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KR101831207B1 - Semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same - Google Patents

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KR101831207B1
KR101831207B1 KR1020160078165A KR20160078165A KR101831207B1 KR 101831207 B1 KR101831207 B1 KR 101831207B1 KR 1020160078165 A KR1020160078165 A KR 1020160078165A KR 20160078165 A KR20160078165 A KR 20160078165A KR 101831207 B1 KR101831207 B1 KR 101831207B1
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semiconductor light
encapsulant
mask
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김경민
조영관
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주식회사 세미콘라이트
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Abstract

본 개시는 반도체 발광소자에 있어서, 반도체 발광소자 칩;으로서, 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 포함하는 복수의 반도체층과, 복수의 반도체층에 전기적으로 연결된 전극을 구비하는 반도체 발광소자 칩; 반도체 발광소자 칩 위에 위치하는 제1 봉지재;로서 제1 봉지재의 상면이 아래로 볼록하여 제1 봉지재에 의해 둘러싸인 캐비티(cavity)를 포함하는 제1 봉지재; 그리고 제1 봉지재의 캐비티 내에 형성되어, 반도체 발광소자 칩에서 나온 빛을 반사하는 제2 봉지재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor light emitting device, comprising: a semiconductor light emitting device chip comprising: a plurality of semiconductor layers including an active layer that generates light by recombination of electrons and holes; and a semiconductor layer including electrodes electrically connected to the plurality of semiconductor layers A light emitting element chip; A first encapsulant disposed on a semiconductor light emitting device chip, comprising: a first encapsulant including a cavity surrounded by a first encapsulant, the first encapsulant having an upper surface convex downward; And a second encapsulant, which is formed in the cavity of the first encapsulant and reflects light emitted from the semiconductor light emitting device chip, and a method of manufacturing the same.

Description

반도체 발광소자 및 이의 제조 방법{SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Technical Field [0001] The present invention relates to a semiconductor light emitting device and a method of manufacturing the same,

본 개시(Disclosure)는 전체적으로 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 측면 발광을 하는 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates generally to a semiconductor light emitting device and a method of manufacturing the same, and more particularly to a semiconductor light emitting device that emits light on a side surface and a method of manufacturing the same.

여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art). 또한 본 명세서에서 상측/하측, 위/아래 등과 같은 방향 표시는 도면을 기준으로 한다. Herein, the background art relating to the present disclosure is provided, and these are not necessarily meant to be known arts. Also, in this specification, directional indication such as up / down, up / down, etc. is based on the drawings.

도 1은 종래의 반도체 발광소자 칩의 일 예를 보여주는 도면이다.1 is a view showing an example of a conventional semiconductor light emitting device chip.

반도체 발광소자 칩은 성장기판(10; 예: 사파이어 기판), 성장기판(10) 위에, 버퍼층(20), 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30; 예: n형 GaN층), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40; 예; INGaN/(In)GaN MQWs), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50; 예: p형 GaN층)이 순차로 증착되어 있으며, 그 위에 전류 확산을 위한 투광성 전도막(60)과, 본딩 패드로 역할하는 전극(70)이 형성되어 있고, 식각되어 노출된 제1 반도체층(30) 위에 본딩 패드로 역할하는 전극(80: 예: Cr/Ni/Au 적층 금속 패드)이 형성되어 있다. 도 1과 같은 형태의 반도체 발광소자를 특히 레터럴 칩(Lateral Chip)이라고 한다. 여기서, 성장기판(10) 측이 외부와 전기적으로 연결될 때 장착면이 된다.The semiconductor light emitting device chip includes a buffer layer 20, a first semiconductor layer 30 (e.g., an n-type GaN layer) 30 having a first conductivity, An active layer 40 (e.g., INGaN / (In) GaN MQWs) that generates light through recombination of holes, and a second semiconductor layer 50 (e.g., a p-type GaN layer) having a second conductivity different from the first conductivity A light transmitting conductive film 60 for current diffusion and an electrode 70 serving as a bonding pad are formed on the first semiconductor layer 30 and the first semiconductor layer 30 is etched to serve as a bonding pad Electrode 80 (e.g., a Cr / Ni / Au laminated metal pad) is formed. The semiconductor light emitting device of the type shown in FIG. 1 is called a lateral chip in particular. Here, when the growth substrate 10 side is electrically connected to the outside, it becomes a mounting surface.

도 2는 미국 등록특허공보 제7,262,436호에 제시된 반도체 발광소자 칩의 다른 예를 보여주는 도면이다. 설명의 편의를 위해 도면기호를 변경하였다.2 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device chip disclosed in U.S. Patent No. 7,262,436. For ease of explanation, the drawing symbols have been changed.

반도체 발광소자 칩은 성장기판(10), 성장기판(10) 위에, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50)이 순차로 증착되어 있으며, 그 위에 성장기판(10) 측으로 빛을 반사시키기 위한 3층으로 된 전극막(90, 91, 92)이 형성되어 있다. 제1 전극막(90)은 Ag 반사막, 제2 전극막(91)은 Ni 확산 방지막, 제3 전극막(92)은 Au 본딩층일 수 있다. 식각되어 노출된 제1 반도체층(30) 위에 본딩 패드로 기능하는 전극(80)이 형성되어 있다. 여기서, 전극막(92) 측이 외부와 전기적으로 연결될 때 장착면이 된다. 도 2와 같은 형태의 반도체 발광소자 칩을 특히 플립 칩(Flip Chip)이라고 한다. 도 2에 도시된 플립 칩의 경우 제1 반도체층(30) 위에 형성된 전극(80)이 제2 반도체층 위에 형성된 전극막(90, 91, 92)보다 낮은 높이에 있지만, 동일한 높이에 형성될 수 있도록 할 수도 있다. 여기서 높이의 기준은 성장기판(10)으로부터의 높이일 수 있다. The semiconductor light emitting device chip includes a growth substrate 10, a growth substrate 10, a first semiconductor layer 30 having a first conductivity, an active layer 40 for generating light through recombination of electrons and holes, And a second semiconductor layer 50 having a second conductivity different from that of the second semiconductor layer 50 are deposited in this order on the substrate 10, and three layers of electrode films 90, 91, and 92 for reflecting light toward the growth substrate 10 are formed have. The first electrode film 90 may be an Ag reflective film, the second electrode film 91 may be an Ni diffusion prevention film, and the third electrode film 92 may be an Au bonding layer. An electrode 80 functioning as a bonding pad is formed on the first semiconductor layer 30 exposed by etching. Here, when the electrode film 92 side is electrically connected to the outside, it becomes a mounting surface. The semiconductor light emitting device chip of the type shown in FIG. 2 is called a flip chip. In the case of the flip chip shown in FIG. 2, the electrodes 80 formed on the first semiconductor layer 30 are lower in height than the electrode films 90, 91, and 92 formed on the second semiconductor layer, . Here, the height reference may be a height from the growth substrate 10.

도 3은 종래의 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면이다.3 is a view showing an example of a conventional semiconductor light emitting device.

반도체 발광소자(100)는 리드 프레임(110, 120), 몰드(130), 그리고 캐비티(140) 내에 수직형 반도체 발광소자 칩(150; Vertical Type Light Emitting Chip)이 구비되어 있고, 캐비티(140)는 파장 변환재(160)를 함유하는 봉지재(170)로 채워져 있다. 수직형 반도체 발광소자 칩(150)의 하면이 리드 프레임(110)에 전기적으로 직접 연결되고, 상면이 와이어(180)에 의해 리드 프레임(120)에 전기적으로 연결되어 있다. 수직형 반도체 발광소자 칩(150)에서 나온 광의 일부가 파장 변환재(160)를 여기 시켜 다른 색의 광을 만들어 두 개의 서로 다른 광이 혼합되어 백색광을 만들 수 있다. 예를 들어 반도체 발광소자 칩(150)은 청색광을 만들고 파장 변환재(160)에 여기 되어 만들어진 광은 황색광이며, 청색광과 황색광이 혼합되어 백색광을 만들 수 있다. 도 3은 수직형 반도체 발광소자 칩(150)을 사용한 반도체 발광소자를 보여주고 있지만 , 도 1 및 도 2에 도시된 반도체 발광소자 칩을 사용하여 도 3과 같은 형태의 반도체 발광소자를 제조할 수도 있다. The semiconductor light emitting device 100 is provided with lead frames 110 and 120, a mold 130, and a vertical type light emitting chip 150 in a cavity 140. The cavity 140 is formed in the cavity 130, Is filled with an encapsulant 170 containing the wavelength conversion material 160. The lower surface of the vertical type semiconductor light emitting device chip 150 is electrically connected directly to the lead frame 110 and the upper surface thereof is electrically connected to the lead frame 120 by the wire 180. A part of the light emitted from the vertical type semiconductor light emitting device chip 150 excites the wavelength conversion material 160 to produce light of a different color, and two different lights may be mixed to form white light. For example, the semiconductor light emitting device chip 150 generates blue light, and the light generated by exciting the wavelength conversion material 160 is yellow light, and blue light and yellow light may be mixed to form white light. FIG. 3 shows a semiconductor light emitting device using the vertical semiconductor light emitting device chip 150, but it is also possible to manufacture the semiconductor light emitting device of FIG. 3 using the semiconductor light emitting device chip shown in FIGS. 1 and 2 have.

도 3에 기재된 타입의 반도체 발광소자를 일반적으로 패키지(Package) 타입(Type)의 반도체 발광소자라고 하며 반도체 발광소자 칩 크기의 반도체 발광소자를 CSP(Chip Scale Package) 타입의 반도체 발광소자라 한다. CSP 타입의 반도체 발광소자와 관련된 것은 한국 공개특허공보 제2014-0127457호에 기재되어 있다. 최근에는 반도체 발광소자의 크기가 소형화되는 경향에 따라 CSP 타입의 반도체 발광소자에 대한 개발이 활발히 이루어지고 있으며, 본 개시는 CSP 타입의 반도체 발광소자에서 측면의 광 추출 효율을 향상시키는 것을 특징으로 한다.The semiconductor light emitting device of the type shown in FIG. 3 is generally referred to as a package type semiconductor light emitting device, and the semiconductor light emitting device of a semiconductor light emitting device chip size is referred to as a CSP (Chip Scale Package) type semiconductor light emitting device. Related to the CSP type semiconductor light emitting device is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2014-0127457. In recent years, a semiconductor light emitting device of the CSP type has been actively developed as a semiconductor light emitting device tends to be miniaturized, and the present disclosure is characterized by improving the light extraction efficiency of a side surface of a CSP type semiconductor light emitting device .

이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This will be described later in the Specification for Implementation of the Invention.

