KR101863854B1 - Slot coater for manufacturing organic solar cell - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 박막 적층 코팅을 구현하는 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
알려진 바에 따르면, 유기태양전지 제조 방법은 기판에 투명재로 애노드 전극을 코팅 하고, 애노드 전극 위에 버퍼층을 코팅 하며, 버퍼층 위에 유기활성층을 코팅 하고, 필름에 캐소드 전극을 코팅 하여, 필름으로부터 캐소드 전극을 유기활성층에 라미네이팅 한다.According to a known method for manufacturing an organic solar cell, an anode electrode is coated on a substrate as a transparent material, a buffer layer is coated on the anode electrode, an organic active layer is coated on the buffer layer, a cathode electrode is coated on the buffer film, Laminating the organic active layer.
이와 같은 코팅 공정에 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터가 사용된다. 슬롯 코터는 기판이 배치되는 스테이지, 및 스테이지의 상방에 배치되어 스테이지에 대하여 x, y, z축 방향을 따라 입체적으로 이동되면서 기판에 재료들을 적층 코팅하는 슬롯 다이를 포함한다.A slot coater for manufacturing organic solar cells is used in such a coating process. The slot coater includes a stage on which a substrate is placed, and a slot die that is disposed above the stage and moves in three dimensions along the x, y, and z axis directions with respect to the stage to laminate the materials on the substrate.
재료들의 적층 코팅을 위하여, 스테이지에서 슬롯 다이의 원점, 즉 기준이 되는 높이 설정이 필요하다. 슬롯 다이의 기준 높이는 토출단과 코팅 대상 사이에 이격된 높이를 의미한다. 원점 설정 방법에는 비접촉식 높이 설정 방법과 접촉식 높이 설정방법이 있다. For laminate coating of materials, the origin of the slot die in the stage, i.e. the reference height setting, is required. The reference height of the slot die means the height spaced between the discharge end and the coating object. There are two methods of origin setting: non-contact height setting and contact height setting method.
비접촉식 높이 설정 방법은 비접촉식 높이 검출 센서의 피드백을 모아서 모터를 제어하여 슬롯 다이의 기준 높이, 즉 원점을 설정한다. 접촉식 높이 설정 방법은 슬롯 다이를 코팅면에 직접 접촉하여 기계적으로 슬롯 다이의 기준 높이, 즉 원점을 설정한다.The non-contact height setting method collects the feedback of the non-contact type height detecting sensor and controls the motor to set the reference height of the slot die, that is, the origin. In the contact height setting method, the slot die is brought into direct contact with the coating surface to mechanically set the reference height of the slot die, that is, the origin.
비접촉식 높이 설정 방법은 높이 검출 센서의 검출값에 의존하므로 높이 검출 센서의 오작동시 사고를 발생시킬 수 있고, 높이 검출 센서가 고가이므로 슬롯 코터의 제작 비용을 상승시킬 수 있다.Since the method of setting the height of the non-contact type depends on the detection value of the height detection sensor, it is possible to cause an accident when the height detection sensor malfunctions, and the cost of the slot coater can be increased because the height detection sensor is expensive.
접촉식 높이 설정 방법은 기계적으로 원점을 설정하므로 슬롯 다이의 무게로 인하여 코팅층이 눌려짐에 따라 슬롯 다이의 기준 높이(코팅층의 높이)가 코팅할 기판의 종류에 따라 다르게 설정될 수 있다. 그리고 슬롯 다이가 코팅층 및 기판을 직접 찍게 되므로 기판이 손상될 수도 있다.Since the contact height setting method mechanically sets the origin, the reference height (the height of the coating layer) of the slot die may be set differently depending on the type of the substrate to be coated as the coating layer is pressed due to the weight of the slot die. And the slot die may directly scratch the coating layer and the substrate, so that the substrate may be damaged.
본 발명의 목적은 슬롯 다이의 원점(슬롯 다이의 토출단과 코팅 대상이 접촉되는 높이)을 기계적인 절대값으로 설정하는 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터를 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a slot coater for manufacturing an organic solar battery which sets the origin of the slot die (the height at which the discharge end of the slot die and the coating object are in contact with each other) to a mechanical absolute value.
