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KR102609214B1 - Magnetic levitation type transport device - Google Patents

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KR102609214B1
KR102609214B1 KR1020217009558A KR20217009558A KR102609214B1 KR 102609214 B1 KR102609214 B1 KR 102609214B1 KR 1020217009558 A KR1020217009558 A KR 1020217009558A KR 20217009558 A KR20217009558 A KR 20217009558A KR 102609214 B1 KR102609214 B1 KR 102609214B1
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permanent magnets
centering
rail
unit
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김영일
조윤호
정승교
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치는, 기판이 상부에 안착되고, 가이드 홈이 하부에 구비된 트레이; 상기 트레이의 가이드 홈에 수용되는 레일이 상면에 구비된 레일 베이스; 상기 트레이와 레일 베이스 또는 레일 사이에 구비되고, 상기 트레이를 자력에 의해 상기 레일 베이스로부터 부상시키는 영구자석들로 구성된 자기 부상 유닛; 상기 트레이와 레일 사이에 구비되고, 상기 트레이를 자력에 의해 상기 레일을 따라 이송시키는 영구자석들로 구성된 자기 이송 유닛; 상기 트레이와 레일 사이에 구비되고, 상기 트레이를 자력에 의해 상기 레일과 소정 간격을 유지시키는 영구자석들로 구성된 센터링 유닛; 및 상기 트레이와 인접하게 구비되고, 상기 트레이에 충전된 전자를 방출시키는 정전기 방지부(anti-static part);를 포함한다.A magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention includes a tray on which a substrate is seated and a guide groove is provided on the bottom; A rail base provided on the upper surface with a rail accommodated in a guide groove of the tray; A magnetic levitation unit provided between the tray and the rail base or rail and composed of permanent magnets that levitate the tray from the rail base by magnetic force; a magnetic transfer unit provided between the tray and the rail and composed of permanent magnets that transfer the tray along the rail by magnetic force; a centering unit provided between the tray and the rail and composed of permanent magnets that maintain the tray at a predetermined distance from the rail by magnetic force; and an anti-static part provided adjacent to the tray and emitting electrons charged in the tray.

Description

자기 부상 방식의 이송장치 Magnetic levitation type transport device

본 발명은 자기 부상 방식의 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic levitation type transport device.

최근 LCD (Liquid Crystal Display device), OLED (Organic Light Emitting Diode)등의 디스플레이 장치가 광범위하게 쓰이고 있으며 그 수요가 증가하고 있다.Recently, display devices such as LCD (Liquid Crystal Display device) and OLED (Organic Light Emitting Diode) have been widely used, and demand for them is increasing.

또한, 디스플레이 장치의 크기가 대형화 되고 있는 추세인데, 디스플레이 장치가 대형화될수록 제조 공정 중 분진이 더 많이 발생하고, 그에 따라 제조 챔버 내에서 발생할 수 있는 분진을 억제하는 것이 중요하다.In addition, the size of the display device is trending toward becoming larger. As the display device becomes larger, more dust is generated during the manufacturing process, and accordingly, it is important to suppress dust that may be generated within the manufacturing chamber.

기존의 디스플레이 장치 제조 공정에서, 디스플레이 기판을 안착 시키는 캐리어(Carrier)가 진공 챔버 내에서 이동할 때, 캐리어의 하부가 진공 챔버에 설치 된 롤러 유닛과 접촉되는 방식을 사용한다. In the existing display device manufacturing process, when the carrier on which the display substrate is placed moves within the vacuum chamber, the lower part of the carrier is in contact with the roller unit installed in the vacuum chamber.

상기와 같은 접족 방식의 이송장치는 캐리어 하부와 롤러 유닛이 접촉하면서 생기는 마찰력에 의해 분진이 발생하고, 이러한 분진은 제조 공정 중 디스플레이 기판에 부착되어 불량을 발생시킨다. The contact type transfer device as described above generates dust due to frictional force generated when the lower part of the carrier and the roller unit contact, and this dust adheres to the display substrate during the manufacturing process, causing defects.

이를 해결하기 위해 자석을 이용하여 자기부상 방식으로 챔버 내에서 캐리어를 이동함으로써, 제조 공정 시 발생 할 수 있는 분진을 최소화 할 수 있다.To solve this problem, dust that may be generated during the manufacturing process can be minimized by moving the carrier within the chamber using a magnetic levitation method using a magnet.

한국공개특허 제2017-110065호(2015.09.17 출원)에는 기판이 안착되는 트레이와, 트레이의 하측에 마련되며 트레이를 자기 부상시키고 자력에 의해 이송시키는 자기 이송 유닛과, 트레이와 비접촉되어 트레이의 이송을 가이드하는 가이드 유닛과, 자기 이송 유닛과 가이드 유닛 사이의 적어도 일 영역에 마련된 간격 유지 수단을 포함하는 기판 이송 장치가 개시된다.Korean Patent Publication No. 2017-110065 (filed on September 17, 2015) includes a tray on which a substrate is placed, a magnetic transfer unit provided on the lower side of the tray that levitates the tray magnetically and transfers it by magnetic force, and transfers the tray without contacting the tray. A substrate transfer device including a guide unit that guides and a gap maintenance means provided in at least one area between the magnetic transfer unit and the guide unit is disclosed.

그러나, 상기의 기술에 따르면, 자기 부상 유닛이 구동 장치와 일정 간격 이격된 상태로 작동되기 때문에 공정 중 축적된 전하가 빠져나갈 수 없고, 이러한 전하에 의해 트레이에 정전기를 유발하여 트레이 및 기판에 분진을 흡착시키고, 기판을 오염시킬 수 있다.However, according to the above technology, since the magnetic levitation unit is operated at a certain distance from the driving device, the charges accumulated during the process cannot escape, and these charges cause static electricity in the tray, causing dust on the tray and substrate. may adsorb and contaminate the substrate.

또한, 상기의 기술에 따르면, 트레이와 자기 이송 유닛 사이에 위치하는 자기 부상 자석이 트레이의 하측의 중앙 부분만 자기 부상시키기 때문에 트레이 이송 시, 트레이가 좌우로 틀어질 수 있는 불안한 구조로 이루어진다. 이로 인하여 주행 시 트레이는 간격유지 수단(보통 Roller 사용)과 주기적으로 접촉하게 되고, 접촉에 의해 분진이 발생하거나, 접촉 시 충격으로 인해 간격 유지 수단의 손상이 발생할 수 있다. In addition, according to the above technology, the magnetic levitation magnet located between the tray and the magnetic transfer unit magnetically levitates only the central portion of the lower side of the tray, resulting in an unstable structure in which the tray can be twisted left and right when the tray is transferred. As a result, when driving, the tray comes into periodic contact with the gap maintenance means (usually a roller), and dust may be generated due to contact, or damage to the gap maintenance means may occur due to impact upon contact.

또한, 상기의 기술에 따르면, 자기 부상 유닛과 자기 반송 유닛에 설치된 영구 자석이 고온의 환경에 노출될 수 있는데, 영구 자석만을 사용하는 장치의 특성상 주변부의 열로 인하여 감자(자력풀림) 현상이 발생하고, 이로 인하여 작동 신뢰성이 저하될 수 있다.In addition, according to the above technology, the permanent magnets installed in the magnetic levitation unit and the magnetic transfer unit can be exposed to a high temperature environment. Due to the nature of the device that uses only permanent magnets, the heat in the surrounding area causes demagnetization (magnetic release) phenomenon. , which may result in reduced operational reliability.

또한, 상기의 기술에 따르면, 양산 Sputter 장비에서는 Sputtering 된 증착 물질이 캐리어의 하부에 까지 증착이 되는 현상이 발생되라도, 증착 물질이 자기 부상 장치를 오염시키기 쉽고, 자기 부상 장치로부터 증착 물질을 제거하는 크리닝 빈도가 높아짐에 따라 생산성이 저하될 수 있다. In addition, according to the above technology, even if the sputtered deposition material is deposited to the bottom of the carrier in mass production sputter equipment, the deposition material is likely to contaminate the magnetic levitation device, and the deposition material must be removed from the magnetic levitation device. As the frequency of cleaning increases, productivity may decrease.

또한, 상기의 기술에 따르면, 외력이 가해질 경우, 트레이가 상부로 이탈할 수 있고, 이로 인하여 작동 신뢰성이 저하될 수 있다.Additionally, according to the above technology, when an external force is applied, the tray may deviate upward, which may reduce operational reliability.

한국등록특허 제707390호(2005.12.19 출원)에는 기판을 고정하는 캐리어; 상기 캐리어를 자기 부상한 상태에서 수평이송하는 하부 이송부; 및 상기 캐리어의 상부를 비접촉 상태로 유지시키는 상부 이송부;를 포함하여 이루어지며, 특히 상기 캐리어의 하부에는 영구자석이 구비되고, 상기 하부 이송부에는 상기 영구자석과 동일 또는 반대극 성을 띄도록 제어되는 전자석이 구비되는 기판 이송장치가 개시된다.Korean Patent No. 707390 (filed on December 19, 2005) includes a carrier for fixing a substrate; a lower transfer unit that horizontally transfers the carrier in a magnetically levitated state; and an upper transfer part that maintains the upper part of the carrier in a non-contact state. In particular, a permanent magnet is provided in the lower part of the carrier, and the lower transfer part is controlled to have the same or opposite polarity as the permanent magnet. A substrate transfer device equipped with an electromagnet is disclosed.

그러나, 상기의 기술에 따르면, 챔버 내부에 전자석을 설치하기 위한 추가 설비(ATM Box 등)를 필요로 하기 때문에 구조 및 설치가 복잡하고, 추후에 유지 및 보수하는데 많이 시간이 소요될 수 있다.However, according to the above technology, the structure and installation are complicated because additional equipment (ATM Box, etc.) is required to install the electromagnet inside the chamber, and it may take a lot of time to maintain and repair in the future.

