KR101270120B1 - 기판 자동 실링장치의 이송유닛 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 자동 실링장치의 이송유닛에 관한 것으로, 본 발명에 따른, 기판 실링을 자동으로 진행시킴으로써 전체 실링 공정에 소요되는 시간을 단축을 수 있을 뿐만 아니라 박판의 기판에 대한 정밀한 작업이 가능하여 불량률을 최소화할 수 있어 원가 절감을 실현할 수 있게 하는 효과가 있다.

Description

기판 자동 실링장치의 이송유닛{A TRANSFER UNIT FOR AUTO SHILLINGS APPARATUS OF THE SUBSTRATE}

본 발명은 기판 자동 실링장치의 이송유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 식각 공정 중 식각액이 기판 사이로 침투하는 것을 방지할 수 있게 기판 실링을 자동으로 진행시킴으로써 전체 실링 공정에 소요되는 시간을 단축을 수 있을 뿐만 아니라 박판의 기판에 대한 정밀한 작업이 가능하여 불량률을 최소화할 수 있어 원가 절감을 실현할 수 있게 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치는 상, 하부의 투명 절연 기판인 컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 이방성 유전율을 갖는 액정층을 형성한 후, 액정층에 형성되는 전계의 세기를 조정하여 액정 물질의 분자 배열을 변경시키고, 이를 통하여 컬러 필터 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 표현하는 표시 장치이다.

이러한 종래의 액정표시장치의 구조를 보면, 한쌍의 투명기판 셀(cell) 갭을 유지하기 위한 스페이서에 의해 액정이 주입될 수 있는 소정의 간격을 두고 서로 대향하여 설치되어 있다.

또한 액정표시장치의 구성에 대하여 더 구체적으로 설명하면 한쪽의 투명기판의 내면에 매트릭스상으로 게이트버스선과 데이타버스선이 형성되고 상기 게이트버스선과 데이타버스선의 교차점에 스위칭소자로 기능하는 TFT가 각각 형성되고, 상기 TFT의 드레인 전극에 접촉되는 정방향의 화소전극이 게이트버스선과 데이타버스선에 포위된 형태로 각각 형성된다.

상기 복수개의 화소전극이 형성된 투명기판과 대향되는 다른 한쪽의 투명기판의 내면에 블랙매트릭스층과 칼라필터층과 투명한 공통전극 등이 형성되어 있다.

상기 투명기판 사이에는 액정이 채워지며, 상기 투명기판 각각의 외측 대향면에는 빛의 편광성을 이용하기 위한 편광필름이 올려진다.

상기와 같이 구성된 액정표시장치의 게이트버스선과 데이타버스선을 각 1개씩 선택하여 전압을 인가하면 상기 전압이 인가된 TFT만이 온(ON)되고, 상기 ON된 TFT의 드레인전극에 접속된 화소전극에 전하가 축적되어 공통전극과의 사이의 액정분자의 각도를 변화시킨다.

상기 액정분자의 각도 변화를 이용하여 빛의 통과, 차단을 컨트롤함으로써 문자나 그림 등을 표현할 수 있는 액정표시장치를 구현할 수 있다.

즉, 일반적인 액정표시장치는 두개의 기판을 서로 합착하여 형성되는 구조이며 이러한 두개의 기판을 합착 후에 제품의 크기에 맞추어 절단하여 사용한다.

그러나 현재 중소형 이동화상장치(노트북, 모니터, 테블릿PC 등)에 사용하는 LCD 기판은 화면의 선명성제고, 사용전력의 최소화, 제품두께의 경박화를 위하여 기존 LCD 기판의 TFT와 컬러필터 기판을 식각액을 사용하여 식각함으로써 종래 보다 두께를 0.4~0.6mm 얇은 기판을 형성시킬 수 있게 된다.

그러나 이러한 LCD 글라스의 표면을 식각 가공할 때 사용하는 식각액이 LCD 글라스 테두리의 틈을 통하여 LCD 글라스 내부로 침투함으로써, 기존의 형성된 컬러필터와 TFT의 회로패턴이 식각액에 의하여 손상되는 문제점이 있었다. 따라서 식각공정 이전에 LCD기판의 테두리를 충진제(UV경화액제)를 사용하여 실링하는 공정을 거치게 되었다.

종래의 작업자에 수작업에 의한 실링 작업은 작업시간이 오래 걸릴 뿐만 아니라 작업자의 작업 숙련도에 따라 실링 공정의 수율이 결정되었고, 실링이 필요한 기판의 크기가 커지면서 작업성의 한계를 가져왔다. 작업자의 수작업에 의한 실링공정은 대량생산이 요구하는 수율증대에 한계가 있어 전반적인 공정의 품질 및 원가 절감의 한계가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 식각 공정 중 식각액이 기판 사이로 침투하는 것을 방지할 수 있게 기판 실링을 자동으로 진행시킴으로써 전체 실링 공정에 소요되는 시간을 단축을 수 있을 뿐만 아니라 박판의 기판에 대한 정밀한 작업이 가능하여 불량률을 최소화할 수 있어 원가 절감을 실현할 수 있게 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛을 제공하기 위함이다.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.

본 발명의 기판 자동 실링장치의 이송유닛은, 제1프레임과, 제2프레임 및 제3프레임이 상부에 순차적으로 안착 고정 배치된 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트 상면을 따라 배치되어 다수개의 기판이 적재된 카세트가 외부로부터 이송되어 정렬 적재되는 카세트 적재 이송부와; 상기 카세트 적재 이송부에 이웃하도록 상기 제1프레임에 위치되어 상기 카세트 적재 이송부에 정렬 적재된 카세트로부터 기판을 순차적으로 인출하여 적재시킨 상태로 이송하는 로딩부와; 상기 제1프레임과 제2프레임 사이에 위치되어 상기 로딩부에 적재된 기판을 복수개 정렬 적재시킨 상태로 수평이동 및 회전 운동하는 기판 적재부와; 상기 제2프레임 일측에 배치되어 상기 기판 적재부에 적재된 기판 상면으로 승강하며 기판 상면에 실링제를 도포하는 실링부와; 상기 제2프레임 내부에 구비되어 이웃한 상기 실링부에 의해 실링제가 도포된 기판 상면으로 승강하며 도포된 실링제를 경화시키는 경화부; 및 상기 제3프레임 내에 배치되어 상기 경화부에 의해 경화가 끝난 기판을 정렬 적재하여 이웃한 카세트에 순차적으로 삽입시키는 언로딩부; 를 포함하며, 상기 기판 적재부는 상기 로딩부에서 이송된 다수개의 기판을 한번에 적재시켜 적재된 기판을 실링부와 경화부 측을 경유하여 이송시키며 기판에 실링제 도포 및 경화를 진행되도록 하며, 기판 테두리 전체면의 실링을 위하여 직각 회전한다.

그리고 상기 기판 적재부는 제1프레임과 제2프레임 사이에 배치되며, 상기 베이스 플레이트 위에 안착되어 기판 적재부를 실링부 측으로 수평이송하는 제1안내수단과, 로딩부로부터 이송된 기판을 척킹한 상태로 직각 회전시키는 회전구동수단과, 상기 회전구동수단에 다수개가 구비되어 가로 이송수단과 세로 이송수단을 상기 회전구동수단의 축 방향으로 각각 개별 동작시키는 제2안내수단과, 상기 다수개의 제2안내수단 중 수평 방향에 위치되는 상기 제2안내수단과 연결되어 설치된 척킹수단을 가로 방향 구동시키는 가로 이송수단과, 상기 제2안내수단 중 수직 방향에 위치되는 상기 제2안내수단과 연결되어 설치된 척킹수단을 수직 방향 구동시키는 세로 이송수단과, 상기 가로 이송수단과 세로 이송수단 각각에 슬라이딩 가능하게 구비되어 상기 로딩부에서 이송된 기판 테두리를 척킹하는 척킹수단으로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한 상기 제1안내수단은 상기 베이스 플레이트 상면 길이 방향으로 안착되는 프레임과, 상기 프레임 상면을 따라 베드가 이동 가능하게 안착되는 레일과, 상기 레일 상부에 안착되어 상기 회전구동수단이 안착되는 베드로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고 상기 회전구동수단은 상기 베드 상부에 안착 고정되는 수직 블록과, 상기 수직 블록 내부에 구비되는 모터와, 상기 모터에 결합되는 풀리와, 상기 수직 블록 내에서 상기 풀리에 대해 일정 간격 이격된 위치에 결합되어 모터와 풀리에 의해 회전 구동되는 중공축과, 상기 풀리와 중공축을 연결하는 벨트와, 상기 중공축 외주면에 구비되어 제2안내수단을 안착 지지하는 고정 블록으로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한 상기 제2안내수단은 상기 고정 블록에 가로 이송수단 및 세로 이송수단을 연결시켜 회전구동수단의 축 방향으로 가로 이송수단과 세로 이송수단을 고정 블록을 이용해 개별적으로 동작되게 하는 구성으로써, 상기 고정 블록 위에 길이 방향으로 구비되는 레일과, 상기 가로 이송수단과 세로 이송수단이 안착된 상태로 레일 따라 이동하는 연결 브라켓으로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고 상기 가로 이송수단 및 세로 이송수단은 상기 회전구동수단의 고정 블록을 기준으로 상하좌우 방향으로 연장되어 결합된 척킹수단을 수평, 수직 이동시키는 구성으로써, 연결 브라켓에서 십자 형태로 연장 결합되는 지지 블록과, 상기 지지 블록 일측면을 따라 구비되어 결합된 척킹수단을 안내하는 레일과, 일측은 상기 레일에 연결되고 타측은 척킹수단에 연결되는 연결 브라켓으로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한 상기 척킹수단은 연결 브라켓에 결합되는 척킹 블록과, 상기 척킹 블록 내에 구비되며 기판이 삽입 안착되는 슬롯 형태의 삽입홈이 다수개 형성된 척킹대와, 상기 척킹대에 형성된 삽입홈 내에서 동작하며 삽입된 기판을 지지하는 밀착대로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고 상기 밀착대는 상기 척킹대 내부에 형성된 관로 공급되는 에어에 의해 삽입홈 내에서 슬라이딩 유동하며 기판의 측면을 밀착 고정시키는 것이 바람직하다.

