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KR101649227B1 - 유기발광 표시장치의 제조방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판 - Google Patents

유기발광 표시장치의 제조방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판 Download PDF

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KR101649227B1
KR101649227B1 KR1020090106318A KR20090106318A KR101649227B1 KR 101649227 B1 KR101649227 B1 KR 101649227B1 KR 1020090106318 A KR1020090106318 A KR 1020090106318A KR 20090106318 A KR20090106318 A KR 20090106318A KR 101649227 B1 KR101649227 B1 KR 101649227B1
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South Korea
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unit cell
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electrically connected
cell
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서창기
정영효
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 정전기의 유입을 방지하여 신뢰성을 향상시키고 공정을 간소화하여 수율을 향상시킬 수 있는 유기발광 표시장치의 제조방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판에 관한 것으로, 액티브 영역과 비액티브 영역으로 정의된 다수개의 단위 셀 영역과, 상기 단위 셀 별로 절단하기 위한 스크라이빙 라인이 정의된 모기판을 준비하는 단계와, 상기 단위 셀의 상기 액티브 영역마다 셀 구동부 어레이를 형성하고, 상기 단위 셀의 상기 비액티브 영역마다 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되는 더미 메탈 및 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되는 패드를 형성하는 단계 및 상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 모기판을 절단 및 브레이킹하여 다수개의 단위 패널로 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
OLED, 프릿, 쇼팅바, 정전기, 패드

Description

유기발광 표시장치의 제조방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판 {Manufacturing Method for Organic Light Emitting Display Device and Organic Light Emitting Display Substrate for being applied in the Same}
본 발명은 유기발광 표시장치의 제조방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판에 관한 것으로 특히, 정전기의 유입을 방지하여 신뢰성을 향상시키고 공정을 간소화하여 수율을 향상시킬 수 있는 유기발광 표시장치의 제조방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판에 관한 것이다.
다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 근래 정보화 사회의 발전과 더불어, 표시장치에 대한 다양한 형태의 요구가 증대되면서, LCD(Liquid Crystalline Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), FED(Field Emission Display), OLED(Organic Light Emitting Display) 등 평판 표시 장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
그 중 음극선관(CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 평판 표시 장치로 유기 발광층의 발광량을 제어하여 영상을 표시하는 유기발광 표시장치(OLED) 등 이 각광받고 있다. 유기발광 표시장치는 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 종이와 같이 박막화가 가능하다는 장점이 있다.
이러한 유기발광 표시장치는 액티브 매트릭스 유기전계발광 표시장치(AMOLED)는 3색(R, G, B) 서브 화소로 구성된 화소들이 매트릭스 형태로 배열되어 화상을 표시하게 된다. 각 서브 화소는 유기전계 발광소자와, 그 유기전계 발광소자를 독립적으로 구동하는 셀 구동부를 구비한다. 셀 구동부는 적어도 2개의 박막 트랜지스터와 스토리지 커패시터를 포함하여 데이터 신호에 따라 유기전계 발광소자로 공급되는 전류량을 제어하여 유기발광 표시장치의 밝기를 제어한다.
이러한 유기발광 표시장치는 모기판(10)에 액티브 영역(AA)과 비액티브 영역(NA)으로 정의된 셀(C)을 다수개 형성하고, 액티브 영역(AA)의 주변에 프릿(미도시)을 형성한 후 스크라이빙 라인(SL)을 따라 절단함으로써 단위 패널을 이루는 소자 기판(20)을 형성함으로써 제조된다.
이때, 액티브 영역(AA)에 형성된 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(미도시)과 같은 내부 배선들은 온/오프 패드(54) 및 FPC 패드(52)와 연결되어, 외곽으로 연장된 패드 배선(58)을 통해 쇼팅바(SB)에 연결된다. 쇼팅바(SB)는 내부 배선의 정상 여부를 판단하고, 공정 중에 발생하는 정전기를 일차적으로 차단하는 기능을 하는데, 스크라이빙 공정에서 제거되어 연결된 내부 배선들과 분리된다.
