이스 멤브레인(221)을 기준으로 양측으로 분할되어 하프 영역을 분담하면서 중앙 센터점을 향해 상호 동기식 진입 해제되도록 형성된다.
이에, 차폐패널(219-2)은 마그네틱(219) 원판과 대응되는 면상에 개별 수납홈(219-21)이 다수 형성되어 자재(20: 프레임이나 시트)와의 근접 거리가 최대한 가까운 거리가 될 수 있도록 하면서 자력과의 근접 거리를 확보할 수 있도록 형성된다.
이때, 마그네틱(219)은 영구자석이거나 전자석 중 어느 하나로 형성된 것이 바람직하다.
또한, 피커패널(219-1)과 링크판(215) 사이에는 텐션스프링(219-3)과 부싱(219-4) 및 샤프트(219-5)가 구비되어 자재(20; 프레임 또는 시트)에 대한 픽업 밀착시 완충기능이 부가(표면 훼손 방지)되도록 형성된다.
이에, 차폐패널(219-2)은 루프판(130)에 결합시 고정아암(219-22)에 의해 장착되도록 하되, 루프판(130)에 결합된 고정아암(219-22)의 상단부에는 텐션블록(219-6)을 기준으로 텐션스프링(219-3)과 부싱(219-4) 및 샤프트(219-5)가 하향 설치되어 자재(20; 프레임 또는 시트)에 대한 픽업 밀착시 완충기능이 부가(표면 훼손 방지)되도록 형성된다.
한편, 루프판(130)에는 면상 일측에 업다운슬라이더(140)가 결합되도록 하되, 업다운슬라이더(140)의 하단부에는 지게발을 갖는 픽업구(150)가 결합되어 자재 중 마스크 프레임 또는 마스크 시트가 부착된 마스크 프레임을 들어올려 이송시킬 수 있도록 형성된다.
이때, 업다운슬라이더(140)는 일측에 수직레일(141) 따라 사이드슬라이드(150)가 업다운될 수 있도록 하는 세로실린더(142)가 구비되고, 픽업구(150)는 이송구(151)가 수평레일(152)을 따라 좌우 전후진 할 수 있도록 가로실린더(153)가 구비된다.
이는 마스크 시트 외에 마스크 프레임 또는 마스크 시트가 부착된 마스크 프레임을 이송시킬 수 있도록 하기 위함이다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
10 ... 대차 20 ... 자재
30 ... 메인 인장용접기 40 ... 서브 인장용접기
100 ... 로더 유니트 110 ... x축 구동부
111 ... 기둥 프레임 112 ... 레일
113 ... 이송체 120 ... z축 구동부
121 ... 링크 122 ... 조인트브라켓
123 ... 십자 힌지 130 ... 루프판
140 ... 거치대 150 ... 스토퍼
200 ... 트랜스퍼 모듈 210 ... 마그넷 피커모듈
211 ... 실린더 212 ... 로드축
213 ... 홀더블럭 214 ... 힌지구
215 ... 링크판 216 ... 스윙리브
217 ... 힌지공 218 ... 샤프트
219 ... 마그네틱 219-1 ... 피커패널
219-2 ... 차폐패널 219-21 ... 수납홈
219-22 ... 고정아암
219-3 ... 텐션스프링 219-4 ... 부싱
219-5 ... 샤프트 219-6 ... 텐션블록
220 ... 사이드 헬프모듈 221 ... 베이스 멤브레인
222 ... 슬라이딩 레일 223 ... 무빙브라켓
224 ... 푸쉬실린더 225 ... 로드
226 ... 커넥팅 로드 227 ... 연동링크
228 ... 커버플레이트

Claims (10)

