Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR101336866B1 - Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically - Google Patents

Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically Download PDF

Info

Publication number
KR101336866B1
KR101336866B1 KR1020120063279A KR20120063279A KR101336866B1 KR 101336866 B1 KR101336866 B1 KR 101336866B1 KR 1020120063279 A KR1020120063279 A KR 1020120063279A KR 20120063279 A KR20120063279 A KR 20120063279A KR 101336866 B1 KR101336866 B1 KR 101336866B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air knife
substrate
holder
adjusting
air
Prior art date
Application number
KR1020120063279A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
백운영
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨텍 filed Critical 주식회사 케이씨텍
Priority to KR1020120063279A priority Critical patent/KR101336866B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101336866B1 publication Critical patent/KR101336866B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

본 발명은 에어 나이프의 분사 각도가 투입되는 기판의 두께에 대응하여 최적의 설정 각도로 자동 조절되도록 함으로써 에어 나이프의 분사 각도를 신속 정확하게 조절함과 아울러 기판의 건조성능을 향상시킬 수 있는 자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 구현하기 위한 본 발명은, 상하 간격을 두고 설치되어 그 사이로 이송되는 기판의 상면과 하면에 건조공기를 분사하는 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120); 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 회전축(111) 둘레에 결합되며 원주방향을 따라 일정 간격으로 서로 다른 극성이 교대로 착자된 영구자석(152)과, 상기 영구자석(152)의 둘레에 배치되는 전자석(153)으로 이루어져, 상기 전자석(153)에 인가되는 전류의 크기와 방향 조절에 의해 상기 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 분사 각도가 이송되는 기판의 두께에 대응하여 기 설정된 분사 각도가 되도록 상기 회전축(111)의 회전량을 조절하는 제1 분사각도 조절장치(150)와 제2 분사각도 조절장치(170)를 포함한다.According to the present invention, the spray angle of the air knife is automatically adjusted to an optimal setting angle corresponding to the thickness of the substrate into which the air knife is sprayed, thereby automatically adjusting the spray angle of the air knife and improving the drying performance of the substrate. It is an object to provide an air knife with an adjusting device.
The present invention for realizing this, the first air knife 110 and the second air knife 120 is installed at intervals up and down and spraying dry air on the upper and lower surfaces of the substrate to be transported therebetween; Permanent magnet 152 coupled to the rotation axis 111 of the first air knife 110 and the second air knife 120 and alternately magnetized with different polarities at regular intervals along the circumferential direction, and the permanent magnet ( 152 is formed around the electromagnet 153, the injection angle of the first air knife 110 and the second air knife 120 by adjusting the magnitude and direction of the current applied to the electromagnet 153 is And a first spraying angle adjusting device 150 and a second spraying angle adjusting device 170 for adjusting the amount of rotation of the rotating shaft 111 to correspond to a thickness of the substrate to be transferred.

Description

자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프{Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically}Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically}

본 발명은 기판 세정 장치에서 기판의 건조를 위해 기판의 표면에 건조공기를 분사하는 에어 나이프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판의 두께에 대응하여 에어 나이프의 분사 각도를 전자기력의 크기와 방향 조절에 의해 신속 정확하게 자동으로 조절할 수 있는 자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife for spraying dry air onto the surface of a substrate for drying the substrate in a substrate cleaning apparatus. The present invention relates to an air knife having an automatic spraying angle adjusting device which can be adjusted quickly and automatically automatically.

일반적으로 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display) 기판 등은 다양한 제조공정을 거쳐 제조되는데, 이처럼 다양한 제조공정을 거치는 과정에서 기판의 표면이 제조공정 중에 발생하는 파티클 및 오염 물질에 의해 오염되므로 기판 표면의 파티클 및 오염물질을 제거하기 위해 일부 제조공정의 전/후로는 세정공정이 수행된다.In general, a semiconductor wafer or a flat panel display (FPD) substrate is manufactured through various manufacturing processes. As such, the surface of the substrate is contaminated by particles and contaminants generated during the manufacturing process. Cleaning processes are performed before and after some fabrication processes to remove particles and contaminants on the substrate surface.

즉, 세정공정은 기판 표면의 청정화를 위한 공정으로, 일례로 약액처리공정과 린스공정 및 건조공정으로 이루어지고, 상기 건조공정은 약액처리공정과 린스공정을 거쳐 기판 표면에 잔류된 세정액을 제거하기 위한 공정이다.That is, the cleaning process is a process for cleaning the surface of the substrate. For example, the cleaning process includes a chemical treatment process, a rinsing process, and a drying process. It is a process for.

일반적으로 건조공정은 기판 표면에 잔류된 세정액을 제거하기 위하여 기판 표면에 건조공기(CDA; Clean Dry Air)를 가압분사하여 세정액을 건조시키는 과정을 거치는데, 이를 위하여 건조공기를 공급받아 단부에 형성된 슬릿(slit)으로 가압분사하는 에어 나이프(Air knife)를 포함하는 기판건조장치가 사용된다.In general, the drying process is a process of drying the cleaning solution by pressurizing and spraying the dry air (CDA; Clean Dry Air) on the surface of the substrate to remove the cleaning solution remaining on the surface of the substrate. Substrate drying apparatus including an air knife that is pressurized into a slit is used.

상기 에어 나이프는 약액처리공정과 린스공정을 마치고 이송되는 기판의 상측과 하측에 기판의 너비방향으로 각각 설치되고 슬릿을 통하여 기판의 상면과 하면에 건조공기를 분사하여 기판 표면에 잔류된 세정액을 제거한다.The air knife is installed in the width direction of the substrate on the upper and lower sides of the substrate to be transferred after the chemical treatment process and the rinsing process, and the cleaning liquid remaining on the surface of the substrate is removed by spraying dry air on the upper and lower surfaces of the substrate through the slit. do.

