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KR102373436B1 - 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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KR102373436B1
KR102373436B1 KR1020150044394A KR20150044394A KR102373436B1 KR 102373436 B1 KR102373436 B1 KR 102373436B1 KR 1020150044394 A KR1020150044394 A KR 1020150044394A KR 20150044394 A KR20150044394 A KR 20150044394A KR 102373436 B1 KR102373436 B1 KR 102373436B1
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김선주
송영록
송정배
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 복수의 화소 전극이 형성된 제1 기판과, 상기 화소 전극 상에 형성된 화소정의막과, 상기 각 화소 전극 상에 형성되는 중간층;을 포함하고, 상기 제1 기판은 복수개의 영역으로 구분되고, 상기 제1 기판의 복수개의 영역 중 적어도 2 영역에서의 상기 중간층의 두께는 상이하게 형성된다.

Description

표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Displya apparatus, manufacturing apparatus for the same and manufacturing method for the same}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시부를 포함한다. 최근, 표시부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
본 발명의 실시예들은 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 복수의 화소 전극이 형성된 제1 기판과, 상기 화소 전극 상에 형성된 화소정의막과, 상기 각 화소 전극 상에 형성되는 중간층;을 포함하고, 상기 제1 기판은 복수개의 영역으로 구분되고, 상기 제1 기판의 복수개의 영역 중 적어도 2 영역에서의 상기 중간층의 두께는 상이하게 형성되는 표시 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 중간층의 두께는 상기 제1 기판의 각 영역의 반사율에 따라 상이하게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 중간층은 공통층 및 기능층을 포함하고, 상기 공통층의 두께 및 상기 기능층의 두께 중 적어도 하나는 상기 제1 기판의 각 영역에서 상이하게 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 제1 기판을 세정하는 세정유닛과, 상기 세정유닛으로부터 공급되는 상기 제1 기판을 건조시키는 건조유닛과, 건조된 상기 제1 기판의 복수개의 영역으로 구분하여 각 영역의 반사율을 측정하는 반사율측정유닛과, 상기 반사율측정유닛에서 측정된 각 영역의 반사율을 근거로 상기 화소 전극 상에 두께가 상이한 중간층을 형성하는 증착유닛을 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착유닛에 연결되어 상기 제1 기판을 플라즈마 처리하는 플라즈마처리유닛을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 반사율측정유닛은 상기 건조유닛과 상기 플라즈마처리유닛 사이, 상기 건조유닛 및 상기 플라즈마처리유닛 중 적어도 하나에 설치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착 유닛은, 증착 물질을 방사하는 증착원과, 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 복수 개의 증착원 노즐들이 형성되는 증착원 노즐부와, 상기 증착원과 대향되게 배치되고, 상기 증착 물질이 통과하는 복수 개의 패터닝 슬릿이 형성되는 패터닝 슬릿 시트를 포함하고, 상기 증착원은 상기 제1 기판의 반사율에 따라 온도를 상이하게 형성하여 상기 증착 물질을 상기 제1 기판에 상이한 두께로 증착시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착 유닛은 상기 제1 기판의 중심부분의 중간층의 두께를 기준으로 상기 제1 기판의 중심부분과 상이한 반사율을 갖는 상기 제1 기판의 다른 부분의 중간층의 두께는 상기 제1 기판의 중심부분의 중간층의 두께와 상이한 두께로 증착할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 기판의 중심부분의 반사율이 상기 제1 기판의 다른 부분의 반사율보다 큰 경우 상기 제1 기판의 중심부분의 두께는 상기 제1 기판의 다른 부분의 두께보다 작게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 기판의 중심부분의 반사율이 상기 제1 기판의 다른 부분의 반사율보다 작은 경우 상기 제1 기판의 중심부분의 두께는 상기 제1 기판의 다른 부분의 두께보다 크게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 중간층은 공통층 및 기능층을 포함하고, 상기 제1 기판의 각 영역의 상기 공통층의 두께 및 상기 기능층의 두께 중 적어도 하나는 상기 반사율을 근거로 상이하게 형성될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 복수개의 화소 전극과 화소정의막이 형성된 제1 기판을 복수개의 영역으로 구분하여 각 영역의 반사율을 측정하는 단계와, 상기 제1 기판이 상기 증착유닛에 대하여 이격되도록 배치되는 단계와, 상기 증착유닛 또는 상기 제1 기판 중 하나는 상기 증착유닛 또는 상기 제1 기판 중 다른 하나에 대하여 상대적으로 이동하면서, 상기 반사율에 따라 상기 증착에서 방사되는 증착 물질을 상기 제1 기판의 각 영역 상에 서로 상이하게 증착하여 상기 제1 기판의 각 영역 상에서 상기 중간층을 상이하게 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 기판을 세정하는 단계와, 세정된 상기 제1 기판을 건조하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 기판을 플라즈마 처리하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착유닛은 상기 증착물질을 방사하는 복수개의 증착원을 포함하고, 상기 반사율에 근거하여 상기 각 증착원의 온도는 가변하도록 제어될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원의 온도는 상기 제1 기판의 중심 부분과 상기 제1 기판의 중심 부분과 상이한 반사율을 갖는 상기 제1 기판의 다른 부분에서 상이하게 제어될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 기판의 중심부분의 중간층의 두께를 기준으로 상기 제1 기판의 중심부분과 상이한 반사율을 갖는 상기 제1 기판의 다른 부분의 중간층의 두께는 상기 제1 기판의 중심부분의 중간층의 두께와 상이한 두께로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 기판의 중심부분의 반사율이 상기 제1 기판의 다른 부분의 반사율보다 큰 경우 상기 제1 기판의 중심부분의 두께는 상기 제1 기판의 다른 부분의 두께보다 작게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 기판의 중심부분의 반사율이 상기 제1 기판의 다른 부분의 반사율보다 작은 경우 상기 제1 기판의 중심부분의 두께는 상기 제1 기판의 다른 부분의 두께보다 크게 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 중간층은 공통층 및 기능층을 포함하고, 상기 제1 기판의 각 영역의 상기 공통층의 두께 및 상기 기능층의 두께 중 적어도 하나는 상기 반사율을 근거로 상이하게 형성될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치는 색 산포가 개선된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 A영역의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 1의 표시 장치 중 반사율이 상이한 영역의 화소 높이를 상대적으로 비교한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 개념도이다.
