KR102601271B1 - 3d 스캐너의 구현을 위한 dmd 컨트롤러 및 그의 제어 방법 - Google Patents
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Abstract
실시예는 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러 및 그의 제어 방법에 관한 것이다.
구체적으로는, 이러한 DMD 컨트롤러 및 그의 제어 방법이 노광을 위한 DMD의 동작시 DMD에 의한 노광시, 먼저 DMD 쪽으로 사용자가 원하는 노광이미지에 대응하여 LED 스케쥴에 따라 DMD 쪽으로 사용자가 원하는 노광할 이미지에 대응하여 정한 LED 스케쥴에 따라 R, G, B 자체의 다수의 상이한 LED 광으로 된 LED패턴에 의해 조사하도록 한다 R, G, B의 LED 광패턴을 먼저 조사하도록 한다. 그리고, 그 후 그 노광이미지를 DMD로 전송하도록 한다 DMD에 노광할 이미지를 다음으로 전송하도록 한다. 그래서, 이러한 LED패턴에 의해 DMD로 전송된 노광이미지 이미지가 투과되므로 3D 스캐닝이 이루어진다.
따라서, 이러한 DMD 컨트롤에 의해 3D 스캐닝이 이루어지므로, 최근에 프로브 카드에 적용하는 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등의 3D 형상을 얻는다.
그래서, 이를 통해 이러한 입체류 프로브 침이 불량한지 등의 여부를 쉽게 검사해서, 그 입체류 프로브 침 등을 쉽고 원활히 제조한다.
구체적으로는, 이러한 DMD 컨트롤러 및 그의 제어 방법이 노광을 위한 DMD의 동작시 DMD에 의한 노광시, 먼저 DMD 쪽으로 사용자가 원하는 노광이미지에 대응하여 LED 스케쥴에 따라 DMD 쪽으로 사용자가 원하는 노광할 이미지에 대응하여 정한 LED 스케쥴에 따라 R, G, B 자체의 다수의 상이한 LED 광으로 된 LED패턴에 의해 조사하도록 한다 R, G, B의 LED 광패턴을 먼저 조사하도록 한다. 그리고, 그 후 그 노광이미지를 DMD로 전송하도록 한다 DMD에 노광할 이미지를 다음으로 전송하도록 한다. 그래서, 이러한 LED패턴에 의해 DMD로 전송된 노광이미지 이미지가 투과되므로 3D 스캐닝이 이루어진다.
따라서, 이러한 DMD 컨트롤에 의해 3D 스캐닝이 이루어지므로, 최근에 프로브 카드에 적용하는 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등의 3D 형상을 얻는다.
그래서, 이를 통해 이러한 입체류 프로브 침이 불량한지 등의 여부를 쉽게 검사해서, 그 입체류 프로브 침 등을 쉽고 원활히 제조한다.
Description
본 명세서에 개시된 내용은 노광을 통해 대상체의 이미지를 얻어서, 그 이미지에 의해 대상체의 불량 여부 등을 확인하는데 적용되는 DMD의 컨트롤러 및 그의 제어 방법에 관한 것이다.
본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.
일반적으로, DMD에 관해 다음의 사항이 알려져 있다.
『DMD는 실리콘웨이퍼 상에 16미크론 크기의 미세한 거울을 1미크론 간격으로 심어 이 거울을 통해 빛이 반사되는 것을 제어해 영상을 표현하는 장치이다. 그리고, 이 기술은 마이크로 디바이스라는 소형 마이크로 칩이 핵심 역할을 하고, 이 마이크로칩 위에는 수십만 개에 이르는 초소형 알루미늄 거울이 올려져 있다고 알려져 있다. 또한, 이 초소형 거울이 동영상 시그널에 맞춰 기존에 놓여 있는 위치를 전환해주며, 발원체가 알루미늄 거울 표면에 빛을 비추면 렌즈를 통해 빛을 모은 거울이 동영상 이미지를 스캔하는 것이 DMD의 기본원리이다.』
이러한 DMD를 이용한 Direct Image Expose System에서 DMD를 제어할 때 사용자가 원하는 원본의 전체적인 노광 이미지를 저장하고 처리하는 PC와 연동해서 DMD 컨트롤러가 동작되므로 노광이 되도록 한다.