여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features). SUMMARY OF THE INVENTION Herein, a general summary of the present disclosure is provided, which should not be construed as limiting the scope of the present disclosure. of its features).

본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 반도체 발광소자에 있어서, 반도체 발광소자 칩;으로서, 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 포함하는 복수의 반도체층과, 복수의 반도체층에 전기적으로 연결된 전극을 구비하는 반도체 발광소자 칩; 반도체 발광소자 칩 위에 위치하는 제1 봉지재;로서 제1 봉지재의 상면이 아래로 볼록하여 제1 봉지재에 의해 둘러싸인 캐비티(cavity)를 포함하는 제1 봉지재; 그리고 제1 봉지재의 캐비티 내에 형성되어, 반도체 발광소자 칩에서 나온 빛을 반사하는 제2 봉지재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자가 제공된다.According to one aspect of the present disclosure, there is provided a semiconductor light emitting device comprising: a plurality of semiconductors, each of which includes an active layer that generates light by recombination of electrons and holes, A semiconductor light emitting element chip having electrodes electrically connected to the plurality of semiconductor layers; A first encapsulant disposed on a semiconductor light emitting device chip, comprising: a first encapsulant including a cavity surrounded by a first encapsulant, the first encapsulant having an upper surface convex downward; And a second encapsulant that is formed in the cavity of the first encapsulant and reflects light emitted from the semiconductor light emitting device chip.

본 개시에 따른 다른 태양에 의하면(According to another aspect of the present disclosure), 반도체 발광소자의 제조 방법에 있어서, 베이스 위에 적어도 하나 이상의 개구가 형성된 마스크를 구비하는 단계; 마스크의 각 개구로 노출된 베이스 위에 반도체 발광소자 칩을 놓는 단계; 마스크를 댐(dam)으로 하여, 각 개구에 제1 봉지재를 형성하는 단계;로서 제1 봉지재를 형성하는 물질이 마스크의 내측면을 타고 올라가 제1 봉지재의 상면이 아래로 볼록하여 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티(Cavity)를 형성하도록 제1 봉지재를 형성하는 단계; 그리고 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티에 빛을 반사하는 제2 봉지재를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법이 제공된다.According to another aspect of the present disclosure, there is provided a method of manufacturing a semiconductor light emitting device, comprising: providing a mask having at least one opening formed on a base; Placing a semiconductor light emitting device chip on a base exposed with respective openings of a mask; Forming a first sealing material on each of the openings by using the mask as a dam, wherein the material forming the first sealing material rides on the inner surface of the mask so that the upper surface of the first sealing material is convex downward, Forming a first encapsulant to form a cavity surrounded by the encapsulant; And forming a second encapsulant that reflects light in a cavity surrounded by the first encapsulant. The present invention also provides a method of manufacturing a semiconductor light emitting device.

이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This will be described later in the Specification for Implementation of the Invention.

도 1은 종래의 반도체 발광소자 칩의 일 예를 보여주는 도면,
도 2는 미국 등록특허공보 제7,262,436호에 제시된 반도체 발광소자 칩의 다른 예를 보여주는 도면,
도 3은 종래의 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면,
도 4 내지 도 8은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 설명하기 위한 도면,
도 9는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법에서 봉지재를 형성하는 물질이 개구에 공급되고 경화된 형태의 예들을 설명하기 위한 도면,
도 10은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 11은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면,
도 12는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면,
도 13은 도 12에 개시된 반도체 발광소자의 적용 예를 보여주는 도면,
도 14는 도 12에 개시된 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 보여주는 도면,
도 15는 도 12에 개시된 반도체 발광소자의 다양한 실시 예를 보여주는 도면,
도 16은 본 개시에 따른 반도체 발광소자에서 제1 봉지재의 상면이 아래로 볼록한 정도에 따른 효과를 설명하는 도면,
도 17은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 예를 보여주는 도면,
도 18은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 평면형상에 따른 발광 실험예를 보여주는 도면.
1 is a view showing an example of a conventional semiconductor light emitting device chip,
2 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device chip disclosed in U.S. Patent No. 7,262,436,
3 is a view showing an example of a conventional semiconductor light emitting device,
4 to 8 are views for explaining an example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
9 is a view for explaining examples of a form in which the material forming the sealing material is supplied to the opening and cured in the method of manufacturing the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
10 is a view for explaining another example of a method for manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
11 is a view for explaining another example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
12 is a view showing an example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
13 is a view showing an application example of the semiconductor light emitting device shown in FIG. 12,
FIG. 14 is a view showing an example of a method of manufacturing the semiconductor light emitting device shown in FIG. 12,
FIG. 15 is a view showing various embodiments of the semiconductor light emitting device disclosed in FIG. 12;
16 is a view for explaining the effect of the degree of the downward convexity of the top surface of the first encapsulant in the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
17 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
18 is a view showing an experiment example of luminescence according to the plane shape of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)). The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4 내지 도 8은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 반도체 발광소자의 제조 방법에 있어서, 도 4에 제시된 바와 같이, 먼저, 베이스(201) 위에 하나 이상의 개구(305)가 형성된 마스크(301)를 구비한다. 이후, 도 6(b)에 제시된 바와 같이, 마스크(301)의 형상, 패턴, 또는 경계 등을 인식하여 소자가 놓일 위치 및 각도를 보정하는 소자 이송 장치(501)를 사용하여, 각 개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 반도체 발광소자 칩(101)을 놓는다. 다음으로, 도 8에 제시된 바와 같이, 마스크(301)를 댐(dam)으로 하여, 각 개구(305)에 봉지재(170)를 형성하는 물질을 공급한다.4 to 8 are views for explaining an example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure. In the method of manufacturing a semiconductor light emitting device, as shown in FIG. 4, And a mask 301 having the openings 305 formed therein. 6 (b), by using the element transferring apparatus 501 which recognizes the shape, pattern, or boundary of the mask 301 and corrects the position and angle at which the element is to be placed, The semiconductor light emitting device chip 101 is placed on the base 201 exposed by the light emitting device 100. [ Next, as shown in Fig. 8, the mask 301 is provided as a dam, and a material for forming the sealing material 170 is supplied to each opening 305. Then, as shown in Fig.

본 예에서, 베이스(201) 위에 반도체 발광소자 칩(101)을 놓기 전에, 먼저 베이스(201)에 마스크(301)를 놓는다. 마스크(301)는 소자 이송 장치(501)가 반도체 발광소자 칩(101)을 놓을 위치나 각도를 보정하기 위한 패턴으로 인식될 수 있으며, 이와 함께 봉지재(170)의 댐으로 기능한다. 본 예에서, 반도체 발광소자 칩(101)으로는 플립 칩(flip chip)이 적합하지만, 레터럴 칩(lateral chip)이나 수직형 칩(vertical chip)을 배제하는 것은 아니다. 플립 칩 소자로서, 반도체 발광소자 칩(101)은 도 2 및 도 7에 도시되어 있다.In this example, before placing the semiconductor light emitting device chip 101 on the base 201, the mask 301 is first placed on the base 201. [ The mask 301 can be recognized as a pattern for correcting the position or angle at which the element transferring apparatus 501 will place the semiconductor light emitting device chip 101 and functions as a dam of the sealing material 170. [ In this example, a flip chip is suitable for the semiconductor light-emitting device chip 101, but it does not exclude a lateral chip or a vertical chip. As a flip chip element, the semiconductor light emitting element chip 101 is shown in Figs. 2 and 7. Fig.

이하, 각 과정을 상세히 설명한다.Each process will be described in detail below.

도 5에 도시된 바와 같이, 베이스(201) 위에 마스크(301)가 구비된다. 베이스(201)는 도 5(a)에 제시된 바와 같이, 리지드(rigid)한 금속 판 또는 비금속 판이거나, 도 5(b)에 제시된 바와 같이, 플렉시블한 필름 또는 테이프일 수 있다. 금속 판으로는 특별한 한정이 있는 것은 아니며, 예를 들어, Al, Cu, Ag, Cu-Al 합금, Cu-Ag 합금, Cu-Au 합금, SUS(스테인리스스틸) 등이 사용될 수 있으며, 도금된 판도 물론 사용 가능하다. 비금속 판으로는 플라스틱이 사용될 수 있으며, 다양한 색상이나 광반사율을 선택할 수 있다. 필름 또는 테이프도 특별한 제한은 없으며, 점착성 또는 접착성을 가지며 내열성을 가지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 내열성 테이프, 블루테이프 등이 사용될 수 있으며, 다양한 색상이나 광반사율을 선택할 수 있다.As shown in FIG. 5, a mask 301 is provided on the base 201. The base 201 may be a rigid metal or non-metal plate, as shown in Fig. 5 (a), or may be a flexible film or tape, as shown in Fig. 5 (b). For example, Al, Cu, Ag, Cu-Al alloy, Cu-Ag alloy, Cu-Au alloy, SUS (stainless steel) and the like can be used as the metal plate, Of course, it can be used. Plastics can be used as non-metallic plates, and various colors and light reflectance can be selected. There is no particular limitation on the film or the tape, and it is preferable that the film or tape has adhesiveness or adhesiveness and has heat resistance. For example, a heat-resistant tape, a blue tape, or the like can be used, and various colors and light reflectance can be selected.

이와 같이, 본 예에 의하면, 반도체 발광소자 칩(101)이 배열되는 베이스(201)가 반도체 기판이나 다른 고가의 기판이 아니라도 무방한 장점이 있다. 또한, 마스크(301)가 반도체 발광소자 칩(101) 배열의 가이드가 되므로 베이스(201)에 추가적인 패턴 형성 공정이 필요 없다. 또한, 도 7에 도시된 반도체 발광소자 칩(101)의 전극(80,70)이 직접 외부 전극과 접하는 전극이 되거나, 베이스가 전기적 도통에 사용될 수도 있어서, 베이스(201) 위에 증착 또는 도금 등의 방법으로 전기적 연결을 위한 도전층을 형성하거나, 베이스(201) 제거 후에 반도체 발광소자 칩(101)의 전극(80,70)과 연결되는 전기적 콘택부를 추가로 형성하는 등의 추가적 및 부가적 공정이 필요 없어서 공정 및 비용 면에서 매우 유리한 장점이 있다.As described above, according to this example, the base 201 on which the semiconductor light-emitting device chips 101 are arranged is not necessarily a semiconductor substrate or another expensive substrate. Further, since the mask 301 serves as a guide for arranging the semiconductor light emitting device chips 101, an additional pattern forming step is not required for the base 201. [ In addition, the electrodes 80 and 70 of the semiconductor light emitting device chip 101 shown in FIG. 7 may be electrodes directly contacting the external electrodes, or the base may be used for electrical conduction, Additional or additional processes such as forming a conductive layer for electrical connection or further forming an electrical contact portion connected to the electrodes 80 and 70 of the semiconductor light emitting device chip 101 after removal of the base 201 There is an advantage that it is very advantageous in terms of process and cost.

