Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR102589717B1 - Transport apparatus - Google Patents

Transport apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR102589717B1
KR102589717B1 KR1020200141788A KR20200141788A KR102589717B1 KR 102589717 B1 KR102589717 B1 KR 102589717B1 KR 1020200141788 A KR1020200141788 A KR 1020200141788A KR 20200141788 A KR20200141788 A KR 20200141788A KR 102589717 B1 KR102589717 B1 KR 102589717B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
front wheel
rear wheel
wheel motor
rotation speed
motor
Prior art date
Application number
KR1020200141788A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20220057014A (en
Inventor
이준범
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020200141788A priority Critical patent/KR102589717B1/en
Publication of KR20220057014A publication Critical patent/KR20220057014A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102589717B1 publication Critical patent/KR102589717B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0212—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory
    • G05D1/0223—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory involving speed control of the vehicle
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)

Abstract

이송 장치가 개시된다. 상기 이송 장치는, 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 전방 이송 모듈과, 상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 후방 이송 모듈과, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함한다. 상기 전방 이송 모듈은, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 전륜과, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 전륜과, 상기 좌측 전륜을 회전시키기 위한 좌측 전륜 모터와, 상기 우측 전륜을 회전시키기 위한 우측 전륜 모터를 포함한다.A transfer device is disclosed. The transfer device includes a front transfer module configured to be movable on a travel rail, a rear transfer module configured to be movable on the travel rail, and a hoist module connected to lower portions of the front and rear transfer modules. The front transfer module includes a left front wheel placed on the travel rail, a right front wheel placed on the travel rail, a left front wheel motor for rotating the left front wheel, and a right front wheel motor for rotating the right front wheel. Includes.

Description

이송 장치{TRANSPORT APPARATUS}TRANSPORT APPARATUS}

본 발명의 실시예들은 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 자재의 이송을 위해 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to transfer devices. More specifically, it relates to a transfer device including a transfer vehicle configured to move along a transfer rail for transferring materials in a semiconductor device manufacturing process.

반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 인쇄회로기판, 리드 프레임, 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치, AGV(Automatic Guided Vehicle) 등과 같은 이송 장치에 의해 이송될 수 있다. 일 예로서, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장 부위에 설치되는 이송 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함할 수 있다.In the semiconductor device manufacturing process, materials such as semiconductor wafers, semiconductor strips, printed circuit boards, lead frames, etc. are transported to transport devices such as OHT (Overhead Hoist Transport) devices, RGV (Rail Guided Vehicle) devices, and AGV (Automatic Guided Vehicle) devices. can be transported by As an example, the OHT device may include a transfer vehicle configured to move along a transfer rail installed on the ceiling of the clean room.

상기 이송 차량은, 상기 이송 레일 상에서 이동 가능하게 구성되는 전방 이송 모듈과 후방 이송 모듈 및 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈은 상기 자재, 예를 들면, 반도체 웨이퍼의 수납을 위한 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기를 핸들링하기 위한 핸드 유닛과 승강 벨트를 이용하여 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 포함할 수 있다.The transfer vehicle may include a front transfer module and a rear transfer module configured to move on the transfer rail, and a hoist module connected to lower portions of the front and rear transfer modules. The hoist module includes a hand unit for handling the material, for example, a container such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) for storing semiconductor wafers, and a hoist unit for lifting the hand unit using a lifting belt. can do.

상기 전방 및 후방 이송 모듈들은 전륜들과 후륜들을 회전시키기 위한 전륜 모터와 후륜 모터를 각각 포함할 수 있으며, 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터의 동작은 모션 제어기에 의해 제어될 수 있다. 예를 들면, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들은 상기 전륜 모터와 상기 후륜 모터에 구동 전류를 인가하기 위한 전륜 서보팩과 후륜 서보팩을 각각 포함할 수 있으며, 상기 모션 제어기는 상기 전방 및 후륜 서보팩들에 각각 속도 지령을 제공할 수 있다.The front and rear transfer modules may include front and rear motors for rotating the front and rear wheels, respectively, and operations of the front and rear motors may be controlled by a motion controller. For example, the front and rear transfer modules may include a front-wheel servo pack and a rear-wheel servo pack for applying driving current to the front and rear motors, respectively, and the motion controller may include the front and rear servo packs. A speed command can be provided for each.

