KR101789144B1 - 표시장치용 자동 검사시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치용 검사장치에 관한 것으로 특히, 모듈화된 액정표시장치의 자동 검사시스템에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 모듈화된 액정표시장치의 여러 가지 물리적인 외압에 의한 잠재되어 있는 단락성 불량 여부를 검사하거나, 전기신호를 인가하여 어레이기판에 구성된 게이트 및 데이터라인의 단락 및 단선과 같은 선결함(Line defect) 및 점결함(Point defect) 등을 검출하는 검사 공정을 자동 검사시스템을 통해 진행하는 것이다.
이를 통해, 보다 신속하고 정밀하게 검사공정을 진행할 수 있으며, 생산성을 높이고 검사공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 따라서, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있으며, 공정비용을 절감할 수 있다.
본 발명의 특징은 모듈화된 액정표시장치의 여러 가지 물리적인 외압에 의한 잠재되어 있는 단락성 불량 여부를 검사하거나, 전기신호를 인가하여 어레이기판에 구성된 게이트 및 데이터라인의 단락 및 단선과 같은 선결함(Line defect) 및 점결함(Point defect) 등을 검출하는 검사 공정을 자동 검사시스템을 통해 진행하는 것이다.
이를 통해, 보다 신속하고 정밀하게 검사공정을 진행할 수 있으며, 생산성을 높이고 검사공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 따라서, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있으며, 공정비용을 절감할 수 있다.
Description
본 발명은 표시장치용 검사장치에 관한 것으로 특히, 모듈화된 표시장치의 자동 검사시스템에 관한 것이다.
근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다.
이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 전기발광표시장치(Electroluminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이중 특히 액정표시장치는 콘트라스트 비(contrast ratio)가 크고 동화상 표시에 적합하며 소비전력이 적다는 특징을 보여 노트북, 모니터, TV 등의 다양한 분야에서 활용되고 있는데, 이의 화상구현원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하는 것으로, 주지된 바와 같이 액정은 분자구조가 가늘고 길며 배열에 방향성을 갖는 광학적 이방성과, 전기장 내에 놓일 경우 그 크기에 따라 분자배열 방향이 변화되는 분극성질을 띤다.
즉, 일반적인 액정표시장치는 액정구동을 위한 어레이층(array layer)이 형성된 제 1 기판과 컬러구현을 위한 컬러필터층(color-filter layer)이 갖추어진 제 2 기판 사이로 액정층을 개재해서 합착시킨 액정패널을 필수구성요소로 하며, 이는 내부의 전기장으로 액정분자의 배열방향을 변화시켜 투과율 차이를 발생시키게 된다.
이러한 액정패널의 투과율 차이는 그 배면에 놓인 백라이트(back light)의 빛을 통해 컬러필터의 색 조합이 반영되어 컬러화상의 형태로 디스플레이 된다.
일반적인 액정표시장치 제조공정은 액정패널을 완성하는 셀(cell)공정과, 액정패널 그리고 액정패널과 백라이트를 일체화시키는 모듈(module)공정으로 구분될 수 있다.
이중 셀 공정은 박막증착(thin film deposition), 포토리소그라피(photo-lithography), 식각(etching) 등의 과정을 수 차례 반복해서 각 기판에 어레이층과 컬러필터층을 구현하고, 셀공정에서는 제 1 또는 제 2 기판 중 어느 하나에 합착을 위한 씰패턴(seal pattern)을 형성한 후 액정층을 사이에 두고 양 기판을 대면 합착시켜 액정패널을 완성하며, 이렇게 완성된 액정패널은 모듈공정에서 편광판과 구동회로 등이 부착된 후 백라이트와 일체화되어 액정표시장치를 이룬다.
한편, 이러한 액정표시장치는 다양한 검사 공정을 거쳐 양질의 액정표시장치를 선별하게 되는데, 모듈공정 후 진행하는 검사 공정은 작업자의 수작업과 작업자의 육안으로 확인함으로써, 검사시간이 오래 걸리게 되고 특히 작업자의 부주의로 인하여 불량여부를 확인하지 못하는 경우가 발생될 수 있다.
이는 결과적으로 검사공정의 신뢰성을 저하시키게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 표시장치의 검사 공정을 신속하고 정밀하게 수행하여 제품 생산성 및 품질을 향상시키고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다.
이를 통해, 검사 공정의 신뢰성을 향상시키고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 모듈화된 제 1 표시장치를 인라인 방식(in-line type)으로 일방향으로 이송시키는 제 1 이송부와; 상기 제 1 이송부를 통해 일방향으로 이송되는 상기 제 1 표시장치를 촬상하여 획득한 이미지를 통해 불량 검사를 진행하는 제 1 비젼(vision)검사부와; 상기 제 1 비젼검사부의 일측에 위치하며, 상기 제 1 표시장치에 외압을 가해 촬상하여 획득한 이미지를 통해 불량 검사를 진행하는 특수검사부를 포함하는 표시장치용 자동 검사시스템을 제공한다.
여기서, 상기 특수검사부의 일측에는 모듈화된 제 2 표시장치를 상기 제 1 해상도로 촬상하여, 불량 검사를 진행하는 제 2 비젼검사부가 위치하며, 상기 제 1 및 제 2 비젼검사부는 제 1 해상도로 촬상하며, 상기 특수검사부는 상기 제 1 해상도에 비해 낮은 제 2 해상도로 촬상한다.
그리고, 상기 제 1 이송부의 일측에 제 2 이송부를 포함하며, 상기 제 1 표시장치는 상기 제 1 이송부를 통해 상기 제 1 비젼검사부로 전달되며, 상기 특수검사부로부터 상기 제 2 이송부로 전달되어 외부로 반출되며, 상기 제 2 표시장치는 상기 제 1 이송부를 통해 상기 제 2 비젼검사부로 전달되며, 상기 특수검사부로부터 상기 제 2 이송부로 전달되어 외부로 반출된다.
