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KR102175315B1 - Light emitting device, and lighting system - Google Patents

Light emitting device, and lighting system Download PDF

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KR102175315B1
KR102175315B1 KR1020140039343A KR20140039343A KR102175315B1 KR 102175315 B1 KR102175315 B1 KR 102175315B1 KR 1020140039343 A KR1020140039343 A KR 1020140039343A KR 20140039343 A KR20140039343 A KR 20140039343A KR 102175315 B1 KR102175315 B1 KR 102175315B1
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light emitting
emitting device
semiconductor layer
type semiconductor
conductivity type
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최영재
최재훈
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엘지이노텍 주식회사
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    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/20Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
    • H01L33/22Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
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Abstract

실시예는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템에 관한 것이다.
실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층물112); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 아래에 리세스 구조(R)를 포함하는 활성층(114); 상기 활성층(114) 아래에 제2 도전형 반도체층; 상기 제2 도전형 반도체층 아래에 탄소 구조물(120);을 포함할 수 있다.
The embodiment relates to a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and a lighting system.
The light emitting device according to the embodiment includes a first conductive type semiconductor layer material 112; An active layer 114 including a recess structure R under the first conductivity type semiconductor layer 112; A second conductivity type semiconductor layer under the active layer 114; It may include a carbon structure 120 under the second conductivity type semiconductor layer.

Description

발광소자 및 조명시스템{LIGHT EMITTING DEVICE, AND LIGHTING SYSTEM}Light emitting device and lighting system {LIGHT EMITTING DEVICE, AND LIGHTING SYSTEM}

실시예는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템에 관한 것이다.The embodiment relates to a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and a lighting system.

발광소자(Light Emitting Device)는 전기에너지가 빛에너지로 변환되는 특성의 p-n 접합 다이오드를 주기율표상에서 Ⅲ족과 Ⅴ족의 원소가 화합하여 생성될 수 있다. LED는 화합물 반도체의 조성비를 조절함으로써 다양한 색상구현이 가능하다. A light emitting device may be generated by combining a group III and a group V element on the periodic table with a p-n junction diode that converts electric energy into light energy. LED can realize various colors by controlling the composition ratio of the compound semiconductor.

발광소자는 순방향전압 인가 시 n층의 전자와 p층의 정공(hole)이 결합하여 전도대(Conduction band)와 가전대(Valance band)의 에너지 갭에 해당하는 만큼의 에너지를 발산하는데, 이 에너지는 주로 열이나 빛의 형태로 방출되며, 빛의 형태로 발산되면 발광소자가 되는 것이다.When a forward voltage is applied, the electrons in the n-layer and the holes in the p-layer are combined to emit energy equivalent to the energy gap between the conduction band and the balance band. It is mainly emitted in the form of heat or light, and when it is emitted in the form of light, it becomes a light emitting device.

예를 들어, 질화물 반도체는 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드갭 에너지에 의해 광소자 및 고출력 전자소자 개발 분야에서 큰 관심을 받고 있다. 특히, 질화물 반도체를 이용한 청색(Blue) 발광소자, 녹색(Green) 발광소자, 자외선(UV) 발광소자 등은 상용화되어 널리 사용되고 있다.For example, nitride semiconductors are attracting great interest in the development of optical devices and high-power electronic devices due to their high thermal stability and wide band gap energy. In particular, a blue light-emitting device, a green light-emitting device, and an ultraviolet (UV) light-emitting device using a nitride semiconductor are commercialized and widely used.

발광소자는 전극의 위치에 따라 수평형 타입(Lateral Type)과 수직형 타입(Vertical type)으로 구분할 수 있다.The light emitting device can be classified into a horizontal type and a vertical type according to the position of the electrode.

종래기술에 의하면, 발광소자 제조 과정에서 격자 불일치에 의해 전위(dislocation)이 발생하고, 이러한 전위가 확장되어 활성층의 결정품질을 저하시켜 발광효율을 저하시키는 문제가 있다.According to the prior art, there is a problem in that dislocations are generated due to lattice mismatch in the manufacturing process of a light emitting device, and such dislocations are expanded to lower the crystal quality of the active layer, thereby reducing luminous efficiency.

또한 종래기술의 수직형 발광소자에서, 성장기판을 제거한 후 광추출 효율을 향상시키기 위해 반사층을 형성하나, 좀 더 개선된 광추출 효율이 필요한 상황이다.In addition, in the vertical light emitting device of the prior art, after removing the growth substrate, a reflective layer is formed to improve light extraction efficiency, but more improved light extraction efficiency is required.

또한 종래기술에 의하면, p형 반도체층의 광흡수율이 상대적으로 높아 광추출 효율을 저하시키는 문제가 있다.In addition, according to the prior art, there is a problem in that the light absorption efficiency of the p-type semiconductor layer is relatively high, reducing the light extraction efficiency.

실시예는 발광효율을 개선할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공하고자 한다.The embodiment is to provide a light emitting device capable of improving luminous efficiency, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package and a lighting system.

또한 실시예는 광추출 효율을 개선할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공하고자 한다.In addition, the embodiment is to provide a light emitting device capable of improving light extraction efficiency, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and a lighting system.

실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층(112); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 아래에 리세스 구조(R)를 포함하는 활성층(114); 상기 활성층(114) 아래에 제2 도전형 반도체층(116); 상기 제2 도전형 반도체층(116) 아래에 탄소 구조물(120);을 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes a first conductivity type semiconductor layer 112; An active layer 114 including a recess structure R under the first conductivity type semiconductor layer 112; A second conductivity type semiconductor layer 116 under the active layer 114; It may include a carbon structure 120 under the second conductivity type semiconductor layer 116.

상기 리세스 구조(R)와 상하간에 오버랩되는 상기 제2 도전형 반도체층(116)의 일부 또는 전부가 제거될 수 있다.Part or all of the second conductivity-type semiconductor layer 116 overlapping the recess structure R and the upper and lower portions may be removed.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 상기 활성층의 리세스 구조와 수직으로 중첩되지 않을 수 있다.The second conductivity type semiconductor layer 116 may not vertically overlap the recess structure of the active layer.

실시예에 따른 조명시스템은 상기 발광소자를 구비하는 조명모듈을 포함할 수 있다.The lighting system according to the embodiment may include a lighting module including the light emitting device.

실시예는 결정품질을 향상시켜 발광효율을 개선할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.The embodiment can provide a light emitting device capable of improving luminous efficiency by improving crystal quality, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and a lighting system.

또한 실시예는 광추출 효율을 개선할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.In addition, the embodiment may provide a light emitting device capable of improving light extraction efficiency, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and a lighting system.

도 1은 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 2 내지 도 7은 실시예에 따른 발광소자의 제조방법 단면도.
도 8은 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면도.
도 9는 실시예에 따른 조명 장치의 사시도.
1 is a cross-sectional view of a light emitting device according to an embodiment.
2 to 7 are cross-sectional views of a method of manufacturing a light emitting device according to the embodiment.
8 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to an embodiment.
9 is a perspective view of a lighting device according to the embodiment.

실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on/over)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on/over)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiment, each layer (film), region, pattern, or structure is "on/over" or "under" of the substrate, each layer (film), region, pad, or patterns. In the case of being described as being formed in, "on/over" and "under" include both "directly" or "indirectly" formed do. In addition, standards for the top/top or bottom of each layer will be described based on the drawings.

(실시예)(Example)

도 1은 실시예에 따른 발광소자의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a light emitting device according to an embodiment.

