KR102037851B1

KR102037851B1 - Display device and fabricating method thereof

Info

Publication number: KR102037851B1
Application number: KR1020190068531A
Authority: KR
Inventors: 이재원; 박권식; 이득수; 이부열; 남승희; 김민주; 오재영; 이은혜
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2019-06-11
Filing date: 2019-06-11
Publication date: 2019-10-29
Also published as: KR20190071645A

Abstract

본 발명은 박형화 및 경량화가 가능한 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 표시 장치는 발광 소자를 덮도록 배치된 봉지부 상부에 나란하게 배치되는 터치 센싱 전극 및 터치 구동 전극과, 컬러 필터가 직접 배치됨으로써 별도의 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다.The present invention relates to a display device and a method of manufacturing the same, which can be reduced in thickness and light weight. The display device according to the present invention includes a touch sensing electrode and a touch driving electrode arranged side by side on an encapsulation part disposed to cover a light emitting element, and a color. Direct placement of the filter eliminates the need for a separate bonding process, simplifying the process and reducing costs.

Description

Display device and manufacturing method thereof {DISPLAY DEVICE AND FABRICATING METHOD THEREOF}

본 발명은 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 공정 단순화 및 비용을 절감할 수 있는 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a display device and a method of manufacturing the same, which can simplify the process and reduce the cost.

터치 스크린은 표시장치 등의 화면에 나타난 지시 내용을 사람의 손 또는 물체로 선택하여 사용자의 명령을 입력할 수 있도록 한 입력장치이다. 즉, 터치 스크린은 사람의 손 또는 물체에 직접 접촉된 접촉위치를 전기적 신호로 변환하며, 접촉위치에서 선택된 지시 내용이 입력신호로 받아들여진다. 이와 같은 터치 스크린은 키보드 및 마우스와 같이 표시장치에 연결되어 동작하는 별도의 입력장치를 대체할 수 있기 때문에 그 이용범위가 점차 확장되고 있는 추세이다.The touch screen is an input device for inputting a user's command by selecting instructions displayed on a screen such as a display device by a human hand or an object. That is, the touch screen converts a contact position in direct contact with a human hand or an object into an electrical signal, and the instruction selected at the contact position is received as an input signal. Since such a touch screen can replace a separate input device that is connected to a display device such as a keyboard and a mouse, its use range is gradually expanding.

이와 같은 터치 스크린은 일반적으로 액정 표시 패널 또는 유기 전계 발광 표시 패널과 같은 표시 패널의 전면에 접착제를 통해 부착되는 경우가 많다. 이 경우, 터치 스크린이 별도로 제작되어 표시 패널의 전면에 부착되므로, 부착 공정의 추가로 공정이 복잡해지며 비용이 상승하는 문제점이 있다.Such a touch screen is generally attached to the front surface of a display panel such as a liquid crystal display panel or an organic electroluminescent display panel through an adhesive. In this case, since the touch screen is manufactured separately and attached to the front surface of the display panel, there is a problem in that the process becomes complicated and the cost increases due to the addition of the attaching process.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 공정 단순화 및 비용을 절감할 수 있는 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, the present invention is to provide a display device and a method of manufacturing the same that can simplify the process and reduce the cost.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시 장치는 발광 소자를 덮도록 배치된 봉지부 상부에 나란하게 배치되는 터치 센싱 전극 및 터치 구동 전극과, 컬러 필터가 직접 배치됨으로써 별도의 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다.In order to achieve the above object, the display device according to the present invention does not require a separate bonding process by directly disposing a touch sensing electrode and a touch driving electrode disposed side by side on an encapsulation part covering the light emitting element, and a color filter. The process is simplified and the cost can be reduced.

본 발명에 따른 표시 장치는 봉지부 상에 터치 전극들이 직접 배치된다. 이에 따라, 접착제를 통해 터치 스크린이 유기 발광 표시 장치에 접착되는 종래 유기 발광 표시 장치에 비해 본원 발명은 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 표시 장치는 봉지부 상에 컬러 필터가 직접 배치된다. 이에 따라, 본원 발명은 합착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있으며, 폴더블(Foldable)이 용이해지며 고해상도 및 개구율이 높아진다. 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 표시 장치는 동일 평면 상에서 나란하게 배치되는 터치 센싱 전극 및 터치 구동 전극과, 라우팅 라인이 총 2마스크 공정으로 형성되므로 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다.In the display device according to the present invention, touch electrodes are directly disposed on an encapsulation portion. Accordingly, in the present invention, the adhesive process is unnecessary, compared to the conventional organic light emitting display device in which the touch screen is attached to the organic light emitting display device through the adhesive, thereby simplifying the process and reducing the cost. In the display device according to the present invention, the color filter is directly disposed on the encapsulation part. Accordingly, the present invention does not require the bonding process, the process is simplified, the cost can be reduced, the foldable is easy, and the high resolution and the aperture ratio are high. In addition, since the display device according to the present invention has a touch sensing electrode and a touch driving electrode arranged side by side on the same plane, and a routing line is formed in a total of two mask processes, the process can be simplified and the cost can be reduced.

도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1에서 선 "Ⅰ-Ⅰ'"와, "Ⅱ-Ⅱ'"를 따라 절취한 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 도 4에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 8은 본 발명에 따른 터치 센싱 전극 및 터치 구동 전극의 다른 실시예를 나타내는 평면도 및 단면도이다.
도 9a 및 도 9b는 도 8에서 선 "Ⅲ-Ⅲ'"를 따라 절취한 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view illustrating an OLED display having the touch sensor illustrated in FIG. 1.
FIG. 3 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display having a touch sensor taken along the line "I-I '" and "II-II'" in FIG. 1.
4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to a second embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to a third embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to a fourth embodiment of the present invention.
7A and 7B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the OLED display illustrated in FIG. 4.
8 is a plan view and a cross-sectional view showing another embodiment of the touch sensing electrode and the touch driving electrode according to the present invention.
9A and 9B are cross-sectional views illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor taken along a line “III-III ′” in FIG. 8.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 사시도 및 평면도이다.1 and 2 are a perspective view and a plan view of an organic light emitting display device having a touch sensor according to the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 터치 기간 동안 터치 전극들(152,154)을 통해 사용자의 터치에 의한 상호 정전 용량(mutual capacitance)(Cm)의 변화량 감지하여 터치 유무 및 터치 위치를 센싱한다. 그리고, 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 표시 기간 동안 발광 소자(120)를 포함하는 단위 화소를 통해 영상을 표시한다. 단위 화소는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 서브 화소(PXL)로 구성되거나, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 서브 화소(PXL)로 구성된다.The organic light emitting display device having the touch sensor illustrated in FIGS. 1 and 2 senses the amount of change in mutual capacitance Cm due to the user's touch through the touch electrodes 152 and 154 during the touch period, Sensing the touch position. The organic light emitting diode display having the touch sensor displays an image through a unit pixel including the light emitting element 120 during the display period. The unit pixel is composed of red (R), green (G), and blue (B) subpixels (PXL), or red (R), green (G), blue (B), and white (W) subpixels (PXL). It consists of.

이를 위해, 도 1에 도시된 유기 발광 표시 장치는 기판(111) 상에 매트릭스 형태로 배열된 다수의 서브 화소들(PXL)과, 다수의 서브 화소들(PXL) 상에 배치된 봉지부(140)와, 봉지부(140) 상부에 배치된 상호 정전 용량(Cm) 및 컬러 필터(192)를 구비한다.To this end, the organic light emitting diode display illustrated in FIG. 1 includes a plurality of subpixels PXL arranged in a matrix form on the substrate 111 and an encapsulation unit 140 disposed on the plurality of subpixels PXL. ) And the mutual capacitance Cm and the color filter 192 disposed on the encapsulation unit 140.