또한, 상기 제 2 표시장치가 상기 제 2 이송부를 통해 외부로 반출되는 동시에, 제 3 표시장치는 상기 제 1 이송부를 통해 각각 상기 제 1 비젼검사부로 전달되어지며, 상기 제 1 및 제 2 이송부는 각각 상기 제 1 및 제 2 표시장치를 지지하는 이송유닛을 포함하며, 상기 제 1및 제 2 표시장치는 각각 이송유닛에 의해 지지되어, 상기 제 1 및 제 2 이송부를 통해 일방향으로 이송된다.
그리고, 상기 이송유닛은 상기 제 1및 제 2 표시장치에 전기적인 신호를 인가하는 전기인가유닛을 포함하며, 상기 제 1및 제 2 비젼검사부는 상기 제 1및 제 2 표시장치를 각각 지지하는 지지프레임과, 제1 촬상유닛 및 촬상유닛 지지부 그리고 제 1 불량 검출부를 포함한다.
이때, 상기 제 1 및 제 2 표시장치는 상기 지지프레임에 의해 지지되어, 상기 이송유닛으로부터 이격되며, 상기 이송유닛으로부터 이격된 상기 제 1 및 제 2 표시장치는 상기 지지프레임에 의해 앞뒤, 좌우로 선회(旋回)되며, 상기 제 1 촬상유닛은 상기 제 1 및 제 2 표시장치의 부분별 이미지들을 촬상할 수 있도록 연속적으로 이동하거나, 영역별로 스텝(step)이동한다.
또한, 상기 제 1 촬상유닛은 상기 제 1 및 제 2 표시장치의 하나의 서브픽셀을 기준으로 1/N (N은 12보다 큰 정수)의 해상도를 갖는 이미지를 획득하며, 상기 제 1 촬상유닛은 이미지를 획득하기 위한 이미지센서를 포함하고, 상기 이미지센서는 가로길이가 3㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 세로 길이가 3㎛ 이상 60㎛ 이하인 촬영영역을 갖는다.
그리고, 상기 특수검사부는 탭핑유닛(tapping unit)과 제 2 촬상유닛 그리고 제 2 불량 검출부를 포함하며, 상기 탭핑유닛은 막대형상의 지지봉 및 상기 지지봉의 일단에 설치되어, 상기 제 1및 제 2 표시장치의 소정 부위에 외압을 가하는 탭핑구를 포함한다.
또한, 상기 탭핑유닛을 통해 상기 제 1 및 제 2 표시장치에 타격에 의한 외압을 가하거나, 문지름 및 누름에 의한 외압을 가하며, 상기 제 2 촬상유닛은 상기 제 1 및 제 2 표시장치의 하나의 픽셀을 기준으로 1/N (N은 1보다 큰 정수)의 해상도를 갖는 이미지를 획득한다.
그리고, 상기 제 2 촬상유닛을 통해 상기 제 1 및 제 2 표시장치의 점등에 의한 불량 검사를 진행한다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 모듈화된 표시장치의 여러 가지 물리적인 외압에 의한 잠재되어 있는 단락성 불량 여부를 검사하거나, 전기신호를 인가하여 어레이기판에 구성된 게이트 및 데이터라인의 단락 및 단선과 같은 선결함(Line defect) 및 점결함(Point defect) 등을 검출하는 검사 공정을 자동 검사시스템을 통해 진행함으로써, 보다 신속하고 정밀하게 검사공정을 진행할 수 있는 효과가 있으며, 생산성을 높이고 검사공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 따라서, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있으며, 공정비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 표시장치의 제조공정을 단계적으로 도시한 흐름도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 자동 검사시스템을 개략적으로 도시한 평면도.
도 3a ~ 3c는 도 2의 제 1 검사부를 개략적으로 도시한 단면도.
도 4는 도 2의 제 2 검사부를 개략적으로 도시한 단면도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 자동 검사시스템을 개략적으로 도시한 평면도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 자동 검사시스템을 개략적으로 도시한 평면도.
도 3a ~ 3c는 도 2의 제 1 검사부를 개략적으로 도시한 단면도.
도 4는 도 2의 제 2 검사부를 개략적으로 도시한 단면도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 자동 검사시스템을 개략적으로 도시한 평면도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 표시장치의 제조공정을 단계적으로 도시한 흐름도로, 표시장치 콘트라스트 비(contrast ratio)가 크고 동화상 표시에 적합하며 소비전력이 적어, 노트북, 모니터, TV 등의 다양한 분야에서 활용되고 있는 액정표시장치를 일예로서 설명하도록 하겠다. 액정표시장치는 먼저, TFT-LCD 셀(cell) 공정(St10)을 진행하는데, 이러한 셀 공정(St10)을 통해 액정셀을 형성한다.
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, TFT-LCD 셀 공정(St10)은 크게 컬러필터기판과 어레이기판 형성(St11), 배향막 형성(St12), 실패턴 및 스페이서 형성(St13), 액정적하(St14), 합착(St15), 절단(St16) 그리고, 셀 검사공정(St17)으로 이루어진다.
이에, TFT-LCD 셀 공정(St10)의 제 1 단계(St11)는, 어레이기판과 컬러필터기판을 각각 형성하는 단계이다.
이때, 어레이기판 내면에는 다수의 게이트라인과 데이터라인이 교차하여 화소(pixel)가 정의되고, 각각의 교차점마다 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)가 구비되어 각 화소에 형성된 투명 화소전극과 일대일 대응 연결된다.
그리고 컬러필터기판의 내면으로는 각 화소에 대응되는 일예로 적(R), 녹(G), 청(B) 컬러의 컬러필터(color filter) 및 이들 각각을 두르며 게이트라인과 데이터라인 그리고 박막트랜지스터 등의 비표시요소를 가리는 블랙매트릭스(black matrix)가 구비되고, 이들을 덮는 투명 공통전극이 구비된다.
제 2 단계(St12)는, 어레이기판과 컬러필터기판 상에 배향막을 형성하는 단계이며, 배향막의 도포 및 경화 그리고, 러빙(rubbing)처리 공정이 포함된다.
제 3 단계(St13)는, 어레이기판과 컬러필터기판 사이에 개재될 액정이 새지 않도록 실패턴을 형성하고, 어레이기판과 컬러필터기판 사이의 갭을 정밀하고 균일하게 유지하기 위해 일정한 크기의 스페이서를 산포하는 공정이다.
