KR101548071B1

KR101548071B1 - Thermal fuse assembly of inline heater

Info

Publication number: KR101548071B1
Application number: KR1020140008052A
Authority: KR
Inventors: 김범수; 이종근; 지상구
Original assignee: 우암신소재(주)
Priority date: 2014-01-22
Filing date: 2014-01-22
Publication date: 2015-08-27
Also published as: KR20150087765A

Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에서 화학약품 가열에 사용하는 인라인 히터에서 용기 내부의 약품 온도가 설정 온도 이상으로 상승할 경우 즉시 전열선 전원을 차단할 수 있는 온도퓨즈 조립체에 관한 것으로, 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체를, 온도퓨즈의 양측 도체단자와 리드와이어의 선단 피복이 제거되어 노출된 도체를 상기 온도퓨즈의 양측 도체에 연결한 접합부와, 상기 온도퓨즈 양측의 상기 접합부, 상기 리드와이어의 노출된 도체, 상기 리드와이어의 노출된 도체에 인접한 리드와이어 피복 및 상기 온도퓨즈 도체단자에 이들을 모두 감쌀 수 있는 제1불소수지수축튜브를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제1보호층과, 상기 온도퓨즈 양측에 연결된 리드와이어가 동일한 방향으로 진행하도록 온도퓨즈 도체 중 하나를 절곡한 상태에서 상기 온도퓨즈 양측에 연결된 리드와이어의 제1보호층 외부에 삽입한 스테인레스관과, 상기 온도퓨즈, 스테인레스관 및 상기 스테인레스관 밖에 노출된 상기 제1보호층의 외부에 제2불소수지수축튜브를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제2보호층을 포함하여 구성함을 특징으로 한다.The present invention relates to a thermal fuse assembly capable of shutting off a heating wire immediately when a temperature of a chemical inside a container rises above a set temperature in an inline heater used for heating chemical in a semiconductor manufacturing process, A junction portion in which exposed conductors are removed from both the conductor terminals of the thermal fuse and the lead sheaths of the lead wires to the conductors on both sides of the thermal fuse and the exposed conductors of the lead wires on both sides of the thermal fuse, A first protective layer formed by inserting a lead wire covering adjacent to the exposed conductor of the wire and a first fluororesin shrinkable tube which can cover both of the lead wire covering and the temperature fuse conductor terminal and then shrinking the thermally fused conductor terminal, In a state where one of the temperature fuse conductors is bent so that the temperature fuse conductor A second fluororesin shrinkable tube inserted into the outside of the first protective layer exposed outside the thermal fuse, the stainless steel pipe, and the stainless steel pipe; And a second protective layer formed on the second protective layer.

Description

[0001] THERMAL FUSE ASSEMBLY OF INLINE HEATER [0002]

본 발명은 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체 제조 공정에서 화학약품 가열에 사용하는 인라인 히터에서 용기 내부의 약품 온도가 설정 온도 이상으로 상승할 경우 즉시 전열선 전원을 차단할 수 있는 온도퓨즈 조립체에 관한 것이다.
The present invention relates to a thermal fuse assembly for an inline heater, and more particularly, to a thermal fuse assembly for an inline heater, and more particularly, to a thermal fuse assembly for an inline heater, To a thermal fuse assembly.

반도체 제조 공정에서는 초순수(DIW), 황산, 인산, 염산, 질산, 불산 등의 부식성이 매우 큰 화학 약품(이하, 단순히 "약품"이라고 함)을 세정 약품, 식각 약품, 현상 약품 등으로 사용하고 있다. 이들 약품은 화학적 활성을 위하여 일정 온도로 가열하여 반도체 제조 공정에 사용한다.
BACKGROUND ART In the semiconductor manufacturing process, chemicals (hereinafter simply referred to as "drugs") having a very high corrosivity such as DIW, sulfuric acid, phosphoric acid, hydrochloric acid, nitric acid, and hydrofluoric acid are used as washing chemicals, etching chemicals, . These chemicals are used in the semiconductor manufacturing process by heating to a certain temperature for chemical activity.

종래에는, 대한민국 공개특허공보 10-2005-0112636호에 개시된 바와 같이, 약품 가열 장치를 세정 장비, 식각 장비, 현상 장비 등 공정장비와 분리하여 대형으로 만들고, 약품을 약품 가열 장치의 대형 약품 탱크에서 일정 온도로 가열한 후 각 현상장비, 식각장비, 세정장비 등 공정장비까지 펌프로 이송하여 사용하였다. 그러나 약품을 약품탱크로 부터 개별 공정장비까지 온도를 일정하게 유지한 채 이송하여 공급하는 것은 매우 어렵다. 또한, 근래에는, 반도체의 직접도가 높아지면서 선폭이 극 미세해지고, 웨이퍼당 수율을 높이기 위하여 웨이퍼의 크기가 커지면서, 반도체 생산 공정 중 웨이퍼를 낱장씩 회전시키면서 약품을 뿌려 가공하는 공정이 많아 지고 있다. 따라서, 최근에는 개별 공정장비와 인라인화되어 약품을 각 공정장비 내에서 필요한 온도로 즉시 가열하여 공급하는 인라인 히터를 많이 사용한다. 인라인 히터에서 전열선은 히터 용기 내에 장치되어 가열할 약품에 잠기고, 전열선에 대한 전력은 외부에서 전력선을 통해 공급된다. 일반적으로 인라인 히터의 전열선에 공급되는 전류는 25A이상 35A미만의 대전류이다. 약품의 부식성이 매우 크기 때문에, 인라인 히터의 용기나 부품은 모두 내식성 및 내약품성이 좋은 불소수지로 성형하며, 전열선과 전력선도 모두 불소수지에 의하여 피복한다.
Conventionally, as disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2005-0112636, a chemical heating device is separated from a process equipment such as a cleaning device, an etching device, and a developing device to make it large, and the chemical is heated in a large chemical tank After heating to a certain temperature, the process equipment such as developing equipment, etching equipment, cleaning equipment, etc. was transferred to a pump. However, it is very difficult to transport the drug from the chemical tank to the individual process equipment while keeping the temperature constant. In recent years, as the degree of directivity of semiconductors has increased, the line width has become extremely fine, and the size of wafers has been increased in order to increase the yield per wafer, and processes for sprinkling and processing the wafers while rotating the wafers one by one during the semiconductor production process have been increasing . Thus, in recent years, many inline heaters have been used that are inline with individual process equipment and immediately heat the chemical to the required temperature within each process equipment. In the inline heater, the heating wire is installed in the heater container to be immersed in the chemical to be heated, and the electric power to the heating wire is supplied from an external power line. Generally, the current supplied to the heating wire of the inline heater is a large current of 25 A or more and less than 35 A or less. Since the corrosion resistance of chemicals is very large, all containers and parts of inline heaters are formed of fluororesin having good corrosion resistance and chemical resistance, and both the heating wire and the power wire are coated with fluorine resin.