다수의 서브 화소들(PXL) 각각은 화소 구동 회로와, 화소 구동 회로와 접속되는 발광 소자(120)를 구비한다.Each of the plurality of sub pixels PXL includes a pixel driving circuit and a light emitting element 120 connected to the pixel driving circuit.

화소 구동 회로는 스위칭 트랜지터(T1), 구동 트랜지스터(T2) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 구비한다.The pixel driving circuit includes a switching transistor T1, a driving transistor T2, and a storage capacitor Cst.

스위칭 트랜지스터(T1)는 스캔 라인(SL)에 스캔 펄스가 공급되면 턴-온되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 스토리지 캐패시터(Cst) 및 구동 트랜지스터(T2)의 게이트 전극으로 공급한다.When the scan pulse is supplied to the scan line SL, the switching transistor T1 is turned on to supply the data signal supplied to the data line DL to the storage capacitor Cst and the gate electrode of the driving transistor T2.

구동 트랜지스터(T2)는 그 구동 트랜지스터(T2)의 게이트 전극에 공급되는 데이터 신호에 응답하여 고전위 전원(VDD) 라인으로부터 발광 소자(120)로 공급되는 전류(I)을 제어함으로써 발광 소자(120)의 발광량을 조절하게 된다. 그리고, 스위칭 트랜지스터(T1)가 턴-오프되더라도 스토리지 캐패시터(Cst)에 충전된 전압에 의해 구동 트랜지스터(T2)는 다음 프레임의 데이터 신호가 공급될 때까지 일정한 전류(I)를 공급하여 발광 소자(120)가 발광을 유지하게 한다.The driving transistor T2 controls the current I supplied from the high potential power supply line VDD to the light emitting element 120 in response to a data signal supplied to the gate electrode of the driving transistor T2 to emit light from the light emitting element 120. ) The amount of light emitted. In addition, even when the switching transistor T1 is turned off, the driving transistor T2 supplies a constant current I until the data signal of the next frame is supplied by the voltage charged in the storage capacitor Cst to emit light. 120 keeps luminescence.

이러한 구동 박막트랜지스터(T2,130)는 도 3에 도시된 바와 같이 게이트 전극(132)과, 게이트 절연막(112)을 사이에 두고 게이트 전극(132)과 중첩되는 반도체층(134)과, 보호막(114) 상에 형성되어 반도체층(134)과 접촉하는 소스 및 드레인 전극(136,138)을 구비한다.As illustrated in FIG. 3, the driving thin film transistors T2 and 130 may include a gate electrode 132, a semiconductor layer 134 overlapping the gate electrode 132 with the gate insulating layer 112 interposed therebetween, and a protective film ( And source and drain electrodes 136 and 138 formed on and in contact with the semiconductor layer 134.

발광 소자(120)는 애노드 전극(122)과, 애노드 전극(122) 상에 형성되는 적어도 하나의 발광 스택(124)과, 발광 스택(124) 위에 형성된 캐소드 전극(126)을 구비한다.The light emitting device 120 includes an anode electrode 122, at least one light emitting stack 124 formed on the anode electrode 122, and a cathode electrode 126 formed on the light emitting stack 124.

애노드 전극(122)은 평탄화막(116)을 관통하는 화소 컨택홀을 통해 노출된 구동 박막트랜지스터(130)의 드레인 전극(138)과 전기적으로 접속된다. 발광 스택(124)은 뱅크(128)에 의해 마련된 발광 영역의 애노드 전극(122) 상에 형성된다. 적어도 하나의 발광 스택(124) 각각은 정공 관련층, 유기 발광층, 전자 관련층 순으로 또는 역순으로 적층되어 형성되며, 컬러 필터(192)에 입사되는 백색광을 생성한다. 예를 들어, 발광 스택(124)은 전하 생성층을 사이에 두고 대향하는 제1 및 제2 발광 스택들을 구비한다. 이 경우, 제1 및 제2 발광 스택 중 어느 하나의 발광층은 청색광을 생성하고, 제1 및 제2 발광 스택 중 나머지 하나의 발광층은 노란색-녹색광을 생성함으로써 제1 및 제2 발광 스택을 통해 백색광이 생성된다. 캐소드 전극(126)은 발광 스택(124)을 사이에 두고 애노드 전극(122)과 대향하도록 형성된다.The anode electrode 122 is electrically connected to the drain electrode 138 of the driving thin film transistor 130 exposed through the pixel contact hole penetrating the planarization layer 116. The light emitting stack 124 is formed on the anode electrode 122 of the light emitting region provided by the bank 128. Each of the at least one light emitting stack 124 is formed by stacking the hole related layer, the organic light emitting layer, and the electron related layer in the reverse order or in the reverse order, and generates white light incident on the color filter 192. For example, the light emitting stack 124 has opposing first and second light emitting stacks with a charge generation layer therebetween. In this case, the light emitting layer of one of the first and second light emitting stacks generates blue light, and the other light emitting layer of the first and second light emitting stacks generates yellow-green light, thereby producing white light through the first and second light emitting stacks. Is generated. The cathode electrode 126 is formed to face the anode electrode 122 with the light emitting stack 124 therebetween.

봉지부(140)는 외부의 수분이나 산소에 취약한 발광 소자(120)로 외부의 수분이나 산소가 침투되는 것을 차단한다. 이를 위해, 봉지부(140)는 다수의 무기 봉지층들(142,146)과, 다수의 무기 봉지층들(142,146) 사이에 배치되는 유기 봉지층(144)을 구비하며, 무기 봉지층(146)이 최상층에 배치되도록 한다. 이 때, 봉지부(140)는 적어도 2층의 무기 봉지층(142,146)과 적어도 1층의 유기 봉지층(144)을 구비한다. 본 발명에서는 제1 및 제2 무기 봉지층들(142,146) 사이에 유기 봉지층(144)이 배치되는 봉지부(140)의 구조를 예로 들어 설명하기로 한다.The encapsulation unit 140 prevents external moisture or oxygen from penetrating into the light emitting device 120 which is vulnerable to external moisture or oxygen. To this end, the encapsulation unit 140 includes a plurality of inorganic encapsulation layers 142 and 146 and an organic encapsulation layer 144 disposed between the plurality of inorganic encapsulation layers 142 and 146. Be placed on the top floor. At this time, the encapsulation unit 140 includes at least two inorganic encapsulation layers 142 and 146 and at least one organic encapsulation layer 144. In the present invention, the structure of the encapsulation unit 140 in which the organic encapsulation layer 144 is disposed between the first and second inorganic encapsulation layers 142 and 146 will be described as an example.

제1 무기 봉지층(142)는 발광 소자(120)와 가장 인접하도록 캐소드 전극(126)이 형성된 기판(101) 상에 형성된다. 이러한 제1 무기 봉지층(142)은 질화실리콘(SiNx), 산화 실리콘(SiOx), 산화질화실리콘(SiON) 또는 산화 알루미늄(Al2O3)과 같은 저온 증착이 가능한 무기 절연 재질로 형성된다. 이에 따라, 제1 무기 봉지층(142)이 저온 분위기에서 증착되므로, 제1 무기 봉지층(142)의 증착 공정시 고온 분위기에 취약한 발광 스택(124)의 유기 발광층이 손상되는 것을 방지할 수 있다.The first inorganic encapsulation layer 142 is formed on the substrate 101 on which the cathode electrode 126 is formed to be closest to the light emitting device 120. The first inorganic encapsulation layer 142 is formed of an inorganic insulating material capable of low temperature deposition such as silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiOx), silicon oxynitride (SiON), or aluminum oxide (Al2O3). Accordingly, since the first inorganic encapsulation layer 142 is deposited in a low temperature atmosphere, the organic light emitting layer of the light emitting stack 124 vulnerable to high temperature atmosphere during the deposition process of the first inorganic encapsulation layer 142 may be prevented from being damaged. .