실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층(112)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112) 아래에 리세스 구조(R)를 포함하는 활성층(114)과, 상기 활성층(114) 아래에 제2 도전형 반도체층(116)과, 상기 제2 도전형 반도체층(116) 아래에 탄소 구조물(120)을 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes a first conductive type semiconductor layer 112, an active layer 114 including a recess structure R under the first conductive type semiconductor layer 112, and the active layer 114 A second conductivity type semiconductor layer 116 may be included below, and a carbon structure 120 may be included below the second conductivity type semiconductor layer 116.

도 5a 내지 도 5b는 실시예에 따른 발광소자의 제1 실시예 내지 제3 실시예의 부분 확대도이다. 한편, 도 1은 제3 실시예를 기준으로 도시된 것이나 실시예가 도 1에 한정되는 것은 아니다. 이하, 도 5a 내지 도 5c를 기준으로 발명의 특징을 설명하기로 한다.5A to 5B are partially enlarged views of the first to third exemplary embodiments of the light emitting device according to the exemplary embodiment. Meanwhile, FIG. 1 is illustrated based on the third embodiment, but the embodiment is not limited to FIG. 1. Hereinafter, features of the invention will be described with reference to FIGS. 5A to 5C.

도 5a는 제1 실시예에 따른 발광소자의 부분 확대도(101)이며, 제1 실시예에 의하면 상기 리세스 구조(R)와 상하간에 오버랩되는 제2 도전형 반도체층(116)의 일부 또는 전부가 제거될 수 있다.5A is a partially enlarged view 101 of the light emitting device according to the first embodiment, and according to the first embodiment, a part of the second conductivity type semiconductor layer 116 overlapping the recess structure R between the top and bottom or All can be removed.

실시예에 의하면, 발광된 빛의 광흡수률이 높은 p형 반도체층을 일부 또는 전부 제거함으로써 광추출 효율을 향상시킬 수 있다.According to the embodiment, the light extraction efficiency may be improved by partially or entirely removing the p-type semiconductor layer having a high light absorption rate of emitted light.

이때, 실시예에 의하면, 발광소자 제조과정에서 발생하는 전위(D)가 확장되는 영역인 리세스 구조(R)에서는 결정품질의 저하로 발광효율이 낮게 되는데, 실시예는 발광효율이 낮은 영역인 리세스 구조(R)와 상하간에 오버랩되는 제2 도전형 반도체층(116)의 일부 또는 전부가 제거됨으로써 광흡수를 최소화함과 아울러 발광효율에도 영향을 최소화할 수 있다.At this time, according to the embodiment, in the recessed structure R, which is a region in which the potential D generated in the manufacturing process of the light emitting device is expanded, the luminous efficiency is lowered due to a decrease in crystal quality. Part or all of the second conductivity-type semiconductor layer 116 overlapping the recess structure R and the upper and lower portions is removed, thereby minimizing light absorption and minimizing an effect on luminous efficiency.

또한 실시예에 의하면, 상기 제2 도전형 반도체층(116) 상에 탄소 구조물(120)을 포함할 수 있다. In addition, according to an embodiment, a carbon structure 120 may be included on the second conductivity type semiconductor layer 116.

상기 탄소 구조물(120)은 그래핀(graphene)(122)을 포함할 수 있다. 또한 실시예에 상기 그래핀(122)은 그래핀 퀀텀닷(graphene quantum dot)을 포함할 수 있다. The carbon structure 120 may include graphene 122. In addition, in an embodiment, the graphene 122 may include a graphene quantum dot.

실시예에서 그래핀 퀀텀닷은 전기방사 등을 통해 그래핀의 직경이나 배향도를 제어하고, 그래핀에 발광물질(퀀텀닷)이 포함된 것으로, 발광물질의 직접도를 높이고 효율을 증대시킬 수 있다.In an embodiment, the graphene quantum dot controls the diameter or orientation of graphene through electrospinning, etc., and includes a luminescent material (quantum dot) in graphene, and can increase the directness of the luminescent material and increase the efficiency. .

상기 탄소 구조물(120)과 상기 활성층(114)의 리세스 구조(R)는 상하간에 오버랩되지 않도록 배치할 수 있다. 예를 들어, 상기 탄소 구조물(120)과 상기 활성층(114)의 리세스 구조(R)는 수직으로 중첩되지 않도록 배치할 수 있다.The carbon structure 120 and the recess structure R of the active layer 114 may be disposed so as not to overlap between the top and bottom. For example, the carbon structure 120 and the recess structure R of the active layer 114 may be disposed so as not to vertically overlap.

실시예에 의하면 상기 제2 도전형 반도체층(116) 상에 탄소 구조물(120)을 포함하여 전기전도성을 향상시켜 전류주입효율을 향상시킬 수 있다. According to the embodiment, the carbon structure 120 is included on the second conductivity type semiconductor layer 116 to improve electrical conductivity, thereby improving current injection efficiency.

실시예에 의하면, 상기 탄소 구조물(120) 상에 제1 나노 구조물(130)을 포함하여 발광된 빛을 산란시켜 광추출 효율을 향상시킬 수 있다.According to an embodiment, light extraction efficiency may be improved by scattering light emitted by including the first nanostructure 130 on the carbon structure 120.

상기 제1 나노 구조물(130)은 볼 형상, 바 형상 등을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The first nanostructure 130 may have a ball shape or a bar shape, but is not limited thereto.

상기 제1 나노 구조물(130)은 절연성 물질 또는 도전성 물질일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 상기 제1 나노 구조물(130)은 SiO2, Al2O3, TiO2, ZrO2, YO3ZrO2, CuO, Cu2O, Ta2O5, PZT(Pb(Zr, Ti)O3), Nb2O5, FeSO4, Fe3O4, Fe2O3, Na2SO4, GeO2 및 CdS로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 제1 나노 구조물(130)의 직경은 발광 소자의 종류나 사이즈에 따라 수 nm 내지 수백 nm로 다양하게 선택될 수 있다.The first nanostructure 130 may be an insulating material or a conductive material, but is not limited thereto. For example, the first nanostructure 130 is SiO 2 , Al 2 O 3 , TiO 2 , ZrO 2 , YO 3 ZrO 2 , CuO, Cu 2 O, Ta 2 O 5 , PZT(Pb(Zr, Ti)O 3 ), Nb 2 O 5 , FeSO 4 , Fe 3 O 4 , Fe 2 O 3 , Na 2 SO 4 , GeO 2 And may include at least one selected from the group consisting of CdS, but is not limited thereto. The diameter of the first nanostructure 130 may be variously selected from several nm to several hundreds nm according to the type or size of the light emitting device.

실시예에서 제1 나노 구조물(130)은 드롭(drop), 딥핑(dipping), 스핀 코팅(spin coating)과 같은 방법을 이용하여 제2 도전형 반도체층(116) 상에 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제1 나노 구조물(130)은 상기 제2 도전형 반도체층(116)의 상면, 탄소 구조물(120)의 상면 등에 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.In the embodiment, the first nanostructure 130 may be formed on the second conductivity type semiconductor layer 116 by using a method such as drop, dipping, or spin coating. Accordingly, the first nanostructure 130 may be formed on the top surface of the second conductivity type semiconductor layer 116, the top surface of the carbon structure 120, and the like, but is not limited thereto.

도 5b는 제2 실시예에 따른 발광소자의 부분 확대 단면도(102)이다.5B is a partially enlarged cross-sectional view 102 of a light emitting device according to the second embodiment.