또한, 상기의 기술에 따르면, 전원이 차단되면 트레이가 자기 부상된 상태로 중력 방향으로 움직일 수 있고, 이로 인하여 구성 요소들 사이에 충돌로 인하여 파손이 발생되거나, 작동 신뢰성이 떨어질 수 있다.In addition, according to the above technology, when the power is cut off, the tray may move in the direction of gravity in a magnetically levitated state, which may cause damage due to collision between components or reduce operational reliability.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 트레이의 정전기 유발을 억제할 수 있는 자기 부상 방식의 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was made to solve the problems of the prior art described above, and its purpose is to provide a magnetic levitation type transport device that can suppress static electricity in the tray.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 분진의 발생 및 비산을 방지할 수 있는 자기 부상 방식의 이송장치를 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a magnetic levitation type transport device that can prevent the generation and scattering of dust.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 영구 자석의 감자 현상을 개선하는 동시에 오염을 방지할 수 있는 자기 부상 방식의 이송장치를 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a magnetic levitation type transport device that can improve the demagnetization phenomenon of permanent magnets and prevent contamination.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 트레이의 이탈을 방지할 수 있는 자기 부상 방식의 이송장치를 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a magnetic levitation type transport device that can prevent the tray from leaving.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 구조 및 설치가 간단한 자기 부상 방식의 이송장치를 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a magnetic levitation type transport device that is simple in structure and installation.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 반송 시에 전원이 차단되더라도 브레이크 동작할 수 있는 자기 부상 방식의 이송장치를 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a magnetic levitation type transport device that can operate as a brake even if the power is cut off during transport.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치는 기판이 안착되고, 하면에 가이드 홈이 구비된 트레이; 상기 트레이의 가이드 홈에 수용되는 레일이 상면에 구비된 레일 베이스; 상기 트레이와 레일 베이스 또는 레일 사이에 구비되고, 상기 트레이를 자력에 의해 상기 레일 베이스로부터 부상시키는 자기 부상 유닛; 상기 트레이와 레일 사이에 구비되고, 상기 트레이를 자력에 의해 상기 레일을 따라 이송시키는 자기 이송 유닛; 상기 트레이와 레일 사이에 구비되고, 상기 트레이를 자력에 의해 상기 레일과 소정 간격을 유지시키는 센터링 유닛; 및 상기 트레이와 인접하게 구비되고, 상기 트레이에 충전된 전자를 방출시키는 정전기 방지부(ionizer);를 포함한다.A magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention includes a tray on which a substrate is seated and a guide groove provided on the lower surface; A rail base provided on the upper surface with a rail accommodated in a guide groove of the tray; A magnetic levitation unit provided between the tray and the rail base or rail, and levitating the tray from the rail base by magnetic force; a magnetic transfer unit provided between the tray and the rail and transporting the tray along the rail by magnetic force; a centering unit provided between the tray and the rail and maintaining the tray at a predetermined distance from the rail by magnetic force; and an antistatic unit (ionizer) provided adjacent to the tray and emitting electrons charged in the tray.

상기 자기 부상 유닛은, 상기 트레이의 하부 양측에 구비된 한 쌍의 제1부상용 영구자석과, 상기 제1부상용 영구자석들과 대향되도록 상기 레일 베이스의 상면에 상기 트레이의 이동 방향을 따라 길게 구비된 한 쌍의 제2부상용 영구자석을 포함하고, 상기 제1,2부상용 영구자석들은 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The magnetic levitation unit includes a pair of first floating permanent magnets provided on both sides of the lower part of the tray, and a pair of first floating permanent magnets located on the upper surface of the rail base and extending along the moving direction of the tray so as to face the first floating permanent magnets. It includes a pair of second floating permanent magnets, and the first and second floating permanent magnets may be configured to have the same polarity.

상기 자기 부상 유닛은, 상기 트레이의 가이드 홈 내부 상면에 구비된 적어도 두 개 이상의 제1부상용 영구자석과, 상기 제1부상용 영구자석들과 대향되도록 상기 레일의 상면에 상기 트레이의 이동 방향을 따라 길게 구비된 적어도 두 개 이상의 제2부상용 영구자석을 더 포함하고, 상기 제1,2센터링 영구자석들은 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The magnetic levitation unit includes at least two first floating permanent magnets provided on the inner upper surface of the guide groove of the tray, and a moving direction of the tray on the upper surface of the rail so as to face the first floating permanent magnets. It may further include at least two second floating permanent magnets provided long along, and the first and second centering permanent magnets may be configured to have the same polarity.

상기 자기 이송 유닛은, 상기 트레이의 가이드 홈 내측면에 대향되게 구비되고, 다른 극성의 영구자석들이 교번하여 배열된 한 쌍의 랙 자석과, 상기 랙 자석들 사이에 위치하고, 상기 레일의 중심에 길게 배열된 회전축과, 상기 회전축을 따라 일정 간격을 두고 설치되고, 다른 극성의 영구자석들이 교번하여 배열된 복수개의 피니언 자석과, 상기 회전축을 회전시키는 구동 모터를 포함할 수 있다.The magnetic transfer unit is provided opposite to the inner surface of the guide groove of the tray, and is located between a pair of rack magnets in which permanent magnets of different polarities are alternately arranged, and the rack magnets, and extends long in the center of the rail. It may include an arranged rotating shaft, a plurality of pinion magnets installed at regular intervals along the rotating shaft and permanent magnets of different polarities arranged alternately, and a drive motor that rotates the rotating shaft.

상기 센터링 유닛은, 상기 트레이의 가이드 홈 내부 양측면에 대향되게 구비된 한 쌍의 제1센터링 영구자석과, 상기 제1센터링 자석들과 대향되도록 상기 레일의 양측면에 구비된 한 쌍의 제2센터링 영구자석과, 상기 제1,2센터링 영구자석은 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The centering unit includes a pair of first centering permanent magnets provided to face each other on both sides of the guide groove of the tray, and a pair of second centering permanent magnets provided on both sides of the rail to face the first centering magnets. The magnet and the first and second centering permanent magnets may be configured to have the same polarity.

상기 센터링 유닛은, 상기 트레이의 가이드 홈 내부 상면에 소정 간격을 두고 구비된 적어도 두 개 이상의 제3센터링 영구자석과, 상기 제3센터링 영구자석들 사이에 위치되도록 상기 레일의 상면에 구비된 적어도 하나 이상의 제4센터링 자석을 더 포함하고, 상기 제3,4센터링 영구자석은 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The centering unit includes at least two third centering permanent magnets provided at predetermined intervals on the inner upper surface of the guide groove of the tray, and at least one third centering permanent magnet provided on the upper surface of the rail to be positioned between the third centering permanent magnets. It may further include the above fourth centering magnet, and the third and fourth centering permanent magnets may be configured to have the same polarity.

상기 센터링 유닛은, 상기 트레이의 가이드 홈 내부 양측면에 대향되게 구비된 한 쌍의 제1센터링 영구자석과, 상기 제1센터링 자석들과 대향되도록 상기 레일의 양측면에 구비된 한 쌍의 제2센터링 영구자석과, 상기 제1,2센터링 영구자석은 서로 다른 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The centering unit includes a pair of first centering permanent magnets provided to face each other on both sides of the guide groove of the tray, and a pair of second centering permanent magnets provided on both sides of the rail to face the first centering magnets. The magnet and the first and second centering permanent magnets may be configured to have different polarities.

상기 센터링 유닛은, 상기 제2센터링 영구자석들과 인접하도록 상기 제1센터링 영구자석들 하측에 구비된 한 쌍의 제3센터링 영구자석을 더 포함하고, 상기 제3센터링 영구자석은 상기 제2센터링 영구자석과 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The centering unit further includes a pair of third centering permanent magnets provided below the first centering permanent magnets to be adjacent to the second centering permanent magnets, and the third centering permanent magnet is connected to the second centering permanent magnet. It can be configured to have the same polarity as the permanent magnet.

상기 센터링 유닛은, 상기 트레이의 가이드 홈 내부 상면에 구비된 제4센터링 영구자석과, 상기 제4센터링 영구자석과 대향되도록 상기 레일의 상면에 구비된 제5센터링 영구자석을 더 포함하고, 상기 제4,5센터링 영구자석은 서로 다른 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The centering unit further includes a fourth centering permanent magnet provided on the inner upper surface of the guide groove of the tray, and a fifth centering permanent magnet provided on the upper surface of the rail to face the fourth centering permanent magnet. 4,5 Centering permanent magnets can be configured to have different polarities.

상기 제5센터링 영구자석은, 요크 자석으로 구성될 수 있다.The fifth centering permanent magnet may be composed of a yoke magnet.

상기 센터링 유닛은, 상기 트레이의 가이드 홈 내부 상면에 소정 간격을 두고 구비된 적어도 두 개 이상의 제4센터링 영구자석과, 상기 제4센터링 영구자석들 사이에 위치되도록 상기 레일의 상면에 구비된 적어도 하나 이상의 제5센터링 자석을 더 포함하고, 상기 제4,5센터링 영구자석은 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The centering unit includes at least two fourth centering permanent magnets provided at predetermined intervals on the inner upper surface of the guide groove of the tray, and at least one fourth centering permanent magnet provided on the upper surface of the rail to be positioned between the fourth centering permanent magnets. It may further include the above fifth centering magnet, and the fourth and fifth centering permanent magnets may be configured to have the same polarity.

