KR101935939B1

KR101935939B1 - Apparatus for treating substrate

Info

Publication number: KR101935939B1
Application number: KR1020170056392A
Authority: KR
Inventors: 김대성
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2017-05-02
Filing date: 2017-05-02
Publication date: 2019-01-08
Also published as: KR20180122520A

Abstract

본 발명의 실시예는 기판을 액 처리하는 장치 및 방법을 제공한다. 기판 처리 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛, 상기 기판 지지 유닛의 둘레를 감싸며, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 공급된 처리액을 회수하는 처리 용기, 상기 처리 용기를 세정하도록 상기 처리 용기에 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛, 그리고 상기 세정액의 토출 방향을 안내하는 안내 유로를 제공하는 가이드를 포함하되, 상기 처리 용기는 환형의 링 형상으로 제공되며, 세정액이 토출되는 토출홀이 형성되는 외측컵 및 상기 외측컵의 내측에 위치되며, 상기 외측컵과 조합되어 액이 회수되는 회수 경로를 형성하는 내측컵을 포함하고, 상기 가이드는 상기 안내 유로가 상기 토출홀로부터 연장되도록 상기 처리 용기에 결합된다. 이로 인해 세정액의 토출 방향을 외측컵의 내측면으로 안내할 수 있다.An embodiment of the present invention provides an apparatus and a method for liquid-treating a substrate. The substrate processing apparatus includes a substrate supporting unit for supporting a substrate, a processing liquid supply unit for supplying a processing liquid onto a substrate supported by the substrate supporting unit, a substrate holding unit for holding a substrate on a substrate supported on the substrate supporting unit, A cleaning liquid supply unit for supplying a cleaning liquid to the processing container to clean the processing container and a guide for providing a guide path for guiding the discharge direction of the cleaning liquid, The container is provided in the shape of an annular ring and includes an outer cup formed with discharge holes through which the cleaning liquid is discharged and an inner cup positioned inside the outer cup and forming a recovery path in combination with the outer cup to recover the liquid And the guide is coupled to the processing container so that the guide passage extends from the discharge hole. Whereby the discharge direction of the cleaning liquid can be guided to the inner side surface of the outer cup.

Description

[0001] Apparatus for treating substrate [0002]

본 발명은 기판을 액 처리하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for liquid-treating a substrate.

반도체 소자를 제조하기 위해서는 세정, 증착, 사진, 식각, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 이러한 공정들 중 사진 공정은 도포, 노광, 그리고 현상 단계를 순차적으로 수행한다. 도포 공정은 기판의 표면에 포토 레지스트와 같은 감광액을 도포하는 공정이다. 노광 공정은 감광막이 형성된 기판 상에 회로 패턴을 노광하는 공정이다. 현상 공정에는 기판의 노광 처리된 영역을 선택적으로 현상하는 공정이다. Various processes such as cleaning, deposition, photolithography, etching, and ion implantation are performed to manufacture semiconductor devices. Among these processes, the photolithography process sequentially performs the application, exposure, and development steps. The application step is a step of applying a photosensitive liquid such as a photoresist to the surface of the substrate. The exposure process is a process for exposing a circuit pattern on a substrate having a photosensitive film formed thereon. The developing step is a step of selectively developing the exposed region of the substrate.

일반적으로 감광액은 기판 상에 막을 형성하기 위한 액으로서, 높은 점성을 가지며, 경화될 경우 제거가 어렵다. 이로 인해 감광액이 회수되는 회수 경로에는 다량의 감광액이 부착되며, 이를 세정하기 위한 세정액이 공급된다.In general, a photosensitive liquid is a liquid for forming a film on a substrate, has a high viscosity, and is difficult to remove when cured. Accordingly, a large amount of the photosensitive liquid is adhered to the recovery path where the photosensitive liquid is recovered, and a cleaning liquid for cleaning the photosensitive liquid is supplied.

감광액의 회수 경로는 기판을 둘러싼 처리 용기에 의해 형성된다. 도 1은 처리 용기의 일부를 보여주는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 처리 용기는 외측컵(6) 및 내측컵(4)을 포함한다. 외측컵(6) 및 내측컵(4)은 각각 환형의 링 형상을 가지며, 내측컵(4)은 외측컵(6)의 내측에 위치된다. 외측컵(6)과 내측컵(4)의 사이 공간은 회수 경로로 기능한다. The recovery path of the photosensitive liquid is formed by the processing vessel surrounding the substrate. 1 is a cross-sectional view showing a part of a processing container. Referring to Fig. 1, the processing vessel includes an outer cup 6 and an inner cup 4. The outer cup 6 and the inner cup 4 each have an annular ring shape and the inner cup 4 is located inside the outer cup 6. [ The space between the outer cup 6 and the inner cup 4 functions as a recovery path.

외측컵(6)은 몸체(6) 및 커버(8)를 포함한다. 몸체(6)는 경사부(6a) 및 수직부(6b)를 가진다. 경사부(6a)는 그 내측면이 아래로 갈수록 기판(W)으로부터 멀어지게 하향 경사지고, 수직부(6b)는 경사부(6a)의 하단으로부터 수직한 아래로 연장된다. 커버(8)는 몸체(6)의 상면에 결합된다. 몸체(6)와 커버(8)의 사이 공간은 세정액이 공급되는 공급 유로로 기능한다. 커버(8)는 몸체(6)에 비해 작은 내경을 가지며, 그 내측 영역이 몸체(6)의 상단보다 낮게 위치된다. 이에 따라 세정액은 경사부(6a)의 내측면을 타고 흘러, 내측면에 부착된 감광액을 세정한다.The outer cup (6) includes a body (6) and a cover (8). The body 6 has an inclined portion 6a and a vertical portion 6b. The inclined portion 6a is inclined downward away from the substrate W as its inner surface is lowered and the vertical portion 6b extends vertically downward from the lower end of the inclined portion 6a. The cover 8 is coupled to the upper surface of the body 6. The space between the body (6) and the cover (8) functions as a supply flow path through which the cleaning liquid is supplied. The cover 8 has a smaller inner diameter than the body 6 and its inner area is located lower than the upper end of the body 6. [ Thus, the cleaning liquid flows along the inner surface of the inclined portion 6a to clean the photosensitive liquid attached to the inner surface.

그러나 커버(8)와 몸체(6) 간에 유격 또는 제조 불량에 의해 세정액은 경사부(6a)의 내측면으로 공급되지 않고, 수직 낙하된다. However, due to clearances or manufacturing defects between the cover 8 and the body 6, the cleaning liquid is not supplied to the inner surface of the inclined portion 6a but falls vertically.

도포 공정에는 기판(W) 상에 균일한 두께를 가지는 액막이 요구된다. 이에 따라 기판(W)의 중심 위치에 감광액을 공급하고, 그 기판(W)을 회전시킨다. 기판(W)의 중심에 공급된 감광액은 원심력에 의해 기판(W)의 중심에서 가장자리로 확산된다. A liquid film having a uniform thickness on the substrate W is required in the coating process. The photosensitive liquid is supplied to the center position of the substrate W, and the substrate W is rotated. The photosensitive liquid supplied to the center of the substrate W is diffused from the center to the edge of the substrate W by the centrifugal force.

일본 공개 특허 특개 제2011-86826호Japanese Laid-Open Patent Application No. 2011-86826

본 발명은 회수 경로에 부착된 감광액을 세정 처리할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다. An object of the present invention is to provide an apparatus and a method for cleaning a photoresist attached to a recovery path.

또한 본 발명은 하향 경사진 회수 경로를 세정 처리할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.It is another object of the present invention to provide an apparatus and method for cleaning a downwardly inclined recovery path.

또한 본 발명은 회수 경로에 공급되는 세정액의 토출 방향을 안내할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.The present invention also provides an apparatus and method for guiding the discharge direction of a cleaning liquid supplied to a recovery path.

본 발명의 실시예는 기판을 액 처리하는 장치를 제공한다. An embodiment of the present invention provides an apparatus for liquid-treating a substrate.

기판 처리 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 처리액 공급 유닛, 상기 기판 지지 유닛의 둘레를 감싸며, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 공급된 처리액을 회수하는 처리 용기, 상기 처리 용기를 세정하도록 상기 처리 용기에 세정액을 공급하는 세정액 공급 유닛, 그리고 상기 세정액의 토출 방향을 안내하는 안내 유로를 제공하는 가이드를 포함하되, 상기 처리 용기는 환형의 링 형상으로 제공되며, 세정액이 토출되는 토출홀이 형성되는 외측컵 및 상기 외측컵의 내측에 위치되며, 상기 외측컵과 조합되어 액이 회수되는 회수 경로를 형성하는 내측컵을 포함하고, 상기 가이드는 상기 안내 유로가 상기 토출홀로부터 연장되도록 상기 처리 용기에 결합된다. The substrate processing apparatus includes a substrate supporting unit for supporting a substrate, a processing liquid supply unit for supplying a processing liquid onto a substrate supported by the substrate supporting unit, a substrate holding unit for holding a substrate on a substrate supported on the substrate supporting unit, A cleaning liquid supply unit for supplying a cleaning liquid to the processing container to clean the processing container and a guide for providing a guide path for guiding the discharge direction of the cleaning liquid, The container is provided in the shape of an annular ring and includes an outer cup formed with discharge holes through which the cleaning liquid is discharged and an inner cup positioned inside the outer cup and forming a recovery path in combination with the outer cup to recover the liquid And the guide is coupled to the processing container so that the guide passage extends from the discharge hole.

상기 외측컵은 내측면이 상기 기판 지지 유닛으로부터 멀어지는 방향을 따라 하향 경사진 경사부를 가지는 몸체 및 상기 경사부의 상면에 결합되며, 상기 경사부의 상단보다 좁은 내경을 가지는 커버를 더 포함하되, 상기 경사부와 상기 커버 간 사이 공간은 세정액이 공급되는 공급 유로로 제공되고, 상기 공급 유로는 상기 토출홀과 연통될 수 있다. Wherein the outer cup further includes a body having an inclined portion whose inner side is inclined downwardly in a direction away from the substrate supporting unit and a cover which is coupled to an upper surface of the inclined portion and has an inner diameter narrower than an upper end of the inclined portion, And the space between the covers is provided with a supply passage through which the cleaning liquid is supplied, and the supply passage can communicate with the discharge hole.

상기 안내 유로는 상기 가이드 및 상기 경사부의 내측면에 의해 형성될 수 있다. 상기 가이드는 상기 커버에 탈착 가능할 수 있다. 세정액이 공급되는 방향에 따라 상기 안내 유로의 폭은 동일하게 제공될 수 있다. 세정액이 공급되는 방향에 따라 상기 안내 유로의 폭은 좁아질 수 있다. 상기 가이드는 상기 커버에 결합되는 호 형상의 제1바디 및 상기 제1바디와 독립되도록 상기 커버에 결합되며, 상기 제1바디와 조합되어 환형의 링 형상을 가지는 제2바디를 포함할 수 있다. The guide passage may be formed by the guide and the inner surface of the inclined portion. The guide may be detachable to the cover. The width of the guide passage may be provided in the same manner depending on the direction in which the cleaning liquid is supplied. The width of the guide passage may be narrowed in accordance with the direction in which the cleaning liquid is supplied. The guide may include an arc-shaped first body coupled to the cover, and a second body coupled to the cover to be independent of the first body and having an annular ring shape in combination with the first body.

상기 경사부의 상면에는 상기 경사부의 원주 방향을 따라 형성되는 제1홈이 제공될 수 있다. 상기 경사부의 상면에는 상기 경사부의 원주 방향을 따라 상기 제1홈으로부터 아래로 연장되는 제2홈이 더 형성되되, 상부에서 바라볼 때 상기 제2홈은 상기 제1홈의 내측단보다 외측단에 더 가깝게 형성될 수 있다. 상기 경사부의 상면에는 상기 경사부의 원주 방향을 따라 형성되는 제2홈이 더 제공되되, 상기 제1홈 및 상기 제2홈은 서로 독립되게 위치되고, 상기 제1홈 및 상기 제2홈은 서로 상이한 깊이를 가질 수 있다. 상부에서 바라볼 때 상기 제1홈은 상기 제2홈을 감싸도록 형성되고, 상기 제1홈은 상기 제2홈에 비해 더 깊은 깊이를 가질 수 있다. The upper surface of the inclined portion may be provided with a first groove formed along the circumferential direction of the inclined portion. A second groove extending downward from the first groove along the circumferential direction of the inclined portion is formed on the upper surface of the inclined portion, and the second groove is formed on the outer edge of the first groove, Can be formed closer. A second groove is formed on an upper surface of the inclined portion along a circumferential direction of the inclined portion, the first groove and the second groove are positioned separately from each other, and the first groove and the second groove are different from each other You can have depth. The first groove may be formed to surround the second groove when viewed from above, and the first groove may have a deeper depth than the second groove.

