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KR102104371B1 - Organic light emitting device - Google Patents

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KR102104371B1
KR102104371B1 KR1020130149422A KR20130149422A KR102104371B1 KR 102104371 B1 KR102104371 B1 KR 102104371B1 KR 1020130149422 A KR1020130149422 A KR 1020130149422A KR 20130149422 A KR20130149422 A KR 20130149422A KR 102104371 B1 KR102104371 B1 KR 102104371B1
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KR
South Korea
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film
light emitting
organic light
emitting device
protective film
Prior art date
Application number
KR1020130149422A
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김지민
이재영
임광수
박준원
이상흔
허해리
허훈회
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엘지디스플레이 주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 수분 및 외부 요인으로부터 유기 발광 다이오드를 보호함과 아울러, 디스플레이 패널의 밴딩에 의한 크렉 발생을 방지한 유기 발광 장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치는 기판 상의 복수의 픽셀에 형성된 OLED(Organic Light Emitting Diode); 상기 OLED를 덮도록 형성된 제1 막과 상기 제1 막을 덮도록 형성된 제2 막을 포함하는 하이브리드 보호막; 상기 하이브리드 보호막을 덮도록 형성된 무기 보호막; 및 상기 무기 보호막 상에 형성된 봉지 기판;을 포함하고, 상기 제1 막과 상기 제2 막은 산소(O)와 탄소(C)의 성분 비율이 상이한 물질로 형성된 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an organic light emitting device that protects an organic light emitting diode from moisture and external factors and prevents cracking due to bending of a display panel.
An organic light emitting device according to an embodiment of the present invention includes an organic light emitting diode (OLED) formed in a plurality of pixels on a substrate; A hybrid protective film including a first film formed to cover the OLED and a second film formed to cover the first film; An inorganic protective film formed to cover the hybrid protective film; And a sealing substrate formed on the inorganic protective film, wherein the first film and the second film are formed of a material having a different component ratio of oxygen (O) and carbon (C).

Description

유기 발광 장치{ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE}Organic light emitting device {ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE}

본 발명은 수분 및 외부 요인으로부터 유기 발광 다이오드를 보호함과 아울러, 디스플레이 패널의 밴딩에 의한 크렉 발생을 방지한 유기 발광 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting device that protects an organic light emitting diode from moisture and external factors and prevents cracking due to bending of a display panel.

평판 디스플레이 장치로서 현재까지는 액정 디스플레이 장치(Liquid Crystal Display Device)가 널리 이용되었다. 액정 디스플레이 장치는 별도의 광원으로 백라이트가 필요하고, 밝기 및 명암비 등에서 기술적 한계가 있다. 이에, 자체발광이 가능하여 별도의 광원이 필요하지 않고, 밝기 및 명암비 등에서 액정 디스플레이 장치보다 상대적으로 우수한 유기 발광 장치(Organic Light Emitting Device)가 개발되어 상용화되고 있다.As a flat panel display device, a liquid crystal display device has been widely used so far. The liquid crystal display device requires a backlight as a separate light source, and has technical limitations in brightness and contrast ratio. Accordingly, since it is possible to self-emit, a separate light source is not required, and an organic light emitting device, which is relatively superior to a liquid crystal display device in brightness and contrast ratio, has been developed and commercialized.

유기 발광 장치는 구동방식에 따라 수동 매트릭스(Passive Matrix) 방식과 능동 매트릭스(Active Matrix) 방식으로 나눌 수 있다. 이하에서는, 도면을 참조로 종래 기술에 따른 능동 매트릭스 방식의 유기 발광 장치에 대해서 설명하기로 한다. 참고로, 이하 본 명세서에서는 능동 매트릭스 방식의 유기 발광 장치를 간략하게 "유기 발광 장치"라 명칭한다.The organic light emitting device may be divided into a passive matrix method and an active matrix method according to a driving method. Hereinafter, an active matrix type organic light emitting device according to the related art will be described with reference to the drawings. For reference, hereinafter, the active matrix type organic light emitting device is simply referred to as an “organic light emitting device”.