상기 정전기 방지부는, 상기 레일의 양측면 중 적어도 일측에 구비되고, 상기 트레이와 접촉될 수 있는 금속 부재로 구성될 수 있다.The static electricity prevention unit may be provided on at least one of both sides of the rail and may be made of a metal member that can be in contact with the tray.

상기 정전기 방지부는, 상기 트레이를 이송 방향으로 안내하는 롤러 형태로 구성될 수 있다.The anti-static unit may be configured in the form of a roller that guides the tray in a transport direction.

상기 정전기 방지부는, 상기 레일 베이스 상면에 구비되고, 상기 트레이와 소정 간격 이내에 설치될 수 있는 금속 부재로 구성될 수 있다.The anti-static unit may be provided on the upper surface of the rail base and may be made of a metal member that can be installed within a predetermined distance from the tray.

상기 정전기 방지부는, 상기 트레이의 이송 방향을 따라 길게 배열된 와이어 형태로 구성될 수 있다.The anti-static unit may be configured in the form of a wire arranged long along the transport direction of the tray.

본 발명은, 상기 레일의 양측면에 구비되고, 상기 트레이의 가이드 홈 내부 양측면과 소정 간격을 두고 구비된 한 쌍의 이탈 방지용 롤러;를 더 포함할 수 있다.The present invention may further include a pair of separation prevention rollers provided on both sides of the rail and spaced apart from both sides of the inner guide groove of the tray.

상기 이탈 방지용 롤러들은, 상기 자기 부상 유닛과 인접하게 설치될 수 있다.The separation prevention rollers may be installed adjacent to the magnetic levitation unit.

본 발명은, 상기 트레이에 안착된 기판이 노출되는 홀이 상면에 구비되고, 상기 레일 베이스 상측에 상기 트레이와 자기 부상 유닛과 자기 이송 유닛 및 센터링 유닛을 차폐시키는 챔버;를 더 포함할 수 있다.The present invention may further include a chamber having a hole on the upper surface through which the substrate mounted on the tray is exposed, and shielding the tray, the magnetic levitation unit, the magnetic transfer unit, and the centering unit on the upper side of the rail base.

본 발명은, 상기 챔버 내부 상면 양측에 구비되고, 상기 트레이와 소정 간격을 두고 구비된 한 쌍의 이탈 방지용 롤러;를 더 포함할 수 있다.The present invention may further include a pair of separation prevention rollers provided on both sides of the upper surface of the chamber and spaced apart from the tray at a predetermined distance.

본 발명에 따른 자기 부상 방식의 이송장치는 트레이과 접촉식 또는 비접촉식으로 정전기 방지부를 구비함으로서, 트레이에 정전기가 유발되는 것을 억제하고, 분진이 트레이 및 기판에 흡착되는 것을 방지할 뿐 아니라 기판의 오염을 방지할 수 있다.The magnetic levitation type transfer device according to the present invention is provided with an electrostatic prevention unit in a contact or non-contact manner with the tray, thereby suppressing static electricity from being generated in the tray, preventing dust from being adsorbed to the tray and substrate, and preventing contamination of the substrate. It can be prevented.

또한, 본 발명은, 트레이의 하부 좌우 측면에 영구자석을 배치하여 좌우로 틀어지는 현상을 개선함으로서, 주행 시 트레이가 별도로 구비될 수 있는 간격유지 수단과 접촉하여 분진이 발생하는 현상을 줄일 수 있다.In addition, the present invention improves the phenomenon of left and right twisting by arranging permanent magnets on the lower left and right sides of the tray, thereby reducing the phenomenon of dust being generated when the tray comes into contact with a gap maintenance means that may be separately provided during driving.

또한, 본 발명은, 챔버가 레일 베이스 상측에 자기 부상 유닛과 자기 이송 유닛과 센터링 유닛을 감싸도록 구비됨으로서, 이송 시 발생할 수 있는 분진이 비상 및 확산되는 것을 억제할 수 있고, 트레이에 올려진 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다. In addition, in the present invention, the chamber is provided on the upper side of the rail base to surround the magnetic levitation unit, magnetic transfer unit, and centering unit, so that dust that may be generated during transfer can be suppressed from flying and spreading, and the substrate placed on the tray can be prevented from flying and spreading. This can prevent contamination.

또한, 본 발명은, 챔버가 주변 열을 차단함으로서, 자기 부상 유닛과 자기 이송 유닛과 센터링 유닛에 포함된 영구자석의 감자 현상을 개선하고, 영구자석의 작동 신뢰성을 높일 수 있다.In addition, the present invention can improve the demagnetization phenomenon of the permanent magnets included in the magnetic levitation unit, magnetic transfer unit, and centering unit, and increase the operational reliability of the permanent magnet by having the chamber block ambient heat.

또한, 본 발명은, 챔버가 자기 부상 유닛의 오염을 방지함으로서, 자기 부상 유닛에서 증착 물질을 제거하는 크리닝 빈도를 낮추어 생산성을 향상시킬 수 있다.In addition, the present invention can improve productivity by preventing the chamber from contaminating the magnetic levitation unit, thereby lowering the cleaning frequency for removing deposition materials from the magnetic levitation unit.

또한, 본 발명은, 레일 양측면이나, 챔버 내측에 완충 롤러를 설치함으로서, 상시에 트레이와 완충 롤러가 소정 간격을 두고 비접촉 상태를 유지하지만, 외력이 가해질 때 완충 롤러에 의해 트레이가 이탈되는 것을 방지하고, 트레이의 작동 신뢰성을 높일 수 있다.In addition, in the present invention, by installing buffer rollers on both sides of the rail or inside the chamber, the tray and buffer roller are always kept in a non-contact state at a predetermined distance, but prevent the tray from being separated by the buffer roller when an external force is applied. And the operating reliability of the tray can be increased.

또한, 본 발명은, 자기 부상 유닛과 자기 이송 유닛에 포함된 영구 자석을 사용하여 트레이를 부상 및 이송시키기 때문에 구조 및 설치가 간단하고, 추후에 유지 및 보수하는데 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다.In addition, the present invention levitates and transports the tray using a permanent magnet included in the magnetic levitation unit and the magnetic transfer unit, so the structure and installation are simple, and the time required for future maintenance and repairs can be shortened.

또한, 본 발명은, 자기 이송 유닛이 트레이에 구비된 랙 자석과 레일에 구비된 피니언 자석으로 구성되기 때문에 상시 영구 자석의 인력이 작용하여 전원이 차단되더라도 자기 이송 유닛이 브레이크 기능을 수행할 수 있고, 부품들의 파손을 방지할 뿐 아니라 작동 신뢰성을 높일 수 있다.In addition, in the present invention, since the magnetic transfer unit is composed of a rack magnet provided on a tray and a pinion magnet provided on a rail, the magnetic transfer unit can perform a brake function even when the power is cut off due to the attractive force of the permanent magnet at all times. , it not only prevents damage to parts but also increases operational reliability.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치가 도시된 사시도.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치가 도시된 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 자기 이송 유닛가 도시된 구성도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 정전기 방지부의 제1실시예가 적용된 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 정전기 방지부의 제2실시예가 적용된 사시도.
도 7 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 적용된 자기 부상 유닛과 센터링 유닛의 다양한 실시예가 도시된 정면도.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치가 도시된 정면도.
도 12 내지 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 적용된 자기 부상 유닛과 센터링 유닛의 다양한 실시예가 도시된 정면도.Figure 1 is a perspective view showing a magnetic levitation type transport device according to an embodiment of the present invention.
Figures 2 and 3 are front views showing a magnetic levitation type transport device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a configuration diagram showing a magnetic transfer unit in a magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a perspective view of the first embodiment of the static electricity prevention unit applied to the magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a perspective view of the second embodiment of the static electricity prevention unit applied to the magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention.
Figures 7 to 10 are front views showing various embodiments of a magnetic levitation unit and a centering unit applied to a magnetic levitation type transport device according to an embodiment of the present invention.
Figure 11 is a front view showing a magnetic levitation type transport device according to another embodiment of the present invention.
Figures 12 to 15 are front views showing various embodiments of a magnetic levitation unit and a centering unit applied to a magnetic levitation type transport device according to another embodiment of the present invention.

이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. 다만, 본 실시예가 개시하는 사항으로부터 본 실시예가 갖는 발명의 사상의 범위가 정해질 수 있을 것이며, 본 실시예가 갖는 발명의 사상은 제안되는 실시예에 대하여 구성요소의 추가, 삭제, 변경 등의 실시변형을 포함한다고 할 것이다. Hereinafter, this embodiment will be examined in detail with reference to the accompanying drawings. However, the scope of the invention of this embodiment can be determined from the matters disclosed in this embodiment, and the spirit of the invention of this embodiment can be defined by adding, deleting, or changing components with respect to the proposed embodiment. It will be said to include transformation.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치가 도시된 사시도 및 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 자기 이송 유닛가 도시된 구성도이다.1 to 3 are a perspective view and a front view showing a magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention, and Figure 4 shows a magnetic transfer unit in the magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention. This is the configuration diagram.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치(1)는, 레일 베이스(10)와, 트레이(20)와, 자기 부상 유닛(30)과, 자기 이송 유닛(40)과, 센터링 유닛(50)을 포함한다.The magnetic levitation type transfer device 1 according to an embodiment of the present invention includes a rail base 10, a tray 20, a magnetic levitation unit 30, a magnetic transfer unit 40, and a centering unit. Includes (50).

상기 레일 베이스(10)는 상면에 길이 방향으로 긴 레일(11)이 설치된 플레이트로 구성된다. 물론, 레일(11)은 하기에서 설명될 자기 이송 유닛(40)을 설치하기 위하여 길이 방향으로 긴 공간부(11h)가 구비될 수 있다. The rail base 10 is composed of a plate with a longitudinally long rail 11 installed on its upper surface. Of course, the rail 11 may be provided with a space 11h long in the longitudinal direction in order to install the magnetic transfer unit 40, which will be described below.