제2 실시예에 의하면, 상기 탄소 구조물(120)은 탄소나노 튜브(124)를 더 포함할 수 있고, 상기 탄소나노 튜브(124)는 그래핀(122) 또는 그래핀 퀀텀닷을 상호간에 연결할 수 있다.According to the second embodiment, the carbon structure 120 may further include a carbon nanotube 124, and the carbon nanotube 124 may connect graphene 122 or graphene quantum dots to each other. have.

이에 따라 전기 전도성이 현저히 향상되어 발광효율이 증대될 수 있다.Accordingly, electrical conductivity can be remarkably improved, and luminous efficiency can be increased.

도 5c는 제3 실시예에 따른 발광소자의 부분 확대 단면도(103)이다.5C is a partially enlarged cross-sectional view 103 of a light emitting device according to the third embodiment.

실시예는 상기 리세스 구조(R) 상에 제2 나노 구조물(132)을 더 포함할 수 있다.The embodiment may further include a second nanostructure 132 on the recess structure R.

상기 제2 나노 구조물(132)은 상기 제1 나노 구조물(130)과 같은 형상 또는 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 나노 구조물(132)은 볼 형상, 바 형상 등을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The second nanostructure 132 may be formed of the same shape or material as the first nanostructure 130. For example, the second nanostructure 132 may have a ball shape, a bar shape, or the like, but is not limited thereto.

또한 상기 제2 나노 구조물(132)은 절연성 물질 또는 도전성 물질일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 상기 제2 나노 구조물(132)은 SiO2, Al2O3, TiO2, ZrO2, YO3ZrO2, CuO, Cu2O, Ta2O5, PZT(Pb(Zr, Ti)O3), Nb2O5, FeSO4, Fe3O4, Fe2O3, Na2SO4, GeO2 및 CdS로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.In addition, the second nanostructure 132 may be an insulating material or a conductive material, but is not limited thereto. For example, the second nanostructure 132 is SiO 2 , Al 2 O 3 , TiO 2 , ZrO 2 , YO 3 ZrO 2 , CuO, Cu 2 O, Ta 2 O 5 , PZT(Pb(Zr, Ti)O 3 ), Nb 2 O 5 , FeSO 4 , Fe 3 O 4 , Fe 2 O 3 , Na 2 SO 4 , GeO 2 And may include at least one selected from the group consisting of CdS, but is not limited thereto.

실시예에서 제1 나노 구조물(130) 또는 제2 나노 구조물(132)은 상기 제2 도전형 반도체층(116), 활성층(114) 또는 탄소 구조물(120) 등과 서로 상이한 굴절률을 가지게 되므로, 상기 활성층(114)에서 생성된 광이 제1 나노 구조물(130) 또는 제2 나노 구조물(132)이나 공기에 의해 굴절되어 광이 산란되거나 반사될 수 있다. In the embodiment, since the first nanostructure 130 or the second nanostructure 132 has a refractive index different from each other, the second conductivity type semiconductor layer 116, the active layer 114, or the carbon structure 120, the active layer The light generated at 114 may be refracted by the first nanostructure 130 or the second nanostructure 132 or air, so that the light may be scattered or reflected.

실시예는 결정품질을 향상시켜 발광효율을 개선할 수 있는 발광소자를 제공할 수 있다.The embodiment may provide a light emitting device capable of improving luminous efficiency by improving crystal quality.

또한 실시예는 광추출 효율을 개선할 수 있는 발광소자 및 발광소자의 제조방법을 제공할 수 있다.In addition, the embodiment may provide a light emitting device capable of improving light extraction efficiency and a method of manufacturing the light emitting device.

도 1에서 설명하지 않은 도면번호나 구성들은 이하 제조방법에서 설명하기로 한다.Reference numbers or configurations not described in FIG. 1 will be described in the manufacturing method below.

이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여 실시예에 따른 발광소자의 제조방법을 설명하면서, 이건발명의 기술적 특징을 기술하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment will be described with reference to FIGS. 3 to 7, and the technical features of this invention will be described.

우선, 도 2와 같이 기판(105) 상에 버퍼층(107), 언도프트 반도체층(109)을 형성할 수 있다.First, as shown in FIG. 2, a buffer layer 107 and an undoped semiconductor layer 109 may be formed on the substrate 105.

상기 기판(105)은 절연성 기판 또는 도전성 기판으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 기판(105)은 사파이어 기판(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge 중 적어도 하나로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The substrate 105 may be formed of an insulating substrate or a conductive substrate. For example, the substrate 105 may be formed of at least one of a sapphire substrate (Al 2 O 3 ), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, and Ge, but is not limited thereto.

상기 기판(105) 위에는 버퍼층(107)이 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(107)은 상기 발광구조물(110)의 재료와 기판(105)의 격자 부정합을 완화시켜 줄 수 있으며, 버퍼층(107)의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.A buffer layer 107 may be formed on the substrate 105. The buffer layer 107 can alleviate lattice mismatch between the material of the light emitting structure 110 and the substrate 105, and the material of the buffer layer 107 is a group 3-5 compound semiconductor such as GaN, InN, AlN , InGaN, AlGaN, InAlGaN, may be formed of at least one of AlInN.

예를 들어, 상기 버퍼층(107)은 AlxGa(1-x)N(0≤x≤1)/GaN 초격자층일 수 있고, AlxGa(1-x)N(0≤x≤1)/GaN 초격자층은 발광구조물의 재료와 기판(105)의 격자 부정합에 따른 전위(dislocations)(D)를 더욱 효과적으로 차단시켜줄 수 있다.For example, the buffer layer 107 may be an Al x Ga (1-x) N (0≤x≤1)/GaN superlattice layer, and Al x Ga (1-x) N (0≤x≤1) The /GaN superlattice layer may more effectively block dislocations (D) due to lattice mismatch between the material of the light emitting structure and the substrate 105.

언도프드(undoped) 반도체층(109)은 상기 버퍼층(107) 위에 형성될 수 있으며, 언도프드 반도체층(109)은 이후 형성되는 발광구조물(110)과 같은 재질로 형성되어 기판(105)과 발광구조물(110)의 격자불일치의 해소와 아울러, 발광구조물(110)의 결정 품질을 향상시켜 발광효율을 향상시킬 수 있다.An undoped semiconductor layer 109 may be formed on the buffer layer 107, and the undoped semiconductor layer 109 is formed of the same material as the light emitting structure 110 to be formed later to emit light with the substrate 105 In addition to solving the lattice mismatch of the structure 110, it is possible to improve the luminous efficiency by improving the crystal quality of the light emitting structure 110.

다음으로, 상기 기판(105) 상에 제1 도전형 반도체층(112), 활성층(114) 및 제2 도전형 반도체층(116)을 포함하는 발광구조물(110)이 형성될 수 있다.Next, a light emitting structure 110 including a first conductivity type semiconductor layer 112, an active layer 114, and a second conductivity type semiconductor layer 116 may be formed on the substrate 105.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 n형 반도체층인 경우, 상기 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductivity type semiconductor layer 112 may be formed of a semiconductor compound. It may be implemented with a compound semiconductor such as Group 3-5 and Group 2-6, and may be doped with a first conductivity type dopant. When the first conductivity-type semiconductor layer 112 is an n-type semiconductor layer, the first conductivity-type dopant is an n-type dopant and may include Si, Ge, Sn, Se, and Te, but is not limited thereto.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first conductivity type semiconductor layer 112 is made of a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1). Can include. For example, the first conductivity type semiconductor layer 112 is formed of one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP Can be.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 n형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The first conductivity-type semiconductor layer 112 may form an n-type GaN layer using a method such as chemical vapor deposition (CVD), molecular beam epitaxy (MBE), sputtering, or hydroxide vapor phase epitaxy (HVPE). . In addition, the first conductivity-type semiconductor layer 112 is a silane containing n-type impurities such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and silicon (Si) in the chamber. It may be formed by injecting gas (SiH 4 ).