반도체 제조 공정 약품은 탱크에 저장되고, 인라인 히터에 대한 약품 주입 및 배출은 펌프에 의하여 이루어진다. 그러나, 약품 공급 펌프의 오동작, 약품 공급 탱크 내의 약품 부족, 약품 공급 배관의 막힘, 약품 공급 중 배관의 밸브 차단 등이 발생할 경우에는 인라인 히터 내의 약품이 부족하거나 약품의 흐름이 느려져 약품이 과열 된다. 또한 전력선 또는 전열선의 피복의 변형이나 손상에 의하여 약품이 내부 도체까지 침투한 경우에, 누전이 발생할 수 있는 데, 이때도 약품이 과열될 수 있다. 위와 같은 과열원인이 발생할 경우 약품 온도는 200℃ 이상으로 쉽게 올라 갈 수 있다.
The semiconductor manufacturing process chemicals are stored in the tank, and the chemicals are injected and discharged to the inline heaters by the pump. However, when malfunction of the chemical feed pump, lack of medicine in the chemical supply tank, clogging of the chemical supply pipe, blocking of the pipe during chemical supply, etc. occur, the chemical in the inline heater is short or the chemical flow is slowed and the chemical is overheated. In addition, when the chemicals penetrate into the inner conductor due to the deformation or damage of the coating of the power line or the heating wire, a short circuit may occur, and the chemical may also overheat at this time. If such a cause of overheating occurs, the temperature of the chemical can easily rise above 200 ℃.

인라인 히터에서 약품이 위와 같이 과열될 경우 여러가지 문제를 초래한다. 과도하게 가열된 약품이 웨이퍼에 공급될 경우 웨이퍼 불량을 초래할 수 있다. 또한, 약품이 과도하게 가열될 경우, 전력선 및 전열선의 피복이 변형되거나 손상될 수 있다. 전력선이나 전열선에 피복되는 불소수지나 전력선과 전열선의 접합부에 재피복되는 불소수지는 160℃ 전후의 고온에서도 파괴 없이 연속 사용이 가능하지만, 일정한 임계 온도(예를 들어 PTFE : 300℃, PFA : 260℃, FEP : 200℃)를 넘어서면 결정성을 잃고 기계적 강도가 급격히 저하되며 열열화되기 때문이다. 전력선 및 전열선의 피복이 변형 또는 손상될 경우, 약품이 스며들고 전력선의 도체 또는 전열선의 도체가 부식되어 약품 내로 침출한다. 이는 약품의 순도를 떨어뜨리고, 웨어퍼 불량을 초래한다. 약품이 도전성이거나 불순물에 의하여 도전성을 가질 경우 누전이 발생할 수도 있다.
Inline heaters cause various problems when the chemicals are overheated. Excessively heated chemicals may cause wafer failure if supplied to the wafer. Further, when the medicine is heated excessively, the covering of the power line and the heating line may be deformed or damaged. Fluorine resin coated on a power line or a heating wire or fluorine resin coated on a junction between a power line and a heating wire can be continuously used without breakage even at a high temperature of about 160 ° C. However, a certain critical temperature (for example, PTFE: 300 ° C, PFA: 260 Deg.] C, FEP: 200 [deg.] C), the crystallinity is lost, the mechanical strength is rapidly lowered, and the heat deteriorates. If the coating of the power line and the heating line is deformed or damaged, the chemical seeps and the conductor of the power line or the conductor of the heating line is corroded and leached into the chemical. This lowers the purity of the drug and results in poor wear. If the drug is conductive or has conductivity due to impurities, a short circuit may occur.

일반적으로, 주변 온도가 규정 온도를 초과하여 상승할 경우, 전기적 연결을 끓는 목적으로 온도퓨즈가 사용된다. 온도 퓨즈는 어떤 특정한 온도에서 변형, 혹은 용융하여 전기회로를 여는 일종의 과열 보호용 스위치로서, 전기기기의 과열방지를 목적으로 사용되고 있다. 인라인 히터에도 온도퓨즈를 채용할 수 있지만, 다음과 같은 문제가 발생하므로 그 채용이 용이하지 않다.
In general, when the ambient temperature rises above the specified temperature, a thermal fuse is used to boil the electrical connection. A thermal fuse is a type of overheat protection switch that is used to prevent overheating of an electric device, which is a kind of overheat protection switch that opens an electric circuit by deforming or melting at a specific temperature. Although a thermal fuse can be employed for an inline heater, the following problems arise, so that the adoption thereof is not easy.

온도퓨즈를 인라인 히터에 설치하기 위해서는 온도퓨즈 도체단자를 리드와이어에 연결하여 온도조립체로 만들고, 이를 용기를 관통하여 설치하여야 한다. 온도퓨즈 조립체를 형성하기 위해서는 리드와이어의 선단 피복을 일부 제거하여 도체를 노출시키고, 노출된 도체를 온도퓨즈 도체단자에 접합한 후, 온도퓨즈 및 접합부 주변을 밀폐되도록 모두 불소수지에 의하여 재피복하여야 한다. 그러나, 온도퓨즈와 리드와이어의 노출된 도체 위에 이루어지는 재피복은 기존의 리드와이어 피복과 불연속적이어서 재피복 부위에서 약품이 침입할 수 있다. 재피복 부위에 약품이 침입할 경우 리드와이어의 도체가 약품에 침출하여 약품의 순도를 떨어뜨린다.
To install a thermal fuse in an inline heater, the thermal fuse conductor terminal should be connected to the lead wire to form a temperature assembly, which should be installed through the container. In order to form the thermal fuse assembly, the conductor is exposed by partially removing the lead sheath of the lead wire, the exposed conductor is bonded to the thermal fuse conductor terminal, and then the thermal fuse and the periphery of the junction are closed with fluorocarbon resin do. However, the re-coating on the exposed conductors of the thermal fuse and the lead wire is discontinuous with the existing lead wire coating, so that the chemical can penetrate the re-coating area. When chemicals enter the ash coating area, the conductor of the lead wire leaks into the drug and lowers the purity of the drug.

인라인 히터에 온도퓨즈 조립체를 설치할 경우, 온도퓨즈는 약품에 잠기게 해야하고, 리드와이어는 용기를 관통하여 외부로 인출해야 한다. 이를 위해 용기에는 내부에 원통형 중공을 갖는 온도퓨즈 설치관을 마련할 수 있고, 온도퓨즈 조립체는 이러한 온도퓨즈 설치관을 통하여 히터 용기 내부까지 인입할 수 있다.
If a thermal fuse assembly is installed in an inline heater, the thermal fuse must be immersed in the drug, and the lead wire must be pulled out through the container. To this end, the container may be provided with a thermal fuse installation tube having a cylindrical hollow therein, and the thermal fuse assembly may be inserted into the heater container through the thermal fuse installation tube.

