KR101682801B1 - Fe-P BASED COPPER ALLOY SHEET EXCELLENT IN STRENGTH, HEAT RESISTANCE AND BENDING WORKABILITY - Google Patents
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Abstract
높은 강도를 갖고, 내열성 및 산화막 밀착성이 우수한 Fe-P계 구리 합금판을 제공한다.
Fe: 1.6∼2.6질량%, P: 0.01∼0.15질량%, Zn: 0.01∼1.0질량%, Sn 및 Mg 중 1종 이상: 0.1∼0.5질량%, C: 0.003질량% 이하, Co, Si 및 Cr이 합계로 0.05질량% 이하, 잔부 Cu 및 불가피 불순물로 이루어지고, 압연 방향에 평행하고 판면에 수직한 단면의 결정 조직을 EBSD로 관찰한 경우에, 각 결정립의 원 상당 직경을 면적으로 가중한 가중 평균이 10μm 이하이며, 도전율이 50% IACS 이상, 비커스 경도가 180Hv 이상, 원 상당 직경이 10∼40nm인 Fe 또는 Fe-P 화합물의 석출 입자의 존재 밀도가 20개/μm2 이상이다.A Fe-P based copper alloy plate having high strength and excellent in heat resistance and adhesion to an oxide film is provided.
At least one of Sn and Mg in an amount of 0.1 to 0.5 mass%, C in an amount of 0.003 mass% or less, Co, Si, and Cr in an amount of 0.1 to 5 mass%, Fe in an amount of 1.6 to 2.6 mass%, P in an amount of 0.01 to 0.15 mass%, Zn in an amount of 0.01 to 1.0 mass% Of the total grain size is 0.05% by mass or less, the balance Cu and inevitable impurities, and the crystal structure parallel to the rolling direction and perpendicular to the plate surface is observed by EBSD, the average is 10μm or less, and having a conductivity of 50% IACS or more, Vickers hardness of 180Hv or more, the equivalent circle diameter of 10~40nm of Fe or Fe-P precipitated particles, the presence density of 20 / μm 2 or more of the compounds.
Description
본 발명은, 강도, 내열성 및 굽힘 가공성이 우수하여, 반도체용 리드 프레임, 단자, 커넥터, 버스바 등의 전기·전자 부품 재료로서 적합한 Fe-P계 구리 합금판에 관한 것이다.The present invention relates to an Fe-P-based copper alloy plate which is excellent in strength, heat resistance and bending workability and is suitable as a material for electric and electronic parts such as semiconductor lead frames, terminals, connectors and bus bars.
구리 및 구리기(基) 합금은 도전율·열전도성이 매우 높기 때문에 리드 프레임을 비롯한 전기·전자 부품용 재료로서 이용되어 왔다. 최근에는 리드 프레임의 박육(薄肉), 협(狹)핀, 협(狹)피치화가 점점 진행되어, 일부는 두께 100μm 이하까지 되고 있어, 매우 높은 강도가 요구되게 되고 있다.Copper and copper (base) alloys have been used as materials for electrical and electronic parts including lead frames because of their high conductivity and thermal conductivity. In recent years, thinner, narrower and finer pitches of lead frames have progressed gradually, and some of them have thicknesses of 100 μm or less, and very high strength is required.
또한, 리드 프레임의 제작에서는, 구리 및 구리기 합금을 소정의 두께로 압연한 조재(條材)에, 스탬핑 가공이나 에칭 처리를 실시하여 소정의 형상으로 가공하는 것이 행해진다. 스탬핑 가공 시에는, 스탬핑에 의한 변형을 제거하기 위한 변형 제거 공정에서 400℃ 이상의 온도에서의 가열을 하는 등, 고온 가열 처리되는 경우도 많다. 또, 각종 도금 처리나, 패키징 가공에서의 다이·본딩이나 와이어·본딩, 수지 몰딩이 실시된다.Further, in the production of the lead frame, stamping or etching treatment is applied to a raw material obtained by rolling a copper and a copper-based alloy to a predetermined thickness, thereby processing the lead frame into a predetermined shape. In the stamping process, a high temperature heat treatment is often performed in a deformation removing process for removing deformation caused by stamping, such as heating at a temperature of 400 DEG C or higher. In addition, die bonding, wire bonding, and resin molding are performed in various plating processes and packaging processes.
따라서, 리드 프레임 재료에는 도전율이나 강도(1차 특성)뿐만 아니라, 스탬핑성, 내열성(고온으로 가열했을 때의 강도 저하의 정도), 나아가서는 에칭성, 각종 도금성, 땜납 밀착성, 산화막 밀착성, 수지 밀착성, 와이어·본딩성 등(2차 특성)이 요구된다.Therefore, the lead frame material is required to have not only the electric conductivity and the strength (primary characteristics) but also the stamping property, the heat resistance (degree of strength reduction when heated at a high temperature), the etching property, various plating properties, Adhesion, wire / bonding properties (secondary properties) are required.
이들 특성을 모두 충분히 만족하는 재료는 없지만, 다(多)핀 IC의 리드 프레임 재료로서는, 특성, 비용, 입수성이라는 관점에서, Cu-2.2질량% Fe-0.03질량% P-0.12질량% Zn을 표준 화학 조성으로 하는 CDA Alloy 194, Cu-3.0질량% Ni-0.65질량% Si-0.15질량% Mg를 표준 화학 조성으로 하는 CDA Alloy 7025, 및 Cu-0.23mass% Cr-0.25mass% Sn-0.20mass% Zn을 표준 화학 조성으로 하는 CDA Alloy 1804로 집약되고 있다. 한편, CDA란 미국구리개발협회를 의미한다.As a lead frame material for a multi-pin IC, Cu-2.2 mass% Fe-0.03 mass% P-0.12 mass% Zn is used as the lead frame material from the standpoints of characteristics, cost and availability. CDA Alloy 704 having a standard chemical composition, CDA Alloy 194 having a standard chemical composition, Cu-3.0 mass% Ni-0.65 mass% Si-0.15 mass% Mg, CDA Alloy 7025 having a standard chemical composition and Cu-0.23 mass% Cr-0.25 mass% Sn- % Zn as the standard chemical composition. CDA, on the other hand, refers to the American Copper Development Association.
여기에서, 특히 강도가 필요한 다핀 IC의 리드 프레임 재료에는, 가장 강도가 높은 CDA Alloy 7025(비커스 경도 200Hv)가 사용되고 있다. 그러나, 본 재료에는 산화막의 밀착성을 저하시키는 Ni, Si가 많이 포함되어 있기 때문에, 산화막의 밀착성이 낮다는 결점이 있다.Here, CDA Alloy 7025 (Vickers hardness of 200 Hv), which has the highest strength, is used as a lead frame material of a sapphire IC that needs strength in particular. However, since the present material contains a large amount of Ni and Si which deteriorate the adhesion of the oxide film, there is a drawback that the adhesion of the oxide film is low.
반도체 장치는 열경화성 수지에 의해서 반도체 칩을 봉지하는 패키지가 경제성의 점에서 주류가 되고 있어, 패키지의 신뢰성을 유지하는 것이 중요하다. 패키지의 신뢰성은 몰드 수지와 리드 프레임의 밀착성에 의존하고 있다. 반도체 장치의 조립 공정 중의 열이력에 의해서 리드 프레임 표면에 밀착성이 낮은 산화막이 형성되면, 몰드 수지와 리드 프레임의 밀착성이 저하되고, 프린트 기판으로의 실장 시의 열로 패키지 크랙이나 박리가 발생하여 패키지의 신뢰성이 저하된다.In a semiconductor device, a package for sealing a semiconductor chip with a thermosetting resin becomes mainstream in terms of economy, and it is important to maintain the reliability of the package. The reliability of the package depends on the adhesion between the mold resin and the lead frame. When the oxide film having low adhesiveness is formed on the surface of the lead frame due to the thermal history during the assembly process of the semiconductor device, the adhesion between the mold resin and the lead frame deteriorates, and cracks or peeling of the package occur as heat at the time of mounting on the printed board, Reliability is lowered.
따라서, 패키지의 신뢰성을 확보하기 위해서는, 리드 프레임 재료에 있어서의 산화막의 밀착성이 높은 것이 중요하지만, CDA Alloy 7025는 본 특성이 낮다. 또한, CDA Alloy 7025는 에칭 가공 등에서 스머트(smut)가 발생하여, 도금의 밀착성이 저하되는 등의 문제도 있고, 가격적으로도 비싸서 사용하기 어려운 면이 있다.Therefore, in order to secure the reliability of the package, it is important that the oxide film in the lead frame material has high adhesion, but CDA Alloy 7025 has low characteristics. In addition, CDA Alloy 7025 has a problem that a smut occurs in an etching process or the like and the adhesion of the plating is deteriorated, and it is also expensive and therefore difficult to use.