마스크(301)는 플라스틱, 금속, 또는, 표면이 도금된 부재일 수 있으며, 하나 이상의 개구(305)가 형성되어 있다. 마스크(301)의 재질은 상기 베이스의 재질로 예시된 예들이 사용될 수 있지만, 마스크(301) 및 개구(305)의 형태 유지에 좋도록 어느 정도 딱딱한 재질이 바람직하고, 크랙이나 갈라짐 방지에 효과적인 재질로 선택하는 것이 바람직하다. 특히, 후술되는 바와 같이, 소자 이송 장치가 마스크(301)의 패턴을 인식하는 측면에서는 마스크(301)와 베이스(201)는 재질, 색상 및 광반사율 중 적어도 하나가 다르게 선택되는 것이 바람직하다.The mask 301 may be a plastic, a metal, or a surface-plated member, and at least one opening 305 is formed. The material of the mask 301 may be exemplified by the materials exemplified by the material of the base, but it is preferable that the material is somewhat rigid to be suitable for maintaining the shape of the mask 301 and the opening 305, . ≪ / RTI > In particular, as described later, in view of the device transfer apparatus recognizing the pattern of the mask 301, it is preferable that at least one of the material, the color, and the light reflectance is selected for the mask 301 and the base 201 differently.

본 예에서, 베이스(201)와 마스크(301)는 외력에 의해 가압되어 서로 접하게 된다. 예를 들어, 도 5(a)에 제시된 바와 같이, 클램프(401)를 사용하여 베이스(201)와 마스크(301)를 접촉시킬 수 있다. 이와 같이, 본 예에 의하면, 베이스(201)와 마스크(301)를 접촉시키 위한 방법이 간편하고, 클램프(401)를 풀어서 베이스(201)로부터 마스크(301)를 제거할 수 있으므로 편리한 장점이 있다. 베이스(201)와 마스크(301) 사이에 접착 물질을 개재시키는 실시예도 물론 가능하다. 예를 들어, 접착 물질은 도전성 패이스트, 절연성 패이스트, 폴리머 접착제 등 다양하게 선택가능하며, 특별히 제한되지는 않는다. 어느 온도 범위에서는 접착력을 상실하는 물질을 사용하면, 베이스(201)와 마스크(301)의 분리시에 상기 온도 범위에서 분리가 쉽게 될 수 있다. In this example, the base 201 and the mask 301 are pressed by an external force and brought into contact with each other. For example, as shown in Fig. 5 (a), the clamp 401 can be used to bring the base 201 and the mask 301 into contact with each other. As described above, according to this example, there is a convenient advantage in that the method for contacting the base 201 with the mask 301 is simple and the mask 301 can be removed from the base 201 by loosening the clamp 401 . An embodiment in which an adhesive material is interposed between the base 201 and the mask 301 is of course possible. For example, the adhesive material may be selected from a variety of conductive pastes, insulating pastes, polymeric adhesives, and the like, and is not particularly limited. When the material which loses the adhesive force in any temperature range is used, separation can be facilitated in the temperature range when the base 201 and the mask 301 are separated.

마스크(301)에 형성된 하나 이상의 개구(305)는 일 예로, 복수의 행과 열로 배열되어 있다. 개구(305)로 베이스(201)의 상면이 노출된다. 개구(305)의 개수 및 배열 방식은 필요에 따라 적절하게 변경할 수 있음은 물론이다. 개구(305)는 반도체 발광소자 칩(101)의 형상을 따를 수도 있지만, 반도체 발광소자 칩(101)과 다른 형상을 가질 수도 있다. One or more openings 305 formed in the mask 301 are, for example, arranged in a plurality of rows and columns. The upper surface of the base 201 is exposed by the opening 305. It goes without saying that the number and arrangement of the openings 305 can be appropriately changed as necessary. The opening 305 may conform to the shape of the semiconductor light emitting device chip 101, but may have a shape different from that of the semiconductor light emitting device chip 101.

도 6은 반도체 발광소자 칩(101)을 개구(305)로 노출된 베이스(201)에 놓는 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 소자 이송 장치(501)는 고정부(13; 예: 테이프) 위의 각 반도체 발광소자 칩(101)을 픽업(pick-up)하여 마스크(301)의 개구(305)로 노출된 베이스(201) 위에 놓는다. 이 과정보다 먼저, 소자 배열 장치(예: 쏘터; sorter)를 사용하여, 복수의 반도체 발광소자 칩(101)을 테이프(13) 위에 제공하는 과정이 선행될 수 있다. 도 6(a)에 제시된 바와 같이, 테이프(13)의 아래에서 핀 또는 봉이 반도체 발광소자 칩(101)을 치면 테이프(13)로부터 반도체 발광소자 칩(101)이 떨어지며, 그 순간 소자 이송 장치(501)가 반도체 발광소자 칩(101)을 전기적 흡착 또는 진공 흡착할 수 있다. 도 6(b)에 제시된 바와 같이, 소자 이송 장치(501)는 베이스(201) 위로 이동하여 각 개구(305)에 반도체 발광소자 칩(101)을 놓는다. 반도체 발광소자 칩(101)은 2개의 전극(80,70)이 베이스(201)의 상면과 마주하도록 놓이며, 이에 따라 후술되는 봉지재(170)에 의해 2개의 전극(80,70)이 덮이지 않고 봉지재(170)의 하면으로부터 노출된다. 소자 이송 장치(501)의 일 예로, 다이본더와 유사하게, 패턴 또는 형상을 인식하며, 이송할 위치나 대상물의 각도를 보정할 수 있는 장치라면 그 명칭에 무관하게 사용 가능할 것이다.6 is a view for explaining an example of the process of placing the semiconductor light emitting device chip 101 on the base 201 exposed in the opening 305. The element transferring apparatus 501 includes a fixing portion 13 Each semiconductor light emitting device chip 101 is picked up and placed on the base 201 exposed by the opening 305 of the mask 301. Prior to this process, a process of providing a plurality of semiconductor light-emitting device chips 101 on the tape 13 using a device array device (e.g., sorter) may be preceded. 6A, the semiconductor light emitting device chip 101 is detached from the tape 13 when a pin or a rod is pushed against the semiconductor light emitting device chip 101 under the tape 13, and the instantaneous element transfer device 501 can electrically or vacuum-adsorb the semiconductor light-emitting device chip 101. The device transferring apparatus 501 moves over the base 201 and places the semiconductor light emitting device chips 101 in the respective openings 305 as shown in Fig. The semiconductor light emitting device chip 101 is arranged such that the two electrodes 80 and 70 face the upper surface of the base 201 so that the two electrodes 80 and 70 are covered by the sealing material 170, And is exposed from the lower surface of the sealing material 170. [ As an example of the device transferring apparatus 501, a device capable of recognizing a pattern or a shape and correcting the position to be transferred or the angle of the object, similar to the die bonder, may be used irrespective of the name.

도 7은 플립 칩으로서 도 2에 도시된 것과 다른 구조의 플립 칩을 설명하고 있다. 반도체 발광소자 칩(101)은 성장 기판(10), 복수의 반도체층(30,40,50), 광반사층(R), 및 2개의 전극(80,70)을 포함한다. 3족 질화물 반도체 발광소자를 예로 들면, 성장 기판(10)으로 주로 사파이어, SiC, Si, GaN 등이 이용되며, 성장 기판(10)은 최종적으로 제거될 수도 있다. 복수의 반도체층(30,40,50)은 성장 기판(10) 위에 형성된 버퍼층(도시되지 않음), 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30; 예: Si 도핑된 GaN), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50; 예: Mg 도핑된 GaN) 및 제1 반도체층(30)과 제2 반도체층(50) 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40; 예: InGaN/(In)GaN 다중양자우물구조)을 포함한다. 복수의 반도체층(30,40,50) 각각은 다층으로 이루어질 수 있고, 버퍼층은 생략될 수 있다. 제1 반도체층(30)과 제2 반도체층(50)은 그 위치가 바뀔 수 있으며, 3족 질화물 반도체 발광소자에 있어서 주로 GaN으로 이루어진다. 제1 전극(80)은 제1 반도체층(30)과 전기적으로 연통되어 전자를 공급한다. 제2 전극(70)은 제2 반도체층(50)과 전기적으로 연통되어 정공을 공급한다.Fig. 7 illustrates a flip chip having a structure different from that shown in Fig. 2 as a flip chip. The semiconductor light emitting device chip 101 includes a growth substrate 10, a plurality of semiconductor layers 30, 40 and 50, a light reflection layer R, and two electrodes 80 and 70. As an example of the III-nitride semiconductor light emitting device, sapphire, SiC, Si, GaN or the like is mainly used as the growth substrate 10, and the growth substrate 10 may be finally removed. The plurality of semiconductor layers 30, 40, and 50 may include a buffer layer (not shown) formed on the growth substrate 10, a first semiconductor layer 30 having a first conductivity (e.g., Si-doped GaN) A second semiconductor layer 50 (e.g., Mg-doped GaN) having another second conductivity, and a second semiconductor layer 50 interposed between the first semiconductor layer 30 and the second semiconductor layer 50 to generate light through recombination of electrons and holes. An active layer 40 (e.g., InGaN / (In) GaN multiple quantum well structure). Each of the plurality of semiconductor layers 30, 40, and 50 may have a multi-layer structure, and the buffer layer may be omitted. The positions of the first semiconductor layer 30 and the second semiconductor layer 50 may be changed, and they are mainly composed of GaN in the III-nitride semiconductor light emitting device. The first electrode (80) is in electrical communication with the first semiconductor layer (30) to supply electrons. The second electrode 70 is in electrical communication with the second semiconductor layer 50 to supply holes.

