KR101343866B1

KR101343866B1 - Apparatus for manufacturing solar cell using laser

Info

Publication number: KR101343866B1
Application number: KR1020120045389A
Authority: KR
Inventors: 박홍진; 정광현; 최기철; 선상필; 나윤성
Original assignee: 주식회사 엘티에스
Priority date: 2012-04-30
Filing date: 2012-04-30
Publication date: 2013-12-20
Also published as: KR20130122226A

Abstract

본 발명은 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 관한 것으로서, 제1반입부와, 제1레이저 가공부와, 제1반출부와, 제1회전부를 포함한다. 제1반입부는 태양전지 기판이 반입되고, 태양전지 기판을 정렬하기 위하여 태양전지 기판을 촬상하는 정렬용 카메라를 구비한다. 제1레이저 가공부는 제1회전방향을 따라 제1반입부로부터 이격되게 배치되고, 태양전지 기판에 패턴을 형성하기 위하여 태양전지 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사유닛을 구비한다. 제1반출부는 제1회전방향을 따라 제1레이저 가공부로부터 이격되게 배치되고, 가공이 완료된 태양전지 기판이 반출된다. 제1회전부는 태양전지 기판을 각각 지지하는 복수의 지지판과, 지지판이 제1회전방향을 따라 제1반입부, 제1레이저 가공부 및 제1반출부에 각각 이격되게 배치되는 제1회전판과, 제1회전판을 제1회전방향을 따라 회전시키는 회전구동유닛을 구비한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solar cell processing apparatus using a laser, and includes a first carrying part, a first laser machining part, a first carrying out part, and a first rotating part. The first carrying-in unit includes a camera for alignment in which a solar cell substrate is carried in and an image of the solar cell substrate in order to align the solar cell substrate. The first laser processing part is disposed to be spaced apart from the first carrying part along the first rotation direction and includes a laser beam irradiation unit for irradiating a laser beam to the solar cell substrate to form a pattern on the solar cell substrate. The first carrying out portion is arranged to be spaced apart from the first laser machining portion along the first rotation direction, and the solar cell substrate on which the processing is completed is carried out. The first rotating part includes a plurality of supporting plates for supporting the solar cell substrate, a first rotating plate disposed to be spaced apart from each other in the first loading part, the first laser processing part, and the first carrying out part along the first rotation direction; It is provided with a rotation drive unit for rotating the first rotating plate in the first direction of rotation.

Description

Solar cell processing device using a laser {Apparatus for manufacturing solar cell using laser}

본 발명은 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저빔을 태양전지 기판에 조사하여 태양전지 기판 표면에 전극 패턴을 형성하는 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 관한 것이다.The present invention relates to a solar cell processing apparatus using a laser, and more particularly, to a solar cell processing apparatus using a laser to irradiate a laser beam on a solar cell substrate to form an electrode pattern on the surface of the solar cell substrate.

태양전지는 광기전력효과 (Photo Voltanic Effect)를 이용하여 빛 에너지를 직접 전기 에너지로 변환시키는 반도체 소자다. 광기전력 효과란 반도체의 P-N 접합부나 정류작용이 있는 금속과 반도체의 경계면에 강한 빛을 입사시키면, 반도체 중에 만들어진 전자와 전자핵이 전위차 때문에 분리되어 양쪽 물질에서 서로 다른 종류의 전기가 나타나는 현상이다.Solar cells are semiconductor devices that convert light energy directly into electrical energy using the Photo Voltanic Effect. The photovoltaic effect is a phenomenon in which strong light is incident on a P-N junction of a semiconductor or a metal having a rectifying action and a semiconductor interface, and electrons and electron nuclei formed in the semiconductor are separated due to a potential difference, thereby generating different kinds of electricity in both materials.

태양전지의 전면과 후면에는 전극이 있는데, 후면 전극은 전체에 걸쳐 형성되어 있고, 전면 전극은 빛이 통과할 수 있도록 총 면적의 5∼15% 정도로 형성되는 것이 바람직하다.There is an electrode on the front and rear of the solar cell, the rear electrode is formed throughout, the front electrode is preferably formed about 5 to 15% of the total area to allow light to pass through.

태양전지 종류 중에 상업용으로 가장 널리 사용되고 있는 것은 실리콘 웨이퍼를 이용한 결정질 실리콘 태양전지로서, 현재 15% 이상의 가장 높은 상용화 효율을 나타내고 있다. 이러한 결정질 실리콘 태양전지의 전극을 형성하는 제조 방법은 여러 방법이 알려져 있는데, 스크린 프린팅으로 전극을 형성하는 방법이 상업용으로 가장 널리 알려져 있다.The most widely used solar cell commercially available is a crystalline silicon solar cell using a silicon wafer, which currently exhibits the highest commercialization efficiency of 15% or more. The manufacturing method of forming the electrode of such a crystalline silicon solar cell is known a number of methods, the method of forming the electrode by screen printing is the most widely known commercially.