도 5는 도 4에 도시된 증착유닛의 일 실시예를 보여주는 사시도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 표시 장치의 A영역의 일부를 보여주는 단면도이다. 도 3은 도 1의 표시 장치 중 반사율이 상이한 영역의 화소 높이를 상대적으로 비교한 단면도이다.
도 1 내지 도 3를 참고하면, 표시 장치(100)는 제1 기판(110) 및 발광부(미표기)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(100)는 상기 발광부의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 또는 제2 기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 기판은 일반적인 표시 장치에 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(100)가 박막 봉지층(E)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
표시 장치(100)는 반사율을 측정하기 위하여 복수개의 영역으로 구분될 수 있다. 예를 들면, 표시 장치(100)는 4개의 영역으로 구분될 수 있으며, 다른 실시예로써 표시 장치(100)는 6개의 영역으로 구분될 수 있다. 또 다른 실시예로써 표시 장치(100)는 9개의 영역으로 구분될 수 있다. 이때, 표시 장치(100)는 상기에 한정되는 것은 아니며 2개 이상의 영역으로 구분될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(100)를 9개의 영역으로 구분하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
표시 장치(100)의 9개의 영역은 적어도 2개 이상의 영역이 서로 상이한 반사율을 가질 수 있다. 다른 실시예로써 표시 장치(100)의 9개의 영역이 모두 동일한 반사율을 가질 수 있다. 이때, 반사율은 제1 기판(110) 상에 화소 전극(181)과 화소정의막(190)이 형성된 상태에서 측정된 값일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(100)의 9개의 영역 중 A영역, B영역, C영역이 모두 반사율이 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 또한, B영역의 반사율은 A영역의 반사율보다 작고, C영역의 반사율은 A영역의 반사율보다 큰 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 표시 장치(100)의 구조를 살펴보면, 제1 기판(110) 상에 상기 발광부가 형성될 수 있다. 이때, 상기 발광부는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(170)이 형성되며, 이 패시베이션막(170) 상에 유기 발광 소자(180)가 형성될 수 있다.
이때, 제1 기판(110)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 제1 기판(110)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 기판(110)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 기판(110)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(120)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(120) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(130)이 형성된 후, 활성층(130)이 게이트 절연층(140)에 의해 매립된다. 활성층(130)은 소스 영역(131)과 드레인 영역(133)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(132)을 더 포함한다.
이러한 활성층(130)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(130)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(130)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(130)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(130)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(130)은 버퍼층(120) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(130)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(131) 및 드레인 영역(133)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(140)의 상면에는 활성층(130)과 대응되는 게이트 전극(150)과 이를 매립하는 층간 절연층(160)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(160)과 게이트 절연층(140)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(160) 상에 소스 전극(171) 및 드레인 전극(172)을 각각 소스 영역(131) 및 드레인 영역(133)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(170)이 형성되고, 이 패시베이션막(170) 상부에 유기 발광 소자(OLED)의 화소 전극(181)이 형성된다. 이 화소 전극(181)은 패시베이션막(170)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(172)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(170)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(170)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(170) 상에 화소 전극(181)을 형성한 후에는 이 화소 전극(181) 및 패시베이션막(170)을 덮도록 화소정의막(190)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(181)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(181) 상에 중간층(182) 및 대향 전극(183)이 형성된다.