유기 봉지층(144)은 유기 발광 표시 장치의 휘어짐에 따른 각 층들 간의 응력을 완화시키는 완충역할을 하며, 평탄화 성능을 강화한다. 이 유기 봉지층(144)은 아크릴 수지, 에폭시 수지, 폴리이미드, 폴리에틸렌 또는 실리콘옥시카본(SiOC)과 같은 유기 절연 재질로 형성된다.The organic encapsulation layer 144 serves as a buffer for alleviating stress between layers due to the bending of the organic light emitting diode display, and enhances planarization performance. The organic encapsulation layer 144 is formed of an organic insulating material such as acrylic resin, epoxy resin, polyimide, polyethylene, or silicon oxycarbon (SiOC).

제 2 무기 봉지층(146)는 유기 봉지층(144)이 형성된 기판(111) 상에 유기 봉지층(144) 및 제1 무기 봉지층(142) 각각의 상부면 및 측면을 덮도록 형성된다. 이에 따라, 제2 무기 봉지층(146)은 외부의 수분이나 산소가 제1 무기 봉지층(142) 및 유기 봉지층(144)으로 침투하는 것을 최소화하거나 차단한다. 이러한 제2 무기 봉지층(146)은 질화실리콘(SiNx), 산화 실리콘(SiOx), 산화질화실리콘(SiON) 또는 산화 알루미늄(Al2O3)과 같은 무기 절연 재질로 형성된다.The second inorganic encapsulation layer 146 is formed on the substrate 111 on which the organic encapsulation layer 144 is formed so as to cover upper and side surfaces of each of the organic encapsulation layer 144 and the first inorganic encapsulation layer 142. Accordingly, the second inorganic encapsulation layer 146 minimizes or blocks external moisture or oxygen from penetrating into the first inorganic encapsulation layer 142 and the organic encapsulation layer 144. The second inorganic encapsulation layer 146 is formed of an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiOx), silicon oxynitride (SiON), or aluminum oxide (Al2O3).

이러한 봉지부(140) 상에는 컬러 필터(192) 및 터치 센서(Cm)가 배치된다.The color filter 192 and the touch sensor Cm are disposed on the encapsulation unit 140.

컬러 필터(192)는 뱅크(128)에 의해 마련된 발광 영역과 중첩되도록 봉지부(140) 상에 직접 배치된다. 이에 따라, 발광 소자(120)에서 생성된 백색광이 컬러 필터(192)를 통해 출사됨으로써 컬러 영상을 구현할 수 있다. 한편, 컬러 필터(192)는 고온에 취약한 발광 스택(124)을 보호하기 위해 저온(약 100도이하)으로 제조될 수 있는 재질로 형성된다.The color filter 192 is disposed directly on the encapsulation unit 140 so as to overlap the light emitting area provided by the bank 128. Accordingly, the white light generated by the light emitting device 120 is emitted through the color filter 192 to implement a color image. On the other hand, the color filter 192 is formed of a material that can be manufactured at a low temperature (about 100 degrees or less) to protect the light emitting stack 124 vulnerable to high temperature.

이러한 컬러 필터(192)는 발광 소자(120)를 덮도록 형성된 봉지부(140) 상에 직접 배치된다. 이 경우, 컬러 필터(192) 및 발광 소자(120)가 동일 기판(111) 상에 배치되므로 본원 발명은 별도의 합착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다. 반면에 종래 유기 발광 표시 장치는 컬러 필터(192) 및 발광 소자(120)가 서로 다른 기판 상에 배치되므로, 컬러 필터(192)가 형성된 기판과 발광 소자(120)가 형성된 기판을 합착하는 합착 공정이 필요해 공정이 복잡하고 비용이 상승하는 문제점이 있다.The color filter 192 is disposed directly on the encapsulation unit 140 formed to cover the light emitting device 120. In this case, since the color filter 192 and the light emitting element 120 are disposed on the same substrate 111, the present invention does not require a separate bonding process, thereby simplifying the process and reducing the cost. On the other hand, in the conventional organic light emitting diode display, since the color filter 192 and the light emitting device 120 are disposed on different substrates, a bonding process of bonding the substrate on which the color filter 192 is formed and the substrate on which the light emitting device 120 is formed are bonded. This requires a complicated process and an increase in cost.

또한, 봉지부(140) 상에 컬러 필터(192)가 직접 배치된 본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 컬러 필터(192)가 형성된 별도의 기판 없이 발광 소자(120)가 형성된 기판만이 구비되므로 설계 자유도가 높아지고, 폴더블(Foldable)이 용이해진다. 뿐만 아니라, 본원 발명은 합착제가 불필요하므로 합착 얼라인 공차 및 합착제 두께만큼의 공간이 확보되어 해상도 및 개구율이 높아진다.In addition, the organic light emitting diode display having the touch sensor according to the present invention, in which the color filter 192 is directly disposed on the encapsulation unit 140, has a substrate on which the light emitting device 120 is formed without a separate substrate on which the color filter 192 is formed. Since only the design degree is provided, design freedom becomes high and foldable becomes easy. In addition, the present invention does not require a binder, thereby ensuring a space equal to the tolerance of the adhesion and the thickness of the binder, thereby increasing the resolution and the aperture ratio.

이와 같이 본원 발명의 컬러 필터들(192) 사이에는 블랙매트릭스(194)가 배치되어 각 서브 화소 영역을 구분함과 아울러 인접한 서브 화소 영역 간의 광간섭 및 빛샘을 방지한다. 이 때, 블랙매트릭스(194)는 서브 화소 영역들 사이의 뱅크(128)와 중첩되도록 형성된다. 이러한 블랙매트릭스(194)는 고저항의 블랙 절연 재질로 형성되거나, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 컬러 필터(192) 중 적어도 2색의 컬러 필터가 적층되어 형성된다.As described above, a black matrix 194 is disposed between the color filters 192 of the present invention to distinguish each sub pixel area and to prevent light interference and light leakage between adjacent sub pixel areas. In this case, the black matrix 194 is formed to overlap the bank 128 between the sub pixel regions. The black matrix 194 may be formed of a high resistance black insulating material, or may be formed by stacking at least two color filters among the red (R), green (G), and blue (B) color filters 192.

컬러 필터들(192) 및 블랙매트릭스(194)가 형성된 기판(111) 상에 나란하게 형성된 터치 센싱 전극(152) 및 터치 구동 전극(154)을 포함하는 터치 센서(Cm)가 배치된다. 예를 들어, 터치 센싱 전극(152) 및 터치 구동 전극(154)은 동일 평면인 컬러 필터(192) 상에서 나란하게 배치된다.A touch sensor Cm including a touch sensing electrode 152 and a touch driving electrode 154 formed side by side on the substrate 111 on which the color filters 192 and the black matrix 194 are formed is disposed. For example, the touch sensing electrode 152 and the touch driving electrode 154 are disposed side by side on the color filter 192 which is coplanar.