도 1은 종래 기술에 따른 유기 발광 장치의 구조를 나타내는 도면이다. 도 1에서는 유기 발광 장치의 전체 영역 중에서 액티브 영역(발과 영역)의 하나의 픽셀을 도시하고 있으며, OLED(40, Organic Light Emitting Diode)를 구동하기 위한 복수의 라인 및 복수의 TFT(thin film transistor)의 도시는 생략하였다.1 is a view showing the structure of an organic light emitting device according to the prior art. FIG. 1 shows one pixel of the active region (foot and region) of the entire region of the organic light emitting device, and a plurality of lines and a plurality of thin film transistors (TFTs) for driving an organic light emitting diode (OLED) 40 ) Is omitted.

도 1을 참조하면, 종래 기술에 다른 유기 발광 장치는 베이스 기판(10), TFT 어레이 레이어(20), 평탄화막(30), OLED(40), 제1 보호막(50), 제2 보호막(60), 제3 보호막(70) 및 봉지 기판(80)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the organic light emitting device according to the prior art includes a base substrate 10, a TFT array layer 20, a planarization film 30, an OLED 40, a first protective film 50, and a second protective film 60 ), The third protective film 70 and the sealing substrate 80.

베이스 기판(10)은 플렉서블 한 플라스틱 기판이 적용될 수 있다.The base substrate 10 may be a flexible plastic substrate.

OLED(40)는 습기에 매우 취약한 특성을 가짐으로 외부와 밀봉되어야 한다. 따라서, 외부의 습기로부터 OLED(40)를 보호하기 위해서 멀티 보호막(50, 60, 70)이 OLED(40)를 덮도록 형성되어 있다. 제1 보호막(50)과 제3 보호막(70)은 무기 보호막으로 형성되고, 제2 보호막(60)은 유기 보호막으로 형성되어 있다.The OLED 40 has a very vulnerable property to moisture and must be sealed with the outside. Therefore, in order to protect the OLED 40 from external moisture, multi-protective films 50, 60, and 70 are formed to cover the OLED 40. The first protective film 50 and the third protective film 70 are formed of an inorganic protective film, and the second protective film 60 is formed of an organic protective film.

무기막인 제1 보호막(50)과 제3 보호막(70)은 OLED(40)에 수분이 침투하는 것을 방지하기 위한 보호막이고, 유기막인 제2 보호막(60)은 무기막의 스트레스를 완화하며 제조 공정 중 발생하는 이물을 보상하여 표면을 평탄화시킨다. 제1 보호막(50)과 제3 보호막(70)은 Si 계열의 물질로 0.5~2um의 두께로 형성되고, 제2 보호막(60)은 이물 보상을 위해서 10~30um의 두께로 형성된다.The first protective film 50 and the third protective film 70, which are inorganic films, are protective films for preventing moisture from penetrating the OLED 40, and the second protective film 60, which is an organic film, relieves stress of the inorganic film and is manufactured. The surface is flattened by compensating for foreign substances generated during the process. The first passivation layer 50 and the third passivation layer 70 are formed of a Si-based material with a thickness of 0.5 to 2 um, and the second passivation layer 60 is formed with a thickness of 10 to 30 um to compensate for foreign matter.

제1 보호막 내지 제3 보호막(50, 60, 70) 상부에는 봉지 기판(80)을 접착시켜 OLED 패널을 봉지한다. 여기서, 봉지 기판(80)은 메탈 재질로 형성되거나, 투명한 재질로 형성되어 있다.An OLED panel is sealed by adhering a sealing substrate 80 on top of the first to third protective films 50, 60, and 70. Here, the sealing substrate 80 is formed of a metal material or a transparent material.

도 2는 디스플레이 패널의 밴딩에 의해 표면에 크렉이 발생되는 것을 나타내는 도면이다.2 is a view showing that cracks are generated on the surface by bending the display panel.

도 2를 참조하면, 멀티 보호막(50, 60, 70)의 두께는 대략 10~30um 내외가 되는데, 10R의 곡률로 디스플레이 패널을 밴딩 하면 멀티 보호막(50, 60, 70)에 크렉이 발생하는 문제점이 있다.Referring to FIG. 2, the thickness of the multi-protective films 50, 60, and 70 is about 10 to 30 um, and when the display panel is bent with a curvature of 10R, cracks occur in the multi-protective films 50, 60, and 70. There is this.