화소 전극(181)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(183)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(181)과 대향 전극(183)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(181)과 대향 전극(183)은 상기 중간층(182)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(182)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(182)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(182)은 유기 발광층(182d,organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 공통층(미표기)으로써 정공 주입층(182a,HIL:hole injection layer), 정공 수송층(182b,hole transport layer), 전자 수송층(182e,electron transport layer) 및 전자 주입층(182f,electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(182)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(182c)을 더 구비할 수 있다. 이때, 기능층(182c)는 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 기능층(182c)는 각 유기 발광층(182d)의 발광을 보조하는 발광 보조층(미도시)를 구비할 수 있다. 또한, 기능층(182c)는 발광 효율, 색순도 등을 높일 수 있는 보조층(미도시)을 구비할 수 있다. 이때, 보조층은 전공 수송층(182b)와 동일한 물질로 형성될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소(P)는 복수의 부화소(R,G,B)로 이루어지는데, 복수의 부화소(R,G,B)는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소(R,G,B)는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소(R,G,B)를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 중간층(182)은 각 영역에 따라서 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 중간층(182)의 두께는 각 영역의 반사율에 따라 상이하게 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 A영역의 반사율은 제1 반사율, B영역의 반사율은 제2 반사율, C영역의 반사율은 제3 반사율, A영역의 중간층(182)의 두께는 제1 두께, B영역의 중간층(182)의 두께는 제2 두께, C영역의 중간층(182)의 두께는 제3 두께로 하여 상세히 설명하기로 한다.
상기에서 설명한 바와 같이 제1 반사율이 제2 반사율보다 크게 형성되므로 제1 두께는 제2 두께보다 작게 형성될 수 있다. 또한, 제1 반사율이 제3 반사율보다 작게 형성되므로 제1 두께는 제3 두께보다 크게 형성될 수 있다. 이때, 중간층(182)의 두께를 가변시키는 방법은 상기 공통층 및 기능층(182c) 중 적어도 하나의 두께를 가변시키는 방법일 수 있다.
일반적으로 제1 기판(110)에 중간층(182)의 두께를 일정하게 증착한다. 이때, 제1 기판(110)의 위치별로 다른 반사율을 갖게 되면 서로 다른 공진효과를 나타내 제1 기판(110) 내에 색이 불균일해진다. 그러나 상기와 같이 반사율에 따라서 중간층(182)의 두께를 가변시키는 경우 공진효과의 차이로 인한 색 산포 불균일을 줄일 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제 3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제 3 무기층, 제 3 유기층, 제 4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제 3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(100)는 반사율이 상이한 제1 기판(110)의 영역별로 중간층(182)의 두께를 최적화함으로써 제1 기판(110) 전체의 색 산포 균일도를 향상시킬 수 있다.
한편, 이하에서는 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 중간층(182)을 형성하는 방법에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 개념도이다. 도 5는 도 4에 도시된 증착유닛의 일 실시예를 보여주는 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(10)는 세정유닛(200), 건조유닛(300), 반사율측정유닛(400), 플라즈마처리유닛(500), 증착유닛(600), 대향전극형성유닛(700) 및 플라즈마에쳐유닛(800)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 표시 장치의 제조장치(10)는 인라인 형태로 형성될 수 있다. 이때, 각 유닛이 전부 인라인 형태로 연결될 수 있으며, 클러스터 형태로 연결될 수도 있다. 다른 실시예로써 별개의 챔버로 서로 독립적으로 연결되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치의 제조장치(10)는 인라인 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
세정유닛(200)은 제1 기판(110)으로 세정액을 분사하여 제1 기판(110), 화소 전극(181), 화소정의막(190) 상의 이물질을 제거할 수 있다. 건조유닛(300)은 세정유닛(200)으로부터 공급되는 제1 기판(110)을 건조시킬 수 있다. 이때, 건조유닛(300)은 열풍 또는 빛 등을 공급하여 세정액을 건조시킬 수 있다.
플라즈마처리유닛(500)은 건조유닛(300)에서 공급되는 제1 기판(110)에 플라즈마 처리를 할 수 있다. 이때, 플라즈마처리유닛(500)은 플라즈마를 통하여 제1 기판(110) 상의 이물질 등을 제거할 수 있다.
반사율측정유닛(400)은 화소 전극(181) 및 화소정의막(190)이 형성된 제1 기판(110)의 반사율을 측정할 수 있다. 이때, 반사율측정유닛(400)은 제1 기판(110)을 복수개의 영역으로 구획하여 반사율을 측정할 수 있다.