다수의 터치 센싱 전극(152)들은 컬러 필터(192) 및 블랙매트릭스(194) 상에서 또는 컬러 필터(192) 상에서 소정 방향을 따라 일정한 간격으로 이격된다.The plurality of touch sensing electrodes 152 are spaced at regular intervals along a predetermined direction on the color filter 192 and the black matrix 194 or on the color filter 192.

다수의 터치 구동 전극(154)들은 컬러 필터(192) 및 블랙매트릭스(194) 상에서 또는 컬러 필터(192) 상에서 터치 센싱 전극(152)과 나란한 방향을 따라 일정한 간격으로 이격된다. 이 때, 다수의 터치 구동 전극(154) 각각의 면적은 다수의 터치 센싱 전극(152) 각각의 면적보다 작게 형성된다. 이에 따라, 하나의 터치 센싱 전극(152)은 N(여기서, N은 1보다 큰 자연수) 개의 터치 구동 전극(154)과 대응된다.The plurality of touch driving electrodes 154 are spaced at regular intervals along the direction parallel to the touch sensing electrode 152 on the color filter 192 and the black matrix 194 or on the color filter 192. In this case, an area of each of the plurality of touch driving electrodes 154 is smaller than an area of each of the plurality of touch sensing electrodes 152. Accordingly, one touch sensing electrode 152 corresponds to N touch driving electrodes 154 (where N is a natural number greater than 1).

이러한 터치 센싱 전극(152)과 터치 구동 전극(154) 사이에는 상호 정전 용량(mutual capacitance)(Cm)이 형성된다. 이에 따라, 상호 정전 용량(Cm)은 터치 구동 전극(154)에 공급되는 터치 구동 펄스에 의해 전하를 충전하고, 충전된 전하를 터치 센싱 전극(152)으로 방전함으로써 터치 센서의 역할을 하게 된다.Mutual capacitance Cm is formed between the touch sensing electrode 152 and the touch driving electrode 154. Accordingly, the mutual capacitance Cm serves as a touch sensor by charging a charge by a touch driving pulse supplied to the touch driving electrode 154 and discharging the charged charge to the touch sensing electrode 152.

한편, 본 발명의 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각은 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 사이에 배치되는 다수의 라우팅 라인(180)과 터치 패드(170)를 통해 터치 구동부(도시하지 않음)와 연결된다.Meanwhile, each of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 of the present invention is a plurality of routing lines 180 and the touch pad 170 disposed between the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152. It is connected to the touch driver (not shown) through.

이에 따라, 라우팅 라인(180)은 터치 구동부에서 생성된 터치 구동 펄스를 터치 패드(170)를 통해 터치 구동 전극(154)에 전송하고, 터치 센싱 전극(152)으로부터의 터치 신호를 터치 패드(170)에 전송한다. 이를 위해, 라우팅 라인(180)은 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각과 터치 패드(170) 사이를 연결하도록 배치되며, 별도의 컨택홀없이 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각과 전기적으로 연결된다.Accordingly, the routing line 180 transmits the touch driving pulse generated by the touch driver to the touch driving electrode 154 through the touch pad 170, and transmits the touch signal from the touch sensing electrode 152 to the touch pad 170. To send). To this end, the routing line 180 is arranged to connect between each of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 and the touch pad 170, and the touch driving electrode 154 and the touch sensing without a separate contact hole. It is electrically connected to each of the electrodes 152.

라우팅 라인(180)은 Al, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강하고 전도성이 좋은 제1 도전층을 이용하여 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 예를 들어, 라우팅 라인은 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다. 이외에도 라우팅 라인(180)은 도 3에 도시된 바와 같이 제1 및 제2 라우팅층(182,184)이 적층된 구조로 형성된다. 제1 라우팅층(182)은 Al, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강하고 전도성이 좋은 제1 도전층으로 형성되고, 제2 라우팅층(184)은 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)과 동일 재질인 내식성 및 내산성이 강한 ITO 또는 IZO와 같은 제2 도전층으로 형성된다.The routing line 180 is formed in a single layer or a multilayer structure by using a first conductive layer having high corrosion resistance and acid resistance and good conductivity such as Al, Ti, Cu, and Mo. For example, the routing lines are formed in a stacked three-layer structure such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo. In addition, the routing line 180 is formed in a structure in which the first and second routing layers 182 and 184 are stacked as illustrated in FIG. 3. The first routing layer 182 is formed of a first conductive layer having high corrosion resistance, acid resistance, and conductivity such as Al, Ti, Cu, and Mo, and the second routing layer 184 is a touch driving electrode 154 and touch sensing. The electrode 152 is formed of a second conductive layer, such as ITO or IZO, which has the same material as corrosion and acid resistance.

터치 패드(170)은 패드 전극(172)과, 그 패드 전극(172) 상에 패드 전극(172)을 덮도록 배치된 패드 커버 전극(174)으로 이루어진다.The touch pad 170 includes a pad electrode 172 and a pad cover electrode 174 disposed to cover the pad electrode 172 on the pad electrode 172.

패드 전극(172)은 라우팅 라인(180)으로부터 신장되어 형성됨으로써 라우팅 라인(180)의 제1 라우팅층(182)과 동일 재질로 형성된다. 패드 커버 전극(174)은 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)과 동일 재질인 내식성 및 내산성이 강한 ITO 또는 IZO와 같은 제2 도전층으로 형성된다. 이러한 패드 커버 전극(174)은 터치 배리어 필름(176)에 의해 노출되도록 형성됨으로써 터치 구동부가 실장된 신호 전송 필름과 접속된다. 여기서, 터치 배리어 필름(176)은 터치 센싱 전극(152) 및 터치 구동 전극(154)과 컬러 필터(192)를 덮도록 형성되어 터치 센싱 전극(152) 및 터치 구동 전극(154)뿐만 아니라 발광 소자(120)가 외부의 수분 등에 의해 손상되는 것을 방지한다. 이러한 터치 배리어 필름(176)은 유기 절연 필름 상에 무기 절연막이 도포된 형태로 형성된다. 터치 배리어 필름(176) 상에는 원편광판 또는 휘도 향상 필름(OTF; Oled Transmittance Controllable Film)과 같은 광학 필름(178)이 배치될 수도 있다.The pad electrode 172 extends from the routing line 180 and is formed of the same material as the first routing layer 182 of the routing line 180. The pad cover electrode 174 is formed of a second conductive layer such as ITO or IZO having high corrosion resistance and acid resistance, which are the same materials as the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152. The pad cover electrode 174 is formed to be exposed by the touch barrier film 176 to be connected to the signal transmission film on which the touch driver is mounted. Here, the touch barrier film 176 is formed to cover the touch sensing electrode 152, the touch driving electrode 154, and the color filter 192, so that not only the touch sensing electrode 152 and the touch driving electrode 154 but also the light emitting device. The 120 is prevented from being damaged by external moisture or the like. The touch barrier film 176 is formed in a form in which an inorganic insulating film is coated on the organic insulating film. On the touch barrier film 176, an optical film 178, such as a circularly polarizing plate or an brightness enhancement film (OTF), may be disposed.