한편, Fe-P계의 CDA Alloy 194는, 최고 강도의 질별(質別)인 ESH로 해도, 인장 강도 550N/mm2 정도, 비커스 경도 160Hv 정도로 강도가 낮다. 또한 내열성도 비교적 낮아, 예컨대 450℃에서 5분 정도 가열하면, 원래 강도의 80% 이하로 연화되어 버린다. 그러나, CDA Alloy 194는 스탬핑성 등의 2차 특성에 중대한 결함이 없고, 산화막의 밀착성도 우수하며, 저렴하고 입수성도 좋기 때문에 널리 사용되고 있다.On the other hand, the Fe-P-based CDA Alloy 194 has a low tensile strength of about 550 N / mm 2 and a Vickers hardness of about 160 Hv even with ESH of the highest strength (quality). Further, the heat resistance is also relatively low. For example, heating at 450 占 폚 for about 5 minutes results in softening to 80% or less of the original strength. However, CDA Alloy 194 has been widely used because it has no significant defects in secondary characteristics such as stamping properties, is excellent in adhesion of an oxide film, is inexpensive, and has good availability.
특허문헌 1에는, Fe-P계 구리 합금에 Mg 및 Sn을 첨가하는 것에 의해, Fe-P계 구리 합금을 고강도화하는 것이 기재되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는, 결정 조직을 정립화(整粒化)하는 것에 의해, 스탬핑성(타발 가공성 및 굽힘 가공성)을 개선한 Fe-P계 구리 합금판이 기재되어 있다. 특허문헌 3에는, Fe-P계 구리 합금을 열간 압연 및 냉간 압연 후, 950∼1050℃로 가열하고, 이어서 300℃ 이하로 급냉하는 용체화 처리를 행하는 등, 특정한 제조 방법을 취하는 것에 의해 Fe-P계 구리 합금판의 강도 및 내열성을 개선하는 것이 기재되어 있다.Patent Document 1 discloses that Fe-P type copper alloy is strengthened by adding Mg and Sn to the Fe-P type copper alloy. Further, Patent Document 2 discloses an Fe-P type copper alloy plate improved in stamping property (punching workability and bending workability) by sizing a crystal structure. Patent Literature 3 discloses a method of producing Fe-P based alloy by taking a specific manufacturing method such as hot rolling and cold rolling an Fe-P type copper alloy, and then performing a solution treatment of heating to 950 to 1050 캜 and then quenching to 300 캜 or lower. P-based copper alloy sheet is improved in strength and heat resistance.
그러나, 특허문헌 1의 Fe-P계 구리 합금판은, 고강도이지만 내열성이 충분하다고는 할 수 없고, 또한 스탬핑성에 대해서는 검토되어 있지 않다. 특허문헌 2의 Fe-P계 구리 합금판은, 스탬핑성이 우수하지만, 내열성이 충분하다고는 할 수 없다. 특허문헌 3의 Fe-P계 구리 합금판은, 강도 및 내열성이 우수하지만, 스탬핑성에 대해서는 검토되어 있지 않다.However, the Fe-P based copper alloy sheet of Patent Document 1 has high strength, but it can not be said that the heat resistance is sufficient, and the stamping property is not studied. The Fe-P based copper alloy sheet of Patent Document 2 is excellent in stamping property, but is not necessarily excellent in heat resistance. The Fe-P based copper alloy sheet of Patent Document 3 is excellent in strength and heat resistance, but the stamping property is not studied.
본 발명은, Fe-P계 구리 합금판의 이와 같은 현재 상태에 비추어 이루어진 것으로, 고강도이고, 내열성이 높으며, 또한 스탬핑성(특히 굽힘 가공성)도 우수한 Fe-P계 구리 합금판을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides an Fe-P type copper alloy plate which is made in view of the present state of Fe-P type copper alloy plate and which has high strength, high heat resistance and excellent stampability (particularly bending workability) .
본 발명에 따른 Fe-P계 구리 합금판은, Fe: 1.6∼2.6질량%, P: 0.01∼0.15질량%, Zn: 0.01∼1.0질량%, Sn 및 Mg 중 1종 이상: 0.1∼0.5질량%, C: 0.003질량% 이하, Co, Si 및 Cr이 합계로 0.05질량% 이하, 잔부 Cu 및 불가피 불순물로 이루어지고, 압연 방향에 평행하고 판면에 수직한 단면의 결정 조직을 EBSD로 관찰한 경우에, 각 결정립의 원 상당 직경을 면적으로 가중한 가중 평균이 10μm 이하이며, 도전율이 50% IACS 이상, 비커스 경도가 180Hv 이상, 원 상당 직경이 10∼40nm인 Fe 또는 Fe-P 화합물의 석출 입자의 존재 밀도가 20개/μm2 이상인 것을 특징으로 한다. 한편, 본 발명에 있어서, 「구리 합금판」이라는 용어는 구리 합금조(條)를 포함하는 의미로 이용되고 있다.The Fe-P-based copper alloy sheet according to the present invention is a Fe-P-based copper alloy plate comprising 1.6 to 2.6 mass% of P, 0.01 to 0.15 mass% of P, 0.01 to 1.0 mass% of Zn, 0.1 to 0.5 mass% , C: not more than 0.003 mass%, Co, Si and Cr in a total amount of not more than 0.05 mass%, the balance being Cu and unavoidable impurities, and a crystal structure parallel to the rolling direction and perpendicular to the plate surface is observed with EBSD , A precipitate of Fe or Fe-P compound having a weighted average weighted average diameter of each crystal grain of 10 μm or less, a conductivity of 50% IACS or more, a Vickers hardness of 180 Hv or more, and a circle equivalent diameter of 10 to 40 nm And has an existence density of 20 / μm 2 or more. In the present invention, the term " copper alloy plate " is used to mean a copper alloy plate.
본 발명에 의하면, CDA Alloy 7025에 가까운 강도를 갖는, 강도, 내열성 및 산화막의 밀착성이 우수한 Fe-P계 구리 합금판을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide an Fe-P type copper alloy plate having strength close to that of CDA Alloy 7025 and excellent in strength, heat resistance and adhesion of an oxide film.
도 1은 실시예의 No. 20, 21, 23의 현미경 조직 사진이다.Fig. 20, 21, and 23, respectively.
이하, 본 발명에 따른 Fe-P계 구리 합금판에 대하여, 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the Fe-P based copper alloy sheet according to the present invention will be described in more detail.
(Fe-P계 구리 합금의 화학 조성)(Chemical composition of Fe-P type copper alloy)
Fe는, Fe-P계 구리 합금판의 강도 및 내열성의 향상에 기여하고, 또한 열간 압연 중 또는 재결정 열처리 중의 결정립의 성장을 억제하는 효과를 갖는다. Fe의 함유량이 1.6질량% 미만이면, 상기 효과가 불충분해진다. 한편, Fe의 함유량이 2.6질량%를 초과하면, 용해·주조 시에 2액 상분리나 정출(晶出)에 의해서 조대(粗大)한 Fe 입자(직경 수 μm 이상)가 생성되어, 도금성이나 에칭성이 저하된다. 따라서, Fe의 함유량은 1.6∼2.6질량%로 하고, 하한은, 바람직하게는 1.7질량%, 더 바람직하게는 1.8질량%, 상한은, 바람직하게는 2.5질량%, 더 바람직하게는 2.4질량%로 한다.Fe contributes to improvement of the strength and heat resistance of the Fe-P-based copper alloy sheet and also has an effect of suppressing the growth of crystal grains during hot rolling or in a recrystallization heat treatment. If the content of Fe is less than 1.6 mass%, the above effect becomes insufficient. On the other hand, when the content of Fe exceeds 2.6 mass%, coarse Fe particles (several μm or more in diameter) are produced by two-liquid phase separation or crystallization during melting and casting, The property is deteriorated. Therefore, the content of Fe is preferably 1.6 to 2.6 mass%, the lower limit is preferably 1.7 mass%, more preferably 1.8 mass%, and the upper limit is preferably 2.5 mass%, more preferably 2.4 mass% do.