TFT-LCD 셀 공정(St10)의 제 4 단계(St14)는, 양 기판 중 선택된 하나의 기판 상에 액정을 적하하는 단계이며, 제 5 단계(St15)는, 어레이기판과 컬러필터기판의 합착공정 단계이며, 이후에는 합착된 기판을 셀 단위로 절단하는 제 6 단계(St16)를 진행한다.
마지막으로 제 7 단계(St17)는 액정패널의 셀 검사공정으로, 전기신호를 인가하는 방식의 오토 프로브(auto probe)검사가 이루어진다.
오토 프로브 검사는 외부로 노출된 패드에 프로브 콘택(probe contact)에 의한 전기신호를 인가하여 실질적으로 액정패널을 모의로 구동시킴으로써 액정패널의 불량을 검출하게 된다.
오토 프로브 검사 공정을 거쳐 양질의 액정패널을 선별하게 된다.
이로써, TFT-LCD 셀(cell) 공정(St10)이 완료되며, 액정패널을 완성하게 된다.
다음으로, 완성된 액정패널의 어레이기판 및 컬러필터기판의 각 외측으로 편광판을 부착하는 편광판 부착공정(St20)을 진행하는데, 편광판은 액정패널을 중심으로 양면에서 광원을 직선광으로 바꿔주는 역할을 한다.
그리고, 다음으로 구동회로 부착공정(St30)을 진행하는데, 구동회로는 액정패널의 어레이기판과 전기적 신호를 연결하는 구동회로를 OLB(out lead bonding), 탭솔더링(tap soldering)을 통해 부착하게 된다.
이 같은 구동회로는 각각 게이트라인으로 박막트랜지스터의 온/오프 신호를 스캔 전달하는 게이트구동회로 그리고 데이터라인으로 프레임별 화상신호를 전달하는 데이터구동회로로 구분되어, 액정패널의 서로 인접한 두 가장자리로 위치될 수 있다.
이로써, 실제 구동 가능한 액정패널을 완성하게 된다.
따라서, 상술한 구조의 액정패널은 스캔 전달되는 게이트구동회로의 온/오프 신호에 의해 각 게이트라인 별로 선택된 박막트랜지스터가 온(on) 되면 데이터구동회로의 신호전압이 데이터라인을 통해서 해당 화소전극으로 전달되고, 이에 따른 화소전극과 공통전극 사이의 전기장에 의해 액정분자의 배열방향이 변화되어 투과율 차이를 나타낸다.
다음은 백라이트 조립 및 모듈화 공정(St40)으로, 백라이트 조립공정은 액정패널 하면으로 광원과, 광원을 가이드 하는 광원가이드와, 광원으로부터 입사된 빛을 액정패널 방향으로 진행하게 하는 도광판 및 다수의 광학시트를 위치시킨다.
또는, 이상의 설명에 있어서는 도광판을 사용하는 에지(edge)형 방식에 대해 설명하였지만, 도광판을 생략한 상태로 다수개의 광원을 액정패널 하부에 나란하게 배열하는 직하(direct)형도 가능하다.
이때, 광원으로는 음극전극형광램프(cold cathode fluorescent lamp)나 외부전극형광램프(external electrode fluorescent lamp)와 같은 형광램프가 이용될 수 있다. 또는, 이러한 형광램프 이외에 발광다이오드 램프(light emitting diode lamp)를 광원으로 이용할 수도 있다.
백라이트 조립공정 후에는 모듈화 공정을 진행한다.
모듈화 공정은 액정패널과 백라이트를 탑커버과 서포트메인 그리고 커버버툼을 통해 모듈화 하는 공정으로, 탑커버는 액정패널의 상면 및 측면 가장자리를 덮도록 단면이“ㄱ”형태로 절곡된 사각테 형상으로, 탑커버의 전면을 개구하여 액정패널에서 구현되는 화상을 표시하도록 구성한다.
또한, 액정패널 및 백라이트가 안착하여 액정표시장치 전체 기구물 조립에 기초가 되는 커버버툼은 사각모양의 하나의 판 형상으로 이의 네 가장자리를 소정높이 수직 절곡하여 구성한다.
또한, 이러한 커버버툼 상에 안착되며 액정패널 및 백라이트의 가장자리를 두르는 서포트메인이 상기 탑커버와 커버버툼과 조립 체결되어 모듈화된 액정표시장치(101)를 완성하게 된다.
다음은 모듈화된 액정표시장치(101)의 최종적인 검사공정(St50)을 진행하게 된다.
검사공정은 모듈화된 액정표시장치(101)에 대한 불량 유무를 검사하고, 검사 결과에 따라 모듈화된 액정표시장치(101)에 대한 최종 불량 유무를 검출한다.
모듈화된 액정표시장치(101)는 검사공정을 통해 TFT-LCD 셀(cell) 공정(St10)의 제 7 단계(St17)에서 검출하지 못한 액정패널의 불량과 모듈화된 액정표시장치(101)의 불량을 보다 정밀하게 검사하게 된다.
즉, 모듈화된 액정표시장치(101)의 여러 가지 물리적인 외압에 의한 잠재되어 있는 단락성 불량 여부를 검사하거나, 전기신호를 인가하여 어레이기판에 구성된 게이트 및 데이터라인의 단락 및 단선과 같은 선결함(Line defect) 및 점결함(Point defect) 등을 검출하게 되는 것이다.
이와 같이, 검사공정을 거친 모듈화된 액정표시장치(101) 중 불량이 판단된 모듈화된 액정표시장치(101)는 작업자의 판단에 의해 리페어(repair)를 필요로 할 것인가, 아닌가를 판단한 후 다음 진행사항을 정하게 된다.
여기서, 불량이 판단되지 않은 모듈화된 액정표시장치(101)는 실제 사용가능한 외부케이스에 조립한 후 사용자에게 전달되게 됨으로써, 이러한 모듈화된 액정표시장치(101)의 불량을 최종적으로 검사하게 되는 검사공정은 그 중요성이 매우 커지고 있다.
이에, 모듈화된 액정표시장치(101)의 검사공정을 매우 신중하고 정밀하게 진행해야 하며, 공정의 효율성을 향상시키기 위하여 검사공정이 신속하게 진행되어야 한다.