도 7(a)에 제시된 바와 같이, 제2 반도체층(50)과 전극(70,80) 사이에는 광반사층(R)이 개재되며, 광반사층(R)은 SiO2와 같은 절연층, DBR(Distributed Bragg Reflector) 또는 ODR(Omni-Directional Reflector)을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다. 또는, 도 7(b)에 제시된 바와 같이, 제2 반도체층(50) 위에 금속 반사막(R)이 구비되고, 전극(70)이 금속 반사막(R) 위에 구비되며, 메사식각으로 노출된 제1 반도체층(50)과 다른 전극(80)이 연통될 수 있다. 전술된 소자 이송 장치(501)는 이와 같은 전극(70,80)의 형상 또는 패턴을 인식할 수 있다. 7A, a light reflecting layer R is interposed between the second semiconductor layer 50 and the electrodes 70 and 80. The light reflecting layer R is an insulating layer such as SiO 2 , a DBR A Distributed Bragg Reflector) or an ODR (Omni-Directional Reflector). Alternatively, as shown in FIG. 7 (b), the metal reflection film R may be provided on the second semiconductor layer 50, the electrode 70 may be provided on the metal reflection film R, The semiconductor layer 50 and the other electrode 80 can communicate with each other. The above-described element transfer apparatus 501 can recognize the shape or the pattern of such electrodes 70 and 80. [

도 8은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법에서 마스크를 댐으로 하여 각 개구에 봉지재를 형성하는 물질을 공급하는 방법의 일 예를 설명하기 위한 도면으로서, 도 8(a)와 같이, 디스펜서(601)로 각 개구(305)마다 봉지재(170)를 형성하는 물질을 공급할 수 있다. 이와 다르게, 도 8(b)와 같이, 봉지재(170)를 형성하는 물질을 밀어서 평탄화하는 방법이 사용될 수 있다. 봉지재(170)을 형성하는 물질은 파장 변환재를 포함하는 투광성 물질 및 투광성 물질 중 하나이다. 투광성 물질은 실리콘 수지 및 에폭시 수지 중 하나일 수 있다.FIG. 8 is a view for explaining an example of a method of supplying a material for forming an encapsulating material to each opening by using a mask as a dam in the method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure. As shown in FIG. 8 (a) A material for forming the sealing material 170 may be supplied to each of the openings 305 by the dispenser 601. Alternatively, as shown in Fig. 8 (b), a method of flattening the material forming the encapsulant 170 may be used. The material forming the encapsulant 170 is one of a light transmitting material and a light transmitting material including a wavelength converting material. The light transmitting material may be one of a silicone resin and an epoxy resin.

도 9는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법에서 봉지재를 형성하는 물질이 개구에 공급되고 경화된 형태의 예들을 설명하기 위한 도면으로서, 디스펜서(601)로 봉지재(170)를 형성하는 물질을 공급하는 속도, 양 등을 제어하여 도 9(a)와 같이 봉지재(170)의 상면이 약간 볼록하게 할 수 있다. 이와 같은 형태로 봉지재(170)가 형성되면, 반도체 발광소자 칩(101)으로부터 나온 빛의 분포를 원하는 형태로 하는 데에 도움이 될 수 있다. 또한, 도 9(b)와 같이 평탄하게 할 수도 있다. 한편, 도 9(c)와 같이, 마스크(301) 외곽에 마스크(301)보다 높은 벽(303)을 구비하고 마스크(301)보다 봉지재(170)가 더 높게 형성되도록 하는 것도 가능하다. 마스크(301)의 높이보다 낮게 봉지재(170)를 형성하는 물질을 공급하는 것도 가능하며 이에 대해서는 도 14에서 설명한다. 이후, 도 9(d)에 제시된 바와 같이, 클램프(401; 도 5 참조)를 풀면, 마스크(301), 봉지재(170), 및 반도체 발광소자 칩(101)이 일체로 베이스(201)로부터 분리된다. 여기서, 마스크(301), 봉지재(170), 및 반도체 발광소자 칩(101)의 결합체를 그대로 소자로 사용하는 것도 물론 고려할 수 있다. 한편, 베이스(201)와 마스크(301)를 접착제나 다른 방법으로 접합하는 경우에는 마스크(301), 봉지재(170), 반도체 발광소자 칩(101), 및 베이스(201)가 일체로서 반도체 발광소자로 사용될 수도 있다. 이와 다르게, 마스크(301)를 제거하여 개별 반도체 발광소자별로 분리하거나, 마스크(301)를 절단하여 개별 반도체 발광소자로 분리하거나, 마스크(301) 및 베이스(201)를 함께 절단하여 개별 반도체 발광소자로 분리할 수 있다. 9 is a view for explaining examples of a form in which a material for forming an encapsulating material is supplied to an opening and cured in the method for manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure, wherein the encapsulating material 170 is formed by a dispenser 601 The upper surface of the encapsulant 170 can be made slightly convex as shown in FIG. 9 (a) by controlling the speed, quantity, etc. of supplying the substance. When the encapsulant 170 is formed in this manner, the distribution of light emitted from the semiconductor light emitting device chip 101 can be helped to a desired shape. Further, it may be made flat as shown in Fig. 9 (b). On the other hand, it is also possible to provide the wall 303 higher than the mask 301 on the outer side of the mask 301 and to form the sealing material 170 higher than the mask 301 as shown in Fig. 9 (c). It is also possible to supply the material for forming the sealing material 170 lower than the height of the mask 301, which will be described in Fig. 9 (d), the mask 301, the encapsulant 170, and the semiconductor light-emitting device chip 101 are integrally separated from the base 201 Separated. Here, the mask 301, the sealing material 170, and the combination of the semiconductor light-emitting device chips 101 may be directly used as devices. On the other hand, when the base 201 and the mask 301 are bonded to each other by an adhesive or other method, the mask 301, the sealing material 170, the semiconductor light emitting device chip 101, It can also be used as a device. Alternatively, the mask 301 may be removed to separate the individual semiconductor light emitting elements, or the mask 301 may be cut to separate individual semiconductor light emitting elements, or the mask 301 and the base 201 may be cut together, . ≪ / RTI >

도 10은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 다른 예를 설명하기 위한 도면으로서, 본 예에서는 반도체 발광소자 칩(101)을 베이스(201)에 놓기 전에 도 10(a)에 제시된 바와 같이, 반도체 발광소자 칩(101)의 표면에 파장변환제가 컨포멀하게 코팅(예: 스프레이 코팅)된다. 파장변환제층(102)은 봉지재(170)에 비해 부피나 두께가 훨씬 작지만 반도체 발광소자 칩(101)에 균일하게 코팅될 수 있고, 파장변환제의 양을 절감할 수 있다. 일 예로 파장변환제층(102)의 두께는 대략 30um 정도이고 봉지재(170)의 두께는 100um~200um 정도이다.10A and 10B are views for explaining another example of the method of manufacturing the semiconductor light emitting device according to the present disclosure. In this example, before the semiconductor light emitting device chip 101 is placed on the base 201, , The wavelength conversion agent is conformally coated (for example, spray coated) on the surface of the semiconductor light emitting device chip 101. The wavelength conversion layer 102 is much smaller in volume and thickness than the encapsulant 170, but can be uniformly coated on the semiconductor light emitting device chip 101 and the amount of the wavelength converting agent can be reduced. For example, the thickness of the wavelength conversion element layer 102 is about 30 μm, and the thickness of the sealing material 170 is about 100 μm to 200 μm.

이후, 베이스(201) 위에 마스크(301)를 먼저 배치하고, 패턴을 인식하고, 위치 및 각도 보정이 가능한 소자 이송 장치(501)로 마스크(301)의 각 개구(305)에 파장변환제층(102)이 형성된 반도체 발광소자 칩(101)을 배치한다. 이후, 도 10(b)에 제시된 바와 같이, 개구(305)에 봉지재(170)를 형성하는 물질은 공급하고 경화한다. 여기서 봉지재(170)를 형성하는 물질은 파장변환제를 함유하지 않고 단순히 보호를 위한 봉지만을 하도록 투광성 물질로 이루어질 수 있다. 이후, 도 10(c)에 제시된 바와 같이, 베이스(201)를 마스크(301), 봉지재(170), 및 반도체 발광소자 칩(101)으로부터 분리한다. 분리는 베이스(201)가 딱딱한 판인 경우, 클램프(401)를 해제하여 이루어지거나, 베이스(201)가 필름 또는 테이프인 경우, 베이스(201)를 때어낼 수 있다.Thereafter, the mask 301 is first placed on the base 201, and the wavelength conversion layer 102 (not shown) is formed in each opening 305 of the mask 301 by the device transferring device 501 capable of recognizing the pattern and capable of position and angle correction Is formed on the semiconductor light emitting device chip 101. [ Thereafter, as shown in Fig. 10 (b), the material forming the encapsulant 170 in the opening 305 is supplied and cured. Here, the material forming the encapsulant 170 may be made of a light-transmissive material so as not to contain a wavelength converting agent but merely to encapsulate for protection. 10 (c), the base 201 is separated from the mask 301, the sealing material 170, and the semiconductor light emitting device chip 101. Then, as shown in Fig. The separation can be accomplished by releasing the clamp 401 when the base 201 is a rigid plate or by ejecting the base 201 when the base 201 is film or tape.

도 11은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 도면으로서, 본 예에서 반도체 발광소자의 제조 방법은 봉지재(170)를 형성하는 물질을 공급하고 경화하고, 마스크(301), 봉지재(170), 및 반도체 발광소자 칩(101)으로 된 결합체를 베이스(201)와 분리한 이후, 각 반도체 발광소자를 마스크(301)로부터 분리하는 과정을 포함한다. 분리의 방법으로서 반도체 발광소자를 마스크(301)부터 빼내는 방법이 사용될 수 있다. 11 is a view for explaining another example of the method for manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure. In this example, a method for manufacturing a semiconductor light emitting device supplies and cures a material for forming the sealing material 170, Separating each of the semiconductor light emitting devices from the mask 301 after separating the assembly of the semiconductor light emitting device chip 301, the sealing material 170, and the semiconductor light emitting device chip 101 from the base 201. As a separation method, a method of extracting the semiconductor light emitting element from the mask 301 can be used.

예를 들어, 마스크(301)로부터 빼내기 위해 쏘터나 또는, 이와 유사한 장치를 사용할 수 있다. 핀(702) 또는 봉으로 아래에서 반도체 발광소자를 때려서 마스크(301)로부터 반도체 발광소자(101,102,170)를 밀어내면, 위에서 진공 흡착, 또는, 전기적 고정 수단(701)을 사용하여 반도체 발광소자를 잡아서 이송할 수 있다. 마스크(301)와 봉지재(170) 간의 접합력이 있기 때문에 너무 강한 힘으로 빼면 반도체 발광소자가 손상될 수 있으므로, 마스크(301)로부터 잘 빠지도록 마스크(301)와 봉지재(170) 간의 접합력을 콘트롤 할 수 있는 구성을 추가하는 것을 고려할 수 있다.For example, a scanner or similar device may be used to extract from the mask 301. When the semiconductor light emitting element 101, 102, 170 is pushed out from the mask 301 by hitting the semiconductor light emitting element under the pin 702 or the rod, the semiconductor light emitting element is gripped and transported from above by using the vacuum suction or the electric fixing means 701 can do. The bonding force between the mask 301 and the encapsulant 170 is set so as to be easily released from the mask 301 because the bonding force between the mask 301 and the encapsulant 170 is too strong, You can consider adding a configurable control.