그래서, 그 DMD가 PC로부터 원본의 노광 이미지를 제공받아서, DMD에 따른 프로세싱을 수행하고 DMD로 전송하므로, 노광이 될 수 있도록 한다. 이러한 경우, 그 노광은 그 DMD 상의 노광 이미지에 프로젝션이 수행되어서 이루어진다.
그리고, 이러한 상태에서 그 노광 이미지는 일반적으로 평면의 2차원이어서 대체적으로 평이한 형태의 대상체를 확인하며, 이에 따라 그 대상체의 불량 여부를 확인하는 정도이다.
한편, 최근에 반도체 칩을 검사하는 프로브 카드의 분야에 있어서, 그 프로브 카드에 반도체 칩과 접촉하는 것으로, 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등을 적용한다.
그래서, 이러한 입체류 프로브 침을 반도체 칩에 접촉하므로 접촉면적을 좁혀 원활하게 팁의 동작이 이루어지도록 한다.
그런데, 이러한 경우 이에 따라 그 입체류 프로브 침 등을 예를 들어, 대량으로 제조한 경우, 그러한 프로브 침이 잘 만들어졌는지를 빨리 검사할 필요가 있는데, 그 검사시 그 프로브 침 등의 이미지를 적용한다.
그러나, 그러한 입체류 프로브 침은 전술한 기존의 2차원적인 이미지를 통한 노광에 의해서는 그의 형태 또는 형상을 확인하는 것이 쉽지 않은 경우가 있다.
따라서, 이러한 입체류 프로브 침 등을 잘 확인하기 위해서, 별도의 새로운 형태의 이미지를 얻어야 하고, 특히 기존의 DMD 컨트롤러를 그대로 사용하는 상태에서 그 이미지가 얻어져야 한다.
따라서, 이에 따라 그에 맞는 개량된 DMD 컨트롤러와 그의 제어 방법이 개발될 필요가 있다.
이러한 배경의 선행기술은 아래의 특허문헌을 통해 알려져 있으나, 전술한 바에 따른 직접적으로 관련성이 있는 것은 아니며, 또한 그러한 선행기술은 잘 알려져 있지 않은 편이다.
(특허문헌 1) KR10-2017-0021699 Y1
참고적으로, 이러한 특허문헌 1은 초점이 공액된 이미지를 DMD가 CCD 카메라에 반사시킴으로써, CCD 카메라가 형상을 획득하는 것으로 주변의 원하지 않는 시편 정보와 광확계로부터 발생하는 노이즈가 섞이지 않는 효과를 제공한다.
개시된 내용은, 최근에 대두된 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등으로 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등을 3D 형상의 획득으로 검사를 원활히 할 수 있도록 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러 및 그의 제어 방법을 제공하고자 한다.
실시예에 따른 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러는,
기본적으로, 종래와 같이 DMA를 통해 사용자가 원하는 노광이미지를 전달하고, DMD에 따른 프로세싱을 해서 DMD로 전송하므로 DMD의 동작을 제어하는 DMD 컨트롤러 관리 정보처리장치가 전송한 사용자가 원하는 노광할 이미지를 DMD에 맞게 신호 프로세싱해서 DMD로 전송하도록 하는 DMD 컨트롤러에 대한 것이다.
여기에 추가적으로, 이러한 DMD 쪽으로 이미지를 DMD로 전송하기 전, DMD 쪽으로 먼저 LED 광을 조사하는 LED 드라이버를 구비한다.