따라서, 본 발명의 검사공정은 자동 검사시스템(100, 도 2 참조)을 통해서 진행하는 것을 특징으로 한다. 이를 통해, 모듈화된 액정표시장치(101)의 검사공정을 자동화하여 보다 신속하고 정밀하게 검사공정을 진행할 수 있으며, 생산성을 높이고 검사공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
- 제 1 실시예 -
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 자동 검사시스템을 개략적으로 도시한 평면도이며, 도 3a ~ 3c는 도 2의 제 1 검사부를 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 4는 도 2의 제 2 검사부를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 모듈화된 액정표시장치(101)의 자동 검사시스템(100)은 크게 모듈화된 액정표시장치(101)를 검사부(130, 140)로 공급하는 로더부(120)와 검사부(130, 140) 그리고 언로더부(150)로 구분되며, 각각의 영역은 이송부(110)를 통해 인라인(in-line) 방식으로 이루어진다.
즉, 모듈화된 액정표시장치(101)는 이송부(110)에 의해 로더부(120)로부터 검사부(130, 140)로 이송되어지며, 검사부(130, 140)를 거친 모듈화된 액정표시장치(101)는 언로더부(150)를 통해 외부로 반출되게 된다.
여기서, 이송부(110)는 모듈화된 액정표시장치(101)가 놓이는 곳으로 모듈화된 액정표시장치(101)가 직접 안착되는 테이블 역할을 하는데, 이때, 이송부(110) 상에는 이송유닛(160)이 구비되어,이송유닛(160) 상에 모듈화된 액정표시장치(101)가 수직에 가까운 일정 기울기를 갖도록 세워져 고정된다.
이송유닛(160)은 검사를 수행하기 위해 모듈화된 액정표시장치(101)가 안착되는 테이블과, 테이블에 안착된 모듈화된 액정표시장치(101)에 부착되어 모듈화된 액정표시장치(101)에 전기적인 신호를 인가하는 신호인가유닛(161)을 포함한다.
즉, 이송유닛(160)을 통해 모듈화된 액정표시장치(101)에 점등신호를 인가할 수 있으며, 백라이트에 전원을 공급할 수 있다.
그리고, 이송부(110)는 일 방향으로 회전하는 복수의 샤프트축(shaft : 미도시)이 나란히 열을 이루어 이송유닛(160)을 슬라이딩(sliding) 이동시키는 컨베이어(conveyor) 방식으로 이루어져, 이송유닛(160)의 이동경로를 구성한다.
이때 회전 가능한 다수의 샤프트축(미도시)에는 고리형상을 갖는 복수개의 회전롤러(미도시)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착되어 있다.
따라서 모듈화된 액정표시장치(101)가 수직에 가까운 일정 기울기를 갖도록 세워져 고정된 이송유닛(160)은 각 샤프트축(미도시)에 장착된 회전롤러(미도시)에 얹혀져, 샤프트축(미도시)과 회전롤러(미도시)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동된다. 여기서, 임의로 컨베이어에 의한 이송유닛(160)의 이송방향을 x축 방향이라 정의하도록 하겠다.
그리고, 로더부(120)는 통상의 것으로, 이송부(110)를 통해 이송되어지는 모듈화된 액정표시장치(101)를 검사부(130, 140)로 제공하며, 이때, 다수의 모듈화된 액정표시장치(101)는 가로 및 세로 방향으로 다중 정렬하여, 로더부(120)를 통해 검사부(130, 140)로 순차적으로 공급한다.
이때, 본 발명의 자동 검사시스템(100)은 검사부(130, 140)가 제 1 검사부(130)와 제 2 검사부(140)로 나뉘어 정의할 수 있는데, 제 1 검사부(130)는 모듈화된 액정표시장치(101)에 전기적 신호를 인가하여 고해상도의 이미지 획득을 통해 불량을 검출하는 비젼(vision)검사부이며, 제 2 검사부(140)는 모듈화된 액정표시장치(101)에 물리적인 외압을 가함으로써 불량을 검출하는 특수검사부이다.
이를 위해, 제 1 검사부(130)에는 모듈화된 액정표시장치(101)가 안착되는 지지프레임(133), 모듈화된 액정표시장치(101)를 고해상도로 스캔 촬영하는 제 1 촬상유닛(135a) 및 제 1 촬상유닛(135a)을 통해 측정된 데이터를 통해 불량 여부를 판단하는 제 1 불량 검출부(미도시)를 포함한다.
그리고, 제 2 검사부(140)는 모듈화된 액정표시장치(101)의 외압을 가하기 위한 탭핑유닛(tapping unit : 143)이 구비되며, 불량 부위를 촬상하는 제 2 촬상유닛(145) 및 제 2 불량 검출부(미도시)를 포함한다.
이때, 본 발명의 제 1 및 제 2 검사부(130, 140)는 모두 자동화로 동작하게 된다. 따라서, 보다 정밀하게 검사공정을 진행할 수 있어 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 생산성을 높일 수 있다.
이에 대해 도 3a ~ 3c와 도 4를 참조하여 좀더 자세히 살펴보면, 도 3a에 도시한 바와 같이 제 1 검사부(130)는 지지프레임(133)과 제 1 촬상유닛(135a) 그리고 제 1 불량 검출부(미도시)를 포함한다.
지지프레임(133)은 이송부(110)를 통해 제1 검사부(130)로 이송되어진 모듈화된 액정표시장치(101)의 양측 가장자리를 지지하여, 모듈화된 액정표시장치(101)를 이송유닛(160)으로부터 이격되도록 한다. 이때, 모듈화된 액정표시장치(101)와 이송유닛(160)은 전기적으로는 연결된 상태를 유지한다.
즉, 지지프레임(133)을 통해 모듈화된 액정표시장치(101)는 이송유닛(160)과 전기적으로 연결되어, 전기적인 신호를 인가받으면서도 앞뒤, 좌우로 선회(旋回)할 수 있다.
이러한 지지프레임(133)은 모듈화된 액정표시장치(101)의 양측 가장자리를 지지하기 위한 그리퍼(gripper : 133a)가 마련될 수 있으며, 그리퍼(133a)는 모듈화된 액정표시장치(101)의 가장자리를 따라 다수개가 등간격에 걸쳐 마련될 수 있다.