도 12는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면이다.12 is a view showing an example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

반도체 발광소자(800)는 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 포함하는 복수의 반도체층과, 복수의 반도체층에 전기적으로 연결된 전극(811)을 구비하는 반도체 발광소자 칩(810), 반도체 발광소자 칩(810) 위에 위치하는 제1 봉지재(820) 및 제1 봉지재(820) 위에 위치하며, 반도체 발광소자 칩(810)에서 나온 빛(850)을 반사하는 제2 봉지재(830)를 포함한다. 반도체 발광소자 칩(810)은 플립 칩이 바람직하다. 제1 봉지재(820)는 파장 변환재(821)를 포함하는 투광성 물질 및 투광성 물질 중 하나로 형성될 수 있다. 또한 제1 봉지재(820)는 반도체 발광소자 칩(810)의 측면(812)을 감싸며 형성된다. 다만 반도체 발광소자 칩(810)의 전극(811)은 제1 봉지재(820)의 하면(822) 방향으로 노출되어 있다. 또한 제1 봉지재(820)의 상면(840)은 아래로 볼록하여 제1 봉지재(820)에 의해 둘러싸인 캐비티(841, cavity)를 형성한다. 제1 봉지재(820)의 하면(822)을 기준으로 제1 봉지재(820) 최고점(823)의 높이(824)와 제1 봉지재(820)의 폭(825)의 비는 1:2인 것이 바람직하다. 제1 봉지재(820)의 하면(822)을 기준으로 최고점(823)의 높이(824)와 제1 봉지재(820)의 폭(825)의 비에 따라 제1 봉지재(820)의 상면(840)이 아래로 볼록한 정도를 조절할 수 있으며 1:1.5 내지 1:3의 비에서 반도체 발광소자(800)의 측면으로 나가는 빛(850)의 추출 효율이 높기 때문이다. 더 나아가 제1 봉지재(820)의 상면(840)이 아래로 볼록한 정도는 제1 봉지재(820) 최고점(823)의 높이(824)와 제1 봉지재(820)의 폭(825)의 비뿐 아니라 제1 봉지재(820)를 형성하는 물질의 양에 따라서도 조정될 수 있으며 자세한 것은 도 15에서 설명한다. 제1 봉지재(820)의 상면(840)이 아래로 볼록한 정도와 제1 봉지재(820) 최고점(823)의 높이(824) 및 제1 봉지재(820)의 폭(825)의 비는 반도체 발광소자(800)의 측면으로 나가는 빛(850)의 지향각을 조절할 수 있으며 지향각 조절에 대해서는 도 16에서 설명한다. 도시하지는 않았지만 제1 봉지재(820)가 반도체 발광소자 칩(810)의 측면(812)을 감싸지 않고 반도체 발광소자 칩(810) 위에만 형성될 수도 있다. 제2 봉지재(830)는 제1 봉지재(820) 위에 위치하며, 특히 제1 봉지재(820)에 의해 둘러싸인 캐비티(841) 내에 위치한다. 제2 봉지재(830)는 빛을 반사하는 물질로 형성되며, 예를 들어 백색 실리콘 수지일 수 있다. 또는 제2 봉지재(830)는 일부의 빛은 반사하고 일부의 빛은 투과하는 반투광성 물질로 형성될 수 있다. 반도체 발광소자 칩(810)의 상측으로 나가는 빛(850)이 제2 봉지재(830)에 의해 반사되어 반도체 발광소자(800)의 측면으로 나간다.The semiconductor light emitting device 800 includes a semiconductor light emitting device chip 810 having a plurality of semiconductor layers including an active layer that generates light by recombination of electrons and holes and an electrode 811 electrically connected to the plurality of semiconductor layers, A second encapsulant 820 disposed on the first encapsulant 820 and the first encapsulant 820 located on the semiconductor light emitting device chip 810 and reflecting the light 850 emitted from the semiconductor light emitting device chip 810, (830). The semiconductor light emitting device chip 810 is preferably a flip chip. The first encapsulant 820 may be formed of one of a transmissive material and a transmissive material including the wavelength conversion material 821. The first encapsulation material 820 is formed to surround the side surface 812 of the semiconductor light emitting device chip 810. However, the electrode 811 of the semiconductor light emitting device chip 810 is exposed in the direction of the lower surface 822 of the first encapsulant 820. The upper surface 840 of the first encapsulant 820 is convex downward to form a cavity 841 surrounded by the first encapsulant 820. The ratio of the height 824 of the highest point 823 of the first encapsulant 820 and the width 825 of the first encapsulant 820 with respect to the lower surface 822 of the first encapsulant 820 is 1: . The upper surface 822 of the first encapsulant 820 is pressed against the upper surface 822 of the first encapsulant 820 in accordance with the ratio of the height 824 of the highest point 823 to the width 825 of the first encapsulant 820, The degree of convex downward movement of the semiconductor light emitting device 800 can be controlled and the efficiency of extracting the light 850 from the side of the semiconductor light emitting device 800 at a ratio of 1: 1.5 to 1: 3 is high. The degree of convexity of the upper surface 840 of the first encapsulant 820 is determined by the height 824 of the highest point 823 of the first encapsulant 820 and the width 824 of the width 825 of the first encapsulant 820 But it can also be adjusted depending on the amount of the material forming the first encapsulant 820, which will be described in detail with reference to FIG. The ratio of the degree of convexity of the top surface 840 of the first encapsulant 820 down to the height 824 of the topmost point 823 of the first encapsulant 820 and the width 825 of the first encapsulant 820 The directional angle of the light 850 directed to the side surface of the semiconductor light emitting device 800 can be adjusted and the directional angle adjustment will be described with reference to FIG. The first encapsulant 820 may be formed only on the semiconductor light emitting device chip 810 without covering the side surface 812 of the semiconductor light emitting device chip 810. The second encapsulant 830 is located on the first encapsulant 820 and is located in the cavity 841 surrounded by the first encapsulant 820 in particular. The second encapsulant 830 is formed of a material that reflects light, and may be, for example, a white silicone resin. Or the second encapsulant 830 may be formed of a semi-transmissive material that reflects some of the light and transmits some of the light. The light 850 directed to the upper side of the semiconductor light emitting device chip 810 is reflected by the second encapsulant 830 and goes to the side of the semiconductor light emitting device 800.

도 13은 도 12에 개시된 반도체 발광소자의 적용 예를 보여주는 도면이다.13 is a view showing an application example of the semiconductor light emitting device shown in FIG.

액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 두개의 유리판 사이에 액정을 주입해 상하 유리판 전극에 전원을 인가하여 각 화소에 액정 분자배열이 변화함으로써 영상을 표시하는 장치이다. 음극선관 표시 장치(Cathode Ray Tube; CRT), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel; PDP) 등과는 달리 액정 표시 장치에 의한 표시는 그 자체가 비발광성이기 때문에 빛이 없는 곳에서는 사용이 불가능하다. 이러한 단점을 보완하여 어두운 곳에서의 사용이 가능하게 할 목적으로 정보 표시면에 균일하게 빛을 조사하는 광원 어셈블리를 장착한다. 액정 표시 장치에 사용되는 광원 어셈블리는 크게 2 종류로 구분된다. 첫째는 액정 표시 장치의 측면에서 빛을 제공하는 에지형 광원 어셈블리고 둘째는 액정 표시 장치의 후면에서 빛을 직접 제공하는 직하형 광원 어셈블리다. 직하형 광원 어셈블리와 관련된 종래 기술로는 한국 공개특허공보 제2007-0106397호, 한국 공개특허공보 제2008-0021370호, 한국 공개특허공보 제2006-0031518호 등 다수에 기재되어 있다. 직하형 광원 어셈블리에 있어서, 사용되는 광원의 수를 줄이고, 균일한 면광원을 만들기 위해서 도 13과 같이 도광판(900)의 하면에 홈(901)을 만들고 홈(901) 안에 측면으로 발광하는 반도체 발광소자를 광원으로 사용하는 경우가 있으며 도 12에 개시된 따른 반도체 발광소자(800)가 측면으로 발광하는 광원으로 사용될 수 있다. 특히 제2 봉지재(830)가 일부의 빛은 반사하고 일부의 빛은 투과하는 반투광성 물질로 형성된 경우에는 도 13과 같이 반도체 발광소자 칩(810)의 상측으로 나가는 일부의 빛(850)은 제2 봉지재(830)에 반사되어 반도체 발광소자(800)의 측면으로 나가고 일부의 빛(851)은 제2 봉지재(830)를 투과하여 반도체 발광소자(800)의 상측으로 나갈 수 있다. 제2 봉지재(830)와 만나지 않는 반도체 발광소자 칩(810)의 측면으로 나가는 빛(852)은 반도체 발광소자(800)의 측면으로 그대로 나가서 반도체 발광소자(800) 주위로 균일하게 빛을 발광한다. 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 발광 특성은 도 18에서 보여준다.A liquid crystal display (LCD) is a device for displaying an image by injecting liquid crystal between two glass plates and applying power to the upper and lower glass plate electrodes to change the arrangement of liquid crystal molecules in each pixel. Unlike a cathode ray tube (CRT), a plasma display panel (PDP) or the like, a display using a liquid crystal display device is not usable in a place where there is no light because the display itself is non-luminous. In order to compensate for these drawbacks, a light source assembly for uniformly illuminating the information display surface is mounted for the purpose of enabling use in a dark place. The light source assembly used in the liquid crystal display device is divided into two types. The first is an edge type light source assembly that provides light at the side of the liquid crystal display device, and the second is a direct light type light source assembly that provides light directly at the rear side of the liquid crystal display device. Prior art related to a direct-type light source assembly is described in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2007-0106397, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2008-0021370, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2006-0031518, and others. In order to reduce the number of light sources used and reduce the number of light sources used in the direct lighting type light source assembly, a groove 901 is formed in the lower surface of the light guide plate 900 as shown in FIG. 13, The device may be used as a light source, and the semiconductor light emitting device 800 disclosed in FIG. 12 may be used as a light source emitting light laterally. Particularly, when the second encapsulant 830 is formed of a semitransparent material that reflects a part of light and transmits a part of the light, a part of the light 850, which goes to the upper side of the semiconductor light emitting device chip 810, The light is reflected by the second encapsulant 830 to the side of the semiconductor light emitting device 800 and a part of the light 851 may pass through the second encapsulant 830 and go to the upper side of the semiconductor light emitting device 800. The light 852 that goes to the side of the semiconductor light emitting device chip 810 that does not meet the second encapsulant 830 goes out to the side of the semiconductor light emitting device 800 and emits light uniformly around the semiconductor light emitting device 800 do. The luminescent characteristics of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure are shown in Fig.

도 14는 도 12에 개시된 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 보여주는 도면이다. 14 is a view showing an example of a method of manufacturing the semiconductor light emitting device shown in FIG.

도 12(a)를 보면 먼저 베이스(1000) 위에 적어도 하나 이상의 개구(1110)가 형성된 마스크(1100)를 구비한다(S1). 이후 마스크(1100)의 각 개구(1110)로 노출된 베이스(1000) 위에 반도체 발광소자 칩(1200)을 놓는다(S2). 도 6에서 설명한 이송 장치를 사용할 수 있다. 반도체 발광소자 칩(1200)의 전극(1210)이 베이스(1000)를 향하도록 놓는다. 또한 이후 공정(S3)에서 제1 봉지재(1300)가 반도체 발광소자 칩(1200)의 측면을 둘러싸기 위해 마스크(1100)의 개구(1110)의 폭(1120)은 반도체 발광소자 칩(1200)의 폭(1220)보다 충분히 큰 것이 바람직하다. 이후 마스크(1100)를 댐(dam)으로 하여, 각 개구(1110)에 제1 봉지재(1300)를 형성한다(S3). 특히 제1 봉지재(1300)를 형성하는 물질이 마스크(1100)의 내측면(1130)을 타고 올라가 제1 봉지재(1300)로 둘러싸인 아래로 볼록한 캐비티(1310)를 형성하도록 제1 봉지재(1300)를 형성한다. 제1 봉지재(1300)를 형성하는 물질이 마스크(1100)의 내측면(1130)을 타고 올라가기 위해서는 제1 봉지재(1300)를 형성하는 물질은 마스크(1100)의 높이(1320)보다 낮게 마스크(1100)의 개구(1110)를 채워야 한다. 이후 제1 봉지재(1300)로 둘러싸인 캐비티(1310)에 빛을 반사하는 제2 봉지재(1400)를 형성한다. 제2 봉지재(1400)는 캐비티(1310) 내에만 형성되어 도 12와 같은 형태가 될 수도 있지만 캐비티(1310)를 벗어나서 형성되어 도 15(a)와 같은 형태가 될 수도 있다. 이후 필요에 따라 베이스(1000) 및 마스크(1100)를 제거하여 제1 봉지재(1300), 제2 봉지재(1400) 및 반도체 발광소자 칩(1200)으로만 이루어진 반도체 발광소자를 얻을 수 있다. 다만 도 9에서 설명하고 있는 것처럼 제1 봉지재, 제2 봉지재 및 반도체 발광소자 칩 이외에 베이스 및 마스크 중 하나를 포함하고 있거나 베이스 및 마스크 모두를 포함하고 있는 반도체 발광소자도 가능하다. 또한 도 4에 기재된 마스크(1100)의 평면도를 보면 마스크(1100) 개구(1110)의 평면형상이 사각형이지만 도 12(b)와 같이 마스크(1100) 개구(1110)의 평면형상은 원형 및 다각형 등 다양하게 될 수 있으며 개구(1110)의 평면형상에 따라 반도체 발광소자의 평면형상이 다각형부터 원형까지 가능하다. 반도체 발광소자의 평면형상이 원형일수록 반도체 발광소자는 반도체 발광소자 주위로 더 균일한 빛을 발생하며 이러한 반도체 발광소자의 발광 특성은 도 18에 도시하였다. 또한 도 12(c)와 같이 마스크(1100)의 개구(1110)의 폭(1120)이 아래로 내려갈수록 점점 작아지는 것도 가능하며, 이 경우 개구(1110) 내에 형성된 반도체 발광소자는 마스크(1100)의 아래로는 빠지지 않고 위로만 분리될 수 있기 때문에 도 11과 같이 하나씩 분리하는 것이 아니라 마스크(1100)와 개구(1110) 내에 형성된 반도체 발광소자를 함께 뒤집은 후 마스크(1100)를 화살표(1410) 방향으로 들어올림으로써 개구(1110) 내에 형성된 복수의 반도체 발광소자(1420)를 한 번에 마스크(1100)로부터 분리할 수 있다. 또한 도시하지는 않았지만 마스크(1100)의 개구(1110)의 폭(1120)이 아래로 내려갈수록 점점 커지는 것도 가능하며 마스크(1100)와 개구(1110) 내에 형성된 반도체 발광소자를 함께 뒤집지 않아도 마스크(1100)의 개구(1110)의 폭(1120)이 아래로 내려갈수록 점점 작아지는 것과 동일한 효과를 얻을 수 있다. 도 14에서 설명하고 있는 것을 제외하고 나머지는 도 4 내지 도 8에 기재된 반도체 발광소자의 제조 방법과 실질적으로 동일하다.Referring to FIG. 12A, a mask 1100 having at least one opening 1110 is formed on a base 1000 (S1). Then, the semiconductor light emitting device 1200 is placed on the base 1000 exposed by the openings 1110 of the mask 1100 (S2). The transfer device described in Fig. 6 can be used. The electrode 1210 of the semiconductor light-emitting device chip 1200 faces the base 1000. The width 1120 of the opening 1110 of the mask 1100 is larger than the width 1120 of the semiconductor light emitting device chip 1200 so that the first encapsulant 1300 surrounds the side surface of the semiconductor light emitting device chip 1200. [ It is preferable that the width 1220 is sufficiently larger than the width 1220. Thereafter, the mask 1100 is used as a dam to form the first encapsulant 1300 in each opening 1110 (S3). The material forming the first encapsulant 1300 rides on the inner surface 1130 of the mask 1100 to form a downwardly convex cavity 1310 surrounded by the first encapsulant 1300. [ 1300). The material forming the first encapsulant 1300 rises above the inner surface 1130 of the mask 1100 and the material forming the first encapsulant 1300 is lower than the height 1320 of the mask 1100 The opening 1110 of the mask 1100 must be filled. Thereafter, a second encapsulant 1400 for reflecting light is formed in the cavity 1310 surrounded by the first encapsulant 1300. The second encapsulant 1400 may be formed only in the cavity 1310 to have the same shape as that of FIG. 12 but may be formed out of the cavity 1310 to have a shape as shown in FIG. 15 (a). Thereafter, the base 1000 and the mask 1100 are removed as needed to obtain a semiconductor light emitting device composed only of the first encapsulant 1300, the second encapsulant 1400, and the semiconductor light emitting device chip 1200. However, as described with reference to FIG. 9, a semiconductor light emitting device that includes one of a base and a mask, or both a base and a mask in addition to the first encapsulation material, the second encapsulation material, and the semiconductor light emitting device chip is also possible. 4, the planar shape of the opening 1110 of the mask 1100 is a quadrangle, but the planar shape of the opening 1110 of the mask 1100 is circular or polygonal as shown in Fig. 12 (b) And the planar shape of the semiconductor light emitting device can be from polygonal to circular depending on the plane shape of the opening 1110. [ As the planar shape of the semiconductor light emitting device is circular, the semiconductor light emitting device generates more uniform light around the semiconductor light emitting device, and the light emitting characteristics of such a semiconductor light emitting device are shown in FIG. The semiconductor light emitting device formed in the opening 1110 may be formed in the mask 1100 so that the width of the opening 1110 of the mask 1100 becomes smaller as the width 1120 of the opening 1110 of the mask 1100 decreases. The mask 1100 and the semiconductor light emitting element formed in the opening 1110 are turned upside down together and then the mask 1100 is moved in the direction of the arrow 1410 The plurality of semiconductor light emitting devices 1420 formed in the opening 1110 can be separated from the mask 1100 at a time. Although not shown, the width 1120 of the opening 1110 of the mask 1100 may be gradually increased as the distance from the mask 1100 to the mask 1100 decreases. Also, if the mask 1100 and the semiconductor light emitting device formed in the opening 1110 are not turned upside down, It is possible to obtain the same effect that the width 1120 of the opening 1110 of the first electrode 1110 becomes smaller as it goes down. Except for that described in Fig. 14, the remaining steps are substantially the same as the method of manufacturing the semiconductor light emitting device described in Figs.

도 15는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다양한 실시 예를 보여주는 도면이다.15 is a view showing various embodiments of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

도 15(a)에 도시된 반도체 발광소자(1500)는 반도체 발광소자 칩(1510), 제1 봉지재(1520) 및 빛을 반사하는 제2 봉지재(1530)를 포함한다. 제2 봉지재(1530)의 측면(1531)이 외부로 노출되어 있다. 도 15(b)에 도시된 반도체 발광소자(1600)는 반도체 발광소자 칩(1610), 제1 봉지재(1620) 및 빛을 반사하는 제2 봉지재(1630)를 포함한다. 제1 봉지재(1620)의 상면(1631)이 아래로 크게 볼록한 형태이다. 상면(1631)이 아래로 볼록한 정도는 도 14에서 마스크(1100)의 폭(1120)과 마스크(1100)의 개구(1110)에 채워지는 제1 봉지재(1300)를 형성하는 물질의 양에 따라 조절할 수 있다. 예를 들어 마스크(1100)의 개구(1110)에 채워지는 제1 봉지재(1300)를 형성하는 물질의 양이 많을수록 아래로 볼록한 정도가 작아지며 편평하게 된다. 또한 도 15(c)와 같이 반도체 발광소자(1640)은 제1 봉지재(1660)의 상면이 아래로 볼록한 부분(1662)과 편평한 부분(1661)이 동시에 형성되어 있다. 편평한 부분(1661)과 볼록한 부분(1662)이 제1 봉지재(1660)의 상면에서 차지하는 비율을 통해 반도체 발광소자(1640)의 측면으로 나가는 빛의 지향각을 조절할 수 있다. 빛을 반사하는 제2 봉지재(1670)는 제1 봉지재(1660)의 상면의 볼록한 부분(1662)에 의해 형성되는 캐비티(1663)뿐 아니라 편평한 부분(1661) 위에도 형성된다. 도 15에 설명한 것을 제외하고 반도체 발광소자(1500, 1600, 1640)는 도 12에 기재된 반도체 발광소자(800)와 실질적으로 동일하다.The semiconductor light emitting device 1500 shown in FIG. 15A includes a semiconductor light emitting device chip 1510, a first encapsulant 1520, and a second encapsulant 1530 that reflects light. The side 1531 of the second encapsulant 1530 is exposed to the outside. The semiconductor light emitting device 1600 shown in FIG. 15B includes a semiconductor light emitting device chip 1610, a first encapsulant 1620, and a second encapsulant 1630 for reflecting light. The upper surface 1631 of the first encapsulant 1620 is convex downward. The degree to which the top surface 1631 is convex downward depends on the amount of the material forming the first encapsulant 1300 filled in the width 1120 of the mask 1100 and the opening 1110 of the mask 1100 in Fig. Can be adjusted. For example, as the amount of the material forming the first encapsulant 1300 filled in the opening 1110 of the mask 1100 increases, the degree of convexity becomes smaller and becomes flat. 15 (c), the semiconductor light emitting element 1640 is formed such that the upper surface of the first encapsulant 1660 is downwardly convex 1662 and the flat portion 1661 is formed at the same time. The directivity angle of the light to the side of the semiconductor light emitting device 1640 can be controlled through the ratio of the flat portion 1661 and the convex portion 1662 on the top surface of the first encapsulant 1660. The second encapsulant 1670 reflecting light is formed on the flat portion 1661 as well as the cavity 1663 formed by the convex portion 1662 of the upper surface of the first encapsulant 1660. The semiconductor light emitting elements 1500, 1600 and 1640 are substantially the same as the semiconductor light emitting element 800 described in Fig.