그러나, 상기 전륜 서보팩과 상기 후륜 서보팩에는 동일한 속도 지령이 상기 모션 제어기에 의해 제공될 수 있으며, 이 경우 상기 이송 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 상기 전륜들과 후륜들에서 슬립 현상이 발생될 수 있으며 이에 의해 상기 이송 차량의 정확한 위치 제어가 어려워질 수 있다. 또한, 상기 전륜들과 후륜들에서 발생되는 슬립 현상은 상기 이송 차량의 진동 원인으로 작용할 수 있으며, 특히 곡선 경로를 통과하는 경우 좌측 전륜과 후륜 및 우측 전륜과 후륜 사이에서 요구되는 회전 속도가 서로 다르기 때문에 상기 슬립 현상이 증가될 수 있고, 이에 따라 상기 곡선 경로에서는 상기 이송 차량의 안정적인 주행을 위해 상기 이송 차량의 속도를 감속해야 하는 문제점이 있다.However, the same speed command may be provided to the front wheel servo pack and the rear wheel servo pack by the motion controller, and in this case, a slip phenomenon may occur in the front wheels and rear wheels depending on the path shape along which the transfer rail extends. This may make it difficult to accurately control the position of the transport vehicle. In addition, the slip phenomenon occurring in the front and rear wheels can act as a cause of vibration of the transport vehicle, and especially when passing through a curved path, the required rotation speeds are different between the left front and rear wheels and the right front and rear wheels. Therefore, the slip phenomenon may increase, and accordingly, there is a problem in that the speed of the transfer vehicle must be reduced in order to drive the transfer vehicle stably on the curved path.

대한민국 공개특허공보 제10-2019-0023531호 (공개일자 2019년 03월 08일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0023531 (publication date: March 8, 2019) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0047902호 (공개일자 2019년 05월 09일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0047902 (publication date May 9, 2019)

본 발명의 실시예들은 이송 차량의 주행시 발생될 수 있는 전륜들과 후륜들의 슬립 현상을 방지할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The purpose of embodiments of the present invention is to provide a transport device that can prevent slippage of the front and rear wheels that may occur when a transport vehicle is running.