무기막/유기막 조합의 보호막이 10~30um 내외로 형성됨으로 인해 밴딩 시 가해지는 스트레스를 견디지 못하고 크렉이 발생하게 되고, 이로 인해 OLED(40)에 수분이 침투하여 소자의 신뢰성이 저하되고, 수명이 감소하는 문제점이 있다.Since the protective film of the inorganic film / organic film combination is formed within about 10 to 30 um, cracks are generated without being able to withstand the stress applied during bending, and as a result, moisture penetrates into the OLED 40, deteriorating device reliability, and lifetime There is a decreasing problem.

밴딩에 의한 크렉의 발생을 방지하기 위해서는 각 보호막의 두께를 최소한으로 줄여야 하지만 각 단일막의 재료 특성 및 성막 방법의 한계로 두께를 줄이는 것에 어려움이 있다.In order to prevent the occurrence of cracks due to banding, the thickness of each protective film should be reduced to a minimum, but it is difficult to reduce the thickness due to the material properties of each single film and the limitation of the film formation method.

본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 외부의 수분 침투를 방지할 수 있는 유기 발광 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, and it is a technical problem to provide an organic light emitting device capable of preventing the penetration of moisture from the outside.

본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, OLED의 밴딩 특성 및 수명을 향상시킬 수 있는 유기 발광 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, and it is a technical problem to provide an organic light emitting device capable of improving the bending characteristics and life of the OLED.

본 발명은 상술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, OLED를 보호하는 멀티 보호막의 두께를 줄이고, 밴딩 시 크렉 발생을 방지할 수 있는 유기 발광 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, to reduce the thickness of the multi-protective film to protect the OLED, and to provide an organic light emitting device that can prevent the occurrence of cracks when bending the technical problem.

위에서 언급된 본 발명의 기술적 과제 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.In addition to the technical problems of the present invention mentioned above, other features and advantages of the present invention will be described below, or it will be clearly understood by those skilled in the art from the description and description.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치는 기판 상의 복수의 픽셀에 형성된 OLED(Organic Light Emitting Diode); 상기 OLED를 덮도록 형성된 제1 막과 상기 제1 막을 덮도록 형성된 제2 막을 포함하는 하이브리드 보호막; 상기 하이브리드 보호막을 덮도록 형성된 무기 보호막; 및 상기 무기 보호막 상에 형성된 봉지 기판;을 포함하고, 상기 제1 막과 상기 제2 막은 탄소(C)의 성분 비율이 상이한 물질로 형성된 것을 특징으로 한다.An organic light emitting device according to an embodiment of the present invention includes an organic light emitting diode (OLED) formed in a plurality of pixels on a substrate; A hybrid protective film including a first film formed to cover the OLED and a second film formed to cover the first film; An inorganic protective film formed to cover the hybrid protective film; And an encapsulation substrate formed on the inorganic protective film, wherein the first film and the second film are formed of a material having a different component ratio of carbon (C).

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치는 수분 침투 방지능력을 향상시킬 수 있다.The organic light emitting device according to the embodiment of the present invention can improve the ability to prevent moisture penetration.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치는 OLED의 신뢰성 및 수명을 향상시킬 수 있다.The organic light emitting device according to the embodiment of the present invention can improve the reliability and life of the OLED.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치는 OLED를 보호하는 멀티 보호막의 두께를 줄이고, 밴딩 시 크렉 발생을 방지할 수 있다.The organic light emitting device according to an embodiment of the present invention can reduce the thickness of a multi-protective layer protecting an OLED and prevent cracking when bending.

위에서 언급된 본 발명의 특징 및 효과들 이외에도 본 발명의 실시 예들을 통해 본 발명의 또 다른 특징 및 효과들이 새롭게 파악 될 수도 있을 것이다.In addition to the features and effects of the present invention mentioned above, other features and effects of the present invention may be newly identified through embodiments of the present invention.