상기 장치는 처리액 공급 유닛 및 세정액 공급 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하고, 상기 세정액 공급 유닛은 밸브가 설치되며, 상기 제1홈에 세정액을 공급하는 세정액 공급 라인을 포함하되, 상기 제어기는 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액이 공급되는 중에서 상기 밸브를 개방할 수 있다. 상기 장치는 처리액 공급 유닛 및 세정액 공급 유닛을 제어하는 제어기를 더 포함하고, 상기 세정액 공급 유닛은 밸브가 설치되며, 상기 제1홈에 세정액을 공급하는 세정액 공급 라인을 포함하되, 상기 제어기는 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액의 공급이 중지되는 상태에서 상기 밸브를 개방할 수 있다. Wherein the apparatus further comprises a controller for controlling the process liquid supply unit and the rinse solution supply unit, wherein the rinse solution supply unit includes a rinse solution supply line for supplying a rinse solution to the first groove, the valve being provided, The valve can be opened while the treatment liquid is being supplied onto the substrate supported by the substrate supporting unit. Wherein the apparatus further comprises a controller for controlling the process liquid supply unit and the rinse solution supply unit, wherein the rinse solution supply unit includes a rinse solution supply line for supplying a rinse solution to the first groove, the valve being provided, The valve can be opened with the supply of the processing liquid stopped on the substrate supported by the substrate supporting unit.

본 발명의 실시예에 의하면, 가이드는 하향 경사진 외측컵의 내측면과 조합되어 토출홀과 연장된 안내 유로를 형성한다. 이로 인해 세정액의 토출 방향을 외측컵의 내측면으로 안내할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, the guide is combined with the inner surface of the downwardly inclined outer cup to form the discharge hole and the extended guide passage. Whereby the discharge direction of the cleaning liquid can be guided to the inner side surface of the outer cup.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 가이드를 탈착하여 세정액의 공급 방향에 대한 안내 유로의 폭을 조절 가능하고, 이를 통해 세정액의 토출압을 조절 가능하다.Further, according to the embodiment of the present invention, the width of the guide passage with respect to the supply direction of the cleaning liquid can be adjusted by detaching the guide, and the discharge pressure of the cleaning liquid can be adjusted through the guide.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 가이드는 서로 조합되어 환형의 링 형상을 가지는 호 형상의 바디들을 포함한다. 이로 인해 가이드의 안내부가 외측컵의 내측면에 마주하도록 하향 경사지게 제공될지라도, 걸림없이 외측컵에 결합이 가능하다.According to an embodiment of the present invention, the guides include arc-shaped bodies having an annular ring shape in combination with each other. This allows the guide to be coupled to the outer cup without being hooked, even if the guide portion of the guide is provided with a downward inclination facing the inner side of the outer cup.

도 1은 처리 용기의 일부를 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 처리 설비의 평면도이다.
도 3은 도 2의 설비를 A-A 방향에서 바라본 단면도이다.
도 4는 도 2의 설비를 B-B 방향에서 바라본 단면도이다.
도 5는 도 2의 설비를 C-C 방향에서 바라본 단면도이다.
도 6은 도 2의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 6의 처리 용기를 확대해 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 7의 몸체를 보여주는 절단 사시도이다.
도 9는 도 6의 가이드를 보여주는 평면도이다.
도 10은 도7 의 커버에 설치되는 다양한 형상의 가이드를 보여주는 단면도이다.
도 11은 도7 의 커버에 대한 상대 위치가 조절된 가이드를 보여주는 단면도이다.
도 12는 도 7의 제1홈 및 제2홈의 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a part of a processing container.
2 is a plan view of a substrate processing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of the facility of FIG. 2 viewed in the AA direction.
Fig. 4 is a cross-sectional view of the facility of Fig. 2 viewed from the BB direction.
5 is a cross-sectional view of the installation of FIG.
6 is a cross-sectional view showing the substrate processing apparatus of FIG. 2;
7 is an enlarged cross-sectional view of the processing container of Fig.
Figure 8 is a cutaway perspective view showing the body of Figure 7;
FIG. 9 is a plan view showing the guide of FIG. 6. FIG.
10 is a cross-sectional view showing guides of various shapes installed on the cover of Fig.
11 is a sectional view showing a guide whose relative position to the cover of Fig. 7 is adjusted.
12 is a cross-sectional view showing another embodiment of the first groove and the second groove of Fig. 7;

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Thus, the shape of the elements in the figures has been exaggerated to emphasize a clearer description.

본 실시예의 설비는 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 패널과 같은 기판에 대해 포토리소그래피 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 특히 본 실시예의 설비는 노광장치에 연결되어 기판에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 아래에서는 기판으로 웨이퍼가 사용된 경우를 예로 들어 설명한다.The facilities of this embodiment can be used to perform a photolithography process on a substrate such as a semiconductor wafer or a flat panel display panel. In particular, the apparatus of this embodiment can be used to perform a coating process and a developing process on a substrate, which is connected to an exposure apparatus. Hereinafter, a case where a wafer is used as a substrate will be described as an example.

이하 도 2 내지 도 12를 통해 본 발명의 기판 처리 설비를 설명한다.Hereinafter, the substrate processing apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 12. FIG.

도 2는 기판 처리 설비를 상부에서 바라본 도면이고, 도 3은 도 2의 설비를 A-A 방향에서 바라본 도면이고, 도 4는 도 2의 설비를 B-B 방향에서 바라본 도면이고, 도 5은 도 2의 설비를 C-C 방향에서 바라본 도면이다. FIG. 2 is a view of the substrate processing apparatus viewed from above, FIG. 3 is a view of the apparatus of FIG. 2 viewed from the AA direction, FIG. 4 is a view of the apparatus of FIG. 2 viewed from the BB direction, In the CC direction.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)을 포함한다. 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)은 순차적으로 일 방향으로 일렬로 배치된다. 2 to 5, the substrate processing apparatus 1 includes a load port 100, an index module 200, a first buffer module 300, a coating and developing module 400, a second buffer module 500 An exposure pre- and post-processing module 600, and an interface module 700. The load port 100, the index module 200, the first buffer module 300, the application and development module 400, the second buffer module 500, the pre-exposure processing module 600, and the interface module 700, Are sequentially arranged in one direction in a single direction.

이하, 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)이 배치된 방향을 제 1 방향(12)이라 칭하고, 상부에서 바라볼 때 제 1 방향(12)과 수직한 방향을 제 2 방향(14)이라 칭하고, 제 1 방향(12) 및 제 2 방향(14)과 각각 수직한 방향을 제 3 방향(16)이라 칭한다. Hereinafter, the load port 100, the index module 200, the first buffer module 300, the coating and developing module 400, the second buffer module 500, the pre-exposure processing module 600, 700 are referred to as a first direction 12 and a direction perpendicular to the first direction 12 as viewed from above is referred to as a second direction 14 and a direction in which the first direction 12 and the second And a direction perpendicular to the direction 14 is referred to as a third direction 16.

기판(W)은 카세트(20) 내에 수납된 상태로 이동된다. 이때 카세트(20)는 외부로부터 밀폐될 수 있는 구조를 가진다. 예컨대, 카세트(20)로는 전방에 도어를 가지는 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod; FOUP)가 사용될 수 있다. The substrate W is moved in a state accommodated in the cassette 20. At this time, the cassette 20 has a structure that can be sealed from the outside. For example, as the cassette 20, a front open unified pod (FOUP) having a door at the front can be used.

이하에서는 로드 포트(100), 인덱스 모듈(200), 제 1 버퍼 모듈(300), 도포 및 현상 모듈(400), 제 2 버퍼 모듈(500), 노광 전후 처리 모듈(600), 그리고 인터페이스 모듈(700)에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the load port 100, the index module 200, the first buffer module 300, the application and development module 400, the second buffer module 500, the pre-exposure processing module 600, 700 will be described in detail.

로드 포트(100)는 기판들(W)이 수납된 카세트(20)가 놓여지는 재치대(120)를 가진다. 재치대(120)는 복수개가 제공되며, 재치대들(200)은 제 2 방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 2에서는 4개의 재치대(120)가 제공되었다. The load port 100 has a mounting table 120 on which the cassette 20 accommodating the substrates W is placed. A plurality of mounts 120 are provided, and the mounts 200 are arranged in a line along the second direction 14. [ In Fig. 2, four placement tables 120 are provided.

인덱스 모듈(200)은 로드 포트(100)의 재치대(120)에 놓인 카세트(20)와 제 1 버퍼 모듈(300) 간에 기판(W)을 이송한다. 인덱스 모듈(200)은 프레임(210), 인덱스 로봇(220), 그리고 가이드 레일(230)을 가진다. 프레임(210)은 대체로 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 로드 포트(100)와 제 1 버퍼 모듈(300) 사이에 배치된다. 인덱스 모듈(200)의 프레임(210)은 후술하는 제 1 버퍼 모듈(300)의 프레임(310)보다 낮은 높이로 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(220)과 가이드 레일(230)은 프레임(210) 내에 배치된다. 인덱스 로봇(220)은 기판(W)을 직접 핸들링하는 핸드(221)가 제 1 방향(12), 제 2 방향(14), 제 3 방향(16)으로 이동 가능하고 회전될 수 있도록 4축 구동이 가능한 구조를 가진다. 인덱스 로봇(220)은 핸드(221), 아암(222), 지지대(223), 그리고 받침대(224)를 가진다. 핸드(221)는 아암(222)에 고정 설치된다. 아암(222)은 신축 가능한 구조 및 회전 가능한 구조로 제공된다. 지지대(223)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 아암(222)은 지지대(223)를 따라 이동 가능하도록 지지대(223)에 결합된다. 지지대(223)는 받침대(224)에 고정결합된다. 가이드 레일(230)은 그 길이 방향이 제 2 방향(14)을 따라 배치되도록 제공된다. 받침대(224)는 가이드 레일(230)을 따라 직선 이동 가능하도록 가이드 레일(230)에 결합된다. 또한, 도시되지는 않았지만, 프레임(210)에는 카세트(20)의 도어를 개폐하는 도어 오프너가 더 제공된다.The index module 200 transfers the substrate W between the cassette 20 placed on the table 120 of the load port 100 and the first buffer module 300. The index module 200 has a frame 210, an index robot 220, and a guide rail 230. The frame 210 is provided generally in the shape of an inner rectangular parallelepiped and is disposed between the load port 100 and the first buffer module 300. The frame 210 of the index module 200 may be provided at a lower height than the frame 310 of the first buffer module 300 described later. The index robot 220 and the guide rail 230 are disposed within the frame 210. The index robot 220 is moved in the first direction 12, the second direction 14 and the third direction 16 so that the hand 221 that directly handles the substrate W can be moved and rotated in the first direction 12, the second direction 14, . The index robot 220 has a hand 221, an arm 222, a support 223, and a pedestal 224. The hand 221 is fixed to the arm 222. The arm 222 is provided with a stretchable structure and a rotatable structure. The support base 223 is disposed along the third direction 16 in the longitudinal direction. The arm 222 is coupled to the support 223 to be movable along the support 223. The support 223 is fixedly coupled to the pedestal 224. The guide rails 230 are provided so that their longitudinal direction is arranged along the second direction 14. The pedestal 224 is coupled to the guide rail 230 so as to be linearly movable along the guide rail 230. Further, although not shown, the frame 210 is further provided with a door opener for opening and closing the door of the cassette 20.

제 1 버퍼 모듈(300)은 프레임(310), 제 1 버퍼(320), 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼 로봇(360)을 가진다. 프레임(310)은 내부가 빈 직육면체의 형상으로 제공되며, 인덱스 모듈(200)과 도포 및 현상 모듈(400) 사이에 배치된다. 제 1 버퍼(320), 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼 로봇(360)은 프레임(310) 내에 위치된다. 냉각 챔버(350), 제 2 버퍼(330), 그리고 제 1 버퍼(320)는 순차적으로 아래에서부터 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 제 1 버퍼(320)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 도포 모듈(401)과 대응되는 높이에 위치되고, 제 2 버퍼(330)와 냉각 챔버(350)는 후술하는 도포 및 현상 모듈(400)의 현상 모듈(402)과 대응되는 높이에 위치된다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 제 2 버퍼(330), 냉각 챔버(350), 그리고 제 1 버퍼(320)와 제 2 방향(14)으로 일정 거리 이격되게 위치된다. The first buffer module 300 has a frame 310, a first buffer 320, a second buffer 330, a cooling chamber 350, and a first buffer robot 360. The frame 310 is provided in the shape of an inner rectangular parallelepiped and is disposed between the index module 200 and the application and development module 400. The first buffer 320, the second buffer 330, the cooling chamber 350, and the first buffer robot 360 are located within the frame 310. The cooling chamber 350, the second buffer 330, and the first buffer 320 are sequentially disposed in the third direction 16 from below. The second buffer 330 and the cooling chamber 350 are located at a height corresponding to the coating module 401 of the coating and developing module 400 described later and the coating and developing module 400 at a height corresponding to the developing module 402. [ The first buffer robot 360 is spaced apart from the second buffer 330, the cooling chamber 350 and the first buffer 320 by a predetermined distance in the second direction 14.