실시예에 의하면, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 상면으로부터 오목한 단수 혹은 복수의 리세스 구조(R)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 리세스 구조(R)는 측 단면이 V형상으로 형성되며, 평면 형상이 육각 형상으로 형성될 수 있으며, 예컨대 육각 뿔 기둥 형상으로 형성될 수 있다. According to an embodiment, the first conductivity type semiconductor layer 112 may include a single or a plurality of recess structures R concave from an upper surface. For example, the recessed structure R may have a V-shaped side cross section and a hexagonal planar shape, for example, may be formed in a hexagonal cone shape.

상기 각 리세스 구조(R)는 상기 제1 도전형 반도체층(112)의 두께가 증가함에 따라 더 커질 수 있고, 그 경사 면은 35°도 내지 60°의 범위를 가질 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 각 리세스 구조(R)에는 전파되는 하나 또는 복수의 전위(D)들이 연결될 수 있다.Each of the recess structures R may increase as the thickness of the first conductivity type semiconductor layer 112 increases, and the inclined surface may have a range of 35° to 60°, but is limited thereto. no. One or a plurality of propagating potentials D may be connected to each of the recess structures R.

예를 들어, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 500℃ 내지 1000℃ 범위에서 성장할 경우, V 형상을 갖는 리세스 구조(R)를 구비할 수 있다. 다른 예로서, 상기 제1 도전형 반도체층(112)을 소정의 두께로 형성한 다음 마스크 패턴을 이용하여 성장할 경우 리세스 구조(R)가 형성될 수 있다. For example, when the first conductivity type semiconductor layer 112 is grown in the range of 500°C to 1000°C, a recess structure R having a V shape may be provided. As another example, when the first conductive semiconductor layer 112 is formed to have a predetermined thickness and then grown using a mask pattern, a recess structure R may be formed.

다음으로, 도 3과 같이 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에 활성층(114)이 형성될 수 있고, 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 반도체층(116)이 형성될 수 있다.Next, as shown in FIG. 3, an active layer 114 may be formed on the first conductivity type semiconductor layer 112, and a second conductivity type semiconductor layer 116 may be formed on the active layer 114. .

도 4는 도 3의 A 영역에 대한 확대도이다.4 is an enlarged view of area A of FIG. 3.

상기 활성층(114)은 상기 제1 도전형 반도체층(112)에 형성된 리세스 구조(R)에 대응된 리세스 구조를 구비할 수 있다.The active layer 114 may have a recess structure corresponding to the recess structure R formed in the first conductivity type semiconductor layer 112.

상기 활성층(114)은 제1 도전형 반도체층(112)을 통해서 주입되는 전자와 이후 형성되는 제2 도전형 반도체층(116)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(발광층) 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다.In the active layer 114, electrons injected through the first conductivity-type semiconductor layer 112 and holes injected through the second conductivity-type semiconductor layer 116 formed thereafter meet each other to form an energy band specific to the active layer (light emitting layer) material. It is a layer that emits light with energy determined by.

상기 활성층(114)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(114)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 114 may be formed of at least one of a single quantum well structure, a multi quantum well structure (MQW), a quantum-wire structure, or a quantum dot structure. For example, in the active layer 114, trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) may be injected to form a multiple quantum well structure. It is not limited thereto.

상기 활성층(114)의 우물층(114W)/장벽층(114B)은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층(114W)은 상기 장벽층(114B)의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer 114W/barrier layer 114B of the active layer 114 is any one of InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP It may be formed in the above pair structure, but is not limited thereto. The well layer 114W may be formed of a material having a band gap lower than that of the barrier layer 114B.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다.The second conductivity type semiconductor layer 116 may be formed of a semiconductor compound. It may be implemented as a compound semiconductor such as Group 3-5 and Group 2-6, and may be doped with a second conductivity type dopant.

예를 들어, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(116)이 p형 반도체층인 경우, 상기 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.For example, the second conductivity type semiconductor layer 116 has a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) It may include a semiconductor material having. When the second conductivity-type semiconductor layer 116 is a p-type semiconductor layer, the second conductivity-type dopant is a p-type dopant, and may include Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, and the like.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 마그네슘(Mg)과 같은 p 형 불순물을 포함하는 비세틸 사이클로 펜타디에닐 마그네슘(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}가 주입되어 p형 GaN층이 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second conductivity type semiconductor layer 116 is a vicetyl cyclo containing p-type impurities such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and magnesium (Mg) in the chamber. Pentadienyl magnesium (EtCp 2 Mg) {Mg(C 2 H 5 C 5 H 4 ) 2 } may be implanted to form a p-type GaN layer, but is not limited thereto.

실시예에서 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 n형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 p형 반도체층으로 구현할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 또한 상기 제2 도전형 반도체층(116) 위에는 상기 제2 도전형과 반대의 극성을 갖는 반도체 예컨대 n형 반도체층(미도시)을 형성할 수 있다. 이에 따라 발광구조물(110)은 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.In an embodiment, the first conductivity-type semiconductor layer 112 may be implemented as an n-type semiconductor layer, and the second conductivity-type semiconductor layer 116 may be implemented as a p-type semiconductor layer, but is not limited thereto. In addition, a semiconductor, for example, an n-type semiconductor layer (not shown) having a polarity opposite to that of the second conductivity type may be formed on the second conductivity type semiconductor layer 116. Accordingly, the light emitting structure 110 may be implemented in any one of an n-p junction structure, a p-n junction structure, an n-p-n junction structure, and a p-n-p junction structure.

도 5a 내지 도 5c를 참조하여 제1 실시예 내지 제3 실시예에 따른 발광소자의 특징을 기술한다.Features of the light emitting device according to the first to third embodiments will be described with reference to FIGS. 5A to 5C.

도 5a 내지 도 5b는 실시예에 따른 발광소자의 제1 실시예 내지 제3 실시예의 부분 확대도이다.5A to 5B are partially enlarged views of the first to third exemplary embodiments of the light emitting device according to the exemplary embodiment.

도 5a는 제1 실시예에 따른 발광소자의 부분 확대도(101)이다.5A is a partially enlarged view 101 of a light emitting device according to the first embodiment.

우선, 제1 실시예에 의하면 상기 리세스 구조(R)와 상하간에 오버랩되는 제2 도전형 반도체층(116)의 일부 또는 전부가 제거될 수 있다. First, according to the first embodiment, a part or all of the second conductivity type semiconductor layer 116 overlapping the recess structure R and the top and bottom may be removed.

실시예에 의하면, 도 4와 같이 제2 도전형 반도체층(116)을 리세스 구조(R) 상에도 형성한 후 제거할 수 있으나, 리프트 오프 방식을 채용할 수도 있다.According to the embodiment, as shown in FIG. 4, the second conductivity-type semiconductor layer 116 may be formed on the recess structure R and then removed, but a lift-off method may be employed.

예를 들어, 상기 리세스 구조(R) 상에 소정의 마스크 패턴(미도시)을 형성한 후 제2 도전형 반도체층(116)을 형성하고, 마스크 패턴을 제거함으로써 리세스 구조 상에 제2 도전형 반도체층이 배치되지 않도록 할 수 있다.For example, after forming a predetermined mask pattern (not shown) on the recess structure R, a second conductivity type semiconductor layer 116 is formed, and the second conductivity type semiconductor layer 116 is removed. It is possible to prevent the conductive semiconductor layer from being disposed.

