KR101450033B1

KR101450033B1 - Preliminary dispensing apparatus of slit coater

Info

Publication number: KR101450033B1
Application number: KR1020070123163A
Authority: KR
Inventors: 김종길; 장범권; 이동성
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2007-11-30
Filing date: 2007-11-30
Publication date: 2014-10-13
Also published as: KR20090056136A

Abstract

본 발명은 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것으로, 슬릿노즐의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동가능한 접속면을 제공하는 받침판; 상기 받침판 상면측으로 세정액을 분사하는 세정액분사노즐; 상기 받침판 상면에 접속된 채로 왕복이동하며 세정액을 닦아내는 와이퍼; 및 상기 받침판의 상면으로부터 흘러내리는 세정액을 수용가능한 공간부를 구비하여 상기 받침판 하측에 설치되는 수용조;를 포함하여 구성됨을 기술적 요지로 하여, 슬릿노즐의 예비토출이 이루어짐에 있어서 보다 간단한 구조로써 구현가능하며, 세정액의 지속적인 교체처리가 이루어질 필요가 없어 유지`관리 또한 용이하게 이루어질 수 있는 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a preliminary ejecting apparatus for a slit coater, comprising: a supporting plate for providing a connecting surface which is linearly movable in a state where a discharge end of the slit nozzle is connected; A cleaning liquid spray nozzle for spraying a cleaning liquid onto the upper surface of the support plate; A wiper that reciprocates while being connected to the upper surface of the support plate and wipes the cleaning liquid; And a receiving space provided below the receiving plate, the receiving space having a space capable of receiving a cleaning liquid flowing down from the upper surface of the receiving plate. The present invention can be implemented with a simpler structure in the preliminary discharging of the slit nozzle The present invention relates to a preliminary ejection apparatus for a slit coater which can easily perform maintenance without requiring continuous replacement of a cleaning liquid.

슬릿코터 노즐 예비토출 평판 와이퍼 세정액 Slit Coater Nozzle Pre-Discharge Flat Wiper Cleaning Fluid

Description

Technical Field [0001] The present invention relates to a preliminary dispensing apparatus for slit coater,

본 발명은 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 슬릿코터을 이용하여 도포하기 직전에 슬릿코터의 토출단부에 괴어있던 도포액을 예비토출시키는 데 사용되는 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a preliminary ejecting apparatus for a slit coater, and more particularly to a preliminary ejecting apparatus for a slit coater used for preliminarily ejecting a coating liquid, which has been accumulated at a discharge end of a slit coater immediately before application using a slit coater will be.

슬릿코터는 슬릿노즐을 이용하여 평판형의 기판에 도포액을 도포하는 장치로, 슬릿노즐 토출단부에 위치하는 도포액은 슬릿노즐을 이용한 도포공정 사이의 대기시간 동안 공기와의 접촉에 의해 농도가 보다 상승하게 되는데, 그대로 다음 도포공정으로 도입되어 기판에 도포액을 공급하게 되면, 도포액의 농도 및 도포막의 두께가 균일하지 못하여 불량이 발생하게 된다.The slit coater is a device for applying a coating liquid to a flat plate-shaped substrate using a slit nozzle. The coating liquid located at the slit nozzle discharge end has a concentration If the coating liquid is supplied to the substrate by the next coating process as it is, the concentration of the coating liquid and the thickness of the coating film are not uniform, resulting in defects.

종래에는 이러한 원인으로 인한 도포막의 불량을 방지하기 위하여, 슬릿노즐에 접속된 상태로 롤러를 회전시킴으로써 도포 직전에 슬릿노즐 내에 괴어있는 도포액을 버리는 예비토출을 행하고 롤러를 세정액으로 세정시키는 작동구조를 가지는 예비토출장치 다수가 개시되어 있다.Conventionally, in order to prevent the coating film from being defective due to such a cause, a roller is rotated in a state connected to a slit nozzle to perform preliminary ejection in which the coating liquid entangled in the slit nozzle is removed immediately before coating, and the roller is cleaned with a cleaning liquid A plurality of preliminary ejection apparatuses having a plurality of preliminary ejection apparatuses are disclosed.

이러한 예비토출장치로써 대한민국특허청 공개특허공보 제2004-41012호의 슬 릿 코팅기의 예비 토출장치에 대해 간단히 설명하기로 한다. 도 1은 상기 종래기술의 구조를 도시한 개략도이다.As a preliminary ejection apparatus, a preliminary ejection apparatus of a slit coater of Korean Patent Application Publication No. 2004-41012 will be briefly described. 1 is a schematic view showing the structure of the prior art.