P는 탈산제로서 기여하는 것 외에, Fe-P 화합물의 석출 입자를 형성하여 Fe-P계 구리 합금판의 강도 및 내열성을 향상시킨다. 또한, P는 열간 압연 중 또는 재결정 열처리 중의 결정립 성장을 억제하는 효과를 갖는다. P의 함유량이 0.01질량% 미만이면 상기 효과가 불충분하다. 한편, P의 함유량이 0.15질량%를 초과하면 도전율이 저하됨과 더불어 산화막의 밀착성이 저하된다. 따라서, P의 함유량은 0.01∼0.15질량%로 하고, 하한은, 바람직하게는 0.015질량%, 더 바람직하게는 0.02질량%, 상한은, 바람직하게는 0.13질량%, 더 바람직하게는 0.10질량%로 한다.P not only contributes as a deoxidizing agent but also forms precipitation particles of an Fe-P compound to improve the strength and heat resistance of the Fe-P-based copper alloy plate. P has an effect of suppressing grain growth during hot rolling or during recrystallization heat treatment. If the content of P is less than 0.01% by mass, the above effects are insufficient. On the other hand, when the P content exceeds 0.15 mass%, the conductivity is lowered and the adhesion of the oxide film is lowered. Therefore, the content of P is set to 0.01 to 0.15 mass%, the lower limit is preferably 0.015 mass%, more preferably 0.02 mass%, and the upper limit is preferably 0.13 mass%, more preferably 0.10 mass% do.
Zn은, Fe-P계 구리 합금판의 땜납 내열 박리성이나 산화막의 밀착성을 향상시킨다. Zn의 함유량이 0.01질량% 미만이면 그 효과가 충분하지 않은 한편, 1.0질량%를 초과하면 도전율이 저하된다. 따라서, Zn의 함유량은 0.01∼1.0질량%로 하고, 하한은, 바람직하게는 0.02질량%, 더 바람직하게는 0.05질량%, 상한은, 바람직하게는 0.8질량%, 더 바람직하게는 0.5질량%로 한다.Zn improves the solder heat-releasability of the Fe-P-based copper alloy sheet and the adhesion of the oxide film. If the content of Zn is less than 0.01 mass%, the effect is not sufficient, while if it exceeds 1.0 mass%, the conductivity is deteriorated. Therefore, the Zn content is preferably 0.01 to 1.0% by mass, the lower limit is preferably 0.02% by mass, more preferably 0.05% by mass, and the upper limit is preferably 0.8% by mass, more preferably 0.5% do.
Sn 및 Mg는, 모재에 고용되어 Fe-P계 구리 합금판의 강도 및 내열성을 향상시키는 효과가 있어, Sn 및 Mg 중 1종 이상(Sn 또는 Mg의 1종, 또는 그 양쪽)이 첨가된다. Sn 및 Mg 중 1종 이상의 함유량이 0.2질량% 미만이면 상기 효과가 충분하지 않아, 비커스 경도 180Hv 이상을 만족할 수 없다. 한편, Sn 및 Mg 중 1종 이상의 함유량이 0.5질량%를 초과하면, 도전율이 저하됨과 더불어 산화막의 밀착성이 저하된다. 따라서, Sn 및 Mg 중 1종 이상의 함유량은 0.2∼0.5질량%로 하고, 하한은, 바람직하게는 0.25질량%, 더 바람직하게는 0.3질량%, 상한은, 바람직하게는 0.45질량%, 더 바람직하게는 0.40질량%로 한다.Sn and Mg have an effect of improving the strength and heat resistance of the Fe-P based copper alloy sheet dissolved in the base material, and at least one of Sn and Mg (one or both of Sn and Mg) is added. If the content of at least one of Sn and Mg is less than 0.2 mass%, the above-mentioned effect is not sufficient and the Vickers hardness of 180 Hv or more can not be satisfied. On the other hand, when the content of at least one of Sn and Mg exceeds 0.5% by mass, the conductivity is lowered and the adhesion of the oxide film is lowered. Therefore, the content of at least one of Sn and Mg is set to 0.2 to 0.5 mass%, the lower limit is preferably 0.25 mass%, more preferably 0.3 mass%, and the upper limit is preferably 0.45 mass% Is set to 0.40 mass%.
Fe-P계 구리 합금에 있어서, 불가피 불순물인 C의 함유량이 0.003질량%를 초과하거나, 또는 동일하게 불가피 불순물인 Co, Si 및 Cr의 함유량의 합계가 0.05질량%를 초과하면, 2액 상분리나 정출에 의한 조대한 Fe 입자가 생성되기 쉬워진다. 이 때문에, Fe-P계 구리 합금의 강도 및 내열성이 저하되고, 또한 도금성이나 에칭성이 저하된다. 따라서, C 함유량은 0.003질량% 이하로 하고, Co, Si 및 Cr의 합계 함유량은 0.05질량% 이하로 한다. 한편, C는 용해, 주조 시에 용탕 표면에 산화 방지 등의 목적으로 산포하는 목탄이나 흑연 입자, 흑연 몰드 등으로부터 한도를 초과하여 혼입되는 경우가 있다. 그와 같은 경우에는 C 함유량을 저감하기 위해, C 함유량이 적은 Fe 원료를 이용하거나, 목탄이나 흑연 입자의 산포량을 줄이거나, 목탄이나 흑연 입자의 사이즈를 크게 하여 용탕과의 접촉 면적을 저감하거나, 몰드 변경을 행하는 등의 수단을 이용할 수 있다.If the content of C as the unavoidable impurity exceeds 0.003 mass% or the total content of Co, Si and Cr as the unavoidable impurities equals to more than 0.05 mass% in the Fe-P type copper alloy, Coarse Fe particles are easily formed by crystallization. As a result, the strength and heat resistance of the Fe-P based copper alloy are lowered, and the plating property and the etching property are lowered. Therefore, the C content is set to 0.003 mass% or less, and the total content of Co, Si and Cr is set to 0.05 mass% or less. On the other hand, C may be mixed in excess of the limit from charcoal or graphite particles scattered for the purpose of preventing oxidation on the surface of the molten metal during melting and casting, graphite mold and the like. In such a case, in order to reduce the C content, it is possible to reduce the contact area with the molten metal by using an Fe raw material having a low C content, reducing the amount of scattered charcoal or graphite particles, or increasing the size of charcoal or graphite particles , And a means for changing the mold can be used.
(평균 결정 입경)(Average crystal grain size)
Fe-P계 구리 합금판의 압연 방향에 평행하고 판면에 수직한 단면의 결정 조직을 EBSD(Electron BackScatter Diffraction)로 관찰(입계 조건: 방위차 5° 이상)하여, 관찰면의 전체 결정립의 원 상당 직경을 구하고, 각 결정립의 원 상당 직경을 면적으로 가중해서 가중 평균을 구하여, 본 발명에서는 이것을 평균 결정 입경으로 했다. 평균 결정 입경으로서 이 가중 평균을 취한 것은, Fe-P계 구리 합금판과 같이 조대립과 미세립이 혼재하는 경우, 단순히 상가(相加) 평균을 취하면, 실태 이상으로 결정 입경이 작게 나오기 때문이다. 이 평균 결정 입경이 10μm를 초과하면, 굽힘 가공성이나 타발 가공성이 저하됨과 더불어 강도나 내열성도 저하된다. 따라서, 평균 결정 입경은 10μm 이하, 바람직하게는 8μm 이하, 더 바람직하게는 6μm 이하이다. 평균 결정 입경은 작을수록 좋고, 하한치는 특별히 정할 필요가 없지만, 후술하는 제조 방법에 의해 3μm 정도까지 미세화할 수 있다.The crystal structure of a cross section parallel to the rolling direction of the Fe-P type copper alloy sheet and perpendicular to the plate surface was observed with EBSD (Electron Back Scatter Diffraction) (grain boundary condition: orientation difference of 5 degrees or more) The diameter was calculated, and the circle equivalent diameter of each crystal grain was weighted by area to obtain a weighted average. In the present invention, this was regarded as an average crystal grain size. This weighted average is taken as an average crystal grain size because when a coarse grain and a fine grain are mixed together as in an Fe-P type copper alloy plate, simply taking an additive average results in a smaller grain size than actual conditions to be. If the average crystal grain size exceeds 10 탆, the bending workability and punch workability are lowered, and the strength and heat resistance are also lowered. Therefore, the average crystal grain size is 10 μm or less, preferably 8 μm or less, and more preferably 6 μm or less. The smaller the average crystal grain size, the better, and the lower limit value does not need to be specially defined, but it can be reduced to about 3 탆 by a manufacturing method described later.