본 발명의 목적은 기재 및 선 코팅층의 손상을 방지하고, 기재 및 선 코팅층의 눌림으로 인한 슬롯 다이의 기준 높이에 대한 오차를 제거하는 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a slot coater for manufacturing an organic solar cell, which prevents damage to the substrate and the precoating layer, and eliminates the error with respect to the reference height of the slot die due to the pressing of the substrate and the precoating layer.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터는, 코팅될 기재를 잡아주는 스테이지, 상기 스테이지의 상방에서 제1방향으로 이동되는 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트에 승강 모터를 개재하여 설치되어 상기 제1방향에 교차하는 제2방향으로 승강되는 승강 플레이트, 및 상기 승강 플레이트에 가이드 부재를 개재하여 설치되고 액츄에이터에 연결되어 상기 제2방향에 교차하는 제3방향으로 이동되는 슬롯 다이를 포함하고, 상기 베이스 플레이트는 일측에 높이 기준부를 구비하며, 상기 스테이지는 상기 슬롯 다이의 기준단에 접촉되는 원점 설정부를 구비하고, 상기 승강 플레이트는 상기 높이 기준부에 마주하는 변위 센서를 구비하며, 상기 변위 센서는 상기 기준단이 상기 원점 설정부에 접촉된 원점(H0) 상태에서, 상기 높이 기준부와 이격된 높이(H)를 감지한다.A slot coater for manufacturing an organic solar battery according to an embodiment of the present invention includes a stage for holding a substrate to be coated, a base plate moving in a first direction from above the stage, And a slot die connected to the actuator and being moved in a third direction intersecting the second direction, the slot die being provided with a guide member and being movable in a second direction crossing the first direction, Wherein the base plate has a height reference portion at one side thereof, the stage includes an origin setting portion contacting the reference end of the slot die, the lift plate having a displacement sensor facing the height reference portion, (H0) in which the reference end is in contact with the origin setting unit, It detects the part and spaced a height (H).
상기 슬롯 다이의 기준단은 상기 슬롯 다이의 토출단으로 형성될 수 있다.The reference end of the slot die may be formed as a discharge end of the slot die.
상기 원점 설정부는 상기 스테이지의 상기 제1방향 일측에서 상기 제3방향을 따라 배치되고, 상기 제1방향을 따라 가변적인 높이를 형성할 수 있다.The origin setting unit may be disposed along the third direction at one side of the first direction of the stage, and may form a variable height along the first direction.
상기 원점 설정부는, 상기 제1방향과 상기 제2방향에서 절단할 때, 상기 제1방향으로 설정된 거리를 가지고, 상기 제2방향으로 설정된 높이를 가지며, 상기 제1방향과 상기 제2방향에 대하여 설정된 각도를 가지는 삼각형 단면으로 형성될 수 있다.Wherein the origin point setting unit has a distance set in the first direction and a height set in the second direction when cutting in the first direction and the second direction, And may be formed in a triangular cross section having a set angle.
상기 원점 설정부는 상기 제3방향을 따라 일체 또는 상기 제3방향 양측으로 분리될 수 있다.And the origin setting unit may be separated along the third direction as a whole or on both sides in the third direction.
상기 승강 모터는 제1모터와 제2모터를 포함하고, 상기 변위 센서는 제1센서와 제2센서를 포함하며, 상기 베이스 플레이트와 상기 승강 플레이트는 상기 제3방향의 상기 제1센서 측에서 상기 제1모터로 연결되고, 상기 제2센서 측에서 상기 제2모터로 연결될 수 있다.Wherein the elevating motor includes a first motor and a second motor, wherein the displacement sensor includes a first sensor and a second sensor, and the base plate and the elevation plate are disposed on the first sensor side in the third direction, And may be connected to the second motor at the second sensor side.
상기 슬롯 다이는 다층 코팅시, 상기 기재에 선 코팅된 패턴을 감지하는 얼라인 센서를 구비하며, 상기 액츄에이터는 상기 얼라인 센서의 감지에 따라 상기 제3방향으로 이동되어 상기 슬롯 다이의 토출단을 선 코팅층에 얼라인 할 수 있다.Wherein the slot die includes an alignment sensor for sensing a pattern coated on the substrate in a multilayer coating, the actuator being moved in the third direction in response to detection of the alignment sensor, It can be aligned to the line coating layer.
상기 슬롯 다이의 기준단은 상기 슬롯 다이의 토출단 양측방에서 제3방향으로 돌출 형성되는 브래킷으로 형성되고, 상기 브래킷은 상기 원점 설정부에 대응하여 접촉되는 대응면을 가질 수 있다.The reference end of the slot die may be formed of a bracket protruding in the third direction from both sides of the discharge end of the slot die, and the bracket may have a corresponding surface that is in contact with the origin setting portion.
상기 원점 설정부는 상기 스테이지의 상기 제1방향 일측에서 상기 제3방향 양측에 배치되는 블록으로 형성되고, 상기 블록은 상기 브래킷의 대응면에 면접촉 하도록 상기 제1방향을 따라 가변적인 높이를 형성할 수 있다.Wherein the origin setting unit is formed as a block disposed on both sides in the third direction from the first direction of the stage and the block has a variable height along the first direction so as to be in surface contact with the corresponding surface of the bracket .