이와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 상에 터치 센싱 전극(152) 및 터치 구동 전극(154) 이 직접 배치된다. 이에 따라, 접착제를 통해 터치 스크린이 유기 발광 표시 장치에 접착되는 종래 유기 발광 표시 장치에 비해 본원 발명은 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 상에 컬러 필터(192)가 직접 배치된다. 이에 따라, 본원 발명은 합착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있으며, 폴더블(Foldable)이 용이해지며 고해상도 및 개구율이 높아진다.As described above, in the organic light emitting diode display having the touch sensor according to the first exemplary embodiment, the touch sensing electrode 152 and the touch driving electrode 154 are directly disposed on the encapsulation unit 140. Accordingly, in the present invention, the adhesive process is unnecessary, compared to the conventional organic light emitting display device in which the touch screen is attached to the organic light emitting display device through the adhesive, thereby simplifying the process and reducing the cost. In the organic light emitting diode display having the touch sensor according to the present invention, the color filter 192 is disposed directly on the encapsulation unit 140. Accordingly, the present invention does not require the bonding process, the process is simplified, the cost can be reduced, the foldable is easy, and the high resolution and the aperture ratio are high.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to a second embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 도 3에 도시된 유기 발광 표시 장치와 대비하여 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)이 동일 평면인 터치 버퍼막(166) 상에 배치되는 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.In the organic light emitting diode display having the touch sensor illustrated in FIG. 4, the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 are disposed on the same touch buffer layer 166 as compared to the organic light emitting diode display illustrated in FIG. 3. It has the same components except that it is disposed in. Accordingly, detailed description of the same components will be omitted.

터치 버퍼막(166)은 컬러 필터(192) 및 블랙매트릭스(194)를 덮도록 이들 상에 형성되며, 터치 버퍼막(166) 상에 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)과 라우팅 라인(180)이 형성된다. 이 때, 터치 버퍼막(166)은 약 500Å~5㎛형성되어 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각과, 캐소드 전극(126) 사이의 이격 거리가 최소 5㎛를 유지하도록 한다. 이에 따라, 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각과, 캐소드 전극(126) 사이에 형성되는 기생커패시터의 용량값을 최소화할 수 있어 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각과, 캐소드 전극(126) 간의 커플링(coupling)에 의한 상호 영향을 방지할 수 있다. 한편, 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각과, 캐소드 전극(126) 사이의 이격 거리가 5㎛미만인 경우, 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각과, 캐소드 전극(126) 간의 커플링(coupling)에 의한 상호 영향으로 터치 성능이 저하된다.The touch buffer layer 166 is formed on the color filter 192 and the black matrix 194, and is routed with the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 on the touch buffer layer 166. Line 180 is formed. In this case, the touch buffer layer 166 is formed to have a thickness of about 500 μm to 5 μm so that the separation distance between each of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 and the cathode electrode 126 is maintained at least 5 μm. . Accordingly, capacitance values of the parasitic capacitor formed between each of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 and the cathode electrode 126 can be minimized, so that the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 can be minimized. ) And mutual influence due to coupling between the cathode electrode 126 and the cathode 126 can be prevented. Meanwhile, when the separation distance between each of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 and the cathode electrode 126 is less than 5 μm, each of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 and the cathode Touch performance is deteriorated due to mutual influence by the coupling between the electrodes 126.

또한, 터치 버퍼막(166)은 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)의 제조 공정시 이용되는 약액(현상액 또는 식각액 등등) 또는 외부로부터의 수분 등이 발광 스택(124)으로 침투되는 것을 차단할 수 있다. 이에 따라, 약액 또는 수분에 취약한 발광 스택(124)은 터치 버퍼막(166)에 의해 보호되므로 발광 스택(124)의 손상을 방지할 수 있다.In addition, the touch buffer layer 166 may penetrate into the light emitting stack 124 such as chemical liquids (development or etching liquid) used in the manufacturing process of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 or moisture from the outside. Can be blocked. Accordingly, since the light emitting stack 124 vulnerable to chemical liquids or moisture is protected by the touch buffer layer 166, damage to the light emitting stack 124 may be prevented.

이러한 터치 버퍼막(166)은 고온에 취약한 발광 스택(124)의 손상을 방지하기 위해 100도(℃) 이하의 저온에서 형성 가능하고 1~3의 저유전율을 가지는 유기 절연 재질로 형성된다. 예를 들어, 터치 버퍼막(166)은 아크릴 계열, 에폭시 계열 또는 실록산(Siloxan) 계열의 재질로 형성된다. 유기 절연 재질로 평탄화 성능을 가지는 터치 버퍼막(166)은 유기 발광 표시 장치의 휘어짐에 따른 봉지부(140) 내의 각 봉지층(142,144,146)의 손상 및 터치 버퍼막(166) 상에 형성되는 터치 센싱 전극(152) 및 터치 구동 전극(154)의 깨짐 현상을 방지할 수 있다.The touch buffer layer 166 may be formed of an organic insulating material having a low dielectric constant of 1 to 3 and capable of forming at a low temperature of 100 ° C. or less in order to prevent damage to the light emitting stack 124 which is vulnerable to high temperature. For example, the touch buffer layer 166 may be formed of an acrylic, epoxy or siloxane based material. The touch buffer layer 166 having the planarization performance of the organic insulating material may be damaged on each of the encapsulation layers 142, 144, and 146 in the encapsulation unit 140 due to the bending of the organic light emitting diode display, and is formed on the touch buffer layer 166. Cracking of the electrode 152 and the touch driving electrode 154 may be prevented.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 상부에 터치 센싱 및 구동 전극들(152,154)이 직접 배치된다. 이에 따라, 접착제를 통해 터치 스크린이 유기 발광 표시 장치에 접착되는 종래 유기 발광 표시 장치에 비해 본원 발명은 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 상에 컬러 필터(192)가 직접 배치된다. 이에 따라, 본원 발명은 합착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있으며, 폴더블(Foldable)이 용이해지며 고해상도 및 개구율이 높아진다. 뿐만 아니라, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)이 동일 평면인 터치 버퍼막(166) 상에 배치됨으로써 터치 버퍼막(166)을 통해 발광 스택(124)의 손상을 방지할 수 있음과 아울러 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)각각과 캐소드 전극(126) 사이에 형성되는 기생 커패시터의 용량값을 줄일 수 있다.As such, in the OLED display having the touch sensor according to the second exemplary embodiment, the touch sensing and driving electrodes 152 and 154 are directly disposed on the encapsulation unit 140. Accordingly, in the present invention, the adhesive process is unnecessary, compared to the conventional organic light emitting display device in which the touch screen is attached to the organic light emitting display device through the adhesive, thereby simplifying the process and reducing the cost. In the organic light emitting diode display having the touch sensor according to the present invention, the color filter 192 is disposed directly on the encapsulation unit 140. Accordingly, the present invention does not require the bonding process, the process is simplified, the cost can be reduced, the foldable is easy, and the high resolution and the aperture ratio are high. In addition, in the organic light emitting diode display having the touch sensor according to the second embodiment of the present invention, the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 are disposed on the same touch buffer layer 166 as the touch buffer. The film 166 may prevent the light emitting stack 124 from being damaged, and the capacitance value of the parasitic capacitor formed between the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 and the cathode electrode 126 may be adjusted. Can be reduced.

도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to a third embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 유기 발광 표시 장치는 도 4에 도시된 유기 발광 표시 장치와 대비하여 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)이 동일 평면인 봉지부(140)의 최상층인 제2 무기 봉지층(146) 상에서 나란하게 배치되고, 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 상에 컬러 필터(192)가 배치되는 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The organic light emitting diode display illustrated in FIG. 5 has a second inorganic structure in which the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 are the uppermost layers of the encapsulation unit 140 having the same plane as the organic light emitting diode display illustrated in FIG. 4. They are disposed side by side on the encapsulation layer 146 and have the same components except that the color filter 192 is disposed on the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152. Accordingly, detailed description of the same components will be omitted.