(석출 입자의 존재 밀도)(Presence density of precipitated particles)
Fe 또는 Fe-P 화합물의 석출 입자 중 원 상당 직경 10∼40nm의 석출 입자는, 전위를 핀(pin) 고정하여 Fe-P계 구리 합금판의 강도 및 내열성을 향상시킨다. 그러나, 이 석출 입자의 존재 밀도가 20개/μm2 미만이면, 핀 고정될 수 있는 석출 입자가 적어 강도 및 내열성의 향상이 불충분해진다. 따라서, 원 상당 직경 10∼40nm의 Fe 또는 Fe-P 화합물의 석출 입자의 존재 밀도는 20개/μm2 이상, 바람직하게는 25개/μm2 이상, 더 바람직하게는 30개/μm2 이상이다. 이 존재 밀도는 클수록 좋고, 상한치는 특별히 정할 필요가 없지만, 본 발명의 조성 범위 내이면 후술하는 제조 방법에 의해 40개/μm2 정도까지 밀도를 높일 수 있다.Precipitated particles having a circle-equivalent diameter of 10 to 40 nm among the precipitated particles of Fe or Fe-P compound fix the potential to improve the strength and heat resistance of the Fe-P based copper alloy plate. However, if the presence density of the precipitated particles is less than 20 particles / μm 2 , the precipitation of particles that can be pinned is small and the improvement in strength and heat resistance is insufficient. Therefore, the existing density of precipitated particles of Fe or Fe-P compound having a circle equivalent diameter of 10 to 40 nm is not less than 20 particles / μm 2 , preferably not less than 25 particles / μm 2 , more preferably not less than 30 particles / μm 2 . May exist density is higher, the upper limit need not specifically determined, it is within the composition range of the present invention it is possible to increase the density up to about 40 / μm 2 by the method to be described later.
(Fe-P계 구리 합금판의 제조 방법)(Production method of Fe-P type copper alloy plate)
본 발명의 제조 방법은 이하와 같다.The production method of the present invention is as follows.
우선, 주괴는, 통상의 도가니형 용해로 등을 이용하여 원료를 용해시키고, 성분 조정 후, 통상의 금형이나 카본 주형 등에 용탕을 부어 넣어 제조한다.First, an ingot is prepared by dissolving a raw material by using a usual crucible-type melting furnace or the like and pouring a molten metal into an ordinary mold or a carbon mold after the composition is adjusted.
다음으로, 주괴를 850∼1050℃의 온도로 가열하여, 압연 가공률 50% 이상으로 열간 압연을 행하고, 열간 압연의 종료 온도는 750℃ 이상으로 한다. 열간 압연 후의 냉각은, 수냉 등에 의해, 열간 압연 종료 온도(=냉각 개시 온도)로부터 적어도 300℃까지의 범위를 10℃/초 이상의 냉각 속도로 급속히 냉각한다.Next, the ingot is heated to a temperature of 850 to 1050 占 폚 to perform hot rolling at a rolling processing rate of 50% or more, and the end temperature of hot rolling is set to 750 占 폚 or more. The cooling after the hot rolling is rapidly cooled by a water cooling or the like at a cooling rate of at least 10 캜 / second from the hot rolling end temperature (= cooling start temperature) to at least 300 캜.
열간 압연의 가열 온도가 850℃ 미만이면, Fe나 Fe-P 화합물이 석출되어 조대화되기 때문에, 그만큼 Fe, P가 소비되어 석출 열처리로 석출되는 미세한 Fe나 Fe-P 화합물이 감소하여, 제품의 강도나 내열성이 저하된다. 한편, 1050℃를 초과하면 융점에 가까워지기 때문에, 열연 균열이 발생한다. 또한, 산화가 격렬해져, 열연에 의해 산화물이 말려 들어가, 제품판 중에 결함으로서 남는 경우가 있다. 따라서, 열간 압연의 가열 온도는 850∼1050℃, 바람직하게는 870∼1030℃, 더 바람직하게는 890∼1010℃로 한다.If the heating temperature of the hot rolling is less than 850 DEG C, Fe and Fe-P compounds are precipitated and coarsened, so that Fe and P are consumed as much, and the fine Fe and Fe-P compounds precipitated by the precipitation heat treatment are reduced, The strength and heat resistance are lowered. On the other hand, if it exceeds 1050 占 폚, it becomes close to the melting point, so hot cracking occurs. Further, the oxidation becomes vigorous, the oxide is dried by hot rolling, and the product plate is left as a defect in some cases. Therefore, the heating temperature of the hot rolling is 850 to 1050 캜, preferably 870 to 1030 캜, more preferably 890 to 1010 캜.
열간 압연의 압연 가공률이 50%보다 작으면, 재결정이 일어나지 않고, 주조 조직이 잔존할 가능성이 있다. 따라서, 열간 압연의 압연 가공률은 50% 이상, 바람직하게는 60% 이상, 더 바람직하게는 70% 이상으로 한다.If the rolling rate of the hot rolling is less than 50%, recrystallization does not occur and the cast structure may remain. Therefore, the rolling rate of the hot rolling is set to 50% or more, preferably 60% or more, more preferably 70% or more.
열간 압연의 종료 온도가 750℃ 미만이 되면, Fe나 Fe-P 화합물의 석출량이 증가하여 조대화되기 때문에, 석출 열처리에 있어서 석출되는 미세한 Fe나 Fe-P 화합물이 감소하여, 제품판의 강도 및 내열성이 저하된다. 또한, 열간 압연의 종료 온도가 750℃ 미만이 되면, 제품판의 평균 결정 입경이 커진다. 이는, 조대화된 Fe나 Fe-P 화합물이 재결정 열처리 시에 재결정의 기점이 되어, 재결정을 촉진하기 때문이라고 생각된다. 따라서, 열간 압연의 종료 온도는 750℃ 이상, 바람직하게는 770℃ 이상, 더 바람직하게는 790℃ 이상으로 한다.When the end temperature of the hot rolling is less than 750 캜, the precipitation amount of Fe or Fe-P compound is increased and coarsened, so that fine Fe and Fe-P compounds precipitated in the precipitation heat treatment are decreased, Heat resistance is lowered. In addition, when the end temperature of the hot rolling is less than 750 캜, the average crystal grain size of the product plate becomes large. This is considered to be because the coarsened Fe or Fe-P compound becomes a starting point of recrystallization at the time of the recrystallization heat treatment and promotes recrystallization. Therefore, the termination temperature of the hot rolling is set to 750 ° C or higher, preferably 770 ° C or higher, more preferably 790 ° C or higher.
열간 압연 후의 냉각 속도가, 열간 압연 종료 온도로부터 300℃까지의 범위에서 10℃/초 미만이 되면, 냉각 중에도 Fe나 Fe-P 화합물이 석출되어 조대화되기 때문에, 석출 열처리에 있어서 석출되는 미세한 Fe나 Fe-P 화합물이 감소하여, 제품판의 강도 및 내열성이 저하된다. 따라서, 열간 압연 후의 냉각 속도는 10℃/초 이상, 바람직하게는 20℃/초 이상, 더 바람직하게는 30℃/초 이상으로 한다. 열간 압연재가 냉각되어 300℃에 달한 후에는, 급냉할 필요는 없다.If the cooling rate after hot rolling becomes less than 10 ° C / sec in the range from the hot rolling end temperature to 300 ° C, Fe and Fe-P compounds precipitate and coarse even during cooling. Therefore, the fine Fe Or the Fe-P compound decreases, and the strength and heat resistance of the product plate are lowered. Therefore, the cooling rate after hot rolling is at least 10 ° C / second, preferably at least 20 ° C / second, more preferably at least 30 ° C / second. After the hot rolled material is cooled and reaches 300 캜, it is not necessary to quench it.
이 다음, 열간 압연재의 산화 스케일을 제거하고, 냉간 압연을 행한다. 냉간 압연의 압연 가공률은, 계속해서 행해지는 재결정 열처리에서 균일한 재결정 조직을 얻기 위해, 50% 이상, 바람직하게는 60% 이상, 더 바람직하게는 70% 이상으로 한다.Then, the oxide scale of the hot rolled material is removed, and cold rolling is performed. The rolling rate of the cold rolling is set to 50% or more, preferably 60% or more, more preferably 70% or more, in order to obtain a uniform recrystallized structure in a subsequent recrystallization heat treatment.