한편, 세정액의 원활한 건조를 위해서는 에어 나이프와 기판 간의 간격 및 건조공기의 분사 각도가 중요한 변수로 작용하므로, 기판과의 간격 및 기판에 대한 건조공기의 분사 각도를 조절하는 장치를 구비한 에어 나이프가 제시된 바 있다.On the other hand, since the distance between the air knife and the substrate and the spray angle of the drying air are important variables for the smooth drying of the cleaning liquid, the air knife having a device for adjusting the distance between the substrate and the spray angle of the dry air to the substrate is It has been suggested.

도 1은 종래 에어 나이프의 부분 사시도, 도 2와 도 3은 종래 에어 나이프의 분사 각도 조절 장치를 서로 다른 방향에서 바라본 사시도이다.1 is a partial perspective view of a conventional air knife, Figures 2 and 3 is a perspective view of the conventional jet angle control device of the air knife viewed from different directions.

종래의 에어 나이프는, 상하 간격을 두고 설치되어 그 사이로 이송되는 기판의 상면과 하면에 건조공기를 분사하는 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)가 구비된다. 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)의 양측에는 이들을 지지하는 에어 나이프 고정대(30)가 설치되고, 에어 나이프 고정대(30)의 내측면에는 제1 에어 나이프(10) 및 제2 에어 나이프(20)와 기판 사이의 간격 조절을 위한 제1 에어 나이프 고정 거치대(40)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(60)가 상하 이동 가능하게 구비된다. Conventional air knives are provided with a first air knife 10 and a second air knife 20 which spray dry air on the upper and lower surfaces of the substrate which are provided at upper and lower intervals and are transported therebetween. On both sides of the first air knife 10 and the second air knife 20, an air knife holder 30 for supporting them is installed, and the first air knife 10 and the first air knife 10 are formed on the inner surface of the air knife holder 30. The first air knife fixing holder 40 and the second air knife fixing holder 60 for adjusting the distance between the air knife 20 and the substrate are provided to be movable up and down.

에어 나이프 고정대(30)의 상부에는 제1 에어 나이프 고정 거치대(40)에 결합되는 제1 승강조절볼트(80)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(60)에 결합되는 제2 승강조절볼트(90)가 수직으로 나사결합되어, 제1 승강조절볼트(80)와 제2 승강조절볼트(90)의 회전에 의해 제1 에어 나이프 고정 거치대(40)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(60) 및 이들에 각각 결합된 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)의 높이가 조절된다. The second elevating adjustment bolt 90 coupled to the first elevating adjustment bolt 80 and the second air knife fixing cradle 60 coupled to the first air knife fixing cradle 40 on the upper portion of the air knife holder 30. Is vertically screwed, and the first air knife fixing cradle 40 and the second air knife fixing cradle 60 and these by the rotation of the first lifting control bolt 80 and the second lifting control bolt 90 The heights of the first air knife 10 and the second air knife 20 coupled to each other are adjusted.

에어 나이프 고정대(30)의 외측면에는 상부와 하부에 양측으로 제1 수직장공(31)과 제2 수직장공(32)이 형성되고, 제1 수직장공(31)에는 제1 에어 나이프 고정 거치대(40)의 외측면에서 외측으로 돌출된 제1 이동돌기(41)가 삽입되어 제1 에어 나이프 고정 거치대(40)의 상하 이동을 가이드하고, 제2 수직장공(32)에는 제2 에어 나이프 고정 거치대(60)의 외측면에서 외측으로 돌출된 제2 이동돌기(61)가 삽입되어 제2 에어 나이프 고정 거치대(60)의 상하 이동을 가이드한다. 에어 나이프 고정대(30)의 하부에는 고정볼트(33)에 의해 체결되어 기판건조장치의 프레임(미도시됨)에 장착되는 거치대(34)가 구비된다.On the outer surface of the air knife holder 30, the first vertical hole 31 and the second vertical long hole 32 are formed on both sides of the upper and lower sides, and the first vertical long hole 31 has a first air knife fixed holder ( The first moving protrusion 41 protruding outward from the outer surface of the 40 is inserted to guide the vertical movement of the first air knife fixing holder 40, and the second vertical knife 32 has a second air knife fixing holder. The second moving protrusion 61 protruding outward from the outer surface of the 60 is inserted to guide the vertical movement of the second air knife fixing holder 60. The lower portion of the air knife holder 30 is provided with a holder 34 is fastened by a fixing bolt 33 is mounted to the frame (not shown) of the substrate drying apparatus.

도 2와 도 3을 참조하면, 제1 에어 나이프 고정 거치대(40)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(60)에는 각각 그 중간부에 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)의 회전축(미도시됨)이 회전 가능하게 거치되는 제1 에어 나이프 거치홈(42)과 제2 에어 나이프 거치홈(62)이 형성되고, 제1 에어 나이프 고정 거치대(40)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(60)의 일측에는 각각 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)의 분사 각도 조절 시 조절된 각도를 작업자가 육안으로 확인하기 위한 제1 눈금판(50)과 제2 눈금판(70)이 일체로 형성되어 있다.2 and 3, the first air knife fixing cradle 40 and the second air knife fixing cradle 60 have respective intermediate portions of the first air knife 10 and the second air knife 20 in the middle thereof. The first air knife mounting groove 42 and the second air knife mounting groove 62 are rotatably mounted to the rotating shaft (not shown), and the first air knife fixing holder 40 and the second air knife fixed are fixed. On one side of the cradle 60, the first scale plate 50 and the second scale plate (50) for the operator to visually check the adjusted angle at the time of adjusting the injection angle of the first air knife 10 and the second air knife 20, respectively ( 70 is integrally formed.