이와 같이 본 발명의 일 실시예에서, 변위 센서는 기준단이 원점 설정부에 접촉된 원점(H0) 상태에서, 높이 기준부와 이격된 높이(H)를 감지하므로 코팅 대상(기재 또는 선 코팅층)과 슬롯 다이의 기준단 사이의 기준 높이(Ha)를 위한 원점(H0)을 기계적인 절대값으로 설정할 수 있다.Thus, in the embodiment of the present invention, the displacement sensor senses the height H spaced apart from the height reference portion in the origin (H0) state where the reference end contacts the origin setting portion, And the reference height H0 between the reference end of the slot die and the reference end of the slot die as a mechanical absolute value.
원점 설정 후, 슬롯 다이의 토출단이 승강할 때, 변위 센서는 높이(H)(즉, 원점(H0))에서 변화된 높이(ΔH)를 더 감지하므로 코팅 대상(기재 또는 선 코팅층)과 토출단 사이의 기준 높이(Ha=H+ΔH)를 알 수 있게 한다.When the discharge end of the slot die ascends and descends after setting the origin, the displacement sensor senses a further changed height H from the height H (i.e., the origin H0), so that the coating target (substrate or wire coating layer) (Ha = H + [Delta] H).
본 발명의 일 실시예는 슬롯 다이의 토출구가 기재나 코팅층에 접촉되지 않으므로 기재 및 코팅층의 손상을 제거하고, 기재 및 코팅층의 눌림으로 인한 슬롯 다이의 기준 높이(토출단과 코팅 대상 사이의 높이)에 대한 오차를 제거할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, since the discharge port of the slot die is not in contact with the substrate or the coating layer, damage to the substrate and the coating layer is eliminated, and the reference height of the slot die (height between the discharging end and the coating object) The error can be eliminated.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터의 사시도이다.
도 2는 도 1의 스테이지를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1에서 슬롯 다이를 제거한 상태에서, 승강 플레이트를 제1, 제2모터로 베이스 플레이트에 설치한 상태의 정면도이다.
도 4는 도 1에서 슬롯 다이를 승강 플레이트에 설치하여 얼라인 액츄에이터로 얼라인 하는 상태도이다.
도 5는 도 1의 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터를 제어하는 블록도이다.
도 6은 도 5의 스테이지에 구비되는 원점 설정부에 슬롯 다이를 접촉하여 원점을 설정하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터로 유기 태양전지의 한 패턴을 형성한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터로 유기 태양전지의 다른 패턴을 형성한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터의 사시도이다.
도 10은 도 9의 측면도이다.
도 11은 도 9의 정면도이다.1 is a perspective view of a slot coater for manufacturing an organic solar battery according to a first embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing the stage of FIG.
Fig. 3 is a front view of a state in which the lift plate is installed on the base plate with the first and second motors, with the slot die removed in Fig. 1;
Fig. 4 is a state in which the slot die is installed on the lifting plate in Fig. 1 and aligned by an aligning actuator.
5 is a block diagram for controlling the slot coater for manufacturing the organic solar battery of FIG.
FIG. 6 is a cross-sectional view of setting the origin by contacting a slot die to the origin setting unit provided in the stage of FIG. 5;
FIG. 7 is a plan view of a patterned organic solar cell with a slot coater for manufacturing an organic solar cell according to a first embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 8 is a plan view showing another pattern of an organic solar cell with a slot coater for manufacturing an organic solar cell according to the first embodiment of the present invention.
9 is a perspective view of a slot coater for manufacturing an organic solar battery according to a second embodiment of the present invention.
10 is a side view of Fig.
