KR101158083B1 - 적층형 세라믹 커패시터 제조 공정에서의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 적층형 세라믹 커패시터의 제조 공정에 사용되는 불순물 제거 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 초임계를 이용하여 적층형 세라믹 커패시터의 결합제 및 유기바인더를 제거하게 되는 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법은 종래의 열처리를 통해 불순물을 제거하는 공정보다 낮은 온도에서 진행되기 때문에 에너지 효율이 높고 공정시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
추가적으로 공용매 없이 초임계만으로 MLCC에 포함되어 있는 결합제 및 바인더를 선택적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 초임계는 압력과 온도를 이용해 상변화가 가능하기 때문에 재활용이 가능하여 운용비용을 절약할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법은 종래의 열처리를 통해 불순물을 제거하는 공정보다 낮은 온도에서 진행되기 때문에 에너지 효율이 높고 공정시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
추가적으로 공용매 없이 초임계만으로 MLCC에 포함되어 있는 결합제 및 바인더를 선택적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 초임계는 압력과 온도를 이용해 상변화가 가능하기 때문에 재활용이 가능하여 운용비용을 절약할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 적층형 세라믹 커패시터의 제조 공정에 사용되는 불순물 제거 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 초임계를 이용하여 적층형 세라믹 커패시터의 결합제 및 유기바인더를 제거하게 되는 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법에 관한 것이다.
적층형 세라믹 커패시터(Multi-Layer Ceramic Capacitor, 이하 MLCC)는 전하를 일시적으로 저장하는 부품으로 최근 초소형화, 초고용량화 등이 진행되고 있는 부품으로 세라믹을 다층 구조로 사용하고 온도 및 주파수 특성이 좋고 크기가 작아 제품의 소형화가 추구되는 현재 중요한 부품으로 적용되어지고 있다.
휴대폰에는 250여개(스마트폰은 일반 휴대폰의 2배), 노트북에 300여개, LCD TV에는 700여개 등이 소요되는 MLCC는 앞으로도 수요가 많아 질 것이며, 초소형화 등 기술적 발전과 함께 저가격화 및 가격경쟁이 가속화되고 있다.
이러한 MLCC의 제조 방법이 도 1에 도시되어 있다. MLCC의 제조 방법을 도면을 참조하여 간단히 설명하면, 다음과 같다. 우선 세라믹 파우더를 준비한다.(S1) 다음으로 유전체 파우더를 배치(Batch)한다.(S2) 배치된 파우더로 성형 유전체 시트를 제조하고,(S3) 그 위에 전기회로를 인쇄한다.(S4). 전기회로가 인쇄된 얇은 유전체 시트는 제품 종류에 따라 복수 개를 적층한 다음,(S5) 압착을 통해 하나의 판으로 결합시킨다.(S6) 아직까지 무른 상태인 이 세라믹 판들은 제품에 따라 적당한 크기로 절단된 후,(S7) 가소(Burn out)를 통해 유기 바인더 및 기타 이물질을 제거한다.(S8) 다음으로 열처리를 통해 세라믹 판은 단단하게 경화된다.(S9) 열처리가 끝나면 외부 전극을 도포한 후,(S10) 외부 전극을 소성한다.(S11) 마지막으로 도금과정을 통해 전체 제조공정이 마무리된다.(S12)
이때, MLCC 제조 과정에서 가장 많은 시간이 소요되는 부분이 열처리 과정이다. 가소(S8) 및 소성(S9) 공정이 열처리에 해당되는 과정으로서 이 두 공정에서의 소요시간이 전체의 25% 수준에 이른다.
가소란 물질에 열을 가하여 휘발성 성분이 없어지거나 없애는 일을 말하는 것으로 MLCC 공정에서는 "Binder Burn-Out" 공정이라 한다. 가소 공정 시 주의할 점은 MLCC는 구리(Cu), 니켈(Ni)과 같은 내부전극을 포함하고 있는데, 세라믹 재질의 MLCC를 소성함에 있어서 산소가 거의 없는 환원성 분위기에서 진행되어야 한다. 왜냐하면 구리(Cu), 니켈(Ni)등의 재질로 되는 내부전극이 산화가 되면 전극 역할을 하지 못하기 때문이다.
가소(S8) 공정을 위해 종래에는 가열(Thermal debinding)법이 사용되고 있으며, 가열법의 경우 상당히 높은 가동온도가 필요하며 온도를 가열할 때 천천히 가열하지 않으면 MLCC 층사이에 결함이 발생한다. 이러한 이유로 많은 시간과 열원이 소모되므로 비경제적인 문제점이 있다.