본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치는, 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 전방 이송 모듈과, 상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되는 후방 이송 모듈과, 상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 전방 이송 모듈은, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 전륜과, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 전륜과, 상기 좌측 전륜을 회전시키기 위한 좌측 전륜 모터와, 상기 우측 전륜을 회전시키기 위한 우측 전륜 모터를 포함할 수 있다.A transfer device according to an embodiment of the present invention includes a front transfer module configured to be movable on a traveling rail, a rear transfer module configured to be movable on the traveling rail, and connected to lower portions of the front and rear transfer modules. May include a hoist module. The front transfer module includes a left front wheel placed on the travel rail, a right front wheel placed on the travel rail, a left front wheel motor for rotating the left front wheel, and a right front wheel motor for rotating the right front wheel. may include.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transfer device may further include a motion controller for controlling the operations of the left front wheel motor and the right front wheel motor.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도를 산출하고, 상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령을 제공할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the motion controller calculates the left front wheel rotation speed and right front wheel rotation speed required according to the path shape along which the travel rail extends, and the calculated left front wheel rotation speed and right front wheel rotation. Based on speed, a left front wheel speed command and a right front wheel speed command can be provided to control the operations of the left front wheel motor and the right front wheel motor.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전방 이송 모듈은, 상기 좌측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더와, 상기 우측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the front transfer module may further include a left front wheel encoder for measuring the rotation speed of the left front wheel motor and a right front wheel encoder for measuring the rotation speed of the right front wheel motor. there is.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 전륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the motion controller may control the operations of the left front wheel motor and the right front wheel motor in a feedback manner based on the measurement signal of the left front wheel encoder and the measurement signal of the right front wheel encoder. there is.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 후방 이송 모듈은, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 후륜과, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 후륜과, 상기 좌측 후륜을 회전시키기 위한 좌측 후륜 모터와, 상기 우측 후륜을 회전시키기 위한 우측 후륜 모터를 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the rear transfer module includes a left rear wheel placed on the travel rail, a right rear wheel placed on the travel rail, a left rear wheel motor for rotating the left rear wheel, and It may include a right rear wheel motor for rotating the right rear wheel.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transfer device may further include a motion controller for controlling the operations of the left rear wheel motor and the right rear wheel motor.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 산출하고, 상기 산출된 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 제공할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the motion controller calculates the left rear wheel rotation speed and right rear wheel rotation speed required according to the path shape along which the travel rail extends, and the calculated left rear wheel rotation speed and right rear wheel rotation. Based on speed, a left rear wheel speed command and a right rear wheel speed command can be provided to control the operations of the left rear wheel motor and the right rear wheel motor.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 후방 이송 모듈은, 상기 좌측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더와, 상기 우측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the rear transfer module may further include a left rear wheel encoder for measuring the rotation speed of the left rear wheel motor and a right rear wheel encoder for measuring the rotation speed of the right rear wheel motor. there is.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 후륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the motion controller may control the operations of the left rear wheel motor and the right rear wheel motor in a feedback manner based on the measurement signal of the left rear wheel encoder and the measurement signal of the right rear wheel encoder. there is.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transfer device may further include a motion controller for controlling operations of the left front wheel motor, the right front wheel motor, the left rear wheel motor, and the right rear wheel motor.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는 상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 산출하고, 상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령 및 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 제공할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the motion controller calculates the left front wheel rotation speed, right front wheel rotation speed, left rear wheel rotation speed, and right rear wheel rotation speed required according to the path shape along which the travel rail extends, and the calculations The left front wheel for controlling the operations of the left front wheel motor, the right front wheel motor, the left rear wheel motor, and the right rear wheel motor based on the left front wheel rotation speed, right front wheel rotation speed, left rear wheel rotation speed, and right rear wheel rotation speed. It can provide speed commands, right front wheel speed commands, left rear wheel speed commands, and right rear wheel speed commands.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 전방 이송 모듈은, 상기 좌측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더와, 상기 우측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더를 더 포함하고, 상기 후방 이송 모듈은, 상기 좌측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더와, 상기 우측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더를 더 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the front transfer module further includes a left front wheel encoder for measuring the rotation speed of the left front wheel motor and a right front wheel encoder for measuring the rotation speed of the right front wheel motor, The rear transfer module may further include a left rear wheel encoder for measuring the rotation speed of the left rear wheel motor and a right rear wheel encoder for measuring the rotation speed of the right rear wheel motor.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 전륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더의 측정 신호 및 상기 좌측 후륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the motion controller is based on the measurement signal of the left front wheel encoder, the measurement signal of the right front wheel encoder, the measurement signal of the left rear wheel encoder, and the measurement signal of the right rear wheel encoder. The operations of the front wheel motor, the right front wheel motor, the left rear wheel motor, and the right rear wheel motor can be controlled using a feedback method.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 전방 이송 모듈의 좌측 전륜과 우측 전륜 및 상기 후방 이송 모듈의 좌측 후륜과 우측 후륜은, 상기 이송 레일의 경로 형태에 따라 상기 모션 제어기에 의해 각각 회전 속도가 제어될 수 있으며, 이에 따라 상기 좌측 전륜과 우측 전륜 및 상기 좌측 후륜과 우측 후륜의 슬립 현상이 충분히 방지될 수 있다. 또한, 상기 좌측 전륜과 우측 전륜 및 상기 좌측 후륜과 우측 후륜의 슬립 현상을 방지함으로써 상기 이송 차량의 주행 도중에 발생되는 진동을 크게 감소시킬 수 있으며, 아울러 상기 이송 차량이 곡선 경로를 통과하는 경우에도 종래 기술과 비교하여 상기 이송 차량의 속도를 충분히 증가시킬 수 있으므로 자재 이송에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the left front wheel and right front wheel of the front transfer module and the left rear wheel and right rear wheel of the rear transfer module are respectively controlled by the motion controller according to the path shape of the transfer rail. The rotation speed can be controlled, and thus the slip phenomenon of the left front wheel, right front wheel, and left rear wheel and right rear wheel can be sufficiently prevented. In addition, by preventing slip phenomenon between the left front wheel and right front wheel, and the left rear wheel and right rear wheel, vibration occurring during driving of the transport vehicle can be greatly reduced, and even when the transport vehicle passes through a curved path, it is possible to significantly reduce Compared to other technologies, the speed of the transport vehicle can be sufficiently increased, so the time required to transport materials can be greatly reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 전방 이송 모듈과 후방 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이송 차량의 모션 제어기를 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는 도 3에 도시된 모션 제어기를 세부적으로 설명하기 위한 블록도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view for explaining the front transfer module and the rear transfer module shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a block diagram for explaining the motion controller of the transport vehicle shown in FIG. 1.
FIG. 4 is a block diagram for explaining in detail the motion controller shown in FIG. 3.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are not provided to fully complete the present invention, but rather are provided to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when one element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed between them. It could be. Alternatively, if one element is described as being placed directly on or connected to another element, there cannot be another element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or parts, but the items are not limited by these terms. won't