그러나, 온도퓨즈 조립체의 용기 결합부(온도퓨즈 조립체를 용기의 온도퓨즈 설치관에 조립했을 때 온도퓨즈 조립체가 용기의 온도퓨즈 설치관과 접하는 부분)에서는 다음과 같은 이유로 약품이 용기 외부로 누설하기 쉽다. 인라인 히터에서 온도퓨즈는 히터 용기 내부에 배치되므로, 온도퓨즈 조립체가 용기의 온도퓨즈 설치관에 결합되는 부분은 접합부 인근의 리드와이어 외측이다. 온도퓨즈 도체단자와 리드와이어를 접합한 후 리드와이어의 용기 결합부도 재피복한다. 그러나, 이러한 재피복은 온도퓨즈 설치관의 내부 중공과 일치하는 원형 단면을 갖도록 형성하는 것이 매우 어렵다. 설령, 최초에 재피복을 원형 단면을 갖도록 형성하였다 하더라도, 인라인 히터를 장시간 사용하거나 용기 내부의 순간 온도가 불소수지가 견딜 수 있는 임계 온도를 초과하여 상승하는 경우 부정형의 형태적 변형이 발생한다. 이와 같은 이유로, 용기 결합부의 리드와이어 재피복이 온도퓨즈 설치관의 원통형 중공과 일치하는 외면 원형 단면을 유지하지 못할 경우, 용기의 온도퓨즈 설치관과 리드와이어의 용기 결합부 사이에서 약품의 외부 누설이 일어나게 된다. 더구나, 반도체 제조 공정 약품 가열용 인라인 히터에 대한 약품 주입 및 배출은 펌프에 의하여 이루어지고, 인라인 히터의 용기 내에서 약품의 가열이 이루어지기 때문에 히터 용기 내부 압력은 통상 3-5kgf/㎠의 압력을 유지하므로, 용기의 온도퓨즈 설치관과 온도퓨즈 리드와이어의 용기 결합부 사이에서는 약품의 누설 위험이 상존하는 것이다. 반도체 제조 공정 약품은 부식성 및 인체 유해성이 매우 크기 때문에, 약품이 히터 용기 외부로 누설될 경우 주변 장비를 손상시킬 수 있고 인체 손상 등 산업재해를 유발할 수 있다.
However, the container coupling of the thermal fuse assembly (where the thermal fuse assembly contacts the thermal fuse installation tube of the container when the thermal fuse assembly is assembled to the thermal fuse installation tube of the container) causes the product to leak out of the container easy. In the inline heater, the thermal fuse is placed inside the heater container, so that the portion of the thermal fuse assembly that is coupled to the thermal fuse installation tube of the container is outside the lead wire near the junction. After bonding the lead wire to the thermal fuse conductor terminal, re-cover the lead connection of the lead wire. However, it is very difficult to form such a refinement so as to have a circular cross section coinciding with the inner hollow of the thermal fuse installation tube. Even if the re-coating is initially formed so as to have a circular cross-section, if the in-line heater is used for a long time or the instantaneous temperature inside the container rises above the critical temperature at which the fluororesin can withstand, morphological deformation occurs. For this reason, when the lead wire material covering of the container coupling portion can not maintain an outer circular cross-section coinciding with the cylindrical hollow of the thermal fuse installation tube, the outer leakage of the medicine between the thermal fuse installation tube of the container and the container coupling portion of the lead wire . In addition, since the chemicals are injected into and discharged from the inline heater for heating the semiconductor manufacturing process by the pump, and the chemicals are heated in the container of the inline heater, the pressure inside the heater container is usually 3-5 kgf / There is a risk of leakage of the medicine between the thermal fuse installation tube of the container and the container connection portion of the thermal fuse lead wire. Semiconductor manufacturing process chemicals are very corrosive and human harmful, so if the medicine leaks out of the heater container, it may damage peripheral equipments and cause industrial accidents such as human injury.

본 발명은 상술한 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체가 갖는 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 제1과제는 온도퓨즈 조립체의 용기 결합부가 형태적 변형 없이 온도퓨즈 설치관의 내부 중공과 일치하는 원형 단면 형상을 장시간 유지하여 인라인 히터를 장시간 연속으로 사용할 경우에도 온도퓨즈조립체와 온도퓨즈 설치관 사이에서 약품이 누설되지 않는 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체를 제공하는 데 있다.
A first object of the present invention is to provide a thermal fuse assembly having a thermal fuse assembly and a method of manufacturing the thermal fuse assembly, In which a matching circular cross-sectional shape is maintained for a long time to prevent chemical leakage between the thermal fuse assembly and the thermal fuse installation tube even when the inline heater is used continuously for a long time.

본 발명이 해결하고자 하는 제2과제는 리드와이어의 도체와 온도퓨즈 도체단자간의 접합부 주위에 이루어진 재피복 부위에 약품이 침투하는 것을 예방할 수 있는 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체를 제공하는 데 있다.
A second problem to be solved by the present invention is to provide a thermal fuse assembly for an in-line heater, which can prevent chemicals from penetrating into the region of the ash coating around the junction between the conductor of the lead wire and the thermal fuse conductor terminal.

상술한 본 발명의 과제들은 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체를, 온도퓨즈의 양측 도체단자와 리드와이어의 선단 피복이 제거되어 노출된 도체를 상기 온도퓨즈의 양측 도체에 연결한 접합부와, 상기 온도퓨즈 양측의 상기 접합부, 상기 리드와이어의 노출된 도체, 상기 리드와이어의 노출된 도체에 인접한 리드와이어 피복 및 상기 온도퓨즈 도체단자에 이들을 모두 감쌀 수 있는 제1불소수지수축튜브를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제1보호층과, 상기 온도퓨즈 양측에 연결된 리드와이어가 동일한 방향으로 진행하도록 온도퓨즈 도체 중 하나를 절곡한 상태에서 상기 온도퓨즈 양측에 연결된 리드와이어의 제1보호층 외부에 삽입한 스테인레스관과, 상기 온도퓨즈, 스테인레스관 및 상기 스테인레스관 밖에 노출된 상기 제1보호층의 외부에 제2불소수지수축튜브를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제2보호층을 포함하여 구성함으로써 해결할 수 있다.
The present invention provides a thermal fuse assembly for an in-line heater, comprising: a junction portion in which conductors exposed on both sides of a conductor fuse and lead wires of a thermal fuse are exposed and connected to conductors on both sides of the thermal fuse; A lead wire covering adjacent to the exposed conductor of the lead wire, and a first fluororesin shrinkable tube capable of wrapping all of the lead wire covering and the thermal fuse conductor terminal, and then thermally shrinking A first protective layer and a stainless pipe inserted into the first protective layer of the lead wire connected to both sides of the thermal fuse in a state where one of the thermal fuse conductors is bent so that the lead wires connected to both sides of the thermal fuse proceed in the same direction, , The thermal fuse, the stainless pipe, and the second fluorine resin And a second protective layer formed by inserting a shrink tube and heat shrinking.