재결정 열처리는 미세한 재결정립을 형성하기 위한 열처리이며, 가열 온도 550∼900℃ 정도에서 1초∼10분 정도 유지한다. 가열 온도가 550℃ 미만이면 재결정되기 어렵고, 900℃를 초과하면 재결정립이 조대화된다. 따라서, 가열 온도는 550∼900℃, 바람직하게는 570∼880℃, 더 바람직하게는 590∼860℃ 정도로 한다. 유지 시간은 가열 온도에 따라서 적절히 선택해도 되지만, 1초∼10분 정도의 단시간으로 한다. 유지 시간이 1초 미만이면 재결정되기 어렵다. 유지 시간이 10분을 초과하면, 재결정립이 조대화되어 제품판의 평균 결정 입경이 커진다. 또한, Fe나 Fe-P 화합물의 석출량이 증가하여 조대화되기 때문에, 그 후의 석출 열처리에 있어서 석출되는 미세한 Fe나 Fe-P 화합물이 감소한다. 따라서, 유지 시간은 1초∼10분, 바람직하게는 2초∼5분, 더 바람직하게는 5초∼2분 정도로 한다.The recrystallization heat treatment is a heat treatment for forming fine recrystallized grains and is maintained at a heating temperature of about 550 to 900 DEG C for about 1 second to 10 minutes. If the heating temperature is lower than 550 캜, it is difficult to recrystallize. When the heating temperature exceeds 900 캜, recrystallized grains become coarse. Therefore, the heating temperature is 550 to 900 占 폚, preferably 570 to 880 占 폚, and more preferably 590 to 860 占 폚 or so. The holding time may be appropriately selected depending on the heating temperature, but it is set to a short time of about 1 second to 10 minutes. If the holding time is less than 1 second, it is difficult to be re-determined. When the holding time exceeds 10 minutes, the recrystallized grains are coarsened and the average crystal grain size of the product plate becomes large. In addition, since the precipitation amount of Fe or Fe-P compound is increased and coarsened, fine Fe and Fe-P compounds precipitated in the subsequent precipitation heat treatment decrease. Therefore, the holding time is 1 second to 10 minutes, preferably 2 seconds to 5 minutes, and more preferably 5 seconds to 2 minutes.
또한, 재결정 열처리의 가열 속도는 300℃ 이상의 범위에서 1℃/초 이상으로 한다. 이 가열 속도가 1℃/초 미만이면, 가열 중에 Fe나 Fe-P 화합물의 석출이 생겨, 미세한 재결정립이 얻어지지 않는다. 이는, 가열 중에 석출된 Fe나 Fe-P 화합물이, 온도의 상승에 수반하여 조대화되고, 그것이 재결정의 기점이 되어, 재결정을 촉진하기 때문이라고 생각된다. 또한, 가열 중에 Fe나 Fe-P 화합물의 석출이 생겨 조대화되기 때문에, 석출 열처리에 있어서 석출되는 미세한 Fe나 Fe-P 화합물이 감소한다. 따라서, 재결정 열처리의 가열 속도는 1℃/초 이상, 바람직하게는 2℃/초 이상, 더 바람직하게는 5℃/초 이상으로 한다.The heating rate of the recrystallization heat treatment is set to 1 deg. C / sec or more in the range of 300 deg. If the heating rate is less than 1 占 폚 / sec, precipitation of Fe or Fe-P compound occurs during heating, and fine recrystallized grains can not be obtained. This is considered to be because the Fe or Fe-P compound precipitated during heating is coarsened with the rise in temperature, which becomes a starting point of recrystallization and promotes recrystallization. In addition, precipitation of Fe or Fe-P compounds occurs during heating and coarsening, so that fine Fe and Fe-P compounds precipitated in precipitation heat treatment are reduced. Therefore, the heating rate of the recrystallization heat treatment is set to 1 占 폚 / sec or more, preferably 2 占 폚 / sec or more, more preferably 5 占 폚 / sec or more.
또, 재결정 열처리 후의 냉각 속도는 가열 온도로부터 300℃까지의 범위에서 5℃/초 이상으로 한다. 이 온도 범위의 냉각 속도가 5℃/초 미만이면, 냉각 중에 Fe나 Fe-P 화합물의 석출이 생겨 조대화되기 때문에, 석출 열처리에 있어서 석출되는 미세한 Fe나 Fe-P 화합물이 감소한다. 따라서, 재결정 열처리 후의 냉각 속도는 5℃/초 이상, 바람직하게는 10℃/초 이상, 더 바람직하게는 20℃/초 이상으로 한다.The cooling rate after the recrystallization heat treatment is set at 5 ° C / second or higher in the range from the heating temperature to 300 ° C. If the cooling rate in this temperature range is less than 5 占 폚 / sec, precipitation of Fe or Fe-P compound occurs during cooling and coarsening, so that fine Fe and Fe-P compounds precipitated in the precipitation heat treatment decrease. Therefore, the cooling rate after the recrystallization heat treatment is 5 ° C / second or more, preferably 10 ° C / second or more, and more preferably 20 ° C / second or more.
재결정 열처리 후, 냉간 압연을 행하거나 또는 행하지 않고, 석출 열처리를 행한다. 석출 열처리는, 미세한(원 상당 직경이 10∼40nm인) Fe나 Fe-P 화합물의 석출물을 수많이 생성하기 위한 열처리이며, 냉간 압연을 행하지 않더라도 석출물은 생성되지만, 냉간 압연을 행하는 것에 의해 석출물이 효율적으로 석출되어, 보다 강도를 높이는 것이 가능하다.After the recrystallization heat treatment, precipitation heat treatment is performed with or without cold rolling. The precipitation heat treatment is a heat treatment for producing a large number of fine precipitates of Fe or Fe-P compound (having a circle-equivalent diameter of 10 to 40 nm), and a precipitate is produced even if cold rolling is not carried out. However, So that it is possible to increase the strength more effectively.
석출 열처리는 가열 온도 300∼600℃ 정도에서 0.5∼30시간 정도 유지한다. 가열 온도가 300℃ 미만이면 석출량이 적고, 600℃를 초과하면 석출물이 조대화되기 쉽다. 따라서, 가열 온도는 300∼600℃, 바람직하게는 320∼580℃, 보다 바람직하게는 340∼560℃로 한다. 유지 시간은 가열 온도에 따라서 적절히 선택해도 되지만, 0.5∼30시간 정도의 시간으로 한다. 유지 시간이 0.5시간 미만이면 석출이 불충분해지기 쉽고, 30시간을 초과하면 생산성 저하에의 영향이 커진다. 따라서, 유지 시간은 0.5∼30시간, 바람직하게는 1∼25시간, 더 바람직하게는 1.5∼20시간 정도로 한다.The precipitation heat treatment is carried out at a heating temperature of about 300 to 600 ° C. for about 0.5 to 30 hours. If the heating temperature is less than 300 ° C, the precipitation amount is small. If the heating temperature is more than 600 ° C, the precipitate is liable to be coarsened. Therefore, the heating temperature is set to 300 to 600 占 폚, preferably 320 to 580 占 폚, and more preferably 340 to 560 占 폚. The holding time may be appropriately selected depending on the heating temperature, but is set to a time of about 0.5 to 30 hours. If the holding time is less than 0.5 hour, the precipitation tends to become insufficient, while if it exceeds 30 hours, the influence on the productivity deterioration becomes large. Therefore, the holding time is 0.5 to 30 hours, preferably 1 to 25 hours, more preferably 1.5 to 20 hours.