그래서, 그 DMA를 통한 노광이미지의 전달에 따라 그 전달이 된 후, 그 LED 드라이버의 조사 동작을 제어해서 다수의 상이한 R, G, B의 LED 광패턴에 의해 조사시키고 또한, 이러한 경우 그 LED 광의 조사시, 그 LED 드라이버의 조사 동작을 제어해서 R, G, B의 LED 광패턴을 조사하도록 하고, 그 후 그 노광이미지를 DMD로 전송하도록 하므로 이미지를 다음으로 DMD에 전송하는 단계에 따라 3D 스캐닝을 한다 3D 스캐닝이 되도록 한다.
따라서, 이에 따라 그러한 DMD 컨트롤에 의해 3D 스캐너의 동작이 이루어지는 것을 특징으로 한다.
그리고, 이러한 내용을 보다 구체적으로 수행하기 위한 다른 실시예에 따른 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러의 제어 방법은,
DMD에 의한 노광시, DMD 쪽으로 사용자가 원하는 노광이미지에 대응하여 LED 스케쥴에 따라 이미지에 대응하여 정한 LED 스케쥴에 따라 R, G, B 자체의 다수의 상이한 LED 광으로 된 LED패턴에 의해 조사하도록 한다 R, G, B의 LED 광패턴을 먼저 조사하도록 한다.
그 후 그리고, 이렇게 DMD로 LED 광패턴을 조사하고 난 후, 그 노광이미지를 DMD로 전송하도록 한다 DMD에 노광할 이미지를 다음으로 전송하도록 한다.
그래서, 이러한 LED패턴에 의해 DMD로 전송된 노광이미지 이미지가 투과되므로 3D 스캐닝이 이루어진다.
따라서, 이러한 DMD 컨트롤에 따라 3D 스캐너를 위한 스캐닝이 이루어지는 것을 특징으로 한다.
실시예들에 의하면, 최근에 프로브 카드에 적용하는 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등의 3D 형상을 얻는다.
그래서, 이를 통해 이러한 입체류 프로브 침이 불량한지 등의 여부를 쉽게 검사해서, 그 입체류 프로브 침 등을 쉽고 원활히 제조한다.
도 1은 일실시예에 따른 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러의 구성을 도시한 블록도
도 2는 일실시예에 따른 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러의 제어 방법을 순서대로 도시한 플로우 챠트
도 2는 일실시예에 따른 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러의 제어 방법을 순서대로 도시한 플로우 챠트
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도 1은 일실시예에 따른 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD(Digital Micromirror Device) 컨트롤러의 구성을 도시한 블록도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 일실시예의 DMD 컨트롤러는 기존 제어부(101), 관리자 유닛(102) 및 트리거 드라이버(103)를 포함하되, LED 드라이버(104)를 추가해서, 그 제어부(101)는 LED 광패턴에 따른 DMD 컨트롤에 의해 3D 스캐닝을 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 일실시예의 DMD 컨트롤러는 기존 제어부(101), 관리자 유닛(102) 및 트리거 드라이버(103)를 포함하되, LED 드라이버(104)를 추가해서, 그 제어부(101)는 LED 광패턴에 따른 DMD 컨트롤에 의해 3D 스캐닝을 한다.
그리고, 추가적으로 일실시예의 DMD 컨트롤러는 관리 정보처리장치인 PC와 통신하는 UART, 그 PC에서 제공한 원본의 노광이미지를 저장하는 제어부(101) 측의 시리얼 플래쉬, DMA(Direct Memory Access)를 통한 복사본의 노광이미지를 저장하는 DDRAM(Display Data RAM)을 포함한다.
또한, 이에 더하여, 일실시예에 따른 DMD 컨트롤러는 관리자 유닛(102) 측의 시리얼 플래쉬 및, 그 관리자 유닛(102)이 그 제어부(101)의 복사본의 노광이미지를 읽고, 저장한 DDRAM을 포함한다.