제 1 버퍼(320)와 제 2 버퍼(330)는 각각 복수의 기판들(W)을 일시적으로 보관한다. 제 2 버퍼(330)는 하우징(331)과 복수의 지지대들(332)을 가진다. 지지대들(332)은 하우징(331) 내에 배치되며, 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(332)에는 하나의 기판(W)이 놓인다. 하우징(331)은 인덱스 로봇(220), 제 1 버퍼 로봇(360), 그리고 후술하는 현상 모듈(402)의 현상부 로봇(482)이 하우징(331) 내 지지대(332)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향, 제 1 버퍼 로봇(360)이 제공된 방향, 그리고 현상부 로봇(482)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제 1 버퍼(320)는 제 2 버퍼(330)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제 1 버퍼(320)의 하우징(321)에는 제 1 버퍼 로봇(360)이 제공된 방향 및 후술하는 도포 모듈(401)에 위치된 도포부 로봇(432)이 제공된 방향에 개구를 가진다. 제 1 버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수와 제 2 버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 동일하거나 상이할 수 있다. 일 예에 의하면, 제 2 버퍼(330)에 제공된 지지대(332)의 수는 제 1 버퍼(320)에 제공된 지지대(322)의 수보다 많을 수 있다. The first buffer 320 and the second buffer 330 temporarily store a plurality of substrates W, respectively. The second buffer 330 has a housing 331 and a plurality of supports 332. The supports 332 are disposed within the housing 331 and are provided spaced apart from each other in the third direction 16. One substrate W is placed on each support 332. The housing 331 is constructed so that the index robot 220, the first buffer robot 360 and the developing robot 482 of the developing module 402 described later mount the substrate W on the support 332 in the housing 331 (Not shown) in the direction in which the index robot 220 is provided, in the direction in which the first buffer robot 360 is provided, and in the direction in which the developing robot 482 is provided, so that the developing robot 482 can carry it in or out. The first buffer 320 has a structure substantially similar to that of the second buffer 330. The housing 321 of the first buffer 320 has an opening in a direction in which the first buffer robot 360 is provided and in a direction in which the application unit robot 432 located in the application module 401 described later is provided. The number of supports 322 provided in the first buffer 320 and the number of supports 332 provided in the second buffer 330 may be the same or different. According to one example, the number of supports 332 provided in the second buffer 330 may be greater than the number of supports 322 provided in the first buffer 320.

제 1 버퍼 로봇(360)은 제 1 버퍼(320)와 제 2 버퍼(330) 간에 기판(W)을 이송시킨다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 핸드(361), 아암(362), 그리고 지지대(363)를 가진다. 핸드(361)는 아암(362)에 고정 설치된다. 아암(362)은 신축 가능한 구조로 제공되어, 핸드(361)가 제 2 방향(14)을 따라 이동 가능하도록 한다. 아암(362)은 지지대(363)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(363)에 결합된다. 지지대(363)는 제 2 버퍼(330)에 대응되는 위치부터 제 1 버퍼(320)에 대응되는 위치까지 연장된 길이를 가진다. 지지대(363)는 이보다 위 또는 아래 방향으로 더 길게 제공될 수 있다. 제 1 버퍼 로봇(360)은 단순히 핸드(361)가 제 2 방향(14) 및 제 3 방향(16)을 따른 2축 구동만 되도록 제공될 수 있다. The first buffer robot 360 transfers the substrate W between the first buffer 320 and the second buffer 330. The first buffer robot 360 has a hand 361, an arm 362, and a support base 363. The hand 361 is fixed to the arm 362. The arm 362 is provided in a stretchable configuration so that the hand 361 is movable along the second direction 14. The arm 362 is coupled to the support 363 so as to be linearly movable along the support 363 in the third direction 16. The support base 363 has a length extending from a position corresponding to the second buffer 330 to a position corresponding to the first buffer 320. The support member 363 may be provided longer in the upward or downward direction. The first buffer robot 360 may be provided so that the hand 361 is simply driven in two directions along the second direction 14 and the third direction 16.

냉각 챔버(350)는 각각 기판(W)을 냉각한다. 냉각 챔버(350)는 하우징(351)과 냉각 플레이트(352)를 가진다. 냉각 플레이트(352)는 기판(W)이 놓이는 상면 및 기판(W)을 냉각하는 냉각 수단(353)을 가진다. 냉각 수단(353)으로는 냉각수에 의한 냉각이나 열전 소자를 이용한 냉각 등 다양한 방식이 사용될 수 있다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 기판(W)을 냉각 플레이트(352) 상에 위치시키는 리프트 핀 어셈블리(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 하우징(351)은 인덱스 로봇(220) 및 후술하는 현상 모듈(402)에 제공된 현상부 로봇(482)이 냉각 플레이트(352)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인덱스 로봇(220)이 제공된 방향 및 현상부 로봇(482)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 또한, 냉각 챔버(350)에는 상술한 개구를 개폐하는 도어들(도시되지 않음)이 제공될 수 있다. The cooling chamber 350 cools the substrate W, respectively. The cooling chamber 350 has a housing 351 and a cooling plate 352. The cooling plate 352 has an upper surface on which the substrate W is placed and a cooling means 353 for cooling the substrate W. [ As the cooling means 353, various methods such as cooling with cooling water and cooling using a thermoelectric element can be used. In addition, the cooling chamber 350 may be provided with a lift pin assembly (not shown) for positioning the substrate W on the cooling plate 352. The housing 351 is provided with an index robot 220 so that the developing robot 482 provided in the index robot 220 and a developing module 402 to be described later can carry the substrate W into or out of the cooling plate 352 (Not shown) in the direction provided and the direction in which the developing robot 482 is provided. Further, the cooling chamber 350 may be provided with doors (not shown) for opening and closing the above-described opening.

도포 및 현상 모듈(400)은 노광 공정 전에 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포하는 공정 및 노광 공정 후에 기판(W)을 현상하는 공정을 수행한다. 도포 및 현상 모듈(400)은 대체로 직육면체의 형상을 가진다. 도포 및 현상 모듈(400)은 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)을 가진다. 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 도포 모듈(401)은 현상 모듈(402)의 상부에 위치된다.The application and development module 400 performs a process of applying a photoresist on the substrate W before the exposure process and a process of developing the substrate W after the exposure process. The application and development module 400 has a generally rectangular parallelepiped shape. The coating and developing module 400 has a coating module 401 and a developing module 402. The application module 401 and the development module 402 are arranged so as to be partitioned into layers with respect to each other. According to one example, the application module 401 is located on top of the development module 402.

도포 모듈(401)은 기판(W)에 대해 포토레지스트와 같은 감광액을 도포하는 공정 및 레지스트 도포 공정 전후에 기판(W)에 대해 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 도포 모듈(401)은 레지스트 도포 챔버(410), 베이크 챔버(420), 그리고 반송 챔버(430)를 가진다. 레지스트 도포 챔버(410), 베이크 챔버(420), 그리고 반송 챔버(430)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 레지스트 도포 챔버(410)와 베이크 챔버(420)는 반송 챔버(430)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 레지스트 도포 챔버(410)는 복수 개가 제공되며, 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 레지스트 도포 챔버(410)가 제공된 예가 도시되었다. 베이크 챔버(420)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 챔버(420)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 챔버(420)는 더 많은 수로 제공될 수 있다.The application module 401 includes a process of applying a photosensitive liquid such as a photoresist to the substrate W and a heat treatment process such as heating and cooling for the substrate W before and after the resist application process. The application module 401 has a resist application chamber 410, a bake chamber 420, and a transfer chamber 430. The resist application chamber 410, the bake chamber 420, and the transfer chamber 430 are sequentially disposed along the second direction 14. [ The resist application chamber 410 and the bake chamber 420 are positioned apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 430 interposed therebetween. A plurality of resist coating chambers 410 are provided, and a plurality of resist coating chambers 410 are provided in the first direction 12 and the third direction 16, respectively. In the figure, six resist coating chambers 410 are provided. A plurality of bake chambers 420 are provided in the first direction 12 and the third direction 16, respectively. In the drawing, six bake chambers 420 are provided. Alternatively, however, the bake chamber 420 may be provided in a greater number.

반송 챔버(430)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 1 버퍼(320)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(430) 내에는 도포부 로봇(432)과 가이드 레일(433)이 위치된다. 반송 챔버(430)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 도포부 로봇(432)은 베이크 챔버들(420), 레지스트 도포 챔버들(400), 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 1 버퍼(320), 그리고 후술하는 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(520) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(433)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(433)은 도포부 로봇(432)이 제 1 방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 도포부 로봇(432)은 핸드(434), 아암(435), 지지대(436), 그리고 받침대(437)를 가진다. 핸드(434)는 아암(435)에 고정 설치된다. 아암(435)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(434)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(436)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(435)은 지지대(436)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(436)에 결합된다. 지지대(436)는 받침대(437)에 고정 결합되고, 받침대(437)는 가이드 레일(433)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(433)에 결합된다.The transfer chamber 430 is positioned in parallel with the first buffer 320 of the first buffer module 300 in the first direction 12. In the transfer chamber 430, a dispenser robot 432 and a guide rail 433 are positioned. The transfer chamber 430 has a generally rectangular shape. The applicator robot 432 is connected to the bake chambers 420, the resist application chambers 400, the first buffer 320 of the first buffer module 300, and the first buffer module 500 of the second buffer module 500 And transfers the substrate W between the cooling chambers 520. The guide rails 433 are arranged so that their longitudinal directions are parallel to the first direction 12. The guide rails 433 guide the applying robot 432 to move linearly in the first direction 12. The applicator robot 432 has a hand 434, an arm 435, a support 436, and a pedestal 437. The hand 434 is fixed to the arm 435. The arm 435 is provided in a stretchable configuration so that the hand 434 is movable in the horizontal direction. The support 436 is provided so that its longitudinal direction is disposed along the third direction 16. The arm 435 is coupled to the support 436 so as to be linearly movable in the third direction 16 along the support 436. The support 436 is fixedly coupled to the pedestal 437 and the pedestal 437 is coupled to the guide rail 433 so as to be movable along the guide rail 433.

레지스트 도포 챔버들(410)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 레지스트 도포 챔버(410)에서 사용되는 포토 레지스트의 종류는 서로 상이할 수 있다. 일 예로서 포토 레지스트로는 화학 증폭형 레지스트(chemical amplification resist)가 사용될 수 있다. 레지스트 도포 챔버(410)는 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포하는 기판 처리 장치로 제공된다. 기판 처리 장치(800)는 액 도포 공정이 수행된다. 도 6은 도 2의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 기판 처리 장치(800)는 하우징(810), 기류 제공 유닛(820), 기판 지지 유닛(830), 처리 용기(850), 승강 유닛(890), 처리액 공급 유닛(840), 가이드, 세정액 공급 유닛, 제어기를 포함한다. The resist coating chambers 410 all have the same structure. However, the types of the photoresist used in each of the resist coating chambers 410 may be different from each other. As an example, a chemical amplification resist may be used as the photoresist. The resist application chamber 410 is provided with a substrate processing apparatus for applying a photoresist on the substrate W. [ The substrate processing apparatus 800 is subjected to a liquid coating process. 6 is a cross-sectional view showing the substrate processing apparatus of FIG. 2; 6, the substrate processing apparatus 800 includes a housing 810, an airflow providing unit 820, a substrate supporting unit 830, a processing vessel 850, a lift unit 890, a processing liquid supply unit 840 ), A guide, a cleaning liquid supply unit, and a controller.

하우징(810)은 내부에 공간(812)을 가지는 직사각의 통 형상으로 제공된다. 하우징(810)의 일측에는 개구(미도시)가 형성된다. 개구는 기판(W)이 반출입되는 입구로 기능한다. 개구에는 도어가 설치되며, 도어는 개구를 개폐한다. 도어는 기판 처리 공정이 진행되면, 개구를 차단하여 하우징(810)의 내부 공간(812)을 밀폐한다. 하우징(810)의 하부면에는 내측 배기구(814) 및 외측 배기구(816)가 형성된다. 하우징(810) 내에 형성된 기류는 내측 배기구(814) 및 외측 배기구(816)를 통해 외부로 배기된다. 일 예에 의하면, 처리 용기(850) 내에 제공된 기류는 내측 배기구(814)를 통해 배기되고, 처리 용기(850)의 외측에 제공된 기류는 외측 배기구(816)를 통해 배기될 수 있다.The housing 810 is provided in a rectangular tubular shape having a space 812 therein. An opening (not shown) is formed at one side of the housing 810. The opening serves as an inlet through which the substrate W is carried in and out. The opening is provided with a door, and the door opens and closes the opening. When the substrate processing process is performed, the door is closed to seal the inner space 812 of the housing 810. An inner exhaust port 814 and an outer exhaust port 816 are formed on the lower surface of the housing 810. The airflow formed in the housing 810 is exhausted to the outside through the inner exhaust port 814 and the outer exhaust port 816. According to one example, the airflow provided in the processing vessel 850 is exhausted through the inner exhaust port 814, and the airflow provided outside the processing vessel 850 can be exhausted through the outer exhaust port 816.

기류 제공 유닛(820)은 하우징(810)의 내부 공간에 하강 기류를 형성한다. 기류 제공 유닛(820)은 기류 공급 라인(822), 팬(824), 그리고 필터(826)를 포함한다. 기류 공급 라인(822)은 하우징(810)에 연결된다. 기류 공급 라인(822)은 외부의 에어를 하우징(810)에 공급한다. 필터(826)는 기류 공급 라인(822)으로부터 제공되는 에어를 필터(826)링 한다. 필터(826)는 에어에 포함된 불순물을 제거한다. 팬(824)은 하우징(810)의 상부면에 설치된다. 팬(824)은 하우징(810)의 상부면에서 중앙 영역에 위치된다. 팬(824)은 하우징(810)의 내부 공간에 하강 기류를 형성한다. 기류 공급 라인(822)으로부터 팬(824)에 에어가 공급되면, 팬(824)은 아래 방향으로 에어를 공급한다.The airflow providing unit 820 forms a downward flow in the inner space of the housing 810. The airflow providing unit 820 includes an airflow supply line 822, a fan 824, and a filter 826. The airflow supply line 822 is connected to the housing 810. The air supply line 822 supplies external air to the housing 810. The filter 826 links the air provided from the airflow supply line 822 to the filter 826. The filter 826 removes impurities contained in the air. The fan 824 is mounted on the upper surface of the housing 810. The fan 824 is located in a central region in the upper surface of the housing 810. The fan 824 forms a downward flow in the inner space of the housing 810. When air is supplied to the fan 824 from the airflow supply line 822, the fan 824 supplies air in a downward direction.