실시예에 의하면, 발광된 빛의 광흡수률이 높은 p형 반도체층을 일부 또는 전부 제거함으로써 광추출 효율을 향상시킬 수 있다.According to the embodiment, the light extraction efficiency may be improved by partially or entirely removing the p-type semiconductor layer having a high light absorption rate of emitted light.

이때, 실시예에 의하면, 발광소자 제조과정에서 발생하는 전위(D)가 확장되는 영역인 리세스 구조(R)에서는 결정품질의 저하로 발광효율이 낮게 되는데, 실시예는 발광효율이 낮은 영역인 리세스 구조(R)와 상하간에 오버랩되는 제2 도전형 반도체층(116)의 일부 또는 전부가 제거함으로써 광흡수를 최소화함과 아울러 발광효율에도 영향을 최소화할 수 있다.At this time, according to the embodiment, in the recessed structure R, which is a region in which the potential D generated in the manufacturing process of the light emitting device is expanded, the luminous efficiency is lowered due to a decrease in crystal quality. Part or all of the second conductivity type semiconductor layer 116 overlapping the recess structure R and the upper and lower portions is removed, thereby minimizing light absorption and minimizing the effect on luminous efficiency.

다음으로, 실시예에 의하면, 상기 제2 도전형 반도체층(116) 상에 탄소 구조물(120)이 형성될 수 있다. Next, according to an embodiment, the carbon structure 120 may be formed on the second conductivity type semiconductor layer 116.

상기 탄소 구조물(120)은 그래핀(graphene)(122)을 포함할 수 있다. 또한 실시예에 상기 그래핀(122)은 그래핀 퀀텀닷(graphene quantum dot)을 포함할 수 있다. The carbon structure 120 may include graphene 122. In addition, in an embodiment, the graphene 122 may include a graphene quantum dot.

실시예에서 그래핀 퀀텀닷은 전기방사 등을 통해 그래핀의 직경이나 배향도를 제어하고, 그래핀에 발광물질(퀀텀닷)이 포함된 것으로, 발광물질의 직접도를 높이고 효율을 증대시킬 수 있다.In an embodiment, the graphene quantum dot controls the diameter or orientation of graphene through electrospinning, etc., and includes a luminescent material (quantum dot) in graphene, and can increase the directness of the luminescent material and increase the efficiency. .

상기 탄소 구조물(120)과 상기 활성층(114)의 리세스 구조(R)는 상하간에 오버랩되지 않도록 배치할 수 있다.The carbon structure 120 and the recess structure R of the active layer 114 may be disposed so as not to overlap between the top and bottom.

예를 들어 리세스 구조(R) 상에 소정의 제2 마스크 패턴(미도시)을 형성한 후, 탄소 구조물(120) 형성공정을 진행후 제2 마스크 패턴을 제거함으로써 탄소 구조물(120)과 상기 활성층(114)의 리세스 구조(R)는 수직으로 중첩되지 않도록 배치할 수 있다.For example, after forming a predetermined second mask pattern (not shown) on the recess structure R, the carbon structure 120 and the carbon structure 120 and the carbon structure 120 are removed by removing the second mask pattern after the process of forming the carbon structure 120 is performed. The recess structure R of the active layer 114 may be disposed so as not to vertically overlap.

실시예에 의하면 상기 제2 도전형 반도체층(116) 상에 탄소 구조물(120)을 포함하여 전기전도성을 향상시켜 전류주입효율을 향상시킬 수 있다. According to the embodiment, the carbon structure 120 is included on the second conductivity type semiconductor layer 116 to improve electrical conductivity, thereby improving current injection efficiency.

또한 실시예에 의하면, 상기 탄소 구조물(120) 상에 제1 나노 구조물(130)을 포함하여 발광된 빛을 산란시켜 광추출 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, according to an exemplary embodiment, light extraction efficiency may be improved by scattering light emitted by including the first nanostructure 130 on the carbon structure 120.

실시예에서 가공된 나노 구조물은 드롭(drop), 딥핑(dipping), 스핀 코팅(spin coating)과 같은 방법을 이용하여 제2 도전형 반도체층(116) 상에 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제1 나노 구조물(130)은 상기 제2 도전형 반도체층(116)의 상면, 탄소 구조물(120)의 상면 등에 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.In the embodiment, the processed nanostructure may be formed on the second conductivity type semiconductor layer 116 using a method such as drop, dipping, or spin coating. Accordingly, the first nanostructure 130 may be formed on the top surface of the second conductivity type semiconductor layer 116, the top surface of the carbon structure 120, and the like, but is not limited thereto.

상기 제1 나노 구조물(130)은 볼 형상, 바 형상 등을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The first nanostructure 130 may have a ball shape or a bar shape, but is not limited thereto.

상기 제1 나노 구조물(130)은 절연성 물질 또는 도전성 물질일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 상기 제1 나노 구조물(130)은 SiO2, Al2O3, TiO2, ZrO2, YO3ZrO2, CuO, Cu2O, Ta2O5, PZT(Pb(Zr, Ti)O3), Nb2O5, FeSO4, Fe3O4, Fe2O3, Na2SO4, GeO2 및 CdS로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 상기 제1 나노 구조물(130)의 직경은 발광 소자의 종류나 사이즈에 따라 수 nm 내지 수백 nm로 다양하게 선택될 수 있다.The first nanostructure 130 may be an insulating material or a conductive material, but is not limited thereto. For example, the first nanostructure 130 is SiO 2 , Al 2 O 3 , TiO 2 , ZrO 2 , YO 3 ZrO 2 , CuO, Cu 2 O, Ta 2 O 5 , PZT(Pb(Zr, Ti)O 3 ), Nb 2 O 5 , FeSO 4 , Fe 3 O 4 , Fe 2 O 3 , Na 2 SO 4 , GeO 2 And may include at least one selected from the group consisting of CdS, but is not limited thereto. The diameter of the first nanostructure 130 may be variously selected from several nm to several hundreds nm according to the type or size of the light emitting device.

실시예에서 제1 나노 구조물(130)은 상기 제2 도전형 반도체층(116), 활성층(114) 또는 탄소 구조물(120) 등과 서로 상이한 굴절률을 가지게 되므로, 상기 활성층(114)에서 생성된 광이 제1 나노 구조물(130)이나 공기에 의해 굴절되어 광이 산란되거나 반사될 수 있다. In the embodiment, since the first nanostructure 130 has a refractive index different from each other, the second conductivity type semiconductor layer 116, the active layer 114, or the carbon structure 120, the light generated by the active layer 114 is The light may be scattered or reflected by being refracted by the first nanostructure 130 or air.

다음으로, 도 5b는 제2 실시예에 따른 발광소자의 부분 확대 단면도(102)이다.Next, FIG. 5B is a partially enlarged cross-sectional view 102 of a light emitting device according to the second embodiment.

제2 실시예에 의하면, 상기 탄소 구조물(120) 구성으로 탄소나노 튜브(124)가 더 형성될 수 있고, 상기 탄소나노 튜브(124)는 그래핀(122) 또는 그래핀 퀀텀닷을 상호간에 연결할 수 있다.According to the second embodiment, the carbon nanotube 124 may be further formed in the configuration of the carbon structure 120, and the carbon nanotube 124 connects the graphene 122 or the graphene quantum dots to each other. I can.

이에 따라 전기 전도성이 현저히 향상되어 발광효율이 증대될 수 있다.Accordingly, electrical conductivity can be remarkably improved, and luminous efficiency can be increased.