상기 종래기술은 세척액을 보유하는 세척조(11)와, 상기 세척조(11) 내에 배치되어 토출노즐(9)로부터 도포액을 표면에 부착시켜 제거하는 회전롤러(12)와, 상기 회전롤러(12)의 표면을 향해 세척액을 분출하는 샤워노즐(15, 18, 21)과, 회전롤러의 표면에 건조가스를 분출하는 가스분출노즐(16)과, 회전롤러의 표면에 부착되어 있는 도포액을 긁어서 떨어뜨리는 스퀴즈(17, 20)와, 상기 세척조(11) 내에서 상기 회전롤러(12)에 접촉하는 브러쉬롤러(19)를 구비한 구조를 가진다.The prior art includes a cleaning tank 11 having a cleaning liquid, a rotary roller 12 disposed in the cleaning tank 11 to remove the coating liquid from the discharge nozzle 9 by attaching the coating liquid to the surface, A shower nozzle (15, 18, 21) for spraying the cleaning liquid toward the surface of the rotary roller, a gas jet nozzle (16) for spraying dry gas onto the surface of the rotary roller, and a coating liquid adhering to the surface of the rotary roller And a brush roller 19 contacting the rotating roller 12 in the washing tub 11 as shown in FIG.

종래에는 상기와 같이 회전롤러(12)상에의 도포액의 예비토출과 상기 회전롤러(12)의 세척이 동시에 지속적으로 이루어지도록 하기 위해서, 상기 회전롤러(12)의 명확한 세척을 위해 세척조(11), 다수의 샤워노즐(15, 18, 21) 및 스퀴즈(17, 20), 가스분출노즐(16), 브러쉬롤러(19)를 구비한 복잡한 구조를 가짐에 따라 예비토출장치의 제작에 고가의 비용이 소요되었다.In order to ensure that the preliminary discharge of the coating liquid on the rotary roller 12 and the cleaning of the rotary roller 12 are continuously performed at the same time, ), A large number of shower nozzles (15, 18, 21) and squeezes (17, 20), a gas jet nozzle (16), and a brush roller (19) It was costly.

또한, 상기 구성요소 중 하나의 구성요소라도 손상되거나 기능이 원활하지 못하면 예비토출 및 세척기능이 제대로 이루어질 수 없어 큰 손실이 발생하게 되므로, 사용자가 다수의 구성요소 전부를 유지`관리하는 데 노력을 기울여야 하는 불편함이 있었다.In addition, if one of the components is damaged or the function is not smooth, the preliminary ejection and cleaning function can not be performed properly, and a large loss occurs. Therefore, the user must make efforts to maintain all the components There was an inconvenience to tilt.

그리고, 상기 세척조(11)내로 도입되는 도포액이 많아질수록 상기 세척조(11)내에 수용된 세정액의 오염이 가중되는데, 상기 세척조(11)내에 수용된 세정액의 오염정도에 따라 세정성능 또한 차이가 발생하게 되며, 세정액이 지정농도 이 상으로 오염되면 상기 회전롤러(12)의 세척이 제대로 이루어질 수 없어 세정액을 정기적으로 공급 및 교체 처리시켜 주어야 하는데 그때마다 상기 세척조(11) 내에 수용된 세정액의 전체의 교체가 이루어져야 함에 따른 비용부담 또한 크다는 문제점이 있었다.As the amount of the coating liquid introduced into the washing tank 11 increases, the contamination of the washing liquid contained in the washing tub 11 is increased. In addition, the washing performance varies depending on the degree of contamination of the washing liquid contained in the washing tub 11 If the cleaning liquid is contaminated with the designated concentration, the cleaning roller 12 may not be cleaned properly, and the cleaning liquid should be periodically supplied and replaced. In this case, the entire replacement of the cleaning liquid contained in the cleaning tank 11 There is a problem in that a cost burden is large.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 슬릿노즐의 예비토출이 이루어짐에 있어서 보다 간단한 구조로써 구현가능하며, 세정액의 지속적인 교체처리가 이루어질 필요가 없어 유지 관리 또한 용이하게 이루어질 수 있는 슬릿코터의 예비토출장치를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a slit nozzle that can be realized with a simpler structure in preliminary discharge of slit nozzles, It is an object of the present invention to provide a preliminary ejecting apparatus for a slit coater.

상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 발명은, 슬릿노즐의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동가능한 접속면을 제공하는 받침판; 상기 받침판 상면측으로 세정액을 분사하는 세정액분사노즐; 상기 받침판 상면에 접속된 채로 왕복이동하며 세정액을 닦아내는 와이퍼; 상기 받침판의 상면으로부터 흘러내리는 세정액을 수용가능한 공간부를 구비하여 상기 받침판 하측에 설치되는 수용조;를 포함하여 구성되는 슬릿코터의 예비토출장치를 기술직 요지로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a slit nozzle comprising: a support plate for providing a connection surface that is linearly movable in a state where a discharge end of a slit nozzle is connected; A cleaning liquid spray nozzle for spraying a cleaning liquid onto the upper surface of the support plate; A wiper that reciprocates while being connected to the upper surface of the support plate and wipes the cleaning liquid; And a receiving vessel provided below the receiving plate, the receiving vessel having a space portion capable of receiving a washing liquid flowing down from the upper surface of the receiving plate.

여기서, 상기 받침판의 측면에는 상기 와이퍼의 진행방향을 따라 연장형성되며 하측으로 경사진 형상의 골이 형성되어 있는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the side surface of the receiving plate is formed with a tapered shape extending along the traveling direction of the wiper and inclined downward.