또한, 소성 공정(S9)은 컨베이어 형태의 기계를 사용할 수 있어 로트 투입간격이 짧을 뿐 아니라 제품 특성별로 기계를 전용화 할 수 있다. 반면에 가소공정(S8)은 24~44시간에 이르는 처리시간이 필요하기 때문에 여러 대의 가소기계를 이용해야 한다는 문제점을 가지고 있다. 즉, 실제 생산량과 공정별 표준시간을 고려할 때 가소 공정이 제조 공정상 가장 큰 제약 자원으로 규정될 수 있다.
따라서 종래의 가소 공정을 대신하며, 에너지 소모를 줄이고 공정 시간이 단축되는 장치의 방법의 개발이 요구된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, 유전체 및 내부전극을 슬러리 형태로 만들기 위해 첨가되는 결합제 및 유기 바인더를 초임계를 이용하여 유전체 및 내부전극으로부터 제거하게 되는 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치는 초임계 유체가 저장되는 저장탱크; 일단이 상기 저장탱크에 연통되어 초임계 유체를 타단으로 공급하는 제1 라인; 상기 제1 라인 상에 설치되며, 초임계 유체를 가압하기 위한 가압펌프; 상기 제1 라인 상의 상기 가압펌프 후단에 설치되며, 가압된 초임계 유체를 가열하여 초임계로 상변화 시키기 위한 히터; 불순물이 포함된 원료가 저장되며, 상기 제1 라인의 타단에 연통되어 내부로 초임계 유체를 공급받는 불순물 추출조; 일단이 상기 추출조에 연통되어 원료로부터 제거된 불순물이 포함된 초임계 유체를 타단으로 토출하는 제2 라인; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 불순물 제거 장치는, 상기 제2 라인의 타단에 연통되어 불순물이 포함된 초임계 유체를 공급받아 저장하는 분리조; 상기 제2 라인 상에 설치되며, 추출조의 압력을 유지시키고, 불순물이 포함된 초임계 유체를 감압시켜 분리조로 공급하기 위한 제2 밸브; 일단이 상기 분리조의 상측에 연통되어 가스(Gas) 상태의 유체를 공급받아 타단으로 토출하는 제3 라인; 및 일단이 상기 분리조의 하측에 연통되어 하측에 퇴적되는 불순물을 공급받아 타단으로 토출하는 제4 라인; 을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 불순물 제거 장치는, 상기 제3 라인 상에 설치되는 냉각기를 포함하고, 상기 제3 라인의 타단은 상기 저장탱크에 연통되어, 상기 제3 라인을 유동하는 가스 상태의 유체를 액체 상태의 유체로 상변화 하여 상기 저장탱크에 공급하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 저장탱크, 추출조 및 분리조에는 내부의 온도를 유지시키기 위해 온도유지장치가 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 초임계를 이용한 불순물 제거 방법은, 공정에 사용할 유체를 준비하는 단계; 상기 유체를 가압 가열하여 초임계 유체를 생성하는 단계; 및 상기 초임계 유체를 원료에 공급하여 불순물을 제거하는 단계; 를 포함하며, 제거된 불순물이 포함된 초임계유체를 불순물과 가스(Gas)화 된 유체로 분리하는 단계; 불순물을 배출하는 단계; 및 분리된 가스화 된 유체를 냉각시켜 초임계 유체로 상 변화시키는 단계; 를 더 포함하고, 상 변화된 초임계 유체는 재활용 되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법은 종래의 열처리를 통해 불순물을 제거하는 공정보다 낮은 온도에서 진행되기 때문에 에너지 효율이 높고 공정시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
추가적으로 공용매 없이 초임계만으로 MLCC에 포함되어 있는 결합제 및 유기바인더를 선택적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 초임계는 압력과 온도를 이용해 상변화가 가능하기 때문에 재활용이 가능하여 운용비용을 절약할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 MLCC 제조 공정 순서도
도 2는 본 발명의 불순물 제거 장치 개략도
도 3은 본 발명의 불순물 제거 방법 순서도
도 2는 본 발명의 불순물 제거 장치 개략도
도 3은 본 발명의 불순물 제거 방법 순서도
MLCC 제조 공정에서 본 발명의 불순물 제거 장치가 원료에서 제거하고자 하는 불순물은 결합제 및 바인더(Binder)로 정의할 수 있다. 상기 결합제 및 바인더는 MLCC의 전극 및 유전체 분말을 슬러리 형태로 만들어 유동성을 가지도록 하는 재료이며, 구성 물질은 솔벤트, 유기결합제, 가소제 등이 있다. 솔벤트로는 에탄올과 톨루엔등 유기용제가 사용되어진다.