11 is a front view of Fig.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 당업자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터의 사시도이다. 도 1을 참조하면, 제1실시예의 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터(1)는 유기 태양전지(OPV, organic photovoltaic)의 일측을 형성하는 기재에 애노드 전극, 버퍼층 및 유기활성층을 박막으로 코팅 하고, 유기 태양전지의 다른 일측을 형성하는 필름에 캐소드 전극을 박막으로 코팅 하는 데 효과적으로 사용될 수 있다. 유기 태양전지는 기재의 유기활성층에 필름의 캐소드 전극을 부착하여 형성된다.1 is a perspective view of a slot coater for manufacturing an organic solar battery according to a first embodiment of the present invention. 1, the
유기 태양전지 제조용 슬롯 코터(1)는 스테이지(10), 베이스 플레이트(20), 승강 플레이트(30) 및 슬롯 다이(40)를 포함한다. 베이스 플레이트(20)는 스테이지(10) 상에서 제1방향(x축 방향)으로 이동되고, 승강 플레이트(30)는 베이스 플레이트(20)에서 제1방향(x축 방향)에 교차하는 제2방향(z축 방향)으로 승강되며, 슬롯 다이(40)는 승강 플레이트(30)에서 제2방향(z축 방향)에 교차하는 제3방향(y축 방향)으로 이동된다.The
도 2는 도 1의 스테이지를 도시한 사시도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 스테이지(10)는 코팅될 대상인 기재(S)를 잡을 수 있도록 구성된다. 일례로써, 스테이지(10)는 진공 흡착 등의 방법으로 기재(S)를 고정할 수 있다. 스테이지(10)는 기재(S)를 흡착하도록 xy 평면을 형성한다. 2 is a perspective view showing the stage of FIG. Referring to Figures 1 and 2, the
슬롯 다이(40)가 x축 방향으로 전진 및 후진 이동하는 경우, 스테이지(10)는 x축 방향으로 작동되지 않는다. 스테이지(10)는 슬롯 다이(40)의 기준단에 기계적으로 접촉되는 원점 설정부(11)를 구비한다. 일례로써, 슬롯 다이(40)의 기준단은 슬롯 다이(40)의 토출단(41)으로 형성될 수 있다.When the slot die 40 moves forward and backward in the x-axis direction, the
도 3은 도 1에서 슬롯 다이를 제거한 상태에서, 승강 플레이트를 제1, 제2모터로 베이스 플레이트에 설치한 상태의 정면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 베이스 플레이트(20)는 대략 yz 평면에 대응하는 평면으로 형성되어 스테이지(10)의 상방에서 제1방향(x축 방향)으로 전진 및 후진 이동한다.Fig. 3 is a front view of a state in which the lift plate is installed on the base plate with the first and second motors, with the slot die removed in Fig. 1; 1 and 2, the
베이스 플레이트(20)는 스테이지(10)의 평면에 수직 상태로 배치되어 스테이지(10)의 xy 평면에 대응하여 수직 상태로 배치되어 x축 방향으로 이동된다. 베이스 플레이트(20)를 x축 방향으로 전진 및 후진 작동시키는 구성은 통상적인 구성일 수 있으므로 여기에서 그 구체적인 구성을 생략한다.The
베이스 플레이트(20)는 스테이지(10)의 평면에 대하여 1차적인 높이를 형성하며, 일측에 높이 기준부(21)를 구비한다. 높이 기준부(21)는 베이스 플레이트(20)의 하단을 절곡한 절곡면으로 형성될 수 있다. 즉 높이 기준부(21)는 베이스 플레이트(20)의 yz 평면에 대하여 y축 방향을 따라 균일한 높이의 xy 평면으로 설정된다.The
승강 플레이트(30)는 베이스 플레이트(20)에 승강 모터, 제1모터(M1)와 제2모터(M2)를 개재하여 설치된다. 제1, 제2모터(M1, M2)의 작동에 따라 승강 플레이트(30)는 베이스 플레이트(20) 상에서 제2방향(z축 방향)으로 승강 작동된다.The
제1, 제2모터(M1, M2)는 y축 방향 양측에서 승강 플레이트(30)를 베이스 플레이트(20)에 설치하므로 승강 플레이트(30)를 y축 방향 양단에서 어느 일측으로 기울어져 편향되는 것을 방지할 수 있다.Since the first and second motors M1 and M2 are installed on the
즉 제1, 제2모터(M1, M2)의 승강에 따라서, 승강 플레이트(30)에 설치되는 슬롯 다이(40)의 토출단(41)은 원점 설정부(11)에 기계적으로 접촉된 원점(H0) 상태(도 6의 가상선 상태)에서, 높이 기준부(21)로부터 이격된 높이(H)가 y축 방향 전체 범위에 걸쳐서 동일하게 된다(도 3 참조). 또한 코팅 대상인 기재(S) 또는 선(先) 코팅층(C)과 토출단(41) 사이의 기준 높이(Ha=H+ΔH)가 y축 방향 전체 범위에 걸쳐서 동일하게 설정된다(도 4 참조).The discharging