제1 눈금판(50)과 제2 눈금판(70)에는 각각 제1 원호형 장공(51)과 제2 원호형 장공(71)이 형성되고, 제1 원호형 장공(51)과 제2 원호형 장공(71)의 양측부에는 원호방향을 따라 눈금(52,72)이 새겨져 있으며, 제1 원호형 장공(51)과 제2 원호형 장공(71)을 관통하여 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)에 나사결합되는 제1 고정볼트(53)와 제2 고정볼트(73)가 구비된다.The first and second arc holes 51 and the second arc holes 51 are formed in the first and second dial plates 50 and 70, respectively. On both sides of the 71, graduations 52 and 72 are engraved along the arc direction, and penetrate the first arc-shaped long hole 51 and the second arc-shaped long hole 71 so that the first air knife 10 and A first fixing bolt 53 and a second fixing bolt 73 screwed to the second air knife 20 are provided.

이와 같이 구성된 종래 에어 나이프 구조에서, 투입되는 기판의 두께에 대응하여 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)의 분사 각도를 조절하기 위해서는, 작업자가 제1 고정볼트(53)와 제2 고정볼트(73)를 회전시켜 느슨하게 풀어낸 상태에서 제1 눈금(52)과 제2 눈금(72)을 바라보면서 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)를 원하는 각도로 회전시킨 후, 다시 제1 고정볼트(53)와 제2 고정볼트(73)를 조여서 고정시키는 방식을 사용하였다.In the conventional air knife structure configured as described above, in order to adjust the injection angles of the first air knife 10 and the second air knife 20 in correspondence with the thickness of the substrate to be inserted, the operator is the first fixing bolt 53 and The first air knife 10 and the second air knife 20 are rotated at a desired angle while looking at the first scale 52 and the second scale 72 while the second fixing bolt 73 is loosely released. After the rotation, the first fixing bolt 53 and the second fixing bolt 73 was tightened to fix it.

그러나 이와 같이 수동에 의해 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)의 분사각도를 조절하는 경우에는 제1 에어 나이프(10)와 제2 에어 나이프(20)의 분사 각도 조절의 정확성이 떨어져 기판의 건조 성능이 저하될 뿐만 아니라 분사 각도 조절 작업에 많은 시간과 노력이 소요되어 공정이 지연되고 작업효율이 떨어지는 문제점이 있다.However, when the injection angle of the first air knife 10 and the second air knife 20 is manually adjusted in this way, the accuracy of the injection angle adjustment of the first air knife 10 and the second air knife 20 is adjusted. Apart from this, not only the drying performance of the substrate is lowered, but also a large amount of time and effort is required to control the spray angle, thereby delaying the process and reducing work efficiency.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 에어 나이프의 분사 각도가 투입되는 기판의 두께에 대응하여 최적의 설정 각도로 자동 조절되도록 함으로써 에어 나이프의 분사 각도를 신속 정확하게 조절함과 아울러 기판의 건조성능을 향상시킬 수 있는 자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프를 제공함에 그 목적이 있다. The present invention has been made in order to solve the above problems, by adjusting the spray angle of the air knife quickly and accurately by automatically adjusting the spray angle of the air knife to the optimum setting angle corresponding to the thickness of the substrate to be injected It is an object of the present invention to provide an air knife having an automatic injection angle adjusting device capable of improving the drying performance of a substrate.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프는, 상하 간격을 두고 설치되어 그 사이로 이송되는 기판의 상면과 하면에 건조공기를 분사하는 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120); 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 회전축(111) 둘레에 결합되며 원주방향을 따라 일정 간격으로 서로 다른 극성이 교대로 착자된 영구자석(152)과, 상기 영구자석(152)의 둘레에 배치되는 전자석(153)으로 이루어져, 상기 전자석(153)에 인가되는 전류의 크기와 방향 조절에 의해 상기 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 분사 각도가 이송되는 기판의 두께에 대응하여 기 설정된 분사 각도가 되도록 상기 회전축(111)의 회전량을 조절하는 제1 분사각도 조절장치(150)와 제2 분사각도 조절장치(170)를 포함한다.Air knife having an automatic injection angle adjusting device of the present invention for achieving the above object is, the first air knife which is installed at intervals up and down and spraying dry air on the upper and lower surfaces of the substrate to be transported therebetween ( 110 and second air knife 120; Permanent magnet 152 coupled to the rotation axis 111 of the first air knife 110 and the second air knife 120 and alternately magnetized with different polarities at regular intervals along the circumferential direction, and the permanent magnet ( 152 is formed around the electromagnet 153, the injection angle of the first air knife 110 and the second air knife 120 by adjusting the magnitude and direction of the current applied to the electromagnet 153 is And a first spraying angle adjusting device 150 and a second spraying angle adjusting device 170 for adjusting the amount of rotation of the rotating shaft 111 to correspond to a thickness of the substrate to be transferred.

이 경우 상기 제1 분사각도 조절장치(150)와 제2 분사각도 조절장치(170)는, 전원부(200)로부터 전자석(153)으로 인가되는 전류의 온/오프(ON/OFF) 및 흐름 방향을 전환하는 스위칭수단(310)과, 인가되는 전류의 크기를 조절하는 전류조절수단(320)을 구비한 제어부(300)에 연결 설치된 것을 특징으로 한다.In this case, the first injection angle control device 150 and the second injection angle control device 170, the ON / OFF and the flow direction of the current applied from the power supply unit 200 to the electromagnet 153 It is characterized in that it is connected to the control unit 300 having a switching means for switching 310 and the current adjusting means 320 for adjusting the magnitude of the applied current.