도 1은 종래 기술에 따른 유기 발광 장치의 구조를 나타내는 도면이다.
도 2는 디스플레이 패널의 밴딩에 의해 표면에 크렉이 발생되는 것을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치의 구조를 나타내는 도면이다.
도 4는 유기 발광 다이오드(OLED)의 구조를 간략히 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 하이브리드 보호막을 적용하여 이물 보상이 이루어진 효과를 나타내는 도면이다.
도 6은 디스플레이 패널을 밴딩하더라도 표면에 크렉이 발생되지 않는 것을 나타내는 도면이다.1 is a view showing the structure of an organic light emitting device according to the prior art.
2 is a view showing that cracks are generated on the surface by bending the display panel.
3 is a view showing the structure of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram briefly showing the structure of an organic light emitting diode (OLED).
5 is a view showing the effect of foreign matter compensation by applying the hybrid protective film of the present invention.
6 is a view showing that cracking does not occur on the surface even when the display panel is bent.

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.It should be noted that in this specification, in addition to reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same number as possible, even if they are displayed on different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.On the other hand, the meaning of the terms described in this specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.It should be understood that a singular expression includes a plurality of expressions unless the context clearly defines otherwise, and the terms "first", "second", etc. are intended to distinguish one component from another component, The scope of rights should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that terms such as “include” or “have” do not preclude the presence or addition possibility of one or more other features or numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof.

본 발명의 실시 예들을 설명함에 있어서 어떤 구조물(전극, 라인, 레이어, 컨택)이 다른 구조물 "상부에 또는 상에" 및 "하부에 또는 아래에" 형성된다고 기재된 경우, 이러한 기재는 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 경우는 물론이고 이들 구조물들 사이에 제3의 구조물이 개재되어 있는 경우까지 포함하는 것으로 해석되어야 한다.In describing embodiments of the present invention, when a structure (electrode, line, layer, contact) is described as being formed "on or on" and "on or under" another structure, these descriptions indicate that the structures are It should be interpreted as including the case where a third structure is interposed between these structures as well as when in contact.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치의 구조를 나타내는 도면이다. 도 3에서는 유기 발광 장치의 전체 영역 중에서 액티브 영역(발과 영역)의 하나의 픽셀을 도시하고 있으며, OLED(140, Organic Light Emitting Diode)를 구동하기 위한 복수의 라인 및 복수의 TFT(thin film transistor)의 도시는 생략하였다.3 is a view showing the structure of an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention. In FIG. 3, one pixel of the active area (foot and area) among the entire areas of the organic light emitting device is illustrated, and a plurality of lines and a plurality of thin film transistors (TFTs) for driving an OLED (140). ) Is omitted.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치는 베이스 기판(110), TFT 어레이 레이어(120), 평탄화막(130), OLED(140), 하이브리드 보호막(150), 무기 보호막(160) 및 봉지 기판(170)을 포함한다.Referring to FIG. 3, an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention includes a base substrate 110, a TFT array layer 120, a planarization film 130, an OLED 140, a hybrid protective film 150, and an inorganic protective film ( 160) and an encapsulation substrate 170.

베이스 기판(110)은 투명 유리 기판이 적용될 수 있다. 다른 예로서, 베이스 기판(110)은 투명 재질의 플렉서블 기판이 적용될 수도 있다.A transparent glass substrate may be applied to the base substrate 110. As another example, the base substrate 110 may be a flexible substrate made of a transparent material.

플렉서블 재질은 PC(polycarbonate), PES(polyethersulfone), PET(polyethyleneterephthalate), PI(polyimide), PNB(polynorborneen) 또는 EN(polyethylenapthanate)가 적용될 수 있다.The flexible material may be PC (polycarbonate), PES (polyethersulfone), PET (polyethyleneterephthalate), PI (polyimide), PNB (polynorborneen) or EN (polyethylenapthanate).

봉지 기판(170)은 메탈 재질로 형성되거나, 투명한 재질로 형성되어 있다.The encapsulation substrate 170 is formed of a metal material or a transparent material.

TFT 어레이 레이어(120)에는 OLED(140)를 구동시키기 위한 드라이빙 TFT(미도시)와 복수의 스위칭 TFT(미도시)가 형성되어 있다. 도면에 도시되지 않았지만, TFT 어레이 레이어(120)에는 게이트 라인, 데이터 라인, 구동 전원 라인, 기준 전원 라인, 발광 신호 라인 및 커패시터(Cst)가 형성될 수 있다.A driving TFT (not shown) and a plurality of switching TFTs (not shown) for driving the OLED 140 are formed on the TFT array layer 120. Although not shown in the drawing, a gate line, a data line, a driving power line, a reference power line, a light emitting signal line, and a capacitor Cst may be formed on the TFT array layer 120.