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.Technical terms used in the embodiments of the present invention are merely used for the purpose of describing specific embodiments and are not intended to limit the present invention. Additionally, unless otherwise limited, all terms, including technical and scientific terms, have the same meaning that can be understood by a person skilled in the art. The above terms, as defined in common dictionaries, will be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the invention, and unless explicitly defined, ideally or excessively by superficial intuition. It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the illustrations, for example changes in manufacturing methods and/or tolerances, are fully to be expected. Accordingly, the embodiments of the present invention are not intended to be described as limited to the specific shapes of the regions illustrated but are intended to include deviations in the shapes, and the elements depicted in the drawings are entirely schematic and represent their shapes. is not intended to describe the exact shape of the elements nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 전방 이송 모듈과 후방 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.FIG. 1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view for explaining the front transfer module and the rear transfer module shown in FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정이 수행되는 클린룸 내에서 자재 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 OHT 장치일 수 있으며, 상기 클린룸의 천장 부위에 설치된 이송 레일(102)과 상기 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 이송 차량(104)을 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2 , the transfer device 100 according to an embodiment of the present invention can be used to transfer materials within a clean room where a semiconductor device manufacturing process is performed. For example, the transfer device 100 may be an OHT device and includes a transfer rail 102 installed on the ceiling of the clean room and a transfer vehicle 104 configured to move on the transfer rail 102. can do.

상기 이송 차량(104)은, 상기 이송 레일(102) 상에서 이동 가능하게 구성되는 전방 이송 모듈(110)과 후방 이송 모듈(120) 및 상기 전방 및 후방 이송 모듈들(110, 120)의 하부에 연결되는 호이스트 모듈(130)을 포함할 수 있다.The transfer vehicle 104 is connected to a front transfer module 110 and a rear transfer module 120 that are configured to move on the transfer rail 102 and to lower parts of the front and rear transfer modules 110 and 120. It may include a hoist module 130.

상기 전방 이송 모듈(110)은 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 좌측 전륜(112L)과 우측 전륜(112R), 상기 좌측 전륜(112L)을 회전시키기 위한 좌측 전륜 모터(114L), 상기 우측 전륜(112R)을 회전시키기 위한 우측 전륜 모터(114R), 상기 좌측 전륜 모터(114L)의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더(116L), 및 상기 우측 전륜 모터(114R)의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더(116R)를 포함할 수 있다.The front transfer module 110 includes a left front wheel 112L and a right front wheel 112R disposed on the transfer rail 102, a left front wheel motor 114L for rotating the left front wheel 112L, and a right front wheel. A right front wheel motor (114R) for rotating (112R), a left front wheel encoder (116L) for measuring the rotation speed of the left front wheel motor (114L), and a left front wheel encoder (116L) for measuring the rotation speed of the right front wheel motor (114R). It may include a right front wheel encoder (116R).

상기 후방 이송 모듈(120)은 상기 이송 레일(102) 상에 배치되는 좌측 후륜(122L)과 우측 후륜(122R), 상기 좌측 후륜(122L)을 회전시키기 위한 좌측 후륜 모터(124L), 상기 우측 후륜(122R)을 회전시키기 위한 우측 후륜 모터(124R), 상기 좌측 후륜 모터(124L)의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더(126L), 및 상기 우측 후륜 모터(124R)의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더(126R)를 포함할 수 있다.The rear transfer module 120 includes a left rear wheel 122L and a right rear wheel 122R disposed on the transfer rail 102, a left rear wheel motor 124L for rotating the left rear wheel 122L, and the right rear wheel. A right rear wheel motor (124R) for rotating (122R), a left rear wheel encoder (126L) for measuring the rotation speed of the left rear wheel motor (124L), and a left rear wheel encoder (126L) for measuring the rotation speed of the right rear motor (124R). It may include a right rear wheel encoder (126R).

상기 호이스트 모듈(130)은 자재, 예를 들면, 반도체 웨이퍼들의 수납을 위한 FOUP과 같은 용기(10)를 파지하기 위한 그리퍼를 구비하는 핸드 유닛(132)과, 승강 벨트를 이용하여 상기 핸드 유닛(132)을 승강시키기 위한 호이스트 유닛(134)과, 상기 호이스트 유닛(134)이 장착되며 상기 용기(10)를 수납하기 위한 공간을 구비하는 호이스트 본체(136)를 포함할 수 있다.The hoist module 130 includes a hand unit 132 having a gripper for gripping a container 10 such as a FOUP for storing materials, for example, semiconductor wafers, and a lifting belt to lift the hand unit ( It may include a hoist unit 134 for lifting and lowering the container 132, and a hoist body 136 on which the hoist unit 134 is mounted and which has a space for storing the container 10.