그리고, 상기 받침판의 측면에는 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상의 골이 형성되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the side surface of the receiving plate is formed with a trough having a shape that becomes narrower toward the lower side.

또한, 상기 세정액분사노즐은, 상기 와이퍼의 진행방향의 전방부에 결합되어 상기 와이퍼와 함께 이동되는 것이 바람직하다.Preferably, the cleaning liquid injection nozzle is coupled to the front portion of the wiper in the advancing direction and moves together with the wiper.

그리고, 상기 와이퍼는, 상기 받침판 상면을 가로방향으로 가로지르도록 연 장형성되어 상기 받침판의 상면에 접속되는 세정부; 상기 세정부의 양단부에 결합되며, 상기 세정부가 일정한 이동경로로 이동가능하도록 지정경로를 따라 연장형성된 레일상에 하단부가 결합되는 이동지지부;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The wiper may include a cleaning part formed to extend transversely across the upper surface of the receiving plate and connected to the upper surface of the receiving plate; And a moving support unit coupled to both ends of the cleaning unit and coupled to a lower end of the rail extending along a designated path so that the cleaning unit can move along a predetermined movement path.

또한, 상기 와이퍼는, 상기 와이퍼의 진행방향과 사선을 이루도록 연장형성되는 것이 바람직하다.Preferably, the wiper is formed so as to extend obliquely to the advancing direction of the wiper.

그리고, 상기 수용조는, 내부에 수용된 세정액이 배출되는 배출공이 하단부에 형성되며, 하단부가 상기 배출공 측으로 갈수록 하향경사진 형상을 가지는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the receiving chamber has a discharge hole through which the cleaning liquid contained therein is discharged, and a lower end portion thereof has a downwardly inclined shape toward the discharge hole.

또한, 세정액의 휘발공기를 흡입하여 배기시키는 배기모듈;을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.And an exhaust module for sucking and exhausting the volatile air of the cleaning liquid.

여기서, 상기 배기모듈은, 유해가스를 흡입하여 외부로 배기하는 배기포트; 상기 배기포트측으로 공기흐름을 유도하도록 공기를 분사하는 송풍포트;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.Here, the exhaust module may include an exhaust port for sucking noxious gas and exhausting the noxious gas to the outside; And an air blow port for blowing air to induce an air flow toward the exhaust port side.

상술한 바와 같은 구성에 의한 본 발명은, 받침판, 세정액분사노즐, 와이퍼, 수용조로 이루어진 간단한 구조로써 노즐의 예비토출이 연속적, 반복적으로 이루어질 수 있도록 함으로써, 예비토출장치의 제작원가를 낮출 수 있을 뿐 아니라, 장치 자체의 유지 및 관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to reduce the manufacturing cost of the preliminary ejection apparatus by making the preliminary ejection of nozzles continuously and repetitively with a simple structure composed of a base plate, a cleaning liquid injection nozzle, a wiper, However, there is an effect that maintenance and management of the device itself can be easily performed.

또한, 노즐을 받침판 상면에 인접하게 위치시킨 상태에서 노즐의 위치를 이 동조정시킴으로써 노즐의 예비토출이 명확하게 이루어질 수 있으며, 받침판 상면에 세정액을 분사하고 와이퍼로 닦아냄으로써 받침판 상면을 예비토출이 이루어지기 전과 동일한 초기상태로 되돌릴 수 있다는 다른 효과가 있다.Further, by preliminarily discharging the nozzles by adjusting the positions of the nozzles while the nozzles are positioned adjacent to the upper surface of the supporting plate, the cleaning liquid is sprayed onto the upper surface of the supporting plate and wiped with a wiper to preliminarily discharge the upper surface of the supporting plate There is another effect that it can be restored to the same initial state as before the holding.

그리고, 와이퍼에 의해 밀려난 세정액 및 도포액을 수용조에 수집하여 일괄적으로 배출처리시키는 작동구조를 가짐으로써, 수용조에 수집된 세정액의 오염상태를 관리하거나 수용조 내에 수용된 세정액을 지속적으로 교체 및 공급해야하는 부담이 없으며, 세정액으로 인한 주변기기의 오염 또한 방지시킬 수 있어 유지`관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다는 다른 효과가 있다.In addition, since the cleaning liquid and the coating liquid pushed by the wiper are collected in the receiving tank and collectively discharged, the contamination state of the cleaning liquid collected in the receiving tank is controlled, or the cleaning liquid contained in the receiving tank is continuously replaced and supplied It is possible to prevent the contamination of the peripheral device due to the cleaning liquid, so that maintenance can be easily performed.