따라서, 모듈화된 액정표시장치(101)가 제 1 검사부(130)로 이송되어지면, 지지프레임(133)의 그리퍼(133a)를 통해 모듈화된 액정표시장치(101)의 가장자리를 고정하게 된다.
이때, 지지프레임(133)에 다수의 변위센서(미도시)를 장착하여, 지지프레임(133)에 의해 고정되는 모듈화된 액정표시장치(101)의 앞뒤, 좌우로 선회된 정도를 측정하는 것이 바람직하다.
지지프레임(133)에 의해 고정된 모듈화된 액정표시장치(101)의 정면에는 제 1 촬상유닛(135a)이 위치하는데, 제 1 촬상유닛(135a)은 촬상유닛 지지부(135b)에 고정되어 지지된다.
여기서, 제 1촬상유닛(135a)은 모듈화된 액정표시장치(101)의 다수의 라인을 고해상도로 스캔(scan)하여 다수의 라인으로부터 획득한 영상을 누적하여 평균화시키는 TDI(time delay and integration) 카메라이며, 제 1 촬상유닛(135a)을 통해 모듈화된 액정표시장치(101)의 불량가능부위를 확대 촬영하여 작업자가 볼 수 있게 된다.
제 1촬상유닛(135a)은 모듈화된 액정표시장치(101)의 이미지를 촬영하여 획득된 고해상도의 이미지를 이미지데이터로 변환하기 위한 메모리를 갖고 있으며, 이러한 제 1 촬상유닛(135a)은 촬상유닛 지지대(135b)를 통해 상하, 좌우로 이동 가능하게 지지된다.
즉, 촬상유닛 지지부(135b)는 지지프레임(133)과 일정 간격 이격하여 수직하게 세워진 한쌍의 리니어프레임과, 한쌍의 리니어프레임의 양단을 연결하며, 한쌍의 리니어프레임의 길이방향을 따라 상하 수직 이동할 수 있는 수평프레임을 포함한다.
이때, 제 1촬상유닛(135a)은 수평프레임에 고정되어, 수평프레임의 길이방향을 따라 좌우 수평 이동할 수 있어, 제 1촬상유닛(135a)은 상하, 좌우로 이동가능하다.
여기서, 제 1촬상유닛(135a)의 수평 및 수직이동을 가능하게 하는 구조는 통상적으로 널리 사용되는 직선 이동기구를 이용하게 된다.
따라서, 제 1 촬상유닛(135a)은 도 3b에 도시한 바와 같이 모듈화된 액정표시장치(101)의 부분별 이미지들을 촬상할 수 있도록 연속적으로 이동시키거나 도 3c에 도시한 바와 같이 이미지획득영역(L)을 기준이동단위로 하여 스텝(step) 이동시킬 수 있다.
이때, 제 1 촬상유닛(135a)은 모듈화된 액정표시장치(101)가 갖는 하나의 서브픽셀을 기준으로 1/N (N은 12보다 큰 정수)의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있다.
따라서, 작업자의 육안으로는 확인할 수 없는 고해상도를 갖는 이미지들을 획득할 수 있다.
이를 위해, 제 1 촬상유닛(135a)은 이미지를 획득하기 위한 이미지센서(135c)를 다수개 포함할 수 있는데, 이미지센서(135c)들은 각각 소정의 촬영영역을 갖는다.
즉, 이미지센서(135c)를 통해 하나의 서브픽셀을 N개로 나누어 촬영할 수 있는 것이다. 일예로, 제 1 촬상유닛(135a)은 모듈화된 액정표시장치(101)가 갖는 하나의 서브픽셀을 기준으로 1/12 이상 1/108 이하의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있는 것이다.
이때, 이미지센서(135c)는 가로 길이가 3㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 세로 길이가 3㎛ 이상 60㎛ 이하인 촬영영역을 가질 수 있다.
따라서, 모듈화된 액정표시장치(101)가 제 1 검사부(130)로 이송되어지면, 모듈화된 액정표시장치(101)는 이송유닛(160)에 구비된 신호인가유닛 (161)과 접속되는 동시에 지지프레임(133)의 그리퍼(133a)를 통해 모듈화된 액정표시장치(101)의 가장자리가 고정되어 앞뒤, 좌우로 조금씩 회전시키면서 여러 방향에서 제 1 촬상유닛(135a)을 통해 고해상도의 이미지 획득을 통해 불량 여부를 검출하게 된다.
이때, 제 1 촬상유닛(135a)을 통해 획득한 고해상도의 이미지는 제 1 불량 검출부(미도시)로 전달되어 처리됨으로써 자동으로 검사가 이루어지는데, 제 1 불량 검출부(미도시)는 제 1촬상유닛(135a)을 통해 획득한 고해상도의 이미지를 분석하여 모듈화된 액정표시장치(101)에 대한 불량 유무를 검출하고, 불량 유무에 따라 해당 모듈화된 액정표시장치(101)를 양품 또는 불량으로 분류하게 된다.
이때, 제 1 불량 검출부(미도시)는 제 1촬상유닛(135a)을 통해 획득한 고해상도 이미지에 기초하여 모듈화된 액정표시장치(101)에 대한 라인 불량, 포인트 불량, 얼룩 불량, 외관 불량, 편광판 불량 등을 검출하게 된다.
이러한 제 1 검사부(130)는 개폐 가능한 도어(door)가 마련된 밀폐공간(131) 내에 위치하도록 하여, 검사공정 시 외부환경의 파티클과 같은 이물질로부터 모듈화된 액정표시장치(101)가 오염될 가능성이 크게 저감되도록 하는 것이 바람직하다.
제 1 검사부(130)를 통해 비젼검사 공정을 끝마친 모듈화된 액정표시장치(101)는 다시 이송유닛(160) 상에 고정된 후, 제 2 검사부(140)로 이송되어진다.
도 4에 도시한 바와 같이, 제 2 검사부(140)는 탭핑유닛(143)과 제 2 촬상유닛(145) 그리고 제 2 불량 검출부(미도시)로 이루어진다.