TFT 어레이 레이어(120)어 상에 평탄화막(130)이 형성되고, 평탄화막(130) 상에 OLED(140)가 형성되어 있다. 도면에 도시되지 않았지만, OLED(140)가 형성된 각 픽셀의 개구 영역을 구분시키기 위한 뱅크가 형성된다.The planarization layer 130 is formed on the TFT array layer 120, and the OLED 140 is formed on the planarization layer 130. Although not shown in the figure, a bank is formed to distinguish the opening area of each pixel in which the OLED 140 is formed.

도 4는 유기 발광 다이오드(OLED)의 구조를 간략히 나타내는 도면이다.4 is a diagram briefly showing the structure of an organic light emitting diode (OLED).

도 4를 참조하면, OLED(140)는 애노드 전극(141), 정공 주입층(142, HIL), 정공 수송층(143, HTL), 유기 발광층(144, EML), 전자 수송층(145, ETL) 및 전자 주입층(146, EIL) 및 캐소드 전극(147)이 적층된 구조로 형성된다.Referring to FIG. 4, the OLED 140 includes an anode electrode 141, a hole injection layer 142, HIL, a hole transport layer 143, HTL, an organic emission layer 144, EML, an electron transport layer 145, ETL, and The electron injection layers 146 and EIL and the cathode electrode 147 are formed in a stacked structure.

정공 주입층(142, HIL)의 하부에 애노드 전극(141, anode electrode)이 형성되어 정공을 주입하고, 전자 주입층(146, EIL) 상에 캐소드(147, cathode electrode)이 형성되어 전자를 주입한다.An anode electrode 141 and an anode electrode are formed under the hole injection layers 142 and HIL to inject holes, and a cathode 147 and a cathode electrode are formed on the electron injection layers 146 and EIL to inject electrons. do.

캐소드 전극(147)에서 발생된 전자 및 애노드 전극(141)에서 발생된 정공이 유기 발광층(144) 내부로 주입되면, 주입된 전자 및 정공이 결합하여 액시톤(exciton)이 생성된다. 생성된 액시톤이 여기 상태(excited state)에서 기저상태(ground state)로 떨어지면서 발광하고, 이러한 OLED(140)의 발광을 이용하여 화상을 표시하게 된다.When electrons generated from the cathode electrode 147 and holes generated from the anode electrode 141 are injected into the organic emission layer 144, the injected electrons and holes are combined to generate an exciton. The generated acytone emits light while falling from an excited state to a ground state, and displays an image using the emission of the OLED 140.

이러한, OLED(140)는 습기에 매우 취약한 특성을 가짐으로 외부와 밀봉되어야 한다. 따라서, 외부의 습기로부터 OLED(140)를 보호하기 위해서 멀티 보호막 구조로 OLED(140)를 덮는다.The OLED 140 has a very vulnerable property to moisture and must be sealed with the outside. Therefore, in order to protect the OLED 140 from external moisture, the OLED 140 is covered with a multi-protective film structure.

본 발명의 유기 발광 장치는 밴딩 특성과 OLED(140)의 신뢰성 및 수명을 향상시키기 위해서 멀티 보호막을 하이브리드 보호막(150) 및 무기 보호막(160)으로 구성하였고, 하이브리드 보호막(150) 및 무기 보호막(160)으로 OLED(140)를 수분 침투 및 외부 요인으로부터 보호한다.The organic light emitting device of the present invention is composed of a hybrid protective film 150 and an inorganic protective film 160, a hybrid protective film 150 and an inorganic protective film 160 in order to improve the bending characteristics and reliability and lifetime of the OLED 140. ) To protect the OLED 140 from moisture penetration and external factors.