한편, 실릿 공정에서 프릿은 레이저로 멜팅되는데 이를 효율적으로 진행하기 위하여 프릿이 형성될 영역에 더미 메탈(38)이 형성된다. 이러한 더미 메탈(38)은 공정 및 장비에서 유발되는 외부 정전기 유입 경로가 되는데, 유입된 정전기는 외 부로 방출되지 못하고 절연층(미도시)을 사이에 두고 형성된 더미 메탈(38)과 액티브 영역(AA)에 형성된 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(미도시)과 온/오프 패드(52) 및 FPC 패드(54)를 연결시키는 배선(미도시) 사이에 차징된다.
차징된 정전기는 인접한 화소를 파괴시켜 암점이나 휘점 불량을 유발하거나, 심한 경우는 정전기가 타고 들어온 해당 라인을 쇼트시켜 라인 불량을 유발하기도 하여 패널 불량을 초래하게 된다. 이에 의해 단위 셀(C)은 암점이나 휘점 혹은 라인 불량 또는 구동 불량이 심한 경우 해당 단위 셀(C)을 폐기시킬 수 밖에 없어 이러한 정전기가 제품 수율을 저하시키는 가장 큰 요인이 되고 있다.
쇼팅바(SB)가 등전위를 유도하여 정전기를 일차적으로 차단한다 하더라도, 쇼팅바(SB)가 형성되지 않은 영역은 정전기로 인한 직접적인 손상이 크다. 또한, 쇼팅바(SB)는 자기판(20) 마다 비액티브 영역(NA)에 형성되어 액티브 영역(AA)의 면적을 상대적으로 감소시켜 표시 화면의 대면적화를 구현하지 못한다. 또는, 쇼팅바(SB)가 기판 상에 일면적을 차지하여 표시 장치의 소형화를 저하시킨다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 정전기의 유입을 방지하여 신뢰성을 향상시키고 공정을 간소화하여 수율을 향상시킬 수 있는 유기발광 표시장치의 제조방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법은 액티브 영역과 비액티브 영역으로 정의된 다수개의 단위 셀 영역과, 상기 단위 셀 별로 절단하기 위한 스크라이빙 라인이 정의된 모기판을 준비하는 단계와, 상기 단위 셀의 상기 액티브 영역마다 셀 구동부 어레이를 형성하고, 상기 단위 셀의 상기 비액티브 영역마다 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되는 더미 메탈 및 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되는 패드를 형성하는 단계 및 상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 모기판을 절단 및 브레이킹하여 다수개의 단위 패널로 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 더미 메탈을 형성하는 단계는, 수직 연결 패턴을 통해 수직으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈을 서로 전기적으로 연결하고, 수평 연결 패턴을 통해 수평으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈을 서로 전기적으로 연결하고, 연결 배선을 통해 수직으로 인접한 단위 셀의 패드와 서로 전기적으로 연결한다.
상기 패드는 온/오프 패드 및 FPC 패드를 포함하고, 상기 연결 배선 상에는 저항체가 형성된다.
상기 수직 연결 패턴, 상기 수평 연결 패턴 및 상기 연결 배선은 동일한 물질로 형성된다.
상기 더미 메탈은 상기 셀 구동부 어레이에 형성되는 소스 전극 또는 드레인 전극과 동일한 물질로 형성된다.
상기 수평 연결 패턴은 상기 더미 메탈과 동일한 물질로 형성된다.
상기 유기발광 표시장치의 제조방법은 상기 단위 셀 마다 상기 셀 구동부 어레이 상에 유기전계 발광소자를 형성하는 단계 및 상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 단위 패널로 분리하는 단계 전에 상기 더미 메탈 상에 프릿을 도포하고, 상기 유기전계 발광소자 상에 봉지 기판을 대향시켜 상기 모기판과 상기 봉지 기판을 합착하는 단계를 더 포함한다.
본 발명에 따른 유기발광 표시장치에 이용되는 유기발광 표시 기판은 화상을 구현하는 액티브 영역과 상기 액티브 영역의 외곽인 비액티브 영역으로 정의된 다수개의 단위 셀 영역과, 상기 단위 셀 별로 절단하기 위한 스크라이빙 라인이 정의된 모기판과, 상기 단위 셀의 상기 액티브 영역마다 형성된 셀 구동부 어레이와, 상기 단위 셀의 상기 비액티브 영역마다 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되어 상기 모기판에 등전위를 형성하는 더미 메탈 및 수직으로 인접한 단위 셀의 상기 더미 메탈과 전기적으로 연결되는 패드를 포함한다.