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 모듈화된 액정표시장치(101)는 이송유닛(160)에 수직에 가까운 일정 기울기를 갖도록 세워져 고정된 상태로 제 2 검사부(140)로 이송되어지는데, 이때 탭핑유닛(143)은 모듈화된 액정표시장치(101)의 정면에 위치하게 된다.
여기서, 탭핑유닛(143)은 리니어모듈(147)을 통해 수평 및 수직이동 할 수 있다.
즉, 리니어모듈(147)은 모듈화된 액정표시장치(101)의 이송유닛(160)과 수직한 양측 가장자리와 평행하게 위치하는 제 1 리니어와 제 1 리니어에 수직하며, 제 1 리니어의 길이방향을 따라 상하 수직 이동할 수 있는 제 2 리니어를 포함한다.
그리고, 탭핑유닛(143)은 제 2 리니어에 고정되어, 제 2 리니어의 길이방향을 따라 좌우 수평 이동할 수 있어, 탭핑유닛(143)은 상하, 좌우로 이동가능하다.
이러한, 탭핑유닛(143)은 모듈화된 액정표시장치(101)에 직접 외압을 가하게 되는데, 탭핑유닛(143)은 막대 형상의 지지봉(143a) 및 지지봉(143a)의 일단에 설치되어 있는 탭핑구(143b)를 포함한다.
탭핑구(143b)는 고무재질로 이루어져, 모듈화된 액정표시장치(101)에 외압을 가하는 과정에서 모듈화된 액정표시장치(101)에 손상을 주지 않도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 탭핑유닛(143)을 수평 및 수직이동을 가능하게 하는 리니어모듈(147)의 구조는 통상적으로 널리 사용되는 직선 이동기구를 이용하게 된다.
그리고, 제 2 검사부(140)에는 모듈화된 액정표시장치(101)의 정면에 제 2 촬상유닛(145)이 위치하며, 제 2 촬상유닛(145)은 모듈화된 액정표시장치(101)의 전면을 촬상하여, 탭핑유닛(143)에 의해 외압이 가해지는 영역과 외압이 가해지지 않는 영역을 비교하여 작업자가 볼 수 있도록 한다.
그리고, 제 2 촬상유닛(145)은 모듈화된 액정표시장치(101)의 불량가능부위의 이미지를 확대 촬영하여 획득된 이미지를 이미지데이터로 변환하기 위한 메모리를 갖고 있으며, 제 2 촬상유닛(145)을 통해 획득된 이미지는 제 2 불량 검출부(미도시)로 전달되도록 한다.
따라서, 모듈화된 액정표시장치(101)가 제 2 검사부(140)로 이송되어지면, 탭핑유닛(143)을 통해 모듈화된 액정표시장치(101)의 소정부위에 직접적으로 외압을 가하는 동시에 제 2 촬상유닛(145)을 통해 단락성 불량부를 검출하게 된다.
이때, 제 2 검사부(140)는 탭핑유닛(143)을 리니어모듈(147)에 의해 이동시킴에 따라 모듈화된 액정표시장치(101)의 모든 부위에 외압을 가함으로써, 단락성 불량을 검출하게 된다.
여기서, 탭핑유닛(143)은 모듈화된 액정표시장치(101)에 타격에 의한 외압을 가하거나, 문지름 및 누름에 의한 외압을 가하게 되며, 이렇게 탭핑유닛(143)을 통해 모듈화된 액정표시장치(101)에 외압을 가함으로써, 잠재되어 있는 단락성 불량을 검출하게 된다.
이때, 탭핑유닛(143)에 의해 가해지는 외압은 모듈화된 액정표시장치(101)의 모든 부위에서 동일하므로, 검사원의 수작업에 의한 검사 방법보다 자동 검사시스템을 이용한 검사 방법이 보다 규격화되어 검출력을 향상시킬 수 있다.
그리고, 제 2 검사부(140)는 모듈화된 액정표시장치(101)의 전면을 촬상하는 제 2 촬상유닛(145)을 통해, 모듈화된 액정표시장치(101)에 점등신호를 인가하여 플리커(flicker) 불량을 검사할 수도 있다.
이때, 제 2 촬상유닛(145) 또한 모듈화된 액정표시장치(101)가 갖는 하나의 픽셀을 기준으로 1/N (N은 1보다 큰 정수)의 해상도를 갖는 이미지를 획득할 수 있다.
이러한 제 2 검사부(140) 또한 개폐 가능한 도어(door)가 마련된 밀폐공간(141) 내에 위치하도록 하여, 검사공정 시 외부환경의 파티클과 같은 이물질로부터 모듈화된 액정표시장치(101)가 오염될 가능성이 크게 저감되도록 하는 것이 바람직하다.
이렇게 제 2촬상유닛(145)을 통해 획득한 이미지는 제 2 불량 검출부(미도시)로 제공되는데, 제 2 불량 검출부(미도시)는 제 2촬상유닛(145)을 통해 획득한 이미지를 분석하여 모듈화된 액정표시장치(101)에 대한 불량 유무를 검출하고, 불량 유무에 따라 해당 모듈화된 액정표시장치(101)를 양품 또는 불량으로 분류하게 된다.
이때, 제 2 불량 검출부(미도시)는 제 2촬상유닛(145)을 통해 획득한 이미지에 기초하여 모듈화된 액정표시장치(101)에 대한 잠재적인 단락성 불량을 검출하게 된다.
그리고, 제 2 검사부(140)를 통해 특수검사를 진행한 모듈화된 액정표시장치(101)는 언로더부(150)를 통해 이송부로 제공되어, 외부로 반출된다.
여기서, 모듈화된 액정표시장치(101)의 검사는 비젼검사를 진행한 후, 특수검사를 진행하는 것이 바람직하므로, 모듈화된 액정표시장치(101)는 비젼검사를 진행하는 제 1 검사부(130)로 이송되어 비젼검사를 진행한 후, 특수검사를 진행하는 제 2 검사부(140)로 이송되는 것이 바람직하다.
전술한 바와 같이, 본 발명은 모듈화된 액정표시장치(101)의 여러 가지 물리적인 외압에 의한 잠재되어 있는 단락성 불량 여부를 검사하거나, 전기신호를 인가하여 어레이기판에 구성된 게이트 및 데이터라인의 단락 및 단선과 같은 선결함(Line defect) 및 점결함(Point defect) 등을 검출하는 검사 공정을 자동 검사시스템(100)을 통해 진행함으로써, 보다 신속하고 정밀하게 검사공정을 진행할 수 있으며, 생산성을 높이고 검사공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있으며, 공정비용을 절감할 수 있다.