도 3은 도 1에 도시된 이송 차량의 모션 제어기를 설명하기 위한 블록도이고, 도 4는 도 3에 도시된 모션 제어기를 세부적으로 설명하기 위한 블록도이다.FIG. 3 is a block diagram for explaining the motion controller of the transport vehicle shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a block diagram for explaining the motion controller shown in FIG. 3 in detail.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 이송 차량(104)은 상기 좌측 전륜 모터(114L), 상기 우측 전륜 모터(114R), 상기 좌측 후륜 모터(124L), 및 상기 우측 후륜 모터(124R)의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기(140)를 포함할 수 있다.3 and 4, the transport vehicle 104 operates the left front wheel motor 114L, the right front wheel motor 114R, the left rear wheel motor 124L, and the right rear wheel motor 124R. It may include a motion controller 140 for controlling.

상기 모션 제어기(140)는 OCS(OHT Control System) 장치와 같은 상위 제어기(미도시)와 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 상위 제어기로부터 상기 용기(10)의 이송을 위한 위치 정보와 상기 이송 레일(102)의 경로 정보를 수신할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 모션 제어기(140)는 상기 위치 정보와 경로 정보에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터(114L), 상기 우측 전륜 모터(114R), 상기 좌측 후륜 모터(124L), 및 상기 우측 후륜 모터(124R)의 동작을 제어하기 좌측 전륜 속도 지령, 우측 전륜 속도 지령, 좌측 후륜 속도 지령, 및 우측 후륜 속도 지령을 제공할 수 있다.The motion controller 140 may be configured to communicate with a higher level controller (not shown) such as an OCS (OHT Control System) device, and may provide location information for transport of the container 10 and the transfer rail from the higher level controller. Route information of (102) can be received. According to one embodiment of the present invention, the motion controller 140 operates the left front wheel motor 114L, the right front wheel motor 114R, the left rear wheel motor 124L, and To control the operation of the right rear wheel motor 124R, a left front wheel speed command, a right front wheel speed command, a left rear wheel speed command, and a right rear wheel speed command can be provided.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 차량(104)은 상기 좌측 전륜 모터(114L)에 구동 전류를 인가하기 위한 좌측 전륜 서보팩(150L)과, 상기 우측 전륜 모터(114R)에 구동 전류를 인가하기 위한 우측 전륜 서보팩(150R)과, 상기 좌측 후륜 모터(124L)에 구동 전류를 인가하기 위한 좌측 후륜 서보팩(152L)과, 상기 우측 후륜 모터(124R)에 구동 전류를 인가하기 위한 우측 후륜 서보팩(152R)을 포함할 수 있으며, 상기 모션 제어기(140)는 상기 좌측 전륜 서보팩(150L)과 상기 우측 전륜 서보팩(150R) 및 상기 좌측 후륜 서보팩(152L)과 상기 우측 후륜 서보팩(152R)에 상기 좌측 전륜 속도 지령과 상기 우측 전륜 속도 지령 및 상기 좌측 후륜 속도 지령과 상기 우측 후륜 속도 지령을 각각 제공할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transport vehicle 104 includes a left front wheel servo pack (150L) for applying a drive current to the left front wheel motor (114L), and a left front wheel servo pack (150L) for applying a drive current to the right front wheel motor (114R). A right front wheel servo pack (150R) for applying a drive current to the left rear wheel motor (124L), a left rear wheel servo pack (152L) for applying a drive current to the left rear wheel motor (124L), and a right front wheel servo pack (152L) for applying a drive current to the right rear motor (124R). It may include a rear wheel servo pack (152R), and the motion controller 140 includes the left front wheel servo pack (150L), the right front wheel servo pack (150R), the left rear wheel servo pack (152L), and the right rear servo pack. The left front wheel speed command, the right front wheel speed command, the left rear wheel speed command, and the right rear wheel speed command may be provided to the pack 152R, respectively.

예를 들면, 상기 모션 제어기(140)는 상기 상위 제어기로부터 제공되는 위치 정보와 경로 정보를 이용하여 상기 이송 차량(104)의 기준 속도 프로파일을 생성하는 프로파일 생성부(142)와, 상기 좌측 전륜 속도 지령을 생성하기 위한 좌측 전륜 제어부(144L)와, 상기 우측 전륜 속도 지령을 생성하기 위한 우측 전륜 제어부(144R)와, 상기 좌측 후륜 속도 지령을 생성하기 위한 좌측 후륜 제어부(146L)와, 상기 우측 후륜 속도 지령을 생성하기 위한 우측 후륜 제어부(146R)를 포함할 수 있다.For example, the motion controller 140 includes a profile generator 142 that generates a reference speed profile of the transport vehicle 104 using location information and path information provided by the upper controller, and the left front wheel speed. A left front wheel control unit 144L for generating a command, a right front wheel control unit 144R for generating the right front wheel speed command, a left rear wheel control unit 146L for generating the left rear wheel speed command, and the right rear wheel. It may include a right rear wheel control unit 146R for generating a speed command.