상기 더미 메탈은 상기 셀 구동부 어레이에 형성되는 소스 전극 또는 드레인 전극과 동일한 물질로 상기 액티브 영역의 주위를 둘러싸도록 상기 패드가 형성되 는 영역을 제외한 영역에 형성된다.
본 발명에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판은 자기판마다 형성된 더미 메탈을 서로 연결시켜 등전위를 형성함으로써 정전기의 유입을 차단할 수 있다.
이에, 본 발명은 암점이나 휘점 불량을 방지하고, 라인 불량을 방지함으로써 정전기로 인한 제품의 손상을 방지하고 표시 장치의 신뢰성을 향상할 수 있다.
또한, 본 발명은 쇼팅바의 형성 공정을 생략할 수 있어, 공정을 간소화시킬 뿐만 아니라 수율 향상 및 대화면을 구현하거나 표시장치의 소형화를 구현할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 유기발광 표시장치의 제조 방법 및 이에 이용되는 유기발광 표시 기판을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법에 대하여 살펴보기로 한다.
도 2를 참조하면, 다수개의 단위 셀(C) 영역과, 단위 셀(C) 별로 절단하기 위한 스크라이빙 라인(SL)이 정의된 모기판(100)을 준비한다. 단위 셀(C)은 단위 패널용이며, 화면을 표시하는 액티브 영역(AA)과 액티브 영역(AA)의 주변인 비액티브 영역(NA)으로 정의된다. 준비된 모기판(100)에 단위 셀(C)을 다수개 형성한다.
이때, 단위 셀(C)의 액티브 영역(AA)에 셀 구동부 어레이(미도시)를 형성한 다. 단위 셀(C)의 액티브 영역(AA)에는 유기전계 발광소자를 더 형성할 수 있다. 셀 구동부 어레이를 형성하는 공정에서, 액티브 영역(AA)의 주변인 비액티브 영역(NA)에 'ㄷ'자를 오른쪽으로 90도 각도로 회전한 형태의 더미 메탈(138) 및 온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)를 단위 셀(C)마다 형성한다.
이때, 더미 메탈(138)은 인접한 단위 셀(C)의 더미 메탈(138)과 연결되는 구조로 액티브 영역(AA)의 외곽을 둘러싸는 전원 라인(132) 및 접지 라인(134)의 외곽인 비액티브 영역(NA)에 형성된다. 더미 메탈(138)은 액티브 영역(AA)에 형성되는 셀 구동부를 구성하는 소스/드레인 전극과 동일한 물질로 형성되거나 동일한 공정으로 형성될 수 있다.
구체적으로, 더미 메탈(138)은 수직 연결 패턴(174)을 통해 수직으로 인접한 단위 셀(C)의 더미 메탈(138)과 전기적으로 연결된다. 이때, 수직 연결 패턴(174)은 단위 셀(C)의 비액티브 영역(NA)의 최외곽에 형성될 수 있다.
더미 메탈(138)은 수평 연결 패턴(176)을 통해 수평으로 인접한 단위 셀(C)의 더미 메탈(138)과 전기적으로 연결된다. 이때, 수평 연결 패턴(176)은 단위 셀(C)의 비액티브 영역(NA)의 최외곽에 형성될 수 있다. 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)은 동일한 물질로 형성되거나, 동일한 공정으로 동시에 형성될 수 있다.
더미 메탈(138)은 연결 배선(172)을 통해 수직으로 인접한 다음의 단위 셀(C)에 형성된 온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)로 구성되는 패드와 연결된다. 연결 배선(172)은 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)과 동일한 물질로 형성되거나, 동일한 공정으로 동시에 형성될 수 있다.
더미 메탈(138)과 온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154) 사이에 형성되는 연결 배선(172)에는 저항체(미도시)가 더 형성될 수 있다. 저항체로는 박막 트랜지스터가 이용될 수 있다.
연결 배선(172), 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)은 더미 메탈(138)과 동일한 물질로 형성되거나, 동일한 공정으로 동시에 형성될 수 있다. 더미 메탈(138)에 전기적으로 연결되는 연결 배선(172), 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)은 스크라이빙 라인(SL)을 경계로 상/하 및 좌/우로 대칭되도록 형성된다.