상기와 같은 반사율측정유닛(400)은 다양한 장소에 설치될 수 있다. 예를 들면, 반사율측정유닛(400)은 건조유닛(300)과 플라즈마처리유닛(500) 사이, 건조유닛(300) 및 플라즈마처리유닛(500) 중 적어도 하나에 설치될 수 있다. 구체적으로 건조유닛(300)과 플라즈마처리유닛(500) 사이에 반사율측정유닛(400)이 설치되는 경우 반사율측정유닛(400)은 챔버와, 챔버 내부에 배치되는 반사율측정부 및 제1 기판(110)을 이송시키는 컨베이어 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 건조유닛(300) 및 플라즈마처리유닛(500) 중 적어도 하나에 반사율측정유닛(400)이 설치되는 경우 반사율측정유닛(400)은 건조유닛(300) 및 플라즈마처리유닛(500) 중 적어도 하나의 내부에 설치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 반사율측정유닛(400)이 건조유닛(300) 내부에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 증착유닛(600)은 증착원(610), 증착원 노즐부(620), 패터닝 슬릿 시트(650) 및 연결부재(635)를 포함한다.
여기서, 도 5에는 설명의 편의를 위해 챔버를 도시하지 않았지만, 도 5의 모든 구성은 적절한 진공도가 유지되는 도 4에서와 같이 챔버 내에 배치될 수 있다. 이는 증착 물질의 직진성을 확보하기 위함이다.
상세히, 증착원(610)에서 방출된 증착 물질(615)이 증착원 노즐부(620) 및 패터닝 슬릿 시트(650)를 통과하여 제1 기판(110)에 원하는 패턴으로 증착되게 하려면, 기본적으로 챔버(미도시) 내부는 FMM(Fine matel mask) 증착 방법과 동일한 고진공 상태를 유지해야 한다. 또한 패터닝 슬릿 시트(650) 및 연결부재(635)의 온도가 증착원(610) 온도보다 충분히 낮아야(약 100°이하) 증착원 노즐부(620)와 패터닝 슬릿 시트(650) 사이의 공간을 고진공 상태로 유지할 수 있다. 이와 같이, 패터닝 슬릿 시트(650)의 온도가 충분히 낮으면, 원하지 않는 방향으로 방사되는 증착 물질(615)은 연결부재(635)의 면에 흡착되어서 고진공을 유지할 수 있기 때문에, 증착 물질 간의 충돌이 발생하지 않아서 증착 물질의 직진성을 확보할 수 있게 되는 것이다.
이러한 챔버(미도시) 내에는 피 증착체인 제1 기판(110)이 배치된다. 제1 기판(110)은 평판 표시장치용 기판이 될 수 있는 데, 다수의 평판 표시장치를 형성할 수 있는 대면적 기판이 적용될 수 있다.
여기서, 제1 기판(110)이 증착유닛(600)에 대하여 상대적으로 이동하면서 증착이 진행될 수 있다.
상세히, 기존 FMM 증착 방법에서는 FMM 크기가 기판 크기와 동일하게 형성되어야 하므로, 기판 사이즈가 증가할수록 FMM도 대형화되어야 한다. 그러나, 대형화된 FMM의 제작이 용이하지 않고, FMM을 인장하여 정밀한 패턴으로 얼라인(align) 하기도 용이하지 않다는 문제점이 존재하였다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 증착유닛(600)은, 증착원(610)과 제1 기판(110)이 서로 상대적으로 이동하면서 증착이 이루어질 수 있다. 다시 말하면, 증착원(610)과 마주보도록 배치된 제1 기판(110)이 Y축 방향을 따라 이동하면서 연속적으로 증착을 수행할 수 있다. 즉, 스캐닝(scanning) 방식으로 증착이 수행되는 것이다. 여기서, 도면에는 제1 기판(110)이 챔버(미도시) 내에서 Y축 방향으로 이동하면서 증착이 이루어지는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 제1 기판(110)은 고정되어 있고 증착유닛(600) 자체가 Y축 방향으로 이동하면서 증착을 수행할 수 있다.
따라서, 증착유닛(600)에서는 종래의 FMM에 비하여 훨씬 작게 패터닝 슬릿 시트(650)를 만들 수 있다. 즉, 증착유닛(600)의 경우, 제1 기판(110)이 Y축 방향을 따라 이동하면서 연속적으로, 즉 스캐닝(scanning) 방식으로 증착을 수행하기 때문에, 패터닝 슬릿 시트(650)의 X축 방향으로의 폭과 제1 기판(110)의 X축 방향으로의 폭만 실질적으로 동일하게 형성되면, 패터닝 슬릿 시트(650)의 Y축 방향의 길이는 제1 기판(110)의 길이보다 훨씬 작게 형성될 수 있다. 이와 같이, 종래의 FMM에 비하여 훨씬 작게 패터닝 슬릿 시트(650)를 만들 수 있기 때문에, 본 발명의 패터닝 슬릿 시트(650)는 그 제조가 용이하다. 즉, 패터닝 슬릿 시트(650)의 에칭 작업이나, 그 이후의 정밀 인장 및 용접 작업, 이동 및 세정 작업 등 모든 공정에서, 작은 크기의 패터닝 슬릿 시트(650)가 FMM 증착 방법에 비해 유리하다. 또한, 이는 표시 장치가 대형화될수록 더욱 유리하게 된다.