상기 제어부(101)는 사용자의 키 조작에 따른 사용자의 키 조작에 따라 예를 들어, 전원 온 신호 등의 미리 설정된 입력시, 사용자가 원하는 노광이미지를 로드해서, 미리 등록된 관리 정보처리장치로부터 전송되어 미리 등록된 사용자가 원하는 노광할 이미지를 로드한다. 그 후, 그 제어부(101)는 DMD에 의한 노광을 위해서 DMA를 통해 노광이미지를 전달한다 그 이미지를 전달해서 DMD에 의한 노광을 수행할 수 있도록 이미지의 제공이 되도록 한다. 이러한 경우, 그 제어부(101)는 그 노광이미지의 전달에 따라 그 노광할 이미지의 로드시, 우선적으로 그 LED 드라이버(104)의 조사 동작을 제어해서 DMD 쪽으로 R, G, B의 LED 광패턴에 의해 조사를 시킨다 그 LED 드라이버(104)의 조사 동작을 제어해서 미리 설정된 제 1 순위로 DMD 쪽으로 R, G, B의 LED 광패턴을 조사시킨다. 그래서, 일실시예의 DMD컨트롤에 의한 광 투과가 되도록 한다. 그 후, 상기 제어부(101)는 DMD로 노광이미지를 전송하도록 하므로 미리 설정된 제 2 순위로 DMD로 이미지를 전달하는 단계에 따라 일실시예의 3D 스캐닝을 한다 3D스캐닝이 되도록 한다. 그래서, 이러한 DMD 컨트롤에 의해 3D 스캐너의 동작이 이루어져서, 최근에 프로브 카드에 적용하는 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등의 3D 형상을 얻는다. 따라서, 이를 통해 그러한 프로브 침의 3D 형상을 통해 검사하므로 그 프로브 침의 이미지의 형상 검사시, 더욱 프로브 침의 이미지 형상을 실제적으로 자세히 얻으므로 그러한 입체류 프로브 침의 검사를 쉽게 한다. 따라서, 이에 따라 그러한 프로브 침을 쉽고 원활히 제조한다. 그리고, 이러한 경우 그 일실시예에 따른 LED 광패턴은 노광이미지에 대응하여 LED 스케쥴에 따라 R, G, B 자체의 다수의 상이한 LED 광으로 된 LED패턴이다 이미지에 대응하여 정한 LED 스케쥴에 따라 된 R, G, B의 LED 광패턴이다.
상기 LED 드라이버(104)는 상기 제어부(101)의 그 DMA를 통한 노광이미지 전달에 따라 그 전달이 된 후 상기 제어부(101)에 의해 노광할 이미지를 로드한 경우, DMD 쪽으로 LED 광을 조사해서 나중에 DMD로 노광이미지가 전송된 경우 노광이미지로 투과될 수 있도록 한다 DMD로 이미지가 전송된 경우 이미지로 투과되도록 한다. 이러한 LED 드라이버(104)의 조사 동작은 상기 제어부(101)에 의해 노광이미지에 대응하여 이미지에 대응하여 정한 LED 스케쥴에 따라 상이하게 이루어지고, 대응하여 LED 광패턴에 의해 이루어져서, 일실시예의 3D 스캐닝이 되도록 한다.