  1. 대차(10) 위에 준비된 자재(20)를 메인 인장용접기(30)와 서브 인장용접기(40)에 이송 및 업다운시키도록 하되, x축 구동부(110)는 레일 구간 중 메인 인장용접기(30) 또는 서브 인장용접기(40) 위치에 따라 자재(20)를 왕복 이송시키도록 형성되고, z축 구동부(120)는 자재(20)가 각 이송 지점에 도달하면 메인 인장용접기 또는 서브 인장용접기의 워크 존에 대하여 업다운시키도록 하는 로더 유니트(100)와;
    z축 구동부(120) 하측에 설치되어 마그네틱(219)을 통해 자재(20)를 픽업한 뒤 커버플레이트(228)로 하여금 자재(20) 밑면을 받쳐 목적한 이송 지점으로 이송시키도록 하는 트랜스퍼 모듈(200)이;
    구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    로더 유니트(100)의 x축 구동부(110)는
    기둥 프레임(111) 중앙에 이송용 레일(112)이 형성되도록 하되, 레일(112)의 선로 상에는 로울러를 갖는 이송체(113)가 설치되도록 형성되고,
    로더 유니트(100)의 z축 구동부(120)는 복수의 링크(121)가 조인트브라켓(122)에 대하여 십자 힌지(123)로 연결되어 승하강 업다운을 도모하도록 하는 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  3. 제 2항에 있어서, 트랜스퍼 모듈(200)은
    실린더(211)의 로드축(212)과 연결된 홀더블럭(213) 일측에 힌지구(214)가 형성되도록 하되, 힌지구(214)는 링크판(215)에 기립된 스윙리브(216)의 힌지공(217)과 축결합되도록 형성되고, 링크판(215)의 일측단에는 샤프트(218)가 형성되어 베어링에 의해 회동되도록 형성되며, 링크판(215)의 저면에는 마그네틱(219)이 원판 형태로 다수 배열된 피커패널(219-1)이 결합되도록 하되, 피커패널(219-1)의 저면에는 루프판(130)으로부터 절곡되어 하향 연장된 비자성체의 차폐패널(219-2)이 결합되도록 하는 마그넷 피커모듈(210)과;
    z축 구동부(120)의 하측에 베이스 멤브레인(221)이 결합되도록 하되, 베이스 멤브레인(221)의 저면에는 슬라이딩 레일(222)이 구비되도록 형성되고, 슬라이딩 레일(222)에는 무빙브라켓(223)이 장착되도록 하되, 무빙브라켓(223)의 저면에는 푸쉬실린더(224)의 로드(225) 인출 구동에 따라 복수의 커넥팅 로드(226)와 연동링크(227)가 회동하면서 커버플레이트(228)를 로드(225) 인출방향 또는 인입방향으로 슬라이딩 이송시키도록 하는 사이드 헬프모듈(220)이;
    구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  4. 제 3항에 있어서, 커버플레이트(228)는 베이스 멤브레인(221)을 기준으로 양측으로 분할되어 하프 영역을 분담하면서 중앙 센터점을 향해 상호 동기식 진입 해제되도록 하는 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  5. 제 4항에 있어서, 차폐패널(219-2)은 마그네틱(219) 원판과 대응되는 면상에 개별 수납홈(219-21)이 다수 형성되어 자재(20)와의 근접 거리가 될 수 있도록 하면서 자력과의 근접 거리를 확보할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  6. 제 4항에 있어서, 마그네틱(219)은 영구자석이거나 전자석 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  7. 제 4항에 있어서, 피커패널(219-1)과 링크판(215) 사이에는 텐션스프링(219-3)과 부싱(219-4) 및 샤프트(219-5)가 구비되어 자재(20)에 대한 픽업 밀착시 완충기능이 부가되도록 하는 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  8. 제 4항에 있어서, 차폐패널(219-2)은 루프판(130)에 결합시 고정아암(219-22)에 의해 장착되도록 하되, 루프판(130)에 결합된 고정아암(219-22)의 상단부에는 텐션블록(219-6)을 기준으로 텐션스프링(219-3)과 부싱(219-4) 및 샤프트(219-5)가 하향 설치되어 자재(20)에 대한 픽업 밀착시 완충기능이 부가되도록 하는 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  9. 제 8항에 있어서, 루프판(130)은 면상 일측에 업다운슬라이더(140)가 결합되도록 하되, 업다운슬라이더(140)의 하단부에는 지게발을 갖는 픽업구(150)가 결합되어 자재 중 마스크 프레임 또는 마스크 시트가 부착된 마스크 프레임을 들어올려 이송시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
  10. 제 9항에 있어서, 업다운슬라이더(140)는 일측에 수직레일(141) 따라 사이드슬라이드(150)가 업다운될 수 있도록 하는 세로실린더(142)가 구비되고, 픽업구(150)는 이송구(151)가 수평레일(152)을 따라 좌우 전후진 할 수 있도록 가로실린더(153)가 구비되는 것을 특징으로 하는 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 OLED 메탈 마스크 제작용 픽업 이송장치.
KR1020230099402A 2023-07-31 2023-07-31 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 oled 메탈 마스크제작용 픽업 이송장치 KR102640243B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230099402A KR102640243B1 (ko) 2023-07-31 2023-07-31 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 oled 메탈 마스크제작용 픽업 이송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020230099402A KR102640243B1 (ko) 2023-07-31 2023-07-31 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 oled 메탈 마스크제작용 픽업 이송장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102640243B1 true KR102640243B1 (ko) 2024-02-23