기판 지지 유닛(830)은 하우징(810)의 내부 공간에서 기판(W)을 지지한다. 기판 지지 유닛(830)은 기판(W)을 회전시킨다. 기판 지지 유닛(830)은 스핀척(832), 회전축(834), 그리고 구동기(836)를 포함한다. 스핀척(832)은 기판을 지지하는 기판 지지 부재(832)로 제공된다. 스핀척(832)은 원형의 판 형상을 가지도록 제공된다. 스핀척(832)의 상면에는 기판(W)이 접촉한다. 스핀척(832)은 기판(W)보다 작은 직경을 가지도록 제공된다. 일 예에 의하면, 스핀척(832)은 기판(W)을 진공 흡입하여 기판(W)을 척킹할 수 있다. 선택적으로, 스핀척(832)은 정전기를 이용하여 기판(W)을 척킹하는 정전척으로 제공될 수 있다. 또한 스핀척(832)은 기판(W)을 물리적 힘으로 척킹할 수 있다. The substrate support unit 830 supports the substrate W in the inner space of the housing 810. The substrate support unit 830 rotates the substrate W. The substrate support unit 830 includes a spin chuck 832, a rotation axis 834, and a driver 836. The spin chuck 832 is provided with a substrate support member 832 for supporting the substrate. The spin chuck 832 is provided to have a circular plate shape. The substrate W contacts the upper surface of the spin chuck 832. The spin chuck 832 is provided so as to have a smaller diameter than the substrate W. [ According to one example, the spin chuck 832 can vacuum-suck the substrate W and chuck the substrate W. Alternatively, the spin chuck 832 may be provided with an electrostatic chuck for chucking the substrate W using static electricity. The spin chuck 832 can also chuck the substrate W by physical force.

회전축(834) 및 구동기(836)는 스핀척(832)을 회전시키는 회전 구동 부재(834,836)로 제공된다. 회전축(834)은 스핀척(832)의 아래에서 스핀척(832)을 지지한다. 회전축(834)은 그 길이방향이 상하방향을 향하도록 제공된다. 회전축(834)은 그 중심축을 중심으로 회전 가능하도록 제공된다. 구동기(836)는 회전축(834)이 회전되도록 구동력을 제공한다. 예컨대, 구동기(836)는 회전축의 회전 속도를 가변 가능한 모터일 수 있다.The rotation shaft 834 and the driver 836 are provided as rotation drive members 834 and 836 for rotating the spin chuck 832. [ The rotating shaft 834 supports the spin chuck 832 below the spin chuck 832. The rotary shaft 834 is provided such that its longitudinal direction is directed up and down. The rotation shaft 834 is provided so as to be rotatable about its central axis. The driver 836 provides a driving force such that the rotation shaft 834 is rotated. For example, the driver 836 may be a motor capable of varying the rotational speed of the rotating shaft.

처리 용기(850)는 하우징(810)의 내부 공간(812)에 위치된다. 처리 용기(850)는 상부가 개방된 컵 형상을 가지도록 제공된다. 처리 용기(850)는 내부에 처리 공간을 제공한다. 처리 용기(850)는 기판 지지 유닛(830)의 둘레를 감싸도록 제공된다. 즉, 기판 지지 유닛(830)은 처리 공간에 위치된다. 처리 용기(850)는 외측컵(862) 및 내측컵(852)을 포함한다. 외측컵(862)은 기판 지지 유닛(830)의 둘레를 감싸도록 제공되고, 내측컵(852)은 외측컵(862)의 내측에 위치된다. 외측컵(862) 및 내측컵(852) 각각은 환형의 링 형상으로 제공된다. 외측컵(862)과 내측컵(852)의 사이 공간은 액이 회수되는 회수 경로(851)로 기능한다. The processing vessel 850 is located in the interior space 812 of the housing 810. The processing vessel 850 is provided so that the upper portion thereof has an open cup shape. The processing vessel 850 provides a processing space therein. The processing vessel 850 is provided so as to surround the periphery of the substrate supporting unit 830. That is, the substrate supporting unit 830 is located in the processing space. The processing vessel 850 includes an outer cup 862 and an inner cup 852. The outer cup 862 is provided to surround the periphery of the substrate supporting unit 830 and the inner cup 852 is positioned inside the outer cup 862. [ Each of the outer cup 862 and the inner cup 852 is provided in an annular ring shape. The space between the outer cup 862 and the inner cup 852 functions as a recovery path 851 in which the liquid is recovered.

승강 유닛(890)은 내측 컵(852) 및 외측 컵(862)을 각각 승강 이동시킨다. 승강 유닛(890)은 내측 이동 부재(892) 및 외측 이동 부재(894)를 포함한다. 내측 이동 부재(892)는 내측 컵(852)을 승강 이동 시키고, 외측 이동 부재(894)는 외측 컵(862)을 승강 이동시킨다. The elevating unit 890 lifts the inner cup 852 and the outer cup 862, respectively. The elevating unit 890 includes an inside moving member 892 and an outside moving member 894. The inner moving member 892 lifts the inner cup 852 and the outer moving member 894 moves the outer cup 862 up and down.

처리액 공급 유닛(840)은 기판(W) 상에 처리액 및 프리 웨트액을 공급한다. 액 공급 유닛(840)은 이동 부재(846), 아암(848), 프리 웨트 노즐(842) 및 처리 노즐(844)을 포함한다. 이동 부재(846)는 아암(848)을 수평 방향으로 이동시키는 이동 레일(846)을 포함한다. 이동 레일(846)은 처리 용기(850)의 일측에 위치된다. 이동 레일(846)은 그 길이 방향이 수평 방향을 향하도록 제공된다. 일 예에 의하면, 이동 레일(846)의 길이 방향을 제1방향과 평행한 방향을 향하도록 제공될 수 있다. 이동 레일(846)에는 아암(848)이 설치된다. 아암(848)은 이동 레일(846)의 내부에 제공된 리니어 모터에 의해 이동될 수 있다. 아암(848)은 상부에서 바라볼 때 이동 레일(846)과 수직한 길이 방향을 향하도록 제공된다. 아암(848)의 일단은 이동 레일(846)에 장착된다. 아암(848)의 타단 저면에는 프리 웨트 노즐(842) 및 처리 노즐(844)이 각각 설치된다. 상부에서 바라볼 때 프리 웨트 노즐(842) 및 처리 노즐(844)은 이동 레일(846)의 길이 방향과 평행한 방향으로 배열된다. 선택적으로 아암(848)은 복수 개로 제공되며, 아암들(848) 각각에는 프리 웨트 노즐(842) 및 처리 노즐(844)이 설치될 수 있다. 또한 아암(848)은 길이 방향이 제3방향을 향하는 회전축에 결합되어 회전될 수 있다.The treatment liquid supply unit 840 supplies the treatment liquid and the pre-wet liquid onto the substrate W. The liquid supply unit 840 includes a moving member 846, an arm 848, a pre-wet nozzle 842, and a process nozzle 844. The moving member 846 includes a moving rail 846 that moves the arm 848 horizontally. The moving rail 846 is located at one side of the processing vessel 850. The movable rail 846 is provided such that its longitudinal direction is directed to the horizontal direction. According to one example, the longitudinal direction of the moving rail 846 may be provided so as to be directed in a direction parallel to the first direction. The movable rail 846 is provided with an arm 848. The arm 848 can be moved by a linear motor provided inside the movable rail 846. The arm 848 is provided to face the longitudinal direction perpendicular to the moving rail 846 when viewed from above. One end of the arm 848 is mounted on the movable rail 846. And a pre-wet nozzle 842 and a treatment nozzle 844 are provided on the other end bottom surface of the arm 848, respectively. The pre-wet nozzle 842 and the process nozzle 844 are arranged in a direction parallel to the longitudinal direction of the moving rail 846 when viewed from above. Optionally, a plurality of arms 848 may be provided, and each of the arms 848 may be provided with a prewet nozzle 842 and a process nozzle 844. Also, the arm 848 can be coupled to a rotation axis whose longitudinal direction is directed to the third direction and rotated.

프리 웨트 노즐(842)은 기판(W) 상에 프리 웨트액을 공급하고, 처리 노즐(844)은 기판(W) 상에 처리액을 공급한다. 예컨대, 프리 웨트액은 기판(W)의 표면 성질을 변화시킬 수 있는 액일 수 있다. 프리 웨트액은 기판(W)의 표면을 소수성 성질로 변화시킬 수 있다. 프리 웨트액은 신나(Thinner)이고, 처리액은 포토 레지스트와 같은 감광액일 수 있다. The pre-wet nozzle 842 supplies the pre-wet liquid onto the substrate W, and the process nozzle 844 supplies the process liquid onto the substrate W. [ For example, the pre-wet liquid may be a liquid capable of changing the surface properties of the substrate W. The prewetting liquid can change the surface of the substrate W to a hydrophobic property. The pre-wet liquid may be a thinner, and the treatment liquid may be a photosensitive liquid such as a photoresist.

다음은 처리 용기(850)에 대해 보다 자세히 설명한다. The following describes the processing vessel 850 in more detail.

내측컵(852)은 회전축(834)을 감싸는 원형의 판 형상으로 제공된다. 상부에서 바라볼 때 내측컵(852)은 내측 배기구(814)와 중첩되도록 위치된다. 상부에서 바라볼 때 내측컵(852)의 상면은 그 외측 영역과 내측 영역 각각이 서로 상이한 각도로 경사지도록 제공된다. 일 예에 의하면, 내측컵(852)의 외측 영역은 기판 지지 유닛(830)으로부터 멀어질수록 하향 경사진 방향을 향하며, 내측 영역은 기판 지지 유닛(830)으로부터 멀어질수록 상향 경사진 방향을 향하도록 제공된다. 내측컵(852)의 외측 영역과 내측 영역이 서로 만나는 지점은 기판(W)의 측단부와 상하 방향으로 대응되게 제공된다. 내측컵(852)의 상면 외측 영역은 라운드지도록 제공된다. 내측컵(852)의 상면 외측 영역은 아래로 오목하게 제공된다. 내측컵(852)의 상면 외측 영역은 처리액이 흐르는 영역으로 제공될 수 있다. The inner cup 852 is provided in the shape of a circular plate surrounding the rotation shaft 834. The inner cup 852 is positioned to overlap the inner vent 814 when viewed from above. The upper surface of the inner cup 852 is provided such that its outer and inner regions are inclined at different angles from each other. According to one example, the outer region of the inner cup 852 is oriented downwardly away from the substrate support unit 830, and the inner region is oriented in an upward sloping direction away from the substrate support unit 830 Lt; / RTI > A point where the outer region and the inner region of the inner cup 852 meet with each other is vertically provided in correspondence with the side end portion of the substrate W. [ The upper surface area of the inner cup 852 is provided to be rounded. The upper surface area of the inner cup 852 is provided downwardly concave. The upper surface area of the inner cup 852 may be provided in a region where the processing liquid flows.

외측컵(862)은 기판 지지 유닛(830) 및 내측컵(852)을 감싸는 컵 형상을 가지도록 제공된다. 외측컵(862)은 몸체(863) 및 커버(1000)를 포함한다. 몸체(863)는 바닥부(864), 측부(866), 그리고 경사부(870)을 가진다. 바닥부(864)는 중공을 가지는 원형의 판 형상을 가지도록 제공된다. 바닥부(864)에는 회수 라인(865)이 연결된다. 회수 라인(865)은 기판(W) 상에 공급된 처리액을 회수한다. 회수 라인(865)에 의해 회수된 처리액은 외부의 액 재생 시스템에 의해 재사용될 수 있다. 측부(866)는 기판 지지 유닛(830)을 감싸는 원형의 통 형상을 가지도록 제공된다. 측부(866)는 바닥부(864)의 측단으로부터 수직한 방향으로 연장된다. 측부(866)는 바닥부(864)으로부터 위로 연장된다. The outer cup 862 is provided to have a cup shape that encloses the substrate support unit 830 and the inner cup 852. The outer cup 862 includes a body 863 and a cover 1000. The body 863 has a bottom portion 864, a side portion 866, and an inclined portion 870. The bottom portion 864 is provided to have a circular plate shape having a hollow. A recovery line 865 is connected to the bottom portion 864. The recovery line 865 recovers the treatment liquid supplied on the substrate W. [ The treatment liquid recovered by the recovery line 865 can be reused by an external liquid recovery system. The side 866 is provided to have a circular tubular shape surrounding the substrate support unit 830. The side portion 866 extends in a vertical direction from the side edge of the bottom portion 864. The side 866 extends up from the bottom 864.