상술한 본 발명의 과제들은, 상기 제1불소수지수축튜브로 FEP(Perfluoroethylenepropylene)수축튜브를 사용하고, 상기 제2불소수지수축튜브로 내면이 열가소성 FEP층이고 외면이 열수축성PTFE(Polytetrafluoroethylene)층인 이중수축튜브를 사용함으로써 더 효과적으로 해결할 수 있다.
The above objects of the present invention are accomplished by the use of a shrinkable tube made of FEP (Perfluoroethylenepropylene) as the first fluororesin shrinkable tube, a second fluororesin shrinkable tube having a thermoplastic FEP layer on the inner surface and a PTFE (Polytetrafluoroethylene) By using the shrink tube, it can be solved more effectively.

상술한 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 리드와이어 피복에 형성된 제1보호층 외부에 스테인레스관을 삽입하고, 온도퓨즈, 스테인레스관 및 스테인레스 관으로부터 노출된 제1보호층에 다시 제2보호층을 형성함으로써, 관통 너트 등에 의하여 온도퓨즈 조립체의 용기 결합부를 온도퓨즈 설치관에 견고하게 조여서 조립할 수 있고, 제2보호층에 열이 가해지거나 장시간 사용하는 경우에도 제2보호층의 외관 형상이 스테인레스 외관 형상을 따라 정형성을 유지한다. 따라서, 스테인레스관으로 원형관을 사용하고 온도퓨즈 설치관의 내부 중공 형상도 원형으로 형성할 경우, 온도퓨즈 조립체의 용기 결합부가 형태적 변형 없이 온도퓨즈 설치관의 내부 중공과 일치하는 원형 단면 형상을 장시간 유지하므로, 인라인 히터를 장시간 연속으로 사용하는 경우에도 온도퓨즈 조립체와 온도퓨즈 설치관 사이에서 약품의 누설이 발생하지 않게 된다. 또한, 본 발명에 의하면, 피복이 제거된 도체를 모두 제1불소수지수축튜브에 의하여 감싸 제1보호층을 형성하고, 그 외피를 다시 열가소성 불소수지와 수축튜브의 이중으로 된 제2불소수지수축튜브로 감싸므로써, 제1보호층과 리드와이어 도체 및 온도퓨즈 도체단자가 기포나 공극 없이 긴밀하게 부착되고, 제1보호층과 제2보호층사이도 제2불소수지수축튜브 내면의 열가소성 불소수지에 의하여 긴밀하게 부착되고 충전되므로, 리드와이어의 피복이 제거된 도체에 약품이 침투하기 어렵다.
According to the present invention having the above-described configuration, a stainless steel pipe is inserted into the outside of the first protective layer formed on the lead wire cover, and the second protective layer is formed again on the first protective layer exposed from the thermal fuse, the stainless pipe and the stainless pipe Thus, even when the second protective layer is subjected to heat or is used for a long period of time, the outer shape of the second protective layer can be formed in a stainless steel outer shape Lt; / RTI > Therefore, when a circular tube is used as the stainless pipe and the inner hollow shape of the thermal fuse installation tube is also formed in a circular shape, the container fitting portion of the thermal fuse assembly has a circular sectional shape corresponding to the inner hollow of the thermal fuse installation pipe Therefore, even when the inline heater is continuously used for a long time, the leakage of the medicine does not occur between the thermal fuse assembly and the thermal fuse installation tube. According to the present invention, all of the conductors on which the coating has been removed are covered with the first fluorine resin shrinkable tube to form the first protective layer, and the envelope is again filled with the thermoplastic fluororesin and the second fluororesin shrinkage The first protection layer, the lead wire conductor, and the thermal fuse conductor terminal are closely attached to each other without bubbles or voids, and between the first protective layer and the second protective layer, the thermoplastic fluororesin of the inner surface of the second fluororesin shrinkable tube So that it is difficult for the medicine to penetrate the conductor from which the coating of the lead wire is removed.

도 1은 본 발명에 따른 온도퓨즈 조립체가 적용된 인라인 히터의 단면도이다.
도 2 내지 도 9는 본 발명에 따른 온도퓨즈 조립체의 제조 공정도이다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 온도퓨즈 조립체를 인라인 히터에 조립하는 방법을 보여주는 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an inline heater to which a thermal fuse assembly according to the present invention is applied.
FIGS. 2 to 9 are views illustrating a manufacturing process of the thermal fuse assembly according to the present invention.
10 and 11 are cross-sectional views illustrating a method of assembling a thermal fuse assembly according to the present invention to an inline heater.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시 예를 상세히 설명한다.
Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 제조 공정에서 화학약품 가열에 사용하는 인라인 히터는 헤드(41)의 약품 주입관(51)을 통해 약품을 주입 받고, 주입된 약품은 이음관(55)과 약품이송관(57)을 통해 용기(59) 바닥까지 이송된 후 약품이송관(57)과 용기(59) 내벽 사이에 권취된 전열선(61)을 거치면서 가열되어 약품 배출관(53)을 통해 공정 장비에 공급된다. 본 발명이 적용되는 인라인 히터는 반도체 제조 공정에서 화학약품 가열에 사용되므로, 도 1에서 헤드(41)와, 용기(59)와, 약품이송관(57)은 모두, 내식성 및 내약품성 뿐만 아니라 내열성이 좋은 PTFE(Polytetrafluoroethylene) 또는 PFA(Perfluoroalkoxy)로 성형하는 것이 바람직하다.
1, an inline heater used for heating a chemical in a semiconductor manufacturing process receives chemicals through the chemical injection pipe 51 of the head 41, and the injected chemical is supplied to the joint pipe 55 and the chemical Is transferred to the bottom of the container 59 through the transfer pipe 57 and then heated while passing through the heating wire 61 wrapped between the transfer pipe 57 and the inner wall of the container 59, . Since the inline heater to which the present invention is applied is used for heating the chemical in the semiconductor manufacturing process, the head 41, the container 59 and the chemical transfer pipe 57 in FIG. 1 are both resistant to corrosion and chemicals, It is preferable to form the mold with a good PTFE (Polytetrafluoroethylene) or PFA (Perfluoroalkoxy).