Family

ID=90041781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230099402A KR102640243B1 (ko) 2023-07-31 2023-07-31 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 oled 메탈 마스크제작용 픽업 이송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102640243B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060104675A (ko) * 2005-03-31 2006-10-09 세메스 주식회사 기판 처리 장치
KR100674882B1 (ko) 2005-10-24 2007-01-29 주식회사 디엠에스 기판 이송용 트랜스퍼
KR20230018364A (ko) * 2020-07-17 2023-02-07 창저우 밍실 로봇 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 멀티 스테이션 접착제 분배기 및 이의 접착제 분배방법
KR20230030041A (ko) * 2020-07-08 2023-03-03 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 프로세싱 모듈 및 워크피스를 이동시키는 방법
KR20230103842A (ko) * 2021-12-31 2023-07-07 센젠 신이창 테크놀로지 씨오., 엘티디 다이본딩 머신

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060104675A (ko) * 2005-03-31 2006-10-09 세메스 주식회사 기판 처리 장치
KR100674882B1 (ko) 2005-10-24 2007-01-29 주식회사 디엠에스 기판 이송용 트랜스퍼
KR20230030041A (ko) * 2020-07-08 2023-03-03 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 프로세싱 모듈 및 워크피스를 이동시키는 방법
KR20230018364A (ko) * 2020-07-17 2023-02-07 창저우 밍실 로봇 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 멀티 스테이션 접착제 분배기 및 이의 접착제 분배방법
KR20230103842A (ko) * 2021-12-31 2023-07-07 센젠 신이창 테크놀로지 씨오., 엘티디 다이본딩 머신

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014038383A1 (ja) スタッカクレーン
WO2014038385A1 (ja) 昇降装置
WO2021088303A1 (zh) 一种桁架伺服搬运导轨总成
US10478931B2 (en) Workpiece attachment/removal device
CN103862482B (zh) 一种机器人抓件补焊定位工装
KR102640243B1 (ko) 동기식 개폐 구조를 갖는 실드형 oled 메탈 마스크제작용 픽업 이송장치
CN114985883B (zh) 一种垫板全自动焊接生产线
JP6011628B2 (ja) スタッカクレーン
CN218657526U (zh) 箱型梁的焊接生产线
CN107803613A (zh) 一种双工位斗式提升机料斗自动焊机
CN214722172U (zh) 光伏铝边框加工流水线
JPH04169419A (ja) 板状ワークの搬送装置
CN114538076A (zh) 一种手机band下U件上料机构
CN211470001U (zh) 一种汽车塑料产品自动翻转设备
CN108465985B (zh) 一种双拼焊矫生产线
CN210649151U (zh) 一种横梁自动组焊机
CN108163527B (zh) 一种用于圆柱形锂电池转盒的翻转机
CN113173419A (zh) 一种全自动盖板上料机
CN111987029A (zh) 基板运输装置及其工作方法、基板处理系统及处理方法
JP5346681B2 (ja) 部材組立装置及び部材組立方法
CN215356883U (zh) 箱型构件内隔板组装装置
CN219313665U (zh) 用于导向套的多工位仓储系统
CN114178770B (zh) 一种筒体加强环组对工作站
CN219649194U (zh) 一种前车架生产线
CN220782774U (zh) 钢结构焊接装置及钢结构生产线

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant