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KR102515305B1 - 섀도우 마스크 및 이를 이용한 블랭크 마스크의 제조방법 - Google Patents

섀도우 마스크 및 이를 이용한 블랭크 마스크의 제조방법 Download PDF

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KR102515305B1
KR102515305B1 KR1020220060886A KR20220060886A KR102515305B1 KR 102515305 B1 KR102515305 B1 KR 102515305B1 KR 1020220060886 A KR1020220060886 A KR 1020220060886A KR 20220060886 A KR20220060886 A KR 20220060886A KR 102515305 B1 KR102515305 B1 KR 102515305B1
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KR
South Korea
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shutter
opening
mask
sensing unit
vertical
Prior art date
Application number
KR1020220060886A
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English (en)
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김성윤
이건곤
정민교
손성훈
신인균
Original Assignee
에스케이엔펄스 주식회사
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Publication date
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Abstract

구현예는 일면, 타면을 포함하고, 상기 일면 및 타면을 관통하는 개구를 포함하는 마스크; 상기 마스크의 일면에 구비되고, 상기 개구의 크기를 조절하는 셔터;를 포함하고, 상기 셔터는 상기 개구의 가장자리로부터 중심 방향으로 이동하여 개구의 크기를 조절하고, 반도체 노광 공정용 블랭크 마스크의 제조에 적용되는, 섀도우 마스크와, 이를 이용한 블랭크 마스크의 제조방법을 제공한다.

Description

섀도우 마스크 및 이를 이용한 블랭크 마스크의 제조방법{SHADOW MASK AND MANUFACTURING METHOD OF BLANKMASK APPLIED THEREBY}
구현예는 섀도우 마스크 및 이를 이용한 블랭크 마스크의 제조방법에 관한 것이다.
현재 반도체 양산에 적용되고 있는 포토마스크의 기본 형태인 블랭크 마스크는 해상력을 극대화하기 위하여 2개 이상의 다층 박막을 적용하고 있다. 이렇게 다층 박막을 제조하기 위해서는 박막 증착 공정을 여러번 진행하여야 하고, 각 박막의 외곽 경계처리를 위하여 증착 시 스퍼터링 설비 내의 섀도우 마스크를 각각 다른 크기의 마스크로 사용하여야 한다.
이는 각 박막의 외곽 경계부에서 발생하는 들뜸에 의한 결함 현상을 최소화하고, 블랭크 마스크를 기반으로 사용하는 포토마스크의 역할을 올바로 수행하기 위함이다.
따라서, 다층 박막의 블랭크 마스크 제조 시 필수적으로 다양한 크기의 섀도우 마스크들을 사용하여 블랭크 마스크 증착 공정을 진행해야 하고, 공정을 효율화하기 위한 다양한 방안들이 시도되고 있다.
전술한 배경기술은 발명자가 구현예의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
관련 선행기술로,
한국 등록특허 10-1670351에 개시된 "마스크 블랭크의 제조 방법 및 마스크 블랭크" 및
한국 등록특허 10-1218115에 개시된 "쉐도우 마스크 및 이를 이용한 박막 증착 방법" 등이 있다.
구현예의 목적은 다층 박막의 블랭크 마스크 제조 시 개구의 크기를 조절할 수 있는 섀도우 마스크를 제공하는 데 있다.
구현예의 다른 목적은 별도의 섀도우 마스크의 변경 없이 다층 박막의 블랭크 마스크를 용이하게 제조하는 방법을 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 구현예에 따른 섀도우 마스크는,
일면, 타면을 포함하고, 상기 일면 및 타면을 관통하는 개구를 포함하는 마스크;
상기 마스크의 일면에 구비되고, 상기 개구의 크기를 조절하는 셔터;를 포함하고,
상기 셔터는 상기 개구의 가장자리로부터 중심 방향으로 이동하여 개구의 크기를 조절하고,
반도체 노광 공정용 블랭크 마스크의 제조에 적용될 수 있다.
일 구현예에 있어서,
상기 개구는 상기 블랭크 마스크와 같은 형상인 사각 형상이고,
상기 셔터는,
상기 개구의 상부 및 하부에서 중심 방향으로 이동하거나 복귀하는 수직셔터; 및
상기 개구의 측부 및 다른 측부에서 중심 방향으로 이동하거나 복귀하는 수평셔터;를 포함하고,
상기 수직셔터 및 수평셔터는 상기 개구의 중심 방향으로 이동하거나 복귀 시 서로 간섭받지 않는 높이에 위치할 수 있다.
일 구현예에 있어서, 상기 마스크의 일면에 구비되는 감지부; 및
상기 감지부 및 셔터와 연결되고, 상기 감지부에 소정 힘이 가해질 시 상기 셔터를 이동시키도록 힘을 전달하는 전달부;를 포함할 수 있다.
일 구현예에 있어서, 상기 전달부는 상기 감지부로부터 전달받은 힘을 유압 또는 공압을 통해 상기 셔터의 이동으로 전환하는 액추에이터일 수 있다.
일 구현예에 있어서, 상기 감지부는 소정 힘이 가해질 시 직선 운동하는 제1톱니부를 포함하고,
상기 셔터는 제2톱니부를 포함하고,
상기 전달부는 상기 제1톱니부 및 제2톱니부와 맞물리는 기어부를 포함하고,
상기 전달부는 상기 감지부의 직선 운동을 기어부를 통해 상기 셔터의 이동으로 전환할 수 있다.
일 구현예에 있어서, 상기 감지부는 제1감지부; 및 제2감지부;를 포함하고,
상기 제1감지부는 소정 힘이 가해질 시 상기 수직셔터를 이동시키도록 힘을 전달하는 제1전달부를 포함하고,
상기 제2감지부는 소정 힘이 가해질 시 상기 수평셔터를 이동시키도록 힘을 전달하는 제2전달부를 포함할 수 있다.
일 구현예에 있어서, 상기 마스크의 내부공간 일부에 가이드레일을 포함하고,
상기 마스크와 상기 셔터 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 일부가 개방되는 개구레일을 포함하고,
상기 개구레일의 경로 일부에 위치하는 홈부를 포함하고,
상기 셔터는 상기 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 슬라이딩부 및 상기 슬라이딩부와 셔터를 연결하는 지지부를 포함하고,
상기 슬라이딩부 는 상기 홈부에서 맞물려 고정 가능한 것일 수 있다.
일 구현예에 있어서, 상기 마스크의 내부공간 일부에 수직 가이드레일, 상기 마스크의 내부공간 다른 일부에 수평 가이드레일을 포함하고,
상기 마스크와 상기 수직셔터 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 일부가 개방되는 수직개구레일 및 상기 마스크와 상기 수평셔터 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 다른 일부가 개방되는 수평개구레일을 포함하고,
상기 수직 가이드레일의 경로 일부에 위치하는 제1홈부, 상기 수평 가이드레일의 경로 일부에 위치하는 제2홈부를 포함하고,
상기 수직셔터는 상기 수직 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 제1슬라이딩부 및 상기 제1슬라이딩부와 수직셔터를 연결하는 제1지지부를 포함하고,
상기 수평셔터는 상기 수평 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 제2슬라이딩부 및 상기 제2슬라이딩부와 수평셔터를 연결하는 제2지지부를 포함하고,
상기 제1슬라이딩부는 상기 제1홈부에서 맞물려 고정 가능하고,
상기 제2슬라이딩부는 상기 제2홈부에서 맞물려 고정 가능할 수 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 구현예에 따른 블랭크 마스크의 제조방법은,
상기에 따른 섀도우 마스크를 적용한 성막 장치를 준비하는 단계; 및
상기 성막 장치 내에서 목적으로 하는 층을 성막하는 단계;를 포함할 수 있다.
일 구현예에 있어서, 상기 성막하는 단계는,
상기 섀도우 마스크의 셔터를 이동시켜 상기 개구의 크기를 조절하는 단계; 및
원료가 상기 섀도우 마스크 개구를 통과하며 임의의 기판 상에 성막되는 단계;를 포함할 수 있다.
구현예에 따르면, 섀도우 마스크 개구의 크기를 임의로 조절하도록 하여, 별도의 섀도우 마스크의 변경 없이 블랭크 마스크 제조공정을 간소화할 수 있는 이점이 있고, 효율적으로 양호한 품질의 블랭크 마스크를 얻을 수 있다.
도 1은 구현예에 따른 섀도우 마스크의 일례를 나타낸 개략도.
도 2는 구현예에 따른 섀도우 마스크의 일부 구조를 나타낸 개략도.
도 3은 구현예에 따른 섀도우 마스크를 상부에서 바라본 관점에서 일부 구조를 나타낸 개략도.
도 4는 구현예에 따른 섀도우 마스크가 지지대에 의해 지지된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 5는 구현예에 따른 섀도우 마스크의 기어부 등의 일례를 나타낸 개략도.
도 6은 구현예에 따른 섀도우 마스크의 전달부 등의 일례를 나타낸 개략도.
도 7은 구현예에 따른 섀도우 마스크를 하부에서 바라본 관점에서 일부 구조를 나타낸 개략도.
도 8은 구현예에 따른 섀도우 마스크를 하부에서 바라본 관점에서 다른 일부 구조를 나타낸 개략도.
도 9는 구현예에 따른 섀도우 마스크의 셔터의 일례를 나타낸 개략도.
도 10은 구현예에 따른 섀도우 마스크의 슬라이딩부 등의 일례를 나타낸 개략도.
이하, 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 하나 이상의 구현예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 구현예들은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
본 명세서에서, 어떤 구성이 다른 구성을 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 그 외 다른 구성을 제외하는 것이 아니라 다른 구성들을 더 포함할 수도 있음을 의미한다.
본 명세서에서, 어떤 구성이 다른 구성과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우만이 아니라, '그 중간에 다른 구성을 사이에 두고 연결'되어 있는 경우도 포함한다.
본 명세서에서, A 상에 B가 위치한다는 의미는 A 상에 직접 맞닿게 B가 위치하거나 그 사이에 다른 층이 위치하면서 A 상에 B가 위치하는 것을 의미하며 A의 표면에 맞닿게 B가 위치하는 것으로 한정되어 해석되지 않는다.
본 명세서에서, 마쿠시 형식의 표현에 포함된 "이들의 조합"의 용어는 마쿠시 형식의 표현에 기재된 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 혼합 또는 조합을 의미하는 것으로서, 상기 구성 요소들로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 의미한다.
본 명세서에서, "A 및/또는 B"의 기재는, "A, B, 또는, A 및 B"를 의미한다.
본 명세서에서, “제1”, “제2” 또는 “A”, “B”와 같은 용어는 특별한 설명이 없는 한 동일한 용어를 서로 구별하기 위하여 사용된다.
본 명세서에서 단수 표현은 특별한 설명이 없으면 문맥상 해석되는 단수 또는 복수를 포함하는 의미로 해석된다.
섀도우 마스크(100)
상기의 목적을 달성하기 위하여, 구현예에 따른 섀도우 마스크(100)는,
일면(11), 타면(12)을 포함하고, 상기 일면 및 타면을 관통하는 개구(20)를 포함하는 마스크(10);
상기 마스크의 일면에 구비되고, 상기 개구의 크기를 조절하는 셔터(30);를 포함하고,
상기 셔터는 상기 개구의 가장자리로부터 중심 방향으로 이동하여 개구의 크기를 조절하고,
상기 섀도우 마스크는 반도체 노광 공정용 블랭크 마스크의 제조에 적용될 수 있다.
상기 섀도우 마스크(100)는 도 7, 8을 참고하면, 상기 마스크(10)의 일면(11)에 상기 개구(20)의 크기, 둘레를 조절하는 셔터(30)가 복수 개 구비될 수 있다.
상기 마스크(10)는 알루미늄 등을 포함할 수 있고, A5052, A5056 등의 알루미늄 합금을 포함할 수 있다.
상기 개구(20)는 제조하고자 하는 블랭크 마스크와 실질적으로 같은 형상을 가질 수 있고, 예시적으로 사각 형상을 가질 수 있다.
도 1을 참고하면, 상기 셔터(30)는 상기 개구(20)의 가장자리로부터 중심 방향으로 1 mm 내지 10 mm만큼 이동하여 개구의 크기를 조절할 수 있고, 1 mm 내지 8 mm만큼 이동할 수 있으며, 1 mm 내지 6 mm 만큼 이동할 수 있다. 또한, 상기 셔터는 상기 개구의 가장자리로부터 중심 방향으로 1 mm 내지 10 mm 중 어느 하나 이상의 거리로 이동한 다음 고정될 수 있다. 이렇게 셔터를 통해 개구의 크기를 조절 가능하게 하여, 기판 성막 과정에서 섀도우 마스크의 교체과정을 생략할 수 있고, 제조공정을 간소화할 수 있다.
상기 셔터(30)는 상기 개구가 복수 개의 변을 갖는 다각형 형상일 경우 각 변에 하나씩 배치될 수 있고, 각 셔터의 움직임에 간섭이 발생하지 않도록 각각 상이한 높이에 위치할 수 있다.
상기 개구(20)가 상기 블랭크 마스크와 실질적으로 동일한 형상인 사각 형상일 시, 상기 셔터(30)는 상기 개구의 상부 및 하부에서 중심 방향으로 이동하거나 복귀하는 수직셔터(31); 및
상기 개구의 측부 및 다른 측부에서 중심 방향으로 이동하거나 복귀하는 수평셔터(32);를 포함하고,
도 7을 참고하면, 상기 수직셔터(31) 및 수평셔터(32)는 상기 개구의 중심 방향으로 이동하거나 복귀 시 서로 간섭받지 않는 높이에 위치할 수 있다. 예시적으로, 수직셔터 및 수평셔터 중 어느 하나가 상대적으로 높은 높이에 위치하고, 다른 하나는 상대적으로 그보다 낮은 높이에 위치할 수 있다.
상기 수직셔터(31) 및 수평셔터(32)는 서로 같은 거리로 상기 개구의 중심 방향으로 이동하거나 복귀할 수 있다.
상기 수직셔터(31) 및 수평셔터(32)는 서로 개별적으로 이동할 수 있고, 동시에 이동할 수도 있다.
상기 섀도우 마스크(100)는 상기 마스크의 일면에 구비되는 감지부(40); 및
상기 감지부 및 셔터와 연결되고, 상기 감지부에 소정 힘이 가해질 시 상기 셔터를 이동시키도록 힘을 전달하는 전달부(50);를 포함할 수 있다.
상기 감지부(40)는 도 7, 8에 도시된 바와 같이 셔터(30)가 구비된 일면(11)에 복수 개 구비될 수 있고, 셔터당 하나씩 구비될 수 있다.
상기 감지부(40)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 섀도우 마스크(100)로 향하는 임의의 지지대(200)에 의한 힘, 압력을 받을 수 있고, 이를 후술할 부재를 통해 셔터(30)의 이동으로 전환할 수 있다. 상기 지지대는 챔버 내 기판을 안치할 수 있는 부재의 외측에 위치할 수도 있다.
상기 전달부(50)는 상기 감지부(40)로부터 전달받은 힘을 유압 또는 공압을 통해 상기 셔터의 이동으로 전환하는 액추에이터를 포함할 수 있다. 도 6을 참고하면, 지지대(200) 등으로 상기 감지부에 소정 힘을 가할 시, 상기 액추에이터를 포함하는 전달부는 상기 셔터(30)가 움직이도록 하고, 상기 지지대가 소정 힘을 가하는 것이 중지되면, 상기 셔터가 움직이기 전 원 상태로 복귀하도록 할 수 있다.
상기 전달부(50)는 도 3을 참고하면, 상기 셔터(30)와 직접적으로 연결되어 힘을 전달할 수 있고, 후술할 도 9, 10 등에 도시된 슬라이딩부(33)와 연결되어 상기 셔터로 힘을 전달할 수 있다.
또한, 상기 감지부(40)는 소정 힘이 가해질 시 직선 운동하는 제1톱니부(61)를 포함하고, 상기 셔터는 제2톱니부(62)를 포함하고,
상기 전달부는 상기 제1톱니부 및 제2톱니부와 맞물리는 기어부(63)를 포함하고,
상기 전달부는 상기 감지부의 직선 운동을 기어부를 통해 상기 셔터의 이동으로 전환할 수 있다.
도 5를 참고하면, 지지대(200) 등으로 상기 감지부(40)에 소정 힘을 가할 시, 상기 감지부(40)가 직선 운동하며 제1톱니부(61)와 맞물린 전달부인 기어부(63)를 움직이게 하거나 회전시키고, 상기 기어부는 또한 상기 제2톱니부(62)와 맞물려 상기 셔터(30)를 움직이도록 할 수 있다. 상기 감지부는 별도의 스프링 등의 탄성 부재를 더 포함할 수 있고, 상기 지지대가 소정 힘을 가하는 것이 중지되면, 상기 셔터가 움직이기 전 상태로 복귀하도록 할 수 있다.
상기 감지부(40)는 제1감지부(41); 및 제2감지부(42);를 포함하고,
상기 제1감지부(41)는 상기 제1감지부에 소정 힘이 가해질 시 상기 수직셔터(31)를 이동시키도록 힘을 전달하는 제1전달부를 포함하고,
상기 제2감지부(42)는 상기 제2감지부에 소정 힘이 가해질 시 상기 수평셔터(32)를 이동시키도록 힘을 전달하는 제2전달부를 포함할 수 있다.
도 7, 8를 참고하면, 상기 제1감지부(41)는 상기 수직셔터(31)의 인근에 배치될 수 있고, 상기 수직셔터 중 상부에 위치한 셔터의 위, 하부에 위치한 셔터의 아래에 배치될 수 있으며, 상기 수직셔터와 간섭되지 않는 위치에 배치될 수 있다. 상기 제2감지부(42)는 상기 수평셔터(32)의 인근에 배치될 수 있고, 상기 수평셔터 중 우측에 위치한 셔터의 우측, 좌측에 위치한 셔터의 좌측에 배치될 수 있으며, 상기 수평셔터와 간섭되지 않는 위치에 배치될 수 있다.
도 1, 2, 10 등을 참고하면, 상기 마스크(10)의 내부공간 일부에 가이드레일(70)을 포함하고,
상기 마스크와 상기 셔터 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 일부가 개방되는 개구레일(80)을 포함하고,
상기 개구레일의 경로 일부에 위치하는 홈부(73)를 포함하고,
상기 셔터는 상기 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 슬라이딩부(33) 및 상기 슬라이딩부와 셔터를 연결하는 지지부(90)를 포함하고,
상기 슬라이딩부(33)는 상기 홈부(73)에서 맞물려 고정 가능할 수 있다.
도 9를 참고하면, 상기 지지부(90)는 상기 셔터(30)의 일면 상에 배치될 수 있고, 상기 개구레일(80)을 통해 왕복할 수 있는 폭을 가질 수 있다.
도 2, 10을 참고하면, 상기 가이드레일(70)의 홈부(73)는 상기 슬라이딩부(33)의 돌출부(34)와 같거나 유사한 형상을 가질 수 있고, 상기 돌출부와 맞물려 임시적으로 고정될 수 있다. 상기 돌출부는 상기 슬라이딩부의 일 말단 또는/및 타 말단에 구비될 수 있고, 상기 홈부와 맞물릴 수 있는 상기 슬라이딩부의 어느 위치에 구비될 수 있다. 예시적으로, 상기 돌출부는 구 형태를 포함할 수 있고, 상기 홈부는 구 형태의 일부를 수용하도록 패인 형상을 가질 수 있다. 상기 슬라이딩부를 포함하는 셔터(30)는 임시적으로 고정된 상태에서 소정 힘이 가해지면 이동될 수 있다.
상기 가이드레일(70)은 상기 슬라이딩부(33)의 직선 이동이 보장되는 공간을 포함할 수 있고, 상기 슬라이딩부와 지지부(90)를 통해 연결된 셔터(30)가 원활하게 이동되도록 할 수 있다.
상기 슬라이딩부(33)는 상기 전달부(50)와 연결된 것일 수 있고, 상기 감지부(40)에 소정 힘이 가해질 시, 상기 전달부를 통해 상기 슬라이딩부, 상기 슬라이딩부와 연결된 셔터의 직선 운동이 이루어질 수 있다.
도 7, 8을 참고하면, 상기 마스크(10)의 내부공간 일부에 수직 가이드레일, 상기 마스크의 내부공간 다른 일부에 수평 가이드레일을 포함하고,
상기 마스크와 상기 수직셔터(31) 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 일부가 개방되는 수직개구레일(81) 및 상기 마스크와 상기 수평셔터(32) 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 다른 일부가 개방되는 수평개구레일(82)을 포함하고,
상기 수직 가이드레일의 경로 일부에 위치하는 제1홈부, 상기 수평 가이드레일의 경로 일부에 위치하는 제2홈부를 포함하고,
상기 수직셔터는 상기 수직 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 제1슬라이딩부 및 상기 제1슬라이딩부와 수직셔터를 연결하는 제1지지부를 포함하고,
상기 수평셔터는 상기 수평 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 제2슬라이딩부 및 상기 제2슬라이딩부와 수평셔터를 연결하는 제2지지부를 포함하고,
상기 제1슬라이딩부는 상기 제1홈부에서 맞물려 고정 가능하고,
상기 제2슬라이딩부는 상기 제2홈부에서 맞물려 고정 가능할 수 있다.
상기 제1슬라이딩부는 제1감지부(41)와 연결된 전달부(50)에 의해 직선 운동이 이루어질 수 있고, 상기 제2슬라이딩부는 제2감지부(42)와 연결된 전달부(50)에 의해 직선 운동이 이루어질 수 있다. 또한, 상기 수직셔터(31) 및 수평셔터(32)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 섀도우 마스크(100)로 향하는 임의의 지지대(200)에 의한 힘, 압력에 의해 이동이 이루어질 수 있고, 상기 수직셔터 및 수평셔터의 이동으로 상기 개구(20)의 크기가 변화될 수 있다.
상기 제1지지부 및 제2지지부는 각각 상이한 길이를 가질 수 있고, 이에 따라 상기 수직셔터(31) 및 수평셔터(32)가 각각 상이한 높이를 가져 이동 시 간섭되지 않을 수 있다.
상기 섀도우 마스크(100)는 챔버 내에서 지지대(200)의 조작을 통해 상기 섀도우 마스크를 목적 위치까지 이동 및 고정시킨 다음, 지지대-감지부(40)-전달부(50)-셔터(30)로 힘이 전달되어 개구(20)의 크기를 조절할 수 있고, 블랭크 마스크의 성막을 용이하게 진행시킬 수 있으며, 별도의 마스크 교체과정, 챔버 개방이 필요 없어 공정을 간소화할 수 있다.
블랭크 마스크의 제조방법
상기의 목적을 달성하기 위하여, 구현예에 따른 블랭크 마스크의 제조방법은,
상기에 따른 섀도우 마스크를 적용한 성막 장치를 준비하는 단계; 및
상기 성막 장치 내에서 목적으로 하는 층을 성막하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 성막하는 단계는,
상기 섀도우 마스크의 셔터를 이동시켜 상기 개구의 크기를 조절하는 단계; 및
원료가 상기 섀도우 마스크 개구를 통과하며 임의의 기판 상에 성막되는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 개구의 크기를 조절하는 단계에서, 챔버 내의 지지대 등을 통해 상기 섀도우 마스크에 포함되는 감지부에 힘을 가하여 셔터를 움직이도록 할 수 있다.
상기 개구의 크기를 조절하는 단계에서, 챔버 내의 지지대 등을 통해 상기 섀도우 마스크를 목적으로 하는 위치에 이동시킴과 동시에 상기 셔터를 움직이도록 할 수 있다. 예시적으로, 상기 섀도우 마스크를 목적 위치에 고정시킨 다음, 상기 지지대가 가해지는 힘을 조절하여 셔터가 움직이는 정도 및 개구의 크기를 조절할 수 있다.
상기 임의의 기판 상에 성막되는 단계에서, 각기 다른 복수 개의 층 성막 시 각 층의 성막과정에서 개구의 크기가 다르게 되도록 진행될 수 있고, 점차 개구의 크기가 작아지도록 진행될 수 있다. 예시적으로, 하부층/중간층/상부층의 적층체를 성막하고자 하는 경우, 하부층 성막 시에는 개구의 크기 조절 없이 성막이 진행될 수 있고, 중간층 성막 시에는 개구의 가장자리로부터 중심 방향으로 1 mm 내지 2 mm 셔터를 이동시켜 개구의 크기를 조절한 다음 성막이 진행될 수 있으며, 상부층 성막 시에는 상기 중간층의 개구 크기보다 더 작은 크기를 갖도록 조절한 다음 성막이 진행될 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
10: 마스크
11: 일면
12: 타면
20: 개구
30: 셔터
31: 수직셔터
32: 수평셔터
33: 슬라이딩부
34: 돌출부
40: 감지부
41: 제1감지부
42: 제2감지부
50: 전달부
70: 가이드레일
73: 홈부
80: 개구레일
81: 수직개구레일
82: 수평개구레일
90: 지지부
100: 섀도우 마스크
200: 지지대

Claims (10)

  1. 일면, 타면을 포함하고, 상기 일면 및 타면을 관통하는 개구를 포함하는 마스크;
    상기 마스크의 일면에 구비되고, 상기 개구의 크기를 조절하는 셔터;를 포함하고,
    상기 셔터는 상기 개구의 가장자리로부터 중심 방향으로 이동하여 개구의 크기를 조절하고,
    상기 마스크의 내부공간 일부에 가이드레일을 포함하고,
    상기 마스크와 상기 셔터 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 일부가 개방되는 개구레일을 포함하고,
    상기 개구레일의 경로 일부에 위치하는 홈부를 포함하고,
    상기 셔터는 상기 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 슬라이딩부 및 상기 슬라이딩부와 셔터를 연결하는 지지부를 포함하며,
    상기 슬라이딩부는 상기 홈부에서 맞물려 고정 가능하고,
    반도체 노광 공정용 블랭크 마스크의 제조에 적용되는, 섀도우 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 개구는 상기 블랭크 마스크와 같은 형상인 사각 형상이고,
    상기 셔터는,
    상기 개구의 상부 및 하부에서 중심 방향으로 이동하거나 복귀하는 수직셔터; 및
    상기 개구의 측부 및 다른 측부에서 중심 방향으로 이동하거나 복귀하는 수평셔터;를 포함하고,
    상기 수직셔터 및 수평셔터는 상기 개구의 중심 방향으로 이동하거나 복귀 시 서로 간섭받지 않는 높이에 위치하는, 섀도우 마스크.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 마스크의 일면에 구비되는 감지부; 및
    상기 감지부 및 셔터와 연결되고, 상기 감지부에 소정 힘이 가해질 시 상기 셔터를 이동시키도록 힘을 전달하는 전달부;를 포함하는, 섀도우 마스크.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 전달부는 상기 감지부로부터 전달받은 힘을 유압 또는 공압을 통해 상기 셔터의 이동으로 전환하는 액추에이터인, 섀도우 마스크.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 감지부는 소정 힘이 가해질 시 직선 운동하는 제1톱니부를 포함하고,
    상기 셔터는 제2톱니부를 포함하고,
    상기 전달부는 상기 제1톱니부 및 제2톱니부와 맞물리는 기어부를 포함하고,
    상기 전달부는 상기 감지부의 직선 운동을 기어부를 통해 상기 셔터의 이동으로 전환하는, 섀도우 마스크.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 감지부는 제1감지부; 및 제2감지부;를 포함하고,
    상기 제1감지부는 소정 힘이 가해질 시 상기 수직셔터를 이동시키도록 힘을 전달하는 제1전달부를 포함하고,
    상기 제2감지부는 소정 힘이 가해질 시 상기 수평셔터를 이동시키도록 힘을 전달하는 제2전달부를 포함하는, 섀도우 마스크.
  7. 삭제
  8. 일면, 타면을 포함하고, 상기 일면 및 타면을 관통하는 개구를 포함하는 마스크;
    상기 마스크의 일면에 구비되고, 상기 개구의 크기를 조절하는 셔터;를 포함하고,
    상기 셔터는 상기 개구의 가장자리로부터 중심 방향으로 이동하여 개구의 크기를 조절하고,
    상기 셔터는,
    상기 개구의 상부 및 하부에서 중심 방향으로 이동하거나 복귀하는 수직셔터; 및
    상기 개구의 측부 및 다른 측부에서 중심 방향으로 이동하거나 복귀하는 수평셔터;를 포함하고,
    상기 마스크의 내부공간 일부에 수직 가이드레일, 상기 마스크의 내부공간 다른 일부에 수평 가이드레일을 포함하고,
    상기 마스크와 상기 수직셔터 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 일부가 개방되는 수직개구레일 및 상기 마스크와 상기 수평셔터 사이에 구비되고 상기 마스크 내부공간의 다른 일부가 개방되는 수평개구레일을 포함하고,
    상기 수직 가이드레일의 경로 일부에 위치하는 제1홈부, 상기 수평 가이드레일의 경로 일부에 위치하는 제2홈부를 포함하고,
    상기 수직셔터는 상기 수직 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 제1슬라이딩부 및 상기 제1슬라이딩부와 수직셔터를 연결하는 제1지지부를 포함하고,
    상기 수평셔터는 상기 수평 가이드레일과 맞물려 이동 가능한 제2슬라이딩부 및 상기 제2슬라이딩부와 수평셔터를 연결하는 제2지지부를 포함하고,
    상기 제1슬라이딩부는 상기 제1홈부에서 맞물려 고정 가능하고,
    상기 제2슬라이딩부는 상기 제2홈부에서 맞물려 고정 가능하고,
    반도체 노광 공정용 블랭크 마스크의 제조에 적용되는, 섀도우 마스크.
  9. 제1항에 따른 섀도우 마스크를 적용한 성막 장치를 준비하는 단계; 및
    상기 성막 장치 내에서 목적으로 하는 층을 성막하는 단계;를 포함하는, 블랭크 마스크의 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 성막하는 단계는,
    상기 섀도우 마스크의 셔터를 이동시켜 상기 개구의 크기를 조절하는 단계; 및
    원료가 상기 섀도우 마스크 개구를 통과하며 임의의 기판 상에 성막되는 단계;를 포함하는, 블랭크 마스크의 제조방법.
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