상기 전열선(61)에는 전력선 조립체(63a, 63b)를 통하여 외부에서 전력을 공급한다. 상기 전력선 조립체(63a, 63b) 내의 전력선은 상기 전열선(61)과 연결된다. 상기 전력선 피복과 전열선피복도 PTFE(Polytetrafluoroethylene) 또는 PFA(Perfluoroalkoxy) 가운데서 선택된 불소수지로 성형하는 것이 바람직하다. 상기 전력선의 피복 또는 전열선(61) 피복에 약품이 침투하거나, 이들 피복이 손상된 경우, 약품에 누설 전류가 발생할 수 있고, 누설 전류 발생도 약품 과열의 한 원인이 될 수 있다.
The electric heating cable 61 is supplied with power from the outside through the power line assemblies 63a and 63b. Power lines in the power line assemblies (63a, 63b) are connected to the heating line (61). It is preferable that the power wire coating and the heating wire coating are formed of a fluorine resin selected from PTFE (Polytetrafluoroethylene) or PFA (Perfluoroalkoxy). If chemicals penetrate the coating of the electric power line or the coating of the heating wire 61, or if these coatings are damaged, a leakage current may occur in the medicine, and leakage current may also cause the overheating of the medicine.

도 2 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 온도퓨즈 조립체(25)는 약품 온도가 규정 온도를 초과하여 상승할 경우, 전기적 연결을 끓는 온도퓨즈(7)를 포함한다. 상기 온도퓨즈(7)는 내부에 저융점 합금이나 저온 연화 플라스틱 등으로 형성되고 전력선과 직렬로 연결되어, 약품의 온도가 온도퓨즈(7)의 규정 온도(예 : 167℃)를 벗어나면 전력선 및 전열선에 공급되는 전력을 차단하는 기능을 한다.
As shown in Figs. 2 and 9, the thermal fuse assembly 25 according to the present invention includes a thermal fuse 7 that boils the electrical connection when the temperature of the chemical rises above a specified temperature. The temperature fuse 7 is formed of a low-melting-point alloy or a low-temperature softening plastic and is connected in series with a power line. When the temperature of the medicine is out of the predetermined temperature (for example, 167 DEG C) of the thermal fuse 7, It functions to cut off power supplied to the heating wire.

도 2에 도시된 바와 같이, 리드와이어(1) 2개의 선단 피복을 제거하여 도체(5)를 노출시킨 후, 온도퓨즈(7)의 양측 도체단자(9)에, 노출된 도체(5)를 중공형 접속단자(11)를 이용하여 연결한다.
2, the two end caps are removed to expose the conductors 5, and then the exposed conductors 5 are connected to the conductor terminals 9 on both sides of the thermal fuse 7 as shown in Fig. The connection is made by using the hollow connection terminal 11.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 특징은, 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체를 구성함에 있어, 상기 온도퓨즈(7) 양측의 상기 접속단자(11)와, 상기 리드와이어(1)의 노출된 도체(5)와, 상기 리드와이어(1)의 노출된 도체(5)에 인접한 리드와이어 피복(3)과, 상기 온도퓨즈 도체단자(9)에 이들을 모두 감쌀 수 있는 제1불소수지수축튜브(13)를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제1보호층(13a)과, 상기 온도퓨즈(7) 양측에 연결된 리드와이어(1)를 동일한 방향으로 진행하도록 절곡한 상태에서 상기 리드와이어(1)의 제1보호층(13a) 외부에 삽입한 스테인레스관(17)과, 상기 온도퓨즈(7), 스테인레스관(17) 및 상기 스테인레스관(17) 밖에 노출된 상기 제1보호층(13a)의 외부에 제2불소수지수축튜브(19)를 삽입한 후 열수축시켜 형성한 제2보호층(19a)을 포함한 데 있다.
9, the feature of the present invention is that, in constructing the thermal fuse assembly of an in-line heater, the connection terminals 11 on both sides of the thermal fuse 7, A lead wire covering 3 adjacent to the exposed conductor 5 of the lead wire 1 and a first fluororesin shrinkable tube 3 which is capable of wrapping the lead wire covering 3 and the temperature fuse conductor terminal 9 The first protective layer 13a formed by inserting the lead wires 13 and heat-shrinking the lead wires 1 and the lead wires 1 connected to both sides of the thermal fuse 7 in the same direction, The stainless steel pipe 17 inserted outside the first protective layer 13a and the outer surface of the first protective layer 13a exposed outside the thermal fuse 7, the stainless pipe 17 and the stainless pipe 17 And a second protective layer 19a formed by inserting a second fluororesin shrinkable tube 19 into the first fluororesin shrinkable tube 19 and then shrinking the second protective layer 19a.

도 10 및 도 11을 참조하면 알 수 있는 바와 같이, 상기 온도퓨즈(7)와 리드와이어(1)가 내장된 온도퓨즈 조립체(25)는 용기(59) 상부에 결합 된 헤드(41)의 온도퓨즈 설치관(43)을 통해 내부로 진입한다.
10 and 11, the thermal fuse assembly 25 in which the thermal fuse 7 and the lead wire 1 are embedded has the temperature of the head 41 coupled to the upper portion of the container 59, And enters the inside through the fuse installing pipe 43.

본 발명에 의하면, 상기 스테인레스관(17)에 의하여, 온도퓨즈 조립체(25)의 용기 결합부가 형태적 변형 없이 온도퓨즈 설치관(43)의 내부 중공과 일치하는 원형 단면 형상을 장시간 유지하여 인라인 히터를 장시간 연속으로 사용하는 경우에도 온도퓨즈 조립체(25)와 온도퓨즈 설치관(43) 사이에서 약품이 누설되지 않는다.
According to the present invention, the stainless steel pipe (17) maintains the circular cross-sectional shape of the thermal fuse assembly (25) coinciding with the inner hollow of the thermal fuse installation pipe (43) The medicine is not leaked between the thermal fuse assembly 25 and the thermal fuse installation pipe 43 even when the thermal fuse assembly 25 is used continuously for a long time.

본 발명의 다른 특징은 도 9에 도시된 바와 같이, 열수축튜브에 의한 보호층을 다층 구조로 형성하여, 리드와이어 도체(5)와 온도퓨즈 도체단자(9)를 연결하는 접속단자(11) 부근에 약품이 침투하는 것을 예방한 데 있다.
9, a protection layer made of a heat-shrinkable tube is formed to have a multilayer structure, and the vicinity of the connection terminal 11 connecting the lead wire conductor 5 and the thermal fuse conductor terminal 9 To prevent chemicals from penetrating into the body.

도 2 내지 도 9을 참조하여 본 발명에 따른 인라인 히터의 온도퓨즈 조립체 및 그 제조 방법을 살펴 본다.
2 to 9, a thermal fuse assembly for an in-line heater according to the present invention and a method for manufacturing the same will be described.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명은 상기 리드와이어(1)의 선단 피복을 제거하고 노출시킨 도체(5)와 온도퓨즈 도체단자(9)를 접속단자(11)에 의하여 연결한다.상기 접합부(11)에서 상기 리드와이어의 도체(5)와 상기 온도퓨즈 도체단자(9)를 실버 브레이징(silver brazing)이나 납 솔더링에 의하여 접합할 경우, 온도퓨즈가 작동하여 내부 전기 회로가 열릴 수 있으므로 별도의 중공형 접속단자(11)에 의하여 전기적으로 연결하는 것이다.
2, the present invention removes the end cover of the lead wire 1 and connects the exposed conductor 5 and the thermal fuse conductor terminal 9 with the connection terminal 11. [ When the conductor 5 of the lead wire and the thermal fuse conductor terminal 9 are jointed by silver brazing or lead soldering in the case 11 in which the thermal fuse is operated to open the internal electric circuit, The hollow connection terminal 11 of the first embodiment is electrically connected.