한편, 더욱 강도를 높이기 위해서는 석출 열처리를 복수회 반복하는 것이 바람직하다. 복수회의 석출 열처리를 행하는 경우, 석출 열처리 사이에 냉간 압연을 행할 필요가 있다. 이 냉간 압연에 의해서 강 합금 판재 중에 Fe나 Fe-P 화합물의 석출 사이트가 되는 부분이 형성되고, 그 후의 석출 열처리로 새롭게 석출물이 형성된다. 복수회의 석출 열처리를 행하면 석출물의 밀도가 증가하여 강도를 높일 수 있다. 복수회의 석출 열처리를 행하는 경우, 석출 열처리 후의 경도가, 1회째보다 2회째, 2회째보다 3회째로, 석출 열처리의 횟수를 거듭할수록 높아지도록, 석출 열처리 조건(온도, 시간)이나 석출 열처리 사이의 냉간 압연 가공률을 적절히 선택할 필요가 있다. 즉, 2회째 이후의 석출 열처리에 의해, 그 이전에 존재하는 석출물에 더하여, 새롭게 원 상당 직경 10∼40nm의 석출물이 형성되는 조건을 선정한다. 구체적으로는, 예컨대 석출 열처리의 온도를, 석출 열처리의 횟수를 거듭할수록 저하시키는 것이 생각된다. 석출 열처리 후의 경도가 석출 열처리의 횟수를 거듭해도 높아지지 않거나, 반대로 낮아지는 경우에는, 석출물이 조대화되어, 미세한 석출물의 밀도가 증가하지 않는다.On the other hand, in order to further increase the strength, it is preferable to repeat the precipitation heat treatment a plurality of times. When a plurality of precipitation heat treatments are performed, it is necessary to perform cold rolling between the precipitation heat treatments. By this cold rolling, a portion to be a precipitation site of Fe or an Fe-P compound is formed in the steel alloy sheet, and new precipitates are formed by the subsequent precipitation heat treatment. If the precipitation heat treatment is carried out a plurality of times, the density of the precipitate increases and the strength can be increased. When the precipitation heat treatment is carried out a plurality of times, the hardness after the precipitation heat treatment is increased from the first time to the second time and from the second time to the third time from the second heat treatment to the precipitation heat treatment conditions (temperature, time) It is necessary to appropriately select the cold rolling rate. That is, conditions for forming a precipitate having a circle-equivalent diameter of 10 to 40 nm are newly selected in addition to the precipitates existing before by the second and subsequent precipitation heat treatments. Concretely, for example, it is considered that the temperature of the precipitation heat treatment is lowered as the number of precipitation heat treatment is repeated. If the hardness after the precipitation heat treatment does not increase even when the number of times of the precipitation heat treatment is repeated, or conversely, if the hardness decreases, the precipitate becomes coarse, and the density of the fine precipitates does not increase.
계속해서 최종의 냉간 압연을 행하여, 소정의 강도 및 판두께로 마무리한다. 최종 냉간 압연 후에 저온 소둔(변형 제거 소둔이라고도 함)을 행해도 된다. 반도체 장치의 소형화·고집적화에 의한 리드 프레임의 미세 배선화에 수반하여, 판의 평탄성(flatness)과 내부 응력 저감에 관한 품질 요구는 점점 높아지고 있고, 저온 소둔은 이들의 품질 향상에 유효하다.Subsequently, final cold rolling is carried out to finish with a predetermined strength and plate thickness. After the final cold rolling, low temperature annealing (also referred to as deformation removal annealing) may be performed. With the miniaturization and high integration of the semiconductor device, the quality of the flatness of the plate and the reduction of the internal stress are increasingly demanded along with the miniaturization of the lead frame, and the low temperature annealing is effective for improving the quality thereof.
실시예Example
구리 합금 원료를 고주파로에서 용제한 후 성분 조정을 행하고, 카본 주형으로 조괴(造塊)하여(냉각 방법은 수냉), 두께가 50mm, 폭이 180mm, 길이가 100mm인 주괴를 얻었다. 얻어진 Fe-P계 구리 합금의 화학 조성을 표 1에 나타낸다. 한편, 표 1에 나타내는 Fe-P계 구리 합금은, 표 1에 나타낸 원소 외에 불가피적 불순물을 포함하는데, 그 중 Ti, Zr, Be, V, Nb, Mo, W, Mg가 총량으로 0.01질량% 이하, B, Na, S, Ca, As, Se, Cd, In, Sb, Pb, Bi, MM(미쉬 메탈)이 총량으로 0.005질량% 이하였다. 이들 원소는 소량이며, 본 발명에 따른 Fe-P계 구리 합금판의 특성에 영향을 미치지 않는다.After the copper alloy raw material was dissolved in a high frequency furnace, the components were adjusted and the ingot was agglomerated with a carbon mold (cooling method was water cooling) to obtain an ingot having a thickness of 50 mm, a width of 180 mm and a length of 100 mm. Table 1 shows the chemical composition of the obtained Fe-P type copper alloy. On the other hand, the Fe-P type copper alloy shown in Table 1 contains inevitable impurities in addition to the elements shown in Table 1, and contains 0.01 mass% or less of Ti, Zr, Be, V, Nb, Mo, The total amount of B, Na, S, Ca, As, Se, Cd, In, Sb, Pb, Bi and MM (Mish Metal) was 0.005 mass% or less. These elements are small in quantity and do not affect the properties of the Fe-P based copper alloy sheet according to the present invention.
계속해서, 각 주괴를 950℃에서 1hr 가열 후, 두께가 18mm가 될 때까지 열간 압연하고, 열간 압연 후 모두 수냉했다. 열간 압연의 종료 온도(냉각 개시 온도)는, No. 1∼23, 25∼28에서는 750℃ 이상이고, No. 24만 750℃ 미만이었다. No. 24는 패스간 시간을 길게 했기 때문에, 열간 압연의 종료 온도가 낮아졌다. 열간 압연 후에 행한 수냉의 냉각 속도는 모두 10℃/초 이상이었다.Subsequently, each ingot was heated at 950 占 폚 for 1 hour and then hot-rolled until the thickness became 18 mm. After hot rolling, all the ingots were water-cooled. The termination temperature (cooling start temperature) of the hot rolling is as follows. 1 & tilde & 24, 750 < 0 > C. No. 24, since the time between passes is increased, the end temperature of the hot rolling is lowered. The cooling rates of the water cooling after the hot rolling were all 10 ° C / second or more.
No. 1∼28의 열간 압연판의 양면을 면삭(面削)하여 산화 스케일을 제거하고, 두께 16mm로 한 후, 냉간 압연, 재결정 열처리, 석출 열처리, 최종 냉간 압연 및 변형 제거 소둔을 행하여, 두께가 0.15mm인 Fe-P계 구리 합금판을 얻었다. 한편, 석출 열처리의 횟수는, No. 1∼10, 13∼25, 28은 1회로 했다. No. 11, 12, 26, 27은 석출 열처리를 2회 행하고, 1회째의 석출 열처리 후 60%의 가공률로 냉간 압연을 행했다.No. Cold rolling, recrystallization heat treatment, precipitation heat treatment, final cold rolling and deformation removal annealing were carried out after the both surfaces of the hot rolled plates 1 to 28 were subjected to surface scraping to remove the oxide scale and to have a thickness of 16 mm, mm-thick Fe-P type copper alloy plate. On the other hand, the number of times of precipitation heat treatment is as follows. 1 to 10, 13 to 25, and 28 were 1 circuit. No. 11, 12, 26 and 27 were subjected to precipitation heat treatment twice, and after the first precipitation heat treatment, cold rolling was carried out at a processing rate of 60%.
열간 압연 종료 온도, 재결정 열처리, 석출 열처리 및 최종 냉간 압연의 압연율의 공정 조건을 표 2에 나타낸다.Table 2 shows the process conditions of the hot rolling end temperature, the recrystallization heat treatment, the precipitation heat treatment, and the rolling rate of the final cold rolling.
얻어진 Fe-P계 구리 합금판을 공시재로 하여, 평균 결정 입경, 석출물 밀도, 인장 강도, 가열 전후의 경도, 도전율, W 굽힘성, 땜납 내열 박리성, 산화막 밀착성의 측정을 하기 요령으로 행했다. 그 결과를 표 3에 나타낸다. 또한, 얻어진 Fe-P계 구리 합금판의 표면을 광학 현미경(배율: 500배)으로 관찰하여, 2액 상분리나 정출로 발생하는 조대 Fe 입자의 유무를 조사했다. 조대 Fe 입자가 관찰된 No. 20, 21, 23에 대하여, 그 현미경 조직 사진을 도 1에 나타낸다. 약간 짙은 회색의 입자가 조대 Fe 입자이다.The obtained Fe-P type copper alloy sheet was used as a blank material to measure average grain size, precipitate density, tensile strength, hardness before and after heating, conductivity, W bendability, solder heat releasability, and oxide film adhesion. The results are shown in Table 3. Further, the surface of the obtained Fe-P type copper alloy plate was observed under an optical microscope (magnification: 500 times) to investigate the presence or absence of coarse Fe particles generated by two-liquid phase separation or crystallization. No. of coarse Fe particles observed. 20, 21 and 23, a micrograph of the microscope is shown in Fig. The slightly dark gray particles are coarse Fe particles.