도 4는 도 1에서 슬롯 다이를 승강 플레이트에 설치하여 얼라인 액츄에이터로 얼라인 하는 상태도이다. 도 1 및 도 4를 참조하면, 슬롯 다이(40)는 승강 플레이트(30)에 y축 방향으로 배치되는 가이드 부재(44)를 개재하여 설치되고, 액츄에이터(42)에 연결된다.Fig. 4 is a state in which the slot die is installed on the lifting plate in Fig. 1 and aligned by an aligning actuator. 1 and 4, the slot die 40 is installed on the lifting
가이드 부재(44)의 길이 방향에서, 액츄에이터(42)는 슬롯 다이(40)의 y축 방향 일측에 연결된다. 따라서 액츄에이터(42)는 가이드 부재(44)를 따라 슬롯 다이(40)를 y축 방향으로 이동시킬 수 있다.In the longitudinal direction of the
다시 도 1 및 도 3을 참조하면, 승강 플레이트(30)는 높이 기준부(21)에 마주하는 변위 센서, 예를 들면, 제1센서(S1)와 제2센서(S2)를 구비한다. 슬롯 다이(40)의 토출단(41)이 원점 설정부(11)에 접촉된 원점(H0) 상태(도 6 가상선)에서, 제1, 제2센서(S1, S2)는 슬롯 다이(40)의 기준단인 토출단(41)과 코팅 대상의 이격된 높이(H)를 감지한다.Referring again to FIGS. 1 and 3, the lifting
제1, 제2센서(S1, S2)가 감지하는 높이 기준부(21)에 대한 높이(H)는 코팅 대상인 기재(S) 또는 선 코팅층(C)과 토출단(41) 사이의 원점(H0) 상태에서의 높이를 의미하게 된다. 즉 제1, 제2센서(S1, S2)는 코팅 대상인 기재(S) 또는 선 코팅층(C)과 토출단(41) 사이의 원점(H0) 상태일 때, 높이 기준부(21)에 대한 높이(H)를 알 수 있게 한다.The height H of the
도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 제1실시예는 토출단(41)을 기재(S) 또는 선 코팅층(C)에 접촉시키지 않으면서 토출단(41)의 기준 높이(Ha)를 위한 슬롯 다이(40)의 원점(H0)을 기계적인 절대값으로 설정할 수 있게 된다.1, 3 and 4, the first embodiment differs from the first embodiment in that the reference height Ha of the
코팅 대상(기재(S) 또는 선 코팅층(C))과 토출단(41) 사이의 기준 높이(Ha=H+ΔH)는 원점 설정 후, 제1, 제2모터(M1, M2)에 의하여 슬롯 다이(40)의 토출단(41)이 승강할 때, 제1, 제2센서(S1, S2)가 기 감시한 높이(H)(즉, 원점(H0))에서 변화된 높이(ΔH)를 더 감지함으로써 알 수 있게 된다.The reference height Ha = H + H between the coating target (substrate S or the coating layer C) and the
베이스 플레이트(20)와 승강 플레이트(30)는 제3방향(y축 방향)의 제1센서(S1) 측에서 제1모터(M1)로 연결되고, 제2센서(S2) 측에서 제2모터(M2)로 연결된다.The
즉 제1모터(M1)의 작동에 따라 제1센서(S1)는 y축 방향 일측에서 슬롯 다이(40)의 토출단(41)이 원점 설정부(11)에 접촉된 원점(H0) 상태에서, 높이 기준부(21)와 이격된 높이(H)를 감지한다.The first sensor S1 is moved in the y-axis direction from the origin H0 where the discharge end 41 of the slot die 40 is in contact with the origin
제2모터(M2)의 작동에 따라 제2센서(S2)는 y축 방향 다른 일측에서 슬롯 다이(40)의 토출단(41)이 원점 설정부(11)에 접촉된 원점(H0) 상태에서, 높이 기준부(21)와 이격된 높이(H)를 감지한다.The second sensor S2 is moved in the y-axis direction from the origin H0 where the discharge end 41 of the slot die 40 comes into contact with the origin
따라서 제1, 제2모터(M1, M2) 및 제1, 제2센서(S1, S2)는 슬롯 다이(40)의 토출단(41)이 y축 방향에서 서로 다른 높이로 설정되는 것을 방지할 수 있게 한다.Therefore, the first and second motors M1 and M2 and the first and second sensors S1 and S2 prevent the discharge end 41 of the slot die 40 from being set at different heights in the y-axis direction I will.
슬롯 다이(40)는 다층 코팅시, 기재(S)에 선 코팅층(C)의 위치를 감지하는 얼라인 센서(43)를 구비한다. 일례로써, 얼라인 센서(43)는 슬롯 다이(40)의 전방에 구비되어 코팅 될 선 코팅층(C)의 위치를 감지할 수 있다. 액츄에이터(42)는 얼라인 센서(43)의 감지에 따라 제3방향(y축 방향)으로 작동되어 슬롯 다이(40)의 토출단(41)을 선 코팅층(C)에 얼라인시킬 수 있다.The slot die 40 has an