다음으로, 도 5c는 제3 실시예에 따른 발광소자의 부분 확대 단면도(103)이다.Next, FIG. 5C is a partially enlarged cross-sectional view 103 of a light emitting device according to the third embodiment.

제3 실시예에 의하면, 상기 리세스 구조(R) 상에 제2 나노 구조물(132)이 더 형성될 수 있다.According to the third embodiment, a second nanostructure 132 may be further formed on the recess structure R.

상기 제2 나노 구조물(132)은 상기 제1 나노 구조물(130)과 같은 형상 또는 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 나노 구조물(132)은 볼 형상, 바 형상 등을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The second nanostructure 132 may be formed of the same shape or material as the first nanostructure 130. For example, the second nanostructure 132 may have a ball shape, a bar shape, or the like, but is not limited thereto.

또한 상기 제2 나노 구조물(132)은 절연성 물질 또는 도전성 물질일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 상기 제2 나노 구조물(132)은 SiO2, Al2O3, TiO2, ZrO2, YO3ZrO2, CuO, Cu2O, Ta2O5, PZT(Pb(Zr, Ti)O3), Nb2O5, FeSO4, Fe3O4, Fe2O3, Na2SO4, GeO2 및 CdS로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.In addition, the second nanostructure 132 may be an insulating material or a conductive material, but is not limited thereto. For example, the second nanostructure 132 is SiO 2 , Al 2 O 3 , TiO 2 , ZrO 2 , YO 3 ZrO 2 , CuO, Cu 2 O, Ta 2 O 5 , PZT(Pb(Zr, Ti)O 3 ), Nb 2 O 5 , FeSO 4 , Fe 3 O 4 , Fe 2 O 3 , Na 2 SO 4 , GeO 2 And may include at least one selected from the group consisting of CdS, but is not limited thereto.

실시예에서 제2 나노 구조물(132)은 상기 제2 도전형 반도체층(116), 활성층(114) 또는 탄소 구조물(120) 등과 서로 상이한 굴절률을 가지게 되므로, 상기 활성층(114)에서 생성된 광이 제2 나노 구조물(132)이나 공기에 의해 굴절되어 광이 산란되거나 반사될 수 있다. In the embodiment, since the second nanostructure 132 has a different refractive index from the second conductivity type semiconductor layer 116, the active layer 114, or the carbon structure 120, light generated by the active layer 114 is Light may be scattered or reflected by being refracted by the second nanostructure 132 or air.

실시예는 결정품질을 향상시켜 발광효율을 개선할 수 있는 발광소자를 제공할 수 있다.The embodiment may provide a light emitting device capable of improving luminous efficiency by improving crystal quality.

또한 실시예는 광추출 효율을 개선할 수 있는 발광소자 및 발광소자의 제조방법을 제공할 수 있다.In addition, the embodiment may provide a light emitting device capable of improving light extraction efficiency and a method of manufacturing the light emitting device.

다음으로, 도 6과 같이 상기 탄소 구조물(120) 상에 제2 전극층(140)을 형성할 수있다.Next, as shown in FIG. 6, a second electrode layer 140 may be formed on the carbon structure 120.

상기 제2 전극층(140)은 반사층(142), 결합층(미도시), 전도성 지지 기판(144) 등을 포함할 수 있다. 상기 제2 전극층(140)은 본딩 방식으로 탄소 구조물(120)과 결합될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second electrode layer 140 may include a reflective layer 142, a bonding layer (not shown), and a conductive support substrate 144. The second electrode layer 140 may be bonded to the carbon structure 120 by a bonding method, but is not limited thereto.

상기 반사층(142)은 반사성이 우수하고, 전기적인 접촉이 우수한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 반사층(142)은 상기 금속 또는 합금과 IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO 등의 투광성 전도성 물질을 이용하여 다층으로 형성할 수 있으며, 예를 들어, IZO/Ni, AZO/Ag, IZO/Ag/Ni, AZO/Ag/Ni 등으로 적층할 수 있다.The reflective layer 142 may be formed of a material having excellent reflectivity and excellent electrical contact. For example, it may be formed of a metal or alloy including at least one of Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, and Hf. In addition, the reflective layer 142 may be formed in a multilayer using the metal or alloy and a light-transmitting conductive material such as IZO, IZTO, IAZO, IGZO, IGTO, AZO, ATO, for example, IZO/Ni, AZO. /Ag, IZO/Ag/Ni, AZO/Ag/Ni, etc. can be stacked.

또한, 상기 제2 전극층(140)이 결합층을 포함하는 경우 상기 반사층(142)이 결합층의 기능을 하거나, 상기 결합층은 결합력이 우수한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag 또는 Ta 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.In addition, when the second electrode layer 140 includes a bonding layer, the reflective layer 142 may function as a bonding layer, or the bonding layer may be formed of a material having excellent bonding strength. For example, it may include at least one of Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag, or Ta.

상기 전도성 지지 기판(144)은 효율적으로 캐리어를 주입할 수 있도록 전기 전도성이 우수한 금속, 금속합금, 혹은 전도성 반도체 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 지지 기판(144)은 구리(Cu), 금(Au), 구리합금(Cu Alloy), 니켈(Ni-nickel), 구리-텅스텐(Cu-W), 캐리어 웨이퍼(예: GaN, Si, Ge, GaAs, ZnO, SiGe, SiC 등) 등을 선택적으로 포함할 수 있다.The conductive support substrate 144 may be made of a metal, a metal alloy, or a conductive semiconductor material having excellent electrical conductivity so that carriers can be efficiently injected. For example, the support substrate 144 is copper (Cu), gold (Au), copper alloy (Cu Alloy), nickel (Ni-nickel), copper-tungsten (Cu-W), a carrier wafer (eg, GaN , Si, Ge, GaAs, ZnO, SiGe, SiC, etc.), and the like) may be optionally included.

다음으로 도 7과 같이, 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 노출되도록 상기 기판(105)을 제거할 수 있다. 상기 기판(105)을 제거하는 방법은 고출력의 레이저를 이용하여 기판을 분리하거나 화학적 식각 방법을 사용할 수 있다. 또한, 상기 기판(105)은 물리적으로 갈아냄으로써 제거할 수도 있다. Next, as shown in FIG. 7, the substrate 105 may be removed so that the first conductivity type semiconductor layer 112 is exposed. As a method of removing the substrate 105, a high-power laser may be used to separate the substrate or a chemical etching method may be used. Also, the substrate 105 may be removed by physically grinding.

예를 들어, 레이저 리프트 오프 방법은 상온에서 소정의 에너지를 가해주게 되면 상기 기판(105)과 발광구조물의 계면에서 에너지가 흡수되어 발광구조물의 접합표면이 열분해 되어 기판(105)과 발광구조물을 분리할 수 있다.For example, in the laser lift-off method, when a predetermined energy is applied at room temperature, energy is absorbed at the interface between the substrate 105 and the light emitting structure, and the bonding surface of the light emitting structure is thermally decomposed to separate the substrate 105 from the light emitting structure. can do.

이후, 노출되는 언도프트 반도체층(109) 및/또는 버퍼층(107)은 제거될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Thereafter, the exposed undoped semiconductor layer 109 and/or the buffer layer 107 may be removed, but is not limited thereto.

이후 노출되는 제1 도전형 반도체층(112) 상에 제1 전극(150)을 형성할 수 있다. 상기 제1 전극(150) 오믹층, 반사층 등을 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 전극(150)은 Ti, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다. Then, the first electrode 150 may be formed on the exposed first conductivity type semiconductor layer 112. The first electrode 150 may include an ohmic layer, a reflective layer, and the like. For example, the first electrode 150 is formed of a metal or alloy containing at least one of Ti, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, I can.