온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)는 더미 메탈(138)이 형성되지 않은 비액티브 영역(NA)에 형성되며, 액티브 영역(AA)에 형성된 셀 구동부(미도시)와 전기적으로 연결된다. 이때, 온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)는 종래에 형성되었던 쇼팅바와 연결되지 않고 수직으로 인접한 다음의 단위 셀(C)에 형성된 더미 메탈(138)과 전기적으로 연결된다.
상술한 바와 같이 본 발명은 단위 셀(C) 마다 형성된 더미 메탈(138)을 인접한 단위 셀(C)에 형성된 더미 메탈(138)과 서로 전기적으로 연결시켜 등전위를 형성함으로써 정전기의 유입을 차단할 수 있다. 즉, 더미 메탈(138)이 액티브 영역(AA) 내부 배선의 정상 여부를 판단하고, 공정 중에 발생하는 정전기를 일차적으로 차단하는 기능을 한다.
이렇듯, 본 발명은 더미 메탈(138), 연결 배선(172), 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)의 구조를 통해 정전기의 유입을 차단함으로써 암점이나 휘점 불량을 방지하고, 라인 불량을 방지함으로써 정전기로 인한 제품의 손상을 방지하고 표시 장치의 신뢰성을 향상할 수 있다.
더욱이, 정전기의 유입을 차단하는 더미 메탈(138), 연결 배선(172), 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)의 구조가 패드들이 형성되는 영역을 제외한 비액티브 영역(NA)의 삼면에 형성됨으로써 종래에 정전기 방지를 위해 일면에 형성된 쇼팅바에 비하여 정전기 방지 효과가 월등하다.
또한, 본 발명은 종래에 정전기를 방지하기 위해 형성되었던 쇼팅바의 형성 공정을 생략할 수 있다. 그 결과, 본 발명은 공정을 간소화시켜 수율을 향상할 뿐만 아니라 종래의 쇼팅바가 형성된 영역을 액티브 영역(AA)의 면적을 넓히는데 활용함으로써 대화면을 구현할 수 있다. 또는, 쇼팅바가 형성되었던 면적만큼을 줄일 수 있어 표시장치의 소형화를 구현할 수 있다.
이어, 액티브 영역(AA)의 셀 구동부 상에 유기전계 발광소자(미도시)를 형성한다. 다음으로, 각 단위 셀(C)의 액티브 영역(AA)의 가장자리를 둘러싸도록 프릿(미도시)을 도포한다. 이때, 프릿(미도시)은 더미 메탈(138) 상에 형성된다.
이어서, 셀 구동부 및 유기전계 발광소자가 형성된 모기판(100)에 봉지 기판(미도시)을 대향시켜 합착한 후 스크라이빙 라인(SL)을 따라 절단 및 브레이킹하여 다수개의 단위 패널로 분리하여 유기발광 표시장치를 제조한다.
이하, 본 발명에 따른 유기발광 표시장치의 제조방법에 이용되는 유기발광 표시 기판에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 모기판(100)은 다수개의 단위 패널용 단위 셀(C) 영역과, 단위 셀(C) 별로 절단하기 위한 스크라이빙 라인(SL)으로 정의된다. 모기판(100)에는 화면을 표시하는 액티브 영역(AA)과 액티브 영역(AA)의 주변인 비액티브 영역(NA)으로 정의된 단위 셀(C)이 다수개 형성된다. 단위 셀(C)은 셀 구동부 어레이(미도시)로 구성된다. 단위 셀(C)은 유기전계 발광소자를 더 포함할 수 있다.
단위 셀(C)의 액티브 영역(AA)에는 다수개의 게이트 라인(GL)과 다수개의 데이터 라인(DL)의 교차로 정의되는 다수의 서브 화소가 형성된다. 하나의 서브 화소에는 접지 라인(134)에 음극이 접속된 유기전계 발광소자와, 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)과 전원 라인(132)에 접속되고 유기전계 발광소자의 양극에 접속되어 그 유기전계 발광소자를 구동하기 위한 셀 구동부를 구비한다.