도 2, 도 3 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명은 상기 온도센서 도체단자(9)와, 상기 접합부(11)와, 상기 리드와이어(1)의 노출된 도체(5)와, 상기 리드와이어(1)의 노출된 도체(5)에 인접한 리드와이어 피복(3)를 감쌀 수 있는 제1불소수지수축튜브(13)를 이들 외부에 삽입한 후 열수축시켜 제1보호층(13a)을 형성한다. 도 2는 상기 접합부(11)와, 상기 리드와이어(1)의 노출된 도체(5)와, 상기 리드와이어(1)의 노출된 도체(5)에 인접한 리드와이어 피복(3)과, 상기 온도퓨즈 도체단자(9) 외부에 제1불소수지수축튜브(13)를 삽입한 것을 보여 주고, 도 3은 상기 제1불소수지수축튜브(13)에 열을 가하여 수축시킨 상태를 보여준다. 본 발명에서 불소수지수축튜브는 열가소성의 불소수지를 관형 부재로 형성한 후, 관형 부재의 열가소성 불소수지를 전자 빔 조사 등으로 가교 처리해 교차결합하고, 연화점(soften point)의 온도로 가열한 상태에서 관형 부재를 신장(stretching)한 후, 신장된 관형 부재를 실내 온도로 냉각시켜 그 신장된 형태가 지속되게 함으로써 만들어진다. 이렇게 만들어진 불소수지수축튜브는 적절한 열을 가하면 다시 수축하여 열경화성 수지의 성질을 나타낸다.
2, 3 and 9, the present invention is characterized in that the temperature sensor conductor terminal 9, the bonding portion 11, the exposed conductor 5 of the lead wire 1, The first fluorocarbon resin shrinkable tube 13 which can wrap the lead wire cloth 3 adjacent to the exposed conductor 5 of the lead wire 1 is inserted into the outside and then shrunk to form the first protective layer 13a . FIG. 2 is a cross-sectional view showing the bonding portion 11, the exposed conductor 5 of the lead wire 1, the lead wire cover 3 adjacent to the exposed conductor 5 of the lead wire 1, FIG. 3 shows a state in which the first fluororesin shrinkable tube 13 is heated and contracted by inserting the first fluororesin shrinkable tube 13 outside the fuse conductor terminal 9. In the present invention, a fluororesin shrinkable tube is obtained by forming a thermoplastic fluororesin in the form of a tubular member, cross-linking the thermoplastic fluororesin of the tubular member by cross-linking with electron beam irradiation or the like, heating it at a soften point temperature Stretching the tubular member and then cooling the elongated tubular member to room temperature to maintain its elongated shape. The fluororesin shrinkable tube thus formed shrinks again upon application of appropriate heat to show the properties of the thermosetting resin.

상기 제1불소수지수축튜브(13)는 FEP(Perfluoroethylenepropylene)수축튜브인 것이 바람직하다. FEP(Perfluoroethylenepropylene)수축튜브는 열수축되면 밀폐성이 매우 좋으며 열경화성 성질을 가져 고온에서도 형태가 변하지 않고 열파괴되지 않는다.
The first fluororesin shrinkable tube 13 is preferably a FEP (Perfluoroethylenepropylene) shrinkable tube. FEP (Perfluoroethylenepropylene) shrinkable tube is very tightly sealed when heat shrinked, and has a thermosetting property, so that the shape does not change even at high temperatures and is not thermally broken.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명은 상기 접합부(11)와, 상기 리드와이어(1)의 노출된 도체(5)와, 상기 리드와이어(1)의 노출된 도체(5)에 인접한 리드와이어 피복(3)과, 상기 온도퓨즈 도체단자(9) 외부에 제1보호층(13a)을 형성한 후, 온도퓨즈 도체단자(9) 중 하나를 절곡하여, 상기 온도퓨즈(7) 양측에 연결된 리드와이어(1)를 동일한 방향으로 진행하도록 한다.
4, the present invention is characterized in that the bonding portion 11, the exposed conductor 5 of the lead wire 1, the lead wire 1 adjacent to the exposed conductor 5 of the lead wire 1, One of the thermal fuse conductor terminals 9 is bent after the first protective layer 13a is formed on the outer surface of the thermal fuse conductor terminal 9 so as to be connected to both sides of the thermal fuse 7 The lead wire 1 is moved in the same direction.

도 5, 도 6 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명은 절곡된 온도퓨즈 도체단자(9)에 연결된 리드와이어(1)와, 절곡되지 않은 온도퓨즈 도체단자(9)와, 절곡되지 않은 온도퓨즈 도체단자(9)에 연결된 리드와이어(1)의 외측에 밀폐보강 수축튜브(15)를 더 삽입하고, 이를 열수축시켜 밀폐보강층(15a)을 더 형성할 수 있다. 밀폐보강층(15a)은 양측 리드와이어(1)를 근접시켜 정렬시키고, 리드와이어 도체(5)나 접합부(11)에 약품이 유입되는 것을 확실하게 차단하기 위하여 필요하다.
As shown in Figs. 5, 6 and 9, the present invention comprises a lead wire 1 connected to a bent thermal fuse conductor terminal 9, an unfolded thermal fuse conductor terminal 9, The sealing reinforcing layer 15a can be further formed by further inserting the sealed reinforcing shrink tube 15 on the outer side of the lead wire 1 connected to the thermal fuse conductor terminal 9 and thermally shrinking it. The sealing reinforcing layer 15a is necessary for aligning the two lead wires 1 in close proximity to each other and reliably shielding the lead wire conductors 5 and the joining portions 11 from the inflow of the chemicals.