또한, 배기모듈을 구비하여, 세정액 및 도포액의 휘발로 인해 생성되는 유해가스를 장치 외부로 배기시킬 수 있어 안전한 작업환경을 조성할 수 있다는 다른 효과가 있다.Further, since the exhaust module is provided, the cleaning liquid and the noxious gas generated by the volatilization of the coating liquid can be exhausted to the outside of the apparatus, thereby providing a safe working environment.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명을 다음의 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도 2는 본 발명에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제1실시예를 도시한 정면개략도이고, 도 3은 도 2의 평면개략도이며, 도 4는 도 2의 측면개략도이고, 도 5는 받침판의 측면에 형성된 골의 다른 실시예를 도시한 측면도이다.The present invention having the above-described structure will be described in detail with reference to the following drawings. Fig. 2 is a schematic front view showing a first embodiment of a slit coater preliminary ejecting apparatus according to the present invention, Fig. 3 is a schematic plan view of Fig. 2, Fig. 4 is a side schematic view of Fig. 2, Fig. 8 is a side view showing another embodiment of the rib formed on the side surface. Fig.

본 발명에 따른 슬릿코터의 예비토출장치는 크게 받침판(100), 세정액분사노즐(200), 와이퍼(300), 수용조(400)로 이루어지며, 상기 받침판(100) 상면에 슬릿노즐(10)의 토출단부를 접속시킨 상태로 이동시키면서 예비토출이 이루어지고, 도포액이 도포된 상기 받침판(100)의 상면에 상기 세정액분사노즐(200)로 세정액을 분사하며, 상기 와이퍼(300)로 닦아내고, 상기 받침판(100)의 상면으로부터 밀려난 세정액 및 도포액은 상기 수용조(400)에 담겨지게 되는 작동구조를 가진다.The apparatus for preliminarily dispensing a slit coater according to the present invention comprises a support plate 100, a cleaning liquid injection nozzle 200, a wiper 300 and a receiving tank 400. The slit nozzle 10 is provided on the upper surface of the support plate 100, The cleaning liquid is sprayed onto the upper surface of the support plate 100 coated with the coating liquid by the cleaning liquid injection nozzle 200 and wiped with the wiper 300, The cleaning liquid and the coating liquid pushed from the upper surface of the receiving plate 100 are contained in the receiving tank 400.

상기 받침판(100)은 슬릿노즐(10)의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동가능한 접속면을 제공하는 구성요소로, 이하에서는 상기 슬릿노즐(10)이 상기 받침판(100)을 도포대상물로 하여 도포가 이루어질 수 있을 정도로 상기 받침판(100) 상면과 거리를 둔 상태를 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부와 받침판(100)이 접속된 상태라고 하기로 한다.The support plate 100 is a component that provides a connection surface that can be linearly moved in a state where the discharge end of the slit nozzle 10 is connected. Hereinafter, the slit nozzle 10 is a component to be coated with the support plate 100 It is assumed that the discharge end of the slit nozzle 10 and the support plate 100 are connected to each other with a distance from the upper surface of the support plate 100 to such an extent that application can be performed.

상기 받침판(100)은 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동될 수 있고, 상기 슬릿노즐(10)이 직선이동되는 동안 상기 받침판(100) 상면과 일정한 이격거리를 유지할 수 있도록 상면이 평탄한 형상을 가지며, 상기 슬릿노즐(10)은 상기 받침판(100)에 접속된 상태에서 이동된 변위만큼 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부측에 위치한 도포액의 예비토출이 이루어지게 된다.The support plate 100 can be linearly moved in a state where the discharge end of the slit nozzle 10 is connected and can maintain a constant distance from the upper surface of the support plate 100 while the slit nozzle 10 is linearly moved. And the slit nozzle 10 is preliminarily ejected from the discharge port of the slit nozzle 10 at a position displaced from the discharge end of the slit nozzle 10 in a state where the slit nozzle 10 is connected to the support plate 100 .

상기 슬릿노즐(10)이 상기 받침판(100)의 상면 중 일측에 치우치도록 초기위치를 가지는 상태에서 상기 슬릿노즐(10)이 예비토출을 위한 지정된 이동변위로 이동가능하도록, 상기 받침판(100)의 상면은 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출을 위한 지정된 이동변위 이상의 가로폭을 가지도록 형성된다.The slit nozzle 10 is moved to a predetermined displacement for preliminary discharge in a state where the slit nozzle 10 has an initial position so as to be offset to one side of the upper surface of the support plate 100, Is formed so as to have a width larger than a designated displacement for preliminary ejection of the slit nozzle (10).

예비토출이 이루어지면서 상기 받침판(100)의 상면에 남겨진 도포액은 상기 세정액분사노즐(200)과 와이퍼(300)(이하 설명)의 작동에 의해 세정이 이루어지게 되는데, 상기 받침판(100) 상면에 분사된 세정액은 상기 받침판(100) 상면에 토출된 도포액과 혼합된 상태로 상기 와이퍼(300)에 밀려 상기 받침판(100)의 측면을 타고 흘러내리게 된다.The coating liquid left on the upper surface of the support plate 100 is cleaned by the operation of the cleaning liquid injection nozzle 200 and the wiper 300 (to be described later). The upper surface of the support plate 100 is cleaned The sprayed cleaning liquid is pushed by the wiper 300 in a state mixed with the coating liquid discharged on the upper surface of the receiving plate 100 and flows down along the side surface of the receiving plate 100.