도 5에 도시된 컬러 필터(192) 및 블랙매트릭스(194)는 터치 센서를 덮도록 배치된다. 즉, 터치 센서에 포함된 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)은 컬러 필터(192)와 봉지부(140) 사이에 배치된다. 이 때, 터치 센서(Cm)보다 상부에 위치하는 컬러 필터(192) 및 블랙매트릭스(194)는 유기 발광 표시 장치의 외부로부터 내부로 입사되는 외부광을 흡수한다. 즉, 터치 센서(Cm), 발광 소자(120) 및 박막트랜지스터(130) 각각에 포함된 반사율이 높은 금속으로 형성된 도전층(예를 들어, 브릿지(152b,154b), 애노드 전극(122), 게이트 전극(132), 소스 및 드레인 전극(136,138))에 의해 외부광이 반사되는 것을 방지할 수 있어 외부광에 의해 시인성이 저하되는 것을 방지한다. 이에 따라, 도 5에 도시된 유기 발광 표시 장치는 별도의 원편광판 없이도 외부광에 의해 시인성이 저하되는 것을 방지할 수 있으므로, 원편광판의 제거로 비용을 절감할 수 있다.The color filter 192 and the black matrix 194 illustrated in FIG. 5 are disposed to cover the touch sensor. That is, the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 included in the touch sensor are disposed between the color filter 192 and the encapsulation unit 140. In this case, the color filter 192 and the black matrix 194 positioned above the touch sensor Cm absorb external light incident from the outside of the organic light emitting diode display. That is, conductive layers (eg, bridges 152b and 154b, anode electrodes 122, and gates) formed of metal having high reflectance included in each of the touch sensor Cm, the light emitting device 120, and the thin film transistor 130. External light can be prevented from being reflected by the electrodes 132, the source and drain electrodes 136 and 138, thereby preventing visibility from being degraded by the external light. Accordingly, the organic light emitting diode display illustrated in FIG. 5 can prevent the visibility from being degraded by external light without a separate circularly polarizing plate, thereby reducing costs by removing the circularly polarizing plate.

또한, 컬러 필터(192) 및 블랙매트릭스(194)가 형성된 기판(111) 상에 터치 버퍼막(166)이 형성된다. 터치 버퍼막(166)은 아크릴 수지, 에폭시 수지, 폴리이미드, 폴리에틸렌 또는 실리콘옥시카본(SiOC)과 같은 유기 절연 재질로 형성된다. 이러한 유기 절연 재질로 형성된 터치 버퍼막(166)에 의해 컬러 필터(192) 및 블랙매트릭스(194)가 형성된 기판(111)이 평탄화되므로, 터치 버퍼막(166) 상에 부착되는 배리어 필름(176) 및 광학 필름(178)의 접착력이 향상된다.In addition, the touch buffer layer 166 is formed on the substrate 111 on which the color filter 192 and the black matrix 194 are formed. The touch buffer layer 166 is formed of an organic insulating material such as acrylic resin, epoxy resin, polyimide, polyethylene, or silicon oxycarbon (SiOC). Since the substrate 111 on which the color filter 192 and the black matrix 194 are formed is planarized by the touch buffer layer 166 formed of the organic insulating material, the barrier film 176 attached to the touch buffer layer 166. And adhesion of the optical film 178 is improved.

이와 같이, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 상에 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)이 직접 배치된다. 이에 따라, 접착제를 통해 터치 스크린이 유기 발광 표시 장치에 접착되는 종래 유기 발광 표시 장치에 비해 본원 발명은 접착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 봉지부(140) 상에 컬러 필터(192)가 직접 배치된다. 이에 따라, 본원 발명은 합착 공정이 불필요해져 공정이 단순화되며 비용을 저감할 수 있으며, 폴더블(Foldable)이 용이해지며 고해상도 및 개구율이 높아진다. 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치는 발광 소자(120) 및 터치 센서(Cm)를 덮도록 배치되는 컬러 필터(192) 및 블랙매트릭스(194)를 통해 외부광을 흡수하므로, 외부광에 의해 시인성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.As described above, in the OLED display having the touch sensor according to the third exemplary embodiment, the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 are directly disposed on the encapsulation unit 140. Accordingly, in the present invention, the adhesive process is unnecessary, compared to the conventional organic light emitting display device in which the touch screen is attached to the organic light emitting display device through the adhesive, thereby simplifying the process and reducing the cost. In the organic light emitting diode display having the touch sensor according to the present invention, the color filter 192 is disposed directly on the encapsulation unit 140. Accordingly, the present invention does not require the bonding process, the process is simplified, the cost can be reduced, the foldable is easy, and the high resolution and the aperture ratio are high. In addition, the organic light emitting diode display having the touch sensor according to the present invention absorbs external light through the color filter 192 and the black matrix 194 disposed to cover the light emitting device 120 and the touch sensor Cm. It can prevent that visibility falls by external light.

도 6은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device having a touch sensor according to a fourth embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 유기 발광 표시 장치는 도 5에 도시된 유기 발광 표시 장치와 대비하여 터치 배리어 필름(176)을 생략하고 배리어 박막층(160)을 구비하는 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The organic light emitting diode display illustrated in FIG. 6 has the same components as the organic light emitting diode display illustrated in FIG. 5, except that the touch barrier film 176 is omitted and the barrier thin film layer 160 is provided. Accordingly, detailed description of the same components will be omitted.

배리어 박막층(160)은 봉지부(140)의 최상층과, 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 사이에 형성되거나, 발광 소자(120) 및 봉지부(140)의 최하층 사이에 형성된다. 예를 들어, 배리어 박막층(160)은 캐소드 전극(126)과 봉지부(140)의 최하층에 위치하는 제1 무기 봉지층(142) 사이에 형성된다. 이 배리어 박막층(160)은 원자층 증착 (Atomic Layer Deposition; ALD) 방식으로 형성되는 무기물층, 질화실리콘(SiNx), 산화 실리콘(SiOx), 산화질화실리콘(SiON) 또는 산화 알루미늄(Al2O3)과 같은 저온 증착이 가능한 무기 절연 재질로 형성된다. 이에 따라, 배리어 박막층(160)은 외부의 수분이나 산소에 취약한 발광 소자(120)로 외부의 수분이나 산소가 침투되는 것을 차단함으로써 별도의 터치 배리어 필름을 생략할 수 있다. 또한, 배리어 박막층(160)이 저온 증착 공정을 통해 형성되므로, 고온 분위기에 취약한 발광 스택(124)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.The barrier thin film layer 160 is formed between the uppermost layer of the encapsulation unit 140 and the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152, or is formed between the light emitting element 120 and the lower layer of the encapsulation unit 140. . For example, the barrier thin film layer 160 is formed between the cathode electrode 126 and the first inorganic encapsulation layer 142 positioned at the lowermost layer of the encapsulation portion 140. The barrier thin film layer 160 may be formed of an inorganic layer formed by atomic layer deposition (ALD), such as silicon nitride (SiNx), silicon oxide (SiOx), silicon oxynitride (SiON), or aluminum oxide (Al2O3). It is formed of an inorganic insulating material capable of low temperature deposition. Accordingly, the barrier thin film layer 160 may omit a separate touch barrier film by blocking external moisture or oxygen from penetrating into the light emitting device 120 that is vulnerable to external moisture or oxygen. In addition, since the barrier thin film layer 160 is formed through a low temperature deposition process, the light emitting stack 124 vulnerable to a high temperature atmosphere may be prevented from being damaged.

도 7a 내지 도 7b는 본 발명의 제1 내지 제4 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 터치 센서의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 여기서, 도 4에 도시된 본 발명의 제2 실시 예의 구조를 예로 들어 설명하기로 한다.7A to 7B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a touch sensor of an organic light emitting diode display according to the first to fourth embodiments of the present invention. Here, the structure of the second embodiment of the present invention shown in FIG. 4 will be described as an example.