-제 2 실시예-
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 자동 검사시스템을 개략적으로 도시한 평면도이다.
여기서, 본 발명의 제 2 실시예는 전술한 제 1 실시예의 구성에 대해 공정의 효율성을 보다 향상시키고자 하는 구성으로, 검사부(130, 140, 170)의 배치구조에 특징이 있다.
이에, 중복된 설명을 피하기 위해 앞서의 앞서 전술한 제 1 실시예의 설명과 동일한 역할을 하는 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하며, 제 2 실시예에서 전술하고자 하는 특징적인 내용만을 살펴보도록 하겠다.
도시한 바와 같이, 모듈화된 액정표시장치(101)의 자동 검사시스템(100)은 크게 제 1 및 제 2 로더부(120a, 120b)와 검사부(130, 140, 170)로 구분되며, 각각의 영역은 이송부(110a, 110b)를 통해 인라인(in-line) 방식으로 이루어진다.
따라서 모듈화된 액정표시장치(101)가 수직에 가까운 일정 기울기를 갖도록 세워져 고정된 이송유닛(160)은 이송부(110a, 110b)에 의해 슬라이딩 방식으로 이동된다. 여기서, 임의로 컨베이어에 의한 이송유닛(160)의 이송방향을 x축 방향이라 정의하도록 하겠다.
특히, 본 발명의 제 2 실시예는 공정의 효율성을 더욱 향상시키기 위하여, 다수의 모듈화된 액정표시장치(101)가 동시에 검사공정을 진행하도록 하는 것을 특징으로 한다.
이를 위해, 검사부(130, 140, 170)는 특수검사부인 제 2 검사부(140)의 양측으로 비젼검사부인 제 1 및 제 3 검사부(130, 170)가 위치하며, 제 1 로더부(120a)는 제 1 검사부(130)의 일측에 위치하고, 제 2 로더부(120b)는 제 3 검사부(170)의 일측에 위치하도록 한다.
그리고, 제 2 검사부(140)가 모듈화된 액정표시장치(101)를 이송부(110a, 110b)로 전달하는 언로더부의 역할을 겸하며, 이송부(110a, 110b)는 제 1 및 제 2 이송부(110a, 110b)로 구성되도록 한다.
즉, 이송유닛(160)에 수직에 가까운 일정 기울기를 갖도록 세워져 고정되는 제 1 모듈화된 액정표시장치(101)는 제 1 이송부(110a)에 의해 제 1 로더부(120a)로 이송되어지며, 제 1 로더부(120a)로부터 제 1 검사부(130)로 전달되어 비젼검사를 진행하게 된다.
구체적으로, 제 1 검사부(130)로 이송된 제 1 모듈화된 액정표시장치(101a)는 이송유닛(160)에 구비된 신호인가유닛 (도 3a의 161)과 접속되는 동시에 지지프레임(도 3a의 133)의 그리퍼(도 3a의 133a)를 통해 모듈화된 액정표시장치(101)의 가장자리가 고정되어 앞뒤, 좌우에 대하여 조금씩 회전시키면서 여러 방향에서 제 1 촬상유닛(도 3a의 135a)을 통해 고해상도 이미지 획득을 통해 불량 여부를 검출하게 된다.
그리고, 이와 동시에 제 2 모듈화된 액정표시장치(101b)는 이송유닛(160)에 수직에 가까운 일정 기울기를 갖도록 세워져 고정되어, 제 1 이송부(110a)에 의해 제 2 로더부(120b)로 이송되어져, 다음 순서를 대기(待期)하고 있다.
비젼검사를 통해 뷸량여부 판정 검사를 받은 제 1 모듈화된 액정표시장치(101a)는 제 2 검사부(140)로 이송되어져 특수검사를 진행하게 되는데, 구체적으로 제 2 검사부(140)로 이송된 제 1 모듈화된 액정표시장치(101a)는 탭핑유닛(도 4의 143)을 통해 외압이 가해지는 동시에 제 2 촬상유닛(도 4의 145)을 통해 단락성 불량부를 검출하게 된다.
그리고, 제 2 로더부(120b)에서 대기하고 있던 제 2 모듈화된 액정표시장치(101b)는 제 2 로더부(120b)로부터 제 3 검사부(170)로 전달되어 비젼검사를 진행하게 되며, 이와 동시에 제 3 모듈화된 액정표시장치(101c)는 이송유닛 (160)에 수직에 가까운 일정 기울기를 갖도록 세워져 고정되어, 제 1 이송부(110a)에 의해 제 1 로더부(120a)로 이송되어져, 다음 순서를 대기(待期)하고 있다.
특수검사를 끝마친 제 1 모듈화된 액정표시장치(101a)는 제 2 검사부(140)로부터 제 2 이송부(110b)로 전달되어진 후 외부로 반출되며, 제 3 검사부(170)를 통해 비젼검사를 끝마친 제 2 모듈화된 액정표시장치(101b)는 제 2 검사부(140)로 전달되어져 특수검사를 진행하게 된다.
특수검사를 끝마친 제 2 모듈화된 액정표시장치(101b) 또한 제 2 검사부(140)로부터 제 2 이송부(110b)로 전달되어져 외부로 반출하게 되며, 제 3 모듈화된 액정표시장치(101c)는 제 1 로더부(120a)로부터 제 1 검사부(130)로 전달되어 비젼검사를 진행하게 되며, 제 4 모듈화된 액정표시장치(미도시)가 이송유닛(160)에 고정되어 제 2 로더부(120b)에서 대기(待期)하게 된다.