이와 같이, 증착유닛(600)와 제1 기판(110)이 서로 상대적으로 이동하면서 증착이 이루어지기 위해서는, 증착유닛(600)와 제1 기판(110)이 일정 정도 이격될 수 있다.
한편, 챔버 내에서 제1 기판(110)과 대향하는 측에는, 증착 물질(615)이 수납 및 가열되는 증착원(610)이 배치될 수 있다. 증착원(610) 내에 수납되어 있는 증착 물질(615)이 기화됨에 따라 제1 기판(110)에 증착이 이루어질 수 있다.
상세히, 증착원(610)은 그 내부에 증착 물질(615)이 채워지는 도가니(611)와, 도가니(611)를 가열시켜 도가니(611) 내부에 채워진 증착 물질(615)을 도가니(611)의 일 측, 상세하게는 증착원 노즐부(620) 측으로 증발시키기 위한 히터(612)를 구비할 수 있다.
증착원(610)의 일 측, 상세하게는 증착원(610)에서 제1 기판(110)을 향하는 측에는 증착원 노즐부(620)가 배치될 수 있다. 그리고, 증착원 노즐부(620)에는, X축 방향을 따라서 복수 개의 증착원 노즐(621)들이 형성될 수 있다. 여기서, 상기 복수 개의 증착원 노즐(621) 각각은 동일한 간격으로 형성될 수 있다. 증착원(610) 내에서 기화된 증착 물질(615)은 이와 같은 증착원 노즐부(620)를 통과하여 피 증착체인 제1 기판(110) 쪽으로 향하게 된다.
증착원(610)은 상기에서 측정된 반사율에 따라서 온도를 상이하게 형성하여 증착 물질(615)을 제1 기판(110)에 중간층(182)을 상이한 두께로 증착시킬 수 있다. 이때, 증착원(610)은 복수개 구비되는 것도 가능하고, 하나의 증착원(610)이 서로 구획되는 복수개의 도가니(611)와 각 도가니(611)에 설치되는 복수개의 히터(612)를 구비하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 증착원(610)에 복수개의 도가니(611)와 복수개의 히터(612)가 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 반사율과 온도 사이의 관계, 반사율과 중간층(182)의 관계는 실험 등을 통하여 테이블 형태로 저장되거나 프로그램 형태로 저장된 상태일 수 있다.
상기와 같은 증착원(610)은 반사율에 따라서 온도를 상이하게 형성함으로써 증발되는 증착 물질(615)의 양을 제어할 수 있다. 이때, 증착원(610)은 B영역에서는 증착 물질(615)을 A영역보다 많이 증발시키도록 A영역을 증착할 때의 제1 온도보다 높은 제2 온도를 유지할 수 있다. 반면, 증착원(610)은 C영역에서는 증착 물질(615)을 A영역보다 적게 증발시키도록 제1 온도보다 낮은 제3 온도를 유지할 수 있다.
상기와 같이 온도를 조절함으로써 증발되는 증착 물질(615)의 양을 제어할 수 있다. 따라서 증착원(610)은 각 영역에 대응되도록 중간층(182)의 두께를 조절하는 것이 가능하다.
한편, 증착원(610)과 제1 기판(110) 사이에는 패터닝 슬릿 시트(650) 및 패터닝 슬릿 시트 프레임(655)이 더 구비될 수 있다. 패터닝 슬릿 시트 프레임(655)은 대략 창문 틀과 같은 형태로 형성되며, 그 내측에 패터닝 슬릿 시트(650)가 결합될 수 있다. 그리고, 패터닝 슬릿 시트(650)에는 X축 방향을 따라서 복수 개의 패터닝 슬릿(651)이 형성될 수 있다.
증착원(610) 내에서 기화된 증착 물질(615)은 증착원 노즐부(620) 및 패터닝 슬릿 시트(650)를 통과하여 피 증착체인 제1 기판(110) 쪽으로 향할 수 있다. 이때, 상기 패터닝 슬릿 시트(650)는 종래의 파인 메탈 마스크(FMM) 특히 스트라이프 타입(stripe type)의 마스크의 제조 방법과 동일한 방법인 에칭을 통해 제작될 수 있다.
여기서, 증착유닛(600)는 증착원 노즐(621)의 총 개수보다 패터닝 슬릿(651)의 총 개수가 더 많게 형성될 수 있다.