도 7 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명은 상기 온도퓨즈(7) 양측에 연결된 리드와이어(1)가 동일한 방향으로 진행하도록 온도퓨즈 도체(9) 중 하나를 절곡한 상태에서 상기 온도퓨즈(7) 양측에 연결된 리드와이어(1)의 제1보호층(13a) 외부에 스테인레스관(17)을 삽입한다. 이때 스테인리스관(17)은 온도퓨즈(7)는 감싸지 않는다. 도 1 또는 도 10에서 관통 너트(31)의 내부 중공부나 온도퓨즈 설치관(43)은 일반적으로 원통형으로 형성되므로, 여기에 체결되는 온도퓨즈 조립체(25)에 포함되는 상기 스테인레스관(17)의 외형 단면(斷面)도 원형으로 형성한다. 상기 스테인레스관(17)은, 상기 온도퓨즈 조립체(25)의 외형이 형태적 변형 없이 온도퓨즈 설치관의 내부 중공과 일치하는 원형 단면 형상을 장시간 유지할 수 있게 하여, 인라인 히터를 장시간 연속으로 사용할 경우에도 온도퓨즈 조립체(25)와 온도퓨즈 설치관(43) 사이에서 약품이 누설되지 않게 해 준다.
7 and 9, the present invention is characterized in that in the state where one of the thermal fuse conductors 9 is bent such that the lead wires 1 connected to both sides of the thermal fuse 7 proceed in the same direction, The stainless steel pipe 17 is inserted into the outside of the first protective layer 13a of the lead wire 1 connected to both sides of the first protective layer 13a. At this time, the stainless steel pipe 17 does not wrap the thermal fuse 7. 1 or 10, since the inner hollow portion of the penetrating nut 31 or the thermal fuse installation pipe 43 is generally formed in a cylindrical shape, the temperature of the stainless pipe 17 included in the thermal fuse assembly 25, The outer cross section is also formed in a circular shape. The stainless steel pipe 17 can maintain the circular cross-sectional shape of the thermal fuse assembly 25 conforming to the inner hollow of the thermal fuse installation pipe for a long period of time without morphological deformation. Thus, when the inline heater is used continuously for a long time Thereby preventing the leakage of the medicine between the thermal fuse assembly 25 and the thermal fuse installation pipe 43.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명은 상기 온도퓨즈(7), 스테인레스관(17) 및 상기 스테인레스관(17) 밖에 노출된 상기 제1보호층(13a)의 외부에, 제2불소수지수축튜브(19)를 삽입한 후 열수축시켜 제2보호층(19a)을 형성한다. 상기 제2불소수지수축튜브(19)는 상기 온도퓨즈(7)와, 온도퓨즈 도체단자(9)와, 스테인레스관(17)과, 양측 리드와이어(1)를 모두 감싸 수용할 수 있게 하단이 막힌 포켓 형상의 수축튜브인것이 바람직하다. 제2불소수지수축튜브(19)가 포켓 형상을 가짐으로써, 상기 온도퓨즈(7)와, 온도퓨즈 도체단자(9)와, 스테인레스관(17)과, 양측 리드와이어(1)에 대한 약품 침입을 효과적으로 차단할 수 있다. 상기 제2불소수지수축튜브(19)는 내면이 열가소성 FEP(Perfluoro ethylenepropylene)층(21)이고 외면이 열수축성 PTFE(Polytetrafluoroethylene)층(23)인 이중수축튜브인 것이 바람직하다. 제2불소수지수축튜브(19)에 열을 가할 경우, 외측의 열수축성 PTFE층(23)은 내측으로 줄어들고, 내측 FEP층(21)은 겔상태로 녹아 내부의 모든 틈을 메운다. 또한, 이때 형성되는 제2보호층(19a)의 외측 단면은 스테인레스관(17)에 의하여 왜곡 없이 정형성(正形性) 또는 정원성(正圓性)을 갖게 된다.
8 and 9, the present invention is characterized in that on the outside of the thermal protection fuse 7, the stainless pipe 17 and the first protective layer 13a exposed outside the stainless pipe 17, The fluororesin shrinkable tube 19 is inserted and heat shrinked to form the second protective layer 19a. The second fluorocarbon resin shrinkable tube 19 has a lower end so as to enclose both the thermal fuse 7, the thermal fuse conductor terminal 9, the stainless pipe 17 and the two side lead wires 1 It is preferable that the tube is a shrinkable tube having a closed pocket shape. The second fluororesin shrinkable tube 19 has a pocket shape so that the thermal fuse 7, the thermal fuse conductor terminal 9, the stainless pipe 17, Can be effectively blocked. It is preferable that the second fluororesin shrink tube 19 is a double shrink tube whose inner surface is a thermoplastic FEP (Perfluoro ethylenepropylene) layer 21 and the outer surface is a heat shrinkable PTFE (Polytetrafluoroethylene) layer 23. When heat is applied to the second fluororesin shrink tube 19, the outer heat-shrinkable PTFE layer 23 shrinks inward and the inner FEP layer 21 melts in a gel state to fill all the gaps therein. The outer end surface of the second protective layer 19a formed at this time is formed of stainless steel tube 17 without distortion and has a regular or square shape.

도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 이렇게 완성된 온도퓨즈 조립체(25)는 온도퓨즈 설치관(43)에 관통 너트(31)에 의하여 긴밀히 조립된다. 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 온도퓨즈 설치관(43)의 중심에는 원형 단면의 중공부(49)가 형성되고, 중공부(49) 상단에는 하방으로 갈수록 좁아지는 테이퍼(47)가 형성된다. 또한, 상기 온도퓨즈 설치관(43) 상부 외측에는 수나사(45)가 형성된다. 상기 관통 너트(31) 중심에는 중공부(39)가 형성되며, 중공부(39)의 하부에는 상기 온도퓨즈 설치관(43)의 수나사(45) 체결되는 암나사(33)가 형성되고, 암나사(33) 상부에는 상방으로 갈수록 좁아지는 테이퍼 중공(35)이 형성되며, 테이퍼 중공(35) 상부에는 직관 중공(37)이 형성된다. 상기 온도퓨즈 조립체(25) 외측에는 상기 관통 너트(31)의 테이퍼 중공(35)에 결합되도록 상방으로 갈수록 좁아지는 그립(31)과, 상기 온도퓨즈 설치관(43)에 조립되도록 하방으로 갈수록 좁아지는 테이퍼가 형성된 훼럴(27)이 마련된다. 도 11에 도시된 바와 같이, 온도퓨즈 설치관(43)의 중공부(49)와, 상기 관통 너트(31)의 중공부(39)에 온도퓨즈 조립체(25)를 삽입하고, 상기 관통 너트(31)의 암나사(33)와 상기 온도퓨즈 설치관(43)의 수나사(45)를 긴밀히 체결하면, 상기 그립(31)과 상기 훼럴(27)은 아래 방향으로 밀리면서 온도퓨즈 조립체(25) 외면을 강하게 압박한다. 이때, 상기 온도퓨즈 조립체(25)의 외면은 강도와 경도 큰 스테인레스관에 의하여 지지되고, 정형성(正形性) 또는 정원성(正圓性)을 가지므로, 온도퓨즈 설치관(43)과 훼럴(27) 외면간 및 온도퓨즈 조립체(25)와 훼럴(27) 내면간에 긴밀한 밀폐 구조가 형성되어 약품의 누설이 확실히 차단 된다.
As shown in FIGS. 10 and 11, the completed thermal fuse assembly 25 is tightly assembled to the thermal fuse installation pipe 43 by the penetrating nut 31. 10, a circular cross-section hollow portion 49 is formed at the center of the thermal fuse installation pipe 43 and a taper 47 is formed at the upper end of the hollow portion 49 so as to be narrowed downward . A male screw 45 is formed on the outer side of the thermal fuse installation pipe 43. A hollow portion 39 is formed at the center of the penetrating nut 31 and a female screw 33 for fastening the male screw 45 of the thermal fuse mounting pipe 43 is formed at a lower portion of the hollow portion 39, A tapered hollow 35 is formed at an upper portion of the tapered hollow 35 and an intruded hollow 37 is formed at an upper portion of the hollow 35. A grip 31 that is narrowed downward to be coupled to the tapered hollow 35 of the penetrating nut 31 is formed on the outer side of the thermal fuse assembly 25, A barrel 27 having a tapered lug is provided. The thermal fuse assembly 25 is inserted into the hollow portion 49 of the thermal fuse installation pipe 43 and the hollow portion 39 of the penetration nut 31 as shown in Fig. The grip 31 and the ferule 27 are pushed downward so that the outer surface of the thermal fuse assembly 25 is pressed against the outer surface of the thermal fuse assembly 25 by tightly tightening the female screw 33 of the thermal fuse assembly 31 and the male screw 45 of the thermal fuse installation pipe 43. [ . At this time, the outer surface of the thermal fuse assembly 25 is supported by a stainless steel tube having a large strength and a hardness, and has a regular shape or a square shape. Therefore, the thermal fuse assembly 25, A tight sealing structure is formed between the outer surface of the thermal fuse assembly 27 and the inner surface of the thermal fuse assembly 25 and the inner surface of the ferrule 27 to reliably prevent the leakage of the medicine.