특히, 상기 이송 차량(104)이 곡선 경로를 통과하는 경우 상기 곡선 경로의 곡률 반경에 따라 상기 좌측 전륜(112L)과 좌측 후륜(122L) 및 상기 우측 전륜(112R)과 우측 후륜(122R)의 요구되는 회전 속도가 다를 수 있으며, 상기 좌측 전륜 제어부(144L)와 우측 전륜 제어부(144R) 및 상기 좌측 후륜 제어부(146L)와 우측 후륜 제어부(146R)는, 상기 곡선 경로의 곡률 반경에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 각각 산출하고, 상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터(114L)와 상기 우측 전륜 모터(114R) 및 상기 좌측 후륜 모터(124L)와 상기 우측 후륜 모터(124R)의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령 및 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 각각 제공할 수 있다.In particular, when the transport vehicle 104 passes through a curved path, the left front wheel 112L and the left rear wheel 122L and the right front wheel 112R and the right rear wheel 122R are required according to the radius of curvature of the curved path. The rotational speed may be different, and the left front wheel control unit 144L, the right front wheel control unit 144R, the left rear wheel control unit 146L, and the right rear wheel control unit 146R may be configured to control the left wheel control unit 144L and the right rear wheel control unit 146R according to the radius of curvature of the curved path. The front wheel rotation speed, the right front wheel rotation speed, the left rear wheel rotation speed, and the right rear wheel rotation speed are calculated respectively, and the left and right wheels are calculated based on the calculated left front wheel rotation speed, right front wheel rotation speed, left rear wheel rotation speed, and right rear wheel rotation speed. A left front wheel speed command, a right front wheel speed command, and a left rear wheel speed command for controlling the operations of the front wheel motor (114L), the right front wheel motor (114R), the left rear wheel motor (124L), and the right rear wheel motor (124R). The right rear wheel speed command can be provided separately.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 좌측 전륜 제어부(144L)와 우측 전륜 제어부(144R) 및 상기 좌측 후륜 제어부(146L)와 우측 후륜 제어부(146R)는, 상기 좌측 전륜 엔코더(116L)의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더(116R)의 측정 신호 및 상기 좌측 후륜 엔코더(126L)의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더(126R)의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터(114L)와 상기 우측 전륜 모터(114R) 및 상기 좌측 후륜 모터(124L)와 상기 우측 후륜 모터(124R)의 동작을 피드백 방식으로 각각 제어할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the left front wheel control unit 144L, the right front wheel control unit 144R, the left rear wheel control unit 146L, and the right rear wheel control unit 146R are the left front wheel encoder 116L. Based on the measurement signal, the measurement signal of the right front wheel encoder 116R, the measurement signal of the left rear wheel encoder 126L, and the measurement signal of the right rear wheel encoder 126R, the left front wheel motor 114L and the right front wheel motor (114R) and the operations of the left rear wheel motor (124L) and the right rear wheel motor (124R) can be controlled by feedback method, respectively.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 전방 이송 모듈(110)의 좌측 전륜(112L)과 우측 전륜(112R) 및 상기 후방 이송 모듈(120)의 좌측 후륜(122L)과 우측 후륜(122R)은, 상기 이송 레일(102)의 경로 형태에 따라 상기 모션 제어기(140)에 의해 각각 회전 속도가 제어될 수 있으며, 이에 따라 상기 좌측 전륜(112L)과 우측 전륜(112R) 및 상기 좌측 후륜(122L)과 우측 후륜(122R)의 슬립 현상이 충분히 방지될 수 있다. 또한, 상기 좌측 전륜(112L)과 우측 전륜(112R) 및 상기 좌측 후륜(122L)과 우측 후륜(122R)의 슬립 현상을 방지함으로써 상기 이송 차량(104)의 주행 도중에 발생되는 진동을 크게 감소시킬 수 있으며, 아울러 상기 이송 차량(104)이 곡선 경로를 통과하는 경우에도 종래 기술과 비교하여 상기 이송 차량(104)의 속도를 충분히 증가시킬 수 있으므로 자재 이송에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the left front wheel 112L and the right front wheel 112R of the front transfer module 110 and the left rear wheel 122L and right rear wheel of the rear transfer module 120 ( 122R), the rotation speed may be controlled by the motion controller 140 according to the path shape of the transfer rail 102, and accordingly, the left front wheel 112L, the right front wheel 112R, and the left rear wheel The slip phenomenon of (122L) and the right rear wheel (122R) can be sufficiently prevented. In addition, by preventing the slip phenomenon of the left front wheel (112L), the right front wheel (112R), and the left rear wheel (122L) and right rear wheel (122R), vibration occurring during driving of the transport vehicle 104 can be greatly reduced. In addition, even when the transport vehicle 104 passes through a curved path, the speed of the transport vehicle 104 can be sufficiently increased compared to the prior art, so the time required to transport materials can be greatly reduced.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, those skilled in the art may make various modifications and changes to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. You will be able to understand that it exists.