상기 트레이(20)는 기판(P)이 올려지는 플레이트로 구성되는데, 기판(P)이 세워진 상태로 고정시킬 수 있도록 구성된다.The tray 20 is composed of a plate on which the substrate P is placed, and is configured to fix the substrate P in an upright position.

또한, 상기 트레이(20)는 하부 양측에 연장된 제1,2캐리어부(21,22)가 구비되는데, 상기 트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22) 사이에 가이드 홈(20h)이 형성되고, 상기 가이드 홈(20h)이 상기 레일(11)을 따라 안내될 수 있다. In addition, the tray 20 is provided with first and second carrier parts 21 and 22 extending on both sides of the lower part, and a guide groove ( 20h) is formed, and the guide groove 20h can be guided along the rail 11.

상기 자기 부상 유닛(30)은 영구자석을 사용하여 트레이(20)를 레일 베이스(10)로부터 부상시키도록 구성된다. The magnetic levitation unit 30 is configured to levitate the tray 20 from the rail base 10 using a permanent magnet.

실시예에 따르면, 상기 자기 부상 유닛(30)은 제1,2캐리어부(21,22)의 하부 양측에 구비된 한 쌍의 제1부상용 영구자석(31,32)과, 제1부상용 영구자석들(31,32)과 대향되도록 레일 베이스(10)의 상면 양측에 구비된 한 쌍의 제2부상용 영구자석(33,34)을 포함할 수 있다. According to the embodiment, the magnetic levitation unit 30 includes a pair of first floating permanent magnets 31 and 32 provided on both lower sides of the first and second carrier parts 21 and 22, and a first floating permanent magnet 31 and 32, respectively. It may include a pair of second floating permanent magnets (33,34) provided on both sides of the upper surface of the rail base (10) to face the permanent magnets (31,32).

물론, 제1,2부상용 영구자석들(31~34)의 설치 위치는 다양하게 변경될 수 있으나, 제1,2부상용 영구자석들(31~34)은 트레이(20)를 부상시킬 수 있도록 서로 대향된 위치에 동일한 극성을 가지도록 구성되어야 한다. Of course, the installation positions of the first and second floating permanent magnets (31 to 34) can be changed in various ways, but the first and second floating permanent magnets (31 to 34) can levitate the tray (20). They must be configured to have the same polarity at opposite positions.

또한, 제1,2부상용 영구자석들(31~34)은 양측에 한 쌍이 나란히 구비됨에 따라 트레이(20)를 레일 베이스(10)로부터 안정적으로 부상시킬 수 있다.In addition, the first and second floating permanent magnets 31 to 34 can stably levitate the tray 20 from the rail base 10 by providing a pair side by side on both sides.

상기 자기 이송 유닛(40)은 영구자석을 사용하여 트레이(20)를 레일(11)을 따라 이송시키도록 구성된다.The magnetic transport unit 40 is configured to transport the tray 20 along the rail 11 using a permanent magnet.

실시예에 따르면, 상기 자기 이송 유닛(40)은 캐리어들의 대향된 내측면에 구비된 제1,2랙 자석(41,42)과, 제1,2랙 자석들(41,42) 사이에 위치되고 레일(21)의 공간부에 길이 방향을 따라 길게 배열된 회전축(43)과, 회전축(43)에 일정 간격을 두고 설치된 복수개의 원통형 피니언 자석(44)과, 회전축(43)을 회전 구동시키는 구동 모터(45)를 포함할 수 있다.According to the embodiment, the magnetic transfer unit 40 is located between the first and second rack magnets 41 and 42 provided on opposing inner surfaces of the carriers and the first and second rack magnets 41 and 42. A rotating shaft 43 arranged long along the longitudinal direction in the space of the rail 21, a plurality of cylindrical pinion magnets 44 installed at regular intervals on the rotating shaft 43, and a rotating shaft 43 are driven to rotate. It may include a drive motor 45.

제1랙 자석(41)은 플레이트 형상의 백 요크(41a)와, 백 요크(41a)에 다른 극성이 교번하게 배치된 영구자석부(41b)로 구성되는데, 바 형상의 영구자석부(41b)가 백 요크(41a) 표면에 사선 형태로 배열될 수 있다. 제2랙 자석(42)도 제1랙 자석(41)과 동일하게 구성될 수 있다. The first rack magnet 41 consists of a plate-shaped back yoke 41a and permanent magnet parts 41b with different polarities arranged alternately on the back yoke 41a. The bar-shaped permanent magnet part 41b may be arranged in a diagonal shape on the surface of the back yoke (41a). The second rack magnet 42 may also be configured in the same way as the first rack magnet 41.

피니언 자석(44)은 원통 형상으로서, 극성이 다른 영구자석부(44a)가 교번하여 사선 형태로 배치된다. 그리고, 피니언 자석(44)은 회전축(43)을 감싸도록 설치되고, 회전축(43)을 따라 소정 간격을 두고 복수개가 구비될 수 있다. The pinion magnet 44 has a cylindrical shape, and permanent magnet portions 44a of different polarities are alternately arranged in a diagonal shape. In addition, the pinion magnet 44 is installed to surround the rotation axis 43, and a plurality of pinion magnets 44 may be provided at predetermined intervals along the rotation axis 43.

구동 모터(45)가 작동되면, 회전축(43)과 피니언 자석들(44)이 회전되고, 제1,2랙 자석(41,42)과 피니언 자석들(44) 사이에 인력과 척력이 반복적으로 작용되며, 제1,2랙 자석(41,42)이 피니언 자석들(44)의 배열 방향을 따라 이동될 수 있다. When the drive motor 45 operates, the rotation shaft 43 and the pinion magnets 44 rotate, and attractive and repulsive forces are repeatedly generated between the first and second rack magnets 41 and 42 and the pinion magnets 44. Acted, the first and second rack magnets 41 and 42 can be moved along the arrangement direction of the pinion magnets 44.

상기 센터링 유닛(50)은 영구자석을 사용하여 트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22)를 레일(11)과 소정 간격을 유지하도록 구성된다.The centering unit 50 uses a permanent magnet to maintain the tray 20 and the first and second carrier parts 21 and 22 at a predetermined distance from the rail 11.

실시예에 따르면, 상기 센터링 유닛(50)은 트레이(20)의 가이드 홈(20h) 내부 양측면 즉, 제1,2캐리어부(21,22)의 대향된 면에 구비된 한 쌍의 제1센터링 영구자석(51,52)과, 제1센터링 자석들(51,52)과 대향되도록 레일의 양측면에 구비된 한 쌍의 제2센터링 영구자석(53,54)으로 구성되고, 제1,2센터링 영구자석들(51~54)은 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다. According to the embodiment, the centering unit 50 includes a pair of first centering rings provided on both sides of the inside of the guide groove 20h of the tray 20, that is, on opposite sides of the first and second carrier parts 21 and 22. It consists of permanent magnets (51, 52) and a pair of second centering permanent magnets (53, 54) provided on both sides of the rail to face the first centering magnets (51, 52), and the first and second centering magnets (51, 52) The permanent magnets 51 to 54 may be configured to have the same polarity.

네 개의 제1센터링 영구자석(51,52,51',52')이 제1,2캐리어부(21,22)의 대향된 면 상/하측에 구비될 수 있고, 네 개의 제2센터링 영구자석들(53,54,53',54')이 레일(11)의 양측면 상/하측에 구비될 수 있다. Four first centering permanent magnets (51, 52, 51', 52') may be provided on the upper and lower sides of the first and second carrier parts (21, 22), and four second centering permanent magnets. Fields 53, 54, 53', and 54' may be provided on the upper and lower sides of the rail 11.

또한, 상기 센터링 유닛(50)은 트레이(20)의 가이드 홈(20h) 내부 상면 즉, 트레이(20)의 하면에 소정 간격을 두고 구비된 한 쌍의 제3센터링 영구자석(55,56)과, 제3센터링 영구자석들(55,56) 사이에 위치되도록 레일(11)의 상면에 구비된 제4센터링 영구자석(57)을 더 포함하도록 구성되고, 제3,4센터링 영구자석들(55~57)은 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.In addition, the centering unit 50 includes a pair of third centering permanent magnets 55 and 56 provided at a predetermined interval on the inner upper surface of the guide groove 20h of the tray 20, that is, the lower surface of the tray 20, and , It is configured to further include a fourth centering permanent magnet 57 provided on the upper surface of the rail 11 to be positioned between the third centering permanent magnets 55 and 56, and the third and fourth centering permanent magnets 55 ~57) may be configured to have the same polarity.

제1,2센터링 영구자석들(51~54,51'~54') 사이에 척력이 작용하면, 제1,2캐리어부(21,22)가 레일(11)을 중심으로 양측 방향으로 소정 간격을 유지할 수 있고, 제3,4센터링 영구자석들(55~57) 사이에 척력이 작용하면, 트레이(20)가 레일(11)을 중심으로 상측 방향으로 소정 간격을 유지할 수 및 있다. When a repulsive force acts between the first and second centering permanent magnets 51 to 54 and 51' to 54', the first and second carrier parts 21 and 22 are spaced at a predetermined distance in both directions around the rail 11. can be maintained, and when a repulsive force acts between the third and fourth centering permanent magnets 55 to 57, the tray 20 can maintain a predetermined gap in the upward direction centered on the rail 11.

상기와 같이 구성된 자기 부상 방식의 이동 장치의 동작을 살펴보면, 다음과 같다. The operation of the magnetic levitation type mobile device configured as above is as follows.