하이브리드 보호막(150)은 복수의 레이어로 구성되어 있다. 하이브리드 보호막(150)은 실리콘(Si) 계열의 유기와 무기의 특성을 동시에 갖는 재료를 이용하여, 이중 구조로 막 구조로 형성된다.The hybrid protective layer 150 is composed of a plurality of layers. The hybrid passivation layer 150 is formed of a double layered film structure using a material having both organic and inorganic properties of silicon (Si).

여기서, 하이브리드 보호막(150)의 제1 막(152)과 제2 막(154)은 성분 함량을 상이하게 하여 이물의 보상 특성을 만족하면서 수분 침투 방지 특성도 만족시킨다.Here, the first film 152 and the second film 154 of the hybrid protective film 150 have different component contents to satisfy the compensation property of foreign matter while also satisfying the moisture penetration prevention property.

여기서, 하이브리드 보호막(150)의 제1 막(152)과 제2 막(154)은 재료의 성분 함량이 상이하게 이중 막 구조로 형성된 것으로, 하나의 챔버를 이용하여 연속으로 증착이 가능하다. 하이브리드 보호막(150)은 OLED(140)의 캐소드 전극 상부 또는 캡핑층(미도시) 상부에 형성되며, CVD 방식으로 3~5um의 두께로 형성된다.Here, the first film 152 and the second film 154 of the hybrid protective film 150 are formed of a double film structure having different material contents, and deposition can be continuously performed using one chamber. The hybrid passivation layer 150 is formed on the cathode electrode of the OLED 140 or on the capping layer (not shown), and is formed to a thickness of 3 to 5 μm by a CVD method.

무기 보호막(160)은 하이브리드 보호막(150)을 완전히 덮도록 형성되며, 알루미늄(Al), 실리콘(Si) 또는 지르코늄(Zr) 계열의 산화막을 원자층 박막 방식으로 50 nm 이하의 두께로 형성한다.The inorganic passivation layer 160 is formed to completely cover the hybrid passivation layer 150 and forms an aluminum (Al), silicon (Si), or zirconium (Zr) -based oxide film to a thickness of 50 nm or less in an atomic layer thin film method.

구체적으로, 하이브리드 보호막(150)은 SiOC 박막에서 산소(O)와 탄소(C)의 성분 함량이 상이한 2중 막 구조로 형성되어 있다. 하이브리드 보호막(150)의 제1 막(152)이 OLED(140)의 캐소드 전극 상에 형성되고, 제1 막(152) 상에 제2 막(154)이 형성된다.Specifically, the hybrid protective film 150 is formed of a double film structure in which the content of oxygen (O) and carbon (C) is different in the SiOC thin film. The first layer 152 of the hybrid passivation layer 150 is formed on the cathode electrode of the OLED 140, and the second layer 154 is formed on the first layer 152.

여기서, 하이브리드 보호막(150)의 하부 막인 제1 막(152)은 SiOx1Cy1 물질로, 1~4um 의 두께를 가지도록 형성된다.Here, the first layer 152, which is the lower layer of the hybrid protective layer 150, is a SiOx1Cy1 material and is formed to have a thickness of 1 to 4um.

그리고, 하이브리드 보호막(150)의 상부 막인 제2 막(154)는 SiOx2Cy2 물질로 1~4um 이하의 두께를 가지도록 형성된다.In addition, the second layer 154, which is the upper layer of the hybrid protective layer 150, is formed of SiOx2Cy2 material to have a thickness of 1 to 4 um or less.

이때, 제 1막과 제2막의 총 두께가 3~5um 내외가 되도록 형성된다. At this time, the total thickness of the first film and the second film is formed to be about 3 ~ 5um.

일 예로서, 하이브리드 보호막(150)의 하부 막인 제1 막(152)은 탄소(C)의 함량이 상부 막인 제2 막(154)보다 많게 형성된다. 즉, 하이브리드 보호막(150)의 제1 막(152)은 유기물에 가까운 성분의 물질로 형성되고, 제2 막(154)은 무기물에 가까운 성분의 물질로 형성될 수 있다.As an example, the first layer 152, which is the lower layer of the hybrid protective layer 150, is formed to have more carbon (C) than the second layer 154, which is the upper layer. That is, the first layer 152 of the hybrid protective layer 150 may be formed of a material close to the organic material, and the second layer 154 may be formed of a material close to the inorganic material.