한편, 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)은 제 1 배선(153a) 및 제 2 배선(153b)를 통해 비 액티브 영역(NA)에 형성된 온/오프 패드(152)와 전기적으로 연결된다. 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)은 FPC 패드(154)와도 전기적으로 연결된다.
도 4를 참조하면, 셀 구동부60)는 스위칭용 박막 트랜지스터(T1), 구동용 박막 트랜지스터(T2) 및 캐패시터(C)를 구비한다.
스위칭용 박막 트랜지스터(T1)는 게이트 라인(GL)에 스캔 펄스가 공급되면 턴-온되어 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 제 1 노드(N1)에 공급한다. 제1 노드(N1)에 공급된 데이터 신호는 캐패시터(C)에 충전됨과 아울러 구동용 박막 트랜지스터(T2)의 게이트 단자로 공급된다.
구동용 박막 트랜지스터(T2)는 게이트 단자로 공급되는 데이터 신호에 응답하여 전원 라인(132)으로부터 유기전계 발광소자(EL)로 공급되는 전류량(I)을 제어함으로써 유기전계 발광소자(EL)의 발광량을 조절하게 된다. 그리고, 스위칭용 박막 트랜지스터(T1)가 턴-오프되더라도 캐패시터(C)에서 데이터 신호가 방전되므로 구동용 박막 트랜지스터(T2)는 다음 프레임의 데이터 신호가 공급될 때까지 전원 라인(132)으로부터의 전류(I)를 유기전계 발광소자(EL)에 공급하여 유기전계 발광소자(EL)의 발광을 유지하게 한다.
도 5를 참조하면, 구동용 트랜지스터는 소자 기판(120) 상에 형성된 게이트 전극(161)과, 게이트 전극(161)을 덮는 게이트 절연막(121), 게이트 절연막(121)을 사이에 두고 게이트 전극(161)과 중첩되어 채널을 형성하는 활성층(163)과, 채널을 사이에 두고 대향하는 소스 전극(164) 및 드레인 전극(165)과, 드레인 전극(165)이 노출되도록 형성된 보호막(167)으로 구성된다.
유기전계 발광소자(EL)는 드레인 전극(165)과 전기적으로 연결된 제 1 전극(107)과, 대향 전극인 제 2 전극(103)과, 제 1 전극(107)과 제 2 전극(103) 사이에 형성된 유기 발광층(105) 및 유기전계 발광소자(EL)를 서브 화소 단위로 분리시키는 뱅크 절연막(108)을 포함한다.
유기전계 발광소자(EL)는 구동용 트랜지스터와 제 1 전극(107)을 전기적으로 연결함과 동시에 서로 대향하는 자기판인 소자 기판(120)과 봉지 기판(101) 간에 일정한 간격을 유지시키기 위한 스페이서(109)를 더 포함할 수 있다. 유기전계 발광소자(EL)의 구조는 도면의 도시에 한정되는 것은 아니고 DOD 타입일 수 있다.
유기전계 발광소자(EL)는 구동 트랜지스터의 구동 전류에 의해 제 1 전극(107)과 제 2 전극(103)에서 각기 주입된 정공과 전자가 결합하여 형성된 액시톤이 기저상태로 떨어지면서 적, 녹, 청 또는 흰색 광을 방출하여 액티브 영역으로 화면을 표시한다.
단위 셀(C)의 비액티브 영역(NA)에는 도 3에 도시된 바와 같이 액티브 영역(AA)의 주변을 둘러싸도록 'ㄷ'자를 오른쪽으로 90도 각도로 회전한 형태의 더미 메탈(138) 및 더미 메탈(138)이 형성되지 않은 영역에 온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)가 형성된다.
더미 메탈(138)은 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 연결되는 구조로 액티브 영역(AA)의 외곽을 둘러싸는 전원 라인(132) 및 접지 라인(134)의 외곽인 비액티브 영역(NA)에 형성된다. 더미 메탈(138)은 액티브 영역(AA)에 형성되는 셀 구동부를 구성하는 소스/드레인 전극과 동일한 물질로 형성되거나 동일한 공정으로 형성될 수 있다.
이때, 더미 메탈(138)은 수직 연결 패턴(174)을 통해 수직으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되고, 수평 연결 패턴(176)을 통해 수평으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결된다. 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)은 동일한 물질로 형성되거나, 동일한 공정으로 동시에 형성될 수 있다.