한편, 상술한 증착원(610)(및 이와 결합된 증착원 노즐부(620))과 패터닝 슬릿 시트(650)는 서로 일정 정도 이격되도록 형성될 수 있으며, 증착원(610)(및 이와 결합된 증착원 노즐부(620))과 패터닝 슬릿 시트(650)는 연결부재(635)에 의하여 서로 연결될 수 있다. 즉, 증착원(610), 증착원 노즐부(620) 및 패터닝 슬릿 시트(650)가 연결부재(635)에 의해 연결되어 서로 일체로 형성될 수 있는 것이다. 여기서 연결부재(635)는 증착원 노즐(621)을 통해 배출되는 증착 물질이 분산되지 않도록 증착 물질의 이동 경로를 가이드 할 수 있다. 도면에는 연결부재(635)가 증착원(610), 증착원 노즐부(620) 및 패터닝 슬릿 시트(650)의 좌우 방향으로만 형성되어 증착 물질의 X축 방향만을 가이드 하는 것으로 도시되어 있으나, 이는 도시의 편의를 위한 것으로, 본 발명의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 연결부재(635)가 박스 형태의 밀폐형으로 형성되어 증착 물질의 X축 방향 및 Y축 방향 이동을 동시에 가이드 할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 증착유닛(600)은 제1 기판(110)에 대하여 상대적으로 이동하면서 증착을 수행하며, 이와 같이 증착유닛(600)가 제1 기판(110)에 대하여 상대적으로 이동하기 위해서 패터닝 슬릿 시트(650)는 제1 기판(110)으로부터 일정 정도 이격되도록 형성된다.
상세히, 종래의 FMM 증착 방법에서는 기판에 음영(shadow)이 생기지 않도록 하기 위하여 기판에 마스크를 밀착시켜서 증착 공정을 진행하였다. 그러나, 이와 같이 기판에 마스크를 밀착시킬 경우, 기판과 마스크 간의 접촉에 의한 불량 문제가 발생한다는 문제점이 존재하였다. 또한, 마스크를 기판에 대하여 이동시킬 수 없기 때문에, 마스크가 기판과 동일한 크기로 형성되어야 한다. 따라서, 표시 장치가 대형화됨에 따라 마스크의 크기도 커져야 하는데, 이와 같은 대형 마스크를 형성하는 것이 용이하지 아니하다는 문제점이 존재하였다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 관한 증착유닛(600)에서는 패터닝 슬릿 시트(650)가 피 증착체인 제1 기판(110)과 소정 간격을 두고 이격되도록 배치되도록 한다.
이와 같은 본 발명에 의해서 마스크를 기판보다 작게 형성한 후, 마스크를 기판에 대하여 이동시키면서 증착을 수행할 수 있게 됨으로써, 마스크 제작이 용이해지는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 기판과 마스크 간의 접촉에 의한 불량을 방지하는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 공정에서 기판과 마스크를 밀착시키는 시간이 불필요해지기 때문에, 제조 속도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
상기 증착 물질은 상기에서 설명한 다양한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 증착 물질은 유기 발광층(182d)을 형성하는 물질일 수 있다. 또한, 상기 증착 물질은 기능층(182c)을 형성하는 물질일 수 있다. 이외에도 상기 증착 물질은 각 중간층(182)을 형성하는 각 층 중 증착유닛(600)를 통하여 증착 가능한 모든 물질을 포함할 수 있다.
대향전극형성유닛(700)은 중간층(182) 상에 대향전극을 형성할 수 있다. 또한, 플라즈마에쳐유닛(800)은 제1 기판(110)의 테두리 영역의 유기물을 제거할 수 있다.
한편, 표시 장치의 제조장치(10)의 작동 방법을 살펴보면, 복수개의 화소 전극(181)과 화소정의막(190)이 형성된 제1 기판(110)을 세정유닛(200)으로 공급할 수 있다. 이때, 세정유닛(200)은 세정액을 분사하여 제1 기판(110)을 세정할 수 있다.
세정이 된 제1 기판(110)은 건조유닛(300)으로 이송하여 세정액을 건조시킬 수 있다. 또한, 건조유닛(300)에서는 반사율측정유닛(400)이 제1 기판(110)의 반사율을 측정할 수 있다. 이때, 제1 기판(110)의 반사율은 화소 전극(181), 화소정의막(190) 등의 굴곡에 따라서 다른 층이나 막의 두께 등에 따라서 각 영역에서 상이하게 형성될 수 있다. 이러한 경우 상기에서 설명한 바와 같이 색 산포 불균일이 발생할 수 있다.