게다가, 본 발명에 의하면, 온도퓨즈 도체단자(9)와 리드와이어(1)를 모두 제1불소수지수축튜브(13)에 의하여 감싸 제1보호층(13a)을 형성하고, 온도퓨즈(7)와, 온도퓨즈 도체단자(9)와, 스테인레스관(17)과, 양측 리드와이어(1)를 다시 열가소성 FEP층(21)의 내피와 열수축성PTFE층(23)의 외피로 된 이중의 포켓형 제2불소수지수축튜브(19)로 감싸 제2보호층(19a)을 형성함으로써, 제1보호층(13a)과 리드와이어 도체(5) 및 온도퓨즈 도체단자(9)가 중간에 기포나 공극 없이 긴밀하게 부착되고, 제2보호층(19a)도 제2불소수지수축튜브(19) 내면의 열가소성 FEP층(21)이 용융되어 내부 공간을 충전하면서 긴밀한 접착기능을 하므로, 약품이 도체(5) 및 접합부(11)에 침입하기 어렵고, 약품이 과열되는 경우에도 온도퓨즈 조립체(25) 피복이 쉽게 손상되지 않아, 도체의 부식 침출이 발생하지 않는다.
According to the present invention, both the thermal fuse conductor terminal 9 and the lead wire 1 are covered with the first fluorine resin shrink tube 13 to form the first protective layer 13a, The thermos fuse conductor terminal 9 and the stainless steel pipe 17 and the lead wires 1 on both sides of the thermosetting FEP layer 21 and the heat shrinkable PTFE layer 23, 2 fluoropolymer shrink tube 19 to form the second protective layer 19a so that the first protective layer 13a and the lead wire conductor 5 and the thermal fuse conductor terminal 9 are free from voids or voids The thermoplastic FEP layer 21 on the inner surface of the second fluororesin shrinkable tube 19 is melted and adheres tightly while filling the inner space. And the junction 11, and the coating of the thermal fuse assembly 25 is not easily damaged even when the chemical is overheated, so that the corrosion leaching of the conductor It does not occur.

1 : 리드와이어 3 : 리드와이어 피복
5 : 리드와이어 도체 7 : 온도퓨즈
9 : 온도퓨즈 도체단자 11 : 접속단자
13 : 제1불소수지수축튜브 13a : 제1보호층
15 : 밀폐보강수축튜브 15a : 밀폐보강층
17 : 스테인레스관 19 : 제2불소수지수축튜브
19a : 제2보호층 21 : FEP층
23 : PTFE층 25 : 온도퓨즈 조립체
27 : 훼럴 29 : 그립
31 : 관통너트 33 : 암나사
35 : 나팔중공 37 : 직관중공
39 : 중공부 41 : 헤드
43 : 온도퓨즈 설치관 45 : 수나사
47 : 테이퍼 49 : 중공부
51 : 약품주입관 53 : 약품배출관
55 : 이음관 57 : 약품이송관
59 : 용기 61 : 전열선
63a, 63b : 전력선 1: Lead wire 3: Lead wire cloth
5: Lead wire conductor 7: Thermal fuse
9: Thermal fuse conductor terminal 11: Connection terminal
13: first fluororesin shrinkable tube 13a: first protective layer
15: sealed reinforced shrink tube 15a: sealed reinforced layer
17: Stainless steel tube 19: Second fluororesin shrink tube
19a: second protective layer 21: FEP layer
23: PTFE layer 25: thermal fuse assembly
27: Feral 29: Grip
31: Through nut 33: Female thread
35: Trump Hollow 37: Straight Hollow
39: hollow part 41: head
43: Thermal fuse installation tube 45: Male thread
47: taper 49: hollow
51: drug injection tube 53: drug discharge tube
55: joint pipe 57:
59: vessel 61:
63a, 63b: Power line

Claims

A junction portion 11 connected to each of the conductor terminals 9 on both sides of the thermal fuse 7 with the conductor 5 exposed by removing the coating of the lead wire 1;
The lead wires 1 and the lead wires 1 and the lead wires 1 and the lead wires 1 are electrically connected to each other through the bonding portion 11 on both sides of the thermal fuse 7 and the exposed conductors 5 of the lead wires 1, A first protective layer 13a formed by inserting a first fluorine resin shrinkable tube 13 which can cover both of them at the thermal fuse conductor terminal 9 and then heat shrinking;
The lead wires 1 connected to both sides of the thermal fuse 7 are bent in the state where one of the thermal fuse conductors 9 is bent such that the lead wires 1 connected to both sides of the thermal fuse 7 move in the same direction, A stainless pipe 17 inserted outside the protective layer 13a;
A second fluororesin shrink tube 19 is inserted into the outside of the thermal fuse 7, the stainless pipe 17 and the first protective layer 13a exposed outside the stainless pipe 17, And a second protective layer (19a).

The method according to claim 1,
The second fluororesin shrink tube 19 is a thermoplastic FEP layer 21 on the inner surface and a polytetrafluoroethylene (PTFE) layer 25 on the outer surface of the second fluororesin shrinkable tube 19. The first fluororesin shrinkable tube 13 is an FEP (Perfluoroethylenepropylene) And is a pouch-shaped double shrink tube which is closed at its lower end so as to enclose both the thermal fuse 7, the thermal fuse conductor terminal 9, the stainless pipe 17 and the both-side lead wires 1 Wherein the thermal fuse assembly is an inline heater.