KR101433712B1 - 리니어 모션 스테이지의 제어 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 리니어 모션 스테이지의 위치별로 변화하는 공진 주파수에 의한 제어 응답의 일 예를 도시하는 도면,
도 3은 일반적인 리니어 모션 시스템의 구성도,
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 리니어 모션 스테이지의 제어 장치의 구성도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 리니어 모션 스테이지의 위치별로 적용하는 필터 주파수 맵핑의 개념을 도시하는 도면, 그리고
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 측정 지점 이외의 구간에 대한 차단 주파수 정의 예를 도시하는 도면이다.
11: 리니어 모터
12: 리니어 엔코더
13: 리니어 모션 가이드
14: 슬라이드
15: 베이스
20: 앰프
30: 모션 제어 장치
31: 덧셈기
32: PID 부
33: 제2 필터
34: 제1 필터
Claims (2)
- 리니어 모션 스테이지의 리니어 엔코더로부터 입력받은 신호에 대한 주파수 필터링을 수행하는 제1 필터;
입력된 리니어 모션 스테이지의 지령 위치와, 상기 제1 필터의 출력 신호에 음을 취한 값을 더하여 출력하는 덧셈기;
상기 덧셈기의 출력 신호를 기초로 상기 리니어 모션 스테이지의 제어 신호를 출력하는 제어부; 및
상기 제어부의 출력 신호에 대한 주파수 필터링을 수행하는 제2 필터를 포함하며,
상기 제1 필터 및 제2 필터의 입력단에 상기 리니어 모션 스테이지의 구동 위치별로 기 측정된 차단 주파수와 감쇠비를 저장하는 보정 테이블이 저장되고,
상기 보정 테이블을 이용하여, 상기 리니어 모션 스테이지의 구동 위치에 따라 상기 제1 필터 및 제2 필터의 차단 주파수 및 감쇠비가 변경되는 리니어 모션 스테이지의 제어 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 리니어 모션 스테이지가 기 측정된 위치들 사이에 위치하는 경우,
선형 보간법, 라그랑제 다항식 보간법, 네빌레의 반복 보간법, 뉴튼 다항식에 의한 보간법 및 스플라인 보간법 중 어느 하나의 보간법을 이용하여 이웃하는 두 위치의 차단 주파수 및 감쇠비를 보간하여 상기 제1 필터 및 제2 필터의 차단 주파수 및 감쇠비로 적용하는 리니어 모션 스테이지의 제어 장치.
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