또한 실시예는 제1 도전형 반도체층(112) 상에 소정의 광추출 패턴(미도시)을 형성할 수 있다. 예를 들어, 광추출 패턴으로 요철구조 또는 광결정 구조를 형성할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, in the embodiment, a predetermined light extraction pattern (not shown) may be formed on the first conductivity type semiconductor layer 112. For example, an uneven structure or a photonic crystal structure may be formed as a light extraction pattern, but the present invention is not limited thereto.

실시예는 결정품질을 향상시켜 발광효율을 개선할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.The embodiment can provide a light emitting device capable of improving luminous efficiency by improving crystal quality, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and a lighting system.

또한 실시예는 광추출 효율을 개선할 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.In addition, the embodiment may provide a light emitting device capable of improving light extraction efficiency, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and a lighting system.

도 8은 실시예에 따른 발광소자가 적용된 발광소자 패키지(200)를 나타낸 도면이다.8 is a view showing a light emitting device package 200 to which a light emitting device according to an embodiment is applied.

도 8을 참조하면, 실시 예에 따른 발광소자 패키지는 몸체(205)와, 상기 몸체(205)에 배치된 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과, 상기 몸체(205)에 제공되어 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과 전기적으로 연결되는 발광소자와, 상기 발광소자를 포위하는 몰딩부재(240)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, the light emitting device package according to the embodiment includes a body 205, a first lead electrode 213 and a second lead electrode 214 disposed on the body 205, and the body 205 And a light emitting device provided on and electrically connected to the first and second lead electrodes 213 and 214, and a molding member 240 surrounding the light emitting device.

상기 몸체(205)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 발광소자의 주위에 경사면이 형성될 수 있다.The body 205 may be formed of a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material, and an inclined surface may be formed around the light emitting device.

상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광소자에 전원을 제공한다. 또한, 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)은 상기 발광소자에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광소자에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The first lead electrode 213 and the second lead electrode 214 are electrically separated from each other and provide power to the light emitting device. In addition, the first lead electrode 213 and the second lead electrode 214 reflect light generated from the light emitting device to increase light efficiency, and serve to discharge heat generated from the light emitting device to the outside. You can also do it.

상기 발광소자는 상기 몸체(205) 위에 배치되거나 상기 제1 리드전극(213) 또는 제2 리드전극(214) 위에 배치될 수 있다.The light emitting device may be disposed on the body 205 or may be disposed on the first lead electrode 213 or the second lead electrode 214.

상기 발광소자는 상기 제1 리드전극(213) 및 제2 리드전극(214)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다.The light emitting device may be electrically connected to the first lead electrode 213 and the second lead electrode 214 by any one of a wire method, a flip chip method, or a die bonding method.

실시예에서 발광소자는 제2 리드전극(214)에 실장되고, 제1 리드전극(213)과 와이어(230)에 의해 연결될 수 있으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.In the embodiment, the light emitting device is mounted on the second lead electrode 214 and may be connected to the first lead electrode 213 and the wire 230, but the embodiment is not limited thereto.

상기 몰딩부재(240)는 상기 발광소자를 포위하여 상기 발광소자를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(240)에는 형광체(미도시)가 포함되어 상기 발광소자에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The molding member 240 may surround the light emitting device to protect the light emitting device. In addition, a phosphor (not shown) may be included in the molding member 240 to change a wavelength of light emitted from the light emitting device.

실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 위에 어레이될 수 있으며, 상기 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 렌즈, 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광소자 패키지, 기판, 광학 부재는 라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 상기 라이트 유닛은 탑뷰 또는 사이드 뷰 타입으로 구현되어, 휴대 단말기 및 노트북 컴퓨터 등의 표시 장치에 제공되거나, 조명장치 및 지시 장치 등에 다양하게 적용될 수 있다. 또 다른 실시 예는 상술한 실시 예들에 기재된 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 조명 장치로 구현될 수 있다. 예를 들어, 조명 장치는 램프, 가로등, 전광판, 전조등을 포함할 수 있다.A plurality of light emitting devices or light emitting device packages according to the embodiment may be arrayed on a substrate, and an optical member such as a lens, a light guide plate, a prism sheet, and a diffusion sheet may be disposed on an optical path of the light emitting device package. Such a light emitting device package, substrate, and optical member may function as a light unit. The light unit may be implemented in a top view or a side view type, and may be provided to display devices such as portable terminals and notebook computers, or may be variously applied to lighting devices and indication devices. Another embodiment may be implemented as a lighting device including the light emitting device or the light emitting device package described in the above-described embodiments. For example, the lighting device may include a lamp, a street light, an electric sign, and a headlamp.

도 9는 실시예에 따른 조명장치의 분해 사시도이다. 9 is an exploded perspective view of a lighting device according to an embodiment.

도 9를 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(2100), 광원 모듈(2200), 방열체(2400), 전원 제공부(2600), 내부 케이스(2700), 소켓(2800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(2300)와 홀더(2500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 실시 예에 따른 발광소자 패키지를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 9, the lighting device according to the embodiment includes a cover 2100, a light source module 2200, a radiator 2400, a power supply unit 2600, an inner case 2700, and a socket 2800. I can. In addition, the lighting device according to the embodiment may further include one or more of a member 2300 and a holder 2500. The light source module 2200 may include a light emitting device package according to the embodiment.

예컨대, 상기 커버(2100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(2100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.For example, the cover 2100 may have a shape of a bulb or a hemisphere, and may be provided in a shape with a hollow and an open portion. The cover 2100 may be optically coupled to the light source module 2200. For example, the cover 2100 may diffuse, scatter, or excite light provided from the light source module 2200. The cover 2100 may be a kind of optical member. The cover 2100 may be coupled to the radiator 2400. The cover 2100 may have a coupling portion coupled to the radiator 2400.

상기 커버(2100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(2100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(2100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다.A milky white paint may be coated on the inner surface of the cover 2100. The milky white paint may include a diffuser that diffuses light. The surface roughness of the inner surface of the cover 2100 may be larger than the surface roughness of the outer surface of the cover 2100. This is to allow light from the light source module 2200 to be sufficiently scattered and diffused to be emitted to the outside.

상기 커버(2100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(2100)는 외부에서 상기 광원 모듈(2200)이 보이도록 투명할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(2100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The material of the cover 2100 may be glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate is excellent in light resistance, heat resistance, and strength. The cover 2100 may be transparent or opaque so that the light source module 2200 is visible from the outside. The cover 2100 may be formed through blow molding.

상기 광원 모듈(2200)은 상기 방열체(2400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열은 상기 방열체(2400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(2200)은 광원부(2210), 연결 플레이트(2230), 커넥터(2250)를 포함할 수 있다.The light source module 2200 may be disposed on one surface of the radiator 2400. Accordingly, heat from the light source module 2200 is conducted to the radiator 2400. The light source module 2200 may include a light source unit 2210, a connection plate 2230, and a connector 2250.

상기 부재(2300)는 상기 방열체(2400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 광원부(2210)들과 커넥터(2250)이 삽입되는 가이드홈(2310)들을 갖는다. 상기 가이드홈(2310)은 상기 광원부(2210)의 기판 및 커넥터(2250)와 대응된다.The member 2300 is disposed on an upper surface of the radiator 2400 and has guide grooves 2310 into which a plurality of light source units 2210 and a connector 2250 are inserted. The guide groove 2310 corresponds to the substrate and the connector 2250 of the light source unit 2210.