경사부(870)는 측부(866)의 상단으로부터 외측컵(862)의 중심축을 향하는 방향으로 연장된다. 경사부(870)의 내측면(870a)은 기판 지지 유닛(830)에 가까워지도록 상향 경사지게 제공된다. 경사부(870)은 링 형상을 가지도록 제공된다. 기판의 액 처리 공정 중에는 경사부(870)의 상단이 기판 지지 유닛(830)에 지지된 기판(W)보다 높게 위치된다. 경사부(870)의 상면에는 제1홈(1040) 및 제2홈(1060)이 형성된다. 상부에서 바라볼 때 제1홈(1040) 및 제2홈(1060)은 각각 경사부(870)의 원주 방향을 따라 링 형상을 가지도록 제공된다. 제2홈(1060)은 제1홈(1040)으로부터 아래로 연장되게 제공된다. 즉, 제1홈(1040)은 제2홈(1060)에 비해 더 큰 폭을 가진다. 일 예에 의하면, 제2홈(1060)은 제1홈(1040)의 내측단보다 외측단에 더 가깝게 형성될 수 있다. 제1홈(1040)에 채워진 세정액은 오버플로우되어 제2홈(1060)으로 공급된다. 제1홈(1040)은 제2홈(1060)에 비해 더 깊은 깊이를 가지므로, 세정액은 제2홈(1060)으로 균일하게 공급 가능하다.The ramp portion 870 extends from the top of the side portion 866 in a direction toward the central axis of the outer cup 862. [ The inner side 870a of the slope portion 870 is provided with an upward slope so as to be close to the substrate supporting unit 830. [ The inclined portion 870 is provided so as to have a ring shape. During the liquid processing process of the substrate, the upper end of the inclined portion 870 is located higher than the substrate W supported on the substrate supporting unit 830. A first groove 1040 and a second groove 1060 are formed on the upper surface of the inclined portion 870. The first groove 1040 and the second groove 1060 are provided so as to have a ring shape along the circumferential direction of the inclined portion 870, respectively. The second groove 1060 is provided to extend downward from the first groove 1040. That is, the first groove 1040 has a larger width than the second groove 1060. According to one example, the second groove 1060 may be formed closer to the outer end than the inner end of the first groove 1040. The cleaning liquid filled in the first groove 1040 is overflowed and supplied to the second groove 1060. Since the first groove 1040 has a deeper depth than the second groove 1060, the cleaning liquid can be uniformly supplied to the second groove 1060.

본 실시예에는 경사부(870)의 상면에 제1홈(1040) 및 제2홈(1060)이 형성되는 것으로 설명하였으나. 3 이상의 홈이 형성될 수 있다. 또한 경사부(870)의 상면에는 단일 개의 홈이 형성될 수 있다.Although the first groove 1040 and the second groove 1060 are formed on the upper surface of the inclined portion 870 in this embodiment, Three or more grooves may be formed. Further, a single groove may be formed on the upper surface of the inclined portion 870.

커버(1000)는 경사부(870)와 조합되어 내부에 세정액이 흐르는 공급 유로(1020)를 형성한다. 즉, 커버(1000)와 경사부(870)의 상면 간에 사이 공간은 세정액이 공급되는 유로로 기능한다. 커버(1000)는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 커버(1000)는 경사부(870)의 결합된다. 커버(1000)의 하단과 경사부(870)가 마주하는 영역은 세정액이 토출되는 토출홀(1022)로 제공된다. 즉 공급 유로(1020)의 끝단을 토출홀(1022)로 정의한다. 커버(1000)는 경사부(870)의 상단보다 좁은 내경을 가지도록 제공된다. 커버(1000)의 내측단은 외측단에 비해 더 낮은 위치까지 연장된다. 커버(1000)의 내측단과 경사부(870)에 의해 세정액은 수직한 아래 방향으로 공급 가능하다.The cover 1000 is combined with the inclined portion 870 to form a supply passage 1020 through which the cleaning liquid flows. That is, the space between the cover 1000 and the upper surface of the inclined portion 870 functions as a flow path through which the cleaning liquid is supplied. The cover 1000 is provided so as to have an annular ring shape. The cover 1000 is engaged with the inclined portion 870. A region where the lower end of the cover 1000 and the inclined portion 870 face each other is provided as a discharge hole 1022 through which the cleaning liquid is discharged. That is, the end of the supply passage 1020 is defined as the discharge hole 1022. The cover 1000 is provided so as to have an inner diameter narrower than the upper end of the inclined portion 870. The inner end of the cover 1000 extends to a lower position relative to the outer end. By the inner end of the cover 1000 and the inclined portion 870, the cleaning liquid can be supplied vertically downward.

가이드(1100)는 세정액이 기판의 중심축으로부터 멀어지는 방향을 따라 하향 경사진 방향으로 토출되도록 세정액의 토출 방향을 안내한다. 가이드(1100)는 경사부(870)의 내측면(870a)과 조합되어 토출홀(1022)로부터 연장되는 안내 유로(1122)를 형성한다. 가이드(1100)는 제1바디(1100a) 및 제2바디(1100b)를 포함한다. 제1바디(1100a) 및 제2바디(1100b) 각각은 호 형상을 가진다. 제1바디(1100a) 및 제2바디(1100b)는 서로 조합되어 환형의 링 형상을 가진다. 제1바디(1100a) 및 제2바디(1100b)는 조합되어 환형의 링 형상을 가지도록 커버(1000)에 결합된다. The guide 1100 guides the discharge direction of the cleaning liquid so that the cleaning liquid is discharged in a downward inclined direction along the direction away from the center axis of the substrate. The guide 1100 is combined with the inner side surface 870a of the inclined portion 870 to form a guide passage 1122 extending from the discharge hole 1022. [ The guide 1100 includes a first body 1100a and a second body 1100b. Each of the first body 1100a and the second body 1100b has an arc shape. The first body 1100a and the second body 1100b are combined to form an annular ring shape. The first body 1100a and the second body 1100b are coupled to the cover 1000 so as to have an annular ring shape.

제1바디(1100a) 및 제2바디(1100b)는 각각 결합부(1110) 및 안내부(1120)를 포함한다. 결합부(1110)는 커버(1000)에 결합되는 영역으로 제공된다. 결합부(1110)는 커버(1000)의 내측면에 결합된다. 결합부(1110)의 수직 단면은 수직한 길이 방향을 가지는 바 형상으로 제공될 수 있다. 안내부(1120)는 결합부(1110)의 하단으로부터 연장된다. 안내부(1120)는 아래로 갈수록 기판의 중심축으로부터 멀어지는 하향 경사진 방향으로 연장된다. 안내부(1120)는 경사부(870)의 내측면과 마주하는 위치까지 연장된다. 단, 안내부(1120)는 그 하단이 기판보다 높게 위치를 가지도록 연장된다. 이는 처리액이 가이드(1100)에 부착되는 것을 방지하기 위함이다. 선택적으로 가이드(1100)는 3 개 이상의 바디로 제공될 수 있다.The first body 1100a and the second body 1100b include a coupling portion 1110 and a guide portion 1120, respectively. The engaging portion 1110 is provided in a region to be coupled to the cover 1000. The engaging portion 1110 is engaged with the inner surface of the cover 1000. The vertical section of the coupling portion 1110 may be provided in a bar shape having a vertical lengthwise direction. The guide portion 1120 extends from the lower end of the engaging portion 1110. The guide portion 1120 extends in a downward inclined direction away from the center axis of the substrate as it goes downward. The guide portion 1120 extends to a position facing the inner surface of the inclined portion 870. However, the guide portion 1120 is extended so that the lower end thereof is positioned higher than the substrate. This is to prevent the treatment liquid from adhering to the guide 1100. Optionally, the guide 1100 may be provided in more than two bodies.

세정액 공급 유닛(1200)은 경사부(870)의 상면에 형성된 홈들(1040,1060) 중 최외각에 형성된 홈으로 세정액을 공급한다. 예컨대, 세정액 공급 유닛(1200)은 제2홈(1060)에 세정액을 공급한다. 세정액 공급 유닛(1200)은 세정액 공급 라인(1220)을 포함한다. 세정액 공급 라인(1220)은 제2홈(1060)에 세정액을 공급하도록 처리 용기(850)에 연결된다. 세정액 공급 라인(1220)에는 밸브(1240)가 설치된다. 밸프는 세정액 공급 라인(1220)을 개폐한다.The cleaning liquid supply unit 1200 supplies the cleaning liquid to the outermost groove of the grooves 1040 and 1060 formed on the upper surface of the inclined portion 870. For example, the cleaning liquid supply unit 1200 supplies the cleaning liquid to the second grooves 1060. The cleaning liquid supply unit 1200 includes a cleaning liquid supply line 1220. The cleaning liquid supply line 1220 is connected to the processing vessel 850 to supply the cleaning liquid to the second groove 1060. A valve 1240 is installed in the cleaning liquid supply line 1220. The valve opens and closes the cleaning liquid supply line 1220.

제어기(1300)는 처리액 공급 유닛(840) 및 세정액 공급 유닛(1200)을 제어한다. 제어기(1300)는 기판의 액 처리 공정과 무관하게 세정액을 공급한다. 즉, 경사부(870)와 안내부(1120)에 의해 형성된 안내 유로(1122)에는 기판 처리 공정이 진행되는 중에 세정액이 공급되고, 기판 처리 공정이 유휴 상태에서도 세정액이 공급된다. 일 예에 의하면, 세정액은 처리액을 희석시키는 액일 수 있다. 세정액은 신나(Thinner)일 수 있다. The controller 1300 controls the processing liquid supply unit 840 and the cleaning liquid supply unit 1200. The controller 1300 supplies the cleaning liquid irrespective of the liquid processing process of the substrate. That is, the cleaning liquid is supplied to the guide passage 1122 formed by the inclined portion 870 and the guide portion 1120 during the substrate processing process, and the cleaning liquid is supplied even when the substrate processing process is idle. According to one example, the cleaning liquid may be a liquid for diluting the treatment liquid. The cleaning liquid may be a thinner.

선택적으로 세정액은 기판 처리 공정이 진행되는 중에만 공급되고, 기판 처리 공정이 유휴 상태에는 공급이 중지될 수 있다.Alternatively, the cleaning liquid may be supplied only while the substrate processing process is in progress, and may be stopped when the substrate processing process is idle.

이와 달리, 세정액은 기판 처리 공정이 유휴 상태에는 공급되고, 기판 처리 공정이 진행되는 중에는 공급이 중지될 수 있다.Alternatively, the cleaning liquid may be supplied to the substrate processing process in an idle state, and stopped during the substrate processing process.

본 실시예에는 단일의 가이드(1100)를 커버(1000)에 설치하는 것으로 설명하였다. 그러나 가이드(1100)는 복수 개로 제공되며, 커버(1000)에 탈착 가능하도록 제공될 수 있다. 작업자는 복수 개의 가이드(1100)들 중 하나를 선택적으로 커버(1000)에 설치할 수 있다. 각각의 가이드들(1100)은 안내부(1120)가 서로 상이한 방향으로 하향 경사지도록 제공될 수 있다. 도 10과 같이, 작업자는 가이드(1100)를 선택적으로 설치하여 안내 유로(1122)의 폭을 조절하여 세정액의 토출압을 조절할 수 있다. 안내 유로(1122)의 폭은 세정액의 공급 방향에 따라 동일하거나 점진적으로 작아질 수 있다. In this embodiment, a single guide 1100 is provided on the cover 1000. However, the guide 1100 is provided as a plurality and can be provided detachably to the cover 1000. [ The operator can selectively install one of the plurality of guides 1100 on the cover 1000. [ Each of the guides 1100 can be provided such that the guide portions 1120 are inclined downward in directions different from each other. As shown in FIG. 10, the operator can adjust the discharge pressure of the cleaning liquid by selectively installing the guide 1100 and adjusting the width of the guide passage 1122. The width of the guide passage 1122 may be the same or gradually smaller in accordance with the supply direction of the cleaning liquid.

또한 가이드(1100)는 커버(1000)에 나사 결합될 수 있다. 도 11과 같이, 가이드(1100)는 커버(1000)에 결합되는 위치에 따라 안내 유로(1122)의 폭을 조절하여 세정액의 토출압을 조절할 수 있다. 가이드(1100)는 커버(1000)에 대한 상대 위치를 위 아래로 조절하여 안내 유로(1122)의 폭을 조절할 수 있다.The guide 1100 can also be screwed onto the cover 1000. As shown in FIG. 11, the guide 1100 can control the discharge pressure of the cleaning liquid by adjusting the width of the guide passage 1122 according to the position of the guide 1000 coupled to the cover 1000. The guide 1100 can adjust the width of the guide passage 1122 by adjusting the relative position with respect to the cover 1000 up and down.

또한 도 12와 같이 경사부(870)의 상면에는 제1홈(1040a) 및 제2홈(1060a)이 서로 독립되게 제공될 수 있다. 제1홈(1040a)은 제2홈(1060a)을 감싸도록 형성될 수 있다. 즉, 상부에서 바라볼 때 제1홈(1040a)은 제2홈(1060a)에 비해 외측에 위치될 수 있다. 제1홈(1040a)은 제2홈(1060a)에 비해 더 깊은 깊이를 가질 수 있다.12, the first grooves 1040a and the second grooves 1060a may be provided on the upper surface of the inclined portion 870 independently of each other. The first groove 1040a may be formed to surround the second groove 1060a. That is, the first groove 1040a may be located outside the second groove 1060a when viewed from above. The first groove 1040a may have a deeper depth than the second groove 1060a.