상기 관리자 유닛(102)은 그 LED 드라이버(104)에 의해 LED 광패턴이 DMD 쪽으로 조사가 된 후, 상기 제어부(101)에 의해 DMA를 통해 전달된 노광이미지를 DMD에 따른 프로세싱을 해서 DMD로 전송하는 것이다 미리 설정된 DMD에 맞는 신호 프로세서에 의해 상기 제어부(101)에 의해 전달된 이미지를 프로세싱해서 DMD로 전송하는 것이다. 그래서, 상기 관리자 유닛(102)에 의해 노광할 이미지의 영상이 표현되도록 한다. 이러한 관리자 유닛(102)은 구체적인 동작에 대해서 예를 들어, 먼저, 제어부(101)에 의해 읽기 신호를 받은 경우, 노광이미지 이미지를 읽고 저장한 다음, 노광 시작시, 그 노광이미지 이미지를 DLP 칩셋으로 전송해서, 이러한 DLP 칩셋에 의해 DMD에 출력한다. 그러면, 그 DMD로 출력된 노광이미지에 이미지에 그 LED 드라이버(104)의 LED 광패턴이 투과가 되어서, 3D 스캐너의 동작이 구현되므로 LED 광패턴이 투과가 되고, 3D 스캐너의 동작이 구현되어서 사용자가 원하는 전술한 입체류 프로브 침 등의 형상 정보를 얻는다.
상기 트리거 드라이버(103)는 그 3D 스캐너의 동작이 구현된 후, 그 3D 스캐너의 동작이 구현된 후, 그 스캔된 영상이 노광되도록 한다. 구체적으로는, 상기 트리거 드라이버(103)가 상기 제어부(101)의 상기 관리자 유닛(102)에 DMD로의 노광이미지의 전송 이미지 전송에 따라 상기 관리자 유닛(102)에 의해 이미지를 전송한 경우 상기 제어부(101)에서 발생시키는 트리거 신호를 통해 그 3D 이미지의 형상에 대해서 실제적인 노광 동작을 수행하도록 한다. 트리거 신호를 통해 광을 조사하는 프로젝션의 동작을 개시하고 수행해서 영상 표현된 이미지가 노광되도록 한다. 그래서, 구체적으로는 이러한 트리거 신호에 의해 기존과 같이 프로젝션의 동작이 개시 수행되어 DMD로의 노광이미지에 프로젝션이 이루어져서, 노광이 된다. 그래서, 일실시예에 따른 DMD 컨트롤에 의해 3D 스캐닝된 영상이 노광된다. 그래서 따라서, 결국에는 사용자가 원하는 입체류 프로브 침 등의 형상 정보를 원활히 얻는다.
이하에서, 간단히 요약해서 이러한 일실시예에 따른 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러에 의한 3D 스캐닝의 동작을 설명한다.
1. 이러한 일실시예에 따른 3D 스캐닝의 동작은 먼저 예를 들어, 노광 관리 정보처리장치인 PC 등의 외부의 관리 장치로부터 랜을 통해 제어부(101)로 노광이미지 노광할 이미지가 수신된다.
2. 다음, 제어부(101)가 이렇게 수신된 이미지에 대한 이미지 처리 후 DDRAM에 저장한다 저장해서 등록한다.
3. 그리고, 제어부(101)는 DDRAM에서 관리자 유닛의 DDRAM으로 DMA를 통해 복사한다 복사한다.
4. 그 후, 그 노광이미지의 전달에 따라 노광할 이미지를 로드한 경우, LED 드라이버의 조사 동작을 제어해서 노광이미지에 대응하여 LED 스케쥴에 따라 상이하게 그리고, 대응하여 LED 광패턴에 의해 조사를 하도록 하므로 이미지에 대응하여 정한 LED 스케쥴에 따라 상이하게 그리고, 대응하여 LED 광패턴을 조사하도록 해서, 3D 스캐닝을 할 수 있도록 한다 3D 스캐닝이 되도록 한다.
5. 그래서, 이러한 노광이미지의 전달에 따라 노광할 이미지를 로드한 경우, LED 광을 조사해서 노광이미지로 이미지로 투과될 수 있도록 한다.
6. 그 후, 제어부(101)가 관리자 유닛(102)에게 읽기 신호를 준다.
7. 그러면, 관리자 유닛(102)이 DDRAM에서 노광이미지 이미지를 읽는다.