제1,2부상용 영구자석들(31~34) 사이에 척력이 작용하고, 그에 따라 제1부상용 영구자석들(31,32)이 장착된 제1,2캐리어(21,22)가 제2부상용 영구자석들(33,34)이 장착된 레일 베이스(10)로부터 부상되고, 트레이(20) 역시 레일(11)로부터 부상된 상태를 유지한다. A repulsive force acts between the first and second floating permanent magnets (31 to 34), and accordingly, the first and second carriers (21 and 22) on which the first floating permanent magnets (31 and 32) are mounted are first and second floating permanent magnets (31 to 34). 2. The tray 20 is levitated from the rail base 10 on which the floating permanent magnets 33 and 34 are mounted, and the tray 20 also remains levitated from the rail 11.

제1,2센터링 영구자석들(51~54.51'~54') 사이에 척력이 작용하고, 그에 따라 제1센터링 영구자석들(51,52,51',52')이 장착된 제1,2캐리어(21,22)가 제2센터링 영구자석들(53,54,53',54')이 장착된 레일(11)의 양측면으로부터 소정 간격을 이격된 상태를 유지한다. A repulsive force acts between the first and second centering permanent magnets (51~54.51'~54'), and accordingly, the first and second centering permanent magnets (51,52,51',52') are mounted. The carriers 21 and 22 are maintained at a predetermined distance from both sides of the rail 11 on which the second centering permanent magnets 53, 54, 53', and 54' are mounted.

제3,4센터링 영구자석들(55~57) 사이에 척력이 작용하고, 그에 따라 제3센터링 영구자석들(55,56)이 장착된 트레이(20)가 제4센터링 영구자석(57)이 장착된 레일(11)의 상면으로부터 소정 간격 이격될 뿐 아니라 센터링 상태를 유지한다.A repulsive force acts between the third and fourth centering permanent magnets (55 to 57), and accordingly, the tray 20 on which the third centering permanent magnets (55 and 56) are mounted has the fourth centering permanent magnet (57). Not only is it spaced a predetermined distance from the upper surface of the mounted rail 11, but it also maintains the centering state.

이와 같이, 영구자석들에 의해 트레이(20)가 레일 베이스(10) 위에 부상될 뿐 아니라 센터링된 상태를 유지할 수 있다.In this way, the tray 20 can not only be levitated on the rail base 10 by the permanent magnets but also maintain a centered state.

또한, 구동 모터(45)가 작동되면, 회전축(43)과 피니언 자석들(44)이 회전되고, 제1,2랙 자석(41,42)과 피니언 자석들(44) 사이에 인력과 척력이 교대로 작용되고, 제1,2랙 자석(41,42)이 레일(11)의 길이 방향으로 이동된다. In addition, when the drive motor 45 is operated, the rotation shaft 43 and the pinion magnets 44 are rotated, and attractive and repulsive forces are generated between the first and second rack magnets 41 and 42 and the pinion magnets 44. Acting alternately, the first and second rack magnets 41 and 42 move in the longitudinal direction of the rail 11.

따라서, 제1,2랙 자석(41,42)이 장착된 제1,2캐리어(21,22) 및 이와 연결된 트레이(20)가 레일(11)과 비접속 상태로 레일(11)의 길이 방향을 따라 이송될 수 있다. Therefore, the first and second carriers (21, 22) equipped with the first and second rack magnets (41, 42) and the trays (20) connected thereto are not connected to the rail (11) in the longitudinal direction of the rail (11). It can be transported along.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 정전기 방지부의 제1실시예가 적용된 사시도이다.Figure 5 is a perspective view of the first embodiment of the static electricity prevention unit applied to the magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 자기 부상 방식의 이송장치는 트레이의 정전기를 제거하기 위하여 복수개의 접촉식 롤러(61)가 구비될 수 있는데, 접촉식 롤러들(61)은 트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22)와 접촉 가능한 위치에 다양하게 위치될 수 있으며, 한정되지 아니한다.The magnetic levitation type transport device according to the present invention may be provided with a plurality of contact rollers 61 to remove static electricity from the tray. The contact rollers 61 are used to transport the tray 20 and the first and second carriers. It may be positioned in various positions where it can come into contact with the parts 21 and 22, but is not limited thereto.

일예로, 접촉식 롤러들(61)은 레일(11)의 양측면에 돌출된 상태로 회전 가능하게 구비되고, 레일(11)의 길이 방향으로 소정 간격을 두고 구비될 수 있다.For example, the contact rollers 61 may be rotatably provided in a protruding state on both sides of the rail 11 and may be provided at predetermined intervals in the longitudinal direction of the rail 11.

트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22)가 이동하는 동안, 접촉식 롤러들(61) 중 일부가 상시 제1,2캐리어부(21,22)와 접촉하도록 구성할 수 있다. 또한, 외부로부터 충격이 가해지는 경우에 한정하여 접촉식 롤러들(61) 중 일부가 제1,2캐리어부(21,22)와 접촉하도록 구성할 수도 있다. While the tray 20 and the first and second carrier parts 21 and 22 move, some of the contact rollers 61 may be configured to always contact the first and second carrier parts 21 and 22. . Additionally, some of the contact rollers 61 may be configured to contact the first and second carrier parts 21 and 22 only when an impact is applied from the outside.

트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22)는 금속 재질이고, 접촉식 롤러들(61)도 금속 재질로 구성되며, 접촉식 롤러들(61)이 접지하도록 구성할 수 있다.The tray 20 and the first and second carrier parts 21 and 22 are made of metal, and the contact rollers 61 are also made of metal, and the contact rollers 61 can be configured to be grounded.

기판(P)과 트레이(20) 및 제1,2캐리어부(21,22)에 정전기가 발생되면, 분진, 불순물 등이 기판(P)에 포집될 수 있다. 하지만, 제1,2캐리어부(21,22)가 접촉식 롤러들(61)와 접촉하면, 접촉식 롤러들(61)이 기판(P)과 트레이(20) 및 제1,2캐리어부(21,22)로부터 정전기를 흡수하고, 정전기로 인한 기판(P)의 오염을 효과적으로 방지할 수 있다. If static electricity is generated in the substrate P, the tray 20, and the first and second carrier parts 21 and 22, dust, impurities, etc. may be collected in the substrate P. However, when the first and second carrier parts 21 and 22 are in contact with the contact rollers 61, the contact rollers 61 are connected to the substrate P, the tray 20 and the first and second carrier parts ( 21,22), and can effectively prevent contamination of the substrate P due to static electricity.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 정전기 방지부의 제2실시예가 적용된 사시도이다.Figure 6 is a perspective view of the second embodiment of the static electricity prevention unit applied to the magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 자기 부상 방식의 이송장치는 트레이의 정전기를 제거하기 위하여 비접촉식 와이어(62)가 구비될 수 있는데, 비접촉식 와이어(62)는 트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22)와 근접한 위치에 다양하게 위치될 수 있으며, 정전기 방지 효과를 높이기 위하여 복수개가 구비될 수 있으나, 한정되지 아니한다.The magnetic levitation type transfer device according to the present invention may be provided with a non-contact wire 62 to remove static electricity from the tray. The non-contact wire 62 is connected to the tray 20 and the first and second carrier parts 21 and 22. ) and may be positioned in various positions close to each other, and a plurality of them may be provided to increase the anti-static effect, but are not limited thereto.

일예로, 비접촉식 와이어(62)는 레일 베이스(10) 또는 레일(11)에 길이 방향으로 길게 구비될 수 있으며, 비접촉식 와이어(62)는 제1,2캐리어부(21,22) 중 적어도 하나와 2cm 이내의 간격을 유지하도록 설치될 수 있다.For example, the non-contact wire 62 may be provided long in the longitudinal direction on the rail base 10 or the rail 11, and the non-contact wire 62 may be connected to at least one of the first and second carrier parts 21 and 22. It can be installed to maintain a gap of less than 2cm.

비접촉식 와이어(62)는 와이어에 마이크로 화이바가 감긴 형태로서, 마이크로 화이바의 수많은 전기 전도 포인트가 정전기를 흡수하여 접지하도록 구성할 수 있다. The non-contact wire 62 is a type in which microfiber is wound around a wire, and numerous electrical conduction points of the microfiber can be configured to absorb static electricity and ground the wire.

기판(P)과 트레이(20) 및 제1,2캐리어부(21,22)에 정전기가 발생되더라도 트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22)가 이송되면, 비접촉식 와이어(62)가 기판(P)과 트레이(20) 및 제1,2캐리어부(21,22)로부터 정전기를 흡수하고, 정전기로 인한 기판(P)의 오염을 효과적으로 방지할 수 있다. Even if static electricity is generated in the substrate P, the tray 20, and the first and second carrier parts 21 and 22, if the tray 20 and the first and second carrier parts 21 and 22 are transferred, the non-contact wire 62 ) can absorb static electricity from the substrate P, the tray 20, and the first and second carrier parts 21 and 22, and can effectively prevent contamination of the substrate P due to static electricity.

도 7 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 적용된 자기 부상 유닛과 센터링 유닛의 다양한 실시예가 도시된 정면도이다.Figures 7 to 10 are front views showing various embodiments of a magnetic levitation unit and a centering unit applied to a magnetic levitation type transport device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치는 접촉식 또는 비접촉식 정전기 제거부가 적용된 구성으로서, 자기 부상 유닛과 센터링 유닛을 다양하게 구성할 수 있다. The magnetic levitation type transfer device according to an embodiment of the present invention is configured with a contact or non-contact static electricity removal unit, and can be configured with a magnetic levitation unit and a centering unit in various ways.