도 5는 도 1의 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터를 제어하는 블록도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 제어부(50)의 입력단에 제1, 제2센서(S1, S2) 및 얼라인 센서(43)가 연결되고, 제어부(50)의 출력단에 제1, 제2모터(M1, M2) 및 액츄에이터(42)가 연결된다.5 is a block diagram for controlling the slot coater for manufacturing the organic solar battery of FIG. The first and second sensors S1 and S2 and the
원점(H0) 상태에서 제1, 제2센서(S1, S2)가 감지한 높이 기준부(21)에 대한 높이(H)와 변화된 높이(ΔH) 및 얼라인 센서(43)가 감지한 선 코팅층(C)의 위치는 제어부(50)에 입력된다. 제어부(50)는 높이(H)와 변화된 높이(ΔH) 및 위치에 따라 제1, 제2모터(M1, M2) 및 액츄에이터(42)를 제어하여 토출단(41)의 기준 높이(Ha=H+ΔH)와 위치를 조절할 수 있다.The height H and the changed height H of the
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 원점 설정부(11)는 스테이지(10)의 제1방향(x축 방향) 일측에서 제3방향(y축 방향)을 따라 배치되고, 토출단(41)이 원점 설정부(11)에 접촉된 원점(H0) 상태에서, 제1방향(x축 방향)을 따라 가변적인 높이(H)를 형성할 수 있다.1 and 2, the
도 6은 도 5의 스테이지에 구비되는 원점 설정부에 슬롯 다이를 접촉하여 원점을 설정하는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 원점 설정부(11)는 제1, 제2방향 단면(xz 단면)으로 절단할 때, 삼각형 단면으로 형성된다.FIG. 6 is a cross-sectional view of setting the origin by contacting a slot die to the origin setting unit provided in the stage of FIG. 5; Referring to Fig. 6, the origin
즉 원점 설정부(11)는 제1방향(x축 방향)으로 설정된 거리(L)를 가지고, 제2방향(z축 방향)으로 설정된 최대 높이(H1)를 가지며, 제1, 제2방향(x, z축 방향)에 대하여 설정된 각도(θ)를 가진다. 따라서 원점 설정부(11)는 최대 높이(H1) 범위 내에서, 슬롯 다이(40)의 원점(H0)을 기계적인 절대값으로 설정할 수 있게 한다.The
제어부(50)는 기재(S)의 두께, 원점 설정부(11)의 각도(θ), 거리(L), 및 거리(L)에 대한 높이(슬롯 다이의 원점(H0))에 대한 데이터들을 내장하고 있다. 따라서 제1, 제2모터(M1, M2)에 의하여 슬롯 다이(40)의 토출단(41)이 기재(S) 또는 선 코팅층(C)의 두께에 대응하는 위치에서 원점 설정부(11)에 접촉되는 원점(H0) 상태일 때, 제1, 제2센서(S1, S2)는 높이(H)를 감지하여 제어부(50)에 입력한다. The
이때, 감지된 높이(H)는 토출단(41)이 기재(S)의 두께 또는 선 코팅층(C)의 두께에 대응하여 원점 설정부(11)에 접촉된 원점(H0) 상태이다. 즉 제1, 제2센서(S1, S2)의 감지 높이(H)가 원점 설정부(11)의 원점(H0)을 의미한다.The detected height H is the origin H0 in which the
따라서 제1, 제2모터(M1, M2)는 원점(H0)인 높이(H)에서 추가로 슬롯 다이(40)를 제어하여, 토출단(41)과 기재(S) 또는 토출단(41)과 선 코팅층(C) 사이에 설정되는 기준 높이(Ha=H+ΔH))를 정확하게 설정할 수 있다.The first and second motors M1 and M2 further control the slot die 40 at the height H which is the origin H0 so that the distance between the
이와 같이, 슬롯 다이(40)의 토출단(41)은 기재(S) 및 선 코팅층(C)에 접촉되지 않는다. 따라서 제1실시예는 기재(S) 및 선 코팅층(C)을 손상시키지 않으며, 기재(S) 및 선 코팅층(C)의 눌림으로 인한 슬롯 다이(40)의 원점(H0) 오차를 제거할 수 있다.Thus, the discharge end 41 of the slot die 40 is not in contact with the substrate S and the line coat layer C. Therefore, the first embodiment can eliminate the error of the origin (H0) of the slot die 40 due to the pressurization of the substrate S and the precoating layer C without damaging the substrate S and the precoating layer C have.