8. 그 후, 관리자 유닛(102)는 그 읽어온 노광이미지 이미지를 DDRAM에 저장한다. 그리고, 노광이미지 이미지를 모두 읽어 DDRAM에 저장하였을 경우 제어부(101)에게 노광이미지 이미지의 읽기 완료 신호를 보낸다. 이때, 제어부(101)는 다음 노광이미지 이미지를 준비한 후 3번 항목부터 다시 반복 수행하게 된다. 이러한 경우, 그 관리자 유닛(102)과 독립적으로 수행 가능하기 때문에 속도가 상당히 빠르다.
9. 이러한 상태에서, 노광 시작 신호 및 제어 신호가 들어온다.
10. 그러면, 관리자 유닛(102)이 그와 맞는 노광이미지 이미지를 DDRAM에서 읽어 DLP 칩셋으로 전송한다.
11. 그래서, 이러한 DLP 칩셋은 관리자 유닛(102)으로부터 수신한 이미지를 DMD에 출력한다. 그래서, 이에 따라 일실시예에 따른 전술한 그 LED 광패턴에 의해 3D 스캐닝을 한다.
그리고, 이러한 상태에서 제어부(101)가 트리거 신호를 제공해서 프로젝션을 동작하도록 하므로, 이에 따라 그 DMD의 노광이미지 이미지에 프로젝션이 이루어져서 노광이 된다.
그래서, 이러한 DMD 컨트롤러의 DMD로의 노광이미지 이미지에 대한 3D 스캐닝이 이루어져서, 최근에 프로브 카드에 적용하는 끝이 뾰족한 또는 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등의 3D 형상을 얻는다.
따라서, 이를 통해 이러한 입체류 프로브 침 등의 형상을 명확히 얻어서, 그러한 프로브 침이 불량한지 등의 여부를 쉽게 검사한다.
따라서, 이에 따라 그러한 입체류 프로브 침 등을 쉽게 원활히 제조한다.
도 2는 일실시예에 따른 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러의 제어 방법을 순서대로 도시한 플로우 챠트이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 일실시예의 제어 방법은 먼저 사용자의 키 조작에 따른 사용자의 키 조작에 따라 미리 설정된 신호 입력시, 사용자가 원하는 노광이미지를 로드해서, DMD에 의한 노광을 위해서 DMA를 통해 그 노광이미지를 전달하도록 한다 미리 등록된 관리 정보처리장치로부터 전송되어 미리 등록된 노광할 이미지를 로드해서(S201) 노광을 위한 이미지가 제공되도록 준비한다.
그리고, 이러한 경우 그 신호는 전원 온 신호이다. 이러한 전원 온 신호는 하나의 예이며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다.
다음, 이러한 노광이미지의 전달에 따라 노광할 이미지를 로드한 경우, DMD 쪽으로 노광이미지에 대응하여 LED 스케쥴에 따라 R, G, B 자체의 다수의 상이한 LED 광으로 된 LED패턴을 조사하도록 해서, 노광이미지로 투과되도록 한다 이미지에 대응하여 정한 LED 스케쥴에 따라 R, G, B의 LED 광패턴을 조사하도록 해서(S202), 노광할 이미지로 투과되도록 한다.
그리고, 이러한 경우, 그 LED패턴은 기존의 3D 스캐너에 적용되는 패턴에 대응하는 것으로, 그 패턴은 대상체의 형상 정보를 얻을 때 레이저 빔 등의 광에 의해 만들어져서, 대상체에 투과되어 형상정보가 얻어지도록 한다. 그래서, 그 LED패턴은 이러한 패턴에 대응하여 새로운 형태의 DMD 컨트롤러에 적용하기 위한 것으로, 그 LED패턴을 통해 DMD 컨트롤에 의한 일실시예에 따른 3D 스캐닝이 이루어진다.
그리고, 이러한 상태에서 그 후, 노광이미지를 DMD에 따른 프로세싱을 해서 DMD로 전송하도록 한다 미리 설정된 DMD에 맞는 신호 프로세서에 의해 이미지를 프로세싱하고 DMD 쪽으로 전달하도록 해서(S203), 노광할 이미지가 영상이 표현되도록 한다.