도 7a를 참조하면, 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터(130), 발광 소자(120), 봉지부(140), 블랙매트릭스(194), 컬러 필터(192) 및 터치 버퍼막(166)이 형성된 기판(111) 상에 라우팅 라인의 제1 라우팅층(182) 및 패드 전극(172)이 형성된다.Referring to FIG. 7A, a substrate 111 on which a switching transistor, a driving transistor 130, a light emitting device 120, an encapsulation unit 140, a black matrix 194, a color filter 192, and a touch buffer layer 166 are formed. ), A first routing layer 182 and a pad electrode 172 of the routing line are formed.

구체적으로, 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터, 발광 소자(120), 봉지부(140), 블랙매트릭스(194), 컬러 필터(192) 및 터치 버퍼막(166)이 형성된 기판(111) 상에 제1 도전층이 스퍼터링을 이용한 증착 공정을 통해 상온에서 전면 증착된 후, 제1 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 제1 도전층이 패터닝됨으로써 라우팅 라인의 제1 라우팅층(182)과 패드 전극(172)이 형성된다. 여기서, 제1 도전층은 Al, Ti, Cu, Mo와 같은 내식성 및 내산성이 강한 금속을 이용하여 단층 또는 다층 구조로 형성된다. 예를 들어, 제1 도전층은 Ti/Al/Ti 또는 Mo/Al/Mo와 같이 적층된 3층 구조로 형성된다.Specifically, the first conductive layer is formed on the substrate 111 on which the switching transistor, the driving transistor, the light emitting device 120, the encapsulation unit 140, the black matrix 194, the color filter 192, and the touch buffer layer 166 are formed. After the layer is entirely deposited at room temperature through a deposition process using sputtering, the first conductive layer is patterned by a photolithography process and an etching process using a first mask, thereby forming the first routing layer 182 and the pad electrode 172 of the routing line. ) Is formed. Here, the first conductive layer is formed in a single layer or a multilayer structure using a metal having strong corrosion resistance and acid resistance such as Al, Ti, Cu, and Mo. For example, the first conductive layer is formed of a stacked three-layer structure such as Ti / Al / Ti or Mo / Al / Mo.

도 7b를 참조하면, 라우팅 라인의 제1 라우팅층(182) 및 패드 전극(172)이 형성된 기판(111) 상에 터치 구동 전극(154), 터치 센싱 전극(152), 라우팅 라인의 제2 라우팅층(184) 및 패드 커버 전극(174)이 형성된다.Referring to FIG. 7B, the touch driving electrode 154, the touch sensing electrode 152, and the second routing of the routing line are formed on the substrate 111 on which the first routing layer 182 and the pad electrode 172 of the routing line are formed. Layer 184 and pad cover electrode 174 are formed.

구체적으로, 라우팅 라인의 제1 라우팅층(182) 및 패드 전극(172)이 형성된 기판(111) 상에 제2 도전층이 전면 증착된다. 여기서, 제2 도전층으로 ITO 또는 IZO와 같은 투명 도전층이 이용되는 경우, 투명 도전층은 상온에서 스퍼터링 등과 같은 증착 방법으로 상온으로 형성된다. 그런 다음, 제2 도전층이 제2 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 패터닝됨으로써 터치 구동 전극(154), 터치 센싱 전극(152), 라우팅 라인의 제2 라우팅층(184) 및 패드 커버 전극(174)이 형성된다. 그런 다음, 터치 구동 전극(154), 터치 센싱 전극(152), 라우팅 라인의 제2 라우팅층(184) 및 패드 커버 전극(174)이 형성된 기판(111) 상에 터치 배리어 필름(176) 및 광학 필름(178)이 부착된다.Specifically, a second conductive layer is entirely deposited on the substrate 111 on which the first routing layer 182 and the pad electrode 172 of the routing line are formed. Here, when a transparent conductive layer such as ITO or IZO is used as the second conductive layer, the transparent conductive layer is formed at room temperature by a deposition method such as sputtering at room temperature. Then, the second conductive layer is patterned by a photolithography process and an etching process using a second mask, so that the touch driving electrode 154, the touch sensing electrode 152, the second routing layer 184 of the routing line, and the pad cover electrode are formed. 174 is formed. Then, the touch barrier film 176 and the optical on the substrate 111 on which the touch driving electrode 154, the touch sensing electrode 152, the second routing layer 184 of the routing line, and the pad cover electrode 174 are formed. Film 178 is attached.

도 8은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치를 나타내는 평면도 및 단면도이다.8 is a plan view and a cross-sectional view of an organic light emitting diode display having a touch sensor according to a fifth embodiment of the present invention.

도 8에 도시된 유기 발광 표시 장치는 도 3 내지 도 6에 도시된 유기 발광 표시 장치와 대비하여 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)의 구성이 달라지는 것을 제외하고는 동일한 구성요소를 구비한다. 이에 따라, 동일한 구성요소에 대한 상세한 설명은 설명하기로 한다.The organic light emitting diode display illustrated in FIG. 8 has the same components as the organic light emitting diode display illustrated in FIGS. 3 to 6 except that the configuration of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 is different. Equipped. Accordingly, detailed description of the same components will be described.

도 8에 도시된 바와 같이, 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)은 메쉬 형태로 형성될 수도 있다. 즉, 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)은 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이 투명 도전막(153)과, 그 투명 도전막(153)의 상부 또는 하부에 메쉬 형태로 형성된 메쉬 금속막(151)으로 이루어진다. 메쉬 금속막(151)은 라우팅 라인(180)의 제1 라우팅층(182)과 동일 재질로 제1 라우팅층(182)과 동일 마스크 공정으로 형성된다. 이에 따라, 메쉬 금속막(151)으로 인해 제조 공정이 복잡해지고 비용이 상승하는 것을 방지할 수 있다.As shown in FIG. 8, the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 may be formed in a mesh form. That is, the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 are formed in a mesh form on the transparent conductive film 153 and the upper or lower portion of the transparent conductive film 153 as shown in FIGS. 9A and 9B. It is made of a mesh metal film 151. The mesh metal layer 151 is formed of the same material as the first routing layer 182 of the routing line 180 by the same mask process as the first routing layer 182. Accordingly, the mesh metal film 151 can prevent the manufacturing process from becoming complicated and increasing the cost.

이외에도 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152)은 투명 도전막(153)없이 메쉬 금속막(151)으로만 이루어지거나, 메쉬 금속막(151) 없이 투명 도전막(153)이 메쉬 형태로 형성될 수도 있다. 여기서, 메쉬 금속막(151)은 투명 도전막(153)보다 전도성이 좋아 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각을 저저항 전극으로 형성할 수 있다. 특히, 고온에 취약한 발광 스택(124)을 보호하기 위해 투명 도전막(153)을 저온(약 100도이하)에서 형성하는 경우, 투명 도전막(153)이 고투명 및 저저항 특성을 얻기 어렵다. 이 경우, 전도성이 좋은 메쉬 금속막(151)을 통해 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 각각의 저항 특성을 낮추면서 투명 도전막(153)의 두께를 얇게 형성하여 투과율을 증가시킬 수 있다.In addition, the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 may be made of only the mesh metal layer 151 without the transparent conductive layer 153, or the transparent conductive layer 153 may be formed in a mesh form without the mesh metal layer 151. It may be formed. Here, the mesh metal film 151 is more conductive than the transparent conductive film 153, so that each of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 may be formed as a low resistance electrode. In particular, when the transparent conductive film 153 is formed at a low temperature (about 100 degrees or less) to protect the light emitting stack 124 that is vulnerable to high temperature, the transparent conductive film 153 is difficult to obtain high transparency and low resistance characteristics. In this case, the thickness of the transparent conductive film 153 may be reduced by increasing the transmittance by lowering the resistance characteristics of each of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 through the highly conductive mesh metal film 151. Can be.