상기 받침판(100)의 측면이 밋밋한 수직형으로 형성되면 세정액이 상기 받침판(100)의 측면 전반에 걸쳐 불규칙적으로 흘러내리게 되는데, 상측으로부터 흘러내리는 세정액의 흐름을 일정한 형태로 이루어지도록 유도하면, 상기 받침판(100)의 세척 시 세척시켜야 할 면적이 줄어들어 세척작업이 보다 용이하게 이루어질 수 있을 뿐 아니라, 상기 세정액의 수집 및 배출처리 또한 보다 깔끔하고 명확하게 이루어질 수 있다.When the side surface of the support plate 100 is formed into a flat vertical shape, the cleaning liquid flows irregularly over the entire side surface of the support plate 100. When the flow of the cleaning liquid flowing down from the upper side is guided to have a uniform shape, The area to be cleaned during washing of the cleaning liquid 100 is reduced, so that the cleaning operation can be performed more easily. In addition, the collection and discharge of the cleaning liquid can be performed more clearly and clearly.

도 5는 상기와 같이 상기 받침판(100)의 측면을 흘러내리는 세정액의 흐름이 일정한 형태로 이루어질 수 있도록 상기 받침판(100)의 측면에 일정한 형상의 골(이하 흐름유도홈(110)이라 한다)을 형성시킨 다수의 실시예를 도시한 것이다.5 is a cross-sectional view of the bottom plate 100 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5, the bottom plate 100 has a predetermined shape (hereinafter referred to as "flow guide groove 110") on the side of the bottom plate 100 so that the flow of the washing liquid, And the like.

상기 흐름유도홈(110)이 도 4 및 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 와이퍼(300)의 진행방향을 따라 연장형성되며 일측으로 하향 경사지게 형성되면, 상측으로부터 흘러내리던 세정액이 상기 흐름유도홈(110)으로 도입이 이루어지게 되면 더이상 수직방향으로 흘러내리지 않고 상기 흐름유도홈(110)을 따라 하향 경사진 단부측으로 일정하게 그 흐름이 유도되어지게 된다.4 and 5 (a), when the flow guide groove 110 is formed to extend along the advancing direction of the wiper 300 and is inclined downwardly to one side, the cleaning liquid flowing down from the upper side flows toward the flow The flow is guided to the end side inclined downwardly along the flow guide groove 110 without flowing vertically any more when the guide groove 110 is introduced.

도 5의 (b)는 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상으로 형성된 실시예를 도시한 것으로, 상기 받침판(100) 상단 전반으로부터 흘러내리던 세정액이 상기 흐름유도홈(110)으로 도입이 이루어지게 되면서 상기 흐름유도홈(110)의 저면부를 타고 자연히 상기 흐름유도홈(110)의 좁아진 하부경로측으로 흐름이 유도되어 상기 흐름유도홈(110)의 좁은 하단부를 통해서만 일정하게 흘러내리게 된다.5 (b) shows an embodiment in which the width becomes narrower toward the lower side. As the cleaning liquid flowing down from the upper end of the bottom plate 100 is introduced into the flow guide groove 110, The flow is guided to the narrow path side of the flow guide groove 110 naturally by the bottom portion of the flow guide groove 110 and flows down only through the narrow bottom portion of the flow guide groove 110.

도 5의 (c)에 도시된 실시예는 도 5의 (a), (b)에 도시된 실시예들을 복합적용시킨 것으로 상부는 도 5의 (b)에 도시된 실시예와 같이 하측으로 갈수록 폭이 좁아지는 형상으로 형성되고, 하부는 폭이 좁아진 각각의 단부가 하나로 연결되도록 도 5의 (a)에 도시된 실시예와 같은 형상으로 형성되며, 도 5의 (d)는 도 5의 (c)와 동일한 흐름유도형태를 가지나 도포액이 유선형의 곡면을 타고 흘러내릴 수 있도록 형성시킨 실시예를 도시한 것이다.The embodiment shown in FIG. 5 (c) is a combination of the embodiments shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b) 5 (a) and 5 (d) are formed in the same shape as that of the embodiment shown in FIG. 5 (a) and FIG. 5 c), but the coating liquid is formed so as to flow down along a curved surface of a streamlined shape.

상기 받침판(100)은 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출이 이루어질 수 있는 접속면을 제공한다면, 직육면체 형상으로 형성되거나, 정단면이 하부 너비가 큰 사다리꼴로 이루어져 측면부가 경사형성되거나, 상판과 상판을 지지하는 다리부로 이루어지는 다양한 실시예들을 포함하여 어떠한 형태나 구조로 이루어져도 무방하다.The support plate 100 may be formed in a rectangular parallelepiped shape to provide a connection surface through which the slit nozzle 10 can be preliminarily ejected, or may be formed in a trapezoid shape having a large width with a bottom surface, But may be of any shape or structure including various embodiments including legs for supporting the legs.