또한 본 발명의 불순물 제거 장치에 사용되는 초임계 유체의 일예로는 이산화탄소가 사용될 수 있다. 이산화탄소(Carbon Dioxide)는 섭씨-78.5도, 1기압에서는 고체 상태로 존재하며, 섭씨20도, 1기압에서는 기체로 존재하다고, 50기압에서는 액체 상태로 존재한다. 본 발명에서 초임계는 이산화탄소를 기준으로 할 때, 임계점인 72기압, 31℃ 이상에서 응축과정 없이 지속적으로 밀도가 변하는 이산화탄소를 의미하며, 이산화탄소를 초임계화 하였을 때 기체처럼 유동성을 가지고 있으며, 액체와 같은 수준의 밀도를 가지고 있어 고체물질을 관통하면서 동시에 내부 용해물을 운반할 수 있는 특성을 가지고 있다.
이러한 특징을 이용하여 MLCC 내에 있는 결합제 및 유기바인더를 제거할 수 있으며, 이산화탄소 외에 다른 유체를 초임계화 하여 공정에 적용할 수 있으므로 본 기술에 적용되어지는 초임계 유체는 이산화탄소만을 한정하지 아니한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면, 초임계 이산화탄소를 이용하여 상기 MLCC에 포함된 결합제 및 바인더를 추출 및 분리하기 위한 온도는 섭씨30도에서 300도 이며, 보다 바람직하게는 섭씨35도에서 200도이고, 보다 더 바람직하게는 섭씨40도에서 100도 이며, 가장 바람직하게는 섭씨40도에서 80도이다. 불순물 분리를 위한 공정에서는 불순물 제거 장치의 추출 및 분리를 위한 초임계의 온도를 단계적으로 변화시켜 실시한다. 보다 구체적으로, 불순물의 추출 및 분리를 위해서는 온도를 저온에서 고온으로 단계적으로 상승시키거나 고온에서 저온으로 단계적으로 하강시켜서 실시될 수 있으며, 저온과 고온을 선택적으로 순서에 관계없이 실시될 수 있다. 상기 결합제 및 바인더의 추출 및 분리 단계에서 온도를 단계적으로 변화시키는 경우, 상기 단계는 본 명세서의 하기에 기술된 불순물 제거 압력을 단계적으로 변화 또는 일정한 압력 하에서 실시된다.
본 발명의 바람직한 조건에 따르면, 상기 초임계 이산화탄소를 이용하여 MLCC에 포함된 결합제를 추출 및 분리시키기 위한 압력은 50에서 500bar이며, 보다 바람직하게는 80에서 400bar이고, 보다 더 바람직하게는 100에서 300bar이며, 가장 바람직하게는 130에서 250bar이다.
본 발명은 초임계 이산화탄소를 이용하여 MLCC에 포함된 결합제 및 바인더를 분리 및 추출하는 경우 프로판과 같은 공용매(cosolvent)와 함께 또는 공용매 없이 사용될 수 있다.
이하, 상기와 같은 본 발명의 일실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치는, 저장탱크(10), 가압펌프(20), 히터(30), 추출조(40), 분리조(50), 냉각기(60), 제1 내지 제5 라인(L10, L20, L30, L40) 및 제1 내지 제4 밸브(V10, V20, V30, V40)를 포함한다.
저장탱크(10)에는 액체 이산화탄소와 같은 추출 및 분리에 사용될 유체가 저장된다. 저장탱크(10)는 유체가 액체 상태를 유지하기 위한 제1 온도유지장치(11)가 포함될 수 있으며, 내부는 유체를 저장하기 위한 통상의 구성이 적용될 수 있는 바 이에 대한 상세 설명은 생략한다.
제1 온도유지장치(11)는 저장탱크(10) 내부의 온도를 유지시키기 위한 통상의 냉각장치(콘덴서 및 열교환기)가 적용될 수 있다.