더미 메탈(138)은 연결 배선(172)을 통해 수직으로 인접한 다음의 단위 셀에 형성된 온/오프 패드 및 FPC 패드와 연결된다. 연결 배선(172)은 수직 연결 패 턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)과 동일한 물질로 형성되거나, 동일한 공정으로 동시에 형성될 수 있다.
온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)를 인접한 다음의 단위 셀에 형성된 더미 메탈을 전기적으로 연결시키는 연결 배선(172)에는 저항체(미도시)가 더 형성될 수 있다. 저항체로는 박막 트랜지스터가 이용될 수 있다. 저항체는 온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)의 외곽 소자 기판(120) 상에 형성되거나, 더미 메탈(138)의 외곽 소자 기판(120) 상에 형성될 수 있다.
연결 배선(172), 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)은 더미 메탈(138)과 동일한 물질로 형성되거나, 동일한 공정으로 동시에 형성될 수 있다. 더미 메탈(138)에 전기적으로 연결되는 연결 배선(172), 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)은 스크라이빙 라인(SL)을 경계로 단위 셀(C) 마다 동일한 형태로 형성된다.
온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)는 더미 메탈(138)이 형성되지 않은 비액티브 영역(NA)에 형성된다. 이때, 온/오프 패드(152) 및 FPC 패드(154)는 종래에 형성되었던 쇼팅바와 연결되지 않고 수직으로 인접한 다음의 단위 셀에 형성된 더미 메탈(138)과 연결 배선(172)을 통해 전기적으로 연결된다.
상술한 바와 같이 본 발명은 단위 셀(C) 마다 형성된 더미 메탈(138)을 인접한 단위 셀에 형성된 더미 메탈과 서로 전기적으로 연결시켜 등전위를 형성함으로써 정전기의 유입을 차단할 수 있다. 즉, 더미 메탈이 액티브 영역(AA) 내부 배선의 정상 여부를 판단하고, 공정 중에 발생하는 정전기를 일차적으로 차단하는 기능 을 한다.
이렇듯, 본 발명은 더미 메탈(138), 연결 배선(172), 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)의 구조를 통해 정전기의 유입을 차단함으로써 암점이나 휘점 불량을 방지하고, 라인 불량을 방지함으로써 정전기로 인한 제품의 손상을 방지하고 표시 장치의 신뢰성을 향상할 수 있다.
더욱이, 정전기의 유입을 차단하는 더미 메탈(138), 연결 배선(172), 수직 연결 패턴(174) 및 수평 연결 패턴(176)의 구조가 패드들이 형성되는 영역을 제외한 비액티브 영역(NA)의 삼면에 형성됨으로써 종래에 정전기 방지를 위해 일면에 형성된 쇼팅바에 비하여 정전기 방지 효과가 월등하다.
또한, 본 발명은 종래에 정전기를 방지하기 위해 형성되었던 쇼팅바의 형성 공정을 생략할 수 있다. 그 결과, 본 발명은 공정을 간소화시켜 수율을 향상할 뿐만 아니라 종래의 쇼팅바가 형성된 영역을 액티브 영역(AA)의 면적을 넓히는데 활용함으로써 대화면을 구현할 수 있다. 또는, 쇼팅바가 형성되었던 면적만큼을 줄일 수 있어 표시장치의 소형화를 구현할 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1은 종래의 유기발광 표시장치의 제조시 정전기 유입을 차단하기 위한 구조를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유기발광 표시장치의 제조시 정전기 유입을 방지하는 구조를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 본 발명에 따른 유기발광 표시장치의 제조시 이용되는 표시 기판의 단위 셀을 나타내는 평면도이다.
도 4는 단위 셀을 구성하는 다수의 서브 화소 중 하나의 서브 화소를 설명하기 위한 등가 회로도이다.
도 5는 단위 셀을 구성하는 다수의 서브 화소 중 하나의 서브 화소를 설명하기 위한 단면도이다.