또한 상기 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 회전축(111)은 상기 스위칭수단(310)이 온(ON)된 경우에는 회전 가능한 상태가 되고, 오프(OFF)된 경우에는 회전 정지된 상태를 유지하도록 구성될 수 있다.In addition, the rotating shaft 111 of the first air knife 110 and the second air knife 120 is in a rotatable state when the switching means 310 is ON, and when it is OFF It may be configured to keep the rotation stopped.

또한 상기 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 양측에는, 에어 나이프 고정대(130)와, 상기 에어 나이프 고정대(130)의 내측면을 따라 상하 이동되어 고정됨으로써 상기 제1 에어 나이프(110) 및 제2 에어 나이프(120)와 기판 사이의 간격을 조절하는 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)가 구비되고, 상기 제1 분사각도 조절장치(150)와 제2 분사각도 조절장치(170)는, 상기 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)에 각각 고정 설치된 것으로 구성될 수 있다.In addition, the first air knife 110 and the second air knife 120, both sides of the air knife holder 130, and the first air by moving up and down along the inner surface of the air knife holder 130 is fixed The first air knife fixing holder 140 and the second air knife fixing holder 160 for adjusting the distance between the knife 110 and the second air knife 120 and the substrate is provided, the first injection angle adjusting device 150 and the second injection angle adjustment device 170, may be configured to be fixed to the first air knife fixed holder 140 and the second air knife fixed holder 160, respectively.

또한 상기 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)에는, 상기 전자석(153)이 내주면에 장착되며 전원부(200)에 연결되는 소켓 하우징(151)이 결합된 것으로 구성될 수 있다.In addition, the first air knife fixed holder 140 and the second air knife fixed holder 160, the electromagnet 153 is mounted on the inner circumferential surface and is configured to be coupled to the socket housing 151 connected to the power supply 200 Can be.

본 발명에 따른 자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프에 의하면, 투입되는 기판의 두께에 대응하여 전자기력의 크기와 방향을 조절함으로써 에어 나이프의 분사각도를 설정된 각도로 신속 정확하게 자동으로 조절할 수 있고, 이에 따라 기판의 건조성능을 향상시키고 에어 나이프의 분사각도 조절을 위해 불필요한 인력과 시간의 낭비요인을 제거할 수 있다.According to the air knife provided with the automatic injection angle adjusting device according to the present invention, by adjusting the magnitude and direction of the electromagnetic force corresponding to the thickness of the substrate to be input, it is possible to quickly and automatically automatically adjust the injection angle of the air knife to the set angle, Accordingly, it is possible to remove unnecessary manpower and waste of time for improving the drying performance of the substrate and adjusting the spray angle of the air knife.

도 1은 종래 에어 나이프의 부분 사시도,
도 2와 도 3은 종래 에어 나이프의 분사 각도 조절 장치를 서로 다른 방향에서 바라본 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 에어 나이프의 부분 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 에어 나이프의 분사 각도 조절 장치의 부분 사시도,
도 6은 도 5의 분해 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 에어 나이프의 분사 각도 조절 장치의 구성 블록도.1 is a partial perspective view of a conventional air knife,
2 and 3 are a perspective view of the conventional jet angle control device of the air knife viewed from different directions,
4 is a partial perspective view of an air knife according to the present invention;
5 is a partial perspective view of the spray angle adjusting device of the air knife according to the present invention;
6 is an exploded perspective view of FIG. 5;
Figure 7 is a block diagram of a configuration of the jet angle adjustment device of the air knife according to the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 에어 나이프의 부분 사시도이다.4 is a partial perspective view of an air knife according to the present invention.

본 발명에 따른 에어 나이프는, 상하 간격을 두고 설치되어 그 사이로 이송되는 기판(미도시됨)의 상면과 하면에 건조공기를 분사하는 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)가 구비되고, 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 양측에는 이들을 지지하는 에어 나이프 고정대(130)가 설치된다. In the air knife according to the present invention, the first air knife 110 and the second air knife 120, which spray dry air on the upper and lower surfaces of the substrate (not shown), which are installed at intervals between the upper and lower sides and are transported therebetween, Is provided, the air knife holder 130 for supporting them on both sides of the first air knife 110 and the second air knife 120 is installed.

에어 나이프 고정대(130)의 내측면에는 제1 에어 나이프(110)와 기판 사이의 간격 조절을 위한 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)와, 제2 에어 나이프(120)와 기판 사이의 간격 조절을 위한 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)가 상하 이동 가능하게 구비된다. On the inner surface of the air knife holder 130, the first air knife fixing holder 140 for adjusting the distance between the first air knife 110 and the substrate, and the distance between the second air knife 120 and the substrate is adjusted The second air knife fixing holder 160 is provided to be movable up and down.

에어 나이프 고정대(130)의 상부에는 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)에 결합되는 제1 승강조절볼트(180)와, 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)에 결합되는 제2 승강조절볼트(180)가 수직으로 나사결합되어, 제1 승강조절볼트(180)와 제2 승강조절볼트(190)의 회전에 의해 이들에 각각 연결된 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 상하 높이가 조절된다. The first elevating adjustment bolt 180 coupled to the first air knife fixing holder 140 and the second elevating adjustment bolt 180 coupled to the second air knife fixing holder 160 are disposed on the upper portion of the air knife holder 130. ) Is vertically screwed, the upper and lower sides of the first air knife 110 and the second air knife 120 connected to them by the rotation of the first elevating adjustment bolt 180 and the second elevating adjustment bolt 190, respectively. The height is adjusted.

에어 나이프 고정대(130)의 외측면에는 상부와 하부에 양측으로 제1 수직장공(131)과 제2 수직장공(132)이 형성되고, 제1 수직장공(131)에는 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)의 외측면에서 외측으로 돌출된 한 쌍의 제1 이동돌기(141)가 삽입되어 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)의 상하 이동을 가이드하고, 제2 수직장공(132)에는 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)의 외측면에서 외측으로 돌출된 한 쌍의 제2 이동돌기(161)가 삽입되어 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)의 상하 이동을 가이드한다.On the outer surface of the air knife holder 130, a first vertical long hole 131 and a second vertical long hole 132 are formed at both sides of the upper and lower sides, and a first air knife fixing cradle (131) at the first vertical long hole 131. A pair of first moving protrusions 141 protruding outward from the outer surface of the 140 is inserted to guide the vertical movement of the first air knife fixing holder 140, and the second vertical long hole 132 has a second air. A pair of second moving protrusions 161 protruding outward from the outer surface of the knife fixing holder 160 is inserted to guide the vertical movement of the second air knife fixing holder 160.

제1 에어 나이프 고정 거치대(140)의 일측에는 제1 에어 나이프(110)의 분사 각도 조절을 위한 제1 분사각도 조절장치(150)가 장착되고, 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)의 일측에는 제2 에어 나이프(120)의 분사 각도 조절을 위한 제2 분사각도 조절장치(170)가 장착되어 있다.One side of the first air knife fixing holder 140 is equipped with a first injection angle adjusting device 150 for adjusting the injection angle of the first air knife 110, one side of the second air knife fixing holder 160 A second injection angle adjusting device 170 for adjusting the injection angle of the second air knife 120 is mounted.

제1 분사각도 조절장치(150)와 제2 분사각도 조절장치(170)는 각각 독립적으로 동작되지만, 그 구성 및 작동 원리는 동일하게 적용되므로 이하에서는, 제1 에어 나이프(110)의 회전량을 조절하는 제1 분사각도 조절장치(150)를 중심으로 그 구성 및 작용을 설명하기로 하며, 이하의 설명은 제2 에어 나이프(120)의 분사 각도 조절을 위한 제2 분사각도 조절장치(170)에도 동일하게 적용된다. Although the first injection angle adjusting device 150 and the second injection angle adjusting device 170 are operated independently of each other, the configuration and operation principle are the same, so that the amount of rotation of the first air knife 110 will be described below. The configuration and operation of the first spraying angle adjusting device 150 to be adjusted will be described, and the following description will be given to the second spraying angle adjusting device 170 for adjusting the spraying angle of the second air knife 120. The same applies to.

도 5는 본 발명에 따른 에어 나이프의 분사 각도 조절 장치의 부분 사시도, 도 6은 도 5의 분해 사시도, 도 7은 본 발명에 따른 에어 나이프의 분사 각도 조절 장치의 구성 블록도이다.Figure 5 is a partial perspective view of the spray angle adjusting device of the air knife according to the present invention, Figure 6 is an exploded perspective view of Figure 5, Figure 7 is a block diagram of a configuration of the spray angle adjusting device of the air knife according to the present invention.

본 발명에 따른 제1 분사각도 조절장치(150)는, 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)의 일측에 결합되어 전류가 인가되는 소켓 하우징(151)과, 제1 에어 나이프(110)의 회전축(111)의 외주면 둘레에 결합되며 원주방향을 따라 일정 간격으로 N극과 S극이 교대로 착자(着磁)된 영구자석(152)과, 영구자석(152)의 둘레에 이격 배치되는 전자석(153)으로 구성된다.The first injection angle adjusting device 150 according to the present invention, the socket housing 151 is coupled to one side of the first air knife fixed holder 140 is applied with a current, the rotary shaft of the first air knife 110 ( 111 is coupled around the outer circumferential surface and permanent magnet 152 alternately magnetized N and S poles at regular intervals along the circumferential direction, and the electromagnet 153 spaced apart around the permanent magnet 152 It is composed of

제1 분사각도 조절장치(150)는, 소켓 하우징(151)의 내주면(151b)에 전자석(153)이 전기적으로 연결되며 장착되고, 소켓 하우징(151)의 관통구(151a)를 통해 소켓 하우징(151)의 내측으로 삽입된 회전축(111)의 외주면에는 영구자석(152)이 결합된 구조로 이루어진다. 영구자석(152)의 외주면과 전자석(153)의 내주면 사이에는 소정의 유격이 형성되어 영구자석(152)과 전자석(153)은 비접촉 상태로 배치된다.The first injection angle adjusting device 150 is mounted on the inner circumferential surface 151b of the socket housing 151 with the electromagnet 153 electrically connected thereto, and through the through hole 151a of the socket housing 151, the socket housing ( The outer circumferential surface of the rotating shaft 111 inserted into the inside of the 151 has a structure in which the permanent magnet 152 is coupled. A predetermined clearance is formed between the outer circumferential surface of the permanent magnet 152 and the inner circumferential surface of the electromagnet 153 so that the permanent magnet 152 and the electromagnet 153 are disposed in a non-contact state.

전자석(153)은, 원통형의 철심(153a)의 외주면에 코일(153b)이 다수회 권취된 구조로 이루어지고, 코일(153b)의 양단에는 전류가 인가되는 두 가닥의 도선이 연결되어 있다. 전원부(200)로부터 전자석(153)의 코일(153b)로 인가되는 전류의 크기와 방향은 제어부(300)에 의해 조절된다. 제어부(300)는 전자석(153)으로 인가되는 전류를 온/오프(ON/OFF)시키거나 전류의 방향 전환을 위한 스위칭수단(310)과, 전류의 크기 조절을 위한 전류조절수단(320)을 포함한다.The electromagnet 153 has a structure in which the coil 153b is wound many times on the outer circumferential surface of the cylindrical iron core 153a, and two strands of conductors to which a current is applied are connected to both ends of the coil 153b. The magnitude and direction of the current applied from the power supply unit 200 to the coil 153b of the electromagnet 153 is controlled by the controller 300. The controller 300 may include a switching means 310 for turning the current applied to the electromagnet 153 on or off or switching the direction of the current, and a current adjusting means 320 for adjusting the magnitude of the current. Include.

회전축(111)은, 스위칭수단(310)이 온(ON)되어 통전 상태인 경우에는 회전의 구속이 해제되어 회전이 자유로운 상태가 되고, 스위칭수단(310)이 오프(OFF)되어 전류의 흐름이 차단된 경우에는 회전이 억제되는 것으로 구성될 수 있다. When the switching means 310 is ON and the energized state, the rotation shaft 111 is released from the restraint of rotation, and the rotation is free. The switching means 310 is turned OFF to flow the current. If blocked, it can be configured that the rotation is suppressed.

이러한 회전축(111)의 회전규제수단의 일례로, 회전축(111)에는 통전 여부에 따라 비통전 시에는 회전축(111)에 걸림되어 외력이 작용하더라도 회전축(111)의 회전이 구속되도록 하고, 통전 시에는 회전축(111)과의 걸림이 해제되어 외력(전자기력)의 작용에 의해 회전축(111)이 회전되도록 하는 솔레노이드(미도시됨)가 구비된 것으로 구성될 수 있다. As an example of the rotation control means of the rotary shaft 111, the rotary shaft 111 is locked to the rotary shaft 111 when not energized depending on whether or not energized so that the rotation of the rotary shaft 111 is constrained even when an external force is applied, It may be configured to be provided with a solenoid (not shown) to release the engagement with the rotating shaft 111 to rotate the rotating shaft 111 by the action of an external force (electromagnetic force).

이하, 상기와 같이 구성된 에어 나이프의 분사 각도 조절 장치의 작용을 설명한다. 약액처리공정과 린스공정을 거친 기판이 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120) 사이로 투입되면, 기판의 두께에 대응하여 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 분사 각도를 조절하기 위하여 스위칭수단(310)은 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 회전 방향(시계 방향 또는 반시계 방향)에 대응하도록 설정된 전류의 방향으로 스위치가 온(ON) 상태가 됨과 동시에 전류조절수단(320)에서는 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)를 회전시키고자 하는 회전 각도의 크기에 비례하여 전자석(153)으로 인가되는 전류의 크기를 조절하게 된다. 이 경우 전류의 통전에 따라 회전축(111)은 상기 회전규제수단에 의한 구속이 해제되어 회전 가능한 상태가 된다. Hereinafter, the operation of the injection angle adjusting device of the air knife configured as described above will be described. When the substrate subjected to the chemical liquid treatment process and the rinse process is introduced between the first air knife 110 and the second air knife 120, the first air knife 110 and the second air knife 120 correspond to the thickness of the substrate. In order to adjust the injection angle of the switching means 310 is switched on in the direction of the current set to correspond to the rotational direction (clockwise or counterclockwise) of the first air knife 110 and the second air knife 120. (ON) and at the same time the current adjusting means 320 of the current applied to the electromagnet 153 in proportion to the size of the rotation angle to rotate the first air knife 110 and the second air knife 120. It will scale. In this case, as the current flows, the rotating shaft 111 is released from restraint by the rotation control means and becomes rotatable.

전자석(153)의 코일(153b)에 전류가 인가되면 그 주위에 형성되는 자기장에 의해 전자기력이 발생되어 전자기력의 작용 방향과 크기에 비례하여 영구자석(152) 및 이에 결합된 회전축(111)을 회전시키게 되며, 이와 연동하여 제1 에어 나이프(110) 또는 제2 에어 나이프(120)가 설정된 분사 각도로 회전된 후에는 스위칭수단(310)이 오프(OFF)되어 상기 회전규제수단의 걸림동작에 의해 회전축(111)은 회전이 정지된 상태가 되며, 이송되는 기판의 상면과 하면에 설정된 분사 각도로 건조공기를 분사하여 기판의 건조공정이 수행된다. When a current is applied to the coil 153b of the electromagnet 153, an electromagnetic force is generated by a magnetic field formed around the electromagnet 153 to rotate the permanent magnet 152 and the rotating shaft 111 coupled thereto in proportion to the direction and magnitude of the electromagnetic force. After the first air knife 110 or the second air knife 120 is rotated at a set injection angle in conjunction with this, the switching means 310 is turned off and is locked by the rotation control means. The rotating shaft 111 is in a state where the rotation is stopped, and the drying process is performed by spraying dry air at a spray angle set on the upper and lower surfaces of the substrate to be transferred.

상기와 같이 본 발명에서는 전자석(153)에 인가되는 전류에 의해 발생되는 전자기력의 방향과 크기 조절에 의해 영구자석(152) 및 이에 결합된 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 회전축(111)을 설정된 각도만큼 자동으로 회전시킴으로써 기판의 두께에 대응하여 에어 나이프의 분사 각도를 설정된 각도로 신속 정확하게 조절 가능하게 되며, 기판의 표면에 최적의 분사 각도로 건조공기를 분사함으로써 기판의 건조성능 및 작업효율을 향상시킬 수 있게 된다.
As described above, in the present invention, the permanent magnet 152 and the first air knife 110 and the second air knife 120 coupled thereto by adjusting the direction and magnitude of the electromagnetic force generated by the electric current applied to the electromagnet 153. By automatically rotating the rotary shaft 111 of the set angle to be able to quickly and accurately adjust the spray angle of the air knife to the set angle corresponding to the thickness of the substrate, by spraying dry air at the optimum spray angle on the surface of the substrate It is possible to improve the drying performance and working efficiency.

10 : 제1 에어 나이프 20 : 제2 에어 나이프
30 : 에어 나이프 고정대 31 : 제1 수직장공
32 : 제2 수직장공 33 : 고정볼트
34 : 거치대 40 : 제1 에어 나이프 고정 거치대
41 : 제1 이동돌기 42 : 제1 에어 나이프 거치홈
50 : 제1 눈금판 51 : 제1 원호형 장공
52 : 제1 눈금 53 : 제1 고정볼트
60 : 제2 에어 나이프 고정 거치대 61 : 제2 이동돌기
62 : 제2 에어 나이프 거치홈 70 : 제2 눈금판
71 : 제2 원호형 장공 72 : 제2 눈금
73 : 제2 고정볼트 80 : 제1 승강조절볼트
90 : 제2 승강조절볼트 110 : 제1 에어 나이프
111 : 회전축 120 : 제2 에어 나이프
130 : 에어 나이프 고정대 140 : 제1 에어 나이프 고정 거치대
150 : 제1 분사각도 조절장치 151 : 소켓 하우징
152 : 영구자석 153 : 전자석
153a : 철심 153b : 코일
160 : 제2 에어 나이프 고정 거치대 170 : 제2 분사각도 조절장치
180 : 제1 승강조절볼트 190 : 제2 승강조절볼트
200 : 전원부 300 : 제어부
310 : 스위칭수단 320 : 전류조절수단10: first air knife 20: second air knife
30: air knife holder 31: the first vertical long hole
32: second vertical long hole 33: fixing bolt
34: holder 40: first air knife fixed holder
41: first moving projection 42: the first air knife mounting groove
50: first scale plate 51: the first arc-shaped long hole
52: first scale 53: first fixing bolt
60: second air knife fixed holder 61: second moving protrusion
62: second air knife mounting groove 70: second graduation plate
71: second arc-shaped long hole 72: second graduation
73: second fixing bolt 80: the first lifting control bolt
90: second lifting adjustment bolt 110: the first air knife
111: rotation axis 120: second air knife
130: air knife holder 140: first air knife fixed holder
150: first injection angle control device 151: socket housing
152: permanent magnet 153: electromagnet
153a: iron core 153b: coil
160: second air knife fixed holder 170: second injection angle adjusting device
180: first lifting adjustment bolt 190: second lifting adjustment bolt
200: power supply unit 300: control unit
310: switching means 320: current control means

Claims (5)

상하 간격을 두고 설치되어 그 사이로 이송되는 기판의 상면과 하면에 건조공기를 분사하는 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120);
제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 회전축(111) 둘레에 결합되며 원주방향을 따라 일정 간격으로 서로 다른 극성이 교대로 착자된 영구자석(152)과, 상기 영구자석(152)의 둘레에 배치되는 전자석(153)으로 이루어져, 상기 전자석(153)에 인가되는 전류의 크기와 방향 조절에 의해 상기 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 분사 각도가 이송되는 기판의 두께에 대응하여 기 설정된 분사 각도가 되도록 상기 회전축(111)의 회전량을 조절하는 제1 분사각도 조절장치(150)와 제2 분사각도 조절장치(170);를 포함하되,
상기 제1 분사각도 조절장치(150)와 제2 분사각도 조절장치(170)는, 전원부(200)로부터 전자석(153)으로 인가되는 전류의 온/오프(ON/OFF) 및 흐름 방향을 전환하는 스위칭수단(310)과, 인가되는 전류의 크기를 조절하는 전류조절수단(320)을 구비한 제어부(300)에 연결 설치되고,
상기 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 회전축(111)은, 상기 스위칭수단(310)이 온(ON)된 경우에는 회전 가능한 상태가 되고, 오프(OFF)된 경우에는 회전 정지된 상태를 유지하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프.
A first air knife 110 and a second air knife 120 which spray dry air on the upper and lower surfaces of the substrate which are installed at upper and lower intervals and are transported therebetween;
Permanent magnet 152 coupled to the rotation axis 111 of the first air knife 110 and the second air knife 120 and alternately magnetized with different polarities at regular intervals along the circumferential direction, and the permanent magnet ( 152 is formed around the electromagnet 153, the injection angle of the first air knife 110 and the second air knife 120 by adjusting the magnitude and direction of the current applied to the electromagnet 153 is And a first spraying angle adjusting device 150 and a second spraying angle adjusting device 170 for adjusting the amount of rotation of the rotating shaft 111 so as to correspond to a thickness of the substrate to be transferred.
The first spraying angle adjusting device 150 and the second spraying angle adjusting device 170 switch the on / off and flow direction of the current applied from the power supply unit 200 to the electromagnet 153. It is connected to the control unit 300 having a switching means 310 and the current adjusting means 320 for adjusting the magnitude of the applied current,
The rotating shaft 111 of the first air knife 110 and the second air knife 120 is in a rotatable state when the switching means 310 is turned on, and when it is turned off. An air knife having an automatic injection angle adjustment device, characterized in that it is configured to maintain the rotation stop state.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 에어 나이프(110)와 제2 에어 나이프(120)의 양측에는, 에어 나이프 고정대(130)와, 상기 에어 나이프 고정대(130)의 내측면을 따라 상하 이동되어 고정됨으로써 상기 제1 에어 나이프(110) 및 제2 에어 나이프(120)와 기판 사이의 간격을 조절하는 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)가 구비되고,
상기 제1 분사각도 조절장치(150)와 제2 분사각도 조절장치(170)는, 상기 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)에 각각 고정 설치된 것을 특징으로 하는 자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프.
The method of claim 1,
Both sides of the first air knife 110 and the second air knife 120, by moving up and down along the inner surface of the air knife holder 130 and the air knife holder 130, the first air knife The first air knife fixing holder 140 and the second air knife fixing holder 160 for adjusting the distance between the 110 and the second air knife 120 and the substrate are provided,
The first injection angle adjustment device 150 and the second injection angle adjustment device 170, characterized in that fixed to each of the first air knife fixed holder 140 and the second air knife fixed holder 160 is installed Air knife with automatic spray angle adjustment.
제4항에 있어서,
상기 제1 에어 나이프 고정 거치대(140)와 제2 에어 나이프 고정 거치대(160)에는, 상기 전자석(153)이 내주면에 장착되며 전원부(200)에 연결되는 소켓 하우징(151)이 결합된 것을 특징으로 하는 자동 분사 각도 조절 장치를 구비한 에어 나이프.5. The method of claim 4,
The first air knife fixing holder 140 and the second air knife fixing holder 160, the electromagnet 153 is mounted on the inner circumferential surface and the socket housing 151 connected to the power supply unit 200 is characterized in that coupled An air knife provided with an automatic spray angle adjusting device.
KR1020120063279A 2012-06-13 2012-06-13 Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically KR101336866B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120063279A KR101336866B1 (en) 2012-06-13 2012-06-13 Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120063279A KR101336866B1 (en) 2012-06-13 2012-06-13 Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101336866B1 true KR101336866B1 (en) 2013-12-04

Family

ID=49987258

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120063279A KR101336866B1 (en) 2012-06-13 2012-06-13 Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101336866B1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101866313B1 (en) 2017-03-16 2018-06-14 주식회사 삼우에코 Angle fixing device for air knife nozzle
KR20190011890A (en) * 2017-07-26 2019-02-08 여정동 Air knife and dust cleaning apparatus having the same
KR20190012584A (en) * 2017-07-28 2019-02-11 여정동 Air knife and dust cleaning apparatus having the same
CN110553496A (en) * 2018-06-01 2019-12-10 显示器生产服务株式会社 Air knife module assembly and substrate drying device using same
KR20210019819A (en) 2019-08-13 2021-02-23 이돈형 Air Knife Apparatus Having Multi Slit

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH105964A (en) * 1996-06-14 1998-01-13 Ube Ind Ltd Mold spray robot
JP2005073310A (en) * 2003-08-26 2005-03-17 Kohei Minato Direct-driven magnetic force rotary device
JP2010177422A (en) * 2009-01-29 2010-08-12 Toppan Printing Co Ltd Substrate drier
KR200461844Y1 (en) 2010-12-31 2012-08-08 김학사 Air knife and equipment for circuit board process comprising the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH105964A (en) * 1996-06-14 1998-01-13 Ube Ind Ltd Mold spray robot
JP2005073310A (en) * 2003-08-26 2005-03-17 Kohei Minato Direct-driven magnetic force rotary device
JP2010177422A (en) * 2009-01-29 2010-08-12 Toppan Printing Co Ltd Substrate drier
KR200461844Y1 (en) 2010-12-31 2012-08-08 김학사 Air knife and equipment for circuit board process comprising the same

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101866313B1 (en) 2017-03-16 2018-06-14 주식회사 삼우에코 Angle fixing device for air knife nozzle
KR20190011890A (en) * 2017-07-26 2019-02-08 여정동 Air knife and dust cleaning apparatus having the same
KR102152490B1 (en) * 2017-07-26 2020-09-04 여정동 Air knife and dust cleaning apparatus having the same
KR20190012584A (en) * 2017-07-28 2019-02-11 여정동 Air knife and dust cleaning apparatus having the same
KR102152491B1 (en) * 2017-07-28 2020-09-04 여정동 Air knife and dust cleaning apparatus having the same
CN110553496A (en) * 2018-06-01 2019-12-10 显示器生产服务株式会社 Air knife module assembly and substrate drying device using same
KR20190137451A (en) * 2018-06-01 2019-12-11 주식회사 디엠에스 Air knife module assemble and substrate drying apparatus using the same
CN110553496B (en) * 2018-06-01 2020-11-17 显示器生产服务株式会社 Air knife module assembly and substrate drying device using same
KR102657774B1 (en) * 2018-06-01 2024-04-17 주식회사 디엠에스 Air knife module assemble and substrate drying apparatus using the same
KR20210019819A (en) 2019-08-13 2021-02-23 이돈형 Air Knife Apparatus Having Multi Slit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101336866B1 (en) Air knife with device for adjusting spray angle of the air knife automatically
EP2824683B1 (en) Cleaning device for contamination of contact of electromagnetic contactor
US9314895B2 (en) Grinding apparatus
JP2011251370A (en) Magnet drill
US10955741B2 (en) Reticle cleaning system and method for using the same
KR20160116426A (en) Rugs cutting machine
TW201544248A (en) Cutting device
CN107262437B (en) Cleaning device
CN109746780A (en) An automatic grinder specially used for surface dressing of equipment metal sheets
CN205914888U (en) 3D radium carving machine
KR100829924B1 (en) Spin head and method for holding / unholding wafer using the same
KR20210128065A (en) Substrate holding device
JP2017085104A (en) Method of cleaning electrostatic chuck
KR20200051400A (en) Substrate polishing system
JP6689534B2 (en) Mounting flange end face correction method and cutting device
CN107464765B (en) Apparatus and method for processing wafer
CN109622509A (en) Semiconductor crystal wafer cleaning equipment
CN212040712U (en) Chemical industry grinds machine of usefulness
KR101321454B1 (en) Transfer device of slit nozzle
CN111009484A (en) Wafer cleaning device and wafer cleaning method
KR20210128064A (en) Energizing device for substrate processing
CN204710797U (en) Faraday cup cleaning device
CN208246579U (en) Linear guide grinding machine jig
JP2015201561A (en) Washing equipment
KR101529890B1 (en) magnetic apparatus using variable permanent magnet

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20120613

PA0201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20130801

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20131126

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20131128

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20131129

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171116

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20171116

Start annual number: 5

End annual number: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

Termination category: Default of registration fee

Termination date: 20190909