도 7에 도시된 바와 같이, 자기 부상 유닛(130)은 트레이(20)와 레일(11)의 서로 대향된 면에 구비된 제1,2부상용 영구자석들(131~134)로 구성되고, 제1,2부상용 영구자석들(131~134)은 서로 척력이 작용할 수 있도록 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.As shown in FIG. 7, the magnetic levitation unit 130 is composed of first and second floating permanent magnets 131 to 134 provided on opposite sides of the tray 20 and the rail 11, The first and second floating permanent magnets 131 to 134 may be configured to have the same polarity so that they exert a repulsive force on each other.

적어도 두 개 이상의 제1부상용 영구자석(131,132)은 트레이(20)의 하면에 소정 간격을 두고 구비되고, 적어도 두 개 이상의 제2부상용 영구자석(133,134)은 레일(11)의 상면에 소정 간격을 두고 구비되며, 제1,2부상용 영구자석(131~134)의 개수가 늘어날수록 안정적으로 트레이(20)를 레일(11)로부터 부상시킬 수 있다.At least two first floating permanent magnets 131 and 132 are provided at predetermined intervals on the lower surface of the tray 20, and at least two second floating permanent magnets 133 and 134 are provided on the upper surface of the rail 11. They are provided at intervals, and as the number of first and second floating permanent magnets 131 to 134 increases, the tray 20 can be stably levitated from the rail 11.

동일한 극성의 제1,2부상용 영구자석들(131~134) 사이에 척력이 작용하면, 제1부상용 영구자석들(131,132)이 장착된 트레이(20)를 제2부상용 영구자석들(133,134)이 장착된 레일(11)로부터 부상시키고, 트레이(20)와 레일(11) 사이의 상하 간격을 균일하게 유지할 수 있다.When a repulsive force acts between the first and second floating permanent magnets 131 to 134 of the same polarity, the tray 20 on which the first floating permanent magnets 131 and 132 are mounted is connected to the second floating permanent magnets ( 133, 134) can be levitated from the mounted rail 11, and the vertical distance between the tray 20 and the rail 11 can be maintained uniformly.

제1,2부상용 영구자석(131~1340이 제1,2캐리어(21,22) 내부에 배치됨으로서, 외부의 열이나 자기장으로부터 보호할 수 있고, 감자 현상을 방지하여 작동 신뢰성을 높일 수 있다. By placing the first and second floating permanent magnets (131 to 1340) inside the first and second carriers (21 and 22), they can be protected from external heat or magnetic fields and can prevent demagnetization to increase operational reliability. .

또한, 센터링 유닛(150)은 제1,2캐리어(21,22)와 레일(11)의 서로 대향된 면에 구비된 제1,2센터링 영구자석들(151~154)으로 구성되고, 제1,2센터링 영구자석들(151~154)은 서로 인력이 작용할 수 있도록 다른 극성을 가지도록 구성될 수 있다.In addition, the centering unit 150 is composed of first and second centering permanent magnets 151 to 154 provided on opposite sides of the first and second carriers 21 and 22 and the rail 11, and , 2 The centering permanent magnets 151 to 154 may be configured to have different polarities so that they can exert an attractive force on each other.

한 쌍의 제1센터링 영구자석(151,152)은 제1,2캐리어부(21,22)의 대향된 면에 구비되고, 한 쌍의 제2센터링 영구자석(153,154)은 레일(11)의 양측면에 구비되며, 제1,2센터링 영구자석들(151~154)의 자력은 동일하게 구성될 수 있다.A pair of first centering permanent magnets (151, 152) are provided on opposite sides of the first and second carrier parts (21, 22), and a pair of second centering permanent magnets (153, 154) are provided on both sides of the rail (11). It is provided, and the magnetic force of the first and second centering permanent magnets 151 to 154 may be configured to be the same.

다른 극성의 제1,2센터링 영구자석들(151~154) 사이에 인력이 작용하면, 레일(11)을 중심으로 양측의 제1,2캐리어부(21,22)에서 동일한 크기의 인력이 작용하고, 레일(11)과 제1,2캐리어부(21,22) 사이의 간격을 균일하게 유지함으로서, 트레이(20)를 레일(11)의 중심에 위치시킬 수 있다. When an attractive force acts between the first and second centering permanent magnets 151 to 154 of different polarities, an equal amount of attractive force acts on the first and second carrier parts 21 and 22 on both sides centered on the rail 11. And, by maintaining a uniform gap between the rail 11 and the first and second carrier parts 21 and 22, the tray 20 can be positioned at the center of the rail 11.

한편, 한 쌍의 이탈 방지용 롤러(71,72)가 레일(11)의 양측면에 구비될 수 있는데, 자기 부상 유닛(130)과 인접한 레일(11)의 양측면 상부에 구비될 수 있다.Meanwhile, a pair of separation prevention rollers 71 and 72 may be provided on both sides of the rail 11, and may be provided on the upper sides of the rail 11 adjacent to the magnetic levitation unit 130.

외부 충격으로 트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22)가 흔들리면, 제1,2캐리어부(21,22)가 이탈 방지용 롤러들(71,72)에 부딪혀 과도하게 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 자기 부상 유닛(130)과 센터링 유닛(150)에 포함된 영구자석들의 자력이 작용하면, 트레이(20)와 제1,2캐리어부(21,22)가 레일(11)을 중심으로 원위치로 복귀될 수 있다.When the tray 20 and the first and second carrier parts 21 and 22 are shaken by an external impact, the first and second carrier parts 21 and 22 hit the separation prevention rollers 71 and 72 to prevent excessive separation. It can be prevented. In addition, when the magnetic force of the permanent magnets included in the magnetic levitation unit 130 and the centering unit 150 acts, the tray 20 and the first and second carrier parts 21 and 22 are moved to their original positions around the rail 11. can be returned to

도 8에 도시된 바와 같이, 자기 부상 유닛(30)은 제1,2캐리어부(21,22)와 레일 베이스(10) 사이에 구비된 제1,2부상용 영구자석들(31~34)로 구성되고, 한 쌍의 이탈 방지용 롤러(171,172)는 자기 부상 유닛(30)과 인접한 레일(11)의 양측면 하부에 구비될 수 있다.As shown in Figure 8, the magnetic levitation unit 30 includes first and second floating permanent magnets 31 to 34 provided between the first and second carrier parts 21 and 22 and the rail base 10. It consists of a pair of separation prevention rollers 171 and 172 may be provided at the lower portions of both sides of the rail 11 adjacent to the magnetic levitation unit 30.

또한, 센터링 유닛(250)은 제1,2캐리어(21,22)와 레일(11)의 서로 대향된 면에 구비된 제1,2,3센터링 영구자석들(251~256)과, 트레이(20)와 레일(11)의 서로 대향된 면에 구비된 제5,6센터링 영구자석들(257,258)로 구성될 수 있다.In addition, the centering unit 250 includes first, second, and third centering permanent magnets 251 to 256 provided on opposite sides of the first and second carriers 21 and 22 and the rail 11, and a tray ( 20) and the fifth and sixth centering permanent magnets 257 and 258 provided on opposite sides of the rail 11.

한 쌍의 제1센터링 영구자석(251,252)은 제1,2캐리어부(21,22)의 대향된 면에 구비되고, 한 쌍의 제2센터링 영구자석(253,254)은 레일(11)의 양측면에 구비되며, 제1,2센터링 영구자석들(251~254)은 서로 인력이 작용하도록 다른 극성을 가지도록 구성될 수 있다. 물론, 제1,2센터링 영구자석들(251~254)의 자력은 동일하게 구성될 수 있다. A pair of first centering permanent magnets (251, 252) are provided on opposite sides of the first and second carrier parts (21, 22), and a pair of second centering permanent magnets (253, 254) are provided on both sides of the rail (11). It is provided, and the first and second centering permanent magnets 251 to 254 may be configured to have different polarities so that they exert an attractive force on each other. Of course, the magnetic forces of the first and second centering permanent magnets 251 to 254 may be configured to be the same.

한 쌍의 제3센터링 영구자석(255,256)은 제1,2캐리어부의 대향된 면에 구비되는데, 제2센터링 영구자석들(253,254)과 근접하도록 제1센터링 영구자석들(251,252)의 하측에 위치하며, 제2,3영구자석들(253~256)은 서로 척력이 작용하도록 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.A pair of third centering permanent magnets (255,256) are provided on opposite sides of the first and second carrier parts, and are located below the first centering permanent magnets (251,252) to be close to the second centering permanent magnets (253,254). In addition, the second and third permanent magnets 253 to 256 may be configured to have the same polarity so that they repel each other.

제5센터링 영구자석(257)은 트레이(20)의 하면 중심에 구비되고, 제6센터링 영구자석(258)은 레일(11)의 상면 중심에 구비되며, 제5,6센터링 영구자석들(257,258)은 서로 인력이 작용하도록 다른 극성을 가지도록 구성될 수 있다.The fifth centering permanent magnet 257 is provided at the center of the lower surface of the tray 20, the sixth centering permanent magnet 258 is provided at the center of the upper surface of the rail 11, and the fifth and sixth centering permanent magnets 257 and 258 ) can be configured to have different polarities so that they attract each other.

제6센터링 영구자석(258)은 도 9에 도시된 바와 같이 강자성체인 요크(258')로 구성될 수 있으며, 요크의 중앙 부분이 돌출된 형상으로 구성하여 자력을 중심에 더욱 집중시킬 수 있다.The sixth centering permanent magnet 258 may be composed of a yoke 258', which is a ferromagnetic material, as shown in FIG. 9, and the central portion of the yoke may be configured in a protruding shape to further concentrate magnetic force at the center.