증착유닛(600)은 상기와 같이 측정된 반사율을 근거로 중간층(182)의 두께를 상이하게 형성할 수 있다. 이때, 증착유닛(600)은 상기 공통층 및 기능층(182c) 중 적어도 하나의 두께를 조절하여 중간층(182)의 두께를 상이하게 형성할 수 있다.
구체적으로 증착유닛(600)은 제1 기판(110)의 중심 부분의 반사율(A영역)을 기준으로 제1 기판(110)의 다른 부분(B영역 또는 C영역)의 반사율을 비교하여 제1 기판(110)의 다른 부분(B영역 또는 C영역)의 두께를 제1 기판(110)의 중심 부분(A영역)의 두께와 상이하게 형성할 수 있다.
예를 들면, 제1 기판(110)의 중심 부분(A영역)의 반사율이 제1 기판(110)의 다른 부분(B영역 또는 C영역)의 반사율보다 작은 경우 제1 기판(110)의 다른 부분(B영역 또는 C영역)의 중간층(182) 두께는 제1 기판(110)의 중심 부분(A영역)의 중간층(182) 두께보다 크게 형성할 수 있다. 반면, 제1 기판(110)의 중심 부분(A영역)의 반사율이 제1 기판(110)의 다른 부분(B영역 또는 C영역)의 반사율보다 큰 경우 제1 기판(110)의 다른 부분(B영역 또는 C영역)의 중간층(182) 두께는 제1 기판(110)의 중심 부분(A영역)의 중간층(182) 두께보다 작게 형성할 수 있다. 이때, 증착유닛(600)은 증착원(610) 내부의 히터(612)의 작동을 제어함으로써 각 영역의 중간층(182) 두께를 상이하게 형성할 수 있다. 즉, 상기에서 설명한 바와 같이 증착원(610)은 각 영역의 반사율을 근거로 온도를 제어함으로써 증착 물질(615)의 증발 정도를 제어할 수 있다.
상기와 같이 중간층(182)이 형성된 후 중간층(182) 상에 대향 전극(183)을 형성할 수 있다. 또한, 플라즈마를 통하여 제1 기판(110)의 테두리 영역의 유기물을 제거할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(10) 및 표시 장치의 제조방법은 제1 기판(110)의 반사율에 따라서 중간층(182)의 두께를 동기화함으로써 제1 기판(110)의 일정 영역에서의 반사율 차이에 따른 색 산포 불균일을 최소화할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(10) 및 표시 장치의 제조방법은 제1 기판(110)의 반사율을 공정에서 측정하여 증착유닛(600)에 적용함으로써 제조 시간 및 제조 비용을 절감할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(10) 및 표시 장치의 제조방법은 색 균일도가 확보된 표시 장치(100)를 제조함으로써 표시 장치(100)의 불량률을 최소화할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 표시 장치의 제조장치
100: 표시 장치
110: 기판
120: 버퍼층
130: 활성층
140: 게이트 절연층
150: 대응되는 게이트 전극
160: 층간 절연층
170: 패시베이션막
180: 유기 발광 소자
181: 화소 전극
182: 중간층
183: 대향 전극
190: 화소정의막
200: 세정유닛
300: 건조유닛
400: 반사율측정유닛
500: 플라즈마처리유닛
600: 증착유닛
610: 증착원
611: 도가니
612: 히터
615: 증착 물질
620: 증착원 노즐부
621: 증착원 노즐
635: 연결부재
650: 패터닝 슬릿 시트
651: 패터닝 슬릿
655: 패터닝 슬릿 시트 프레임
700: 대향전극형성유닛
800: 플라즈마에쳐유닛

Claims (20)

  1. 복수의 화소 전극이 형성된 제1 기판;
    상기 화소 전극 상에 형성된 화소정의막; 및
    상기 각 화소 전극 상에 형성되는 중간층;을 포함하고,
    상기 제1 기판은 복수개의 영역으로 구분되고, 상기 제1 기판의 복수개의 영역 중 적어도 2 영역에서의 상기 중간층의 두께는 상이하게 형성되며,
    상기 중간층의 두께는 상기 제1 기판의 각 영역의 반사율에 따라 상이하게 형성되는 표시 장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 중간층은 공통층 및 기능층을 포함하고,
    상기 공통층의 두께 및 상기 기능층의 두께 중 적어도 하나는 상기 제1 기판의 각 영역에서 상이하게 형성된 표시 장치.