한편 상기 제1안내수단, 제2안내수단, 가로 이송수단 및 세로 이송수단은 모터에 의해 동작하는 스크류 방식이나 또는 벨트 방식 중 선택된 어느 하나에 의해 동작하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른, 식각 공정 중 식각액이 기판 사이로 침투하는 것을 방지할 수 있게 기판 실링을 자동으로 진행시킴으로써 전체 실링 공정에 소요되는 시간을 단축을 수 있을 뿐만 아니라 박판의 기판에 대한 정밀한 작업이 가능하여 불량률을 최소화할 수 있어 원가 절감을 실현할 수 있게 하는 효과가 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 기판 자동 실링장치를 나타내는 사시도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 기판 자동 실링장치를 나타내는 측면도.
도 5 내지 도 12는 본 발명에 따른 로딩유닛을 나타내는 도면.
도 13 내지 도 17은 본 발명에 따른 기판을 이송하는 이송유닛을 나타내는 도면.
도 18 내지 도 23은 본 발명에 따른 기판 적재부 및 실링부를 나타내는 도면.
도 24 및 도 25는 본 발명에 따른 경화부를 나타내는 도면.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.

본 발명에 의하면, 기판 자동 실링장치(10)는 베이스 플레이트(100), 카세트 적재 이송부(200), 로딩부(300), 기판 적재부(400), 실링부(500), 경화부(600) 및 언로딩부(700)를 포함하여 구성된다.

상기 베이스 플레이트(100)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 지면에 지지가 용이하도록 하부에 지지 블록(미도시)이 구비되며, 상부에는 길이 방향을 따라 제1프레임(110), 제2프레임(120) 및 제3프레임(130)이 배치되어 있다.

또한 상기 제1프레임 내지 제3프레임들은 각각 각 형태의 기둥들에 의해 베이스 플레이트 측의 하부를 제외한 나머지 측이 개방된 형태로 구성되어 후술하는 구성들이 결합 배치될 수 있는 구조를 하고 있다.

상기 카세트 적재 이송부(200)는 상기 베이스 플레이트(100) 상부에 배치되어 적재된 카세트를 이송하는 제1이송수단(210), 적재수단(220), 제2이송수단(230), 제3이송수단(240), 제4이송수단(250), 제5이송수단(260), 제6이송수단(270), 적재수단(280) 및 제7이송수단(290)으로 이루어진다.

상기 제1이송수단(210)은 상기 베이스 플레이트(100) 상면에 한쌍이 일정간격 이격된 상태로 서로 수평하게 배치된 브라켓(211)과, 상기 한쌍의 브라켓(211) 사이를 연결하며 브라켓(211)의 길이 방향으로 등간격 배치된 롤러(213)와, 상기 브라켓(211) 상부로 돌출되게 결합되어 카세트(C))가 제1이송수단으로부터 이탈되는 것을 방지하며 안내하는 가이드(212)로 이루어진다.

여기서 상기 제1이송수단(210)은 외부로부터 이송된 카세트를 작업자의 외압에 의해 롤러가 자체 회전하며 이송되는 구조이거나 상기 제1이송수단(210)의 롤러(213)들은 단부가 서로 벨트에 의해 연결되어 모터 구동에 의해 회동되는 구조를 할 수 있으며 모터는 정력 회전이 가능하여 롤러가 적재수단 측이나 적재수단의 반대측으로 회전하며 적재된 카세트를 이송하도록 하는 구조를 갖게 하는 것이 가능하다.

상기 적재수단(220)은 제2이송수단(230)이 안착되는 안착판(221)과, 상기 안착판(221) 하부에 위치되어 상기 안착팍(221)을 일정 각도 회동되게 하는 회전 블록(223)과, 상기 안착판에 안착된 제2이송수단(230)을 로딩부(300) 측으로 이송시키는 레일(222)로 이루어진다.

예컨대 상기 적재수단(220)은 제1이송수단(210)으로부터 이송된 카세트를 제2이송수단(230)에 적재시킨 후 상기 안착판(221)을 일정 각도 회전시켜 적재된 카세트를 회전시켜 카세트에 수납된 기판(S)이 카세트가 기울어지는 방향의 면으로 밀착되게 한 후 기울어진 카세트를 제2이송수단(230)과 같이 레일(222)을 이용해 로딩부(300) 이송시키는 구성으로 상기 레일(222)과 회전 블록(223)은 내부에 스크류가 구비되어 스크류의 회전에 의해 이송과 회전이 가능하도록 하고 있다.

한편 상기 안착판(221) 일측 단부에는 진입하는 카세트의 진행을 제한하도록 스토퍼(224)가 더 구비되는 것이 바람직하며, 상기 스토퍼(224)는 도면상에 도시하고 있지는 않지만 판체 일측이 회전축(미도시)에 연결되어 회전축의 회전에 의해 제2이송수단의 수평 방향 또는 수직 방향으로 회전하며 개폐되는 구조를 하고 있다.

즉, 상기 스토퍼(224)는 제2이송수단(230)에 카세트가 이송 적재시에는 수직 방향으로 위치되어 제2이송수단 일측을 차단하고, 상기 제2이송수단(230)에 적재된 카세트가 제3이송수단(240) 측으로 이동할 경우 수평하게 개방되어 적재된 카세트가 이동할 수 있게 하고 있다.

상기 제2이송수단(230)은 한쌍의 브라켓(231)과 상기 브라켓(231) 사이를 연결하며 브라켓의 길이 방향으로 등간격 배치되는 롤러(232)와 상기 브라켓(231)의 상면에 돌출 구비되는 가이드(233)로 이루어지며, 상기 롤러는 앞서 제1이송수단에서 설명한 바와 같이 롤러 들간에 서로 벨트에 의해 연결되어 모터로 롤러를 회전시켜 적재된 카세트를 이송하도록 하는 구조를 하고 있다.

상기 제3이송수단(240)은 제4이송수단(250) 일측 단부에 교착 구비되는 구성으로 한쌍의 브라켓(241)과, 상기 브라켓 사이를 연결하는 롤러(242)와, 상기 롤러에 결합된 구동축(243)과, 상기 롤러(242)를 연결하는 벨트(244)로 이루어진다.

또한 상기 제3이송수단(240)에는 상기 브라켓(241) 하부를 지지한 상태로 제4이송수단(250)으로부터 승강되며 카세트를 이송하도록 하는 승강구동수단(미도시)이 구비되어 있다.

예컨대 상기 제3이송수단(240)은 제4이송수단(250)과 진행 방향이 직교하도록 구성되어 상기 제2이송수단(230)으로부터 이송된 카세트가 상기 제4이송수단(250)에 안착되도록 안내하는 수단으로 상기 제2이송수단(230)이 동작할 때에는 상기 승강구동수단을 동작시켜 제3이송수단(240)을 제2이송수단의 상면과 제4이송수단의 상면과 수평 상태가 되도록 하여 제2이송수단으로부터 카세트를 제4이송수단 상부로 자연스럽게 이동할 수 있게 하고, 이송이 끝나면 승강구동수단을 동작시켜 제3이송수단을 하강하여 제4이송수단의 동작시 카세트의 진행을 간섭하지 않도록 하는 것이다.

상기 제4이송수단(250)은 상기 베이스 플레이트(100) 길이 방향으로 연장되는 한쌍의 브라켓(251)과, 상기 브라켓(251) 사이에 위치되어 상기 베이스 플레이트(100) 길이 방향으로 등간격 배치되는 롤러(252)와, 상기 브라켓(251) 상면 길이 방향으로 돌출되어 카세트를 안내하는 가이드(253)로 이루어진다.

상기 제5이송수단(260)은 제4이송수단(250) 일측 단부에 교착 구비되는 구성으로 한쌍의 브라켓(261)과, 상기 브라켓 사이를 연결하는 롤러(262)와, 상기 롤러에 결합된 구동축(263)과, 상기 롤러(262)를 연결하는 벨트(264)로 이루어진다.

또한 상기 제5이송수단(260)에는 상기 브라켓(261) 하부를 지지한 상태로 제4이송수단(250)으로부터 승강되며 제6이송수단(270) 측으로 카세트를 이송하도록 하는 승강구동수단(미도시)이 구비되어 있다.

즉, 상기 제5이송수단(260)은 제4이송수단(250)과 진행 방향이 직교하도록 구성되어 상기 제4이송수단(250)을 따라 이송된 카세트가 상기 제5이송수단(260) 위에 위치되면 승강구동수단(미도시)이 제5이송수단(260)을 상승시켜 제4이송수단(250)과 수평 상태가 되게 하여 제4이송수단(250)에 안착된 카세트를 언로딩부(700) 측으로 이송하고, 이송이 끝나면 승강구동수단이 제5이송수단(260)을 하강시켜 제4이송수단(250) 하부에 위치되게 하여 다음 카세트가 제5이송수단(260)에 간섭되지 않고 이송되도록 하는 구성이다.

상기 제6이송수단(270), 적재수단(280) 및 제7이송수단(290)은 상기 로딩부 측에 구비된 제1이송수단(210), 적재수단(220) 및 제2이송수단과 동일한 구성과 동작 특성이 있으므로 설명을 생략한다.

여기서 제1이송수단(210), 제2이송수단(230), 제4이송수단(250), 제6이송수단(270) 및 제7이송수단(290)은 롤러 구동 방식에 의해 적재된 카세트를 이송하는 구조이며, 상기 제3이송수단(240) 및 제5이송수단(260)은 벨트 구동 방식에 의해 벨트에 카세트가 적재된 상태로 이송하는 구조이다.

한편 상기 적재수단(220,280)의 레일은 L/M 가이드에 의해 이송을 안내하도록 하고 있다.

예컨대 본 발명의 카세트 적재 이송부(200)는 카세트(C)가 외부로부터 이송되어 제1이송수단(210)에 안착 위치되면, 제1이송수단이 동작하여 적재수단(220) 측으로 카세트를 이송하여 제2이송수단(230)에 안착 된다. 이송된 카세트는 적재수단의 스토퍼에 의해 끝선에 정렬하게 되고, 회전 블록(223)에 의해 일정한 각도(예를 들어 약 3°정도의 각도)로 회전시킨 상태로 제2이송수단(230)을 로딩부(300) 측으로 이송하게 된다. 로딩부에 이송된 카세트는 로딩부에서 기판을 인출시킨 후 인출이 끝난 카세트는 제2이송수단을 동작시켜 제3이송수단으로 이송하게 된다.

이와 같은 방식으로 제3이송수단은 제4이송수단으로 카세트를 이송하고, 제4이송수단은 제5이송수단으로, 제5이송수단(260)은 제6이송수단(270)으로 이송하여 카세트가 언로딩부(700) 측에 위치되게 한 후 실링 작업이 끝난 기판을 언로딩부를 통해 카세트에 수납하여 반출시키게 하는 것이다.