이와 같이 구성된 센터링 유닛(250)의 작동을 살펴보면, 다른 극성의 제1,2영구자석들(251~254) 사이에 인력이 작용하고, 다른 극성의 제5,6영구자석들(257,258) 사이에 인력이 작용한다. Looking at the operation of the centering unit 250 configured in this way, an attractive force acts between the first and second permanent magnets 251 to 254 of different polarities, and an attractive force acts between the fifth and sixth permanent magnets 257 and 258 of different polarities. Attractive force works.

따라서, 레일(11)의 양측면과 제1,2캐리어부(21,22) 사이의 간격과 레일(11)의 상면과 트레이(20) 사이의 간격을 균일하게 유지할 수 있고, 트레이(20)가 레일(11)의 양측 방향으로 틀어지는 것을 방지하는 동시에 레일(11)의 중심에 위치하도록 한다.Therefore, the gap between both sides of the rail 11 and the first and second carrier parts 21 and 22 and the gap between the upper surface of the rail 11 and the tray 20 can be maintained uniformly, and the tray 20 can be maintained uniformly. It prevents the rail (11) from being twisted in both directions and is positioned in the center of the rail (11).

또한, 동일한 극성의 제2,3영구자석들(253~256) 사이에 척력이 작용하면, 제1,2캐리어부(21,22)의 처짐을 방지하여 제1,2영구자석들(251~254) 사이의 인력 또는 제5,6영구자석들(257,258) 사이의 인력이 안정적으로 작용할 수 있도록 한다.In addition, when a repulsive force acts between the second and third permanent magnets 253 to 256 of the same polarity, sagging of the first and second carrier portions 21 and 22 is prevented, and the first and second permanent magnets 251 to 256 are of the same polarity. 254) or the attraction between the 5th and 6th permanent magnets (257,258) can operate stably.

도 10에 도시된 바와 같이, 적어도 두 개 이상의 제5센터링 영구자석(257a,257b)이 트레이(20)의 하면에 소정 간격을 두고 구비되고, 적어도 하나 이상의 제6센터링 영구자석(258)이 제5센터링 영구자석들(257a,257b) 사이에 위치하도록 레일(11)의 상면에 구비되며, 제5,6센터링 영구자석들(257a,257b,258)은 서로 척력이 작용하도록 동일한 극성을 가지도록 구성될 수 있다.As shown in FIG. 10, at least two fifth centering permanent magnets 257a and 257b are provided at predetermined intervals on the lower surface of the tray 20, and at least one sixth centering permanent magnet 258 is provided at a predetermined interval. It is provided on the upper surface of the rail 11 to be located between the 5th centering permanent magnets (257a, 257b), and the 5th and 6th centering permanent magnets (257a, 257b, 258) have the same polarity so that they repel each other. It can be configured.

이와 같이 구성된 센터링 유닛(250)의 작동을 살펴보면, 다른 극성의 제1,2영구자석들(251~254) 사이에 인력이 작용하기 때문에 레일(11)의 양측면과 제1,2캐리어부(21,22) 사이의 간격을 균일하게 유지하고, 트레이(20)가 레일(11)의 중심에 위치하도록 한다.Looking at the operation of the centering unit 250 configured in this way, because an attractive force acts between the first and second permanent magnets 251 to 254 of different polarities, both sides of the rail 11 and the first and second carrier portions 21 , 22), maintain uniform spacing, and ensure that the tray 20 is located in the center of the rail 11.

또한, 동일한 극성의 제5,6영구자석들(257a,257b,258) 사이에 척력이 작용하기 때문에 안정적으로 레일(11)의 상면과 트레이(20) 사이의 간격을 균일하게 유지하고, 트레이(20)에 추가적인 부상력을 제공하여 중량이 무거운 기판이 올려지더라도 트레이(20)를 레일(11)로부터 안정적으로 부상시킬 수 있다. In addition, since a repulsive force acts between the fifth and sixth permanent magnets (257a, 257b, and 258) of the same polarity, the gap between the upper surface of the rail 11 and the tray 20 is stably maintained uniformly, and the tray ( By providing additional lifting force to 20), the tray 20 can be stably lifted from the rail 11 even when a heavy substrate is placed on it.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치가 도시된 정면도이다.Figure 11 is a front view showing a magnetic levitation type transport device according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치는 일 실시예와 동일하게 구성되고, 외부의 열을 차단할 뿐 아니라 영구자석들의 자기장을 차폐할 수 있는 챔버(C)가 추가로 적용된다.The magnetic levitation type transfer device according to another embodiment of the present invention is configured in the same way as one embodiment, and a chamber (C) that can not only block external heat but also shield the magnetic fields of permanent magnets is additionally applied.

챔버(C)는 트레이(20)에 안착된 기판이 노출되는 홀(h)이 상면에 구비되고, 레일 베이스(10) 상측에 트레이(20)와 자기 부상 유닛(30)과 자기 이송 유닛(40) 및 센터링 유닛(250)을 차폐시키도록 설치될 수 있다.The chamber (C) is provided with a hole (h) on the upper surface through which the substrate seated on the tray 20 is exposed, and a tray 20, a magnetic levitation unit 30, and a magnetic transfer unit 40 are installed on the upper side of the rail base 10. ) and can be installed to shield the centering unit 250.

고온 환경 하에서 사용되면, 챔버가 외부의 열을 차단하여 자기 부상 유닛(30)과 자기 이송 유닛(40) 및 센터링 유닛(50)에 포함된 영구자석들을 보호하고, 영구자석들이 안정적으로 작동하도록 하여 작동 신뢰성을 높일 수 있다.When used in a high-temperature environment, the chamber blocks external heat to protect the permanent magnets included in the magnetic levitation unit 30, magnetic transfer unit 40, and centering unit 50, and allows the permanent magnets to operate stably. Operation reliability can be improved.

또한, 한 쌍의 이탈 방지용 롤러(271,272)가 챔버(C)의 내부 상면 양측에 구비될 수 있다. Additionally, a pair of separation prevention rollers 271 and 272 may be provided on both sides of the inner upper surface of the chamber C.

외부의 상하 방향 충격이 가해진 경우, 이탈 방지용 롤러(271,272)가 트레이(20) 또는 제1,2캐리어부(21,22)와 접촉하여 트레이(20)가 과도하게 이탈되는 것을 방지할 수 있다.When an external vertical impact is applied, the separation prevention rollers 271 and 272 may contact the tray 20 or the first and second carrier parts 21 and 22 to prevent the tray 20 from being excessively separated.

다른 구성 요소들은 상기의 실시예에서 설명한 바와 동일하여, 자세한 설명은 생략하기로 한다. Other components are the same as those described in the above embodiment, so detailed description will be omitted.

도 12 내지 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치에 적용된 자기 부상 유닛과 센터링 유닛의 다양한 실시예가 도시된 정면도이다.12 to 15 are front views showing various embodiments of a magnetic levitation unit and a centering unit applied to a magnetic levitation type transport device according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예에 따른 자기 부상 방식의 이송장치는 영구자석들을 보호하는 챔버가 적용된 구성으로서, 자기 부상 유닛과 센터링 유닛을 다양하게 구성할 수 있다. The magnetic levitation type transfer device according to another embodiment of the present invention is configured with a chamber that protects permanent magnets, and can be configured with a magnetic levitation unit and a centering unit in various ways.

도 12 내지 도 15에 도시된 자기 부상 유닛과 센터링 유닛은 도 7 내지 도 11에 도시된 것과 대응된 구성으로서, 동일한 작동과 효과를 나타내며, 자세한 설명은 생략하기로 한다.The magnetic levitation unit and centering unit shown in FIGS. 12 to 15 are configurations corresponding to those shown in FIGS. 7 to 11, and exhibit the same operation and effect, and detailed description will be omitted.

Claims (19)