  4. 제1 기판을 세정하는 세정유닛;
    상기 세정유닛으로부터 공급되는 상기 제1 기판을 건조시키는 건조유닛;
    건조된 상기 제1 기판의 복수개의 영역으로 구분하여 각 영역의 반사율을 측정하는 반사율측정유닛; 및
    상기 반사율측정유닛에서 측정된 각 영역의 반사율을 근거로 화소 전극 상에 두께가 상이한 중간층을 형성하는 증착유닛;을 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 증착유닛에 연결되어 상기 제1 기판을 플라즈마 처리하는 플라즈마처리유닛;을 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 반사율측정유닛은 상기 건조유닛과 상기 플라즈마처리유닛 사이, 상기 건조유닛 및 상기 플라즈마처리유닛 중 적어도 하나에 설치되는 표시 장치의 제조장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 증착 유닛은,
    증착 물질을 방사하는 증착원;
    상기 증착원의 일 측에 배치되며, 복수 개의 증착원 노즐들이 형성되는 증착원 노즐부; 및
    상기 증착원과 대향되게 배치되고, 상기 증착 물질이 통과하는 복수 개의 패터닝 슬릿이 형성되는 패터닝 슬릿 시트;를 포함하고,
    상기 증착원은 상기 제1 기판의 반사율에 따라 온도를 상이하게 형성하여 상기 증착 물질을 상기 제1 기판에 상이한 두께로 증착시키는 표시 장치의 제조장치.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 증착 유닛은 상기 제1 기판의 중심부분의 중간층의 두께를 기준으로 상기 제1 기판의 중심부분과 상이한 반사율을 갖는 상기 제1 기판의 다른 부분의 중간층의 두께는 상기 제1 기판의 중심부분의 중간층의 두께와 상이한 두께로 증착하는 표시 장치의 제조장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 기판의 중심부분의 반사율이 상기 제1 기판의 다른 부분의 반사율보다 큰 경우 상기 제1 기판의 중심부분의 두께는 상기 제1 기판의 다른 부분의 두께보다 작게 형성되는 표시 장치의 제조장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 기판의 중심부분의 반사율이 상기 제1 기판의 다른 부분의 반사율보다 작은 경우 상기 제1 기판의 중심부분의 두께는 상기 제1 기판의 다른 부분의 두께보다 크게 형성되는 표시 장치의 제조장치.
  11. 제 4 항에 있어서,
    상기 중간층은 공통층 및 기능층을 포함하고,
    상기 제1 기판의 각 영역의 상기 공통층의 두께 및 상기 기능층의 두께 중 적어도 하나는 상기 반사율을 근거로 상이하게 형성되는 표시 장치의 제조장치.
  12. 복수개의 화소 전극과 화소정의막이 형성된 제1 기판을 복수개의 영역으로 구분하여 각 영역의 반사율을 측정하는 단계;
    상기 제1 기판이 증착유닛에 대하여 이격되도록 배치되는 단계; 및
    상기 증착유닛 또는 상기 제1 기판 중 하나는 상기 증착유닛 또는 상기 제1 기판 중 다른 하나에 대하여 상대적으로 이동하면서, 상기 반사율에 따라 상기 증착에서 방사되는 증착 물질을 상기 제1 기판의 각 영역 상에 서로 상이하게 증착하여 상기 제1 기판의 각 영역 상에서 중간층을 상이하게 형성하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 기판을 세정하는 단계; 및
    세정된 상기 제1 기판을 건조하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 기판을 플라즈마 처리하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  15. 제12 항에 있어서,
    상기 증착유닛은 상기 증착 물질을 방사하는 복수개의 증착원;을 포함하고,
    상기 반사율에 근거하여 상기 각 증착원의 온도는 가변하도록 제어되는 표시 장치의 제조방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 증착원의 온도는 상기 제1 기판의 중심 부분과 상기 제1 기판의 중심 부분과 상이한 반사율을 갖는 상기 제1 기판의 다른 부분에서 상이하게 제어되는 표시 장치의 제조방법.
  17. 제12 항에 있어서,
    상기 제1 기판의 중심부분의 중간층의 두께를 기준으로 상기 제1 기판의 중심부분과 상이한 반사율을 갖는 상기 제1 기판의 다른 부분의 중간층의 두께는 상기 제1 기판의 중심부분의 중간층의 두께와 상이한 두께로 형성되는 표시 장치의 제조방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 기판의 중심부분의 반사율이 상기 제1 기판의 다른 부분의 반사율보다 큰 경우 상기 제1 기판의 중심부분의 두께는 상기 제1 기판의 다른 부분의 두께보다 작게 형성되는 표시 장치의 제조방법.
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 기판의 중심부분의 반사율이 상기 제1 기판의 다른 부분의 반사율보다 작은 경우 상기 제1 기판의 중심부분의 두께는 상기 제1 기판의 다른 부분의 두께보다 크게 형성되는 표시 장치의 제조방법.
  20. 제12 항에 있어서,
    상기 중간층은 공통층 및 기능층을 포함하고,
    상기 제1 기판의 각 영역의 상기 공통층의 두께 및 상기 기능층의 두께 중 적어도 하나는 상기 반사율을 근거로 상이하게 형성되는 표시 장치의 제조방법.
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