다시 도 2 내지 도 5를 참조하면, 베이크 챔버(420)는 기판(W)을 열처리한다. 예컨대, 베이크 챔버들(420)은 포토 레지스트를 도포하기 전에 기판(W)을 소정의 온도로 가열하여 기판(W) 표면의 유기물이나 수분을 제거하는 프리 베이크(prebake) 공정이나 포토레지스트를 기판(W) 상에 도포한 후에 행하는 소프트 베이크(soft bake) 공정 등을 수행하고, 각각의 가열 공정 이후에 기판(W)을 냉각하는 냉각 공정 등을 수행한다. 베이크 챔버(420)는 냉각 플레이트(421) 또는 가열 플레이트(422)를 가진다. 냉각 플레이트(421)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(423)이 제공된다. 또한 가열 플레이트(422)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(424)이 제공된다. 냉각 플레이트(421)와 가열 플레이트(422)는 하나의 베이크 챔버(420) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버(420)들 중 일부는 냉각 플레이트(421)만을 구비하고, 다른 일부는 가열 플레이트(422)만을 구비할 수 있다. 2 to 5, the bake chamber 420 heat-treats the substrate W. As shown in FIG. For example, the bake chambers 420 may be formed by a prebake process for heating the substrate W to a predetermined temperature to remove organic substances and moisture on the surface of the substrate W, A soft bake process is performed after coating the substrate W on the substrate W, and a cooling process for cooling the substrate W after each heating process is performed. The bake chamber 420 has a cooling plate 421 or a heating plate 422. The cooling plate 421 is provided with a cooling means 423 such as a cooling water or a thermoelectric element. The heating plate 422 is also provided with a heating means 424, such as a hot wire or a thermoelectric element. The cooling plate 421 and the heating plate 422 may be provided in a single bake chamber 420, respectively. Optionally, some of the bake chambers 420 may include only the cooling plate 421, and the other portions may include only the heating plate 422.

현상 모듈(402)은 기판(W) 상에 패턴을 얻기 위해 현상액을 공급하여 포토 레지스트의 일부를 제거하는 현상 공정, 및 현상 공정 전후에 기판(W)에 대해 수행되는 가열 및 냉각과 같은 열처리 공정을 포함한다. 현상모듈(402)은 현상 챔버(460), 베이크 챔버(470), 그리고 반송 챔버(480)를 가진다. 현상 챔버(460), 베이크 챔버(470), 그리고 반송 챔버(480)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 현상 챔버(460)와 베이크 챔버(470)는 반송 챔버(480)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 현상 챔버(460)는 복수 개가 제공되며, 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 현상 챔버(460)가 제공된 예가 도시되었다. 베이크 챔버(470)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공된다. 도면에서는 6개의 베이크 챔버(470)가 제공된 예가 도시되었다. 그러나 이와 달리 베이크 챔버(470)는 더 많은 수로 제공될 수 있다.The developing module 402 includes a developing process for supplying a developing solution to obtain a pattern on the substrate W to remove a part of the photoresist and a heat treatment process such as heating and cooling performed on the substrate W before and after the developing process . The development module 402 has a development chamber 460, a bake chamber 470, and a transfer chamber 480. The development chamber 460, the bake chamber 470, and the transfer chamber 480 are sequentially disposed along the second direction 14. The development chamber 460 and the bake chamber 470 are positioned apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 480 therebetween. A plurality of developing chambers 460 are provided, and a plurality of developing chambers 460 are provided in the first direction 12 and the third direction 16, respectively. In the drawing, six development chambers 460 are provided. A plurality of bake chambers 470 are provided in the first direction 12 and the third direction 16, respectively. In the drawing, six bake chambers 470 are provided. Alternatively, however, the bake chamber 470 can be provided in greater numbers.

반송 챔버(480)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(480) 내에는 현상부 로봇(482)과 가이드 레일(483)이 위치된다. 반송 챔버(480)는 대체로 직사각의 형상을 가진다. 현상부 로봇(482)은 베이크 챔버들(470), 현상 챔버들(460), 제 1 버퍼 모듈(300)의 제 2 버퍼(330)와 냉각 챔버(350), 그리고 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540) 간에 기판(W)을 이송한다. 가이드 레일(483)은 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 나란하도록 배치된다. 가이드 레일(483)은 현상부 로봇(482)이 제 1 방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 현상부 로봇(482)은 핸드(484), 아암(485), 지지대(486), 그리고 받침대(487)를 가진다. 핸드(484)는 아암(485)에 고정 설치된다. 아암(485)은 신축 가능한 구조로 제공되어 핸드(484)가 수평 방향으로 이동 가능하도록 한다. 지지대(486)는 그 길이 방향이 제 3 방향(16)을 따라 배치되도록 제공된다. 아암(485)은 지지대(486)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(486)에 결합된다. 지지대(486)는 받침대(487)에 고정 결합된다. 받침대(487)는 가이드 레일(483)을 따라 이동 가능하도록 가이드 레일(483)에 결합된다.The transfer chamber 480 is positioned in parallel with the second buffer 330 of the first buffer module 300 in the first direction 12. In the transfer chamber 480, the developing robot 482 and the guide rail 483 are positioned. The delivery chamber 480 has a generally rectangular shape. The development robot 482 is connected to the bake chambers 470 and the development chambers 460 and the second buffer 330 and the cooling chamber 350 of the first buffer module 300 and the second buffer module 500, And the second cooling chamber 540 of the second cooling chamber 540. The guide rail 483 is arranged such that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12. The guide rail 483 guides the developing robot 482 to linearly move in the first direction 12. The developing sub-robot 482 has a hand 484, an arm 485, a supporting stand 486, and a pedestal 487. The hand 484 is fixed to the arm 485. The arm 485 is provided in a stretchable configuration to allow the hand 484 to move in a horizontal direction. The support 486 is provided so that its longitudinal direction is disposed along the third direction 16. The arm 485 is coupled to the support 486 such that it is linearly movable along the support 486 in the third direction 16. The support table 486 is fixedly coupled to the pedestal 487. The pedestal 487 is coupled to the guide rail 483 so as to be movable along the guide rail 483.

현상 챔버들(460)은 모두 동일한 구조를 가진다. 다만, 각각의 현상 챔버(460)에서 사용되는 현상액의 종류는 서로 상이할 수 있다. 현상 챔버(460)는 기판(W) 상의 포토 레지스트 중 광이 조사된 영역을 제거한다. 이때, 보호막 중 광이 조사된 영역도 같이 제거된다. 선택적으로 사용되는 포토 레지스트의 종류에 따라 포토 레지스트 및 보호막의 영역들 중 광이 조사되지 않은 영역만이 제거될 수 있다. The development chambers 460 all have the same structure. However, the types of developers used in the respective developing chambers 460 may be different from each other. The development chamber 460 removes a region of the photoresist on the substrate W where light is irradiated. At this time, the area of the protective film irradiated with the light is also removed. Depending on the type of selectively used photoresist, only the areas of the photoresist and protective film that are not irradiated with light can be removed.

현상 챔버(460)는 용기(461), 지지 플레이트(462), 그리고 노즐(463)을 가진다. 용기(461)는 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(462)는 용기(461) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(462)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(463)은 지지 플레이트(462)에 놓인 기판(W) 상으로 현상액을 공급한다. 노즐(463)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 현상액 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(463)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(463)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 또한, 현상 챔버(460)에는 추가적으로 현상액이 공급된 기판(W) 표면을 세정하기 위해 탈이온수와 같은 세정액을 공급하는 노즐(464)이 더 제공될 수 있다. The development chamber 460 has a container 461, a support plate 462, and a nozzle 463. The container 461 has a cup shape with its top opened. The support plate 462 is located in the container 461 and supports the substrate W. The support plate 462 is rotatably provided. The nozzle 463 supplies the developer onto the substrate W placed on the support plate 462. The nozzle 463 has a circular tube shape and can supply developer to the center of the substrate W. [ Alternatively, the nozzle 463 may have a length corresponding to the diameter of the substrate W, and the discharge port of the nozzle 463 may be provided with a slit. Further, the developing chamber 460 may further be provided with a nozzle 464 for supplying a cleaning liquid such as deionized water to clean the surface of the substrate W to which the developer is supplied.

베이크 챔버(470)는 기판(W)을 열처리한다. 예컨대, 베이크 챔버들(470)은 현상 공정이 수행되기 전에 기판(W)을 가열하는 포스트 베이크 공정 및 현상 공정이 수행된 후에 기판(W)을 가열하는 하드 베이크 공정 및 각각의 베이크 공정 이후에 가열된 기판(W)을 냉각하는 냉각 공정 등을 수행한다. 베이크 챔버(470)는 냉각 플레이트(471) 또는 가열 플레이트(472)를 가진다. 냉각 플레이트(471)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(473)이 제공된다. 또는 가열 플레이트(472)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(474)이 제공된다. 냉각 플레이트(471)와 가열 플레이트(472)는 하나의 베이크 챔버(470) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버(470)들 중 일부는 냉각 플레이트(471)만을 구비하고, 다른 일부는 가열 플레이트(472)만을 구비할 수 있다. The bake chamber 470 heat-treats the substrate W. For example, the bake chambers 470 may include a post-bake process for heating the substrate W before the development process is performed, a hard bake process for heating the substrate W after the development process is performed, And a cooling step for cooling the substrate W is performed. The bake chamber 470 has a cooling plate 471 or a heating plate 472. The cooling plate 471 is provided with a cooling means 473 such as a cooling water or a thermoelectric element. Or the heating plate 472 is provided with a heating means 474 such as a hot wire or a thermoelectric element. The cooling plate 471 and the heating plate 472 may be provided in one bake chamber 470, respectively. Optionally, some of the bake chambers 470 may have only a cooling plate 471, while the other may have only a heating plate 472. [

상술한 바와 같이 도포 및 현상 모듈(400)에서 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 서로 간에 분리되도록 제공된다. 또한, 상부에서 바라볼 때 도포 모듈(401)과 현상 모듈(402)은 동일한 챔버 배치를 가질 수 있다. As described above, in the application and development module 400, the application module 401 and the development module 402 are provided to be separated from each other. In addition, the application module 401 and the development module 402 may have the same chamber arrangement as viewed from above.

제 2 버퍼 모듈(500)은 도포 및 현상 모듈(400)과 노광 전후 처리 모듈(600) 사이에 기판(W)이 운반되는 통로로서 제공된다. 또한, 제 2 버퍼 모듈(500)은 기판(W)에 대해 냉각 공정이나 에지 노광 공정 등과 같은 소정의 공정을 수행한다. 제 2 버퍼 모듈(500)은 프레임(510), 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 제 2 냉각 챔버(540), 에지 노광 챔버(550), 그리고 제 2 버퍼 로봇(560)을 가진다. 프레임(510)은 직육면체의 형상을 가진다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 제 2 냉각 챔버(540), 에지 노광 챔버(550), 그리고 제 2 버퍼 로봇(560)은 프레임(510) 내에 위치된다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 에지 노광 챔버(550)는 도포 모듈(401)에 대응하는 높이에 배치된다. 제 2 냉각 챔버(540)는 현상 모듈(402)에 대응하는 높이에 배치된다. 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 제 2 냉각 챔버(540)는 순차적으로 제 3 방향(16)을 따라 일렬로 배치된다. 상부에서 바라볼 때 버퍼(520)은 도포 모듈(401)의 반송 챔버(430)와 제 1 방향(12)을 따라 배치된다. 에지 노광 챔버(550)는 버퍼(520) 또는 제 1 냉각 챔버(530)와 제 2 방향(14)으로 일정 거리 이격되게 배치된다. The second buffer module 500 is provided as a path through which the substrate W is transferred between the coating and developing module 400 and the pre- and post-exposure processing module 600. The second buffer module 500 performs a predetermined process on the substrate W such as a cooling process or an edge exposure process. The second buffer module 500 includes a frame 510, a buffer 520, a first cooling chamber 530, a second cooling chamber 540, an edge exposure chamber 550, and a second buffer robot 560 I have. The frame 510 has a rectangular parallelepiped shape. The buffer 520, the first cooling chamber 530, the second cooling chamber 540, the edge exposure chamber 550, and the second buffer robot 560 are located within the frame 510. The buffer 520, the first cooling chamber 530, and the edge exposure chamber 550 are disposed at a height corresponding to the application module 401. The second cooling chamber 540 is disposed at a height corresponding to the development module 402. The buffer 520, the first cooling chamber 530, and the second cooling chamber 540 are sequentially arranged in a row along the third direction 16. The buffer 520 is disposed along the first direction 12 with the transfer chamber 430 of the application module 401. [ The edge exposure chamber 550 is spaced a certain distance in the second direction 14 from the buffer 520 or the first cooling chamber 530.