상기 로딩부(300)는 기판을 척킹하여 이송하는 로딩유닛으로 정의할 수 있으며, 도 5 내지 도 12에 도시된 바와 같이 제1프레임(110) 내에 위치되어 카세트 이송 적재부(200)에서 이송된 카세트(C)로부터 기판(S)을 인출하는 구성으로 제1수평이송수단(310), 제2수평이송수단(320), 수직이송수단(330), 틸팅수단(340), 제3수평이송수단(350) 및 척킹수단(360)을 포함하여 이루어진다.

상기 제1수평이송수단(310)은 상기 제1프레임(10) 상단에 한쌍이 구비되는 지지 브라켓(311)과, 상기 지지 브라켓(311) 양단에 축설되는 롤러(312)와, 상기 롤러(312)를 감싸게 구비되는 벨트(313)와, 상기 지지 브라켓(311) 상면 상기 롤러(312) 사이에 구비되는 레일(314)과, 상기 레일(314)에 안착된 상태로 레일을 따라 이동하는 고정 브라켓(315)과, 상기 고정 브라켓(315) 사이를 연결하는 지지대(316)와, 상기 지지대(316)와 수직이송수단(330)을 연결하는 연결브라켓(317)으로 이루어진다.

상기 제2수평이송수단(320)은 수평 방향으로 연장되는 브라켓(321)과, 상기 브라켓(321) 길이 방향을 따라 구비된 레일(322)과, 상기 레일(322)에 결합되며 브라켓에 대해 하측 방향으로 연장된 흡착판(323)과, 상기 흡착판(323) 일면에 다수개 개구되어 기판(S)을 진공 흡착시키는 흡착공(324)과, 상기 흡착판(323)에 구비되며 다수개 형성된 상기 흡착공(324) 사이에 배치되어 흡착되는 기판을 지지하는 지지판(325)으로 이루어진다.

여기서 상기 지지판(325)은 외주면이 주름진 밸로우즈 형태로 기판이 밀착시 일정한 탄성을 갖고 기판 표면에 가해지는 충격을 흡수하는 구조이다.

상기 수직이송수단(330)은 상기 연결브라켓(317)과 틸팅수단(340)에 의해 연결되는 브라켓(331)과, 상기 제2수평이송수단(320)과 연결되어 제2수평이송수단을 수직방향 이동시키는 레일(332)로 이루어진다.

상기 틸팅수단(340)은 상기 수직이송수단(330)의 브라켓(331)에 회전축(342)에 의해 회동 가능하게 연결되는 고정 블록(341)과, 상기 회전축 하측에 구비되어 일측은 상기 연결 브라켓(317)에 지지되고, 타측은 상기 브라켓(331)에 지지되어 일정한 길이로 삽탈되며 브라켓(331)을 가압하여 회전축(342)을 기준으로 브라켓(331)이 회전되게 하는 가압대(343)로 이루어진다.

또한, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 고정 블록(341)은 한쌍이 회전축(341)에 의해 회전 가능하게 결합된 상태로 일측의 고정 블록은 브라켓(331)에 연결되고, 타측의 고정 블록은 연결 브라켓(317) 측에 연결 지지되는 형태로 회전축을 기준으로 회전되는 구조를 하고 있고, 상기 가압대(343)는 실린더(343a)와 상기 실린더(343a)에서 일정하게 삽탈되는 로드(343b)와 상기 실린더(343a)를 회전 가능하게 연결 브라켓(317)측과 결합시키는 지지대(343c)와 상기 로드(343b)를 회전 가능하게 브라켓(331)과 연결시키는 고정대(343d)로 이루어져 있다.

즉, 상기 틸팅수단(340)은 연결 브라켓(317)과 브라켓(331) 사이에서 가압대(343)가 브라켓(331)을 가압하면 상기 고정 블록(341)을 기준으로 브라켓(331)이 일정한 각도로 회전되게 하는 것이다.

한편 상기 틸팅수단(340)에는 가압대(343)가 브라켓(331)을 가압시 필요 이상 회전되는 것을 방지하기 위하여 한쌍이 상기 연결 브라켓(317) 상측과 하측에 각각 스토퍼(344)가 더 구비되는 것이 바람직하며, 상기 스토퍼(344)는 상기 연결 브라켓(317)에 지지되는 결합대(344a)와 상기 결합대(344a)에 대해 길이 조절이 가능하도록 나사(344c) 결합되는 지지바(344b)로 이루어진다.

또한 상기 브라켓(331) 또는 지지바(344b)의 단부 중 어느 하나의 위치에는 상기 브라켓(331)과 지지바(344b)가 밀착시 충격을 흡수하도록 패드(344d)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 패드(344d)는 자체 탄성력이 갖는 우레탄 등이 가능하나 자체 탄성력을 갖고 충격 흡수가 가능한 구성이라면 어떠한 것도 가능하다.

상기 제3수평이송수단(350)은 상기 제1프레임(110) 내부에 구비되며, 하부는 베이스 플레이트(100) 상면에 안착되는 구성으로 가로 레일(351)과, 상기 가로 레일(351) 상부에 안착되어 가로 레일을 따라 수평이동하는 브라켓(352)과, 상기 브라켓(352) 상부에 안착되어 세로 방향 이동하는 세로 레일(353)과, 상기 세로 레일(353) 상부에 안착되는 브라켓(354)과, 상기 브라켓(354) 단부에 구비되는 연결 브라켓(355)과, 상기 연결 브라켓(355)의 중앙 부분에서 십자 형태가 되도록 가로 방향과 세로 방향으로 연장된 수평 블록(356) 및 수직 블록(357)과 상기 수평 블록 및 수직 블록 내에 구비되는 레일 블록(358)으로 이루어진다.

상기 척킹수단(360)은 상기 레일 블록(358)에 결합되어 로딩부의 흡착판에 흡착된 기판을 순차적으로 척킹하여 한번에 다수개를 이송시킬 수 있게 하는 구성으로 상기 레일 블록(358)에 결합되는 브라켓(361)과, 로드(362a)가 브라켓(361)을 관통되게 결합되는 실린더(362)와, 상기 로드(362a) 단부에 고정되는 다수개의 고정대(363)와, 상기 고정대(363) 양 측면에 구비되어 고정대를 안내하는 레일(367)과, 상기 브라켓(361) 양단부에 상기 고정대(363)를 감싸도록 수직하게 구비되는 지지판(364)과, 상기 고정대(363) 단부에 구비되어 이송된 기판 단부를 지지한 상태로 수납할 수 있게 하는 삽입판(365)으로 이루어진다.

여기서 상기 삽입판(365)에는 삽입홈(366)이 길이 방향을 따라 기판의 삽입 용이하도록 경사진 형태로 형성되어 있다.

예컨대 본 발명의 상기 로딩부(300)는 상기 카세트 적재 이송부(200)로 이송된 카세트(C)를 적재수단(220)과 제2이송수단(230)을 이용해 일정 각도 경사지게 하여 로딩부(300)로 이송시킨 후 경사진 상태의 카세트(C)와 동일한 경사각을 갖도록 틸팅수단(340)을 이용해 흡착판(323)을 경사지게 위치시키고, 상기 수직이송수단(330)을 이용해 흡착판(323)을 카세트로 삽입하여 카세트에 수납된 기판(S)을 흡착판이 흡착 상승하여 제1수평이송수단(310)으로 하여금 척킹수단(360)으로 이송시켜 척킹수단(360)이 이송된 기판을 순차적으로 척킹할 수 있게 하는 구성이다.

여기서 상기 척킹수단(360)은 다수개의 고정대가 실린더와 개별적으로 연결되어 있어서 이송된 기판이 고정대의 삽입판에 개별적으로 수납 척킹될 수 있으며 척킹수단에 기판이 모두 척킹되면 제3수평이송수단(350)이 수평 이동하여 기판 적재부(400)로 이송하게 된다.

한편 상기 로딩부(300)에서 이용되는 레일들은 L/M 가이드 방식을 이용하고 있으며, 모터에 의해 구동되는 벨트 또는 스크류(미도시) 중 선택된 어느 하나에 의해 이송수단들을 동작시키도록 하고 있다.

상기 기판 적재부(400)는 상기 로딩부로부터 전달되는 기판을 척킹하여 기판 실링제 도포와 도포된 실링제를 경화시키기 위해 이송하기 위한 이송유닛으로 정의할 수 있으며, 도 12 내지 도 17에 도시된 바와 같이 제1프레임(110)과 제2프레임(120) 사이에 배치되며, 상기 베이스 플레이트(100) 위에 안착되어 기판 적재부를 실링부 측으로 수평이송하는 제1안내수단(410)과, 로딩부(300)로부터 이송된 기판을 척킹한 상태로 직각 회전시키는 회전구동수단(420)과, 상기 회전구동수단(420)에 다수개가 구비되어 가로 이송수단과 세로 이송수단을 상기 회전구동수단(420)의 축 방향으로 각각 개별 동작시키는 제2안내수단(430)과, 상기 다수개의 제2안내수단(430) 중 수평 방향에 위치되는 상기 제2안내수단(430)과 연결되어 설치된 척킹수단을 가로 방향 구동시키는 가로 이송수단(440)과, 상기 제2안내수단(430) 중 수직 방향에 위치되는 상기 제2안내수단(430)과 연결되어 설치된 척킹수단을 수직 방향 구동시키는 세로 이송수단(450)과, 상기 가로 이송수단(440)과 세로 이송수단(450) 각각에 슬라이딩 가능하게 구비되어 상기 로딩부(300)에서 이송된 기판 테두리를 척킹하는 척킹수단(460)으로 이루어진다.

상기 제1안내수단(410)은 상기 베이스 플레이트(100) 상면 길이 방향으로 안착되는 프레임(411)과, 상기 프레임(411) 상면을 따라 베드가 이동 가능하게 안착되는 레일(412)과, 상기 레일(412) 상부에 안착되어 상기 회전구동수단(420)이 안착되는 베드(413)로 이루어진다.

즉, 상기 제1안내수단(410)은 기판 적재부를 실링부와 경화부로 수평 이송하는 수단이다.

상기 회전구동수단(420)은 상기 베드(413) 상부에 안착 고정되는 수직 블록(421)과, 상기 수직 블록(421) 내부에 구비되는 모터(422)와, 상기 모터(422)에 결합되는 풀리(423)와, 상기 수직 블록(421) 내에서 상기 풀리에 대해 일정 간격 이격된 위치에 결합되어 모터와 풀리에 의해 회전 구동되는 중공축(424)과, 상기 풀리(423)와 중공축(424)을 연결하는 벨트(425)와, 상기 중공축(424) 외주면에 구비되어 제2안내수단(430)을 안착 지지하는 고정 블록(426)으로 이루어진다. 또한 상기 중공축(424) 내부로는 상기 회전구동수단,제2안내수단, 가로 이송수단, 세로 이송수단 및 척킹수단 등의 구성들이 동작 제어 및 동작 신호 등의 인가를 위한 배선들이 지나가는 통로로써 이용된다.

즉, 상기 회전구동수단(420)은 고정 블록(426)에 결합되는 가로 이송수단과 세로 이송수단을 회전시켜 결과적으로 척킹수단에 적재되는 기판을 회전시키는 역할을 수행하게 되는 수단이다.

상기 제2안내수단(430)은 상기 고정 블록(426)에 가로 이송수단(440) 및 세로 이송수단(450)을 연결시켜 회전구동수단의 축 방향으로 가로 이송수단과 세로 이송수단을 고정 블록을 이용해 개별적으로 동작되게 하는 구성으로써, 상기 고정 블록(426) 위에 길이 방향으로 구비되는 레일(431)과, 상기 가로 이송수단(440)과 세로 이송수단(450)이 안착된 상태로 레일(431) 따라 이동하는 연결 브라켓(432)으로 이루어진다.

즉, 상기 제2안내수단(430)은 회전구동수단의 중공축 둘레면에 4개가 배치되는 고정 블록 위에 레일을 통해 안착되어 상기 제2안내수단과 연결되는 가로 이송수단과 세로 이송수단이 각각 중공축의 축 방향으로 슬라이딩되며 이동할 수 있게 하는 구성으로 척킹수단에 의해 기판 테두리를 척킹한 상태에서 실링 및 경화 공정을 실시하기 위해서 기판 상부 테두리를 척킹하고 있는 척킹수단과 세로 이송수단을 기판으로부터 이탈시켜 후단으로 이송시키는 구성이다.

상기 가로 이송수단(440)은 상기 회전구동수단의 고정 블록(426)을 기준으로 좌우 방향으로 연장되어 결합된 척킹수단(460)을 수평이동시키는 구성이다. 이를 위해 상기 가로 이송수단(440)은 상기 연결 브라켓(432)에서 연장 결합되는 지지 블록(441)과, 상기 지지 블록(441) 일측면을 따라 구비되는 레일(442)과, 일측은 상기 레일(442)에 연결되고 타측은 척킹수단(460)에 연결되어 레일을 따라 척킹수단을 수평 이동시키는 연결바(444)으로 이루어진다.

상기 세로 이송수단(450)은 상기 가로 이송수단(440)에 대해 직교하는 방향으로 연장되어 척킹수단(460)을 수직이동시키는 구성이다. 이를 위해 세로 이송수단(450)은 상기 연결 브라켓(432)에서 연장 결합되는 지지 블록(451)과, 상기 지지 블록(451) 일측면을 따라 구비되는 레일(452)과, 일측은 상기 레일(452)에 연결되고 타측은 척킹수단(460)에 연결되어 레일을 따라 척킹수단을 수직 이동시키는 연결바(454)로 이루어진다.

상기 척킹수단(460)은 연결바(444,454)에 결합되는 척킹 블록(461)과, 상기 척킹 블록(461) 내에 구비되며 기판이 삽입 안착되는 다수개의 삽입홈(463)이 형성된 척킹대(462)와, 상기 척킹대(462)에 형성된 삽입홈(463) 내에서 동작하며 삽입된 기판을 지지하는 밀착대(464)로 이루어진다.

또한 상기 밀착대(464)는 상기 척킹대(462) 내부에 형성된 관로를 따라 공급되는 에어에 의해 삽입홈 내에서 기판 측으로 직교하게 슬라이딩하며 기판을 밀착 고정시키는 구성이다.

즉, 상기 척킹수단(460)은 슬롯 형태의 삽입홈(463)에 기판(S)이 수납되면 척킹대(462) 내에 형성된 관로(미도시)를 따라 에어가 공급되고 삽입홈(463)에 위치된 밀착대(464)가 주입되는 에어에 의해 삽입홈 내에서 인출되며 삽입 기판 표면을 가압 밀착하여 척킹대로부터 기판이 이탈하거나 유동되는 것을 방지하도록 하고 있다.

예컨대 본 발명의 기판 적재부(400)는 상기 로딩부(300)의 가로 레일(351)에 의해 다수개의 기판이 적재된 척킹수단(360)이 기판 적재부(400) 정면에 위치되면 로딩부의 세로 레일(353)이 기판 적재부(400) 측으로 이동하여 척킹수단(360)에 적재된 기판(S)을 한번에 기판 적재부 측으로 이동시키게 된다. 그리고 상기 척킹수단(460)은 가로 이송수단(440)과 세로 이송수단(450)이 기판의 크기보다 크게 좌우로 벌어진 상태로 위치되어 있어 기판이 척킹수단(460) 측에 진입하며 가로 이송수단과 세로 이송수단이 기판 측으로 이동하여 척킹수단에 척킹되게 하는 것이다.

이때 상기 가로 이송수단과 세로 이송수단은 각각과 연결된 제2안내수단(430)에 의해 개별 동작이 가능하며, 상기 각각의 척킹수단(460) 또한 가로 이송수단과 세로 이송수단에 의해 개별 동작에 의해 기판의 네면 지지 및 개별 지지가 가능하게 된다.

또한 상기 회동구동수단은 적재된 기판의 네면이 실링을 위해 회전될 수 있게 한다.

한편 상기 기판 적재부(400)에서 이용되는 레일들은 L/M 가이드 방식을 이용하고 있으며, 모터에 의해 구동되는 벨트 또는 스크류(미도시) 중 선택된 어느 하나에 의해 이송수단들을 동작시키도록 하고 있다.

상기 실링부(500)는 상기 기판 적재부에 이송되는 기판 테두리면에 실링제를 도포하는 구성으로써, 실링유닛으로 정의할 수 있으며, 도 18 내지 도 23에 도시된 바에 의하면, 상기 제2프레임(120) 일측에 구비되어 기판 적재부(400)에 적재된 기판에 실링제를 도포하는 수단으로 수직이송수단(510), 수평이송수단(520) 및 실링수단(530)으로 구성된다.

상기 수직이송수단(510)은 상기 제2프레임(120)에 결합 지지되는 수직 블록(511)과, 상기 수직 블록(511) 일측면을 따라 구비되는 레일(512)과, 상기 수직 블록(511) 내에 구비되어 레일(512)을 따라 수평이송수단(520)을 승강하게 하는 모터(513)로 이루어진다.

즉, 상기 수직이송수단(510)은 제2프레임(120)에서 기판 적재부에 적재의 상부에 위치되는 기판의 테두리 측으로 실링수단을 승강 운동시키는 구성이다.

상기 수평이송수단(520)은 상기 수직이송수단(510)의 레일(522)에 연결되는 브라켓(521)과, 상기 브라켓(521) 상부에 결합되는 수평 블록(522)과 상기 수평 블록(522) 상면을 따라 구비되는 레일(523)로 이루어진다.

즉, 상기 수평이송수단(520)은 실링수단(530)의 수평 방향 위치를 조절하기 위한 수단으로 기판 적재부에 적재된 다수개의 기판과 기판 사이를 이동하며 실링수단으로 하여금 기판에 실링제를 정확히 도포할 수 있게 하는 것이다.

상기 실링수단(530)은 상기 레일(522)에 결합되는 브라켓(531)과, 상기 브라켓(531) 하측에 위치되는 수평레일(532b)을 따라 수평 방향 이동하는 수평 레일 브라켓(532a)과, 상기 수평 레일 브라켓(532a) 상면에 결합되어 수평 운동하는 베드(533)와, 상기 베드(533) 상면에 수직 레일(533a)에 의해 안내되며 수직 운동되게 결합되는 승강 브라켓(534)과, 상기 승강 브라켓(534) 상면에 레일(535a)을 이용해 결합되며, 승강레버(535b)에 의해 상하 방향 위치를 조절하는 위치 조절 브라켓(535)과, 상기 위치 조절 브라켓(535)에 결합되어 노즐(536a)을 통해 실링제를 분사하는 실링제 분사수단(536)과, 상기 승강 브라켓(534) 하부에 결합되어 진입하는 기판의 상부 테두리에 삽입되어 테두리를 지지하는 제1안내롤러(537)와, 상기 위치 조절 브라켓(535)의 하부에 위치되어 진입된 기판 측면을 안내하는 제2안내롤러(538)와, 상기 승강 브라켓(534)에 구비되어 제1안내롤러(537)가 기판 테두리를 따라 이동시 승강 브라켓이 일정 높이 이하로 내려가지 않게 하는 스토퍼(539)로 이루어진다.

또한 상기 스토퍼(539)는 승강 브라켓(534)으로부터 브라켓(531) 측으로 연장되어 홈(539d)에 삽입되는 걸림바(539a)와, 상기 걸림바(539a) 외주면을 감싸도록 상기 브라켓(531) 일측에 밀착 구성되는 지지 브라켓(539b)과, 상기 지지 브라켓(539b)에 일정한 탄성을 부여하는 지지 스프링(539c)으로 이루어진다.

즉, 상기 실링수단(530)은 수직이송수단(510)에 의해 일정한 높이까지 하강한 후 수평이송수단(520)을 이용해 기판 적재부에 적재된 기판의 상부 테두리에 위치시키고, 상기 실리수단(530)의 제1안내롤러(537)가 기판의 테두리에 삽입되어 후단의 노즐 단부의 위치가 테두리와 일정한 간격을 유지할 수 있게 한 후 기판 적재부가 이동함에 따라 제1안내롤러가 기판 테두리를 따라 이동하며 기판 테두리와 노즐의 사이 간격을 일정하게 유지시키며 실링제를 도포할 수 있게 하는 것이다. 이때 승강 레버를 이용해 기판 테두리와 노즐의 사이 간격을 조절할 수 있다.

예컨대 본 발명의 실링부(500)는 상기 기판 적재부(400)에 적재된 다수개의 기판(S)이 기판 적재부(400)가 실링부(500)로 이송되면 수직이송수단과 수평이송수단의 좌우 이동을 통해 기판 테두리 끝선에 제1안내롤러를 정렬시킨 후 제1안내롤러를 기판 테두리에 삽입하여 실링수단의 노즐이 기판 테두리와 일정한 간격을 갖지며 테두리를 따라 실링제를 도포함으로써 실링제 도포를 정밀하게 실시할 수 있게 하는 것이다.

한편 상기 실링부(500)에서 이용되는 레일들은 L/M 가이드 방식을 이용하고 있으며, 모터에 의해 구동되는 벨트 또는 스크류(미도시) 중 선택된 어느 하나에 의해 동작시키도록 하고 있다.

상기 경화부(600)는 상기 실링부에서 기판에 도포된 실링제에 일정한 열을 가하여 경화시키기 위한 구성으로써 경화유닛으로 정의할 수 있으며, 도 24 및 도 25에 도시된 바와 같이, 상기 제2프레임(120) 내에 구비되어 승강 운동을 통해 실링제가 도포된 기판 테두리를 경화시키는 역할을 수행한다. 이를 위해 상기 경화부(600)는 제2프레임(120) 측에 지지되는 지지 브라켓(611)과, 상기 지지 브라켓(611) 일측에 결합되어 수직레일(610)을 고정하는 고정 브라켓(612)과, 상기 수직 레일(610)을 따라 덕트(620)를 승강시키는 레일 브라켓(613)과, 상기 레일 브라켓(613)과 덕트(620)를 연결하는 고정 브라켓(614)과, 하부에 위치된 기판에 일정한 온도의 열을 전달하기 위한 덕트(620)와 상기 덕트(620) 구비되어 열풍을 덕트 내부에 유입시키는 경화 송풍구(621) 및 환풍구(622)로 구성된다.

즉, 상기 경화부(600)는 기판 적재부에 적재된 기판이 실링부(500)를 통과하며 기판의 상면 테두리를 실링제로 도포하면 기판 적재부가 상기 경화부 하부에 위치하게 되고, 상부의 경화부는 수직 레일을 이용해 덕트를 하강시켜 기판을 감싼 상태로 도포된 실링제를 경화시키는 것이다.

한편 상기 경화부(600)에서 이용되는 레일들은 L/M 가이드 방식을 이용하고 있으며, 모터에 의해 구동되는 벨트 또는 스크류(미도시) 중 선택된 어느 하나에 의해 동작시키도록 하고 있다.

이와 같이 로딩부를 통해 로딩된 기판은 기판 적재부에 적재된 상태로 실링부를 통과하며 실링제를 도포하고, 도포된 실링제는 경화부에 의해 경화처리된다. 그리고 같은 방식으로 기판 적재부를 회전시켜 실링제를 도포할 기판 테두리가 상부에 위치되게 하여 실링부와 경화부를 통과시키며 실링제 도포와 경화를 실시하게 된다.

기판의 전체 테두리에 대해 실링제 도포와 경화가 끝나면 상기 언로딩부(700) 측으로 이송시켜 기판을 카세트에 수납 후 기판이 수납된 카세트를 카세트 적재 이송부를 통해 반출시킨다.

여기서 상기 언로딩부(700)의 구성은 상기 로딩부(300)의 구성과 동일한 구성과 동작 특성을 갖고 있어 설명을 생략한다.

본 발명의 결합관계를 보면, 먼저 베이스 플레이트(100), 카세트 적재 이송부(200), 로딩부(300), 기판 적재부(400), 실링부(500), 경화부(600) 및 언로딩부(700) 각각의 구성은 미리 결합시켜 구성시킨다.

이 후 베이스 플레이트(100)의 제1프레임(110) 일측에 위치되도록 제1이송수단(110)을 배치하고, 상기 제1이송수단(210)의 이동 방향 단부에 상기 제1이송수단(210)과 직교하는 방향으로 카세트가 이동할 수 있도록 적재수단(220)과 제2이송수단(230)을 배치한다.

다음으로 제1프레임(110) 내부와 제3프레임(130) 내부가 연결되도록 제4이송수단(250) 베이스 플레이트(100) 상부에 배치한다.

이 후 상기 제1프레임(110) 측에 위치된 제4이송수단(250)의 내부에 교착되도록 제3이송수단(240)을 배치한다. 이때 상기 제3이송수단(240)과 제4이송수단(250)이 서로 간섭되지 않게 하는 것이 바람직하다.

같은 방법으로 제3프레임(130)에 위치된 제4이송수단(250)의 단부에 제5이송수단(260)이 교착되도록 배치한다.

다음으로 상기 제5이송수단(260)의 이송 방향 단부에 제6이송수단(270)을 배치한다. 이때 상기 제6이송수단(270) 하부에는 적재수단(280)이 배치되어 있다.

다음으로 상기 제6이송수단(270)의 이송 방향 단부에 이송 방향과 직교하는 방향으로 카세트를 이송하도록 제7이송수단(290)을 배치한다.

이와 같이 배치된 이송수단들은 기판이 수납된 카세트를 투입 적재한 상태로 이송하며 이송과정에 카세트에 수납된 기판을 로딩부에서 인출시켜 기판이 인출된 카세트를 다시 언로딩부로 이송하여 실링 공정이 끝난 기판이 언로딩부에 위치된 카세트에 수납되어 반출될 수 있게 하는 것이다.

다음으로 상기 제1프레임(110) 상부에 로딩부(300)를 안착 고정시킨다. 안착된 로딩부(300)는 진입하는 카세트의 위치에 따라 전방과 좌우 방향으로 위치이동하며 카세트에 수납된 기판의 중앙 부분을 흡착 인출하고, 인출된 기판을 예를 들어 10개씩 수납할 수 있게 척킹수단을 배치하여 한번에 이송할 수 있게 하고 있다.

다음으로 상기 제1프레임(110)과 제2프레임(120) 사이에 기판 적재부(400)를 배치하여 로딩부(300)에서 다수개의 기판이 로딩되면 한번에 적재할 수 있게 하고 있다.

또한 상기 기판 적재부는 실링부와 경화부 측으로 수평이동되고, 제1프레임과 제2프레임 사이에서 회전하며 기판의 네개의 테두리에 대해 실링제 도포와 경화가 가능하도록 하고 있다.

다음으로 제2프레임(120) 일측 상기 기판 적재부와 이웃한 위치에 실링부(500)를 배치한다. 상기 실링부(500)는 수평 이동과 수직 이동이 가능하며, 실링수단 내에서 기판의 진입 위치에 따라 높이를 조절하는 것이 가능한 구조를 하고 있다.

다음으로 상기 제2프레임(120) 내부에 상기 실링부(500)와 이웃하도록 경화부(600)를 배치하여 기판의 진입에 따라 승강 운동이 가능하도록 하고 있다. 여기서 상기 경화부는 기판의 수평 진행 방향 선상에 덕트가 위치되는 것이 바람직하다.

다음으로 상기 제3프레임(130) 내부에 언로딩부(700)를 배치한다. 상기 언로딩부(700)는 상기 로딩부와 동일한 구성으로 배치하나 상기 로디부와는 반대의 동작을 실시한다.

예컨대 로딩부에서는 카세트에서 기판을 인출하고, 다수개 적재하여 기판 적재부로 로딩하였으나 언로딩부에서는 이송수단으로부터 속이 빈 상태로 이송된 카세트에 공정이 끝난 기판을 한번에 척킹한 후 이를 흡착판을 이용해 하나씩 카세트에 수납되도록 하는 구조이다.

이와 같은 구성을 이용해 로딩부와 언로딩부 사이에서 기판 적재부, 실링부 및 경화부를 이용해 기판 테두리 전체를 자동으로 실링 및 경화시키는 것이 가능하고 카세트의 반송 및 반출이 자동으로 이루어질 수 있게 되는 것이 가능해지므로 기판의 실링 공정을 단축함과 동시에 전체 공정 수율을 증대시킬 수 있게 된다.

한편 본 발명에서 이용되는 레일들은 L/M 가이드 방식이며, 상기 구동방식은 모터에 의해 구동되는 벨트 또는 스크류(미도시) 중 선택된 어느 하나에 의해 동작시키도록 하고 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 동작상태를 설명한다.

먼저 상기 기판(S)이 다수개 수납된 카세트(C)를 카세트 적재 이송부(200)의 제1이송수단(210) 위에 안착시킨 후 작업자가 카세트(C) 외부를 일정한 힘으로 밀면 제1이송수단(210)에 구비된 롤러(213)를 타고 카세트가 이송하게 된다. 이때 상기 롤러(213)는 등간격 배치된 상태로 상호 벨트로 연결시키고 다수개의 롤러 중 하나의 롤러에 모터를 연결시켜 모터에 의해 롤러를 회전시키면 벨트에 의해 연결된 롤러가 회전하면 안착된 카세트를 이송시키게 하는 것도 가능하다.

또한 이송과정에 롤러로부터 카세트가 이탈하는 것을 방지하게 위해 가이드(212)가 롤러의 진행 방향 측으로 연장 설치되어 카세트를 안내하도록 하고 있다.

이 후 상기 제1이송수단(210)을 타고 이송된 카세트(C)는 인접하게 연결된 적재수단(220) 측에 위치하게 된다. 상기 적재수단(220) 위에는 제2이송수단(230)이 배치되어 있고 상기 제2이송수단(230)의 상면은 제1이송수단(210)의 상면과 수평 상태이기 때문에 카세트(C)가 상기 제1이송수단(210)으로부터 제2이송수단(230)으로의 이동이 자연스럽게 이루어질 수 있게 된다.

다음으로 제2이송수단(230) 위에 안치된 카세트(C)는 하부에 위치되어 제2이송수단을 지지하는 안착판(221)에 일측 단부에 구비된 스토퍼(224)에 걸려 진행을 제한하게 된다. 이는 상기 스토퍼(224)를 이용해 제2이송수단(230) 끝선에 이송된 카세트(C)를 정렬시킴으로써 다음 공정으로의 진행을 수월하게 하고 카세트를 기울였을 때 제2이송수단(230)으로부터 이탈하는 것을 방지하기 위함이다.

또한 상기 스토퍼(224)는 도면상에 도시하고 있지는 않지만 하단에 위치된 회전축을 기준으로 회전 구동되는 구조를 하고 있다.

그리고 상기 스토퍼 일측에는 감지센서가 구비되는 것이 바람직하다. 이는 진입한 카세트를 감지하게 함으로써 제2이송수단 위에 카세트가 위치하였는지를 확인하여 다음 공정 진행 유무를 판단하기 위함이다.

다음으로 상기 제2이송수단(230) 위에 카세트가 위치되면 상기 적재수단(220)의 회전 블록(223)을 구동시켜 제2이송수단(230)을 일정한 경사를 갖도록 기울린다. 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이 카세트(C)를 좌측 방향으로 약 3° 정도 기울인다. 이는 카세트(C)를 좌측으로 기울게 함으로써 카세트(C)에 수납된 기판(S)이 기울어진 방향으로 밀착되게 함으로써 후술하는 로딩부(300)에서의 작업을 수월하게 하기 위함이다.

이 후 상기 적재수단(220)의 레일(222)에 배치된 모터(미도시)를 구동시켜 레일(222)을 따라 안착판(221)을 이동시켜 안착판 위에 위치된 제2이송수단(230)을 제1프레임(110) 내에 위치한 로딩부(300) 측으로 이송시킨다.

다음으로 제2이송수단(230)에 의해 이송된 카세트를 상기 로딩부(300)는 제2수평이송수단(320)의 레일(322)을 좌측 또는 우측으로 이동시키며 결합된 흡착판(323)의 위치가 하부에 위치된 카세트(C)의 중앙 부분과 정렬시킨다. 이러한 과정은 흡착판 하부에 구비되는 감지센서에 의해 카세트의 위치를 포착하는 것이 가능하다.

상기 제2수평이송수단(320)을 이용해 카세트 중앙 부분에 위치시킨 상태에서 제1수평이송수단(310)을 이용해 흡착판(323)을 전방과 후방 방향으로 위치를 조절한다. 이 또한 하부에 배치된 감지센서에 의해 위치를 감지하게 하는 것이 가능하다.

이후 좌우, 전후 위치 조정이 끝나면 수직이송수단(330)과 제2수평이송수단(320) 사이에 구비된 틸팅수단(340)의 가압대(343)를 동작시켜 제2수평이송수단(320)의 후단을 가압하게 하여 가압대 상부에 위치된 회전축(342)을 기준으로 제2수평이송수단(320) 측을 회전시켜 하부에 미리 기울어지게 배치된 카세트(C)의 경사각만큼 회전하게 한다. 이때 상기 회전축(342) 상부에는 나사에 의해 길이 조절이 가능한 스토퍼(344) 구비되어 있어서 회전되는 제2수평이송수단(320) 측이 일정한 각도 이상 회전되지 않게 하고 있다.

다음으로 상기 수직이송수단(330)을 동작시켜 수직이송수단(330)의 레일(332)을 따라 제2수평이송수단(320)을 하강시켜 흡착판(323)이 카세트(C) 측으로 하강하게 한다. 이때 상기 흡착판(323)의 정렬 위치는 카세트(C)에 수납된 기판(S) 가장 뒷측의 기판이다. 따라서 흡착판은 카세트 후단의 기판부터 순차적으로 인출하게 된다.

다음으로 상기 수직이송수단(330)에 의해 흡착판(323)이 기판(S)의 후면으로 진입하면 흡착판(323)에 형성된 흡착공(324) 측으로 공기를 흡입하여 진공을 발생시켜 기판을 흡착판 측으로 밀착시킨다. 이때 상기 흡착판(323) 전체면에는 흡착공(324)이 균일하게 분포되어 있으며, 상기 흡착공(324)의 사이에는 지지판(325)이 등간격 배치되어 있다. 또한 상기 지지판(325)은 외주면이 일정한 탄성을 갖는 벨로우즈 형태를 하고 있어서 흡착 과정에 발생되는 충격을 흡수하도록 하고 있다.

한편 상기 지지판(325) 중심부에도 흡착공을 형성시켜 기판을 흡착하게 하는 것이 가능하다.

다음으로 기판(S)을 흡착판(323)에 흡착한 상태로 수직이송수단(330)을 동작시켜 레일(332)을 따라 제2수평이송수단(320)을 상승시킨다.

상승한 제2수평이송수단(320)은 흡착판(323)이 기판(S)의 흡착을 유지한 상태로 가압대(343)의 가압 상태를 해지하여 회전축(342)을 기준으로 제2수평이송수단(320)이 수직하게 위치되게 한다.

다음으로 상기 제1수평이송수단(310)의 롤러(312)와 벨트(313)를 구동시켜 지지대(316)와 고정 브라켓(315)에 의해 연결된 수직이송수단(330)을 전진시켜 전방에 위치한 척킹수단(360) 측으로 이송시킨다.

이 후 상기 수직이송수단(330)을 동작시켜 제2수평이송수단(320)을 하강시켜 기판(S)이 십자 형태로 배치된 수직 블록(357)과 수평 블록(356)에 구비된 4개의 척킹수단(360)이 서로 마주보는 사이에 위치되게 한 후 제1수평이송수단(310)을 동작시켜 척킹수단(360)의 뒷측부터 순차적으로 기판(S)이 위치되도록 이송시킨다.

다음으로 척킹수단(360) 사이에 위치된 기판(S)을 수직 블록(357)과 수평 블록(356)에 구비된 레일 블록(358)을 동작시켜 척킹수단(360)이 기판(S) 테두리와 근접한 상태로 감싸게 하여 척킹수단(360)에 구비된 다수개의 고정대(363) 중 기판(S)이 위치된 고정대를 실린더(362)를 동작시켜 기판(S) 측을 전진시켜 고정대의 삽입판(365)에 기판이 삽입되게 한다.

본 발명에서는 고정대가 10개가 구성되어 각각의 고정대와 연결된 실린더가 개별 동작에 의해 고정대에 위치되는 기판을 개별적으로 척킹하도록 하고 있으나 작업 환경에 따라 그 이상이나 이하의 갯수로 설치하는 것도 가능하다. 다만 작업의 효율성을 위해 짝수개로 설치되는 것이 바람직하다.

다음으로 척킹수단(360)에 이송되어 기판(S)의 척킹이 끝나면 흡착판(323)은 제1수평이송수단(310), 수직이송수단(330)의 동작에 따라 원위치로 복귀하고 카세트에 수납된 다음 기판을 앞서와 같은 방식으로 흡착하여 다시 척킹수단(360)으로 이송시키는 동작을 반복하게 된다.

다음으로 상기 로딩부(300)의 반복 동작에 의해 카세트(C)에 수납된 기판(S)을 인출시켜 척킹수단(360)에 모두 척킹되게 한 후에는 카세트(C)가 빈 상자로 남게 되는데, 빈 상자로 남은 카세트(C)는 제2이송수단(230)이 후방으로 동작되게 하여 카세트(C)를 제3이송수단(240) 측으로 이동시키게 된다.

이때 상기 제3이송수단(240)은 제4이송수단(250) 일측이 위치된 제1프레임(110) 내에 제3이송수단(250)과 교착되게 위치하고 있어서 상기 제3이송수단(240)의 상단이 상기 제4이송수단(250)의 상단보다 상부에 위치되고, 상기 제2이송수단(230)과는 수평 상태가 되게 하여 제2이송수단(230)으로부터 이송되는 카세트(C)를 적재 이송하게 한다.

그리고 상기 제3이송수단(240)에 의해 이송되는 카세트(C)는 제4이송수단(250) 상부에 위치된 상태로 제4이송수단(250) 길이 방향으로 구비된 가이드(233)에 걸리게 되어 제4이송수단(250) 상부에 정렬된다.

이 상태에서 상기 제3이송수단(240)의 상승된 상태를 하강시켜 제4이송수단(250) 하부에 위치되게 하여 카세트가 제4이송수단(250)을 따라 이송시 간섭되지 않게 한다.

상기 제4이송수단(250)에 의해 로딩부(400)로부터 언로딩부(600) 측으로 이송된 카세트(C)는 제3프레임(130) 측에 상기 제4이송수단(250)의 일측 단부와 교착되게 위치된 제5이송수단(260) 위에 위치하게 되고, 상기 제5이송수단(260)을 하부에 배치된 승강구동수단(미도시) 동작시켜 상승시키면 이송된 카세트 하부가 제5이송수단(260)에 의해 지지된 상태가 되어 상기 적재수단(280) 위에 위치한 제6이송수단(270) 위로 이송되어 언로딩부(600) 측에 위치하게 된다.

이 후 실링 공정이 끝난 기판을 언로딩부를 통해 수납하기 위해 대기하게 된다.

다음으로 상기 카세트(C)를 언로딩부 측으로 이송 후 상기 척킹수단(360)에 기판(S) 척킹이 모두 끝난 상태이므로 척킹수단(360)에 기판(S)을 척킹한 상태로 제3수평이송수단(350)을 동작시켜 기판 적재부(400) 측으로 기판(S)을 이송하게 된다.

여기서 상기 제3수평이송수단(350)은 가로 레일(351)과 세로 레일(353)에 의해 좌우 및 전후 방향 이동이 가능한 구조를 하고 있다.

즉, 상기 가로 레일(351)을 이용해 척킹수단(360)에 척킹된 기판(S)을 도 12의 화살표 방향으로 이동시켜 기판(S)이 기판 적재부(400) 전방에 위치되게 한다.

이 후 상기 세로 레일(353)을 동작시켜 다수개의 기판이 척킹된 척킹수단(360)을 기판 적재부(400) 측으로 이송시킨다. 이때 상기 기판 적재부(400)에는 척킹된 기판(S)과 대응되는 갯수 만큼의 척킹대(462)가 구성되어 있어 기판을 한번에 척킹하는 것이 가능하다.

여기서 상기 가로 레일과 세로 레일은 L/M 방식에 의해 동작하며 상기 레일측에는 모터에 의해 회전 구동되는 스크류가 배치되어 있어 가로 레일과 세로 레일에 결합된 브라켓(352,354)의 이송이 가능하다.

이 상태에서 상기 기판 적재부(400)에 십자 형태로 구성된 가로 이송수단(440)과 세로 이송수단(450)을 동작시켜 상기 가로 이송수단(440)과 세로 이송수단(450)에 각각 구성된 척킹수단(460)을 기판(S)의 테두리 측으로 이송시켜 근접시킨다.

이때 상기 로딩부(300) 측의 척킹수단(360)은 수직 블록 및 수평 블록 각각에 대해 하나가 구성되지만 상기 기판 적재부(400) 측의 척킹수단(460)은 가로 이송수단(440) 및 세로 이송수단(450) 각각에 한쌍이 구성된다. 이는 상기 로딩부(300)의 척킹수단(360)으로부터 상기 기판 적재부(400)의 척킹수단(460) 측으로 기판을 이송하는 과정에 척킹수단(360,460) 간의 간섭을 방지하기 위함이다.

다음으로 기판(S) 테두리 측에 근접한 척킹수단(460)은 기판 테두리와 정렬되었는지를 감지센서(미도시)를 이용해 확인한 후 정렬되었을 경우 가로 이송수단(440)과 세로 이송수단(450)을 동작시켜 척킹수단(460)이 다수개의 기판을 한번에 척킹하게 한다.

이때 상기 척킹수단(460)에는 척킹대(462)에 구성된 밀착대(464)가 척킹대(462)에 형성된 에어 관로(미도시)에서 주입되는 에어에 의해 삽입홈(463) 측으로 슬라이딩 삽탈되도록 구성되어 있어서 기판(S)이 척킹대(462)의 삽입홈(463)에 삽입됨과 동시에 밀착대(464)가 동작하여 기판 표면을 가압 밀착하게 되므로 기판이 척킹대에서 이탈하거나 유동하는 것을 방지할 수 있게 된다.

한편 십자 형태로 배치된 세로 이송수단(450)과 가로 이송수단(440)은 상하 좌우가 각각 개별 구동에 의해 동작이 가능하기 때문에 기판 상측 테두리의 실링제 도포를 위해 상부에 위치된 세로 이송수단(450)의 척킹수단(460)을 상승시켜 기판의 척킹 상태를 해지하게 한 후 제2안내수단(430)을 동작시켜 상부의 세로 이송수단을 후방으로 이탈시켜 기판 상측 테두리 측이 개방된 상태가 되게 한다.

다음으로 상기 기판 적재부(400)에 다수개의 기판(S)이 적재된 상태로 기판 적재부(400) 하부에 배치된 제1안내수단(410)의 레일(412)을 동작시켜 레일(412) 위에 안착된 베드(413)를 제2프레임(120)에 배치된 실링부(500) 측으로 이송시켜 기판(S) 상부의 테두리 끝단이 실링부(500) 하부에 위치되게 한다.

여기서 상기 기판 적재부(400)에서 이용되는 레일들은 L/M 방식으로 안내되며, 블록 및 브라켓 등에 구성된 모터 구동에 의해 회전하는 스크류를 통해 이송된다.

다음으로 상기 실링부(500)의 수직이송수단(510)에 구성된 레일(512)을 동작시켜 레일(512)에 결합된 브라켓(521)을 하강시켜 수평이송수단(520)에 구성된 실링수단(530) 하단이 기판(S)의 상부 테두리 측에 근접하게 위치시킨다.

이 후 상기 수평이송수단(520)을 동작시켜 기판(S) 테두리 끝단에 정렬되도록 좌우 위치를 조절한다.

다음으로 실링수단(530)과 기판 상부측 테두리의 정렬이 확인되면 수직이송수단(510)을 하강시켜 실링수단(530)의 제1안내롤러(537)과 제2안내롤러(538)가 기판(S) 테두리에 삽입되게 하여 상기 제1안내롤러(537) 내주면이 기판 테두리와 밀착되게 한다.

이때 상기 제1안내롤러(537) 하단에 위치한 노즐(536a)이 기판 테두리 끝단에 위치되게 하며, 상기 노즐(536a)의 끝단과 테두리 끝 사이 간격을 일정하게 유지하기 위해 다이얼 방식의 승강 레버(535b)를 회전시켜 위치 조정 브라켓(535)를 상하 방향으로 위치를 조절한다.

이 상태에서 상기 기판 적재부(400)의 제1안내수단(410)을 이동시키면 기판(S) 테두리를 따라 제1안내롤러(537)와 제2안내롤러(538)가 이동하며 노즐(536a)을 테두리를 따라 안내하게 된다.

이때 상기 제1안내롤러(537)는 브라켓(531)에 대해 베드(533)와 승강 브라켓(534)에 의해 수평 레일(532b)과 수직 레일(533a)과 연결되어 있어서 기판 테두리를 따라 이동하는 과정에 테두리의 굴곡면 변화에 대응하여 상하 좌우 이동하며 기판 테두리 따라 노즐을 안내할 수 있게 된다.

또한 상기 노즐(536a)은 상기 제2안내롤러(538) 사이에 위치되어 있어서 상기 제1안내롤러(537)의 유동과 동일하게 유동하는 제2안내롤러(538)의 유동 범위에 있어 항시 기판 테두리와 균일한 간격을 유지할 수 있어 정밀한 실링제 도포가 가능해진다.

즉, 기판 테두리는 직선면 형태를 하고 있으나 미세하게 그 높이가 변화되어 있어 이러한 미세한 변화에 대해서도 대응하며 동작할 수 있게 함으로써 테두리에 대한 실링제 도포를 정밀하게 실시할 수 있게 되는 것이다.

다음으로 상기 기판 적재부(400)가 이동하며 실링부(500)로부터 기판 테두리에 실링제 도포를 진행하는 과정에 노즐(536a)이 기판 테두리의 반대측 끝단에 근접하게 되면 우선 제1안내롤러(537)이 기판 테두리로부터 이탈하게 된다. 이때 기판 테두리와 밀착된 상태로 지지된 제1안내롤러의 이탈에 따라 기판 테두리와 실링수단을 지지하고 있는 수단이 없어지기 때문에 실링수단(530)의 승강 브라켓(534)가 수직 레일(533a)의 안내를 받으며 하강하게 된다.

이때 상기 승강 브라켓(534)에 연결된 걸림바(539a)가 브라켓(531)에 일정한 크기로 형성된 홈(539d) 내에서 유동하는 상태여서 제1안내롤러(537)가 기판 테두리에서 이탈하더라도 홈(539d)에 걸림바(539a)가 걸려 승강 브라켓(534)이 일정량 이상 하강하는 것을 방지하게 된다. 이는 기판 테두리로부터 상기 제1안내롤러(537)의 이탈로 승강 브라켓(534)이 필요 이상 하강하게 되면 후단에 위치한 노즐(536a)이 기판 테두리와 만나 노즐에 의해 기판 테두리가 손상되기 때문에 이를 방지하기 위함이며, 더불어 노즐 단부와 기판 테두리의 간격을 일정하게 유지시켜 노즐에서 분사되는 실링제가 기판 테두리 끝단까지 수월하게 실링제를 도포할 수 있게 하기 위함이다.

여기서 상기 실링제 분사수단(536)으로 실링제를 공급하는 수단은 실링제 보관통(536b)에 의해 이루어진다. 즉, 상기 실링제 보관통(536b)에는 항시 일정량의 실링제가 충진된 상태로 관(미도시)을 통해 실링제 분사수단(536)측으로 실링제를 공급하도록 하고 있으며, 실링제 보관통은 보관량에 따라 작업자가 언제든 다른 실링제 보관통으로 교체가 가능하다.

다음으로 상기 실링부(500)에 의해 기판 상부의 테두리의 실링제 도포가 끝나면 상기 실링부(500)는 수직이송수단(510)을 이용해 실링수단(530)을 기판 적재부(400) 상부로 상승시켜 기판 적재부(400)로부터 이탈시킨다.

여기서 상기 기판 적재부(400)에는 앞서에서 설명한 바와 같이 다수개의 기판이 적재되어 있기 때문에 다수개의 기판 상측 테두리의 실링제 도포가 모두 끝날 때까지 기판 적재부(400)의 제1안내수단(410)이 반복하여 왕복 운동하게 되고, 상기 실링부(500)은 수직이송수단(510)과 수평이송수단(520)을 이용해 한쌍의 기판에 대해 실링제 도포가 끝나면 이웃한 다음 기판으로 위치 이동하여 반복적으로 실링제 도포 작업을 수행하게 된다.

다음으로 상기 기판 적재부(400)에 적재된 다수개의 기판에 대해 상측 테두리의 실링제 도포가 모두 끝나면 상기 기판 적재부(400)는 제1안내수단(410)에 의해 계속 이송되어 제2프레임(120) 내에 위치한 경화부(600) 하측에 위치하게 된다.

다음으로 상기 경화부(600)는 하부에 위치된 기판 적재부(400)에 적재된 기판(S) 상측 테두리로 수직레일(610)을 하강시켜 결합된 덕트(620)가 기판(S) 상측의 테두리를 감싸도록 한 후 덕트(610)를 통해 실링제 경화를 위한 열을 발생시켜 일정시간 실링제를 경화시키게 한다.

이 후 도포된 실링제의 경화가 끝나면 상기 경화부(600)의 수직레일(610)을 동작시켜 덕트(620)를 기판으로부터 이탈시키게 되고, 상기 기판 적재부(400)는 제1안내수단(410)의 동작을 통해 기판 적재부가 최초 위치하였던 위치(제1프레임과 제1프레임 사이)로 이동하게 된다.

다음으로 앞서에서 설명한 상부에 위치된 세로 이송수단(450)과 연결된 제2안내수단(430)을 동작시켜 후단에 위치된 상태의 세로 이송수단(450)을 기판 상부 테두리 측으로 이동시켜 기판 테두리와 세로 이송수단(450)에 구비된 척킹수단(460)이 정렬되게 한다.

이 후 상기 세로 이송수단(450)의 동작을 통해 척킹수단(460)을 하강시켜 개방된 상태의 기판 상부 테두리를 척킹한다.

다음으로 기판 네면의 테두리를 척킹수단을 이용해 척킹한 후 기판 적재부(400)는 기판의 다른 테두리에 실링제 도포를 위해 회전구동수단(420)을 동작시켜 기판을 90°회전시켜 실링제가 도포되지 않은 테두리가 상부를 향하게 한다.

이 상태에서 상술한 바와 같이 기판 적재부(400)의 제1안내수단(410)을 동작시켜 실링부(500) 측으로 이동시켜 실링부로 하여금 기판 테두리에 실링제 도포를 실하게 하고, 실링이 끝난 기판 테두리는 경화부(600)로 이동시켜 경화 공정을 실시하게 한다.

이와 같이 실링제가 도포되지 않은 기판 테두리를 회전구동수단(420)을 이용해 회전시킨 후 실링부 측으로 반복 이동시키며 실링 및 경화시킴으로써 기판 테두리 전체면에 대해 실링제 도포 및 경화를 자동으로 실시할 수 있게 된다.

다음으로 상기 기판 테두리 전체면에 대한 실링이 끝나면 상기 기판 적재부(400)는 경화부(600) 하부에 위치된 상태를 유지하게 되고, 언로딩부(700)에 위치된 제3수평이송수단(미도시)이 수평이동하여 기판 적재부 측 정면에 위치하게 된다.

이 후 위치된 제3수평이송수단으로부터 상기 세로 레일이 동작하여 상기 세로 레일 측에 결합된 브라켓을 기판 적재부 측으로 전진시킴과 동시에 수직 블록 및 수평 블록에 레일에 의해 결합된 척킹수단을 서로 대향되는 방향으로 동작되게 하여 상기 척킹수단의 마주보는 사이에 기판(S)이 위치되게 한다.

그리고 상기 수직 블록 및 수평 블록의 레일을 이용해 척킹수단이 기판 테두리를 지지한 상태로 상기 척킹수단에 구비된 실린더를 동작시켜 고정대가 기판 적재부의 척킹수단에 적재된 기판을 개별적으로 척킹하게 한다.

상기 척킹수단이 기판 척킹 끝나면 세로 레일을 후진시켜 원위치로 복원하고 가로 레일을 동작시켜 흡착판의 정면으로 이송시킨다.

이 후 상기 흡착판을 동작시켜 척킹수단에 척킹된 기판을 전면부터 순차적으로 흡착하고 상기 카세트 적재 이송부에 의해 이송되어 언로딩부에 위치된 카세트(C)에 순차적으로 수납한다.

여기서 상기 언로딩부(700)에 구성된 구성들은 상기 로딩부(300)에 구성된 구성들과 동일한 구성을 하고 있어 부호 설명을 생략한다.

다음으로 상기 언로딩부(700)에 의해 기판(S)이 적재된 카세트(C)는 제6이송수단(270)을 이송시켜 제7이송수단(290) 측에 위치되게 하여 외부로 반출시킨다.

상기 카세트 반출은 작업자가 작업용 카트를 이용해 반출시키거나 또는 카세트 적재 이송부와 연결되는 별도의 이송수단을 이용해 이송하는 것이 가능하다.

이와 같이 실링 처리된 않은 기판을 카세트에 수납된 상태로 카세트 이송부에 적재하면, 이 후 카세트 이송부를 통한 이송과 로딩부를 통한 기판 로딩 및 기판 적재부를 통한 기판 적재와 실링, 경화 공정을 자동으로 거칠 수 있고, 미리 이송된 빈 카세트에 공정이 끝난 기판을 언로딩시켜 반출시킴으로써 기판 실링 공정 전체를 자동으로 실시하는 것이 가능하므로 기판 실링에 따른 공정 수율을 증대시킬 수 있을 뿐만 아니라 실링 정밀도를 높여 불량률을 감소시켜 원가 상승의 원인을 감소시킬 수 있게 된다.

본 발명은 상기에 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.

10 : 기판 자동 실링장치 100 : 베이스 프레임
110 : 제1프레임 120 : 제2프레임
130 : 제3프레임 200 : 카세트 적재 이송부
210 : 제1이송수단 220 : 적재수단
230 : 제2이송수단 240 : 제3이송수단
250 : 제4이송수단 260 : 제5이송수단
270 : 제6이송수단 280 : 적재수단
290 : 제7이송수단 300 : 로딩부
310 : 제1수평이송수단 320 : 제2수평이송수단
330 : 수직이송수단 340 : 틸팅수단
350 : 제3수평이송수단 360 : 척킹수단
400 : 기판 적재부 410 : 제1안내수단
420 : 회전구동수단 430 : 제2안내수단
440 : 가로 이송수단 450 : 세로 이송수단
460 : 척킹수단 500 : 실링부
510 : 수직이송수단 520 : 수평이송수단
530 : 실링수단 600 : 경화수단
610 : 수직레일 620 : 덕트
700 : 언로딩부

Claims (9)

1. 제1프레임(110)과, 제2프레임(120) 및 제3프레임(130)이 상부에 순차적으로 안착 고정 배치된 베이스 플레이트(100)와;
   상기 베이스 플레이트 상면을 따라 배치되어 다수개의 기판(S)이 적재된 카세트(C)가 외부로부터 이송되어 정렬 적재되는 카세트 적재 이송부(200)와;
   상기 카세트 적재 이송부(200)에 이웃하도록 상기 제1프레임(110)에 위치되어 상기 카세트 적재 이송부(200)에 정렬 적재된 카세트(C)로부터 상기 기판(S)을 순차적으로 인출하여 적재시킨 상태로 이송하는 로딩부(300)와;
   상기 제1프레임(110)과 상기 제2프레임(120) 사이에 위치되어 상기 로딩부(300)에 적재된 상기 기판(S)을 복수개 정렬 적재시킨 상태로 수평이동 및 회전 운동하는 기판 적재부(400)와;
   상기 제2프레임(120) 일측에 배치되어 상기 기판 적재부(400)에 적재된 상기 기판(S) 상면으로 승강하며 상기 기판(S) 상면에 실링제를 도포하는 실링부(500)와;
   상기 제2프레임(120) 내부에 구비되어 이웃한 상기 실링부(500)에 의해 실링제가 도포된 상기 기판(S) 상면으로 승강하며 도포된 실링제를 경화시키는 경화부(600); 및
   상기 제3프레임(130) 내에 배치되어 상기 경화부(600)에 의해 경화가 끝난 상기 기판(S)을 정렬 적재하여 이웃한 카세트(C)에 순차적으로 삽입시키는 언로딩부(700); 를 포함하며,
   상기 기판 적재부(400)는 상기 로딩부(300)에서 이송된 다수개의 상기 기판(S)을 한번에 적재시켜 적재된 상기 기판(S)을 상기 실링부(500)와 상기 경화부(600) 측을 경유하여 이송시키며 상기 기판(S)에 실링제 도포 및 경화를 진행되도록 하며, 상기 기판(S) 테두리 전체면의 실링을 위하여 직각 회전되되,
   상기 기판 적재부(400)는 상기 제1프레임(110)과 상기 제2프레임(120) 사이에 배치되어 상기 베이스 플레이트(100) 위에 안착되며, 기판 적재부(400)를 실링부(500) 측으로 수평이송하는 제1안내수단(410)과, 상기 로딩부(300)로부터 이송된 기판(S)을 척킹한 상태로 직각 회전시키는 회전구동수단(420)과, 상기 회전구동수단(420)에 다수개가 구비되어 가로 이송수단과 세로 이송수단을 상기 회전구동수단(420)의 축 방향으로 각각 개별 동작시키는 제2안내수단(430)과, 상기 다수개의 제2안내수단(430) 중 수평 방향에 위치되는 상기 제2안내수단(430)과 연결되어 설치된 척킹수단을 가로 방향 구동시키는 가로 이송수단(440)과, 상기 제2안내수단(430) 중 수직 방향에 위치되는 상기 제2안내수단(430)과 연결되어 설치된 척킹수단을 수직 방향 구동시키는 세로 이송수단(450)과, 상기 가로 이송수단(440)과 상기 세로 이송수단(450) 각각에 슬라이딩 가능하게 구비되어 상기 로딩부(300)에서 이송된 기판(S) 테두리를 척킹하는 척킹수단(460)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1안내수단(410)은 상기 베이스 플레이트(100) 상면 길이 방향으로 안착되는 프레임(411)과, 상기 프레임(411) 상면을 따라 베드가 이동 가능하게 안착되는 레일(412)과, 상기 레일(412) 상부에 안착되어 상기 회전구동수단(420)이 안착되는 베드(413)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛.
4. 제3항에 있어서,
   상기 회전구동수단(420)은 상기 베드(413) 상부에 안착 고정되는 수직 블록(421)과, 상기 수직 블록(421) 내부에 구비되는 모터(422)와, 상기 모터(422)에 결합되는 풀리(423)와, 상기 수직 블록(421) 내에서 상기 풀리에 대해 일정 간격 이격된 위치에 결합되어 모터와 풀리에 의해 회전 구동되는 중공축(424)과, 상기 풀리(423)와 중공축(424)을 연결하는 벨트(425)와, 상기 중공축(424) 외주면에 구비되어 제2안내수단(430)을 안착 지지하는 고정 블록(426)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제2안내수단(430)은 상기 고정 블록(426)에 가로 이송수단(440) 및 세로 이송수단(450)을 연결시켜 회전구동수단의 축 방향으로 가로 이송수단과 세로 이송수단을 고정 블록을 이용해 개별적으로 동작되게 하는 구성으로써, 상기 고정 블록(426) 위에 길이 방향으로 구비되는 레일(431)과, 상기 가로 이송수단(440)과 세로 이송수단(450)이 안착된 상태로 레일(431) 따라 이동하는 연결 브라켓(432)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛.
6. 제5항에 있어서,
   상기 가로 이송수단(440) 및 세로 이송수단(450)은 상기 회전구동수단의 고정 블록(426)을 기준으로 상하좌우 방향으로 연장되어 결합된 상기 척킹수단을 수평, 수직 이동시키는 구성으로써, 상기 연결 브라켓(432)에서 십자 형태로 연장 결합되는 지지 블록(441,451)과, 상기 지지 블록(441,451) 일측면을 따라 구비되어 결합된 상기 척킹수단을 안내하는 레일(442,452)과, 일측은 상기 레일(442,452)에 연결되고 타측은 상기 척킹수단(460)에 연결되는 연결바(444,454)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛.
7. 제6항에 있어서,
   상기 척킹수단(460)은 상기 연결바(444,454)에 결합되는 척킹 블록(461)과, 상기 척킹 블록(461) 내에 구비되며 기판이 삽입 안착되는 다수개의 삽입홈(463)이 형성된 척킹대(462)와, 상기 척킹대(462)에 형성된 삽입홈(463) 내에서 동작하며 삽입된 상기 기판을 지지하는 밀착대(464)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛.
8. 제7항에 있어서,
   상기 밀착대(464)는 상기 척킹대(462) 내부에 형성된 관로 공급되는 에어에 의해 삽입홈(463) 내에서 슬라이딩 유동하며 기판의 측면을 밀착 고정시키는 것을 특징으로 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛.
9. 제1항, 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1안내수단(410), 상기 제2안내수단(430), 상기 가로 이송수단(440) 및 상기 세로 이송수단(450)은 모터에 의해 동작하는 스크류 방식이나 또는 벨트 방식 중 선택된 어느 하나에 의해 동작하는 것을 특징으로 하는 기판 자동 실링장치의 이송유닛.

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