다른 예로서, 하이브리드 보호막(150)의 상부 막인 제2 막(154)은 탄소(C)의 함량이 하부 막인 제1 막(152)보다 많게 형성된다. 즉, 하이브리드 보호막(150)의 제2 막(154)은 유기물에 가까운 성분의 물질로 형성되고, 제1 막(152)은 무기물에 가까운 성분의 물질로 형성될 수 있다.As another example, the second layer 154, which is the upper layer of the hybrid protective layer 150, is formed to have more carbon (C) than the first layer 152, which is the lower layer. That is, the second layer 154 of the hybrid protective layer 150 may be formed of a material close to the organic material, and the first layer 152 may be formed of a material close to the inorganic material.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치의 하이브리드 보호막(150)의 두께 및 수분 침투율(WVTR: Water Vapor Transmission Rate)을 종래 기술과 비교하여 하기의 표 1에 기재 하였다.The thickness and the water penetration rate (WVTR: Water Vapor Transmission Rate) of the hybrid protective layer 150 of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention are compared to those of the related art and are shown in Table 1 below.

표 1을 참조하면, 종래 기술에서는 유기막의 두께를 20um로 두껍게 형성하였으나, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광 장치의 하이브리드 보호막(150)은 3~5um의 두께로 형성할 수 있다.Referring to Table 1, in the prior art, the thickness of the organic film was formed to be 20 μm thick, but the hybrid protective film 150 of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention may be formed to a thickness of 3 to 5 μm.

Figure 112013110741686-pat00001
Figure 112013110741686-pat00001

도 5는 본 발명의 하이브리드 보호막을 적용하여 이물 보상이 이루어진 효과를 나타내는 도면이고, 도 6은 디스플레이 패널을 밴딩하더라도 표면에 크렉이 발생되지 않는 것을 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a view showing the effect of foreign matter compensation by applying the hybrid protective film of the present invention, and FIG. 6 is a view showing that cracking does not occur on the surface even when the display panel is bent.

도 5 및 도 6을 참조하면, 하이브리드 보호막(150) 형성하여 이물 보상이 이루어지도록 하고, 기존의 유기막을 대체한 하이브리드 보호막(150)을 3~5um의 두께로 형성하여 플렉서블 특성을 높일 수 있다.Referring to FIGS. 5 and 6, the hybrid protective film 150 may be formed to compensate for foreign matter, and the hybrid protective film 150 that replaces the existing organic film may be formed to a thickness of 3 to 5 μm to increase flexible characteristics.

도 6에 도시된 바와 같이, 하이브리드 보호막(150)이 3~5um의 두께로 얇게 형성되어 있기 때문에, 5R의 곡률 및 10R의 곡률로 디스플레이 패널을 밴딩하더라도 보호막의 표면에 크렉이 발생하지 않는 장점이 있다.As shown in FIG. 6, since the hybrid protective film 150 is formed to be thin with a thickness of 3 to 5 μm, even if the display panel is bent with a curvature of 5R and a curvature of 10R, there is an advantage that cracks do not occur on the surface of the protective film. have.

또한, 종래 기술의 이물 보상층인 유기막의 수분 침투율(WVTR)은 10이었으나, 하이브리드 보호막(150)을 적용하여 수분 침투율(WVTR)을 1.5로 낮출 수 있다. 즉, 멀티 보호막의 두게는 얇게 형성하면서 수분 침투율(WVTR)을 낮춰 플렉서블 특성 및 수분 침투 방지 성능을 모두 향상시킬 수 있다.In addition, the moisture permeability (WVTR) of the organic film, which is a foreign material compensation layer of the prior art, was 10, but the moisture permeability (WVTR) can be lowered to 1.5 by applying the hybrid protective film 150. That is, the thickness of the multi-protective film can be improved by reducing the moisture permeation rate (WVTR) while forming a thin layer.

본 발명이 속하는 기술분야의 당 업자는 상술한 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Those skilled in the art to which the present invention pertains will understand that the above-described present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical spirit or essential features. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and it should be interpreted that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts are included in the scope of the present invention. do.