추출조(40)는 불순물이 포함되는 MLCC와 같은 원료가 적재된다. 추출조(10)는 초임계 상태를 유지하기 위한 제2 온도유지장치(41)가 포함되며, 내부에 불순물이 포함되는 원료를 로드 또는 불순물이 제거된 원료를 언로드하기 위한 커버 또는 도어가 형성될 수 있다.
제2 온도유지장치(41)는 추출조(40)의 내부의 온도를 유지시키기 위한 통상의 가열장치가 적용될 수 있다.
제1 라인(L10)은 일단이 저장탱크(10)의 하측에 연통되며, 타단이 추출조(40)에 연통된다. 제1 라인(L10)은 일단으로부터 저장탱크(10)에 저장되는 유체를 공급받아 초임계화 하여 타단에 연통되는 추출조(40)에 공급하는 역할을 수행한다.
이하 초임계 유체를 초임계화 하기 위한 구성에 대해 상세 설명한다.
제1 라인(L10) 상에는 가압펌프(20) 및 히터(30)가 설치된다. 가압펌프(20)는 제1 라인(L10)을 유동하는 유체의 압력을 높이기 위한 구성으로 통상의 유체를 가압시키기 위한 펌프의 구성이 적용될 수 있다. 히터(30)는 제1 라인(L10)을 통해 공급되는 가압된 유체를 가열하여 초임계화 하기 위한 구성으로 유체의 온도를 높일 수 있는 가열 수단을 갖는 어떠한 구성도 적용될 수 있음은 자명하다. 일예로 전류의 흐름에 의해 발열하는 전기히터의 구성이 적용될 수 있다. 상기 구성을 통해 초임계 유체가 추출조(40)에 공급된다.
제4 라인(L40)은 일단이 추출조(40) 내부에 연통되며, 타단은 외부에 노출되도록 구성된다. 제4 라인(L40)의 일단은 추출조(40)의 상단부에 연통될 수 있다. 제4 라인(L40) 상에는 상기 제4 라인(L40)을 밀폐 또는 개방하기 위한 제1 밸브(V10)가 설치될 수 있다. 제4 라인(L40)은 추출조(40)내의 유체를 방출하기 위한 구성으로 MLCC의 불순물 제거 공정이 진행되는 동안은 밀폐되어 있다가 불순물 제거 공정이 종료된 후 추출조(40)내부에 남아있는 유체를 방출함으로써 추출조(40)의 압력을 대기압 상태로 만들어 주는 역할을 수행한다.
제2 라인(L20)은 일단이 추출조(40)에 연통되며, 타단이 분리조(50)에 연통된다. 제2 라인(L20)은 일단으로부터 추출조(40)에서 토출되는 불순물을 포함하는 초임계를 공급받아 타단에 연통되는 분리조(50)에 공급하는 역할을 수행한다. 제2 라인(L20) 상에는 감압밸브인 제2 밸브(V20)가 설치되어 추출조(40)의 압력을 유지토록 한다.
제 2밸브(V20)는 추출조(40)의 압력을 제어 및 유지하기 위해 제2 라인(L20) 상에 설치되며, BPR(Back Pressure Regulator), 제어밸브(Control Valve), 니들밸브(Needle Valve), 미세노즐 등이 사용될 수 있다. 제 2밸브(V20)를 통과한 초임계 유체는 압력이 임계점 이하로 낮아져 가스(Gas)상태로 상변화가 이루어져 불순물과 유체가 분리되는 현상이 나타나게 된다.
분리조(50)는 유체가 기체(Gas) 상태를 유지하기 위한 제3 온도유지장치(51)가 포함되며, 내부에 공간이 형성되는 함체 상으로 이루어진다. 분리조(50)는 제2 라인(L20)으로부터 공급되는 불순물을 포함하는 유체를 공급받는다. 유체는 가스(Gas)상태로 존재하기 때문에 불순물은 비중에 의해 분리조(50)하측에 위치하여 퇴적되고, 가스(Gas)화된 유체는 상부에서 후술되는 제3 라인(L30)의 일단을 통해 타단으로 유동하게 된다.
제3 온도유지장치(51)는 분리조(50)의 내부의 온도를 유지시키기 위한 통상의 가열장치가 적용될 수 있다.