상기 받침판(100) 상측에서 상기 슬릿노즐(10)을 이동시킴으로써 예비토출이 이루어지고 나면, 다음 예비토출이 이루어지기 이전에 상기 받침판(100) 상면에 도포된 도포액을 닦아내어 상기 받침판(100) 상면을 초기의 깔끔한 상태로 복귀시키는 받침판세정공정이 이루어지게 된다.After the preliminary ejection is performed by moving the slit nozzle 10 above the support plate 100, the coating liquid applied on the upper surface of the support plate 100 is wiped off before the next preliminary ejection, A substrate cleaning process for returning the upper surface to an initial clean state is performed.

상기 세정액분사노즐(200)은 상기 받침판(100) 상면으로부터 도포액을 씻어내기 위해 도포액을 녹여낼 수 있는 용제인 세정액을 상기 받침판(100) 상면측으로 분사하는 구성요소이며, 상기 와이퍼(300)는 상기 받침판(100) 상면에 접속된 채로 왕복이동하면서 도포액을 녹여 혼합된 상태의 세정액을 닦아내고 상기 받침판(100)의 측면부 측으로 밀어내어 상기 받침판(100)의 상면으로부터 세정액, 도포액과 같은 오염물질을 제거하는 구성요소이다.The cleaning liquid spray nozzle 200 is a component for spraying a cleaning liquid, which is a solvent capable of dissolving a coating liquid, from the upper surface of the support plate 100 to the upper surface of the support plate 100. The wiper 300, The cleaning liquid is dissolved from the upper surface of the support plate 100 by sliding the cleaning liquid on the side surface of the support plate 100 and wiping off the cleaning liquid from the upper surface of the support plate 100, It is a component that removes matter.

상기 세정액분사노즐(200)은 상기 와이퍼(300)와 별도로 제작되어 상기 와이퍼(300)와 독립적으로 이동되며 세정액을 분사시킬 수도 있으며, 상기 와이퍼(300)의 진행방향의 전방부에 결합되어 상기 와이퍼(300)와 함께 이동되면서 세정액을 분사시킬 수도 있고, 상기 와이퍼(300)에 결합됨에 있어서는 상기 와이퍼(300)의 왕복이동을 고려하여 상기 와이퍼(300)의 전방부 및 후방부 양측에 결합될 수도 있다.The cleaning liquid spray nozzle 200 may be separately formed from the wiper 300 and may be independently moved with respect to the wiper 300 to spray the cleaning liquid. The cleaning liquid spray nozzle 200 may be coupled to the front portion of the wiper 300 in the advancing direction, When the wiper 300 is coupled to the wiper 300, the wiper 300 may be coupled to both the front portion and the rear portion of the wiper 300 in consideration of reciprocal movement of the wiper 300. [ have.

상기 와이퍼(300)는 상기 받침판(100) 상면을 가로방향으로 가로지르도록 연장형성되어 상기 받침판(100)의 상면에 직접적으로 접속이 이루어지게 되는 세정부(310)와, 상기 세정부(310)를 일정한 경로로 이동시킬 수 있도록 지지하는 이동지지부(320)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The wiper 300 extends vertically across the upper surface of the receiving plate 100 and is directly connected to the upper surface of the receiving plate 100. The wiping unit 300 includes a cleaning unit 310, And a moving support part 320 for supporting the moving part 320 so as to be movable in a predetermined path.

상기 세정부(310)는 상기 받침판(100)을 상면을 가로방향으로 가로지름에 있어서 진행방향에 수직되는 방향으로 연장형성되면, 상기 세정부(310)가 상기 받침판(100) 상면의 가로폭에 해당되는 폭으로 상기 받침판(100)의 상면과 접속이 이루어질 수 있으며, 상기 세정부(310)의 전방에 도포 내지 분사되어 있던 세정액이 상기 세정부(310)의 전방단면에 부딪혀 상기 세정부(310)의 진행방향의 좌,우양측으로 밀려나게 된다.When the cleansing part 310 is formed to extend in the direction perpendicular to the moving direction of the supporting plate 100 in the horizontal direction on the upper surface thereof, the cleansing part 310 may be formed on the upper surface of the supporting plate 100, The cleaning liquid sprayed or sprayed in front of the cleaning part 310 may be struck on the front end surface of the cleaning part 310 and may be connected to the cleaning part 310 ) To the left and the right side of the traveling direction.

상기 세정부(310)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 받침판과 접속하는 접속면의 배열 방향이 상기 세정부(310)의 진행 방향과 사선을 이루도록 배열 설치되면, 상기 받침판(100)이 진행방향에 수직되는 방향으로 설치된 상기 실시예와 비교하여, 상기 세정부(310)가 상기 받침판(100)의 상면과 보다 확장된 길이로 접속되어 세정성능을 보다 향상시킬 수 있으며, 상기 세정부(310)의 전방단면에 부딪힌 세정액이 주로 상기 세정부(310)의 좌, 우 양단부 중 보다 후방측에 위치하는 측으로 밀려나게 된다.3, when the arranging direction of the connecting surfaces connected to the receiving plate is arranged so as to be diagonal to the advancing direction of the washing unit 310, the receiving plate 100 is moved in the advancing direction The cleaning part 310 may be connected to the upper surface of the support plate 100 in a length greater than that of the cleaning part 300 in a direction perpendicular to the cleaning part 310, The cleaning liquid impinging on the front end surface of the cleaning part 310 is pushed to the side located on the rear side of the left and right ends of the cleaning part 310.