전술한 바와 같이, 본 발명은 모듈화된 액정표시장치(101)의 여러 가지 물리적인 외압에 의한 잠재되어 있는 단락성 불량 여부를 검사하거나, 전기신호를 인가하여 어레이기판에 구성된 게이트 및 데이터라인의 단락 및 단선과 같은 선결함(Line defect) 및 점결함(Point defect) 등을 검출하는 검사 공정을 자동 검사시스템을 통해 진행함으로써, 보다 신속하고 정밀하게 검사공정을 진행할 수 있으며, 생산성을 높이고 검사공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있으며, 공정비용을 절감할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
100 : 자동 검사시스템, 110a, 110b : 제 1 및 제 2 이송부
120a, 120b : 제 1 및 제 2 로더부, 130 : 제 1 검사부, 140 : 제 2 검사부
170 : 제 3 검사부, 101a, 101b, 101c : 제 1 내지 제 4 모듈화된 액정표시장치
160 : 이송유닛
120a, 120b : 제 1 및 제 2 로더부, 130 : 제 1 검사부, 140 : 제 2 검사부
170 : 제 3 검사부, 101a, 101b, 101c : 제 1 내지 제 4 모듈화된 액정표시장치
160 : 이송유닛
Claims (18)
- 액정패널과 백라이트 유닛이 일체로 모듈화된 제 1 표시장치를 인라인 방식(in-line type)으로 일방향으로 이송시키는 제 1 이송부와;
상기 제 1 이송부를 통해 일방향으로 이송되는 상기 제 1 표시장치를 촬상하여 획득한 이미지를 통해 불량 검사를 진행하는 제 1 비젼(vision)검사부와;
상기 제 1 비젼검사부의 일측에 위치하며, 상기 제 1 표시장치에 외압을 가해 촬상하여 획득한 이미지를 통해 불량 검사를 진행하는 특수검사부
를 포함하며,
상기 특수검사부의 일측에는 액정패널과 백라이트 유닛이 일체로 모듈화된 제 2 표시장치를 촬상하여, 불량 검사를 진행하는 제 2 비젼검사부가 위치하며,
상기 제 1 표시장치는 상기 제 1 비젼검사부에서 불량 검사를 진행 한 후, 상기 특수검사부로 전달되어져 불량 검사를 진행 한 후 외부로 반출되며,
상기 제 2 표시장치는 상기 제 1 표시장치가 상기 특수검사부에서 불량 검사를 진행하는 동시에 상기 제 2 비젼검사부에서 불량 검사를 진행 하며, 상기 제 2 표시장치는 상기 제 1 표시장치가 외부로 반출되는 동시에 상기 특수검사부로 전달되어져 불량 검사를 진행 한 후 외부로 반출되는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 비젼검사부는 제 1 해상도로 촬상하며, 상기 특수검사부는 상기 제 1 해상도에 비해 낮은 제 2 해상도로 촬상하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 이송부의 일측에 제 2 이송부를 포함하며, 상기 제 1 표시장치는 상기 제 1 이송부를 통해 상기 제 1 비젼검사부로 전달되며, 상기 특수검사부로부터 상기 제 2 이송부로 전달되어 외부로 반출되는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 4 항에 있어서,
상기 제 2 표시장치는 상기 제 1 이송부를 통해 상기 제 2 비젼검사부로 전달되며, 상기 특수검사부로부터 상기 제 2 이송부로 전달되어 외부로 반출되는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 4 항에 있어서,
상기 제 2 표시장치가 상기 제 2 이송부를 통해 외부로 반출되는 동시에, 제 3 표시장치는 상기 제 1 이송부를 통해 각각 상기 제 1 비젼검사부로 전달되어지는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 4 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 이송부는 각각 상기 제 1 및 제 2 표시장치를 지지하는 이송유닛을 포함하며, 상기 제 1및 제 2 표시장치는 각각 이송유닛에 의해 지지되어, 상기 제 1 및 제 2 이송부를 통해 일방향으로 이송되는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 7 항에 있어서,
상기 이송유닛은 상기 제 1및 제 2 표시장치에 전기적인 신호를 인가하는 전기인가유닛을 포함하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 7 항에 있어서,
상기 제 1및 제 2 비젼검사부는 상기 제 1및 제 2 표시장치를 각각 지지하는 지지프레임과, 제1 촬상유닛 및 촬상유닛 지지부 그리고 제 1 불량 검출부를 포함하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 9 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 표시장치는 상기 지지프레임에 의해 지지되어, 상기 이송유닛으로부터 이격되며, 상기 이송유닛으로부터 이격된 상기 제 1 및 제 2 표시장치는 상기 지지프레임에 의해 앞뒤, 좌우로 선회(旋回)되는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 9 항에 있어서,
상기 제 1 촬상유닛은 상기 제 1 및 제 2 표시장치의 부분별 이미지들을 촬상할 수 있도록 연속적으로 이동하거나, 영역별로 스텝(step)이동하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 11 항에 있어서,
상기 제 1 촬상유닛은 상기 제 1 및 제 2 표시장치의 하나의 서브픽셀을 기준으로 1/N (N은 12보다 큰 정수)의 해상도를 갖는 이미지를 획득하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 12 항에 있어서,
상기 제 1 촬상유닛은 이미지를 획득하기 위한 이미지센서를 포함하고, 상기 이미지센서는 가로길이가 3㎛ 이상 60㎛ 이하이고, 세로 길이가 3㎛ 이상 60㎛ 이하인 촬영영역을 갖는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서,
상기 특수검사부는 탭핑유닛(tapping unit)과 제 2 촬상유닛 그리고 제 2 불량 검출부를 포함하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 14 항에 있어서,
상기 탭핑유닛은 막대형상의 지지봉 및 상기 지지봉의 일단에 설치되어, 상기 제 1및 제 2 표시장치의 소정 부위에 외압을 가하는 탭핑구를 포함하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 15 항에 있어서,
상기 탭핑유닛을 통해 상기 제 1 및 제 2 표시장치에 타격에 의한 외압을 가하거나, 문지름 및 누름에 의한 외압을 가하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 14 항에 있어서,
상기 제 2 촬상유닛은 상기 제 1 및 제 2 표시장치의 하나의 픽셀을 기준으로 1/N (N은 1보다 큰 정수)의 해상도를 갖는 이미지를 획득하는 표시장치용 자동 검사시스템.
- 제 17 항에 있어서,
상기 제 2 촬상유닛을 통해 상기 제 1 및 제 2 표시장치의 점등에 의한 불량 검사를 진행하는 표시장치용 자동 검사시스템.
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