제3 라인(L30)은 일단이 분리조(50)의 상측에 연통되며, 타단이 저장탱크(10)에 연통된다. 제3 라인(L30)이 분리조(50)의 상측에 연통되는 이유는 분리조(50) 상측에서 유동되는 가스(Gas) 상태의 유체를 공급받기 위함이며, 일단으로부터 가스화된 유체를 공급받아 액체상태의 유체로 상 변화시켜 저장탱크(10)로 공급하는 역할을 수행한다. 감압밸브인 제 3밸브(V30)는 제3 라인(L30) 상에 설치되며, 분리조(50)의 압력을 제어 및 유지하기 위해 제3 라인(L30) 상에 설치되며, BPR(Back Pressure Regulator), 제어밸브(Control Valve), 니들밸브(Needle Valve), 미세노즐 등이 사용될 수 있다. 이때 제3 라인(L30)을 유동하는 가스 상태의 유체를 액체로 상변화 시키기 위해 제3 라인(L30) 상에는 냉각기(60)가 설치될 수 있다. 냉각기(60)는 제3 라인(L30)을 유동하는 초임계를 냉각시키기 위한 통상의 냉각기가 구성될 수 있으며, 일예로 수냉식 열교환기 등이 적용될 수 있으므로 상세 설명은 생략하기로 한다.
상기와 같은 구성을 통해 본 발명은 불순물 제거 작업을 수행한 초임계 유체를 다시 가스(Gas) 및 액체로 상변화 하여 저장탱크(10)에 재공급하기 때문에 자원 재활용 및 운용비용 절감의 장점이 있다.
제5 라인(L50)은 일단이 분리조(50) 하측에 연통되며, 타단이 불순물 처리수단(미도시)에 연통된다. 제5 라인(L50)이 분리조(50)의 하측에 연통되는 이유는 분리조(50) 하측에 저장되는 불순물 공급받기 위함이며, 일단으로부터 불순물을 공급받아 불순물 처리수단에 공급하는 역할을 수행한다. 제5 라인(L50) 상에는 제5 밸브(V50)가 설치되어 제5 라인(L50)을 개방 또는 밀폐하도록 구성된다.
이하에서는 상기와 같이 구성된 본 발명의 불순물 제거 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 3을 참조하면, 저장탱크(10)에 액체상태의 유체를 준비하는 단계(S10)를 수행한다. 초임계 생성을 위한 유체로는 상술된 바와 같이 이산화탄소가 적용될 수 있다.
다음으로 액체상태의 유체를 가압 및 가열하여 초임계 유체를 생성 하는 단계(S20)를 수행한다. 이산화탄소 액체를 초임계화 하기 위해서는 압력을 130에서 250bar로 가압하고 온도를 섭씨40에서 80도로 가열하기 위한 가압 및 가열 수단이 요구된다.
다음으로 초임계 유체를 추출조(40)에 공급하여 원료에 포함된 불순물을 추출하는 단계(S30)를 수행한다.
다음으로 불순물이 포함되는 초임계 유체를 분리조(50)에 저장하여 불순물과 초임계를 분리하는 단계(S40)를 수행한다. 이때 불순물은 초임계 보다 비중이 높기 때문에 불순물은 분리조(50)의 하측에 퇴적되고 초임계는 상측에 저장된다.
다음으로 불순물을 배출하는 단계(S50) 및 초임계를 액체상태의 유체로 상변화 하여 저장탱크(10)에 재공급하는 단계(S60)를 수행한다. 이때, 가스(Gas) 상태의 유체를 액체 상태의 유체로 상변화 시키기 위해 유체를 냉각하는 과정을 거친 후 저장탱크(10)에 공급하게 된다.
본 발명의 상기한 실시 예에 한정하여 기술적 사상을 해석해서는 안 된다. 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당업자의 수준에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 당업자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 된다.