상기 이동지지부(320)는 상기 세정부(310)의 이동이 일정하게 이루어질 수 있도록 상기 세정부(310)상에 결합된다면 특정한 형상이나 구조로 제한되지 않으나, 일단부가 상기 세정부(310)의 좌, 우 양단부(진행방향 기준)에 각각 결합되고 상기 세정부(310)가 일정한 이동경로로 이동가능하도록 지정경로를 따라 연장형성된 레일(600)상에 타단부가 결합되는 구조를 가지는 가지는 것이 바람직하다.The moving support part 320 is not limited to a particular shape or structure as long as it is coupled onto the cleansing part 310 so that the cleansing part 310 can be moved constantly. And a structure in which the other end is coupled to the rail 600 formed along the designated path so that the cleaning part 310 can be moved by a constant movement path, .

상기 수용조(400)는 상기 받침판(100)의 상면으로부터 흘러내리는 세정액을 수용가능한 공간부를 구비하여 상기 받침판(100) 하측에 설치되는 구성요소로, 상기 와이퍼(300)에 의해 상기 받침판(100)의 상면으로 부터 밀려난 세정액은 상기 받침판(100)의 측면을 타고 흘러내려 최종적으로는 상기 수용조(400)에 담겨지게 된다.The receiving tank 400 is a component provided below the receiving plate 100 and having a space capable of receiving a washing liquid flowing down from the upper surface of the receiving plate 100. The receiving plate 400 is provided with the wiper 300, The cleaning liquid pushed from the upper surface of the support plate 100 flows along the side surface of the support plate 100 and is ultimately contained in the receiving tank 400.

상기 수용조(400)에는 내부에 수용된 세정액이 배출되는 배출공(410)이 하단부에 형성되어, 상기 수용조(400) 내부에 세정액이 지정용량만큼 수용되면 상기 배출공(410)을 통해 일정한 배출경로로 배출이 이루어지거나 상시배출이 이루어지도록 하며, 상기 배출공(410)을 통해 배출이 원활하게 이루어질 수 있도록 상기 수용조(400)를 상기 배출공(410)이 위치한 측으로 갈수록 하향 경사지는 하단면 형상을 가지도록 형성하는 것이 바람직하다.A discharge hole 410 through which the cleaning liquid accommodated therein is discharged is formed in the lower end of the receiving tank 400. When the washing liquid is received in the receiving tank 400 by a designated capacity, (400) is inclined downwardly toward the side where the discharge hole (410) is located, so that discharge can be smoothly performed through the discharge hole (410) It is preferable to form it so as to have a shape.

본 발명에 따른 슬릿코터의 예비토출장치는, 상기 받침판(100), 세정액분사노즐(200), 와이퍼(300), 수용조(400)로 이루어진 간단한 구조로써 상기 슬릿노 즐(10)의 예비토출이 연속적, 반복적으로 이루어질 수 있도록 함으로써, 스퀴즈, 샤워노즐, 가스분출노즐, 브러쉬롤러와 같은 다수의 구성요소를 복합적으로 구비하여야 하던 기존의 구조와 비교하여 예비토출장치의 제작원가를 낮출 수 있을 뿐 아니라, 다수의 구성요소를 지속적으로 유지`관리해야하는 불편함을 줄여 장치 자체의 유지 및 관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다는 효과가 있다.The slit coater preliminary ejection apparatus according to the present invention has a simple structure of the support plate 100, the cleaning liquid injection nozzle 200, the wiper 300, and the receiving tank 400, It is possible to lower the manufacturing cost of the preliminary ejection apparatus compared to the conventional structure in which a plurality of components such as a squeeze, a shower nozzle, a gas ejection nozzle, and a brush roller must be provided in combination However, there is an effect that it is possible to easily maintain and manage the device itself by reducing the inconvenience of maintaining a plurality of components continuously.

그리고, 상기 와이퍼(300)에 의해 밀려난 세정액 및 도포액을 상기 수용조(400)에 수집하여 일괄적으로 배출처리시키는 작동구조를 가짐으로써, 상기 수용조(400)에 수집된 세정액의 오염상태를 관리하거나 상기 수용조(400) 내에 수용된 세정액을 지속적으로 교체 및 공급해야하는 부담이 없으며, 세정액으로 인한 주변기기의 오염 또한 방지시킬 수 있어 유지`관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다.In addition, since the cleaning liquid and the coating liquid pushed by the wiper 300 are collected in the receiving tank 400 and discharged collectively, the contamination state of the cleaning liquid collected in the receiving tank 400 And it is possible to prevent the contamination of the peripheral device due to the cleaning liquid, so that the maintenance of the cleaning device can be facilitated.