그래서, 이러한 LED 광패턴에 따른 패턴이 DMD로의 노광이미지 이미지가 생성된 일실시예에 따른 디스플레이 상에 투과되어서, DMD 컨트롤에 의한 3D 스캐닝이 이루어진다.
따라서, 이를 통해 최근에 프로브 카드에 적용하는 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 탐침 또는 포고 핀 등의 형상이 잘 보이지 않은 점을 해결해서, 그러한 탐침 또는 포고 핀 등의 명확한 3D 형상을 얻는다.
따라서, 이에 따라 그러한 3D 형상을 통해 그 입체류 프로브 침의 검사시, 더욱 프로브 침의 이미지 형상을 실제적으로 자세히 얻으므로 그러한 입체류 프로브 침의 형상 등의 검사를 쉽게 한다.
그 후, 그 상태에서 이러한 노광이미지의 전송에 따라 이미지를 전송한 경우 그 전송이 된 후, 트리거 신호를 통해 그 3D 형상의 노광이미지에 대해서 노광 동작을 수행하도록 한다 트리거 신호를 통해 광을 조사하는 프로젝션의 동작을 개시하고 수행해서(S204), 영상 표현된 이미지가 노광되도록 한다.
그래서, 이에 따라 그 트리거 신호에 의해 DMD의 노광이미지에 프로젝션의 동작이 개시, 수행되어서, 노광이 이루어진다. 그래서, 이에 따라 일실시예에 의한 DMD 컨트롤에 의해 3D 스캐닝이 된 영상이 노광된다.
그래서, 결국에는 이러한 DMD 컨트롤에 의한 3D 스캐닝에 의해서 최근에 프로브 카드에 적용하는 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등의 3D 형상을 얻는다.
따라서, 이를 통해 이러한 입체류 프로브 침이 불량한지 등의 여부를 쉽게 검사한다.
그리고, 이를 통해서 그러한 입체류 프로브 침 등을 쉽고 원활히 제조한다.
이상과 같이, 일실시예는 우선적으로 DMD 쪽으로 사용자가 원하는 노광이미지에 대응하여 LED 스케쥴에 따라 R, G, B 자체의 다수의 상이한 LED 광으로 된 LED패턴에 의해 조사하도록 한다 DMD에 의한 노광시, DMD 쪽에 우선적으로 사용자가 원하는 이미지에 대응하여 정한 LED 스케쥴에 따라 R, G, B의 LED 광패턴을 조사하도록 한다. 그 후, 그 노광이미지를 DMD로 전송하도록 한다 DMD에 이미지를 다음으로 전송하도록 한다. 그래서, 이러한 LED패턴에 의해 DMD로 전송된 노광이미지이미지가 투과되고 스캔되어서, DMD 컨트롤에 의한 3D 스캐닝이 이루어진다.
따라서, 최근에 프로브 카드에 적용하는 끝이 뾰족한 또는 끝이 라운드 등의 입체적인 형상 등으로 된 잘 보이지 않는 탐침 또는 포고 핀 등의 3D 형상을 얻는다.
그리고, 이를 통해 이러한 입체류 프로브 침이 불량한지 등의 여부를 쉽게 검사해서, 그 입체류 프로브 침 등을 쉽고 원활히 제조한다.
한편, 일실시예는 이러한 프로브 침의 3D 이미지에 따른 형상을 세밀하게 등으로 얻을 수 있도록 해서, 그러한 입체류의 프로브 침의 불량 여부 등을 보다 쉽게 검사하도록 한다.
이를 위해, 일실시예는 상기의 LED패턴이 다수의 상이한 노광이미지 이미지의 휘도 레벨에 대응하여 상이하게 정한 정한 R, G, B별 R, G, B 자체의 다수의 상이한 LED 광으로 된 패턴 R, G, B별 R, G, B의 LED 광패턴으로 된다.