상기 부재(2300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 부재(2300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(2300)는 상기 커버(2100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(2200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(2100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the member 2300 may be coated or coated with a light reflective material. For example, the surface of the member 2300 may be coated or coated with a white paint. The member 2300 reflects light reflected on the inner surface of the cover 2100 and returning toward the light source module 2200 toward the cover 2100. Therefore, it is possible to improve the light efficiency of the lighting device according to the embodiment.

상기 부재(2300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)의 연결 플레이트(2230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(2400)와 상기 연결 플레이트(2230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(2300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(2230)와 상기 방열체(2400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(2400)는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(2600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The member 2300 may be made of an insulating material, for example. The connection plate 2230 of the light source module 2200 may include an electrically conductive material. Accordingly, electrical contact may be made between the radiator 2400 and the connection plate 2230. The member 2300 is made of an insulating material to block an electrical short between the connection plate 2230 and the radiator 2400. The radiator 2400 receives heat from the light source module 2200 and heat from the power supply unit 2600 to radiate heat.

상기 홀더(2500)는 내부 케이스(2700)의 절연부(2710)의 수납홈(2719)을 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(2700)의 상기 절연부(2710)에 수납되는 상기 전원 제공부(2600)는 밀폐된다. 상기 홀더(2500)는 가이드 돌출부(2510)를 갖는다. 상기 가이드 돌출부(2510)는 상기 전원 제공부(2600)의 돌출부(2610)가 관통하는 홀을 갖는다.The holder 2500 blocks the receiving groove 2719 of the insulating part 2710 of the inner case 2700. Accordingly, the power supply unit 2600 accommodated in the insulating unit 2710 of the inner case 2700 is sealed. The holder 2500 has a guide protrusion 2510. The guide protrusion 2510 has a hole through which the protrusion 2610 of the power supply unit 2600 passes.

상기 전원 제공부(2600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(2200)로 제공한다. 상기 전원 제공부(2600)는 상기 내부 케이스(2700)의 수납홈(2719)에 수납되고, 상기 홀더(2500)에 의해 상기 내부 케이스(2700)의 내부에 밀폐된다.The power supply unit 2600 processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides it to the light source module 2200. The power supply unit 2600 is accommodated in the storage groove 2719 of the inner case 2700 and is sealed inside the inner case 2700 by the holder 2500.

상기 전원 제공부(2600)는 돌출부(2610), 가이드부(2630), 베이스(2650), 연장부(2670)를 포함할 수 있다.The power supply unit 2600 may include a protrusion 2610, a guide portion 2630, a base 2650, and an extension 2670.

상기 가이드부(2630)는 상기 베이스(2650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(2630)는 상기 홀더(2500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(2650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(2200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(2200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The guide portion 2630 has a shape protruding outward from one side of the base 2650. The guide part 2630 may be inserted into the holder 2500. A number of components may be disposed on one surface of the base 2650. A number of components include, for example, a DC converter for converting AC power provided from an external power source to DC power, a driving chip for controlling the driving of the light source module 2200, and an ESD for protecting the light source module 2200. (ElectroStatic discharge) may include a protection element, but is not limited thereto.

상기 연장부(2670)는 상기 베이스(2650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 연장부(2670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(2800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The extension part 2670 has a shape protruding outward from the other side of the base 2650. The extension part 2670 is inserted into the connection part 2750 of the inner case 2700 and receives an electrical signal from the outside. For example, the extension part 2670 may be provided equal to or smaller than the width of the connection part 2750 of the inner case 2700. Each end of the "+ wire" and "- wire" may be electrically connected to the extension part 2670, and the other end of the "+ wire" and "- wire" may be electrically connected to the socket 2800. .

상기 내부 케이스(2700)는 내부에 상기 전원 제공부(2600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는 몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 상기 전원 제공부(2600)가 상기 내부 케이스(2700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.The inner case 2700 may include a molding unit together with the power supply unit 2600 therein. The molding part is a part where the molding liquid is solidified, and allows the power supply part 2600 to be fixed inside the inner case 2700.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, and the like described in the embodiments above are included in at least one embodiment, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in each embodiment can be implemented by combining or modifying other embodiments by a person having ordinary knowledge in the field to which the embodiments belong. Therefore, contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the embodiments.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments have been described above, these are only examples and are not intended to limit the embodiments, and those of ordinary skill in the field to which the embodiments belong are not departing from the essential characteristics of the embodiments. It will be seen that branch transformation and application are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified and implemented. And differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the embodiments set in the appended claims.

제1 도전형 반도체층(112), 리세스 구조(R),
활성층(114), 제2 도전형 반도체층(116),
탄소 구조물(120), 그래핀(122),
탄소나노 튜브(124)
First conductivity type semiconductor layer 112, recess structure (R),
An active layer 114, a second conductivity type semiconductor layer 116,
Carbon structure 120, graphene 122,
Carbon nanotube(124)

Claims (9)

제1 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층 아래에 배치되는 활성층;
상기 활성층 아래에 배치되는 제2 도전형 반도체층; 및
상기 제2 도전형 반도체층 아래에 배치되는 탄소 구조물;을 포함하고,
상기 제1 도전형 반도체층은 상기 활성층과 대면하는 하면 상에 형성되며, 상기 제1 도전형 반도체층의 하면에서 상면 방향으로 오목한 형상을 가지는 제1 리세스를 포함하고,
상기 활성층은 상기 제2 도전형 반도체층과 대면하는 하면 상에 형성되며, 상기 활성층의 하면에서 상면 방향으로 오목한 형상을 가지는 제2 리세스를 포함하고,
상기 제2 리세스는 상기 제1 리세스와 수직 방향으로 대응되는 영역에 형성되고,
상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 탄소 구조물은 상기 제1 및 제2 리세스와 수직 방향으로 중첩되지 않는 발광소자.
A first conductivity type semiconductor layer;
An active layer disposed under the first conductivity type semiconductor layer;
A second conductivity type semiconductor layer disposed under the active layer; And
Including; a carbon structure disposed under the second conductivity type semiconductor layer,
The first conductivity type semiconductor layer is formed on a lower surface facing the active layer, and includes a first recess having a concave shape from the lower surface to the upper surface direction of the first conductivity type semiconductor layer,
The active layer is formed on a lower surface facing the second conductivity type semiconductor layer, and includes a second recess having a concave shape from the lower surface to the upper surface of the active layer,
The second recess is formed in a region corresponding to the first recess in a vertical direction,
The second conductivity-type semiconductor layer and the carbon structure do not overlap the first and second recesses in a vertical direction.
삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 탄소 구조물은 그래핀(graphene) 또는 그래핀 퀀텀닷(graphene quantum dot)을 포함하는 발광소자.
The method of claim 1,
The carbon structure is a light emitting device including graphene or graphene quantum dots.
삭제delete 삭제delete 제1 항 또는 제3 항에 있어서,
상기 탄소 구조물 상에 배치되며, 절연성 또는 도전성 나노 물질을 포함하는 제1 나노 구조물을 더 포함하는 발광소자.
The method according to claim 1 or 3,
A light emitting device disposed on the carbon structure and further comprising a first nanostructure including an insulating or conductive nanomaterial.
제6 항에 있어서,
상기 제2 리세스 내에 배치되는 제2 나노 구조물을 더 포함하고,
상기 제2 나노 구조물은 절연성 또는 도전성 나노 구조물인 발광소자.
The method of claim 6,
Further comprising a second nanostructure disposed in the second recess,
The second nanostructure is an insulating or conductive nanostructure.
삭제delete 삭제delete
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