다시 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 원점 설정부(11)는 제3방향(y축 방향)을 따라 일체로 형성되거나(실선과 가상선 부분), 제3방향(y축 방향) 양측으로 분리되(가상선을 제외한 실선 부분)어 형성될 수 있다.As shown in Figs. 1 and 2 again, the
원점 설정부(11)가 y축 방향에서 일체로 형성되는 경우에 비하여, y축 방향 양측으로 분리되는 경우, 토출단(41)과 원점 설정부(11) 사이에 이물질 등에 의한 방해로부터 더 해방되어, 토출단(41)과 원점 설정부(11) 사이에 설정되는 기계적 접촉이 보다 정확할 수 있다.When the origin
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터로 유기 태양전지의 한 패턴을 형성한 평면도이다. 도 7을 참조하면, 제1실시예의 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터(1)는 기재(S)에 유기 태양전지의 한 코팅층을 형성하는 스트라이프 패턴(P1)을 형성하고 있다.FIG. 7 is a plan view of a patterned organic solar cell with a slot coater for manufacturing an organic solar cell according to a first embodiment of the present invention. FIG. Referring to Fig. 7, the
스트라이프 패턴(P1)은 도 4에 도시된 바와 같이, 다층으로 형성될 수 있다. 이때, 얼라인 센서(43)는 선 코팅층(C)의 패턴 위치를 감지하고, 액츄에이터(42)는 제어부(50)에 의하여 슬롯 다이(40)를 y축 방향으로 이동시켜, 선 코팅층(C)의 패턴 위치에 슬롯 다이(40)의 토출단(41)을 일치시킨다.The stripe pattern P1 may be formed in multiple layers, as shown in Fig. At this time, the
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터로 유기 태양전지의 다른 패턴을 형성한 평면도이다. 도 8을 참조하면, 제1실시예의 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터(1)는 기재(S)에 유기 태양전지의 곡선 패턴(P2)을 형성하고 있다.FIG. 8 is a plan view showing another pattern of an organic solar cell with a slot coater for manufacturing an organic solar cell according to the first embodiment of the present invention. Referring to Fig. 8, the
곡선 패턴(P2)은 도 4에 도시된 바와 같이, 다층으로 형성될 수 있다. 이때, 얼라인 센서(43)는 선 코팅층(C)의 패턴 위치를 x축 방향으로 가면서 감지하고, 액츄에이터(42)는 제어부(50)에 의하여 슬롯 다이(40)를 x축 방향의 위치에 따라 y축 방향으로 이동시켜, 선 코팅층(C)의 곡선 패턴(P2) 위치에 슬롯 다이(40)의 토출단(41)을 일치시킨다.The curved pattern P2 may be formed in multiple layers, as shown in Fig. At this time, the
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터의 사시도이고, 도 10은 도 9의 측면도이며, 도 11은 도 9의 정면도이다. 도 9 내지 도 11을 참조하면, 제2실시예의 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터(2)는 슬롯 다이(40)의 기준단을 슬롯 다이(40)의 토출단(41) 양측방에서 제3방향으로 돌출 형성되는 브래킷(44)으로 형성한다. 브래킷(44)은 원점 설정부(12)에 대응하는 대응면(441)을 가진다. 즉 브래킷(44)은 토출단(41)을 제외한 외곽에서 슬롯 다이(40)에 구비된다.FIG. 9 is a perspective view of a slot coater for manufacturing an organic solar battery according to a second embodiment of the present invention, FIG. 10 is a side view of FIG. 9, and FIG. 11 is a front view of FIG. 9 through 11, the
원점 설정부(12)는 스테이지(10)의 제1방향(x축 방향) 일측에서 제3방향(y축 방향) 양측에 배치되는 블록(121)으로 형성된다. 블록(121)은 브래킷(44)의 대응면(441)에 면접촉 하도록 제1방향(x축 방향)을 따라 가변적인 높이를 형성한다.The
제1, 제2모터의 승강에 따라서, 승강 플레이트에 설치되는 슬롯 다이(40)의 브래킷(44)은 원점 설정부(12)에 기계적으로 접촉된 원점(H0) 상태(도 10, 11 상태)에서, 높이 기준부로부터 이격된 높이가 y축 방향 전체 범위에 걸쳐서 동일하게 한다. 또한 코팅 대상인 기재 또는 선(先) 코팅층과 토출단 사이의 기준 높이가 y축 방향 전체 범위에 걸쳐서 동일하게 설정된다.The
이와 같이, 원점 설정부(12)의 블록(121)은 가변적인 높이를 가지는 경사면을 가지며, 슬롯 다이(40)의 측방에 구비되는 브래킷(44)의 대응면(441)이 블록(121)의 경사면에 면접촉되어 슬롯 다이(40) 토출단(41)의 원점을 설정한다. 따라서 정밀 가공된 토출단(41)이 블록(121)에 기계적으로 직접 접촉되지 않으므로 기계적인 원점 설정시 보호될 수 있고, 기재(S)에 접촉되지 않으므로 기재(S)를 보호할 수 있다.As described above, the
이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.