이에 따라, 터치 구동 전극(154) 및 터치 센싱 전극(152) 자체의 저항과 커패시턴스 감소되어 RC 시정수가 감소되어 터치 감도를 향상시킬 수 있다. 또한, 메쉬 금속막(151)의 선폭이 매우 얇아 메쉬 금속막(151)으로 인해 개구율 및 투과율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the resistance and capacitance of the touch driving electrode 154 and the touch sensing electrode 152 itself may be reduced to reduce the RC time constant, thereby improving touch sensitivity. In addition, since the line width of the mesh metal film 151 is very thin, it is possible to prevent the opening ratio and the transmittance from being lowered due to the mesh metal film 151.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시 예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the present invention, and various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the specification of the present invention are not intended to limit the present invention. The scope of the present invention should be construed by the claims below, and all techniques within the scope equivalent thereto will be construed as being included in the scope of the present invention.

142,144 : 무기 봉지층 146 : 유기 봉지층
152 : 터치 센싱 전극 154 : 터치 구동 전극
192 : 컬러 필터 194 : 블랙매트릭스142,144: inorganic encapsulation layer 146: organic encapsulation layer
152: touch sensing electrode 154: touch driving electrode
192: color filter 194: black matrix

Claims

A light emitting element disposed on the substrate;
A sealing unit disposed on the light emitting element;
A touch sensor disposed on the encapsulation unit and including a plurality of touch electrodes;
And at least one routing line disposed between the touch electrodes and disposed along a side surface of the encapsulation unit.

The method of claim 1,
The plurality of touch electrodes includes a plurality of touch sensing electrodes and a plurality of touch driving electrodes disposed on the same plane.

The method of claim 2,
And at least one of the plurality of touch sensing electrodes and at least one of the plurality of touch driving electrodes are different from each other.

The method of claim 2,
The at least one routing line is disposed between the touch sensing electrode and the touch driving electrode.

The method of claim 1,
And a touch pad connected to the routing line.

The method of claim 5,
The touch pad is disposed on any one of a plurality of insulating layers disposed under the light emitting element.

The method of claim 1,
The encapsulation unit includes at least two inorganic encapsulation layers and an organic encapsulation layer disposed between the inorganic encapsulation layers,
The routing line is disposed along a side of the inorganic encapsulation layer covering a side of the organic encapsulation layer.

The method of claim 1,
And a touch buffer layer on the encapsulation unit.

The method of claim 8,
The routing line is disposed along the side of the touch buffer layer on the touch buffer layer.

The method of claim 2,
At least one of the touch sensing electrode and the touch driving electrode has an opening.

The method of claim 10,
And a plurality of openings.

The method of claim 2,
At least one of the touch sensing electrode, the touch driving electrode, and the routing line has a structure in which a plurality of conductive layers are stacked.

The method of claim 12,
At least one layer of the plurality of conductive films has a multilayer structure.

The method of claim 12,
At least one of the plurality of conductive films includes Al, Ti, Cu, Mo, ITO or IZO, and has a multilayer structure.

The method of claim 1,
And a bank overlapping the routing line and providing a light emitting region of the light emitting device.

The method of claim 15,
A black matrix overlapping the bank;
And a color filter disposed between the black matrices.

The method of claim 16,
The touch electrodes are disposed above or below the color filter.

The method of claim 1,
The routing line is
A first routing line disposed along a side of the encapsulation unit;
And a second routing line disposed along the first routing line.

The method of claim 18,
One of the first and second routing lines extends from the touch electrodes.

The method of claim 1,
And the substrate is flexible.

A light emitting element disposed on the substrate;
A sealing unit disposed on the light emitting element;
A color filter disposed on the encapsulation unit;
A touch sensor disposed on the encapsulation unit and including a plurality of touch electrodes;
And at least one routing line disposed between the touch electrodes and disposed along a side surface of the encapsulation unit.

The method of claim 21,
The plurality of touch electrodes includes a plurality of touch sensing electrodes and a plurality of touch driving electrodes disposed on the same plane.

The method of claim 22,
A display device of at least one of the plurality of touch sensing electrodes and at least one of the plurality of touch driving electrodes are different from each other.

The method of claim 22,
The at least one routing line is disposed between the touch sensing electrode and the touch driving electrode.

The method of claim 21,
And a touch pad connected to the routing line.

The method of claim 21,
And a touch buffer layer on the encapsulation unit.

The method of claim 26,
The routing line is disposed along the side of the touch buffer layer on the touch buffer layer.

The method of claim 22,
At least one of the touch sensing electrode and the touch driving electrode has a mesh shape.

The method of claim 22,
At least one of the touch sensing electrode, the touch driving electrode, and the routing line has a structure in which a plurality of conductive layers are stacked.

The method of claim 29,
At least one layer of the plurality of conductive films has a multilayer structure.

The method of claim 29,
At least one layer of the plurality of conductive films includes Al, Ti, Cu, Mo, ITO or IZO, and has a multilayer structure.

The method of claim 21,
And a bank overlapping the routing line and providing a light emitting region of the light emitting device.

The method of claim 32,
And a black matrix overlapping the bank and disposed between the color filters.

The method of claim 21,
The touch electrodes are disposed above or below the color filter.

The method of claim 21,
The routing line is
A first routing line disposed along a side of the encapsulation unit;
And a second routing line disposed along the first routing line.

Forming a light emitting element disposed on the substrate;
Forming an encapsulation unit disposed on the light emitting element;
Forming a touch sensor disposed on the encapsulation unit, the touch sensor including a plurality of touch electrodes, and at least one routing line disposed between the touch electrodes and disposed along a side surface of the encapsulation unit. Manufacturing method.

The method of claim 36,
The forming of the plurality of touch electrodes includes forming the touch sensing electrode and the touch driving electrode on the same plane.

The method of claim 37,
The forming of the routing line may include forming at least one between the touch sensing electrode and the touch driving electrode.

The method of claim 36,
And forming a touch pad connected to the routing line.

The method of claim 39,
The touch pad may be disposed on any one of a plurality of insulating layers disposed under the light emitting element.

The method of claim 36,
And forming a touch buffer layer on the encapsulation unit.

42. The method of claim 41 wherein
And the routing line is disposed along the side of the touch buffer layer on the touch buffer layer.

The method of claim 37,
At least one of the touch sensing electrode, the touch driving electrode, and the routing line has a structure in which a plurality of conductive layers are stacked.

The method of claim 43,
At least one layer of the plurality of conductive films includes Al, Ti, Cu, Mo, ITO, or IZO.

The method of claim 36,
And forming a bank overlapping the routing line and providing a light emitting region of the light emitting device.

The method of claim 45,
Forming a black matrix overlapping the bank;
And forming a color filter disposed between the black matrices.

The method of claim 46,
The forming of the touch electrodes includes forming the upper or lower portion of the color filter.

The method of claim 36,
Forming the routing line is
Forming a first routing line disposed along a side of the encapsulation unit;
Forming a second routing line disposed along the first routing line.

49. The method of claim 48 wherein
Any one of the first and second routing lines extends from the touch electrodes.

The method of claim 36,
The substrate is a method of manufacturing a display device having flexibility.