최근 들어 환경오염, 전극 폭의 미세화 등을 이유로 레이저빔을 태양전지 기판에 조사하여 전극을 형성하는 방법이 활용되고 있다. 그러나, 레이저를 이용하여 태양전지의 전극을 형성하는 방법은, 레이저빔을 전극이 형성될 경로를 따라 이동시키면서 전극을 형성하므로, 종래의 방식과 비교하여 수율이 현저하게 떨어지는 문제점이 있다.Recently, a method of forming an electrode by irradiating a laser beam to a solar cell substrate for environmental pollution, miniaturization of electrode width, etc. has been utilized. However, the method of forming the electrode of the solar cell using a laser, because the electrode is formed while moving the laser beam along the path to form the electrode, there is a problem that the yield is significantly lower than the conventional method.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 태양전지 기판이 반입되는 영역, 반입된 태양전지 기판에 레이저빔이 조사되는 영역, 가공이 완료된 태양전지 기판이 반출되는 영역이 각각 분리되고, 회전판을 이용하여 태양전지 기판이 각각의 영역을 순차적으로 통과하면서 가공 공정이 완료되도록 구성함으로써, 태양전지 기판에 전극을 형성하는 작업의 수율을 월등하게 향상시킬 수 있는 레이저를 이용한 태양전지 가공장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, the area in which the solar cell substrate is carried in, the region in which the laser beam is irradiated to the imported solar cell substrate, the region in which the processed solar cell substrate is carried out The solar cell is separated from each other, and the solar cell substrate is sequentially configured to pass through the respective regions by using the rotating plate, so that the machining process is completed, so that the yield of the work of forming the electrode on the solar cell substrate can be significantly improved. It is to provide a battery processing apparatus.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치는, 태양전지 기판이 반입되고, 상기 태양전지 기판을 정렬하기 위하여 상기 태양전지 기판을 촬상하는 정렬용 카메라를 구비하는 제1반입부; 제1회전방향을 따라 상기 제1반입부로부터 이격되게 배치되고, 상기 태양전지 기판에 패턴을 형성하기 위하여 상기 태양전지 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사유닛을 구비하는 제1레이저 가공부; 상기 제1회전방향을 따라 상기 제1레이저 가공부로부터 이격되게 배치되고, 가공이 완료된 태양전지 기판이 반출되는 제1반출부; 및 상기 태양전지 기판을 각각 지지하는 복수의 지지판과, 상기 지지판이 상기 제1회전방향을 따라 상기 제1반입부, 상기 제1레이저 가공부 및 상기 제1반출부에 각각 이격되게 배치되는 제1회전판과, 상기 제1회전판을 상기 제1회전방향을 따라 회전시키는 회전구동유닛을 구비하는 제1회전부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a solar cell processing apparatus using a laser of the present invention includes a solar cell substrate having a alignment camera for imaging the solar cell substrate in order to align the solar cell substrate. Import; A first laser processing part disposed to be spaced apart from the first carrying part along a first rotation direction and having a laser beam irradiation unit irradiating a laser beam to the solar cell substrate to form a pattern on the solar cell substrate; A first carrying part disposed spaced apart from the first laser machining part along the first rotation direction, and carrying out the completed solar cell substrate; And a plurality of support plates each supporting the solar cell substrate, and the support plates being spaced apart from each other in the first loading portion, the first laser processing portion, and the first exporting portion along the first rotational direction. And a first rotating part having a rotating plate and a rotating driving unit for rotating the first rotating plate along the first rotating direction.

본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1회전방향을 따라 상기 제1반출부로부터 이격되게 배치되고, 상기 레이저 조사유닛의 정밀도를 보정하기 위하여 상기 레이저 조사유닛에 의해 더미 기판에 형성된 보정용 패턴을 촬상하는 보정용 카메라를 구비하는 제1보정부;를 더 포함한다.In the solar cell processing apparatus using a laser according to the present invention, Preferably, the laser irradiation unit is disposed to be spaced apart from the first carrying out portion along the first rotation direction, to correct the precision of the laser irradiation unit And a first correction unit including a correction camera for capturing a correction pattern formed on the dummy substrate.

본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 지지판은, 상기 태양전지 기판의 가장자리부에 해당하는 영역에서 상기 지지판의 상하면을 관통하는 복수의 제1관통홀을 구비하고, 상기 제1반입부는, 상기 지지판의 하측에 배치되며 상기 제1관통홀을 향해 조명광을 조사하는 조명유닛을 더 포함한다.In the solar cell processing apparatus using a laser according to the present invention, Preferably, the support plate is provided with a plurality of first through holes penetrating the upper and lower surfaces of the support plate in the region corresponding to the edge of the solar cell substrate. The first carrying-in part further includes an illumination unit disposed below the support plate and configured to irradiate illumination light toward the first through hole.

본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 정렬용 카메라는, 상기 지지판의 상측에 배치되고, 상기 복수의 제1관통홀과 동일한 수량으로 복수 개 마련되며, 상기 복수의 제1관통홀 각각과 일렬로 배치된다.In the solar cell processing apparatus using a laser according to the present invention, Preferably, the alignment camera is disposed on the upper side of the support plate, a plurality of the same number as the plurality of first through holes are provided, It is arranged in line with each of the first through holes of.

본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 지지판은, 상기 지지판의 상하면을 관통하는 제2관통홀을 구비하고, 상기 제1레이저 가공부는, 상기 지지판의 하측에 배치되며 상기 제2관통홀을 통과하여 조사되는 레이저빔의 파워를 측정하는 파워측정유닛을 더 포함한다.In the solar cell processing apparatus using a laser according to the present invention, Preferably, the support plate is provided with a second through hole penetrating the upper and lower surfaces of the support plate, the first laser processing portion is disposed below the support plate And a power measuring unit measuring the power of the laser beam irradiated through the second through hole.

본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 태양전지 기판이 반입되고, 상기 태양전지 기판을 정렬하기 위하여 상기 태양전지 기판을 촬상하는 정렬용 카메라를 구비하는 제2반입부; 제2회전방향을 따라 상기 제2반입부로부터 이격되게 배치되고, 상기 태양전지 기판에 패턴을 형성하기 위하여 상기 태양전지 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사유닛을 구비하는 제2레이저 가공부; 상기 제2회전방향을 따라 상기 제2레이저 가공부로부터 이격되게 배치되고, 가공이 완료된 태양전지 기판이 반출되는 제2반출부; 및 상기 태양전지 기판을 각각 지지하는 복수의 지지판과, 상기 지지판이 상기 제2회전방향을 따라 상기 제2반입부, 상기 제2레이저 가공부 및 상기 제2반출부에 각각 이격되게 배치되는 제2회전판과, 상기 제2회전판을 상기 제2회전방향을 따라 회전시키는 회전구동유닛을 구비하는 제2회전부;를 더 포함한다.In the solar cell processing apparatus using a laser according to the present invention, Preferably, a solar cell substrate is carried, the second carrying-in portion having an alignment camera for imaging the solar cell substrate in order to align the solar cell substrate ; A second laser processing part disposed to be spaced apart from the second carrying part along a second rotation direction and having a laser beam irradiation unit irradiating a laser beam to the solar cell substrate to form a pattern on the solar cell substrate; A second carrying part disposed spaced apart from the second laser machining part along the second rotation direction, and carrying out the completed solar cell substrate; And a plurality of support plates each supporting the solar cell substrate, and a second support plate disposed to be spaced apart from the second carrying part, the second laser processing part, and the second carrying part in the second rotation direction, respectively. And a second rotating part having a rotating plate and a rotating driving unit rotating the second rotating plate along the second rotating direction.

본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1회전판과 상기 제2회전판은, 회전으로 인해 발생하는 진동을 서로 전달하지 않기 위하여 동시에 회전된다.In the solar cell processing apparatus using the laser according to the present invention, Preferably, the first rotating plate and the second rotating plate is rotated at the same time so as not to transmit the vibration generated by the rotation.

본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1회전방향과 상기 제2회전방향은 서로 반대 방향이다.In the solar cell processing apparatus using the laser according to the present invention, Preferably, the first rotation direction and the second rotation direction are opposite to each other.

본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1회전방향을 따라 상기 제1반출부로부터 이격되게 배치되고, 상기 제1레이저 가공부의 레이저 조사유닛의 정밀도를 보정하기 위하여 상기 제1레이저 가공부의 레이저 조사유닛에 의해 더미 기판에 형성된 보정용 패턴을 촬상하는 보정용 카메라를 구비하는 제1보정부; 상기 제2회전방향을 따라 상기 제2반출부로부터 이격되게 배치되고, 상기 제2레이저 가공부의 레이저 조사유닛의 정밀도를 보정하기 위하여 상기 제2레이저 가공부의 레이저 조사유닛에 의해 더미 기판에 형성된 보정용 패턴을 촬상하는 보정용 카메라를 구비하는 제2보정부; 및 상기 제1보정부의 보정용 카메라 또는 상기 제2보정부의 보정용 카메라를 상기 더미 기판상의 원하는 위치로 이동시키는 이동유닛;을 더 포함한다.In the solar cell processing apparatus using a laser according to the invention, preferably, to be spaced apart from the first carrying out portion along the first rotation direction, to correct the precision of the laser irradiation unit of the first laser processing portion A first correction unit including a correction camera for capturing a correction pattern formed on the dummy substrate by a laser irradiation unit of the first laser processing unit; A pattern for correction disposed on the dummy substrate by the laser irradiation unit of the second laser processing unit, and disposed to be spaced apart from the second carrying unit along the second rotation direction and to correct the precision of the laser irradiation unit of the second laser processing unit. A second correction unit having a correction camera for capturing the light; And a moving unit for moving the first calibration camera or the second calibration camera to a desired position on the dummy substrate.

본 발명의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 따르면, 태양전지 기판에 전극을 형성하는 작업의 수율을 월등하게 향상시킬 수 있다.According to the solar cell processing apparatus using the laser of the present invention, the yield of the operation of forming the electrode on the solar cell substrate can be improved significantly.

또한, 본 발명의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 따르면, 태양전지 기판에 형성되는 전극의 위치정밀도를 균일하게 유지할 수 있다.Moreover, according to the solar cell processing apparatus using the laser of this invention, the positional precision of the electrode formed in a solar cell board | substrate can be maintained uniformly.

또한, 본 발명의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 따르면, 생산되는 태양전지의 품질을 균일하게 유지할 수 있다.In addition, according to the solar cell processing apparatus using the laser of the present invention, the quality of the solar cell produced can be maintained uniformly.

도 1은 태양전지 기판의 일례를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치의 제1반입부를 도시한 도면이고,
도 4는 도 3의 제1반입부에서 조명유닛을 이용하여 태양전지 기판을 정렬하는 원리를 설명하는 도면이고,
도 5는 도 2의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치의 제1레이저 가공부를 도시한 도면이고,
도 6은 도 2의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치의 제1보정부 또는 제2보정부에서 이용되는 보정용 패턴이 형성된 더미 기판을 도시한 도면이다.1 is a view showing an example of a solar cell substrate,
2 is a view schematically showing a solar cell processing apparatus using a laser according to an embodiment of the present invention,
3 is a view showing a first loading part of the solar cell processing apparatus using the laser of FIG.
4 is a view for explaining the principle of aligning the solar cell substrate using the lighting unit in the first carrying-in of FIG.
5 is a view showing a first laser processing unit of the solar cell processing apparatus using the laser of FIG.
FIG. 6 is a diagram illustrating a dummy substrate on which a correction pattern used in a first correction unit or a second correction unit of the solar cell processing apparatus using the laser of FIG. 2 is formed.

이하, 본 발명에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of a solar cell processing apparatus using a laser according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1을 참조하면, 본 발명의 태양전기 기판(10)에는 다수의 라인으로 구성된 전극 패턴이 형성되는데, 이러한 전극 패턴은 일반적으로 세로 방향의 버스바 라인(11)과 가로 방향의 핑거 라인(12)으로 구성된다. 일반적으로 하나의 태양전기 기판(10)에 버스바 라인(11)은 약 2 내지 3개 정도가 형성되고, 핑거 라인(12)은 약 70 내지 100개 정도가 형성된다.Referring to FIG. 1, an electrode pattern composed of a plurality of lines is formed on a solar cell substrate 10 of the present invention. Such electrode patterns generally include a busbar line 11 in a vertical direction and a finger line 12 in a horizontal direction. It is composed of Generally, about 2 to 3 busbar lines 11 are formed in one solar cell substrate 10, and about 70 to 100 finger lines 12 are formed.

레이저를 이용하여 이러한 전극 패턴을 형성하기 위해서는 레이저빔(L)을 태양전기 기판(10)에 조사하면서 각각의 라인을 따라 순차적으로 이동시키며 전극을 형성한다.In order to form such an electrode pattern using a laser, the laser beam L is irradiated to the solar cell substrate 10 while sequentially moving along each line to form an electrode.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치의 제1반입부를 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 제1반입부에서 조명유닛을 이용하여 태양전지 기판을 정렬하는 원리를 설명하는 도면이고, 도 5는 도 2의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치의 제1레이저 가공부를 도시한 도면이고, 도 6은 도 2의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치의 제1보정부 또는 제2보정부에서 이용되는 보정용 패턴이 형성된 더미 기판을 도시한 도면이다.2 is a view schematically showing a solar cell processing apparatus using a laser according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view showing a first loading portion of the solar cell processing apparatus using the laser of Figure 2, 4 is a view for explaining the principle of aligning the solar cell substrate using the lighting unit in the first carrying-in of Figure 3, Figure 5 is a view showing a first laser processing unit of the solar cell processing apparatus using the laser of Figure 2 6 is a diagram illustrating a dummy substrate on which a correction pattern used in a first correction unit or a second correction unit of the solar cell processing apparatus using the laser of FIG. 2 is formed.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 레이저를 이용한 태양전지 가공장치(300)는, 레이저빔을 태양전지 기판에 조사하여 태양전지 기판 표면에 전극 패턴을 형성하는 것으로서, 제1가공부(100)와, 제2가공부(200)와, 이동유닛(260)을 포함한다.2 to 6, the solar cell processing apparatus 300 using the laser according to the present embodiment is to form an electrode pattern on the surface of the solar cell substrate by irradiating a laser beam to the solar cell substrate, the first processing The part 100, the second processing part 200, and the moving unit 260 are included.

본 실시예에서는 전극 형성공정의 수율을 높이기 위하여 한 쌍의 가공부가 마련된다. 제1가공부(100)와 제2가공부(200)는 서로 이웃하게 배치되며, 제1가공부(100)를 구성하는 구성요소들과 제2가공부(200)를 구성하는 구성요소들은 실질적으로 동일한 기능을 수행한다. 생산현장에서의 전극 형성공정의 수율에 따라 제1가공부(100)와 제2가공부(200) 중 어느 하나의 가공부만을 이용하여 전극 형성공정을 수행할 수도 있다.In this embodiment, a pair of processing parts is provided to increase the yield of the electrode forming step. The first processing unit 100 and the second processing unit 200 are disposed adjacent to each other, the components constituting the first processing unit 100 and the components constituting the second processing unit 200 are substantially To perform the same function. According to the yield of the electrode forming process at the production site, the electrode forming process may be performed using only one processing unit of the first processing unit 100 and the second processing unit 200.

상기 제1가공부(100)는, 2장의 태양전기 기판(10)에 대하여 동시에 그리고 연속적으로 전극 형성공정이 수행되는 것으로서, 제1반입부(110)와, 제1레이저 가공부(120)와, 제1반출부(130)와, 제1보정부(140)와, 제1회전부(150)를 포함한다.The first processing unit 100 is an electrode forming process is performed simultaneously and successively on the two solar cell substrates 10, and the first loading unit 110, the first laser processing unit 120 and , A first carrying out unit 130, a first compensating unit 140, and a first rotating unit 150.

상기 제1반입부(110)는, 태양전지 기판(10)이 반입되고, 반입된 태양전지 기판(10)을 정렬하기 위하여 태양전지 기판(10)의 화상을 획득하며, 정렬용 카메라(111)와, 조명유닛(112)을 구비한다.The first carrying-in unit 110, the solar cell substrate 10 is carried in, obtains an image of the solar cell substrate 10 in order to align the solar cell substrate 10, the alignment camera 111 And an illumination unit 112.

제1반입부(110)에 반입된 태양전지 기판(10)은 지지판(151)에 의해 지지되고, 태양전지 기판(10) 상측에 배치된 정렬용 카메라(111)로 태양전지 기판(10)을 촬상하여 태양전지 기판(10)의 화상을 획득한다. 또한, 태양전지 기판(10)의 하측에는 조명유닛(112)이 배치되고, 태양전지 기판(10)의 화상을 획득하는 과정에서는 조명유닛(112)으로부터 조사된 조명광(IL)을 이용한다.The solar cell substrate 10 carried in the first carrying-in unit 110 is supported by the support plate 151, and the solar cell substrate 10 is supported by an alignment camera 111 disposed above the solar cell substrate 10. The imaging is performed to obtain an image of the solar cell substrate 10. In addition, an illumination unit 112 is disposed below the solar cell substrate 10, and in the process of obtaining an image of the solar cell substrate 10, illumination light IL irradiated from the illumination unit 112 is used.

상기 제1레이저 가공부(120)는, 제1회전방향(A1)을 따라 제1반입부(110)로부터 일정 각도 이격되게 배치된다. 본 실시예에서 제1회전방향(A1)은 시계방향이며, 제1레이저 가공부(120)는 제1반입부(110)로부터 약 90도 정도 이격되게 배치된다.The first laser processing part 120 is disposed to be spaced apart from the first carrying part 110 along a first rotation direction A1 by a predetermined angle. In this embodiment, the first rotation direction A1 is clockwise, and the first laser processing part 120 is disposed about 90 degrees apart from the first carrying part 110.

제1레이저 가공부(120)는 태양전지 기판(10)에 패턴, 예컨대 전극을 형성하기 위하여 태양전지 기판(10)에 레이저빔(L)을 조사하는 레이저빔 조사유닛(121)을 구비한다. 레이저빔 조사유닛(121)은 레이저빔(L)을 태양전지 기판(10)상의 원하는 위치로 편향시키기 위한 것으로서, 갈바노미터 스캐너(미도시)와 집광렌즈(미도시)에 의해 구현될 수 있다.The first laser processing unit 120 includes a laser beam irradiation unit 121 that irradiates a laser beam L on the solar cell substrate 10 to form a pattern, for example, an electrode, on the solar cell substrate 10. The laser beam irradiation unit 121 is for deflecting the laser beam L to a desired position on the solar cell substrate 10 and may be implemented by a galvanometer scanner (not shown) and a condenser lens (not shown). .

갈바노미터 스캐너는 반사미러가 회전모터의 회전축에 결합되도록 구성되어, 반사미러에 입사되는 광을 모터의 회전에 의해 원하는 위치로 조사할 수 있다. 일반적으로 한 쌍의 갈바노미터 스캐너를 이용하면, 레이저빔(L)을 태양전지 기판(10)상의 원하는 위치로 조사할 수 있다. 갈바노미터 스캐너는 기계적인 관성이 적어서 가감속구간이 거의 존재하지 않으므로, 일정한 파워의 레이저빔(L)을 조사하면서 레이저빔(L)을 이동시키는 가공에서 전 구간에 걸쳐 동일한 가공 품질을 얻을 수 있는 장점이 있다.The galvanometer scanner is configured such that the reflecting mirror is coupled to the rotation axis of the rotating motor, so that light incident on the reflecting mirror can be irradiated to a desired position by the rotation of the motor. Generally, using a pair of galvanometer scanners, the laser beam L can be irradiated to a desired position on the solar cell substrate 10. The galvanometer scanner has little mechanical inertia, so there is almost no acceleration / deceleration section. Therefore, the same machining quality can be obtained in all sections in the process of moving the laser beam L while irradiating a laser beam L of constant power. There is an advantage.

제1레이저 가공부(120)는 레이저빔 조사유닛(121)으로부터 조사되는 레이저빔(L)의 파워를 측정하는 파워측정유닛(122)을 포함하며, 파워측정유닛(122)은 태양전지 기판(10)의 하측에 배치된다. 본 실시예에서 파워측정유닛(122)으로는 포토다이오드 등이 이용될 수 있다.The first laser processing unit 120 includes a power measurement unit 122 for measuring the power of the laser beam (L) irradiated from the laser beam irradiation unit 121, the power measurement unit 122 is a solar cell substrate ( 10) is disposed below. In the present embodiment, a photodiode or the like may be used as the power measuring unit 122.

상기 제1반출부(130)는, 제1회전방향(A1)을 따라 제1레이저 가공부(120)로부터 일정 각도 이격되게 배치된다. 본 실시예에서 제1반출부(130)는 제1회전방향(A1)을 따라 제1레이저 가공부(120)로부터 약 90도 정도 이격되게 배치된다.The first carrying out unit 130 is disposed to be spaced apart from the first laser processing unit 120 by a predetermined angle along the first rotation direction A1. In this embodiment, the first carrying out part 130 is disposed to be spaced about 90 degrees from the first laser machining part 120 along the first rotation direction A1.

가공이 완료된 태양전지 기판(10)이 제1반출부(130)에 위치하면, 언로딩유닛(미도시)을 이용하여 가공이 완료된 태양전지 기판(10)을 외부로 반출한다. 반출된 태양전지 기판(10)은 컨베이어 시스템 등을 이용하여 이송되고, 카세트에 순차적으로 적재된다.When the completed solar cell substrate 10 is positioned in the first carrying out unit 130, the processed solar cell substrate 10 is carried out to the outside using an unloading unit (not shown). The solar cell substrate 10 carried out is transferred using a conveyor system or the like and sequentially loaded in a cassette.

상기 제1보정부(140)는, 제1회전방향(A1)을 따라 제1반출부(130)로부터 일정 각도 이격되게 배치된다. 본 실시예에서 제1보정부(140)는 제1회전방향(A1)을 따라 제1반출부(A1)로부터 약 90도 정도 이격되게 배치된다.The first correction unit 140 is disposed to be spaced apart from the first carrying out unit 130 by a predetermined angle along the first rotation direction A1. In the present embodiment, the first correction unit 140 is disposed about 90 degrees apart from the first carrying out portion A1 along the first rotation direction A1.

제1보정부(140)는 레이저 조사유닛(121)의 정밀도를 보정하기 위한 것으로서, 보정용 카메라(141)를 구비한다. 레이저 조사유닛(121)의 정밀도를 보정하기 위해서, 우선 제1레이저 가공부(120)에 태양전지를 생산하기 위한 기판이 아닌 더미 기판(20)을 배치하고, 갈바노미터 스캐너를 이용하여 도 6에 도시된 바와 같이 더미 기판(20)에 보정용 패턴(21)을 형성한다. 본 실시예에서 보정용 패턴(21)은 3행 3열로 이루어진 포인트를 예로 들어 설명한다.The first correction unit 140 is for correcting the accuracy of the laser irradiation unit 121 and includes a correction camera 141. In order to correct the precision of the laser irradiation unit 121, first, a dummy substrate 20, not a substrate for producing a solar cell, is disposed on the first laser processing unit 120, and then, a galvanometer scanner is used for FIG. As shown in FIG. 1, the correction pattern 21 is formed on the dummy substrate 20. In the present embodiment, the correction pattern 21 will be described taking an example of three rows and three columns.

갈바노미터 스캐너와 집광렌즈로 이루어진 레이저 조사유닛(121)의 경우, 전자제품인 갈바노미터 스캐너의 전기적인 특성 및 집광렌즈의 왜곡 현상으로 인해 레이저 조사유닛(121)을 통과하는 레이저빔(L)을 원하는 위치로 정확히 조사할 수 없는 문제가 생긴다. 즉, 레이저 조사유닛(121)을 장시간 사용하는 경우 레이저빔(L)을 조사하고자 하는 목표 위치와 실제 레이저빔(L)이 조사되는 조사 위치에 편차가 발생할 수 있다.In the case of the laser irradiation unit 121 consisting of a galvanometer scanner and a condenser lens, the laser beam L passing through the laser irradiation unit 121 due to electrical characteristics of the galvanometer scanner, which is an electronic product, and distortion of the condenser lens. There is a problem that can not be accurately investigated to the desired position. That is, when the laser irradiation unit 121 is used for a long time, a deviation may occur between the target position to which the laser beam L is to be irradiated and the irradiation position to which the actual laser beam L is to be irradiated.

따라서, 도 6과 같이 레이저 조사유닛(121)을 이용하여 더미 기판(20)에 레이저빔(L)을 조사하여 실제 레이저빔(L)이 조사되는 조사 위치에 관한 정보를 획득하고, 실제 조사된 위치(RP)와 목표 위치(TP)의 편차를 산출하여 실제 조사된 위치(RP)와 목표 위치(TP)의 편차를 줄이는 방향으로 레이저 조사유닛(121)을 보정한다.Accordingly, as shown in FIG. 6, the dummy beam 20 is irradiated onto the dummy substrate 20 using the laser irradiation unit 121 to obtain information about an irradiation position at which the actual laser beam L is irradiated, and the actual irradiation is performed. By calculating the deviation between the position RP and the target position TP, the laser irradiation unit 121 is corrected in the direction of reducing the deviation between the actual irradiated position RP and the target position TP.

레이저 조사유닛(121)을 보정하기 위하여, 우선 레이저빔(L)을 조사하고자 하는 목표 위치(TP)가 보정용 카메라(141)를 이동시키는 이동유닛(260)으로 전송된다. 이동유닛(260)은 보정용 카메라(141)의 정중앙부에 목표 위치(TP)가 위치하도록 보정용 카메라(141)를 이동시킨다. 해당 목표 위치(TP)에서 화상(I)을 획득하면 도 6에 도시된 바와 같이 목표 위치(TP)로부터 일정 거리 이격된 실제 조사된 위치(RP)의 포인트가 포함된다. 하나의 화상(I)에 표시된 포인트와 화상(I)의 정중앙부 사이의 거리(d)가 실제 조사된 위치(RP)와 목표 위치(TP)의 편차가 된다. 하나의 포인트에 대한 작업이 완료되면, 보정용 카메라(141)를 보정용 패턴(21)의 각 포인트마다 이동시키면서 화상(I)을 획득하여 전체 영역에 걸쳐 레이저 조사유닛(121)을 보정할 수 있다.In order to correct the laser irradiation unit 121, first, the target position TP to which the laser beam L is to be irradiated is transmitted to the moving unit 260 for moving the correction camera 141. The moving unit 260 moves the correction camera 141 so that the target position TP is located at the center of the correction camera 141. When the image I is acquired at the target position TP, as illustrated in FIG. 6, the point of the actual irradiated position RP spaced a predetermined distance from the target position TP is included. The distance d between the point displayed on one image I and the center portion of the image I becomes the deviation between the actual irradiated position RP and the target position TP. When the operation for one point is completed, the laser irradiation unit 121 may be corrected over the entire area by acquiring the image I while moving the correction camera 141 for each point of the correction pattern 21.

정상적인 전극 형성공정에서는 태양전지 기판(10)을 제1보정부(140) 측으로 회전시킬 필요가 없다. 장치의 전체 파워가 오프된 상태에서 새롭게 온시킨 경우 또는 검사 공정에서 전극이 형성된 위치의 정밀도가 저하된 경우 등 필요한 경우에만 제1보정부(140)를 이용하여 레이저 조사유닛(121)의 정밀도를 보정한다.In the normal electrode forming process, it is not necessary to rotate the solar cell substrate 10 toward the first compensator 140. The accuracy of the laser irradiation unit 121 is adjusted using the first correction unit 140 only when necessary, such as when the apparatus is newly turned on while the total power of the apparatus is turned off or when the precision of the position at which the electrode is formed is reduced in the inspection process. Correct.

상기 제1회전부(150)는, 복수의 지지판(151)과, 제1회전판(152)과, 회전구동유닛(미도시)을 포함한다.The first rotating part 150 includes a plurality of support plates 151, a first rotating plate 152, and a rotation driving unit (not shown).

상기 지지판(151)은 태양전지 기판(10)을 각각 지지하며, 제1반입부(110), 제1레이저 가공부(120), 제1반출부(130) 및 제1보정부(140)에 해당하는 영역에 각각 한 쌍씩 배치된다. 지지판(151)은 제1반입부(110), 제1레이저 가공부(120), 제1반출부(130) 및 제1보정부(140)에 고정되지 않고, 제1회전판(152)이 회전함에 따라 제1반입부(110), 제1레이저 가공부(120), 제1반출부(130) 및 제1보정부(140)로 위치를 바꾸면서 순차적으로 그리고 반복적으로 배치된다.The support plate 151 supports the solar cell substrate 10, respectively, in the first carrying part 110, the first laser processing part 120, the first carrying out part 130, and the first compensating part 140. Each pair is arranged in the corresponding area. The support plate 151 is not fixed to the first carrying part 110, the first laser processing part 120, the first carrying out part 130, and the first compensating part 140, and the first rotating plate 152 rotates. As the first loading unit 110, the first laser processing unit 120, the first carrying out unit 130 and the first correction unit 140 is disposed sequentially and repeatedly.

상기 제1회전판(152)에는 복수의 지지판(151)이 배치된다. 한 쌍의 지지판(151)이 제1회전방향(A1)을 따라 약 90도 정도의 각도로 이격되게 배치되어, 제1회전판(152)에는 총 8개의 지지판(151)이 배치될 수 있다.A plurality of support plates 151 are disposed on the first rotating plate 152. The pair of support plates 151 may be spaced apart at an angle of about 90 degrees along the first rotation direction A1, and a total of eight support plates 151 may be disposed on the first rotation plate 152.

상기 회전구동유닛은 제1회전판(152)을 제1회전방향(A1)을 따라 회전시킨다. 제1회전판(A1)이 회전함에 따라 지지판(151)은 제1반입부(110), 제1레이저 가공부(120) 및 제1반출부(130)에 순차적으로 배치되면서, 태양전지 기판(10)에 대한 전극 형성공정이 순차적으로 수행된다.The rotation driving unit rotates the first rotating plate 152 along the first rotation direction A1. As the first rotating plate A1 rotates, the support plate 151 is sequentially disposed on the first carrying part 110, the first laser processing part 120, and the first carrying out part 130, and the solar cell substrate 10. The electrode forming process for) is performed sequentially.

본 실시예에서 회전구동유닛은 제1회전판(152)의 중앙부를 상하 방향으로 통과하는 가상의 수직축을 회전중심축으로 하여 제1회전판(152)을 약 90도 만큼씩 회전시키는 동작을 반복한다. 90도 회전 후 정지된 상태에서, 제1반입부(110)에서는 새로운 태양전지 기판(10)이 반입되고, 제1레이저 가공부(120)에서는 태양전지 기판(10)에 레이저빔이 조사되고, 제1반출부(130)에서는 가공이 완료된 태양전지 기판(10)이 반출된다. 각각의 작업이 완료되면 회전구동유닛은 다시 제1회전판(152)을 약 90도 만큼 회전시켜, 동일한 작업이 완료될 때까지 정지된다.In this embodiment, the rotation driving unit repeats the operation of rotating the first rotating plate 152 by about 90 degrees by using a virtual vertical axis passing through the central portion of the first rotating plate 152 in the vertical direction as the center of rotation. In the stopped state after 90 degrees rotation, a new solar cell substrate 10 is carried in the first carrying-in unit 110, a laser beam is irradiated to the solar cell substrate 10 in the first laser processing unit 120, In the first carrying out unit 130, the solar cell substrate 10 on which the processing is completed is carried out. When each operation is completed, the rotation driving unit again rotates the first rotating plate 152 by about 90 degrees, it is stopped until the same operation is completed.

본 실시예의 회전구동유닛은 다이렉트 드라이브 모터 등을 채용할 수 있다. 이러한 구성은 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로 상세한 설명은 생략한다.A direct drive motor or the like may be adopted as the rotation drive unit of the present embodiment. Such a configuration is obvious to a person skilled in the art and a detailed description thereof will be omitted.

지지판(151)은 태양전지 기판(10)의 가장자리부에 해당하는 영역에서 지지판(151)의 상하면을 관통하는 복수의 제1관통홀(153)을 구비한다. 지지판(151)의 하측에 배치된 조명유닛(112)으로부터 조사된 조명광(IL)이 제1관통홀(153)을 통과하면 도 4에 도시된 바와 같이 태양전지 기판(10)의 가장자리부가 밝게 빛나게 되고, 조명광(IL)이 조사되는 가장자리부에 대한 화상을 획득할 수 있다. 3개소 이상의 가장자리부에 대한 정보를 획득하면, 지지판(151)에 지지된 태양전지 기판(10)의 위치 정보 및 틀어진 각도 정보를 산출할 수 있고, 이러한 위치 정보와 틀어진 각도 정보를 보상하여 태양전지 기판(10)상의 정확한 위치에 전극을 형성할 수 있다.The support plate 151 includes a plurality of first through holes 153 penetrating the upper and lower surfaces of the support plate 151 in a region corresponding to the edge portion of the solar cell substrate 10. When the illumination light IL irradiated from the illumination unit 112 disposed below the support plate 151 passes through the first through hole 153, the edge of the solar cell substrate 10 is brightly shined as shown in FIG. 4. Then, an image for the edge portion to which the illumination light IL is irradiated can be obtained. If information about three or more edges is obtained, the position information and the wrong angle information of the solar cell substrate 10 supported by the support plate 151 can be calculated, and the solar cell is compensated for by the position information and the wrong angle information. The electrode can be formed at the correct position on the substrate 10.

지지판(151)의 상측에 배치된 정렬용 카메라(111)는 복수의 제1관통홀(153)과 동일한 수량으로 복수 개 마련되며, 복수의 제1관통홀(153) 각각과 일렬로 배치된다. 본 실시예에서는 하나의 지지판(151)에 대하여 제1관통홀(153)이 5개 마련되고, 정렬용 카메라(111) 또한 5개 마련된다.A plurality of alignment cameras 111 disposed above the support plate 151 are provided in the same quantity as the plurality of first through holes 153, and are arranged in line with each of the plurality of first through holes 153. In the present embodiment, five first through holes 153 are provided for one support plate 151, and five alignment cameras 111 are also provided.

또한, 지지판(151)은 상하면을 관통하는 제2관통홀(154)을 구비한다. 정상적인 전극 형성공정에서는 지지판(151)에 태양전지 기판(10)을 안착시키고 태양전지 기판(10)에 레이저빔(L)을 조사하는데, 레이저빔(L)의 파워가 전극 형성에 적합한 기준 파워보다 높거나 낮아 불량이 발생할 경우, 레이저빔(L)의 파워를 확인할 필요가 생긴다. 이때, 레이저빔(L)을 제2관통홀(154)을 통과시켜 지지판(151)의 하측에 배치된 파워측정유닛(122)에 입사시킴으로써, 조사되는 레이저빔(L)의 파워가 정상적인가를 확인할 수 있다. 측정된 레이저빔(L)의 파워를 기준으로 정상적인 전극 형성공정이 가능하도록 레이저빔(L)의 파워를 조정할 수 있다.In addition, the support plate 151 has a second through hole 154 penetrating the upper and lower surfaces. In the normal electrode forming process, the solar cell substrate 10 is mounted on the support plate 151 and the laser beam L is irradiated onto the solar cell substrate 10. The power of the laser beam L is higher than the reference power suitable for forming the electrode. If a high or low defect occurs, it is necessary to check the power of the laser beam (L). At this time, the laser beam L is passed through the second through hole 154 to enter the power measuring unit 122 disposed below the support plate 151 to confirm whether the power of the irradiated laser beam L is normal. Can be. The power of the laser beam L may be adjusted to enable a normal electrode forming process based on the measured power of the laser beam L. FIG.

상기 제2가공부(200)는, 제1가공부(100)와 이웃하게 배치되며, 2장의 태양전기 기판(10)에 대하여 동시에 그리고 연속적으로 전극 형성작업이 수행되는 것으로서, 제2반입부(210)와, 제2레이저 가공부(220)와, 제2반출부(230)와, 제2보정부(240)와, 제2회전부(250)를 포함한다.The second processing unit 200 is disposed adjacent to the first processing unit 100, and the electrode forming operation is simultaneously and continuously performed on the two solar cell substrates 10. 210, a second laser machining unit 220, a second carrying out unit 230, a second compensation unit 240, and a second rotating unit 250.

상기 제2반입부(210)는 상술한 제1반입부(110)와, 상기 제2레이저 가공부(220)는 상술한 제1레이저 가공부(120)와, 상기 제2반출부(230)는 상술한 제1반출부(130)와, 상기 제2보정부(240)는 상술한 제1보정부(140)와, 상기 제2회전부(250)는 상술한 제1회전부(150)와 실질적으로 동일한 기능을 수행하고, 각각에 포함되는 구성요소 또한 실질적으로 동일하므로 상세한 설명을 생략한다.The second carrying part 210 is the first carrying part 110 described above, the second laser processing part 220 is the first laser processing part 120 and the second carrying out part 230 described above. The first carrying out unit 130, the second correction unit 240 is the first correction unit 140, the second rotation unit 250 is substantially the same as the first rotation unit 150 described above. As the same function, and the components included in each is substantially the same, detailed description thereof will be omitted.

한편, 제1회전판(152)과 제2회전판(252)은, 회전으로 인해 발생하는 진동을 서로 전달하지 않기 위하여 동시에 회전된다. 예를 들어 제1가공부(100)의 제1레이저 가공부(120)에서 태양전지 기판(10)에 레이저빔(L)이 조사되는 동안 제2회전판(252)이 회전하게 되면, 회전으로 인한 진동이 제1회전판(152)에 전달되어 제1가공부(100)에서의 작업 정밀도가 현저하게 저하되는 문제가 발생한다. 이러한 문제를 방지하기 위하여 제1회전판(152)과 제2회전판(252)은 동시에 90도만큼 회전하고, 정지된 상태에서 각각의 영역에서 해당 작업이 수행되며, 각각의 영역에서 해당 작업이 완료되면 다시 동시에 90도만큼 회전하여 다음 영역으로 태양전지 기판(10)을 보내는 과정을 반복한다.On the other hand, the first rotating plate 152 and the second rotating plate 252 are rotated at the same time so as not to transmit the vibration generated by the rotation. For example, when the second rotating plate 252 rotates while the laser beam L is irradiated to the solar cell substrate 10 by the first laser processing unit 120 of the first processing unit 100, the rotation may occur due to rotation. Vibration is transmitted to the first rotating plate 152, which causes a problem that the working precision in the first processing unit 100 is significantly lowered. In order to prevent such a problem, the first rotating plate 152 and the second rotating plate 252 are rotated by 90 degrees at the same time, and the operation is performed in each area in the stopped state, and when the operation is completed in each area At the same time, the process of sending the solar cell substrate 10 to the next region is rotated by 90 degrees.

본 실시예에서는 제1회전방향(A1)과 제2회전방향(A2)은 서로 반대 방향이다. 예를 들어, 제1회전방향(A1)은 시계방향이고 제2회전방향(A2)은 반시계방향이며, 제2반입부(210)와, 제2레이저 가공부(220)와, 제2반출부(230)와, 제2보정부(240)는 제2회전방향(A2)을 따라 약 90도 정도 이격되게 배치된다. 제1회전방향(A1)과 제2회전방향(A2)은 서로 반대 방향으로 마련함으로써, 제1보정부의 보정용 카메라(141) 및 제2보정부의 보정용 카메라(241)를 이동시키는 이동유닛(260)을 공통으로 사용할 수 있다.In the present embodiment, the first rotation direction A1 and the second rotation direction A2 are opposite to each other. For example, the first rotation direction A1 is clockwise and the second rotation direction A2 is counterclockwise, and the second carry-in part 210, the second laser processing part 220, and the second carry-out are carried out. The unit 230 and the second compensation unit 240 are disposed to be spaced about 90 degrees along the second rotation direction A2. The first rotation direction A1 and the second rotation direction A2 are provided in opposite directions to each other, such that the mobile unit moves the correction camera 141 of the first correction unit and the correction camera 241 of the second correction unit ( 260 may be used in common.

상기 이동유닛(260)은, 제1보정부의 보정용 카메라(141) 및 제2보정부의 보정용 카메라(241)를 보정용 패턴(21)이 형성된 더미 기판(20)상의 원하는 위치로 이동시킨다. 본 실시예에서 이동유닛(260)은 보정용 카메라(141,241)를 직선왕복이송시키는 직선이송유닛이 이용될 수 있으며, 직선이송유닛은 리니어 모터, 회전 모터와 볼 스크류가 조합된 구성 등을 채용할 수 있다. 이러한 구성은 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로 상세한 설명은 생략한다.The moving unit 260 moves the correction camera 141 of the first correction unit and the correction camera 241 of the second correction unit to a desired position on the dummy substrate 20 on which the correction pattern 21 is formed. In this embodiment, the mobile unit 260 may use a linear transfer unit for linearly reciprocating the correction cameras 141 and 241. The linear transfer unit may adopt a combination of a linear motor, a rotary motor, and a ball screw. have. Such a configuration is obvious to a person skilled in the art and a detailed description thereof will be omitted.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치는, 반입부, 레이저 가공부, 반출부가 각각 분리되고, 회전판을 이용하여 태양전지 기판이 각각의 영역을 순차적으로 통과하면서 가공 공정이 완료되도록 구성함으로써, 태양전지 기판에 전극을 형성하는 작업의 수율을 월등하게 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In the solar cell processing apparatus using the laser of the present embodiment configured as described above, the carrying-in part, the laser processing part, and the carrying-out part are separated from each other, and the machining process is completed while the solar cell substrate passes through each area sequentially using a rotating plate. By configuring so that the yield of the work which forms an electrode in a solar cell board can be improved significantly, the effect can be acquired.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치는, 태양전지 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저 조사유닛을 보정할 수 있는 보정부를 구비함으로써, 태양전지 기판에 형성되는 전극의 위치정밀도를 균일하게 유지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the solar cell processing apparatus using the laser of the present embodiment configured as described above, the position of the electrode formed on the solar cell substrate by having a correction unit capable of correcting the laser irradiation unit for irradiating a laser beam to the solar cell substrate The effect of keeping the precision uniform can be obtained.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예의 레이저를 이용한 태양전지 가공장치는, 레이저빔의 파워를 측정하는 파워측정유닛을 구비함으로써, 생산되는 태양전지의 품질을 균일하게 유지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the solar cell processing apparatus using the laser of the present embodiment configured as described above is provided with a power measuring unit for measuring the power of the laser beam, it is possible to obtain the effect of maintaining the quality of the produced solar cell uniformly. .

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but can be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

10 : 태양전지 기판
110 : 제1반입부
120 : 제1레이저 가공부
130 : 제1반출부
140 : 제1보정부
150 : 제1회전부
300 : 레이저를 이용한 태양전지 가공장치10: solar cell substrate
110: first carry-on unit
120: first laser processing part
130: first export unit
140: First Government
150: first rotating part
300: solar cell processing apparatus using a laser

Claims

A first carrying-in unit having a solar cell substrate loaded therein and having an alignment camera for imaging the solar cell substrate to align the solar cell substrate;
A first laser processing part disposed to be spaced apart from the first carrying part along a first rotation direction and having a laser beam irradiation unit irradiating a laser beam to the solar cell substrate to form a pattern on the solar cell substrate;
A first carrying part disposed spaced apart from the first laser machining part along the first rotation direction, and carrying out the completed solar cell substrate; And
A plurality of support plates for supporting the solar cell substrate, respectively, and the first rotating plate is spaced apart from each other in the first loading portion, the first laser processing portion and the first discharge portion in the first rotation direction And a first rotating part including a rotating driving unit for rotating the first rotating plate along the first rotational direction.

The method of claim 1,
A first camera disposed to be spaced apart from the first carrying out portion along the first rotation direction, the first camera including a correction camera configured to capture a correction pattern formed on the dummy substrate by the laser irradiation unit in order to correct the accuracy of the laser irradiation unit; Solar cell processing apparatus using a laser, characterized in that it further comprises a correction unit.

The method of claim 1,
The support plate has a plurality of first through holes penetrating the upper and lower surfaces of the support plate in a region corresponding to an edge portion of the solar cell substrate,
The first carrying-in unit, the solar cell processing apparatus using a laser, characterized in that it further comprises a lighting unit disposed below the support plate for irradiating the illumination light toward the first through-hole.

The method of claim 3,
The alignment camera,
A solar cell processing apparatus using a laser disposed on an upper side of the support plate, provided in plural in the same quantity as the plurality of first through holes, and arranged in line with each of the plurality of first through holes.

The method of claim 1,
The support plate has a second through hole penetrating the upper and lower surfaces of the support plate,
The first laser processing unit, the solar cell processing apparatus using a laser, characterized in that it further comprises a power measuring unit disposed below the support plate for measuring the power of the laser beam irradiated through the second through hole.

The method of claim 1,
A second carrying-in unit having a solar cell substrate loaded therein and having an alignment camera for imaging the solar cell substrate to align the solar cell substrate;
A second laser processing part disposed to be spaced apart from the second carrying part along a second rotation direction and having a laser beam irradiation unit irradiating a laser beam to the solar cell substrate to form a pattern on the solar cell substrate;
A second carrying part disposed spaced apart from the second laser machining part along the second rotation direction, and carrying out the completed solar cell substrate; And
A plurality of support plates for supporting the solar cell substrate, respectively, and a second rotating plate disposed to be spaced apart from each other in the second loading portion, the second laser processing portion and the second carrying portion along the second rotation direction. And a second rotating part including a rotating driving unit for rotating the second rotating plate along the second rotating direction.

The method according to claim 6,
The first rotating plate and the second rotating plate,
Solar cell processing apparatus using a laser, characterized in that the rotation at the same time in order not to transmit the vibration generated by the rotation.

The method according to claim 6,
The first rotation direction and the second rotation direction is a solar cell processing apparatus using a laser, characterized in that the opposite direction.

The method according to claim 6,
The pattern for correction disposed on the dummy substrate by the laser irradiation unit of the first laser processing unit, and arranged to be spaced apart from the first carrying unit along the first rotation direction, to correct the precision of the laser irradiation unit of the first laser processing unit. A first correction unit having a correction camera for capturing the light;
A pattern for correction disposed on the dummy substrate by the laser irradiation unit of the second laser processing unit, and disposed to be spaced apart from the second carrying unit along the second rotation direction and to correct the precision of the laser irradiation unit of the second laser processing unit. A second correction unit having a correction camera for capturing the light; And
And a moving unit for moving the first calibration camera or the second calibration camera to a desired position on the dummy substrate.