1, 2: 슬롯 코터 10: 스테이지
11, 12: 원점 설정부 20: 베이스 플레이트
21: 높이 기준부 30: 승강 플레이트
40: 슬롯 다이 41: 토출단
42: 액츄에이터 43: 얼라인 센서
44: 브래킷 50: 제어부
121: 블록 441: 대응면
C: 선 코팅층 H, H1: 높이, 최대 높이
H0: 원점 Ha: 기준 높이
ΔH: 변화된 높이 L: 거리
M1: 제1모터 M2: 제2모터
P1: 스트라이프 패턴 P2: 곡선 패턴
S: 기재 S1, S2: 제1, 제2센서
θ: 각도1, 2: Slot coater 10: Stage
11, 12: origin setting section 20: base plate
21: height reference part 30: lifting plate
40: Slot die 41: Discharge end
42: Actuator 43: Alignment sensor
44: Bracket 50:
121: block 441: corresponding face
C: Line coating layer H, H1: height, maximum height
H0: origin Ha: reference height
DELTA H: changed height L: distance
M1: first motor M2: second motor
P1: stripe pattern P2: curved pattern
S: substrate S1, S2: first and second sensors
θ: angle
Claims (9)
상기 스테이지의 상방에서 상기 제1방향으로 이동되고, 일측에 높이 기준부를 구비하는 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트에 승강 모터를 개재하여 설치되어 상기 제2방향으로 승강되고, 상기 높이 기준부에 마주하는 변위 센서를 구비하는 승강 플레이트;
상기 승강 플레이트에 가이드 부재를 개재하여 설치되고 액츄에이터에 연결되어 상기 제2방향에 교차하는 제3방향(y축 방향)으로 이동되고, 토출단으로 형성되는 기준단을 상기 원점 설정부에 접촉하는 슬롯 다이; 및
상기 기재의 두께, 상기 원점 설정부의 각도(θ)와 상기 거리(L), 및 상기 거리(L)에 대한 상기 슬롯 다이의 원점(H0))에 대한 데이터들을 내장하며, 상기 변위 센서를 입력단에 연결하고, 상기 승강 모터를 출력단에 연결하는 제어부를 포함하고,
상기 변위 센서는
상기 기준단이 상기 원점 설정부에 접촉된 원점(H0) 상태에서, 상기 높이 기준부와 이격된 높이(H)를 감지하여 상기 제어부에 입력하며,
상기 제어부는
감지된 높이(H)로 원점(H0)을 설정하여,
원점(H0)인 높이(H)에서 상기 승강 모터를 추가로 제어하여, 상기 토출단과 상기 기재 또는 토출단과 선 코팅층(C) 사이에 설정되는 기준 높이(Ha=H+ΔH))를 정확하게 설정하는
유기 태양전지 제조용 슬롯 코터.A method of forming a substrate having a predetermined distance in the first direction and cutting the substrate in a first direction (x-axis direction) and a second direction (z-axis direction) A stage having an origin point setting section formed in a triangular cross section having an angle set with respect to the first direction and the second direction;
A base plate moved in the first direction above the stage and having a height reference portion at one side;
A lift plate provided on the base plate through a lift motor and being raised and lowered in the second direction and having a displacement sensor facing the height reference portion;
(Y-axis direction) intersecting with the second direction, and a reference end formed as a discharge end is connected to the origin setting portion through a slot die; And
(H0) of the slot die with respect to the distance (L), the thickness of the base material, the angle (?) Of the origin point setting section, and the displacement sensor And a control unit for connecting the elevating motor to an output terminal,
The displacement sensor
(H), which is a reference point of the reference point, which is in contact with the origin setting unit, detects a height (H)
The control unit
The origin H0 is set to the detected height H,
(Ha = H + DELTA H) set between the discharge end and the base or discharge end and the line coating layer (C) is further accurately controlled by controlling the elevating motor at the height H which is the origin H0
Slot coater for manufacturing organic solar cells.
상기 원점 설정부는
상기 스테이지의 상기 제1방향 일측에서 상기 제3방향을 따라 배치되는 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터.The method according to claim 1,
The origin setting unit
And is disposed along the third direction from one side of the first direction of the stage.
상기 원점 설정부는
상기 제3방향을 따라 일체 또는 상기 제3방향 양측으로 분리되는 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터.The method of claim 3,
The origin setting unit
And the first and second substrates are separated from each other along the third direction or both sides in the third direction.
상기 승강 모터는 제1모터와 제2모터를 포함하고,
상기 변위 센서는 제1센서와 제2센서를 포함하며,
상기 베이스 플레이트와 상기 승강 플레이트는
상기 제3방향의 상기 제1센서 측에서 상기 제1모터로 연결되고,
상기 제2센서 측에서 상기 제2모터로 연결되는
유기 태양전지 제조용 슬롯 코터.The method of claim 3,
Wherein the elevating motor includes a first motor and a second motor,
Wherein the displacement sensor includes a first sensor and a second sensor,
The base plate and the lift plate
The second motor is connected to the first motor at the first sensor side in the third direction,
And the second sensor is connected to the second motor
Slot coater for manufacturing organic solar cells.
상기 슬롯 다이는
다층 코팅시, 상기 기재에 선 코팅된 패턴을 감지하는 얼라인 센서를 구비하며,
상기 액츄에이터는
상기 얼라인 센서의 감지에 따라 상기 제3방향으로 이동되어 상기 슬롯 다이의 토출단을 선 코팅층에 얼라인 하는 유기 태양전지 제조용 슬롯 코터.The method of claim 3,
The slot die
And an alignment sensor for sensing a pattern coated on the substrate in a multilayer coating,
The actuator
Wherein the slot coils are moved in the third direction according to the detection of the alignment sensor to align the discharge end of the slot die with the line coating layer.
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