110: 베이스 기판 120: TFT 어레이 레이어
130: 평탄화막 140: OLED
150: 하이브리드 보호막 152: 제1 막
154: 제2 막 160: 무기 보호막
170: 봉지 기판110: base substrate 120: TFT array layer
130: planarization film 140: OLED
150: hybrid protective film 152: first film
154: second act 160: weapon shield
170: sealing substrate

Claims (9)

기판 상의 복수의 픽셀에 형성된 OLED(Organic Light Emitting Diode);
상기 OLED를 덮도록 형성된 제1 막과 상기 제1 막을 덮도록 형성된 제2 막을 포함하는 하이브리드 보호막;
상기 하이브리드 보호막을 덮도록 형성된 무기 보호막; 및
상기 무기 보호막 상에 형성된 봉지 기판;을 포함하고,
상기 제1 막과 상기 제2 막은 SiOC 박막이되, 상기 제1 막의 산소(O)와 탄소(C)의 성분 비율과 상기 제2 막의 산소(O)와 탄소(C)의 성분 비율이 상이한 것을 특징으로 하는 유기 발광 장치.An organic light emitting diode (OLED) formed on a plurality of pixels on a substrate;
A hybrid protective film including a first film formed to cover the OLED and a second film formed to cover the first film;
An inorganic protective film formed to cover the hybrid protective film; And
Encapsulation substrate formed on the inorganic protective film; includes,
The first film and the second film are SiOC thin films, and the composition ratio of oxygen (O) and carbon (C) in the first film and the composition ratio of oxygen (O) and carbon (C) in the second film are different. Organic light emitting device characterized by. 제1 항에 있어서,
상기 무기 보호막은 알루미늄(Al), 실리콘(Si) 또는 지르코늄(Zr) 계열의 산화막으로 형성되고,
상기 무기 보호막은 50nm 이하의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 장치.According to claim 1,
The inorganic protective film is formed of an aluminum (Al), silicon (Si) or zirconium (Zr) -based oxide film,
The inorganic protective film is an organic light emitting device, characterized in that formed to a thickness of 50nm or less. 제1 항에 있어서,
상기 제1 막은 1~4um의 두께로 형성되고,
상기 제2 막은 1~4um 이하의 두께로 형성되며, 제1막과 제2막의 총 두께가 3~5um로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 장치.According to claim 1,
The first film is formed to a thickness of 1 ~ 4um,
The second film is formed to a thickness of 1 ~ 4um or less, the total thickness of the first film and the second film is an organic light emitting device, characterized in that formed in 3 ~ 5um. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 제1 막은 탄소의 함량이 상기 제2 막보다 많게 형성되며 제2막의 탄소 함량이 작게 형성되어, SiO2에 가깝게 형성 된 것을 특징으로 하는 유기 발광 장치.According to claim 1,
The first film is formed of more carbon content than the second film, the carbon content of the second film is formed smaller, the organic light emitting device, characterized in that formed close to SiO 2 . 제1 항에 있어서,
상기 제2 막은 탄소의 함량이 상기 제1 막보다 많게 형성되며 제1막의 탄소 함량이 작게 형성되어, SiO2에 가깝게 형성 된 것을 특징으로 하는 유기 발광 장치.According to claim 1,
The second film is formed of more carbon than the first film, the first film is formed of a small carbon content, characterized in that the organic light emitting device is formed close to SiO 2 . 제1 항에 있어서,
상기 제1 막은 유기막의 특성을 가지도록 형성되고,
상기 제2 막은 무기막의 특성을 가지도록 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 장치.According to claim 1,
The first film is formed to have the characteristics of an organic film,
The second film is an organic light emitting device, characterized in that formed to have the properties of an inorganic film. 제1 항에 있어서,
상기 제1 막은 무기막의 특성을 가지도록 형성되고,
상기 제2 막은 유기막의 특성을 가지도록 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 장치.According to claim 1,
The first film is formed to have the properties of an inorganic film,
The second film is an organic light emitting device, characterized in that formed to have the characteristics of the organic film. 제1 항에 있어서,
상기 하이브리드 보호막이 1.5[g/m2day] 이하의 수분 침투율을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 장치.According to claim 1,
An organic light emitting device, characterized in that the hybrid protective film has a moisture penetration rate of 1.5 [g / m 2 day] or less.
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