10 : 용기 100 : 이송 장치
102 : 이송 레일 104 : 이송 차량
110 : 전방 이송 모듈 112L : 좌측 전륜
112R : 우측 전륜 114L : 좌측 전륜 모터
114R : 우측 전륜 모터 116L : 좌측 전륜 엔코더
116R : 우측 전륜 엔코더 122L : 좌측 후륜
122R : 우측 후륜 124L : 좌측 후륜 모터
124R : 우측 후륜 모터 126L : 좌측 후륜 엔코더
126R : 우측 후륜 엔코더 130 : 호이스트 모듈
140 : 모션 제어기 142 : 프로파일 생성부
144L : 좌측 전륜 제어부 144R : 우측 전륜 제어부
146L : 좌측 후륜 제어부 146R : 우측 후륜 제어부
150L : 좌측 전륜 서보팩 150R : 우측 전륜 서보팩
152L : 좌측 후륜 서보팩 152R : 우측 후륜 서보팩10: container 100: transfer device
102: transfer rail 104: transfer vehicle
110: Front transfer module 112L: Left front wheel
112R: Right front wheel 114L: Left front wheel motor
114R: Right front wheel motor 116L: Left front wheel encoder
116R: Right front wheel encoder 122L: Left rear wheel
122R: Right rear wheel 124L: Left rear wheel motor
124R: Right rear wheel motor 126L: Left rear wheel encoder
126R: Right rear wheel encoder 130: Hoist module
140: motion controller 142: profile creation unit
144L: Left front wheel control unit 144R: Right front wheel control unit
146L: Left rear wheel control unit 146R: Right rear wheel control unit
150L: Left front wheel servo pack 150R: Right front wheel servo pack
152L: Left rear wheel servo pack 152R: Right rear wheel servo pack

Claims (14)

주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되며, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 전륜과, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 전륜과, 상기 좌측 전륜을 회전시키기 위한 좌측 전륜 모터와, 상기 우측 전륜을 회전시키기 위한 우측 전륜 모터를 포함하는 전방 이송 모듈;
상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성되며, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 좌측 후륜과, 상기 주행 레일 상에 놓여지는 우측 후륜과, 상기 좌측 후륜을 회전시키기 위한 좌측 후륜 모터와, 상기 우측 후륜을 회전시키기 위한 우측 후륜 모터를 포함하는 후방 이송 모듈;
상기 전방 및 후방 이송 모듈들의 하부에 연결되는 호이스트 모듈; 및
상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 모션 제어기를 포함하되,
상기 모션 제어기는 상기 주행 레일이 연장되는 경로 형태에 따라 요구되는 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도를 산출하고,
상기 산출된 좌측 전륜 회전 속도와 우측 전륜 회전 속도 및 좌측 후륜 회전 속도와 우측 후륜 회전 속도에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 제어하기 위한 좌측 전륜 속도 지령과 우측 전륜 속도 지령 및 좌측 후륜 속도 지령과 우측 후륜 속도 지령을 제공하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.It is configured to be movable on a running rail, a left front wheel placed on the running rail, a right front wheel placed on the running rail, a left front wheel motor for rotating the left front wheel, and a left front wheel motor for rotating the right front wheel. a front transport module containing a right front wheel motor;
It is configured to be movable on the travel rail, a left rear wheel placed on the travel rail, a right rear wheel placed on the travel rail, a left rear wheel motor for rotating the left rear wheel, and a left rear wheel motor for rotating the right rear wheel. a rear transfer module containing a right rear wheel motor for;
a hoist module connected to lower portions of the front and rear transfer modules; and
A motion controller for controlling operations of the left front wheel motor, the right front wheel motor, the left rear wheel motor, and the right rear wheel motor,
The motion controller calculates the left front wheel rotation speed, right front wheel rotation speed, left rear wheel rotation speed, and right rear wheel rotation speed required according to the path shape along which the travel rail extends,
For controlling the operations of the left front wheel motor, the right front wheel motor, the left rear wheel motor, and the right rear wheel motor based on the calculated left front wheel rotation speed, right front wheel rotation speed, left rear wheel rotation speed, and right rear wheel rotation speed. A transfer device characterized in that it provides a left front wheel speed command, a right front wheel speed command, a left rear wheel speed command, and a right rear wheel speed command. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 전방 이송 모듈은,
상기 좌측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 전륜 엔코더와,
상기 우측 전륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 전륜 엔코더를 더 포함하고,
상기 후방 이송 모듈은,
상기 좌측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 좌측 후륜 엔코더와,
상기 우측 후륜 모터의 회전수를 측정하기 위한 우측 후륜 엔코더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 1, wherein the front transfer module,
A left front wheel encoder for measuring the rotation speed of the left front wheel motor,
Further comprising a right front wheel encoder for measuring the rotation speed of the right front wheel motor,
The rear transfer module,
A left rear wheel encoder for measuring the rotation speed of the left rear wheel motor,
A transfer device further comprising a right rear wheel encoder for measuring the rotation speed of the right rear wheel motor. 제13항에 있어서, 상기 모션 제어기는, 상기 좌측 전륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 전륜 엔코더의 측정 신호 및 상기 좌측 후륜 엔코더의 측정 신호와 상기 우측 후륜 엔코더의 측정 신호에 기초하여 상기 좌측 전륜 모터와 상기 우측 전륜 모터 및 상기 좌측 후륜 모터와 상기 우측 후륜 모터의 동작을 피드백 방식으로 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 13, wherein the motion controller is configured to operate the left front wheel motor and A transfer device characterized in that the operations of the right front wheel motor, the left rear wheel motor, and the right rear wheel motor are controlled in a feedback manner.
KR1020200141788A 2020-10-29 2020-10-29 Transport apparatus KR102589717B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200141788A KR102589717B1 (en) 2020-10-29 2020-10-29 Transport apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200141788A KR102589717B1 (en) 2020-10-29 2020-10-29 Transport apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220057014A KR20220057014A (en) 2022-05-09
KR102589717B1 true KR102589717B1 (en) 2023-10-16