제 2 버퍼 로봇(560)은 버퍼(520), 제 1 냉각 챔버(530), 그리고 에지 노광 챔버(550) 간에 기판(W)을 운반한다. 제 2 버퍼 로봇(560)은 에지 노광 챔버(550)와 버퍼(520) 사이에 위치된다. 제 2 버퍼 로봇(560)은 제 1 버퍼 로봇(360)과 유사한 구조로 제공될 수 있다. 제 1 냉각 챔버(530)와 에지 노광 챔버(550)는 도포 모듈(401)에서 공정이 수행된 기판들(W)에 대해 후속 공정을 수행한다. 제 1 냉각 챔버(530)는 도포 모듈(401)에서 공정이 수행된 기판(W)을 냉각한다. 제 1 냉각 챔버(530)는 제 1 버퍼 모듈(300)의 냉각 챔버(350)과 유사한 구조를 가진다. 에지 노광 챔버(550)는 제 1 냉각 챔버(530)에서 냉각 공정이 수행된 기판들(W)에 대해 그 가장자리를 노광한다. 버퍼(520)는 에지 노광 챔버(550)에서 공정이 수행된 기판들(W)이 후술하는 전처리 모듈(601)로 운반되기 전에 기판(W)을 일시적으로 보관한다. 제 2 냉각 챔버(540)는 후술하는 후처리 모듈(602)에서 공정이 수행된 기판들(W)이 현상 모듈(402)로 운반되기 전에 기판들(W)을 냉각한다. 제 2 버퍼 모듈(500)은 현상 모듈(402)와 대응되는 높이에 추가된 버퍼를 더 가질 수 있다. 이 경우, 후처리 모듈(602)에서 공정이 수행된 기판들(W)은 추가된 버퍼에 일시적으로 보관된 후 현상 모듈(402)로 운반될 수 있다.The second buffer robot 560 carries the substrate W between the buffer 520, the first cooling chamber 530, and the edge exposure chamber 550. A second buffer robot 560 is positioned between the edge exposure chamber 550 and the buffer 520. The second buffer robot 560 may be provided in a structure similar to that of the first buffer robot 360. The first cooling chamber 530 and the edge exposure chamber 550 perform a subsequent process on the substrates W that have been processed in the application module 401. The first cooling chamber 530 cools the substrate W processed in the application module 401. The first cooling chamber 530 has a structure similar to the cooling chamber 350 of the first buffer module 300. The edge exposure chamber 550 exposes its edge to the substrates W that have undergone the cooling process in the first cooling chamber 530. [ The buffer 520 temporarily stores the substrate W before the substrates W processed in the edge exposure chamber 550 are transported to the preprocessing module 601 described later. The second cooling chamber 540 cools the substrates W before the processed substrates W are transferred to the developing module 402 in the post-processing module 602 described later. The second buffer module 500 may further have a buffer added to the height corresponding to the development module 402. In this case, the substrates W processed in the post-processing module 602 may be temporarily stored in the added buffer and then conveyed to the developing module 402.

노광 전후 처리 모듈(600)은, 노광 장치(900)가 액침 노광 공정을 수행하는 경우, 액침 노광시에 기판(W)에 도포된 포토레지스트 막을 보호하는 보호막을 도포하는 공정을 처리할 수 있다. 또한, 노광 전후 처리 모듈(600)은 노광 이후에 기판(W)을 세정하는 공정을 수행할 수 있다. 또한, 화학증폭형 레지스트를 사용하여 도포 공정이 수행된 경우, 노광 전후 처리 모듈(600)은 노광 후 베이크 공정을 처리할 수 있다. The pre- and post-exposure processing module 600 may process a process of applying a protective film for protecting the photoresist film applied to the substrate W during liquid immersion exposure, when the exposure apparatus 900 performs the liquid immersion exposure process. In addition, the pre- and post-exposure processing module 600 may perform a process of cleaning the substrate W after exposure. In addition, when the coating process is performed using the chemically amplified resist, the pre- and post-exposure processing module 600 can process the post-exposure bake process.

노광 전후 처리 모듈(600)은 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)을 가진다. 전처리 모듈(601)은 노광 공정 수행 전에 기판(W)을 처리하는 공정을 수행하고, 후처리 모듈(602)은 노광 공정 이후에 기판(W)을 처리하는 공정을 수행한다. 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)은 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 전처리 모듈(601)은 후처리 모듈(602)의 상부에 위치된다. 전처리 모듈(601)은 도포 모듈(401)과 동일한 높이로 제공된다. 후처리 모듈(602)은 현상 모듈(402)과 동일한 높이로 제공된다. 전처리 모듈(601)은 보호막 도포 챔버(610), 베이크 챔버(620), 그리고 반송 챔버(630)를 가진다. 보호막 도포 챔버(610), 반송 챔버(630), 그리고 베이크 챔버(620)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 보호막 도포 챔버(610)와 베이크 챔버(620)는 반송 챔버(630)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 보호막 도포 챔버(610)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 선택적으로 보호막 도포 챔버(610)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. 베이크 챔버(620)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치된다. 선택적으로 베이크 챔버(620)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. The pre-exposure post-processing module 600 has a pre-processing module 601 and a post-processing module 602. The pre-processing module 601 performs a process of processing the substrate W before the exposure process, and the post-process module 602 performs a process of processing the substrate W after the exposure process. The pre-processing module 601 and the post-processing module 602 are arranged so as to be partitioned into layers with respect to each other. According to one example, the preprocessing module 601 is located on top of the post-processing module 602. The preprocessing module 601 is provided at the same height as the application module 401. The post-processing module 602 is provided at the same height as the developing module 402. The pretreatment module 601 has a protective film application chamber 610, a bake chamber 620, and a transfer chamber 630. The protective film application chamber 610, the transfer chamber 630, and the bake chamber 620 are sequentially disposed along the second direction 14. The protective film application chamber 610 and the bake chamber 620 are positioned apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 630 therebetween. A plurality of protective film application chambers 610 are provided and are arranged along the third direction 16 to form layers. Alternatively, a plurality of protective film application chambers 610 may be provided in the first direction 12 and the third direction 16, respectively. A plurality of bake chambers 620 are provided and are disposed along the third direction 16 to form layers. Alternatively, a plurality of bake chambers 620 may be provided in the first direction 12 and the third direction 16, respectively.

반송 챔버(630)는 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 1 냉각 챔버(530)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(630) 내에는 전처리 로봇(632)이 위치된다. 반송 챔버(630)는 대체로 정사각 또는 직사각의 형상을 가진다. 전처리 로봇(632)은 보호막 도포 챔버들(610), 베이크 챔버들(620), 제 2 버퍼 모듈(500)의 버퍼(520), 그리고 후술하는 인터페이스 모듈(700)의 제 1 버퍼(720) 간에 기판(W)을 이송한다. 전처리 로봇(632)은 핸드(633), 아암(634), 그리고 지지대(635)를 가진다. 핸드(633)는 아암(634)에 고정 설치된다. 아암(634)은 신축 가능한 구조 및 회전 가능한 구조로 제공된다. 아암(634)은 지지대(635)를 따라 제 3 방향(16)으로 직선 이동 가능하도록 지지대(635)에 결합된다. The transfer chamber 630 is positioned in parallel with the first cooling chamber 530 of the second buffer module 500 in the first direction 12. In the transfer chamber 630, a pre-processing robot 632 is located. The transfer chamber 630 has a generally square or rectangular shape. The preprocessing robot 632 is connected between the protective film application chambers 610, the bake chambers 620, the buffer 520 of the second buffer module 500 and the first buffer 720 of the interface module 700, The substrate W is transferred. The preprocessing robot 632 has a hand 633, an arm 634, and a support 635. The hand 633 is fixed to the arm 634. The arm 634 is provided with a retractable structure and a rotatable structure. The arm 634 is coupled to the support 635 so as to be linearly movable along the support 635 in the third direction 16.

보호막 도포 챔버(610)는 액침 노광 시에 레지스트 막을 보호하는 보호막을 기판(W) 상에 도포한다. 보호막 도포 챔버(610)는 하우징(611), 지지 플레이트(612), 그리고 노즐(613)을 가진다. 하우징(611)은 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(612)는 하우징(611) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(612)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(613)은 지지 플레이트(612)에 놓인 기판(W) 상으로 보호막 형성을 위한 보호액을 공급한다. 노즐(613)은 원형의 관 형상을 가지고, 기판(W)의 중심으로 보호액을 공급할 수 있다. 선택적으로 노즐(613)은 기판(W)의 직경에 상응하는 길이를 가지고, 노즐(613)의 토출구는 슬릿으로 제공될 수 있다. 이 경우, 지지 플레이트(612)는 고정된 상태로 제공될 수 있다. 보호액은 발포성 재료를 포함한다. 보호액은 포토 레지스터 및 물과의 친화력이 낮은 재료가 사용될 수 있다. 예컨대, 보호액은 불소계의 용제를 포함할 수 있다. 보호막 도포 챔버(610)는 지지 플레이트(612)에 놓인 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 중심 영역으로 보호액을 공급한다. The protective film applying chamber 610 applies a protective film for protecting the resist film on the substrate W during liquid immersion exposure. The protective film application chamber 610 has a housing 611, a support plate 612, and a nozzle 613. The housing 611 has a cup shape with its top opened. The support plate 612 is located in the housing 611 and supports the substrate W. [ The support plate 612 is rotatably provided. The nozzle 613 supplies a protective liquid for forming a protective film onto the substrate W placed on the supporting plate 612. The nozzle 613 has a circular tube shape and can supply the protective liquid to the center of the substrate W. [ Alternatively, the nozzle 613 may have a length corresponding to the diameter of the substrate W, and the discharge port of the nozzle 613 may be provided with a slit. In this case, the support plate 612 may be provided in a fixed state. The protective liquid includes a foamable material. The protective liquid may be a photoresist and a material having a low affinity for water. For example, the protective liquid may contain a fluorine-based solvent. The protective film application chamber 610 supplies the protective liquid to the central region of the substrate W while rotating the substrate W placed on the support plate 612.

베이크 챔버(620)는 보호막이 도포된 기판(W)을 열처리한다. 베이크 챔버(620)는 냉각 플레이트(621) 또는 가열 플레이트(622)를 가진다. 냉각 플레이트(621)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(623)이 제공된다. 또는 가열 플레이트(622)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(624)이 제공된다. 가열 플레이트(622)와 냉각 플레이트(621)는 하나의 베이크 챔버(620) 내에 각각 제공될 수 있다. 선택적으로 베이크 챔버들(620) 중 일부는 가열 플레이트(622) 만을 구비하고, 다른 일부는 냉각 플레이트(621) 만을 구비할 수 있다. The bake chamber 620 heat-treats the substrate W coated with the protective film. The bake chamber 620 has a cooling plate 621 or a heating plate 622. The cooling plate 621 is provided with a cooling means 623 such as a cooling water or a thermoelectric element. Or heating plate 622 is provided with a heating means 624, such as a hot wire or a thermoelectric element. The heating plate 622 and the cooling plate 621 may be provided in a single bake chamber 620, respectively. Optionally, some of the bake chambers 620 may have only the heating plate 622, while others may only have the cooling plate 621.

후처리 모듈(602)은 세정 챔버(660), 노광 후 베이크 챔버(670), 그리고 반송 챔버(680)를 가진다. 세정 챔버(660), 반송 챔버(680), 그리고 노광 후 베이크 챔버(670)는 제 2 방향(14)을 따라 순차적으로 배치된다. 따라서 세정 챔버(660)와 노광 후 베이크 챔버(670)는 반송 챔버(680)를 사이에 두고 제 2 방향(14)으로 서로 이격되게 위치된다. 세정 챔버(660)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치될 수 있다. 선택적으로 세정 챔버(660)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 복수 개가 제공되며, 서로 층을 이루도록 제 3 방향(16)을 따라 배치될 수 있다. 선택적으로 노광 후 베이크 챔버(670)는 제 1 방향(12) 및 제 3 방향(16)으로 각각 복수 개씩 제공될 수 있다. The post-processing module 602 has a cleaning chamber 660, a post-exposure bake chamber 670, and a delivery chamber 680. The cleaning chamber 660, the transfer chamber 680, and the post-exposure bake chamber 670 are sequentially disposed along the second direction 14. Accordingly, the cleaning chamber 660 and the post-exposure baking chamber 670 are positioned apart from each other in the second direction 14 with the transfer chamber 680 therebetween. A plurality of cleaning chambers 660 are provided and may be disposed along the third direction 16 to form layers. Alternatively, a plurality of cleaning chambers 660 may be provided in the first direction 12 and the third direction 16, respectively. A plurality of post-exposure bake chambers 670 are provided and may be disposed along the third direction 16 to form layers. Alternatively, a plurality of post-exposure bake chambers 670 may be provided in the first direction 12 and the third direction 16, respectively.

반송 챔버(680)는 상부에서 바라볼 때 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540)와 제 1 방향(12)으로 나란하게 위치된다. 반송 챔버(680)는 대체로 정사각 또는 직사각의 형상을 가진다. 반송 챔버(680) 내에는 후처리 로봇(682)이 위치된다. 후처리 로봇(682)은 세정 챔버들(660), 노광 후 베이크 챔버들(670), 제 2 버퍼 모듈(500)의 제 2 냉각 챔버(540), 그리고 후술하는 인터페이스 모듈(700)의 제 2 버퍼(730) 간에 기판(W)을 운반한다. 후처리 모듈(602)에 제공된 후처리 로봇(682)은 전처리 모듈(601)에 제공된 전처리 로봇(632)과 동일한 구조로 제공될 수 있다. The transfer chamber 680 is positioned in parallel with the second cooling chamber 540 of the second buffer module 500 in the first direction 12 as viewed from above. The transfer chamber 680 has a generally square or rectangular shape. A post processing robot 682 is located in the transfer chamber 680. The post-processing robot 682 is connected to the cleaning chambers 660, post-exposure bake chambers 670, the second cooling chamber 540 of the second buffer module 500, and the second And transfers the substrate W between the buffers 730. The postprocessing robot 682 provided in the postprocessing module 602 may be provided with the same structure as the preprocessing robot 632 provided in the preprocessing module 601. [

세정 챔버(660)는 노광 공정 이후에 기판(W)을 세정한다. 세정 챔버(660)는 하우징(661), 지지 플레이트(662), 그리고 노즐(663)을 가진다. 하우징(661)는 상부가 개방된 컵 형상을 가진다. 지지 플레이트(662)는 하우징(661) 내에 위치되며, 기판(W)을 지지한다. 지지 플레이트(662)는 회전 가능하게 제공된다. 노즐(663)은 지지 플레이트(662)에 놓인 기판(W) 상으로 세정액을 공급한다. 세정액으로는 탈이온수와 같은 물이 사용될 수 있다. 세정 챔버(660)는 지지 플레이트(662)에 놓인 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 중심 영역으로 세정액을 공급한다. 선택적으로 기판(W)이 회전되는 동안 노즐(663)은 기판(W)의 중심 영역에서 가장자리 영역까지 직선 이동 또는 회전 이동할 수 있다. The cleaning chamber 660 cleans the substrate W after the exposure process. The cleaning chamber 660 has a housing 661, a support plate 662, and a nozzle 663. The housing 661 has a cup shape with an open top. The support plate 662 is located in the housing 661 and supports the substrate W. [ The support plate 662 is rotatably provided. The nozzle 663 supplies the cleaning liquid onto the substrate W placed on the support plate 662. As the cleaning liquid, water such as deionized water may be used. The cleaning chamber 660 supplies the cleaning liquid to the central region of the substrate W while rotating the substrate W placed on the support plate 662. Optionally, while the substrate W is rotating, the nozzle 663 may move linearly or rotationally from the central region of the substrate W to the edge region.