도 16은 본 개시에 따른 반도체 발광소자에서 제1 봉지재의 상면이 아래로 볼록한 정도에 따른 효과를 설명하는 도면이다.16 is a view for explaining the effect of the degree of convexity of the top surface of the first encapsulant in the semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

반도체 발광소자(1700)는 제1 봉지재(1720)의 상면(1731, 1732, 1733)이 아래로 볼록한 정도에 따라 반도체 발광소자 칩(1710)로부터 나오는 빛(1740)이 반도체 발광소자(1700)로부터 나가는 지향각을 조절할 수 있다. 설명을 위해 제1 봉지재(1720)의 상면(1731, 1732, 1733)을 1개의 반도체 발광소자(1700)에 함께 표시하였다. 도 16을 보면 반도체 발광소자 칩(1710)으로부터 나오는 상측으로 나가는 빛(1740)은 제1 봉지재(1720)의 서로 다른 아래로 볼록한 정도를 갖는 상면(1731, 1732, 1733)에서 반사되어 반도체 발광소자(1700)의 측면으로 나가는 빛(1741, 1742, 1743)이 되며 특히 제1 봉지재(1720)의 편평한 상면(1733)에 반사되어 나가는 빛(1743)의 지향각이 가장 크며 아래로 볼록한 정도가 가장 큰 상면(1731)에 반사되어 나가는 빛(1741)의 지향각이 가장 작은 것을 알 수 있다. 상측 수직 방향으로 나가는 가상의 빛(1750)의 지향각을 90도로 하며 상측 수직 방향보다 기울어지는 경우 지향각이 커진다라고 한다. 제2 봉지재(1730)로 인하여 반도체 발광소자 칩(1710)의 상측으로 나가는 빛은 지향각이 커지며 특히 제1 봉지재(1730)의 상면(1731, 1732, 1733)이 편평해질수록 지향각은 180도에 가까워진다. 또한 도시하지는 않았지만 반도체 발광소자(1700)의 제1 봉지재(1730)의 폭(1750)과 최고점(1751) 높이의 비도 지향각에 영향을 미칠 수 있다. 도 16에 설명한 것을 제외하고 반도체 발광소자(1700)는 도 12에 기재된 반도체 발광소자(800)와 실질적으로 동일하다.The semiconductor light emitting device 1700 is configured such that the light 1740 emitted from the semiconductor light emitting device chip 1710 is reflected by the semiconductor light emitting device 1700 according to the degree of convexity of the top surfaces 1731, 1732, and 1733 of the first encapsulant 1720, Can be controlled. The upper surfaces 1731, 1732, and 1733 of the first encapsulant 1720 are shown together in one semiconductor light emitting element 1700 for the sake of explanation. 16, the upwardly-directed light 1740 emitted from the semiconductor light-emitting device chip 1710 is reflected by the upper surfaces 1731, 1732, and 1733 having different degrees of convexity downward from the first encapsulant 1720, Light 1743 emerges from the side surface of the element 1700 and the light 1743 reflected by the flat upper surface 1733 of the first encapsulant 1720 has the largest directivity angle, The angle of incidence of the light 1741 reflected by the uppermost surface 1731 is the smallest. It is assumed that the directivity angle of the imaginary light 1750 traveling in the vertical direction on the upper side is 90 degrees and the directivity angle becomes larger when it is inclined from the upper direction. As the top surfaces 1731, 1732, and 1733 of the first encapsulant 1730 are flattened, the light emitted toward the upper side of the semiconductor light emitting device chip 1710 becomes larger due to the second encapsulant 1730, 180 degrees. Also, although not shown, the ratio of the width 1750 and the height 1751 of the first encapsulant 1730 of the semiconductor light emitting device 1700 may affect the orientation angle. Except as described in Fig. 16, the semiconductor light emitting element 1700 is substantially the same as the semiconductor light emitting element 800 described in Fig.

도 17은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 예를 보여주는 도면이다.17 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

반도체 발광소자(1800)는 제1 봉지재(1820)로 둘러싸인 캐비티(1821)를 제2 봉지재가 채우는 대신에 제1 봉지재(1820)의 상면(1822)에 제2 봉지재(1830)가 얇은 막으로 형성되는 것을 특징으로 한다. 특히 막 형태의 제2 봉지재(1830)는 금속막(1830)이 바람직하다. 금속막(1830)은 빛에 대한 반사율이 높은 장점이 있다. 제조 방법은 도 14에서 S4 단계에서 제2 봉지재를 형성하는 물질이 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티를 채워서 제2 봉지재를 형성하는 대신에 캐비티를 형성하는 제1 봉지재의 상면에 금속막을 형성하는 것으로, 금속막은 증착, 도금 및 Spray 방식 중 하나로 형성될 수 있으며 금속은 은이나 알루미늄이 바람직하다. 도 17에 설명한 것을 제외하고 반도체 발광소자(1800)는 도 12에 기재된 반도체 발광소자(800)와 실질적으로 동일하다.The semiconductor light emitting device 1800 may be configured such that the second encapsulant 1830 is formed on the upper surface 1822 of the first encapsulant 1820 instead of filling the cavity 1821 surrounded by the first encapsulant 1820 with the second encapsulant. And is formed of a film. In particular, the second sealant 1830 in the form of a film is preferably a metal film 1830. The metal film 1830 has a high reflectance to light. 14, the material forming the second encapsulation material is filled in the cavity surrounded by the first encapsulation material to form the second encapsulation material, instead of forming the metal film on the upper surface of the first encapsulation material forming the cavity The metal film may be formed by vapor deposition, plating, or spraying, and the metal is preferably silver or aluminum. Except for that described in Fig. 17, the semiconductor light emitting element 1800 is substantially the same as the semiconductor light emitting element 800 described in Fig.

도 18은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 평면형상에 따른 발광 실험예를 보여주는 도면이다.FIG. 18 is a diagram illustrating an example of luminescence experiment according to the plane shape of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure.

도 18을 보면 반도체 발광소자(1900)의 평면형상에 따른 발광 특성을 보여주는 실험예이다. 반도체 발광소자(1900)의 평면형상은 도 14(b) 및 도 4에 도시된 마스크(301, 1100)의 개구(305, 1110)의 평면형상과 동일하다. 도 18(c)와 같이 반도체 발광소자(1900)의 평면형상이 원형에 가까울수록 반도체 발광소자(1900) 주변에 빛이 더 고르게 발광하는 것을 보여준다. 즉 도 18(a)에서 도 18(c)로 갈수록 반도체 발광소자(1900) 주변에 빛이 더 고르게 발광한다. 또한 반도체 발광소자(1900)의 상측으로는 빛이 나오지 않아 어두운 것을 보여준다. 다만 실험예에 도시하지는 않았지만 제2 봉지재가 일부의 빛은 투과하고 일부의 빛은 반사하는 경우에는 반도체 발광소자(1900)의 상측으로 빛이 나와 도 18에 기재된 것보다는 반도체 발광소자(1900)의 상측이 더 밝아질 수 있다. 18 is an experimental example showing the light emission characteristics according to the plane shape of the semiconductor light emitting device 1900. The planar shape of the semiconductor light emitting element 1900 is the same as the planar shape of the openings 305 and 1110 of the masks 301 and 1100 shown in Figs. As shown in FIG. 18 (c), the closer the plane shape of the semiconductor light emitting device 1900 is to a circle, the more uniform light is emitted around the semiconductor light emitting device 1900. 18 (a) to 18 (c), the light is emitted more evenly around the semiconductor light emitting device 1900. [ Further, no light is emitted to the upper side of the semiconductor light emitting device 1900, which shows darkness. Although not shown in the experimental example, when a part of the light is transmitted through the second encapsulant and a part of the light is reflected, light is emitted upward from the semiconductor light emitting device 1900 and the light emitted from the semiconductor light emitting device 1900 The upper side can be brighter.

이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.Various embodiments of the present disclosure will be described below.

(1) 반도체 발광소자에 있어서, 반도체 발광소자 칩;으로서, 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 포함하는 복수의 반도체층과, 복수의 반도체층에 전기적으로 연결된 전극을 구비하는 반도체 발광소자 칩; 반도체 발광소자 칩 위에 위치하는 제1 봉지재;로서 제1 봉지재의 상면이 아래로 볼록하여 제1 봉지재에 의해 둘러싸인 캐비티(cavity)를 포함하는 제1 봉지재; 그리고 제1 봉지재의 캐비티 내에 형성되어, 반도체 발광소자 칩에서 나온 빛을 반사하는 제2 봉지재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(1) A semiconductor light emitting device comprising: a semiconductor light emitting device chip comprising: a plurality of semiconductor layers including an active layer that generates light by recombination of electrons and holes; and a plurality of semiconductor layers including electrodes electrically connected to the plurality of semiconductor layers A light emitting element chip; A first encapsulant disposed on a semiconductor light emitting device chip, comprising: a first encapsulant including a cavity surrounded by a first encapsulant, the first encapsulant having an upper surface convex downward; And a second encapsulant formed in the cavity of the first encapsulant and reflecting light emitted from the semiconductor light emitting device chip.

(2) 제1 봉지재는 반도체 발광소자 칩의 측면을 감싸는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(2) A semiconductor light emitting device, wherein the first encapsulant surrounds a side surface of the semiconductor light emitting device chip.

(3) 반도체 발광소자 칩의 전극이 제1 봉지재의 하면 방향으로 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(3) An electrode of a semiconductor light emitting device chip is exposed in a direction of a lower surface of a first encapsulation material.

(4) 제1 봉지재의 최고점 높이와 폭의 비가 1:2인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(4) The semiconductor light emitting device according to any one of (1) to (4), wherein the ratio of the height of the peak of the first sealing material to the width thereof is 1: 2.

(5) 제2 봉지재는 일부의 빛은 투과하고 일부의 빛은 반사하는 반투광성인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(5) The semiconductor light emitting device according to (5), wherein the second encapsulant is semi-transmissive to transmit a part of light and reflect a part of light.