(평균 결정 입경)(Average crystal grain size)
공시재의 압연 방향에 평행하고 판면에 수직한 단면의 결정 조직을 EBSD로 관찰하여, 입계 조건: 방위차 5° 이상에서 해석한 전체 결정립을 원 상당 직경으로 수치화하고, 각 결정립의 원 상당 직경을 면적으로 가중해서 가중 평균을 구하여, 이것을 공시재의 평균 결정 입경으로 했다. 따라서, 평균 결정 입경은 이하의 식으로 산출된다.The crystal structure of a cross section parallel to the rolling direction of the specimen and perpendicular to the sheet surface was observed with EBSD to determine the total grain size analyzed in terms of grain boundary conditions of 5 ° or more as the circle equivalent diameter, And the weighted average was obtained, and this was taken as the average crystal grain size of the disclosed material. Therefore, the average crystal grain size is calculated by the following equation.
평균 결정 입경 = (a1×d1+···+aN×dN)/AAverage crystal grain diameter = (a1 x d1 + ... + aN x dN) / A
단, ai: 각 결정립의 면적Ai: area of each grain
di: 각 결정립의 직경 di: Diameter of each grain
A: N개의 결정립의 면적의 합이다. A is the sum of the areas of N grains.
(석출물 밀도)(Precipitate density)
공시재의 조직을 15만배의 투과형 전자 현미경으로 관찰하여, 입경이 10nm 이상이고 40nm 이하인 석출 입자의 개수를 측정해, 단위 면적당 개수(개/μm2)를 산출하여, 이것을 석출물 밀도로 했다.The structure of the sealant was observed with a transmission electron microscope at 150,000 times, and the number of precipitated particles having a particle diameter of 10 nm or more and 40 nm or less was measured to calculate the number of precipitated particles (unit / μm 2 ) per unit area.
(인장 강도)(The tensile strength)
공시재로부터 긴 방향을 압연 방향에 평행하게 한 JIS-5호 시험편을 제작하고, JIS Z2241의 기점에 준하여 인장 시험을 행하여 측정했다.A JIS-5 test piece having a longitudinal direction parallel to the rolling direction was prepared from the specimen and subjected to a tensile test according to the starting point of JIS Z2241.
(가열 전후의 경도)(Hardness before and after heating)
공시재로부터 채취한 시험편의 가열 전의 경도와, 550℃에서 1분간 가열한 후의 경도를, 마이크로비커스 경도계로 4.9N의 하중을 가하여 측정했다. 이어서, 가열 후/가열 전 경도 비를 산출했다. 가열 전의 경도는 180Hv 이상을 양호라고 하고, 가열 후/가열 전 경도 비는 0.90 이상을 양호라고 평가했다.The hardness before heating of the test piece taken from a specimen and the hardness after heating at 550 캜 for 1 minute were measured by applying a load of 4.9 N with a micro Vickers hardness meter. Then, the hardness ratio after heating / before heating was calculated. The hardness before heating was 180 Hv or higher and the hardness ratio after heating / heating was 0.90 or higher.
(도전율)(Conductivity)
공시재를 밀링에 의해 폭 10mm×길이 300mm의 단책상(短冊狀)의 시험편으로 가공하고, 더블 브리지식 저항 측정 장치에 의해 전기 저항을 측정하여 평균 단면적법에 의해 산출했다. 본 발명에서는 도전율 50% IACS 이상을 양호라고 평가했다.The specimen was processed by milling into a test specimen having a width of 10 mm and a length of 300 mm by short-form, and the electrical resistance was measured by a double-brittle resistance measuring apparatus and calculated by an average sectional area method. In the present invention, a conductivity of 50% IACS or more was evaluated as good.
(W 굽힘성)(W bendability)
공시재로부터 채취한 폭 10mm의 L.D. 및 T.D. 시험편에, JCBA-T307에 준하여 W 굽힘(R/t=1)을 행하고, 굽힘부의 외관을 관찰하여 평가했다. L.D. 및 T.D. 시험편 중 어느 쪽인가에 균열이 발생한 것을 ×(불량), 표면 거칠어짐(肌荒)이 발생한 것을 △(불량), 어느 쪽에도 균열 또는 표면 거칠어짐이 발생하지 않은 것을 ○(양호)라고 평가했다. 한편, L.D.(Longitudinal to Rolling Direction) 시험편이란, 길이 방향이 압연 평행 방향이고 굽힘선이 압연 수직 방향이 되는 시험편, T.D.(Transverse to Rolling Direction) 시험편이란, 길이 방향이 압연 수직 방향이고 굽힘선이 압연 평행 방향이 되는 시험편을 의미한다.A 10 mm wide L.D. And T.D. The test piece was subjected to W bending (R / t = 1) in accordance with JCBA-T307, and the appearance of the bent portion was observed and evaluated. L.D. And T.D. (Good) that no cracks or surface roughening occurred in any of the specimens was evaluated as? (Poor) in which cracks occurred in any of the specimens,? (Poor) in which surface roughness occurred, and? On the other hand, the LD (Longitudinal to Rolling Direction) test piece is a test piece in which the longitudinal direction is the rolling parallel direction and the bending line is the rolling vertical direction, and the TD (Transverse to Rolling Direction) test piece is a longitudinal direction of the rolling direction, Means a specimen in a parallel direction.
(땜납 내열 박리성)(Solder heat-resisting peelability)
공시재로부터 채취한 단책상의 시험편에 약(弱)활성 플럭스를 도포하고, 245℃로 유지한 땜납욕(Sn-3% Ag-0.5% Cu)에 5초간 침지 후, 150℃의 오븐에서 1000hr 가열했다. 그 후, 이 시험편에 180° 굽힘 및 굽힘 되돌림 가공을 가하고, 굽힘 되돌림 가공부에 투명한 멘딩 테이프를 첩부한 후 벗겨내어, 멘딩 테이프에 부착되는 땜납의 유무에 의해, 가공부의 땜납이 박리되는지 여부를 관찰했다. 멘딩 테이프에 박리편이 부착된 것을 박리가 생겼다고 하여 ×(불량), 박리편이 부착되지 않은 것을 박리가 생기지 않았다고 하여 ○(양호)라고 평가했다.(Weak) active flux was applied to a test piece of a desk obtained from a publicly known material and immersed in a solder bath (Sn-3% Ag-0.5% Cu) kept at 245 캜 for 5 seconds, And heated. Thereafter, the test piece is subjected to 180 ° bending and bending back processing, and a transparent mending tape is stuck to the bending back processing portion and then peeled off to determine whether or not the solder of the processed portion is peeled off due to the presence or absence of the solder adhering to the mending tape Observed. (Good) was judged to be peeling when the peeling piece was attached to the mending tape, and it was evaluated as " Good (good) "
(산화막 밀착성)(Oxide film adhesion)
산화막 밀착성은 산화막 밀착 유지 온도에서 평가했다. 공시재를 알칼리 음극 전해 세정 후, 추가로 수세→산세정(10% 황산)→수세→건조를 행한 후, 대기 중에서 다양한 온도에서 5분간 가열하고, 가열 후의 공시재를 이용하여, 테이프에 의한 필링 시험을 행했다. 가열 온도는 10℃씩 변화시키고, 산화막의 박리가 생기지 않는 최고의 온도를 산화막 밀착 유지 온도로 했다. 산화막 밀착 유지 온도는 300℃ 이상을 양호라고 했다. 알칼리 음극 전해 세정은 액체 온도: 60℃, 음극 전류 밀도: 5A/dm2, 시간: 30sec의 조건에서 행했다. 세정액은, 수산화나트륨을 주성분(40%)으로 하고, 기타 인산염·규산염·탄산염·계면활성제를 함유하는, 대표적인 시판 중의 알칼리 음극 전해 세정용 약제를 50g/L의 농도로 용해시킨 수용액이다. 테이프에 의한 필링 시험은, 시판 중의 테이프(스미토모쓰리엠사제 멘딩 테이프)를 첩부하고, 박리하는 방법으로 행했다.The oxide film adhesion was evaluated at an oxide film adhesion maintaining temperature. (10% sulfuric acid), followed by washing with water, followed by drying at various temperatures in the air for 5 minutes. Then, using a post-heating material, peeling with a tape The test was conducted. The heating temperature was changed by 10 DEG C, and the highest temperature at which the oxide film was not peeled was set as the oxide film adhesion maintaining temperature. The oxide film adhesion maintaining temperature was said to be at least 300 deg. Alkali cathode electrolytic washing liquid temperature: 60 ℃, cathode current density: 5A / dm 2, time: was carried out under the conditions of 30sec. The cleaning liquid is an aqueous solution prepared by dissolving a typical commercially available alkali cathodic electrolytic cleaning agent containing sodium hydroxide as a main component (40%) and containing other phosphates, silicates, carbonates, and surfactants at a concentration of 50 g / L. The peeling test with a tape was carried out by a method in which a commercially available tape (mending tape made by Sumitomo 3M) was pasted and peeled.