노광 후 베이크 챔버(670)는 원자외선을 이용하여 노광 공정이 수행된 기판(W)을 가열한다. 노광 후 베이크 공정은 기판(W)을 가열하여 노광에 의해 포토 레지스트에 생성된 산(acid)을 증폭시켜 포토 레지스트의 성질 변화를 완성시킨다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 가열 플레이트(672)를 가진다. 가열 플레이트(672)에는 열선 또는 열전 소자와 같은 가열 수단(674)이 제공된다. 노광 후 베이크 챔버(670)는 그 내부에 냉각 플레이트(671)를 더 구비할 수 있다. 냉각 플레이트(671)에는 냉각수 또는 열전 소자와 같은 냉각 수단(673)이 제공된다. 또한, 선택적으로 냉각 플레이트(671)만을 가진 베이크 챔버가 더 제공될 수 있다. The post-exposure bake chamber 670 heats the substrate W subjected to the exposure process using deep UV light. The post-exposure baking step heats the substrate W and amplifies the acid generated in the photoresist by exposure to complete the property change of the photoresist. The post-exposure bake chamber 670 has a heating plate 672. The heating plate 672 is provided with a heating means 674 such as a hot wire or a thermoelectric element. The post-exposure bake chamber 670 may further include a cooling plate 671 therein. The cooling plate 671 is provided with a cooling means 673 such as a cooling water or a thermoelectric element. Further, a bake chamber having only the cooling plate 671 may be further provided.

상술한 바와 같이 노광 전후 처리 모듈(600)에서 전처리 모듈(601)과 후처리 모듈(602)은 서로 간에 완전히 분리되도록 제공된다. 또한, 전처리 모듈(601)의 반송 챔버(630)와 후처리 모듈(602)의 반송 챔버(680)는 동일한 크기로 제공되어, 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다. 또한, 보호막 도포 챔버(610)와 세정 챔버(660)는 서로 동일한 크기로 제공되어 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다. 또한, 베이크 챔버(620)와 노광 후 베이크 챔버(670)는 동일한 크기로 제공되어, 상부에서 바라볼 때 서로 간에 완전히 중첩되도록 제공될 수 있다.As described above, the pre-processing module 601 and the post-processing module 602 in the pre-exposure processing module 600 are provided to be completely separated from each other. The transfer chamber 630 of the preprocessing module 601 and the transfer chamber 680 of the postprocessing module 602 are provided in the same size and can be provided so as to completely overlap each other when viewed from above. Further, the protective film application chamber 610 and the cleaning chamber 660 may be provided to have the same size as each other and be provided so as to completely overlap with each other when viewed from above. Further, the bake chamber 620 and the post-exposure bake chamber 670 are provided in the same size, and can be provided so as to completely overlap each other when viewed from above.

인터페이스 모듈(700)은 노광 전후 처리 모듈(600), 및 노광 장치(900) 간에 기판(W)을 이송한다. 인터페이스 모듈(700)은 프레임(710), 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 인터페이스 로봇(740)를 가진다. 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 인터페이스 로봇(740)은 프레임(710) 내에 위치된다. 제 1 버퍼(720)와 제 2 버퍼(730)는 서로 간에 일정거리 이격되며, 서로 적층되도록 배치된다. 제 1 버퍼(720)는 제 2 버퍼(730)보다 높게 배치된다. 제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)과 대응되는 높이에 위치되고, 제 2 버퍼(730)는 후처리 모듈(602)에 대응되는 높이에 배치된다. 상부에서 바라볼 때 제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)의 반송 챔버(630)와 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치되고, 제 2 버퍼(730)는 후처리 모듈(602)의 반송 챔버(630)와 제 1 방향(12)을 따라 일렬로 배치되게 위치된다. The interface module 700 transfers the substrate W between the exposure pre- and post-processing module 600 and the exposure apparatus 900. The interface module 700 has a frame 710, a first buffer 720, a second buffer 730, and an interface robot 740. The first buffer 720, the second buffer 730, and the interface robot 740 are located within the frame 710. The first buffer 720 and the second buffer 730 are spaced apart from each other by a predetermined distance and are stacked on each other. The first buffer 720 is disposed higher than the second buffer 730. The first buffer 720 is positioned at a height corresponding to the preprocessing module 601 and the second buffer 730 is positioned at a height corresponding to the postprocessing module 602. The first buffer 720 is arranged in a line along the first direction 12 with the transfer chamber 630 of the preprocessing module 601 while the second buffer 730 is arranged in the postprocessing module 602, Are arranged in a line along the first direction 12 with the transfer chamber 630 of the transfer chamber 630. [

인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720) 및 제 2 버퍼(730)와 제 2 방향(14)으로 이격되게 위치된다. 인터페이스 로봇(740)은 제 1 버퍼(720), 제 2 버퍼(730), 그리고 노광 장치(900) 간에 기판(W)을 운반한다. 인터페이스 로봇(740)은 제 2 버퍼 로봇(560)과 대체로 유사한 구조를 가진다.The interface robot 740 is spaced apart from the first buffer 720 and the second buffer 730 in the second direction 14. The interface robot 740 carries the substrate W between the first buffer 720, the second buffer 730 and the exposure apparatus 900. The interface robot 740 has a structure substantially similar to that of the second buffer robot 560.

제 1 버퍼(720)는 전처리 모듈(601)에서 공정이 수행된 기판들(W)이 노광 장치(900)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 그리고 제 2 버퍼(730)는 노광 장치(900)에서 공정이 완료된 기판들(W)이 후처리 모듈(602)로 이동되기 전에 이들을 일시적으로 보관한다. 제 1 버퍼(720)는 하우징(721)과 복수의 지지대들(722)을 가진다. 지지대들(722)은 하우징(721) 내에 배치되며, 서로 간에 제 3 방향(16)을 따라 이격되게 제공된다. 각각의 지지대(722)에는 하나의 기판(W)이 놓인다. 하우징(721)은 인터페이스 로봇(740) 및 전처리 로봇(632)이 하우징(721) 내로 지지대(722)에 기판(W)을 반입 또는 반출할 수 있도록 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 전처리 로봇(632)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 제 2 버퍼(730)는 제 1 버퍼(720)와 대체로 유사한 구조를 가진다. 다만, 제 2 버퍼(730)의 하우징(4531)에는 인터페이스 로봇(740)이 제공된 방향 및 후처리 로봇(682)이 제공된 방향에 개구(도시되지 않음)를 가진다. 인터페이스 모듈에는 기판(W)에 대해 소정의 공정을 수행하는 챔버의 제공 없이 상술한 바와 같이 버퍼들 및 로봇만 제공될 수 있다.The first buffer 720 temporarily stores the substrates W processed in the preprocessing module 601 before they are transferred to the exposure apparatus 900. The second buffer 730 temporarily stores the processed substrates W in the exposure apparatus 900 before they are transferred to the post-processing module 602. The first buffer 720 has a housing 721 and a plurality of supports 722. The supports 722 are disposed within the housing 721 and are provided spaced apart from each other in the third direction 16. One substrate W is placed on each support 722. The housing 721 is movable in the direction in which the interface robot 740 is provided and in the direction in which the interface robot 740 and the preprocessing robot 632 transfer the substrate W to and from the support table 722, 632 are provided with openings (not shown) in the direction in which they are provided. The second buffer 730 has a structure substantially similar to that of the first buffer 720. However, the housing 4531 of the second buffer 730 has an opening (not shown) in the direction in which the interface robot 740 is provided and in a direction in which the postprocessing robot 682 is provided. Only the buffers and robots can be provided as described above without providing a chamber for performing a predetermined process on the substrate W in the interface module.

852: 내측컵 862: 외측컵
863: 몸체 1000: 커버
1100: 가이드 1122: 안내 유로
1022: 토출홀 1040. 1040a: 제1홈
1060, 1060a: 제2홈 1300: 제어기852: inner cup 862: outer cup
863: Body 1000: Cover
1100: Guide 1122: Guide channel
1022: Discharge hole 1040. 1040a: First groove
1060, 1060a: second groove 1300: controller

Claims

A substrate supporting unit for supporting the substrate;
A processing liquid supply unit for supplying the processing liquid onto the substrate supported by the substrate supporting unit;
A processing vessel surrounding the periphery of the substrate supporting unit and recovering the processing liquid supplied onto the substrate supported by the substrate supporting unit;
A cleaning liquid supply unit for supplying a cleaning liquid to the processing vessel to clean the processing vessel;
And a guide for providing a guide passage for guiding the discharge direction of the cleaning liquid,
Wherein the processing vessel includes:
An outer cup provided in an annular ring shape and in which a discharge hole through which a cleaning liquid is discharged is formed;
And an inner cup located on the inner side of the outer cup and forming a recovery path in combination with the outer cup to recover the liquid,
Wherein the guide is coupled to the processing container such that the guide passage extends from the discharge hole,
Wherein the outer cup comprises:
A body having an inclined portion whose inner surface is inclined downward along a direction away from the substrate supporting unit;
And a cover coupled to an upper surface of the inclined portion and having an inner diameter narrower than an upper end of the inclined portion,
A space between the inclined portion and the cover is provided as a supply passage through which the cleaning liquid is supplied,
The supply passage communicates with the discharge hole,
The guide
An arc-shaped first body coupled to the cover;
And a second body coupled to the cover to be independent of the first body and having an annular ring shape in combination with the first body.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the guide passage is formed by the guide and the inner surface of the inclined portion.

The method of claim 3,
Wherein the guide is detachable to the cover.

5. The method of claim 4,
Wherein the width of the guide passage is provided in the same direction in accordance with the direction in which the cleaning liquid is supplied.

5. The method of claim 4,
The width of the guide passage narrows in accordance with a direction in which the cleaning liquid is supplied.

delete

A substrate supporting unit for supporting the substrate;
A processing liquid supply unit for supplying the processing liquid onto the substrate supported by the substrate supporting unit;
A processing vessel surrounding the periphery of the substrate supporting unit and recovering the processing liquid supplied onto the substrate supported by the substrate supporting unit;
A cleaning liquid supply unit for supplying a cleaning liquid to the processing vessel to clean the processing vessel;
And a guide for providing a guide passage for guiding the discharge direction of the cleaning liquid,
Wherein the processing vessel includes:
An outer cup provided in an annular ring shape and in which a discharge hole through which a cleaning liquid is discharged is formed;
And an inner cup located on the inner side of the outer cup and forming a recovery path in combination with the outer cup to recover the liquid,
Wherein the guide is coupled to the processing container such that the guide passage extends from the discharge hole,
Wherein the outer cup comprises:
A body having an inclined portion whose inner surface is inclined downward along a direction away from the substrate supporting unit;
And a cover coupled to an upper surface of the inclined portion and having an inner diameter narrower than an upper end of the inclined portion,
A space between the inclined portion and the cover is provided as a supply passage through which the cleaning liquid is supplied,
The supply passage communicates with the discharge hole,
Wherein a first groove is formed on an upper surface of the inclined portion along a circumferential direction of the inclined portion.

9. The method of claim 8,
A second groove extending downward from the first groove along a circumferential direction of the inclined portion is further formed on an upper surface of the inclined portion,
Wherein the second groove is formed closer to the outer end than the inner end of the first groove when viewed from above.

9. The method of claim 8,
A second groove is formed on the upper surface of the inclined portion along the circumferential direction of the inclined portion,
Wherein the first groove and the second groove are positioned separately from each other,
Wherein the first groove and the second groove have different depths from each other.

11. The method of claim 10,
The first groove is formed to surround the second groove when viewed from above,
Wherein the first groove has a deeper depth than the second groove.

9. The method of claim 8,
The apparatus further includes a controller for controlling the processing liquid supply unit and the cleaning liquid supply unit,
The cleaning liquid supply unit includes:
And a cleaning liquid supply line provided with a valve and supplying a cleaning liquid to the first groove,
Wherein the controller opens the valve while the processing liquid is being supplied onto the substrate supported by the substrate supporting unit.

9. The method of claim 8,
The apparatus further includes a controller for controlling the processing liquid supply unit and the cleaning liquid supply unit,
The cleaning liquid supply unit includes:
And a cleaning liquid supply line provided with a valve and supplying a cleaning liquid to the first groove,
Wherein the controller opens the valve with the supply of the processing liquid stopped on the substrate supported by the substrate supporting unit.