<<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>>
100: 모기판 120: 소자 기판
132: 전원 라인 134: 접지 라인
138: 더미 메탈 152: 온/오프 패드
154: FPC 패드 172: 연결 배선
174: 수직 연결 패턴 176: 수평 연결 패턴

Claims (10)

  1. 액티브 영역과 비액티브 영역으로 정의된 다수개의 단위 셀 영역과, 상기 단위 셀 별로 절단하기 위한 스크라이빙 라인이 정의된 모기판을 준비하는 단계;
    상기 단위 셀의 액티브 영역마다 셀 구동부 어레이를 형성하고, 상기 단위 셀의 비액티브 영역마다 더미 메탈 및 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되는 패드를 형성하는 단계; 및
    상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 모기판을 절단 및 브레이킹하여 다수개의 단위 패널로 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 더미 메탈을 형성하는 단계에서,
    상기 더미 메탈은 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 더미 메탈을 형성하는 단계는,
    수직 연결 패턴을 통해 수직으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈을 서로 전기적으로 연결하고,
    수평 연결 패턴을 통해 수평으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈을 서로 전기적으로 연결하고,
    연결 배선을 통해 수직으로 인접한 단위 셀의 패드와 서로 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 패드는 온/오프 패드 및 FPC 패드를 포함하고,
    상기 연결 배선 상에는 저항체가 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 수직 연결 패턴, 상기 수평 연결 패턴 및 상기 연결 배선은 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 더미 메탈은 상기 셀 구동부 어레이에 형성되는 소스 전극 또는 드레인 전극과 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 수평 연결 패턴은 상기 더미 메탈과 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 단위 셀 마다 상기 셀 구동부 어레이 상에 유기전계 발광소자를 형성하는 단계; 및
    상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 단위 패널로 분리하는 단계 전에 상기 더미 메탈 상에 프릿을 도포하고, 상기 유기전계 발광소자 상에 봉지 기판을 대향시켜 상기 모기판과 상기 봉지 기판을 합착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조방법.
  8. 화상을 구현하는 액티브 영역과 상기 액티브 영역의 외곽인 비액티브 영역으로 정의된 다수개의 단위 셀 영역과, 상기 단위 셀 별로 절단하기 위한 스크라이빙 라인이 정의된 모기판;
    상기 단위 셀의 액티브 영역마다 구비되는 셀 구동부 어레이;
    상기 단위 셀의 비액티브 영역마다 구비되는 더미 메탈 및 패드를 포함하고,
    상기 패드는 수직으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되고,
    상기 더미 메탈은 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 전기적으로 연결되는 유기발광 표시장치의 제조 방법에 이용되는 유기발광 표시 기판.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 더미 메탈은 수직 연결 패턴을 통해 상기 수직으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 서로 전기적으로 연결되고, 수평 연결 패턴을 통해 수평으로 인접한 단위 셀의 더미 메탈과 서로 전기적으로 연결되고, 연결 배선을 통해 상기 수직으로 인접한 단위 셀의 상기 패드와 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법에 이용되는 유기발광 표시 기판.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 패드는 온/오프 패드 및 FPC 패드를 포함하고,
    상기 연결 배선 상에는 저항체가 형성되고,
    상기 더미 메탈은 상기 셀 구동부 어레이에 형성되는 소스 전극 또는 드레인 전극과 동일한 물질로 상기 액티브 영역의 주위를 둘러싸도록 상기 패드가 형성되는 영역을 제외한 영역에 형성되고,
    상기 수평 연결 패턴은 상기 더미 메탈과 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광 표시장치의 제조 방법에 이용되는 유기발광 표시 기판.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US10090374B2 (en) 2012-06-18 2018-10-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device
KR102051465B1 (ko) * 2012-06-18 2019-12-05 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
KR102071238B1 (ko) * 2013-08-30 2020-01-30 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광 표시패널의 모기판 및 그의 제조방법
KR101676764B1 (ko) * 2014-11-12 2016-11-17 주식회사 엔씨디 유기발광 소자 및 이의 제조방법
KR102293372B1 (ko) * 2017-05-22 2021-08-26 엘지디스플레이 주식회사 표시장치
CN110827692B (zh) * 2019-11-28 2022-02-01 昆山国显光电有限公司 制作显示面板的母板
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KR20080020168A (ko) * 2006-08-31 2008-03-05 삼성전자주식회사 어레이 기판 및 이를 갖는 표시패널

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