10 : 저장탱크 11 : 제1 온도유지장치
20 : 가압펌프 30 : 히터
40 : 추출조 41 : 제2 온도유지장치
50 : 분리조 51 : 제3 온도유지장치
60 : 냉각기
L10 : 제1 라인 L20 : 제2 라인
L30 : 제3 라인 L40 : 제4 라인
L50 : 제5 라인
V10 : 제1 밸브 V20 : 제2 밸브
V30 : 제3 밸브 V40 : 제4 밸브
20 : 가압펌프 30 : 히터
40 : 추출조 41 : 제2 온도유지장치
50 : 분리조 51 : 제3 온도유지장치
60 : 냉각기
L10 : 제1 라인 L20 : 제2 라인
L30 : 제3 라인 L40 : 제4 라인
L50 : 제5 라인
V10 : 제1 밸브 V20 : 제2 밸브
V30 : 제3 밸브 V40 : 제4 밸브
Claims (6)
- 삭제
- 적층형 세라믹 커패시터 제조 공정 중 상기 적층형 세라믹 커패시터의 불순물을 추출 분리하여 제거하기 위한 가소 공정에 적용되는 불순물 제거 장치에 있어서,
초임계 유체가 저장되는 저장탱크;
일단이 상기 저장탱크에 연통되어 초임계 유체를 타단으로 공급하는 제1 라인;
상기 제1 라인 상에 설치되며, 초임계 유체를 가압하기 위한 가압펌프;
상기 제1 라인 상의 상기 가압펌프 후단에 설치되며, 가압된 초임계 유체를 가열하여 초임계로 상변화 시키기 위한 히터;
불순물이 포함된 원료가 저장되며, 상기 제1 라인의 타단에 연통되어 내부로 초임계 유체를 공급받는 불순물 추출조;
일단이 상기 추출조에 연통되어 원료로부터 제거된 불순물이 포함된 초임계 유체를 타단으로 토출하는 제2 라인;
상기 제2 라인의 타단에 연통되어 불순물이 포함된 초임계 유체를 공급받아 저장하는 분리조;
상기 제2 라인 상에 설치되며, 추출조의 압력을 유지시키고, 불순물이 포함된 초임계 유체를 감압시켜 분리조로 공급하기 위한 제2 밸브;
일단이 상기 분리조의 상측에 연통되어 가스(Gas) 상태의 유체를 공급받아 타단으로 토출하는 제3 라인;
일단이 상기 분리조의 하측에 연통되어 하측에 퇴적되는 불순물을 공급받아 타단으로 토출하는 제4 라인; 및
상기 제3 라인 상에 설치되는 냉각기; 를 포함하고,
상기 제3 라인의 타단은 상기 저장탱크에 연통되어, 상기 제3 라인을 유동하는 가스 상태의 유체를 액체 상태의 유체로 상변화 하여 상기 저장탱크에 공급하는 것을 특징으로 하는 초임계를 이용한 불순물 제거 장치.
- 삭제
- 제 2항에 있어서,
상기 저장탱크, 추출조 및 분리조에는 내부의 온도를 유지시키기 위해 온도유지장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 초임계를 이용한 불순물 제거 장치.
- 삭제
- 적층형 세라믹 커패시터 제조 공정 중 상기 적층형 세라믹 커패시터의 불순물을 추출 분리하여 제거하기 위한 가소 공정에 적용되는 불순물 제거 방법에 있어서,
저장탱크에, 공정에 사용할 유체를 준비하는 단계;
상기 유체를 가압 가열하여 초임계 유체를 생성하는 단계;
상기 초임계 유체를 원료에 공급하여 불순물을 제거하는 단계;
제거된 불순물이 포함된 초임계유체를 불순물과 가스(Gas)화 된 유체로 분리하는 단계;
불순물을 배출하는 단계;
분리된 가스화 된 유체를 냉각시켜 액체로 상 변화시키는 단계; 및
상 변화된 액체를 저장탱크에 투입하는 단계;
를 포함하는, 초임계를 이용한 불순물 제거 방법.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020110130333A KR101158083B1 (ko) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | 적층형 세라믹 커패시터 제조 공정에서의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020110130333A KR101158083B1 (ko) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | 적층형 세라믹 커패시터 제조 공정에서의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법 |
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| KR101158083B1 true KR101158083B1 (ko) | 2012-06-22 |
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| KR1020110130333A KR101158083B1 (ko) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | 적층형 세라믹 커패시터 제조 공정에서의 초임계를 이용한 불순물 제거 장치 및 방법 |
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| KR (1) | KR101158083B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101324796B1 (ko) * | 2013-04-15 | 2013-11-05 | (주)일신오토클레이브 | 로드셀이 구비된 초임계 장치 |
| KR20150016836A (ko) * | 2013-08-05 | 2015-02-13 | 삼성전기주식회사 | 적층형 세라믹 전자부품의 제조방법 및 그 제조장치 |
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2011
- 2011-12-07 KR KR1020110130333A patent/KR101158083B1/ko active IP Right Grant
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| KR102004766B1 (ko) | 2013-08-05 | 2019-07-29 | 삼성전기주식회사 | 적층형 세라믹 전자부품의 제조방법 및 그 제조장치 |
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