도포액의 희석제 및 용제로써 사용되는 세정액은 현기증, 메스꺼움, 구토 등의 증상을 야기시키는 인체에 유해한 자극적인 증기를 생성하게 되는데, 상기와 같이 세정액의 분사 및 배출처리가 이루어지는 동안에 휘발되어 생성된 유해가스를 강제흡입하여 배기 및 제거시킬 수 있는 배기모듈(500)을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The cleaning liquid used as a diluting agent and a solvent of the coating liquid generates irritating vapors which are harmful to the human body causing symptoms such as dizziness, nausea and vomiting. When the cleaning liquid is sprayed and discharged as described above, And an exhaust module 500 capable of forcibly sucking and exhausting gas and removing the gas.

상기 배기모듈(500)은 유해가스를 강제흡입하여 외부로 배기시키는 배기포트(510)와, 세정액의 외부노출이 주요하게 이루어지게 되는 상기 받침판(100) 내지 수용조(400)로부터 발산되는 유해가스의 공기흐름을 상기 배기포트(510)측으로 적극적으로 유도하도록 공기를 분사하는 송풍포트(520)를 구비하는 것이 바람직하다.The exhaust module 500 includes an exhaust port 510 for forcibly sucking and exhausting noxious gas to the outside and a noxious gas which is emitted from the receiving plate 400 or the receiving plate 400, And an air blowing port 520 for blowing air to actively guide the airflow of the air exhaust port 510 toward the exhaust port 510.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 설명한 것으로, 본 발명은 이 러한 실시예에 한정되는 것이 아니고 상기 실시예들을 기존의 공지기술과 단순히 조합적용한 실시예와 함께 본 발명의 특허청구범위와 상세한 설명에서 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 변형하여 이용할 수 있는 균등한 기술범위를 당연히 포함한다고 보아야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of illustration, It is to be understood that equivalents of the technical scope of the present invention may be made by those skilled in the art.

도 1 - 종래기술에 따른 슬릿 코팅기의 예비 토출장치를 도시한 개략도1 is a schematic view showing a preliminary ejecting apparatus of a slit coater according to the prior art;

도 2 - 본 발명에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제1실시예를 도시한 정면개략도2 is a front schematic view showing a first embodiment of a preliminary ejecting apparatus for a slit coater according to the present invention;

도 3 - 도 2의 평면개략도3 - a schematic plan view of FIG. 2

도 4 - 도 2의 측면개략도Side view schematics of Figures 4 -

도 5 - 받침판 측면에 형성된 골의 다른 실시예를 도시한 측면도Figure 5 - Side view showing another embodiment of the rib formed on the side of the support plate

<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명>DESCRIPTION OF THE REFERENCE SYMBOLS USED IN THE DRAWINGS

10 : 슬릿노즐 100 : 받침판 10: slit nozzle 100:

110 : 흐름유도홈 200 : 세정액분사노즐 110: flow guide groove 200: cleaning liquid injection nozzle

300 : 와이퍼 310 : 세정부 300: Wiper 310: Three government

320 : 이동지지부 400 : 수용조 320: moving support part 400: receiving tank

410 : 배출공 500 : 배기모듈 410: exhaust hole 500: exhaust module

510 : 배기포트 520 : 송풍포트 510: Exhaust port 520: Ventilation port

600 : 레일 600: Rail

Claims

A supporting plate for providing a connecting surface which can be linearly moved in a state in which the discharge end of the slit nozzle is connected;

A cleaning liquid spray nozzle for spraying a cleaning liquid onto the upper surface of the support plate;

A wiper that reciprocates while being connected to the upper surface of the support plate and wipes the cleaning liquid; And

And a receiving vessel provided below the receiving plate, the receiving vessel having a space portion capable of receiving a washing liquid flowing down from the upper surface of the receiving plate.

The method according to claim 1,

Wherein a slope of a downwardly sloping shape is formed on a side surface of the support plate along a traveling direction of the wiper.

3. The method according to claim 1 or 2,

And a slit having a shape narrowing in width toward the lower side is formed on a side surface of the support plate.

2. The cleaning apparatus according to claim 1,

Wherein the slit coater is coupled to a front portion of the wiper in a traveling direction and moves together with the wiper.

The wiper device according to claim 1,

A cleaning unit extending from the upper surface of the receiving plate in a transverse direction and connected to an upper surface of the receiving plate;

And a moving support unit coupled to both ends of the cleaning unit and coupled to a lower end of the rail extending along a designated path so that the cleaning unit can be moved by a constant movement path.

The method according to claim 1,

Wherein the wiper is arranged such that an arrangement direction of connection surfaces connected to the receiving plate is diagonal to the advancing direction of the wiper.

The apparatus according to claim 1,

Wherein a discharge hole through which the cleaning liquid accommodated therein is discharged is formed at a lower end portion and a lower end portion is shaped to be inclined downward toward the discharge hole side,

The method according to claim 1,

And an exhaust module for sucking and exhausting the volatile air of the cleaning liquid. The slit coater according to claim 1,

The exhaust system according to claim 8,

An exhaust port for sucking noxious gas and exhausting the noxious gas to the outside;

And a blowing port for blowing air to induce an air flow to the exhaust port side.