예를 들어, 이러한 경우, 그 R, G, B별 LED 광은 R의 고유 주파수 등의 광 정보와 G/B의 고유 주파수 등의 광 정보에 따라 상이한 노광이미지의 휘도 레벨에 대응하여 가감해서 정해진다.
그래서, 이러한 패턴에 의해 DMD 상의 노광이미지 이미지에 투과가 이루어져서, 다수의 상이한 노광이미지별로 이미지별로 상이하게 조사하도록 해서 일실시예에 따른 3D 스캐닝의 구현이 되도록 한다.
따라서, 이를 통해 전술한 입체류의 프로브 침의 3D 이미지에 따른 형상을 세밀하게 얻으므로, 그러한 프로브 침의 불량 여부 등을 보다 쉽게 검사한다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
101 : 제어부 102 : 관리자 유닛
103 : 트리거 드라이버 104 : LED 드라이버
101 : 제어부 102 : 관리자 유닛
103 : 트리거 드라이버 104 : LED 드라이버
Claims (4)
- 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD(Digital Micromirror Device) 컨트롤러에 있어서,
사용자의 키 조작에 따라 미리 설정된 신호 입력시, 미리 등록된 노광 이미지를 로드하고 DMA(Direct Memory Access)를 통해 상기 노광이미지를 전달하여 노광을 위한 이미지가 제공되도록 하는 제어부;
상기 제어부에서 노광이미지를 전송한 경우, 미리 설정된 DMD(Digital Micromirror Device)에 맞는 신호 프로세서에 의해 이미지를 프로세싱하고 DMD로 전송해서 노광이미지의 영상이 표현되도록 하는 관리자 유닛; 및
상기 제어부의 DMA를 통한 노광 이미지를 관리자 유닛이 전달받아 상기 제어부에 의한 트리거 신호를 통해 노광 동작을 수행하도록 하는 광을 조사하는 프로젝션의 동작을 개시하고, 영상 표현된 이미지가 노광 되도록 하는 트리거 드라이버; 를 포함하되,
상기 제어부의 DMA를 통한 노광 이미지를 전달받아, 상기 제어부에 의해 노광할 이미지를 로드하는 경우, DMD 쪽으로 LED 광을 조사해서 DMD 상의 이미지로 투과될 수 있도록 하는 LED 드라이버; 를 포함하고,
상기 제어부는
상기 노광이미지 전달에 따라 상기 노광이미지 로드 시, 상기 LED 드라이버의 조사 동작을 제어해서 노광이미지에 각각 R, G, B로 이루어지는, 3개의 상이한 LED 광으로 구성된 LED패턴을 조사시키고, 노광된 이미지를 DMD로 전송하고, 미리 설정된 제 1 순위 노광 이미지를 DMD로 전송한 이후에, 동일 한 형태로, 미리 설정된 제 2 순위 노광 이미지를 DMD로 전달하여 3D스캐닝이 되도록 하고
상기 LED패턴은
DMD로 전송되는 노광 이미지인 제 1 순위 이미지와, 제 2 순위 이미지의 휘도 레벨에 대응하여 상이하게 설정한 R, G, B를 포함하는 패턴으로 구성되고, 다수의 노광이미지 각각에 상이하게 조사하여 3D스캐닝하고
상기 LED 드라이버는
노광 이미지 이미지를 읽고 저장한 다음, 노광 시작 시 노광 이미지를 DLP(Digital Light Processing) 칩셋으로 전송하고, DLP 칩셋에 의해 DMD에 출력하고,
DMD로 출력된 노광이미지에 LED 드라이버의 LED 광패턴이 투과되고, 3D 스캐너 동작에 의해 입체류 프로브 침 형상 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 3D 스캐너의 구현을 위한 DMD 컨트롤러. - 삭제
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