Family

ID=81581964

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200141788A KR102589717B1 (en) 2020-10-29 2020-10-29 Transport apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102589717B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002096907A (en) * 2000-03-31 2002-04-02 Sanshin Kinzoku Kogyo Kk Trackless motor shelf
JP2017132641A (en) * 2017-05-16 2017-08-03 株式会社岡村製作所 Carrying truck

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0840686A (en) * 1994-07-27 1996-02-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Travel control method of non-track type carrying truck
JP6278341B2 (en) * 2015-04-06 2018-02-14 株式会社ダイフク Goods transport equipment
KR102270043B1 (en) 2017-08-29 2021-06-28 세메스 주식회사 Transfer apparatus
KR102247038B1 (en) 2017-10-30 2021-04-30 세메스 주식회사 Method of correcting position of hoist module

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002096907A (en) * 2000-03-31 2002-04-02 Sanshin Kinzoku Kogyo Kk Trackless motor shelf
JP2017132641A (en) * 2017-05-16 2017-08-03 株式会社岡村製作所 Carrying truck

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220057014A (en) 2022-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102165426B1 (en) Conveyance system
KR102041391B1 (en) Temporary storage system
KR101841753B1 (en) Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
US6468021B1 (en) Integrated intra-bay transfer, storage, and delivery system
US11069549B2 (en) Overhead transport vehicle, overhead transport system, and control method for overhead transport vehicle
US20060104712A1 (en) Transportation system
KR102575953B1 (en) Magnetic levitation transfer apparatus
KR20050026371A (en) Universal modular wafer transport system
KR101504146B1 (en) Overhead hoist shuttle system
EP3476772A1 (en) Conveyance system
KR102138321B1 (en) Non-contact transfertation system using linear motors
EP1845552B1 (en) Transportation system and transportation method
KR102207874B1 (en) Transferring apparatus
KR101957960B1 (en) Magnetic levitation transfer apparatus
KR102589717B1 (en) Transport apparatus
KR20220039359A (en) Transfer apparatus
CN102947203A (en) Automated warehouse
CN114380005A (en) Conveying vehicle, rail, and article conveying system in manufacturing plant
US20230211966A1 (en) Article transport vehicle, rail assembly, and article transport system including the same
KR20210055295A (en) Transport apparatus
KR102702319B1 (en) Apparatus for controlling drive of transport vehicle wheel in article transport system and method thereof
KR20220052716A (en) Transfer apparatus and method of controlling the same
KR20230103869A (en) Article transport vehicle, rail assembly, and article transport system including the same
KR20210144442A (en) Material transfer apparatus
KR100309458B1 (en) Automatic transferring system

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant