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KR101274680B1 - 인쇄롤용 블랭킷, 이의 제조방법, 이를 이용한패턴형성방법 및 액정표시장치 제조방법 - Google Patents

인쇄롤용 블랭킷, 이의 제조방법, 이를 이용한패턴형성방법 및 액정표시장치 제조방법 Download PDF

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KR101274680B1
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 Si계 수지층; 상기 Si계 수지층의 일면에 형성되며, 표면에 수산화기가 형성된 산화막; 및 상기 산화막 상에 형성되어, 상기 산화막의 수산화기와 결합된 아크릴레이트(Acrylate)막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷에 관한 것으로서,
본 발명에 따르면, 아크릴레이트막이 용제의 블랭킷으로의 침투를 막아주기 때문에, 블랭킷의 변형을 최소화할 수 있다.
블랭킷, 아크릴레이트막

Description

인쇄롤용 블랭킷, 이의 제조방법, 이를 이용한 패턴형성방법 및 액정표시장치 제조방법{Blanket for printing roll, Method of manufacturing the same, Patterning Method using for the same and Method of manufacturing Liquid Crystal Display Device}
도 1a 내지 도 1c는 종래기술에 따른 인쇄롤을 이용한 패턴형성방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤용 블랭킷을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3a 내지 3c는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤용 블랭킷 제조방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 패턴형성방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
<도면의 주요부의 부호에 대한 설명>
100 : 인쇄노즐 200 : 패턴물질
300 : 인쇄롤 320 : 롤러
350 : 블랭킷 400 : 인쇄판
500 : 기판 520 : 제1기판
550 : 제2기판 600 : Si계 수지층
700 : 아크릴레이트막 720 : 차광층
740 : 컬러필터층 760 : 액정층
800 : 산화막 900 : 고정필름
본 발명은 액정표시장치 및 반도체소자 등에서 미세 패턴을 형성하기 위한 인쇄롤에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 인쇄롤에 부착되는 블랭킷에 관한 것이다.
액정표시장치 및 반도체소자 등은 기판 상에 형성된 수많은 층들이 패턴 형성되어 있다. 따라서 상기 수많은 층들을 기판 상에 형성하고 패터닝하기 위한 공정들이 수행되게 되며, 상기 수많은 층들을 다양한 형태로 패터닝하기 위해서 종래 포토리소그래피공정이 사용되었다.
그러나 상기 포토리소그래피공정은 소정 패턴의 마스크 및 광 조사장치를 사용해야하므로 그만큼 제조비용이 상승되는 단점이 있으며, 또한 노광공정 및 현상공정 등을 거쳐야하므로 공정이 복잡하고 공정시간이 오래 걸리는 단점이 있다.
따라서 상기 포토리소그래피공정의 단점을 해결하기 위한 새로운 패턴형성방 법이 요구되었고, 인쇄롤을 이용한 패턴형성방법이 고안되었다.
도 1a 내지 도 1c는 종래기술에 따른 인쇄롤을 이용한 패턴형성방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
우선, 도 1a에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐(10)을 이용하여 패턴물질(20)을 그 표면에 블랭킷(35)이 부착된 인쇄롤(30)에 도포한다.
이 때, 상기 패턴물질(20)은 휘발성용제와 혼합되어 상기 인쇄롤(30)에 도포된다.
상기 휘발성용제는 상기 패턴물질(20)이 상기 인쇄롤(30)에 잘 도포되도록 도와주며, 상기 패턴물질(20)이 인쇄롤(30)에 도포된 후 즉시 증발된다.
그 후, 도 1b에서 알 수 있듯이, 소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판(40) 상에서 상기 인쇄롤(30)을 회전시켜, 상기 인쇄판(40)의 돌출부에 일부 패턴물질(20b)을 전사하고, 잔존하는 패턴물질(20a)에 의해 인쇄롤(30)에 소정 형상의 패턴을 형성한다.
그 후, 도 1c에서 알 수 있듯이, 기판(50) 상에서 상기 인쇄롤(30)을 회전시켜, 잔존하는 패턴물질(20a)을 상기 기판(50) 상에 전사함으로써 원하는 패턴을 완성한다.
상기 블랭킷(35)은 상기 인쇄롤(30)에의 부착성이 우수해야 하고, 인쇄공정 중에 변형이 없어야 하는 등의 특성이 요구되는데, 현재까지 그와 같은 특성을 만족시키는 재료로서 Si계 수지가 널리 이용되고 있다.
다만, 상기 Si계 수지는 패턴물질(20)을 녹이기 위한 상기 휘발성용제의 침 투에 약하기 때문에, 상기 Si계 수지로 이루어진 블랭킷(35)은 상기 휘발성용제의 침투로 인해 변형될 가능성이 높은 문제가 있다.
상기 블랭킷(35)이 변형될 경우, 상기 패턴물질(20)의 도포공정 및 전사공정이 원활히 수행되지 않아, 정확한 패턴의 형성이 불가능해진다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로,
본 발명의 목적은, 인쇄롤에 패턴물질을 도포할 때 상기 패턴물질에 혼합되는 용제가 블랭킷에 흡수되어 블랭킷을 변형시키는 것을 방지하기 위해서, 그 표면에 아크릴레이트막이 형성된 인쇄롤용 블랭킷, 인쇄롤용 블랭킷의 제조방법, 상기 블랭킷을 이용한 패턴형성방법 및 상기 패턴형성방법을 이용한 액정표시장치 제종방법을 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, Si계 수지층과 상기 Si계 수지층의 일면에 형성된 아크릴레이트(Acrylate)막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷을 제공한다.
상기 Si계 수지층은 폴리디메틸실록산(polydimethyl siloxane, 이하 PDMS)으로 이루어질 수 있다.
이 때, 상기 아크릴레이트막의 용해도 파라미터(Solubility parameter)는 6[cal1/2cm-3/2]보다 크고 11[cal1/2cm-3/2]보다 작은 값을 가질 수 있다.
용해도 파라미터가 비슷한 값을 갖는 경우, 두 물질은 서로 비슷한 물질로 인지하여 서로 잘 섞인다.
상기 아크릴레이트막의 용해도 파라미터가 상기 블랭킷의 용해도 파라미터와 비슷한 값을 갖는 경우, 상기 아크릴레이트막의 일부가 상기 블랭킷으로 확산(interdiffuse)되어 상기 아크릴레이트막과 상기 블랭킷이 일체화됨과 동시에, 상기 아크릴레이트는 용제의 침투로부터 상기 블랭킷을 보호하게 된다.
따라서 상기 블랭킷으로 주로 이용되는 PDMS의 용해도 파라미터가 7.3[cal1/2cm-3/2]임을 감안하면, 상기 아크릴레이트막의 용해도 파라미터는 6[cal1/2cm-3/2]보다 크고 11[cal1/2cm-3/2]보다 작은 값을 가지는 것이 바람직하다.
다만, 상기 아크릴레이트막이 너무 두꺼울 경우, 상기 탄성을 가진 블랭킷이 충격흡수 등 그 역할을 충실히 수행하지 못할 수도 있는 바, 상기 아크릴레이트막은 상기 블랭킷의 기능에 지장을 주지 않을 정도로 얇게 형성되어야한다.
상기 아크릴레이트막으로는 글리시딜메타아크릴레이트(Glycidyl methacrylate, GMA), 부틸메타아크릴레이트(Butyl methacrylate, BMA), 글리시딜아크릴레이트(Glycidyl acrylate), 부틸아크릴레이트(Butyl acrylate) 등이 이용될 수 있다.
상기 글리시딜메타아크릴레이트, 부틸메타아크릴레이트, 글리시딜아크릴레이트, 부틸아크릴레이트는 상기 용해도 파라미터 조건을 만족시킨다.
이 때, 상기 아크릴레이트막에는 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4- 모폴리노페닐)-부탄온-1 {2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)- butanone-1}과 같은 광개시제가 함유될 수 있다.
상기 광개시제는 상기 아크릴레이트막의 가교도(架橋度)를 최적화하기위해 함유되며, 10% 미만으로 함유되는 것이 바람직하다.
상기 Si계 수지층과 상기 아크릴레이트막 사이에는 산화막이 형성될 수 있는데, 이는 상기 Si계 수지층과 상기 아크릴레이트막의 부착력을 높이기 위해서이다.
상기 Si계 수지층의 다른 일면에 고정필름이 형성될 수 있다.
상기 고정필름은 상기 Si계 수지층을 지지하는 역할을 하여, 블랭킷이 인쇄롤에 감기는 도중이나 인쇄공정 중에 변형되지 않도록 한다.
상기 고정필름으로는 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethyleneterephthalate, PET), 폴리메틸메타아크릴레이트(Polymethylmethacrylate, PMMA), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC) 등이 이용될 수 있다.
또한, 상기 고정필름은 10μm ~ 1mm 두께로 형성되어 상기 Si 수지층을 지지한다.
또한, 본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, Si계 수지층을 준비하는 공정; 및 상기 Si계 수지층의 일면에 아크릴레이트막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷 제조방법을 제공한다.
상기 Si계 수지층을 준비하는 단계에서, 상기 아크릴레이트막이 형성될 Si계 수지층의 일면을 산소 플라즈마 처리하여 산화막을 형성할 수 있다.
이는 상기 Si계 수지층의 표면에너지(Surface Energy)가 낮아서 상기 아크릴 레이트막을 형성시키기 어렵기 때문이다.
이 때, 상기 아크릴레이트막을 형성하는 공정은 상기 아크릴레이트막을 구성하는 물질을 상기 수지층의 일면에 도포하는 공정; 및 상기 아크릴레이트막을 구성하는 물질이 도포된 수지층의 일면에 자외선을 조사하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.
이 때, 상기 아크릴레이트막의 가교도(架橋度)를 최적화하기 위해서는, 상기 아크릴레이트막을 구성하는 물질에 광개시제가 10%미만 함유되는 것이 바람직하다.
상기 자외선은 300[nm] ~ 450[nm]의 파장을 갖는 것을 이용한다.
상기 자외선은 상기 아크릴레이트막을 구성하는 물질을 경화시켜, 상기 아크릴레이트막을 형성한다.
이 때, 상기 아크릴레이트막이 형성되지 않은 수지층의 다른 일면에 블랭킷을 지지하고, 블랭킷의 변형을 방지하는 고정필름을 부착하는 공정이 추가로 포함될 수 있다.
또한, 본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 그 표면에 블랭킷이 형성된 인쇄롤에 패턴물질을 도포하는 공정; 상기 인쇄롤을 소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 회전시켜, 상기 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하는 공정; 및 상기 인쇄롤을 기판 상에서 회전시켜, 상기 인쇄롤에 잔존하는 패턴물질을 기판 상에 전사하는 공정을 포함하여 이루어지고, 상기 블랭킷은 전술한 인쇄롤용 블랭킷을 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법을 제공한다.
상기 그 표면에 블랭킷이 형성된 인쇄롤에 패턴물질을 도포하는 공정에서 상 기 패턴물질은 휘발성용제를 포함할 수 있다.
다만, 상기 패턴물질이 도포된 후 상기 휘발성용제는 증발되므로, 그 후의 전사 공정 등에는 영향을 주지 않는다.
또한, 본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정; 상기 차광층을 포함하는 제1기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정; 제2기판을 준비하는 공정; 및 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지며, 상기 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은 전술한 패턴형성방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법을 제공한다.
이 때, 상기 제2기판을 준비하는 공정은 상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
1. 인쇄롤용 블랭킷
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤용 블랭킷을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤용 블랭킷(350)은 Si계 수지층(600), 아크릴레이트막(700), 산화막(800) 및 고정필름(900)을 포함하 여 이루어진다.
상기 Si계 수지층(600)으로는 Si계 탄성체의 일종인 PDMS를 사용한다.
상기 아크릴레이트막(700)은 휘발성용제의 침투에 약한 상기 PDMS의 변형을 방지하기 위한 것으로서, 상기 PDMS로 이루어진 Si계 수지층(600) 상에 형성된다.
상기 산화막(800)은 상기 Si계 수지층(600)과 상기 아크릴레이트막(700)의 부착력을 높이기 위한 것으로서, 상기 Si계 수지층(600)과 상기 아크릴레이트막(700) 사이에 형성된다.
상기 산화막(800)을 형성하는 이유는 상기 Si계 수지층(600)을 구성하는 PDMS의 표면에너지(Surface Energy)가 낮아, 상기 Si계 수지층(600) 상부에 상기 아크릴레이트막(700)이 잘 부착되지 않기 때문이다.
이에 대해서 보다 구체적으로 설명하면, 표면에너지라 함은 고체 또는 액체상이 기체상과 계면을 이루기 위해 필요한 단위면적당 에너지를 말하는 것으로, 어떤 물질의 표면에너지가 낮다는 것은 그 물질이 기체와 쉽게 계면을 이루게 되어 다른 물질이 잘 부착되지 못한다는 것을 의미한다.
상기 산화막(800)은 상기 Si계 수지층(600)을 구성하는 PDMS의 표면을 산소 플라즈마 처리함으로써 형성할 수 있다.
한편, 상기 Si계 수지층(600)과 상기 아크릴레이트막(700)의 부착력을 더욱 높이기 위해, 상기 아크릴레이트막(700)은 상기 PDMS와 비슷한 용해도 파라미터의 값을 가진 물질로 형성하는 것이 바람직하다.
용해도 파라미터의 값이 유사하다는 것은 서로를 동일 물질로 인지하여 서로 잘 섞인다는 것을 의미한다. 따라서 상기 아크릴레이트막(700)을 구성하는 물질로 상기 PDMS와 비슷한 용해도 파라미터의 값을 가진 물질을 이용하는 경우, 상기 양 물질이 서로를 동일 물질로 인지하기 쉽기 때문에, 상기 아크릴레이트막(700)이 상기 Si 계 수지층(600)으로 확산되어 상기 아크릴레이트막(700)과 상기 Si계 수지층(600)이 일체화됨으로써 결국 상기 Si계 수지층(600)과 상기 아크릴레이트막(700)의 부착력이 향상된다.
상기 아크릴레이트막(700)과 상기 Si계 수지층(600)이 일체화되더라도 상기 아크릴레이트막(700)의 표면은 상기 Si계 수지층(600)을 감싸고 있어, 상기 아크릴레이트막(700)은 용제의 침투로부터 상기 Si계 수지층(600)을 보호할 수 있게 된다.
상기 Si계 수지층(600)의 용해도 파라미터가 7.3[cal1/2cm-3/2]의 값을 가지므로, 상기 아크릴레이트막(700)을 구성하는 물질로는 그 용해도 파라미터가 6[cal1/2cm-3/2]보다 크고 11[cal1/2cm-3/2]보다 작은 값을 가지는 물질이 바람직하다.
상기 용해도 파라미터의 조건을 만족하면서 상기 Si계 수지층(600)을 보호할 수 있는 물질로는 글리시딜메타아크릴레이트, 부틸메타아크릴레이트, 글리시딜아크릴레이트, 부틸아크릴레이트 등이 있다.
상기 아크릴레이트막(700)을 구성하는 물질에는 광개시제가 10% 미만으로 함유되는 것이 바람직하다.
상기 광개시제는 상기 아크릴레이트막(700)의 가교도(架橋度)를 최적화하여, 상기 아크릴레이트막(700)이 용제로부터 상기 Si계 수지층(600)을 잘 보호하도록 하는 역할을 한다.
상기 광개시제로 이용할 수 있는 물질로는 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄온-1{2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)- butanone-1} 등이 있다.
상기 고정필름(900)은 상기 블랭킷(350)이 인쇄롤에 감기는 도중이나 인쇄공정 중에 변형되지 않도록 상기 Si계 수지층(600)을 지지하는 역할을 하는 것으로서, 상기 Si계 수지층(600)의 배면에 형성된다.
상기 고정필름(900)은 인쇄롤에 감길 수 있어야 하므로, 플렉시블(Flexible)한 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 물질로는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리카보네이트 등이 있다.
이 때, 상기 고정필름(900)은 상기 Si 수지층을 지지하기 위해서 10μm ~ 1mm 두께로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 두께는 인쇄롤에 감길 정도로 충분히 플렉시블하면서도, 상기 블랭킷(350)을 지지할 수 있는 범위이다.
2. 인쇄롤용 블랭킷 제조방법
도 3a 내지 3c는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤용 블랭킷 제조방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤용 블랭킷을 제조하기 위해서는, 도 3a에서 알 수 있듯이, 우선 Si계 수지층(600)을 구성하는 PDMS의 일면을 산소 플라즈마로 처리하여, 그 표면에 산화막(800)을 형성한다.
상기 산화막(800)의 표면에는 수산화기(-OH)가 형성되어, 상기 PDMS가 이종물질과 잘 부착되도록 도와준다.
그 후, 도 3b에서 알 수 있듯이, 상기 산화막(800) 상에 아크릴레이트막(700)을 구성하는 물질을 도포한다.
상기 아크릴레이트막(700)을 구성하는 물질로는 글리시딜메타아크릴레이트가 있는데, 상기 글리시딜메타아크릴레이트는 상기 산화막(800)의 수산화기(-OH)와 반응하여 수소(H2)를 발생시키고, 상기 수소자리에 치환되어 상기 산화막(800)과 결합하게 된다.
이외에도, 상기 아크릴레이트막(700)을 이루는 물질로는 부틸메타아크릴레이트, 글리시딜아크릴레이트, 부틸아크릴레이트 등이 있다.
상기 글리시딜메타아크릴레이트, 부틸메타아크릴레이트, 글리시딜아크릴레이트, 부틸아크릴레이트는 액상 고분자 전구체 형태(liquid pre-polymer)의 아크릴레이트로서, 상기 PDMS에 확산되어 상기 PDMS와 일체형 계면을 이룬 아크릴레이트막(700)을 형성한다.
이 때, 상기 아크릴레이트막(700)을 구성하는 물질에는 상기 아크릴레이트막의 가교도(架橋度)를 최적화하기 위한 광개시제가 10% 미만으로 함유되는 것이 바람직하다.
그 후, 상기 아크릴레이트막(700) 상에 300[nm] ~ 450[nm]의 파장을 갖는 자 외선을 조사하여 상기 아크릴레이트막(700)을 경화시킨다.
그 후, 도 3c에서 알 수 있듯이, 상기 Si계 수지(600)의 배면에 롤러(roller)를 이용하여 고정필름(900)을 부착한다.
상기 고정필름(900)은 상기 Si계 수지층(600)을 지지하는 역할을 하는 것으로, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리카보네이트 등을 이용할 수 있다.
3. 패턴형성방법
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 패턴형성방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
우선, 도 4a에서 알 수 있듯이, 인쇄노즐(100)을 이용하여 패턴물질(200)을 그 표면에 블랭킷(350)이 부착된 인쇄롤(300)에 도포한다.
이 때, 상기 블랭킷(350)은 전술한 본 발명의 실시예에 따른 블랭킷(350)을 이용한다.
그 후, 도 4b에서 알 수 있듯이, 소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판(400) 상에서 상기 인쇄롤(300)을 회전시켜, 상기 인쇄판(400)의 돌출부에 일부 패턴물질(200b)을 전사하고, 잔존하는 패턴물질(200a)에 의해 인쇄롤(300)에 소정 형상의 패턴을 형성한다.
그 후, 도 4c에서 알 수 있듯이, 기판(500) 상에서 상기 인쇄롤(300)을 회전시켜, 잔존하는 패턴물질(200a)을 상기 기판(500) 상에 전사함으로써 원하는 패턴을 완성한다.
4. 액정표시장치 제조방법
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
우선, 도 5a에서 알 수 있듯이, 제1기판(520) 상에 차광층(720)을 형성한다.
그 후, 도 5b에서 알 수 있듯이, 상기 차광층(720)을 포함하는 제1기판(520) 상에 컬러필터층(740)을 형성한다.
여기서, 상기 차광층(720)을 형성하는 공정(도 5a 참조), 상기 컬러필터층(740)을 형성하는 공정(도 5b 참조) 중 적어도 하나의 공정은, 전술한 패턴형성방법으로 이루어질 수 있다.
그 후, 도 5c에서 알 수 있듯이, 제2기판(550)을 준비한다.
상기 제2기판(550)을 준비하는 공정은, 도시하지는 않았으나, 상기 제2기판(550) 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.
그 후, 도 5d에서 알 수 있듯이, 상기 제1기판(520) 및 제2기판(550) 사이에 액정층(760)을 형성한다.
상기 구성에 의한 본 발명에 따르면,
Si계 수지층 상에 형성된 아크릴레이트막이 용제의 블랭킷으로의 침투를 막 아주기 때문에 블랭킷의 변형을 최소화할 수 있다.
또한, 아크릴레이트막에 광개시제를 첨가함으로써, 상기 아크릴레이트막의 가교도(架橋度)를 최적화하여, 상기 아크릴레이트막이 블랭킷을 더욱 잘 보호하도록 할 수 있다.
또한, Si계 수지층과 아크릴레이트막 사이에 산화막을 형성함으로써 표면에너지가 낮은 상기 Si계 수지층에 상기 아크릴레이트막을 쉽게 형성할 수 있다.
또한, 상기 Si계 배면에 고정필름을 형성함으로써, 블랭킷이 인쇄롤에 감기는 도중이나 인쇄공정 중에 변형되지 않도록 할 수 있다.

Claims (21)

  1. Si계 수지층;
    상기 Si계 수지층의 일면에 형성되며, 표면에 수산화기가 형성된 산화막; 및
    상기 산화막 상에 형성되어, 상기 산화막의 수산화기와 결합된 아크릴레이트(Acrylate)막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 아크릴레이트막의 용해도 파라미터(Solubility parameter)는 6[cal1/2cm-3/2]보다 크고 11[cal1/2cm-3/2]보다 작은 값을 갖는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 아크릴레이트막은 글리시딜메타아크릴레이트(Glycidyl methacrylate, GMA), 부틸메타아크릴레이트(Butyl methacrylate, BMA), 글리시딜아크릴레이트 (Glycidyl acrylate), 부틸아크릴레이트(Butyl acrylate) 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 아크릴레이트막에 광개시제가 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 광개시제는 10% 미만으로 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 광개시제는 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄온-1 {2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1}을 이용하는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 Si계 수지층은 폴리디메틸실록산(polydimethyl siloxane, PDMS)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 산화막이 형성되지 않은 상기 Si계 수지층의 다른 일면에 고정필름이 형성된 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 고정필름은 폴리에틸렌테레프탈레이트(Poly ethylene terephthalate, PET), 폴리메틸메타아크릴레이트(Polymethyl methacrylate, PMMA), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC) 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 고정필름의 두께는 10μm ~ 1mm인 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷.
  12. Si계 수지층의 일면을 산소 플라즈마로 처리하여 산화막을 형성하는 공정; 및
    상기 산화막 상에 아크릴레이트막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷 제조방법.
  13. 삭제
  14. 제12항에 있어서,
    상기 아크릴레이트막을 형성하는 공정은
    상기 아크릴레이트막을 구성하는 물질을 상기 산화막의 일면에 도포하는 공정; 및
    상기 아크릴레이트막을 구성하는 물질이 도포된 상기 산화막의 일면에 자외선을 조사하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷 제조방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 아크릴레이트막을 구성하는 물질은 광개시제를 함유하고 있는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷 제조방법.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 자외선은 300[nm] ~ 450[nm]의 파장을 갖는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷 제조방법.
  17. 제12항에 있어서,
    상기 산화막이 형성되지 않은 상기 Si계 수지층의 다른 일면에 고정필름을 부착하는 공정을 추가로 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄롤용 블랭킷 제조방법.
  18. 표면에 블랭킷이 형성된 인쇄롤에 패턴물질을 도포하는 공정;
    상기 인쇄롤을 소정 형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 회전시켜, 상기 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하는 공정; 및
    상기 인쇄롤을 기판 상에서 회전시켜, 상기 인쇄롤에 잔존하는 패턴물질을 기판 상에 전사하는 공정을 포함하여 이루어지고,
    상기 블랭킷은 상기 제1항 내지 제7항 및 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 의한 인쇄롤용 블랭킷을 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 표면에 블랭킷이 부착된 인쇄롤에 패턴물질을 도포하는 공정은
    휘발성용제가 포함된 패턴물질을 상기 표면에 블랭킷이 부착된 인쇄롤에 도포하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
  20. 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정;
    상기 차광층을 포함하는 제1기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정;
    제2기판을 준비하는 공정; 및
    상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지며,
    상기 제1기판 상에 차광층을 형성하는 공정, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정 중 적어도 하나의 공정은 상기 제18항에 의한 패턴형성방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 제2기판을 준비하는 공정은
    상기 제2기판 상에 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 영역에 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소전극을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
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