기판(P)이 상부에 안착되고, 가이드 홈(20h)이 하부에 구비된 트레이(20);
상기 트레이(20)의 가이드 홈(20h)에 수용되는 레일(11)이 상면에 구비된 레일 베이스(10);
상기 트레이(20)와 레일 베이스(10) 또는 레일(11) 사이에 구비되고, 상기 트레이(20)를 자력에 의해 상기 레일 베이스(10)로부터 부상시키는 자기 부상 유닛(30);
상기 트레이(20)와 레일(11) 사이에 구비되고, 상기 트레이(20)를 자력에 의해 상기 레일(11)을 따라 이송시키는 자기 이송 유닛(40);
상기 트레이(20)와 레일(11) 사이에 구비되고, 상기 트레이(20)를 자력에 의해 상기 레일(11)과 소정 간격을 유지시키는 센터링 유닛(50); 및
상기 트레이(20)와 인접하게 구비되고, 상기 트레이(20)에 충전된 전자를 방출시키는 정전기 방지부(61,62;anti-static part);를 포함하고,
상기 트레이(20)에 안착된 기판(P)이 노출되는 홀(h)이 상면에 구비되고, 상기 레일 베이스(10) 상측에 상기 트레이(20)와 자기 부상 유닛(30)과 자기 이송 유닛(40) 및 센터링 유닛(50)을 차폐시키는 챔버(C);를 더 포함하며,
상기 챔버(C) 내부 상면 양측에 구비되고, 상기 트레이(20)와 소정 간격을 두고 구비된 한 쌍의 이탈 방지용 롤러(271,272);를 더 포함하는 자기 부상 방식의 이송 장치.A tray (20) on which a substrate (P) is seated at the top and a guide groove (20h) is provided at the bottom;
A rail base (10) provided on the upper surface with a rail (11) accommodated in a guide groove (20h) of the tray (20);
A magnetic levitation unit 30 provided between the tray 20 and the rail base 10 or rail 11 and levitating the tray 20 from the rail base 10 by magnetic force;
a magnetic transfer unit 40 provided between the tray 20 and the rail 11 and transporting the tray 20 along the rail 11 by magnetic force;
a centering unit 50 provided between the tray 20 and the rail 11 and maintaining the tray 20 at a predetermined distance from the rail 11 by magnetic force; and
It includes anti-static parts (61, 62) provided adjacent to the tray 20 and emitting electrons charged in the tray 20,
A hole (h) through which the substrate (P) seated on the tray (20) is exposed is provided on the upper surface, and the tray (20), the magnetic levitation unit (30), and the magnetic transfer unit ( 40) and a chamber (C) for shielding the centering unit 50;
A magnetic levitation type transfer device further comprising a pair of separation prevention rollers (271,272) provided on both sides of the upper surface of the chamber (C) and spaced apart from the tray (20) at a predetermined distance. 제1항에 있어서,
상기 자기 부상 유닛(30)은,
상기 트레이(20)의 하부 양측에 구비된 한 쌍의 제1부상용 영구자석(31,32)과,
상기 제1부상용 영구자석들(31,32)과 대향되도록 상기 레일 베이스(10)의 상면에 상기 트레이(20)의 이동 방향을 따라 길게 구비된 한 쌍의 제2부상용 영구자석(33,34)을 포함하고,
상기 제1,2부상용 영구자석들(31,32)(33,34)은 동일한 극성을 가지도록 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치According to paragraph 1,
The magnetic levitation unit 30,
A pair of first floating permanent magnets (31, 32) provided on both sides of the lower part of the tray (20),
A pair of second floating permanent magnets (33, 34), including
The first and second floating permanent magnets (31, 32) (33, 34) are a magnetic levitation type transport device configured to have the same polarity. 제1항에 있어서,
상기 자기 부상 유닛(30)은,
상기 트레이(20)의 가이드 홈(20h) 내부 상면에 구비된 적어도 두 개 이상의 제1부상용 영구자석(131,132)과,
상기 제1부상용 영구자석들(131,132)과 대향되도록 상기 레일(11)의 상면에 상기 트레이(20)의 이동 방향을 따라 길게 구비된 적어도 두 개 이상의 제2부상용 영구자석(133,134)을 더 포함하고,
상기 제1,2부상용 영구자석들(131,132)(133,134)은 동일한 극성을 가지도록 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to paragraph 1,
The magnetic levitation unit 30,
At least two first floating permanent magnets 131 and 132 provided on the inner upper surface of the guide groove 20h of the tray 20,
At least two second floating permanent magnets 133 and 134 are further provided on the upper surface of the rail 11 to face the first floating permanent magnets 131 and 132 along the moving direction of the tray 20. Contains,
The first and second floating permanent magnets (131, 132) (133, 134) are magnetically levitated transport devices configured to have the same polarity. 제1항에 있어서,
상기 자기 이송 유닛(40)은,
상기 트레이(20)의 가이드 홈(20h) 내측면에 대향되게 구비되고, 다른 극성의 영구자석들이 교번하여 배열된 한 쌍의 랙 자석(41,42)과,
상기 랙 자석들 사이에 위치하고, 상기 레일(11)의 중심에 길게 배열된 회전축(43)과,
상기 회전축을 따라 일정 간격을 두고 설치되고, 다른 극성의 영구자석들이 교번하여 배열된 복수개의 피니언 자석(44)과,
상기 회전축(43)을 회전시키는 구동 모터(45)를 포함하는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to paragraph 1,
The magnetic transfer unit 40,
A pair of rack magnets (41, 42) provided oppositely to the inner surface of the guide groove (20h) of the tray (20), and permanent magnets of different polarities arranged alternately,
A rotating shaft 43 located between the rack magnets and arranged long at the center of the rail 11,
A plurality of pinion magnets (44) installed at regular intervals along the rotation axis and having permanent magnets of different polarities arranged alternately,
A magnetic levitation type transport device including a drive motor (45) that rotates the rotation shaft (43). 제1항에 있어서,
상기 센터링 유닛(50)은,
상기 트레이(20)의 가이드 홈(20h) 내부 양측면에 대향되게 구비된 한 쌍의 제1센터링 영구자석(51,52)과,
상기 제1센터링 영구자석들과 대향되도록 상기 레일(11)의 양측면에 구비된 한 쌍의 제2센터링 영구자석(53,54)과,
상기 제1,2센터링 영구자석(51,52)(53,54)은 동일한 극성을 가지도록 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to paragraph 1,
The centering unit 50 is,
A pair of first centering permanent magnets (51, 52) provided oppositely on both sides of the guide groove (20h) of the tray (20),
A pair of second centering permanent magnets (53, 54) provided on both sides of the rail (11) to oppose the first centering permanent magnets,
A magnetic levitation type transfer device in which the first and second centering permanent magnets (51, 52) (53, 54) are configured to have the same polarity. 제5항에 있어서,
상기 센터링 유닛(50)은,
상기 트레이(20)의 가이드 홈(20h) 내부 상면에 소정 간격을 두고 구비된 적어도 두 개 이상의 제3센터링 영구자석(55,56)과,
상기 제3센터링 영구자석들(55,56) 사이에 위치되도록 상기 레일(11)의 상면에 구비된 적어도 하나 이상의 제4센터링 영구자석(57)을 더 포함하고,
상기 제3,4센터링 영구자석(55,56)(57)은 동일한 극성을 가지도록 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to clause 5,
The centering unit 50 is,
At least two third centering permanent magnets (55, 56) provided at predetermined intervals on the inner upper surface of the guide groove (20h) of the tray (20),
It further includes at least one fourth centering permanent magnet (57) provided on the upper surface of the rail (11) to be positioned between the third centering permanent magnets (55 and 56),
A magnetic levitation type transfer device in which the third and fourth centering permanent magnets (55, 56) (57) are configured to have the same polarity. 제1항에 있어서,
상기 센터링 유닛(50)은,
상기 트레이(20)의 가이드 홈(20h) 내부 양측면에 대향되게 구비된 한 쌍의 제1센터링 영구자석(251,252)과,
상기 제1센터링 영구자석들과 대향되도록 상기 레일(11)의 양측면에 구비된 한 쌍의 제2센터링 영구자석(253,254)과,
상기 제1,2센터링 영구자석(251,252)(253,254)은 서로 다른 극성을 가지도록 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to paragraph 1,
The centering unit 50 is,
A pair of first centering permanent magnets 251 and 252 provided oppositely on both sides of the guide groove 20h of the tray 20,
A pair of second centering permanent magnets (253, 254) provided on both sides of the rail (11) to oppose the first centering permanent magnets,
The first and second centering permanent magnets (251, 252) (253, 254) are magnetically levitated transfer devices configured to have different polarities. 제7항에 있어서,
상기 센터링 유닛(50)은,
상기 제2센터링 영구자석들(253,254)과 인접하도록 상기 제1센터링 영구자석들(251,252) 하측에 구비된 한 쌍의 제3센터링 영구자석(255,256)을 더 포함하고,
상기 제3센터링 영구자석(255,256)은 상기 제2센터링 영구자석(253,254)과 동일한 극성을 가지도록 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치.In clause 7,
The centering unit 50 is,
It further includes a pair of third centering permanent magnets (255,256) provided below the first centering permanent magnets (251,252) to be adjacent to the second centering permanent magnets (253,254),
The third centering permanent magnets (255,256) are magnetically levitated transfer devices configured to have the same polarity as the second centering permanent magnets (253,254). 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 정전기 방지부는,
상기 레일(11)의 양측면 중 적어도 일측에 구비되고, 상기 트레이(20)와 접촉될 수 있는 금속 부재로 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치. According to paragraph 1,
The static electricity prevention unit,
A magnetically levitated transfer device comprised of a metal member provided on at least one of both sides of the rail (11) and capable of contacting the tray (20). 제12항에 있어서,
상기 정전기 방지부는,
상기 트레이(20)를 이송 방향으로 안내하는 롤러 형태로 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to clause 12,
The static electricity prevention unit,
A magnetic levitation type transport device configured in the form of a roller that guides the tray 20 in the transport direction. 제1항에 있어서,
상기 정전기 방지부는,
상기 레일 베이스(10) 상면에 구비되고, 상기 트레이(20)와 소정 간격 이내에 설치될 수 있는 금속 부재로 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to paragraph 1,
The static electricity prevention unit,
A magnetic levitation type transport device comprised of a metal member provided on the upper surface of the rail base (10) and capable of being installed within a predetermined distance from the tray (20). 제14항에 있어서,
상기 정전기 방지부는,
상기 트레이(20)의 이송 방향을 따라 길게 배열된 와이어 형태로 구성되는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to clause 14,
The static electricity prevention unit,
A magnetic levitation type transfer device consisting of a wire shape arranged long along the transfer direction of the tray (20). 제1항에 있어서,
상기 레일(11)의 양측면에 구비되고, 상기 트레이(20)의 가이드 홈(20h) 내부 양측면과 소정 간격을 두고 구비된 한 쌍의 이탈 방지 롤러(71,72);를 더 포함하는 자기 부상 방식의 이송장치.According to paragraph 1,
A magnetic levitation method further comprising a pair of separation prevention rollers 71 and 72 provided on both sides of the rail 11 and spaced apart from both sides of the guide groove 20h of the tray 20 at a predetermined interval. transfer device. 제16항에 있어서,
상기 한 쌍의 이탈 방지 롤러(71,72)는,
상기 자기 부상 유닛(30)과 인접하게 설치되는 자기 부상 방식의 이송 장치.According to clause 16,
The pair of separation prevention rollers 71 and 72 are,
A magnetic levitation type transport device installed adjacent to the magnetic levitation unit (30). 삭제delete 삭제delete
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