(6) 제2 봉지재는 제1 봉지재에 의해 둘러싸인 캐비티를 채우고 있는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(6) The semiconductor light emitting device according to (6), wherein the second encapsulant fills a cavity surrounded by the first encapsulant.

(7) 제2 봉지재는 제1 봉지재의 상면에 금속막으로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(7) The semiconductor light emitting device according to (7), wherein the second encapsulant is formed of a metal film on the upper surface of the first encapsulant.

(8) 제1 봉지재를 형성하는 물질은 파장 변환재를 포함하고 있는 투광성 물질인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(8) The semiconductor light emitting device according to (8), wherein the material forming the first encapsulant is a light transmitting material including a wavelength converting material.

(9) 반도체 발광소자의 제조 방법에 있어서, 베이스 위에 적어도 하나 이상의 개구가 형성된 마스크를 구비하는 단계; 마스크의 각 개구로 노출된 베이스 위에 반도체 발광소자 칩을 놓는 단계; 마스크를 댐(dam)으로 하여, 각 개구에 제1 봉지재를 형성하는 단계;로서 제1 봉지재를 형성하는 물질이 마스크의 내측면을 타고 올라가 제1 봉지재의 상면이 아래로 볼록하여 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티(Cavity)를 형성하도록 제1 봉지재를 형성하는 단계; 그리고 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티에 빛을 반사하는 제2 봉지재를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(9) A method of manufacturing a semiconductor light emitting device, comprising: providing a mask having at least one opening formed on a base; Placing a semiconductor light emitting device chip on a base exposed with respective openings of a mask; Forming a first sealing material on each of the openings by using the mask as a dam, wherein the material forming the first sealing material rides on the inner surface of the mask so that the upper surface of the first sealing material is convex downward, Forming a first encapsulant to form a cavity surrounded by the encapsulant; And forming a second encapsulant that reflects light in a cavity surrounded by the first encapsulant.

(10) 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티에 빛을 반사하는 제2 봉지재를 형성하는 단계 이후에 베이스 및 마스크를 제거하는 단계;를 추가하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(10) A method of manufacturing a semiconductor light emitting device, comprising: forming a second encapsulant that reflects light in a cavity surrounded by a first encapsulant; and then removing the base and the mask.

(11) 마스크의 각 개구로 노출된 베이스 위에 반도체 발광소자 칩을 놓는 단계에서 반도체 발광소자 칩의 전극이 베이스를 향하도록 반도체 발광소자 칩을 놓는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(11) The method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to claim 1, wherein the semiconductor light emitting device chip is placed so that the electrode of the semiconductor light emitting device chip faces the base in the step of placing the semiconductor light emitting device chip on the base exposed with each opening of the mask.

(12) 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티에 빛을 반사하는 제2 봉지재를 형성하는 단계는 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티에 제2 봉지재를 형성하는 물질을 채우는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(12) forming a second encapsulant that reflects light in a cavity surrounded by the first encapsulant, the step of filling the cavity surrounded by the first encapsulant with a material forming the second encapsulant Gt;

(13) 제1 봉지재로 둘러싸인 캐비티에 빛을 반사하는 제2 봉지재를 형성하는 단계는 제1 봉지재의 상면에 금속막을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(13) The method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to (13), wherein the step of forming the second encapsulant for reflecting light in the cavity surrounded by the first encapsulant forms a metal film on the upper surface of the first encapsulant.

(14) 마스크를 댐(dam)으로 하여, 각 개구에 제1 봉지재를 형성하는 단계에서 제1 봉지재를 형성하는 물질을 마스크의 높이보다 낮게 마스크의 개구를 채우는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(14) The semiconductor light emitting device according to any one of the above items (1) to (4), wherein the mask is a dam and the opening of the mask is filled with the material forming the first sealing material ≪ / RTI >

(15) 베이스 위에 적어도 하나 이상의 개구가 형성된 마스크를 구비하는 단계는 개구의 평면형상이 사각형, 원형 및 다각형 중 하나인 개구가 형성된 마스크를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(15) The method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to any one of the preceding claims, wherein the step of forming a mask having at least one opening on a base includes a mask having an opening whose plane shape is one of a rectangular shape, a circular shape, and a polygonal shape.

(16) 베이스 위에 적어도 하나 이상의 개구가 형성된 마스크를 구비하는 단계는 개구의 폭이 아래로 갈수록 점점 작아지는 개구가 형성된 마스크를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(16) The method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to any one of the preceding claims, wherein the step of providing a mask having at least one opening formed on a base includes a mask having an opening formed therein, the opening being reduced in width.

(17) 베이스 위에 적어도 하나 이상의 개구가 형성된 마스크를 구비하는 단계는 개구의 폭이 아래로 갈수록 점점 커지는 개구가 형성된 마스크를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자의 제조 방법.(17) The method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to any one of the preceding claims, wherein the step of providing a mask having at least one opening formed on a base includes a mask having an opening formed therein, the opening increasing gradually as the width of the opening decreases.

(18) 제1 봉지재 상면은 편평한 부분을 포함하며, 제2 봉지재는 제1 봉지재 상면의 편평한 부분 위에도 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(18) The semiconductor light emitting device according to any one of the preceding claims, wherein the upper surface of the first encapsulant includes a flat portion, and the second encapsulant is formed on a flat portion of the upper surface of the first encapsulant.

본 개시에 따른 반도체 발광소자 및 제조 방법에 의하며, 측면으로 추출되는 빛의 효율이 높은 CSP 타입의 반도체 발광소자를 얻을 수 있다.According to the semiconductor light emitting device and the manufacturing method of the present disclosure, it is possible to obtain a CSP type semiconductor light emitting device having high efficiency of light extracted from the side.

또한 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조 방법에 의하면, 마스크를 반도체 발광소자 칩 배열의 가이드 패턴으로 사용하여 더욱 정확한 위치와 각도로 반도체 발광소자 칩을 배열할 수 있다. 따라서, 후공정, 예를 들어, 개별 소자로의 분리 공정(예: 쏘잉 등)에서 반도체 발광소자 칩들의 정렬의 오차로 인해 불량이 발생하는 것이 감소한다.Further, according to the method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure, the semiconductor light emitting device chip can be arranged at a more accurate position and angle by using the mask as a guide pattern of the semiconductor light emitting device chip array. Therefore, the occurrence of defects due to errors in the alignment of the semiconductor light-emitting device chips in a post-process, for example, a separation process (e.g., sawing, etc.) into individual devices is reduced.

또한, 테이프에 빈 곳을 채우거나 틀어진 반도체 발광소자 칩의 각도를 보정하는 추가 공정을 한 후에 마스크를 반도체 발광소자 칩들이 배열된 테이프 위에 배치하고 봉지재를 공급하는 방식과 비교하면, 본 개시에 따른 방법은 상기 추가 공정이 필요 없어서 효율적이다.Compared with a method in which a mask is provided on a tape on which semiconductor light emitting device chips are arranged and a sealing material is supplied after an additional process of filling the empty space in the tape or correcting the angle of the broken semiconductor light emitting device chip, The method according to the present invention is efficient because the above-mentioned additional process is not necessary.

반도체 발광소자 칩 : 101, 810, 1200, 1650
반도체 발광소자 : 800, 1420, 1500, 1600, 1640, 1700, 1800, 1900
베이스 : 201, 1000
마스크 : 301, 1100
마스크의 개구 : 305, 1110
봉지재 : 170, 820, 830, 1300, 1400, 1520, 1530, 1620, 1630,1660, 1670 1720, 1730, 1820, 1830
Semiconductor light-emitting device chips: 101, 810, 1200, 1650
Semiconductor light emitting devices: 800, 1420, 1500, 1600, 1640, 1700, 1800, 1900
Base: 201, 1000
Mask: 301, 1100
Opening of the mask: 305, 1110
Sealing material: 170, 820, 830, 1300, 1400, 1520, 1530, 1620, 1630, 1660, 1670 1720, 1730, 1820, 1830

Claims (18)

반도체 발광소자에 있어서,
반도체 발광소자 칩;으로서, 전자와 정공의 재결합에 의해 빛을 생성하는 활성층을 포함하는 복수의 반도체층과, 복수의 반도체층에 전기적으로 연결된 전극을 구비하는 반도체 발광소자 칩;
반도체 발광소자 칩의 상면을 덮도록 반도체 발광소자 칩 위에 위치하는 제1 봉지재;로서 반도체 발광소자 칩의 상면과 적어도 일부분이 떨어져 위치하는 제1 봉지재의 상면이 아래로 볼록하여 제1 봉지재에 의해 둘러싸인 캐비티(cavity)를 포함하는 제1 봉지재; 그리고
제1 봉지재의 캐비티 내에 형성되어, 반도체 발광소자 칩의 상면에서 나온 빛을 반도체 발광소자의 측면으로 반사하는 제2 봉지재;를 포함하고,
제1 봉지재는 투광성 물질로 이루어지고, 제2 봉지재는 반사 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.
In the semiconductor light emitting device,
A semiconductor light emitting device chip comprising: a plurality of semiconductor layers including an active layer that generates light by recombination of electrons and holes; and an electrode electrically connected to the plurality of semiconductor layers;
A first encapsulant disposed on the semiconductor light emitting device chip so as to cover the upper surface of the semiconductor light emitting device chip, wherein the upper surface of the first encapsulant, which is at least partially separated from the upper surface of the semiconductor light emitting device chip, A first encapsulant including a cavity surrounded by the first encapsulant; And
And a second encapsulant that is formed in the cavity of the first encapsulant and reflects light emitted from the upper surface of the semiconductor light emitting device chip to the side of the semiconductor light emitting device,
Wherein the first encapsulant is made of a transmissive material and the second encapsulant is made of a reflective material.
청구항 1에 있어서,
제1 봉지재는 반도체 발광소자 칩의 측면을 감싸는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the first encapsulant surrounds a side surface of the semiconductor light emitting device chip.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
제1 봉지재의 최고점 높이와 폭의 비가 1:2인 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the ratio of the height of the highest point of the first encapsulant to the width of the first encapsulant is 1: 2.
삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
제2 봉지재는 제1 봉지재의 상면에 금속막으로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
And the second encapsulant is formed of a metal film on the upper surface of the first encapsulant.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
제1 봉지재 상면은 편평한 부분을 포함하며,
제2 봉지재는 제1 봉지재 상면의 편평한 부분 위에도 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.
The method according to claim 1,
The first encapsulant top surface comprises a flat portion,
And the second encapsulant is also formed on a flat portion of the upper surface of the first encapsulant.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020160078165A 2016-06-13 2016-06-22 Semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same KR101831207B1 (en)

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