발명예 No. 1∼13은, 구리 합금의 조성이 본 발명의 규정 범위 내이고, 열간 압연의 종료 온도가 750℃ 이상으로 높고, 재결정 열처리의 가열·냉각 속도가 크고, 또한 고온 단시간의 유지 조건이다. 이 때문에, 평균 결정 입경이 작고, 석출물 밀도가 높아, 높은 강도(비커스 경도를 포함함) 및 내열성, 양호한 굽힘성, 땜납 내열 박리성, 산화막 밀착성을 갖고 있다.Inventive No. 1 to 13 show that the composition of the copper alloy is within the specified range of the present invention, the finish temperature of the hot rolling is as high as 750 ° C or more, the heating and cooling rate of the recrystallization heat treatment is large, and the holding conditions are high temperature and short time. Therefore, it has a small average crystal grain size and a high precipitate density, and has high strength (including Vickers hardness) and heat resistance, good bendability, solder heat-releasability, and oxide film adhesion.
이 중 No. 11, 12는, 석출 열처리를 2회 행하고, 석출 열처리 사이의 냉간 가공률을 60%로 한 것으로, 화학 조성이 거의 동일한 발명예 No. 1과 비교하여, 평균 결정 입경이 작고, 석출물 밀도가 높아, 강도가 높다.Among them, 11, and 12 show that the precipitation heat treatment was carried out twice, and the cold working rate between precipitation heat treatment was 60%. 1, the average crystal grain size is small, the precipitate density is high, and the strength is high.
한편, No. 14는, P의 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 많기 때문에, 도전율이 낮고, 산화막 밀착성이 뒤떨어진다.On the other hand, 14 has a low conductivity and poor adhesion to the oxide film because the content of P is out of the specified range of the present invention.
No. 15는, P의 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 적기 때문에, 결정 입경이 크고, 석출물 밀도가 낮아, 강도(특히 비커스 경도) 및 내열성이 낮고, 굽힘성이 뒤떨어진다.No. 15 has a large crystal grain size, a low precipitate density, low strength (particularly Vickers hardness) and low heat resistance and poor bendability because the content of P is out of the specified range of the present invention.
No. 16은, 평균 결정 입경이 작고, 석출물 밀도가 높아, 높은 강도, 내열성, 굽힘성을 갖는다. 그러나, Zn의 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 적기 때문에, 땜납 내열 박리성이 뒤떨어진다.No. 16 has a small average crystal grain size and a high precipitate density, and has high strength, heat resistance, and bendability. However, since the content of Zn is out of the specified range of the present invention, the solder heat-releasability is poor.
No. 17은, 평균 결정 입경이 작고, 석출물 밀도가 높아, 높은 강도, 내열성, 굽힘성을 갖는다. 그러나, Zn의 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 많기 때문에, 도전율이 낮다.No. 17 has a small average crystal grain size, a high precipitate density, and high strength, heat resistance, and bendability. However, since the content of Zn is out of the specified range of the present invention, the conductivity is low.
No. 18은, Sn과 Mg의 합계 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 적기 때문에, 평균 결정 입경은 작고, 석출물 밀도도 높지만, 강도 및 내열성이 낮다.No. 18 has a low content of Sn and Mg out of the specified range of the present invention, so that the average crystal grain size is small and the precipitate density is high, but the strength and heat resistance are low.
No. 19는, Sn과 Mg의 합계 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 많기 때문에, 도전율이 낮고, 산화막 밀착성이 뒤떨어진다.No. 19 has a low conductivity and a poor oxide film adhesion because the total content of Sn and Mg is out of the specified range of the present invention.
No. 20은, C의 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 많기 때문에, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 조대 Fe 입자가 많이 생성되어 있어, Ag 등의 도금을 행한 경우에 돌기나 미도금부가 생성되기 쉬운 등, 도금성이 낮을 것으로 추측된다. 또한, No. 20은, 평균 결정 입경이 크고, 석출물 밀도가 낮아, 조성이 유사한 No. 2와 비교하여 강도 및 내열성이 낮고, 굽힘성이 뒤떨어진다.No. 20 has a large content of C out of the specified range of the present invention, so that a large number of coarse Fe particles are generated as shown in Fig. 1 (a), and when the plating of Ag or the like is performed, It is presumed that the plating ability is low. In addition, 20 had a large average crystal grain size, a low precipitate density, 2, the strength and heat resistance are low and the bendability is poor.
No. 21은, Co, Si, Cr의 합계 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 많기 때문에, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 조대 Fe 입자가 많이 생성되어 있어, 도금성이 낮을 것으로 추측된다. 또한, No. 21은, 평균 결정 입경이 크고, 석출물 밀도가 낮아, 조성이 유사한 No. 2와 비교하여 강도 및 내열성이 낮고, 굽힘성이 뒤떨어진다.No. 21 has a large content of coarse Fe particles as shown in Fig. 1 (b) because the total content of Co, Si and Cr is out of the specified range of the present invention, and the plating property is low. In addition, 21 has a large average crystal grain size, a low precipitate density, 2, the strength and heat resistance are low and the bendability is poor.
No. 22는, Fe의 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 적기 때문에, 평균 결정 입경이 크고, 석출물 밀도가 낮아, 강도 및 내열성이 낮고, 굽힘성이 뒤떨어진다.No. 22 has a large average crystal grain size, a low precipitate density, low strength and heat resistance, and poor bendability because the content of Fe is out of the specified range of the present invention.
No. 23은, 평균 결정 입경이 작고, 석출물 밀도가 높아, 높은 강도, 내열성, 굽힘성을 갖는다. 그러나, Fe의 함유량이 본 발명의 규정 범위 밖으로 많기 때문에, 도 1(c)에 나타내는 바와 같이, 조대 Fe 입자가 많이 생성되어 있어, 도금성이 낮을 것으로 추측된다.No. 23 has a small average crystal grain size and a high precipitate density, and has high strength, heat resistance, and bendability. However, since the content of Fe is out of the range specified in the present invention, as shown in Fig. 1 (c), a large number of coarse Fe particles are generated and it is presumed that the plating ability is low.
No. 24는, 열간 압연의 종료 온도가 750℃ 미만으로 낮고, 이 때문에, 평균 결정 입경이 크고, 석출물 밀도가 낮아, 강도 및 내열성이 낮고, 굽힘성이 뒤떨어진다.No. 24, the finish temperature of hot rolling is as low as less than 750 占 폚, which results in a large average crystal grain diameter, a low precipitate density, low strength and heat resistance, and poor bendability.
No. 25는, 재결정 열처리의 가열·냉각 속도가 작고, 또한 비교적 저온에서 장시간의 유지 조건이기 때문에, 평균 결정 입경이 크고, 석출물 밀도가 낮아, 강도 및 내열성이 낮고, 굽힘성이 뒤떨어진다.No. 25 has a small heating and cooling rate in the recrystallization heat treatment and a long-term maintenance condition at a relatively low temperature. Therefore, the average crystal grain size is large, the precipitate density is low, strength and heat resistance are low, and bendability is poor.
No. 26은, 2회째의 석출 열처리의 온도가 1회째와 동일했기 때문에, 동일한 조성에서 석출 열처리 이외의 공정 조건이 유사한 No. 12와 비교하여, 석출물 밀도 및 강도(비커스 경도를 포함함)가 저하되어 있다.No. 26, since the temperature of the second precipitation heat treatment was the same as that of the first heat treatment, Compared with No. 12, the precipitate density and strength (including Vickers hardness) are lowered.
No. 27은, 2회째의 석출 열처리의 온도가 더 높기 때문에, 동일 조성에서 석출 열처리 이외의 공정 조건이 유사한 No. 12에 비하여, 석출물 밀도, 강도(비커스 경도를 포함함) 및 내열성이 저하되어 있다. 또한, 평균 결정 입경이 커, 굽힘성이 뒤떨어진다.No. 27, the temperature of the second precipitation heat treatment is higher. Therefore, in the same composition, the heat treatment temperature of the No. (Including Vickers hardness) and heat resistance are lower than those of Comparative Examples 1 to 12. In addition, the average crystal grain size is large and the bendability is poor.
No. 28은, 재결정 열처리의 유지 온도가 높기 때문에, 평균 결정 입경이 커, 강도(특히 비커스 경도)가 낮고, 굽힘성이 뒤떨어진다.No. 28 has a high average crystal grain size due to a high retention temperature of the recrystallization heat treatment, low strength (particularly Vickers hardness), and poor bendability.
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